budai Egyetem

Kand Klmn Villamosmrnki Kar

Mikroelektronikai s Technolgia Intzet

Mikro- s nanotechnika (KMENT14TNC)

Laboratriumi gyakorlatok
Mrsi tmutat

3. Hall-szondk alkalmazsai
a. Flvezet anyagjellemzk mrse
Elmleti httr
A jelenleg forgalomban lv felvezet eszkzk s integrlt ramkrk dnt tbbsge
szilciumbl, s kisebb hnyada vegyletflvezetkbl kszl (pl. GaAs, InSb, GaAsP, stb.),
amelyeket fknt optoelektronikai s mikrohullm clokra alkalmaznak. A flvezetkre
jellemz ktfle ramvezetsi mechanizmus lehetv teszi a p-n-tmenet kialaktst, s
ezltal didk, tranzisztorok s egyb flvezet eszkzk megvalstst. A flvezet n-tpus,
ha szabad elektron tbblettel, mg p-tpus. ha szabad lyuk tbblettel rendelkezik.
Ismeretlen sszettel flvezet esetben mrsekkel kell meghatrozni az anyag tpust, az
adalkols mrtkt (a szabad tltshordozk koncentrcijt) s a tltshordozk
mozgkonysgt.
Szobahmrskleten s annak krnyezetben valamennyi adalkatom egy-egy szabad
tltshordozt (elektront vagy lyukat) ad le. Amennyiben teht meghatrozzuk a flvezet
vezetkpessgt, kiszmthatjuk a bevitt donor- vagy akceptorkoncentrcit.
A vezets jellemzshez azonban nem elg a tltshordozk mennyisgnek ismerete, meg
kell hatrozni azok haladsi sebessgt is. A fmes vezetssel ellenttben, a flvezetkben a
tltshordozknak az elektromos tr hatsra trtn elmozdulsi sebessge ersen fgg a tr
nagysgtl. Mivel az sszefggs lineris, definilhatjuk a tltshordozk mozgkonysgt,
mint azt az tlagos haladsi sebessget, amelyre a tltshordozk az egysgnyi trerssg
hatsra (a trrel prhuzamos irnyban) felgyorsulnak.
A sodrdsi vagy driftmozgkonysg: =

[cm2/Vs]

ahol v az tlagos driftsebessg s

az elektromos trerssg.

Az elektromos vezetkpessg a differencilis Ohm-trvny alapjn:

= q p p + n n
,

ahol q az elemi tlts (q =1.6x10-19 As), n az elektronok s p a lyukak mozgkonysga, mg

n s p a tltshordozkoncentrci. a vezetkpessg, amelynek reciproka a fajlagos
ellenlls, amelyet ltalban cm-ben adnak meg.
A mozgkonysg fgg a flvezet anyagtl, a hmrsklettl, az adalkkoncentrcitl s a
tltshordozk fajtjtl. Pontosabb szmtsokhoz nomogramok s tblzatok llnak
rendelkezsre. tlagosan adalkolt flvezetre szobahmrskleten elfogadhatk az albbi
adatok:

Germnium
Szilcium
GaAs
InSb

CdSe

elektronmozgkonysg:

n = 3600 cm2/Vs

lyukmozgkonysg:

p = 1800 cm2/Vs

elektronmozgkonysg:

n = 1350 cm2/Vs

lyukmozgkonysg:

p = 480 cm2/Vs

elektronmozgkonysg:

n = 8500 cm2/Vs

lyukmozgkonysg:

p = 400 cm2/Vs

elektronmozgkonysg:

n = 80000 cm2/Vs

lyukmozgkonysg:

p = 450 cm2/Vs

elektronmozgkonysg:
lyukmozgkonysg:

n = 600 cm2/Vs
nincs adat.

A flvezetk mgneses tr hatsra val viselkedst, az n. Hall-effektust, 1879-ben fedezte

fel E. F. Hall. E jelensgen alapulnak a Hall-szenzorok is. A flvezet anyagok
tanulmnyozsa sorn kiderlt, hogy a flvezetben raml tltshordozkra ugyangy hat a
mgneses tr,
mint a szabad trben vagy a fmekben ramlkra. Ha keresztirny mgneses trben a
flvezet lemezen ram folyik t, az ram s a mgneses tr irnyra merlegesen feszltsg
(Hall-feszltsg) keletkezik. A viszonyokat az 1. bra szemllteti.

