‘TEKNOLOGI NITRIDASI PLASMA UNTUK PENGERASAN PERMUKAAN BAHAN KOMPONEN INDUSTRI 1B, Bandriyana'; Tutun Nugraha? ABSTRACT Aricle dscases the bose principe of plaomaniriing, operation cots, and agpiction. The basi principle ofthis technology te the formation of irogen sat plaoma in helow ibe and frig fo the objec so he hard mine ne surface material Formed. ‘epwort: plasma nition ABSTRAK Artikel mengaraiton pri daar nda pla, perhtugan dalam operat seria porkembangan pomakalonnye. Pinsp dasar threo ni adalah pembenakon ‘lama gar mivogen dalam tbwng hampa dan menenbalkan le arak bends here ‘ching terbentuk fae nda yang bras dt prmaoan bohan Lapsan tara Yang ‘erbntu end drt ana dan ona sea psa permokaon Bahan Yong Mem Imencapelledaloman sampat dengan Imex Karateretklpton da kkerasan Jong (Gnsan Bergontung pada Beerapa parameter, pat katy gat nlroge, kana alam, thu rua da Besaryatepangan tng eta tact: rida plaona 1 eat Pengajr Jerse Tei ladon, Fahas Tea, UBONus Jakarta Tekralog Noes Plsma.. & Boncyera: Tun Nua »PENDAHULUAN Pengeasin pomkaan shan merwpatan proses yang dibubkan nk smeninglahan anjk Ket Komposen yang digunaken dala beoagi bang tik [dst Pesmkaaa Komponen dan pra Yang dlgunakan lm dang pet kim, fromotz dan penbanght cou Khsosys yang Deopss peda temper tng, pers ikeratan uot menespth tj porcahan Kehustin pao teal, Dengan Sint ts mated! menjadi Teh aan terndop Kees sedaghae Lc bakan scam hevshrubat tap tinggi sohinggs sur patal Komponen akan mennghat Dicamping it, melr peman niteal yang tpat atk apa tert, st [ckeresan naupanEelatas fap Koes dar pedo ogam apa dinghatian pula roses pengeasen permukiansicreKonvenson]salohexkup lane dina taik dengan proses ternal super temo mgaundkas proses gs mia atau Karburs reese pengersan dengin pan iba! upon salah st chk Yan Capt ciple tata juan dan tank dkenbangtan snake pengerstas hemponen pais ttnoogt ong. Keantingan pongcrasan dengan plas dibaing wkolos! Ecerensional dah stor Kei tempera operas eh ada dengan Wak peas ‘ibh pend. dpa iguaakan unt so bahon fae, Ungar hekersah leh Ung ‘dngan pentutaun, dan prs Tests dan idk menghastban imbsh bebaya ‘Onghow ope mse Benda yang kell akan lebih tush meskipun ines eal eras ida plasma cup ting Teknik sitidesi dan implanas ton sora loserntridng.jeen_ tenga itonibngtan dbberps bert. Di Indonesia, prose pngeasn dengan tek sma ela dikesbangian dr bortorem lselaator PSTM-BATAN (Psa Pend (har Pengembangan Teknologt Maju, Badan ‘Tenaga Nok), Poses it jun ‘Stonbanglan dt Punt Pngenbngan i Babar dan Pusat Pengrongan Reaktor Maja dengan membest fui vides plasma untuk lala ndustt. Komponen [pombargkt nerg Dengan matingatya kebushanpoaersi pera balun, pst ‘ikulan pengembanga tcknolog as plasma sebogal pln yang mean tn pean fae Atel in meeguitan pinsp dar ekolog nds: pls, Ineode, don priningan diam opera, sea pokonbangan pemskainnya dunia ‘snapon pengombangan di onbaga pene di Indones 0 INASEA, ol. No.1, 2008: 39.19PEMBAHASAN | ‘Teknologi Nitridasi Prinsip Dasar Nitrdast