See

discussions, stats, and author profiles for this publication at: https://www.researchgate.net/publication/312172649

Peran Reverse Osmosis (RO) dalam Proses

Produksi Ultra Pure Water (UPW)

Article · December 2016

CITATIONS READS

0 379

1 author:

Muhammad Ismet
Bandung Institute of Technology
2 PUBLICATIONS 0 CITATIONS

SEE PROFILE

All content following this page was uploaded by Muhammad Ismet on 10 January 2017.

The user has requested enhancement of the downloaded file.

 Peran Reverse Osmosis (RO) dalam Proses Produksi Ultra Pure Water (UPW)
Muhammad Ismet

Teknik kimia, ITB, Muhammad_ismet@students.itb.ac.id

Abstrak
Permintaan Ultra Pure Water (UPW) telah meningkat selama beberapa dekade terakhir. Sekarang di pasar air dunia, produksi
Ultra Pure Water menempati posisi hampir setara dengan desalinasi air laut, dan memenuhi tuntutan berbagai keperluan industri.
Sebagai tingkat kontaminan yang diperlukan sangat rendah, sistem produksi Ultra Pure Water menggabungkan 5 teknologi sampai
10 pemurnian termasuk ultrafiltrasi (UF), reverse osmosis (RO) dan penukar ion. Dalam beberapa tahun terakhir, RO telah berada
di garis depan dari proses yang rumit ini sebagai pengolahan awal untuk menyisihkan mayoritas pengotor. Makalah ini membahas
tentang meningkatnya peran teknologi RO untuk memenuhi persyaratan teknis di sektor Ultra Pure Water, dengan penekanan pada
aplikasi industri elektronik. Ulasan dalam makalah ini meliputi: 1) permintaan kualitas air yang semakin meningkat, 2) pengenalan
proses elektrokimia ke tahap polishing air dan 3) reklamasi limbah Ultra Pure Water, yang menggunakan RO. Selain itu,
konfigurasi system Reverse Osmosis yang tepat untuk produksi Ultra Pure Water, teknik penanganan scaling untuk operasi dengan
tingkat recovery tinggi, dan metode pembersihan untuk pemeliharaan juga akan di bahas di dalam makalah ini.

Kata Kunci : Ultra Pure Water, Reverse Osmosis, Pemurnian air, Scaling.

1. Pendahuuan menjadi prioritas tertinggi dalam industri farmasi

Ultra Pure Water adalah istilah yang biasa
digunakan dalam pembangkit listrik, produksi listrik,
makanan dan farmasi untuk menekankan bahwa air
diperlukan dalam tingkat kemurnian yang tinggi untuk
semua jenis kontaminan. Beberapa kontaminan
termasuk senyawa organic dan anorganik, terlarut dan
partikel, serta gas-gas terlarut [1]. Ultra Pure Water
juga didefinisikan sebagai pembersihan air dengan
menghilangkan kontaminan tingkat yang sangat rendah.
Ultra Pure Water mengambil bagian penting dari pasar
air dunia, yang diperankan oleh industri dengan nilai
tambah tinggi seperti industri semikonduktor dan
manufaktur farmasi serta aplikasi boiler/pendingin
untuk operasi teknik listrik [2]. Global Air Intelligence
(GWI) melaporkan bahwa Ultra Pure Water
menduduki 20% dari pasar air dunia pada tahun 2011
dan diperkirakan akan bertambah lebih dari $4000 juta
pada tahun 2025, ukuran yang sama dengan pasar
desalinasi air laut [3].
Tujuan akhir dari produksi Ultra Pure Water adalah
menghilangkan semua komponen kecuali molekul air.
Namun karena praktek ini tidak mungkin, maka tingkat
kemurniannya bervariasi, tergantung pada kebutuhan
khusus dari proses yang diberikan. Ultra Pure Water
karena digunakan untuk injeksi air [4]. Untuk air
pendingin, Ultra Pure Water dimanfaatkan dalam
berbagai proses manufaktur termasuk pembangkit
listrik dan pengendalian korosi [5].
Ultra Pure Water digunakan secara luas dalam
industri semikonduktor. Konsumsi oleh industri
semikonduktor dapat dibandingkan dengan konsumsi
air dari sebuah kota kecil. Sebuah pabrik semikonduktor
memanfaatkan air dengan kemurnian tinggi pada
tingkat 2 MGD atau ~5500 m3/hari. Penggunan Ultra
Pure Water bervariasi, dapat digunakan untuk
membilas wafer setelah aplikasi bahan kimia, untuk
mencairkan bahan kimia, dalam sistem optik untuk
perendaman photolithography, atau sebagai make-up
untuk pendinginan cairan beberapa aplikasi kritis. Ultra
Pure Water kadang-kadang juga digunakan sebagai
sumber humidifikasi untuk cleanroom lingkungan [6].
Penggunaan Ultra Pure Water dalam industri
farmasi dan bioteknologi secara ringkas dapat dilihat
pada tabel 1. Perlu diingat, Ultra Pure Water digunakan
sebagai utilitas penting untuk membersihkan aplikasi.
Ultra Pure Water juga digunakan untuk menghasilkan
uap bersih untuk sterilisasi.

