FAMN

Fsica del plasma

un mundo de nuevas aplicaciones

J. Cotrino
cotrino@us.es

Grupo de Superficies, Intercaras y

Lminas delgadas
Instituto de Ciencia de Materiales
CSIC-US
1

Resumen
Asignatura curso 2004-05
Descargas en gases: qu son?
Ejemplos
La lmpara fluorescente
El lser de He-Ne
PECVD a:Si-H
Fenomenologa bsica de un plasma de descarga
Algunas aplicaciones de los plasmas de descarga

Asignatura curso 2004-05

Aulas y horario: Sala de Juntas,

Martes
11:30 13.30

Mircoles
11:30-12:30

Jueves
12:30-13:30

Tutoras: Mircoles y Jueves de 8:30 a 11:00, Martes de

8:30 a 11:00
Fechas de exmenes:
1a convocatoria el
2a convocatoria el

27 / 06 / 05
09 / 09 / 05

Aula IV; 9 : 30
Aula III; 9 : 30
4

Tema 1.- INTRODUCCIN A LA FSICA DE PLASMAS

Concepto de plasma. Introduccin histrica
Plasma en diversas situaciones. reas ms importantes
Plasma trmicos y no trmicos. Tecnologa de plasma
Cuasineutralidad. Respuestas espacial y temporal
Plasma ciencia y tecnologa. Plasma en Internet
reas de investigacin, algunas clasificaciones
Tema 2.- PARMETROS DEL PLASMA
Clasificacin del plasma. Partculas y campos
Escalas de tiempo y espacio en el plasma
El parmetro del plasma
Plasma en equilibrio termodinmico
Procesos colisionales y radiativos
Ruptura del equilibrio. Balances propios e impropios
Magnetizacin
5

Tema 3.- FORMACIN DE VAINAS. SONDAS DE LANGMUIR

Ruptura de la cuasineutralidad. Formacin de la vaina en plasma
Diodos de Plasma. Ley de Child
Teora lineal y no lineal de formacin de la vaina
Criterio de Bohn. Vaina Matrix
Interaccin de iones con superficies. El problema de la pared en los
reactores de fusin
Sondas de Langmuir. Medida de la funcin de distribucin de energa
Otras tcnicas de diagnosis
Tema 4.- PLASMA SIN COLISIONES. DERIVAS
Ecuaciones de Maxwell. Teorema de Poyting. Plasma sin colisiones
Partculas en campo electromagnticos. Campos uniformes
Campos variables en el tiempo
Campos inhomogneos
Espejos magnticos. Confinamiento de los electrones. Sistema ECR
Calentamiento magnetoelctrico
6

Tema 5.- CINTICA DE PLASMA. COLISIN Y RADIACIN

Funcin de distribucin y ecuacin de Boltzmann
Momentos de la ecuacin de Boltzmann
Integral de colisin. Choques atmicos y moleculares
Balances de partcula y energa en el plasma
Tema 6.- PLASMA COMO FLUIDO. ELECTRNICA GASEOSA
Especies en la descarga gaseosa
Integrales de colisin
Ecuacin de continuidad. Modelos colisionales y radiativos
Ecuaciones de transporte
Modelo del electrn medio
Descarga elctrica a baja presin

Tema 7.- PLASMA COMO FLUIDO. DIFUSIN Y

TRANSPORTE
Modelo de plasma como mezcla
Difusin. Difusin ambipolar
Columna positiva controlada por difusin
Ecuaciones de la magnetohidrodinmica
Plasma totalmente ionizado. Resistividad
Difusin en plasmas totalmente ionizados
Tema 8.- FUENTES DE PLASMA
Plasmas DC, columna positiva. Plasma Corona
Plasmas RF, modelo homogneo y no homogneo. Calentamiento
estocstico.
Plasma barrera
Plasmas de microondas
8

Tema 9.- TECNOLOGA DE MATERIALES CON PLASMA

Introduccin
Modificacin de superficies. Sputtering, Etching y Deposicin
Deposicin de lminas delgadas
Descontaminacin con plasma
Bibliografa
Francis F. Chen, Introduction to Plasma and Controlled Fusion, Plenum Press, N.Y.
1988
J. Reece Roth, Industrial Plasma Engineering, Institute of Physics Publishing, Bristol,
1995
R.O. Dendy, Plasma Dynamics, Oxford Science Publications, 1990
B. Held, Physique des plasmas froids, Masson, 1994
V.E. Golant, A.P. Zhilinsky y I.E. Sakharov, Fundamentals of Plasma Physics, Wiley,
N.Y., 1977
R.J. Goldston y P.H. Rutherford, Introduction to Plasma Physics, Institute of Physics
Publishing, Bristol, 1995
9

Descargas en gases: qu son ?

