Mikroszkpia gyakorlat

Villamosipari anyagismeret laboratrium

2010

A mikroszkp szerkezete
A manapsg hasznlt optikai mikroszkpok felhasznlsi terlete s felptse rendkvl
szertegaz, de az alapegysgeik hasonlsgot mutatnak: lssuk egy biolgiai mikroszkp
felptst (1. bra). A gyakorlaton anyagvizsgl mikroszkpokat fogunk hasznlni. Mg a
biolgiai mikroszkp tvilgtja a metszetksztssel kapott mintt, az anyagvizsgl
mikroszkp a tmr mintkat nem tudja tvilgtani, gy fellrl vilgtja meg s onnan is
szemlli.
1 szemlencsk
2 binokulris (kt
szemes betekin-
ts) fej
3 revolveres
trgylencsevlt
4 szrtart
5 vz
6 trgyasztal
7 kondenzor
magassgllt
8 kondenzor
9 apertra rekesz
szablyz
10 kondenzor
kzpontost
11
trgyasztalmoz-
gat (x-y irny)
13 vilgts
rekeszllt
14 s 15 durva s
finom
lessgllt
16 lmpahz

1. bra. Biolgiai mikroszkp felptse [4]

1
Meg kell jegyezni, hogy az 1. bra mikroszkpjnak binokulris feje a kt szemlencsvel nem
trbeli kpet ad, hanem a szemll, hogy a hossz mikroszkpos munka ne legyen fraszt, ne
kelljen fl szemt behunyva dolgozni ugyanazt a kpet nzi mindkt szemvel. Mivel mi
emberek nem vagyunk egyformk, ezrt szksg van a pupillatvolsg belltsra a
binokulris (kt szemes betekints) fejen, amit itt snes rendszerrel oldottak meg.

Az anyagvizsgl mikroszkpok felptse:

Fmek, s ms nem tltsz mintk felletnek vizsglata csak visszavert fnyben trtnik. A
megvilgts s a megfigyels ugyanazon irnybl trtnik, tkrk juttatjk a fnyt az anyag
felletre. Egy fmmikroszkp elvi elrendezse a 2. brn lthat vilgos s stt ltter
megvilgts esetn: Az objektvon keresztli megvilgts azrt szksges, mert a trgylencse
mr kis nagytsok esetn is olyan kzel van a trgyhoz, hogy kls lmpval nem tudjuk
egyenletesen megvilgtani.

2. bra. Vilgos (bal oldali kp) s stt ltter (jobb oldali kp) megvilgts elve [3]

A vilgos ltter megvilgtsnl a mintt egy fellrl tltsz tkrn keresztl nzzk,
ugyanez a tkr vetti a trgyra a balrl jv fnyt. A stt ltter megvilgtsnl szintn
tkrk vettik le a balrl jv fnyt, amit aztn egy polrozott kpfellet vett krkrsen a
trgyra. Ezltal az anyag felletn lv mlyedsek jobban lthatak. gy mkdik a mrsben
szerepl kamerval elltott Zeiss anyagvizsgl mikroszkp is (4. bra).

Most nzzk a mikroszkp egyes rszeinek feladatt:

1. Trgylencse = objektv: feladata, hogy a trgyrl nagytott kpet ksztsen. Optikai hibkra
korriglt tbblencss rendszer, mely alapveten meghatrozza a mikroszkp nagytsi
tartomnyt, s azt, hogy milyen kis rszleteket lehet a mikroszkppal felbontani. A
trgylencse kpt a szemlencse tovbb nagytja. A trgylencse vals (ernyn felfoghat) kpet
ad.
2. Szemlencse =okulr: feladata az objektv ltal ksztett kp tovbbi nagytsa. Lehet
mrsklt, vagy szlkeresztet belepteni mrsekhez. A szemlencse virtulis (ltszlagos)
kpet ad, amit a szemnkkel nznk. A trgylencse s a szemlencse is egy lencserendszer, de
az egyszersg kedvrt a tovbbiakban egyes szmban lencseknt rjuk le.
3. A tubus: a szemlencse s a trgylencse kztti cs, mely tovbbi nagyt vagy fnytr
optikai elemeket is tartalmazhat. A knyelmes munkhoz lehet dnthet, binokulris fejnl a
szemtvolsg llthatsga is fontos. Az azonos tubushossz mikroszkpok lencsi lehetnek
felcserlhetek.
4. Trgyasztal a mintamozgat szerkezettel: biztostja a minta rgztst s a mozgatst.
Legjobb az X-Y koordintarendszer mentn mozgat fogaskerk-fogaslc kapcsolat.