Tabel 1. Kegunaan Ultra Pure Water dalam industri farmasi [7]

Tipe
Air bakteriostatik untuk injeksi
Air steril untuk inhalasi
Air steril untuk injeksi
Air steril untuk irigasi
Air untuk injeksi dalam jumlah besar
Kegunaan
Pengenceran untuk injeksi mata dan beberapa dosis
Pengenceran untuk produk terapi inhalasi
Pengenceran untuk injeksi
Pengenceran untuk produk terapi irigasi internal
Air yang sebagian besar untuk persiapan pemberian
obat-obatan parenteral

Mikroelektronika telah memicu perkembangan bagi Ultra Pure Water [8]. Tingkat mikroelektronika
intensif di berbagai industri termasuk aerospace, sistem Ultra Pure Water mewujudkan esensi dari
komunikasi, hiburan, kesehatan, dan pasar yang penting teknologi Ultra Pure Water yang mengadopsi paling

1

kompleks dan produksi lini paling lama. Pembuatan
produk elektronik membutuhkan kemurnian air yang
tinggi dan dalam jumlah yang besar, karena pada tahap
fabrikasi melibatkan Ultra Pure Water [9]. Secara rinci,
Ultra Pure Water mencuci bahan kimia pada
permukaan wafer selama proses backgrinding dan
mencuci bahan non-hardened selama photolithography
dan proses etching seperti pada Gambar 1 [10].
Residual impurities bisa menyebabkan perubahan
berat pada konduktivitas atau kerusakan yang tidak
disengaja yang pada akhirnya mengurangi produk yield
[11]. Sebuah tipe proses fabrikasi mengkonsumsi 3-60
juta liter Ultra Pure Water per hari, karena produksi
massa dan kontrol kualitas Ultra Pure Water
merupakan tantangan penting dalam industri FineTech
[12].
Kebanyakan tahap manufaktur semikonduktor
membutuhkan Ultra Pure Water. Volume dan
kontaminan dari air cucian bervariasi sesuai dengan
jenis pretreatment dan tahapnya.
Tabel 2. Teknologi untuk produksi Ultra Pure Water [13].
Teknologi Dasar Tujuan
Pemisahan Padat Cair Menghilangkan SS,
Pretreatment untuk proses
membran
Proses Membran Menghilangkan garam, Reverse Osmosis (RO), UltraFiltration
bahan organik, partikel
halus, bakteri dan material
koloid
Adsorpsi Penukar Ion Menghilangkan garam, Ion Exchanger, Activated Carbon Filter,
bahan organik dan
polishing ion oksida
Oksidasi dan Reduksi Menghilangkan bahan
organik dan bakteri
Pemisahan Gas Menghilangkan gas larut
(O2, CO2)
Menurut sejarahnya, perkembangan sistem
produksi Ultra Pure Water berbagi peran dengan
perkembangan teknologi membran. Model pertama dari
sistem produksi Ultra Pure Water adalah dengan
mengandalkan teknologi ion exchanger. Termasuk
model penukar kation dan anion pada awal tahun 1970-
an yang diikuti oleh mix-bed deionization untuk
menolak spesies anorganik. Tahanan listrik adalah
parameter penentu kualitas air pada periode 1970-an,
yang mencapai 10-16 MQ cm.
Pada tahun 1980-an, reverse osmosis muncul dalam
sistem produksi Ultra Pure Water untuk mengurangi
total padatan terlarut (TDS), partikulat dan total organik
2
Gambar 1. Penggunaan Ultra Pure Water selama
proses manufaktur semikonduktor [10].
Produksi Ultra Pure Water adalah proses rumit
yang melibatkan sejumlah teknologi pemurnian. Sistem
produksi Ultra Pure Water terdiri dari empat bagian: 1)
tahap pretreatment untuk menghilangkan padatan
tersuspensi, 2) tahap make-up untuk menghilangkan
garam, 3) tahap polishing untuk mencapai kualitas air
yang lebih tinggi sesuai dengan tujuan akhir, 4) tahap
reklamasi bekas Ultra Pure Water [12].
Seluruhnya merupakan sistem produksi kumulatif,
yang artinya setiap proses dipengaruhi dengan output
dari tahap sebelumnya. Pada Tabel 2 dapat dilihat
beberapa teknologi yang berperan dalam produksi Ultra
Pure Water dan tujuannya [13].
Peralatan
Koagulasi dan Filtrasi
(UF), MicroFiltration (MF)
Proses Electro-Based Deionization
Oksidasi UltraViolet (UV)
Vacuum Degasifier, Membrane
Degasifier, Catalytic Resin
karbon (TOC) sebagai pengganti dari sistem two-bed
ion exchanger.
Pengembangan membrane reverse osmosis
bertekanan rendah diselesaikan dengan kinerja wadah
dari pompa bertekanan tinggi, bahkan reverse osmosis
berhasil saat dioperasikan pada recovery 85% dengan
tekanan 10 bar [14].
Pada umumnya reverse osmosis dioperasikan
sebelum proses mix-bed deionization. Dalam 15 tahun
terakhir, reverse osmosis diganti dengan tahap make-up
yang terdiri dari dua ion exchanger sebelum mix-bed
deionization [3]. Dan pada akhirnya, ultrafiltrasi
diperkenalkan untuk tahap akhir sistem produksi Ultra
Pure Water pada pertengahan tahun 1980-an, untuk
menyaring makromolekul dan bakteri sebelum dikirim
ke konsumen.
Kombinasi reverse osmosis, mix-bed deionization
dan ultrafiltrasi memiliki bentuk arus utama pada
produksi Ultra Pure Water dalam beberapa dekade
terakhir untuk memenuhi tuntutan kemurnian air. Pada
Gambar 2 menjelaskan salah satu contoh dari produksi
Ultra Pure Water sistem mikroelektronika manufaktur,
berbagai proses membran digabungkan dalam skema
pengolahan air tersebut [3].
Gambar 2. Alur skematik dari sistem produksi Ultra
Pure Water kompleks untuk system mikroelektronika
manufaktur [3].
Proses-proses berbasis membrane dapat
dikelompokkan berdasarkan gaya dorong
pemisahannya, yang meliputi beda tekanan, beda
konsentrasi, beda temperature, dan beda potensial listrik
[15]. Proses membran juga dapat dikombinasikan
dengan proses lainnya sehingga membentuk proses
hybrid [16]. RO mampu menyisihkan banyak jenis
molekul dan ion besar dari larutan dengan memberikan
tekanan pada larutan yang berada pada salah satu sisi
membran semipermeabel [17]. Pada proses produksi
UPW, RO memiliki peran penting dalam menyisihkan
sebagaian besar pengotor, terutama mineral dan padatan
terlarut [18]. Reverse osmosis sering dimasukkan dalam
tahap make-up, yang memungkinkan produksi air
dengan resistivitas yang tinggi [19].
Reverse osmosis mampu menyingkirkan berbagai
macam kontaminan aestetik yang menimbulkan rasa
yang tidak sedap, warna dan bau seperti rasa asin atau
rasa soda yang disebabkan oleh klorida dan sulfat. Unit
Tabel 3. Persyaratan untuk air pada titik distribusi di industri elektronik dan semikonduktor [10].
Type Type Type
Parameter
E-1 E-1,1 E-1,2B
3
reverse osmosis mampu menyingkirkan semua jenis
bakteri dan virus. Besarnya pori dari membran reverse
osmosis mencapai 0,0001 mikron (ukuran bakteria 0,2
sampai 1 mikron dan virus antara 0,02 sampai 0,4
mikron). Unit reverse osmosis juga mampu
menyingkirkan sebagian besar bahan kimia non organic
seperti garam, metal dan mineral. Reverse osmosis
efektif digunakan untuk menyingkirkan kontaminan
yang menyangkut kesehatan seperti arsenic, absetos,
atrazine (herbisida/pesticide), fluoride, lead, mercury,
nitrat dan lain-lain. Dengan kemampuannya tersebut,
reverse osmosis merupakan teknologi pengolahan air
yang sangat umum digunakan untuk menghasilkan air
yang berkualitas tinggi [20]. RO juga digunakan untuk
menggantikan proses demineralisasi konvensional [21,
22].
2. Perkembangan Teknologi Ultra Pure Water
2.1. Peningkatan Permintaan Kualitas Air Yang Lebih
Tinggi.
Pembuatan perangkat semikonduktor telah
mencapai banyak kemajuan signifikan selama beberapa
dekade terakhir. Produk elektronik terus menjadi lebih
kecil, lebih tipis, lebih ringan, lebih cepat, dan lebih
murah. Sementara itu, permintaan untuk kualitas Ultra
Pure Water yang lebih tinggi berkembang sebagai
perangkat dan menjadi lebih sensitif terhadap
kontaminan. Perkembangan pesat ini hanya bias
diwujudkan dengan respon yang cepat dari infrastruktur
manufaktur [6].
Dalam hal ini, peran dari proses reverse osmosis
layak mendapat penekanan eksplisit dalam mengurangi
penghilangan beban pengotor di tahap polishing.
Teknologi deionisasi menurunkan tingkat kontaminan
dalam permeat reverse osmosis pada tahap polishing,
tapi kualitas akhir sebagian besar dipengaruhindengan
komposisi influen. Selain itu, proses polishing bukan
merupakan solusi menarik karena biaya treatment yang
tinggi serta resiko pemeliharaan.
Tabel 3 memberikan representasi dari kriteria
desain untuk tingkat mikroelektronika Ultra Pure
Water yang disediakan oleh American Society of
Testing dan Material (ASTM) 5127 [22], sebagai
geometri linewidth dari penyusutan semikonduktor,
kemurnian air intensif diperlukan. Salah satu tantangan
terbesar dalam produksi Ultra Pure Water adalah
kontrol partikel.
Type Type Type Type
E-1,3B E-2 E-3 E-4
 Linewidth
1,0-0,5 0,35-0,25 0,18-0,09 0,065-0,032 5,0-1,0 >0,5 -
(µm)
Resistivity
(MΩ cm), 18,1 18,2 18,2 18,2 16,5 12 0,5
25°C
TOC (µg/L) 5 2 1 1 50 300 1000
On-line
dissolved
25 10 3 10 - - -
oxygen
(µg/L)
On-line
particles
(ea)/L
>0,05 µm 500
0,05-0,1 µm 1000 200 N/A - - -
0,1-0,2 µm 1000 350 <100 N/A - - -
0,2-0,5 µm 500 <100 <10 N/A - - -
0,5-1,0 µm 200 <50 <5 N/A - - -
1,0 µm <100 <20 <1 N/A - - -
Bacteria in
CFU/100 5 3 1 N/A 10 50 100
ml sample
Silica-total
5 3 1 0,5 10 50 1000
(µg/L)
Silica-
dissolved 3 1 0,5 0,5 - - -
(µg/L)
Ammonium 0,1 0,1 0,05 0,05 - - -
Chloride 0,1 0,05 0,02 0,05 1 10 1000
Phospate 0,1 0,05 0,02 0,05 1 5 500
Aluminum 0,05 0,02 0,005 0,001 - - -
Boron 0,3 0,1 0,05 0,05 - - -
Calcium 0,05 0,02 0,002 0,001 - - -
Sodium 0,05 0,02 0,005 0,001 1 5 1000