Bz

l
UH

vpx

vnx H

y
x
Ux

1. bra: Hall-effektus (az indexek az irnyokra utalnak, az UH lesz a Hall-feszltsg)

A feszltsg polaritsa attl fgg, hogy p- vagy n-tpus a flvezet. Ilyen mrssel eldnthet
teht a flvezetminta tpusa.
A Hall-feszltsg nagysga arnyos az ram s az indukci vektorilis szorzatval:

UH =

w = RH

I Bz w = RH IBz
wd
d

ahol

RH - a Hall-lland (mrtkegysge m3/Coulomb),

I - a mintn tfoly ram (hzram) (A),
Bz - a fluxussrsg (Tesla; Vs/m2),
d - a minta vastagsga (m).
Az RH Hall-lland kifejezhet a szabad tltshordoz koncentrcin keresztl. n-tpus, ill.
p- tpus esetn:

RH =

1
1
, ill. RH =
nq
pq

A feszltsg polaritsa a mozg tltsre hat er kpletbl derlhet ki:

F = Qv
B
ahol

F a tltsre hat er (vektor),

Q a tlts nagysga

v a mozg tlts sebessge (vektor) s

B a mgneses indukci (fluxussrsg) (vektor)
P tpus mintban a tltshordoz lyukak pozitv, n tpus mintban a tltshordoz elektronok
negatv tltsek. Ha teht az 1. bra szerinti irnyokat nzzk, p tpus mintban: Az ram
irnya megegyezik a pozitv tltshordozk irnyval, teht v az x irnyba mutat, Q pozitv,

B a z irnyba mutat, vagyis F a -y irnyba fog mutatni (jobbkz-szably). A lyukak teht az

brn a -y irnyba mennek, vagyis a Hall-feszltsg a berajzolt UH feszltsg irnyval
egyez lesz. N tpus mintnl Q negatv, v x irny, B marad z irny, teht az er megint y-ba fog mutatni. Az ezzel egyenslyt tart, a tltsfelhalmozds miatt kialakul elektromos
ertr -y irny, teht a Hall-feszltsg UH irny lesz. gy llapthat meg a minta tpusa.

A mrsek ismertetse
Mrseink els rszt a vizsglt flvezetminta fajlagos ellenllsnak s a Hall-feszltsg
meghatrozsa kpezi. Erre a clra az elektromgnest tartalmaz Hall-mr berendezst s a
hozztartoz ramgenertort fogjuk felhasznlni. Az elektromgnes lgrsbe fixen beptve
tallhat egy flvezet Hall-minta. A minta alakja, mretei s feszltsgjellemzi a 2. brn
lthatk. A mretek: d = w = 0,4 mm, l =0 , 308 mm. A szmtsokhoz ezeket az adatokat
hasznljuk.

2. bra Hall-szenzor bektse s mretei

Fajlagos ellenlls mrse

A flvezetminta fajlagos ellenllst Ohm trvnye alapjn mrjk s szmtjuk:

l
U R = U x = IR = wd I
ahonnan a fajlagos ellenlls:

U
= R
wd
I l
A fajlagos ellenlls mrsnl - rtelemszeren - mgneses teret nem alkalmazunk. A DC
feszltsgmrt az "UR" jelzs hvelyprok kz kapcsoljuk. Az I hzramot az I jelzs
hvelypron mrjk digitlis multimterrel. A tpllst az "U" pontok kz kapcsolt: stabilizlt
tpegysgrl biztostjuk.