2
5. lessgllt rendszer: a minta s a mikroszkpfej kztti tvolsgot lltja gy, hogy a
trgy fkuszba kerljn. Nagy nagytsoknl kln durva s lessgllt szerkezet van, kis
nagytsnl, pl. sztereomikroszkpnl elg egy, mert nagyobb a mlysglessg.
6. Vz s llvny: az elektromos s mechanikus rszeknek megfelel vdelmet, ill. rezgs-
mentessget biztost. Fontos, hogy nagy tmeg, stabil legyen, mert a nagy nagyts hasznlata
a mikroszkpot rt rezgseket is felersti. Legtbbszr nttt fmbl kszl.
7. Fnyforrs: lmpahzban elhelyezett halogn izz vagy xenonnal tlttt kisllmpa, mely
szles spektrum fehr fnyt szolgltat a megfigyelshez s fnykpezshez a lthat sugrzsi
tartomnyban 380-780 nanomter kztt. Minl jobban kzelt a fnyforrs sznhmrsklete a
naphoz (kb. 5600 Kelvin), annl termszetesebben ltjuk a szneket a mikroszkpon keresztl.
Idelisan egyntet megvilgtst a Khler-fle megvilgtsi rendszer biztost.
8. Kondenzor s kollektor lencsk: feladatuk a fnyforrsbl jv fny sszegyjtse s
prhuzamostsa. A trgy kzelben lv kondenzor lencserendszer egyetlen feladata, hogy az
sszes fnyt a trgylencse ltmezejbe fkuszlja.
9. Fnykpez rendszer, mely lehet illeszt lencsvel csatlakoztatott digitlis fnykpezgp,
videokamera; CMOS vagy CCD szenzoros rendszer, melyek a kpet monitoron folyamatosan
megjelentik s fott is kszt. A digitlis fnykpek fontosak a vizsglati eredmnyek
dokumentlsra, beilleszthetk a jegyzknyvbe.

3. bra. A mrsen szerepl Zeiss 4. bra. Le Chatelier rendszer, vagyis

anyagvizsgl mikroszkp [3] fordtott elrendezs fmmikroszkp. Elnye,
hogy nagyobb trgyat r lehet tenni, mint a
szomszdos kpen szerepl mikroszkpra. [3]

3
Lekpezsi hibk
Az optikai rendszereknl fontos a lekpezsi hibk minimalizlsa, ez sokszor egymsnak
ellentmond felttelek kztti optimalizlst jelent.

A szferikus aberrci (gmbi eltrs, 5. bra) oka, hogy a lencse szlein thalad sugarak
nagyobb eltrtst szenvednek, mint az optikai tengellyel kis szget bezr fnysugarak. Ebbl
az kvetkezik, hogy a prhuzamosan rkez fnysugarak nem egy pontban (F) metszik
egymst. Az idelis optikai rendszerek esetn paraxilis (az optikai tengellyel prhuzamos,
ahhoz kzeli sugrmenettel szmolnak) A szfrikus aberrci ellen a lencse lerekeszelsvel,
nha aszfrikus (nem gmbfellet) lencsk alkalmazsval vdekeznek.

5. bra. Szferikus aberrci [3] 6. bra. Kromatikus aberrci

Kromatikus aberrci (sznfgg eltrs, 6. bra) oka, a diszperzi, azaz a lencse

trsmutatjnak rtke fgg a fny szntl (hullmhossztl), aminek kvetkeztben a kk
szn fny ersebben, a vrs gyengbben trik meg, a lencse prizmaknt viselkedve
kismrtkben bontja a fehr fnyt. A kromatikus aberrci ellen akromt, apokromt
lencserendszerek tervezsvel vdekeznek, melyeknl az eltr trsmutatj s grblet
lencsk megvlasztsval minimalizljk a jelensget. Nha ED (Extra Low Dispersion), azaz
alacsony sznszrs lencst alkalmaznak.

