Vi h th ng

GV: Nguy n Hong Nam

(chng trnh K s CLC Kha 51)

14/09/2010

Vi h th ng

6. Cc cng ngh c b n c a vi h th ng (ti p)

2.1 Cng ngh vi i n t 2.2 LIGA
2.2.1 Quang kh c tia X - Lithography 2.2.2 L ng ng i n ha - Electroplating 2.2.3 T o khun c - Molding

2.3 Vi c i n t - MEMS 2.4 Quang i n t - Optoelectronic 2.5 Mng sinh h c, th m th u

Vi h th ng

Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

LIGA L g
LIGA = LIthografie, Galvanoformung, Abformung
Qu trnh ch t o cc vi c u trc 3 chi u trn b m t Si b ng: K thu t quang kh c s d ng tia X (photolithography) K thu t l ng ng i n ha (Electroplating) K thu t t o khun c (Molding)

Vi h th ng

Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

LIGA L ch s
c pht tri n b i trung tm nghin c u Karlsruhe, c (1980). Cho php t o c u trc c chi u cao kho n hng trm m n mm v chi u ngang v n ch l kho ng m ho c nh hn (submicron) do b c sng ng n c a tia X trong k thu t quang kh c. V t li u a d ng: Polymer (PMMA), kim lo i, g m, i n mi Gi thnh cao (do thi t b quang kh c tia X).

Vi h th ng

Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

LIGA Qui trnh cng ngh

Vi h th ng

Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

2.2.1 LIGA quang kh c tia X Hai cng ngh chnh s d ng trong LIGA
Tia X: t o cc c u trc c chnh xc cao Tia UV: t o cc c u trc c chnh xc th p

C u trc LIGA tia X c th t chnh xc:

thu nh chi ti t 100:1 c u trc t ng gc th ng ng n 89.95 , c th m ng 10 nm, cao n vi mm
Vi h th ng 6 Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

LIGA tia X L p c m quang tia X l polymer d ng PMMA (Polymethyl methacrylate) Tia X nng l ng l n i qua m t n Mask t i l p c m quang t o hi u ng phi sng.

Vi h th ng

Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

LIGA tia t ngo i (UV) LIGA tia UV s d ng ngu n sng r l tia t ngo i (n th y ngn) phi sng l p c m quang SU-8. LIGA tia UV r nhng khng chnh xc khi c

Vi h th ng

Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

LIGA chi ti t qu trnh

phi sng tia X qua mask

t o khun

s n ph m
Vi h th ng 9 Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

LIGA m t n (mask)
Carbon v Graphite l v t li u lm mask t t nh t, chng khng b hi n t ng trn thnh (sidewall roughness) Lo i mask t t l lo i cho phn gi i 0.1m khi i su 4m v 3m khi i su 20m. Gi mask t $1000 t i $20.000

Vi h th ng

10

Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

LIGA (substrate)
Silicon (Si), silicon nitride (Si3N4), titanium (Ti) th ng c s d ng lm , c bi t khi c n d ng t m m ng (thin-film) hay khi c n h p th kim lo i: vng, nickel, ng, thi c, ch... n u khng c tnh ch t i n th s c ph thm m t l p.

Vi h th ng

11

Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

LIGA phi sng (exposure)

Do tia X c nng l ng l n nn kho ng cch gi a v m n c th l n. C th rt ng n th i gian phi sng n u tng nng l ng chm tia X quang kh c, kho ng 2.5 t i 15 keV. Th i gian phi sng cn ty vo nh y sng c a l p PMMA, th i gian phi sng cho 500m PMMA l 6h. Qu trnh phi sng c n lm l nh b ng kh Nit n u khng s lm bi n d ng mask.
Vi h th ng 12 Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

2.2.2 L ng ng i n ha (Electroplating)
Nickel, ng hay vng c t vo sau khi b i l p c m quang. Kh khn th ng g p l cc bong bng kh H2 gy ra thay i ng su t d ng t m m ng, m t kh nng bm. T y b Si v Polymer ta thu c khun (c n thm qu trnh r a khun).

Vi h th ng

13

Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

2.2.3 c (molding) Sau khi r a khun, ta c kh i l ng l n v nhn b n thi t b .

Vi h th ng

14

Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

LIGA S n ph m

Vi h th ng

15

Nguy n Hong Nam

Vi h th ng

LIGA S n ph m

Vi h th ng

16

Nguy n Hong Nam