COLE CENTRALE DES ARTS

ET MANUFACTURES
COLE CENTRALE PARIS

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

THSE
prsente par
Alexia MISSOFFE

pour lobtention du

GRADE DE DOCTEUR
Spcialit : Science de lingnieur
Laboratoire daccueil : Dpartement SSE Supelec/ Laboratoire MSSMAT ECP
SUJET : Rduction dordre de modle dun phnomne damortissement nonlinaire dans le cadre des microsystmes.

soutenue le 13 dcembre 2010

devant un jury compos de :
Eric COLINET
Fabrice THOUVEREZ
Etienne BALMES
Didier CLOUTEAU
Jrme JUILLARD
Denis AUBRY

Rapporteur
Rapporteur
Examinateur
Examinateur
Directeur de thse
Co-directeur de thse

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Remerciements
Ce travail de thse a t ralis au dpartement Signaux et Systmes Electroniques (SSE) de
SUPELEC. Je remercie Monsieur Jacques OKSMAN, ancien chef de dpartement pour son
accueil au sein de lquipe. Je remercie galement Monsieur Gilles FLEURY qui a pris sa
suite dans ces fonctions.
Je remercie Monsieur Didier CLOUTEAU, professeur lEcole Centrale Paris davoir
accept de prsider mon jury de thse, ainsi que Monsieur Fabrice THOUVEREZ, professeur
lEcole Centrale Lyon et Monsieur Eric COLINET, ingnieur de recherche au CEA-LETI
davoir accept de rapporter mon travail. Je remercie galement Monsieur Etienne BALMES,
professeurs Arts et Mtier ParisTech davoir accept de faire partie de mon jury en qualit
dexaminateur.
Je remercie mon directeur de thse, Monsieur Jrme JUILLARD, professeur SUPELEC
pour avoir encadr mon travail. Je le remercie tout particulirement pour sa relecture attentive
du manuscrit. Je remercie galement Monsieur Denis AUBRY, professeur lEcole Centrale
Paris davoir co-encadr ce travail de thse.
Je remercie galement Luc BATALIE, Francis TRELIN, Fabienne SURAUD, puis Karine
BERNARD pour leur disponibilit et leur sympathie. Je remercie galement tous les autres
thsards, dont certains ne sont dailleurs plus thsards depuis un moment, pour les nombreux
moments partags : Tudor, Morgan, Davud, Emilie, Rawad, Sylvain, Carine, Hassan,
Mohammad, Song et Cristina. Je remercie enfin ma famille, mes parents et mes surs pour
leur continuel soutien. Je ddie tout particulirement ce travail ma grand-mre.

ii

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Rsum
Cette thse traite de la rduction dordre de modle du phnomne communment rencontr
dans la modlisation de microsystmes, savoir, dans la littrature anglaise, le squeeze-film
damping . Dans un premier chapitre sont prsentes les diffrentes mthodes de rduction
dordre de modle. Dans le cas des systmes linaires, elles ont un cadre thorique bien tabli.
Ces mthodes peuvent tre adaptes pour les systmes non-linaires. La validit des modles
rduits rsultants sera alors rduite un certain espace des phases, leur tablissement faisant
intervenir certaines trajectoires particulires servant dapprentissage. On prsente finalement
la mthode des modes normaux non-linaires dont les modles rsultants ne dpendent pas
dune trajectoire dapprentissage.
Au chapitre 2, on sintresse plus particulirement au phnomne de squeeze-film
damping rgi par lquation de Reynolds. Aprs avoir dtaill son tablissement partir de
certaines hypothses, on dcrit les diffrentes mthodes de rsolution de lquation linaire
puis non-linaire de la littrature. On compare ensuite les rsultats dun modle de lquation
de Reynolds des simulations lments finis de lquation de Navier-Stokes afin de valider
les hypothses faites pour la drivation de lquation de Reynolds. On propose ensuite une
rsolution originale par changement de variable. On tudie aussi plusieurs autres rsolutions
possibles ainsi que plusieurs bases de projection parmi celles dcrites dans le premier
chapitre.
Le chapitre 3 est consacr la modlisation du problme coupl que constitue le microinterrupteur MEMS qui est un candidat au remplacement des interrupteurs base de
transistors dans les communications RF. Sa modlisation fait intervenir trois domaines, la
mcanique, llectrostatique, et la fluidique travers lquation de Reynolds. Aprs voir dcrit
les diffrents modles de la littrature, on propose un modle rduit coupl dont le modle
fluidique est bas sur le modle tabli au chapitre 2. Ce modle est valid par rapport des
modles diffrences finies et des rsultats exprimentaux de la littrature.
Enfin le quatrime chapitre traite de la rduction du cot dvaluation du modle rduit
coupl de micro-interrupteur du chapitre 3. La premire mthode propose consiste trouver
une fonction dapproximation de la projection de la force fluidique sur le premier mode
mcanique, fonction des coordonnes modales mcaniques position et vitesse. Cette mthode
ne se rvle valable que dans le cas incompressible. Dans le cas compressible, la rsolution de
lquation de Reynolds restant obligatoire, on utilise la mthode de Rewienski et al. qui
consiste linariser par morceaux les fonctions rgissant la dynamique. Une autre mthode de
linarisation par morceaux, tirant parti dune particularit du modle du chapitre 2 et
permettant de saffranchir dune trajectoire dapprentissage, est galement propose.

iii

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Abstract
This thesis deals with reduced-order modelling of squeeze-film damping, a fluidic
phenomenon that is commonly encountered in MEMS. In the first chapter, reduced-order
modelling methods are presented. For linear systems, well-established theories exist. They
can be adapted to nonlinear systems. However, the resulting reduced-order models are valid in
a certain region of the state-space only, depending on the training trajectory. The method of
nonlinear normal modes, which does not depend on a training trajectory is also introduced.
Chapter two is focused on the squeeze-film damping phenomenon governed by the Reynolds
equation. We first establish the equation from appropriate hypotheses, and then present the
different resolutions of its linear and nonlinear form found in literature. The results from a
model based on the Reynolds equation are then compared to results from a finite element
Navier-Stokes model, in order to validate the various hypotheses made. An original method of
resolution based on a change of variable is then proposed. Several other method of resolution
are studied as well as different projection bases amongst those presented in chapter one.
Chapter three is dedicated to the modelling a micro-switch, a candidate to the replacement of
switches based on transistors in RF communications. Its modelling implies the coupling of
three domains: mechanics, electrostatics, and fluidics with Reynolds equation. Following a
description of the models from literature, a coupled model is proposed, the fluidic model
being the one presented in chapter two. This model is validated compared to finite difference
models as well as experimental data from the literature.
Finally, the fourth chapter aims at reducing the evaluation cost of the coupled micro-switch
model established in chapter three. The first method consists in finding an approximation
function of the projection of the fluidic force on the first linear mechanical mode as a function
of the mechanical modal coordinates, position and speed. This method is applicable in the
incompressible case only. In the compressible case, the Reynolds equation has to be solved.
The method of Rewienski and al., which consists in piecewise-linearizing the functions
governing the dynamics, is used. Another method based on a piecewise-linear approach,
taking advantage of the particular structure of the model presented in chapter two, thus not
depending on a training trajectory, is proposed.

Mots cls: microsystmes, micro-interrupteur, squeeze-film damping, quation de Reynolds,

mode normaux non-linaires, rduction dordre de modle, dcomposition propre
orthogonale, base Krylov.

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Introduction gnrale.................................................................................................................. 1
Chapitre 1
Rduction dordre de modles............................................................................ 3
1.1.
Introduction ................................................................................................................ 3
1.2.
Rduction dordre des systmes linaires .................................................................. 5
1.2.1.
Vecteurs propres................................................................................................. 6
1.2.2.
Approximation de Pad...................................................................................... 7
1.2.3.
Troncature balance ........................................................................................... 8
1.2.4.
Comparaison..................................................................................................... 10
1.3.
Rduction dordre des systmes non-linaires ......................................................... 10
1.3.1.
Gnralits........................................................................................................ 10
1.3.2.
Choix dune base de projection ........................................................................ 10
1.3.2.1.
Dcomposition propre orthogonale (POD) .............................................. 11
1.3.2.2.
Troncature balance ................................................................................. 14
1.3.2.3.
Concatnation de bases de Krylov ........................................................... 14
1.3.3.
Evaluation des termes non-linaires................................................................. 15
1.3.3.1.
Utilisation dun dveloppement limit..................................................... 15
1.3.3.2.
Utilisation dune approximation de f........................................................ 15
1.3.3.3.
Linarisation par morceaux ...................................................................... 16
1.3.3.4.
Comparaison des diffrentes approches ................................................... 18
1.3.4.
Stabilit, passivit............................................................................................. 18
1.4.
Modes propres non-linaires. ................................................................................... 18
1.4.1.
Introduction ...................................................................................................... 18
1.4.2.
Equation rgissant les varits invariantes....................................................... 20
1.4.3.
Dtermination des varits ............................................................................... 21
1.4.3.1.
Dveloppement asymptotique ................................................................. 21
1.4.3.2.
Mthode de Galerkin ................................................................................ 24
1.4.3.3.
Formes normales ...................................................................................... 26
1.4.3.4.
Utilisation de la priodicit du mouvement ............................................. 28
1.4.3.5.
Prise en compte de la force extrieure dans ltablissement du MNN..... 28
1.4.3.6.
Systme soumis lamortissement dun film dair compress [Westby
2003]
29
1.4.4.
Conclusion........................................................................................................ 30
1.5.
Couplage................................................................................................................... 32
1.6.
Conclusion................................................................................................................ 33
Chapitre 2
Rsolution de lquation de Reynolds.............................................................. 34
2.1.
Etablissement et rsolution de lquation de Reynolds............................................ 35
2.1.1.
Etablissement de lquation de Reynolds......................................................... 35
2.1.2.
Equation de Reynolds linarise ...................................................................... 38
2.1.2.1.
Rsolution analytique ............................................................................... 38
2.1.2.2.
Rsolution numrique .............................................................................. 40
2.1.2.3.
Modle quivalent circuit du squeeze-film damping ......................... 40
2.1.3.
Rsolution de lquation de Reynolds linarise autour dun point de
fonctionnement................................................................................................................. 42
2.1.4.
Rsolution de lquation de Reynolds non-linaire ......................................... 43
2.2.
Equation de Navier-Stokes/ Equation de Reynolds ................................................. 44
2.2.1.
Modle Navier Stokes 2D / Modle Reynolds 1D ........................................... 44
2.2.2.
Modle Navier Stokes 3D / Modle Reynolds 2D ........................................... 45
2.3.
Modle rduit de lquation de Reynolds linaire : application la rponse
frquentielle.......................................................................................................................... 46
2.3.1.
Analyse............................................................................................................. 46

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2.3.2.
Application numrique ..................................................................................... 48
2.4.
Modle rduit de lquation de Reynolds non-linaire : changement de variable ... 52
2.4.1.
Hypothse des petites variations de pression ................................................... 52
2.4.2.
Changement de variable ................................................................................... 53
2.4.3.
Mthode de rsolution numrique.................................................................... 54
2.4.4.
Modes propres du Laplacien ............................................................................ 56
2.4.5.
Validation du modle ....................................................................................... 56
2.4.6.
Intrt du changement de variable ................................................................... 58
2.4.6.1.
Rsultats ................................................................................................... 59
2.4.6.2.
Considrations thoriques ....................................................................... 61
2.5.
Choix dune base de projection de lquation de Reynolds non-linaire................. 62
2.5.1.
Modes propres du Laplacien ............................................................................ 62
2.5.2.
Base de Krylov (Approximant de Pade) .......................................................... 64
2.5.3.
Modes issus de la dcomposition propre orthogonale. .................................... 66
2.5.3.1.
Extraction des modes : Dcomposition propre orthogonale .................... 66
2.5.3.2.
Rsultats : systme linaire /systme non-linaire ................................... 70
2.5.3.3.
Changement de paramtres : pression ambiante, amplitude, frquence... 71
2.5.3.4.
Changement de gomtrie. ....................................................................... 71
2.5.4.
Comparaison des diffrentes bases de projection ............................................ 72
2.5.4.1.
Approximation du systme linaire.......................................................... 72
2.5.4.2.
Approximation du systme non-linaire .................................................. 74
2.6.
Conclusion gnrale ................................................................................................. 77
Chapitre 3
Rduction dordre de modle dun systme coupl ......................................... 78
3.1.
Micro-interrupteur MEMS ....................................................................................... 78
3.1.1.
Principe de fonctionnement.............................................................................. 78
3.1.2.
Physique dun micro-interrupteur actionn de manire lectrostatique........... 80
3.1.2.1.
Mcanique ................................................................................................ 80
3.1.2.2.
Actionnement lectrostatique ................................................................... 81
3.1.2.3.
Phnomnes lectrothermiques ................................................................ 83
3.1.2.4.
Amortissement ......................................................................................... 83
3.1.3.
Rponse frquentielle du systme coupl ........................................................ 84
3.1.3.1.
Modles de la littrature ........................................................................... 84
3.1.3.2.
Rponse frquentielle du systme coupl ................................................ 84
3.1.4.
Modles rduits de micro-interrupteur ............................................................. 87
3.1.4.1.
Modle de [Gabbay 1998] /[Mehner 2000].............................................. 87
3.1.4.2.
[Hung 1999], [Rewienski 2003 B], [Chen 2004]. .................................... 89
3.2.
Modle coupl fluide-structure dun micro-interrupteur contact capacitif ........... 90
3.2.1.
Equations .......................................................................................................... 90
3.2.2.
Modle rduit ................................................................................................... 90
3.2.2.1.
Euler-Bernoulli......................................................................................... 90
3.2.2.2.
Equation de Reynolds............................................................................... 92
3.2.2.3.
Modle coupl .......................................................................................... 92
3.2.3.
Importance de lamortissement dans la dynamique du systme tudi. .......... 93
3.2.3.1.
Cas tudi ................................................................................................. 93
3.2.3.2.
Importance de lamortissement du film dair dans la dynamique ............ 93
3.2.3.3.
Incompressibilit / Petite variation de pression................................... 95
3.2.3.4.
Importance du modle de la viscosit ...................................................... 98
3.2.4.
Validation du modle : comparaison un modle diffrences finies............... 99
3.2.4.1.
Modle diffrences finies ......................................................................... 99
3.2.4.2.
Rsultats ................................................................................................. 101

vi

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3.2.5.
Validation du modle : comparaison des rsultats de la littrature. ............ 106
3.2.5.1.
Modles diffrences finies de la littrature ............................................ 106
3.2.5.2.
Donnes exprimentales......................................................................... 113
3.3.
Conclusion.............................................................................................................. 114
Chapitre 4
Evaluation des termes non linaires ............................................................... 116
4.1.
Introduction ............................................................................................................ 116
4.2.
Approximation globale de la force fluidique ......................................................... 116
4.2.1.
Approximation analytique de la force fluidique pour les poutres troites ..... 117
4.2.2.
Approximation numrique de la force fluidique pour les poutres larges ....... 118
4.2.2.1.
Trajectoire dapprentissage. ................................................................... 119
4.2.2.2.
Approximation de F ............................................................................... 121
4.2.3.
Rsultats ......................................................................................................... 122
4.2.3.1.
Actionnement lectrostatique ................................................................. 122
4.2.3.2.
Force uniforme sinusodale .................................................................... 125
4.2.4.
Conclusion...................................................................................................... 128
4.3.
Modle linaris par morceaux [Rewienski 2003 B] ............................................. 129
4.3.1.
Mthode [Rewienski 2003 B] ........................................................................ 129
4.3.1.1.
Choix des points de linarisation ........................................................... 129
4.3.1.2.
Calcul des poids ..................................................................................... 130
4.3.2.
Linarisation par morceaux dun modle rduit de micro-interrupteur ......... 132
4.3.2.1.
Modle rduit utilis............................................................................... 132
4.3.2.2.
Choix des points de linarisation ........................................................... 133
4.3.2.3.
Calcul de la valeur des fonctions et des jacobiens ................................. 134
4.3.2.4.
Rsultats : trajectoire dapprentissage=trajectoire de simulation........... 134
4.3.2.5.
Rsultats : domaine de validit des modles .......................................... 139
4.3.3.
Linarisation par morceaux dun modle diffrences finies de microinterrupteur. .................................................................................................................... 142
4.3.3.1.
Modle diffrences finies ....................................................................... 142
4.3.3.2.
Rsultats ................................................................................................. 143
4.4.
Linarisation des coefficients du modle rduit..................................................... 145
4.4.1.
Principe........................................................................................................... 145
4.4.2.
Validation ....................................................................................................... 146
4.5.
Conclusion.............................................................................................................. 148
4.6.
Conclusion gnrale ............................................................................................... 150
Conclusion gnrale ............................................................................................................... 152
Rfrences .............................................................................................................................. 154
Annexe A Navier-Stokes ANSYS.......................................................................................... 159
Annexe B Equation des poutres dEuler Bernoulli ................................................................ 163
Annexe C Modle diffrences finies de lquation de Reynolds ........................................... 167
Annexe D Processus dArnoldi .............................................................................................. 168
Annexe E Modle diffrences finies coupl........................................................................... 169
Annexe F Modle linariss par morceaux : calcul des jacobiens ......................................... 171
Annexe G Modle rduit coupl incompressible ................................................................... 174

vii

Introduction gnrale
Les microsystmes ou MEMS (Micro-electromechanical systems)

sont des composants

mcatroniques de petite taille intgrant sur un substrat en silicium, des mcanismes base de
composants mcaniques simples, des capteurs, des actionneurs et toute la connectique reliant
cette cellule physique des dispositifs lectroniques de traitement de linformation associe.
Les microsystmes sont dvelopps dans des domaines aussi varis que la biologie, les
communications RF (filtre, interrupteur.) ou loptique. La partie physique dun
microsystme se caractrise par linteraction de plusieurs domaines, les plus souvent
rencontrs tant llectrostatique, la mcanique et la mcanique des fluides, les transferts
thermiques ou encore la pizo-lectricit. La modlisation fine de ces phnomnes coupls,

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rgis en gnral par des quation aux drives partielles non-linaires, ncessite le recours
des mthodes numriques du type diffrences finies, lments frontires ou lments finis.
Les modles rsultant de lapplication de ces mthodes comportent un nombre extrmement
lev de degrs de libert. Ils sont donc peu maniables, a fortiori pour des simulations
conjointes du microsystme et de llectronique associe. Or de bons outils de simulation,
cest--dire la fois peu gourmands en ressources et prcis, sont ncessaires la conception
des MEMS, pour viter un prototypage physique coteux.
La rduction dordre de modle est une dmarche consistant construire des modles ayant
un nombre de variable dtats rduit par rapport au modle original mais rendant compte de la
complexit du comportement du systme avec une bonne prcision. Avant lessor des
microsystmes, ces mthodes de rduction dordre de modle ont t dveloppes pour la
simulation de circuits intgrs pour lesquels les macromodles utiliss dans des logiciels
comme SPICE par exemple ne suffisent plus [Rewienski 2003 A]. Les mthodes de rduction
dordre de modle sont trs diverses et leur tude recouvre des aspects la fois thoriques et
pratiques, dont on rend compte au chapitre 1 de ce mmoire. Les composants MEMS
actionns de manire lectrostatique, et plus particulirement les micro-interrupteurs, sont les
composants ayant le plus donn lieu des dveloppements de modles dordre rduit
([Gabbay 1999], [Mehner 2000], [Hung 1999], [Rewienski 2003], [Chen 2004], [Yang 2004],
[Younis 2004]), du fait de la richesse et de la complexit des interactions entre les
phnomnes rgissant leur comportement. Dans ce mmoire, on sintressera essentiellement
la modlisation dun micro-interrupteur qui est un systme coupl mcaniquelectrostatique-fluidique. Au chapitre 2, on dveloppe un modle rduit original du
phnomne de squeeze-film damping : ce phnomne rgit les pertes dnergie dans un
1

film dair mince compris entre deux structures se rapprochant ou sloignant. La modlisation
prcise de ce phnomne est ncessaire pour dterminer des grandeurs telles que le temps de
commutation des micro-interrupteurs. Au chapitre 3, on montre comment ce modle rduit
peut sintgrer un modle coupl de lensemble du systme. Les rsultats obtenus sont
compars ceux donns par des approches pr-existantes. Le chapitre 4 est ensuite consacr
la rduction du cot dvaluation du modle du systme complet. Ce mmoire sachve par
une conclusion gnrale synthtisant lensemble du travail effectu et dgageant des

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

perspectives de recherche.

Chapitre 1

Rduction dordre de modles

1.1. Introduction
Lintrt pour les mthodes de rduction dordre de modle a t motiv par lapparition de
systmes dynamiques dordre important, lis lmergence du calcul sur ordinateur et des
mthodes de rsolution numrique du type lments finis. De telles mthodes pour systmes
non-linaires dordre important ont t plus particulirement dveloppes dans le cadre de la
mcanique des fluides. Une des premires contributions concernant ce domaine est [Sirovich
1987].

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Pour poser le problme, nous allons nous intresser la dynamique dune poutre dEulerBernoulli encastre-encastre, problme qui nous servira par la suite. Lquation linaire
associe aux conditions aux limites et aux conditions initiales rgissant la dynamique du
systme libre est :

2w
4w
=

EI
t 2
x 4

(1-1a)

w(0, t ) = w( L, t ) = 0, w' (0, t ) = w' ( L, t ) = 0

w( x,0) = f ( x)

(1-1b)

(1-1c)

w est le dplacement vertical de la poutre, I est le moment dinertie, A laire le la section L la

longueur, E le module dYoung, la masse volumique du matriau, x la position sur la
longueur de la poutre et t le temps.
On sait que la dynamique du systme libre est caractrise par la superposition des vibrations
des modes propres de la poutre. En pratique, on peut ne retenir quun nombre fini de modes,
la connaissance du systme est alors ramene la connaissance de N1 coordonnes modales.
N1 est lordre du systme. A un instant t donn, on est pass de lespace de dimension infinie
des fonctions w(x) de [0, L] dans IR un espace de dimension finie IRN1. La dynamique sur
ces coordonnes modales est donne par la mthode de Galerkin qui consiste projeter (1-1a)
sur les N1 modes slectionns. On obtient N1 quations diffrentielles ordinaires dcouples.
On peut aussi discrtiser (1-1) dans lespace et obtenir un modle diffrences finies (1-2)
dordre N2 gnralement trs grand devant N1.
 + Kw = 0 ,
Mw

(1-2)

o M et K sont respectivement la matrice de masse et la matrice de raideur associes la

discrtisation effectue et w un vecteur contenant les valeurs de w aux points de discrtisation.
Les vecteurs propres de la paire de matrices (M,K) sont aussi les modes propres discrtiss de
lquation (1-1). De mme que pour lquation diffrentielle partielle, on peut considrer que
la dynamique peut tre dcrite par un nombre fini de modes dominants. Soit une matrice V
ayant comme vecteurs colonnes les N1 premiers vecteurs propres de (M,K). On peut alors
passer aux coordonnes modales z en posant :
w = Vz .

On projette ensuite (1-2) sur le sous espace reprsent par les vecteurs de V :
V T MVz + V T KVz = 0 ,

(1-3)

o VT est la matrice transpose de V.

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Lquation obtenue est une approximation numrique de celle obtenue par la projection de (11).
Si on introduit maintenant un terme non-linaire via une excitation lectrostatique par une
lectrode de mmes dimensions que la poutre, place en de une distance G.
Poutre-lectrode
mobile
lectrode fixe

Figure 1-1 Poutre actionne lectrostatiquement

Avec lapproximation des capacits planes, la densit linique de force vaut :

0WV 2

1
(1-4)
2 (G w( x, t )) 2
o W est la largeur de la poutre, G lentrefer au repos, 0 la permittivit lectrique du vide, V
Felec ( x, t ) =

la tension applique.
Dans le cas de lquation diffrentielle partielle, alors que les intgrales dans lespace
rsultant de la projection des termes linaires peuvent tre calcules une fois pour toutes, celle
impliquant la projection de Felec ncessite dtre recalcule chaque pas de temps, ceci
passant par un retour aux coordonnes initiales. Les oprations sont exactement les mmes
pour un code diffrences finies. Ainsi ds que lquation devient non-linaire, la mthode de
la projection modale perd en partie son intrt. Il serait intressant dtablir une mthode
permettant de rduire le cot dvaluation de ces termes non-linaires.

Nous avons dgag ici les deux points cls dune mthode de rduction dordre de modle : le
choix d'une base de projection de lquation originale et le cot dvaluation des termes nonlinaires. Nous traiterons ces deux problmatiques pour les systmes linaires dans une
premire partie puis non-linaires dans une deuxime partie.
On remarque par ailleurs que contraindre le mouvement un mode propre linaire revient
ramener la description du dplacement au dplacement dun point particulier de la poutre.
Connatre le dplacement dun point particulier de la poutre ou la valeur de la coordonne
modale revient au mme. Contraindre le dplacement un mode propre linaire revient
contraindre les valeurs du dplacement en diffrents points de la poutre tre des fonctions
linaires de la valeur du dplacement dun point choisi. Lapproche des modes propres nonlinaires consiste rduire lordre du modle en tablissant des relations invariantes entres

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des variables dtats matres et des variables dtats esclaves. La dynamique du modle est
donc ramene la dynamique des variables matres. On peut considrer que cette approche
tend les modes propres linaires au domaine non-linaire. Une troisime partie traitera donc
des modes normaux non-linaires, des diffrentes approches associes ce terme ainsi que de
son application dans le domaine des microsystmes. La rsolution des systmes coupls sera
aussi aborde en fin de chapitre.

De manire plus gnrale, les critres de qualit dun modle dordre rduit sont :

le cot de construction du modle, qui comprend notamment le cot dune possible

estimation de lerreur, utile pour optimiser le choix de lordre du modle rduit.

le cot dvaluation du modle.

la qualit de lapproximation ralise, ou, au moins, une bonne estimation de lerreur

dapproximation.

On veillera ainsi prsenter les diffrentes mthodes dans cette perspective.

1.2. Rduction dordre des systmes linaires

On se base sur la reprsentation dtat dun systme linaire dordre N :

Cx + Gx = Bu
,

T
y = L x

(1-5)

o x IR N est le vecteur dtat, y IR q le vecteur des variables observes, u IR p le

vecteur des entres, C IR N N , G IR N N , B IR N p , L IR N q . Ce systme peut tre issu
5

de la discrtisation dans lespace via une mthode lments finis ou diffrences finies dun
systme dquations diffrentielles partielles.
On cherche un nombre rduit k (petit devant N) de vecteurs de lespace dtat qui caractrisent
bien la dynamique du systme. Autrement dit, on cherche un sous-espace de dimension k de
lespace dont la base serait constitue des k vecteurs colonnes dune matrice

V = {v 1 , v 2 ,..., v k }. Il sagit dy projeter la dynamique du systme. On obtient le modle

rduit suivant :
C k z + G k z = B k u

(1-6a)

y = LTk z

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avec

X = VZ

T
Ck = V CV

T
G k = V GV .

T
B k = V B
LTk = LT V

(1-6b)

[Bai 2002] recense de nombreuses mthodes de choix et de construction dune base de

projection. On prsente ici les approches les plus couramment utilises.

1.2.1. Vecteurs propres

La mthode la plus immdiate pour rduire lordre dun modle consiste slectionner k
vecteurs propres de la paire de matrices (C,G). On obtient des valeurs propres qui peuvent
tre complexes. La partie imaginaire correspond la frquence propre associe au vecteur
propre. Dans ce cas on peut slectionner les vecteurs propres dont les frquences propres sont
proches de la frquence de fonctionnement du systme. On obtient une approximation de la
fonction de transfert qui est de bonne qualit dans le domaine recouvrant les frquences
propres slectionnes et mauvaise ailleurs.

Dans le cas dun systme diffrentiel du deuxime ordre, il est intressant de conserver sa
forme et dutiliser les vecteurs propres correspondant aux matrices de raideur et de masse du
systme. Ils conservent une signification physique que nauront pas les vecteurs propres du
systme mis sous forme dtat. Dans le cas o le modle est utilis dans un cadre autre que les
vibrations, la slection des vecteurs propres formant la base rduite peut se faire en valuant
leur pertinence dans une simulation statique correspondant au domaine de fonctionnement du
systme [Gabbay 2000].
6

1.2.2. Approximation de Pad

Lapproximation de Pad consiste trouver un modle dordre rduit k, tel que les 2k
premiers moments de la fonction de transfert du modle rduit dveloppe autour dune
frquence s0 aient la mme valeur que ceux du systme original.
On sintresse aux systmes SISO (Single Input, Single Output) o lentre et la sortie sont de
dimension 1. B et L dans la reprsentation (1-5) deviennent b et l. On passe dabord dune
reprsentation dtat caractrise par G, C, b et l une reprsentation caractrise par A, r et
l o :
A = (G + s0C) 1 C

r = (G + s0C) 1 b

(1-7)

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Ainsi le systme nest plus caractris que par une matrice A la place de deux matrices C et
G. La fonction de transfert est exprime en fonction de A, r et l. Il sagit maintenant de
trouver la fonction de transfert du modle dordre rduit k dont les 2k premiers moments sont
gaux ceux du systme original. On ne passe pas par le calcul direct des moments de la
fonction de transfert qui est en gnral un problme mal conditionn qui ne peut tre rsolu
que pour de trs petits ordres (petite valeur de k). On utilise les sous-espaces de Krylov de
dimension k dfinis par :
K r ( A, r ) = vect{r, Ar, A 2 r,..., A k 1 r}
K r ( A T , l ) = vect {l, A T l, ( A T ) 2 r,..., ( A T ) k 1 r}

(1-8)

Les vecteurs gnrant les sous-espaces de Krylov contiennent linformation dsire mais ne
sont pas pratiquement utilisables comme vecteurs de base. On gnre la base de projection via
le processus de Lanczos. Ce processus est connu sous le nom de PVL (Pad via Lanczos). Les
algorithmes les plus couramment cits sont SyMPVL, PRIMA, MPVL [Bai 2002]. Le
processus de Lanczos gnre deux bases Wk et Vk, bases des deux espaces de Krylov (1-8).
Ce processus tridiagonalise A. Si on larrte la kime tape on obtient une matrice
tridiagonale Tk partir de laquelle on dfinit une fonction de transfert approche H k (s ) qui
se rvle tre lapproximant de Pade de la fonction de transfert originale. Pour le modle
rduit dans le domaine temporel, on passe dabord par les transformations qui amnent une
reprsentation en A, r, l, puis on fait le changement de variable x = Vk z puis on projette
lquation de la dynamique sur la base Wk.
[Rewienski 2003 B] et [Chen 2004] dterminent la base de Krylov pour un dveloppement
autour de la frquence s0=0 par le processus dArnoldi. Le processus dArnoldi ne gnre
quune base qui sert la fois pour le changement de variable et pour la projection de

lquation inchange par rapport la reprsentation (1-5). On obtient une approximation

locale du modle dans lespace des frquences.
La base de Krylov prsente linconvnient de ne pas avoir de signification physique part le
premier vecteur qui correspond au systme sous contrainte statique dans le cas o on
dveloppe la fonction de transfert autour de la frquence nulle. Un systme trs peu dissipatif
va ncessiter une base de Krylov importante pour couvrir les changements importants de sa
fonction de transfert. On peut aussi gnrer plusieurs bases de Krylov associes des plages
de frquences diffrentes.
Se pose le problme du choix de lordre k du modle dordre rduit. Une estimation de
lerreur au cours du processus de Lanczos est propose dans [Bai 2002] afin de dcider du
point darrt. Une autre approche mentionne consiste considrer le modle rduit comme

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un modle complet perturb, ce qui est appel backward error analysis . Des mthodes de
traitement a posteriori du systme (mthode PVL) ont t mises au point pour conserver la
stabilit et la passivit au systme.

1.2.3. Troncature balance

Une autre mthode courante de rduction dordre de modle est la troncature balance
[Scherpen 1993] [Rowley 2005]. Pour un systme linaire ou non-linaire, cette mthode
repose sur la dfinition de fonctions de commandabilit et dobservabilit, qui sont des
fonctions de ltat du systme. La fonction de commandabilit traduit lnergie ncessaire
pour atteindre un certain tat partir de conditions initiales dfinies, la fonction
dobservabilit traduit lnergie de sortie pour un tat initial donn et une entre nulle. Elles
permettent de caractriser limportance relative de diffrents tats. Cette information peut
servir slectionner des tats pour tablir une base de projection pour un modle rduit.
Dans le cas dun systme linaire dordre N dfini par (1-9), ces fonctions peuvent sexprimer
simplement par le biais de deux matrices, les grammiens de commandabilit Wc et
dobservabilit Wo (1-10), qui sont les solutions des quations de Lyapunov (1-11). x IR N
est ltat du systme, u IR p les entres et y IR q les sorties.
x = Ax + Bu

(1-9)

y = Cx

A t

Wc = e BB e
At

dt

AWc + Wc A + BB = 0

Wo = e At C Ce A t dt

(1-10)

A Wo + Wo A + C C = 0

(1-11)

o A est la matrice transpose conjugue de A.

Lnergie fournir en entre pour atteindre un tat x1, ltat initial tant lquilibre du
systme, est alors donne par :
x*1 Wc x1

(1-12a)

Lnergie en sortie pour un tat initial x 0 et une entre nulle est :

x *0 W0 x 0

(1-12b)

Si le systme est observable et commandable, il existe une base de lespace dtat dans
laquelle les grammiens de commandabilit et dobservabilit sont diagonalisables et gaux :
T 1 Wc T 1* = T * WO T = (1-13)

On effectue le changement de variable z=Tx. Les lments 1 ,..., N de la matrice diagonale

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sont appeles les valeurs singulires de Hankel. Les tats correspondant aux valeurs les plus
importantes sont les tats la fois les plus commandables et les plus observables. La base de
projection pour le modle rduit est alors donne par les k premiers tats correspondant aux
valeurs de Hankel les plus importantes.
Daprs [Rowley 2005], lerreur sur la fonction de transfert de ce modle est proche de la plus
petite erreur que lon puisse avoir pour un systme rduit dordre donn k. Une bonne
estimation de lerreur est donne par:

G G rom

<2

(1-14)

i = k +1

o G est la fonction de transfert. Cette mthode est souvent utilise en contrle car elle fait
intervenir de faon prononce le comportement entre-sortie du systme.
[Rowley 2005] dveloppe une mthode quil appelle dcomposition propre orthogonale
balance qui correspond une mthode numrique permettant de raliser la troncature
balance sans passer par la rsolution des quations de Lyapunov, tout en obtenant les mmes
rsultats. Il fait galement le rapport entre cette mthode et la dcomposition propre
orthogonale que nous verrons au paragraphe 1.3.2.1. Les fonctions de bases sont dtermines
directement partir des rponses impulsionnelles du systme sans avoir calculer les
grammiens. Cette mthode a t applique par [Vasilyev 2003] dans le cadre dune poutre
actionne lectrostatiquement.
Un modle rduit par la mthode de la troncature balance est ncessairement stable.
Lquivalence entre la dcomposition propre orthogonale balance et la troncature balance
permet de garantir la stablit du modle rduit issu de la dcomposition propre orthogonale.

1.2.4. Comparaison
La dtermination des grammiens dans la mthode de la troncature balance, quelle soit issue
de la rsolution rigoureuse des quations de Lyapunov ou de simulations du systme complet
est coteuse alors que la dtermination de lapproximant de Pad via les algorithmes dcrits
par Bai est plus directe. Lapproximant de Pad ne donne nanmoins quune approximation
locale dans lespace des frquences alors que la troncature balance couvre a priori tout le
spectre. Des bases de Krylov peuvent toutefois tre gnres autour de diffrentes frquences.
Un modle rduit issu de la troncature balance est ncessairement stable alors quune
projection sur une base de Krylov ncessite parfois des traitements a postriori afin de

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garantir la stabilit.

1.3. Rduction dordre des systmes non-linaires

1.3.1. Gnralits
De la mme manire que pour un systme linaire, on va chercher un sous-espace de lespace
dtat sur lequel projeter la dynamique du systme.
x = f(x) + Bu

y = Cx

(1-15).

On rappelle que ce systme de grand ordre est en gnral issu de la discrtisation spatiale dun
systme dquations aux drives partielles non-linaires.
Aprs projection du systme dquations diffrentielles ordinaires (1-15) sur un sous espace
de lespace des phases caractris par la base V = {v 1 , v 2 ,..., v k }de dimension k<<N on
obtient un systme dordre rduit de la forme (1-16) :
x = Vz

T
T
z = V f(Vz) + V Bu
y = CVz

(1-16)

Lvaluation des termes non-linaires f(Vz) ncessitant le retour aux coordonnes initiales
reste trs coteuse. Les deux points cls sont donc la base de projection et ventuellement le
choix dune mthode qui rduit le cot de calcul de ces termes non-linaires.

