Linh kién BAN DAN VA VI MACH ae ‘ Mate COTAESLOND) BAN PHA Fates Ke a NHA XUAT BAN GIAO DUGTs. H6 VAN SUNG LINH KIEN BAN DAN VA VI MACH (Tdi bein lan tht ue) NHA XUAT BAN GIAO DUCLoi gidi thiéu day nhiéu nam & Khoa cong nghé Dai hoc quéc gia Ha Noi va cling duge téc gid sit dung fam bai gidng cho sinh vién céc chuyén nganh dién tif, tin hoc vi vién thong trong thd gian Lim chuyén gia & Algerie. Hang nam, do sy phat trién manh ciia céng nghé trinh cing duge bé sung nbing linh kién méi, dic biét nhimg linh kign c6.t6e 46 hoat dong sidu cao, & diy dign tit c6 d6 linh dong cyc cao. Vi thé, ben canh ahiing tinh kién co bin, side trink con dé cap dén nhitng link kign cia thé ky 21 nhu cdc linh kién hoat dong dua wen higu ding Josephson hoi nhitng linh kign hoat déng nh’ chuyén tip di tinh thé (Heterojunction). Sich duge chia fam bai phin : Phén thi nat gidanh cho vige ughién ctu cae linh kign rai rac. Phin thir hai m6 ti ede dae trung cling nhy cong nghé ché tgo ciia tat ca cae loai vi mach tir luGng cue i Bi-CMOS. Phdn mot ¢6 7 chuong : Chuong 1 : mé ta cdc tinh chat co bin cia vat lige bin din. Chuong 2 : mé 14 nguyén tic hoat dong eiia tat cd cde loai didt tir loi chinh lim P-N dén cic loai dist dic bit nhu didt Gunn hode diét PIN, tir loai tin thip dén loai c6 tin sO cit exe cao. Chuong 16 t chuyén tiép di tinh thé va sigu mang ; D6 1d chuyén tigp co ban dé ché ta0 nén nhiéu linh kién méi cé t6c 49 hoat dong cye Ion nhw khi dién wr 2D. Chuong 4 dé cap tanzito IwGng cue con chuong 5 li ede linh kién chinh leu ed diéu khién hay cn gai li ede Linh kign thude ho thyristor. Chuong 6 1a cdc loai tranzito iudng : Ca JFET Lin MOS. De tinh quan trong cia cdc loai tranzito trudmg, nén trong chuong nay vira mé ti dinh tinh kin dinh Ixong ; do vay, dac gid 66 dip duge so sanh cde dic tring duge tinh toin bing ly timyét véi cfe ti Tiéw thye nghiém. Chuong 7°: trinh biy cdc loai linh kién quang - dién tit : cae linh kién thu quang, phat quang, pin mit tri, laser da mét va don mét cho ede cif 96 khde nhau gin voi cée soi quang cing nhu ede linh kién ghép néi git ching v6i nhau va véi ngudn phit cing nh vdi nguda tha. C= sdch “Linh kign ban din va vi mach” 1 ndj dung chinh cia gido trinh di duoe ging dign tu, gido Phiin 2 c6 4 chung : Chuong 8 ndi vé ich Igi va tc do phiit trién ciia cde cong nghe vi dign ti tong dé c6 ca cong nghé kinh dién lin cdc cong nghé tien tién nhdt. Chuomg 9 1 cdc loai vi mach luging cyc, con chyong 10 céng nghé cic loai vi mach MOS va Bi-CMOS, Chutong 11 mé ti cic tinh chit cita cdc vi mach tuyén tinh & day Ia cic bo khuéch dai thual toan. Trong mdi chuong, tde gid cO ging m6 ta hoat déng cua cdc linh kign, neu bat ngi dung vat ly ciia timg tinh kign va vib vay ngudi doc co thé higu nguyén tde hoat dong eis timg Linh ign mot cach sau sdc chit khéng mang tinh thy déng. Méi linh kién déu duge mo ti nguyen (ie hoat dong, cfu tao, nhung déng thei cdng cho biét dia chi ing dung trong cde mych dign tit cu thé Trong sich cing mo ta rd nhiéu cong nghé va c6 su so sinh cic cong nghé khic nlwau dé thiy duge nhing uu viet cija mai cong nghé. Trong sy so sénh nay déu duge mo 1a dui dang dé thi é doc dé cam nhan. dit ¢6 rit nbiéu c6 ging, song do thoi gian, nén chdc chin rat mong duge quy déc gid nhan xét, dong g6p dé lin xual ban sau duge diy dit va phong phti hon. dich con com TAC GIAPhan | CAC LOAI LINH KIEN ROI Chuong 1 MOT SO TINH CHAT CUA VAT LIEU BAN DAN LL. NANG LUGNG CUA DIEN TU TRONG DON TINH THE-VUNG NANG LUONG ‘Trang thai dom tinh thé duge dic trung bing su phan bé déu din cia céc nguyen tir trong Khong gian theo mét mang tuéin hoan ba chiéu. Gid sir cé mot chudi gém N nguyen tit gidng het nhau, Ide ddu nguyen tir nay céch xa nguyén tit kia. Khi d6, mdi aguyén tit s8 06 cde mite ning lugng duge phép déu bi chiém, Bay gid, néu N nguyen tir dé duoc sp xép trong mang tinh thé thi ching sé tuong téc voi nhau, Iam cho céc mite wing lugng duoc phép cho céc dign tir bi bién digu : Méi mic nang Itong ciia nguyén tit 06 lap s€ phdi téch thinh N mic gién doan dé théa min nguyén ly Pauli va moi mot dign tit trong tinh thé c6 mot mic nang luong rigng, gin ngay muc ban du. Vi trong tinh thé, s6 nguyén tir rat 16n (c& 10°? nguyen tir tren mot em’) do dé trén true ning lugng, méi mite nang lugng duge phép cilng tach thinh timg dy mite ; ching sip xép rat gdn nhau tao thanh nhiing ving nang lugng ditge phép cach nhau béi cdc ving ctim. ‘Ving din 3pi6 vitt, 2e Ving céim 35; 2 vite, 20 Ving hoa tri] . Nang luring ola 1 dign ti 7 rong mot nguyan ti eb lap Khoang céch git Khoang cach git cde nguyén tir cdc nut mang Hints 1.1. Cai tric ving nding luang eis tink thé silie 6 0K,Déi véi cdc dign ti & nhiing lép bén trong, thi nhiéu Joan do céc nguyen tit ling giéng gay ra r&t yéu, nén ching vin bj lién két manh véi hat nhan cia ching, sy téch mite 18 rit yeu va chi xdy ra trong mét viing rat hep. Nguge lai, cde dign tit & Iép ngoai cling tuong tic véi rat nhiéu nguyén tir lan bang, nén su t4ch mite nang lugng xay ra trén mot ving rong, gay ra hién tugng chéng phi ede ving nang hong véi nhau. Déi vi silic, céc I6p ngodi cing duoc tao thanh béi 2 dign tit p vA 2 dign tit s (C6 6 vi trf & trong mttc p va 2 trong mife s). Khi tinh thé duge tg0 thanh thi cac ving do cdc nic 3p va 3s tach ra, chéng pha Ién nhaw : hai dién tit 3s va hai dign ti 3p tao nén ving day goi la ving Ada trj duge tinh béi bon dién tit tren mot nguyén tit, Bn vj uf edn Iai trea mie 3p duge nh6m tai thanh mét ving chua bj chim goi lA ving ddn. ‘Trong ban din gecmani, ving Ls nim thap nhit c6 46 rong khodng 10eV. Ving héa tri 06 do rong c& 10eV. Ving din cé dé roag 20eV cach dinh ving hoa tri mgt Khoang 0,71eV. DS chinh Ia do rong ca ving cdm. Khoang cach ning Iugng gitta ving Is vi ving hoa ir} vao Khodng 11.000eV. 1.2. XAC SUAT CHIEM MUC NANG LUGQNG CUA DIEN TU Gia sit cde mite nang lugng kha di gianh cho dién tir nam trong khoang E dén E + dE 1a N(&).dE, trong d6 N(E) la mat do ning lwong. O trang thi cin bing nhigt déng (T gitt 6 dinh), dign tir phan bé theo théng ké Fermi-Dirac véi xdc suat chiém mite ning Itong E 1: t AE) = LeexpE EF KT trong d6 : K = 8,63.10eV/K Ia hing s6 Boltzman ; ‘T 1a nhigt d6 tuyét A6i (6 nhidt 46 phong T = 300K ; KT = 26.107eV Ey 1a mite nang lugng Fermi duoc xdc dinh tir digo thite = n= Prot (E)d(E) 0 trong dé: n 1a néng 4 dign tit, tife 1a s6 dién tit ten mot don vi thé tich. Tich phan lay theo t&t ca cde mic nang Ivgng kha di ciia dién tit. Géc nang lugng duge May tir day ving din. Vi vay ning lugng Fermi Er 1a mt ham cia néng 40 n, cita nhiét do T va cia tat ea cific thong sO co thé c6 tac dong len cdc mic nang lung. G nhiét 46 T = OK thi : 1neuE Ey Diéu dé c6 nghia ring (at c& che mife nang lugng & phia du6i Ey dév bi chiém, trong khi cde mic nam tren Ep thi lai trong hoin toan. Khi E = Eg thi f(E) = 1/2. Vay mite nang lvong Fermi 18 mie nang lugng cé xdc suit bj chiém bing 50%.{(E) thay déi rat nhanh & Jan can mite nang lugng Fermi Ep. 90% su thay déi cia f(E) xdy ra trén (E) mot khodng nang lugng +3KT. 6 nhiét do T ¥ OK su phan b6 cita dign tit van tuan theo théng ké Fermi-Dirac. Lac nay, mot s6 dién tir & dinh ving héa tri c6 nang Iugng Ey c6 thé vuot qua ving c4m di téi déy ving din. Qué tinh nay dé lai trong ving héa tri nhiing 16 héng vé vi tri (hinh 1.3). Hinh 1.2. Su phan bé dién tit theo ndng luong. 0 & Hink 1.3. Mat d6 céc mite nding lwgng trong ving dén va ving héa tri. G nhiet do gin nhigt do phdng, néu do rong ving cm E, — Ey = E, ln hon 2 hoac 3eV thi s6 dién tir trong ving dan thyc té bing kh6ng. Vat ligu dé 1a chit cach dign. Ngugc lai, néu B, vao khoang leV thi ving héa trj va ving din sé bi chiém mot phéin va lam xudt hign 49 din dign ndo dé. Trung hp nay 1 vat ligu ban din ching han nhu Si hoic Ge c6 a6 rong ving cfim tuong ig 1A 1,12eV va 0,66eV 6 nhiét do 0 K. Dign tré sudt cia vat ligu ban dan sé gidm khi nhiét 4 ting vi s6 dién tir dugc gidi phong tit ving héa trj lén ving dan tng theo nhiét 49. 1.3. BIEN TU VA LO TRONG TRONG BAN DAN RONG Trong céc chat bin din, & nhiét do T # OK, ving dan va ving héa tri c6 thé bi chiém mot phan, vi vay chting c6 thé tham gia qué trinh dan dién. Gia sit trong mot don vj thé tich cia vat din chi c6 dign tir voi van t6c dinh hudng 1a V,, thi mat do dong sé 1a -q V, (ky higu q IA dign tich cia proton c6 gid tri duong), khi dé mat do dong do tat cA céc dién tit cia ving sé 18 -q Vz , tong ly theo tat ca céc trang thai bi chiém cia ving. Dé tinh dong dign, phai xdc dinh duge van t6e cita dign tit. Thé nhung, mdi dign tir trong cfc ving ning luong lai cé khéi lugng higu dung khdc véi khdi Iugng cia dign tir duge tu do hoan toan, vi kh6i lugng hiéu dung cia dién tit phy thude vao nang lugng clia n6, nén trong céc ving nang lugng khée nhau ching sé c6 kh6i Iugng hi¢u dung khéc nhau. Do vay, déng g6p cia cde dign tir ngay trong mot ving nang Ivgng thoi ciing rt phiéc tap. Tuy nhién, dé don gin, trong cdc vat ligu bin dan, chting ta chi xét cdc dién tit trong ving din va ving héa tri.Trong ving din, sO dign tit rét nhé so voi mic nang lgng dutgc phép gidnh cho ching, vi vay dign tir hau nhu chi chiém cée mie ning lvgng théip nhat & day ving din cé nang lung E,, nén ching cé kh6i lugng higu dung gén nhu nhau. Trén thyc 2, ngwdi ta c6 thé coi ching co cing khoi lugng hi¢u dung m,, Cling suy luan rong uw nu vay, cde vi rf tring do céc dign tit vita rai khdi ving héa tri lai rat it so véi todn bg sé mite cla ving d6 va ndm rt gan dinh ving héa tei E,. Néu thiéu mot dign tit & ving héa tri, thi mat do dang do tit cd cae dign tir khde cia ving nay sé 1a “ayy, Si 6 day ky higu i 1a dign tir bj thigu. Bay gid gid sit thém vio dign tir ving mat (-q¥;) va mot ‘hut téng wong 6 dign tich +q va chuyén dong véi van tc V; thi vé mat cong thic toin hoc, ching ta 06 thé viét : ay, a¥, +4¥i Fa, +4, = 9, Nhung q 5) ¥, = Ovi dong g6p cia toin b@ ving bi chim bing khong, Ket qui tren cho thay ring do din dign trong viing héa trj nhu la do mor hat tang weeng 06 dién tich +4 chiém cdc trang thai trong 6 dinh ving h6a tri gay ra. Hat tong tugng ndy duce goi La 16 trong. Ngubi ta c6 thé gin cho n6 mot khéi lugng higu dung mp . Nhu vay trong vat ligu bin din c6 hai loai hat tdi dign : Dign ut trong viing din va 16 tong trong wing héu tri. Vi du bin din silic va gecmani : Méi nguyén tir cua tinh thé silic hose gecmani trao déi bén dign rit & vong ngoai véi b6n aguyen tit ling giéng gin nha dé tao nen 4 lien ket déng hoa tr]. C6 nghia 1A 6 nhiet do OK tat cd cde dién tit héa te} cua silic déu tham gia vo lien ket nguyen tit, do vay vanh héa a tat ed cie mie nang lugng duge phép & trong ving héa tri déu bi chiém bai dign tit, trong khi & ving dan lai bé tong hoan toan, Nang lugng, Hinh 14. Su phat vinh mot cap digw t= 5 nrding Khi T+ OK, nang long nhiet kich thich dao dong nhiét cia mang tinh thé. Mot x6 dign tir héa tri eo thé thu nang Ivong nhiét dé phd va lién két va chuyén lén mic nang hong duoc phép trong ving din va dé lai trong vong héa tri mot s6 16 tréing. Nhu vay da hinh thanh mot cap dién tir - 16 tréng (hinh 1,4). L6 tréng nay 6 thé bi Ip ddy nho dién 1 luot n6 Iai dé tai mor 18 trong, qué trinh nay duoc kip la ng giéng va dén va 16 trong hinh nur dich chuyén mot 7céch ty do theo huéng nguge véi huéng cia dign tit, Didu 46 cé nghia 1a vide ditt mot lign ket déng héa trj Fim cho mét dign tit chuyén di tir vang héa tri Ién ving dan. Dé chinh [8 qué trinh phét sink mot c&p dién ti - 18 trong. Con qué trinh aguge lai ; tite li qué tinh xay dung lai mot Tien két nh& dien ti roi tir vang dan xu6ng ving h6a tri (v6i sir phat xa ning lugng) la si tdi hop (xem hinh 1.5). Hink 1.5. Qué trink phat sinh va tdi hop din tit va 16 trong. G trang thai can bang nhiét dong, s6 dién tit phat sinh diing bang s6 dign ti tai hgp. Ban d4n nhu vay dugc goi 18 ban ddn rong (hay cdn goi 18 bén dlin tinh khiét). 1,4, NONG DQ HAT TAL TRONG BAN DAN RONG G trang thai can bang nhigt dong, xac suat dé dién tir chiém mite nang lugng E la: f,(E) = 1 1+exp Cdn xdc suat chiém ché cita 16 tring bang xdc sudt dé vi tri ndy khong bj chigm bai dign tit, nghia 1a bang : 1 fp(E) =1-f,(E)= & 14 exp KT en ti va 1S tring trong' ving din va ving héa tri (chinh [a s6 Gid sit n va p la néng do ign tir va 16 tng trong mot don vi thé tich) ; chéng duge tinh tir bigu thife sau: Beran n=2, free, (B).4E g, va pe2. "peseoae (Ly Ey min Trong d6 : Bemax (4 mite nang lugng cao nhét chia ving dan ; Emig 18 mite ning lugng théip nhat cha ving héa tri ; Thita s6 214 do mbi mile nang hong c6 thé bj chiém 2c" 6 spin nguge nhau.N(E) va PCE) 1a cde mat 46 twang thai trong ving din va ving héa tr), ching duge xdc dinh tir cdc biéu thie sau : +h NEE) = 2n (= + (B- EQ! h va ame P(E) = 2n (4 » ,- 5)? (1.2) h Thay cde biéu thie nly vao (1.1) vA mé rong can lay tich phan cita Egmay V8 Evin f' VO cling (diéu nay khong gay ra sai s6 khi lay tich phan), ta thu duge : 2m % = -2,)2 ae no4n|Bn] , fooee) n? E Ee 1+ exp= KT Ke ei E,-E KT Gia sir bin dan la kh6ng suy bign, nghia [a cdc trang thai bi chim boi dign tit va 16 trong rat nhd so véi ton bo s6 mic di cd, do vay c6 thé loai trir 1 trude ham mi, vi gid ui cba (E - E,) va (B, ~ E) rat én so v6i KT. Khi d6'xde suat bj chiém déng nhat véi xc suat Maxwell-Boltzman : f(E) =e Ete) 0 1+ exp do vay : hay: (1.3) trong 46:1a mat dQ trang thai tong duong trong ving din va ving héa duge mie ning lugng Fermi : i. Tit dé, ching ta cing dm Bp= B= KTIn NE a) a hod : N . Ep = E, - KT.In— {b) 4) va ap = NN, exp{ -2&=Ev. KT Tich sé (n.p) nay déc lap véi Ey, nhung lai 1A mot ham s6 cila nhiét d6 T va cita do rong ving cm (E, - E,) = E, cia vat ligu ban din di khdo sat. Thay ede bidu thitc cla N. va N, vio tich sO n.p, ta thu duge = E, =k 15) no | as) Trong dé : n, 1 néng 46 hat tai dign (dign tit va 16 tréng) cia bin din rong. G ahigt 6 phong (T = 300K), trong ban diin silic ed 3.10"? nguyén tit silic cho mot cap dign wr - 16 wong ; can trong ban din geemani thi ett 2.10" nguyén tit cho mét cp. Tit (1.5) cho thay néng 46 hat tdi trong bin din rong phu thuge rft manh vio nhiét 46. Hinh 1.6 cho thy su thay déi ciia n, theo nhiét d6 cita mot $6 tinh thé bin dn cha yéu. np= ap =A, : 10> 2103 3109 wk Hinh 1.6. Sit thay 461 cita nj theo nbigi dg 4 mot so ban dan ett ven.Trong mot ban dan rong, néng do dién tir luén lu6n bang néng do 16 tong ; tc 1A ta 1uon E *. Con khi Do vay, néu m}=m', thi mde Fermi nim gida ving cfm, vi Sate m,, #my thi mée Fermi chi nam gitia ving cm & nhiet dQ T = OK. Khi ting nhigt d6 T thi mic Fermi sé dich vé phia ma & do céc hat ti c6 kh6i Iugng higu dung nhd nhat, Chui y rang, & nhiét dd phong T = 300K, KT/q = 26.10°*eV va m’, khong khéc mp nhiéu, thi mac Fermi cfing nim gén gita ving cam. 1.5. BAN DAN CO TAP CHAT Néng 46 cc hat ti rong ban din thay déi m@t cach ding ké néu chting duge pha tap boi cae nguyen tir tap chat. Sy phy thém nguyén wr tap chat dua ban din thinh loai ban dan cé tap chal. Ban din nay, mac dau cé cau tric tinh thé khong thay déi so véi bin din rong, song dd dan din ctta n6 thi tang len rat manh, phu thudc vao mie dQ pha tap va ban chat nguyén tis ca chat pha tap. Mic d6 pha jap duge dinh gid bang ppm {ppm : | én mOt tiéu tg voi F nguyen wr cap chat wen 10° nguyen tir ban dan). Céc nguyén tr pha tap duge chon titede nguyén tir cla nhon TIT ho§e nhém V trong bang tudn hodn c4e nguyén t6 héa hoc, Néu la eke nguyen tt cla whémn TH thi ta sé thu duge ban din pha tap loai P, hode sé duge ban din loai N néu bin din duge pha tap cée nguyén tir cia nhém V. 1.5.1. Ban dan loai N Khi pha tap silic (hoae gecmani) ede nguyen tis thuge nhém V (chang han nhu phétpho hode antimoan...) thi céc nguyén tit tap chit nay sé thay thé céc nguyén tit silic & trong mang tinh thé dé tao nén cdc lién két déng héa tr] véi 4 nguyen ti silic King giéng gan nhdt. Nhu vay c6 mot dign tir héa tri thif 5 ciia nguyen tit pha tap lien két yéu véi nguyen tir lng giéng xung quanh va cing lién két yéu v6i nguyén ti cla chinh n6, nén chi cén mot nang lugng nhé cling gidi phong né khdi nguyen ti clia né dé to thinh dign ti ty do, Nguyén tir tap chat tro thanh ion duong nim 6 djnh trong mang tinh thé cita silic. Tap chat tia tr] 5 nay duge goi la sap chdt dé-no, c6 nghia 1a tap chét cho dign tir ty do. Cdn bin din cé tap chit do-no duge goi la ban dan loai N. Ching han phétpho trong silic 14 mOt nguyén tir d6-no, nghia 14 n6é cho mot dién tir din & trong mang theo md hinh : Po + () 6 dinh link dongNéu pha tap Ny nguyen ti dé-no trén mot don vj thé tich, thi sé xudt hién trong ving edim cde mite ning lwgng nam rit gin day ving din. Néu 56 dign tir A n va s6 16 tr6ng 12 p thi s6 cdc hat tai ty do trong mot don yj thé tich sé tuan theo dinh luat rée dung khoi fugng: np= nj va dinh luat rrung hoa di -g.nt+qp+qNy=0 tirdé suy ra: = Ng +¥NQ + 4n? Néu Nj >>4n? (diéu kign nay théa man trong mot ving nhigt db khd rong tir 30K den khi dé ta 06; 500K d6i voi si n= Ng lA cdc hat tai dign co bain, n 2 <1. 1a cde hat tai dign khéng co han. Na Con néu NQ <<4n?, nghia 1 mat do cde hat tai rong In hon mat 46 do-no, thi n=p=n. Che dg may duge go ta che do bin ade tinh khiét, Hinds 17 mo ta sug thay A6i mat dO die tit * theo nhigt 49. Trong ving nhigt dg ti 30 dén SUOK mat do dign tir khong thay khi Ny = 10!° em d6i va bang mat dé dé-no. Nang lugng nhigt dit dé ion héa hét cdc nguyén tit tap chat nhung khong 6 khd ning tao ra mot s6 Ién efie hat tdi. Ché dd ndy goi 1a ché dd ion hd héf dé-no. 10"Cm* 7 tinh khigt fon hoa hét 2 100° 300 500 700 900 TK Hinh 1.7. Sit thay Adi mat 46 dign ni cheo nbigt db khi Ny = 10! + Trong bin din loai N nay, mat 46 hat tai dign ca-ban duge xéc dinh tir biéu thite Ny= Nessa(- Esta) vei Bpy 1 mite Fermi eta bin din loai N. 12Hink 148, Tap chat d6-no trong don tinh thé silic. 