2.2. Teknologi Deionisasi Elektrokimia untuk Tahap

Polishing.
Baru-baru ini, Teknologi deionisasi elektrokimia
telah menerima perhatian yang bisa menggantikan mix-
bed deionization pada posisi tahap polishing [23].
Teknologi ini memungkinkan mendapat air deionisasi
dengan kontrol sistem yang relatif sederhana,
sedangkan mix-bed deionization memerlukan unit
kontrol canggih dengan sejumlah besar perangkat
kontrol [24].
Elektrodeionisasi adalah aplikasi yang paling
umum dari teknologi deionisasi elektrokimia yang
menggunakan pengaruh beda potensial listrik untuk
memisahkan ion dari solusi. Elektrodeionisasi adalah
proses gabungan elektrodialisis dan ion exchanger, Gambar 3. Deionisasi Elektrokimia [24]
dimana antar elektroda diisi dengan resin ion
exchanger. Namun, kualitas permeat dari proses Sebagai tambahan, capacitive deionization
deionisasi elektrokimia sebagian besar dipengaruhi oleh menunjukkan potensi besar untuk polishing air.
komposisi air umpan, yang menyatakan bahwa kualitas capacitive deionization telah muncul selama bertahun-
influen adalah menentukan kualitas produk akhir [25]. tahun sebagai aplikasi yang kuat, hemat energi dan
buaya teknologi yang efektif untuk desalinasi air
dengan kandungan garam rendah atau sedang [26].
Mekanisme pemisahan dalam deionisasi dijelaskan
4

