MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

NANO MALZEMELERN UYGULANMASI

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Tranzistrler ve devre ama anahtarlar: nano boyutta retilmeye balanm. GaAs, AlAs ve SiO2 (III ve IV grup malzemeler) Elektronik paralarn minyatrize edilmesi ok popler. Minik elektronik devre ve cihazlarn yaplmas iin nano boyutta malzeme Microelektromekanik sistemler (MEMS) uzun yllardr allyor ve ticari olarak retiliyor. Nanoelektromekanik sistemler (NEMS) u an youn allmakta.
Prof. Dr. Hatem AKBULUT 10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Mini Cihazlar
Yksek enerji kapasiteli, ok sayda arj edilebilen uzun mrl piller. Yksek frekansl ve gvenilir ok kk cihazlar. evreye duyarl malzemeler. Yksek kapasiteli elektrot malzemeleri. Yksek yzey alanl Li-polimer piller. Mikro yakt hcreleri.
Prof. Dr. Hatem AKBULUT 10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Hafza Cihazlar (Memory Devices)

Ama yksek kapasiteli hafza hcreleri (memory cell) retmek, Bilgisayarlarda: Random Access Memory (RAM) Dynamic Random Access Memory (DRAM), Static Random Access Memory (SRAM)

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Ana Hedef: Nano devre retimi ile nano malzemeler, nano robotlar retilmesi Bilgi sayma; Abaks: M.. 300 ylnda kullanlm, Thomas Hesapmetresi: (1820), Elektronik Nmerik ntegratr ve Bilgisayar ilemcisi(1946), Intel Pentium 4 ilemci: 1.5 x 1.5 cm 478-pin (42 milyon tranzistr)
10 Aralk 2006 Pazar

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

lemci boyutlar kiisel bilgisayarlarda 1 cm ye kadar indirilmi. Hedef: Mikro ve nano esasl alt sistemler (devreler gelitirmek)

Yeni Data Saklama Sistemlerinde:

ok kk ve entegre sistemler. Mikro lekten nano lekte cihazlara (mekanik, optik, elektronik ve magnetik) gei yapmak.
Prof. Dr. Hatem AKBULUT

MEMs den NEMS

disk-video-1

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Data Deerlendirme

Data Toplama

Data Kaydetme

Data Okuma

Data Yazma

Enerji Saklama Cihazlar Elektronik paketleme sistemleri Kk ana kartlar Paketleme malzemeleri sy ok iyi iletmeli. (Karbon veya karbon fiber takviyeli kompozitler).
Prof. Dr. Hatem AKBULUT 10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Data deerlendirme nano kristalin yar iletken kaplama ile baaryla yaplabilir. Optik depolama diskleri: CDs : Compact disks (Kompakt diskler) DVDs : Digital versatile disks (Dijital ok ynl diskler)

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Data Kaydetme: Bir lazer demeti disk zerine bir noktaya odaklanr. Yansyan n iddeti optik dedektr ile llr. Bir lazer noktas (spot) = bit olarak adlandrlr. Lazer spotu ne kadar kk ise o kadar ok bilgi kaydedilir. ok ince problar (kafa-u)- ok kk aralkl yazm ile (50nm) noktalar yazlabilir (<100nm). Optik kayt ortam yksek data transfer edebilmeli, Mavi lazer, yeniden yazlabilir organik olmayan malzemeler.
Prof. Dr. Hatem AKBULUT 10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Malzemeler
Ama:
Yksek iletkenlikli polimerler. Yzeyi aktifletirilmi balant - polimer yzeyi iletken kaplama. Nano tel /karbon tp tampon teknolojisi Minik ip teknolojisi, ok kk IC (< 200 m)

Nano teknoloji ile Tera byte byklnde data saklamak Gnmzde DVD (4.7GB) ve HD-DVD (20-25GB) Bu rakamlar 100 GB~1000 GB a kadar kabilir.
10 Aralk 2006 Pazar

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

ekil. Nano malzemelerin geliimi ve disklerde data saklama-yl ilikisi.