A Hall-feszltsg mrse
A fajlagos ellenlls meghatrozsa utn bekapcsoljuk az elektromgnest gy, hogy az
ramgenertort az "UG" hvelypr kz kapcsoljuk. A genertoron lv kijelzrl leolvashatjuk
a mgneses teret elllt gerjesztram nagysgt s irnyt is. A voltmrt ekkor az "UH"
hvelyprra kapcsoljuk a Hall-feszltsg leolvasshoz.
Els feladatknt a minta tpust hatrozzuk meg. A mgneses tr irnyt az ellapon, lv
LED jelzi. Ismerve az ram- s a mgneses tr irnyt, leolvasva a Hall-feszltsg eljelt, a
minta tpusa eldnthet.
Az elektromgnes B fluxussrsge s az IG gerjesztram kztti sszefggst a 3. bra
adja meg.

3. bra: Lgyvas mgnesezsi grbje

Mint lthat, a grbnek hiszterzise van, ezrt klns gondot ignyel a kvnt B rtk
belltsa. A Hall-feszltsg mrsnl add hibk cskkenthetk, ha mindkt ramirnynl
elvgezzk a mrst, s a kt Hall-feszltsg abszolt rtknek tlagt kpezzk.
Miutn a fenti mrseket elvgeztk, szmtssal meghatrozhatjuk a Hall-llandt, a minta
tbbsgi tltshordoz koncentrcijt s a tbbsgi tltshordozk mozgkonysgt.
A Hall-lland az

RH =

U Hd
IB

kifejezs alapjn szmthat, felhasznlva a mrt Hall-feszltsget, az I hzramot, a B

indukcit s a "d" mintamretet (a Hall-minta vastagsgt).
A tltshordozk srsge:
p-tpus esetn: p =

n-tpus esetn: n =

1
RH q

1
RH q

A mozgkonysg meghatrozshoz a fajlagos ellenllst hasznljuk fel:

p-tpus esetn: p =

1
qp

n-tpus esetn: n =

1
qn

Mrsi elrendezs

4. bra Az a) rsz mrsi panelje

Az brn lthat panelt hasznljuk az a) rszhez. A baloldali UG bemenetre adjuk az

elektromgnes tpllst; a jobboldali U bemenetre a Hall-szenzor tpllst; az I kimenetre
az rammrt ktjk; az UR kimeneten az ellenlls mrshez szksges feszltsget mrjk;
az UH kimeneten a Hall-feszltsget.

Mrsi feladatok
1., Fajlagos ellenlls meghatrozsa
Hatrozzuk meg az ismeretlen minta fajlagos ellenllst (vezetkpessgt) gy, hogy
legalbb tfle I hzrammal elvgezzk a mrseket. I rtke 1-6 mA tartomnyba essk.
Ekkor a gerjesztram nincs bekapcsolva, potenciomterrel szablyozzuk az U tpfeszltsg
ramt, hogy a kvnt I hzram rtkt vegye fel. A fajlagos ellenllst a kapott UR(I) grbr
illesztett egyenes meredeksgbl llaptjuk meg (lieris regresszi).

2., A Hall-feszltsg hiszterzisnek felvtele, az anyagparamterek

meghatrozsa
lltsunk be 3 mA hzramot. Mrjk meg a Hall-feszltsget lpsenknt a gerjeszt ram
fggvnyben nvekv gerjeszt ram rtkeknl 0-tl +1,6 A-ig, majd lpsenknt
cskkentsk az ramot -1,6 A-ig, s nveljk ismt +1,6 A-ig. Minden negyed szakaszon (0 1,6 A abszolt ramrtk kztt) 6..8 pontot vegynk fel, ott, ahol meredeken n az indukci
(kis ramrtkeknl lsd 3. bra), srbben, ahol lapos a mgnesezsi grbe, ritkbban.
brzoljuk a kapott Hall-feszltsg rtkeket mind a gerjesztram, mind az indukci
fggvnyben. (Az adott gerjesztramhoz tartoz indukci rtkeket a mgnesezsi grbrl
- 3. bra - olvassuk le. Figyeljnk arra, hogy a grbe fels vagy als szakaszn jrunk-e.)
A Hall-feszltsg eljelbl llaptsuk meg a minta tpust.
Szmtsuk ki a Hall-llandt a felvett mrsi pontsorra illesztett egyenes paramtereibl. A
Hall-lland segtsgvel llaptsuk meg a tbbsgi tltshordozk koncentrcijt.
Felhasznlva a vezetkpessg-mrs eredmnyt, hatrozzuk meg a tbbsgi
tltshordozk mozgkonysgt.
A kiszmtott eredmnyek alapjn dntsk el, hogy germnium vagy szilcium minta
mrst vgeztk-e?