dengan model lapisan ganda dimana penghapusan ion
didorong oleh adsorpsi elektrostatik pada elektroda
dalam kontak langsung dengan solusi.
Gambar 4. Capacitive Deionization [26]
Namun, sebagian besar kualitas permeat dari proses
deionisasi elektrokimia dipengaruhi oleh komposisi air
umpan, yang menyatakan bahwa kualitas influen adalah
menentukan kualitas produk akhir.
2.3. Reklamasi Yang Digunakan Ultra Pure Water
Reklamasi merupakan cara untuk mengatasi
permasalahan pemenuhan kebutuhan akan air. Semakin
berkurangnya air tawar yang disertai dengan penurunan
kualitas air permukaan yang salah satunya diakibatkan
oleh pencemaran limbah merupakan alas an utama yang
mendorong untuk dilakukannya reklamasi. Reklamasi
dapat diartikan sebagai perlakuan atau pemprosesan
yang dilakukan terhadap air limbah untuk membuatnya
dapat diguanakn kembali [27]. Reklamasi juga menjadi
salah satu cara untuk meningkatkan profitabilitas.
Secara signifikan meminimalkan limbah tidak hanya
mengurangi pembuangan biaya tetapi juga
menghasilkan penghematan tambahan dalam sistem
produksi Ultra Pure Water. Secara rinci,
mengembangkan 3785 L dari Ultra Pure Water dapat
memulihkan 46 kWh konsumsi energi, dan sistem yang
menggunakan 11 juta liter Ultra Pure Water dapat
menyimpan lebih dari $ 200.000 per tahun dengan
mengurangi produksi Ultra Pure Water 10% [28].
Aliran kontaminan tingkat rendah dari kiriman air
bilasan bias dihabiskan dengan mengoptimalkan system
pemurnian. Namun, seperti aliran limbah yang
disebabkan fluktuasi dalam karakteristik air umpan,
system ini menghadapi beban teknis terutama pada
tahap make-up. Kemurnian air limbah bergantung pada
sumber airnya.
Prosedur tambahan diperlukan sebelum air limbah
dikirim ke tangki umpan reverse osmosis, tapi dampak
yang tak terduga bisa tetap muncul karena kontaminan.
Penyelidikan fluktuasi dalam permeat reverse osmosis
dan kemungkinan interaksi dengan senyawa dalam
Ultra Pure Water akan memberikan wawasan
parameter untuk kesuksesan Ultra Pure Water daur
ulang dan reklamasi. Pada Tabel 4 menjelaskan
komposisi limbah pengotor pada Ultra Pure Water.

Tabel 4. Komposisi Limbah Pengotor Ultra Pure Water, terutama dari proses manufaktur semikonduktor [7].
Proses Major impurities
Sumber air limbah antara
Backgrinding dan dicing Partikel Si
manufaktur semikonduktor
Tetramethylammonium
Photolithography
hybride (TMAH) dan klorin
Asam inorganik, alkali dan
Pretreatment dan wet etching oxidizing agent seperti
hydrogen peroksida
Subproses seperti maintenance
Senyawa organik
dan jig cleaning
Kimia inorganik Asam HF, HNO3 dan lainnya
Alkali NH4OH dan lainnya
Garam NH4F dan lainnya
Oxidizing agent H 2O 2
Kimia organik Asam organik CH3COOH
Alkali organik TMAH dan lainnya
Alkohol CH3OH, IPA dan lainnya
Fenol
Keton Aseton dan lainnya
Komponen chlorinate Trichloroethylene dan lainnya
Surface active agent

3. Metodologi Reverse Osmosis Untuk Produksi Reverse Osmosis adalah sebuah metode filtrasi
Ultra Pure Water yang mampu menyisihkan banyak jenis molekul dan ion
3.1. Membran Reverse Osmosis. besar dari larutan dengan memberikan tekanan pada
larutan yang berada pada salah satu sisi membran
5

