Emace200 Om FR 08 13

Leica EM ACE200
Mode d'emploi
167201033
1033 Version 08/2013
Remarque importante

!

"

#
$%

&
$

!
'(

!)
!%

!

* +

,
$
$

%

-
.
Leica Mikrosysteme GmbH

012
341156'
Leica EM ACE200
0RGHG
HPSORL
Leica EM ACE200 7

.
Date d'achat :

$

+
8
Veuillez lire attentivement ce mode d'emploi

avant d'utiliser l'appareil.
Remarque importante
Veuillez lire attentivement ce mode d'emploi avant d'utiliser l'appareil. Ce manuel de

l'utilisateur fournit des informations essentielles sur le système de revêtement Leica EM
ACE200. Il contient des informations importantes pour un bon déroulement du
fonctionnement, de l'entretien courant et du dépannage. En suivant ces instructions, vous
contribuerez à prévenir les risques, réduire les coûts dus aux réparations et au temps
d'indisponibilité, et à prolonger la durée de vie du système.
Danger !
Le maniement du système de revêtement Leica EM ACE200 est

facile et sûr à condition que l'utilisation soit conforme aux
instructions contenues dans ce manuel. Le non-respect de ces
instructions de sécurité peut entraîner une mise en danger
des personnes et du système.
Les utilisateurs doivent se familiariser avec le système avant de l'utiliser. Ils doivent porter
une attention particulière à la sécurité. Le Leica EM ACE200 ne doit pas être utilisé hors des
limites spécifiées dans la feuille de données techniques.
Lors du traitement de substances dangereuses (p. ex. des substances radioactives, toxiques
ou explosives), les précautions de sécurité spécifiques de ces substances doivent être mises
en œuvre. Il est interdit de traiter des substances qui rejettent des gaz corrosifs ou toxiques
lors de leur mise sous vide et/ou de leur revêtement.
Une réclamation au titre de la garantie ne pourra être prise en compte que si l'instrument est
utilisé conformément aux directives fournies dans ce manuel.
De plus, toutes les réglementations légales ou autrement obligatoires généralement

applicables dans le cadre de la prévention des accidents et de la protection de
l'environnement doivent être suivies et communiquées.
Leica se réserve le droit de modifier les spécifications techniques ainsi que les procédés de
fabrication sans avis préalable. De cette façon, nous pouvons améliorer constamment la
technologie et les techniques de fabrication et fournir à nos clients d'excellents produits.
Tous les droits d'auteur sur ce document sont détenus par Leica Mikrosysteme GmbH,
Vienne. Une reproduction, même partielle, du texte et des illustrations par impression,
photocopie ou toute autre méthode
(incluant les systèmes et supports électroniques), ainsi qu'une mise à la disposition d'un
tiers, nécessitent l'autorisation préalable de Leica Mikrosysteme GmbH.
Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 1

Symboles utilisés dans ce manuel
Danger !
Les instructions concernant des risques éventuels sont identifiées

par ce symbole. Le non-respect de ces mises en garde peut
donner lieu à de graves blessures ! Les utilisateurs de cet
instrument doivent à tout moment se conformer aux instructions.
Attention !
Ce symbole avertit l'utilisateur des dangers pouvant entraîner des

dommages corporels pour le personnel ou matériels pour le
système.
Risque lié au levage. Le levage de l'appareil par

une seule personne peut causer des blessures.
Pour déplacer ou soulever le système de
revêtement, faites-vous aider.
Remarque !
Ce symbole fournit des informations supplémentaires sur une

explication qui n'a pas trait à la sécurité. Il est toutefois important de
tenir compte de ces informations pour garantir un fonctionnement
optimal du système.
Portez des gants propres, non poudrés.