A geometriai torztsi hibk sorn az optikai rendszer egy egyenest grbn kpez le,
jellegzetes kpviseli a 7.-9. brn lthatak, ezeket legegyszerbb egy ngyzetrcs
lekpezsn szemlltetni.

7. bra. Hords torzts 8. bra. Hords torzts 9. bra. Prns torzts

szemlltetse [3] fnykpezsnl [3]

4
Tkrzds A sima fnyes lencsefelletekre rkez fnysugarak egy rsze a lencsefelletekrl
visszaverdik. Minl tbb szabad lencsefellet van egy lencserendszerben, annl tbb a
tkrzds. A tkrzds cskkentsre a mikroszkp sszes szabad lencsefellett (a belsket
is), valamint a prizmkat tbbrteg tkrzdsmentest bevonattal ltjk el (mivel egy adott
vastagsg rteg csak egy adott hullmhosszra tkrzds-mentest). A bevonatokat
vkuumgzlses eljrssal viszik fel a felletekre.
A tbbi lekpezsi hiba lersa megtallhat az [1] szakirodalomban.

A mikroszkp objektvek (trgylencsk)

-A legolcsbbak az akromt objektvek, melyek a piros s kk szn szerint kromatikusan
korrigltak. Ez azt jelenti, hogy e kt sznt kzs fkuszpontba kpzik le.
-A plnakromt objektvak a 2 sznre val korrigltsg mellett skra is korrigltak: a minta
egsz skjt lesen kpezik le.
-Az apokromt objektvek kromatikusan 4 sznre korrigltak, szferikusan pedig 2 sznre, fleg
fnykpezs esetn jelent elnyt ersebb korrekcijuk, ruk kb. ktszerese az akromtoknak.

10. bra. Objektvek jelzsei [5]

A 10. brn az objektvek lehetsges feliratai lthatk: az objektv nagytsa (10x, 20x stb.), a
numerikus apertra, a vgtelen korrekci, a minta fed veg vastagsga, ez az rtk
anyagvizsgl mikroszkpoknl nulla, mivel nem vilgtjk t a trgyat; a korrekci szintje.
Nagy nagyts trgylencsknl Oil vagy HI (homogeneous immersion) jelzs olaj immerzi
alkalmazsa esetn, gy rhet el nagyobb numerikus apertra (14.bra).

Mikroszkp okulrok: fleg az utbbi idben terjedtek el a WF tpus szemlencsk, melyek

kialaktsuknl fogva szemvegesek szmra is lehetv teszik a szemveggel egytt trtn
betekintst, angolul az ilyen okulrokat wide angle / wide field vagy high eye point
okulroknak nevezik. Az okulrok is optikailag korrigltak, a nagyts, mely ltalban 5...20-
szoros fel van tntetve rajtuk.

5
A mikroszkpi kp jellemzi

Nagyts: a mikroszkpi kp s a trgy mretnek hnyadosa.

ltalban a trgylencse s a szemlencse nagytsnak szorzata, azonban mg nvelhetik a
tubusban a trgylencse s a szemlencse kztt elhelyezked optikai elemek. Ha a kp
monitoron jn ltre egyszeren meghatrozhat a nagyts: a monitoron lemrt kphosszat el
kell osztani az ismert trgyhosszal. A nagyts nem minsgi jellemzje a kpnek: egy gyenge
optikj mikroszkpnak is lehet magas nagytsa. A fnyszrds (diffrakci) miatt az optikai
mikroszkpoknak van egy elrhet maximlis nagytsi hatra, mely ma digitlis
mikroszkpoknl kb. 5000-szeres lehet.

A mlysglessg az optikai tengely irnyban mrt tvolsg tartomny amelyen bell les
kpet kapunk. Nagyon fontos, hogy egy adott munkhoz kivlasztott mikroszkpnak legalbb
akkora mlysglessge legyen, hogy az sszes egyszerre lekpezend alkatrsz les legyen. A
mlysglessg a nagyts nvelsvel exponencilisan cskken (11. bra.)