1.5.2. Ban dan loai P Néu pha tap ban din tinh khiét cdc nguyen tit héa trj 3 (nhu bor, galium (Ga), aluminium (AD, hoac idium,...), thi méi nguyén tit tap chat héa tr} 3 thay thé vi trf nguyén tir ban dn tinh khiét g6c va tg0 ra lien két déng héa tri véi 3 nguyén vir ling ging gtin nhét, con lien két thit ter khong hoan hdo va vi vay lam xudt hién mgt 16 tréing. Do vay, chi cfin m6t nang Ivong rat nhd cling cho phép mot dién tir cila lien két déng héa tr} gin 46 dén chiém 18 ung va lai lam ditt lien két kde. Cac nguyén tir tap chat héa tri 3 nay c6 xu huéng bat dign tu cia viing héa tri lam Hing 16 trong trong ban din nén ngudi ta goi né 1a tap chdt acceptor, nghia la tap chat bit dién tit va cho 18 tr6ng. Con bin din cé tap chit loai nay goi 1A ban dan loai P. Cée nguyen tir tap chat héa trj 3 nay bat dién tir trong ving héa tri dé tao ra 18 trong & trong ving dé. Néu pha tap N, nguyén tr tap chit, thi trong ving céfm sé xudt hi¢n N, mtéc nang lugng nim rét gdn dinh ving héa tri. O niet d6 th4p, cde mite nay kh6ng bi chiém bai dign tit, c6 nghia 1a chiing cdn tréng ; nhung khi mhiét do ting len, ching bj lp dy bdi cdc dign tir & trong ving héa tj. Do vay, s6 16 tréng trong ving héa tri sé gan bing N, va hat ti dién cia bin dAn loai P trén mot don vj thé tich 1a: . Pp = N, Ja hat tai dign co ban; n? Tr lahat tdi dien khong co ban. n, Trong khoang nhiét 49 46, cdc nguyen tir tap chat déu bj ion héa nan mat do 16 tong bing mat do nguyen tr tap chat. ChE d6 nay goi la ch€ do bao hoa acceptor. So 18 trOng tyt do nhiéu hon s6 dign tit ty do, nén ban dan 18 Joai P. Voi bén dn logi P nay thi : ‘ 13VGi Egp 14 mite Fermi cila bin din loai P. si si si ew Si Si LS tring {si { si. }-—* si Es Hink 1.9. Tap chdt acceptar wang don tink the siti 1.8.3. Do dan dién cia ban din ie hat ti ‘Troag cdc tinh thé bin dia thue, su chuyén ddi ciia én bi ngin tra bai dao dong nbiet cha nguyén tr cha mang tinh thé, boi sir 6 mat cin cic Khuyét tt, cla cde tp chit vi cia cic hat tii dign ty do khée ¢6 trong mang Ginh thé dé. Digu tie chiu tat ed cdc va cham andi én, Lim cho quy dao chuyén dong cou ching i nen hén loan, vi vay van téc trung bink theo hudng bing khéng. Néu ta tic dong mot dién trudmg & dé ton thi van t6c trung binh cha hat tai sé ti 1¢ voi dién trutng & theo hé thie : =—p,E cho dién tir va =-H,E cho 16 tréng. trong d6 : 1, va pi, 12 dQ linh dong cita dign tir va cita 18 trong. Chiéu cia nguge véi chiéu cia £, trong khi chiéu cia ciing chidu vi B. Khi dé mat do dong cia dign tir va 16 trong 1: jy =-qn=qnn,E p< Vp >= aptigE va trong 46 : 6, va op 1 dO dan dign eta dign tit va 18 teéng. Néu cA hai loai hat tdi cing tham gia din dién thi mat dO dong téng eOng sé 1a : nt)p =(G4G,) EB =cE 14Vi o = qinjt, + pip) [i dd din dién cia bin din khi c6 cA hai loai hat tai tham gia din dién. Déi véi bin din loai N, thi n >> p, nén dQ din dién céa né la: On = Gaby (Qemy!. Néu ting Ng thi 4 din dign a, ciing tang, do vay dien trd sudt sé gidm. Chat bin dan pha tup cling uhiéu thi dién we sudt ctia né sé cang gic, Tuy ahién, 46 linh dong Hy lai gidm khi mat d6 nguyen tit tap chat ting. Do vay co ché dn dién & trong ving pha tap manh tong d6i phiie tap. Déi vdi bin din loai P, 46 din dién cia né Ta : 5,= qNaklp (Qem)!. Khi N, ting thi o, ciing tng, do vay dién tr sudt gidm. Bin din pha tap cing manh thi dign tré suat cang gidm. Tuy nbién, d6 linh dong p, gidm khi tang néng dé tap chat. Hink 1.10 cho thay su thay d6i cia dién tra swat va d9 link dong (hinh 1.11) cia bin din silic vA gecmani loui N va loai P theo néng do tap chat Ny hoc N, & nhigt 46 phong T = 300K. (Gm) 8 T = 300 K Sip Gen “40° —N, hodic Ny 10" 107 10 10" 10 10% (mr) Hinh 1.10. Dign tra sud eita Ge vi ciia Si thay Adi theo néng dé tap chilt GT = 300K. 1.6. SU PHA TAP BAN DAN 1.6.1. Sy pha tap ban dan nhém IV Déi voi baa din nhém IV, thi tit e8 cde nguyén t6 cia nhém V déu la tap chit loai N vi chiing c6 5 dign tit héa tr}. Nguyén 16 pha tap thutmg duge sit dung nhat la photpho (P), arsen (As) va antimoam. Arsen duge sit dung nhigu hon phéipho vi d6 hda tan cia n6 16n hon. Tat cl cde nguyen t6 cia nhém IIT déu Ia tap chat acceptor, vi chiing o6 3 dién tir héa tri 6 16p ngodi cling. Nhom (Al) it duge sit dung hon ca, vi né phan ing manh véi 6-xy (05). Bo 1a nguyén t6 hay dutge sir dung hon cd. 1.6.2. Su pha tap ban din Al'pY Qué trinh pha tap ban dn loai nay phite tap hon sy pha tap bin din nhém TV. Ta hay lay teubng hop GaAs lam thi du : Cac nguyen t6 cia cOt 6 trong bing tudn hoan héa hoc Mendelee v 15nhu Te chang han, thay thé céc nguyén tit As dé tao nén ban din loai N, vi ion Te* c6 5 dién tit héa tr]. Céc nguyén 16 cia nhém TI nhur Zn thay thé cdc nguyen tir Ga dé tao thanh bin dan loai P, vi ion Zn chi cé 3 dién tit héa tr, Trong khi cde nguyén t6 cla nhém LV cia bang tuéin hodn héa hoc nhu Si 6 thé cho pha tap hodc loai N hay loai P tity theo Si thay thé cho Ga hay As. Ngoai ra con c6 cic hop chat nhu Ga,.,Al,As 66 6 rong ving cam IA mot ham cia x. Bang sau day cho biét mot s6 dic tiung quan trong cia mot s6 bén dn quen thudc. atm'V's") 8 T= 300K o4 0,3} 0.2} of ° N, howe Ng 10" 107 40" 10" 40% 10% = (mit) 4) Sut thy i eitu 40 tink dng cia Ge theo nding ds pam'V"s")) 8 T = 300K 10” 40” 107 107 10 10° 10% 10” Ny hode N, (i) 2) Su ay a6 i ink dng cSt theo nbn 48 ty chih Hinh I.11. B6 linh dong thay 46i theo ndng 46 tap cht Ng va Ny cia Geta) va cia Silb} 6 nbiét dé phong. 16Bang cdc dc trung mot s6 ban dan & nhiét 49 phang (300K) (E,-EjeV | nj (Cm?) | p,(Cm/v.s) y(Cm?/v.s) | (107 F/Cm) Ge 0,66 2.4.10" 4000 1900 144 Si 1,12 1,2.10'° 1400 500 1,04 GaAs 1,43 107 8500 400 0,96 GaP 2,24 Ho 75 0,88 InSb 0.16 “3.108 7800 750 1,50 cas 2,42 2.107 300 30 0,88 Gii han vé néng 49 cia nguyén tis tap chat Mat do cue dai cdc nguyén ti tap chat ma ta muén dua vio trong tinh thé bin din duge quyét dinh béi gidi han hda tan cha tap chat Sy. Ching han & ahidt dO cha 1d khuéch tan (tir 1000 dén 1200°C) 66 hda tan cita As c@ gin bang 10?! cm™ va déi voi Bo vi phétpho 18 vio khodng 10° em”. Néu vugt qué gidi han nay, thi hién tung két tia s@ xdy ra ;khi 46 tap chat sé khong con co ede tinh chat nhur da m6 ta nita. Mat d6 cue dai duoc x4c dinh bing mic do tinh khiét ciia vat ligt. Nhut Bo trong Si, ta khéng thé loai bo nguyen (6 ndy xuGng dudi 10"? nguyen tir trén mot em? duge, c6 nghia lA ludn ludn cd mot nguyén tr Bo trén 5.10° nguyén tir Si, Gidi han trén cita mat dQ tap chat duge x4c dinh béi gid tri ouc tidy cla dién tré suit cia ban dan duye pha tap (c6 10? O.cm) ; Cdn gidi han dudi duge quyét dinh béi gid tri cuc dai cia dién tré suat cia bin dn rong (cé 10¢ Q.cm). 1.7. SU CHUYEN DOI CUA CAC HAT TAE TRONG BAN DAN 1.7.1, Mét 50 dinh nghia co ban Trong cde tinh thé ban din, néu cc hat tai phan b6 khong déu, hoac gitia céc mién khie nhau 6 nhigt do khde nhau, tht ede hat tai sé chuyén ddi tir noi c6 ndng 46 cao sang noi cé néng Go thip hon, hode tit noi e6 nhigt d cao t6i noi c6 nhiét dd thip. Trong cdc trudng hop tren, dinh luat tée dung khdi lnong khéng cdn nghigm ding nia, nghia 18 np # no}. Trong trudmg hop nay, tinh thé ban dan bi mdi cin hdng ahiér dng. C6 thé xdy ra hai trudmg hop sau day ; a) N&un.p > n? : C6 nhiéu hat tdi hom so véi trudmg hop can bing nhiet dong. Cé nghia la c6 sit phait sinh cdc hat tai trong bin din ; hay néi céch khde, ban din dicge: plum ede hae tai dién. b) Néu n.p 0 20Trudng hyp nay dign truéng ngoai Lim gidm hang rao thé, do vay ede hat tai co bin dé dang chuyén qua l6p chuyén tigp va tao ra dong thuan ¢6 gid tri Ién, trong khi cdc hat tai khong co ban lai khong c6 tic dung. 2) Phan cue nguge néu (Vy~ Vn) <0 Trung hop nay lam nang cao hang tio thé. Do vay cdc hat ti co bin khong thé chuyén qua 16p chuyén tiép, trong khi cdc hat tai khong co ban lai chuyén qua mét céch dé dang dé tao thanh dong din nguge. L6p chuyén tiép P-N c6 dic tinh nhu vay tao nén mot diét bin din P-N. D6 1a mot linh kign dign tit hai cuc 6 ky higu —>}-— Tiép oN LoaiP LoaiN Ving dign tich khéng gian 0,5 um Bién tich khéng gian E() Dién tru’ng Np x V0 Bién thé Vo v0 [0 x Hang rao thé Gi v6i dign tir Hinh 2.1. Chuyén siéjs P-N chua phan cute 212.2, CHUYEN TIEP P-N CHUA PHAN CUC 2.2.1, Dién trudng trong ving dién tich khong gian Gia sir ving chuyén tiép khong bi nhigu loan ti bén ngoai (dién trudng, anh sing ...) c6 ngbiia 1a trén moi diém cia bin din khong c6 ding dign tit va 16 wong. Goi : Top V4 Pop 1d-nGng dQ dign tit va 15 trong trong mién p trung hoa. Toy, VA Pon 1 nding 46 didn tit va 16 trong trong mién n. ‘Ng ‘la néng d6 tap chat dono trong mién n. N, la néng dé tap chat acceptor trong mién p. n, La néng 46 dign tit va 1d trOng cita ban din rong. Gia sit & nhigt 46 phdng t2t cd cde nguyén tit tap chit déu bi ion héa, do vay : 0, véi cée hat tdi co ban, tacé: 4 Pop = Na 2 Pon = 3y7 cdn vi cde hat tdi khong co ban thi : ; A i So 2 Theo mét huéng vudng géc voi mat phang bien gidi gita hai vang n va p, ly géc toa do tai mat phing nay, thi su thay déi néng d6 tap chat (hinh 2.2a) dién tich khéng gian va cic thong s6 khée ciia ving chuyén tiép duge bidu dién trén hinh 2.2a, b,c, d,e, f G trong ving "se mac" néng dO dién tit va 16 trong rat nhd so v6i néng do tap chat, nen dién tich khong gian trén mdt don vi dién tich bé mat cia lép chuyén tip c6 thé viet : vé phia p, gitta ~xp vA 0 1a -qNX, v6 phia n, gidta 0 va x, 1a qNux,- Tong dién tich cia todn bd ving ndy bang khong (digu kién trung ha dién) nén ta c6 : Qa) xpNa = XaNo- Céng thite nay cho thay mién chuyén tigp dn sdu vdo wing pha tap ft. Néu goi p(x} fi mat d6 dign tich cia mién dign tich khong gian va ¢ = e,£, 1d hing s6 dién moi cia ching thi dign icvdng ndi va dién thé twan theo phuong trinh Poission : Sau khi ly tich phan va ding diéu kign gidi han : Ep (-x,) =O , thu duge : IN, Bt X | véi-xp JE_ Coax Jencoax wip Kp é thay céc biéu thie eta dign trubng vio cdc tich phan trén, ta sé thu duge : Vo =Q(N,xS+Ngxd )/2e, vdi Vy = Va ~ Vp (2.4) Sir dung diéu kién trung hda (2.1), ta thu dirgc : M2 «p= t (21 2 y, as N, (4 1/N, +1/Ng va V2 if__1 _y. 2.6) Nal @ 1/Ny +1/Ng D6 rong viing dién tich khong gian w =x, + Xp : (2.7) Do rong ving dign tich khong gian tang theo chiéu cao cha hing rio thé voi quy lwat Vj? Khi nhiét 46 ting, chiéu cao hang rio thé gidm, vi vay 46 rong ving dién tich khong gian cing gidm theo. . 2.3, CHUYEN TIEP P-N BI PHAN CUC 2.3.1, Dac tinh cia ving chuyén tiép khi phan cue Néu tic dung mot hiéu dign thé tir ngoai vao Idp chuyén tip P-N thi s8 xay ra ba qué trinh : + Cfu triic ving ning lang bi bién diéu. * Ving dign tich khong gian cing bi bign digu. * C6 mat dg dong chuyén qua lép ti€p xtc. Su c6 mat cia bigu dign thé V, — V, Lim xust hién dién tiudng tai moi diém cia tinh thé ban din. Néu V, — V, > 0 (phan eye thudn) thi hang rao thé bj ha thap xudng, nén ddng thuan 246 gid tri lén chay qua di6t. Trong ving chuyén tiép xuat hign sut thé, nhung gid tri cia né rat nhé so v6i Vy — V,, o hai ddu dist, Néu V, — V, <0 (phan eye nguge), thé nay bé sung vio hing rio thé lam cho né tang cao. Do vay, cdc hat ti dién co bin khéng thé chuyén qua ving chuyén tiép, trong khi ede hat tai dién khong co ban lai chuyén qua mot cach dé dang dé tao thanh dong di¢n ngugc kéo theo sut thé ¢6 thé loai trit so véi hang rao thé, nén toin bg thé téc dung bj syt & trong ving chuyén tiép gay ra dién trudmg rat cao. Sut thé trong ving dign tich khOng gian 13 : Vu- (pV = Ve-V tong dé: V = V,, ~ V, Ei higu thé téc dung tit ngoai. Do vay do rong ving dign tich khong gian : 1 1 t/2 = = aa 1 WH Ky # p= [af + +) (My -) (2.8) Do rong nay gidm khi V = V,— V, > 0 (phan cyc thuan) va tang len néu V = V,, + V, <0 (phan cue ngugc). 2.3.2. Dong dién qua ving chuyén tiép Mat do dong qua l6p tiép xiic P-N thu duoc bing céch gidi phuong trinh trong ché 46 ding a 2 0 dusi anh huémg cha v,-V, as Khi 46 phuong trinh lién tyc cho ta: 2? P A(X) | Py(X)—Pao SPP yO) , Py(®)=Pao D P52 % =0 voi: Ta he 86 khuéch tin cia 16 trong & phia N; 1p: 18 thoi gian song cla 16 trong & phia N ; Lp = (Dytp)'” 1a do dai Khuéch tén cia 15 trong & phia N. Lay tich phan phuong trinh trén véi cde diéu kign ban déu P,(x)) ta thu duge : va Py(®) = Pao Pg (4)—Pyo = (Pf —Paodexol-(x—x1)/L»] Déng chay qua viing chuyén tigp la dong khuéch tn qua mat phing x = x]: dP, —P, Ip = voy{aegete } ‘Thay gid ti P,(x) = Pho exp(qV/KT) sé thu durge =ae Vv ) Jp= ayy Pe KT Tinh todn twong ty, ta sé thu duge biéu thie cia dong khuéch tin cia dién tit qua viing chuyén tiép khi phan cuc thugn : ' DP po av. Jn =| exp2h 1 na (ex Dong thudn téng cong ly di qua dign tich S cita ving chuyén tiép 1a : DpPno , Dan Vv Iy=S.Up +34) =Sq] Pee Pate ep 1) * Ly La KT hay : : (2.10) vei: Qt hay: Ta da biét biéu thie ciia n, thay déi theo nhiét 6 T theo quy luat : E, 22AT) 8 =AT a} on } thi dong nguge I, thay d6i rat manh'v6i nhigt do T. Hinh 2-3 cho thay sy thay déi ctia dong thuan va dong nguge theo nhigt 46. uA) Hinh 2.3. Se ph shage nhie dé vita dong thudn vé neue.2.4. DIEN TRG DONG CUA DIOT Bé xac dinh dign trér dong, diét duoc mic trong so dé hinh 2.4a. Ving chuyén tiép P-N phan cuc tai diém P trén dac trung von-ampe, xung quanh n6 tée dung mot thé hinh sin Vsinot. Bien dg V rit nhé so véi Vg. Diém P twong Gng vdi dong I, va thé V, goi 1a diém lam vige cua Trong gin ding bac nhat, vong chuyén tiép P-N duge coi nu gém mot dign tré rq va mgt tu dién C mac song song. Khi phan cuc thudn, di¢n tro dong (hoje dién tré vi phan) bing nghich dio d6 déc cia du’mg dic trung tai diém phan eve. ne & on dlevy Véi [eet 1) tatim duge : r= ST XT cet, 2.12) qs +1.) dle 26.10% Két qua nay cho thay rq cang nhd khi I, cing lén. O whigt do phng (T = 300K) ry = i Dai lugng nghich dao cia dién tré 1a d6 din dién ciia didt = =-t.4 (2.13) rat Vipar, Khi phan cye nguge, dién tr dong rat lén, cd mé-ga 6m. Doi véi silic, dién tr nguge dudc xac dinh bing céng thite gin diing dan XUV -Vo) 20 Weve by Ty Vp 1a chigu.cao hang rao thé & trang thdi can bang nhiét dong. 2.5. BIEN DUNG CUA DIOT 2.5.1, Dign dung chuyén tiép Trong ving chuyén tiép c6 hai mién tich dign nguge dau nhau, gids —x, va 0 dén Ky VOi gid tr] digm tich s.q.Np.Xp VA 8.9.Ngo%y DO dai'x, va x, la ham cita thé V téc dung vio ldp chuyén tiép (hinh 2.4) lam dich chuyén gidi han cita mién chuyén tiép. Thue vay, ta di biét : \ Hink 2.4. Su phan bd dign tich trong ving chuyén tip. 27Khi ting thé phan cue thuan thi dién tit tir ving N duge phun vao ving chuyén tiép, trung hda cée dign tich khong gian dung, cdn 18 tréng tit mién P duge phun vao ving chuyén tigp dé trung hda bét dién tich khong gian Am. Cdn khi phan eye ngugc, thi qué trinh nguoc Iai, Jam tang cde dign tich khéng gian trong ving chuyén tiép. Hign tong tren Fam thay: 46i dign tich trong ving chuyén iép theo higu thé tic dung &, ti s6 nay c6 thir nguyen cila dign dung C,. Q =Sq.Naxy =SGNyXp tir dé suy ra: 1f2 c= Bi -§] ae + (Vy-Vo)!? (2.14) NaN, a Ne hay C, = Xp tXp Biéu thie nay chi ding cho chuyén tiép nhay bac. Néu néng dd tap chét thay déi twin uf theo ham bac nat khi di qua ving chuyén tigp, thi Q ti 1€ v6i (Vy, — V)"9, do vay C,¥ (Vp - vy" | Nei chung, gid tri cia C, nhd (khoang vai pF dén vai chyc pF). Su thay déi cia dién dung dong cla mot ving 1 1 10 so100 Ve(¥) chuyén tiép P-N phan cue nguoc ‘ThE nguoe duge cho trén hinh 2.5; trong tga do Hinh 2.5. 54 thay di C, theo the phim cate nguge ludng 10-ga, Nguoi ta itng dung sy thay déi cia C, theo thé phan eye nguoe dé ché tao dist Varicap (didt c6 dién dung thay déi). 2.5.2. Dién dung khuéch tan Nhu da biét, khi phan cc thuan 6 trong mién chuyén tiép cde hat tdi khong co ban duge phan ph6i lai va thay d6i theo him mii d6i v6i thé téc dung, trong khi x, va x, Iai thy thude vio chinh thé d6. 28So v6i ede dign tich can bing nop VA Pop, Céc dign tich do két qua ciia ede hat tai du khi phan cye thuan duge goi 1a dign tich khuéch tén Quy & phia P va Quy 6 phia N. Khi thé tic dung thay déi thi ede dien tich nay cing thay déi theo. Sy thay déi dé iwong duong voi dién dung khuéch tan : d( Can = 22825 yy =O, av av Do vay dign dung khuéch tan téng cong bang : 2 Sq aVo Ca = Cyn + Cap = aeaT fe = Xp Mop + (dg —Xqn)Pon EXP ier Dién dung nay c6 gid tr} ding (10°F) (0) ké khi phan cue thuan, con khi phan cue nguge né rat nhé so véi C,. Sr 10° thay déi dién hinh cita c4c thong sé ww w ry Va Cy cla ving chuyén tigp khi hp phan cye thuan duge mo td tren ° hinh 2.6. - tg(mA) 10 10 1 Ww * Cae biéu thitc vita tinh & trén chi duge 4p dung cho ving chuyén HiAK 2.6. Bign dva din dung dong ct ving hye tidy PN tigp “nhiy bac”, trong 45 néng do tp chat déng déu trong ci hai mién N va P, suf phan cdch gita hai mién nay 16 nét v2 phang. Tuy nhien, do cong aghé ché tg0, néag dd tap chat trong Tinh kign thye c6 sy khée nhaw 66 ret vGi mo hinh di dp dung, nén 4é sit dung duge cdc ket qua trén ching ta phai c6 mot sé hieu dinh, Cac ket qua tren sé duge sit dung mot céch rong rai néu ta thay he thie 7 ping mS? 4 voi lems 2. . Ngoai ra, néu tinh dén €9 day cia mign N va P thi so 86 twong duong cia dist sé la: Cy Ry R Hinh 2.7. So dé uomg diuog cita didt P-N. 2.6. DIOT P-N TRONG CHE BO CHUYEN MACH Xét diét PN*, mac trong mach nhu trén hinh 2.8a. BO qua ty cam doc theo chiéu dai day ndi, con dign tré néi tiép-vdi didt duge ghép vio dign tré R. Bay gid ching ta s€ quan s4t hién tugng chuyén mach khi thé phan cye thay déi mét cach dét nggt tit phan cue nguge (trang thai déng) sang phn cue thuan (trang théi din). 292.6.1. Chuyén mach tir trang thdi dong sang trang thai din. Tac dong bdi thé. Gi sit tai thoi diém t = -t), thé thay 46i mot cdch tie thoi tit gid tri Vp dén +Vp. Viéc tinh todn kha phite tap [1] vi c6 hai qud tinh xay ra do céc dign tich cita cdc dién dung chuyén tiép C, va cia dign dung khuéch tan Cy. Khi thé Vi) con am (hinh 2.84) : “ty <1 <0, CG c6 tée dung, con Cy it Anh hudng. C, tich dign téi dinh cia dong dién duong (V; +Vg)/R, sau d6 phong dién véi hing s6 thdi gian t = R.C,. Ngay khi V(#) > 0, C, khong cdn the dung nfta, trong khi C, lai tich dign véi hang sO thoi gian t, = rgCg, Néu R nhd thi c6 thé ©6 dinh thé (hinh 2.8d). Thoi gian chuyén mach vio c6 Re, +t. a v im et) 5 () — Alo t vr! Mee git): a) b) ¢) a) Hinh 2.8, Cae trang thai cite dist. 2.6.2. Chuyén mach tit trang thai din sang trang thai dong Diéu khién bang thé. Truding hop nay dist duge mic theo sc dé hinh 2.9a phan eye bang ngudn thé ¢6 gis tri chuyén tir Vp sang —Vg mot cach tite thai, tai thai diém t = 0. 