Plasma Prinsip desu peas nid plasma adalah peepisn persian baa dengan snag bibent lan untuk embntk fie ida yng ens pda permukaan {than Shen pelt dijon scars gars esr pada Gan I dengan Komponen ‘atm bonpe bung iiss sem yak, alten fem, stem tpgan Ug, {angi besa sist alien gu, dan sem pomcgag spel. Gas nitrogen da abun Stn bs abung nis yng tlh dvakumian da pana aching meen luna, Baan yng dkeakan berds di penegingsamelsbogs kad don psa Graik dan dpereepat ke samp oleh pga medonhitik mengeunakan tangan | ‘go sting en pengersan pemelaan. ‘Gat Se Peta Pos Nig |, Tahong dan inte alia 2s (itopen) 2 Sitar pemanas den Bonds | | 4 Siem pent don kono temperate | 4 Pampa dan sister waka 5 Sinem tepangan tng | anol ‘ean nist mervpanshapen tama yang erungsi sop wadah unt ‘ses nisi dan plasms open bef! Ke dal permahams bakan “Azan as . ‘ipa torpa ea naga N dapat pla ors ampuran eas milan Ns Tekan i Tekooiog! Niro Pla. Benchyae: Tin Nagra) a {aa tabu nr, dengan poms vakus, jag pads 10° Bar, Vakum yan bak ‘Son mencnacan basil yang ibis bash menpngatbontamine! oleh sta olsen, risa dapat memberian canpurat Tops nivide dan olds. pada lspsan esroahan yang cies, Sabu dt mang evita djga dengan lt Kowol temper pada sau 350— ‘91°C yang divert leh stem pemaras Subs ope sang optimal pr denhan “tk eaap apa! yang baba Pada sub leb ingg,apsn kee pang haa, ‘ipa lb dla aman dengan resiko tefadi pein dines dan pena {skersan maksimum yang dpa dana Plaona open sang pean nt poses ‘ras dapat iangkdan dengan egangannggs DC 0S 10 maypan dengan ao Sakasi AC (L336 MHZ), Unk peraatan turn besr dn dichrgegep stars ‘oda dan kod culkin jah, tgmngan dit TRV speisian ont membanghition pasa yang dipetakan” Ponggunen iegangan radio. etvenst AC untuk ubung Seakaran esr dapat menghasikan pm yang lebih ail Pembentukan Fate Nitride Dalam poss nis, adn iting, terdapat da bush lpsan yang tex paa perrukans, yt sonrsnyaacumpounlzone) dan soni (lion sore) ae Sina (nsslyg, bestianda) member lah sora-snyaa. yang eerpeks Tapsan Yang lebih kare Sbondingan denpan some & basing. Pembenakas Senvaa Kets pada zona iv diene ole ji nitoge yang didposskan das Spat dishat dat dapram se Dardsgiam fase tan. dala porta, tae Imendapatan fase ers Fei, jamla aitogen yang ars didepossikanmasing-mssing 20% atom stom 6% Borst dan ink FEN diperkan 53.5% som aan 1.2% Bere apisan eras 2on-difusi idokung oleh lpsan Lada di bavabya, Jat ron ist yang sei ibn nak dan td dar nizogn erarhan, Halt tea Karena ‘ran nifopen sang reli Keel (,71 A) sching nitope-esmene dapa gun falep mda menomakan rung pain nierstalspace pad ks gna padase. Pengshuan dengan SEM monanjukantahwa tingkatKekersan pad ifison- zone itu beading Irs dengan tight Konemrastnlvogen yang ttawhan Adapon \etcolon alsin Kee lapisn datas yg daptdipeoieh mea proses plasma silat aflahsekiar Tram’ bergantng kepada jis logemipauan Yang dpa Dalam bal in, temperatura lma wal proses inde sagat"mencnskn Urumas, lama Wakes proses enara beberaps jam hinges puuhon jam Began tngha