11. bra. A nagyts nvelse a mlysglessg cskkenst okozza (Keyence gyrtm.

mikroszkp)

A felbontkpessg a trgyon mrhet legkisebb tvolsg (d) melyet az optika klnbz

pontoknak kpez le. Ez a kp minsgnek egyik legfontosabb jellemzje. Mrszma lehet a d
tvolsg, de t lehet szmtani vonal pr/mm-be is. Vannak tesztbrk egyre finomabb fekete-
fehr vonal prokkal, mellyel a felbontkpessg vizsglhat: melyik bra az, ahol mg ppen
kln ltjuk a vonal prokat - ennek alapjn egy tblzatbl kikereshet a felbontkpessg. A
12. bra egy USAF rendszer felbonts vizsgl brt mutat. Azt kell meghatrozni melyik
csoport melyik elemt ltjuk mg kln. Persze ez a vizsglat valamennyire szubjektv, az
Optikai tviteli Fggvny (OTF) mrs - melyhez bonyolult berendezs kell - ad objektvebb
rtket.

Vonal pr / mm-ben mrt felbontkpessg

az USAF felbonts vizsgl brn
csoportszm
Elem -2 -1 0 1 2 3 4 5 6 7
1 0.250 0.500 1.00 2.00 4.00 8.00 16.00 32.0 64.0 128.0
2 0.280 0.561 1.12 2.24 4.49 8.98 17.95 36.0 71.8 144.0
3 0.315 0.630 1.26 2.52 5.04 10.10 20.16 40.3 80.6 161.0
4 0.353 0.707 1.41 2.83 5.66 11.30 22.62 45.3 90.5 181.0
5 0.397 0.793 1.59 3.17 6.35 12.70 25.39 50.8 102.0 203.0
6 0.445 0.891 1.78 3.56 7.13 14.30 28.50 57.0 114.0 228.0

12. bra. USAF rendszer felbonts vizsgl bra a felbontkpessg tblzattal

6
Persze nem mindegy, hogy egy adott felbontkpessget milyen kontrasztviszonyok mellett tud
a mikroszkp. Ha a fekete vonal tnyleg feketnek, a fehr valban fehrnek ltszik, azt
mondjuk nagy a kp brillancija.

A numerikus apertra

A trgylencse numerikus apertrja kzvetlenl meghatrozza a felbontkpessget s az

elrhet hasznos nagytst, ezrt erre kln ki kell trnnk.

A mikroszkp felbontsa: d =
2n sin
Ahol a megvilgt fny hullmhossza, ezrt lehet ennek cskkentsvel: pl kk szn
megvilgtssal a felbontkpessget nvelni.
n a trgylencse s a minta kztti kzeg trsmutatja.
a trgylencse ltal befogadott sugrnyalb fl kpszge ld. 13. bra.

A kpletbl az NA = n . sin mennyisget nevezzk numerikus apertrnak. Valjban ez a

trgylencse s a fnyt koncentrl kondenzor numerikus apertrjnak tlaga (de jl
sszehangolt esetben a kett megegyezik).
Ha leveg van a trgylencse s a minta kztt: nagy a trsmutat klnbsg az veg s a
leveg kztt, ezrt az objektv csak kisebb szgtartomnybl tudja a fnysugarakat fogadni,
gy kisebb a numerikus apertra. Immerzis olaj alkalmazsa esetn az elbbi trsmutat
klnbsg kisebb, ezrt nagyobb a trgylencse ltal befogadott sugrkp (14. bra.) s a
trsmutat, ami magasabb numerikus apertrt jelent.

13. bra. Nagy (Low) s kicsi (High) numerikus 14. bra. Immerzis kzeg hatsa a numerikus
apertrj trgylencse. A kisebb numerikus apertra rtkre [3].
apertrnl kisebb a trgylencse ltal befogadott
sugrnyalb

A kvetkez tblzatbl kiderl, hogy a numerikus apertra hogy hatrozza meg a mikroszkp
felbontkpessgt s a szksges nagytst. A felbontkpessg a fenti kpletbe 550
nanomteres zld fnyt helyettestve szmoltk. Van egy hasznos nagytsi hatr, amely fltt
hiba nveljk a szemlencse nagytst csak a packat nagytjuk tovbb, (mint a
videokamerkon a vsrlk becsapsa rdekben felrt 300-szoros digitlis zoom) Teht amit a
trgylencse nem bont fel, azt a mikroszkp tbbi rsze sem fogja ltni. A tblzatban az az
klszably szerepel, miszerint a hasznos nagyts a numerikus apertra 500-szorosa s 1000-
szerese kztt van.