30oft) a) Hink 2.9. Chusén mach tiedan sung déng. * Khits0, dong qua diét la: tye Me vi Vp << Vp Sy phan b6 ciia cde hat tai vira durge phon qua biéu dién trén hinh 2.9¢. * Khi O<0 © : Day la ché d6 chés doi (hinh 2.9¢). Dang qua diét oé gid tri -I,, com thé -Vp. Ngudi ta con dic trung cho ede tinh chat cia mot di6t chuyén mach tir trang thai déng sang trang thai din bing thai gian hdi pluc (ge (Reverse Recovery Time). Day chinh [a thai gian, bit ddu ti-d6 dong nguge gidm 1/10 gid tri ban du ciia a6, Thdi gian nay ti 1e true tie V6i thi gian sOng cia cdc hat tai di duge phun qua. Gia sit Q, 1a din tich tich ty khi phan cuc thuan. Dong nguge trung binh duge cho bai : In») = Qu/tar- Vi didt 1a loai PN*, nén ta cé, Q, = lat, Do vay = 31Ig ter -() Ta)" Dé gidm thdi gian phuc héi tgg, phai gidm thdi gian sOng ciia cdc hat ti dug phun. Diéu nay c6 thé duge thuc hign bing céch tang cdc tam tai hgp (ting bay), nhung tru’ng hop nay lai tang ca dong tai hgp va vi vay ting cd dong nguoc cia diét. Ban din.cé thai gian séng rit nho la GaAs. Vat ligu nay rét thich hgp cho vige ché tao céc diét nhanh (diét chuyén mach) véi thoi gian hdi phuc c& na-n5 giay. 2.6.3. Mo hinh ly tudng ciia mot dict P-N ‘Trong cdc so dé chuyén mach hodc trong cac mach s6, diét duoc mé hinh héa theo mot dic tring ly tuéng nhu tyén hinh 2.10. Khi phan cue ngugc, dong qua didt duge gid thiet bing khéng. Con khi phan cuc thuan, thi sut thé & hai du dit gid thidt bing khong. Trong mé hinh nay, didt duoc coi nhu mét cdi ngat déng-mé. Digt khéa tuong duong vdi ngat ma, dist din tuong duong véi ngat déng, Dic rung V(b} thu duge gém ba doan thing : ° Va > V, : DiGt din (Vz : thé ngudng cia di6t bing 0,7V d6i véi diét silic va bing 0,3V doi v6i gecmani), thé & hai dau didt bing thé nguéng cong véi sut thé ti 1é truc tiép vai dong qua né. Va < V;: Didt déng, Cé dong ngugc do ding bao hda va dong dé do higu tg be gay ra. Tg(mA) + — vi) Ms val) ist i tudng Tyna) ‘Bic trung ly tuding Hink 2.10. Mo hinh héa vita mgt did Is tng. 2.7. CAC LOAI DIOT DAC BIET 2.7.1. Didt Zener va diét thac la 2.7.1.1. Cée dite trung eta didt zener ve théc lit Khi thé nguge ciia mot didt vigt qué mot gidi han no dé thi dang nguge bit dau ting len mot céch dot ngot. Gid tri gidi han 46 cia thé ngugc phu thude ban chat cia bin din tao nen dist. Cang can luu ¥ ring, mac di dong nguge tang len dot ngot, nhung \Gp tigp xiic cita didt khéng bi pha hiy. Dae trmg cia mét diét zener cho trén hinh 2:11. G day cé hai qua trinh cing song song tén tai I higu ting zener va higu tng thée la. 32Ts Ve gv Ve \UT 6 Me |—-_—___»' by Bien we dong alk 4 0.07] i" ols 6 10_,Ve a) Dac ang 007 ©) He 66 nhiet 49 Hiwh 2.11, Céc dae irug vita mpt didt zener. 2.7.1.2, Higu tmg zener Xét edu tric ving ning lugng cia ving chuyén tiép phan cue nguge. Trong ving nay xudt bin mot dign trutng rat manh, c6 thé dat t6i gid tr] ngudmg gay ra chuyén dvi true tie cila dign tit tir trang thai lien két sang trang thdi ty do, Cé nghia 1A gay ra su ditt cdc lien két dng hda tri. Tic 1A 6 sy pide sinh cdc hgt tdi (cde ep dign e165 tréng xudt hign) do hiéu tag tune ngi (hinh 2.12). Cae dién tir cé nang Iugng E & phia P, trong ving héa tri ¢6 thé chuyén sang ving din & cing mie nang Ivong ciia phfa N bing céch chui qua hang rho thé nhv higu ding tunnel, Trong silic, higu img nay xay ra trong cée ving chuyén tiép 6 mat dO tap chat rat cao, & dé ving chuyén tip rt hep dé hing rio thé c6 do rong nhé hon SOOA® thi sé quan sét duge hi¢n tugng nay & thé duéi 5 hoac 6V, tong tng voi dien treng-khoing 10°V.m'! . Su danh thing do higu ting zener c6 hé sd’ nhiét do dm. Hink 2.12, Cd rite ving nding hugng cia diot sever, 2.7.1.3. Higu ting the la Higu ting nay gdn ging nhur su ion héa kh6ng khi. No xay ra khi dién trudmg trong ving chuyén tiép cé gid tri thap hon nguéng cla hiéu ting zener. Dudi lic dung ciia dién wudng di Ién (c6 10’V.m"'), cdc dién tit ty do bay vio ving chuyén tiép v6i van te rit cao (goi 1a dién tit nhigt). Khi va cham v6i céc nguyén tit mang, chiing c6 thé ion h6a cdc nguyén tir mang dé, sinh ra cae edp dign tit - 18 tréng méi; do vay Lam ting sO Ivgng hat tai. Céc hat tai ndy, dén Luot minh, lai tiép tue qué trinh ion héa. Vi thé c6 higu ding hein thie Ha. Ngudi ta 6 thé dac trung cho higu tng nhan 6 bing mét he sé nhan M khi dong di¢n qua ving chuyén tiép 46 :1 mt Ce) Vay Do 1a cong thitc kinh nghiém cia Miller. trong dé: Vyy 1a thé gay ra théc 16 hat tai ; m JA mot hé s6 2 cho silfe loai N va = 4 cho silfc logi P. R@ rang 1 su dénh thing do théc 1d cé Aé so’ nhigt dé duong. Nghia la thé dénh thing ting theo gid trj tuyét doi khi nhi¢t do tang len. ‘Thé dinh thing do théc i0 16n hon thé dénh thing do zener nhumg khoang cach ma trén 46 cdc thé nay tac dung lai cho thy ring dign trudng t6i han 6é gay ra sy dénh thing do zener ai én hon nhiéu so voi dien trudng gay ra ion héa do va cham. Néu Vy > 8V, thi sy dink thiing 18 do thac 1d, con néu Vyy < 5V thi sy dinh thing 1 do hieu ting zener: Gitta hai gid tri nay, cA hai qué trinh déu tham dur. Do vay & trong ving nay he 36’ nhiét d6 bang kiéng, nghia la thé’ dénh thuing khong phu thuge vao nhiét dé. =M1I, voi M= 2.7.2. Didt tunnel i6t cunnel thu duoc khi pha tap tinh thé ban din moet mién P néng 6 cao hon 10" (ban dan suy bién P*) va mot mign logi N néng do cao hon 10!em™*. Nhu vay ta di thu duge mot ving chuyén tiép P*N* rift nhdy bac v6i dg rong ving dign tich khong gian rat hep , cd mudi A®. Dic diém cia linh kign nay 1a trén dac trumg V(1) 06 mot ving dién ie vé phida dm. Nbo dic diém nay ma didt tunnel duge str dung dé lam cac b@ tao dao dong sigu cao tan. Do mic d@ pha tap cao alur vay, nén gidn 46 ning wong cia ving chuyén tiép bj bién digu manh. Vi thé, ngay khi chua c6 thé phan cue, cde mite nang Ivong thdp & wong ving din cia mién N* 6 cing gid tri nhu cdc mic cao cia ving héa tri cla mién P* (hinh 2.13a). Nhung do ving chuyén tgp rat manh, nén dién tir tir ving héa tri cba mién P* co thé dé dang xuyén qua ving cm dé sang ving din ciia N* nbd higu dng “ducdug hém” (tunnel). Co nghia 1a c6 sue chuyén doi véi nang lugng khOng déi tir mot trang thai chat day cia ving héa tri sang mot trang thai wong cua ving din. * Khi thé phan cuc thuan con nhd : Gidn dé nang lugng hoi gidm xudng mot ft vé phia P, 6 dong dign tir 1én xuyén qua ving cim bang higu ing tunnel sang ving din cia N*. Két qua 1a dong thuan tang len, * Thé phan cyc thudn tip tuc ting cao hon : Giin 46 nang lugng ti¢p mc ha thap kéo theo cdc mite ciia ving dan ciia mién N d6i din véi ving dm cia mién P (hinh 2.136). Do vay, dong dign tirdo higu dng tunnel bj gidm xudng. Trén dic trang V(1) (hinh 2.13e) xudt hién dien 3 vi phan am duge diéu khién bing thé V. Dien thé nay lam cho link kien c6 thé duge sir dung dé lam cdc bd tao dao dong hoac dé khuéch dai tin hi¢u. * Thé phan cyc thuan ting cao nffa : Liic nay chiéu cao hang rho thé gidm dén mie cho phép di¢n tr tir midn P* phun sang N* va 15 ucing tir N* phun sang P*, nhu rudng hop cia didt thong thang. Do vay dong dign lai tang len (hinh 2.13c). 34Hinh 2.13, Date tring cite dit nel * Phan cuc ngugc: Khi phan cue ngugc, cde mic chat dy trong h6a luén 465i dién véi cdc mic téng cia ving din cha mién N*, nén dign tir va 16 tong dé dang xuyén qua ving cfim. Diéu nay tuong tng véi dong nguge c6 gid tri 1én trén dic trung V(1) (hinh 2.13e). Do vay didt tunnel khong thé bj déng khi phan eye nguge, vi thé né cbn 6 ten goi Ta didt ngwac (backward). * S066 wong duong Hink 2.14. Sa dd wang ditong cia didt tanned. So 46 dign tong duong cia mdt didt tunnel gém 6 : * Dien tro n6i tgp F,, [A dign 116 tiép xiic, * Cim khang ndi ti¢p L, 1a cdm khang cia day néi. * Dien trad vi phan Am -r, 1a dig tré vi phan am cia ving chuyén tiép tai diém Him viec. 35Gid tr] cyc tiéu ctia né durge cho bei: Fanis = 2V ye irong dé: V, va I, 1a thé va dong dinh clia dit. 2.7.3, Didt Gunn GaAs Khi tac dong vao mot mdu tinh thé ban din mét dién trudng manh thi trong tinh thé bin din dé xudt hign céc dao dong dong siéu cao t4n. Hiéu ing d6 duoc goi 18 higu ing Gunn. Dist hoat dong dya trén higu Ging nay duge goi 1a diét Gunn. Hinh 2.15 mo ta cau tao mot diét Gunn ding don tinh thé bin din GaAs. Ta biét rang trong vat liu ban din, 49 dan dign Ia do cdc hat tai dien ty do: dign ti va 18 trong. Dudi tac dung cia dign trudng, ede dign tit nay ¢6 thé cé van t6c dinh huéng rat cao bé sung thém cho van tc chuyén dong nhigt ca cae dign tir khdéc nha cdc qu trinh va cham. Vi cde va cham nay rt nhiéu, nén nding lugng ma cde-dign tir thu duge Khong thé tang v6 han ma chi dat mot gidi han nao dé ti Ie v6i dign tru’mg ngoai. Dé linh dong nay phy thudc chat ligu ban din d& duge sit dung. Cho d€n khi tat cd cde dign tir c6 cing 46 linh dong, thi luc nay dQ din di¢n cia bin din tudn theo dinh lugt Ohm. Khi dién trudng vugt qua mot gid tri nao dé (khoang 3kV/em), thi van te dinh hudng cita cdc dién tit o6 cing gid tri nhu van t6c chuyén {wong mdi xuat hign, Dae biet 1a sy phan b6 theo nang Iuong cilia dién tit manh va mét s6 dién tit cé thé thu duge nang. lugng dang ké tr thanh céc “diéa tir néng”. Lie nay vat rin khéng cdn twan theo dink luat Ohm nia bai vi cde dign tir néng nay lign ket rit yeu véi mang tinh thé va tro thanh dign tir din. Bat dau tir Ie nay, tinh thé 6 trong trang thai bat can bing vé phuung dign dign va khi thé vugt qua mot gid tri ngudng nao 46, dong dién thang gidng rit nhanh. Trong mau GaAs ngin va pha tap it loai N xuat hign céc dao dong dong siéu cao tin véi tin s6 bing nghich dio cia thoi gian chay tit ddu nay sang dau kia ciia cée dién tit. Cac dao dong dang nay xuat high trong toan bé thé tich cia tinh thé va Jién quan chat ché véi sv chuyén dong cita cdc dign tit. Vi thé tén sO cia cdc dao dong dong phu thuée vac chiéu dai citla miéng bin din GaAs va chiéu day cia ving hoat dong (chiéu day cia mién N). Ngudi ta c6 thé tao duge dist Gunn c6 tin s6 hoat dong tir 26 dén 40GHz v6i cong sudt phat tix $0 dén 150mW & thé Vp= Vv. tir5-15ym Mink 2.15, Cai ta0 ciia mor didt Gann ding Gods Cac didt nay duoc lap trong cdc hdc cong hudng dé tao ra cdc séng siéu cao tin thay thé cho céc klistron phan xa cong sudt bé, hode dé thc hign cdc dao dong dia phuong img dung trong do Iuong tir xa, Him cic bd lin két nhiéu dudng thong tin véi nhau, dé phat hién van toc hodc huGng, trong cic rada mini cong nghi¢p va giao thong, trong do ludng din tir quan sy, cdc mini rada phét hign trom x4m nhap vio nha, v.v... 362.7.4, Didt PIN 2.7.4.1. Cau tao Dist PIN duge tao thanh nhé ba iép ban déin, trong 46 c6 hai lép Pt'va Nt pha tap manh, kep gia mot lop ban dan tinh khiét 1 c6 dg diy 1én hon.’ Nhung vi do cOng nghé ché ta0 khong thé ché' tao duge Ip bin din tinh khiét IY tung vi thé mign [ c6 thé 1a bén din loai P pha tap rat it, khi dé ta duge didt c6 tén (P*RN"), cOn néu mign [13 bin dan Joai N pha tap it thi dist goi 1a. (PyN*). Xét mot dist PIN Ly twéng, dQ dai mign 1 18 w, va khong chita bat ky mot nguyen tir tap chat bj idn hda ndo. Goi p(x) 1 mat d9 dign tich, E(x) la dign truémg va V(x} 18 dign thé va so sinh voi didt P'N, Ta thay trong diét PIN, dién trudng E(x) c6 dang hinh thang, vi p(x) = 0 trong mién 1, chiéu cao hang rao thé trong dit PIN lén hon d6i véi didt P*N. Nang lugng trong mién J 1a tuyén tinh. . 2.7.4.2. Die tring ciia diét PIN 1. Ki phan cue thugn * Trudng hgp nay, diét PIN duge phan ra hai ché do: ~ Ché dg “mite thaip”. Trong ché dg nay, qué trinh tai hgp, xdy ra trong mién I, ~ Ché 46 “mic manh” thi sw t4i hgp duge thuc hign trong mién Pt va N°, Ngoai ra cling phai tinh dén céc ving chuyén tiép PN phun. * Viing chuyén tigp P'l cé sut thé V,*. * Ving chuyén tiép IN‘ c6 sutithé V,*. * Vung bén din tinh khiét I cho sut thé V,. Do vay thé tic dung !a: Via =Vp + Vn + Vp. G ché 46 "mic hip", sut thé V, khong phu thuge dong dign, vi vay dign trd wong dung 8 Ig vdi I/1y. Do vay ngudi ta ¢6 thé bin digu dign td cia di6t PIN bing céch diéu chinh dong dign. 6 ché d9 “mide manti" thi die tung 1(V) ti 1e véi V2, 2. Khi phan eve nwo DO rong cia ving bin din tinh khiét I hdu nhur khéng thay déi, vi & hai bién cila né 1a hai mién P* va N* pha tap manh, nén ving dién tich khong gian hu nhw khong tan vao c4c mién nay. Do vay di¢n dung cita diot hdu nh khong thay déi khi thé nguce thay déi. Dig nay hoan toan khde véi didt PN (hinh 2.16). Trong diét PIN, dign tich phia dudi dudng cong dién truimg Ién hon nhiéu so véi didt P'N, diéu 6 kéo theo thé dinh thing & didt PIN lén hon nhiéw so véi didt PIN. 37Dist PON BiStPIN Ft nk WiWitKn Na AER) AEQ) x x wx nx in Hink 2.16. So sinh didt PIN vai PIN, 2.7.4.3, Ung dung cita didt PIN ‘Ung dung cha yéu ca diét PIN 1a lam cae bO chinh slat cong sudt cao, tn s6 thip. N6 6 thé chiu thé nguge rit cao (t6i 2500V). Theo huéng thuan va trong ché 4 phun manh, dién tré cia ving I duge giam xuéng ding ké nho dign tir va 16 tng phun tir hai ip chuyén tip P'l va IN*, do dé sut thé thun chi khoang mot vai von khi mat 46 dong cé gid trj khoing 10?A.cm?. Ung dung wong siéu cao tén 48 Yam cdc b6 ngat mach. Trung hop nay ngudi ta ding hai dung gdn nhu d6¢ lap véi thé va dign tra ngugc 16m gan gap 10° lin dign tré thuan. Do d6, khi dat diét trong mot dudng truyén, név phn cue ngugc, thi tin higu cao tn s€ di qua né mot céch dé dang, cdn néu phan exe thudn, thi dudmg truyén s€ bj dodin mach vii tin higu cao tén s& bi phn xa trd Iai. dung lam cav bd suy gidm v6 thé hidn déi hode cdc bé diéu ches Ngwdi ta ding dien 1é nghich vi dong éién khi didt phan cue thudn, Hinh 2.17. Dign dung vita didt PIN. 38Chuong 3 CHUYEN TIEP DI TINH THE VA SIEU MANG 3.1, SUTAO THANH CHUYEN TIEP DI TINH THE {HETERO-JUNCTION) Chuyén tiép dj tinh thé dugc tao thanh nhd hai tinh thé bén din khdc nhau. Néw hai bin din cling loai (loai N hoie P) thi goi ta chuyén tiép cing loai, con néu ching khac loai thi goi 1a khong ciing loai. Chuyén tiép di tinh thé cé pham vi ting dung ngay cAng rong rai tren rat nhidu link kin, ching han nhut dé ché tao laser phun, diét phat quang, thu va phat hién cac tia sang quang hoc, pin mat tdi... Hon nia, néu chong lien tiép nhiéu lép chuyén tip di tinh thé oo do day e& 100A®, ta sé thu duoc mot edu tric tinh thé moi goi 1a siéu man; Dé thu duge chuyén tiép di tinh thé, ngudi ta nudi mgt Iép bin din thi hai ten tinh thé ban dan 1. Céch Rim nay duge thic hign véi yéu cdu [a hai tinh thé bén diw di chon lua phai co cic thong sé tinh thé va hé s6 gid né nhiét gin nhau, vi viée nudi don tinh thé épitacxi duge thuc hin 6 nhigt do cao. Mot sé 16n tinhthé, dic biét la d6i vGi gécmani, dcsénic gali thi digu ki¢n d6 luon duge thyc hign. Thyc vay tat ca céc tinh thé erén déu c6 cing cu trie : kim cuong- kém, Cac thong s0 ciia 6 mang 5,658 A°-5,654A° (sai sO 6 mang cd 0,8%). Hé s6 gidn nd nhiet 5,8.10* va 5,8.10°. Nhing nam: gin day, cong nghé che phép tao nhiing Iép chuyén tip dj tinh thé khi sai Ich 6 mang c vai % ma khong gay ra Itch mang ngay khi lép chuyén tiép rt man. ‘Trong tring hgp nay, sy khong phi hop vé 6 mang tinh thé duge tinh dén nha didu kién luting truc cita lép chuyén tip trong mat phing cia n6. Cac cu tic gan véi dang vo dinh hinh nhir GaAs/GalnAs, gaAs/GalnAs/GaAs, AllnAs/Gads ¢6 thé duge ché tao véi cu trtic tinh thé rat t6t Bai vi mdi chat bin dan c6 thé ho§e 1a loai N hodc ta loai P, do vay cé thé 6 4 chuyén tigp da tinh kha di: nGe-pGaAs, pGe-nGaAs (ciu tre nguge loai); nGe-nGaAs, pGe-pGads (cau tric cing loai). 3.2. GIAN DO VUNG NANG LUONG 6 XA LOP CHUYEN TIEP Xét tubng hop nGe-pGaAs khong c6 trang thai dao dién (md hinh Andesson). Trong trudng hop nay, ai lye dign tit qx, ca bin dn 1 (nGe) nhé hon 4 rong ving ¢&m Ey, cia bin din 2 (pGaAs) va Ey, cling nkd hon Eyo. Gidn dé nang long cua ci hai ban din nay chi ra tren hinh 3.a. Khi chiing cdn phan edch uhau, thi su phan bs eda dien tit trong m gc lap véi nhau, nén vi trf mite Fermi trong hai ban din khong thing hing. 39Khi hai bén din tgo thanh chuyén tiép, ching trao déi hat t4i cho nhau, tao nén su sép x€p thing hang céc mitc Fermi. Sy trao déi nay xay ra & cdc mite dao dién va lam xudt hien mét ving dién tich khOng gian, cing véi né [a higu thé khugch tan Vy. Tit gidn 46 nang luong hink 3.1a, so véi mic cita chin khong ta c6 : AB, = (4-2) ABy = (Bg - Egz)- AB, Su khéc nhau vé thé ning giita dign tit trong chan khong véi {4n cfn clia ban din 1 va dign tit trong chan khong véi lan can ban din 2 1a : Ny, -Ny, =4®2 -q®, a) Hai ban dan cé lap b) Hai ban dan tiép xc ih 3.1, Gidn dé viing ning long. Su khéc nhau vé thé tinh dién gitta hai ban dan nén khi ti€p xc nhau (hinh 3.1b) sé tao ra higu thé khuéch tan V,: 1 ve a (a®, - q)) (¥) GB.) ‘Trong trudng hop nGe/pGaAs thi q® > q®,, vi thé V, < 0. Noi chung, higu thé dutong, duge thiét 14p gitta mOt ban dn cé céng thodt nhd hon va mot bén d4n cé cong thodt 16n hon. 3.3. GIAN DO NANG LUGNG G LAN CAN VUNG CHUYEN TIEP Do sy khée nhau vé cOng thot, nén dién tit sé khuéch t4n tir bén din c6 cong thodt nhd sang bén din c6 cong thodt én hon, Su khuéch tén nay lm xuat hign mot ving di¢n tich khong gian duong trong ban din cé cng thodt bé hon. Vi ching ta khéng dé ¥ dén céc trang théi giao dign, nén téng dién tich cia cd hai ving din tich khong gian bing nhau vé gid tri tuyét d6i, nhung nguge dau. Hinh 3.2. me td cde ving nang Iugng khi dign tit khuéch tan tir n-Ge sang p-GaAs va 16 tréng khuéch tén theo hung ngugc lai cho dén khi mic Fermi cd hai phfa ngang hang nhau. Ving dién tich khong gian am xudt hién & phia P, cn & phia N 1a ving dién tich khong gian duong. Trong ving héa tri & phia tréi giao dien, c6 ché 16m hinh chit V, cdn phfa phai c6 dink 40nhon. D6 cong cia ving nang long chimg 18 c6 hidu thé khuéch tin & hai phia ciia ving chuy€n tiép: Vp = Vert Vox. DO rong ciia ving dign tich khong gian thu duge bing céch tich phan phuong trinh Poisson: trong dé: N,, 1A néng 46 tap chat acceptor cita bin din 2; Nig, 1a n6ng d@ tap chit dono cia ban dan 1 ; &, vi €; [a hing s6 di¢n moi cia bén din I va 2. Hink 3.2, Gidn a4 nang long 6 gan ving chuyén tiep. Do tinh lién tue cia dién trudng (€)E, = 2 2 ,nén ta thu duge: Naw’ IN gow’ Vo = “et > Va= a2 | 22 Ap dung diéu kign trung hoa (Nw, = Nayw,) ta sé thm duge: . Vor _ eg abla G.2) Yoo &2Nai Tir d6 tinh duge d6 rong todn bd ving dién tich khong gian: 2 2 id 2ey82(N3y +N2) yi2 wew, tw A NaN 2(€iNai +£2Na2)3.4. CHUYEN TIEP DI TINH THE BI PHAN CUC Cing nhu trong chuyén tiép P-N, khi tée dung thé bén ngoai V vio lép chuyén tiép di tinh thé, thi chiéu cao hang rao thé cing bj bién digu. Gia sit toln b6 thé bén ngoai sut én lop chuyén tiép, nén thé tac dung V; nay cé thé phan tich chanh hai thanh phiin: Vy, 18 sut thé tée dung trén n-Ge con Vjy 1a sut thé tac dung trén p-GaAs do vay, tit (3.2) ta duge: Vo, - Vj Ve. ~ Vin G3) Khi mite dé pha tap cia hai ban dn khdc nhau nhiéu, thi hé thtte (3.3) cho thay toin bo thé bén ngoai sé sut trén ban din pha tap it hon. Gid ti cia dong khuéch tan duge xde dinh chi y€u bang d6 cao cia hing rio thé. Déi vdi chuyén tiép n-Ge/p-GaAs thi dong 16 trong chuyén di tir GaAs sang Ge 1 hoan toan xe . dinh, vi hing ro thé qV2 thap hon rat nhiéu so véi hing rdo th qVg1 + qVpg + AE,, trong khi dign ti tir Ge sang GaAs lai rat khé khan vi phai vuot qua hang rho thé qVy; + qVe2 + AE, lén. Do vay dong qua lép chuyén tiép chi yéu 1a do dang Id trong tir n-Ge sang p-GaAs: dq Et lexp gv; /KgT- 1] (mA) Ga) 6 day Dy. Pou Lp I cdc thong s¢ cita 16 trong trong Ge. Trong truémg hop cia chuyén tiép di tinh thé cing logi, gidn d6 ving ning hong hinh 3.3 cho thay cé su phun cdc hat tdi khong co ban tit bin dan ¢6 ving cm cao sang bin din cé vung cdim thap hon, khong phy thuge mic d6 pha tap. Hign tong nay duge quan sit chit yéu trong chuyén tiép Ge/GaAs va GaAs/GaAlAs, & day su khong phi hop vé mang tinh thé 1a nhé, con trong trudng hop khi thong s6 nay cé gid tri én, nhu trudng hop chuyén tiép Ge/Si, & day su khéng phi hgp vé mang 1a 4% thi cdn tén tai cd dng tunnel lin dong tdi hop Pe N P N P N a) b) °) Hinh 3.3, Su trugén dong trong chuyén ti ‘ st) M6 hinh Anderson : b) Ma ink Rediker ; ¢} Mé hink Dotega. Co ba mé hinh song song tén tai dé gidi thich co ché truyén dong trong chuyén tiép khdc loai phan cuc thudn (N véi thé thiip, P véi thé cao). 