Sommaire
1. Introduction ........................................................................................................................ 5
1.1 Sécurité......................................................................................................................... 6
1.2 Vue d'ensemble de l'instrument .................................................................................... 8
2. Installation et configuration.............................................................................................. 9
2.1 Livraison de l'instrument ............................................................................................... 9
2.2 Conditions d'installation ................................................................................................ 9
2.3 Déballage et branchement .......................................................................................... 10
2.4 Installation de la pompe .............................................................................................. 12
2.5 Installation de l'obturateur ........................................................................................... 15
2.6 Installation de la platine .............................................................................................. 17
2.6.1Platine à entraînement planétaire .......................................................................... 20
2.6.2Réglage de la hauteur de la platine ....................................................................... 22
2.7 Installation de la mesure avec cristal de quartz .......................................................... 23
3. Utilisation ......................................................................................................................... 26
3.1 Tableau de commande à écran tactile........................................................................ 26
3.2 Paramétrage ............................................................................................................... 27
3.3 Pompe et aération ...................................................................................................... 29
3.4 Test du vide ................................................................................................................ 30
3.5 Démarrage et arrêt des processus ............................................................................. 32
3.6 Aération après le processus ....................................................................................... 32
3.7 Contrôle de l'épaisseur et correction géométrique (QSG) .......................................... 33
3.8 Revêtement en fibre de carbone ................................................................................ 35
3.8.1Chargement d'une fibre de carbone ....................................................................... 35
3.8.2Configuration d'un processus Fibre de carbone..................................................... 39
3.8.3Sélection du type de fibre....................................................................................... 41
3.8.4Mode Impulsion ...................................................................................................... 41
3.8.5Mode Flash ............................................................................................................ 42
3.8.6Exécution d'un processus avec fibre de carbone ................................................... 43
3.9 Revêtement par pulvérisation ..................................................................................... 47
3.9.1Chargement de la cible de pulvérisation ................................................................ 49
3.9.2Configuration d'un processus de pulvérisation....................................................... 51
3.9.3Sélection du matériau ............................................................................................ 53
3.9.4Mode directionnel ................................................................................................... 54
3.9.5Mode diffus............................................................................................................. 54
3.9.6Courant de pulvérisation et cycles de purge .......................................................... 55

3.9.7Pulvérisation en fonction du temps ou de la mesure d'épaisseur .......................... 55
3.9.8Exécution du processus de pulvérisation ............................................................... 57
3.10Décharge luminescente .............................................................................................. 62
3.11Platine à entraînement planétaire ............................................................................... 63
3.12Commutation d'un processus à l'autre ........................................................................ 65
4. Maintenance et service après-vente .............................................................................. 66
4.1 Instructions générales pour la maintenance et le nettoyage ...................................... 67
4.1.1Pompe à vide ......................................................................................................... 67
4.1.2Capot de la source ................................................................................................. 67
4.2 Nettoyage du Leica EM ACE200 ................................................................................ 68
4.2.1Retrait de l'obturateur et du blindage interne ......................................................... 71
4.2.2Retrait de la porte................................................................................................... 74
5. Résolution des problèmes .............................................................................................. 75
5.1 Messages d'erreur – auto-assistance de l'utilisateur .................................................. 75
5.2 Dysfonctionnement ..................................................................................................... 76
5.3 Liste complète des messages d'erreur – description pour le service après-
vente Leica ................................................................................................................. 77
5.3.1Fibre de carbone .................................................................................................... 77
5.3.2Pulvérisation........................................................................................................... 78
5.3.3Contrôleur basse tension (V CA) de la carte mère ................................................ 80
6. Entretien courant et réparations .................................................................................... 81
7. Feuille de données techniques ...................................................................................... 82
8. Déclaration de conformité CE ........................................................................................ 8


1. Introduction
Le système de revêtement Leica EM ACE200 sert à revêtir avec précision des
échantillons pour leur examen ultérieur au microscope électronique (EM). La
décharge luminescente optionnelle rend les grilles hydrophiles. Sont également
disponibles en option la mesure avec cristal de quartz pour une détermination
précise de l'épaisseur de la couche, et la platine à entraînement planétaire pour
une répartition uniforme du matériau de revêtement.
Les échantillons sont revêtus de métal par utilisation de la méthode de

pulvérisation où un plasma argon érode un matériau cible. Le revêtement de
carbone résulte de l'évaporation de la fibre de carbone. Tout matériau qui n'est
pas sensible au vide, au plasma argon ou à la chaleur générée lors du
revêtement de carbone.
Le Leica EM ACE200 peut être configuré comme un système de revêtement par

pulvérisation, un système de revêtement de carbone ou un système combinant
les deux processus, avec commutation possible entre l'un et l'autre (voir la section
3.12).
Le blindage interne amovible, l'obturateur, la source et la porte sont conçus pour