ealo yang dipaan. Gan stk miso yang iat d2gan SEM has a INASEA Vol. No.1 Hoe 20083949Perhitongan dalam Proses Niridasi Plasma ‘erdasaian proses dan operas nid pens, dtemuksnYebeapa parameter yang merpaian fae ping lm proses tia, yi meas bung mtn yj Stn gas sngatheakaman se pemercpa ogangan ting, jak antar eekods, tempera bends Keung anda dan waktlmany preset Raeesan dsr yang ‘apt dgurkan wide mest poss iia poseawebaga be. x-2(D1) dengan De" Doosp (QIRT) © Tonert o Fefisen di ae Koi dif tms* rep shia, Jul a Sap =A mK arogex Telralog! Nien la. Soncryana: Tun Negra) 8jm tom ‘Resta lle ropa, pee fra, dk as musa d sas, dapatdinyetakn Sta Kemanpusn pangeraan wis sk Ktbalan + persian wats kan dtentsan och ene avs dan emer ‘Snel Dengan menghitng ie permukaansanpel din kedilman ten permalin| ‘easy again doa sat wa ten, dapat ditatae bosarnys as pla Dane spin Rebun ans plas sear kaprimen pd fomperar tents, {ipa dts dan denslanberdrakan dia pengamstr aw iar bran ‘ssumye are tegmemn ting ine igenakan. Dengan Sanu wars, dapat dpeoch ‘Sahat a psa dengan meng alan as mitogen Perkembangan Plasma Nitridasi 1, Perkembangan Peclitian dan Apia di Dunia Soh sat conto poalsian nia Lamesa hala indus dengan tepangan tings yang calup Houpch dash penitn nian Plame Source Tor Implantation {iD di Los Alsos National Laborry (USA) yang ssh topes ek 1997. lat fiw bebentk siliader horsonal dengan amet 3 m dengan parang 4.6 m. Pads Drostsye, pita nérogen (ermustan post) dinnpht dengan radios (iy Bends ui ne mnapatianpeiian pemalaen Kenadan mempeoeh pls ‘nde legangn inggt-DC. Benda ji it beindak stag hated vehngss plasms Iitosen yong Dermeatan pouif diaisclraon dan eampantean Ke dela ‘mate bende, Tegangan DC yang dpok pad an PSI isi copa menpa TDORV dengan are 35 A sina ei ingepaavolae eb ead, ae pene totang pecgewnan campo gut dalam siidasidiakukan ‘herp lembaga pencin wntuk meninghadan eset masi dri penggunaan omer pone niin i Sole Ammosphor, USA manuyjshan ada keuntngas iam pongnasa campuran Ny: dan son drogen dalam prosoaya diakselerasian ‘meth Ke permokann thon dan evingr snes penton dan persis snk ‘merahilimglan laps olds dan Konamias juni Lec pads pemmakatn beter, Pascal ole Fevel er. di Ausra, menunjokan Kentngin mclskukan pre riding epovire kepada pines ei campuen SU%N; SUA, sebum eases Peninglatan efsens dengan mene penga tempest lm proses ities {vg kan beberap Img peneltan Non Gb Jr sats mh Sune tneatueaya,menyrann penggunaan dua tern yang berbcdn dan temperate yang kaon scar 20°C lebih tinge dai tempest pcs tds tabap ‘tama. Oh Laren it, cdapatian hedalaran dan Kckessn Jang opti Jang “ IMASEA Yo. No 1, pe 2008: 39.49iperoich dalam waka ssighst mungkin. Dalam pros prods, al ita sangat Snenentokan ight fin: sakinges lebih konami Sega ont in, Fowl et fnsnlnj, menemekan aha unk pongrasan AIS” 16, sins optimal Sane Cipereaion al pda 480°C (lena dart 100% N). Meskpun demain, pads ‘mya sabe yg dipegunskan bak plsma-atidas bakin pda 380°C-90°C, Seganangpaluanlgam yang