42* M6 hink Anderson: Dign tit chuyén di tit N sang P bing cich vugt qua dinh thé, sau 46 tdi hop véi 16 tréng. L3 wong khong thé phun tir P sang N vi hang rio thé AE, Ién (hinh 3.3a). * M6 hinh Ridiker: Dign tit chayén tit N sang P bing hiéu ding tunnel qua dinh thé va.tai hop v6i 16 trong (hinh 3.36). + Mé hinh Dolega: Dign tit vugt qua dinh thé va téi hop véi cde trang thai trung gian & bé mat do su khong “hi hgp vé mang sinh ra (hinh 3.3c). 3.5. SIEU MANG. Dé ché 1g0 cde linh kién c6 t6c dg hoat dong siéu cao, yeu cau linh kign bin din phai cé dg linh dong cue 16n, Nam 1969, mot cfu tric tinh thé mdi di xust hign. D6 1a sidw mang (superlattice). Dua tren gud trinh bién digu nhan tao thé cia truéng tinh thé vdi kich thude cy nhé, ede link kign nay thé hién nhimg tinh chat truyén dong mdi, Ngudi ta tao duge "siéwe thé" trong tinh thé nha: * Diéu ché tudn hodn su pha (ap chat clia vat ligu (siéu mang "NIPI" (hinh 3.4a)) * Thay d6i mot-cdch tun hodn cdc thanh phan hgp kim (hinh 3.4b) * Ket hgp cd hai phuong phdp trén (hinh 3.4c). a) Digu che sit pha tap b) Digu ch€ thanh phan. Cohn Oaks Gah Gate 20 a fossa cna a ha = 15) & 5 & 10] 2 85 = Bo d) © 100 200 300) Diu ché' su pha tap va thanh phan Hiak 3.4, Siéu ana. Nam 1978 Dingle thyc hign sigu mang GaAlAs/GaAs véi su diéu ché tap chat. Ong di do duge dé linh dong rit cao (hinh 3.4d). D6 link dong cye cao nay duoc giai thich aby sir 43chuyén dai ciia dign tir tie GaAlAs (N*) sang ving khong bi pha tap ciia GaAs. ft lau sau, sy t6n tai cia mér khi dign tir chudn hai chiéu di duge sing 16 (khi 2D). Ngay tir 1980, cac transistor ¢6 do link dong cao da duge sin xudt va rat nbidu cfu tric di tinh thé di duge nghign cau. Nguoi ta diéu ché su pha tap bing cdch chéng nhiéu I6p chuyén tigp di tinh thé cé bé day rit mdnh (c& 80-100A°) xen ké déu din cdc vat ligu cd d6 rong ving cm lén d& duge pha tap (GaAIAs logi N) vi mot vat ligu tinh khiét c6 d6 rong viing cin hep (GaAs). Do su khée nhau vé i luc dién tir, cdc dign tir duge chuyén di th vat ligu "hdng rao dink" duoc pha tap sang vat ligu "giéng thé" khong duge pha tap. Su gidm bot tutong tic Cu-long giita cdc ion tap chal va dign tir fim cho ching c6 khoang céch khong gian én, do vay dién tir c6 46 linh dong, rat cao, nhat la & nhiét d6 thap, & dily su tuong tac han ché chi y€u do linh dong. Mot thuge tinh quan trong khéc ta ban chat hai chiéu cia sy chuyén doi cia dign tit. Dien ur & trong giéng thé rat hep, do vay ching dich chuyén chi y&u theo mat phang dao dién (khi 2D), : 3.6. TIEP XUC KIM LOAI - BAN DAN 3.6.1. Trutng hop ban din loai N Khi kim loai (KL) va bin dn (BD) ti¢p xiic v6i nhau, thi & bé mit tigp xtc cé mot hing Tho thé. Cau trile cita ce ving nang Iugng gin mat tiép xic phy thug vo cong thot dien tit cita KL qb, va cia BD q¢,. Trung hop BD loai N, dign tit chuyén doi tir BD sang KL kéo theo su bign dieu mie ning lung & ving chuyén tigp. Trong BD loai N xuiit hién mdr ving dign tich khong gian duong, edn trong kim loai tich ty mot Iép méng dign tit & gin mat Liep xc, Trong ving dign tich khong gian xudt hién dign trudng ng’n can su chuyéa dai cua dién tir ri khéi BD. Do vay xuat hign hang rio thé: QV b= Ibm - bs (eV) G5) a) Trang théi can bang b) Phan cuc thuan Hink 3.8, Tip xtc kim logi - bain dda loui N. 44Mat dg trang thai nang lugng & ving chuyén tiép vio c& 10cm”, do vay dign tich duge giit trong mét lép rat méng gan bé mat. Trong BD mat dé dono vio c& 10'6-10!8em™, vi thé ving dién tich khong gian chi nam & phia BD. Néu KL c6 thé dong so voi BD (phan cyc thudn) (hinh 3.5b) thi hing rio BD-KL giam mot lugng (qVq), trong khi hang rao KL-BD vn gitt nguyén (q,). Do vay dién ti sé phat xa tir KL sang BD va tao ra dong dign chay theo huéng tir KL sang BD. Vin = Vp- Vj (Vj>0) Néu KL 4m so véi BD (phan cyc ngugc), thi day cia ving din cia BD ha thap hon so v6i mde chan khong (NV). Vi thé hing rio thé sé ving cao mat ligng: Vie Va Yj (Yj) < 0) va ngan can khéng cho dong dién chay qua lép chuyén tiép. Nhu vay: Tiép xtic kim loai - bin din loai N v6i qb, > qd, tao nén mot chuyén tiép chinh lu. DS la nguyen tac hoat dong ela mot didt Schottky. Con néu qo a< qd, thi sé cho mét ehnyéi tgp 6m - mic; truéng hgp nay dién tit sé chuyén déng theo cd hai chiéu. 3.6.2. Tiép xtc kim loai ban dan loai P Trudng hop ny, dign tir cia KL chuyén ddi vio BD , 141 hop véi 15 trong co bin va Lim xudt hién mét ving dign tich khong gian Am (hinh 3.6b). Néu ndi KL vi cue dong con BD Adi véi cuc Am ctia mot nun thé ben ngodi, thi do cong cha ving ning lwong duge ting cao, do vay hing rho thé cing nang cao ngin khong cho dong dién chay qua Iép chuyén tiép. NEw KL c6 thé am so vi BD thi chiéu cao hang rao thé gidm xudng, do vay dién tir chuyén doi tir KL sang BD mot cdch dé dang, tao ra dong dién c6 gid trj 16n qua ving chuyén tiép. Nhu vay: =] S=] NV Xs. q w KN ———<¥I M Ec Nv qa - as a, 6 Egy Bo = As, oo ce ° Een Bp to eo 008 Ev foe a) b) Yoooo ev Hinh 3.6. Tid site kim loai ~ han din loai P. Tiép sic kim koui - han ddn véi qd, < q9, tao len mot chuyén tiép chinh Iu. D6 1 aguyén tic hoat dong cila didt Schottky loai P. Cdn trudiag hop dbm, > ab, thi tigp xiic kim loai- ban din loai P cho mot chuyén tiép dm - mic. 453.7, DIOT SCHOTTKY 3.7.1. Phan cuc thudn Gia sit hang rio thé KL-BD cé chiéu cao qV,; néng 46 tap chat cia BD-N 1a Ng; mat phing tiép xtic c6 dién tich S; ving dién tich khong gian khong cé cdc hat tai co ban. Cling nhu chuyén tiép PN, sy phan b6 thé trong ving dign tich khong gian thu duge bing cich gidi phutong trinh Poissson: aE Ng dg Sau Khi tich phén, véi diéu kign E(w) = 0 & day w 18 chiéu rong ving dign tich khong gin, ta thu duge: EG) = Hels 2) w Vi: Vy= ~ foods, nen: ee we [a] cam) 3.6) qNa V6i Vy = dm abe Sy tén tai cha ving dién tich khong gian gay ra dign dung tinh: 2 Gs s[ts oP) G2 6 Vi cdu tre KL-BD 6 trong trang thai can bing, nén s6 dign tir chuyén doi tir BD sang KL gn bing vdi 36 dign tit chuyén dai theo huéng nguge lai. Do vay dé tinh dng dién do sé hat tdi “nhdy” qua hang rho thé qd, sinh ra, ta 4p dung phuong phip tinh nhu cho trubng hop dong dien tit phat xa tir KL ra chan khong. Mat 46 dign tit trong KL c6 ning lvong ndim gitta B va E + dE durgc xc dinh bing hé thitc: dn = 2N,(6)f,(E)4E V6i f,(E) 1a mie Fermi vi N,(E) [a mat d6 trang thai nang luong E. Vi chi nhimg dién tired nang lugng lén hon Er + qq va c6 thanh phin van téc v, vudng, géc voi mat phing phan cach 1 c6 thé rdi khdi KL, nén dong dign duge biéu thi bing: l= fav,an Ertubm Vi E = p’/2m, vi p, = my, , nén sau khi tich phan ta thu duge dinh luat Richardson va Dushman /4/: Ip SRT’exp(-q6,/KT) (mA) (3.8) trong dé: R = (4nqm,K?)h° = 120A7K em" 1a hing s6 Richardson; 46St dién tich mat phang tiép xtc; - Mg: khdi luong cita dign tit trong chan khong. : A ole sale : Ve M M sc f fo “ 7 sc +t % [av oe \ ip | q Wi a) b) e) Hinh 3.7. Gin dé nang tong eta didt sehotthy: 44) chuta phan exe; by phan exe thudn; €) pha eure nguae. Trong trutong hyp diot Schottky, dién ti trong KL chuyén sang BD phai vugt qua hing Fao thé apy. Do vay bidu thiie etia dong phat xa tir KL sang BD gidng nut biéu thie (4.8) nhumng thay mg bing m, 1a kh6i lugng higu dung cia dién tir trong BD va , thay bing $, . khi 6 thu duce: 1, = SR” expC-qdvKT), (mA) G9 v6i R" = Rim/m,) la hang s6 Richardson di duge bién digu. 3.7.2. Diét Schottky phin cuc thudn Khi KL mang thé duong, BD-N mang thé 4m thi hang rho thé adi vdi dign tit di tir KL sang BD vin gid’ nguyén khéng thay déi, trong khi ti BD sang KL wr thanh: Vb =aV_- aj) (¥)> 0) Tir dé suy ra: Ty = SR'Texp(-a(by - V/KT) =lyexp(qVyKT) pws ° 40° g 2 Tap x 10 St 5 Es P S 10° & et qe 104 s 4 A 10” 22 | o 01 02 0, ole% vie vw) Hink 3.8. Dae truag 14) va dign dung tah C,. Vi vay dong dign thuan chay qua diét li : FV; lo exp tot ana) G.10) 47Ngoai ra cdn c6 dong cita cdc hat tdi Khong co ban 1a dong khuéch tin cita 16 trong, gidng nhu trong chuyén tiép PN. Ding nay duge.cho bai hé thifc : 1,= Ioplexp(qv/KT) - 1) D, ek 2 véi Jop= San? T Ng DOi v6i BD c6 E_> aby th) Top << Ig. én dong nay c6 thé Jogi trit, Trén thue té, diét Schottky c6 dac trung ICV): Ig =I,fexp qV/mKT - 1] GB.) Hé s6 m = 1,02 cho diét kim logi-silic; m = 1,04 voi diét kim I 3.7.3, Didt schottky phan cyc ngugc ‘Trong trubng hgp nay, KL cé thé am so vdi BD, do vay hing rio thé nang cao mot Iutgng 1a: a pV) (Vj<) ‘ Do day ving dign tich khong gian cling ting lén : ~ 26 v2 142 w=|— |. «v,-v;) (=) ; Dien dung tinh cing phy thu6c vio thé nguge : VIC? (Vi) = 2Vp - Vp AeNgS*) (3.12) cin dong nguac : Ip = sRrPenp(=Hee=20)) KT véi Ab= aon , trong dé Eq, a dién irudng ngoai téc dung. ne 48Chuong 4 TRANZITO LUGNG CUC 4.1.CAU TAO VA MOT SO DINH NGHIA CHUNG Tranzito ludng cyc di dugc phét minh vao nam 1947 do cdc nh’ khoa hoe ngubi My: John Bardeen, Walter Brattain va William Shockley trong phong thi nghiém cila hang Bell Telephon. NG6 duge ché tgo tit mot tinh thé bin din c6 ba mién pha tap khac nhau dé hinh thanh hai ving chuyén tip PN phan cuc nguge nhau. Nhu vay cé thé c6 hai logi tranzito : PNP hoc NPN. Ving ban din nim gitta goi la bazo kep gitta hai ving duce goi Ia colecto va emito (hinh 4.1) c c EBC Es B B NPN PNP E Tranzito NPN — Tranzito PNP: Hinh 4.4. Ki higu va edi go ciia cite tranzito NPN va PNP. Mién bazo rat méng (c@ im hoge nhd hon) va duge pha tap it; emite (E) pha tap manh, edn colecto (C) cfing pha tap it nhung cé thé tich Ién hon nhiéu so vai emito. Noi mét cach chinh xéc hon, mite dd pha tap cila colecta phy thuge vao chiic ning cba méi tranzito Hinh 4.2 cho thay cau trde thye t& ca mot tranzito NPN ten eo sé cong nghé Epitéexi vi sy phan bé cac hat tai trong céc ving khéc nhau. 4,2, HIEU UNG TRANZITO Tranzito boat dong binh thuéng khi ving chuyén tiép emito va bazo (E-B) phan cuc thuan, con ving chuyén tigp colecto va bazo (C-B) phan cyc nguge (hinh 4.2b). Cac dong dign la dong emito Ip . dong bazo Ip va dong colecta Ic. Céc tinh chat dinh tinh cita tranzito duge suy ra mot céch don gin tir hoat dong cia ving chuyén tiép PN, & day Veg c0 vai chyc von (trong trudng hgp nay < 0) Veg 66 vai von dén hang chyc von (truting hyp nay > 0) . Do vay hang rao thé & ving chuyén tiép E-B tuong déi thap va hep, trong khi & phfa C-B lai tuong déi cao va rong. Ving dién tich khong gian chd yéu an sau vao mign bazo va colecto vi ching dugc pha tap it. Do vay dong thuan c6 gid tri kha cao, sétruyén qua ving chuyén tiép E-B. Trung hgp nay dong dign chi chita dign tit Ij, vi emitg pha tap nhiéu hon bazo. Céc dign tir nay khuéch tan vao trong bazo pha tap loai P, nén ching tai hgp véi 16 trong, nhung vi * DO rong mién bazo rat nhd so v6 dO dai khuéch tan cita dign tir * C6 su chénh léch dién tir xudt phat tir emito khuéch tin sang colecto. Hon nifa trong ving chuyén tiép B-C c6 dién truéng manh “hit” dien tit vao colecta. n(cm’) 10" 10” B E B 10” Pp P=] Tepitaxio um Pp N Ne ic a) Cau tao Hinh 4.2, Cau tric thye va sy pian bo has tdi trong tranzito NPN. Phan 6n dign tir (98 -> 99,5%) khuéch tan tir emito qua ving chuyén ti¢p B-C sang colecto tgo nén dong dién Ly, (a 1a hé sé nh hon 1 mot ft). O ving chuyén tiép C-B cing cé dong nguye nhung gid ti rat nhd, do vay dong colecto 6 gid tri 1én. Dong dién chay trong tranzito con phai ké dén: * Dong I, do sit t4i hgp trong bazg ciia dign tir duoc phun tir emito sang. * Dong Khuéch tin 16 wong huéng t6i emito, dong nguyc -Ij, va Tiy do céc hat tai khong ca bin Itic dau 6 trong bazo va trong emita, nhting dong nay tao nen dong bio hoa I, cia ving ‘dc dong nguge -I;, va I, do cdc hat tai khong co ban cla bazo va colecto tao nén dong bao hoa I, cua ving chuyén tiép C-B. Do d6 ding bazo duge tinh bing: Tg =n + Lup = Ig Ly 6 gid tri cO 1% gid tri cia Ip, 50 TAxBOMRIRCH,Néu Vig tat nhd, thi Tq, Lup Va do vay I, S8.r4t nhd, c6 cing do 16n nhur dong nguoc. Néu ting nhiét do (khi Veg gitt khong déi nhung c6 gid tri nh) thi tat cd cc thinh phin cia Ip sé tang lén, trong 46 dong bao hda tang nhanh nba. Hinh 4.3. Sut phdw b6 dong dién trong tranzito NPN. Doi vi tranzito, ta luon ludn e6 he thie lien he gilta cic dong dign: Ip=lo+y 4.3. CAC GAN DUNG THUC NGHIEM 4.3.1, He sé Khuéch dai dong Nhu 4 phan tich & tren, tranzito 1 mot linh kign ¢6 3 cye, trong thue t ¢6 3 céch mac khac nhau: bazo chung, emitg chung va colecto chung: Su dé bazo chung (hink 4.4): Te k eg | nlp [Gite Ip] B = + Veo Vec Te Ie I I E+ + 5-0 Sore Tg Ip -b aoe B 8 Hinh 4.4. 0 dd baze chung Trong so d6 nay ta cé hé thite: To = alle + lem (1) trong dé: * ala he so khuéch dai dong emita tinh. N6 c6 thé dat ti gid tri 0,995. 51Tego 18 dong bé, t6n tai Khi Ip = 0; trong gn ding bic nhdt, né tring voi dong nguac |, ciia ving chuyén tiép C-B. Dong Ig lin he voi higu thé Veg bing he thite gan gidng v6i h¢ thiic Hign hé gitta dong va thé trong ving chuyén tigp PN phan cuc thuan. Trong so dé baze chung, hé s6 khuéch dai thé c6 gid tri Ién va tang theo dign (9 tai Ru; trong khi hé sé khuéch dai dng luon luon bé hon I va cing thay ddi theo dién tré tai. He s6 khuéch dai cong suat dat gid tr] cue dai khi dién tré ti bing dign tre I6i ra clia tranzito (c6 0,2 - 2MQ). Dien tré [6i vao gidm khi dong colecto tang, vé gid tri n6 thay ddi trong khodng tir 302 dén 500. Q. le Ie So dé emito chung think 4.5): — ~ Hint 45. Su dé emita clung Trong so 46 nay ta c6: Céc dai lugng 16i vao 18 Ip va Vpe, cn dong va thé Idi ra 1a I, vA Vog. Ta biéu dién I, theo Ig: , Ig = & (Ie + Ip) + Teno Tit dé tim duge: lo=yylety “lego =Bla + Ice0 (4.2) 1l-a la hg 50 khuéch dai doug. NO o6 thé dat gid tri > 200 con: Tego = (8+ Hlepo 43) So dé emit chung cé hé s6 khuéch dai thé lun Iuon 1én va phy thudc vao din tré tai R,, Ngudi ta thay ring hé s6 khuéch dai thé cla ting khuéch dai emito chung tang vdi sy ting cia dign tr tai, H@ sO khuéch dai dong cling cao va phu thudc vao 116 14i, ahung ngugc Voi he 5286 Khudch dai thé, he s6 khuéch dai dong lai tang cao khi din tré tai giém xuéing. RO ring [A hg sé khuéch dai cOng sudt bing tich cia hé s6 khuéch dai dong vi hé s6 khuéch dai thé cling c6 gid trj rat cao va trong trudng hgp nay, nd cting dat gid tr] cue dai khi tré tdi Ry 6 gid tri bing dién tré (si ra cla tranzito. Dign tré 16i ra ciia tranzito trong so dé emito chung c6 gid tr} nim trong khodng tir 100K dén 1M. Dién tra nay sé gidm khi dong Ic tang. Se dé colecto chung: So dé nay chi duge dp dung cho muc dich dac biét, khong c6 tinh khuéch dai. So dé nay duge sit dung dé tgo ra céc mach dign c6 te khdng I6i ra c6 gid tri nhé vi tin higu 161 ra cong pha voi tin hieu 161 vao. Trong so dé nay, hé s6 khuéch dai thé gin bang 1, trong khi hé s6 khuéch dai dong lai lén (ti 100-600) va thay d6i theo tré tdi. Hé sO khuéch dai cong sudt gén bang dong. Dign tr’ 16i vao gidm khi dong colecto Ic tang; vé gid tri c6 thé dat ti 100 K. Day 1a so dé duy nhat c6 dign tré 15: vao rat Idn so vai dign tra 16i ra. Dign w6 16i ra gidm khi dong I, ting vA tang véi sy ting cila dign tré 16i vio. N6i chung né thay déi trong khodng tir 509 dén 5002. Hinh 4.6. 14.so dé mée colecta chung. Hink 4.6. So dé colecta chung 4.3.2. Cée thong sé lai ‘Tranzito cé thé coi nhu mot ttt cuc. Phuong trinh cita tt cuc 1A: Ve = My imbe + BiamVs T.= hope + ham Vs (4.4) Chi sd “e” ky higu céc dai Igng 16i vio, chi s6 “s” dac trung cho céc dai trong I6i ra. Con chi s6“m” dai din cho b, e hodc ¢ tity thuge loai so dé mic: Bazo chung, emito chung ho§c colect chung. So dé rong duong ciia ut cue tranzito ta: Vv Hihzoen Hin 4.7. So dé wong ditang cia tt cue tranzito. Y¥ nghia ciia cdc thong s6 tai nay duge suy ra ngay tir dic tung tinh tai mgt diém “nghi” ten hinh 4. la dién wa khang 16: vio; 53ho§c: tgo= AV, /AL, tren dic trung I6i vao tai P. hy, = [4s 1a he so khuéch dai dong (« hodc B); Ale hyo hoae tg} = Al, /AL, trén dudng dic trung truyén dong tai P. Abe. 18) Hink 4.8. Cae dite trung tinh ciia trauzito cho so dé emita chung Néu I, = const AY, hy =| la hé s6 “dp tng the”, ” [S| -o Pung ne ode: , tg6 = AV, /AI, wen dic trung truyén thé, tai diém P. z\E * | 1 dg dan 1di ra. Neat hoae: tgt = Al, /AV, tren dac tung 16i ra tai 4.3.3. Ce ché 49 hoat dng dic biét Trong céc mach logic, ching han nhu DTL, TTL, hoac trong cdc Joai vi mach sé..., tranzito 1 nhimg linh kién chi dao. © day, ching hoat dong chi yéu & hai ché do: Che’ do bdo héa (saturation) va ché dé khéa (block); hay con goi tranzito trong trang thai din (ON) hogc déng (OFF). 