permettre un nettoyage facile et complet du système.
Le système de vide crée un vide final ] 7x10-3 mb. La pression est contrôlée par
un vacuomètre thermique (Pirani) (voir la feuille de données techniques pour
toutes les spécifications, 7.1).
Principaux composants :
Le système de revêtement Leica EM ACE200 inclut les principales unités
fonctionnelles suivantes, en fonction de la configuration :
x Chambre à vide
x Tableau de commande à écran tactile (voir 3.1)
x Platine d'échantillon à 18 positions pour les tiges SEM 1/2" (échangeable,
voir 2.6)
x Blindage interne amovible, obturateur et porte (voir 4.2.1)
x Carter
x Source de carbone, source de pulvérisation avec option d'avoir l'une ou
l'autre, ou les deux (voir 3.8, 3.9 et 3.12)
En option :
x Pompe rotative à ailettes, à huile sous vide (voir 2.4)
x Platine à entraînement planétaire (voir 2.6.1 et 3.11)
x Platine d'échantillon pour une lamelle porte-objet de 76 mm x 26 mm
(3" x 1") (échangeable, voir 2.6)
x Décharge luminescente (voir 3.10)
x Mesure d'épaisseur avec quartz (QSG) (voir 2.7 et 3.7)

1.1 Sécurité
Tous les composants électroniques sont protégés par des couvercles : porte (1),
capot de la source (2), carter (3). La porte et le capot de la source sont équipés
de capteurs qui coupent le courant en cas d'ouverture de la porte ou du capot. De
plus, des verrouillages logiciels coupent le courant lorsqu'un dysfonctionnement
est détecté (p. ex. : une fuite de vide, un court-circuit dans la tête de la source, un
défaut de contact dans le système).
2
1
3
Les sources sont protégées contre la surchauffe. Lorsque la température atteint

65 °C, il y a arrêt du processus jusqu'à l'obtention d'une température de 45 °C ;
puis le processus reprend automatiquement.
En cas de diminution importante et soudaine du vide, l'instrument s'éteint
automatiquement pour protéger la pompe et les pièces électriques.
Le carter ne doit pas être ouvert, sauf par un représentant agréé de Leica.
Si le système de revêtement Leica EM ACE200 est endommagé ou fonctionne
mal, il faut cesser d'utiliser le système jusqu'à la correction du dysfonctionnement
ou du dommage.
Toute modification et toute conversion du système sont interdites et entraînent
une exclusion de garantie.
Remarque
Il faut éteindre le système pour les opérations de maintenance et d'entretien
courant !

Attention !
Lors du retrait du carter, il y a un risque de commotion électrique.
Cela peut causer des blessures susceptibles d'entraîner la mort.
Le système de revêtement Leica EM ACE200 ne doit être utilisé que si tous
les couvercles sont bien en place.
Attention !
Certains des composants à l'intérieur du système peuvent devenir chauds
et présenter un risque de blessure.
Cela peut causer des brûlures.
Mesures de sécurité pendant l'installation

Les mesures suivantes doivent être mises en œuvre pour prévenir une utilisation
incorrecte :
x Les branchements sur le réseau électrique et l'arrivée de gaz doivent être

effectués par une personne ayant les qualifications techniques requises.
x Lors du branchement, les bouteilles de gaz doivent être bien fixées et en
position verticale. Le système doit être branché sur l'arrivée de gaz par une
personne ayant les qualifications techniques requises.
x Les réparations ne peuvent être effectuées que par le personnel technique
agréé par Leica, ou des représentants agréés.
Une installation incorrecte du système de revêtement Leica EM ACE200 peut

endommager le système et causer des blessures à l'utilisateur.
Procédure d'urgence
Attention !
Si des conditions de fonctionnement inhabituelles ou des bruits insolites
surviennent, le système doit être arrêté au moyen de l'interrupteur principal
situé à l'arrière du système.
Si des mesures de lutte contre l'incendie sont requises, il faut utiliser un

extincteur à CO2.
Il faut consulter le service technique avant de recommencer à travailler avec
le système.

1.2 Vue d'ensemble de l'instrument
1
2
3
4
8
5
9
6
7
1. Capot de la source 10

2. Tête de la source (pulvérisation ou fibre
11
de carbone)
3. Obturateur
4. Enceinte
5. Platine d'échantillon 12 14
6. Tableau de commande tactile
15
7. Pieds réglables 13 16 17
8. Porte de l'enceinte
9. Port USB
10. Orifice de sortie pour la pompe à vide
11. Connexion à un réseau local (LAN ; inactive, prévue pour une utilisation
future)
12. Interrupteur de marche/arrêt
13. Prise d'alimentation électrique du système de revêtement
14. Fusible automatique de la pompe (pousser le fusible à l'intérieur, s'il est
sorti)
15. Prise d'alimentation électrique de la pompe
16. Prise de sortie de courant pour la pompe
17. Admission du gaz argon