1.3.2. Choix dune base de projection

Le choix de la base de projection peut se faire par les mthodes dcrites pour les systmes
linaires partir du modle linaris autour dun tat dquilibre. Les modes propres linaires

10

de la structure mcanique sont par exemple souvent utiliss [Anantasuresh 1996], [Gabbay
2000]. [Gabbay 2000] prend lexemple dune poutre encastre-encastre et utilise comme
base de projection un certain nombre de modes linaires. Il tablit une expression approche
de lnergie mcanique non-linaire fonction des coordonnes modales partir de donnes
issues de simulations lments finis. Il constate que cette mthode ne permet pas de rendre
compte correctement de la raideur de la structure. Les effets des contractions de Poisson sur
lnergie du systme ne sont en effet pas correctement pris en compte lorsquon rduit la
dynamique aux modes linaires. Ainsi il est aussi pertinent de chercher tenir compte des
non-linarits du systme dans ltablissement de la base de projection.

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1.3.2.1. Dcomposition propre orthogonale (POD)

On retrouve aussi cette mthode sous le nom de mthode de Karhunen-Love ou de POD
(Proper Orthogonal Decomposition). Elle a t, lorigine, dveloppe dans le cadre de la
mcanique des fluides, dont les systmes sont de trs grand ordre et non-linaires [Sirovich
1987]. Soit un systme rgi par une quation aux drives partielles dont on cherche la
solution b( x, t ). dfinie sur le domaine spatial . [Sirovich 1987] introduit la fonction de
corrlation du processus rgi par lEDP :

K ( x, x' ) = b( x, t )b( x' , t )

o

(1-17)

reprsente loprateur moyenne sur le temps.

Il cherche alors les fonctions propres de loprateur intgral suivant :

K ( x, x' )v( x' )dx' = v( x)

(1-18)

Ces fonctions maximisent la quantit suivante :

(v( x), b( x, t ))

(1-19)

o le produit scalaire est dfini par

( f , g) =

f ( x)v( x)dx . Ce terme correspond donc

lnergie moyenne du systme projet sur la fonction propre v(x). La difficult consiste
dterminer ces fonctions propres pour des systmes discrtiss dont le nombre de variables
dtat est alors de grand ordre. On est ramen un problme aux valeurs propres dont la
dimension est trop importante. [Sirovich 1987] introduit alors la mthode des instantans qui
ramne le problme la dtermination des vecteurs propres dune matrice dont la dimension
est le nombre dinstantans relevs M. Plus prcisment, si on relve M vecteurs dtat des

11

intervalles de temps gaux {b 1 , b 2 ,..., b M } , on est ramen la dtermination des vecteurs

propres {w 1 , w 2 ,..., w M } de la matrice B T B o les colonnes de B sont constitues des
instantans relevs. La fonction de corrlation peut scrire :
T

1
K ( x, x ' ) =
T

1
b( x, t )b( x' , t )dt
M

bk ( x )bk ( x' ) (1-20)

k =1

Les fonctions propres v(x) peuvent alors sexprimer comme une combinaison linaire des
instantans :
M

v( x) = wk bk ( x)

(1-21)

k =1

Si on remplace (1-20) et (1-21) dans (1-18) on obtient un problme aux valeurs propres :

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Cw = w

(1-22)

o w = ( w1 , w2 ,..., wM ) T
et C ij =

1
M

bi ( x)b j ( x)

1 T
bi b j
M

Les vecteurs {v 1 , v 2 ,..., v M } qui correspondent aux fonctions de bases cherches sont donns
par :

v k = Bw k

{v

(1-23)

, v 2 ,..., v M }sont des vecteurs propres de la matrice BB T de dimension N, lordre du

systme discrtis.
Une autre manire de traiter le problme est de raliser une dcomposition en valeurs
singulires de la matrice B. On crit :
B = VEW T

(1-24)

diag ( 1 , 2 ,..., M )
o E =
, et V et W sont des
...

matrices

{v

orthogonales

contenant

les

vecteurs

propres

, v 2 ,..., v M }, {w 1 , w 2 ,..., w M } mentionns prcdemment [Hung et al. 1999].

Les vecteurs de la base {v 1 , v 2 ,..., v M } sont les vecteurs qui minimisent lerreur de projection
Er des instantans sur une base de dimension M.

12

Er ( v 1 , v 2 ,..., v M ) =

b i proj (b i , sub( v 1 , v 2 ,..., v M )

(1-25)

i =1

Le vecteur le plus important correspond dans les deux cas (1-22) et (1-24) au vecteur associ
la plus grande valeur propre.
Daprs [Sirovich 1987], en mcanique des fluides, le nombre dinstantans extraire
correspond peu prs aux nombres de modes ncessaires pour que lnergie de la solution
projete soit au moins gale 99% de lnergie totale de la solution. Il propose une mthode
o il partitionne les M instantans en lot de Q vecteurs sur chacun desquels il effectue une
dcomposition propre orthogonale. Il fait ensuite la moyenne des vecteurs obtenus sur les
diffrents lots. [Hung 1999] construisent une base qui comprend jusqu 3 modes mcaniques

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et 3 modes de pression pour une poutre actionne lectrostatiquement soumise

lamortissement dun film dair compress partir de 400 instantans issus de simulations
pour 4 chelons de tension diffrents. La construction du modle rduit ncessite donc des
donnes issues dexpriences ou de simulations numriques, ce qui engendre un cot de
dpart important.
On peut avoir une ide de la validit du modle rduit, sachant que la fraction de lnergie du
systme contenue dans le sous-espace est :
k

i =1
M

(1-26)

i =1

o k est le nombre de vecteurs slectionns pour la base rduite parmi les M obtenus.
Toutefois les vecteurs dtat correspondant la plus grande nergie ne reprsentent pas
toujours bien la dynamique du systme notamment en mcanique des fluides, o certains tats
de basse nergie sont trs importants dynamiquement. Ce problme ne semble pas apparatre
dans le cas d'une poutre actionne lectrostatiquement qui nous intresse particulirement ici
[Hung 1999].
Les rsultats de cette mthode dpendent clairement des donnes exprimentales ou de la
simulation et du produit scalaire utiliss. Lapproximation de la dynamique du systme initial
na quune validit locale dans lespace des phases dpendant du choix des trajectoires
dapprentissage.
[Rowley 2005] fait le lien entre la POD et la troncature balance, qui se rvle tre une
dcomposition propre orthogonale pour un produit scalaire faisant intervenir le grammien
dobservabilit et des donnes particulires correspondant aux rponses impulsionnelles. On

13

peut utiliser ces liens pour analyser notamment la stabilit du systme dans le cadre de la
POD.

1.3.2.2. Troncature balance

La mthode de la troncature balance voque prcdemment pour des systmes linaires
peut tre tendue des systmes non-linaires en calculant les grammiens empiriquement
partir de donnes relles ou simules [Lall 2002]. Ces donnes correspondent des

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simulations/expriences prcises :

entres impulsionnelles pour le grammien de commandabilit.

conditions initiales dfinies et entres nulles pour le grammien dobservabilit.

Il est prouv que si lon considre un systme linaire, les grammiens calculs partir de ces
donnes correspondent bien aux grammiens thoriques, ils sont solution de lquation de
Lyapunov. Dans le cas dun systme non-linaire, on peut utiliser des entres autres que des
entres impulsionnelles afin de mettre en relief certaines caractristiques non-linaires.
Le cot de construction du modle parat assez important cause des simulations ncessaires
au calcul des grammiens.

1.3.2.3. Concatnation de bases de Krylov

Le modle de [Rewienski 2003 B] est un modle linaris par morceaux. Le modle est
linaris autour de diffrents points de lespace des phases. La base de projection choisie est
tout dabord une base de Krylov (cf 1.2.2) construite partir du modle linaris autour de
ltat dquilibre. Un point dquilibre pour un systme non-linaire dfini par (1-15) et une
entre nulle est un point x 0 pour lequel f (x0 ) = 0 . Il est stable si lorsque ltat du systme est
dplac dans un voisinage de x 0 , il reste au voisinage du point d quilibre. Les points
dquilibre considrs seront toujours stables. Dans un deuxime temps il cherche optimiser
le choix de cette base en construisant des bases de Krylov pour chaque point de linarisation
choisi. Le modle linaris autour dun point quelconque x i scrit :

x = f(x i ) + JF(x x i ) + Bu

y = Cx

(1-27)

o JF est la matrice jacobienne de la fonction f au point x i .

14

La base de Krylov tient compte de la distribution de lentre B . On remarque que pour les
points qui ne correspondent pas un point dquilibre, si lon essaye didentifier un systme
linaire dy type (1-9), il y a un terme f(x i ) JFi x i supplmentaire quon peut associer une
distribution de lentre B' , u tant un chelon de valeur 1. De ce fait [Rewienski 2003 B]
construit deux bases de Krylov associe deux distributions du vecteur dentre, lune
associe u , lautre une chelon de valeur 1. Il concatne ensuite les bases construites pour
chaque point de linarisation. Il orthogonalise cette base en ralisant une dcomposition en
valeurs singulires et en supprimant les vecteurs aux valeurs singulires les plus faibles pour
obtenir la base de projection finale.
A dimension de base gale, les rsultats sont meilleurs pour une concatnation dun ensemble
de base de Krylov issues de diffrents points de linarisation, que pour la base de Krylov issue

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

du modle linaris autour de lquilibre.

1.3.3. Evaluation des termes non-linaires

1.3.3.1. Utilisation dun dveloppement limit

On peut faire un dveloppement de Taylor de la fonction f. On ne dpasse en gnral pas
lordre 2 car le cot dvaluation du modle est de lordre de kq+1, k ordre du modle rduit, q
tant lordre du dveloppement de Taylor. [Bai 2002] mentionne aussi des structures de
modle bilinaire. Ces mthodes ne sont valables que pour des systmes faiblement nonlinaires. Pour un micro-interrupteur, par exemple, elles ne permettent pas de rendre compte
des non-linarits dues aux grands dplacements [Chen 2004].

1.3.3.2. Utilisation dune approximation de f

Une autre possibilit est dtablir des approximations des termes non-linaires en fonction des
coordonnes rduites partir de donnes issues de simulation ou dexpriences. Ceci induit
une augmentation du cot de la construction du modle mais acclre ltape dvaluation.
[Gabbay 1998] dveloppe cette mthode en tablissant des expressions approches des
nergies dans les diffrents domaines. Il sintresse une structure mcanique actionne
lectrostatiquement dans le cadre conservatif.
Le

modle

rduit

est

obtenu

en

exprimant,

en

fonction

des

coordonnes

modales (q1 , q2 ,..., qk ) , lnergie lastique, lnergie cintique et lnergie lectrostatique du

systme. Les quations du mouvement sont alors obtenues par la mthode de Lagrange. Il faut

15

tablir la forme de la fonction dapproximation (polynme, etc) ce qui peut se faire partir
de connaissances a priori. Dans un second temps, il faut optimiser les sries de simulations
faire pour obtenir les donnes partir desquelles lapproximation est faite ou autrement dit
choisir pertinemment des points dans lespace des coordonnes rduites. Cette tape est
grandement facilite par le fait que chaque domaine nergtique est trait indpendamment.
Par exemple pour le domaine lectrostatique, il cherche une fonction dapproximation de la
capacit sous la forme dune fraction rationnelle :
R1

R2

i1 =1
S1

i2 =1
S2

ik =1
Sk

i1 =1

i2 =1

ik =1

C (q1 , q2 ,..., qk ) =

Rk

... ai1i2 ...im q1i1 q2i2 ...qmim

(1-28)

... b

i1i2 ...im

i1
1

i2
2

q q ...q

im
m

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Lespace des phases est un volume de IRk dfini par le domaine de fonctionnement du
systme. Il sagit de choisir des points dans ce volume. [Gabbay 1998] pourrait quadriller
uniformment cet espace, il choisit une mthode plus complexe. Il subdivise uniformment ce
volume en sous-volumes puis choisit au hasard des points dans chacun de ces sous-volumes
de faon toutefois uniformiser le nombre de points choisis dans chaque sous-volume.

1.3.3.3. Linarisation par morceaux

Cette mthode consiste linariser le modle autour de diffrents points dans lespace des
phases qui ne sont pas uniquement des points dquilibre. On prsente ici le modle linaire
par morceaux bas sur une trajectoire dapprentissage (TPWL : Trajectory PieceWise Linear)
de [Rewienski 2003 B] [Rewienski 2005]. Le modle linaris par morceaux a la forme
suivante :

s 1

x =

p i (x)[f (x i ) + JFi (x x i )] + Bu

(1-29)

i =0

o les poids pi des diffrents modles linaires dpendent uniquement de la distance du point

i = s 1

courant x aux points de linarisation xi et vrifient

p i (x) = 1 pour tout x.

i =0

Rewiensli et al. utilisent ensuite la mthode de Galerkin. La base de projection est V, la

variable dtat devient z, vecteur des coordonnes modales. On a x = Vz . Cette base peut tre
une base de Krylov issue de la concatnation de bases dtermines partir des modles

16

linariss autour de diffrents points (cf 1.3.2.3), une base issue de la troncature balance
[Vasilyev 2003] ou tout autre base. Le modle dordre rduit final a la forme :
s 1

z =
p i (z )[V T f(x i ) + V T A i (Vz x i )] + V T Bu

i =0

y = C T Vz

(1-30)

i = s 1

tel que

p i (z ) = 1 pour tout z.

i =0

Une dmarche simple consisterait prendre pi(z) 1 pour le point de linarisation i le plus
proche de Vz , les autres poids tant nuls. Ici la dmarche utilise est plus complexe et assure
une meilleure continuit des poids dans le temps. Des conditions mises sur les poids

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permettent aussi une certaine flexibilit sur laquelle il est possible de jouer pour assurer la
stabilit et /ou la passivit du systme.
En pratique, la dimension de lespace rduit est trop importante pour que les points de
linarisation soient choisis par simple discrtisation uniforme de lespace. Ainsi ils sont
choisis le long de trajectoires dapprentissages les plus pertinentes possibles. Deux mthodes
sont utilises pour dterminer les points de linarisation. Lune consiste utiliser le modle
original et dfinir un nouveau point de linarisation quand ltat courant est trop loin de tous
les points de linarisation dj dfinis. Lautre consiste simuler le modle en partant du
modle linaris lorigine et projet sur la base de Krylov associe. Quand Rewienski et al.
atteignent un tat trop loign de ltat initial, ils dfinissent un nouveau point de
linarisation, dterminent la base de Krylov associe et ractualisent la base de projection par
concatnation. Ils utilisent ensuite le modle linaris autour de ce nouveau point et projet
sur la base actualise pour poursuivre la simulation (et ainsi de suite). Ainsi les simulations
des trajectoires dapprentissage sont faites cot rduit galement. Une dmarche ayant
prouv son efficacit consiste prendre en compte une estimation de lerreur plutt que le
simple critre de distance pour le choix des points au cours de cette construction.
Le cot dvaluation est infrieur O(sk), o s est le nombre de points de linarisation et k
lordre du modle. En pratique il sera insensible s, tant donn que seuls un ou deux poids
sont non nuls pour un z donn.

17

1.3.3.4. Comparaison des diffrentes approches

Dans la mthode de Gabbay et al., les simulations dapprentissage sont faites cot rduit
grce au dcouplage des domaines. Il sera en gnral possible de construire le modle partir
de simulations couvrant tout lespace des phases qui nous intresse, rendant, du mme coup,
ce modle valide sur cet espace en question. Ce sont de plus des simulations statiques. Cest
lavantage dutiliser une approche nergtique qui nest namoins applicable que dans le cas
conservatif. Pour [Rewienski 2003 B] les domaines ne sont pas dcoupls, mais la
linarisation par morceau applique ds les simulations dapprentissage dynamiques rduit le
cot de construction du modle. Il sera par contre trs difficile de couvrir lespace des phases
complet qui est alors de grande dimension, le modle rsultant nen sera que plus dpendant

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en la trajectoire dapprentissage. Ceci est linconvnient principal de ce type de modle.

Dautre part, le cot dvaluation du modle linaris par morceaux est intressant par rapport
un modle bas sur un dveloppement de Taylor pour lequel le cot dvaluation devient
rapidement trop important. On ne dpasse en effet pas lordre 3. Ainsi la linarisation par
morceau prsente un vritable intrt quand lapproximation des termes non linaires.

1.3.4. Stabilit, passivit.

Les questions dvaluation de lerreur, de prservation de la stabilit et de la passivit du
systme sont traites en dtails dans [Rewienski 2005], pour une catgorie de systmes ayant
des proprits particulires. La fonction f non-linaire est considre Lipschitz-continue et
ngative-monotone. Cela exclut de facto certains systmes que lon serait susceptible
dtudier (systmes hystrsis). Il prsente des conditions pour que la projection du systme
conserve la stabilit puis pour que la linarisation par morceaux nengendre pas lapparition
dinstabilits ou de points de stabilit artificiels. Son tude aboutit une condition sur les
poids ou lajout dun terme dissipatif pour certains tats. Cest la seule mthode, avec le cas
de la base de Krylov pour les systmes linaires, pour laquelle ces problmes ont t tudis.

1.4. Modes propres non-linaires.

1.4.1. Introduction
Les modes normaux non-linaires (MNNs) ont t particulirement tudis dans le cadre des
systmes oscillants libres et conservatifs. Dans le cas dun systme vibratoire linaire libre, il

18

existe des modes propres du systme qui ont une proprit dinvariance. C'est--dire que si les
conditions initiales correspondent lexcitation dun seul mode, le mouvement du systme
restera dcrit par ce seul mode. De plus, dans le cadre linaire, le principe de superposition est
valable. Ainsi le mouvement peut tre dcrit par une superposition de quelques modes
dcoupls les uns des autres. La dynamique du systme est ainsi simplement et exactement
dcrite. On peut aussi considrer quon a tabli un modle dordre rduit dun systme
oscillant linaire.
On peut utiliser les modes propres linaires dun systme pour tablir un modle dordre
rduit dun systme non-linaire par une mthode de Galerkin par exemple. Les modes sont
alors coupls par les termes non-linaires, le thorme de superposition ne sapplique plus.
Cette mthode est couramment utilise. Il savre que lutilisation dun nombre trop faible de

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modes linaires peut donner des rsultats qui sont qualitativement faux concernant le
comportement raidissant ou assouplissant par exemple. Ainsi deux solutions sont possibles :
augmenter le nombre de modes linaires pris en compte, ou tenir compte des non-linairits
du modle dans ltablissement de modes propres.
[Rosenberg 1966] dfinit physiquement un mode normal non-linaire (MNN) comme une
oscillation synchrone dune structure o tous les points matriels passent par leur quilibre
statique et atteignent leur dplacement maximum simultanment. Il estime alors quil peut
ramener la dynamique un seul point matriel, considrant quil existe des relations
invariantes dans le temps entre les variables dplacement des points matriels non retenus et
celle du point choisi pour dcrire la dynamique. Ce sont ces relations qui dfinissent le mode
normal non-linaire.
Par exemple, on considre une poutre dont on discrtise lespace. On obtient N nuds.
Comme mentionn dans lintroduction de ce chapitre, imposer que le mouvement soit dcrit
par un mode propre linaire, cest dire quil soit ramen une seule variable savoir la
coordonne modale, revient dans les faits imposer des relations linaires entre le
dplacement dun point de la poutre, point matre , et les autres.
xi = i x M , i = 1,..., N

(1-31)

o xi est le dplacement du ime nud de la poutre et x M le dplacement du nud matre .

Dcrire le mouvement par la coordonne modale ou par le dplacement dun seul point
revient au mme. Dans le cas non-linaire, la forme du mode dpend de lamplitude du
dplacement x M , cest dire que les xi deviennent des fonctions non-linaires de x M . Dans
ce sens, on peut considrer les modes propres non-linaires comme une extension des modes

19

propres linaires. Cette description sous-entend quon suppose les coordonnes dplacement
et vitesse dcouples, i.e. que les xi ne dpendent que de x M et pas de sa drive par rapport
au temps. Ce nest pas toujours le cas. En effet, le vecteur dtat dun systme quelconque du
deuxime ordre contient les variables dplacements et vitesse. [Shaw 1994] cherche dcrire
le systme par le dplacement et la vitesse dun seul point dune poutre. Les dplacements
esclaves seront donc aussi fonction de la vitesse du point matre choisi. Cette approche est
plus difficile saisir du point de vue physique.
Ainsi lapproche des modes normaux non-linaires consiste chercher des relations
invariantes dans le temps entre des variables matres et des variables esclaves. Ces relations
invariantes dfinissant des varits dans lespace des phases du systme. Ces relations tant
difficiles tablir, des a priori devront tre faits sur le systme.

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On distinguera deux approches, celles bases sur les variables physiques du systme savoir
dplacement et vitesse et celles bases sur les coordonnes modales. Ces dernires sappuient
sur un modle tabli par la mthode de Galerkin et consistent le ramener un seul mode.
Les modles bass sur les modes normaux non-linaires seront ainsi en gnral dordre deux,
dordre quatre maximum dans le cas de rsonance interne o certains modes sont
indissociables. On dcrira plusieurs exemples de la littrature afin de dgager les enjeux de
cette approche.

1.4.2. Equation rgissant les varits invariantes

Il sagit ici de dterminer le systme dquations aux drives partielles rgissant les varits
invariantes. On traite ici lexemple dun systme continu dans lespace mais la dmarche sera
exactement la mme pour un systme discrtis.
Soit un systme continu rgi par le systme dquations diffrentielles partielles suivant :
u ( s, t )
t = v( s, t )
(1-32a)

v
(
s
,
t
)

= F (u ( s, t ), v( s, t ))
t
asssoci aux conditions limites
B (u ( s, t ), v( s, t )) = 0 , (1-32b)
s tant la variable spatiale et t le temps. On cherche ramener la dynamique un point
matriel soit deux variables u 0 (t ) = u ( s 0 , t ) et v0 (t ) = v( s 0 , t ) .
Les varits invariantes U et V dterminer sont alors dfinies par :

20

u ( s, t ) = U (u 0 (t ), v 0 (t ), s, s 0 )

v( s, t ) = V (u 0 (t ), v0 (t ), s, s 0 )

(1-33)

En liminant le temps dans (1-32a) on obtient les quations aux drives partielles rgissant
les varits U et V.
dU
U
U
=V =
v0 +
[ F (U ,V )]s = s0
uo
v0
dt
V
V
F (U , V ) =
v0 +
[ F (U ,V )] s = s0
uo
v0

(1-34)

Ce sont ces quations que lon cherche rsoudre pour dterminer les varits, savoir les
relations entre les variables matres et esclaves.

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1.4.3. Dtermination des varits

1.4.3.1. Dveloppement asymptotique

a. Modle de poutre [Shaw 1994]
[Shaw 1994] dveloppe la mthode des MNNs pour un systme continu, ici une poutre. Il
cherche une solution aux EDPs dfinissant les varits sous la forme dun dveloppement
asymptotique. Trois exemples sont traits. On va dtailler les deux premiers, lun concernant
le cas linaire, lautre le cas non-linaire.
Le premier exemple concerne le cas dune poutre dont le comportement dynamique est rgi
par lquation dEuler Bernoulli linaire.

2u
4u
.
=

EI
t 2
x 4

(1-35)

On choisit comme variable spatiale la variable spatiale normalise s [0,1]. Les conditions
limites correspondent un pivot, c'est--dire dplacement nul et moment nul soit :
u (0, t ) = u (1, t ) = 0
.
2u
2u
(
0
,
)
(
1
,
t
)
=
0
t
=
s 2
s 2

(1-36)

Les varits sont supposes de la forme (1-37), c'est--dire linaires en u 0 , v0 :

U (u 0 , v0 , s, s 0 ) = a1 ( s, s 0 )u 0 + a 2 ( s, s 0 )v 0
V (u 0 , v0 , s, s 0 ) = b1 ( s, s 0 )u 0 + b2 ( s, s 0 )v 0

(1-37)

o
u 0 (t ) = u ( s 0 , t ) et v0 (t ) = v( s 0 , t ) .

21

et

u ( s, t ) = U (u 0 (t ), v 0 (t ), s, s 0 )

v( s, t ) = V (u 0 (t ), v0 (t ), s, s 0 )
Utilisant le fait que, pour un systme conservatif non-gyroscopique, le dplacement et la
vitesse ne sont pas coupls ( a 2 = b1 = 0) , il rsout les quations diffrentielles partielles
rgissant les coefficients des varits invariantes.
Il retrouve assez logiquement le rsultat des modes propres linaires soit :
U n (u 0 (t ), v 0 (t ), s , s 0 ) =

sin( n .s )
u 0 (t )
sin( n .s 0 )

(1-38)

Si on considre que la dynamique est dcrite par le nime mode propre linaire

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sin(n .s ) normalis par la constante n , a (t ) coordonne modale :

u n ( s , t ) = a (t ) n sin( n .s ) (5-8)
On retrouve bien le rsultat ci-dessus si on rcrit :
u n ( s , t ) = a (t ) n sin( n .s 0 )

sin( n .s )
sin( n .s 0 )

(1-39a)

Car u 0 (t ) = u n ( s 0 , t ) = a (t ) n sin( n .s 0 ) (1-39b)

Pour tablir la dynamique en u 0 , v0 , il faut crire les quations diffrentielles partielles au
point s 0 en utilisant la relation dinvariance tablie.

d 2u0
u ( s, t )

F u ( s, t ),
)
=0
2
dt
t
s =s0

(1-40a)

Soit dans ce cas :

d 2 u 0 EI (n ) 4
+
u0 = 0
A L4
dt 2

(1-40b)

On retrouve en tous points le rsultat des modes propres linaires.

Dans le deuxime exemple, [Shaw 1994] introduit une non-linarit cubique via un support.
Les conditions limites restent les mmes, c'est--dire un pivot. De mme on choisit la variable
s normalise et on suppose

2u
4u
= 4 ku u 3
2
t
s

EI
= 1 . Lquation de la poutre se ramne simplement :
AL4
(1-41)

[Shaw 1994] ne fait pas dans ce cas lhypothse du dcouplage des variables position et
vitesse. On cherche alors une solution sous la forme dun dveloppement limit lordre 3 :

22

U (u 0 , v0 , s, s 0 ) = a1 ( s, s 0 )u 0 + a 2 ( s, s 0 )v0 + a 3 ( s, s 0 )u 02 + a 4 ( s, s 0 )v02 + a5 ( s, s 0 )u 0 v 0
+ a 6 ( s, s 0 )u 03 + a 7 ( s, s 0 )v03 + a8 ( s, s 0 )u 0 v02 + a 9 ( s, s 0 )u 02 v0
V (u 0 , v0 , s, s 0 ) = b1 ( s, s 0 )u 0 + b2 ( s, s 0 )v0 + b3 ( s, s 0 )u 02 + b4 ( s, s 0 )v02 + b5 ( s, s 0 )u 0 v0

(1-42)

+ b6 ( s, s 0 )u 03 + b7 ( s, s 0 )v 03 + b8 ( s, s 0 )u 0 v 02 + b9 ( s, s 0 )u 02 v0
On crit le systme dquation aux drives partielles rgissant les varits. On galise
successivement les coefficients des termes de diffrent ordre en u 0 , v0 on obtient des systmes
dquations au drives ordinaires. Au premier ordre, [Shaw 1994] retrouve les modes
propres linaires. Au deuxime ordre, les quations ne dpendant pas de , on retient la
solution triviale nulle, afin de garantir que lon retrouve bien la solution linaire si =0. Au
troisime ordre, les quations permettent dans un premier temps dexprimer simplement les

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coefficients bi , i = 6,...,9 lis lexpression de la vitesse en fonction des coefficients a i ,

i = 6,...,9 lis lexpression de la position. On retient la solution triviale pour les coefficients
a 7 et a8 tant rgis par des quations diffrentielles partielles indpendantes de la nonlinarit. La variable position scrit alors :

u ( s, t ) = a1 ( s )u 0 + a 6 ( s )u 03 + a8 ( s )u 0 v02

(1-43)

On a dtermin a1 . On cherche pour a 6 , a 8 les solutions particulires sous la forme:

a 6 ( s ) = 1 sin(ns ) + 3 sin(3ns )
a8 ( s ) = 1 sin(ns ) + 3 sin(3ns )

(1-44)

un des deuximes membres contenant le terme a1 lordre 1 et 3, lautre tant nul. Par
projection sur

sin(ns )

et

sin(3ns ) , on obtient 4 quations linaires sur les

coefficients ( 1 , 3 ,1 , 3 ) . Le dterminant de ce systme dquations est nul si on a la

relation suivante :
k = 9.(n ) 4 . (1-45)
On est dans le cas de la rsonance interne. Les modes n et 3n sont coupls. Les modes sont
alors dterminer partir de 4 variables matres.
Dans les autres cas, on trouve simplement lexpression des coefficients ( 1 , 3 ,1 , 3 ) .
La dynamique sur u 0 scrit alors sous la forme :
u0 + 02n u 0 + An u 03 + Bn u 0 u 02 = 0

(1-46)

Shaw traite un troisime exemple qui est celui dune poutre linaire sans support, la nonlinarit tant due aux conditions limites qui correspondent alors un ressort non-linaire. Le

23

dplacement aux limites est toujours nul, mais quand les dplacements deviennent plus
importants, un moment apparat au niveau du pivot.
[Hsieh 1994] applique la mme dmarche pour ltablissement de la dynamique dune poutre
en grands dplacements.

b. Modle dun acclromtre [Westby 2002].

[Westby 2002] propose une tude paramtrique dun acclromtre deux axes dans le cas
conservatif. Il se base sur le systme dEDOs non-linaires rgissant la dynamique des
coordonnes modales. Il part donc dun modle dj rduit par la mthode de Galerkin. Les
non-linarits sont quadratiques et cubiques. Il fixe les deux premiers modes propres linaires
comme tant les deux modes matres. Les autres coordonnes modales seront exprimes sous

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la forme dun dveloppement asymptotique lordre trois des coordonnes modales matres.
Il tudie linfluence de la longueur dune des poutres de la structure. Pour cela il tablit un
dveloppement limit au premier ordre du premier mode propre linaire du systme. Il fait de
mme pour les coefficients du dveloppement asymptotique des modes esclave . On
remarque que les rsultats prsents servent valider lapproximation paramtrique et non la
validit du modle rduit. Il compare les rsultats des modles rduits tablis avec diffrentes
valeurs de la longueur et ceux du modle fonction du paramtre longueur. Il prsente une
comparaison des valeurs propres des modes ainsi quun coefficient de la matrice de raideur
des termes quadratiques en fonction de la longueur, ainsi que lamplitude dans le temps du
premier mode pour une amplitude du deuxime mode non-nulle. Ces rsultats, compars un
modle tabli pour chaque valeur de la longueur sont valables pour une variation de L de
20%.

1.4.3.2. Mthode de Galerkin

a. Mthode
Les quations de dpart sont ici un systme dquations diffrentielles ordinaires issu de la
mthode de Galerkin applique un systme dEDPs, ou du modle dun systme de masses
discrtes, ou dun modle lments finis.
[Pesheck 2002] rsout les EDPs dfinissant les varits invariantes par une mthode de
Galerkin ce qui permet dtendre le domaine de validit du modle par rapport la mthode

24

asymptotique dcrite prcdemment. En effet lexpression des relations dfinissant les

varits comme un dveloppement asymptotique limite leur validit aux faibles non-linarits.
Il ne prend en compte quune variable matre et remplace les variables (dplacement, vitesse)
par les variables (amplitude a, phase ), ce qui facilite la dfinition du domaine de validit
ainsi que le choix des fonctions de bases mais limite ltude celle de systmes oscillants. Les
fonctions de bases seront par exemple harmoniques en . Les fonctions positions Pi et
vitesses Qi de la ime variable esclave sont dveloppes sur des fonctions de bases Tl,m et Vl,m
(1-47) :
N a N

Pi (a, ) = C il ,mTl ,m (a, )

l =1 m =1
N a N

i = 2,....., N

(1-47)

Qi (a, ) = Dil ,mVl ,m (a, )

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l =1 m =1

La projection des EDPs dfinissant les varits sur les fonctions de bases donne un systme de

2( N 1) N a N quations non-linaires rsoudre, N tant le nombre de variables position

du systme initial. Une variante consiste considrer le modle linaire par morceau en a et
donc rsoudre des problmes plus simples sur des intervalles [a i , a j ] . Le cot calculatoire
de cette mthode est bien plus important que la mthode asymptotique mais elle prsente
lavantage de pouvoir reprsenter plus de non-linarits dans la limite des approximations
faites sur lexpression des celle-ci. On remarque que les paramtres napparaissant pas
explicitement dans lexpression des varits, cette mthode se prte moins une tude
paramtrique du systme que le dveloppement asymptotique dcrit plus haut.

b. Exemples tudis
[Pesheck 2002] tudie dans un premier temps un systme discret conservatif deux degrs
de liberts et non-linarits cubiques. Il compare ses rsultats sur la varit du premier
MNN et du deuxime MNN des varits dtermines par une mthode asymptotique
lordre 3 et montre que cette dernire ne suffit plus, bien que les non-linarits soient aussi
dun ordre 3. Il tudie aussi la rponse frquentielle de ces diffrents MNNs. Dans un
deuxime temps il tudie une poutre 200 lments finis deux nuds chacun soit un modle
400 degrs de libert. Les conditions limites sont un ressort linaire et un pivot associ un
ressort torsionnel non-linaire. Il retient parmi les 400 modes linaires, les 10 premiers. Il
tudie les MNNs 2 et 5, savoir les varits, les rponses frquentielles et la forme du mode.

25

1.4.3.3. Formes normales

a. Mthode
Les quations de dpart sont un systme dEDOs non-amorties non-linarits quadratiques
et cubiques obtenu par projection de lquation aux drives partielles sur les modes propres
linaires (1-48).
+

 + 2 P +
P
n
n n

g
i =1

n
i, j

Pi Pj +

j i

h
i =1

j i

n
i , j ,k

Pi Pj Pk = 0

n = 1,...,+

(1-48)

k j

o Pn sont les coordonnes modales.

[Touz 2004] tablit les formes normales du systme N degrs de libert par un changement

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de variable qui annule les termes non-rsonants (termes brisant linvariance) des quations.
Les anciennes coordonnes sont exprimes comme un dveloppement asymptotique lordre
3 des nouvelles coordonnes (1-49). Les Qn , n = 1,..., N , sont les coordonnes modales
vitesses associes aux Pn . (Rn , S n ) sont les coordonnes position et vitesse issues du
changement de variable.
+

Pn = Rn +

(a
i =1

j i

n
i, j

Ri R j + bin, j S i S j ) +

i =1

j i

ri , j , k Ri R j Rk +

k j

i =1

j i

u i , j ,k Ri S j S k = 0

k j

(1-49a)

Qn = S n +

i =1

j i

n
i, j

Ri S j +

i =1

j i

k j

n
i , j ,k

Si S j Sk +

i =1

j i

n
i , j ,k

S i R j Rk = 0

(1-49b)

k j

Il obtient N modes normaux non-linaires. Il tablit un modle partir du seul premier

mode (R1 , S1 ) , les autres tant supposs nuls. On remarque que par le changement de variable
non-linaire plusieurs modes linaires sont en fait pris en compte dans la dynamique du
systme correspondant au premier mode normal non-linaire (MNN). La troncature a t faite
sur les formes normales et non directement sur les modes linaires. Si on compare une
mthode o les varits sont tablies par dveloppement asymptotique des coordonnes
modales matres [Pesheck 1997], ici la variable matre nest pas tout fait la mme. Dans le
cas de [Pesheck 1997], ce sont les coordonnes du premier mode linaire, ici ce sont les
coordonnes de la premire forme normale. Les coordonnes de tous les modes linaires sont
fonctions des coordonnes de la forme normale slectionne.
[Touz 2006] tend les rsultats de [Touz 2004] un systme dissipatif et excit par une
force extrieure. Il a t prouv rigoureusement que certaines quations diffrentielles

26

partielles de systmes dissipatifs avaient des varits inertielles de dimensions finies, c'est-dire que la dynamique du systme long terme est dcrite exactement par un systme
dquations diffrentielles ordinaires de dimension finie [Rega 2005]. Toutefois ces varits
peuvent tre de dimensions importantes, ainsi cette thorie est trs rarement applique
directement. Dun point de vue applicatif, faisant lhypothse quelle existe, on cherche en
gnral directement une varit inertielle approche. On peut aussi traiter la force de
dissipation comme une force extrieure au systme et lajouter a posteriori au modle bas sur
le MNN. Ici [Touz 2006] prend en compte la dissipation dans la construction du MNN. De
mme pour une force dexcitation extrieure au systme, on devrait rigoureusement la prendre
en compte dans la construction du MNN comme une variable matre supplmentaire. Il
considre ici que la force extrieure ne perturbe qu lordre 2 les MNNs tablis et lajoute a

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posteriori au modle non-linaire construit.

b. Exemples tudis
[Touz 2004] tudie le comportement frquentiel dun systme discret conservatif deux
degrs de liberts aux alentours de la frquence fondamentale, plus prcisment le
comportement raidissant ou assouplissant du systme. Il constate quune mthode de
Galerkin classique ne prenant en compte quun mode linaire ne prdit pas correctement cet
aspect qualitatif alors que le MNN donne les rsultats corrects. Dans un deuxime temps, il
tudie un systme continu, une poutre dEuler-Bernoulli linaire auquel on ajoute un support
non-linaire dont les non-linarits sont quadratiques et cubiques. Les conditions limites
correspondent un pivot parfait. Des solutions ce systme ont t trouves par la mthode
des chelles multiples, solution laquelle il compare ses rsultats. Il retient 10 modes propres
linaires et obtient par projection un systme dEDOs partir duquel il construit les formes
normales et donc les modes propres non-linaires. Il tudie pour les trois premiers modes
non-linaires la rponse frquentielle et le changement dans la forme des modes.
[Touz 2006] tudie ensuite le systme deux degrs de libert prcdent en y ajoutant de la
dissipation quil prend en compte dans la construction du MNN. Il constate que lajout
damortissement peut changer le comportement raidissant ou assouplissant du systme. Il
tudie ensuite la rponse frquentielle une excitation sinusodale extrieure pour des
frquences proches de la premire frquence de rsonance du systme. En comparant ses
rsultats ceux issus du MNN construit dans le cas conservatif, il constate que ce dernier
donne en gnral de bons rsultats qualitatifs mais des rsultats quantitatifs faux. Les MNNs
prenant en compte lamortissement donnent de meilleurs rsultats quantitatifs dans la limite

27

dune certaine amplitude dexcitation, le modle restant bas sur un dveloppement

asymptotique dordre 3. Il tudie ensuite un systme continu, savoir une coque remplie
deau. Il retient 16 modes linaires comme base du modle et construit ensuite un MNN bas
sur deux modes car il y a un phnomne de rsonance interne. De mme il tudie la rponse
frquentielle des diffrentes coordonnes modales une excitation extrieure et obtient des
bons rsultats quantitatifs.