dpa dar eppikas yng cu. Disaping it, Feel alga menemukas bata has ited yang ddsat dengan pemanasin ang ‘dat Tein bak pda lawns iia dengan hans bens sia 3M Aiparasan. Dae hipteianya, hal ie dachuan forse dengan kon pasa ‘angle aka dan condcrung sbi schingga eis hendsif wk press ies Pings efisesinividasdogan vars egangan tina dibhakan sebuah feu pene ain di Jeoman. dengan pulsa teangan ngsl-DC namun tempo Inemperunakan RF. Merka memperguaaiantegangan agp! DC S0RV-SORV ang ‘pulestan pads fekuens 10-1000 Hz, Puen dibangkitian dengte squares _goertor dengan pajan pls scar Sos dengan oh ang lu fends ya pada 350°C. Slain, Feel cal menenakan jogs baba RF pasa nina! erpakan proses yang Tebih efsin, terme bil dipegunakan unk poses nisdas pads teoperatire rendah. Mskipandemiian Fevel etal ugn menanbeskan Baws, pads aT psa i geen DC ps pan pes ag aig 2. Parkambangan Nii Pana Indonesia 2. irda Plann POTMBATAN ‘Nica plasma dalam sal borstorum tlh diambanghan di PSTM-BATAN, YYoryskara sebops bagien dir apik thwobespetenne Fase mide dojgan daneter bung sar 10cm, beopeas dengan Sabu tndsh sie 1SdFC, dengan thanan velum 10° mbar dan teangan nga 30 KV. Hast cobs tea Perot untuk mesingkatan bets spel by dan bei ser Imesinglhan Kehanan eros AplhatIinlkan unk pngeasn pat Dibutdas mata bor pada mesia peaks deagan menyesushan volume Tung ‘abung mas. Pesingkaan kekeasn pada pat babu da baja Keceptan Tnge! dapat dain dr kakrsan aval 385 WH (Vickers Hardness Nuet) ncn 1219 VIN yg capa pada cer 100 keV’ dengan dois on 2.310 fon! ca Patat bobo Jang dlimplona aiuopn pais ont i dapat ‘menghasikan peingkoan uur phat sebesar 33% yada heocpatan pong 25m tment 'Di PSTM petoan pongcricar ban de pln sds diperaas Nira Plasma di P2SRM.BATAN Sbagat tind tnt unk elisha ponent psa, dian pecan, pecisen ‘sien plesna Gf PISROL uae. pengeion, Dah Kemponcn indus Pemburan masing-nasig kmyonon dan tem lah 2 Toknotog Nos ma. Beneteau Maga) 4sun saat ii sedan dihukan praia, din uj ngs ast Seca ears Besar ‘dei drt prt ty tan lan Gaba. ante Gr es Ds Pain Nida Psos-PISRMBATAN Komponen wana persian als tbeng sid, dite pemanos, sine epaigan ng sto vam ng ose sistem ain gs dan pemegang samp 1. Tang Neds -Tobong bopan lar dengan dnmeterar 46 cm, gg 55 cm dan tbl 8 unt ca bu an hare 6-904 Tabu penguin pas yg ocak Gar Bam quar gan dai Bahan ajo ton ar pang dibong arena kota Inendepan bn ght engan dancer bess “6 INASEA Vol. No, 1, As 2008:39.492 Sinem Pomanas Sit nr! aacang dengan rans nitrides yng dipnaskan menggmnakan ‘penance yang memanasiansleruh rang ot dan bokah anya bends is) icem ponauas dicang ds dbus dengenelecricheawr(ire-be), ait da 2 ‘oak = 2000 ot st 4 bh 41000 wat) unk mencapa rmpeafur Oper ang Slpcikan,"Tenpereu dikeml dengan femperatre conoler pe Auonie 720M trans PID denon kemanpuan slr Conor iu dieghap dengan Saltire [Rely (SSR) Sonn kapsiag 30 ampere Termaope! jane dengan Lemampune ok don Kahan tes 1000, dip nas meng tempera alm wang nti Ck dmpeskan ke timperare control. Tenpertut