selektif [17]. Aplikasi reverse osmosis sangat banyak
dan beragam, seperti desalinasi air laut atau air payau,
pemulihan air limbah, pengolahan makanan dan
minuman, pemisahan biomedis, pemurnian air minum
dan proses industri. Reverse osmosis juga sering
digunakan dalam produksi Ultra Pure Water untuk
digunakan dalam industri semikonduktor, industri
listrik (boiler) dan medis. Pemanfaatan reverse osmosis
sebelum ion exchanger secara substansial dapat
mengurangi biaya operasi dan frekuensi regenerasi
sistem ion exchanger. Tekanan transmembran untuk
reverse osmosis biasanya berkisar dari 75 psig (5 bar)
untuk air payau dan 1200 psig (84 bar) untuk air laut
[29].
Proses reverse osmosis dilakukan dengan
memberikan tekanan tinggi pada air yang dialirkan
melalui membrane semipermeable dimana pemisahan
ion terjadi. Dengan pemisahan ion, molekul air
mmbentuk barrier yang memungkinkan molekul air
lainnya untuk lewat dan menghalangi lewatnya
kontaminan. Tingkat penolakan kontaminan ini berkisar
antara 85-95% tergantung pada kualitas awal dari air
yang diolah [21].
Kinerja membran Reverse Osmosis merupakan
faktor yang paling penting untuk menentukan efisiensi
dari seluruh proses Reverse Osmosis. Proses Reverse
Osmosis mengkonsumsi sejumlah besar energi untuk
mengatasi tekanan osmotik air umpan,
mengembangkan bahan membran yang memungkinkan
permeabilitas air tinggi yang telah menekankan secara
konsisten.
3.2. Sistem Reverse Osmosis multi-pass
Untuk menghasilkan air dengan kemurnian yang
tinggi, sistem produksi Ultra Pure Water sering
menggunakan sistem reverse osmosis multi-pass. Yang
mana serapan dari proses reverse osmosis single-pass
disaring oleh reverse osmosis multi-pass [30]. Reverse
osmosis multi-pass bertujuan untuk menghilangkan
pengotor tingkat rendah dengan menggunakan
penghalang membran tambahan. Modifikasi dari
reverse osmosis multi-pass dapat mengoptimalkan
konfigurasi sistem dengan kemurnian dan produktivitas
yang baik.
3.3. Bahan Untuk Manajemen Mutu Permeat Reverse
Osmosis.
Selain mencapai kemurnian yang tinggi,
mempertahankan manajemen mutu juga tugas yang
sulit. organik, fluoride, logam pencucian, kontaminasi
dari alat dan kontaminasi residu dari konstruksi, semua
mempunyai risiko, pembangunan saluran Ultra Pure
Water mengharuskan perhatian besar untuk kontrol
kualitas dalam sistem produksi.
Salah satunya adalah isu tentang perpipaan. Bahan
pipa harus memiliki 1) stabilitas fisika-kimia untuk
menahan tekanan air, oksidator dan panas, 2)
permeabilitas inheren rendah oksigen dan 3) sedikit atau
6
tidak ada pencucian konstituen extractable untuk
menurunkan bahaya kontaminasi dalam sistem line.
Aplikasi terbaik adalah dengan menggunakan stainless
steel yang dipoles, tapi penggunaan perpipaan plastik
dalam sistem Ultra Pure Water merupakan hal yang
umum karena biaya yang lebih rendah dan
pemeliharaannya yang mudah [31].
Penggunaan PVC (polyvinyl chloride) telah sering
digunakan di masa lalu, tetapi PVC mengandung
komponen yang dapat larut dalam Ultra Pure Water.
Fluoropolymers menjadi bahan yang ideal untuk
aplikasi Ultra Pure Water, Karena kekuatan dari ikatan
kimia karbon-fluorin, yang merupakan senyawa kuat
dalam kimia organik, jauh lebih kuat daripada karbon-
hidrogen obligasi [32].
3.4. High Efficiency Reverse Osmosis (HERO).
Teknologi High Efficiency Reverse Osmosis
(HERO) telah dipatenkan sejak tahun 1997 dalam
sistem produksi Ultra Pure Water untuk mencapai
produksi yang rendah fouling dan pemulihan yang
tinggi [33]. Fouling adalah akumulasi dari bahan asing
pada air umpan di permukaan membrane aktif dan
pakan spacer ke titik yang menyebabkan masalah
operasional. Fouling mencakup akumulasi dari segala
macam lapisan di membrane dan pakan spacer termasuk
scalling [32].
Teknologi ini mencakup serangkaian alat yang
terdiri dari ion exchanger, degasifier dan reverse
osmosis yang dioperasikan pada pH tinggi. Masing-
masing unit proses ini bertujuan untuk menghapus
kekerasan, karbon dioksida dan garam dengan tingkat
pemulihan yang tinggi.
Gambar 5. High Efficiency Reverse Osmosis [33]
Keunggulan dari High Efficiency Reverse Osmosis
adalah 1) mengurangi jejak hingga 30% yang
memungkinkan untuk kapasitas Ultra Pure Water yang
lebih besar, 2) memperpanjang hidup membran 4-6
tahun dan mengurangi biaya operasi, 3) desain yang
kuat dalam menangani air umpan yang agresif dan
variasi umpan musiman, 4) Memenuhi silica, boron,
fluoride dan spesfifikasi TOC yang dapat menangani
tingkat silica 3-7 kali lebih tinggi disbanding system
reverse osmosis tradisional [34].
3.5. Elektrocoagulation.
Electrocoagulation atau elektrokoagulasi adalah
teknologi pengolahan untuk menghapus total padatan
tersuspensi (TSS), logam berat, bakteri dan kontaminan
lainnya di air [35]. Proses elektrokoagulasi sangat mirip
dengan koagulasi kimia normal, perbedaannya adalah
bahwa elektrokoagulasi menggunakan energi listrik.
Kedua proses ini bertujuan untuk menggoyahkan koloid
yang terkandung dalam kuantitas air, teteapi kedua
teknologi ini berbeda dalam metode penambahan
reagen yang digunakan. Dalam koagulasi konvensional,
reagen ditambahkan sebagai garam, sedangkan dalam
elektrokoagulasi dihasilkan dari logam [36].
Gambar 6. Electrocoagulation [37]
Jumlah silika yang tinggi akan menghasilkan
tambahan yang wajib pada pemurnian untuk kestabilan
kinerja Reverse Osmosis, bahaya meningkatnya scaling
silica ini sebagai akibat reklamasi bekas produksi Ultra
Pure Water [38]. Oleh karena itu, langkah perbaikan
dilakukan termasuk menggunakan teknologi
mikrofiltrasi dan ultrafiltrasi untuk menghilangkan
partikel, proses tekanan-driven seperti sangat
tergantung pada ukuran pori membran, yang berarti
partikel kecil bisa tetap eksis dalam air yang diolah.
Elektrokoagulasi menyediakan kesempatan untuk
partikulat pretreatment yang telah terbukti memiliki
silica selektivitas tinggi [39]. Ultrafiltrasi (UF)
merupakan proses berbasis membrane yang sangat
cocok digunakan sebagai pre-treatment RO [41, 42]. UF
dapat menghasilkan air dengan kualitas yang baik
sehingga dapat mengurangi kecenderungan fouling