2. Installation et configuration
2.1 Livraison de l'instrument
Le système de revêtement Leica EM ACE200 est livré monté, à l'exception des

accessoires et de l'obturateur qui sont emballés séparément et doivent être
installés (voir 2.4 et 2.6). Si la configuration inclut une mesure avec cristal de
quartz, il faut l'installer aussi (voir 2.7).
Veuillez vérifier l'état du système à la livraison et adresser une déclaration de
dommage à la compagnie de transport si l'équipement est endommagé. Le client
doit immédiatement informer le représentant Leica de tout dommage éventuel
survenu lors du transit.
2.2 Conditions d'installation
Laisser dégagée autour du système une zone de travail d'environ 150 mm, afin de
pouvoir faire les branchements et accéder au système pour les travaux d'entretien
courant à effectuer par le client. Le Leica ACE200 doit être installé sur une
paillasse stable d'une surface d'au moins 660 mm de profondeur et 410 mm de
largeur. Le système de revêtement a une hauteur de 450 mm. Lors du choix du
site d'installation, tenez compte du fait que le système pèse env. 34 kg. Pour
éviter les vibrations, ne placez pas la pompe ou d'autres instruments qui émettent
des vibrations sur la même paillasse que le système de revêtement.
L'instrument doit être placé sur la paillasse de façon à permettre à tout

moment d'accéder à l'interrupteur principal et à la prise d'alimentation
secteur !
Des éléments externes (poussière, graisse, etc.) peuvent empêcher la production

du vide requis.
Lors du travail sur la chambre à vide ou sur des pièces situées à l'intérieur de la
chambre à vide du système de revêtement Leica EM ACE200, il est essentiel de
suivre les principes d'hygiène en vigueur pour la technique du vide. Il faut porter
des gants lors du démontage et du montage de composants dans la zone du vide,
et aussi lors de tous les ajustements.
Toutes les tâches doivent être effectuées dans un environnement propre, exempt
d'huile et de graisse, et non poussiéreux.
Les branchements suivants doivent être préparés :

x une alimentation électrique : 100/115/230 V CA, 50/60 Hz
x pompe, puissance maximale 1 000 W
x argon (uniquement si l'option pulvérisation est disponible), pression réduite :
~ 500 (+/- 100) mb, pureté : min. 99,99 %

2.3 Déballage et branchement
Le système de revêtement Leica EM ACE200 doit être transporté avec un chariot

élévateur à fourche.
Enlevez les bandes et ouvrez la boîte.
Ouvrez les côtés de la boîte et sortez le tuyau de vide (s'il a été commandé).
Sortez les accessoires de la boîte.

Soulevez l'unité en la tenant par en dessous, à l'arrière et à l'avant, comme
indiqué sur l'image (des creux dans l'emballage permettent de glisser les mains)
et posez l'unité sur une table.
Il est recommandé de se faire aider par une seconde personne, pour éviter
les blessures !
Placez le Leica EM ACE200 sur une paillasse stable. Réglez tous les pieds et
faites un contre-serrage (avec une clé plate de 13 mm) pour garantir une position
stable et équilibrée. Branchez le tuyau de vide sur le Leica EM ACE200 (1).
Branchez le câble d'entrée de courant de la pompe rotative (2). Branchez le câble
de sortie de courant de la pompe rotative (3). Branchez le câble d'alimentation
électrique (4).
4

Uniquement pour le processus de pulvérisation :
Branchez l'appareil sur la source de gaz argon (diamètre de 6 mm) (1). Purgez la
conduite d'argon avant d'effectuer le branchement, afin d'extraire l'air présent à
l'intérieur du tuyau. Ceci peut contribuer à réduire la durée de la descente en vide.
Réglez la pression d'argon sur ~0,5 bar au-dessus de la pression atmosphérique.
1 2
Nous recommandons fortement d'utiliser sur la bouteille d'argon un

régulateur de pression à deux étages (2).
2.4 Installation de la pompe
Si la pompe n'est pas incluse, une pompe à prévidage ayant une capacité de
5 m3/heure ou plus et produisant un vide final d'au moins 5x10-3 mb est requise.
Elle doit être fixée au système de revêtement (bride KF 25 ISO, voir la figure ci-
dessous).
Si une pompe rotative à ailettes fait partie des éléments livrés, veuillez configurer
la pompe en suivant la description ci-dessous. Ouvrez la boîte et déballez la
pompe rotative.