1.4.3.4. Utilisation de la priodicit du mouvement

Dans le cas conservatif le mouvement est priodique. On peut se servir de cette proprit pour
tablir les varits [Slater 1996]. En effet si les conditions initiales du mouvement ne sont pas

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sur la varit, le mouvement sera indfiniment apriodique voire indfiniment chaotique si les
amplitudes initiales sont suffisantes. Il sagit de dterminer la varit ainsi que la priode de
loscillation associe lamplitude. Pour cela, il effectue une simulation dans le temps
croissant et dans le temps dcroissant sur une priode suppose et cherche minimiser
lerreur entre les deux trajectoires. Il commence autour de lquilibre de faibles amplitudes
considrant le systme linaire. Il augmente au fur et mesure lamplitude des conditions
initiales. Cette mthode est particulirement coteuse.

1.4.3.5.

Prise en compte de la force extrieure dans ltablissement du

MNN.
a. Mthodes
Rigoureusement quel que soit le type de force extrieure, elle devrait tre prise en compte
dans la construction du MNN. Les varits dpendent alors par son intermdiaire du temps.
Pour une excitation harmonique, les MNNs peuvent tre tablis pour chaque frquence. [Jiang
2005] tudie la rponse force de systmes autour de leur premire frquence de rsonance.
Les varits sont dtermines par la mthode de Galerkin. Les variables matres sont
lamplitude et la phase du mode matre choisi auxquelles est ajoute la phase de la force
extrieure, ceci pour une frquence dtude donne. Cela revient tablir des varits qui
dpendent du temps via la phase de la force.

b. Exemples tudis
28

[Jiang 2005] sintresse dans un premier temps un systme discret deux degrs de liberts,
et tudie les rponses frquentielles autour de leur frquence de rsonance des premier et
deuxime MNNs. Dans un deuxime temps, il tudie une poutre dEuler-Bernoulli aux
conditions limites non-linaires. Il retient 12 modes linaires et tudie la rponse frquentielle
et transitoire du systme pour une excitation proche de la premire frquence de rsonance
partir du premier MNN. Les rsultats sont concordants.

1.4.3.6. Systme soumis lamortissement dun film dair compress

[Westby 2003]

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[Westby 2003] tablit le modle dun systme dissipatif soumis lamortissement dun film
dair compress. Il utilise un modle lments finis pour la partie mcanique et un modle
simplifi pour lquation de Reynolds qui sera tudie plus en dtail dans le chapitre 2. Il
nglige la compressibilit de lair et la linarise partiellement :
p =

12 G
,
G 3 t

(1-50)

O p est la pression, G lcart entre la structure mobile et la structure fixe, la viscosit de

lair ambiant. Le terme non-linaire est inversement proportionnel au cube de lcart entre les
surfaces. On ne peut inclure la force dissipative la dynamique du systme construite partir
de varits du cas conservatifs a posteriori car la force dissipative, ou toute force extrieure
influe directement sur la varit. Il utilise une mthode qui sinspire de la mthode de
Galerkin dcrite par [Peschek 2002]. Il considre un mode dominant dont les variables seront
lamplitude A et la phase et cherche tablir la dynamique du systme sous la forme :

 f ( A, )
 = +

A A f A ( A, )

(1-51a)

f ( A, ) = an A cos(bn + n )
n

f A ( A, ) = cn A2 cos(d n + n )

(1-51b)

La dtermination de la varit pose le problme des conditions initiales. En effet, on ne peut

les choisir quelconques car elles doivent tre sur la varit quon cherche tablir. Ainsi

29

[Westby 2004] part de lquilibre du systme et ralise une simulation inverse dans le temps
(on change t en -t) du systme libre pour tablir la varit des amplitudes plus importantes.
Les paramtres an, bn, cn et dn sont dterminer par minimisation de lerreur par rapport aux
donnes issues de simulations inverses du systme coupl. La validit des surfaces invariantes
f ( A, ) et f A ( A, ) est tablie par simulations classiques (temps croissant). La trajectoire des
tats doit tre sur la surface invariante ou doit rejoindre la surface invariante si les conditions
initiales ne ltaient pas.

Cette mthode diffre de celle dcrite par [Peschek 2002] dans le sens o elle nest pas base
sur le systme dEDPs rgissant la dynamique du systme. Ces EDPs servent tout au plus
inspirer la structure suppose du modle en (1-51). Il nest pas ncessaire de rsoudre le

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systme dEDPs rgissant les relations entre le mode matre et les modes esclave pour
tablir la dynamique du systme (1-51). Toutefois on peut tablir des fonctions approches de
ces relations partir des informations issues des simulations inverses du systme coupl
(interpolation linaire par exemple). Ces fonctions seront ncessaires pour reconstruire le
mouvement physique de la structure. On peut considrer cette approche comme tant
purement numrique. Elle se base seulement sur lexistence a priori des relations invariantes
entre modes matres et modes esclaves .
E. R. Westby prsente des rsultats concernant le mme acclromtre celui du 1.4.3.2\b. Il
tablit les varits invariantes en retenant successivement comme mode matre un mode
sous-amorti et un mode sur-amorti. Dans le cas dun mode sur-amorti, il existe une relation
bijective entre la vitesse et lamplitude du mode. La surface invariante se rsume alors une
ligne. Les rsultats du modle rduit sont compars au modle complet non-linaire et
prsentent quelques erreurs dues entre autre aux formes des quations dapproximations
choisies pour tablir la dynamique.

1.4.4. Conclusion
La dmarche associe aux modes propres non-linaires consiste trouver des relations
invariantes entre des variables matres et des variables esclaves. Ces variables peuvent aussi
bien tre associes un lment physique de la structure qu la coordonne modale associe
un mode linaire. Dans le cas o les variables dtat sont les coordonnes modales, on part
en fait dun modle dj rduit par la mthode de Galerkin et on cherche en gnral ramener
la dynamique un seul mode. Deux mthodes ont t explicites ici. Lune consiste

30

considrer des modes matres des modes esclaves et chercher exprimer les modes esclaves
comme une fonction des modes matres partir des EDPs les rgissant. Lautre consiste
dterminer les formes normales, ce qui correspond un changement de variable non linaire
permettant dannuler les termes brisant linvariance de lquation originale. Une fois ces
formes dtermines, une troncature est faite sur ces modes. Les coordonnes des diffrents
modes linaires peuvent tre exprimes comme des fonctions non-linaires des formes
normales retenues. Contrairement la troncature un ou plusieurs modes de la mthode de
Galerkin simple, linfluence des modes linaires non retenus nest pas considre nulle mais
est prise en compte par lintermdiaire des varits invariantes. Le principe de superposition
ntant pas valable on ne peut associer diffrents MNNs, il faut reconstruire un MNN
multimodal partir des coordonnes des modes retenus considres comme des variables

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matres. Ainsi lobjectif est de rduire le cot dvaluation du modle en ramenant la

dynamique deux ou quatres variables dtat. Ceci se fait au prix de construction du modle
quimplique la dtermination du changement de variable ou ltablissement des varits
invariantes. Deux mthodes principales existent pour ltablissement de celle-ci partir des
EDPs les rgissant : la mthode asymptotique, et la mthode de Galerkin. La mthode du
dveloppement asymptotique a un domaine de validit limit mais prsente lavantage davoir
une formulation explicite qui facilite une tude paramtrique du systme. La mthode de
Galerkin tend le domaine de validit au prix dun cot calculatoire important et de la
disparition dune formulation explicite des coefficients dterminant la varit. Enfin,
rigoureusement, les forces dissipatives et extrieures devraient tre prise en compte dans la
construction des MNNs. Cest encore possible un cot raisonnable pour une force
dissipative simple (amortissement linaire) mais a un cot calculatoire prohibitif pour une
force extrieure. Une approximation possible consiste les ajouter a posteriori un modle
bas sur un MNN construit partir du systme conservatif libre.

31

1.5. Couplage
La modlisation dun microsystme fait intervenir la rsolution dun systme coupl. On
suppose m domaines physiques diffrents.
A chaque domaine physique est en gnral associ une mthode numrique particulire, les
plus couramment utilises tant les lments finis et les lments frontires. Les lments
finis sont en gnral utiliss pour la partie mcanique alors quon prfrera les lments
frontires pour la rsolution du problme lectrostatique car cette mthode permet de rduire
le problme dune dimension au prix toutefois de matrices pleines.
Une premire mthode de rsolution est la mthode de relaxation (cf Figure 1-2) qui consiste

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rsoudre chaque domaine un un itrativement jusqu convergence de la solution. Celle-ci

ne prsente pas de bonnes proprits de convergence. On rsout pour chaque domaine
physique une quation linaire ou non-linaire du type :
f i (x ti +1 , x1 ..., x i1 , x ti , x i+1 ,...., x m ) = 0

i = 1,..., m

(1-53)

Les variables xj, j i sont prises linstant t ou t+1 selon que la rsolution du domaine j a t
faite avant ou aprs celle du domaine i.
Une deuxime mthode consiste rsoudre le systme dans son ensemble ce qui assure une
meilleure convergence. Toutefois, cela ncessite, pour une rsolution par la mthode de
Newton, de calculer le Jacobien complet du systme.

Figure 1-2 Rsolution dun problme coupl.

(a) Mthode de relaxation (b) Mthode de Newton applique au systme complet

32

1.6. Conclusion
Dans le cas de systmes linaires, les mthodes de choix des bases de projection ont un cadre
thorique bien tabli (espace de Krylov, troncature balance,..). Ces mthodes peuvent tre
utilises dans le cadre dun systme non-linaire. Il est toutefois intressant de considrer le
caractre non-linaire dans la construction de cette base. Certaines mthodes ncessitent alors
une forme dapprentissage, la base rduite est tablie partir de certaines simulations choisies
pertinemment (Dcomposition propre orthogonale, troncature balance [Lall 2002],). La
validit des modles tablis dpend

de cet apprentissage. La dcomposition propre

orthogonale optimise lnergie du systme projet alors que la troncature balance est relie
plus directement aux rsultats sur la dynamique du systme savoir la fonction de transfert.
Cette dernire donne alors de meilleurs rsultats au prix dune construction coteuse de la

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base due au calcul des grammiens. La mthode qui fait intervenir les modes propres nonlinaires ne va pas dpendre dun apprentissage. Dans certains cas, cette dmarche consiste,
partir dun modle rduit par projection sur une base, le ramener un seul mode dominant,
les autres coordonnes modales tant des fonctions des variables dtats associes ce mode.
Le cot dvaluation du modle est rduit au prix de la construction. Selon la mthode
choisie, le cot de construction des varits est plus ou moins important.
Dans les chapitres suivants, on va traiter un problme coupl fluide-structure non-linaire. Le
chapitre 2 traitera du problme fluidique seul travers la rsolution de lquation de Reynolds
non-linaire. On cherchera parmi les modes propres, une base issue de la dcomposition
propre orthogonale et une base de Krylov, laquelle est la plus pertinente. Dans le chapitre 3 o
lon traite dun problme coupl mcanique-electrostatique-fluidique, pour la partie structure,
on retient les modes propres linaires vecteurs propres du couple de matrices raideur et masse.
Dans le chapitre 4, on rduira le cot dvaluation des termes non-linaires, dans un premier
temps par ltablissement dune fonction dapproximation de projection de la force de
pression, fonction des coordonnes modales, puis dans un deuxime temps par une approche
de linarisation par morceaux.

33

Chapitre 2

Rsolution de lquation de Reynolds

Les forces volumiques telles que la force de gravit ou linertie sont des fonctions de la
dimension du systme au cube alors que les forces de surface telle que laction de lair sur une
structure sont des fonctions de la dimension au carr [Bao 2007]. Ainsi plus les dimensions
dune structure sont petites, plus les forces surfaciques vont avoir une importance sur la
dynamique du systme, notamment les interactions fluide-structure. On considre deux
plaques en mouvement lune par rapport lautre, un fluide remplissant l'espace entre elles.
Lactionnement lectrostatique et la dtection capacitive (cf figure 2-1) sont trs courants

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dans les microsystmes et donnent souvent lieu cette configuration du problme.

(a)

(b)

Figure 2-1 (a) Fluide modlis par lquation de Reynolds (b) Fluide modlis par un coulement de Couette.
Le profil de vitesse apparat en noir alors que le mouvement de la plaque est dcrit par les flches rouges.

Lorsque les dimensions de plaques sont grandes devant la distance qui les spare et que les
deux plaques sont en mouvement parallle lune par rapport lautre, le fluide est modlis
par un coulement de Couette (figure 2-1b).

Lorsquelles sont en mouvement

perpendiculairement lune par rapport lautre, le fluide est modlis par lquation de
Reynolds correspondant au phnomne damortissement dun film dair compress (figure 21a). Dans la littrature, on trouve le terme de squeeze film damping [Bao 2007]. On
sintressera plus particulirement ce phnomne dans le but de modliser lactionnement
dun micro-interrupteur. On prsentera la drivation de lquation de Reynolds avec les
hypothses associes puis on exposera diffrents exemples de rsolutions de lquation de
Reynolds linaire puis non-linaire venant de la littrature. On proposera ensuite notre propre
rsolution de lquation linaire et une tude de la rponse frquentielle en pression sera faite.
Une troisime partie traitera de la rsolution lquation de Reynolds non-linaire base sur un
changement de variable par la mthode de Galerkin. Enfin, nous tudierons sur cet exemple
linfluence du choix des fonctions de base pour lutilisation de la mthode de Galerkin.

34

2.1. Etablissement et rsolution de lquation de Reynolds

2.1.1. Etablissement de lquation de Reynolds
Lquation de Reynolds modlise le comportement dun film dair compris entre deux
plaques bougeant perpendiculairement lune par rapport lautre. Quand le mouvement est
lent, on peut considrer le film dair se comporte comme un amortissement visqueux nonlinaire. Quand il est rapide, lair na plus le temps de schapper et se trouve comprim (ou
quand le volume entre les deux plaques augmente, la dpression nest pas compense par une
arrive dair). Ceci correspond un phnomne de compression lastique qui peut prendre des
amplitudes importantes do le terme de squeeze film damping .

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On considre une plaque flexible en mouvement face un plan fixe de mme dimension. Le
domaine de la plaque est dfini par les variables ( x, y ) [0, L ] [0,W ] o L est la longueur de
la plaque et W sa largeur. G ( x, y, t ) est lcart au plan fixe.

Figure 2-2 Plaque en mouvement par rapport une plaque fixe.

La validit de lquation de Reynolds suppose un certain nombre dhypothses qui sont les
suivantes :

les dimensions latrales de la plaque en mouvement sont grandes devant la distance

entre les deux plaques.

le mouvement est lent. On nglige donc les termes inertiels devant les termes
visqueux. Le fluide est alors dans le rgime de Stokes.

la pression P=P(x,y) est homogne sur la hauteur du film dair.

35

le profil de lcoulement est parabolique sur la hauteur, dfini par une quation du
type Poiseuille.

on fait lhypothse du gaz parfait.

le systme est isotherme ce qui suppose que la plaque a une conductivit thermique
importante [Darling 1998]. Dans le cas contraire, lhypothse dune transformation
adiabatique est plus pertinente.

La relation des gaz parfait sur et P nous dit quils sont proportionnels :
P=

RT
M

(2-1)

o est la masse volumique du gaz, R est la constante des gaz parfaits, T la

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

temprature, et M la masse molaire du gaz.

On suppose les supports dencastrement de la plaque en haut de telle manire ce que les
bords soient ouverts. La variation de pression p y est alors suppose nulle :
p = P P0 = 0

(2-2)

o P0 est la pression ambiante.

Lcoulement est de type Poiseuille, c'est--dire que le profil de vitesse est du type :
1
2
1
v y ( x, y , z ) =
2
v x ( x, y , z ) =

P
z( z G)
x
.
P
z( z G)
y

(2-3)

O v x et v y sont les vitesses selon les directions Ox et Oy, et est la viscosit.

On a, pour arriver ce rsultat, nglig les termes inertiels et les variations de vx par rapport
y et de vy par rapport x par rapport leurs variations respectives selon z dans lquation de

Navier-Stokes.
Pour parvenir lquation de Reynolds, on intgre lquation de conservation de la masse sur
la hauteur du film de fluide.

+ div( v ) = 0
t

(2-4)

G ( x, y )

G ( x, y )

v x v y v z

G
+
+
+
+
+
dz = G
t
x
y
z
t
t x

v x dz +

G( x, y)

v y dz . (2-5)

Daprs (2-3) on a :

36

G ( x, y )

v x dz =

1 3 p
.
G
12
x

(2-6)

Il en est de mme pour lintgrale sur v y .

On obtient :

r G 3 r G
,
P =
.
t
12

(2-7)

qui est lquation de Reynolds

En appliquant la loi des gaz parfaits, on obtient :

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r G 3 r GP
PP =
.
t

12

(2-8)

Dans le cas o la distance entre les plaques est trs petite et/ou la pression est trs basse, il y a
un effet de rarfaction du gaz, ce qui implique que le rgime visqueux devient molculaire.
Lhypothse de la vitesse latrale nulle du fluide au niveau de la paroi faite pour dterminer
le profil de vitesse v x et v y nest plus valable, le fluide glisse sur la paroi. On modlise ce
phnomne par une viscosit effective fonction du nombre de Knudsen
Kn =

o est le libre parcours moyen du gaz. Un des modles de la viscosit effective eff utilis
[Hung 1999] est le suivant :

eff =

1 + 6K n

La viscosit effective du rgime molculaire est infrieure la viscosit dfinie en rgime

visqueux. [Veijola 1995] font une tude de lquation de Reynolds linarise sur un
acclromtre considr non flexible. Ils tirent la conclusion que le modle le plus appropri
concernant la viscosit effective est celui dcrit dans [Fukui 1988], bien quil prsente des
erreurs sur la valeur de la viscosit effective allant jusqu 30 % compar des mesures
exprimentales. Ils font remarquer que ces erreurs importantes sont, entre autres, dues aux
approximations faites sur la composition du gaz et les proprits microscopiques caractrisant
la manire dont les molcules sont rflchies la surface.

37

2.1.2. Equation de Reynolds linarise

On dcrit ici diffrentes mthodes de rsolution de lquation de Reynolds linaire, plus
prcisment la dtermination des composantes de la force de pression qui sexerce sur la
structure. Dans un premier temps, on prsente en dtail une mthode de rsolution analytique
[Darling 1998] puis les mthodes de rsolutions numriques [Yang 1997] [Mehner 2003].
Enfin on prsente un modle quivalent circuit [Veijola 1995].

2.1.2.1. Rsolution analytique

La rsolution de lquation de Reynolds linarise apporte un clairage qualitatif sur la
dynamique du phnomne damortissement dun film dair compress et le rle quil peut

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avoir dans un systme coupl.

Lquation de Reynolds linarise, c'est--dire avec lhypothse des petits dplacements

G0 G << G0 et des petites variations de pression, p << P0 , a la forme dune quation de

diffusion avec terme source :
p

12 p 12 G
= 3
P0 G02 t
G0 t

(2-9)

Pour des gomtries et des conditions aux limites simples, elle peut tre rsolue
analytiquement [Darling 1998]. [Darling 1998] propose une rsolution de lquation linarise
dans le cas dun rgime stationnaire sinusodal en utilisant la fonction de Green associe. La
fonction de Green Gr ( x, y, t , x0 , y0 , t0 ) est la rponse du systme un terme source ponctuel :
Gr

12 Gr
= 4 ( x x 0 , y y 0 ) (t t 0 ) . (2-10)
P0 G02 t

o est la fonction de Dirac.

La rponse un terme source quelconque (2-11) sexprime alors comme lintgrale du produit
de la fonction de Green et du terme source (2-12) :

12 p
12 G
= 4q ( x , y , t ) = 3
2
P0 G 0 t
G 0 t

(2-11)

p ( x, y, t ) =

0 S

Gr ( x, y, t , x0 , y 0 , t 0 )q( x0 , y 0 , t 0 )dt 0 dx 0 dy 0

(2-12)

La fonction de Green peut tre exprime comme un dveloppement srie des modes propres
du Laplacien et de fonctions du temps.

38

Gr ( x, y, t , x 0 , y 0 , t 0 ) =

4
(t t 0 )
12
P0 G02

mn

2
k mn (t t 0 )

u mn ( x, y )u mn
( x0 , y 0 ) (2-13)
exp

12

P0 G02

u mn sont les modes propres du Laplacien et vrifient :

2
u mn + k mn
u mn = 0

(2-14)

Des conditions limites doivent tre associes cette quation.

u mn
est le complexe conjugu de u mn et est la fonction de Heaviside.

[Darling1998] tablit la rponse frquentielle du systme. En utilisant les notations complexes

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le terme source (2-11) peut donc scrire simplement partir de lexpression du dplacement :
12 eff G 12 eff
~
=
j G ( x , y ) e j t
3
3
G0 t
G0

(2-15)

~
o G ( x, y ) est lamplitude complexe de la variation de lcart au substrat.
[Darling 1998] peut alors intgrer le produit de la fonction de Green (2-13) et du terme
source (2-15) pour obtenir la rponse en pression p(x,y,t). Enfin il intgre sur la surface de la
plaque tudie pour obtenir lexpression de la force rsultante. Les parties relles et
imaginaires donnent la composante de raideur et

d'amortissement visqueux de

lamortissement du au film dair. Pour une plaque rectangulaire en mouvement uniforme,

avec comme conditions aux limites p = 0 , ces composantes peuvent sexprimer de la manire
suivante:
Fraideur ( ) 64P0 A
m2 + c2n2
= 6
~

G0 m,n,impair (mn) 2 [(m 2 + c 2 n 2 ) 2 + 2 / 4 ]

G

(2-16)

Famortissement ( ) 64 2 P0 A
1
=
~

8
2
2
2 2 2
G0 m,n,impair (mn) [(m + c n ) + 2 / 4 ]
G

(2-17)

~
O G est lamplitude du dplacement, A=WL, c=W/L et , appel nombre de squeeze ,
vaut :

12 eff w 2
Pa G02

(2-18)

39

o est la pulsation du mouvement.

Ces expressions des composantes de la force serviront pour tablir le modle quivalent
circuit dans le paragraphe suivant.

2.1.2.2. Rsolution numrique

Si la gomtrie est telle quon ne peut dterminer une expression analytique de la force, on
peut en dterminer les composantes modales par simulation numrique. On entend par
composante modale, la projection de la force fluidique sur les modes propres mcaniques
quand la structure se dforme selon ces modes propres. [Yang 1997] par une simulation
lment finis de lexcitation du premier mode mcanique de sa structure, extrait des

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coefficients de raideur et damortissement pour ce mode doscillation. Il compare ses rsultats

aux mesures de [Gretillat 1994] et trouve des rsultats concordant quant aux facteurs de
qualit et la frquence de rsonance pour des pressions ambiantes de 10 2 Pa 10 3 Pa.
[Mehner 2003] se base sur la mme dmarche en balayant la plage des frquences et en
incluant la possibilit dinteractions entre modes dans le cas dune structure asymtrique. En
plus des coefficients propres chaque mode, il met en vidence des coefficients de raideur et
damortissement dinteraction modale. Ces coefficients correspondent la projection de la
pression due lexcitation dun mode sur un autre mode. On utilisera une approche qui
sapparente celle-ci dans le chapitre 4, la diffrence quon ne cherche pas dcomposer la
force afin de dterminer des coefficients de raideur et damortissement mais plutt trouver
un modle de la force projete dans son ensemble.
Les modles rduits de la partie physique du microsystme sont souvent labors dans une
perspective dintgration un modle du systme complet, lectronique associe. Ainsi
partir de ces informations sur les composantes raideurs et amortissement, il est intressant
dessayer dtablir des quivalents circuits de la partie physique ce que propose [Veijola
1995]. En effet on peut alors implmenter le modle complet sur un logiciel de simulation
lectronique.

2.1.2.3. Modle quivalent circuit du squeeze-film damping

Veijola sattache tablir un modle dun acclromtre considr comme une plaque
rectangulaire rigide (Fig.2-3). La figure 2-3 reprsente un quivalent circuit de cet

40

acclromtre sans prise en compte de lamortissement. On remarquera quon peut faire

plusieurs choix concernant lquivalent mcanique-lectrique [Westby 2003]. On choisit ici
lquivalence force-courant. Les quivalences des autres grandeurs mcaniques sont
alors donnes dans le tableau (2-1).

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Tableau 2-1 Equivalence mcanique-lectrique

Force f

Courant i

Vitesse

Tension V

Dplacement

Flux = Li L

Amortissement c

Inverse dune rsistance 1

Raideur K

Inverse dune inductance 1

Masse

Capacit C

R
L

Les quations du circuit quivalent sont strictement quivalentes celle du systme

mcanique.

iext
masse

poutre

(a)

iL

electrodes

(b)
Figure 2-3 (a) Type dacclromtre modlis dans [Veijola 1995]. La flexion de la masse est nglige, le
dplacement le long de la masse est considr uniforme.(b) Son quivalent circuit avec un modle
damortissement linaire.

Lamortissement dun film dair compress correspond une raideur K ( ) et un coefficient

damortissement linaire c( ) dfinis par les quations (2-16) et (2-17). Lquivalent circuit
correspond donc une inductance et une rsistance respectivement en parallle avec
linductance de la figure 2-3 reprsentant la raideur mcanique. Les simulateurs ne peuvent
fonctionner avec des composants dpendant de la frquence. [Veijola 1995] propose une
implmentation circuit par branchement parallle dinductances Lm,n et rsistances Rm,n qui
rendent compte de la composante de la force Fm,n quivalente et de sa dpendance en la
frquence, limpdance dune inductance tant une fonction de la frquence (Figure 2-4). Les
parties relle et imaginaire du courant im ,n correspondent alors respectivement

aux

composantes relles et imaginaires du dveloppement srie (2-16) et (2-17) multipli par

41

lamplitude du dplacement. Les valeurs Lm,n , Rm,n sont dtermines par simple
identification :
IS

m ,n.impairs

Rm,n

j
+ jLm ,n

(2-19)

o I S correspond la rsultante de la force de pression et au dplacement. Les 5 premiers

lments de la srie suffisent en pratique une prcision correcte.
La valeurs des composants dpendent des paramtres gomtriques de la plaque et des
paramtres physiques P0 et .

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iext

Lm,n
im,n
iL

Rm,n

Figure 2-4 Equivalent circuit dun acclromtre avec amortissement dun film dair compress.

2.1.3. Rsolution de lquation de Reynolds linarise autour dun point

de fonctionnement
La valeur de Lm,n et Rm,n des composants dcrits au paragraphe prcdent [Veijola 1995] sont
entre autres des fonctions non-linaires de lcart G0. Lacclromtre peut tre utilis autour
dun point de fonctionnement qui ne correspond pas son quilibre statique. Les simulateurs
dlectroniques permettent partir de la fonction des composants en G0 de calculer ce point
de fonctionnement puis de faire la simulation petits signaux (systme linaire) autour de ce
point. Ce modle considre que la structure est rigide.
Pour tablir le modle damortissement dun film dair compress intgrer au modle
complet [Mehner 2003] ralise une srie de simulations de lquation de Reynolds linarise
autour dun point de fonctionnement dans le cas du rgime stationnaire sinusodal. Par
excitation des diffrents modes mcaniques de la structure, il tablit des coefficients
dinteraction modale de raideur K ij ( , x) et damortissement C ij ( , x) dpendant de la
frquence et de lamplitude initiale. x est le vecteur des coordonnes modales correspondant
au dplacement statique initial. Pour une dflection statique donne, comme Veijola, il

42

cherche un quivalent sous la forme dun dveloppement srie faisant intervenir des
composants linaires de raideur et damortissement K ijm ,n (x) et Cijm ,n (x) . Ces paramtres sont
dtermins par la mthode des moindres carrs.

Dautre part, dans de nombreux cas, on est amen trouver la rponse frquentielle dune
structure proximit dun point de fonctionnement. Pour ce, on est ainsi amen connatre la
rponse frquentielle de la force de pression et donc rsoudre lquation de Reynolds
linarise autour dun point de fonctionnement, ce, en rgime sinusodal.

[Li 2007], de mme que [Younis 2004], prend en compte la flexibilit de la structure
actionne. C'est--dire quil tient compte du fait que le dplacement statique nest pas

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

constant sur la poutre et de ce fait garde les termes faisant intervenir la drive spatiale de ce
dplacement statique. Ce nest pas le cas pour lquation linarise (2-9). [Li 2007] contraint
le dplacement par rapport au dplacement statique suivre le premier mode propre de la
poutre encastre-encastre. Il applique la mthode de Galerkin lquation de Reynolds
linarise pour dterminer les coordonnes modales de pression fonction de la frquence.
[Younis 2004] cherche rsoudre un problme aux valeurs propres. Il rsout lquation
dEuler-Bernoulli non-linaire pour dterminer le dplacement statique rponse la tension
continue applique. Il linarise ensuite lquation de Reynolds autour de ce point de
fonctionnement et se place en rgime sinusodal. Par une mthode des perturbations [Nayfeh
1981], il tablit lexpression de modes propres de pression ~
p en fonction des modes propres
n

mcaniques u~n .

2.1.4. Rsolution de lquation de Reynolds non-linaire

Limplmentation circuit de [Veijola 1995] ne permet de simuler le squeeze-film damping
quavec la restriction des petits dplacements, ce qui en rduit fortement lutilit.

[Mehner 2003] dtermine numriquement des coefficients K ijm ,n (x) et Cijm ,n (x) dpendant des
coordonnes modales x, pour diffrentes valeurs de x. Il en propose ensuite des
approximations sous la forme de fractions rationnelles. Il utilise ensuite ces fonctions pour des
simulations transitoires en grand dplacement dun micro-interrupteur. Il obtient une erreur
infrieure 15% sur le dplacement de la structure par rapport aux donnes exprimentales.

43

[Hung 1999] utilise la mthode de Galerkin avec des modes issus de la dcomposition propre
orthogonale (1.3.2.1) pour rsoudre lquation de Reynolds (2-7) dans le cas du rgime de
Knudsen. Lquation de Reynolds projete a alors la forme de lquation diffrentielle
ordinaire suivante:
A(x)s + B(x, s)s + c(x) = 0

(2-25)

o x sont les coordonnes modales mcaniques et s celle correspondant la pression. Il

intgre cette quation un modle coupl fluide-structure pour dterminer le temps
deffondrement dune structure. Il obtient des rsultats satisfaisants.

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

2.2. Equation de Navier-Stokes/ Equation de Reynolds

On utilise ici le logiciel de simulation lments finis ANSYS pour valider les approximations
faites sur lquation de Navier-Stokes pour obtenir lquation de Reynolds.

2.2.1. Modle Navier Stokes 2D / Modle Reynolds 1D

On considre une plaque rigide mobile de largeur considre infinie en mouvement par
rapport un plan fixe. On considre le film dair situ entre les deux plans. Le modle est un
modle lments finis ANSYS en 2D rgi par les quations de Navier-Stokes dans le cas
incompressible. On trouvera le code en annexe A. Une formulation ALE (Arbitrary
Lagrangian Eulerian) est utilise. C'est--dire que le maillage est mis jour chaque pas de
temps pour suivre le mouvement de la plaque. Ce nest pas pour autant exactement une
description Lagrangienne, le maillage ne suivant pas exactement le mouvement des particules.
On soumet une plaque rigide ayant comme dimension L=500 m et tant G0=2 m dun
plan fixe une excitation sinusodale damplitude 40% de G0 et de frquence 1 kHz, ceci la
pression atmosphrique. Les conditions limites sont celles de bords libres, la variation de
pression est nulle. Ci-dessous la variation de pression sur la hauteur du film au temps t=0.75
10-3s. On vrifie bien que la pression est homogne sur lpaisseur et ne dpend donc pas de
la variable z.

44

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Figure 2-5 Valeur de la pression sur lpaisseur et la longueur du film dair linstant t=0.75 10-3s o la plaque
est la plus proche du plan fixe.

v x linstant t=0.75 10-3s.

On peut vrifier sur la figure 2-6 que lhypothse dun profil de vitesse parabolique ne semble
Figure 2-6 Valeur de la vitesse

pas fausse bien quon ne puisse vrifier ces rsultats exactement. On constate aussi que les
variations selon la hauteur du film sont en effet beaucoup plus importantes que selon la
longueur.

v z linstant t=0.75 10-3s.

La figure 2-7 permet de confirmer le fait que la valeur des vitesses v z est dun ordre de
Figure 2-7 Valeur de la vitesse

grandeur infrieur aux valeurs des vitesses v x .

2.2.2. Modle Navier Stokes 3D / Modle Reynolds 2D

La plaque a ici une largeur de dimension finie W=100 m. De mme que prcdemment on
lexcite une frquence de 1kHz et une amplitude de 40% de G0 mais une pression
ambiante de 1.013 104 Pa. Afin de valider les hypothses faites pour la drivation de
lquation de Reynols, on compare les rsultats pour la variation de pression au point milieu
pour un modle lments finis de Navier-Stokes en 3D et un modle de Reynolds en 2D (cf

45

figure 2-8). On se place bien dans le cas incompressible. Les conditions aux limites sont
variation de pression nulle sur les bords selon la longueur et flux nul sur les bords selon la
largeur. On constate que le code diffrences finies associ lquation de Reynolds donne des
rsultats 5% prs sur la variation de pression au point milieu par rapport au modle lment
fini de lquation de Navier-Stokes en 3D. Ceci valide, pour le cas incompressible, les
hypothses faites pour driver lquation de Reynolds.
400
ANSYS 20x 4x 10
Reynolds incompressible DF 41x 11

300

Pression au point milieu (Pa)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

200

100

-100

-200

-300

-400

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5
temps(s)

0.6

0.7

0.8

0.9

1
-3

x 10

Figure 2-8 Variation de pression au point milieu pour une excitation dune structure rigide 40% de lentrefer et
1kHz et une pression ambiante de 1.013 104 Pa pour un modle lments finis de lquation de Navier-Stokes
et un modle diffrences finies de lquation de Reynolds.

2.3.
Modle rduit de lquation de Reynolds linaire : application
la rponse frquentielle.
2.3.1. Analyse
On part de lquation de Reynolds linarise tablie prcdemment (2-9). On approche la
solution de lquation de Reynolds linaire par une mthode de Galerkin. Les fonctions de
bases choisies sont les modes propres du Laplacien, les conditions aux limites correspondant
une variation de pression nulle sur les bords. La variation de pression p sexprime alors :

p = k =0 k (t ) p k ( x, y )
N

(2-26)

46

o les coefficients k sont les coordonnes modales et les pk les modes propres du Laplacien
tels que :
p k = 2k p k , k = 1,..., N .