pada membran RO. Selain, dengan berbagai
keunggulannya, UF dapat menggantikan pre-treatment
konvensional secara efektif. Akan tetapi, fouling UF
juga merupakan satu tantangan tersendiri [43].
Dasar pemikiran dari elektrokoagulasi terkait
dengan penambahan logam yang memanfaatkan
pembubaran kation polivalen yang bertindak sebagai
jembatan antara partikel silika koloid. Proses ini
menggunakan rangkaian untuk menjalankan arus listrik
melalui solusi melalui dua pelat logam paralel, yang
memungkinkan anoda untuk membentuk ion logam
[44]. Proses ini tersedia untuk setiap jenis partikel tanpa
penambahan bahan kimia dan menghasilkan banyak
kurang lumpur dibandingkan dengan proses
pengendapan kimia yang khas. Meskipun anoda korban
harus secara berkala diganti, elektrokoagulasi
mengurangi biaya operasional hampir 80% jika
dibandingkan untuk koagulasi kimia [45].
7
Den dan Huang [46] telah menunjukkan bahwa
elektrokoagulasi sangat efektif untuk menghilangkan
silika. Elektrokoagulasi ditampilkan untuk mencapai
tingkat removal yang luar biasa dari 80% pada kedua
koloid dan bentuk reaktif silika [47]. Kelayakan
elektrokoagulasi juga terbukti pada skala industri. El
Paso Electric menggunakan elektrokoagulasi untuk
pengolahan air cooling tower dan telah mencapai
hingga 98% removal silika menggunakan dua unit
berukuran 1.892 L / min [48]. Dari perspektif operasi
ini, mengaplikasikan elektrokoagulasi tampaknya
bermanfaat untuk pretreatment Ultra Pure Water untuk
menyingkirkan silika dalam reklamasi sebuah lingkaran
yang secara efektif dapat mengurangi konsentrasi
partikulat.
3.6. Ultraviolet Irradation.
Ultraviolet telah digunakan secara komersial
selama bertahun-tahun dalam bidang farmasi, kosmetik,
minuman dan industri elektronik. Pada awal tahun
1900-an ultraviolet digunakan sebagai desinfeksi air
minu, akan tetapi teknologi ini ditinggalkan karena
biaya operasional yang tinggi, peralatan yang tidak
dapat diandalkan dan memperluas popularitas
desinfeksi oleh klorin [49].
Penggunaan ultraviolet irradation bisa bekerja
sebagai alternative biosida. Pada panjang gelombang
185 nm, ultraviolet menghasilkan ozon yang sangat
oksidatif dan hidroksil radikal dalam air, dan mampu
menonaktifkan bakteri secara cepat dan memutuskan
organik. Sinar ultraviolet dengan panjang gelombang
254 nm menginduksi mutasi DNA bakteri, menghambat
budidaya mikroorganisme lanjut. Produksi air dengan
kemurnian tinggi yang biasa menggunakan ultraviolet
untuk desinfeksi air di tahap akhir. Tetapi sudah ada
beberapa studi tentang efek ultraviolet bila digunakan
sebagai pretreatment untuk proses membran. Namun,
penelitian terbaru menunjukkan bahwa radiasi
ultraviolet memiliki hasil positif pada penghambatan
biofouling [50].
Gambar 7. Ultraviolet Irradiation [46]
Pretreatment ultraviolet sebenarnya mengurangi
total bakteri hidup dan organik, sehingga meningkatkan
efisiensi pemulihan dan ketahanan membran karena
rezim pembersihan berkurang. Selain itu,
perkembangan ultraviolet-light emitting diode (UV-
LED) akan menyebabkan energi yang efisien [51].
3.7. Pemeliharaan Dengan Pembersihan dan Sterilisasi.
Semua unit proses yang terlibat dalam sistem
produksi Ultra Pure Water dirancang dengan
persyaratan kualitas dan pengelolaan yang baik.
Namun, kenyataannya sering terdapat kontaminan yang
tak terduga. Misalnya, jika lapisan biofilm terbentuk di
dalam konfigurasi, bakteri akan berkembang biak
dengan cara drastis, yang mungkin mengakibatkan
lonjakan tingkat bakteri dan hilangnya produk. Setelah
konfigurasi mengotori, restorasi merupakan masalah
yang rumit karena menambahkan bahan kimia untuk
sanitasi yang enggan dilakukan dalam sistem produksi
Ultra Pure Water. Pembersihan bahan kimia akan
membutuhkan off-line dalam waktu yang lama untuk
flush semua jejak agen, terutama dalam elektronik dan
farmasi industri [52].
Sanitasi air panas (HWS) dapat memecahkan
kecelakaan tersebut, menghilangkan kebutuhan akan
penambahan kimia dan periode flushing yang panjang.
Membunuh mikroorganisme dapat dicapai dengan
paparan singkat untuk suhu panas air [40]. Sanitasi air
panas terdiri dari tiga langkah: (1) pemanasan air
perlahan-lahan dengan meningkatkan suhu pada 2-3°C
per menit hingga mencapai 80-85°C, (2) menyebarkan
air panas di reverse osmosis skid loop untuk 30-60
menit dan (3) perlahan pendingin air pada tingkat 2-3°C
per menit [53].
HWS adalah proses unggul dalam sanitasi bahan
kimia karena tidak memerlukan pembilasan yang
berkepanjangan dan menghasilkan air limbah yang
minim [40]. Namun, HWS harus dilakukan lebih sering
daripada sanitasi kimia, dan transformasi morfologi
membran bisa terjadi dalam keadaan suhu tinggi [3].
Kurita Industries Air telah melakukan penyelidikan
intensif untuk menemukan strategi pembersihan, dan
menemukan bahwa kombinasi pembersih dan
mensterilkan proses, termasuk pembersihan alkali dan
air panas sanitasi dua kali atau lebih, menghapus
persentase yang sangat tinggi dari kontaminan [54].
Metode ini efektif menghilangkan partikel sisa atau
bakteri. Oleh karena itu, untuk produksi Ultra Pure
Water setelah pembersihan bisa dipersingkat ke dalam
satu minggu, sementara metode konvensional
memerlukan dua minggu.
4. Kesimpulan
Produksi Ultra Pure Water adalah proses rumit
yang melibatkan sejumlah teknologi pemurnian.
Sebaliknya teknologi reverese osmosis mengambil
posisi yang signifikan dalam produksi Ultra Pure
8
Water, yang menolak sebagian besar kotoran yang
mengalir ke dalam sistem. Perkembangan di industri
yang menggunakan Ultra Pure Water telah membuat
peran reverse osmosis menjadi lebih penting.
Peran meningkatnya reverse osmosis telah
diidentifikasi dengan wawasan penting pada tren baru-
baru ini. Perubahan utama dari sektor Ultra Pure Water
yang dianggap sebagai (1) tuntutan ketat untuk kualitas
air, (2) proses elektrokimia untuk reverse osmosis
menyerap polishing, dan (3) reklamasi limbah Ultra
Pure Water. Proses pemurnian adalah kumulatif, yang
berarti meningkatkan penghapusan di tahap make-up
menjadi sangat penting untuk peningkatan kualitas dari
produk akhir. Tahap polishing elektrokimia menyoroti