4.3.3.1. Ché dé bao hoa (ON) ‘Trong ch€ do nay, cd hai chuyén tip E-B va B-C déw phdu cue thgn va thé E/B 16n hon thé B/C. Nhu vay ta c6: 34Var>Voz—— Vac>0; o> Tg> Osuy rag Ie £6 nghia Ia dong bazo Ip 66 gid tri twomg déi 16n. Hinh 4.9. cho thay chidu cia céc thé phan eye va ella cde dong dign chay qua tranzito cing nhu su phan b6 hat tai trong baza d ché do nay. Ic c : Voe20 B » E Hink 4.9. Thé phan cite va su phéit b6 hat tai trong che d6 bito hoa: a The phan eye va céc dong dign: b) Su phan bd cic hat tdi trong baz0; Trong ché 46 bio hoa, thi dong bazo Ip ting cao, nhimg dong colecto I¢ lai hau nhu khong déi. Thyc vay, néu tang thé phan cue thuan cia ca hai chuyén tiép, thi néng d6 hat tai chuyén tis profin “1” sang profin "2". Gia sit cd hai profin cé ciing do déic, do vay khong c6 sue tang dong dign tir boi vi dong khuéch tn chi phy thude dQ déc ciia profin hgt tai: trong khi dong bazo lai tang vi sy tdi hgp trong bazo tang len do su tang clia dign tich da dugc tich ty, 4.3.3.2. Ché d6 khéa (OFF) ‘Trong ché do nay cd hai chuyén tiép EB va CB déu phan cue nguge. Tite 1a: Veg <0: Veg > Ova Veg > Vez —~» Vac <0. Nhu vay ca hai chuyén tip déu hit dign tis cla bazo. Do vay ching hau nhu khong con cac hat tdi dign khong cv bin. Vi thé, mat d9 cdc het tdi dién khong co bin trong bazo van git nguyén khong thay déi. Cac dong dién I¢ va Ip 1A cdc dong dd cla cde chuyén tiép EB va BC phan cyc nguge, nhu trong hinh 4.10. Io c Ig Voge > rte} | Vaes0 E Ie a) Hith 4.10. Thé phan cue va sie phdn b5 hat tdi tromg ché dé kiéa 4) Dong va the phiin exc troug che’ dp khiba; b) Suc phan bo hat tai rang baze. 5S4.4. NGHIEN CUU DONG DIEN TRONG CHE DO TINH-_PHUONG TRINH EBERS VA MOLL 4.4.1. So d6 baze chung: ‘Truéc tién ta thita nhan ddng emito lien he véi thé Veq bing dong thuan: aVep Ip =-Ty -1 . E sxe KT } 45) ‘Trong d6 I,, 1a dong bao hoa cha ving chuyén tiép E-B, & day Ven < 0. Khi d6 dong colecto 1a: Ie =-alg 0,6V dé md ving chuyén tiép B-E déi v6i tinh thé silic. Khi Vpe ting, dé rong ving chuyén tiép E-B gidm xudng nén dign dung tang. ~ ©, Vag khéa viing chuyén tip E-B, vi th€ tranzito déng, do vay* Ving chuyén tiép E-B tré nén dan, Ic sé ting dan d€n Ices = Veo/Re: thoi gian ting mot Iugng ty (tic 18 tranzito ma). Ig Ro [| Re “f » | Hinh 4.24. Che do chuyén mach ea tranzivo { phy thuge vio thdi gian truyén cdc hat tdi ti colecto qua bazo va c6 thé lién quan voi dic trung tén 6 va v6i hé so khuéch dai dong B thay déi khi diém hoat dong chuyén vao ving II cia dac trung I6i ra. Trong khoang thdi gian ndy, Vee gidm, do rong cia bazo tang (vi do rong cua ving chuyén ti€p C-B gidm), diéu d6 kéo theo sy tang thdi gian tuyén (46 12 hign tugng Early), Khi xung duong ngit, Io duy tri mot thoi gian t, (thoi gian lu tra), dong bazo bi déi chiéu va gitr mot gid tri no 46 (trong thdi gian t,), vi dién Ud cia tranzito ahd so v6i dign tro cla mach bazo. 1, tong tng voi khodng thdi gian cin thiet dé cdc hat tdi tich tri trong bazo va colecto bién mat (chi yéu do ti hop) dé tré lai mat do twong tng vai sy hoat dong binh thudng (6 diém 'M). Sur du thita cdc hat ti nay 1a két qua cia sy bio hoa ving chuyén tiép C-B md Vi Tp >Ic/Boc (Boc la gid trj cia B,, 6 gidi han bao hoa, tai M). Céc hat tai du bj tan di va tranzito bj khéa (1, > 0, dign tr6 161 vao tr nén rat 1én), diém hoat dong cia tranzito chay sang phai vio mién I cia die trung I6i ra, Qué trinh nay cho phép xée dinh thai gian giam ty. ‘Ta c6 thé tim duge biéu thic ciia t,, Va ty mot céch gin ding nhu sau: cila xung di vao @ va B khong phy thugc sy phan cue. Do vay, ta c6 thé viet: ia sir tin s6 nhip LeovACHLA 65trong 46: 80 = hae) & tin 56 thap eww By > Bo & dong khong ddi Vithé, & phia suin len cia xung ta tim duge: ic(t) =Boigf—exp—w e] theo djnh nghia cia t,, ta sé thu duge: 1~—!cs_ 1 1089 B ty) = log B BF) Ste 1089 hodn toan tuong ty, d6i v6i sudn xung xudng cha dong ta cling 6: (4.28) ig(t)= (Ics + Boip exp(-eBt) — Bola va tirdé suy ra: (4,29) 4.8. CAC LOAI TRANZITO DAC BIET 4.8.1. Tranzito cong suat ‘Tranzito cong suat ding dé khugch dai cong suat, 6 thé chil thé C-B kha cao va tigu tin mot lugng ohiet ning 1én dé trénh bi dét néng qué mic. Nhi¢t do hoat dong cao alu vay kéo theo hai hign wrong: * Bazo tro nén dan ditn manh lam néi lién colecta vdi emita, do vay higu tng wanzito bi ngting lai. * Xuat hign sy danh thing thic 1d vi nhiét: Thé C-E gidm dot ngot, dong tang len thée 10 (hin 4.22a) Dé tranh nbing diéu bat loi tren, cén phai gitt cho mat do ddng phun tir emito khong Son va déng déu, muén vay phai ting kich thude bé mat tiép xiic E-B bing cach lam ching dudi dang cai rang luge (hinh 4.22b). Cau tnic nay con cho phép thyc hién mot dign trd ngin & nhénh emito (phun mot day kim loai manh). Dign w nay han ché duge sir gidm thé Vpp va dong Ig do vay trénh duge sum nhiét dja phuong. Nguyen tic chung ld: Céc hat tdi duge gia we béi dign tru’ng manh cia ving dign tich khéng gian cia chuyén tiép BC, va cham véi mang tinh thé bin din truyén dong nang cia ching cho mang kim mang tinh thé néng lén. Nhiét nang ta ra trong mang tinh thé (IcVigc) phai duge chuyén ra khdi ving chuyén tiép dé nhiét do cua né luon duge duy ui c6 dinh. Hinh 4.16a 65 SRKGOVMACHLEminh hoa phwong phép ta nhiét nay: Nhiét d9 ta ra trong viing chuyén tiép (7) duge truyén ra dé (T,), truyén qua vat ligu dé ra vd (Toap), & day dat cdnh toa nhigt (radiactor). of Ent) BP) E(N*) Vee ag tee? a) b) Hinh 4.22, Cau tgo cita tranzito cong sudt. TSI P Rygkk DET, Hinh 4.23. Din trd mhigt cita tranzito cong sudt. Hinh 4.23. mo ta toan bé dién tré nhiét. Dign tro nay nhan duge nhv dinh luat Fourier: Téc dO truyén nhiét P ti 1¢ v6i su chénh léch nhiét 46: P= Ky Zs Vi Ky, 1 46 dan nhiét (W,,/°C), S 1a dién tich bé mat truyén nhiét Trong ché do vinh citu: P (4.30) trong dé: L 1a chiéu dai dudng truyén nhi¢t. AT Ia hiéu nhiét 46 gitta nguén va diém dén. He thie trén dugc gidi thich tuong ty nhu dinh luat Ohm: Ts- Ty =Ryy-P CO) (4.31) Vi Ts 18 nhigt d9 ciia nguén; 67T; 1a nhiét 49 cia noi dén; Ry, = Ls Ia ign tres nhiét cba dong nhiét. Kus Trong trudng hgp tranzito cong sudt ta c6: T~ Tw = Ra Poe véi: Run = Rinsi + Rae + Rix Dien tro nhigt téng cong vao c6 tir 10” + 10° °C/W, néu ding cénh ta nhiet c6 thé gid duye c& 10°C/W. Nhidt d6 hoat dong cyc dai trong ving hoat dng dugc xéc dinh tir biéu thc: -T, imax 7 kk (4.32) Ry Ver en 48.2. Tranzito situ cao tan Trong céc tranzito nay, thong s6 chil yéu nbat la tin s6 cat fy (tan s6 ma 6 dy 8 = 0). DE thn duge tn s6 hoat dong siéu cao thi phdi: * Tao duge ding emito cao nhung bé mat emito lai nhd dé gidm dién dung cia lop chuyén tiép emito. Do vay mat do dong emito cd 1000A/em”, * DO rong ving bazo cing nhé carg t6t (c& phan nghin A‘), (hinh 4.15c). ¥ Viee gidm dign 1rd colecto duge thyc hign bing cach tgo mot I6p epitacxi loai N tren dé IN** sao cho chiéu day cha né chifa toin b9 sut thé C-B. 68Chuong 5 CAC LINH KIEN NHIEU CHUYEN TIEP P-N 5.1. DIOT P-N-P-N Diot P-N-P-N li mot cau tric gdm 4 6p ban din pha tap xen ké nhau P va N. Chan ndi véi bin din (BD) logi P goi 1A ant (anode), chan kia duge goi 1A catét (cathode) néi voi BD loai N (hinh 5.1). b) °) Hinh 5.1. Ditt P-N-P-N. 4) edu rao: b) ky higu; c) dgc trang HV). Dac trumg cila didt nay biéu dién trén hinh (5.1). Néu andt c6 thé ducmg so véi catét thi dac trung I(V) chi ra 4 doan phan biet: * Khi thé con thdp, céc ving chuyén tiép J,, va J, phan cyc thuan, cn J, phan cue nguoc Lic ny linh kign hoat dong nhu mét didt phan cue ngugc. Phén nay cba dac trung kéo dai dén tan diém b va duge goi la mién cé rd khdng cao hodc mién “OFF”. * Khi thé téc dung dat dén Vag, duge goi la thé mdi, dong bat dau tang mot it (doan be). * Sau dé thé gidm dot ngOt trong khi dong tang khong déng ké (doan cd). * Tigp sau nifa la dong tang dot ngot trong khi the’ 6 hai du cia linh kién chi khoang 0,7V. Dac tung tuong ty nhu cia diot phan cyc thuan (doan de); ngudi ta n6i Linh kign & trong trang thai dain “ON” hoée tré khdng thap. Dang Ty va thé Ty dutge goi 1a dang va thé’ duy i. Néu dong dign duge gidm xudng dudi ddng duy ti thi linh kien lai chuyén vé trang thai déng “OFF”. Néu linh kign nay bi phan cuc ngugc (catot duong so vdi andt), thi ddng qua linh kién van rdt nhé khi thé téc dung nhd hon thé dinh thing Vz: téng thé dénh thing cba hai ving chuyén tiép J, va Js (Vz = Vzy + Vz2). 69Dé hiéu hoat d6ng cia linh kién nay, ta tudng twong chia linh kign nay thanh hai phdn twong ty ah hai PrN: Pz Rr tranzito N)P)N2 va P|N,P2 ghép véi nhau nhw trong hink 1 eo E 5.2. Theo chiéu dong dién chay trong cdc tranzito, ta cé: 1 ict Tor = ~atq + Ieoit er = Gala + Teor tb Dinh luge bao toan dong tac dung vio T, cho ta: Ny Py Np Th Tat Ter Tee = 0 Hinh 5.2. So 45 wong duong ciia didt phdi hop v6i hai he théc tren day ta duge: NPN. I, =o (ma) . 6. T= a, -a trong d6 dong leg = Igo - Ico! dong bao hoa cha chuyén tiép J. Nhv da biét, trong mt wanzito, khi thé colecta tang thi hé sé khuéch dai dong cting ring theo; do vay néu thé & hai ddu ca cu tric P-N-P-N tang thi tng a, + a din ti don vi. Khi ching dat t6i I thi dng I, dot ngot ting lén dén mot gid tri gidi han nh dien wr han che & mach ngoai. D6 1a trang thai din “ON”. Sy tang cila dng 1, lam ting gid trj cla a. va hg thite (5-1) chi ra ring 1,¢6 thé bj nghjch dao. Tuy nhién, wu khi chuyén tiép J, dan thi ca hai tranzito 6 trong trang thai bio hoa va duy wri digu kign @ + a = 1, do vay trang théi ON gitt én dinh. ‘Thé & hai dau cia linh kién 1a téng dai s6 cia ba thé thuan eila cdc ving chuyén tiép, vao cé 1,0 V vi th€ & hai dau cia Jp nguge dau véi thé cia J, va Jy. Dé duy tri trang thai ON 1rd khdng thdp, phdi tha man diéu kign a, + a = 1; diéu nay duge duy tri cho dén gid tri Iy (dng duy tri). Néu dong qua linh kién giém xudng dudi dong duy wi, thi diot P-N-P-N chuyén sang trang thai “OFF” uré khang cao. Vige chuyén tir trang théi dan sang trang théi dng luon lun duge thyc hign khi gid tri dong qua linh kign nho hon dang duy tri duge x4c dinh bing két cu cia linh kign. Dic trung I(V) cia cau tric P-N-P-N 06 mot doan tré vi phan am: dong tang khi thé lai gidm manh. 5.2. THYRISTOR 5.2.1. Mé ta va cau tao ‘Thyristor 14 chuyén mach c6 digu khién. Khi chiu mot thé ngugc, né sé déng véi diéu kign 1a thé nay phai vugt qué mot gid ti xéc dinh ndo 46; edn khi phan cyc thugn n6 cfing déng, nhumg néu c6 mot xung ddng tée dong vao cye digu khién goi la cx/a (gate), thi nd sé din; ngudi ta ndi né da duge méi. N6 Iudn ludn durge mai chimg nao ma dong qua né Idn hon gid tri ciia dong duy tri. ‘Vé phuong dién ly thuyét cé hai loai thyristor: * ‘Thyristor loa gan andt. * Thyristor loai P hodc cia tir catot, trong dé cita duge cay trén ving p gan catot. Trén thye t€ chi c6 cau tric duge chi ra tén hinh (5.3). N hodc véi cita tir anét, trong dé cc diéu khién duge cdy trén ving N 70Treaty K Hiwh 8.3. Cd 190 va &§ higu ctia thyristor. Hign nay c6 rat nhiéu loai thyristor v6i dong trai tir vai miliampe 16i 5 - 6000A; c6 thé chiu duge thé dén 10*V. Do vay kich thude cid ching ciing nhur su pha tap trong bén ving sific cling rat khéc nhau. Hinh dudi day cho biét sy phan bS néng dO tap chat trong bén ving silic dé: ‘ni (ndng do) Hink S.4. Sut phan bd néng ag tap chat wroug ede mién ciia thyristor * Ving catot ny 1A silic loai N rat manh va pha tap tat cao (cd 200 ppm). Vi vay ving chuyén tiép J, chi chju duge thé nguge nhé vA ¢6 dong nguge cao. + Vung digu khién, ban din loai P, cing manb va pha tap trung binh (vai ppm). * Viing “then chét” n,, bin din loai N, diy nhat va pha tap it nhat trong s0 4 vung cila thyristor (c& vai 10“ ppm). Chiéu day cia ving nay vao cd 10 dén 200 wm: pha tap cla ving nay déng vai u chit yéu Wong dung lugng cia thyristor dé chiu duge thé ngvgc Ién va dong nguge nhé- * Ving andt cé d6 day vira phai vi cé sy chénh léch aéng do tap chat rat lon tir J, dén ché tigp xtic véi kim logi 6 dé silic pha tap manh. aT§.2.2. Dac trung tinh cua thyristor Coi thyristor nhu hai tranzito mic theo su dé tuong duong én hinh 5.5. Ti se d6 dé ta thay dong colects cia T, eng chinh 18 dong bazo cia T,; vi vay: Tp = 41) ~ Icon = Ica = alk + leor nhung: Ik =Iq +1g nén thu dug: alg t1eo1 +h 1, = 22ic +Ico1 + loo2 Al 52 1 (@, +a) (ma) OD He thdc tren mo t& dic trung tinh ca thyristor dén thé méi voi dong théip; c6 nghia I thyristor trong trang thdi OFF. Téc dung cia dong diéu khién Ig biéu dign trén hinh 5.5: Khi dong nay ting thi dong duy tri cing tang, cdn thé mdi lai gidm. an Hink 5.5, Sordé wong duong cites thyristor, © trang thdi déng, thyristor c6 dign tr cao, cdn khi dan Igi e6 dign ud nho. Tinh chat nay cho phép thyristor cd thé chiu duge dong dien Ién, Cac thong s6 dign quan tong 1A thé nguding & trang thdi dong V pwr va thé ngwoe Vea. Dién trd tng cong cla mach ngoai han ché dong sau khi khoi phat t6i mot gid tr) khong bao Bid vuot qua mot gid tri cuc dai da duge xéc dinh (rude. b> Hith 5.6. Cée diic tring dign ctia thyristor: a) dk hatdug cia ding cia; 6) dae wing HV) 2Hinh 5.6b minh hoa mot s6 thong s6: *Iq : Dong duy tri cye tiéw, e6 nghia 1A néu dong anor bé hon dong nay thi thyristor sé bj thao méi. * Vago! Thé quay tré lai hoac a thé méi khi chita cé6 tin higu diéu khién 6 cit G. *h, : Dong méi tong tng véi thé méi Vao, *Ta : Dong & trang thai déng. * Vp : Thé' tha trong ing voi dong Tp & trang thai dan. 5.2.3..Dac trung dong cia thyristor a) Téc dong cia thé’ (dV{dt): Néu thyristor chiu téc dung mot xung rang cura thé c6 suén déc hon van t6c ti han ting cia thé & trang théi déng cha no (4V/dt) thi thyristor s€ duge moi tude khi thé quay ngugc trd lai Vag con chuta dat t6i. Thuc vay: Dong (I=CdV/dt) twong ting Voi dien tich cita dign dung cia ving chuyén tigp J, ¢6 thé dat 161 dong méi I, Digu kin khdi phat nay phy thuge mot phdn vio tr khang cia mach diéu khién & cita G, mat khde phy thudc vio dign lich cla thyristor. Diéu bt Igi néu nhu cla khong duge of dinh vé thé so vdi catot. Néu cia duge phan cue am thi dV/dt t6i han o6 thé 16n hon gia trj thyc cita thyristor. b) Tac dung vé dong dlidt Van t6e ving ciia dong trong moi thyristor bj han ché nhiéu ampe/micd giay (dI/dt) 1A van (6c Idi han tang ciia dong 6 trang thai din. Thuc vay, hien tugng moi xdy ra bat dau tir cita diéu khién va duoc truyén di véi van tc xdc dinh. Néu van t6c tang qué lon sé gay ra su d6t ung dinh xi 1am hu hai linh kign. Do vay méi thyristor déu duge chi din méi bing mot xung dong v6i bién dé, sun tang va chiéu dai x4c djnh. Cac didu may dac biét bat budc tong cdc mach dong khong ddi. ¢) Théi gian méi boi cita diéu khién tq Khi mot xung dong téc dung vao cita diéu khién, thi ddng qua thyristor khong duge dép Gng ngay ma cfin mot thdi gian tré ndo 46 goi 1a thdi gian mdi bai cla diéu khiéa. N6 phu thudc rat manh vao bién do cia dong cita va duge phan thanh hai phan: * Thoi gian dink han ty Dé la khoang thdi gian phan chia su ting ciia dong cita va thoi diém ma & day higu thé anOt va catOt dat 90% gid tri ban dau cita né, . * Thoi gian gidm 1, ‘D6 la khoding thdi gian ma trong d6 higu thé anot va catot chuyén tir 90% xudng 10% gid tri clia n6. DE gidm thdi gian mdi béi cita, ngudi ta ding cau nic véi céc ving P, va N; mong. Tuy mhien, trong trutg hop nay thé nguge ngugng View 18 nén nbd hon, chink vi ly do nay ma cdc thyristor cong suat thudng c6 thoi gian méi lén, od) Thai gian théo méi ty ‘Thi gian théo méi do sy chuy€n mach 1a khodng théi gian cdn thiet dé thyristor Igy lai dign dung khéa theo chiéu thugn sau khi c6 dong hudng tir anot sang caiot. Dé thu duoc thdi gian théo méi bé, cin phi gidm thdi gian sng cilia céc hat tai doe phun vao mién N, bang céch dua vao céc tam téi hgp trong qué tinh sn xudt. Phuong phép nay sweorMacHA Bcfing tang dong dd nhu vay 1am gidm thé hi phyc va (ang th€ thai. Trong thye té, thai gian thdo méi phy thuge vio: * Dong anot catét & thai diém trude khi chuyén mach. * dip/dt am khi chuyén mach. * Nhiet do cia chuyén tigp J, khi chuyén mach. * Su phan cyc cia cia G. + dV/dt duong téc dung vao andt sau khi chuyén mach. * Thé agugc Vp duoc tac dung sau chuyén mach. * Cau tric ca mach diéu khién cia ctta (Ig va dlg/dt). 5.3. CAC LINH KIEN CUNG HO VGI THYRISTOR 5.3.1, Photo thyristor (LAS: Light Activated Thyristor) Trong cac linh kign nay, sy méi duge thyc hién bing mot dong anh sing din ti nhés mot sgi quang hoc. Chim séng sinh ra cdc cdp dién tif - 16 trOng trong thé tich cia tinh thé dat-dudi ciza s6 chiéu sdng. Dé khdi phic (mdi), cin co cudng do sang cyc tigu; cudng do sing nay giam khi thé anot tang. Mat khéc, bude song cia dnh sing t6i cling inh hudng téi sy khéi phat. Soi quang | Ctra s6 quang hoc kK No Po — Py A Hinh 8.7. Cain yo ciia phoie thyristor Vai ud cha yéu trong sy khdi phat 14 sy xudt hign cde cap dign ti - 18 tong trong ving dign tich Khong gian ea Jy: Khi d6 cdc dign tir va 18 trong bi phan tich hdu nhu tiie thai boi trudng va chuyén déi vé phia N, va Pj. Nhu vay, 16 tréng duge phun vao mién diéu khién P, dong vai tro dong Ig trong thyristor. . Photo thyristor c6 ich gi rat 1én khi ngudsi ta mudn nghién cu sy céch dién hon toan gilfa mgch dién diéu khién va mach chinh. Ching duge sir dung trong cic mach kim tra quang dign, diéu khién va chuyén mach bang quang hc ... 5.3.2. DIAC (didt chuyén mach A-C) D6 [a mo tinh kien d6i xing theo kich thue hinh hoc hodc theo su pha tap gida ede mién khie nhau. Didt nay la hai chiéu nén o6 thé c6 trang thdi ON hole OFF khi thé anot am hoac duong. Vi vay. né c6 thé ding cho dong dign xoay chiéu. C6 hai loai DIAC cé dac trumg dé: ~ Loai 1: Gém 3 16p ban din NPN (hai lép chuyén tiép P-N), trong d6 hai ving N duge pha tap gidng mhau va khong co Uép xtic baze. Mac di th€ phan cyc 1 duong hay am, thi mot 74I6p chuyén tiép phan cyc thuan, cdn Iép kia phan cuc ngugc, do dé cé dong bao hda chay qua, chimg nao ma hién tugng dénh thing théc 10 chwa xdy. ra. Hign tugng dinh thing thae 1a xuat hien khi thé dat dén gid ti Vawy. Itic nay dong ting len dot ngot. — Loai didt shockley ludng hudng Diot nay d6i xting mot cdch tuyet doi: Trang thai ON ‘Trang thai OFF Trang thai OFF as Trang thai ON Hinh $.8. Cau tao va dac trung ctia didt Shockey. 