拉曼使用 SOP

開機步驟：

1. 開啟 spectrum，先開啟延長線的電源﹝綠色﹞，再開啟機台上的開關，待馬

達運轉聲停止後﹝三聲﹞，再往下進行。

2. 開啟 detector，延長線電源上標示為 CCD﹝紅色﹞，開啟後風扇會轉。

3. 開啟電腦主機，點選桌面程式 Andor Solis。

4. 進入程式後，左下顯示 detector 當前溫度。 程式會自動將 detector 降溫到

-40℃，等待一段時間，完成後溫度顯示變藍色。
 紅 藍

5. 開啟 Lazar 電源，接著將安全鎖轉開，電流會到 0.4，等待 5 分鐘穩定。

轉動此旋鈕至
安全鎖
右邊銀幕顯示 0.4

電源

6. 電流穩定後，將功率緩緩調到 3

測量前校正：

1. 操作電腦程式，進行校正，將 slit 設定為 100μm。

2. 選 Calibrate→X-ray Calibration by Spectrograph(1)，將模式設為 Raman shift，

Rayleigh wavelength 設為 532nm，Center Wavelength 設為 800nm，Grating

設為 1200,07,500(2)， wavelength 設為 ㎝-1。

圖1

圖2

3. 將標準品﹝Si Wafer﹞放在導體載片上，對焦至看見 2 個清楚的小光點。

 註：Si Wafer 使用前須擦拭乾淨

4. 選 Setup Acquisition，將模式設為 accumulation，時間 1 秒，次數 3 次，並且

勾選 cosmic ray removal。

5. 選取 video，再點 2D with peak label，若結果不是在 519〜520 之間，先停止

video，從 Calibration 調整 Rayleigh wavelength 小數點後第二位，直到結果落

在 519〜520 之間。
6. 滑鼠點一下 peak 最高點可以顯示能量的大小，通常能量要在 1100 左右，若

能量太小則調整焦距至 MAX 值。

樣品測量：

1. 將 sample 放在載片上，從 Setup Acquisition 設定條件，選擇 take signal。

註：peak 最高點能量 X 秒數＜60000

2. 存檔：file→save as 可以存 SIF 檔﹝原始檔﹞(3)，只能在此程式中使用；export

as 可以存 ASCii 檔﹝文件檔﹞(4)，可以用數據作圖。

圖3 圖4

3. 關機步驟﹝開機步驟的逆向操作﹞。