Please add excep!on to AdBlock for elektroda.pl.

If you watch the ads, you support portal and users.

Rekordowa rozdzielczo ukadu scalonego - 1 nm -

osignita (topic3337300.html)
ghost666 ! 04 May 2017 13:34 " 4344 #2

Reply (pos!ng.php?mode=reply&t=3337300) New topic (pos!ng.php?

mode=newtopic&f=202)

Posi!ve voted + Helpful post? (+6)

Naukowcy z
Narodowego
Laboratorium w
Brookhavenw
Stanach
(h"p://obrazki.elektroda.pl/6679082100_1493887921.jpg)
Zjednoczonych
twierdz, e
udao im si
wytworzy
rekordowo ma
struktur
elektroniczn o rozdzielczoci okoo 1 nm. Zesp badaczy ma nadziej, e t sam technik uda im si nada
strukturom krzemowym nowe, nie obserwowane dotd wasnoci.

Pki co wytwarzane ukadw scalonych o tym wymiarze to dopiero pewna prototypowa koncepcja, ktra
przetestowana zostaa na samym rezycie, wykorzystywanym do litografii w przemyle pprzewodnikowym.
Jako rezyst uywa si PMMA, czyli polimetakrylan metylu, czsto uywany jako alternatywa do szka -
Plexiglass. Dodatkowo, wykorzystano take warstwy silseskwoksanu wodoru.

Do nanoszenia rysunku cieek na rezycie naukowcy wykorzystali mikroskop elektronowy, jednake

rozdzielczo jak udao im si uzyska jest duo wiksza ni w przypadku klasycznej litografii elektronowej. W
procesie, tak jak zazwyczaj, czuy materia wystawiono na dziaanie skupionej wizki elektronw, jednak
uzyskany rysunek mia rozdzielczo niemale atomow. Dziki wykorzystaniu tego typu procesu, mona
modyfikowa zdolno przewodzenia prdu elektrycznego czy parametry optyczne materiaw na niespotykane
dotychczas sposoby.

Wykorzystujc skaningowy, elektronowy mikroskop transmisyjny o skorygowanej abberacji, badaczom udao si

wykona na rezycie z PMMA cieki o wielkoci 1 nm rozdzielone co 11 nm. W przypadku wykorzystania
silseskwoksanu najmniejsze wytworzone cieki miay 2 nm i oddalone byy od siebie o 5 nm.

Rozdzielczo
litografii wizk
(h"p://obrazki.elektroda.pl/9892742400_1493888067.jpg) elektronow o
skorygowanej
abberacji typowo
wynosi okoo 10
nm, nie mniej. Aby poprawi j i osign 1 nm badacze stworzyli specjalny algorytm, sterujcy trajektori
poruszania si wizki po powierzchni rezystu. Zostaa ona dodatkowo zmodyfikowana specjalnym, powolnym
przebiegiem. Dziki temu udao uzyska si wizk elektronw, operujc z rozdzielczoci niemale atomow.

Wykorzystujc t technik moliwe jest manipulowanie pojedynczymi atomami. Badacze, korzystajc ze

zmodyfikowanego przez siebie mikroskopu elektronowego, stworzyli klastry zota-palladu o rednicy rwnej
szeciokrotnoci rednicy tych atomw. cieki wytworzone z PMMA o wielkoci 1 nm maj mniej-wicej tyle,
ile ma pojedynczy monomer tego polimeru. Caa molekua ma rednio 26 nm wielkoci.

Kolejnym krokiem badaczy z Brookhaven jest sprawdzenie, jak technologia sprawdza si w wykonywaniu
krzemowych elementw o wielkoci 1 nm. Powinno to umoliwi nadanie temu materiaowi zupenie nowych
wasnoci elektronicznych i fotonicznych.

Dotychczasowe osignicia naukowcy opisali w publikacji w czasopimie Nano Le"ers w artykule pod tytuem
"Resolu!on Limits of Electron-Beam Lithography toward the Atomic Scale". Pierwszym autorem publikacji jest
Vitor Manfrinato, pracownik naukowo-badawczy w CFN, wsppracujcy z drugim autorem Aaronem Steinem,
starszym pracownikiem naukowo-badawczym z grupy nanomateriaw elektronicznych w CFN.

rdo: h"p://www.ee!mes.com/document.asp?doc_id=1331668& (h"p://www.ee!mes.com/document.asp?d

oc_id=1331668&)

#2 ! 04 May 2017 21:46

Trzyzet
Level 18

+ Helpful post? (0)

Kto mwi e si nie da?

Translate post from polish to english (/rtvforum/ajax/posts/get-translated-post)

#3 ! 04 May 2017 22:00

yogi009
Level 40

+ Helpful post? (+1)

U ruskich takie mae nanorurki rcznie siekierk od wojny ciosaj

Translate post from polish to english (/rtvforum/ajax/posts/get-translated-post)

 Reply (pos!ng.php?mode=reply&t=3337300) New topic (pos!ng.php?

mode=newtopic&f=202)

Quick reply or ask a ques!on

Email

Message

Reply