3., A Hall-feszltsg hzram fggsnek vizsglata

Mrjk meg a Hall-feszltsget hat klnbz hzramnl az 1..6 mA tartomnyban. A
gerjesztram legyen 0.8 A. gyeljnk az indukci rtk megfelel belltsra s helyes
leolvassra! brzoljuk a Hall-feszltsget a hzram fggvnyben!

A gyakorlat msodik rsze a kvetkez lapon kezddik.

b.) Villamos teljestmnymrs Hall-szenzorral

Elmleti sszefoglal

5. bra A b) rsz mrsi elrendezsnek kapcsolsa

Az 5. bra mutatja a Hall-szenzorral trtn teljestmnymrs alapkapcsolst. A mkds

knnyed rtelmezhetsgnek rdekben clszer a kapcsolst matematikai mdon
megkzelteni.

U H = kI hz B
Ahol: UH = Hall-feszltsg (kimeneti feszltsg);

k = a szenzorra jellemz lland;

Ihz = Hall-cella hzrama;
B = mgneses indukci.

A tovbbiakban a teljestmnymrst egyenram szemszgbl kzeltjk meg, vltakoz

ramra ugyanaz a magyarzat igaz.
A kapcsolsban szerepl R eltt ellenlls a Hall-ramot korltozza; egyttal a szenzor
rzkenysge llthat vele bizonyos hatrok kztt. Mivel a szenzor hmrsklet- fggse
jelents, ezrt a gyakorlatban kompenzl ramkrk hasznlata szksges a pontos
mrsek elrse rdekben (a Hall-ram rtke befolysolja az nfts mrtkt is).
A szenzort a terhelssel soros induktivits (egytekercses transzformtor) lgrsbe
helyezzk, gy a mgneses ervonalak jelents rsze a szenzoron keresztl zrdik. Az
induktivitsnak kis menetszmnak kell lennie (s kis impedancijnak vltakoz ramlag),
gy nem lesz tl nagy a tekercs ltal gerjesztett mgneses indukci (nem viszi teltsbe a
vasmagot), azonban ilyenkor nagyobb rzkenysgre van szksg
A villamos teljestmny kplete mr mindenki ltal ismert kell, hogy legyen:

Pterhels = U terhels I terhels Utp I terhels

Ha tzetesebben megvizsgljuk a kapcsolst, akkor fny derl az albbiakra:
A Hall-ram a tpfeszltsggel egyenesen arnyos (az induktivits ellenllsa hanyagolhat),
vagyis

I hz =

(R

Utp
eltt

+ Rrzkel )

A mgneses tr, amibe a szenzort helyezzk, egyenesen arnylik a tekercsen tfoly rammal:

B ~ Iterhels
B = 0 r H = 0 r
NLI terhels
s = lland (mgneses permeabilits, vasmag jellemz); valamint

H = mgneses trerssg;
N = tekercs menetszma;
I = induktivits rama (Iterhels);
L = tekercs (csve) hossza.
Az elbb felsorakoztatott sszefggsek alapjn kijelenthet, hogy a 5. brn szerepl
kapcsols szerint a Hall-szenzor kimeneti feszltsge (UH) arnyos kell, hogy legyen a
terhels villamos teljestmnyvel. Megllapthat tovbb az is, hogy a szenzor kimeneti
feszltsge nem fgg a frekvencitl: ezrt alkalmazzk ezt az elrendezst akr GHz-es
tartomnyokig teljestmnymrsre (pl.: mikrohullm adberendezsek).
A gyakorlatban azonban a linearitst jelentsen rontja egyrszt az Reltt ellenlls szrsa, a
szenzor hmrskletfggse, valamint a tekercs vasmagjnak mgnesezsi grbje; a B-H
grbe pusztn az orig kzelben lineris.

