清華大學 奈米與微系統科技中心

暑期 奈米與微製程實驗訓練班
地點：清華大學 工程三館
日 期 ： 95 年 8 月 9 日 ～ 95 年 8 月 18 日

為增進學生與研究人員在奈米與微製程實驗方面之經驗，本中心規劃相關實驗訓練課
程，做為進入本中心共用無塵室進行研究之基礎訓練課程，以進一步提昇研究人員之研究
效率。

一、技術訓練課程
課 程 名 稱 日 期 時 間 授課講員

蝕刻製程 95 年 08 月 09 日（三） 08：30～12：30 邱 冠 勳

微影暨接合製程 95 年 08 月 09 日（三） 13：30～17：30 黃 俊 源

擴散製程 95 年 08 月 10 日（四） 08：30～12：30 岑 尚 仁

化學氣相沉積製程（CVD） 95 年 08 月 10 日（四） 13：30～17：30 林 溥 如

物理氣相沉積製程（PVD） 95 年 08 月 11 日（五） 08：30～12：30 邱 冠 勳

標準清洗與高溫氧化 95 年 08 月 11 日（五） 13：30～17：30 陳 建 亨

二、實驗訓練課程
實 驗 名 稱 日 期 時 間 授課講員

標準清洗與高溫氧化實驗 95 年 08 月 14 日（一） 08：30～13：00 沈 芳 怡

微影製程 95 年 08 月 15 日（二） 08：30～16：30 林 溥 如

濕蝕刻與反應離子蝕刻實驗 95 年 08 月 16 日（三） 08：30～12：00 邱 冠 勳

高溫擴散實驗 95 年 08 月 17 日（四） 08：30～16：30 沈 芳 怡

物理氣相沉積實驗 95 年 08 月 18 日（五） 08：30～12：30 林 溥 如

三、費用
1. 會員價：新台幣 5,000 元（會員資格：已加入本中心機台會員）
2. 非會員學生價：新台幣 6,500 元（同一實驗室 2 人以上同時報名，每人各減新台幣 500 元）
3. 非會員價：新台幣 7,500 元（同一單位 2 人以上同時報名，每人各減新台幣 500 元）

四、對象與注意事項
1. 對奈米／微機電系統領域有興趣之學生、學界及業界人士。
2. 欲報考本中心共用無塵室機台，但無修習過任何半導體製程與實驗相關課程者，可報名參
加本課程，待修課完畢及通過測驗後，將發予修課證書，即具共用無塵室進出與儀器訓練
／報考資格。
3. 報名本課程者，報考本中心共用無塵室機台時，即可直接報名儀器訓練課程，不需再修習
儀器應用課程 A～D。
4. 本課程可與儀器訓練課同時報名並上課。
5. 出席率達八成且測驗成績高於 70 分者，本中心將發予修課證書。
6. 本課程報名者若未滿十人，本中心將延後開課日期，待報滿十人後，再另訂開課日期。
7. 若有不清楚事宜，請洽本中心林瑟蘭小姐。

五、繳費辦法
1. 請以現金方式至本中心繳費再開立收據。
2. 請在訓練課程之前完成繳費手續。

六、報名辦法
1. 填寫報名表，請單位主管或指導教授簽名，送至本中心。
2. 請於訓練課程開始前 7 天完成報名及繳費手續。

七、聯絡方式
聯絡人：林瑟蘭小姐
電話：(03) 574-2264 傳真：(03) 5713-484
E-mail：sellin@mx.nthu.edu.tw