berkurangnya polutan di permeat reverse osmosis
sedangkan reklamasi beban Ultra Pure Water lebih
polutan ke tahap desalting reverse osmosis.
Masalah dalam reverse osmosis ini bisa
diselesaikan dengan solusi yang berbeda untuk sistem
produksi Ultra Pure Water. Berbagai konfigurasi multi-
pass dari reverse osmosis diterapkan, di mana membran
reverse osmosis tersusun secara seri untuk mendapatkan
kemurnian yang tinggi. Di sini, strategi pelengkap dari
kombinasi membran bisa membantu penolakan intensif
oleh reverse osmosis. Menggunakan proses
pretreatment untuk membuang zat yang bermasalah
sebelum membran reverse osmosis bisa membantu
dalam mengurangi operasi reverse osmosis.
Pembentukan scalling anorganik dan biofouling sering
mengancam produktivitas dan kualitas, tetapi teknologi
High efficiency Reverse Osmosis (HERO), elektrokimia
koagulasi dan ultraviolet iradiasi dapat mengurangi
masalah tersebut dalam cara yang efektif. Akhirnya,
sanitasi air panas (HWS) dengan pembersih kimia
secara berkala dapat menghilangkan kontaminan sisa
dalam sistem reverse osmosis, dengan demikian dapat
mempertahankan kinerja yang stabil.
Kesuksesan proses reverse osmosis dapat dicapai
dengan perhatian yang hati-hati dalam karakteristik
sistem produksi Ultra Pure Water. Sebagai standar
untuk Ultra Pure Water terus bervariasi dan reverse
osmosis memiliki peran penting dalam produksi Ultra
Pure Water, studi tentang efek sinergis dengan
teknologi pemurnian lainnya dalam permintaan yang
mendesak. Oleh karena itu, optimasi proses yang
kompak dan kinerja yang tinggi dalam sistem produksi
Ultra Pure Water harus diselidiki melalui penelitian
lebih lanjut.
Reference
Daftar Pustaka
[1] Ultra Pure Water. http://www.calgoncarbon.com/ultrapure-water/
[2] T. Ohmi, Ultraclean Technology Handbook: Ultrapure Water, vol. 1, CRC Press, 1993.
[3] Global water market, 2014: meeting the word's water and wastewater need until 2018, Global Water
Intelligence, 2013.
[4] N. Cohen, S. Sackstein, How to bring your high-purity water pretreatment systems into the 21st century, Ultrapure
Water Journal 32 (2015) 21–25.
[5] P.R. Puckorius, Does cooling water treatment vary between industries? Industrial Water Treatment 32 (2015) 37–
42.
[6] "ITRS Annual Report 2013 Edition". International Technology Roadmap for Semiconductors. Archived from the
original on September 21, 2014.
[7] Rowe RC, Sheskey PJ, Owen SC (eds), Pharmaceutical Excipients. Pharmaceutical Press and American
Pharmacists Association. Electronic version, (MedicinesComplete Browser version 3.0.2624.26119
[8] J. Hutcheson, Ultrapure water: systems for microelectronics, Filtration + Separation, 43, 2006, pp. 22–25.
[9] G.T.A. Dey, Electronics Grade Water Preparation, 1st ed., 2003 (TO).
[10] Globalwaterintel.com, Text of ‘Microelectronics’ [Interne], 2016 ([cited 2016 August 28]. Available from:
https://www.globalwaterintel.com/research/industrial/microelectronics).
[11] S.I.K. Takeda, J. Okuzaki, S. Watanabe, T. Fujimoto, T. Nakahara, Inductively coupled plasma mass
spectrometric determination of ultra-trace elements in electronic-grade water and chemicals using dulcitol,
Analytica. Cheimica. Acta 426 (2001) 105–109.
[12] A.N.V. Libman, Water conservation challenges facing the microelectronics industry, Ultrapure Water Journal 25
(2008) 36–48.
[13] H. Ohya, State of the art ultrapure water production in Japan, Desalination 80 (1991) 159–165.
[14] S. Gagnon, Case history of a water treatment system using EDI in Puerto Rico, Ultrapure Water Journal 27 (2010)
12–24.
[15] I.G. Wenten, P.T.P. Aryanti, A.N. Hakim, K. Khoiruddin. “Karakterisasi Membran”, Teknik Kimia Institut
Teknologi Bandung, 2011.
[16] I.G. Wenten, I.N. Widiasa. “Enzymatic hollow fiber membrane bioreactor for penicilin hydrolysis.” Desalination 149.1
(2002): 279-285.
[17] I.G. Wenten, K. Khoiruddin, P.T.P. Aryanti, A.N. Hakim, “Pengantar Teknologi Membran.” Teknik Kimia
Institut Teknologi Bandung, 2010.
[18] I.G. Wenten. “Industri Membran dan Perkembangannya.” Teknik Kimia Institut Teknologi Bandung, 2015.
[19] S.A. Pororov, N. Kornilova, K. Platonov, Ultra pure water: intensive water demineralisation through ion
exchange, Filtration + Separation, 48, 2011, pp. 36–39.
[20] Qwater Indonesia. Teknologi Reverse Osmosis. http://www.qwaterindonesia.com/air-berkualitas/teknologi-
reverse-osmosis-ro
[21] I.G. Wenten. “Perkembangan Terkini di Bidang Teknologi Membran.” Teknik Kimia Institut Teknologi Bandung, 2014.
[22] I.G. Wenten. “Teknologi Membran dan Aplikasinya di Indonesia.” Teknik Kimia Institut Teknologi Bandung, 2010.
[23] Standard Guide For Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries (ASTM D5127-13),
ASTM International, West Conshohocken, PA, 2013.
[24] W. Harfst, Polishing reverse osmosis permeate, Ultrapure Water Journal 28 (2011) 18–21.
[25] V.I. Fedorenko, Ultrapure water production by continuous electrodeionization method: technology and economy,
Pharm. Chem. J. 38 (2004) 35–40.
[26] R.M. Wen, Y.F. Zhang, The removal of silicon and boron from ultra-pure water by electrodeionization,
Desalination 181 (2005) 153–159.
[27] Porada. S, Zhao. R, Van Der Wal. A, Presser. V, Review on the science and technology of water desalination by
capacitive deionization. Journal 58 (2013) 1388-1442
[28] I.G. Wenten, P.T.P. Aryanti, K. Khoiruddin. “Teknologi Membran Dalam Pengolahan Limbah.” Teknik Kimia
Institut Teknologi Bandung, 2014.
[29] engineeredenvironment.tumblr.com, Text of Artur Kim' Comment ‘Water use in.’(2013) [Internet], 2016 ([cited
2016 August 28]. Available from:) http:// engineeredenvironment.tumblr.com/post/30464844411/water-use-in-
the-semiconductor-manufacturing. 196 H. Lee et al. / Desalination 399 (2016) 185–197
[30] FILMTECTM Reverse Osmosis Membranes. http://msdssearch.dow.com
/PublishedLiteratureDOWCOM/dh_095b/0901b8038095b91d.pdf
[31] E. Oklejas, Two pass reverse osmosis system. United States patent US 11/811,607. 2008 May 8.
[32] D.A. Seiler, S.M. Stabler, D. Gresham, Review of thermoplastic fluoropolymers used in high-purity water
applications, Ultrapure Water Journal 31 (2014) 18–20.