Prof. Dr. Hatem AKBULUT 10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Elektromekanik Sistemler (EM)

Geleneksel Elektromekanik Sistemler

Micro Elektromekanik Sistemler (MEMS)

Nano Elektromekanik Sistemler (NEMS

ekil. Elektromekanik sistemlerin snflandrlmas

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Mikro/Nano Elektro Mekanik Sistemler Kltlm mekanik sistemlerdir Elektronik ile birletirilip uygulamaya aktarlr. Minik elektronik devre ve cihazlarn yaplmas iin nano boyutta malzeme retmek gerekir.

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

MEMS lerin Tanmlanmas

Mikroelektromekanik sistemler (MEMS), veya mikroileme (ayn zamanda mikro retim), zellikle ince filmlerden hareketle ok kk entegre devreler ile makinalar imal etmektir. zellikle Si esasl mekanik cihazlar retilir.

Sandia Lab. Da retilen poli-Silikon motor

10 Aralk 2006 Pazar

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Mikro/Nano Esasl Alt Sistemlerde Temel Amalar Var olan boyutlu monitrlerin kalite ve performansn arttrmak

Monitrlerde sensrleri btnletirmek

Yeni blnebilir monitr teknolojileri retim ve fabrikasyon teknikleri
Brightness sensor CMOS camera Speakers Battery

Micro-optical light guide

RF Tx/Rx module

Miniaturised IMU Primary display unit (s)

Microphone

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Enerji Depolama Cihazlar Elektronik Sistem Paketleme Teknolojileri (Paketleme = devre tutucu) ok gl minik elektronik rnn tutucusu (ana kart) Paketleme malzemesi sy iletmeli ve cihazla uyum gstermeli. (Karbon veya C fiber takviyeli kompozitler).
Prof. Dr. Hatem AKBULUT

ekil. Cr-Au biyolojik separatr. Nano aralkl elektrotlar moleklleri ince boyutta ayrr
10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Au elektrotlar: Yksek iletkenlie sahip Ferro magnetik nano elektrotlar. Manyetik alann glenmesini salarlar. Magnetik pskrtme ile retilmi. Si zerine Co kaplanm

ekil. Au elektro depozisyonu ile retilen nano elektrotlar.

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

ekil. Ferro magnetik nano elektrotlar.

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Optik devre anahtarlar iin Mikro ve nano mekanik aynalar MEMS lerde bile aynalarn ap = 0.4 mm

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Benzer Teknolojiler: Metal aynalar k demeti ayarlamak iin kullanlr. Gnmzde nk-jet printerlerde sv ak MEMS ler ile kontrol edilir. vmelendiriciler: otomobil hava yastklar depo ve hareketlendirici olarak MEMS ler kullanlmakta. Gnmzde ok sayda of MEMS ve NEMS sensr ve hareketlendiriciler gelitirilme aamasnda

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

ekil. Tek kristal Si dan elektron demeti ve yzey mikro ileme litografisi ile retilen NEMS cihazlar. (A) Bir bkme sarkac, (B) Bileik bir bkme sarkac, (C) Bir seri Si nano ubuk ve (D) Bir Si a ayna sarkac
Prof. Dr. Hatem AKBULUT 10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Daha kk mekanik sistemler kk g lmn mimkn klar (NEMS sistemleri ok kk kuvvetle bile hareket edebilir). Molekler seviyede mhendislik yaplarnn retilmesi hedeflenmekte ve heyecan uyandrmakta. NEMS sistemleri ile mekanik sistemleri miniyatrize ederek ok yksek miktarda data depolayan kablosuz iletiim cihazlar elde edilmesi ana hedeflerden. Cihaz kldke artan yzeyler kararszla yol amakta ancak artan yzey daha ok data depolama ve hassas lm demektir.
Prof. Dr. Hatem AKBULUT 10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

ekil. Si mikro yzey ileme teknii ile retilen elektrostatik mikro motor.
Prof. Dr. Hatem AKBULUT

ekil . mikro yzey ileme teknii ile retilen makina

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

ekil. X-n litografisine dayanan teknikle retilmi planet dili mekanizmas.

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

ekil. Bir magnetin milimotor dilileri.

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL Circuit motion-video

ekil. yon dalama tekniiyle elde edilen elektipi elektrotunun yaps.