(2-27)

En appliquant la sparation des variables (2-27) on obtient :

p k ( x, y ) =

y avec k1 1, k 2 1
sin k1 x sin k 2
LW
L W
2

(2-28)

o k = (k 2 1) N x + k1
o N x est le nombre de modes retenus selon la dimension x.
Lquation (2-9) projete sur le lime mode propre a la forme suivante :

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

l2 l

12
12 G
pl
 l = 3
2
G0 P0
G0 t

l = 1,..., N

(2-29)

o f g = fgd est le produit scalaire dans L2() avec = [0 W] [0 L].

On peut rcrire (2-29) de la manire suivante :

 l +

P G
l
pl
= 0
l
G0 t

o l =

l = 1,..., N

(2-30)

12
G02 P02 2l

On impose un dplacement de la forme suivante :

G ( x, t ) = G0 w( x, t ) , w( x, t ) = A1 cos(2ft ) w1 ( x) (2-31)
o w1 ( x) est le premier mode propre de lquation dEuler-Bernoulli associe au problme
mcanique (cf Annexe B ). En notation complexe, le dplacement scrit:
w( x, t ) = A1 e jt w1 ( x) .

(2-32)

De la mme manire que [Griffin 1966], on peut alors considrer dans lespace des
frquences, la fonction de transfert associe la coordonne modale complexe l :

cl
l P0
=
H l ( j ) =
w1 pl
,

A G0
1+ j
cl
j

o cl =

2 2
k x2 2
G02 P02 l2 2 k y
+
,
l =
12
W2
L2

l = 1,..., N

(2-33)

l = 1,..., N .

(2-34)

47

Ainsi la rponse de chaque mode de pression au dplacement peut tre considre

indpendamment comme un filtre passe haut du premier ordre de pulsation de coupure cl et
de gain en haute frquence

P0
G0

w1 pl .

Ce gain dpend donc de la similarit des fonctions propres mcaniques et de pression. Si on

considre la largeur W grande devant la longueur L, on retrouve [Griffin 1966] une expression
courante de la pulsation de coupure dun film dair comprim

c =

G02 P0 2
12 W 2

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

pour le premier mode de pression (k x = 1, k y = 1) . Un autre nombre caractristique de

limportance de leffet de compression est le nombre dit de squeeze

12 L2
,
G02 P0

quon peut relier la frquence de coupure par la relation =

2
.
c

On peut dcomposer la rponse en pression selon sa composante en phase avec le

dplacement correspondant leffet de raideur, et sa composante en phase avec la vitesse
correspondant lamortissement visqueux. Pour une frquence infrieure la frquence de
coupure le dphasage par rapport au dplacement vaut

, la pression est en phase avec la

vitesse, le phnomne visqueux est dominant. A la frquence de coupure le dphasage de la

rponse en pression vaut

, les deux composantes sont donc gales. Au-del de la frquence

de coupure, la pression est en phase avec le dplacement, leffet de raideur est dominant.

2.3.2. Application numrique

On sintresse la rponse dun film dair compris entre un substrat et une poutre ayant les
caractristiques suivantes : longueur L=500 m, largeur W=50 m, cart au substrat G0=2 m.

A1 est choisi tel que le dplacement maximum corresponde au dixime de lcart au substrat.
On observe le comportement pour une plage de [0 300] kHz sachant que la plage qui nous
intresse est celle o le systme mcanique dveloppe un dplacement de l'ordre de quelques

48

microns, c'est--dire [0 f M ], f M tant la frquence propre du systme mcanique. Par

exemple, pour une paisseur h=2 m et une masse volumique =2330 kg/m3 de la poutre
dfinie ci-dessus, f M vaudra 65,7 kHz. On tudie la rponse frquentielle pour deux
pressions diffrentes : pression atmosphrique P0 = 1.013 10 5 Pa et une pression plus
faible

P0 = 1.013 10 3 Pa. La frquence de coupure de lamortissement pression

atmosphrique valant plus de 1 MHz, le phnomne dominant sera donc la rsistance due la
viscosit. A P0 = 1.013 10 3 Pa, la frquence de coupure vaut environ 11 kHz, le phnomne
de compression devient important.
frquentielle

des

premires

Aux figures
coordonnes

2-9 et 2-10, on observe la rponse

modales

correspondant

aux

modes

k1 = [1,3], k 2 = [1,3] . Dans les deux cas, le premier mode k1 = 1, k 2 = 1 est clairement dominant.
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On appelle [M N] le mode tel que k1 = M , k 2 = N . Ainsi le filtre associ ce premier mode

[1 1] donne effectivement une bonne ide qualitative de la rponse en frquence. A pression
atmosphrique, les quatre premiers modes de pression suffisent obtenir une valeur de
lamplitude de la pression dfinie comme la pression maximum au point milieu 1% prs. A
P0 = 1.013 10 3 Pa, on constate quil faut prendre en compte jusqu seize modes de pression
si on veut atteindre une prcision de 1% sur lamplitude de la pression, le nombre de ceux-ci
ncessaires augmentant avec la frquence dexcitation.

49

Rponse frquentielle des coordonnes modales

mode 1x1
mode 1x3
mode 3x1
mode 3x3

-20
-30
-40

20 log (k)

-50
-60
-70
-80

-100
-110

10
frquence (Hz)

10

Figure 2-9 Rponse frquentielle des coordonnes modales pression atmosphrique

Rponse en frquence des coordonnes modales

20 log (amplitude coordonnes modales)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

-90

-50

-60

-70

-80

-90

mode 1 x 1 fc=11.6 kHz

mode 3 x 1 fc=12.5 kHz
mode 1 x 3 fc=103.7 kHz
mode 3 x 3 fc=104.6 kHz

-100

-110
4

10

10
frquence (Hz)

Figure 2-10 Rponse frquentielle des coordonnes modales

P0 = 103 Pa .

50

Sur les figures 2-11 et 2-12 on observe la rponse en frquence de la pression au point milieu.
On a extrait les composantes en phase avec respectivement le dplacement (effet de
compression) et la vitesse (amortissement visqueux). On remarque qu pression
atmosphrique,

le

phnomne

prpondrant

est

lamortissement

visqueux.

P0 = 1.013 10 3 Pa, leffet de compression devient rapidement prpondrant, on atteint des

variations relatives de pression plus importantes que dans le premier cas. Toutefois, les
valeurs absolues de la variation de pression sont plus importantes pour une pression plus
importante. Ainsi le film dair aura une plus grande influence sur le systme mcanique pour
une pression ambiante importante mme si dans ce cas le phnomne de compression est
ngligeable. Le systme ne travaille pas sur la plage de frquence o ce phnomne devient
important.

pression P0 = 1.013 10 3 , le libre parcours moyen nest plus ngligeable devant lcart poutresubstrat, il faudrait en toute rigueur revoir le modle et prendre en compte une viscosit
efficace dpendant de lcart la poutre.
3500

3000

Pression point milieu (Pa)

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On peut sinterroger sur la pertinence du modle de viscosit. En effet la

Pression
Composante Raideur
Composante Amortissement V.

2500

2000

1500

1000

500

0
0

0.5

1.5
Frquence (Hz)

2.5

3
5

x 10

Figure 2-11 Amplitude de la pression au point milieu et de ses composantes fonction de la frquence pression
atmosphrique

51

120

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Pression au point milieu (Pa)

100

80

Pression
Composante Raideur
Composante Amortissement V.

60

40

20

-20
0

0.5

1.5
Frquence (Hz)

2.5

3
5

x 10
Figure 2-12 Amplitude de la pression au point milieu et de ses composantes fonction de la frquence
3
pression P0 = 1.013 10 Pa.

2.4. Modle rduit de lquation de Reynolds non-linaire :

changement de variable
On va ici tablir un modle rduit de lquation de Reynolds valable pour une structure
flexible en grands dplacements avec toutefois lhypothse des petites variations de pression.
Les cas dune viscosit constante et du modle de Knudsen seront traits. Un changement de
variable sur la pression sera fait afin dobtenir un oprateur spatial sur la nouvelle variable
pour lequel il sera particulirement pertinent dutiliser les modes propres du Laplacien.

2.4.1. Hypothse des petites variations de pression

On se place dabord dans le cas o la viscosit du fluide est suppose constante et uniforme,
lquation de Reynolds a la forme (2-8).
On dfinit les variables normalises :
P P0 p
p =
=
(2-35a)
P0
P0
G G0
(2-35b)
g~ =
G0
52

x
y
t
~
(2-35c)
x= , ~
y = , =
L
w
T
o T est une dure caractristique du mouvement.
On fait lhypothse des petites variations de pression, mais pas des petits dplacements. On
dfinit cette hypothse comme correspondant une variation de pression relative de 10%
maximum.
On rcrit (2-8) avec les variables sans dimensions :

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P02 G03 (1 + g~ ) 3
~
~
p P02 G03 (1 + g~ ) 3
p
~
~
(
1
)
(
1
)
+
+
+
p
p

2
2
~
~
~
~
x
y
L x 12
w y 12
G P
(1 + g~)(1 + ~
p)
= 0 0
T

(2-36)

&
~
p ne peut pas tre considr comme un terme dordre un en p . Un ordre de grandeur des
~
p
termes ~ et
x

p
~
est 2 ~
p max , la variation de pression tant maximum au milieu de la poutre. Le
~
y

profil ntant pas rgulier, les variations selon lespace peuvent trs bien prendre une valeur
&
&
trs suprieure 2 ~
p max . On va toutefois ngliger le terme ~
p~
p , en considrant que ~
p est petit
&
devant 1 aussi. On le vrifie a posteriori. On considre que le terme ~
p~
p est dordre deux.
p max 0.1 , les termes
Pour le cas tudi ci-dessous (2.4.5), la limite de validit du modle ~
&
du gradient atteignent une valeur de 0.4. On constate donc bien que ~
p prend des valeurs
suprieures p mais reste toutefois petit devant 1. De mme on considre que le fait de
prendre la divergence de ce terme ne change pas son ordre de grandeur. Si on revient aux
coordonnes initiales (2-8) est devenue :

* G3 &
p

(
p ) = G1 +
12
t P0

(2-37)

2.4.2. Changement de variable

On a fait un changement de variable sur p pour que loprateur spatial ait une forme plus
intressante pour lapplication de la mthode de Galerkin. Cette transformation est valable
pour le modle de viscosit constante, et pour un des modles de Knudsen [Hung 1999] o la
viscosit effective vaut

53

 eff =

1 + 6K n

On remarque tout d'abord la proprit suivante

pour des fonctions scalaires

( x, y ) et ( x, y ) quelconques :
&
&
1
.( 2 ) =

(2-38)

On applique le changement de variable suivant la variation de pression p :

p =

(2-39)

(G ) = G 3

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

pour une viscosit suppose constante

ou

(G ) = (1 + 6 K n )G 3
pour le rgime de Knudsen.
On appelle la fonction amortissement. Lquation (2-37) prend alors la forme suivante :
1
&
&
1
2 (G )
2
(2-40a)
.( (G )( (G ))) = 12 N
G 1+

t
P0

On applique (2-38) au membre de gauche de (2-40a) et on divise par (G ) 2 . On obtient (240b):

1
1
2 12 N 2
.
(2-40b)
G 1+

= 1
1

P
2
2 t
0

2.4.3. Mthode de rsolution numrique

On utilise la mthode de Galerkin : on projette lquation (2-40b) sur les modes k sur les
quels on dveloppe la solution. sk sont les coordonnes modales. On obtient :

k =1

2
s =
k
l
k
l
1

k
2

12 N

12 N
1 G
l +
1
P0
2 t

k =1

(2-41)
1

1 G s k
k l
1
t
2
2

avec l=1,.. ,N

54

Telle quelle, (2-41) ne peut scrire sous la forme dun systme dquations linaires en s et
s . Une solution consiste discrtiser le deuxime terme du membre de droite dans le temps,

Pour un schma implicite pas fixe t , ce terme scrit :

1

1 G 2 s k
k l
1
t
2
1
1
1
G 2
1 t + t
t 2

( )

t + t

k l s kt + t

(G )
1

( )
1

t + t

t
k l sk

(2-42)

Lintgration dans le temps de (2-41) peut alors se faire par la rsolution dun systme linaire
(2-43). Le schma est implicite.

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

1
s t +1 = (tH (G ) t + t A (G ) t + t ) tf (G, G ) t + t A (G ) t ,t + t s t
o

H lk (G ) = kl
f l ( G ) = 12 N

2
k

k l

(2-44a)

1 G
l
1
2 t

A lk (G ) t ,t + t =

(2-44b)

(G )
1

( )

t + t

(2-43)

pour lequel on connat une expression analytique de

A lk (G ) t + t =

t + t

k l

G
.
t

(2-44c)

( )
1

(G )
1

t + t

(2-44d)

et s = ( s1 , s 2 ,..., s N ) T
On intgrera (2-41) dans le temps de cette manire pour la validation par rapport un modle
diffrences finies.
La deuxime solution consiste dvelopper le deuxime terme du membre de droite de (2-41)
de manire faire apparatre s et s . (2-41) peut alors scrire :
Q(G, G )s = B(G )s + F(G, G )

(2-45)

si on pose:
1

12 N
2
1 G 1 / 2

Q lk (G, G ) = 2k kl
k l
k
l
1
P0 1 2
t
2

B lk (G ) =

12 N
G 1 k l
P0

(2-46a)

(2-46b)

55

Fl (G, G ) = 12 N

1 G
l
1
2 t

o s = ( s1 , s 2 ,..., s N ) T

(2-46c)

(2-46d)

Cette forme de lquation projete (2-45) servira pour la rsolution du modle coupl fluidestructure dans le chapitre 3.

2.4.4. Modes propres du Laplacien

On cherche une approximation de sous la forme suivante:
N

N ( x, y, t ) = s k (t ) k ( x, y )

(2-47)

k =1

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

o les k sont les modes propres du Laplacien :

k = 2k k

(2-48)

associs aux conditions aux limites que lon va dterminer.

Pour des gomtries et conditions aux limites simples, il existe une expression analytique de
ces modes. On cherche maintenant exprimer les conditions limites pour un cas simple. En
effet, la fonction amortissement nayant pas de signification physique, on obtient les
conditions aux limites partir des conditions sur p et G. Pour une condition correspondant
une variation de pression nulle, on obtient clairement :
(2-49)
On traite le cas dune poutre dfinie pour ( x, y ) [0, L ] [0, W ] , encastre par le haut en
p =0 =0

x = 0 et x = L et libre sur les autres bords, les conditions limites sont donc:

k (0, y ) = k (L, y ) = 0
,

k ( x,0) = k ( x,W ) = 0

(2-50)

Lquation (2-28) donne lexpression analytique des ces modes dans ce cas prcis.

2.4.5. Validation du modle

On montre la validit du modle rduit par comparaison un modle diffrences finies de
lquation (2-37) avec lhypothse des petites variations de pression:

* G3 &
p G p
G
1 + +
(2-51)
(
p ) =
12
t P0 P0 t

56

Le dtail concernant le code diffrences finies est fourni en annexe C. On impose le

dplacement dune poutre encastre-encastre de longueur L=500 m, largeur W=50 m, et
cart initial G0= 3 m une pression ambiante de P0 =103 Pa. La viscosit est suppose
constante et uniforme. On impose le dplacement de la poutre une frquence f = 3 kHz et
une amplitude de G0 :
G ( x, t ) = G0 (1 w1 ( x ) sin (2ft )) ,

(2-52)

o w1 ( x ) est le premier mode propre mcanique de lquation dEuler-Bernoulli (cf annexe

B). On utilise un schma Euler-implicite pour le modle rduit et le modle diffrences finies.
Pour le modle rduit on utilise 4 modes correspondant k1 = [1,3] , k 2 = [1,3] . La figure 2-13

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

reprsente la pression au point milieu de la poutre avec un maillage de 51x21 nuds, 200 pas
de temps par priode et = 0.4 . On remarque que la variation de pression maximum est de
lordre de P0 / 10 , ce qui correspond la limite de validit du modle. Le nombre de squeeze

vaut environ 70.

La figure 2-14 reprsente lerreur relative entre les deux modles pour la projection de la
pression sur le premier mode mcanique pour diffrentes valeurs de et la mme frquence
dexcitation :

( ) =

PMOR ( ) w1 PDF ( ) w1
PDF ( ) w1

(2-53)

On constate quil y a un terme derreur denviron 2% mme pour de faibles valeurs de .

Cette erreur peut tre rduite si lon diminue le pas de temps (pour =0.1, on peut descendre
en dessous de 1%). A la limite de validit du modle, lerreur est de 3%.

57

100

pression au point milieu (Pa)

80
60
40
20
0
-20
-40
-60

3
temps(s)

6
-4

x 10

Figure 2-13 Variation de pression du point milieu de la poutre pour = 0.4 .

2.6
2.5
2.4
2.3
2.2

(%)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

-80

2.1
2
1.9
1.8
1.7
1.6

0.05

0.1

0.15

0.2

0.25

0.3

0.35

0.4

Figure 2-14 Erreur relative de la projection de la pression sur le premier mode mcanique entre pour le modle
rduit (2x2 modes) et le modle diffrences finies (51 x 21 noeuds)

2.4.6. Intrt du changement de variable

On compare ici le modle propos dautres rsolutions possibles par la mthode de
Galerkin. Les rsultats sont compars un modle diffrences finies. Le modle propos
donne de meilleurs rsultats que la rsolution par projection directe de lquation de
Reynolds. Des considrations thoriques sont ensuite envisages.

58

(2-54) correspond lquation inchange. Dans (2-55), on a dvelopp le terme de gauche de

(2-37) et divis par G 3 . (2-56) est le modle tabli par changement de variable, objet de
ltude.
* G3 &
p
(2-54) (Version1)
.
p = G1 +

t
12
P

&
&
12
p
p = 3 log G.p + 3 G1 + (2-55) (Version 2)
G t P0
=

p
G 3 / 2 12
+ 3 / 2 G1 +
3/ 2
G
G t P0

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

avec p = G

(2-56) (Version 3)

Pour (2-54) et (2-55) on dveloppera p sur les N modes propres du Laplacien slectionns,
pour (2-56) on dveloppe . On utilise ensuite la mthode de Galerkin, on projette les
quations sur les modes qui servent approximer p ou .

2.4.6.1. Rsultats

On impose le dplacement dune poutre de longueur L=500 m, de largeur W=50 m et

dcart initial G0= 2 m une pression ambiante de P0 =105 Pa. Comme prcdemment, la
forme du dplacement correspond au premier mode mcanique et on impose = 0.6 et f=40
kHz.

59

On compare sur la figure 2-15 les tracs de la pression au point milieu pour les 3 modles
rduits et le modle diffrences finies. On a choisi le nombre de modes pour chaque modle
rduit de sorte que lajout dun mode supplmentaire ne change pas la valeur de pression
calcule de plus de 1%. Dans les trois cas, on trouve k1=[1,3,5] et k2=[1,3,5]. On constate
que le trac du modle rduit tabli par changement de variable (Version 3) prsente de
meilleurs rsultats que la version 1. Elle ne prsente toutefois pas de meilleurs rsultats que la
version 2.
DF Nx=51 Ny=21

x 10

Version 3 k1=[1 3 5 ] k2=[1 3 5]

Version 2 k1= [1 3 5 ] k2=[1 3 5 ]
Version 1 k1=[1 3 5] k2= [1 3 5]
Variation de pression au point milieu

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

0.5

-0.5

-1

0.5

1.5

2.5
Temps(s)

3.5

4.5
-5

x 10

Figure 2-15 Variation de pression au point milieu pour les trois rsolutions de lquation proposes et le modle
diffrences finies.

60

Projection de la force de pression sur le premier mode mcanique (N)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

-11

x 10

DF Nx=51 Ny= 21
Version 3 k1=[1 3 5 ] k2=[ 1 3 5 ]

Version 2 k1=[1 3 5 ] k2= [ 1 3 5 ]

Version 1 k1=[1 3 5 ] k2= [1 3 5]

-2

-4

0.5

1.5
2
2.5
Ecart au substrat du point milieu (m)

3.5
-6

x 10

Figure 2-16 Projection de la force fluidique sur le premier mode mcanique en fonction de lcart entre le point
milieu de la poutre et le substrat.

On reprsente galement la grandeur qui est intressante dans le cadre dun modle coupl
fluide-structure, c'est--dire la projection de la pression sur le premier mode mcanique
(figure 2-16). On constate de nouveau les meilleurs rsultats des versions 2 et 3. On fait
remarquer que le modle 3 prsente lavantage par rapport au modle 2 de ne faire intervenir
que des matrices symmtriques, ce qui rduit le cot dvaluation du modle. Le modle 3 est
donc dans lensemble plus avantageux.

2.4.6.2. Considrations thoriques

Les modes propres i du Laplacien dfinis sur = [0, L] [0, W ] associs des conditions
limites B forment une base complte de lespace F des fonctions continues de dans IR
[Sobolev 1989]. C'est--dire que toute fonction continue f F peut scrire sous la forme
dune srie :

f ( x, y ) = a i i ( x , y )

(2-57)

i =1

Cette srie converge en moyenne. De plus, si f respecte les conditions limites B et est de
classe C mme sur les frontires alors la srie converge uniformment. Ainsi dans (2-56) et

61

p dans (2-54,2-55) sont exprims sous la forme dun dveloppement srie de N modes propres
du Laplacien respectant les conditions limites B de ou p :

(N )

= s k (t ) k ( x, y )

(2-58)

k =1

Ces fonctions sont bien C puisque les quations diffrentielles qui les rgissent font
intervenir leur Laplacien. Ce dveloppement est particulirement pertinent pour (2-55) et (256) du fait de la prsence de loprateur Laplacien dans loprateur spatial sur respectivement

et p. Les modles rduits sont en effet tablis par projection des quations sur les N modes
propres du Laplacien slectionns. On regarde maintenant si les termes de cette quation
peuvent scrire sur cette base. On les considre comme des fonctions f ( x, y ) de
= [0, L] [0, W ] dans IR. Si elles peuvent tre exprime selon un dveloppement srie qui y

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

converge uniformment, on garantit

la conservation de lessentiel de lnergie de ces

fonctions par projection sur lensemble slectionn {1 , 2 ,...., N } . Il y a convergence

uniforme si ces fonctions vrifient les conditions limites B et si elles sont C. Les termes
et p peuvent tre exprims exactement sur cette base puisque ou p le sont et que les
fonctions de bases sont les modes propres du Laplacien. On sintresse une poutre
encastre-encastre par le haut o la variation de pression est nulle sur les bords libres et
encastrs. Dans les trois cas, seul le terme faisant intervenir la drive temporelle de lcart
savoir

1 G
G 1 G
ne respecte pas la condition valeur nulle sur les bords y = 0 et
, 3
et 3
t G t G 2 t

y = W . Les termes des quations sont C .

Ainsi, seule la forme de loprateur spatial de (2-55) et (2-56) est un argument en faveur de
ces formes de lquation. Les rsultats sont en effet meilleurs compars au modle diffrences
finies.

2.5. Choix dune base de projection de lquation de Reynolds

non-linaire
Dans cette section, on travaille sur la variable p sauf au 2.5.4.2 o lon rappellera les
rsultats du modle avec changement de variable.

2.5.1. Modes propres du Laplacien

Les modes propres du Laplacien sont les modes propres de lquation de Reynolds linarise
au sens o [Bai 2002] lentend (cf 1.2.1). C'est--dire que ce sont les modes propres de la

62

paire de matrice (C,G) de lquation linaire discrtise selon un schma diffrences finies
mis sous la forme (1-5). On se place dans le cas dune poutre encastre ses deux extrmits
par le bas. Le flux est nul au niveau des bords encastrs, les conditions limites deviennent :

p k
p
= k
=0

x x = L
,
x x = 0
p ( x,0) = p ( x,W ) = 0
k
k

(2-59)

Par la mthode de la sparation des variables appliques (2-48) associe aux conditions

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

limites (2-59), on obtient :

C k1

(
)
(
)
,
=
,
=
cos k1 x sin k 2
y
p
x
y
p
x
y
k
k1 , k 2
LW
L W

k1 0, k 2 1
(2-60)

=
2
si
0
k
C =
1
k1
2 sinon

La figure (2 -17) prsente la forme des quatre premiers pour les conditions aux limites
donnes.
0RGH/DSODFLHQ>[@

0RGH/DSODFLHQ>[@

x 10

8000
1.5
7000
1
6000

0.5

5000

4000
0
3000
-0.5
2000

-1

1000

0
-1.5

-5

5
x 10

4
3

3
2

2
1

1
0

-5

-4

x 10

x 10

4
4
3

3
2

2
1

0
0

63

-4

x 10

0RGH/DSODFLHQ>[@

0RGH/DSODFLHQ>[@

x 10
1.5
8000
6000

4000
0.5

2000
0

0
-2000
-0.5

-4000
-6000

-1
-8000
7
-1.5

7
5

6
-5

x 10

4
4

-5

x 10

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

3
2
1

1
0

4
2

2
1

x 10
-4

1
0

Figure 2-17 Quatre premier modes propres du Laplacien ([0 x 1], [2 x 1] ,[0 x 3] et [2 x3]) pour les conditions
aux limites (2-59).

2.5.2. Base de Krylov (Approximant de Pade)

La base est dtermine partir de lquation linaire (2-9) qui discrtise dans lespace selon
un schma diffrences finies peut scrire sous la forme :
dp
dx
= Ap + B
dt
dt

(2-61)

o p est le vecteur des pressions et x est le vecteur des coordonnes modales. La matrice B
constante contient les modes propres mcaniques afin dobtenir finalement comme entres les
vitesses en chacun des points de la poutre. On fera ainsi remarquer que A est un coefficient
prs loprateur Laplacien et que lon considre que les entres de ce systme sont les
coordonnes modales vitesses. On rappelle que lobjectif de cette mthode est dobtenir un
systme linaire dordre rduit dont la fonction de transfert approxime correctement la
fonction de transfert originale autour dune certaine frquence. Des dtails sont donns au
1.2.2. Ici on choisit la frquence 0 Hz. On dtermine la base de projection via le processus
dArnoldi [Chen 2001] dcrit en annexe D. Il sagit dune base du sous espace de Krylov

k 1

K r ( A 1 , r ) = vect r, A 1r, A 1 r,..., A 1 r avec :

A 1 = A 1
.

1
r = A B

(2-62)

64

-4

x 10

La figures 2-18 reprsente les quatre premiers modes de pression de la base de Krylov
gnre pour les paramtres suivants : L=500 m, W=70 m, h=2 m, G0=3 m, pression
P0 = 1.013 103 Pa, lair ayant une viscosit suppose constante de 1.82 10-5 Pa s, le fluide tant
suppos continu. Les matrices dcrivant le systme ne dpendent de ces paramtres qu un
facteur prs, la base obtenue de va donc pas dpendre de ses paramtres au final. Ces modes
sont comparer aux modes propres du Laplacien de la figure 2-10 qui sont aussi les modes
propres de la paire de matrice (I, A) du systme linaire (2-66). On constate quon ne retrouve
pas le premier mode propre du Laplacien mais plutt des modes qui sapparentent aux modes
[2 x 1] et [2 x 3] des modes propres du Laplacien.
Mode 2 Krylov

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Mode 1 Krylov

0.15

-0.02

0.1

-0.04

0.05

-0.06
0

-0.08
-0.1

-0.05

-0.12
8

-0.1
8
6

-5

x 10

6
4

4
2

2
0

6
-5

-4

x 10

x 10

6
4

4
2

-4

x 10

2
0

).

65

Mode 3 Krylov

Mode 4 Krylov

0.1

0.1
0.05

0.05

0
0

-0.05
-0.1

-0.05

-0.15
8

-0.1
1

6
-5

-4

x 10

x 10
0.5

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

0 0

4
6

6
-4

x 10

0 0

-4

x 10

Figure 2-18 Quatre premiers modes de pression issus du processus dArnoldi (gnrant la base du sous espace
de Krylov).

2.5.3. Modes issus de la dcomposition propre orthogonale.

On utilise le code diffrences finies (2-61) associ lquation de Reynolds linaire puis le
code diffrences finies dcrit en annexe C associ lquation (2-51) non-linaire pour
pratiquer la dcomposition propre orthogonale sur une srie dinstantans afin dobtenir des
bases de projection. On comparera les deux bases obtenues puis les rsultats de la projection
de lquation de Reynolds non-linaire (2-61) sur ces deux bases. Pour le cas o lon extrait
une base de la simulation du systme non-linaire, on tudiera dans quelle mesure la
trajectoire dapprentissage dtermine la validit de la base de projection issue de la
dcomposition propre orthogonale, et dans quelle mesure les fonctions de base peuvent tre
rutilises pour dautres paramtres gomtriques.

2.5.3.1. Extraction des modes : Dcomposition propre orthogonale

On travaille sur une poutre ayant les paramtres suivant : L=500 m, W=70 m, h=2 m,
G0=3 m. On se place dans un premier temps la pression de 1.013 104 Pa, lair ayant une
viscosit suppose constante de 1.82 10-5 Pa s, le fluide tant suppos continu. On excite le
premier mode propre de la poutre une amplitude de 20% de lcart ( = 0.2 ) au substrat et
une frquence de 50 kHz. La frquence de coupure de lamortissement du film dair
compress tant gale 134 kHz, on est dans le cas o la compressibilit du film dair a de

66

limportance. De plus la frquence propre de la poutre vaut 66 kHz, donc on est dans le cas o
lamortissement influence fortement la dynamique du systme mcanique dans le cas o lon
sintresse au modle coupl.

On se base sur les deux codes diffrences finies avec un maillage de 41 points sur la longueur
et 11 sur la largeur. On relve 41 instantans sur les 401 points du schma dintgration dans
le temps, ceci sur une priode du mouvement. On ralise une dcomposition en valeurs
singulires des matrices de ces instantans. On rappelle que les valeurs propres associes
chaque vecteur de base sont les carrs des valeurs de la matrice diagonale obtenue. Pour
lextraction partir du systme linaire, la premire fonction de base concentre 99.96% de
lnergie des instantans et les deux premires 100%. Pour lextraction partir du systme

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

non linaire, la premire fonction de base concentre 99.74% de lnergie, les deux premires
fonctions 99.96%. La figure 2-19 montre les modes POD issus de la simulation de lquation
linaire, la figure 2-20 les modes issus de la simulation de lquation non-linaire dans les
conditions dcrites au paragraphe ci-dessus. Dans les deux cas,

le premier mode peut

sapparenter au mode propre [2 x 1] du Laplacien. Le deuxime mode issu de la simulation du

systme linaire sapparente au mode propre [2x3] du Laplacien et est trs similaire au
deuxime mode de la base de Krylov (cf 2.2.4). Par contre le deuxime mode POD issu de la
simulation du systme non-linaire sapparente difficilement un mode propre du Laplacien.
On remarque que les deuximes modes sont trs diffrents dune simulation lautre.

67

Mode POD 1 (systme linaire)

Mode POD 2 (systme linaire)

0
0.1
-0.02
0.05
-0.04
0
-0.06
-0.05
-0.08
1

6
-0.1
1

6
-4

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

x 10

0.5

-4

x 10

-4

x 10

0.5

-4

x 10

0 0

Figure 2-19 Deux premiers modes de pression issus de la dcomposition propre orthogonale de 41 instantans
issus de la simulation du systme linaire reprsentant lquation de Reynolds linarise.

Mode POD 1

Mode POD 2

0.02

0.1

0
0.05

-0.02
-0.04

0
-0.06
-0.08

-0.05

-0.1
-0.12
1

-0.1
1

5
-4

x 10

0.5

-4

-4

x 10
0

x 10

0.5

-4

x 10
0

Figure 2-20 Deux premiers modes de pression issus dune dcomposition propre orthogonale de 41 instantans
issus de la simulation du systme non-linaire.

68

Pour illustrer la sensibilit de la forme des modes POD au choix de la trajectoire

dapprentissage, on applique la mme dmarche pour une pression ambiante de 1.013 105 Pa,
une amplitude du dplacement de la moiti de lcart initial au substrat et une frquence de 50
kHz, ce seulement pour la simulation du systme non-linaire. Le premier mode POD
concentre 98.92 % de lnergie du systme, les deux premiers 99.98%. Les profils selon la
largeur sont peu prs les mmes que dans le premier cas tudi, ils changent selon la
longueur. Les figures 2-21 et 2-22 prsentent ces profils pour les deux premiers modes POD
pour les deux cas tudis. On vrifie bien que la base dtermine dans le cas non-linaire
dpend fortement de la trajectoire dapprentissage. On vrifie que cest aussi le cas pour une
simulation du systme linaire.
mode POD 1 b

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

mode POD 1
0.02

0.02

-0.02

-0.02

-0.04

-0.04

-0.06

-0.06

-0.08

-0.08

-0.1

-0.1

-0.12

-0.12

-0.14
0

4
x(m)

6
-4

x 10

-0.14
0

4
x(m)

6
-4

x 10

Figure 2-21 Comparaison des profils selon la longueur du premier mode POD issu de diffrentes simulations.

69

mode POD 2 a

mode POD 2 b

0.1

0.1
0.08
0.06

0.05
0.04
0.02
0

0
-0.02
-0.04

-0.05
-0.06

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

-0.08
-0.1
0

4
x(m)

6
-4

x 10

-0.1
0

3
x(m)

6
-4

x 10

Figure 2-22 Comparaison des profils selon la longueur du deuxime mode POD issu de diffrentes simulations.

2.5.3.2.

Rsultats : systme linaire /systme non-linaire

On applique la mthode de Galerkin au modle non-linaire version 1 (2-54) pour deux

bases : les modes POD issus de la simulation du systme linaire et non-linaire dans le
premier cas dcrit au paragraphe prcdent ( P0 = 1.013 104 Pa, = 0.2 , f=50kHz ). La
situation tudie est la mme que celle de lextraction des bases. Dans ce paragraphe et ceux
qui suivent les erreurs sont dtermines sur la pression au point milieu et sont lerreur
maximum instantane. En termes de convergence, on a une solution 2% prs pour deux
modes dans les deux cas (si on ajoute un autre mode lerreur entre les deux solutions est de
moins de 2%). On retient donc les rsultats pour deux modes. La solution pour la base extraite
du systme non-linaire prsente 8.5% derreur alors que la solution pour la base extraite du
systme linaire prsente 2% derreur par rapport la solution du modle diffrences finies
non linaire. Dans ce cas la base issue dune simulation du systme linaire prsente de
meilleurs rsultats.
On effectue exactement la mme dmarche mais pour le deuxime cas ( P0 = 1.013 105 Pa,

= 0.5 , f=50kHz ). Les deux bases sont extraites partir de simulations avec ces paramtres.
La simulation de lquation Version 1 (2-54) se fait aussi avec ces derniers. En termes de
convergence, on a une solution 1% prs pour 2 modes POD retenus dans les deux cas. La
solution pour la base extraite du systme linaire prsente une erreur de 20% alors que la

70

solution pour la base extraite du systme non-linaire prsente une erreur de 8.5%. Ce cas
sloigne plus du cas linaire que le prcdent et on se rend compte quil est alors trs
pertinent dextraire une base partir de la simulation du systme non-linaire. Dans ce cas
une base issue de la dcomposition propre orthogonale prend tout son sens.

2.5.3.3. Changement de paramtres : pression ambiante, amplitude,

frquence.
On travaille maintenant sur le deuxime cas pour lequel on a extrait des modes POD
( P0 = 1.013 105 Pa, = 0.5 , f=50kHz ). On applique la mthode de Galerkin au modle

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

version 1 (2-61) pour deux bases : les modes POD issus de cette mme trajectoire et les
modes POD issus de la trajectoire prcdente ( P0 = 1.013 104 Pa, = 0.2 , f=50kHz ) du
systme non-linaire
Pour les deux bases choisies il faut 2 modes pour atteindre la prcision sur la solution voulue
(c'est--dire moins de 5% derreur si on ajoute un mode), et lerreur pour deux modes est
respectivement de 9 % pour la base issue de la mme simulation, et de 8% pour celle issue de
la simulation prcdente. On remarque toutefois que pour la base issue de la mme
simulation, lerreur pour 1 mode est de 8 % alors quelle est de 18% pour la base prcdente
pour laquelle la convergence est toutefois rapide puisquau final deux modes suffisent. La
premire base extraite savre donc valable pour une simulation une pression ambiante
diffrente, et o les non-linarits sont plus importantes du fait du plus grand dplacement.
Linverse est vrai aussi, on peut utiliser la dernire base extraite pour la simulation
prcdente. De mme la convergence est rapide et la prcision par rapport au modle
diffrences finies bonne.