9

[33] G. Biressi, K. Haggard, B. Neubauer, Fluoropolymer applications in high-purity water distribution systems,
Ultrapure Water Journal 30 (2013) 15–18.
[34] D. Mukhopadhyay. Method and apparatus for high efficiency reverse osmosis operation. United States patent US
09/242,249, 1997 August 12.
[35] GE Power. Water & Prrocess Technologies. https://www.gewater.com /products/high-efficiency-reverse-
osmosis-hero.
[36] Watertectonics. http://www.watertectonics .com/electrocoagulation/
[37] Ecologix Environmental System. Elco Electrocoagulation Contaminant Removal System.
http://www.ecologixsystems.com/electrocoagulation-system-elco.php
[38] Deknomet. http://www.deknomet.com /electrocoagulation.html
[39] J. DeGenova, F. Shadman, Recovery, reuse, and recycle of water in semiconductor wafer fabrication facilities,
Environ. Prog. 16 (1997) 263–267.
[40] W. Den, C. Wang, Removal of silica from brackish water by electrocoagulation pretreatment to prevent fouling
of reverse osmosis membranes, Sep. Purif. Technol. 59 (2008) 318–325.
[41] I.G. Wenten. “Ultrafiltration in water treatment and its evaluation as pre-treatment for reverse osmosis system.”
Institut Teknologi Bandung, 1996.
[42] I.G. Wenten, P.T.P. Aryanti. “Ultrafiltrasi dan Aplikasinya.” Teknik Kimia Institut Teknologi Bandung, 2014.
[43] I.G. Wenten. “Application of crossflow membrane filtration for processing industrial suspensions.” The Technical
University of Denmark, 1994.
[44] N.A. Milne, T.O. Reily, P. Sanciolo, E. Ostarceviy, M. Beighton, K. Taylor, M. Mullett, A.J. Tarquin, S.R. Gray,
Chemistry of silica scale mitigation for RO desalination with particular reference to remote operations, Water
Res. 65 (2014) 107–133.
[45] R. Hamilton, Evaluation of Lime Softening vs. Electrocoagulation for Treatment of Produced Water, Prepared
for Proprietary Energy Technology Company, Process Technology, Separations-gas & Water, 2009.
[46] W. Den, C. Huang, Electrocoagulation for removal of silica nano-particles from chemical–mechanical-
planarization wastewater, Colloids Surf. A Physicochem. Eng. Asp. 254 (2005) 81–89.
[47] W. Den, C. Wang, Removal of silica from brackish water by electrocoagulation pretreatment to prevent fouling
of reverse osmosis membranes, Sep. Purif. Technol. 59 (2008) 318–325.
[48] Wagenet. L, Darling. S, Lemley. A, Ultraviolet Radiation for disinfecting Household Drinking Water. Journal.
2004.
[49] W.V. Collentro, A novel approach to control microbial fouling of reverse osmosis elements, Ultrapure Water
Journal 31 (2014) 27–34.
[50] FAO Corporate Document repository. Water Quality Monitoring, Standards and Treatment.
http://www.fao.org/docrep/X5624E/x5624e05.htm
[51] M.A. Wurtele, T. Kolbe, M. Lipsz, A. Kulberg, M. Weyers, M. Kneissl, M. Jekel, Application of GaN-based
ultraviolet-C light emitting diodes - UV LEDs - for water disinfection, Water Res. 45 (2011) 1481–1489.
[52] M.J.H. Snow, D. Winter, R. Buckingham, J. Campbell, J. Wagner, New techniques for extreme conditions: high
temperature reverse osmosis and nanofiltration, Desalination 105 (1996) 57–61.
[53] Membrana-Charlotte, Hot CIP sanitization procedure for Liqui-Cel® membrane contactors in stainless steel
housings, Liqui-Cel, 2012.
[54] I. Yokoi, inventors; Kurita Water Industries Ltd, Cleaning and sterilizing method for ultrapure water
manufacturing system, United States patent US 9,370,802. 2008 March 27.

10

View publication stats