Il est recommandé de se faire aider par une seconde personne, pour éviter
les blessures !
Un tuyau commandé avec l'instrument inclut

1. Un tuyau métallique
2. Deux serre-câbles
3. Deux joints
3
1
Si vous avez commandé la pompe à huile, elle est livrée avec un filtre à brouillard
d’huile, un autre serre-câble et un joint (comme ci-dessus). Installez le filtre à
brouillard d’huile sur la bride d'évacuation de la pompe rotative en utilisant le joint
et le serre-câble (voir 3 et 2 ci-dessus).

Remplissez la pompe avec l'huile fournie, jusqu'au niveau indiqué par la barre
blanche. Indication de niveau min. / max.

Fixez le tuyau à la pompe et au système de revêtement en utilisant le joint et le

serre-câble fournis.
Veuillez contrôler que le réglage de tension de la pompe correspond à la tension

utilisée dans votre pays (LV 110V, HV 220V, ou consultez le tableau figurant sur
la pompe)

2.5 Installation de l'obturateur
Enlevez l'obturateur de l'emballage.
x Obturateur sans électrode de décharge luminescente

x Vis à serrage à main (1)
x Obturateur avec électrode de décharge luminescente et contact (en option)
x Plaque d'électrode (2)
x Connexion de la décharge luminescente (3)
x Câble de la décharge luminescente (4)
2
1
3
En utilisant la vis à serrage à main, vissez l'obturateur dans l'orifice situé au milieu
du panneau arrière de l'enceinte de revêtement. Serrez fermement la vis.
S'il y a un dispositif de décharge luminescente, guidez le câble dans les

enfoncements prévus sur l'obturateur (1) et établissez la connexion (2).

1
2
1
Faites glisser le ressort de l'obturateur (emballé séparément) (1) sur la broche

située sur l'obturateur (2).
1
2

2.6 Installation de la platine
Le système de revêtement est livré avec une platine pouvant recevoir jusqu'à
18 tiges SEM. Des platines optionnelles pour une lamelle porte-objet ou une
platine à entraînement planétaire sont disponibles.
La platine ci-dessous permet d'installer jusqu'à 18 tiges SEM standard de
12,7 mm (1/2") d'un diamètre de broche de 3,2 mm.
Cette platine optionnelle s'utilise avec une lamelle porte-objet standard de

76 mm x 26 mm (3" x 1") :
La platine comporte :
1. Platine avec vis de fixation
2. Tringle permettant d'ajuster la hauteur grâce aux rainures distantes de
10 mm

Prenez la tringle et mettez-la en place dans l'enceinte de revêtement, comme
indiqué sur la figure.
Placez la platine sur la tringle (tige, lamelle porte-objet ou planétaire).

Serrez la vis avec la main.
Pour enlever une platine, procédez dans l'ordre inverse. Réglez la hauteur au
niveau souhaité et serrez la vis avec la main (voir aussi 2.4.2).
2
3
4
1
La chambre à vide est équipée d'une platine

d'échantillon (1), d'un obturateur (2), d'une
électrode de décharge luminescente (3) et
d'un quartz pour mesure d'épaisseur (4).

2.6.1 Platine à entraînement planétaire
La platine planétaire est un équipement optionnel. En cas de commande de la

platine, l'instrument est équipé du connecteur de traversée et de la commande de
moteur qui sont indispensables.
Jusqu'à 16 tiges SEM de 12,7 mm (1/2") peuvent être chargées et traitées en une
session.
Tenez le connecteur de sorte que le point rouge soit en haut et coïncide avec le
repère de la prise qui est située à droite du panneau arrière de l'enceinte.
Effectuez la connexion.
Placez la platine à entraînement planétaire sur la tringle verticale et fixez-la en

serrant la vis avec la main.

Lors de la mise en place du support de 4 tiges SEM, veillez à aligner la broche
sous-jacente dans l'orifice du pignon. Cela s'effectue facilement en tournant le
support de tiges jusqu'à ce qu'il soit en place (position basse).
Platine à entraînement planétaire installée :
La rotation planétaire fonctionne uniquement pour le revêtement par

pulvérisation. Avec le processus utilisant la fibre de carbone, il est
impossible de synchroniser l'émission d'impulsions et la rotation. Au lieu
d'améliorer la répartition, la rotation planétaire pourrait causer une
répartition asymétrique.