10

Descargas en gases: qu son ?

Aurora boreal

Plasma rf de argon para

procesamiento de materiales

Relmpago

Lmpara de plasma de arco

de alta intensidad
Tubos de neon

11

Laser de He-Ne

Descargas en gases: que son ?

+

Gas, presin P
Distancia d entre electrodos

E
CREACIN DE UN
PLASMA
DE DESCARGA
Pxd
Ley de Pashen

12

Descargas en gases: qu son ?

Plasma: el cuarto estado de la materia

Imagen rayos X del Sol Sonda Yohkoh

Soft-X telescope (STX)

Gas ionizado
Igual nmero de cargas positivas y negativas
Nvel de ionizacin afecta a sus propiedades elctricas
Se estima que constituye el 99% de la materia del Universo
13

Descargas en gases: qu son ?

Dominio cientfico de
Fsica del Plasma, Laseres y Fusin Nuclear

Plasmas de descarga
Bajas temperaturas
Bajas densidades

14

Descargas en gases: qu son ?

Descargas (terrestres) naturales relmpago

15

Descargas en gases: qu son ?

Descargas artificiales

Plasma rf de argon para

tratamiento de material

Lmpada de plasma de arco

de alta intensidad

Pantalla de plasma

Joint European Torus (JET)

Tubos de neon

Laser de He-Ne

16

Ejemplos

17

La lmpara fluorescente clsica

Descarga en una mezcla gaseosa
- Hg (5-6 mTorr) radiacin UV
- Ar (2-3 Torr) - gas inerte
Revestimento interno tipo fsforo
Temperatura electrnica: 1-2 eV
(11 000 - 22 000 K)
Temperatura del gas: ~ 350 K
Densidad electrnica: 1011 1012 cm-3

Produccin de fotones UV (transicin 2537 en Hg)

~ 55-60% potencia consumida
Conversin de fotones UV visble en el revestimiento de fsforo
~ 85-90% (rend. cuntico) ; ~ 50% (rend. energtico)

Rendimiento total 25-30%

18

E (eV)

E (eV)

15,76 - Ionizacin
10,43 - Ionizacin
10

15

3p54d
3p55p

73S1

3p53d

3p55s
61P1
63P2
63P1
63P0

2537
55-60%

3p54p
13

1849
8-9%

3p54s
11

Nveles de energa del Hg

Nveles de energa del Ar

19

La lmpara fluorescente clsica

Nmero de lmparas fluorescentes en el mundo (excluido ex-URSS y China)

2x109
Nmero de lmparas de arco de alta intensidad
2x108
Potencia consumida si 1/3 de estas lmpadas estuvieran simultneamente
encendidas
(suponiendo lmparas 60 W) - 1011 W
Potencia total radiada en el visble (30% rendimento)
3x1010 W

20

10

El laser de He-Ne
Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation
Descarga en una mezcla gaseosa
- He (~ 1 Torr)
- Ne (~ 0.1 Torr)
Emisino laser 6328 (rojo)
Potencia: 0.5 100 mW

Transferencia excitacin
Inversin de poblacin
Emisin estimulada

21

E (eV)

E
2p55s
21

2 1S 0

3.39 m

He + Ne*

2p54p

2 3S 1
2p54s
1.15 m

19

6328

He* + Ne

2p53p
rpida

17
2p53s
1S

2p61S0

Nveles de energia de He y Ne
22

11

PECVD a:Si-H
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

electrn

SiH3

Lig. libres

Descarga capacitiva en una mezcla gaseosa

- SiH4 (< 50%)
- H2 (> 50%)
Presiones tpicas 300-1200 mTorr
Excitacin rf a 13.56 MHz
Tensin rf ~ 100 V (electrodo superior)
Substrato a masa (electrodo inferior)
calentado entre 400-700 0C

Fragmentacin de la mezcla precursora por el plasma

Transporte de radicales hasta el substrato
Interaccin plasma-superficie: depsito
23

PECVD a:Si-H
Cintica de especies cargadas
e + SiH4
e + H2
e + SiH4

2e + SiH3+ + H

SiH3+ + SiH3- SiH3 + SiH3

2e + SiH2+ + H2

SiH2+ + SiH3- SiH2 + SiH3

2e + H2+

H3+ + SiH3-

SiH4 + H2

2e + H+ + H

H2 + SiH3

SiH3 + H2

SiH3 + H

H+ + SiH3-

SiH4

++

SiH3+ + SiH3

e + SiH3- 2e + SiH3

SiH2

e + SiH2+ SiH + H

SiH2+ + SiH4

Si2H4+ + H2

e + SiH3+ SiH2+ + H

SiH2+ + H2

SiH3+ + H
SiH3+ + H2 + H2

SiH4

e + H3+

H2 + H

H3+ + SiH4

e + H2+

H+H

H2+ + SiH4

SiH3+ + H2 + H

H+ + SiH4

SiH3+ + H2

H2+ + H2

H3+ + H

e + H+

24

12

PECVD a:Si-H
Cintica de especies neutras
H + SiH4

H2 + SiH3

H + SiH3

H2 + SiH2

H + SiH2 H2 + SiH
H + Si2H6 SiH3 + SiH4
H2 + Si2H5
H + SiH H2 + Si
H + Si3H8 Si2H5 + SiH4