7
NA = numerikus Felbontkpessg Felbontkpessg A szksges nagyts hatrai
apertra m vonal pr / mm 500*NA 1000*NA
0,04 6,9 145 20 40
0,12 2,3 436 60 120
0,25 1,1 910 125 250
0,5 0,55 1820 250 500
0,65 0,42 2380 325 650
0,75 0,37 2730 375 750
0,95 0,29 3450 475 950
1,3 0,21 4750 650 1300
1,4 0,19 5090 700 1400
1. tblzat. A numerikus apertra hatsa a felbontkpessgre s a hasznos nagytsra

Digitlis mikroszkpok

15. bra. 500-5000-szeres nagyts kztt 16. bra. A mrsben szerepl fehr LED-es
llthat Keyence digitlis mikroszkp. megvilgts digitlis USB-mikroszkp
40-szeres s 140-szeres nagytssal.

Digitlis mikroszkp, melybe mr nem lehet belenzni: CCD vagy CMOS rzkelre kszt
kpet, melyet szmtgpes monitorra tovbbt. A 19. brn szerepl oldals toldalk a fny
bevezetsre szolgl. A gyakorlaton is tallkoznak hasonl felpts USB-mikroszkppal (20.
bra.).

A sztereomikroszkp
Mivel az ember kt szemmel trben lt, clszer ezt a kpessgt a mikroszkpoknl is
kihasznlni. A 3. dimenzi lehetsget teremet arra, hogy az egsz alkatrszt trben ttekintsk
a sztereomikroszkppal. Gyrtsoroknl, bejv ru tvtelkor elszeretettel alkalmazzk apr
alkatrszek ellenrzsre.

8
 Dioptria-
korrekci

Dobvlts
nagytsllt

lessgllt

17. bra. PZO sztereomikroszkp 18. bra. Dobvlts nagytsllts sztereo-

kpe a kt okulr tvolsga llthat. mikroszkp felptse Ok-okulrok, Pr-kpfordt
prizmarendszer, tengelye krl llthat a
pupillatvolsg. [1].
A sztereomikroszkp (17. s 18. bra) kt sugrmenete kb. 14-17 fokot zr be, mely
megegyezik azzal a szggel, melyet a kt szem tengelye zr be a tisztnlts tvolsgban (25
cm) val nzsnl. Az Objektven belli G-Galilei tvcsves rendszer (22. bra) megnveli a
nagytst, fordtva alkalmazva viszont lecskkenti, gy ugyanazt az optikai elemet ktszer
hasznljk A trbeli kpnek az az ra, hogy kicsi a nagyts: kb. 5-40-szeres nagytsig szoktk
hasznlni ezt a mikroszkpfajtt. Azrt sem j a nagy nagyts, mert drasztikusan lecskken a
mlysglessg.
A sztereomikroszkp megvilgtsa trtnhet kls fkuszlt fny halognlmpval,
gyrsfnnyel (szloptiks, fnycsves, LED-es : 19. bra), a gyrsvakut makroobjektv kr
szerelve kzelfnykpezshez hasznljk, mert egyenletes, rnykmentes megvilgtst tesz
lehetv.

19. bra. LED-es gyrsfnyes 20. bra. Egy specilis cl sztereomik-

megvilgts sztereomikroszkphoz roszkp: az opercis mikroszkp szemszeti,
mikro sebszeti beavatkozsok-hoz.

9
A mikroszkpos mrs, a mrmikroszkp
Sokszor fordul el, hogy a mikroszkpos kpen mrni kell, lssuk milyen lehetsgeink vannak
r:
- Ma nagyon gyakori a mikroszkpra szerelt kamera, mely kpt a monitorra tovbbtja
(a gyakorlaton is ilyet hasznlunk), a szmtgpre teleptett kpelemz szoftverrel egy
ismert etalonnal val kalibrci utn tudunk hosszmreteket, szgeket mrni.
Az ismert etalon egy trgymikromter, mely nevvel ellenttben 0,01 mm-es oszts:
22. bra.
- Vannak specilis mrmikroszkpok is (21. bra.), melyeknl egy szlkereszt X s Y
koordintit lehet leolvasni, vagy egy gombnyomsra szmtgpes Excel fjlba
bevinni.
Egyes mrmikroszkpok 3 koordints rintsmentes mrst tesztnek lehetv.
- Lteznek mrokulrok, melyekkel kalibrci utn hosszmreteket lehet mrni.

