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Le MET fonctionne avec des lentilles magnétiques agissant sur un faisceau d’électrons.
L’analogie peut être faite avec les lentilles optiques et un faisceau lumineux.
Lentille
1. Cas d’une lentille simple Distance focale
- La source émet dans toutes les directions et les faisceaux arrivent donc à la Plan image
lentille dans des directions différentes.
- La lentille dévie les faisceaux en fonction de leurs angles d’arrivée. Point focal
- Les faisceaux se recoupent ensuite tous au niveau du point focal (Si celui-ci se
trouve sur le plan image, on obtient une image nette de la source).
-
Image : Source lumineuse Lentilles multiples
Foyer image (ou point focal) : Point vers lequel converge l’ensemble des rayons de la
source après avoir été déviés par la lentille.
Distance focale : distance entre la lentille et le foyer image
1er Point focal
2. Cas d’un système de lentilles multiples
Lorsque deux lentilles sont alignées sur le même axe optique on peut obtenir l’image d’un
objet avec la 1ère et faire une image de cette image avec la 2nde.
En effet, ce point focal va pouvoir servir de source à la seconde lentille qui fonctionnera Point focal « image »
exactement de la même façon.
Dans le cas d’un système de lentille, si la force d’une lentille est modifiée il faudra
compenser avec l’autre afin de conserver une image nette (point focal sur le plan image)
- Le filament est traversé par un courant dis de « chauffe », les électrons de ce courant
vont rentrer en collision avec les électrons constitutifs du filament ce qui va générer une
agitation de ces derniers et donc un échauffement du filament : c’est l’effet Joule.
- L’énergie thermique va entrainer la vibration des atomes du filament jusqu’au point ou
les électrons de ces atomes vont rompre leurs liaisons électrostatiques et être libérés : c’est
l’effet thermoïonique.
BIAS
- Le filament est relié à la haute tension par une résistance qui va stabiliser le courant.
On peut jouer sur ce paramètre pour augmenter l’intensité du faisceau : c’est le BIAS. Le BIAS
va jouer sur la polarité (différence de tension) entre le filament et le Wehnelt.
Il est composé :
- D’une lentille magnétique C1
- D’une lentille magnétique C2 Canon à électrons
- De deux jeux de bobine déflectrices
- D’un diaphragme « condenseur » réglable manuellement
3. La lentille C2
4. Le diaphragme condenseur
Il est composé :
Lentille OBJECTIF
- De 2 lentilles objectif
Diaphragme OBJECTIF
- D’un ensemble de lentilles dites de projection.
(3 lentilles intermédiaires et une lentille de projection) Correction stigmatisme OBJECTIF
- De plusieurs bobines déflectrices de réglages. Image SHIFT 1
- D’un diaphragme de contraste (objectif) et d’un diaphragme
sélecteur d’aire.
Petite Lentille OBJECTIF
Image SHIFT 2
1. La lentille objectif est la pièce maîtresse du MET
Diaphragme Sélecteur d’aire
On ne règle pas son alignement, c’est le reste du microscope qui s’aligne par
rapport à elle : le système condenseur doit envoyer le faisceau au centre de la Correction stigmatisme
lentille objectif et parallèlement à l’axe optique. lentilles intermédiaires
3. La déflectrice PL ALIGN
- Joue sur l’alignement de la lentille de projection, ceci a pour effet de déplacer
telle quelle l’image obtenue ce qui permet notamment de réaliser des mesures
PL Align (Projector LENS)
à l’aide du logiciel TEM measure. (PL ALIGN)
Lentille de projection
GB
Dissipateur de chaleur
1. Le collimateur : Limite la zone de réception des RX afin d’être certain que ces
derniers proviennent de la partie excitée de l’échantillon
Caloduc
2. Le piège à électrons : Aimant repoussant les électrons arrivant au détecteur
afin d’éviter des artefacts.
5.TEF
4.Détecteur SDD 1.Collimateur
4. Le détecteur SDD (Small Drift Detector) : système semi-conducteur qui
convertit Converti individuellement l’énergie de chaque RX en une charge
électrique proportionnelle par ionisation.
Temps mort : temps pendant lequel le détecteur est saturé et ne peut plus recevoir/ traiter les données. Le temps d’analyse réel correspond au temps d’acquisition auquel on déduit
le temps mort.
Canon à électrons
Gun SHIFT
Gun TILT
Lentille C1
Réglages condenseurs
(stigmatisme, TILT, Beam SHIFT)
Echantillon
Lentille OBJECTIF
Diaphragme OBJECTIF
Correction stigmatisme OBJECTIF
Image SHIFT 1
Système Objectif
Lentilles Intermédiaires
Lentille de projection
Axe optique
Ecran
LOW MAG X100
MAG X10.000