Mrsi elrendezs

6. bra A b) rsz mrsi panelje

A b) rsz mrsi feladatait az brn lthat panelen kell elvgezni. A panelen a tekercs
vasmagjnak lgrsbe be van ptve a Hall-szenzor, s be van ktve az eltt ellenlls is. A
tekercset klnbz terhel ellenllsokkal kapcsolhatjuk sorba; ehhez az ellenlls egyik
kivezetst a Ki+, a msikat a Fld aljzatokba kssk. A Be+ aljzat a tekercs s az eltt
ellenlls alkotta csomponthoz vezet, ide az rammrt ktjk, azt pedig a tpfeszltsgre.

Mrsi feladatok
A mrst egyenram krn vgezzk; a hlzati feszltsg letranszformlsa a mrs sorn
nem clravezet, mivel az llandan ingadozik, ezrt a Hall-feszltsg is akr tbb mV-ot
is vltozhat folyamatosan. (Az Reltt ellenlls rtke 3,3 k, a szenzor ohmikus ellenllsa
1056 , a tekercs menetszma N = 48, a csve hossza L = 26 mm, a ferritmag relatv
mgneses permeabilitsa pedig r = 1500.)

b.) Villamos teljestmnymrs Hall-szenzorral

1. Hzram mrse:
Mrje meg a Hall-szenzor hzramt 5 V-os lptkekben 0..40 V-ig terhels nlkli
llapotban (Rterhels = , ekkor csak a szenzor vesz fel ramot), majd brzolja. (Az 1.
feladatot clszer a 2. feladattal egytt vgezni.)

2., Ofszethiba meghatrozsa:

Idelis esetben a szenzor kimeneti feszltsge 0, ha nincs terhels. A valsgban ilyenkor is
nhny mV kimeneti feszltsget szolgltat a szenzor. Mrje meg s brzolja a kimeneti
ofszet feszltsget 0..40 V tpfeszltsg s Rterhels = mellett 5 V-os lptkekben.

3., Terhelsi karakterisztikk felvtele:

A digitlis multimtert kapcsoljuk Ampermr llsba s a megfelel mrvezetket is dugjuk
t mA mr bemenetrl az Ampermrbe!
Vegye fel a Hall-feszltsg - terhel ram (s tpfeszltsg ) karakterisztikt, ha

Rterhels rtke 50 , 150, 270 , 1 k (legalbb 2 esetben). (20 terhelst csak

indokolt esetben hasznljon s csak rvid ideig!)
Hatrozza meg s brzolja a Hall-feszltsg teljestmny karakterisztikt (az elz
mrsi eredmnyekbl kiszerkeszthet).

Mszerek s kellkek
Vltoztathat ramforrs (FETV/89) Digitlis
multimter, 2db (Hameg HM8012) Stabilizlt
tpegysg (FOK-GYEM TR9175/A)
Elektromgnest tartalmaz Hall-mr sszellts
Teljestmnymr sszellts

Ellenrz krdsek

Ismertesse rviden a Hall-effektust!

Ismertesse a Hall-szenzorral trtn teljestmny-mrs elvt!

Rajzolja fel a lgyvas mgnesezsi (B-H) grbjt!

Milyen hatsok okoznak hibt a Hall-szenzoros mrsi eljrsokban?

Mrsi jegyzknyv
A mrsi jegyzknyvet pendrive-on vagy e-mailben kell benyjtani a mrst kvet kt hten
bell (ha az oktat szban mskpp nem kri).
A jegyzknyvnek tartalmaznia kell:
1. A mrst vgzk nevt, a mrs helyt, idejt, trgyt.
2. Nyilatkozatot arrl, hogy a mrst a nevezett szemlyek sajt maguk vgeztk s az
eredmnyeket maguk rtkeltk ki.
3. A mszerek jegyzkt.
4. Mrsi feladatonknt kln-kln a mrt adatokat, az azokbl kirtkelt adatokat, s azok
grafikonon trtn brzolst.
5. Mrsi feladatonknt kln-kln az eredmnyek rtkelst.
KERLJK a jegyzknyvek msolst! Azonos vagy nagyon hasonl jegyzknyvek
NEM FOGADHATK EL!