5.4. TRIAC (TRIOT CHUYEN MACH A-C) 5.4.1. Cau tao ‘D6 1A mot thyristor ludng hung, vi thé n6 biéu hign mot trang thdi OFF hoae ON khi cd thé duong hoac am téc dyng vao ano Ba Ba 3 Nam G Pp, ae 9 Ny By —Va0 Hy PB, 2 No Ns N Pp Vr= Veo" Vi 8 GS = Veo- Ver 9 Br Hink 5.9. Cau igo va dae trung eiia triae D6 la linh kien c6 6 l6p ban dan, vi vay ¢6 5 16p chuyén tiép P-N ciing véi 3 chuyén tip n mach. N6 c6 hai cue By By tat hai lép P, va Ny. Mite do pha tap trong cdc ving P\N,P,N3 hoan toan gidng nhu trong thyristor. Dign tré ciia ving P, gita lp chuyén di 15tip NoP3 va cita dong vai tro chit dgo trong su khdi phat cla triac. Céc cyc B va By va clta G £6 thé chiu thé cho phép c6 dinh huéng phan cyc cia mdi 6p chuyén tiép. 5.4.2. Hoat dong Hoat dong ciia linh kign nay kh phic tap. Tuy nhién, sy phan tich 4 kiéu khdi dong dudi day cho phép suy ra cdc dc trung co bin cita linh kién nay. 1) Néu tic dung mot thé vio hai cuc B, va B sao cho By duung so vi By; khi dé N;P, va NP, bi phan cuc nguge. Néu tic dung mt xung ddng duong vio cifa G, thi dong dien tir sé chuyén tir By (6i G, nhimg phan Ién lai chay vao ving Ny qua lép chuyén tip P)N,. Mat khéc, chuyén tiép N,P; phan cuc thuan, nén 16 w6ng sé chuyén ty P, sang No: Nhu vay, dién trudng diéu khién tong N sé bién mat nhanh chéng: téc dung tich ly. N6 tao nén mot dong trong P,N;P2N; va c6 tinh chat nhu moe thyristor. Kiéu hoat dong nay rat hay duoc sit dung. 2) Néu B, > 0 (so vi B,) va téc dung vao G mot xung am, thi N;P, phan cye thudn, néu ign tit duge phun tN; sang P2, ving N; khong tham gia hoat dong. Tranzito NsPN, (Ny: colecto) khdi phat thyristor P)N,P|Ng, vi dong chay ti By sang G, d.d.p gida N, vi G din t6i 0, do vay N, 6 thé thip hon Bp. Khi G dit am, thi c6 dong chay tir P, sang N, va 16 trong khuéch tan t6i Py. Mot dong Ion chuyén qua chuyén tiép P,N, toi andt Ny cla thyristor. 3) B > O thi chuyén tiep N,P, va N\P, phan cue ngugc. Néu c6 xung am vao G (so véi B,), thi c6 dong chay giita B, va G, Thyristor P}N,P;N2 s€ duge khéi phat. Thyc vay, dién ti phat ti Na sé khuéch tn sang N,, lam khai thong thyristor P)N2P,N3. Khi d6 sy luu thong dong trong P, kéo theo sut thé lam déo nguge thé phan cye cua chuyén tiép N>P, lam khéi phat thyristor N,P,N2P). . 4) Néu B, < 0 (so vét B,) va xung duong (so véi B,) tfc dng vao G, thi chuyén ti¢p NaP, phan cyc ngugc, ving N, khong tham gia hoat dong. Khi-chua ¢é xung téc dung, chuyén ti¢p NP, phan cye nguyc. Khi c6 xung téc dung vao G, thi dign tir phat xq tit Na huéng t6i P, va khuéch tan vio N, qua chuyén tiép N,P2 dang 6 trang théi fin. Syt thé trong cdc lép khéc nhau lam xuat hién higu tng thyristor trong cau triic PN,P,N,. 5.4.3. Ung dung cia cac linh kién loai nay Céc linh kign loai nay duge ing dung rit rong r8i trong dign wir va dign tir ky thuat. Sau day 18 mot sO img dung thutng gap: * Kiém tra va diéu khién van t6c cha moto dién. * Kiém tra va diéu khién nhiet do. * Kiém tra va digu khién cudng 46 chigu sng. * Lam cée mach quét trong man hinh ti 5.5. TRANZITO MOT LOP CHUYEN TIEP P-N Tranzito m9t 1ép chuyén tiép (unijunction tranzito UST) Ia mot linh kin cé ba cue: dic trung dign cia né cing ho véi thyristor. N6 c6 nhimg wu diém sau day: * Thé khdi phat én dinh. * Dong dinh c6 gia tri rét thap. * Dac trung c6 dogn tré am. * C6 kha nang cung céip mot xung dong Ion. 765.5.1, Cau tao va cach thite hoat dong Hinh 5.10 minh hoa cu tao cOa tranzito mot lp chuyén tiép duoc tao thanh ahd mot chuyén tip emite (bin din loai P) -bazo(ban dan loai N )va hai tip xdc Ommic By va By * Neu Ie = 0 (mach emito hd), dign trd ciia thanh bén din c6 hang nghin om, vi vay dong Ip2 rat no. * Khi téc dong thé Vag gidta B, vA By. Néu emit dugc ndi true tiép voi B,, thi chuyén Lip E/B, phan cuc ngugc, vi vay khi thé gida B, va By tng tir0 én Vgp thi cing chi ed dong rat nhd di qua mach. Ba Hin 8.10. Cav tao ciia tranzito mpt chuyén tig. * Bay gid ta tang thé Vg, va theo dai thé nguye cia chuyén tidp, thay thé nguge gidm tir ta dén diém Q. tai dé dong bing khong (1g = 0), nén 1p chuyén ti¢p dugc phan eve thugn va dong thudn cia emito xudt hign. Veg chay qua gid trj cye dai (thé dinh V,), sau d6 gid xudng thé diy (V,). G thé dinh, dong Ig tang, trong khi thé Vpp, lai gidm dén day. Dien tra dong gitta dinh va day 14 dign tro am. Khi thé Ién hon thé day, ddng tang rat nhanh, vi vay phai cé mach dé han ché dong 5 mot gid tri chap nhan duge. Hinh 5.11 mo td céc dc trumg nay. Hinh 5.41. Dde trig ctia trauzito mgt lip chuyén tigp. 7Cac qua trinh khdi phat cla WIT c6 thé coi nhu mot mach didt néi v6i hai dign tre déng vai trd mot bd chia thé. Néu mach emito hé (Ig = 0) ta c6: R Va =——2L_— Voy = nV; A Bm +Rp2 BB ="YBG Didt déng Khi Ven) < Va + Vy (Vor thé ngudng cia dion) Con khi Vegi > V4 + Vp thi diot phan cye thuan, hat tdi dign duge phun vio bazo. Céc 15 tOng nay duoc gia 6c béi Vg, kéo theo tang do dan dign cia Rg, lim cho V, gidm xudng, do 46 c6 higu tng tr am (Gid tri ti 1 d&n 2KQ). ‘V6i méi UIT thé dinh Vp dygc xae dinh bang he thtic: Vp = 1Vaa +Vpi-n it phy thudc nhiét 46; Vp giam khi nhiét d6 tang: Ngudi ta én dinh diém khdi dong cua UIT bing cach mac mot dién tré n6i Gp voi day By. Khil > 1,, UIT c6 dign trd duong nhé (<102). Tat cd cde thong sé cla UT c6 dé én djnh khé cao trong mot khoiing nhigt do kha rong (-20"C den 150°C). 5.5.2. Tranzito mot lip chuyén tiép cé thé iap trinh PNPN. ‘Thye chat, day 14 mot thyristor c6 cita kép. Nhung né duge goi nhu vay vi dae trung von - ampe cla n6 c6 dang giGng nhw cia tranzito mot lop chuyén tigp va c6 thé digu chink duoc dong dinh Ip va ding day Ty. . Hinh 5.12. cho biét cach thie lap trinh ca linh kign nay nhd cita vé phia andt, eta & phia catot b6 tr6ng. Cia vé phia anot (Gq) nay duge phan cuc nhd thé Vs, do vay didt duge tao thanh béi andt va cita Gy bi phan cuc ngugc,.vi thé chi cé dong dign rat nhd, bing ddng diéu ngugc ‘cua diét, 1a duge phép cho qua (khoang 10 nA). Ving cita 6 dan thyristor Roe = (RiR2ARy+ Ro} Ve= (R-Ves)ARy* Ro) Hink $.12, Dac trttng cia tranzito mot lop chuyén tie o6 the lap tink, BKhi thé anot V¢ dn hon Vs, didt sé phan cyc thuan, do vay dong dign chay gida ahot va cia sé khdi phat thyristor. Dong anot Itc nay bang dong dinb Ips gid tri cla n6 cng ho néu dign tr Rg 6 gid tri cang cao (hinh 5.12b). Khi thyristor din, thé cia vé phia anot vao khong 0,5 V. May phat thé Vg cung cap nigr dong dign qua Rg Li: Ns -Voa Ro Toa = Dong dign nay 06 chiéu nguge véi chigu cia dong dién khdi phat. Néu dong dien chinh Ig qua I6n so vi Iga, thi dong nay khong dis kha nang dé khéa tro lai thyristor; Nhung Néu Ig gidm vi di qua gid tri déy ly ma d6i véi gid tri nay thi Iga cho phép mé thyristor. Gid tri d6 ciia ly cdng lén khi Re cling bé. Do vay gid tri ctia Re phi duge chon Iya mot cach déng bé va phii hgp. Hign nay, ngudi ta di ch€ tgo duge ede loai tranzito mot lép chuyén Gép cé thé Lip trinh véi cde djc tung nhuw sau: Thé cia anot eye dai 70 V. Dong anot trung binh: 175mA. Cong suat téng cong: 300 mW. Dang dinh (khi V< = 10 V, Rg = 10k): 5 A: dong day (khi Vs = 10 V, Rg = 10 k2): 50 WA. Van (6c ting cila dong anot di/dt = 20 A/us. Vi vay tranzito my cho phép —lap_—cchuang tinh rat chinh xdc cdc trang thi din va khda cia thyristor hay ciia triac. 5.6. THYRISTOR GTO. D6 1a mot thyristor c6 we d6 hoat dong rat nhanh, khéi phat nha ic xung duong va khoa nha cde xung am tac dong len cing mot cuc i. Ky higu cita thyristor GTO cho (ren hinh 5.13). Dic trung nay thu duge nhe mot thiet bj cyc ky chin xac c dé tao ra cdc dién cyc cé khe va duge pha tap rat chinh xdc nho phuong phép cay ion. Hinh 5.13, Kp higu tia Thyristor 1 4 GTO 5.6.1. Cée dac trung thuan Khi dong anot con nhé han ddng méi 1, GTO hoat dong ahu mOt transistor cao thé c6 he s6 khugch dai dong tng voi sy ting cita dang andt. GTO sé bj céim néu c6 dong dd rat nhé chay giita andt vi catot. Néu dong Judi I6n hon gid tri méi Igy. thi GTO sé din va gitta anot va calor nd c6 sut thé uhd, Néu dong anot én hon dong méi I, thi GTO van git nguyén trang thai din ngay ci khi dong Ludi bj cat. Khi thé luéi 06 gid tri am, GTO bij cam. 5.6.2. Cac dae trung nguye . Trong ché 46 phan cyc nguge, GTO tuong duong mot dign tré, khong thé khoa bang bat ky mot dign thé ndo va cing khong cho phép mot dong dién c6 gid tri 16n chay qua. Dé khoa GTO trong ché dd phan cye nguoe, ngudi ta phai cho phép ndi tigp n6 véi mot diot nhu trong hinh 5.14, Néu cin mot dong nguge nao day. thi phai ghép déi song song GTO vdi mot diot (hinh $.14b), Vigc ya chon céc didt nay dugc xée djnh béi dong thuan trung binh Ip.ayy. dong dinh Lap lai Ieeu. thé dinh lap Jai Vppys. D6 cing chinh Ja thé Vogy cia GTO. Cac loai GTO thudng gap C6 Vpgyt: 600-800-1000V vii Iycavy: 10-15-25A, hodc Loui e6 Vora? 1000-1300-1500V va Iycayy 2.2 va 6,5A déng tong vé dang TO 220 c6 cénh tea nhigt. 719Logi 6,5A: Cong suat lndi-catot Pay): 2,5W, thé & trang théi din Vy2<3V; dVy/dt: <10kV/ps sau khi trang thai khéa va dV,/dt: <1.5kV/ps sau trang théi din. Dong & trang thai khéa Ip :<3mA. Dong méi mot chiéu Iy:<1.2A. Thé méi cla Iuéi Ig7:> LSV. dong méi Ig7:>200 mA. Thdi gian x4c lap ty'< 0,254; t,:<1pis. Thoi gian ct t,:<0,5ps; ty:<0.25ps. a) b) inh 5.14.10 trong cht 40 ngeoe ne them dt, a) Khda ugiigc 1) Dan uguege Déng anét cyc dai cé thé diéu khién duge GTO chju duge cic dong andt trong trang théi din Min trang thdi khéa. Nhu vay, mor GTO véi dong trung binh 15A cho phép khéa mot mach dign c6 dong dign 161 50A. Chi c6 mot diéu kién Ja trong pha khda, céc tai cé tinh chat cdm tg phai duge han chf dé dim bao chic chan sy tang cia thé anot-caiot. Dang dién cin diéu khién cang 16n, thi dV/dt phai cing nhé. Khi dV/dt c6 dinh, thi dong Trew 88 tang vi thé am cla cia, Didu nay rat quan trong va cho thay ring tré khang ciia mach diéu khién phai cing nhé cang wt khi ma GTO bi dap tat. Hien nay, ngudi ta da sin xuat cdc loai GTO 6 e&¢ thong s6: Vora: 600-800-1000V; Eyyay): 0-15-2594 va Vprm: 1000-1300-1500V; Tray): 2:2 va 6,5A vO hop TO220 c6 canh téa nhigt 80CHUONG 6 CAC LOAI TRANZITO TRUONG 6.1. MOT SO DINH NGHIA CHUNG ‘Tranzito tudng FET (tiéng Anh: Field Effect Tranzitor ) 18 mot dign wd bin din duge diéu khién bing thé. Khéc véi tranzito thong thutmg, trong FET chi c6 mot loai hat tai ea ban ciia ban dan tham gia din dign. Linh kign nay ¢6 3 cyc, hai cyc dat & hai dau cha thanh ban din duge goi 1A ewe géc hay con goi lA cue ngudn (source) va cue dan (drain); cn mot cue dat gilta goi 1a cia (gate): cuc nay duge tac dung trudng diu khién dong hat tai chay trong kenh. ‘Trong mét thanh ban din co chiéu dai L va thiét dién S nhu vay c6 hi¢u dién thé gitfa cure goc va cy din Ia Vg, dong dign chay trong dé sé 1a: s S. Ip= oY = pants + PHy)Vp trong dé: n va p 1a mat d@ dign tir va 16 trong; Hh, Va Hp 14 46 linh dong cita ching. Su tac dong lén 46 dn dién cha vat liéu cau tao nén FET c6 thé nhan duge hodc bing bign digu thiét dign din cap cho hat tai dign, hoc bing sy bién di¢u mat do hat tdi chia tong kénh. Do vay cé nhiéu loai PET 4p dung ca hai cdch ten nhw: 1) Tranzito uutng dang chuyén tiép P-N (JFET). 2) Tranzito trudng ding tiép xc kim loai - bin din (MESFET), Ca JFET lin MESFET cé cau triic hoan toan gidng nhau, nhimg mdi cdi co ning wu viet rieng. 3) Tranzito wutmg 66 cita co lap (MOSFET) hay con viét don gidn hon la MOST hoge MOS. So véi tranzito lung cyc thi FET cé rat nhiéu uu diém: tap 4m @ tranzito trutng chi cé nguén tap 4m duy nbst la tap am nhiét trong khi d wranzito IwGng cyc thi ngoai tap am nhiet con tap am do dign tré bazo va cia chinh ving chuyén tiep gay ra. 6.2. TRANZITO TRUONG JFET 6.2.1, Tranzito trudng JFET kénh N ‘Tranzito trudng JFET kénh N duge thuc hién trén mot dé ban dan (Si ho’e AsGa) pha tap rat it, do vay dign tr rat cao hinh 6.1. Trén dé nay ngudi ta tao mot Iép epiticxi loai N pha tap ft; tren lop nay ngudi ta thyc hign bing Khuéch tén hode bing cay ion mot 16p pha tap manh Jogi Pt va cudi cing I hai diém pha tap manh N** duge khuéch tan & hai déu dé dim bio tip xtic ommic cla eye géc va cute dan KBOVEACHA 8hCyegicS ClaG CyedinD z (JFET-kénh N JFET-kénh P D 6 “5 Nn} NMP Nt Tb cS flip i G : N oe ob a —o —2__ AL S$ Ss G Hinh 6.1. Cai tuo etin ee loyi JPET kesh N- adFET-kénly N di xsing: b) Ki hig. Két qua 1a ta c6 hai chuyén tip rat nghto cde hat tdi ty do. Khoung gitta hai Iép nay la bin dan logi N goi Ia kénh N 6.2.2. Dac trung tinh ctta JFET kénh N 6.2.2.1. Nghién cau dinh tinh Gia sir cita G va cye géc S nOi véi nhau vi néi dat, thé cla cue din 1d Vp. Khi Vp con bé, ta thay dong Ip tang tuyén tinh véi Vp, vi chuyén «isp gida cia va cue din hdu whu khong thay déi so véi trude. Vi Vgs = Ves > 0 nén chuyén tip D-G phan cue ngugc, khi Vp wang thi “ving sa mac” sé lan rng (hinh 6.2a) lam thiét dign ngang cia kénh bj thu hep, dign tré cia kenh vi thé cing tang len, kéo theo sut thé trong kénh cing tang. Khi kénh bi déng 5 gan cue din D (diém P), thi dong khong tang lun Juén gid gid Uj bio hda lus, Wong khi sut thé trong kéah (lich ca Ip. Res V6i Res 12 dign tr6 cita keh) tigp tuc tang manh. Néu tgp tuc tang thé Vp cao hon thé Vp, ta thay dong Ip khong ddi va bing Ipss- Vyrnhd Veg = 0: aiVy> OK G <0 by Cat kénh: ¢) Dac trang LV). Hish 6.2. Thigi dign cua kénh thay abt v6 heV Néu Vp (ang cao sé xuat hign thé dénh thing: dong tang dot ngot trong khi thé Vpg gitt khong d6i. Nhu vay, ta c6 cdc dae trumg ciia JPET nhu trén hinh 6.3. v6i thé cita Vg = 0. Khi kénh chua bi cat, tranzito co tinh chat ommic, Dac trung tinh cé do doc: 82dVp dip lave =0 Voi Vp > Vp thi So} a0 €6 nghia Ia dign tré I6i ra cia JFET 06 gid tr] rat lon. "> love=0 Vai 6 ctie the cia Vgt ‘Thé ndy dim bio chuyén tigp cuu/kenh Luon 1udn phan cyc nguoc. Néu ting vé gid trj tuyet d6i Vg thi do rong cla ving chuyén tigp tang, thiet dién din gidm xudng, vi vay Ip gidm theo. Khi Vg=—V, thi JPET déng hodn toan, ttc li Ip = 0. Che d6 miy goi Ia ché d6 khéa (cut - of. Tp (may Toma) 8 vow) “4 Hink 6.3. Ho dge tig cila JFET kenh N. a) ES thu yeh: bj thate ughiom 6.2.2.2. Nghién citu dink kegng Gia sit JFET kenh N déi ximg (hinh 6.4). Dé don gian mo hink, ta gid th ~ i Vp>0 Hink 6,4. Mo tinh cia ving DTKG sroug JPET. * Chidu dai cia kenh (L) it ahat 1dn gap hai Iain chigu rong eda n6. * Hai cita gidng hét nhau, dai Z va pha tap manh loai P. * Chuyén tiép citwkénh phang va nhdy bac. 83* Néng dé tap chat ca kénh N, va dd linh dong cita céc hat tai pt, khong d6i * Dign tru’mg trong ving dién tich khong gian vuong géc voi mat phing chuyén tiép cita/kénh (theo truc Oy). Con trong ving trung hda cia kénh thi hung theo truc Ox. Véi cic gin ding 46, cho phép gidi phuong trinh Poission chi theo phitong Ox. Do vay néu thé cita bing 0 thi chiéu ddy cha ving chuyén tiép cita/kénh thay déi theo x duéi dang: L 2eL 2 w(x) =| =—_¢v, + V0) ( aNq? } trong 46 V(x) 18 thé tai diém x & trong kénh v6i Vg = Ova Vy > 0: V, [a hang rio thé cia chuyén tip cta/kenh. Néu téc dong thé am vao kénb, thi: I w(x) =| (2 + V(x)- ve} (6.1) Vi Vg <0. Dign tr cha doan dai dx eda kenh 1: 1 ox Oy 2Za— w(x) Sut thé khi c6 ding Ip chay trong kénh 1a: ay On 2Z(a—w(x)) ” Tich phan doc theo chigu dai cia kenh dai lugng dV (a—w(x)): dé ¥ dén he thitc (6.1) ta thay rang bigu thife dau tien chi phy thuge V, bigu thie thit hai chi vao x, do vay: 26 +t I— (Vi, + V¢ Ve Ie ive + YO) hy - bai ‘Thé & trong kenh thay déi tir O (thé cia cyc gécO)dén V, (thé cla cue dn); cdn x thay d6i ttr x = 0 dn x = L (chiéu dai cha ken). dV =IydR = Sau khi lay tich phan va dat G, = 2 1a. do din cla kenh khi khong 06 ving chuyén tiép, ta tim duge: 3 3 Ip #Go] Vp ~ = |" 51 (Vp Vy Vo)? -(Wy Vo)? 62) 3 VqNua He thie nay 4p dyng cho thé Vp S Vp: thé ma tai dé kenh bit dau bi cit; tai gié tri nay thi: w(x) = a. Do vay he thifc 6.1 kéo theo: aN ga? 26 Vy +Vp= =Vro 1 ThE cat kénh ngi. (6.3) 84Khi d6 biéu thite cla dong dan duge viét lai dudi dang: 2 3 3 = Gol Vo ~—773| (Yd + Ye — Va)? -(Vp - Vg)? |] (ma) (6.4) avi} Bigu thitc may cho thay ddng diin tang theo thé din Vp v6i cdc gid tri Khdc nhau cia thé cita Vg cho dén tn gidi han cita mién bao hda. Xét mot sé trudng hep riéng: * Khi Vp < 1a do rong trung binh cha ving dign tich khong gian, thi dign dung tng cong cia cifa sé duge cho béi Cg = 2ZLe/. Khi kénh bi cat, thi = a/2. dign dung cai we thanh Cg = 4ZLe/a. Mic dit cé dign dung phan b6 doc theo kenh, ngudi ta cling dum vio so 46 twang duong hai dign dung dinh xtt: * Cop? Dién dung git cia va cyc dan vi dign dung giita eta va cuc goc. * Cos: Dien dung gitta cue dan vi cyc géc. Cae dign tra rgp va tes dai dig cho dign trd rd eta G, trong Khi rps mo tA sur thay ddi chigu dai cla ken theo thé D-S. Gid tri ti¢u biéu: R,= 500 Fpg=10°Q. Top =10"'Q tes = 10" Cos =3PF Cop = IPF Cps=IpF 86oo ‘es b) So dé tuong dong Ths “oC oD ‘os Cas ’ Jv. 02 a4 06 0B 1p Orn a) Dé trayén din s ©) So d6 da dutge don gidn hod Hinh 6.5. Dé trwyén dén va so do mang duong ciia FET. 6.2.3.3. Tan 36 edt cia JFET Dé la tan s6 sir dung eye dai thu duge khi n6 khdng cdn khuéch dai tin higu duge afta. Ding so dé twong duong 6 tren, doin mach Ii ra va thay g'y, bing g,,. Digu don vj dat duge khi dong qua dign dung I8i vio i, = 2nf (Co)Vos= 2af (Cos + Cos) Vas bing dong 6 Ii ra ctta cuc din. Tir dé ta tim duge tin sé foo = &m/(27 (Ces + Cop) (6.12) ‘Thay Cg va gq bang céc biéu thtte ciia chting theo néng do tap chat va kich thude hinh hoc, thay ring tin $6 cat ti lé véi (1/L?). Trong JPET, tin so edt cdg cuo néit do dai cia keh cang ngdn 6.2.4. Cong nghé ché tao JFET DE ché tao duge JFET cé kha nang digu khién duge tin higu co cong sudt no d6, phai ob dong Ip dit Lon; ngoai ra muén JFET lam vige 6 tin s6 cao phi rit ngan chiéu k vay. dé thda man cd hai y@u cu tén edn mé rong thiét dign cua kénb; con phai ta nhigt, nén dé cia linh kign phai di rong. Caic nha thidt ké tim dang cau tric vudng vita cho bé mat cye dai ma kich thudc fai cue tiéu. Hien nay cau tic kigu “rang luge” hay duge ding hon ea. Cau inde nay duge vé tren hinh 6.6; bé mar toa nhiét cing chinh 1a bé mat rang luge Dé nang cad cdc dic trung, dic biét ting do truyén din va t6i uu tinh chat chuyén mach, nguisi ta Lim cae JFET dang khia hinh chit V. Hinh 6.7 minh hoa hai dgng kha di cia edu wie thugc Joai nay: Mgt logi khia ch V 6 cita-(V - groove Gate FET); cdn loai kia khia chit V & kenh (V-groove Channel FET). Két qua ciu tric logi nay cho d0 dai hoat dong cia kénh rit ahd so véi cu atte phang. Do vay, do truyén dan (ti 1é voi 1/L) sé rat Ion, Linh kien cau tric kigu nay cdn e6 dién tré thudn ciing rat thap. 87Hinh 6.6. Céu trie"ring luge” ctia TFET. DE loai p hole ban céch dign Hinh 6.7. Cau tric khia cht cia JET. 6.3. TRANZITO TRUONG CO CUA SCHOTTKY MESFET Dé tang tin s6 hoat dong cia tanzito trudng, phai tim cdch lam tang thdi gian bay cia cc hat tai trong kénh. Dé thyc hién duge diéu nay, phai tac dong vao 3 thong s6 cla kénh: 1) Gidm chiéu dai cia kenh; nhumg dé tao mot cifa c6 chiéu dai <1 pm thi ky thugt khuéch tan khong thé 4p dung. Vi thé phai thay tiép xtic P-N bing tigp xtc kim loai - bin din (diot Schottky). Két qua déu tién cia cau tric nay Ia dién trudng trong kénh rat 16n so v6i JFET. 2) Diot Schottky, do khong c6 sy tich trit dign tich co ban trong ving chuyén tigp, nén co van t6c phan ting rt cao so véi tiép xtic P-N thong thudng 3) Lam ting dQ linh dong cba dign tir bing cach str dung cdc vat ligu c6 do linh dong 16n cho dign tir; nhu GaAs hodc InP. FET cé dé linh dng ciia dign ut cao Ta biét ring thai gian phan ng cia mot JFET lién quan truc tiép d&n thi gian truyén cha céc hat tdi & duéi cita, vi vay phai tim cach sir dung dd linh dng rat cao ca dign tir 6 gin ving chuyén tigp dj tinh thé nhu da quan sét truée day. Ngay tir 1980, nhiéu linh kign méi sir dyng Khi 2D duge diéu khién bing thé cita da ra ddi, trong s6 dé cén phai ké dén: 88* HEMT: Hight Mobility Transistor. * MODFET: Modulation Doped Field Effect Transistor. * SDHT: Selectively Doped Heterostructure Transistor. ™ TEGFET: Two dimensional Electron Gas Field Effect transistor. HEMT 1a chuyén tiép di tinh thé c6 néng do tap chat'duge diéu ch€ GaA1As(N*); trong 6 néng d6 cia khi 2D duge diéu khién bing hing rao Schottky; & day cita duge thyc hien tren 16p GaA1As (hinh 6.8). Khi hoat dong binh thudng, 16p nay bj “sa mac héa” hoan toan, con 16p GaAs lai thu nhan tat ca céc dign tir ty do. L6p phu them rat manh tir GaA1As khong pha tap (10'* cm’ l6p phan céch) cho phép lam ting do phan cfich khong gian gitta cdc hat tai dién v6i cdc ion tap chat ca 1ép GaA1As di pha tap (5.107 = 10!