2.6.2 Réglage de la hauteur de la platine
Au repère de référence zéro qui est défini (broche de référence inférieure), la

distance jusqu'à la cible est de 30 mm. Les rainures de la tringle, distantes de
10 mm, permettent de régler avec précision la hauteur de l'échantillon.
Brochederéférencesupérieure :
labrochealignéesurlasurfacedela
platine/del'échantillonestla
distanceminimaleparrapportàla
source(30mm,lavaleurcorrectriceà
entrerpourlequartzestde20mm).
Brochederéférenceinférieure :
labrochealignéesurlasurfacedela
platine/del'échantillonestlamarque
deréférence0(distancede50mm
parrapportàlasource,lacorrection
pourlequartzestinutile)
Lesrainuresfigurantsurlatringle
tousles10mmsontdesrepères
visuelspermettantderectifierla
hauteurpourlamesureavecquartz.
L'ajustement de la hauteur est particulièrement important pour la mesure

d'épaisseur du film avec le quartz. Par exemple, si la surface de l'échantillon est
située 10 mm au-dessous du repère 0 défini, il faut régler -10 mm (3.7, dernière
image) pour la correction de hauteur de la platine. Si la surface est située 10 mm
au-dessus du repère 0, cela signifie une correction de +10 mm. L'instrument
calculera le facteur d'outillage adéquat pour la mesure d'épaisseur avec le quartz
(voir 3.7).
Pour la platine à entraînement planétaire, le centre de la platine est aligné sur le

repère de référence 0.

2.7 Installation de la mesure avec cristal de quartz
La mesure avec cristal de quartz (QSG) est une fonction optionnelle pour une
détermination précise de l'épaisseur de la couche de revêtement appliquée (voir
la section 3.7).
L'équipement QSG de l'installation inclut :

1. Tête contenant le quartz, avec câble
2. Support
3. Cristaux de quartz
3
2
Dévissez le couvercle du support de quartz.
Placez un cristal de quartz sur les ressorts en cuivre (1), la partie grise étant
orientée vers le bas (2).
1
2

Remettez le couvercle en place et serrez délicatement.
Placez le support de quartz à l'intérieur de l'adaptateur en le faisant glisser, la tête

contenant le quartz étant en haut et le câble en bas.
À l'arrière de l'enceinte de revêtement, du côté gauche, deux broches permettent

d'installer le support de quartz.

Placez le support de quartz dans l'enceinte de revêtement et exercez une légère
poussée pour le faire glisser sur les deux broches.
Connectez la fiche du câble de mesure avec quartz au connecteur de traversée

situé à droite du panneau arrière de l'enceinte de revêtement.
Pour faciliter l'accès, il est possible d'enlever la platine d'échantillon.
Remettez en place la platine d'échantillon (voir 2.6).
Un quartz neuf a une fréquence de 6 MHz. Il est stable et utilisable jusqu'à

environ 5 MHz. Par exemple : 1 nm de carbone est réfléchi avec une
réduction d'environ 15 Hz, la valeur de référence pour 1 nm de platine est
d'environ 145 Hz.

3. Utilisation
3.1 Tableau de commande à écran tactile
Le tableau de commande à cristaux liquides sert à communiquer avec le système

de revêtement Leica EM ACE200 et il est également utilisé pour l'entrée et la
sortie des données. L'écran tactile permet de modifier les paramètres du
processus de revêtement.
Un stylet d'écran tactile peut s'avérer utile avec l'écran tactile. Pour la calibration
de l'écran, utiliser un objet à la pointe arrondie (comme un stylet d'écran tactile).
Veillez à ne pas utiliser un objet trop pointu, car il pourrait érafler l'écran
tactile.
Le système de revêtement est livré calibré. Si la fonction tactile de l'écran
semble perdre en précision, calibrer l'écran (voir 3.1.1).
Après la mise en circuit, l'écran initial affiche les options correspondant à la

configuration commandée. Ainsi, un instrument équipé de…
Pulvérisation Pulvérisation et décharge luminescente
Fibre de carbone Fibre de carbone et décharge

luminescente
Pulvérisation et fibre de carbone Pulvérisation, fibre de carbone et

décharge luminescente

Le client peut mettre le logiciel à jour au moyen d'une clé USB. Ne pas
éteindre le système pendant la mise à jour, car cela pourrait entraîner un
dysfonctionnement du système.
3.2 Paramétrage
Poussez sur l'écran initial qui apparaît après la mise en circuit de

l'instrument, afin de régler l'heure et la date, la calibration de l'écran tactile, le
niveau sonore, et télécharger les fichiers journaux. Les mises à jour logicielles
peuvent être effectuées (par l'utilisateur). L'accès à l'interface du service
technique est réservé aux techniciens du service après-vente Leica.
1 3
2
5
1. Temps imparti avant la fermeture automatique d'un panneau