opera dam bang berks Snir 3S0°C-59°C, dam desain memungknkantnperu hinge macht 1000°C 2, Sioa Atm Gat Sistem aren gos drncang agar memunghiakan penggunss #36 anges rmanpen campusne (nsaaya, Nii, NyCH) dengan lye sr yang tla, Uta ‘focingan te, diunakan kool dan pogukara ara gos dar bung gas sma ‘Rang aval dota flowemetr an eee we, Ara dan Kaluran gas dale rans ‘dat dimcang dcgan tambungan vraelschingg ketinggan ipa dapat dia ‘Dengan hoods it, pemlatan dapat kop unk proses pengeasan ben Jengsn a5 ‘ou camperen gst mektaeme pears ie 4. Sistem Tegagan Ting Sistem tegangan ting, drmcang dengan tegangn tinggi DC 1-20 LV dengan ars 1-50 mA. Uatuk pengembangan Slajunya, dancing suber epanan bers ‘Ezangan tinggi DC buss dengan eset 1001000 He. ih mnghin, diracang Tink dapat dpacangan jos dogan RF yang ditujukon khurasuatak membanstan ‘lama, Koaponen tegangin ing menggunalan sister fo da plist gangs 5, Sistem Vakom | ‘Untuk opens iris, dren sistem vakum pas eng nities sampai 10” ‘nBar Sista vakum dlsulan dr pomp rar degan apes 4S0Vinnt things fekanan vakum ruang erik operas dope cap dengan ‘wakm sear 15 meni, Peat aku hana yun pranismcter, tap pena, dan bebop sin els Aipesan wt pengauran site vakor. Tekno! Ro loa. 8 Soneryana: un Noha) ”PENUTUP ‘Tekolog nities plasma menpakan pian sang mesjnjikan wah peng prmuksan baka dongn peng ches perma lebih rena san en prose ci cca tmadingmtode Kovensonal, Kees SRE a nah ing savesas wa unc prafatan cokup bear dan meses ‘ce an ra peyaraan termi ksi yang. ting. Dengan pengerbans Seana soa sampa lt boraoriam maxon peng ngseg oda Pcie aan apt kun tinoiog an pre pg nk pes itd pam, Pe a ali dum dan tance menanjoian Kelbias yang peo Faker ana plaome, Koss vt Komponen yang Ss an memesian perarian desi nga ‘DAFTAR PUSTAKA ‘Avonymoos. Plasma Niriing in Comparison with Gas Niving, Navin Gnbt imerberce ern 20 ton Niviting, A Distorton-Fee Case Hardening, Process” Solar Fimoshare Peassvaia, USA. Bondiyana, 8. dan Tetua Nugahs 2003. *Desain Peaatan Nias Plan ook aa Komgonen last” Prosing Seminar Tebrolngt Abswlertor. PSTM-BATAN Yorvakara otr-Jrgesen, Casper V. 2001, “Studie of Becca Plnsma Discharges” PAD hoan Faclty of Sens, Aatus University, Denna Sohmf,P, and F, Landy. 1998. “Mostbaer Investigation of Niding Processes: Gs Niteding and Laser Ning” MSS, Sec, Slovak Sehat, P, ea, “Laser Niviing of lon, Stinlss Steel, and Pha Carbon Stat estoy Masha Specvosopy” Hyperine Interactions 139/140 p Bo7-314 2002 Sadjamoko. 2003, “Teaolagh Sputeng™ kt Kulioh Worshop Sputering ante Mtelapasa Permutaan Bahan, PSTM-BATAN. ” INABA Vol. No, 1A 2008: 39-49Sujmo, "ipto. 2003, “Aptis Plans dan Tekclogl Sputrng unk Suroce ‘reament™ Diet Warshop Suterng snmik Rekasa Permitoan Bahan PSTMIBATAN. ‘The Const Heat Teament Asoeistion, 1996. Duashest For Now-Heat-Tenters Ning And Nivooutarsing, Contract Heat Teameot Assocation. ‘Van Ata, CM. 1965, Yocum Science ond Enginerg, N'.: MeGraw-Fill Bock Compe: Telrciog Nox lara. B Bene yana: un Nua) ry