%cm’), Bo day t6i uu (100 dén 400°) thay déi theo chat tgng nudi don tinh thé iG a s LA D et GaAlAs N*450- 600 A? Fr Pea |GaAlAs GaAs \ GaAlAs khéng pha tap 60A° P GaAlAs géin nhu cach din Hinh 6.8. So dé cd tao cita mot HEMT. Linh kién loai nay c6 tan s6 hogt dong rét cao, nhung cong sust I6i ra tuong déi thaip (do khi dien tir c6 néng do gidi han) va dong cita cing dang ké. Tuy nhién tin s6 hoat dong siéu cao (30-60GHz) da chimg t6 tinh tuyét voi cua n6. Do vay ma ngay tir 1985, khi tranzito HEMT dau tién xudt hien tren thj trutmg da chinh phuc ngay duge cdm tinh ciia céic nha cong nghé. 6.4. TRANZITO TRUONG CO CUA CO LAP (MOS) 6.4.1. K¥ higu va su phan loai Tranzito MOS hay cdn goi 1A MOSFET (Metal Oxyde Semiconductor Field Effect ‘Tranzito) 1A mot linh kién hoat dong véi cdc hat tdi dign co ban, s6 long ciia ching dugc diéu khién bang thé tic dung vao cyc cita. Néu céc hat ti dign Ia dign tir, thi dé 1a mot MOSFET kenh N va dong dién sé chay tir cye din sang cue géc; khi d6 thé cia cue din (D) phai lén hon thé ciia cue g6c (S) (Vp > 0). Cdn trong trugng hgp khi hat ti dien 1a 16 trong, thi ta cé mot MOSFET kenh P; dong dién sé chay tir g6c (S) sang cue din (D); do vay thé clia cye géc phai 16n hon thé ciia cue din (Vp < 0). Nguyén téc hoat dong cia MOS khéc véi nguyen téc hoat dong cia JFET: tranzito JFI hoat dong dya theo su thay déi thiét dien cia kenh dé thay déi dong dign gitta cuc gc va cc din; trong khi MOS lai dya theo sy thay déi s6 lugng cac hat tdi c6 mat 6 trong kenh dé diéu chinh dong di¢n. Dya theo nguyén tic 46, ngudi ta chia MOS thanh céc loai nhu sau: * MOS dua theo su lam nghéo hat tdi: Khi khong c6 tin higu diéu khién trén ctta, ching bxasimvcna 89hoat dong nhur mot vat din dign binh thudng {normally ON); khOng c6 sy phan cye, cb cdc hat tai dign ty do & dudi cia (G). Khi tin higu digu khign tang len, thi s6 hat tai ri khdi kenh cong tang; do vay kéo theo dong dign Ip gidm. * MOS dua theo sur lam gidu hat tdi: Binh thutng, khi khOng cé tin hign diéu khién 6 wen cita, thi tranzito nay dong (normally OFF). Nghia 1a khi thé gida cira va cue g6c bing khong thi kénh chifa cat it hat ti dign tit do (logi N hodc P). Khi tang thé ita, véi sy phan cyc hgp ly, thi cdc hat tai dign s€ duge hit vao kénh, lam tang 49 din di¢n cho kénh; kénh tré thanh mgt vat din Hinh 6.9 biéu thj 4 loai tranzite MOS cing véi cc ky higu tong tng va cic dic trung truyén dong din theo thé gifla cla vA cue ge cling nhu cdc dae trumg I6i ra (dong din theo thé gitia cyc din va éyc g6c) véi céc gid trj khac nhau cita hiéu thé giita cita va cuc g6c. Ky higu va phan loai Dac trung Ip(Vq) Dac trung Ip(Vp) MOS kénb N lam gidu Ip, Ip Vo = +35V D : g o—Ge % v s VI Ve yo MOS kénh P fam giau D o—Bs Is MOS kénh N lam nghéo D SG (B 8 Is 1 MOS kénh P lam nghdo lod Vr Vo o p ow Vo Hink 6.9. Ky higu va dic trung ciia cdc toai MOS. 90 TARBOVAECHE.6.4.2. Cu tao va nguyen téc hoat dong Tranzito MOS kenh N lam giau duge tao thanh tir mot dé silic hoge GaAs pha tap it loai P, trong dé c6 chtta hai ngin pha tap manh loai N* dé lam cong tac cho céc cuc géc S va cue din D (hinh 6.10). Gitta hai ngtin pha tap manh nay ngudi ta phi mot lép cach dign SiO,, tren d6 Jai phi mot 16p kim loai méng dé lam cyec diéu khiéa (cla G). Trén mat déi dién cia dé, ngudi ta cing phi mot 1ép kim loai méng dé lam chan cho cue dé. Thé digu khién duge tic dung vao ca cita G va dé B (de B thutng duge n6i véi cuc g6c S). Dudi lép SiO, & cyte cita G 1a Hinh 6.10. Céu tg0 ciia mgt MOS kénh N lim gidu. Ve?Vr Yo Vr ZCE : Ving dien Be] ich knong gian a) Ve>Vt \D= Vpsat Hinh 6.11. Nouyén tic hogs dong cita MOS kenh N. 91kénh, dai L, n6i tién gitta D véi S. Khi G c6 thé duong so véi dé, thi xust hign site htit dign tir vao kénh; do vay higu tng lim gidu cing xudt hi¢n. Cdn khi chya phan cyc, trong kénh hdu nhw khong c6 ign tr, do vay gitia $ va D khong c6 dong chay qua. Tranzito ty dong déng. NEu Vg > V+ (thé nguing), thi Iép dao sin sinh mot kenh N ndi lién eye goc voi cue din (hinh 6.114). Do vay khi c6 thé Vp, thi dong dign xut hign gida S va D; tranzito tr nen din. Dac trung Ip(Vp) tuyén tinh, tranzito c6 thé duge coi nhu mot dign tre thong thubng. Nhutg khi Vp tng nifa, thi 6p dao lai gidm vé phia cyc din hon la phia cue g6c, nén dic tung Ip(Vp) to nen khong tuyén tinh (hinh 6.9), Bét dau tr gid ti thé Vysas goi I thé’ bdo hda, thi & gan cyc dan khong con Idp dio ntta, cyc din va cye géc bj tach roi nhau. Ché do dé goi li ché'd6 cat. Dong dign tuong ting voi thé dé goi IA dong bao hda Ij (hinh 6,116). Khi thé Vp > Vy... diém cat dich chuyén dan vé phia cuc g6c (hinh 6.1 fc). Thé trén kenh dan vin giit khong di va bang Vasa, cdn dd chénh ech thé (Vp — Vigy) Sut tren do dai AL cia. ving dign tich khong gian cé dign tré rét l6n. CAc hat tdi duge d@y tdi cue din nha dien trudng: (Vp ~ Vpwu)/AL. Dong dign git khong ddi va bing dong bao hda Iy,,, (hinh 6.9). 6.5. NGHIEN CUU BINH LUGNG DAC TRUNG TINH CUA MOS 6.5.1. Tinh toan dae trung fink Gia sit MOS kenh N phing, do linh dong p* cla hat tai khong d6i trong toan b,chiéu dai L cla kenh. Khi dé 49 dn dign tai mot diém nao dé trong lop dio duge cho bai: iy (Xs Ys 2) = GH" Nin (Xs Ys 2)- D6 din cia mot yéu 16 thé tich dxdydz (hinh 7,12) I: dydz gs 2) ee B= Ging (% 2)“ Hinh 6.12. M6 hink tinh todn dic trung cia MOS. 92‘S6 hat tai ciia l6p dao khong di theo huting OZ: Riny (Xs Ys Z) = DigylX, ¥), nen: a Pg = 2a* ning ye tich phan theo do day yin, chia l6p dio tai diém x, ta duve: Yop 4 f Mindy Fea Doel, roa forinvdy = ~Qiay(X) 1a dign tich cia lop dio trén khodng céch x tinh tiv cue g6c S, do vay: $8 ay Qins 2) 18x (6.13) dx. . ‘Trong nguyen t6 nay cia kénh cd dong Ip chay qua gay ra sut thé dV, thoa man he thie: Tp = dg.dV, vi thé: Ipdx = -2 1" Qav(x)dV (6.14) Dong dn thu duge bang cach tich phan biéu thtc 6.14 tit x = 0 (V = Vg = 0) Wi x= L(V = Vp), sau khi di tinh duge biéu thie cla Qiny(X). Bigu thite aay duge cho bai: Qinv() = = C{Vg— VOX) ~ 20) + (2qN,e(V(x) + 209)'7 (6.15) trong d6: G, B dign dung cita SiO, tren mot don vj bé mat. gy = Epp — Ej va V(x) 1a thé téc dung tai diém x. . Thay (6.15) vao (6.14) ta duge: Tydx = aC) |(Vg — Vix) — 20) +L eanyeven +20"? av ‘ Sau khi lay tich phan ta duge: | “ y, Ip= “eo (ve -20,-%D)y - 2 cane}”"(p +20,)/2 - 2@,)/ *)) (6.16) i He thiic nay cho théy, véi mdt thé cita Vg cho truée, dong Ip Hing véi sur tng cla the Vp. Két luan nay duge nghiém ding cho dén khi kenh bj cét (Vp = Vp,); va hodn toan giéng nhut trudng hop JFBT. Néu chiéu day cia lép Oxit nhé so véi chigu dy cila ving dign tich khong gian, thi dign dung G; 66 gié trj lén, do vay 1/C, rit nho so vai C; ngoai ra thay Vip = 20, Ia thé‘ ngudtng: D6 [a thé cita cén thiét dé thu duge mot lép dio manh & trong kenh. Khi 46, hé thite 6.16 duge don gidn héa thanh: Ip- EEL evg-Ve)- Vv (ma) (6.17) 936.5.2. Ché do tuyén tinh Khi hieu thé gita cue dan va eye g6c cdn nbd, thi tranzito MOS hoat dong trong ché do tuyén tinh, Neha 1A khi Vp << Vr thi he thite 6.17 tr thanh: mc Ip =" (V6 — Vr)¥p (may (6.19) Trong cdc tranzito MOS thuc, 49 linh dng ca hat ti p° khong phai lA hing sé, nhat 12 d6i véi cdc tranzito cé kenh ngin, vi dign trudng theo tryc Ox trd nen rat 16m, gay nen tugmg bao hoa vin t6c cla hat ti, Trong trudng hgp nay bigu thic cita dé linh dong w* co dang khé phic tap. 6.6. DAC TRUNG DONG CUA TRANZITO MOS 6.6.1. DO din dign va do truyén dan DO din dign.duge tinh bing gy . Trong mién tuyén tinh (Vp << V5), tir hg thie 6.19 ta thu duge: fs =# Sig =Vp) "my (6.20) DO din di¢n thay déi mot céch tuyén tinh theo thé cia Vg. Nghich dio do din dien 1a dign 8 cia MOS 4 trang thai ON. Bo truyén d&n, theo dinh nghia gy = oo | Trong mién wyén tinh 40 truyén dn G Vp duge xac dinh bing: fm Sivy orlm) : (6.21) Trong ché do bao héa, 46 truyén dn duge tinh bang biéu thtic sau: mC &m (Vo-Vr) (a!) (6.22) L Mot MOS ly usimg c6 dong Tp hdu nhy khong dis diéu d6 wong duong véi dien td gitta cue gSc va ddn bing vo cing. Vé phuong dign thuc nghiem, dic trung Ip(V_p) c6 49 dée dong Vi nao d6, vi vay trong mién bio hda, gitfa cue géc va din o6 dign 18 tps = a , bing do déc Dlg cla dge tung tinh. 6.6.2. So dé tuong duong va gidi han tan sO So d6 tung duong cia MOS gén giéng nhu cia JFET: gdm mot méy phat dong 8,Vo. dign dung gitta G/S la Cgs va G/D 1a Cap cfc dign trd cha cye g6e R, va cla cuc din Rp. Ngoai ra cdn cé dién dung gitta dé véi cyc g6c va v6i cuc din Cpg vi Css. 94ow A%ce0 Bes) Hink 6.13. Sa ad tong duong cita MOS. Noi chung din td 16i vao cia MOS 1én gtip 1000 lin dign tré 16i vao cia JFET, 46 truyén din tht gap doi hode gap ba lén, cn dign tr8 rps cling do 16n (c6 100K). Cling gidng nhu tranzito JFET, tdn s6 cat cia MOS tim duge: we) (6.23) Dé tang tin s6 cét cita MOS phai gidm chidu dai L cia kénh. 6.7. CAC LOAI TRANZITO MOS DAC BIET 6.7.1. Cac bé nhé vinh citu - Cau trac MIOS Bo nhé vinh citu duge thye hign nbé tranzito MOS cé cita dugc bién dieu dé cé thé tich tr duge dign tich. Dé thuc hien chitc ning nay, clr duge cdu tao béi hai lop phan biet: * Mot lp Oxit silic (SiO), ddy c vai chuc A°. * Mot lép nitri silic (SisNg), dy ttt 500 dén 600 A°, Nhu vay ngudi ta duge mot cau tréc: Metal = Insulator - oxyde - semiconductor (MIOS) cho trén hinh 6.14, Voi cau tric nay, linh kign c6 thé dua vao hode lay ra nhiing dign tich & giao dign Nitrure - Oxyde vA sy c6 mit hodc (ving mat) cila ching sé md hoac (déng) kenh. Diéu nay cho phép thyc hin chitc nang nhé: * Ghi, bing cach phun dién tich vao giao dign Nitrure - Oxyde. * X6a, bing cfich dai dién tich khdi ving phan céch. * Doe, bing cach tric nghiem do din di¢n cia kénh. Thi gian Iuu gitt dign tich trong linh kién nay c6 thé dén 100 nam. Sau day sé khio sat mot cach dinh tinh hoat dong cia cu triic nay trong ché do ving phing véi th€ Vg & cac gid tri khéc-nhau (hinh 6.14a). * Khi thé Vg duong va c6 gid tj tung d6i Ion (cd + 15V), thi dien ty cia ban din sé chuyén dong tr ving din sang giao dién Si, - SigN, xuyen qua mot l6p oait rat mang (higu ing Fowler Nordheim), hodc tir ving héa tri bang higu tng tunnel (hinh 6.140), * Khi thé Vo ud vé 0, thi diem ti & gino dign SiO, - SiN, khong thé quay tr’ lai ban dan, vi cde mic nang long cia né d6i dign voi ving cm. Do mot 86 [dn dign ti bj bly, nén ban dan bj ddo miic, vi thé kénh di duge mé (hinh 6.14d). 95Khi thé cita Vg chuyén sang gid tri rét Am (c8 — 15V), thi ede dign tir da bi gilt & giao dign SiO, - SiN, c6 thé quay trd vé ban dan; do vay giao ditn 1rd aén trong hda din, vi thé kenh sé déng (hinh 6.14e). Nhir vay cu tric MIOS c6 thé tao nen mot EPROM (Electrical Erasable Programmable Read Only Memory), nhung van t6c ghi thap (c@ vai pS). Néu ting mat do trang thai & giao dign, c6 thé gidm déng ké thoi gian ghi va x6a. s 4 ttev Ec Ers [ft Ey B 4) Trang thai dn, 8) Ca rite nding tugrug kh ghi e) Trang thdi koa Ec Em Jo Ee Ers Ers Erm By to EV ©) Cau trite nang lgug khi xéa SiCdiu tao clta MNOS Hinh 6.14. Cdit tric va gidn dé nang hagng cia moe MIOS. 966.7.2. ‘dc bo nhé vinh ctu - Cau tric FAMOS ‘Cau tric FAMOS (Floating - gate Avalanche - injection MOS transistor) A mot dang cau trtic khac dé tich tit cdc dign tich (hinh 6.15a). Trong trudng hp nay, cdc hat tdi duge tich trit trong mot cita néi duge tao thanh bang silic da tinh thé nim trong mét mién Oxit d4y cB 1000 A°, Dé tich dién cho FAMOS, chuyén ti€p cuc din/dé duge dat wong ché do thac 10 nho thé nguge c6 gid tri 1én. Do vay, trong s6 cdc dign tit di qua ving dién tich khong gian thi mot s6 di duge phun vao cita néi qua lép didxit silic (SiO;). Chung bi hit bai higu tmg chia thé do dién dung lién két gitta cita ndi véi cue géc va cye din (hinh 6.15b). Cac dign tich am tich tu trong. cita ndi sinh ra Iép dao P & trong dé, do vay tranzito sé.dn. s Ciadéndi 5 @_y Hinh 6.15. Cau tao cia FAMOS. a) b) Céc dign tir 6 trong cita néi duge gidt trong mot giéng thé sau, nén thai gian ching duoc luu gid & day cuc ky dai. Su phéng dién cia cita ndi nay chi c6 thé duge thye hign nha énh sing cuc tim di manh dé dua dign tir tir chat cdch dign vao ving din. Nh& vay ma cu tric nay tao nén mot bO nhé EPROM cé thé 14p chuong trinh va xéa bing énh séng, 6.7.3. Tranzito MOS céng suat - Cau tric VMOS va UMOS Si-epitaxie N Si-epitaxie N Dé loai N’<100> 6 loai N*<100> D vMos umos Hinh 6.16. Cau tgo cia VMOS va UMOS cong suét. JLKEDVIMACHA 97Hinh 6.16 vé so d6 cau tao mot tranzito VMOS (Vertical MOS) va mot dang bién tuéng ciia n6: UMOS (U-shaped grooved MOS), Ching duge thyc hién trén mot dé silic 6 mat dink hu6ng <100>, nh an mén héa hoc theo huéng truc tinh thé vuong géc v6i mat phing nay (nghieng mot géc 54°7). Nhu vay cira ¢6 dang chit V, c6 hai kénh song song t6n tai néi hai cue g6c v6i mot cc din chung. Vi cue din D duge lam bang dé bin din épitacxi cé kich thuéc én, nén n6 ¢6 kha nang diéu khién dong dign va cong suat manh. Caiu triic nay cho phép tiét kim ding ké vj tri khong gian trong céc vi mach t6 hop va cling cho phép ghép song song nhiéu tranzito logi nay tren cing mot “chip”, do vay né c6 thé tao duge céc vi mach cng sust. 6.7.4, Cau tric CMOS Cau tre nay duge thyc hien nhv hai tranzito MOS bi tri nhau, mot c4i kenh N, mot ci kénh P. Cau tric nay dac bigt thuan Igi dé thye hign céc chife nang logic, nhit 1a lam céc bo io. Hinh 6.17 mo ta két cu nay. +Voc eet rel LéiraD feo WH KS eS bp Hinh 6.17. Cau tao ciia bd déo CMOS: a) Cau tao; b) So dé ctia bp déo CMOS. Tren dé ban din loai N, khuéch tén hai ngan loai P (hinh 6.17). Tiép theo lai khuéch tn hai ving N* va P* dé thyc hign hai tranzito MOS. Tuy nhien, trong cau tric nay, néu thé duong hoje am dit 16n téc dung vao cyc géc hoge cue din, thi c6 thé xudt hign mot kenh dio giita mién N* va dé N hoac gitta mién P* va ngan P. Trong thyc té, ngudi ta lam dudi dang hinh xuyén hoac dé silic loai N duge thay bing dé saphir (SOS CMOS, Silicon On Saphir CMOS Technology). 