21. bra. A Mikroelektronikai s 22. bra. Trgymikromter: veglapba karcolt

Technolgiai Intzet mikromter 0,01 mm tvolsg osztsok
felbonts mr-mikroszkpja 50x100
mm munkaterlettel, als (kontr) s
fels megvilgtssal

Az tlagos szemcsetmr meghatrozsa fmcsiszolatokon.

Klnsen fontos a szemcsk mretnek ismerete, ugyanis az anyagok tulajdonsgai

szemcsemret-fggk. A periodikus mechanikai ignybevtelt a finomszemcss anyagok
jobban brjk, mint a durvaszemcssek. Az tlagos szemcsemret (d) legegyszerbben gy
hatrozhat meg, hogy egy L0 hosszsg egyenes vonal ltal "metszett" szemcsk szma (N)
L
ismeretben kpezzk az albbi hnyadost: d= o
N

10
Mikroszkpi fm mintk elksztse
A vizsglathoz a mintn nagyon sima, skfelletet kell kialaktani, a mikroszkp kis
mlysglessge miatt. Amennyiben tlsgosan kicsi a minta, a knnyebb kezelhetsg
rdekben mgyantba gyazzk Mikroszkpi fm mintkat elszr t-hat-fle, egyre
finomabb csiszolpaprral csiszoljk, majd polrozzk. A polrozott mintn ltalban a
repedsek, regek, zrvnyok, s az egymstl eltr szn fzisok vizsglhatak. Ezutn a
fzishatrok s a krisztallit hatrok lthatv ttele maratssal trtnik

Flvezetk fnymikroszkpos vizsglata

23. bra. Az oxidrteg tetejrl s a Szilcium 24. bra. Ezrt a klnbz vastagsg
egykristlyrl visszaverd fnysugarak oxidrteggel fedett terletek klnbz
interferlnak: kioltjk, vagy erstik egymst. sznnek ltszanak

Levonatkszts (replikakszts)
Ha a trgyat valami miatt (tl nagy, nem elvihet) nem lehet a mikroszkp al helyezni, akkor
egy kplkeny manyag flit nyomnak a felletre, s amikor megkt a mikroszkp al helyezik
ld. 25. s 26. bra.

25. bra. Celluloid levonat selyemrl [2] 26. bra. Kolldium levonat: Vickers
kemnysgmrs lenyomatok vrsrzen

A mikroszkp tiszttsa
A mikroszkp optikai felletei az antireflex (tkrzdscskkent) rteg miatt rendkvl
knyesek. Az ujjlenyomatot, brmilyen ms lerakdst minl hamarabb specilis eszkzkkel
el kell tvoltani. Mikroszlas optika trlkend s optikatisztt folyadk szksges ehhez.
A hallgatk ezt nem vgezhetik.

11
A mikroszkp finommechanikja
A mikroszkp egy finommechanikai-optikai rendszer, ezrt jobban rzi rtkt, kevsb avul el,
mint a sokszor hozz csatlakoz elektronikai, szmtstechnikai rszek. Most nzznk nhny
rszegysget: min mlik, hogy egy mikroszkp finommechanikja preczen mkdjn. A 27.
bra a mikroszkp lessgllt vezetk, a 28. bra pedig az lessgllt rendszer mkdst
mutatja.