2.5.3.4. Changement de gomtrie.

De mme, on constate que les modes POD restent valides mme en changeant les paramtres
gomtriques par rapport la simulation dextraction des modes (longueur, largeur,
entrefer,etc) avec toutefois la contrainte de prendre plus de modes en compte.

71

2.5.4. Comparaison des diffrentes bases de projection

2.5.4.1. Approximation du systme linaire

a. Approximation dans le domaine frquentiel
On sintresse au systme linaire (2-61) associ lquation dobservation suivante :
p milieu = C T p

(2-63)

o la variable observe est la variation de pression au milieu de la poutre. Un seul mode

mcanique est retenu pour lexcitation : la variable dentre est la coordonne modale vitesse.
Le systme est SISO (Single Input Single Output). On applique la transforme de Laplace
(2-61) et (2-63) et on obtient la fonction de transfert suivante :

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

H ( s ) = C T ( sI A) 1 B

(2-64)

En projetant le systme sur une base rduite, les matrices A, B, C deviennent Ar, Br, Cr (cf
1.2) et la fonction de transfert du modle rduit est alors :
T

H r ( s ) = C r ( sI r A r ) 1 B r

(2-65)

La base de Krylov est explicitement construite pour obtenir une bonne approximation de la
fonction de transfert autour dune certaine frquence, ce nest pas le cas des modes issus de la
dcomposition propre orthogonale. Pour les modes propres du Laplacien, il sagit aussi dune
approximation de la fonction de transfert autour des frquences propres des modes propres.
On reprsente sur les figures 2-23 et 2-24 le gain et la phase des fonctions de transfert des
diffrents modles rduits sur une plage de frquence [0 100kHz] pour la poutre dcrite
prcdemment ( L=500 m, W=70 m, h=2 m, G0=3 m) une pression ambiante de 1.013
103 Pa (fc=13.4 kHz), la base POD ayant t gnre avec = 0.05 et f =50 kHz. On obtient
une excellente approximation de la fonction de transfert sur la plage dsire avec la base de
Krylov et la base issue de la dcomposition propre orthogonale dinstantans issus de la
simulation du systme linaire. Les modes propres du Laplacien ne donnent pas un rsultat
parfait.

72

112
110
108

20 log (abs(H(j)))

106
104

Modle DF
Laplaciens numriques ordre 4
POD ordre 4
Krylov ordre 4

102
100
98
96

92
3
10

10
Frquence (Hz)

10

Figure 2-23 Gain de la fonction de transfert une pression ambiante de P0=1.013 103 Pa.
0
Modle DF
Laplacien numriques ordre 4
POD ordre 4
Krylov ordre 4

-0.2
-0.4
-0.6
Phi(j)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

94

-0.8
-1
-1.2
-1.4
-1.6
3
10

10
frquence(Hz)

10

Figure 2-24 Phase de la fonction de transfert pression ambiante P0=1.013 103 Pa.

b. Approximation dans le domaine temporel

On excite la poutre sinusodalement avec les paramtres suivants : P0 = 1.013 105 Pa,

= 0.05 , f=50 kHz et relve la valeur de la pression au point milieu pour le modle original
et les diffrents modles projets. La base POD est extraite avec les mmes paramtres. Pour

73

un ordre du modle rduit de 2, les bases de Krylov et POD donnent des rsultats parfaits,
alors que les modes propres du Laplacien donnent une solution entache derreur (5%). Les
rsultats samliorent toutefois quand on augmente lordre du modle rduit.

200

Modle DF 41x11
Krylov ordre 2
POD lin ordre 2
Laplacien ordre 2

pression au point milieu (Pa)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

150
100
50
0
-50
-100
-150
-200
-250
0.2

0.4

0.6

0.8

1
temps (s)

1.2

1.4

1.6

1.8

2
-5

x 10

Figure 2-25 Rponse dans le temps pour trois bases diffrentes : Krylov, POD modes propres du Laplacien.

2.5.4.2. Approximation du systme non-linaire

On rappelle les diffrentes versions de lquation tudie. On ajoute aux trois versions de
lquation tudies (2-54, 2-55, 2-56), lquation de Reynolds sans hypothses particulires
tudie dans [Hung 1999].

* G3 &
GP
(
PP) =
12
t

( 2-66) (Hung et al.)

Les paramtres gomtriques de la poutre sont toujours les mmes ( L=500 m, W=70 m,
G0=3 m). On impose P0 = 1.013 104 Pa, = 0.2 et f=50 kHz .
On applique la mthode de Galerkin sur les diffrentes versions de lquation de Reynolds en
utilisant successivement :
-

les modes propres du Laplacien. Ces modes ont une expression analytique et
ne dpendent aucunement dune trajectoire dapprentissage.

74

les modes de Krylov quon extrait de la structure du modle diffrences finies

associ lquation de Reynolds linaire. De mme, ils ne dpendent pas
dune trajectoire dapprentissage.

les modes POD issus dune srie dinstantans dune simulation du systme
non-linaire diffrences finies issu de (2-51). Ces modes dpendent dune
simulation dapprentissage, dont les paramtres sont : P0 = 1.013 104 Pa,

= 0.2 , f=50kHz.
Pour la version 3 avec le changement de variable, les modes POD utiliss sont dtermins sur
la nouvelle variable . Les erreurs correspondent lerreur maximum sur la pression
instantane au point milieu dans chaque cas prcis. Le tableau 2-2 contient linformation sur
le nombre de modes utiliser pour une erreur maximum de 5% par rapport une solution de

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

rfrence prenant en compte 25 modes. La prcision par rapport au code diffrences finies est
lerreur de cette solution de rfrence. Pour pouvoir valuer le modle de [Hung 1999] un
modle diffrences finies sans lhypothse des petites variations de pression a t cod.

Tableau 2-2 Rsultats pour diffrentes versions de lquation et pour diffrentes bases de projection.

Version 1
Laplacien
Convergence 3 x 1
5% prs
modes
Prcision par 4%
rapport au
modle DF

Convergence
5% prs
Prcision par
rapport au
modle DF

Hung et al.
Laplacien
2x1
modes
10%

Version 2
Krylov POD Laplacien
4
1
2x1
modes mode modes
4%
2%
3%

Krylov
3
modes
9%

Version 3
Krylov POD
Laplacien
1
1
2 x1
mode
modes modes
0.1%
0.3% 2%

Krylov
Pas
pertinent
Pas
pertinent

POD
3
modes
7%

On constate que la forme des quations de la version 2 et 3 assure effectivement une

convergence plus rapide de la solution pour une base constitue des modes propres du
Laplacien que la forme initiale qui correspond lquation version 1. On remarque que les
modes propres du Laplacien constituent une bonne base pour le modle de [Hung 1999]
puisque seul deux modes sont ncessaires pour une convergence 5 % prs. Les erreurs sont

75

POD
1
mode
2%

toutefois de lordre de 10% pour les trois bases alors que les erreurs pour les trois autres
modles restent infrieures 5%. On rappelle toutefois que lhypothse des petites variations
de pression na pas t faite pour ce modle. On ne compare donc pas exactement les mmes
choses. On peut conclure quil est plus difficile dobtenir un modle prcis par la mthode de
Galerkin de lquation (2-66) que de lquation (2-37) modifie ou non.
Pour les trois premires versions de lquation de Reynolds tudies, la projection sur les
modes POD est plus performante que la projection sur les modes du Laplacien. Selon le
modle, il faut plus ou moins de modes de Krylov que de modes propres du Laplacien pour
atteindre une prcision donne.
Les erreurs sur la pression au point milieu par rapport au modle diffrences finies restent
infrieures 5% pour les modles avec lhypothse des petites variations de pression. La

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

meilleure prcision est atteinte pour le modle version 2 avec comme base les modes de
Krylov, elle est de 0.1%.
On ralise maintenant une srie de simulation pour la version 1 de lquation avec les
paramtres suivants : P0 = 1.013 105 Pa, = 0.5 , f=50 kHz. On obtient les rsultats prsents
au tableau 2-3.

Tableau 2-3 Rsultats pour lquation version 1 pour un cas fortement non-linaire

Convergence
5% prs
Prcision par
rapport au
modle DF

Version 1
Laplacien
3x3
modes
6%

Krylov
9
modes
7%

POD
2
modes
4%

On constate que la base POD se rvle alors plus pertinente que les modes propres du
Laplacien et la base de Krylov alors mme quelle a t extraite pour dautres paramtres
( P0 = 1.013 104 Pa, = 0.2 , f=50kHz). Ainsi dans un cas plus fortement non-linaire,
lintrt de la base POD prend tout son sens malgr un surcot la construction d une
simulation ncessaire du modle non-linaire. Au prix dune augmentation du nombre de
modes utiliser et donc du cot dvaluation du modle, les modes propres du Laplacien et la
base de Krylov restent une solution pertinente.

76

2.6. Conclusion gnrale

On a dans ce chapitre trait de la rsolution de lquation de Reynolds linaire et non-linaire.
Aprs avoir rsum les contributions de la littrature sur ces points, nous avons propos une
rsolution de lquation linaire dans le but dune tude de la rponse frquentielle. Dans un
deuxime temps, il a sagit dtudier lquation de Reynolds non-linaire avec toutefois
lhypothse des petites variations de pressions. Un changement de variable sur la pression a
t propos afin de donner lquation une forme se prtant plus lutilisation des modes
propres du Laplacien comme fonctions de bases. Enfin, on a tudi la validit de trois bases
diffrentes : les modes propres du Laplacien, une base de Krylov et une base issue dune
dcomposition propre orthogonale. La rponse frquentielle ainsi que la rponse dans le
temps des modles rduits du systme linaire a t tudie. La validit des bases a aussi t

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

tudie pour la rponse dans le temps de lquation non-linaire.

Pour le systme linaire, une projection sur une base de Krylov ou une base POD se sont
rvls rendre parfaitement compte du comportement frquentiel sur une certaine plage.
On a pu constater la pertinence de lutilisation dune base POD dans un cadre fortement nonlinaire. Les modes POD prsentent toutefois linconvnient de dpendre dune trajectoire
dapprentissage. On a tudi brivement la validit dune base extraite dune simulation
particulire sur dautres simulations et les rsultats se sont rvls concluants. Une base POD
sest mme rvle rutilisable pour dautres paramtres gomtriques.
La base de Krylov qui elle est extraite partir des la structure du modle linaire se trouve
tre aussi pertinente que les modes propres du Laplacien avec toutefois, dans les deux cas, un
surcot quant aux nombres de modes utiliser par rapport une base POD. Ces deux bases
prsentent lavantage de ne pas dpendre dune trajectoire dapprentissage, ce qui rduit le
cot de construction du modle et augmente la robustesse du modle rduit obtenu.
Ainsi dans un cas faiblement non-linaire, on prconisera lutilisation dune base de Krylov
ou des modes propres du systme linaire (1.2.1). Dans un cas plus fortement non-linaire,
un compromis est trouver entre le cot de construction du modle important dans le cas
dune base POD, et le cot dvaluation du modle plus important dans le cas de bases issues
du systme linaire.

77

Chapitre 3
coupl
On

prsente

Rduction dordre de modle dun systme

le

principe

de

fonctionnement

dun

micro-interrupteur

actionn

lectrostatiquement. En effet le comportement de ce type de systme est fortement influenc

par lamortissement dun film dair compress, phnomne trait dans le chapitre prcdent.
On dcrira aussi les autres phnomnes physiques en jeu dans la modlisation de ce type de
systme. On fera un tat de lart de la rsolution de ce problme coupl pour sintresser
ensuite plus particulirement aux modles rduits de micro-interrupteurs. On tablira un
modle rduit coupl en incluant le modle de lquation de Reynolds avec changement de

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

variable tabli dans le chapitre 2. Ce modle coupl servira la simulation de leffondrement

dun micro-interrupteur. Pour valider ce modle, on se rfrera un modle diffrences
finies, ainsi qu des rsultats de la littrature.

3.1. Micro-interrupteur MEMS

3.1.1. Principe de fonctionnement
On se place ici dans le cadre dapplications radiofrquence (RF). Un micro-interrupteur peut
servir par exemple slectionner le mode mission ou rception dune antenne. Les diffrents
modes dactionnement dun micro-interrupteur MEMS sont lectrostatiques, thermiques,
magntostatiques, et pizolectriques. On sintresse ici aux micro-interrupteurs actionns
lectrostatiquement. Il existe deux principes de fonctionnement pour ces micro-interrupteurs
MEMS : le contact capacitif et le contact ohmique. Dans le cas dun contact capacitif, les
lectrodes dactionnement et de transmission sont les mmes (Figure 3-1). A son tat de repos
linterrupteur correspond une certaine capacit. Actionn, il vient coller un dilectrique au
dessus de la ligne de transmission, la capacit correspondante devient alors trs grande. Dans
le cas du contact ohmique, llectrode dactionnement est diffrente de celle tablissant le
contact au niveau de la ligne de transmission (Figure 3-2). Linterrupteur contact capacitif
fonctionne mieux pour les hautes frquences 5-100 GHz alors que linterrupteur contact
ohmique est plus efficace entre 0.1 et 40 GHz.

78

Figure 3-1 Micro-interrupteur contact capacitif.

Electrode dactionnement

Interrupteur

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Ligne de transmission

(a)
Electrode dactionnement

Ligne de transmission
Interrupteur

Ligne de transmission

(b)

Figure 3-2 Micro-interrupteur contact ohmique. (a) vue de ct (b) vue de dessus

Les interrupteurs en technologie semi-conducteurs sont traditionnellement constitus de

transistors ou diodes PIN. Les avantages principaux dun interrupteur MEMS par rapport la
technologie traditionnelle sont une faible consommation, une bonne linarit du composant,
de faibles pertes dinsertions et une meilleure isolation ltat ouvert. Pour un microinterrupteur contact ohmique, des problmes de fiabilit sont relier au contact mtal-mtal
au niveau de la ligne de transmission alors que pour un micro-interrupteur contact capacitif
ils sont dus au chargement du dilectrique. Des progrs sont aussi faire concernant la
puissance que peut supporter ce type de systme.

79

Les caractristiques temps de commutation, tension de commutation sont optimiser. On est

en prsence dun problme lectromcanique associ un problme fluidique si le microinterrupteur nest pas conditionn dans le vide. Ainsi des outils de simulations de ce problme
multi-physique sont ncessaires la conception de ces micro-interrupteurs.

3.1.2. Physique dun micro-interrupteur actionn de manire

lectrostatique
On se place dans le cas du micro-interrupteur du type de la figure 3-1 constitu dune poutre
encastre aux deux bouts. On suppose la longueur de la poutre grande devant ses deux autres

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

dimensions. Les phnomnes tant non-linaires, on ne peut ramener ce type de systme un

simple modle masse-ressort-amortisseur. La partie mcanique est modlise par lquation
dEuler-Bernoulli en grand dplacement. Le phnomne damortissement est rgi par
lquation de Reynolds dont la rsolution est traite dans le chapitre 2. Pour la partie
lectrostatique lapproximation des capacits planes est faite.

3.1.2.1. Mcanique
-Equation dEuler-Bernoulli
Laxe Ox est dfini selon la longueur de la poutre. La relation entre sa dformation et la force
qui lui est applique est en gnral dtermine par lquation des poutres dEuler-Bernoulli :
4w
2w
2w
EI 4 ( S + S 0 ) 2 = Fext A 2
x
x
t
L

(3-1a)

EA w
(3-1b)
S=
dx

2 L 0 x
o w est le dplacement vertical de la poutre, I son moment dinertie, S0 la tension rsiduelle,
S la force axiale due llongation, A laire de la section de la poutre, E le module dYoung et

la masse volumique du matriau. Cette quation est tablie en annexe B.

Le terme S (3-1b), correspondant la force axiale due llongation de la poutre ne devient
important que quand les dplacements verticaux sont de lordre de lpaisseur de la poutre.
Si le rapport largeur sur longueur est trop important (typiquement, suprieur 1/10),
lapproximation poutre nest plus valable, il faut considrer une plaque. Toutefois avec
lhypothse dun dplacement constant sur la largeur, lquation des plaques peut tre

80

approxime par lquation des poutres en changeant le module dYoung E dans (3-1a) en E
(3-1c), tant le coefficient de Poisson [Younis 2003].
E' =

E
(1 2 )

(3-1c)

-Pertes mcaniques
Il peut tre utile de tenir compte des pertes mcaniques au niveau des points dancrage. En
particulier, dans le cas dun environnement trs basse pression, ce sera la cause principale des
pertes du systme. Elles sont notamment mentionnes comme source derreur du modle
[Hung 1999].

-Contact

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[McCarthy 2002] prsente un modle pour un micro-interrupteur constitu dune poutre

encastre-libre (Fig.1-3). Le contact se fait seulement au bout de la poutre. La poutre ne colle
pas immdiatement, il y a un phnomne de rebondissement, qui est modlis par une raideur
supplmentaire. Dans le cadre de cette thse on tudie une poutre encastre-encastre pour
laquelle on ngligera ce phnomne.

3.1.2.2. Actionnement lectrostatique

-Force lectrostatique
Lquation rsoudre pour le problme lectrostatique est lquation de Poisson :
V = 0 .

(3-2)

associe aux conditions limites dfinissant le potentiel au niveau des lectrodes

dactionnement. On fait en gnral lapproximation des capacits planes, les sections restant
parallles. Lexpression de lnergie lectrostatique par unit de longueur est alors la
suivante :

1
U elec ( x) = C ( x)V 2
2
C ( x) = 0W

1
G ( x)

(3-3a)
,(3-3b)

C(x) la capacit par unit de longueur, G(x) est lcart entre la poutre et le substrat, W la
largeur de la poutre, 0 la permittivit lectrique du vide.
La force lectrique par unit de longueur a alors lexpression suivante :

81

Felec ( x) =

0WV 2
2

1
G ( x) 2

(3-4)

Cette approximation ne prend pas en compte les effets de bords. Ces derniers ont deux
causes : lpaisseur de la plaque tant non nulle, il existe un champ lectrique entre les bords
latraux et le substrat, et si les dimensions latrales de la plaque ne sont pas assez importantes
devant la distance au substrat, le champ entre les bords du dessus de la plaque et le substrat
nest plus ngligeable.

-Phnomne de pull-in/pull-out
Le comportement des structures actionnes de manire lectrostatique est caractris par une

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instabilit statique. Au-del dun certain dplacement vers le substrat, lquilibre entre la
force de rappel mcanique et la force dactionnement lectrostatique devient instable et la
poutre se colle brusquement au substrat : cest le phnomne de pull-in . Dans le cas dune
structure simplifie constitue de deux lectrodes, lune fixe, lune mobile suspendue un
ressort de raideur k.

Vdc

Aelec

Figure 3-3 Structure lectromcanique simplifie.

Linstabilit se produit une distance gale au tiers de la distance initiale entre les deux
lectrodes. La tension correspondante, dite tension de pull-in ou tension deffondrement,
scrit alors :
V pi =

8kG03
27 0 Aelec

(3-5)

Aelec est laire de la capacit, G0 est lcart initial entre les deux lectrodes
En pratique, on traite le cas dune poutre pour laquelle il est alors plus compliqu de trouver
une expression analytique de la tension deffondrement. [Pamidighantam 2002] propose une

82

expression prenant en compte les effets de bords, la contrainte rsiduelle, et les grands
dplacements de la poutre.
Une autre caractristique importante dun micro-interrupteur est la tension de rtablissement
V po ou tension de pull-out . Cette tension correspond la tension laquelle il faut

redescendre pour dcoller la poutre du substrat [Gretillat 1995]. Ainsi un micro-interrupteur

sera souvent soumis une tension de biais statique comprise entre V pi et V po de manire
acclrer son actionnement [Gretillat 1995]..

3.1.2.3. Phnomnes lectrothermiques

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[Yang 2004] inclut dans son modle les phnomnes lectrothermiques dans le cas o une
source de tension supplmentaire est connecte entre les deux extrmits de la poutre. Le
courant traversant la poutre est source de chaleur par effet Joule, ce qui modifie la contrainte
dans la poutre. Ces effets sont modliss par lquation linaire suivante.
T +

q C p T
=
,
k
k t

(3-6)

o q = E 2
est la source volumique de chaleur avec la conductivit lectrique et E le champ lectrique.
est la densit du matriau, C p sa capacit calorifique et k, sa conductivit thermique. Un
terme dexpansion thermique est inclus dans lquation dEuler-Bernoulli, de mme nature
que la contrainte rsiduelle ou la force axiale due llongation. Dans le cas tudi, il ny aura
pas de source de tension supplmentaire, ce phnomne ne sera pas pris en compte.

3.1.2.4. Amortissement
Le phnomne damortissement ayant lieu dans la configuration de la figure 3-1 est appel
dans la littrature squeeze film damping . Il est modlis par lquation de Reynolds qui a
fait lobjet dune tude approfondie dans le chapitre prcdent.

83

3.1.3. Rponse frquentielle du systme coupl

3.1.3.1. Modles de la littrature

On a vu dans le 2.1.3 que [Younis 2004] linarise lquation de Reynolds pour un
dplacement statique donne de la poutre pour dterminer les modes propres de pression
comme des fonctions des modes propres du dplacement. Il utilise ces expressions dans les
quations de Von Karman linarises. Par une mthode lments finis, il rsout le problme
aux valeurs propres rsultant pour en dgager le facteur de qualit et la frquence de
rsonance principale de la structure actionne electrostatiquement.
[Li 2007] applique la mthode de Galerkin lquation de Reynolds linarise autour dun

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

point de fonctionnement et en dduit la rponse frquentielle de coordonnes modales de

pression. Il utilise ces expressions dans lquation dEuler-Bernoulli galement linarise
pour dterminer la rponse frquentielle de la structure actionne lectrostatiquement. Par
identification, il obtient le facteur de qualit et la frquence de rsonance de la structure.

3.1.3.2. Rponse frquentielle du systme coupl

On va maintenant chercher comprendre linfluence que ce phnomne peut avoir sur un

systme coupl fluide-structure du type du micro-interrupteur de la figure 3-1 soumis une
force uniforme. On observe la rponse frquentielle de ce type de systme soumis une force
uniforme sinusodale. On rappelle lexpression des grandeurs caractristiques f c , pulsation de
coupure de lamortissement du film dair comprim et f m , pulsation propre mcanique.
fc

1 G02 P0 2
2 12 W 2

( 3-7)

fm =

1 2
2 L2

Eh 2
12

1 2
EI
=
A 2 L2

(3-8)

O , la premire valeur propre de loprateur spatial de lquation dEuler-Bernoulli une

dimension (3-1a).
Le systme mcanique se comporte comme un systme du deuxime ordre. La comparaison
de f m et f c permet dvaluer limportance du film dair sur la dynamique du systme. [Bao
2007] met en vidence trois cas principaux :

84

f c f m . Lamortissement visqueux et leffet de raideur influent tous deux sur la

dynamique. Les courbes bleue et rouge de la figure 3-4 illustrent ce cas pour un
systme mcanique de frquence propre f m = 32.9 kHz. A lapproche de f c la raideur
globale augmentant, le gain diminue. On observe aussi que le dcalage de la frquence
de rsonance et la baisse du facteur de qualit sont dautant plus importants que la
pression ambiante est grande. Les frquences de rsonance (celles pour lesquelles le
gain est maximal) sont notes f r .

f c << f m . Leffet de raideur du film est dominant. Toutefois, la raideur du systme

mcanique est en gnral beaucoup plus importante que celle du film dair. Celui-ci

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na donc que peu dinfluence sur le gain du systme complet. Nanmoins, un dcalage
de la frquence de rsonance est en gnral observable. Ce fait est illustr par la
courbe verte de la figure 3-4. On constate en effet une faible baisse du gain mais un
dcalage de 3 kHz de la frquence de rsonance.

f c >> f m . Sur la bande de frquence intressante ( f < f m ), lamortissement visqueux

est dominant. On observe ce phnomne sur la figure 3-5 pour des pressions ambiantes de
5 103 et 104 Pa. En abaissant la pression 2 10 3 Pa, les composantes raideur et
amortissement commencent avoir des importances comparables, un dcalage de la
frquence de rsonance est observable.

85

102 Pa

fc=1.2kHz / fr=35.9kHz

10 Pa fc=11.5 kHz / fr=57.1 kHz

2 103 Pa fc=23 kHz / fr= 72.2 kHz

-4

Amplitude modale

10

-5

10

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-6

10

10

10
frquence (Hz)

10

Figure 3-4 Rponse frquentielle diffrentes pressions ambiantes du premier mode dune poutre encastre encastre de frquence propre

f m = 32.9kHz soumise une excitation sinusodale uniforme.

86

2 103 Pa fc=92 kHz / fr=72.2 kHz

Amplitude du premier mode mcanique

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5 103 Pa fc=230 kHz / fr=67.5kHz

104 Pa fc=460kHz / fr= 66 kHz

-6

10

-7

10

10
Frquence (Hz)

10

Figure 3-5 Rponse frquentielle diffrentes pressions ambiantes du premier mode dune poutre encastreencastre de frquence propre f 0 = 65.7 kHz soumise une excitation sinusodale uniforme.

Ainsi, laide de quelques paramtres f m et f c on peut valuer qualitativement linfluence de

lamortissement du film dair sur la dynamique du systme coupl fluide-structure.

3.1.4. Modles rduits de micro-interrupteur

3.1.4.1. Modle de [Gabbay 1998] /[Mehner 2000]

a. Principe gnral
[Gabbay 1998] et [Mehner 2000] proposent une approche base sur le dcouplage des
domaines pour la construction du modle rduit. Des fonctions dapproximation des nergies
lectrostatique, mcanique et cintique sont dtermines par des sries de simulations unidomaines. Un circuit quivalent du phnomne damortissement dun film dair compress est
tabli, les valeurs des composants dpendant de lamplitude du dplacement. Cette mthode a
t implmente dans ANSYS sous la forme dlments particuliers (ROM144 pour les

87

parties lectrostatiques et mcaniques et ROM140 pour la partie amortissement). Les

simulations

uni-domaine

ncessaires

ltablissement

des

diffrentes

fonctions

dapproximations des termes non-linaires sont faites automatiquement. La simulation

transitoire dun micro-interrupteur pour un chelon de tension suprieure sa tension de pullin sert de validation. Lerreur sur le dplacement du point milieu est denviron 15%.

b.

Modle mcanique

On sintresse ici plus particulirement au modle mcanique. Lutilisation dune approche

sapparentant sous certains aspects la thorie des modes propres non-linaires permet de
rendre compte correctement des non linarits mcaniques.
Le modle mcanique de [Gabbay 2000] est bas sur les modes propres linaires de la

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structure tablis partir dun modle lments finis. Lexpression de lnergie mcanique a
alors la forme suivante :
1
U m (q) = M i i2 qi2
(3-2)
i 2
O q est le vecteur des coordonnes modales, les i les frquences propres de rsonances et
les M i , les masses modales.
[Gabbay 2000] fait des simulations quasi-statiques de la structure actionne
lectrostatiquement avec le modle linaire ci-dessus et avec un modle lments finis non
linaire lectro-mcanique tabli laide du logiciel CoSolve-EM. Aucune autre prcision
n'est donne sur le modle mcanique lments finis utilis. Il apparat que le modle linaire
sous-estime la raideur de la poutre par rapport au modle lment finis. Dans un deuxime
temps, [Gabbay 2000] tablit une fonction dapproximation de lnergie mcanique non
linaire en fonction de coordonnes modales correspondant aux modes propres linaires de la
structure partir de donnes issues de simulations lments finis. Il savre que le modle
obtenu surestime la raideur de la poutre. Ainsi le modle linaire contraignant certains degrs
de libert de la poutre, les modes propres linaires ne suffisent pas la construction dun bon
modle non linaire. [Mehner 2000] cherche amliorer ce modle. Il se place dans le cadre
des modes normaux non-linaires (MNNs). Il se base sur des modes de la structure mcanique
o seuls les mouvements des nuds de la surface neutre dans la direction principale du
mouvement sont contraints. Les autres degrs de libert sont libres ce qui laisse par exemple
la possibilit de contractions de Poisson non prises en compte dans les modles de [Gabbay
2000]. Du point de vue des MNNs, on peut considrer quil choisit une variable matre qui est
la coordonne modale du dplacement dans la direction principale de la ligne neutre. Une
coordonne matre quivalente serait de choisir le dplacement dans la direction principale

88

dun nud de la ligne neutre. Les dplacements de ce nud matre dans les deux autres
directions ainsi que les dplacements dans les trois directions de tous les autres nuds sont
alors des coordonnes esclaves. Il ne relvera pas les dplacements de tous les nuds mais
seulement la grandeur macroscopique ncessaire ltablissement de la dynamique, c'est-dire lnergie mcanique. Il en tablit ensuite une expression approche par une mthode des
perturbations en supposant un mode dominant. Les donnes permettant la dtermination de
lexpression approche sous la forme dun polynme dordre 4 des coordonnes modales sont
issues de simulations correspondant un mouvement du premier mode modifi en interaction
avec les autres modes mineurs modifis aussi. Ce modle rend compte correctement des effets
non linaires dune structure en grands dplacements.

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3.1.4.2. [Hung 1999], [Rewienski 2003 B], [Chen 2004].

[Hung 1999], [Rewienski 2003 B], [Chen 2004] traitent un mme exemple de microinterrupteur rgi par lquation dEuler-Bernoulli dans le cas linaire (3-1), par lquation de
Reynolds dans le rgime de Knudsen (2-37) et dont lactionnement lectrostatique est
modlis par lapproximation des capacits planes. On sintresse aux performances des
mthodes, on ne rappelle que brivement leur principe celui-ci ayant t dcrit plus haut en
dtail.
[Chen 2004] linarise les quations et en tablit un schma diffrences finies pour en extraire
une base de Krylov par la mthode dArnoldi (cf 1.1.2). Paralllement il fait un
dveloppement de Taylor des termes non-linaires de lquation dorigine lordre deux ou
trois. Puis il projette lquation obtenue sur la base de Krylov prcdente. Son modle ne
parvient pas dcrire des dplacements de plus de 20% de lcart initial, la base rduite tant
de dimension 5 et lordre du dveloppement de Taylor 3.
[Rewienski 2003 B] dveloppe un modle linaire par morceaux dont la base de projection
est construite par concatnation des espaces de Krylov issus des modles linariss autour de
diffrents points de lespace des phases. A partir dun modle diffrences finies dordre
N=880 (nombre de variables dtats), il obtient des rsultats satisfaisants avec un modle
rduit dordre 41 et 9 points de linarisation.
[Hung 1999] utilise la mthode de Galerkin avec des modes issus de la dcomposition propre
orthogonale (1.2.2). A partir dun modle diffrences finies dordre N=240 (pour le maillage
de 1/4 de la poutre) et de 4 trajectoires dapprentissage (ncessitant des simulations du modle
diffrences finies complet), il obtient des rsultats satisfaisants avec un modle dordre 4 (2

89

modes mcaniques, 2 modes pression) pour un chelon de tension en entre. Le temps de

simulation est divis par 37. Il remarque que le gain en efficacit augmente avec lordre du
systme initial. Il compare aussi les rsultats sur le temps deffondrement des rsultats
exprimentaux.

3.2. Modle coupl fluide-structure dun micro-interrupteur

contact capacitif
3.2.1. Equations
On modlise le micro-interrupteur actionn lectrostatiquement de la figure 3-1. On a retenu
le modle de Reynolds avec changement de variable. Le systme dquations aux drives

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partielles le rgissant est :

4w
2 w 0 wV 2
2w
1

+
S
S
=
+

f
A
(
)

0
flu
x 4
x 2
2 (G0 w( x, t ) )2
t 2
avec
EI

S=

EA
2L

(3-9a)

w
dx (3-9b)
x

1
12 N 2
= 1
G 1+

P0
2 t

(3-10a)

avec
p =

12

(3-10b)

(G ) = (1 + 6 K n )G 3 (3-10c)

3.2.2. Modle rduit

3.2.2.1. Euler-Bernoulli
Le modle mcanique est bas sur lquation dEuler-Bernoulli linaire ou non-linaire pour
une poutre (3-9a). Rigoureusement, si le dplacement de la poutre est de lordre de grandeur
de son paisseur, la force axiale (3-9b) doit tre prise en compte.
Le modle mcanique rduit est obtenu par la mthode de Galerkin applique (3-9a). La
base slectionne est consistitue dune slection de N modes de vibrations de la poutre. On a

90

report la drivation de lexpression de ces modes en annexe B. En projetant le terme

comprenant la tension axiale de (3-9b) sur les N modes propres mcaniques, on obtient :
L

w
w
S
wl = S wl S
2
x
x 0
2

wi wl
ai
= S
x x

i =1

w wl
dx = S
x x

H li a i

(3-11a)

i =1

pour l = 1,..., N
o ai, i=1,,N sont les coordonnes modales de la structure
avec H lk =

wk wl
x x
2

EA
S=
2L

, k = 1,..., N , l = 1,..., N
L

EA
w
dx =
2L
x

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

soit S = a T Ha

i =1

(3-11b)

wi
EA
ai
dx
=
x
2L

a i a j H ij

i , j =1

(3-12)

On obtient alors un modle de la forme :

Ka + (aT Ha )Ha + Ma = p e + p flu

o

(3-13a)

M = AI

o I est la matrice identit.

et

14

K = EI
...

...
4
.. N
...

4
2

K est une matrice diagonale contenant les valeurs i4 =

A
EI

i2 , i=1, N o les i sont les

pulsations propres associes aux modes propres wi.

Soit :

K 2 (a)a + Ma = p e + p flu

(3-13b)

avec

K 2 (a) = K + (a T Ha)H
a sont les coordonnes modales mcaniques, p e et p flu sont respectivement la projection de la

force lectrostatique et de la force fluidique sur les N modes slectionns.

91

3.2.2.2. Equation de Reynolds

La base sur laquelle on dveloppe la solution est constitue dune slection des modes propres
du Laplacien. Le modle issu de la mthode de Galerkin applique (3-10a) est donn
quation (2-45) au 2.4.3.

3.2.2.3. Modle coupl

On a :

pl flu = p wl =

k 1 / 2 wl s k (t ) =

k =1

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NS

NS

avec BPlk = k 1 / 2 wl

BPlk s k (t ) ,

(3-14)

k =1

pour l = 1,..., N

o Ns est le nombre de modes damortissement retenus.

Si on assemble les modles mcanique et fluidique, on obtient donc le modle rduit coupl
suivant :

I
0 a 0
0 a 0
I 0
d

0 M
0 a = K 2 (a) 0 BP (a) a + p e (a, t )

dt
0 0 B(a) s 0
0 Q(a, a ) s f (a, a )

(3-15a)

On peut alors crire (3-15a) sous la forme :

M f (z )

dz
= G (z )z + g (z, t )
dt

(3-15b)

a
z = a
s

(3-15c)

Lintgration dans le temps de cette quation peut alors se faire en utilisant les solveurs ddis
de Matlab (ode15s,).

92

3.2.3. Importance de lamortissement dans la dynamique du systme

tudi.

3.2.3.1. Cas tudi

Pour valider le modle damortissement d au film dair compress, on utilise lexemple
utilis par [Hung 1999] repris ensuite par [Rewienski 2003 B]. Ce microsystme (Figure 3-1)
a le mme type de fonctionnement quun micro-interrupteur contact capacitif. Le temps
deffondrement dpendant de la pression, il a t envisag de lutiliser comme capteur de
pression [Gupta 1997].
Les paramtres caractristiques de la poutre tudie sont les suivants : longueur L = 610 m,

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largeur W = 40 m, paisseur h = 2.2 m, distance au repos entre les lectrodes G0 = 2.3

m, module dYoung E = 149 10 9 Pa , tension rsiduelle S 0 = 3.7 MPa , densit du

matriau de la poutre =2330 kg.m-3. Par ailleurs la viscosit de lair vaut = 1.82 10-5Pa.s
et la permittivit du vide 0 =8.85410-12 F/m. Le parcours libre moyen dans lair pression
atmosphrique Patm vaut 0=64 nm, ce qui nest plus ngligeable devant G0 (2% G0 ). Cest
dautant plus vrai si la pression ambiante P0 diminue. Le libre parcours moyen vaut
alors = 0

eff =

Patm
. On utilise alors le modle suivant pour la viscosit effective :
P0

1+ 6

(3-16)

Ce modle sera choisi ou non selon les rsultats auxquels on compare ceux de notre modle
rduit.

3.2.3.2. Importance de lamortissement du film dair dans la dynamique

93

-6

2.5

x 10

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Ecart au substrat du point milieu (m)

P0 1.013 105
2

P0 1.013 104

1.5

0.5

0
0

3
temps(s)

6
-4

x 10

Figure 3-6 Rponse un chelon de tension de 9V pour diffrentes pressions ambiantes.

