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  • Aplicaion de Mems

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    Alan Burruel Romualdo
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    aplicaion de mems

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    Sensor de gas tecnologia MEMS y sus aplicaciones ALBERTO LAMAGNA, UNIDAD DE ACTIVIDAD FISICA, CENTRO ATOMICO CONSTITUYENTES ALFREDO BOSELLI, GERENCIA DE TECNOLOGIA, CENTRO ATOMICO CONSTITUYENTES, El avance observado en las tiltimas dos décadas en la ciencia de los materiales, particular- mente en las llamadas "microtecnologias", ha dado lugar al advenimiento de pequenos dis- positivos llamados MicroElectromechanical Systems (MEMS) con importantes aplicaciones. Este es el caso de los nuevos sensores de gas con tecnologia MEMS, que permiten obtener dispositivos de menor consumo y mayor sensibilidad. Estas ventajas facilitan la realizacién de equipos portdtiles, y en particular, de las llamadas narices electronicas, que reemplazan ventajosamente a los sistemas tradicionales para la identificacion de olores que involucran paneles de especialistas humanos complementados por cromatografia gaseosa 0 espec- trometria de masas, por ser aquellas mucho més econémicas, mds rdpidas y objetivas. Las narices electronicas, recientemente introducidas en el mercado, estan siendo utilizadas en diagnostico médico, control de calidad de alimentos, monitoreo ambiental, control de proce- sos industriales, seguridad y usos militares, Advances in materials science in the last two decades, particularly in the microtechnology field, have produced small devices with important applications, called MicroElectromechanical Systems (MEMS). This is the case of the new gas sensors with MEMS technology, which show increased sensibility at lower operational costs. These improvernents make it possible to design portable equipment, such as the "electronic noses". These noses compare favourably -i economic and objectivity terms- with traditional odour identification systems that involve human specialists aided with gaseous cromatographs and/or mass spectrometers. Electronic noses are already being used in diverse applica- tions, such as medical diagnosis, food quality control, environmental monitoring, industrial process contral and in defense-related equipment. La tecnologia MEMS ‘Se denomina tecnologia MEMS (MicroElectroMechanical Systerns) a la tecnologia de fabrcacién que combina componentes mecinicos y elec tréricos minituizados, que dan crgen a dispostvos que periten sere sar 0 actuar a escala microscpica, Dent de esta categofa se encuen- tran sensoves, actuadores, micromaquinas, micosistemas 0 micro‘inst rmentos y mirocomponentes (1) 1 uso de la fotoltogaiay ottas tecnologas de microabricacion para la creacén de sensores, actuadoresy estructuras minuaturizadas se esta ex ‘endiendo a muchas dreas de la cencia y dela ingeneva, Para poder fa- pacNATS (TY bricar estos dspositnas se uiizan las técricas originalmente desarol- das por la industia de los crcuitos integredos. Los investigadores comen- zaron a utizar el sliio y otos sericonductores para la realzacion de [MENS, que al principio fueron del tipo sensores miniatuizados. Los sensores son dispostves que miden algo del ambiente yen general pro- ven una sefial de sala elécrica relacionada con el parémetro que se quiere medi. Algunos autores dviden a los sensores en categorias de acuerdo a pardmetio que se desea mediry estas son: témicas, mecini- 05, quis, magnetics, radiantes,y eécticos Es inevitable que apt cando estas categoria haya disposas que no se austen @ una sola. ES- {as superposicones se evidencian mas aun si se considera que los [MEMS no solo son sensores,entonces alos dispostivos MEMS se kos agrupa en seis grandes categotas segin tecnologie y aplicaion, catego- fas alas que se referen usualmente las estimaciones de mercado: + Medicones inerciales (acelerémettos, microgroscopes, etc) “ Microfidos , Sensado y Procesos Quimicos (cabezales de impresoras, sensores de flujo masic, sensores de ges, et) + Optica MEMS (conmutadores Opticos, display, microespejs, etc.) “Medicines de presion (sensores de resin absoluta,sensores de pre- sin en motores, resin sanguinea, etc.) + Radio Feauencia MEMS ( dspostios pare teléfonoscellares radares, sistemas inalambics, micronatenas, etc.) + Ot1as Dspositos ( miccelays, sensores de temperatura, hurmedad, vibracén, etc) En la categoria de MEMS Microfuidos se consderan en general los si uientes tres tpos de dispostivas: dispostvos de contol de fuidos, is- posivos para la medicién de gases yfuidos, ispostvs de contr mé-

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