Si + SiH4

H2 + Si2H3

SiH + SiH4

H2 + Si2H3

SiH2 + SiH4

Si2H6

SiH2 + Si2H6 Si3H8

SiH3 + SiH3

SiH2 + SiH4

SiH3 + Si2H6 SiH4 + Si2H5

H2 + SiH2 SiH4

25

PECVD a:Si-H
Perfil espacio-temporal del campo elctrico

26

13

PECVD a:Si-H
Perfiles de densidad y energa electrnica en el reactor

25

() (eV)

10

-3

ne (10 cm )

0.12
0.08
0.04
0.00

1.6

3.2
r (cm)

4.8

3.2
2.4
1.6
0.8 z (cm)
6.4 0.0

20
15
10
5
0
1.6

3.2
r (cm)

4.8

6.4

3.2
2.4
1.6
0.8 z (cm)
0.0

27

Fenomenologa de un
plasma de descarga

28

14

Fenomenologa de un plasma de descarga

Interaccin plasma-onda

Anlisis microscpico de la cintica electrnica

Obtencin de la FDEE y parmetros de transporte

Fuentes de ionizacin (dc/rf/hf; cw/pw)

Creacin de campos de mantenimiento
E/N vs. pR (dados ne en funcin de I)

Cintica y transporte de partculas cargadas

Creacin de campos electrostticos

Plasma activo
A, A2, A*, A2*
A+, A, e
Interaccin plasmasuperficie
Depsito, grabado,
cintica superficial

Cintica y transporte de especies neutras

Mecanismos colisionales-radiativos

Anlisis microscpico
de la cintica
vibracional
Obtencin de la FDV

Interaccin
radiacin-materia
Transporte radiativo
29

Algunas aplicaciones de
los
plasmas de descarga

30

15

Aplicaciones de los plasmas de descarga

Laseres

Iluminacin

Laser de He-Ne

Lmpara de plasma de arco

de alta intensidad

Lmpada ICP de Ar-Hg

Laser IR de CO
(ar+N2+He)

31

Aplicaciones de los plasmas de descarga

Tratamiento de superficies
Nitruracin de metales

Procesamiento con
descargas corona
de plsticos

Grabado por ICP

95% Ar + 5% Cl2

Implantacin inica
en lentes

32

16

Aplicaciones de los plasmas de descarga

Depsito de materiales

Fibras CH4 en un
electrodo metlico

Spray por
plasma de arco

PECVD

Crecimiento de cermicas
metales o compuestos

33

Aplicaciones de los plasmas de descarga

Crecimiento de materiales

Nanotubos de carbono (paredes simples)

producidos por un plasma de CO
pticamente excitado por laser

Cristales de diamante
producidos por un plasma de CO-CH4
pticamente excitado por laser
34

17

Aplicaciones de los plasmas de descarga

Anlisis qumico

Antorcha ICP de plasma atmosfrico

Ablacin por laser Nd-Yag - LIPS
35

Aplicaciones de los plasmas de descarga

Tratamiento de residuos

36

18

Aplicaciones de los plasmas de descarga

Esterilizacin con plasma

Sistema de esterilizacin con plasma

de perxido de hidrgeno de baja temperatura
utilizado en la esterilizacin rpida (55 min)
de instrumentos quirrgicos en salas de operaciones

Experiencia de plasma para eliminacin de priones: partculas proteicas muy patgenas responsables,
por ejemplo, de las encefalopatias espongiformes (vaca loca, enfermedad de Creutzfeldt-Jakob) 37

Aplicaciones de los plasmas de descarga

Pantallas de
plasma

Propulsores
a plasma
Motores
inicos

Mini-ICP
(f y p elevadas)

38

19

Aplicaciones de los plasmas de descarga

Estudios fundamentales

Descarga DC de 10 mTorr
en xenon

Confinamiento multipolar
De una descarga de argon
a baja presin

Descarga DC con estras

en vapor de agua

39

Aplicaciones de los plasmas de descarga

Entretenimiento

40

20

Aplicaciones de los plasmas de descarga

y adems

Separacin de istopos
Fuentes de partculas
Conversin de energa
Interruptores
Aplicaciones ambientales
(descontaminacin de aire y agua; regeneracin
atmosfrica)

41

21