On ralise des simulations des pressions ambiante diffrentes 1.013 105 Pa et 1.013 104 Pa
pour la structure dcrite ci-dessus. On retient un seul mode propre mcanique (N=1) et 4
modes damortissement (Ns=4). On ne prend pas en compte les grandes dformations mais on
se place dans le rgime de Knudsen. La tension deffondrement de cette structure est 8.87 V.
La figure 3-6 montre que la pression ambiante a une grande influence sur la dynamique du
systme, c'est--dire que les phnomnes damortissement jouent un rle important. Reste
savoir quels phnomnes exactement et dans quelle mesure il est important davoir une bonne
modlisation de lamortissement.
On observe la figure 3-7 la valeur absolue des diffrentes forces projetes sur le premier
mode mcanique pour un chelon de 9.5V et une pression ambiante de 1.013 105 Pa.

94

-4

x 10
9
8
7

f elec
f mca
f flu

(f,w1) (N)

6
5
4
3

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

2
1
0
0

0.5

1.5
temps(s)

2.5
-4

x 10

Figure 3-7 Valeur absolues des diffrentes forces projetes sur le premier mode mcanique

En effet, lhypothse des petites variations de pression nest plus valable sur la fin de la
simulation : la pression tend vers linfini. Les rsultats sont toutefois valables pour deux
raisons : la pression ne dpasse 10% de la pression ambiante que sur la toute fin de la
simulation et la force de pression devient ngligeable par rapport la force lectrostatique. En
effet, la pression au point milieu atteint 10% de la pression ambiante alors que la poutre a dj
parcouru 90% de la distance initiale au substrat. Dautre part au moment o la variation de
pression atteint la valeur de la pression ambiante, la force lectrostatique vaut dj deux fois
la force de pression. On a marqu le temps o lon atteint la limite de validit du modle par
une ligne verticale bleue.

3.2.3.3. Incompressibilit / Petite variation de pression

Lquation de Reynolds dans le rgime de Knudsen avec lhypothse des petites variations de
pression a la forme :

G 3 (1 + 6 K )
p
p G G p
+

p = G1 + = 1 +
t
12
P0 P0 t P0 t

(3-17)

95

Ngliger le deuxime terme du membre de droite de (3-17) car les variations de pression sont
faibles et lentes correspond ce qui est appel dans la littrature hypothse
d incompressibilit , mme si strictement parler le gaz nest pas incompressible. En
effet, on fait lhypothse des gaz parfaits : si le gaz est incompressible, la pression ne varie
pas.
On avait dj une indication qualitative de linfluence des diffrents paramtres sur
limportance du phnomne de compressibilit dans le cas linaire et en rgime sinusodal de
part la frquence de coupure ou le nombre de squeeze. Ici on va vrifier linfluence de la
pression ambiante et de la largeur de la poutre sur la ncessit ou pas de prendre en compte la
compressibilit du gaz dans le modle dans le cas non linaire et sur une simulation en
transitoire. On compare les temps de commutation avec et sans cette hypothse

-5

2.8

x 10

2.6

cas "incompressible"
cas compressible

2.4
Temps d'effondrement (s)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

supplmentaire.

2.2

1.8

1.6

1.4
8.8

9.2

9.4

9.6

9.8
10
Tension (V)

10.2

10.4

10.6

10.8

Figure 3-8 Temps deffondrement de la structure [Hung 1999] une pression ambiante P0=1.013 103 Pa.

La figure 3-8 montre des rsultats pour le micro-interrupteur dcrit ci-dessus pour une
pression ambiante de P0= 1.013 103 Pa. Les figures 3-9 et 3-10 montrent des rsultats pour une

96

largeur de 70 m, les autres dimensions tant gales celle de [Hung 1999], et des pressions
respectivement gales 1.013 104 Pa et 1.013 103 Pa.

-3

x 10

2.5
Temps d'effondrement (s)

Pa=1.013 104 cas compressible

1.5

0.5

0
8.8

9.2

9.4

9.6

9.8
10
Tension (V)

10.2

10.4

10.6

10.8

Figure 3-9 Temps deffondrement, Largeur 70 m, Pression ambiante P0=1.013 104 Pa

-5

11

x 10

10
9
Temps d'effondrement (s)

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Pa=1.013 104 cas "incompressible"

Pa=1.013 103 cas "incompressible"

Pa=1.013 103 cas compressible

6
5
4
3
2
1
8.8

9.2

9.4

9.6

9.8
10
Tension (V)

10.2

10.4

10.6

10.8

Figure 3-10 Temps deffondrement, Largeur 70 m, Pression ambiante P0=1.013 103 Pa

97

A pression ambiante et mme 1/10 de la pression ambiante, il nest pas ncessaire de

prendre en compte le terme

p
pour la structure considre. Par contre si on baisse la
t

pression ambiante et/ou que lon augmente la largeur de la structure, alors le phnomne de
compressibilit devient plus important ce qui tait bien prdit par le modle linaire.

3.2.3.4. Importance du modle de la viscosit

Les figures 3-11 et 3-12 donnent les rsultats concernant les temps deffondrement avec le
modle de la viscosit constante et le modle faisant intervenir le nombre de Knudsen (3-16).

vaut que 3% de lcart au substrat. Le temps deffondrement diminue quand on prend en

compte la viscosit effective. A une pression infrieure savoir 1.013 104 Pa, lcart est
encore plus important ce qui est logique car alors le libre parcours moyen vaut presque 30%
de lcart initial au substrat.
-3

x 10

N=1 Ns=4 Rgime de Knudsen

N=1 Ns=4 Viscosit constante

2.5
Temps d'effondrement (s)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

On constate une diffrence pression atmosphrique alors que le libre parcours moyen ne

1.5

0.5

0
8.8

9.2

9.4
9.6
9.8
Tension d'actionnement (V)

10

10.2

10.4

Figure 3-11 Mesure des temps deffondrement une pression ambiante de 1.013 105 Pa.

98

-3

x 10

N=1 Ns=4 Rgime de Knudsen

2.5
Temps d'effondrement (s)

N=1 Ns=4 Viscosit constante

2

1.5

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

0.5

0
8.8

9.2

9.4
9.6
9.8
Tension d'actionnement (V)

10

10.2

10.4

Figure 3-12 Mesure des temps deffondrements pour une pression ambiante de 1.013 104 Pa.

3.2.4. Validation du modle : comparaison un modle diffrences finies

3.2.4.1. Modle diffrences finies

Le modle mcanique est le modle bas sur lquation dEuler-Bernoulli incluant ou pas la
force axiale due aux grands dplacements. On travaille en outre sur le modle de lquation de
Reynolds viscosit constante, c'est--dire que lon nest pas dans le rgime de Knudsen. Le
modle diffrences finies fluidique est construit avec lhypothse des petites variations de
pression.
On prsente les deux mthodes de rsolution, la rsolution directe du systme coupl et la
mthode de relaxation. Les rsultats des deux mthodes sont concordants. Le modle coupl a
une limitation supplmentaire due aux limites de puissance de calcul de lordinateur
disposition. La mthode de relaxation offrira plus de possibilits en termes de nombres de
points du maillage.
On compare les rsultats de notre modle rduit ceux du modle diffrences finies dans
lobjectif de valider le modle rduit construit.

a. Modle coupl

99

On assemble les modles diffrences finies mcanique et fluidique pour obtenir un modle
coupl de la forme suivante :

w 0
d
 = M 1 K
w

dt
p 0

w 0
 + M 1 Felec
0
M B w

 ) p 0
R(w) Q(w, w
I

(3-19)

O w, vecteur des dplacements, et p, vecteurs de pressions.

Le dtail du schma diffrences finies concernant lquation dEuler-Bernoulli est fourni en
annexe E, ainsi que celui de lquation de Reynolds qui diffre quelque peu de celui prsent
en annexe C. On utilise le solveur ddi de Matlab ode15s pour rsoudre ce systme dEDOs

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non-linaires.

b. Mthode de relaxation
On dtaille ici le schma numrique de la mthode de relaxation utilise.
Soit w, le vecteur des dplacements, v, le vecteur des vitesses, et p le vecteur des pressions
aux diffrents points du maillage.
On rsout le systme coupl selon le schma reprsent la Figure 3-12.

w t +1 , v t +1 , p t

w t +1 , v t +1 , p t

wt , vt ,pt
mca

+1

Reynolds

Figure 3-13 Schma numrique de rsolution de lquation de Reynolds

Le bloc mca correspond la rsolution dEuler-Bernoulli avec inclusion des grands

dplacements ou pas selon un schma prdicteur-correcteur. La partie lectrostatique est
incluse dans le bloc mca via lapproximation des capacits planes donnant une
expression explicite de la force lectrostatique fonction du dplacement. Le bloc Reynolds
correspond la rsolution implicite de lquation de Reynolds avec lhypothse des petites
variations de pression (2-37).
Le dcouplage des diffrents domaines permet de rduire la taille des problmes rsoudre
mais aussi de les ramener une intgration dans le temps qui ne ncessite que la rsolution de
systmes linaires. Cette approche permet de travailler avec un maillage de dimension
importante.

100

3.2.4.2. Rsultats
On compare, pour la poutre dcrite au 3.2.3.1. , les rsultats obtenus laide des diffrents
modles dans le cas o :

la force dactionnement est uniforme et sinusodale.

la force dactionnement est due lapplication dune tension continue entre la poutre
et le substrat.

Lobjectif est ici de valider le modle rduit en comparant les rsultats ceux donns par le
modle diffrences finies. Le modle diffrences finies repose sur lutilisation de 41 points
sur la longueur de la poutre et 11 points sur la largeur. Le nombre de points utiliss pour
valuer les intgrales pour les modles rduit est choisi de manire coller au maillage

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diffrences finies. On compare ici le dplacement du point milieu pour les deux modles.
Notre modle rduit est intgr dans le temps laide du solveur ode15s de Matlab. Le
modle diffrences finies est intgr dans le temps selon la mthode dcrite au 3.2.4.1\b. On
a vrifi que dans les deux cas, force uniforme et actionnement par une tension continue, un
seul mode mcanique suffit. Pour la partie fluidique, on considre que le modle converge
quand, si on ajoute un mode supplmentaire selon lune des deux directions lerreur entre les
deux rsultats nest pas de plus de 2%.

c. Force uniforme
On va traiter deux exemples. Dans le premier cas on applique une force uniforme sinusodale
damplitude 5 10-2 N/m, de frquence 10 kHz une pression ambiante de 1.013 105 Pa. Le
phnomne de compressibilit sera ngligeable mais le phnomne fluidique sera fortement
non linaire du fait des grands dplacements. Dans un deuxime cas lamplitude de la force
sera de 2 10-2 N/m, sa frquence 100 kHz et la pression ambiante de 1.013 104 Pa. Le
phnomne de compressibilit prendra alors plus dimportance limitant assez rapidement
lamplitude du dplacement possible du fait de lhypothse des petites variations de pression.
Le phnomne observ ne sera que faiblement non linaire mais fera intervenir la
compressibilit du film.
Le modle diffrences finies est intgr dans le temps avec 400 points par priode. Les figures
3-14 et 3-15 prsentent les rsultats pour le premier cas.

101

14

DF relaxation 41x11 pts

MOR N=1 Ns=9

Ecart au substrat du point milieu (m)

12

10

0.2

0.4

0.6

0.8

1
1.2
temps (s)

1.4

1.6

1.8
-4

x 10

Figure 3-14 Ecart au substrat pour une force uniforme sinusodale damplitude 5 10-2 N/m, de frquence 10 kHz
une pression ambiante de 1.013 105 Pa.

DF relaxation 41 x 11 pts
MOR N=1 Ns=9

10000
Variation de pression au point milieu (Pa)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

8000
6000
4000
2000
0
-2000
-4000
-6000
0.2

0.4

0.6

0.8

1
1.2
temps(s)

1.4

1.6

1.8

2
-4

x 10

Figure 3-15 Variation de pression au point milieu pour une force dexcitation de la poutre uniforme sinusodale
damplitude 5 10-2 N/m, de frquence 10 kHz une pression ambiante de 1.013 105 Pa.

102

On peut considrer que le modle rduit converge pour 9 modes damortissement.. Les
erreurs relatives sont de 3% pour le dplacement et 13.5% pour la pression au point milieu.
Les figures 3-16 et 3-17 prsentent les rsultats pour lcart au substrat et la pression au point
milieu pour les deux modles pour le deuxime cas dtude. Dans ce cas 4 modes
damortissement suffisent la convergence du modle. Lerreur maximum sur la pression et
sur le dplacement est denviron 7%.
-6

x 10

DF relaxation 41 x 11 pts
MOR N=1 Ns=4

Ecart au substrat du point milieu (m)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

2.6
2.5
2.4
2.3
2.2
2.1
2
1.9
1.8

0.2

0.4

0.6

0.8

1
1.2
temps(s)

1.4

1.6

1.8

2
-5

x 10

Figure 3-16 Ecart au substrat pour une force uniforme sinusodale damplitude 2 10-2 N/m, de frquence 100
kHz une pression ambiante de 1.013 104 Pa.

103

DF 41 x 11 pts
MOR N=1 Ns=4

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Variation de pression au point milieu (Pa)

1000
800
600
400
200
0
-200
-400
-600
-800
-1000
0.2

0.4

0.6

0.8

1
1.2
temps(s)

1.4

1.6

1.8

2
-5

x 10

Figure 3-17 Variation de pression au point milieu pour une force dexcitation de la poutre uniforme sinusodale
damplitude 2 10-2 N/m, de frquence 100 kHz une pression ambiante de 1.013 104 Pa

d. Force lectrostatique
On applique maintenant une tension chelon de 9.5V une pression ambiante de 1.013 105
Pa. On note que lhypothse des petites variations de pression nest plus valable sur la fin de
la simulation mais que pour les raisons exposes plus haut cela na pas dincidence sur le
temps de commutation.
En ce qui concerne le nombre de modes, notre modle donne un temps deffondrement 1.5%
prs pour un modle 9 modes damortissement par rapport un modle 16 modes. Les
figures 3-18 et 3-19 prsentent les rsultats pour lcart au substrat et la variation de pression
au point milieu. Notre modle rduit donne pour un modle 9 modes damortissement un
temps deffondrement 3% par rapport au code diffrences finies.

104

-6

2.5

x 10

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Ecart au substrat au point milieu (m)

DF 41 x 11 pts
MOR N=1 Ns=9
2

1.5

0.5

0
0

2
temps(s)

4
-4

x 10
Figure 3-18 Ecart au subtrat du point milieu pour une activation par une tension chelon de 9.5 V. La pression
ambiante est de 1.013 105 Pa.

700
600

DF 41 x11 pts
MOR N=1 Ns=9

500

400
300
200
100
0

0.5

1.5

2.5
-4

x 10

Figure 3-19 Variation de pression au point milieu pour une activation par une tension chelon de 9.5 V. La
pression ambiante est de 1.013 105 Pa.

105

3.2.5. Validation du modle : comparaison des rsultats de la

littrature.
Dans un premier temps, on comparera les rsultats de notre modle rduit dautres modles
diffrences finies de la littrature. Dans un deuxime temps, on prsentera des donnes
exprimentales. Le systme tudi est toujours le mme que celui dcrit prcdemment aux
paramtres prs pour les donnes de Gupta et al. [Gupta 1996]. On prsentera aussi les
rsultats du modle de Hung avec comme base de lquation de Reynolds des modes issus
dune dcomposition propre orthogonale.

a. [Hung 1999]/ [Rewienski 2003 B]

Les paramtres caractristiques de la poutre tudie sont ceux donns au paragraphe 3.2.3.1.
Dans le modle de [Hung 1999] leffet des grands dplacements de la poutre nest pas pris en
compte, par contre le modle de Reynolds est le modle non-linaire (2-8) et la limite de
continuit du fluide est prise en compte, le modle de la viscosit est celui prsent au
3.2.3.1.
-3

1.5

x 10

DF Hung 40x 20
MOR 1 N=1 Ns=4
MOR 2 Hung N=1 Ns=4
Temps d'effondrement (s)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

3.2.5.1. Modles diffrences finies de la littrature

0.5

0
8.8

9.2

9.4

9.6
Tension (V)

9.8

10

10.2

10.4

Figure 3-20 Temps deffondrement en fonction de la tension chelon applique

106

La base de projection de lquation de Reynolds pour le modle de Hung et al. est issue dune
dcomposition propre orthogonale dune srie dinstantans dune simulation de linterrupteur
actionn par une tension chelon de 9.5V. La tension deffondrement prdite par le modle
diffrences finies de Hung et al. est 8.76V. Notre modle rduit dordre 6 ainsi que celui de
Hung de mme ordre prdisent une tension deffondrement de 8.87 V. Notre modle donne
des estimations du temps deffondrement parfaitement corrects mis part pour des tensions
trs proches de la tension deffondrement. Le modle de Hung et al. donne des rsultats de
mme qualit que notre modle.

Rewienski et al. traitent exactement le mme exemple que Hung et al., c'est--dire que la
limite de validit de lhypothse de continuit du fluide est prise en compte mais pas les

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

grands dplacements. Sa poutre est maille par 40 x 20 nuds, de mme que le modle
diffrences finies de Hung et al. Les figures 3-21 et 3-22 prsentent les trajectoires pour des
tensions chelon de 5.5V et 9V la pression atmosphrique. La variation de pression
maximum est de 45 Pa pour 5.5 V, lhypothse des petites variations de pression est bien
valable. Pour 9 V, la variation de pression atteint 10% de la pression ambiante, limite de
validit de lhypothse des petites variations de pression, alors que la poutre a dj parcouru
95% de son dplacement.

107

-8

x 10
0

DF Rewienski 40x20
MOR 1 N=1 Ns=4

-2

MOR 2 Hung N=1 Ns=4

Dplacement du point milieu (m)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

-4
-6
-8
-10
-12
-14
-16
-18
-20
0

5
temps(s)

10
-5

x 10

Figure 3-21 Rponse un chelon de 5.5 V

108

-6

x 10
0

DF Rewienski 40x20
MOR 1 N=1 Ns=4
MOR 2 Hung N=1 Ns=4

dplacement du point milieu (m)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

-0.5

-1

-1.5

-2

3
temps(s)

6
-4

x 10

Figure 3-22 Rponse un chelon de 9V.

La figure 3-23 prsente la rponse une tension cosinusodale damplitude 7V et de

frquence 2kHz. La variation de pression maximale pour ce cas est de 70 Pa, lhypothse des
petites variations de pression est donc bien valable.

109

-7

0.5

x 10

DFRewienski 40x 20
MOR 1 N=1 Ns=4

MOR 2 N=1 Ns=4 POD

Dplacement du point milieu (m)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

-0.5

-1

-1.5

-2

-2.5

-3

-3.5
0

0.5

1.5

2
2.5
temps (s)

3.5

4.5
-4

x 10

Figure 3-23 Rponse une tension cosinusoidale damplitude 7V et de frquence 2kHz.

La figure 3-24 prsente la trajectoire du point milieu pour une tension dentre

v(t ) = 5.5 exp(50.10 3 t ) et une pression ambiante de 1.013 103 Pa. Rewienski semble avoir
omis dadapter le libre parcours moyen qui devient alors 100 fois plus grand qu pression
atmosphrique. En commettant cette mme erreur, les rsultats concordent. On constate ici
que la base POD pour le modle de Hung et al. ne donne pas de bons rsultats. La trajectoire
dapprentissage est en effet assez loigne de la trajectoire rsultant de lentre exponentielle.
On teste le modle avec les modes propres du Laplacien, base qui stait rvle donner des
rsultats corrects au chapitre 2 (2.5.4.2). On constate que les rsultats sont meilleurs mais
toutefois toujours moins bons que ceux de notre modle rduit.

110

-8

x 10

-2

-4

DF Rewienski 40x20
MOR 1 N=1 Ns=4
MOR 2 Hung N=1 Ns=4 POD

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

-6

MOR 2 Hung N=1 Ns =4 Laplacien

-8

-10

-12
0

0.2

0.4

0.6

0.8

1.2
-4

x 10

v(t ) = 5.5 exp(50.10 3 t ) .

On remarque que notre modle rduit donne de manire gnrale de meilleurs rsultats que le
Figure 3-24 Rponse une tension dentre

modle rduit de Hung et al., particulirement pour la rponse un chelon de 9V.

b. [Gupta 1996]
Les paramtres suivant prennent maintenant les valeurs suivantes : paisseur h = 2.12 m ,
distance au repos entre les lectrodes G0 = 2.07 m , module dYoung E = 164 10 9 Pa,
tension rsiduelle S 0 = 3.5MPa , densit du matriau de la poutre =2200 kg.m-3. On trouve
dans [Gupta 1996] les temps deffondrement de cette structure donns par un modle
diffrences finies deux dimensions. Ce modle prend en compte les grands dplacements,
mais pas la limite de lhypothse de continuit du fluide. Il considre la viscosit comme
constante. Son modle reste toutefois bas sur lquation de Reynolds non-linaire (2-8).
Ayant mesur une tension deffondrement de 8.76V, il a ajust la valeur de la tension
rsiduelle S0 de manire ce que la valeur de la tension deffondrement donne par le modle
diffrences finies concorde avec la valeur mesure. Avec les mmes paramtres, une viscosit

111

considre comme constante et la prise en compte des grands dplacements, notre modle
rduit dordre 6 (4 modes damortissements, 1 mode mcanique), ainsi que celui de Hung et
al. de mme ordre prdisent une tension deffondrement de 9.02V. Les valeurs des temps
deffondrements pour diffrentes tensions chelon appliques pour le modle diffrences
finies de Gupta et al., notre modle rduit et le modle rduit de Hung sont donnes la
Figure 3-25.
-3

x 10

3.5
Gupta 2D DF 40 x 20
MOR 1 N=1 Ns=4

Temps d'effondrement (s)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

MOR 2 Hung N=1 Ns=4

2.5

1.5

0.5

0
8.8

9.2

9.4

9.6
Tension (V)

9.8

10

10.2

10.4

Figure 3-25 Temps deffondrement fonction de la tension chelon applique.

On remarque que la dynamique du micro-interrupteur est mal prdite pour des tensions
proches de la tension deffondrement, ce sur une plage de tension plus importante que pour le
cas de Hung et al. (cf 3.2.5.1\a). Les erreurs sur les temps deffondrements sont sensiblement
les mmes pour les deux modles rduits. Les rsultats samliorent quand la tension
applique augmente. La diffrence par rapport au 3.2.5.1\a est que les grands dplacements
sont pris en compte. On a vrifi que le modle grand dplacement issu de la mthode de
Galerkin (3.2.2.1.) donne de bons rsultats par rapport un code diffrences finies de (39a), ce sur lactionnement dun micro-interrupteur. Cest donc que le modle grands

112

dplacements de Gupta et al. doit diffrer de celui de (3-9a). Des recherches sont mener sur
ce sujet.

3.2.5.2. Donnes exprimentales

Les grandeurs caractristiques du micro-interrupteur sont les mmes que pour les donnes de
Gupta et al. ci-dessus. Son modle diffrences finies ne prenait pas en compte le rgime de
Knudsen et il ajustait la valeur de la compression rsiduelle de faon ce que la tension
deffondrement de son modle diffrences finies colle avec la tension deffondrement
exprimentale. On va effectuer la mme dmarche ici. Dans notre modle rduit et celui de
Hung et al., on prend en compte et les grands dplacements, et le rgime de Knudsen. On

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

ajuste la valeur de la tension rsiduelle S 0 = 3.74MPa de faon ce que la tension

deffondrement vaille bien 8.76V, ce pour les deux modles. On remarque que notre modle
donne des rsultats un peu plus proches des donnes exprimentales que le modle de Hung et
al., les erreurs restant toutefois assez importantes. De mme que prcdemment les rsultats
sont meilleurs pour des tensions dactionnement plus importantes.
On peut expliquer les erreurs par la non prise en compte des pertes au niveau des ancrages de
la poutre [Hung 1999], un modle de la viscosit trop simplifi [Fukui 1988] et la non prise
en compte des effets de bords au niveau lectrostatique. Daprs [Leus 2004] on peut estimer
lerreur sur la valeur de la capacit comme tant comprise entre 10% et 20%.

113

-3

3.5

x 10

Donnes exprimentales Gupta

MOR 1 N=1 Ns=4

MOR 2 Hung N=1 Ns=4

Temps d'effondrement (s)

2.5

1.5

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

0.5

0
8.6

8.8

9.2

9.4
Tension (V)

9.6

9.8

10

10.2

Figure 3-26 Comparaison des valeurs des temps deffondrement simules par rapport aux temps deffondrement
exprimentaux de Gupta et al.. La valeur de la tension rsiduelle est ajuste S 0 = 3.74MPa .

3.3. Conclusion
On a, dans un premier temps, dcrit le principe de fonctionnement dun micro-interrupteur
MEMS. On a ensuite dtaill les diffrents phnomnes physiques rgissant son
comportement dont le squeeze film damping rgi par lquation de Reynolds traite au
chapitre 2. On a ensuite rappel diffrents rsultats de la littrature sur la rsolution de ce
systme coupl electrostatique/mcanique/fluidique. On sest notamment intress la
rponse frquentielle du systme coupl mcanique-fluidique renseignant sur linfluence du
squeeze-film damping sur le systme.
On a ensuite tablit un modle dordre rduit coupl du micro-interrupteur contact capacitif.
La partie fluidique est base sur lquation de Reynolds avec lhypothse des petites
variations de pression et sur laquelle on a appliqu un changement de variable dcrit au
chapitre 2. La possibilit dinclure leffet de rarefaction du gaz par la prise en compte dune
viscosit effective est donne par ce modle. Le modle mcanique est bas sur lquation
dEuler-Bernoulli pour laquelle les grands dplacements peuvent tre pris en compte.

114

Lquation de Reynolds modifie est projete sur les modes propres du Laplacien, alors que
lquation dEuler-Bernoulli est projete sur ses modes propres. La validation de ce modle a
t faite par comparaison un modle diffrences finies et des rsultats de la littrature. On
a aussi donn, pour comparaison, les rsultats du modle de Hung et al. [Hung 1999] qui
rsout lquation de Reynolds sans hypothses particulires selon la mthode de Galerkin
avec comme base de projection des modes issus de la dcomposition propre orthogonale. On a
aussi dans certains cas prsent les rsultats de ce modle pour une base constitue des modes
propres du Laplacien.
La comparaison des modles diffrences finies valide la mthode de rduction dordre de
modle quest la mthode de Galerkin impliquant le choix dune base particulire. On a dans
un premier temps compar les rsultats ceux dun code diffrences finies avec lhypothse

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

des petites variations de pression. Les rsultats de notre modle rduit sont parfaitement
satisfaisants. On a ensuitre compar des rsultats de la littrature pour laquelle lhypothse
des petites variations de pression nest pas faite. La comparaison aux rsultats de Rewienski et
al. valide parfaitement notre modle. Par contre la comparaison par rapport aux codes
diffrences finies de Hung et al. rvle une discordance quant aux rsultats sur la
modlisation de la structure actionne par des tensions trs proches de la tension
deffondrement. Les rsultats restent toutefois dans lensemble parfaitement corrects. Enfin, la
comparaison aux donnes de Gupta et al. rvle dimportantes erreurs sur les temps
deffondrement pour des tensions galement proche de la tension deffondrement. Ces erreurs
sont beaucoup plus importantes que pour le cas de Hung et al.. On peut essayer de lexpliquer
par le fait que les grands dplacements sont pris en compte. Le modle grand dplacement (39a) semble donc tre diffrent du modle diffrences finies de Gupta et al. sur lequel on na
pas de prcisions particulires.
La comparaison des rsultats exprimentaux valide le modle constitu du systme
dquations (cf 3.2.1) et la mthode de rduction dordre de modle. Les rsultats sont
satisfaisants. On peut expliquer les erreurs par la non prise en compte des pertes au niveau des
ancrages de la poutre [Hung 1999], un modle de la viscosit trop simplifi [Fukui 1988] et
la non prise en compte des effets de bords au niveau lectrostatique.

115

Chapitre 4

Evaluation des termes non linaires

4.1. Introduction
Le modle rduit prsent au 3.2.2.3 du chapitre 3 ncessite le calcul chaque pas de temps
dintgrales dpendant de manire non triviale des coordonnes modales. Certaines de ces
intgrales correspondent au modle fluidique correspondant lquation de Reynolds, les
autres la force lectrostatique et au terme de raideur li aux grands dplacements de la
poutre. Il serait intressant comme prsent au 1.3.3.2 darriver exprimer la projection de
la force fluidique sur le premier mode mcanique comme une fonction des coordonnes

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

modales mcaniques. On verra quen effet, sous certaines hypothses relatives aux
dimensions du dispositif et dans le cas incompressible , on peut trouver une expression
analytique de la projection de cette force. Lorsque ces hypothses ne sont pas vrifies, on
sera oblig d'avoir recours une technique numrique de tabulation/interpolation. Dans le cas
o on ne peut plus considrer l'coulement comme incompressible, on montrera qu'il n'existe
plus de relation simple entre la force fluidique et les coordonnes modales vitesse et
dplacement. On devra alors utiliser le modle rduit complet prsent au 3.2.2.3 du chapitre
3 qui ncessite le calcul des intgrales mentionnes prcedemment. On montrera que, dans ce
cas, l'utilisation de la mthode de Rewienski (1.3.3.3) permet de rduire fortement le cot
d'valuation de ce modle. On appliquera aussi cette mthode au code diffrences finies
coupl prsent au 3.2.4.1\a. Enfin, on proposera une mthode alternative sinspirant de la
mthode de Rewienski et tirant parti de la nature particulire du modle rduit.

4.2. Approximation globale de la force fluidique

On cherche ici exprimer la force fluidique projete sur le premier mode mcanique F flu
comme une fonction des coordonnes modales mcaniques dplacement et vitesse. On
montrera que sous lhypothse dune poutre troite, on peut trouver une expression analytique
de la projection de cette force F flu . Dans le cas dune poutre plus large cette expression nest
plus valable. On va alors tabuler les valeurs de cette force pour un maillage rgulier de
lespace des coordonnes modales mcaniques position et vitesse. Lors de la simulation la
valeur de F flu sera dtermine par interpolation linaire des valeurs tabules.

116

En ce qui concerne la validation de ces deux modles, on traitera lexemple dune poutre de
longueur 610 m, troite dans un premier temps de largeur 40 m puis plus large dans un
deuxime temps de largeur 200 m. On travaillera sur deux exemples, celui de lactionnement
du micro-interrupteur, et celui plus thorique de lapplication dune force uniforme
sinusodale. On comparera les rsultats du modle bas sur lexpression analytique approche,
du modle bas sur linterpolation linaire de valeurs tabules, et celui du modle rduit dcrit
dans le chapitre 3.

4.2.1. Approximation analytique de la force fluidique pour les poutres

troites
On rappelle lquation de Reynolds avec lhypothse des petites variations de pression et dans

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

le cas incompressible :
G 3 p G 3 p G
=
+

x 12 x y 12 y t

(4-1)

Les dispositifs de type micro-interrupteurs tant en gnral beaucoup plus longs que larges,
on peut faire lhypothse que les variations de la pression selon x sont ngligeables par
rapport aux variations selon y. De plus, la valeur de G est indpendante de y. Lquation (4-1)
devient :
2 p 12 G
= 3
y 2
G t

(4-2)

En intgrant deux fois cette quation tenant compte des conditions limites bords libres
selon la longueur, on obtient lexpression de la pression p(x,y). Intgrant cette expression sur
la largeur, on obtient lexpression de la force linique :
f flu ( x) =

W 3

(G

w)

w

(4-3)

En projetant cette force sur le premier mode propre, on obtient :

L

W3
f
w1 = 3 a1
flu
G0

w12

w
0 1 a1 1

G0

dx

(4-4)

Lvaluation de cette intgrale pour les grandes valeurs de a1 est coteuse. En normalisant w1
de sorte que a1 = 1 corresponde un dplacement gal lcart initial au substrat, lintgrale
tend vers linfini quand a1 tend vers 1. On peut donc en chercher une approximation
analytique sous la forme :

117

I (a1 ) =

w1

1 a1 1
G

dx C

1 + a1
.
(1 a1 )n

(4-5a)

o C =

w12 dx

(4-5b)

Les paramtres du modle peuvent par exemple tre dtermins en rsolvant le problme
doptimisation suivant :
(1 )

{n , } = arg min

n,

1 + a1
I (a1 ) da1 .
C
n

(1 a1 )

(4-6)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Pour =10-3, on trouve n=2.5001 et =0.0147 ce qui donne une erreur relative maximale de
0.1% sur ltendue de lcart initial au substrat. Si on arrondit n 2.5 et et 0, on trouve une
erreur de 0.15% ce qui est trs acceptable. On a donc comme expression finale approche de
la force de pression projete sur le premier mode propre mcanique :

F flu C

W 3 1 + a1
a
G03 (1 a1 )n 1

(4-7)

On vrifiera la pertinence de cette approximation au 4.2.2.1 par comparaison aux rsultats

pour une poutre large en ce qui concerne la valeur de F flu ainsi quau 4.2.3 o lon
prsentera les rsultats de simulation.

4.2.2. Approximation numrique de la force fluidique pour les poutres

larges
Lorsque la poutre est large, il nest plus possible de rsoudre analytiquement (4-1), comme au
paragraphe prcdent. En revanche, on peut supposer quil existe toujours une relation simple
entre les coordonnes modales et la force fluidique projete sur le premier mode. En
particulier, on va montrer quon peut chercher une approximation de F flu sous la forme :

F flu

F (a1 , a1 )
.
(1 a1 )2.5

(4-8)

La dtermination de F peut se faire partir de donnes dapprentissage, gnres en rsolvant

numriquement lquation (4-1) dans laquelle la valeur de G(x,t) est impose. On pourra
vrifier que pour une poutre troite F (a1 , a1 ) ne dpend que trs faiblement de a1 et quelle est
linaire en a1 .
118

4.2.2.1. Trajectoire dapprentissage.

Pour gnrer les donnes dapprentissage, on utilise un code diffrences finies de lquation
(4-1). On choisit une frquence dexcitation de la poutre et on fait varier lamplitude du
mouvement au cours du temps afin de couvrir lespace des phases qui nous intresse. La
coordonne modale mcanique a alors lexpression suivante :

t
a1 (t ) = Coeff 1 + (Coeff 2 Coeff 1 )

T fin

sin(t )

(4-9)

o Coeff 1 et Coeff 2 sont respectivement lamplitude initiale et lamplitude finale du

respectivement 0.01 et 0.9. On choisit une frquence dexcitation de 120 kHz. Ces donnes
sont gnres dans deux cas de figure : une poutre dune largeur gale 40 m (poutre
troite ) et une poutre dune largeur gale 200 m (poutre large ), de manire mettre
en vidence linfluence de la largeur de la poutre sur la fonction F. Les rsultats sont
prsents aux figures 4-1, 4-2 et 4-3.

-10

x 10
1

0.5

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

mouvement exprime comme fraction de lcart initial au substrat et que lon fixe

-0.5

1
0.5
6

x 10

1
0.5

-0.5
da1/dt

-0.5
-1

-1

a1

Figure 4-1 Fonction F des coordonnes modales mcanique position et vitesse pour la poutre troite.

119

-8

x 10
1

0.5

-0.5

-1
1
1
0.5

x 10

-0.5

-0.5
-1

da1/dt

-1

a1

Figure 4-2 Fonction F des coordonnes modales mcanique position et vitesse pour la poutre large.
-11

-8

Poutre troite

x 10

Poutre large

x 10

0.8

0.6
4
0.4
2

0.2

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

0.5

0
-0.2

-2

-0.4
-4
-0.6
-6
-8
-1

-0.8

-0.5

0
da1/dt

0.5

1
6

x 10

-1
-1

-0.5

0
da1/dt

0.5

1
6

x 10

Figure 4-3 Fonction F de la coordonne modale vitesse pour les poutres troite et large.

On vrifie (Figure 4-3) que, pour une poutre troite, la fonction F flu a bien la forme (4-7)
puisque F ne dpend que de la coordonne modale vitesse a1 et est linaire en a1 . Pour une
poutre large ce nest plus le cas.

120

4.2.2.2. Approximation de F
On va chercher approximer F par un modle linaire par morceau. Pour cela on va estimer
sa valeur sur un maillage rgulier par la mthode du krigeage [Vasquez 2005]. Pour une
poutre troite, la fonction F tant quasi linaire en a1 , on utilise seulement 5 points selon la
dimension a1 et 5 points selon a1 . Pour une poutre large on utilisera 20 points selon chacune
des dimensions, soit 400 points de maillage. Les surfaces obtenues dans les deux cas sont
reprsentes aux figures 4-4 et 4-5.