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

ekil. On iki kutuplu minyatr asenkron motor (motorun ap = 5mm)

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Dili ve pompalarn 10.000 atomdan meydana getirilmesi konusunda almalar. C- NT ler kullanarak (+) ve () kutuplar oluturulup NEMS yaplmas almas. zellikle NASA nano dililer zerinde youn alyor. Hedef nano motorlar retmek
Video-2 Nano-motor

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

ekil. Farkl llerde nano dililer

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

ekil. retilmesi dnlen nano dililer.

Prof. Dr. Hatem AKBULUT 10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Nano cihazlar nasl retiliyor

rnek: lk admda PVD, CVD veya lazer ile kaplama yapm. Takiben maskeleme (paternleme ile beraber ) yaplp kaplama dalanmas.

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

ekil. Paralel elektrodlu tepkime odasnda plazmayla dalama (kazma).

ekil. CVD Plazma kaplama sonrasnda dalama ile elde edilen ekil
10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Kaplanan tabaka ok ince bir ula (AFM ucu) ilenebilir leme ve dalama birlikte yaplabilir. ok kk makine paralar (dili, ark,) Kk motorlar retilebiliyor. Ama bu motorlar mm boyutundan nm boyutuna indirmek

a) Mikro veya nano yap retim ileminin ematik gsterimi. b) Si yzeyinde polimer kapl tabakada 2 m aralklarla izilen izgiler (gerek)
Prof. Dr. Hatem AKBULUT 10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Karbon nanotplerden nano anahtarlar yaplmas planlanmakta

ekil. karbon nano tplerin nano anahtar tasarm.

Prof. Dr. Hatem AKBULUT 10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Karbon nano tpler ve karbon ubuklar Nano Si-GeO SnO2 gibi malzemelerden nano devreler ekil. Bir entegre devre (ICs) Devre 2 x 2 mm boyutlarnda

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Sensrler sinyaller ve uyarlar alan ve cevap veren cihazlardr. rnek: Yk, (uu esnasndaki ykler) titreim, scaklk basn, hz, ivme, grlt, radyasyon gibi lmler MEMS ler yerine NEMS ler ile yapmaya allyor. Sensrlerin nano malzemelerle yaplmas gerekletirilmi durumda. Uak zerine gelen ykler, Uak hz, Farkl etkenler minik devrelerden uak bilgisayarna aktarlr (Otomatik pilot mant)
Sensrler Video-3

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Sensors are produced with MEMS. Sensorler sinyallerle alr (rnek: uaklarda yk) Ama MEMS yerine NEMS leri kullanmak.

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

ekil. Uakta nano ve mikro lekte sensr uygulamalar.

10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Deprem titreimini azaltc malzeme olarak sperplastik Zn-Al (Zn-% 22 Al) alamlar 1995 de Japonya da yaanan byk depremden sonra bu alamlar nano kristalin olarak retilmi

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

ekil. Kolon, kiri ve panellerde enerji yutucu nano kristalin Zn-Al alamlarnn kullanld yerler.
10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Bu alamlar termo mekanik kontrol prosesi (TMCP) iddetli deformasyon ve yeniden kristalleme ile retilmi.

ekil. Nano Zn-Al alamlarnn SEM mikroyaps

Prof. Dr. Hatem AKBULUT 10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

Gelecein Nano Fabrikalar

ok sayda nano fabrikann entegre olarak kullanlmas Nano boyutlu paralar retip birletirerek byk paralar elde etmek Fabrika ve retim tesisleri masa st formata dntrmek ok kompakt zelliklere sahip ancak ok ileri zellikte ve fonksiyonlu Birka saat iine kendi arlndan daha fazla retim yapmasn salama.
Prof. Dr. Hatem AKBULUT 10 Aralk 2006 Pazar

MHENDSLK FAKLTES

METALURJ VE MALZEME MHENDSL

rnek: Elmas Fabrikas Fabrika arl 1 kg dan dk Hammadde Girii 2.5 kg/saat (rnek: Aseton ve havadan oksijen)

rn k - 1 kg/saat (nek: Elmas)

Video Nano devre-4 Video Nano devre-5

Prof. Dr. Hatem AKBULUT

10 Aralk 2006 Pazar