27. bra. Golys vezetkes magassg- 28. bra. Csigs lessgllt rendszer: ha a T-jel
llts: az alacsony srlds gombot egyszer krbetekerjk az S-csiga 1-fognyit
alapfelttele a pontos fordt a B-fogaskerken, melynek hatsra a C-kisebb
finombelltsnak. A kotyogst a 4.- oszts fogaskerk 1 kis fognyit emel a D-fogaslcen. A
jel rugs feszts hrtja el. [4] konstrukci egy bonyolult finombellt rendszert is
tartalmaz. [4]

Mikroszkpos fnykpezs, mikroszkpos kpelemz szoftverek

ltalban a mikroszkp gyrtjtl szrmaz megoldsok a legjobbak felvtel ksztsre, de
ezek a legdrgbbak is, ltalban kpelemz szoftverrel egytt szlltjk ket. Videokamert,
digitlis kompakt, vagy tkrreflexes fnykpezgpet projekcis adapterrel lehet az okulr
helyre helyezni s fnykpet kszteni. Ma mr kapni gynevezett digitlis okulrokat,
melyeket egyszeren az okulr helyre kell tenni. Fontos megvizsglni:
- -a lekpezett terlet tmrjt
- -a mlysglessget, mert a fotadapter megvltoztathatja,
- -a kp felbontst.
A mikroszkpos kpekre ktelez rfotzni egy sklt, klnben nem tudjuk mekkora a
lefnykpezett rsz. A fehregyensly belltsa is fontos, hogy helyes legyen a kp sznvilga.
Ma mr mindegyik mikroszkpos fnykpezsi megolds CCD vagy CMOS rzkelkkel
dolgozik. Ezek mtrixszeren elhelyezett fnyrzkeny flvezetk, melyek csak a fny
mennyisgt mrik, a sznes kphez mozaikszeren elrendezett sznszr rteget kell rjuk
helyezni (29. bra.).
A mikroszkpos kpelemz szoftvereken tvolsgokat, szgeket lehet mrni, kpeket lehet
rgzteni. Nhny program tbb, klnbz mlysglessg kpbl egy les kpet tud
sszerakni (30. bra) Ms kpjavt programokat is lehet hasznlni kontrasztnvelsre,

12
vilgossgkorrekcira, zajcskkentsre, lestsre: ezekkel egy mikroszkppal fotzott kp
lnyegesen javthat.

29. bra. Bayer-fle sznszr a 30. bra. A kpelemz szoftver kiemeli az egyes
CCD rzkel felett. kpek les terleteit, ebbl rakja ssze a balra es
les kpet

Nagy nagyts mikroszkpok

Eddig fnymikroszkpokrl volt sz, most egy elektronsugrral mkd mikroszkprl lesz
sz, melynek a sugrzs kis hullmhossza miatt nagy a felbontkpessge, gy a nagytsa is.
A nagy nagyts mikroszkpok az eladsanyagban szerepelnek, gy most csak egy olyan
mikroszkprl essen sz, mely a mrnki gyakorlatban inkbb elfordulhat: a szkenning
elektronmikroszkprl (SEM). Mint korbban lttuk, a felbontkpessgnek dnten a fny
hullmhossza szab hatrt. Az elektron-nyalb hullmhossza viszont a sebessgvel (=a gyorst
feszltsggel) fordtott arnyban vltozik, gy a felbonts a nanomteres tartomnyig javthat.
Az optikai mikroszkppal szemben egyetlen htrnya, hogy nem sznes, hanem szrkeskls
kpet ad (ami sznes elektronmikroszkpos kp azt szmtgppel utlag szneztk). risi
elnye a letapogatsi elvbl (31. bra) ered nagy mlysglessg (32. bra.). A psztz
elektron-nyalb a kpalkots mellett felhasznlhat az adott terlet anyagsszettelnek akr
pontrl pontra trtn meghatrozsra (EDS analzis).

31. bra. Psztz elektronmikroszkp 32. bra. Lzerrel bevgott 1,800 mm tmrj
(SEM) elve: a tmbmintt pontonknt cs SEM-kpe: ltszik a nagy mlysglessg
tapogatja le

13
 Szorz
Eltag Jele
hatvnnyal szmnvvel
giga- G 109 millird
6
mega- M 10 milli
kilo- k 103 ezer
0
10 egy
milli- m 103 ezred

mikro- 106 milliomod

nano- n 109 millirdod

piko- p 1012 billiomod

2. tblzat. Prefixumok (egyezmnyes

33. bra. Mi mekkora a termszetben: hogy tudjuk
szorztnyezk) a legtbb mrsnl
mihez viszonytani a mrt adatok nagysgrendjt.
hasznljuk ket.