-10

x 10

0.5

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

-0.5

1
0.5
6

x 10

1
0.5

-0.5
da1/dt

-0.5
-1

-1

a1

Figure 4-4 Surface obtenue pour la fonction F par estimation des valeurs par krigeage pour la poutre troite.

121

-8

x 10
1

0.5

-0.5

-1
1

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

0.5
6

x 10

1
0.5

-0.5
da1/dt

-0.5
-1

-1

a1

Figure 4-5 Surface obtenue pour la fonction F par estimation des valeurs par krigeage pour la poutre large.

On constate de nouveau que pour des valeurs de a1 proches de 1 (poutre proche du substrat),
la fonction F nest plus linaire en a1 . Le temps CPU pour lestimation de la premire surface
est de 7min 35 s et de 5 min 43 s pour la deuxime surface.

4.2.3. Rsultats

4.2.3.1. Actionnement lectrostatique

On applique une tension chelon de 9.5 V afin que la poutre vienne coller au substrat. On
regarde dans un premier temps la rponse de la poutre troite. Le modle numrique bas sur
la tabulation des valeurs de F donne le temps deffondrement exact. Lexpression analytique
approche (4-7) donne un moins bon rsultat. La poutre vient coller au substrat avec une
vitesse quasi nulle contrairement aux rsultats du modle rduit o la vitesse tend vers linfini.
Ceci peut probablement sexpliquer par le fait que lhypothse des variations de pressions
selon la longueur ngligeables par rapport aux variations de pressions selon la largeur nest
plus valable quand la poutre se rapproche trop du substrat. En effet, un pic de pression se
forme alors au niveau du milieu de la poutre.

122

-6

Ecart au substrat du point milieu (m)

2.5

x 10

FFLu Tabulation/interpolation
2

MOR N=1 Ns=4

1.5

0.5

0
0

0.2

0.4

0.6

0.8

temps(s)
x 10
Figure 4-6 Rponse un chelon de 9.5 V pour la poutre troite pour les trois modles proposs, le modle
rduit projet, lexpression analytique approche de Fflu, et le modle o les valeurs de F sont tabules.
-3

-3

x 10
2
1.8

FFluTabulation/interpolation

1.6

FFlu expression analytique

1.4
FFlu (N)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

FFlu expression analytique

MOR N=1 Ns=4

1.2
1
0.8
0.6
0.4
0.2
0
0

2
temps (s)

4
-4

x 10
Figure 4-7 Force de pression projete sur le premier mode mcanique pour la rponse une tension chelon de
9.5V pour les trois modles proposs.

On constate sur la figure 4-6 que pour le modle bas sur lexpression analytique de FFlu la
vitesse diminuant sur la fin de la simulation la variation de pression aussi, elle ne tend plus
vers linfini.

123

On regarde maintenant la rponse de la poutre large un chelon de tension de 9.5V.

Lexpression analytique est trop simplifie dans le cas dune poutre raisonnablement large.
On constate par contre que quand on tabule les valeurs de la fonction F, les rsultats sont
parfaitement corrects. Le temps pour cette simulation est de 2 min pour le modle rduit
simplement projet et de 40 s pour le modle rduit avec approximation de la fonction de
pression, soit un gain dun facteur trois.
-6

2.5

x 10

Ecart au substrat du point milieu (m)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

FFLu Tabulation/Interpolation
2

FFlu expression analytique

MOR N=1 Ns=4

1.5

0.5

0
0

0.002

0.004

0.006
temps (s)

0.008

0.01

0.012

Figure 4-8 Rponse de la poutre large une tension chelon de 9.5V pour les trois modles proposs.

124

-3

x 10
2.5

FFlu Tabulation/Interpolation
FFlu expression analytique
MOR N=1 Ns=4

Fflu (N)

1.5

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

0.5

3
4
temps (s)

6
-3

x 10

Figure 4-9 FFLu pour la rponse de la poutre large une tension chelon de 9.5V pour les trois modles proposs.

4.2.3.2. Force uniforme sinusodale

On applique une force uniforme sinusodale damplitude 10-2 N/m et de frquence 10 kHz
la poutre troite. Les rsultats des trois modles concordent parfaitement. Dans ce cas l,
lexpression analytique approche est suffisante.

125

-6

x 10
4.5

FFLu Tabulation/Interpolation
FFLu Expression analytique
MOR N=1 Ns =4

3.5

2.5

1.5

0.2

0.4

0.6

0.8

1
1.2
Temps (s)

1.4

1.6

1.8

2
-4

x 10

Figure 4-10 Rponse de la poutre de largeur 40 m une force uniforme sinusodale damplitude 10-2 N/m et de
frquence 10kHz.

-4

1.5

x 10

FFlu Tabulation/interpolation
1

FFlu Expression analytique

MOR N=1 Ns=4

0.5

FFlu (N)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Ecart au substrat du point milieu (m)

-0.5

-1

-1.5

-2
0

2
Temps(s)

3
-4

x 10
Figure 4-11 FFlu pour une poutre de largeur 40 m soumise une force uniforme sinusodale damplitude 10-2
N/m et de frquence 10kHz.

126

On applique maintenant une force uniforme sinusodale damplitude 0.5 N/m et de frquence
10 kHz la poutre de largeur 200 m. On fera remarquer que lhypothse dincompressibilit
nest plus tout fait valable dans ce cas l. La rfrence sera un modle rduit bas sur
Reynolds incompressible dont la drivation est dtaille dans lannexe G. On constate que les
deux modles considrant FFlu comme une fonction des coordonnes modales donnent les
mmes rsultats. On est dans la zone de la surface (cf figure 4-5) o F est encore linaire en

a1 . Il est difficile par ce mode dactionnement datteindre la zone non-linaire car le film dair
ne permet pas de se rapprocher assez du substrat. Les rsultats sur le dplacement des trois
modles concordent presque parfaitement, il y a une erreur de 10% sur FFLu entre le modle
rduit et les deux modles bass sur les fonctions.
-6

3.2
3
Ecart au substrat du point milieu (m)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

x 10

2.8

FFlu Tabulation/Interpolation
FFlu Expression analytique
MOR N=1 Ns=4

2.6
2.4
2.2
2
1.8
1.6
1.4
0.5

1.5

2
temps(s)

2.5

3.5

4
-4

x 10

Figure 4-12 Rponse dune poutre de largeur 200 m une excitation sinusodale damplitude 0.5N/m et de
frquence 10 kHz.

127

-3

x 10

FFlu Tabulation/Interpolation

FFlu Expression analytique

MOR N=1 Ns=4

FFlu (N)

2
0
-2
-4
-6

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

-8
-10
0.5

1.5

2
temps(s)

2.5

3.5

4
-4

x 10
Figure 4-13 FFlu pour une poutre de largeur 200 m excite sinusodalement par une force uniforme
damplitude 0.5N/m et de frquence 10 kHz.

4.2.4. Conclusion
On a pu constater que dans un certain domaine de fonctionnement prciser lexpression
analytique approche de FFlu donnait de bons rsultats pour une poutre troite ou large. Pour
la simulation de leffondrement de la structure cette expression approche ne suffit pas mme
pour la poutre troite. Avec cette expression la poutre vient coller au substrat avec une vitesse
quasi nulle ce qui allonge artificiellement le temps deffondrement. Lapproche tabulant les
valeurs de F, fonction partir de laquelle on peut atteindre FFlu, donne de des rsultats
parfaits dans le cas de la poutre troite et large pour les deux types de simulations cest dire
leffondrement de la structure et lapplication dune force uniforme sinusodale. Pour le
dernier exemple, c'est--dire lapplication dune force uniforme sinusodale une poutre
large, on a atteint la limite de validit du modle incompressible. On montre que dans le cas
compressible, on ne peut exprimer FFlu comme une fonction des coordonnes modales
mcaniques position et vitesse. En effet si on ralise plusieurs simulations dapprentissage
des frquences diffrentes, on trouve que pour une mme valeur des coordonnes modales
FFlu peut prendre des valeurs diffrentes. On doit alors avoir recours au modle prsent au
3.2.2.3 du chapitre 3 ncessitant le calcul dintgrales fonctions non triviales des

128

coordonnes modales. On va, dans ce qui suit, utiliser la mthode de [Rewienski 2003] qui va
consister linariser par morceau les fonctions rgissant la dynamique afin dviter le calcul
des dites intgrales.

4.3. Modle linaris par morceaux [Rewienski 2003 B]

On va utiliser la mthode dcrite par Rewienski et al.( [Rewienski 2003 B], [Rewienski 2005]
) que lon a rsume en dtail dans le 1.3.3.3 du chapitre 1. On va appliquer cette mthode
au modle rduit du chapitre 3 (3.2.2.3) quelque peu modifi et au modle diffrences finies
coupl dcrit galement au chapitre 3 (3.2.4.1).

4.3.1. Mthode [Rewienski 2003 B]

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Deux des enjeux de cette mthode sont le choix des points de linarisation et le calcul des
poids.

4.3.1.1. Choix des points de linarisation

On rappelle que lon choisit les points de linarisation le long dune trajectoire
dapprentissage. On dfinit le premier point de linarisation comme tant le point dquilibre
du systme. On parcourt la trajectoire dapprentissage, quand lun des tats est jug trop
loign de tous les points de linarisation existants il est dfini comme tant un nouveau point
de linarisation et ainsi de suite.
On fera remarquer que pour un modle coupl, les variables dtat sont de natures trs
diffrentes que lon considre les variables de lespace physique ou les coordonnes modales.
Ainsi, le calcul dune distance sur ltat complet nest pas forcment pertinent. Dautre part,
limportance de certains phnomnes peut tre nglige du fait de la faible valeur relative de
certaines des variables. Dans lexemple du micro-interrupteur du chapitre 3, la coordonne
modale vitesse tant de lordre de 108 fois plus grande que celle correspondant au
dplacement et de 105 fois plus grande que les coordonnes de lamortissement, ce sont les
variations de celle-ci qui vont dterminer lemplacement des points de linarisation. Ainsi on
commence par normaliser les variables par domaine pour le calcul des distances servant au
choix des points de linarisation. On peut aussi ne pas exactement les normaliser, mais ajuster
le poids de chacun des domaines dans le choix des points de linarisation par un coefficient.
On utilisera cette mthode de choix des points avec normalisation des variables pour le
modle rduit du chapitre 3 lgrement modifi et le modle diffrences finies.

129

[Rewienski 2003 B] choisit les points de linarisation sur ltat complet. On propose ici de
dcoupler les domaines pour le choix des points de linarisation. Ceci amliore notamment la
pertinence de la valeur dune distance qui est alors calcule sur des variables de mme nature.
On obtient alors une srie de points partiels par domaine. Lors de la simulation il sagira
alors de trouver le point le plus proche correspondant une combinaison des points de
linarisation partiels . On pourrait aussi choisir les points par distance sur ltat complet,
dcoupler le rsultat par domaine et obtenir des sries de n points de linarisation partiels ,
et que lon sautorise recombiner entre eux de la mme manire que prcdemment. A
priori, il parat plus pertinent de dcoupler les domaines ds le choix des points de
linarisations. On remarque que du fait du dcouplage, la normalisation des variables dtat
nest plus ncessaire pour le choix des points de linarisation. On appliquera cette mthode

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

pour le modle rduit du chapitre 3 quelque peu modifi. Le dtail de la procdure sera alors
explicit.

4.3.1.2. Calcul des poids

a. Modle bas sur 1 point de linarisation
On cherche le point de linarisation le plus proche de ltat courant. On fixe le poids
correspondant au point le plus proche 1, les autres 0.
Si les points de linarisation ont t choisis par calcul de la distance ltat complet, le
rsultat pour le point le plus proche sera le mme que lon normalise les variables ou pas. On
choisit donc de ne pas les normaliser.

b. Modle bas sur le calcul des poids de [Rewienski 2003 B]

La dmarche utilise par [Rewienski 2003 B] est plus complexe. Elle se base aussi sur le
calcul des distances de ltat courant aux q diffrents points de linarisation. La dmarche est
la suivante :

1) pour i = 0,..., (q 1) calculer d i = z z i

2) prendre m = min i =0 ,...q 1 (d i )

3) pour i = 0,..., (q 1) calculer p i = e

im

130

4) normaliser p i au point dvaluation

q 1

a) calculer S (z ) = p i (z )
j =0

b) pour i = 0,..., (q 1) , faire pi (z ) = p i (z ) / S (z )

Le terme est une constante positive que Rewienski et al. fixent. Pour une valeur importante
de , la valeur des poids varie plus vite avec ltat. La valeur des ces poids reste continue dans
le temps, ce qui nest pas le cas pour la dmarche simple dcrite au paragraphe a ci-dessus.
On se pose ici de nouveau la question de la normalisation des variables. On considre que les
points de linarisation correspondent la recombinaison de points partiels. Si les variables
sont normalises ou pas, cela changera la valeur relative des distances et donc limportance

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

des diffrents points de linarisation. Si on cherche les classer, le point le plus proche sera le
mme, par contre lordre des points qui ne sont pas les plus proches sera chang.
On va considrer un exemple en deux dimensions, labscisse concernera le domaine physique
1, lordonne le domaine physique 2. La figure 4-1 reprsente le cas du calcul de distance sur
variable non normalises. La variable 2 en ordonne est dun ordre de grandeur suprieur la
variable 1 en abscisse. On voit quon va obtenir des poids d peu prs mme valeur, pour des
valeurs de la variable 1 trs diffrentes, la ralit du domaine 1 sera donc mal reprsente par
ces poids. La normalisation des variables est donc particulirement pertinente pour
lutilisation de la mthode des poids de [Rewienski 2003].

5 3

Figure 4-14 Classification des points de linarisation

131

4.3.2. Linarisation par morceaux dun modle rduit de microinterrupteur

On va ici prsenter les rsultats de la linarisation par morceaux dun modle rduit de
micro-interrupteur quelque peu modifi par rapport au modle rduit du chapitre 3. On
prsente donc le modle de lquation de Reynolds qui est utilis ici, puis la construction du
modle linaris par morceaux puis les rsultats par rapport au modle rduit initial.

4.3.2.1. Modle rduit utilis

Le modle de lquation de Reynolds utilis ici est un peu diffrent dans la forme de sa
rsolution de celui prsent au chapitre 2. On se base ici sur un modle de lquation de

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Reynolds pour lequel la viscosit est considre comme constante et pour lequel on a fait le
3 / 2
changement de variable p = G
:

G 3 / 2 12
p
1 +
= 3
G
(4-10)
3/ 2

G
G 2 t P0
Par intgration par partie du membre de droite, on obtient :

1 / 2

p
p
p G 3 / 2
12

= 12 G 1 + G1 +
G 1+
.
G 3 / 2 t P0
P0
P0 t
t
On nglige le terme

(4-11)

p
devant 1 dans le deuxime terme, simplification que lon navait pas
P0

faite prcdemment mais qui est valide pour des petites variations de pression:

3
p G 3 / 2
G 1 / 2
G
G 3 / 2
G1 +
,
=3
= G 3 / 2
G
P0 t
t
t
t
2

(4-12)

3 / 2
dans (4-11). Ainsi, lquation de Reynolds transforme a la forme
On remplace p = G

suivante :

G 2
G 3 / 2

1 / 2

G
=
12
2

P0
t
G3/ 2

(4-13)

Une fois projete sur les modes propres du Laplacien k , k=1,,Ns valeurs propres 2k ,
lquation de Reynolds prend la forme du systme de N EDOs suivant :
d
(As ) = d c + Hs
dt
dt
avec

(4-14a)

132

cl = 24 G 1 / 2 l
H kl = 2k kl

Akl =

(4-14b)

G 3 / 2
k l
G3/ 2

12
G 2 k l
P0

(4-14c)

(4-14d)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Le modle coupl final a alors la forme suivante :

I 0
0 a 0 0
I
0 a 0

d
0 a 0 = K 0 B(a) a + p e (a)
0 M
dt

0 0 A(a) s c(a) 0 0 H (a) s 0

avec
a
(4-15b)
z = a
s

(4-15a)

4.3.2.2. Choix des points de linarisation

z est le vecteur dtat (4-15b), a les coordonnes modales mcaniques, s les coordonnes de
lamortissement. Pour le choix des points de linarisation sur ltat complet, on applique la
procdure suivante :
1) initialisation : q = 0 z 0 point dquilibre du systme est choisi comme premier point de
linarisation
2) Pour un

point z de la trajectoire dapprentissage,

a) calculer d i = z z i 2 pour i = 0,...q 1

si i d i > faire q = q + 1 , z q = z
retour (2)
Pour le choix des points de linarisation par dcouplage des domaines, on applique cette
procdure aux diffrents domaines indpendamment. On ne considre quune partie de ltat
correspondant aux coordonnes modales position, on obtient une srie de q1 points de
linarisation partiels {a 0 , a 1 ,..., a q11 }. Dans un deuxime temps, on applique cette procdure

aux coordonnes modales vitesses et on obtient une srie de q 2 points de linarisation partiels

{a

, a 1 ,..., a q 2 1 }et ainsi de suite en regroupant les coordonnes modales de mme type. On

133

peut ensuite combiner entre eux les points de linarisation partiels afin dobtenir les points de
linarisation base du modle.

4.3.2.3. Calcul de la valeur des fonctions et des jacobiens

Soient les fonctions f et g dfinies ci-dessous daprs lquation (4-15a) :

0 x 0
I 0

g(z) = 0 M
0 x 0
0 0 A(a) s c(a)

(4-16)

et

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

I
0 a
0

f(z) = K 0 B(a) a
0 0 H (a) s

(4-17)

JG et JF les jacobiens respectif des fonctions g et f ont alors la forme suivante :

0
0
I

JG = 0
M
0
Q(z ) 0 A(a)
I
0
0
JF = C(z) 0 B(a)
D(z) 0 H(a)

(4-18)

(4-19)

On trouvera en annexe F les expressions exactes des coefficients des matrices Q(z), C(z) et
D(z).

4.3.2.4. Rsultats : trajectoire dapprentissage=trajectoire de simulation.

On valide la linarisation par morceaux de ce modle par comparaison au modle non-linaire
initial, rsolu par loutil ode15s de Matlab. On ne linarisera pas lentre, c'est--dire la force
lectrostatique. On utilisera aussi le solveur ode15s de Matlab pour intgrer dans le temps le
modle linaire par morceaux.
On prend en compte 1 mode mcanique et 4 modes damortissement. On utilise la structure
du 3.2.3.1 du chapitre prcdent la diffrence quon considre une largeur de 70 m. On
augmente ainsi limportance du phnomne de compression dans la dynamique du microinterrupteur. Dans la mme perspective on se place une pression ambiante de 1.013 103 Pa.

134

Dans un premier temps on tablit un modle partir dune seule trajectoire dapprentissage
qui correspond une entre chelon de 9.5V. La figure 4-15 prsente la trajectoire
dapprentissage dans le domaine mcanique ainsi que lemplacement des points de
linarisation choisis sur ltat complet.
-6

2.5

x 10

Dplacement point milieu (um)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

Trajectoire d'apprentissage 9.5 V

points de linarisation
1.5

0.5

0.5

1.5

2.5

3
-5

temps (s)

x 10

Figure 4-15 Dplacement du point milieu du micro-interrupteur pour la trajectoire dapprentissage et

emplacement des points de linarisation.

On teste le modle linaris par morceaux pour la mme simulation que celle qui a servi
ltablir.

a. Calcul des distances sur ltat complet

On choisit dans un premier temps de calculer les distances sur ltat complet en normalisant
les variables. Pour 7 points de linarisation, on obtient dj une erreur sur le temps de
commutation infrieure 1%.
Tableau 4-1 Erreur relative sur le temps deffondrement Tpi pour diffrents nombre de points de linarisation et
des procdures de pondration diffrentes.

Nombre de points de linarisation

(critre distance tat complet )
traj.app 9.5V
7 (0.4)
8 (0.3)

Erreur relative sur Tpi

(9.5V) Poids Rewienski
Tpi=2.877e-5
0.8%
1.9%

Erreur relative sur Tpi

(9.5V) Poids simple
0.74%

135

10 (0.25)
13 (0.2)
16(0.15)
23(0.1)
29(0.08)
33(0.07)
38 (0.06)

0.72%
0.04% <0.1%
0.34%
0.03%<0.1%
0.05%<0.1%
0.04%<0.1%
0.05%<0.1%

0.72%

0.03%

0.05%

Le temps de simulation pour lactivation par une tension chelon de 9.5V pour la rsolution
par le solveur ode15s de Matlab du modle rduit (4-15a) est de 30 s pour 500 pas de temps.
Pour le modle bas sur 7 points de linarisation, le temps de construction (valuation et
stockage des valeurs des fonctions et des jacobiens) partir de cette trajectoire est de 0.8s. Le
temps de simulation est ensuite de 1.7s pour 240 pas de temps quelle que soit la mthode de

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

pondration adopte, ce avec le solveur ode15s. On a donc un gain denviron un facteur 15

sur le temps de simulation par rapport au modle non-linaire original.
Pour la procdure de pondration de Rewienski, on a test diffrentes valeurs de qui est un
paramtre fixer (cf 4.2.1.2\b). Pour un de 10 ou 40, on trouve de moins bons rsultats que
pour la valeur recommande qui est de 25. Plus est grand plus le point de linarisation le
plus proche a de limportance par rapport aux autres. La consquence est que la valeur des
poids passe rapidement de zro un, et inversement, pour une valeur de importante. On a
galement utilis la procdure de pondration simplifie qui consiste ne retenir que le point
de linarisation le plus proche. Les rsultats sont aussi bons. Pour ce modle, la procdure
simplifie est donc suffisante.

b. Calcul des distances sur les domaines dcoupls

Un premier constat est que le nombre de points de linarisation en ce qui concerne la
coordonne modale vitesse ninflue pas sur les rsultats. En effet, dans notre exemple les
fonctions g (z ) et f (z ) sont linaires en a . Elles ne sont pas linaire en s. N_lin_M correspond
au nombre de points de linarisation pour la coordonne modale mcanique, N_lin_S pour les
coordonnes amortissement. N_lin est le nombre de points de linarisation total.

Tableau 4-2 N_lin_S=1 et on fait varier N_lin_M.

N_lin_M
1
2(0.5)
3(0.4)

N_lin_S
1
1
1

N_lin
1
2
3

Errreur relative (%)

24%
13.5%
9.9%

136

4
5(0.2)
10(0.1)
14(0.07)
19(0.05)
40(0.02)
68

1
1
1
1
1
1
1

4
5
10
14
19
40
68

8.2%
5.5%
4.93%
4.83%
4.78%
4.73%
4.72%

On se contente dans un premier temps de parcourir lespace de la coordonne modale

mcanique en ne prenant quun point dans la partie fluidique. La tableau 4-2 prsente les
rsultats. On constate que la prcision maximum que lon obtient sur le temps de
commutation est denviron 5% et quenviron 10 points sont suffisants pour obtenir cette

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

prcision.
Tableau 4-3 N_lin_M=1 et on fait varier N_lin_S

N_lin_M
1
1
1
1

N_lin_S
3(0.5)
8(0.2)
15(0.1)
28(0.05)

N_lin
3
8
15
28

Errreur relative (%)

16%
18.5%
19%
19%

On parcourt ici (Tableau 4-3) lespace des coordonnes de squeeze (de dimension 4). On note
que lerreur sur le temps de commutation reste importante (>16%). De plus, il semble que
laugmentation du nombre de points de linarisation namliore pas les rsultats.

On cherche ici la combinaison qui semble donner les rsultats les plus prcis. On fixe le
nombre de points de linarisation dans le domaine mcanique et on fait varier les coordonnes
damortissement. On prsente les rsultats dans les tableaux suivants (Tableaux 4-4a 4-4d).
Tableau 4-4 (a) N_lin_M=2 et on fait varier N_lin_S

N_lin_M
2 (0.5)
2
2
2
2
2
2
2

N_lin_S
2 (1)
3 (0.5)
6 (0.25)
8 (0.2)
10 (0.15)
12 (0.13)
15 (0.1)
28 (0.05)

N_lin
4
6
12
16
20
24
30
56

Errreur relative (%)

1.94%
1.94%
2.27%
0.51%
0.9%
1.63%
1.45%
1.19%

137

Tableau 4-4 (b) N_lin_M=5 et on fait varier N_lin_S

N_lin_M
5 (0.2)
5 (0.2)
5
5

N_lin_S
3(0.5)
8(0.2)
10(0.15)
12 (0.13)

N_lin
15
40
50
60

Erreur relative(%)
2.25%
0.77%
0.6%
0.45%

Tableau 4-4 (c) N_lin_M=7 et on fait varier N_lin_S

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N_lin_M
7 (0.15)
7
7
7
7

N_lin_S
3 (0.5)
5 (0.3)
6 (0.25)
10
13 (0.12)

N_lin
21
35
42
70
91

Erreur relative(%)
1.81%
0.7%
0.54%
0.53%
0.18%

Tableau 4-4 (d) N_lin_M=10 et on fait varier N_lin_S

N_lin_M
10(0.1)
10
10
10
10

N_lin_S
3 (0.5)
5 (0.3)
8 (0.2)
10 (0.15)
15 (0.1)

N_lin
30
50
80
100
150

Erreur relative (%)

1.4%
0.73%
0.31%
0.2%
0.18%

Il semble falloir un nombre de points de linarisation minimum dans le domaine mcanique

pour que laugmentation du nombre de points de squeeze soit pertinente. La combinaison
optimum que lon trouve pour atteindre une prcision suprieure 1% sur le temps
deffondrement est 7 points de linarisation dans le domaine mcanique et 5 dans le domaine
fluidique. Ceci correspond un total de 35 points de linarisation pour le modle ce qui est
bien suprieur aux 7 points ncessaires la mme prcision pour le choix des points sur ltat
complet. Ceci est du au fait quen dcouplant les domaines on slectionne des points qui sont
loin de la trajectoire dapprentissage et qui ne servent pas directement dans la simulation du
modle linaris par morceaux. Ces points pourraient toutefois servir pour une simulation qui
serait diffrente de la simulation dapprentissage, ce qui lorigine est lun des objectifs de la
construction de ces modles. La validit du modle obtenu serait donc beaucoup plus large,
sans toutefois couvrir tout lespace des phases comme un quadrillage uniforme le ferait. Ceci
est possible au prix dun cot de construction plus important du fait de lvaluation de la
valeur des fonctions et des jacobiens aux points de linarisation. Le temps de construction du
modle pour les 35 points de linarisation est de 1.5s, comparer aux 0.8s pour le modle 7

138

points de linarisation choisis sur ltat complet. Le cot dvaluation ne varie que peu car,
mme avec la mthode des poids de [Rewienski 2003 B], seul un ou deux poids sont non nuls.
On constate en effet que le temps de simulation est de 2.4 s environ pour 140 pas de temps ce
qui ne diffre que de trs peu du modle bas sur 7 points (1.7s pour 240 pas de temps).

4.3.2.5.

Rsultats : domaine de validit des modles

On va ici tester le modle tabli pour une trajectoire dapprentissage de 9.5V pour dautres
tensions dactionnement de 8.87V 10.5V toujours une pression ambiante de 1.013 103 Pa
, ce pour les deux modles proposs.

a. Calcul des distances sur ltat complet

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On se base ici sur le modle 13 points de linarisation pour lequel on avait des rsultats
parfaits pour une trajectoire de simulation gale la trajectoire dapprentissage. Les rsultats
pour diffrentes tensions dactionnement sont donns figure 4-16. On trouve une erreur de
35% sur le temps deffondrement pour un actionnement par la tension deffondrement mme
(8.87V), de 5% pour un actionnement par une tension de 9V et de 2% pour une tension de
10.5V. La validit du modle est donc bien restreinte au domaine proche de la trajectoire
dapprentissage. Une des solutions peut tre de faire diffrentes trajectoires dapprentissage
sachant quelles impliquent le cot de la simulation du systme non-linaire, lautre propose
ici peut tre de dcoupler les domaines lors du choix des points de linarisation. On en
prsente les rsultats dans le paragraphe suivant.

139

Figure 4-16 Coordonne modale mcanique pour diffrentes tensions dactionnement pour le modle rduit
original et le modle rduit linaris par morceaux bas sur 13 points de linarisation choisis par un calcul de
distance sur ltat complet.

140

Coordonne modale mcanique

0

0.5

1.5

2.5

3.5

-8

x 10

temps(s)

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10
-5

x 10

MOR 8.87 V
MOR linaris par morceaux 8.87V
MOR 9V
MOR linaris par morceaux 9 V
MOR 9.5V
MOR linaris par mocrceaux 9.5V
MOR 10V
MOR linaris par morceaux 10V
MOR 10.5V
MOR linaris par morceaux 10.5V

b. Calcul des distances sur les domaines dcoupls

On se base ici sur le modle 35 points de linarisation (7 dans le domaine mcanique, 5 dans
le domaine fluidique) qui donnait une erreur infrieure 1% sur le temps deffondrement pour

x 10

11
10
9
8

temps(s)

0.5

1.5

2.5

3.5

x 10

-8

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

MOR 8.87V
MOR linaris par morceaux 8.87V
MOR 9V
MOR linaris par morceaux 9V
MOR 9.5V
MOR linaris par morceaux 9.5V
MOR 10V
MOR linaris par morceaux 10V
MOR 10.5V
MOR linaris par morceaux 10.5V

-5

une trajectoire de 9.5V.

Coordonne modale mcanique

Figure 4-17 Coordonne modale mcanique pour diffrentes tensions dactionnement pour le modle rduit
original et le modle rduit linaris par morceaux bas sur 35 pointsde linarisation choisis en dcouplant les
domaines.

141

Lerreur pour une tension dactionnement de 8.87V nest plus que de 6% alors que celle pour
une tension de 9V est de 2%. Pour le reste on obtient des rsultats quasi parfaits. Le
dcouplage des domaines lors du choix des points de linarisation permet, au prix dun plus
grands nombre de points de linarisation de couvrir une partie de lespace des phases plus
importante et donc daugmenter le domaine de validit du modle. Il est toutefois difficile de
savoir si lespace des phases couvert en plus est vritablement pertinent. Il semble ltre ici.
On rappelle que du point de vue valuation du modle, le nombre de points de linarisation ,
dans une certaine mesure, na pas une trs grande influence (cf rsultats du 4.3.2.4\b). Donc
cette mthode sans augmentation substentielle du cot de construction (pas de trajectoire
dapprentissage supplmentaire ncessaire) ni du cot dvaluation permet dtendre le

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domaine de validit du modle.

4.3.3. Linarisation par morceaux dun modle diffrences finies de

micro-interrupteur.

4.3.3.1. Modle diffrences finies

On se base ici sur le modle diffrences finies coupl dcrit au 3.2.4.1 du chapitre 3. On en
rappelle la structure ici :

w 0
d
 = M 1 K
w
dt
p 0

w 0
 + M 1 Felec
0
M 1 B w

 ) p 0
R(w) Q(w, w
I

(4-20)

Afin de rduire le temps de simulation de ce modle, on peut le projeter sur une base choisie.
Le temps de simulation restera important du fait de lvaluation des termes non-linaires qui
requiert un retour aux coordonnes initiales. Ainsi on propose dans un premier temps de
linariser ce modle par morceaux pour ensuite le projeter sur une base choisie. Du fait de la
linarisation, le retour aux coordonnes initiales ne sera plus ncessaire, on pourra
simplement travailler sur les coordonnes rduites. Par identification au cas du modle rduit,
on dfinit la fonction f(z) suivante :

I
0 w
0

1

f(z) = M K
0
M 1 B w

0
 ) p
R(w) Q(w, w
o z est le vecteur dtat.

(4-21)

142

Le jacobien JF a alors la forme suivante :

0
I
0

JF(z) = M 1 K
0
M 1 B
C(z) + (z) R(w) + L(z ) Q(w, w
 )

(4-22)

La drivation des matrices constituant la matrice jacobienne est donne en annexe F. On

remarquera que le calcul des jacobiens est plus fastidieux que pour le cas o lon part du
modle rduit.

4.3.3.2. Rsultats
On tudie la poutre dcrite au 3.2.3.1 du chapitre 3. La mthode de relaxation est utilise

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pour la trajectoire dapprentissage. On constate pour une tension dactionnement sinusodale

damplitude 12V et de frquence 10kHz pression atmosphrique que la simulation du
modle linaris par morceau bas sur 3 points de linarisation est en fait plus coteuse en
temps que la simulation du modle diffrences finies original non-linaire rsolu par le
solveur ode15s de Matlab. Ceci est du au fait que, pour le modle linaris par morceau, il est
ncessaire de rsoudre un systme linaire de grand ordre mal conditionn chaque pas de
temps. On pourrait aussi utiliser le solveur ode15s de Matlab ce qui rduirait sans doute le
temps de simulation. On va projeter le modle.
On utilise comme base de projection les modes propres linaires pour le modle mcanique et
des modes issus de la dcomposition propre orthogonale pour lquation de Reynolds. Les
instantans sur lesquels on ralise une dcomposition propre orthogonale sont issus dune
simulation de lquation de Reynolds pour la poutre tudie dont le premier mode propre est
excit sinusodalement une frquence de 50 kHz et une amplitude de 20% de la distance
initiale au substrat. On travaille pression atmosphrique. On retient le premier mode propre
linaire mcanique

et les deux premiers modes de pression. La validit de la base de

projection est vrifie en comparant au systme diffrence finies non projet pour un maillage
de 41 points sur la longueur et 11 sur la largeur. Les rsultats pour une force dexcitation
uniforme damplitude 5 10-2 N/m et de frquence 10 kHz donne une erreur denviron 3% sur
le dplacement du point milieu entre les deux modles. Ce rsultat sert de validation
lutilisation de cette base de projection.
Un retour aux coordonnes initiales sera ncessaire pour le calcul des valeurs de la fonction f
ainsi que de son jacobien JF aux points de linarisation mais, le modle tant projet, le
stockage des jacobiens sera beaucoup moins coteux puisque lon stocke en ralit VTJFV et
143

VTf o V est la matrice dont les colonnes sont constitues des vecteurs constituant la base de
projection. On teste le modle linaris par morceaux projet sur la mme trajectoire que
prcedemment, savoir une tension dactionnement sinuodale damplitude 12V et de
frquence 10kHz. Lvaluation et le stockage de la fonction VTf et de son jacobien VTJFV
pour 5 points de linarisation prend 4.5s CPU. La simulation du modle linaris par
morceaux projet dordre 4 bas sur ces 5 points de linarisation est de 3.5s pour 500 pas de
temps sur deux priodes. Le cot de la simulation est divis par 8 par rapport la simulation
du modle diffrences finies coupl original non projet (30s) et dun facteur 6 par rapport au
modle diffrences finies projet (20s). Pour le modle linaris par morceaux, on na utilis
et le solveur ode15s de Matlab et un schma explicite/implicite simple et on a retenu la
mthode pour laquelle on obtenait le temps de simulation le plus court.

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Ces rsultats sont comparer ceux du modle rduit pour cette mme simulation. La
simulation du modle rduit original non-linaire prend 23s comparer 20s pour le modle
diffrences finies projet. 16 points de linarisation sont ncessaires pour une prcision
correcte comparer 5 pour le modle diffrences finies projet. Le cot de construction du
modle est ainsi un peu plus lev que pour le modle diffrences finies savoir 7.5s (
comparer 4.5s). Enfin la simulation mme prend seulement 2.5s soit un gain de presque un
facteur 10 comparer 3.5s pour le modle diffrences finies projet linaris par morceaux.

On constate que pour plusieurs raisons il est plus intressant de travailler sur la projection du
systme dEDPs directement que sur la projection dun modle tout dabord discrtis pour
donner un modle diffrences finies. Les temps de simulations des deux modles simplement
projets sont comparables. La discrtisation tant fastidieuse, il est donc plus intressant, dj
de ce point de vue l de partir de lEDP non discrtise. De la mme manire la linarisation
par morceaux se ramne aux calculs des jacobiens des fonctions rgissant la dynamique et ces
calculs se rvlent beaucoup plus simples pour le modle projet partit du systme dEDPs.
Ils se ramnent en effet au calcul de drives dun petit nombre dintgrales dont on a une
expression analytique (cf annexe F) alors que les calculs de jacobiens du modle diffrences
finies sont plus lourds.
.