2. Contrôle de la rotation activé (si la platine à entraînement planétaire est
installée)
3. Calibration de l'écran tactile (seulement si nécessaire)
4. Réglage de l'heure du système
5. Réglage du volume
Pour confirmer, appuyer sur .
Le système de revêtement est livré calibré. Si la fonction tactile de l'écran

semble perdre en précision, calibrer l'écran (voir 3.1.1)
Connectez une clé USB au port situé sur le panneau

de l'écran tactile et sélectionnez "Log file" sur l'écran
de paramétrage pour télécharger les fichiers
journaux.

1
1. Sélectionnez les fichiers à exporter

2. Appuyez sur "Apply" pour les copier sur la clé USB
Entrez le menu, connectez une clé USB au port situé sur le panneau de l'écran
tactile (voir 3.1.3) et appuyez sur Update.
Choisissez dans la liste les mises à jour à effectuer, en appuyant sur le bouton
respectif situé sur la colonne de sélection des mises à jour (voir en page
suivante).
Il est recommandé de commencer par une mise à jour de l'interface

utilisateur, et de faire ensuite une mise à jour du contrôleur.
Les fichiers de mise à jour doivent être contenus sur une clé USB, dans un
dossier du répertoire Leica/ACEupdate.

3.3 Pompe et aération
L'exécution de la descente en vide sur le système est possible à tout moment. Le

système peut être aéré à tout moment quand il n'est pas en fonctionnement. La
barre du vide indique l'évolution du pompage et de l'aération.
Pour la pompe ou l'aération, appuyez sur le bouton ou respectif

à gauche de l'écran principal du tableau de commande (voir l'écran ci-dessous).
Si la porte n'est pas fermée, le cycle de pompage ne démarre pas et un message
d'erreur s'affiche. Une fuite lors de la descente en vide (p. ex. la source n'est pas
bien installée) est signalée par un message indiquant un dépassement de temps.
Le niveau du vide est rendu visible par une barre du vide.

Un tapotement de la barre du vide fait s'afficher la valeur du vide. Un nouveau
tapotement de la barre fait disparaître le panneau.
Dans (écran principal), l'utilisateur peut définir la durée

d'affichage des panneaux avant leur fermeture.
L'instrument ne doit pas être laissé sous vide, car il se pourrait que de
petites quantités d'huile soient aspirées de la pompe vers l'enceinte de
revêtement. Il ne faut pas arrêter la pompe séparément, mais toujours
utiliser l'interface du système de revêtement pour le fonctionnement de la
pompe.
3.4 Test du vide
Après avoir effectué les branchements du système de revêtement comme indiqué

à la section 2.3, il est possible de réaliser un test du vide.
Mettez l'instrument sous tension en mettant en position haute l'interrupteur
principal situé sur le panneau arrière.

Sélectionnez un processus quelconque.
(L'écran montre l'instrument équipé des trois processus.)
Poussez le bouton Pump pour démarrer la descente en vide.

Un tapotement de la barre de pression fait s'afficher le vide actuel.
Si le vide n'atteint pas 0,5 mb au bout de 30 secondes, il faut contrôler la

pompe ou rechercher une fuite de vide.
Pour aérer l'enceinte, appuyez sur le bouton . L'aération est en cours, le

compteur du temps d'aération est activé.

3.5 Démarrage et arrêt des processus
Le démarrage du processus de revêtement est possible à tout moment (qu'il y ait

eu, ou pas, évacuation du système), tant que la porte et le capot de la source sont
fermés (des interrupteurs électroniques de sécurité empêchent le démarrage si la
porte ou le capot de la source sont ouverts) et que la source est connectée.
Le bouton se transforme en bouton quand le système

démarre le cycle de revêtement.
Quand le bouton "Start" est activé, le système de revêtement exécute
automatiquement le cycle de revêtement complet. Soit le système reste sous
vide, soit il lance une aération automatique (l'aération après processus est
activée, voir la section 3.6).
Une pression sur le bouton "Stop" arrête le processus après confirmation, quelle
que soit l'étape du processus. Soit le système reste sous vide, soit il lance une
aération automatique (l'aération après processus est activée, voir la section 3.6).
3.6 Aération après le processus
Il y a deux options pour l'état du système quand le cycle de revêtement est terminé.
Soit l'instrument reste sous vide, soit il est aéré pour le retrait de l'échantillon.
L'aération après processus est activée, le système effectue une aération

automatique quand le processus de revêtement est terminé.
L'aération après processus est désactivée, la pompe continue à fonctionner après

le processus de revêtement.
Pour démarrer manuellement une aération, appuyez sur le bouton "Vent".