98 SauKOVMACHLEChuang 7 CAC LINH KIEN QUANG-DIEN TU 7.1. CAC DAL LUGNG QUANG-DIEN TU BAN DAN 7.1.1. Nhing khai niém chung Mov linh kign bén dan c6 kha nang hdp thy hodc:phér xa s6ng anh sng duoc goi La linh kign quang-dién av. Céc tinh kign loai nay duge chia thinh hai loai: * Néu chuyén déi dnh sdng thu dugc thanh céc dai Itong ign. thi linh kign d6 duge goi Ia edi phat hién quang hoc (photodetector). * Néu phat ra tia sng khi cung c4p nang lugng dign cho n6, thi linh kign 46 duce goi la cdi phdt xq quang hoc (photoemetior). ‘Trong mot linh kign quang-dien tir luon luon c6 su trao 4di nang luong gitfa tia séng (anh séing) v2 vat chat (vat ligu bin dn). Tia 36ng duge dac trung bing bie sng, con ban dn duge d§c trung bing dd réng ving cdim B,. Khi vat ligu ban dan duge chiéu séng, cdc photon cé thé bi hap thy ho&c khong, tay thude vao bude sng cila tia sing chiéu xg va vat ligu ban dan hinh 7.1. Ey a) Sy phat sinh cap dién ti-16 trong. b) Surhap thu quang hoc trong ban dn. Hinh 7.1. Su bite xa va hdp thy photon. a) Néu By, = hv < Ey = cho chéng. b) Néu Ey, = Ey, thi photon bj hép thy va sinh ra cp dign tir- 16 tréng. c) Néu Ep, > Bg, thi cde cap dign tiri8 trong duge tgo ra, con phén nang wong du sé chuyén thanh nhiét ning lam néng vat ligu bén dan, Mot vat lieu bin dda chi c6 thé hap thy hoac phat xa mot s6 tia sing xdc . — B, thi photon khong bj hp thu vi khong c6 trang thai danh inh, duge goi 99a dc trung phé cita n6. Dé 1a dai buée séng (mau cia Anh s4ng) ma vat ligu bén din c6 phan img. Hinh 7.2 cho thay dc trung phé cita mét s6 vat ligu tiéu biéu. D6 nhay 10 Si os Mat trai 06 04 02 02 04 05 06 OF 08 Sih 12 14 Cc tim Ving kha kign Ving héng ngosi (um) Hinh 7.2. Dade trung phé ciia mot s6'vat ligu. 7.1.2. Su hap thu quang hoc Chiéu mot tia sing don sic sao cho hv >E, va thong Iugng cia tia t6i ,(E) (s6 photon 6 nang luong E dat dén bé mat bén dan trong mot don vj thdi gian); goi R(E) la hé s6 phan xa, thi thong lugng ciia photon di vao trong tinh thé ban dan sé 1a: (E) = ©) (1 — R(B)). Nguoi ta dinh nghia hé sohdp thu a cia vat ligu bin din bing su thay déi tuong d6i cia thong Iugng photon trén mot don vi dai: 1 do dx a duong khi d® am: c6 nghia 1A c6 sur hap thu tia s6ng. Tich phan (7.1), ché ¥ diéu kien giéi han tai bé mat chiéu sing @(E,0) = ©,(E) (hinh 7.1b), ta tim duge: (Ex) = ©(B).exp(-ax) thay biéu thie cita (E), sé thm duge thong luong cia photon c6 nang Iugng E & do sau x trong ban din: (em!) x (7.1) O(E,x) = ©(E) [(1 — R(E)]-exp-c(E)x (7.2) He sO phdn xq R(E) phu thude ban chat ciia bin din va diéu kign bé mat, gid tri cita nd phy thude chit yéu vao géc tdi cia tia t6i. Su phan xa Ia cuc tiéu khi tia téi vudng géc véi bé mat mdu, trong trudng hgp nay duge xAc dinh bing biéu thtéc sau: (n= 1? + Qa/4ny? (a+ 1? + Qa/4n)? R(E) = G day n= ny/n;, n; 18 chiét sudt cha khong khi, 100ny IA chiét sust eda ban dn a. La he sO hap thy, 21a bute sng cita tia séng 164. D6i v6i tat c4 cic logi bin din, Au/4n rat nhd, con nc6 gid tej nim trong khodng gita 3 va 4, do vay hé s6 phn xa h4u nhu khong phu thuge nang luong tia séng. Khi dé he s0 phan xa duge tinh bang: 2 ay r-(2) {vec (7.3) n+l fey +1 €, 1a hing s6 dién moi tong d6i_cila bin din. Hé s6 phan xa cd tir 0,25 dén 0,35. Néw” phi Iép chéng phan xa (co chiét suat Jnynz_), c6 thé giam dang ké hé s6 phan xa. Néu hé s6 hap thy bing khong thi tia séng chay qua bén din khong bi suy gidm (trudiag hgp bén din tinh khiét voi nhimg phéton ¢6 nang mong E0, thi vat lieu halp thy tia song, do vay tia séng gidm theo ham mi v6i khodng céch da di qua. NhOng photon bj hap'thu qo ra nhiing cap dién tir rng. Ti s6 phat sinh ede cAp dién tit-16 trong ding bing ti s6 cdc photon da bj hap thu: G(E,x) = - dO(E,x)/dx Tinh dén (7.2) ta duge: G(E,x) = 0B), [1-R]. aE). exp-a(E)x RO rang hé 56 phat sinh hat tai GUE,x) phu thuge he s6 hap thy aE). * Néu a(E) nhd, thi tia song bj hap thy it, chting xuyén sau vo trong vat ligu va tao ra ft hat tai (én mot don vi thé tich, nhung trong mot thé tich Ion. * Néu a(E) Idn, thi tia song bj hap thy manh, cdc hat tai duge tao ra trong mot thé tich hep 6 gain bé mat. Hinh 7.3 vé sy thay déi hé s6 hap thu cia mot sé vat ligu theo bude séng cia tia tdi. 24 Elev) 143 14 ecm" 04 05 06 87 08 09 1,0 11 4, um Hinh 7.3. He so hp thu tia song cia mot 6 v4 tigu 10171,3. Ti lé bite xa photon. Higu tng Laser Khi tuong téc dign tir-photon sé xudt hién dign tir va 16 trong din, Dign ti 6 ving héa tri, dudi tac dung cla photon 6 thé nhdy len ving din. Dé 1a co ché hdp thy s6ng photon xay ra trong cdc bo thu nhan va phat hign tia s6ng. Dign tir tong ving din, cé thé ty dong nhdy vé bat cdc trang théi t:Ong trong ving héa trj, km theo phat xa photon, Qué trinh nay goi lA phat xq tv déng. Néu mot photon ¢6 mat trong bn din gay ra su chuyén doi ca dign tir tir ving din vao ving héa tri voi sy phat xa kich thich cdc photon thit cAp c6 cing nang lugng. Qué trinh nay goi la phat xg kick thich . Dé chinh la‘co ché hoat dong cia laser bin din. Céc hat tai do tong téc photon-dien tir nay gay ra lam thay déi sy phan b6 céc hat tai trong ving din va ving héa tri ola vat ligu bin din. Do vay mic Fermi cting bj thay déi so véi khi chua dugc chiéu sing. Dé 14 mite chudn Fermi cho hai loai hat tdi: By, va Ep,. Sy phan bd clia cdc hat tai nay trong vng dia va vong héa tr] tuan theo phan b6 Fermi-Dirac: ao 146) = [1+es08 Fe] ot fy(E) = [ewe sE| trang théi cn bing nhigt dong, ta thy ngay: Ey, = Ey, = Ep. Cac mute chudn Fermi nay tham dy vao vigc tinh todn ti Ie phat xq R(B) cila photon cé ning lugng E bei v4t ligu ban dan: REE) = Rgp (E) + N(E).Recim-(E) * NCE) Rare (E)- (14y Trong 46 N(E) 1a mat d6 photon cé nang iugng E, 6 trang thdi can bang nhigt dong, dugc djnh nghia bing: $6 hang ddu tién trong (7.4) R,p(E) tung dng v6i ti s6 phat xa ty dong. $6 hang tht hai Ja bite xa kich thich; cOn so bang th ba dac trung cho sy hap thu tia song. Hai s6 hang sau phy thuge vao m@t dé tia séng (ttc 1A mat dQ photon) 6 mat trong vat ligu; dai din cho sy chuyén ddi higu dung duge kich thich bai tia séng (photon). Dé 1A sy phat xa va hap thu, dac trumg bing hé s6: Ry(B) = Ryim-(E) — Rabe (E)- R,(E) goi [a ti sé bite xa kich thich. Néu R,,(E) >0 thi qué crinh bite xa, nguge lai 1A qué tinh hip thu. Ti s0 bite’ xa kich thich va ti s6 phat xa tu dong lien he voi nhau bing he thie: Ru (E) = Ryp(E) [owe] voi AE =E,,- By 102Digu kign dé 6 bite xa kich thich khi va chi khi R,(E) >0; nghia 18, AB >E. Day ciing chinh la diéu kien dé c6 higu img laser, do nang lgng cia tia sing phat xa chi c6 thé lén hon 9 rong ving cam E,,, vi thé digu kién trén twong duong v6i AE. >E,. Nhu vay c4c chudn mite Fermi trong ving dan va ving h6a tri da tgo ra sy dio lon néng dQ hat ti gitta dinh ving héa tri va day ving din nhu trong binh 7.4. Hinh 7.4. Su déo néug a6 trong higu ing Laser. 7.2, CAC LINH KIEN PHAT HIEN TIA SONG Day la cae linh kin cé kha nang phat hién mot tin higu quang hoc bang cdc qua trinh dign. Dé 1a té bao quang din, photon dist, pin mat trdi va nhiéu Jogi khéc, Phd cla céc tin higu nay trai tir mién béng ngoai xa cho dén tia cuc tim. 7.2.1. Té hao quang din Dusdi sy chigu sang, trén bé mat bén din c6 thé tao ra cdc chp dién tir-Id Ong. C4c hat tai du vita duye tao ra nay khuéch tén vio trong va bi 14i hgp. Céc hat ti nay lam thay déi do din éign eta ban din. Do vay, néu 43¢ mot higu thé & hai ddu thanh bén dn thi dong dign sé tang. Gia sit khi chua chigu sing, dO din dién cita bin dan la: Fo = Qa + GPHp Khi c6 chiéu sang, né trd thin: 6 = og Ac do sy thay adi sO hat tai (An = Ap) AG = Gig (1 + ppfpi)An = quyAn né [>> pe Sy thay ddi 49 din AG khi d6 ¢6 thé viet: AG = Jaocx.y.2) 228 Néu su chiéu xa déng déu trén toan’bd mat phing xy (xem hinh vé) thi: Ao(x,y,2) = Ao(z); khi dé: 4 1 AG = free 103Can lum ¥ 1a: Dé cap dign ti-18 Sng duge tgo ra thi nang Ivong cia photon ti phai lin hon d9 rong ving cm, nghia la phai thda man diéu kien: hy he Ec-Ey ME, -Ey) Véi c 1a van tc anh sing. Ti day, cling tim duge bude sng tdi han Ag: he 1.24 tea tum = Eby) 4 Bev) 1 de® Hien nang ciia mot té bao quang dén duce x4c dinh béi 3 thong sé: * He s6 khugch dai. * Thoi gian ta 181 * Ngudng phat hign phé nh séng. Trong ché dé dimg thi ti s6 sinh g, (phu thudc su kich thich ttr bén ngoai) cla cfc hat tai phai bang ti sé t4i hop. Néu t, 1a thai gian sOng cita hat tai, th ti sO tai hgp 1a 1/t,. Néu P, 1a cOng suat ciia tia sang ti, thi sO photon c6 nang lugng hv dap lén dien tich LJ trong mot gidy sé 1a: Phy. Mat khéc, néu n Ia mat do hat ri (dién uf) trong bén din co dQ day d Ién hon khodng c4ch dam xuyén cia tia sdng, thi trén mot don vi thé tich cba vat ligu ta cd: P. cs "hy & Dang quang dan 1a két qua cia su t6n tai din trudng E sinh ra trong cdi quang dan bang: Typ = CEL. = gn. pty-EL.d = qn.vgl.d thay Ld = (nPy/hv).to/L ta sé thu duge: Py \Vat I >1, trong trudmg hop nay thi Jy, = -q, 6 nghia la dong quang dign ti 1¢ tuyén tinh vdi thong lugng cia tia séng tdi. Mot dai lugng quan trong ca quang didt la dé nhdy quang Sy, = Aly/AE (200nA/lux cho quang diét Ge va 10 nA/lux cho quang diét Silic). Céc quang di6t_ gecmani cé do nhay quang 1én, song dong ti ciia né cfing khong nhd (102A), do vay dé phat hién cdc tia sng yéu ngudi ta hay ding quang didt Bilic hon (c6 dong ti 10pA). Thdi gian tra 1di cha mot photo dist phu thude vao su khuéch tan cia cdc hat tai khong co ban trong céc ving trung hda (hing sO théi gian tir 1 dén 10 ns) va vao thdi gian truyén cita cdc hat tdi qua ving DTKG (véi hing s6 théi gian tir 10 d&n 100 ps). Do vay, dé nhan duge cde photo diét nhanh, thi tia s4ng phai duge hép thy chit yéu trong ving DTKG. Diéu ny duge thyc hign bang cach 1am x, rat manh va dp day w lon hon Ifo. mot ft. Higu suat bit cia mot photo didt 18 ti s6 clia s6 cde dign tich quang dien di qua ving chuyén tigp véi s6 photon t6i (1, = Jpy/4F)). Higu suat nay phy thuge bude séng cita tia sang va cdc thong sé cfu tnic ca linh kién. 7.2.3. Caic loai photo didt dae bist 7.2.3.1. Photé didt PIN Day 1a logi thudng gp nhét. Dé tang do rong ving DTKG cho phan tén cdc cap quang dign tit- 18 trong duge tao ra & day, ngudi ta dingycdu triic PIN (xem chong 3). 106Néu thé phan cyc nguge tac dung vao di6t di 1én, thi dién trudng trong ving I rét manh, do vay cdc hat tai quang din dat van te gigi han rat nhanh. Natmg photd diét loai nay thudng 6 t6c 46 phan ting nhanh va 9 nhay cao. Lép chéng phan xa tw (x) S102 Xp Xy xX Hinh 7.7. Cd tao cia phét6 didt PIN. 7.2.3.2. PhOt6 dit théc li Céc linh kign loai nay duge ding rong rai trong cac hé thong thong tin vign thong bing soi quang. hy hy Lépnhva trong suét 72 Hinh 7.8. Cain 1g0 ciia phos dist thac ta, ‘Néu tz0 céc quang dign tir trong ving BTKG khi thé phan cuc & lan can vong thé dénh thing théc 10 Vig, thi hign tuong thée Id sé sém xay ra; do vay dong quang dién sé tang len nhanh chéng: c6 nghia 14 hé sO khuéch dai cia linh kign logi ny rat cao (c6 thé dat t6i hang tram Ian). Tuy nhién c&n chii § 14 hé s6 Khugch dai phy thugc manh vao th€ phan cue nguge va vao nhiet do. 7.2.3.3. Photo - didt Schottky Linh kien nay duoc c&u tao tir mot dé silic,logi N, tén dé duge Ling dong mot lép méng (thutng la vang). Cac cp dien tir ~ 16 trong dugc tao ra trong ving chuyén ti€p Schottky tao ra dong quang dién. Lap kim loai c6 thé ban trong suét, dic biét trong suét vdi cdc tia gin cué tim. 7.2.4. Pin mat troi D6 la edie phOw Aidt hogt dong khong cfin nguén phan eye ben ngoai nhung lai cho dong dign chay qua tai Ry. 107Doi voi mot didt thong thu’ng, thi tich s6 V.I cla thé va dong qua didt luon luon 1a mot s6 dirong; diéu d6 c6 nghia 1a né hap thy nang Ivong (hinh 7.9). Nhung néu didt dé duge chiéu ing thi dic trung I(V) khong cOn di qua géc toa 46 nifa (hinh 7.9a). Khi dé cé thé 6 tich s6 V.1< 0, c6 nghia 1a diot cap nang lugng cho t Pin mat trdi g6m mot chuyén tiép P-N nim rat gin bé mat chiéu sing duge céu tao tit mot ving N* (ban dan loai N pha tap rat cao dé giam dién tré n6i tiép) va mot mién P pha tap it hon. Lép kim loai tiép xtic phia tren cé dang dac biét dé lam tang sy hap thy tia sng (hinh 7.94). v a) Dac trung I(V) b) Cach n6i pin mat trdi vi tai co. 14pm: osfon In f. \ SP en) k x | Ry tom c) So dé tuong duong d) C&u tao nhin tir tren xuéng Hinh 7.9. ae trung va edu rao cilia pin mat trai. Néu Jogi trit dign trd n6i tip, thi dong dign chay qua tai (hinh 7.9¢) sé tim duge: T=Iy,-1, (exp(qV/KT)-1] (mA) 1.) S6 hang dau tién trong (7.7) 1a dong quang dién cita di6t duge phan cyc thugn bai thé do dong chay qua dign tré tai R, sinh ra. Khi doin mach (R, = 0), thi thé V = 0, ta tim duge: I.. = Ipn- Con khi hé mach (I = 0), thi thé dign dong ciia pin sé 1a: Rone log! “Be s1)= Kopi, qa I, Cong suat ma pin c6 thé cung cp cho tai 1udn luon bé hon tich 6 VeyT... Mudn tang cong suat nay, phai tang dong quang dign dng va phai gidm dong bio hoa I, cia ving chuyén tigp P-N ciia pin. 108Bay gid ta xét xem khi ndo thi cong suat t6a ra trén tdi dat gid tri cuc dai? Cong suit t6a ra tren tai Mi: P= vi -rs{exeg-1)). Cong suat nay dat gid tri cyc dai khi: + =0, nghia la: Tied6 tim duge gi trj the eye dai xéc dinh theo phuong trinh: 1 (te exp vm = 4 PA KT)? eT a Ph6i hop v6i (7.7) s8 xée wedi duge dang eye dai: Cong suat cuc dai P,, = Varlp biéu dién bang dign tich cia hinh chi nhat duge gach chéo tren hinh 7.10, c@ bing 80% cOng suat Viole. Biét dugc thé va dong cute dai, c6 thé tim duge dign tré tai t6i uu : kr Ho) qd Ke] Gi tr dign tra r8i t6i uw cd 1 Om cho photo didt cé bé mat nhay quang khodng 30cm?. Néu dign tré n6i ti€p cia pin khong thé loai tir rude gid tr] dien td t6i uu, thi bigu thie eta dong din qua tai (7.7) duge viet lai: _ aV-Rsh)_ In isle xT )-1} Higu suat ciia pin giém mot cach ding ké, néu dign tré n6i tiép Ién hon 0,4 Om. Gid tri t6i ma B du6i 0,1 om. Higéu sudt cia pin mat trot Do Ja ti s6 gitta cong suét dién cuc dai téa ra én troi mang tdi: i va cong sudt Anh sdng do céc tia mat Pant Cong sudt cha céc tia sing mat trdi wi bé mat pin 1a tich phan tren mot mién phé cla théng luong c4c phéton t6i, nhan véi nang lugng cla mot photon. 2.6m Pm =S. JoOshve, OW), 02pm trong dé $ 1a dign tich bé mat t€ bao pin mat trai. Cong suat nay phu thudc d6 cao va vi tri thién dink cla mat Udi. Gid i cla nd vio 109kholing 100mW/cm? 8 do cao cita mat bién khi Mat trdi 6 thien din. Con cong suat dign cue dai duge mo ta tren hinh 7.10 sau day: v Bien tt owt tia Toe. Im Vin Yoo Hinh 7.10. Cong sudt cuc dai eta pin mat trai (Céu tao ctia mot tram pin mat troi ‘Mot tram pin mat u i g6m nhitng phén nhy sau: Médun pin quang dign (photovoltaique): modun nay 44 duge dy tinh dé nuoi mot fe quy 12 voi cong suat cuc dai khoing 10, 20, 40 W hoac hon. Néu yéu cilu thé 24V hoac 36V thi phai ghép ndi tigp 2 hoac 3 mOdun véi nhau. Néu mu6n cé-cOng suét cao hon thi phdi ghép song song nhiéu mOdun. Vi mét tram Ién, tam pand chia pin quang dién c6 kich thude kha ton vi né chita nhigu modun n’y. Tém pano chita cdc pin mat trbi nay phdi dugc dong chat xudng dat dé cé thé chiu.duge sitc gié 161 180 km/giv va voi sy thay d6i niet do tir -40°C dén +85°C. Ngoai ra né con dugc bao vé chéng an mon. Chiing duge hudng vé phia mat trdi & ving xich Ago t6t nhat 1a duge dat 4 nhOng noi cao dé hap thy duge nhiéu tia séng Mac cri nhst va cling C6 thsi gian duge chiéu sing 16n nhét, véi'gée khong nhd hon 30° so véi phuong nim ngang. Tren mdi modun duge trang bj mot hop day ndi chita cdc day ndi chiu duge nhiet do va thueng duge n6i voi diét chéng di nguoc dong. C4p néi phai cé thiét dien di 1én va phy thuge vao chiéu dai cia né dé gidm bot mat mat do dign rd ohmique. Ciing céin tinh dén cdc médun kisi nhau khong c6 cing mot dic trung nhu nhau va doi khi c4i nay thi bj 16i trong khi nhiing cdi khéc thi lai khong. Trong trudng hop nay phai diéu chinh Iai sy can bang cia céc modun nhe mot dist bio ve mac song song. Nhu vay ngudi ta cé thé tanh duge hign trong “céc diém éng” trén cdc té bao pin quang dien. BG dcquy. Vige tich tr nang lugng 1a vie khong thé thiéu duge khi tram hoat dong vé dem, Dé thyc hign vige tich trit nay, ngudti ta ding cde bd dcquy, vé nguyén tdc c6 thé ding cdc Acquy chi ho&c dcquy cadmi-nickel. Sy lya chon phy thudc vao: loai ing dung, cic dae tink dign (ty nap dign cho tai, hidu sudt, dO duy tr) vao céc digu kign sit dung (thoi ti€t chu ky phong nap dién, cAc ti€p xtic co hoc), v.v... B6 phan diéu khién nap va phong dién ‘Chic nang diéu khign tai Ii : - Han ché ti cho dcquy dé trénh quéstai va gidm bot sy tieu thy chat dign phan ~ Bio vé nbd vigc ct sy sit dung dé chéng su phéng dign lau dnh hudng dén tudi tho cia dcquy. - Nap dién nhanh cho écquy dé dua né vio hoat dong phyc vy, sau. mot chu ky thiéu hut, ~ Digu khién the 16i ra dén nai tieu thy. Hinh 7.11 18 thi dy cha mot bo diéu chinh nhu vay. 110.o0o 000 coo Tai Paené pin mat toi igu khién ere 8 1: Nguén the bd try 3 cided ove Dist Ike 4 53: Tht bé chink 7,8: Phdn diéu chinh Hink 7.11. So dé didu khidn nap va phéng dién cia mor tram pin mdi tro 7.2.5. Photo tranzito Phot tranzito 1A mot tranzito hiding eyc cé bazo nhAy véi cdc tia sing. Nu bare dé néi (nghia la khong n6i v6i bat k¥ chan nao), thi khi chua chiéu sdng, trong tranzito cé dong 1 Lexa chay qua. Khi bazo duge chi¢u séng, dong quang dien I», xudt hién trong photo dist tao béi chuyén tigp colects bazo va diéu khign hogt dong cia tranzito. Do vay dong colecta do duge: To=B pn + Teno. Dong dien chieu séng cia photo tranzito chinh 1a dong quang di€n cia photo Aidt colecto bazo nan vdi h¢ sO khuéch dai cia tranzito. Chinh vi vay ma photo wanzito c6 hé sO khuéch dai cao hon photo didt hang tram [4n (tir 100 dén 400 lén), nhumg c6 nhuge diém 1a dong t6i 1én; ngoai ra, do dQ day cita bazo Ién, nén hang s6 thoi gian cia céc quang hat tai ciing lén; digu d6 kéo theo tén 6 cit cla photo tranzito nhd hon nhiéu so véi cha photo aid. Cilu tao va Unh chat cia photo tranzito duge mo td trén hinh 7.12. Trong dé ¢6 ho’ die ttung Idi ra thay d6i theo thong lugng chiéu sing. BO nhay quang dugc quan sét 1a vao co HA/luX, khi thong lugng chiéu sing & ngoai ving 3000 lux, thi dd nhay quang khong con thay d6i mot c4ch tuyén tinh nia. h YS k mA 3000 be hy 19) 1000 t% 300 Ye — 7 ” ot woo os 0 45 a) Cau ta0 b) Ky higo ©) Dac tumg I6i ra ‘Bink 7.12, Cd tao va de rrung 16i ra ciia phste tranzito.Dé Ling tan sé cil, ngudi ta abi bazet voi emito;, nhumg céch may lai am gid do nhay Khoing 60% kbi dién tré Rp = 100 kQ. Nguéi ta cdn thue hién mol vi mach gém hai tranzito dé Lum mot linh kign goi 1a phos Darlington c6 dO nhay quang khé cao (300 pA/Ix). Tuy nhién, do higu img phan héi lam ting dign dung baze colecto nén [am gidm tin s6 cit. Thi gian phdn img din hinh cho photo didt Ja 0,04 fis; § ps cho phOté tranzito va 50 ps cho photo Darlington. 7.3, CAC LOAL LINH KYEN PHAT QUANG 7.3.1. Sut phat xa nb sing trong ban din Sy chuyén doi cia dién tir gitta ving dan va ving héa tr voi sy bio toan véc to sng K, sé kém theo bie xa mOt photon. Dé 1a chuyén dist bite xa; trong chuyén dai ndy, nang iveng cla photon phat xa bing higu cdc mic nang Ivong trude va sau khi chuyén doi: Hinh 7.13 m6 ta tat 4 cde qua trinh chuyén di kha di e6 thé xdy ra trong mot vat ligu ban dan: Ry: Qué trinh tai hop ving véi ving gitta: (1) Dien tir cha ving din véi 16 wéng via viing héa wi Q) Dign tirndng va 16 wong. w (3) ign tit va mot 18 tréing nding. Ro: Qué trinh tai hop ving vi tam tai hop gitta: (4) Dien tir cia ving dan véi [6 tr6ng cila tam ac-cep-t0, (S) Dien tit cha tam do-no v6i 18 tr6ng ca vang héa tr. Ry: Qué trinh tai hop tam. vi tam gidta: (6) Bien tir eda tam do-no v6i 15 tng cia tam ae-vep-to Hink 7.13. Cac qua trink tdi hop bite xa khd di. Bude séng véa dnh sng phat xa (um) do bing 1,24/%, (eV) cho qua trinh Ry va bé hem d6i véi cae qué tind R, va R;. Nhing vat ligu bin dan bien c6 cho phép phat cc tia sang 6 ving phd pha toin b6 ving kha kign. 7.3.2. Diét huymh quang Diét huynh quanh 1a mot chuyén tiép P-N phan cue thuan. Do vay cae dign tir eo ban tr phia N duge phun sang mién P qua ying chuyén igp va tii hop vai 16 dng; nguae lai, 16 trong Iai phun ti P sang N tai hyp véi dign tit. Trong qué tinh 14i hop, nang lugng duge git phong dudi dang tia bite xa. Chinh vi vay dit loai nay duge goi 1a diét phat quang LED (Light Emitting Diode). Hinh 7,14 Ia so dé cau tao va nguyén tac hoat dong cla LED. Su t4i bop duve thyc hign trong cA ba ving, nhime do mae do pha tap vi dg day cita ba ving nay khée nbav nén mie do ti hop cing khée nhau, Vi didt hogt dong theo phan cye thuan, nén mién chuyén tigp P-N rat hep va c6 dién trudng yCu, nén céc hat duge gia te ra Khoi ving nay; do vay ede hat tai bj ti hgp rét it. Sy w4i hap chit yeu xdy ra trong ving P va N o6 chigu day c@ L, va Lp, do vay hién wong phat séng cha yéu xdy ra & day. Tuy nhién, dign tr 112