Ellenrz krdsek:

1. Melyek a mikroszkp f funkcionlis elemei, mik ezek feladatai?

2. Anyagvizsgl mikroszkp trgy megvilgtsi lehetsgei.
3. Sztereomikroszkp felptse.
4. Lencsehibk.
5. Trgylencse jelzsei, rtelmezse, tpusai.
6. Mi a numerikus apertra, milyen kpalkotsi paramtereket hatroz meg?
7. Mi az ssznagyts, a felbontkpessg, a mlysglessg?
8. Mi a nagyts s a mlysglessg kapcsolata?
9. Hogy ksztjk el a mintkat a mikroszkpos vizsglatokhoz?
10. Hogy lehet meghatrozni az tlagos szemcsemretet?
11. Mit tud a szkenning elektronmikroszkprl?

Felhasznlt irodalom:

A Magyarorszgon nyomtatsban megjelent legjobb mikroszkpos szakknyvek a kvetkezk:

[1]. Bernolk-Szab-Szilas: A mikroszkp (zsebknyv). 1979, Mszaki Knyvkiad,

Budapest
[2]. Lovas Bla: Mikroszkp-mikrokozmosz. 1995. Gondolat Kiad, Budapest
[3]. A korbbi laboratriumi tmutat: Dr. Csiszr Sndor: Mikroszkp Villamosipari
anyagismeret (Laboratriumi gyakorlat)
[4]. Determann Lepusch: Das Mikroskop und seine Anwendung Ernst Leitz Wetzlar
GmbH
[5]. www.zeiss.de/micro
[6]. http://micro.magnet.fsu.edu/

14
 Mrst vgezte:
Mikroszkpia gyakorlat
(nv, neptun kd, laborcsoport
Gyakorlatvezet: Mrs ideje: rdemjegy:

A mikroszkpok optikai lencsit s a fmcsiszolatokat fellett tilos kzzel megrinteni!

A mikroszkpok rszeinek funkcii, ami egyben a hasznlati utasts a jegyzet 3. oldaln
tallhat.

1. rja le a gyakorlatvezet ltal kijellt mikroszkp rszeit rszletes magyarzattal, a

magyarzatot otthon is elksztheti. A kijellt anyagvizsgl mikroszkp:

[ ] Zeiss egyenes lls anyagvizsgl mikroszkp [ ] Zeiss Epytip fordtott lls mikroszkp

2. Hatrozza meg egy adott trgylencsvel a mikroszkp nagytst indoklssal:

3. Mrje meg a mikroszkp ltmezejt egy adott trgylencse hasznlata esetn:

mreszkz:
ltmez tmrje:

4. rja fel a kijellt trgylencse adatait (a lencse fellett tilos megrinteni!):

Magyarzat
Gyrt -
Lekpezsi korrekci
Nagyts
Numerikus apertra
Fedveg vastagsga
Vgtelen korrekci
Lt-e a lencsn antireflexis rteget,
ha igen milyen szn
5. A numerikus apertra alapjn a segdletbl keresse ki / szmolja ki a kvetkez adatokat

15
 Felbontkpessget:

A hasznos nagyts tartomnya:

6. Milyen viszonyban van a 2. pontban meghatrozott s az 5. pontban kikeresett nagyts?

Magyarzza meg a kapott eredmnyt.

7. feladat 3 db mikroszkpi fmcsiszolat minta azonostsa a mellkelt fotsorozattal alapjn

(magyar elnevezs, tulajdonsgok lersa)

8. Egy, kivlasztott mintn tlagos szemcsetmr meghatrozsa (rszletesen rja le a

lpseket!)

A kperny vzszintes mrete:

A kperny vzszintes mrete mentn hny szemcse van:
Az tlagos szemcsetmr kiszmtsa (ld. Mrsi segdlet):

9. Kpelemz programmal a gyakorlatvezet ltal megadott mretek lemrse, kpjavts.

Furattmr mrse 2 NYK lemezen:

Feliratok, kivgs, kontrasztnvels a kpjavt szoftverrel.

10. Megfigyelsek sztereo s fmmikroszkppal: rja le milyen mintkat vizsglt:

11. rja le vlemnyt a mrsekrl!

16