144

4.4. Linarisation des coefficients du modle rduit

4.4.1. Principe
On a remarqu que les termes non-linaires apparaissant dans (4-15) sont des fonctions de la
coordonne mcanique seule. Une ide simple permettant de rduire le cot dvaluation du
modle rduit est donc de linariser par morceaux les coefficients des matrices apparaissant
dans (4-15) et non les fonctions globales f et g dcrites plus haut (quations (4-16) et (4-17)).
Cette approche prsente lintrt de ne pas ncessiter de trajectoire dapprentissage,
contrairement celles prsentes au 4.3.
On a pu se rendre compte que, dans les applications de type micro-interrupteur, la prise en
compte dun seul mode mcanique tait suffisante. Il suffit donc de discrtiser lespace une

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dimension correspondant la coordonne modale mcanique pour chacun des coefficients des
matrices apparaissant dans (4-15). Le cot dtablissement du modle est donc rduit. Les
drives des coefficients non-linaires sont approximes numriquement partir des valeurs
calcules chaque point de linarisation. Par ailleurs, on utilise une procdure de pondration
simplifie qui consiste ne retenir que le point le plus proche. Par exemple A(a) sera
approxime par :
A(a ) A( a i ) + DA i ( a a i )

(4-23)

o a i est le point de linarisation le plus proche de a et DAi est la matrice contenant les
drives premires des coefficients de A au point a i .
On rcrit (4-15) sous la forme:
d
(C(a)z F(a)) = G( a)z + Fe (a) . (4-24)
dt
De mme que prcdemment on ne linarise pas la force lectrostatique Fe .
Pour lintgration dans le temps, on choisit un schma numrique implicite qui scrit :
C(a )z F( a ) (C( a_1)z_1 F( a_1))
= G( a )z + Fe ( a ) ,
t

(4-25)

a_1 , z_1 tant les valeurs des variables dtat au pas de temps prcdent.

On fait remarquer que, contrairement la mthode de Rewienski et quelle que soit la mthode
de rsolution numrique employe, cette approche ncessite chaque pas de calcul la
rsolution dun systme dquations non-linaires. Par exemple, aprs linarisation par
morceaux des coefficients de C et F, le membre de gauche de (4-19) est du deuxime ordre en
z. En pratique, on utilise loutil fsolve de Matlab.

145

4.4.2. Validation
On tudie la rponse un chelon de tension de 9.5V la pression atmosphrique pour les
paramtres de la structure du 3.2.3.1. Le tableau 4-5 regroupe les erreurs sur le dplacement
et sur le temps deffondrement de la structure en fonction du nombre de points de
linarisation. Deux types de maillage sont proposs. Un maillage uniforme et un maillage non
uniforme qui consiste densifier le nombre de points sur le dernier dixime de lespace de la
coordonne modale mcanique (2/3 des points sur les 9/10 de lespace, 1/3 des points sur le
dernier dizime). On arrte le maillage une valeur de 0.999 a max .On a pu remarquer que,
pour un faible nombre de points de linarisation (infrieur 15), la solution du modle
linaris par morceaux peut diffrer sensiblement de celle du modle non-linaire complet, en

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particulier pour les fortes valeurs de a . Ceci sexplique par le fait que plus la poutre se
rapproche du substrat, moins la force damortissement est linaire. La fin de la trajectoire
ncessite donc plus de points de linarisation. La recherche dune mthode systmatique pour
dterminer un maillage non uniforme adquat na pas t concluante. En effet, on obtient la
mme erreur sur le temps de commutation avec un maillage uniforme ou avec le maillage
obtenu par la mthode de Rewienski. On remarque toutefois sur la figure 4-10 que la solution
du modle correspondant au maillage uniforme est globalement plus proche de la solution de
rfrence que celle du modle obtenu par la mthode de Rewienski (en particulier, on
remarque (Fig. 4-9) que cette dernire mthode slectionne des points de linarisation inutiles
pour les petites valeurs de a ). Le meilleur rsultat est celui issu du maillage non-uniforme
densifi sur le dernier dixime de lespace de la coordonne modale mcanique. Il est noter
que lutilisation dun maillage non-uniforme na dintrt vritable que lorsque le nombre de
points de linarisation est faible : par exemple, on obtient une prcision suprieure 1% sur le
temps deffondrement pour un maillage uniforme de 25 points.

Tableau 4-5 Erreur sur le temps deffondrement fonction du maillage choisi

Nombre

de

points

de

Erreur

sur

linarisation

deffondrement

5 (uniforme)

60%

5 (non uniforme)

44%

10 (uniforme)

8%

10 (non uniforme)

5%

le

temps

146

13 (uniforme)

5%

13 (non uniforme)

1.5%

15 (uniforme)

2%

15 (non uniforme)

1.5%

20 (uniforme)

1.5%

25 (uniforme)

0.3%

-8

x 10

coordonnes modale mcanique

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

3.5

maillage uniforme 13 pts

maillage non uniforme 13 pts
maillage non uniforme " la main" 13 pts

3
2.5
2
1.5
1
0.5
0
0

6
8
position du point de linarisation

10

12

14

Figure 4-18 Rpartition des 13 points de linarisation pour un maillage uniforme, pour un maillage issu de la
slection des points de linarisations sur ltat complet, pour un maillage densifi sur le dernier dizime de
lespace discrtiser.

147

-8

3.5

x 10

Coordonne modale mcanique

2.5

MOR complet
maillage non uniforme
slection tat complet
maillage uniforme
maillage non uniforme
" la main"

1.5

0.5

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

0
0

2
temps (s)

3
-4

x 10

Figure 4-19 Rponse simule du systme (valeur de a (t)) un chelon de tension de 9.5V pour diffrents
maillages de 13 points.

Le temps de simulation du modle rduit (4-15a) intgr dans le temps par le solveur de
Matlab ode15s pour un chelon de 9.5V est 50s pour 560 pas de temps. Le temps de
simulation pour le modle dont les coefficients sont linariss par morceaux bass sur un
maillage de 25 points est de 18s pour 100 pas de temps, soit un gain dun facteur suprieur
2. On nutilise pas le solveur ode15s pour la rsolution du modle linaire par morceaux car
tant donn sa forme, cela ncessiterait un changement de variable supplmentaire qui
complique le problme.

4.5. Conclusion
On a appliqu la mthode de linarisation par morceaux de [Rewienski 2003 B] au modle
rduit et au modle diffrences finies coupl. Dans le cas du modle rduit, on a choisi les
points de linarisation sur ltat complet dans un premier temps puis en dcouplant les
domaines dans un deuxime temps. Le dcouplage des domaines peut tre une solution pour
tendre le domaine de validit de ces modles linariss par morceaux tout en utilisant
linformation de la trajectoire dapprentissage. Il est toutefois difficile dvaluer si le domaine
de lespace des phases ainsi couvert est pertinent ou pas pour dautres simulations. Cest une
solution intermdiaire entre le quadrillage de lespace des phases et le choix des points le long

148

dune trajectoire dapprentissage seule. La mthode de Rewienski et al. prsente lavantage de

ramener lintgration dans le temps selon un schma tant forcment en partie explicite la
rsolution de systmes linaires. On remarquera par ailleurs que pour un cot dvaluation
peu prs gal, les modles construits directement partir de lEDP projete et le modle
construit partir du modle diffrences finies prsentent des cots de construction trs
diffrents. Dans les deux cas, pour le modle non-linaire original, on revient aux
coordonnes initiales via le calcul dune intgrale ou la dtermination de matrices diffrences
finies. La dtermination de ses matrices diffrences finies est particulirement coteuse. Une
autre tape coteuse, dans le cadre de la linarisation par morceaux, pour le modle bas sur
le modle diffrences finies est la dtermination de lexpression des jacobiens qui se rvle
trs fastidieuse. Dans le cas de lEDP projet, il sagit juste de driver des expressions

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

intgrales qui sont, de surcot, en petit nombre. Ainsi, dans tous les cas, il est plus judicieux
de partir de lEDP projete que de discrtiser pour obtenir un modle diffrences finies que
lon projette ensuite.

Dans un deuxime temps, on a utilis le fait que les coefficients non-linaires des matrices du
modle rduit (4-15) ne dpendaient que de la coordonne modale mcanique. On a alors pris
le parti de linariser par morceaux ces coefficients directement et non les fonctions rgissant
la dynamique. Lespace concern par les points de linarisation est alors celui de la
coordonne modale mcanique une dimension. Il peut alors tre simplement discrtis
uniformment. On peut toutefois essayer doptimiser ce maillage en rglant la finesse sur
diffrentes rgions en fonction des besoins. Cette mthode sest rvle pertinente pour un
faible nombre de points de linarisation. Quelque soit le maillage choisi, on peut considrer
que le modle pourra tre rutilis pour nimporte quelle simulation, lespace de la
coordonne modale tant entirement couvert. Ceci est clairement un avantage par rapport
la mthode de Rewienski et al.. On fera remarquer que lutilisation de cette mthode implique
la rsolution dun systme non-linaire pour lintgration dans le temps et ce mme si on
utilise un schma explicite. On perd ici un des grands intrts de la mthode de Rewienski et
al.. De mme que prcdemment de fait de la procdure des poids, un schma entirement
implicite nest pas possible. En ce qui concerne le nombre de termes stocker (valeurs des
fonctions, jacobiens, drives), les deux mthodes sont sensiblement quivalentes, la premire
ncessitant un peu plus de termes pour les jacobiens.

149

Ainsi la mthode de Rewienski et al. lemporte du fait de sa rsolution linaire alors que la
linarisation directe des coefficients permet dobtenir un modle valable indpendamment
dune trajectoire dapprentissage donc beaucoup plus robuste.

4.6. Conclusion gnrale

Afin de rduire le cot dvaluation du modle rduit de micro-interrupteur prsent au
chapitre 3, on a cherch dans un premier temps exprimer la force de pression projete sur le
premier mode mcanique comme une fonction des coordonnes modales mcaniques position
et vitesse. Dans le cas incompressible, pour une poutre troite, des simplifications sur
lquation de Reynolds permettent den trouver une expression analytique simple. Pour une

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poutre plus large, on a tabul la valeur de cette fonction pour ensuite considrer la fonction
linaire par morceaux. Des rsultats concordants ont t obtenus et un gain dun facteur trois
sur le temps dune simulation deffondrement a t relev. Dans le cas compressible, il nest
plus possible dexprimer la projection de la force fluidique comme une fonction des
coordonnes modales mcaniques. On est alors oblig de rsoudre le systme mcanique
coupl lquation de Reynolds. Ce modle prsent au chapitre 3 ncessite lvaluation
dintgrales fonctions non-linaires des coordonnes modales mcaniques. Une mthode pour
rduire le cot dvaluation de celles-ci consiste les linariser par morceaux. On a, dans un
premier temps, appliqu la mthode gnrale dcrite par Rewienski et al. sur le modle
diffrences finies projet et le modle bas sur le systme dEDPs projetes. Il sest avr plus
pertinent du point de vue du cot de construction dappliquer cette mthode au modle issu
directement des EDPs projetes que du modle discrtis par diffrences finies. Les modles
obtenus prsentent deux avantages principaux : lvaluation des termes non-linaires ne
ncessitent plus un retour aux variables physiques initiales mais juste le calcul de poids et
lintgration dans le temps est ramene la rsolution de systmes linaires. Un clair gain du
cot dvaluation du modle a t constat. Le problme principal de ses modles est quils
dpendent fortement de la trajectoire dapprentissage.
On a dans un deuxime temps exploit la particularit du modle rduit issu de la projection
des EDPs, qui est que les coefficients non-linaires ne dpendent que de la coordonne
modale mcanique. On a ainsi rduit la dimension de lespace parcourir par les points de
linarisation. Lintrt majeur est que lon peut couvrir compltement cet espace, le modle

150

obtenu ne dpend alors plus dune trajectoire dapprentissage. Lintgration dans le temps se

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fait par contre par la rsolution de systmes non-linaires.

151

Conclusion gnrale
Nous avons tent, dans ce mmoire, dclairer dune lumire nouvelle le problme de la
modlisation dordre rduit des systmes coupls lectrostatique-fluidique-mcanique, tels
que les micro-interrupteurs MEMS.
Au chapitre 2, nous avons tabli un modle rduit de lquation de Reynolds en appliquant
cette dernire un changement de variable, aboutissant une formulation permettant
lutilisation de la mthode de Galerkin. Ce modle est valable pour une structure flexible en
grand dplacement, sous lhypothse des petites variations de pression. On a dmontr que ce
modle convenait pour simuler le comportement transitoire dun micro-interrupteur auquel on
applique une tension suprieure sa tension deffondrement. Sil existe des modles de

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lquation de Reynolds sans hypothse particulire, ceux-ci sont toutefois beaucoup plus
coteux simuler et tablir. Dans ce mme chapitre, le choix de la base de projection de
lquation de Reynolds a galement t abord : si le modle que nous avons dvelopp
semble bien tre le plus performant (dans la limite de son champ dapplication), nous navons
pas t capables de donner une justification autre que qualitative ce rsultat. Une premire
perspective de ce travail serait donc dtablir de manire rigoureuse la convergence de la
solution construite laide de notre approche. Il serait aussi intressant dtudier la validit de
bases issues de la troncature balance, gnres partir de simulations dapprentissage de
lquation non-linaire, avec ou sans changement de variable.
Dans le chapitre 3, nous avons valid le modle rduit de squeeze-film damping en
lintgrant un modle complet coupl mcanique-lectrostatique-fluidique dun microinterrupteur constitu dune poutre encastre ses deux extrmits. La comparaison aux
modles diffrences finies se rvle concluante lorsque linfluence des grands dplacements
sur la raideur de la poutre est nglige. Lorsque celle-ci est prise en compte, les rsultats
diffrent sensiblement. Cependant, en ajustant la valeur de certains paramtres (tension
rsiduelle dans la poutre, notamment), lcart entre les rsultats simuls laide du modle
rduit et les rsultats exprimentaux est fortement diminu. Il est souligner que les auteurs
de la publication contenant les donnes exprimentales et les valeurs de rfrence des
paramtres (et nombres dautres auteurs depuis) ont eux-mmes ajust la valeur de la tension
rsiduelle pour faire concider leurs rsultats exprimentaux et les rsultats de leur modle.
Ceci dmontre que la structure de modle que nous avons propose est adquate et quelle est
adapte des applications de type identification ou caractrisation. Le modle propos peut

sans doute tre raffin en choisissant un autre modle de la viscosit effective du film dair.
En effet, le modle de viscosit effective retenu a une influence considrable sur la valeur du
temps de commutation de ce type de structures ou pour lextension du modle des
applications de type microrsonateur.
Enfin, au chapitre 4, nous avons abord la thmatique de la rduction du cot dtablissement
et dvaluation des modles dordre rduit. Nous avons notamment propos un modle
analytique et un modle linaire par morceaux de la projection de la force fluidique sur le
premier mode mcanique comme fonction des coordonnes modales mcaniques. Cette
approche est nouvelle et prsente des rsultats concluants mais se limite toutefois au cas o
lcoulement est incompressible. Dans le cas o lcoulement est compressible, nous avons
montr quil ntait plus possible dexprimer la projection de la force comme une fonction des

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seules coordonnes modales mcaniques. On a alors appliqu avec succs la mthode de

linarisation par morceaux de Rewienski. Lun des enjeux de cette mthode est de parcourir
un domaine important de lespace des phases lors de trajectoires dapprentissage afin de
garantir une large validit du modle. Une solution a t propose pour tendre lespace
couvert par les points de linarisation sans augmenter le nombre de trajectoires
dapprentissage. Il est toutefois difficile de savoir a priori si cet espace couvert est pertinent
pour le domaine dutilisation du microsystme (ce qui ouvre en filigrane le champ des
dveloppements dans le domaine de la planification dexpriences numriques). On a ainsi
propos un modle sinspirant de cette approche, mais prsentant lavantage de ne pas
dpendre dune trajectoire dapprentissage. Cette mthode, qui repose sur la structure
particulire du modle prsent au chapitre 2, pourrait tre tendue dautres modles sous la
condition quils prsentent la mme particularit. Nous sommes donc parvenus dvelopper
un modle rduit coupl non-linaire dun micro-interrupteur actionn lectrostatiquement
dont lvaluation se fait cot rduit et dont la validit ne dpend pas dune trajectoire
dapprentissage. Une des autres suites de ce travail pourrait tre dutiliser ce modle de
lamortissement pour un microrsonateur actionn dans le domaine des grands dplacements.
Dans ce cadre, les pertes fluidiques ntant plus dominantes, il conviendra galement de
proposer des modlisations efficaces des pertes dancrage et des phnomnes disspatifs
lchelle nanomtrique.

153

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158

Annexe A Navier-Stokes ANSYS

Navier Stokes incompressible 2D Film dair
/BATCH,
/tit,SFD_ter
/FILNAME,SFD_ter
/PREP7

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

!geometrie
H0=2e-6
L=500e-6
rectng,,L,,H0
!physique
P0=0
mu=1.82e-5
rho=1.292
!element
et,1,141
esha,2
keyopt,1,4,1

! 2-D XY system
!active le degr de libert dplacement UX,UY du mesh

!proprits physiques
FLDATA8,NOMI,DENS,RHO
FLDATA8,NOMI,VISC,MU

! densit nominale
! viscosit nominale

!maillage
NDX=30
!nbre d'lments dur la longueur
NDY=4
!nbre d'lments dur la hauteur
lesize,1,,,NDX,
lesize,3,,,NDX,
lesize,2,,,NDY,-5
! -5 correspond au spacing ratio
lesize,4,,,NDY,-5
ALLSEL
AMESH,all
!definition dplacement
COEFF=0.1
f=1e3
OMEGA=2*3.1416*f
*DIM,TABUY,TABLE,6,7,1,,,,0
!
! Begin of equation: H0*(1+COEFF*sin(OMEGA*{TIME}))
159

*SET,TABUY(0,0,1), 0.0, -999

*SET,TABUY(2,0,1), 0.0
*SET,TABUY(3,0,1), H0
*SET,TABUY(4,0,1), COEFF
*SET,TABUY(5,0,1), OMEGA
*SET,TABUY(6,0,1), 0.0
*SET,TABUY(0,1,1), 1.0, -1, 0, 1, 19, 3, 1
*SET,TABUY(0,2,1), 0.0, -1, 9, 1, -1, 0, 0
*SET,TABUY(0,3,1), 0, -2, 0, 1, 18, 3, -1
*SET,TABUY(0,4,1), 0.0, -1, 0, 1, 0, 0, -2
*SET,TABUY(0,5,1), 0.0, -3, 0, 1, -1, 1, -2
*SET,TABUY(0,6,1), 0.0, -1, 0, 1, 17, 3, -3
*SET,TABUY(0,7,1), 0.0, 99, 0, 1, -1, 0, 0

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

! End of equation: H0*(1+COEFF*sin(OMEGA*{TIME}))

*DIM,TABVY,TABLE,6,6,1,,,,0
!
! Begin of equation: H0*COEFF*OMEGA*cos(OMEGA*{TIME})
*SET,TABVY(0,0,1), 0.0, -999
*SET,TABVY(2,0,1), 0.0
*SET,TABVY(3,0,1), H0
*SET,TABVY(4,0,1), COEFF
*SET,TABVY(5,0,1), OMEGA
*SET,TABVY(6,0,1), 0.0
*SET,TABVY(0,1,1), 1.0, -1, 0, 1, 17, 3, 18
*SET,TABVY(0,2,1), 0.0, -2, 0, 1, -1, 3, 19
*SET,TABVY(0,3,1), 0, -1, 0, 1, 19, 3, 1
*SET,TABVY(0,4,1), 0.0, -1, 10, 1, -1, 0, 0
*SET,TABVY(0,5,1), 0.0, -3, 0, 1, -2, 3, -1
*SET,TABVY(0,6,1), 0.0, 99, 0, 1, -3, 0, 0
! End of equation: H0*COEFF*OMEGA*cos(OMEGA*{TIME})

!dfinition des contraintes

lsel,s,,,3
nsll,s,1
d,all,VX,
d,all,VY,%TABVY%

! plaque du haut en mouvement

d,all,enke,-1
! flag indiquant un mur mobile
d,all,UX,0.0
d,all,UY,%TABUY%
lsel,s,,,2
lsel,a,,,4
nsll,s,1
d,all,pres,P0

! Cts droit et gauche

!conditions limites "ouvertes"

160

lsel,s,,,1
nsll,s,1
d,all,vx,
d,all,vy,
d,all,ux,0.0
d,all,uy,0.0

! plan fixe du bas

allsel
finish

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

save, SFD_ter
/SOLU
!definition de la dure de l'experience + periode entre deux mesures
nts =100
! nombre dintervalles de temps
time = 1/f
! temps de simulation
delta = time/nts
!dure dun intervalle de temps
appf = delta
! enregistre les rsultats chaque pas
fldata7,prot,dens,gas !dfini le modle de la densit
FLDATA8,NOMI,DENS,RHO
! densit nominale
FLDATA8,NOMI,VISC,MU
! viscosit nominale
fldata9,cof1,dens,273
temprature de ref de la densit
fldata10,cof2,dens,1.013e5 pression de ref pour la densit

fldata15,pres,refe,1.013e5
fldata1,solu,tran,t
fldata4,time,pres,1e-3
fldata4,time,vx,1e-3
fldata4,time,vy,1e-3
fldata4,time,vz,1e-3
fldata4,time,TEMP,1e-3

!solver
fldata18,meth,pres,1
fldata18,meth,vx,1
fldata18,meth,vy,1
fldata18,meth,vz,1
fldata18,meth,temp,1
fldata18,meth,enke,1
fldata18,meth,ends,1

fldata30,quad,momd,2
fldata30,quad,moma,2
fldata30,quad,moms,2

! increased quadrature for deformed

! elements (intgration numrique)

161

fldata30,quad,prsd,2
fldata30,quad,prss,2
!analyse transitoire
fldata4,time,step,delta
fldata4,time,numb,nts
fldata4,time,tend,time
fldata4,time,glob,30
!nbre d'itration par pas de temps
fldata4,time,appe,appf
!definit la frquence d'enregistrement des rsultats (ici chaque pas
de temps)
fldata1,solu,ale,t
!active la formulation ALE
SOLVE
finish

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

SAVE,SFD_ter
/post26
RESUME,SFD_ter
!donnes enregistrer pour time history postprocessing
!definition des variables
NSOL,2,17,U,Y,uy_milieubas
NSOL,3,55,U,Y,uy_milieuhaut
!NSOL,4,178,U,Y,uy_milieumilieu
NSOL,5,17,PRES,,P_milieubas
NSOL,6,55,PRES,,P_milieuhaut
!NSOL,7,178,PRES,,P_milieumilieu
!NSOL,8,46,V,X,V_bord1
!NSOL,9,47,V,X,V_bord2
!NSOL,10,48,V,X,V_bord3
STORE,NEW
plvar,2,3,4
finish
/post1
set,NEAR,,,,0.3e-3
PLNSOL,pres
PLNSOL,V,X

162

Annexe B Equation des poutres dEuler Bernoulli

a-Drivation de lquation en grands dplacements
Soit une poutre, c'est--dire que lune des dimension est grande devant les deux autres.
Afin de traduire conomiquement le phnomne de flexion, on fait les hypothses suivantes :
-pas de dformations perpendiculaires laxe mdian
-pas de dformations de cisaillement transverse
Ci-dessous un tronon de cette poutre compris entre x et x+dx

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

M
T

M+dM

S
S+dS
q(x)

T+dT

M est le moment flchissant, T leffort tranchant, S leffort axial, q la force linique.

Soit w(x,t) le dplacement dans la direction z de laxe neutre de la poutre. Le moment
flchissant M de chaque section de la poutre est reli au dplacement transversal selon la
relation :
M ( x) = EI
o I =

2w
x 2

(B-1)

Wh 3
est le moment dinertie de la poutre, et E son module dYoung.
12

Si on crit la relation fondamentale de la dynamique projete sur laxe Oz pour ce tronon de

poutre, on obtient :

163

dT
2w
(B-2)
+ q( x) = A 2
dx
t
o A = Wh la section de la poutre.
Si on crit lquilibre des moments selon laxe Oz en prenant lorigine en x+dx, on obtient :
M + Tdx Sdw

q ( x)dx 2
= M + dM
2

(B-4)

soit au premier ordre

dM
w
S
+ T = 0 (B-5)
x
dx
Si on drive cette expression selon x et quon remplace lexpression de M par (C-1) et quon

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

applique (C-2), on obtient lquation dEuler Bernoulli dans le cas dune poutre sous
contrainte axiale, soit :
EI

2w
w
4w
(
)

S
q
x
A
=

t 2
x
x 4

(B-6)

Si on crit lquilibre axial on obtient :

dS = 0 (B-7)

S est donc une constante sur la longueur de la poutre.

Dans le cas o la tension axiale vient des grands dplacements, elle vaut :

S = xx A
(B-8)
et
L
xx = E
(B-9)
L
O L est la longueur initiale de la poutre et L lallongement de la ligne centrale pour un
dplacement w(x) [Landau 1967]. La longueur de la poutre vaut alors :
2

w
(1 + dx
x

L + L =
0

Pour

(B-10)

w
<< 1 , on fait un dveloppement limit au deuxime ordre :
x
2

1 w
w
(1 + 1 +
2 x
x

(B-11)

On obtient

164

S=

EA
2L

w
dx
x

(B-12)

Il peut aussi y avoir un terme de contrainte rsiduelle S 0 .

b-Modes propres de vibrations de la poutre

Ces modes sont dtermins partir de lquation dEuler-Bernoulli linaire, c'est--dire que le
terme de tension axiale d au grand dplacement nest pas pris en compte, par contre la
contrainte rsiduelle est elle bien prise en compte. On suppose le mouvement dcrit par une
superposition de modes de vibrations (B-13) :
w( x, t ) =

wn ( x)( An cos( n t ) + Bn sin( n t ))

(B-13)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

On prend comme solution possible, une solution du type wn ( x) = e x . doit alors vrifier
lquation suivante :

4 k 2 n4 = 0

(B-14)

avec

n4 =

A
EI

n2 , k =

S0
.
EI

peut prendre les valeurs Y1 , Y1 , i (Y2 ) ,i (Y2 )

o

k
k2
Y1 = +
+ n4
2
4

(B-15)

k
k2
Y2 =
+ n4
2
4
On pose :
f 1 = Y1
f 2 = (Y2 )

(B-16)

On cherche donc les solutions wn sous la forme :

wn ( x ) = A cosh( f1 x ) + B sinh( f1 x ) + C cos( f 2 x ) + D sin( f 2 x )

(B-17)

Pour une poutre encastre-encastre, les conditions limites permettant de dterminer les
constantes A, B, C, et D sont :
w n ( 0) = w n ( L ) = 0
w n ' ( 0) = w n ' ( L ) = 0

(B-18)

165

Lquation rsoudre est alors :

cosh( f L)
1

f1 sinh( f1 L)

0
1
sinh( f1 L)
cos( f 2 L)
f1
0
f1 cosh( f1 L) f 2 sin( f 2 L)

0
A
A

sin( f 2 L) B
= M B = 0
C
C
f2


f 2 cos( f 2 L) D
D

(B-19)

Pour quil existe une solution autre que la solution triviale nulle, n doit vrifier det(M)=0
soit :
2 f1 f 2 + f 2 [ f 2 sinh( f1 L)sin( f 2 L) f1 cosh( f1 L)cos( f 2 L)
f1 f 2 cosh( f1 L)cos( f 2 L) f1 sinh( f1 L)sin( f 2 L) = 0

(B-20)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

On obtient alors :

cos( f 2 L) cosh( f1 L)

f
wn (x) = cos( f 2 (x)) cosh( f1 (x)) + sin( f 2 x) 2 sinh( f1 x)
(B-21)
f1
f 2 sinh( f L) sin( f L)

1
2
f1

166

Annexe C Modle diffrences finies de lquation de

Reynolds

3G

1 G
2 p 2 p
G p
p 1 p
G p
1 + +
+ 3G
+ G 2 2 + 2 = 12

x x
y y
y
x
G t P0 P0 t

(C-1)

Le schma numrique est le suivant :

p
x

2x

i, j

2 p
x 2
tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

p i +1, j p i 1, j

p i , j
t

pi +1, j 2 pi , j + pi 1, j

(C-2b)

x 2

i, j

(C-2a)

p ik, +j 1 p ik, j
t

(C-2c)

Les conditions limites sont celles de bords ouverts :

p0, j = p N = 0
x, j

pi , 0 = pi , N = 0
y,

Pour lintgration dans le temps, un schma implicite donne :

k +1

G
3G

x i

p i +1, j pi 1, j

k +1

2x

p I +1, j 2 p i , j + p i 1, j
+G

x 2

V
12 i
Gi

k +1

+ 3G
y i

k +1

p i , j +1 p i , j 1

k +1

2y

p I , j +1 2 pi , j + p i , j 1
x

k +1

(C-3)

p k +1 1 p ik, +j 1 p ik, j

1 + i , j +

t
P0 P0

i = 2,..., N x 1
k +1

j = 2,..., N y 1
La rsolution finale sous forme matricielle peut scrire :
k +1

12 k +1
V
A(G , G )
I p = 12
P0 t
G

k +1

12

pk
(C-4)
P0 t

167

Annexe D

Processus dArnoldi

Ce
processus
gnre
une
base
du
sous-espace
de
Krylov
2
k 1
K r ( A 1 , r ) = vect r, A 1r, A 1 r,..., A 1 r de dimension k. La matrice A et le vecteur r sont
dtermins partir de la reprsentation dtat du systme (cf 1.2.2).

Programme Matlab
% entres
A1=inv(A);
b=A1*B;
q=4; %ordre du modle

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

%sorties
V=zeros(param.mesh.N,q+1);
%variables intermdiaires
H=zeros(q,q);
%initialisation
V(:,1)=b/norm(b);
for j=1:q
w=A1*V(:,j);
for i=1:j
H(i,j)=w'*V(:,i);
w=w-H(i,j)*V(:,i);
end
H(j+1,j)=norm(w);
if (H(j+1,j)~=0);
V(:,j+1)=w/H(j+1,j);
end
end
V=V(:,1:end-1); %on limine le dernier vecteur

168

Annexe E Modle diffrences finies coupl

-Equation dEuler Bernoulli
2w
2w
4w
EI 4 ( S + S 0 ) 2 = Fext A 2
t
x
x
L

S=

EA
2L

(E-1)

dx
x

(E-2)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

w 4 wi 1 + 6 wi 4 wi +1 + wi + 2
4w
= i 2
4
x 4
x i
w 2 wi + wi 1
2w
= i +1
2
x i
x 2
w wi 1
w
= i +1
2x
x i

(E-3a)

(E-3b)
(E-3c)

-Conditions limites
Points lintrieur du domaine 1,..,Nx
Points lextrieur du domaine indice -1, 0, Nx+1, Nx+2
Poutre encastre-encastre

w1 = 0
w w0
w
= 2
=0
x 1
2x

w0 = w2

(E-4)

En crivant (E-1) au point 1, on trouve aussi w1 = w3 .

Toutefois seul w0 est ncessaire lcriture de (E-1) au point 2 du domaine.
De mme wNx = 0 et wNx +1 = wNx 1 et wNx +1 est ncessaire lcriture de (E-1) au point Nx-1 du
domaine.

-Reynolds

* G3 &
G
p G p
1 + +
(
p ) =
(E-5)
t P0 P0 t
12
On applique ici pour les drives secondes le mme schma que pour lquation dEuler
Bernoulli et pour la drive premire, le schma suivant qui diffre de celui prsent en
annexe C :

169

p pi
p
= i +1
(E-6)
x i
x
On obtient un systme dquation de la forme :
p i , j

= Q00 (G, G ) p i , j + Q+10 (G ) p i +1, j + Q10 (G ) p i 1, j + Q01 (G )( p i , j 1 + p i , j +1 ) + R (G )

Gi
t

(E-7a)

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Q00 =

P0 1

12 x 2

1 Gi
Gi3 + Gi31
2
2 Gi2

G t
i
y
Gi

Q+10

P0 Gi2
=
12 x 2

(E-7c)

Q 10

P0 G i31
=
12 G i x 2

(E-7d)

Q 01

P0 G i2
=
12 y 2

(E-7e)

R=

P0
Gi

(E-7b)

(E-7f)

Les conditions limites respectant la condition

p
= 0 sur les bords encastrs et p = 0 sur
x

les bords libre se ramnent :

p 0 , j = p1, j , p Nx , j = p Nx 1, j (E-8a)

pi , 0 = pi , N = 0 .
y,

(E-8b)

La matrice B couple le modle structure et fluide et est construite telle que lon intgre la
pression sur la largeur pour chaque composante du vecteur dplacement. Soit la i me ligne de

B vaut [1, 1, 1, ., 1, 1, 1] entre sa (i 1)( N y 2) + 1 me colonne et sa i ( N y 2)

me

colonne.

Ny est le nombre de points de maillage sur la largeur.

170

Annexe F

Modle linariss par morceaux : calcul des

jacobiens

a-Modle rduit
Jacobiens JF et JG des fonctions f et g.
Fonctions f et g.
0 x 0
I 0

g(z) = 0 M
0 x 0
0 0 A(a) s c(a)

(F-1)

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Et

I
0 a
0

f(z) = K 0 B(a) a
0 0 H (a) s

(F-2)

JG et JF les jacobiens respectif des fonctions g et f ont alors la forme suivante :

0
0
I

JG = 0
M
0
Q(z ) 0 A(a)
I
0
0

JF = C(z) 0 B(a)
D(z) 0 H(a)

(F-3)

(F-4)

o la l ime colonne de Q, C et D scrivent :

A
c
Ql =
s
(F-5)
z l
z l
B
C l (z ) = K l +
s (F-6)
z l
H
D l (z ) =
s
(F-7)
z l
avec 1 l N m , Nm nombre de modes mcaniques
On considre un seul mode mcanique w1. Les expressions des drives sont les suivantes :

Akj =

(G

a1 wl ) k j d
2

(F-8a)

k , j = 1,..., Ns , Ns nombre de modes damortissement

Akj
z l

2(G0 a1 wl ) wl ( x) k ( x, y ) j ( x, y )d
3

(F-8b)

171

c k = 2 P0
c k
= P0
z l

(G

a1 wl ) 2 k d ,

G0 a1 wl )

P
H kj = 0 2k kj
12
H kj
z l

3 P0
2 12

k = 1,..., Ns

k wl d

(a1 w1 )
a 1 w1 )

(F-9a)

(F-9b)

k j d

(G0 a1 wl ) 2 wl (G0 a1 wl )
1

k , j = 1,..., Ns

(G0 a1 wl )

(F-10a)

wl (G0 a1 wl ) 2 k j d
3

(F-10b)

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Bkj =

Bkj
z l

(
(

G a1 w1 ) j wk d

3
2

G0 a1 wl )

k = 1,..., Nm , j = 1,..., Ns

wl wk j d

(F-11a)

(F-11b)

b-Modle diffrences finies

Dans ce cas seul le jacobien de la fonction f est calculer. La fonction f a la forme suivante :
I
0 w
0

1

f(z) = M K
0
M 1 B w
(F-12)

0
 ) p
R(w) Q(w, w
O z est le vecteur dtat.
Le jacobien JF a alors la forme suivante :
0
I
0

JF(z) = M 1 K
0
M 1 B
C(z) + (z) R(w) + L(z ) Q(w, w
 )

(F-13)

 et
O les matrices C et E proviennent respectivement de la drivation des termes R(w) w

 ) p par rapport aux termes de w. La matrice L correspond la drivation des termes de

Q(w , w
 ) p par rapport aux termes w

Q(w , w
Lexpression des coefficients de C est simplement drivable, nous ne dtaillons que la
drivation de la matrice E. La jime colonne de la matrice E correspond :

172

Q
p .
Ej =
(F-14)
w j

Seuls les coefficients de Q dpendant de wj , jime terme de w seront non nuls.

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

La dmarche est la mme pour la drivation de la matrice L.

173

Annexe G

Modle rduit coupl incompressible

Lquation de Reynolds incompressible avec lhypothse des petites variations de pression et

3 / 2
scrit :
le changement de variable p = G

G 3 / 2 12 G
= 3
G3/ 2
G 2 t

(G-1)

Projete sur les modes propres du Laplacien k et en approchant w(x,t) le dplacement de la

poutre par le premier mode mcanique w1 ( x) elle peut scrire sous forme matricielle:
Hs = FP a

(G-2a)

tel-00552076, version 2 - 23 Mar 2011

o
( x, y, t ) = s k (t ) k ( x, y ) (G-2b)
k

w( x, t ) = a1 (t ) w1 ( x)
(G-2c)
et
3

2
G

2
H lk (G ) = k kl
k l
(G-2d)
3

2
G

1
FPlk (G ) = 12
wk l
(G-2e)
3
G 2
Le modle rduit coupl peut donc scrire en reprenant les notations de (3-15a) :

0
I
0

a
d a
+
=

1
1
1
1 e
dt a M K 2 (a) M BPH FP(a) a M p (a)

(G-3)

174