3.7 Contrôle de l'épaisseur et correction géométrique (QSG)
Un cristal de quartz oscille à une certaine fréquence. Quand il est revêtu d'un
matériau, cette fréquence diminue en fonction du matériau et de l'épaisseur
appliquée. Cette information permet de déterminer avec précision l'épaisseur du
film du revêtement pendant l'exécution d'un processus.
Quand le système est équipé de la fonction optionnelle Mesure d'épaisseur du
film QSG, il est possible de terminer le processus à l'épaisseur souhaitée.
Lorsque l'arrêt s'effectue en fonction du temps défini, le système affiche
l'épaisseur résultante.
Il est important de noter que le facteur d'outillage pour la correction d'une hauteur
différente de la position zéro est défini automatiquement lors de la saisie de la
hauteur de la platine. En fonction du métal sélectionné (pulvérisation) ou de la
fibre de carbone (simple ou double), les paramètres sont automatiquement
intégrés à la formule pour le calcul de l'épaisseur.
Le bouton QSG se trouve en haut à droite de l'écran principal
(choisir ou sur l'écran principal).
Tapotez le bouton pour ouvrir le panneau. Tapotez pour

contrôler le fonctionnement du quartz.

La fréquence d'un cristal neuf est de ~6 MHz et elle devrait être stable. Quand le
quartz atteint environ 3,9 MHz, il est recommandé de le remplacer par un cristal
neuf.
Dans ce cas, le système s'arrête quand

l'épaisseur réglée est atteinte.
Dans ce cas, le système s'arrête après

un nombre défini d'impulsions ou de
flashes pour le revêtement de carbone
ou un temps défini pour la pulvérisation
de métal. Le système mesure et affiche
l'épaisseur obtenue.
Dans ce cas, le système s'arrête après

un nombre défini d'impulsions ou de
flashes pour le revêtement de carbone
ou un temps défini pour la pulvérisation
de métal. Le système NE MESURE PAS
l'épaisseur obtenue.
Facteur d'outillage automatisé : quand la surface de l'échantillon n'est pas

alignée sur la position "0", il faut définir ce facteur pour que la mesure d'épaisseur
soit correcte (2.4.2).
Quand la surface de l'échantillon est sous le repère de référence 0, la valeur

de la correction de hauteur est réglée sur la valeur négative appropriée.

3.8 Revêtement en fibre de carbone
Le processus du revêtement de carbone est effectué par évaporation de la fibre

de carbone. Il est possible d'effectuer le revêtement avec de courtes impulsions
de 150 millisecondes ou par évaporation complète de la fibre à la puissance
maximale, ce qu'on appelle un flash. Si la mesure optionnelle d'épaisseur avec le
quartz (QSG) est activée pendant le processus, l'épaisseur de la couche peut être
calculée en fonction du changement de la fréquence de résonance du cristal de
quartz (voir 3.7).
Après le réglage des paramètres du revêtement et une pression sur START, le

système effectue automatiquement les étapes suivantes.
x Pompage jusqu'à l'obtention du vide de base

x Contrôle de la disponibilité d'au moins une section de fibre de carbone, sinon
aération
x
Le contrôle des fibres après l'obtention du vide est nécessaire parce que les
fibres sont légèrement chauffées pour la mesure. Si le vide est trop faible, il
y a un risque d'oxydation.
x
x Quand le vide de base est atteint (3x10-2 mb), dégazage (préchauffage) de
la première fibre disponible pendant 45 secondes
x Ouverture de l'obturateur et démarrage de la rotation (si le dispositif est
présent et la fonction est activée, voir 3.11)
x Émission d'impulsions jusqu'à l'obtention de l'épaisseur souhaitée ou
émission d'impulsions/vaporisation du nombre requis d'impulsions/de
sections. Chaque section requise pour l'accomplissement du protocole défini
est dégazée séparément avant utilisation.
x Fermeture de l'obturateur
x Affichage des résultats du processus (épaisseur, nombre d'impulsions / de
flashes, disponibilité d'autres fibres)
x Aération ou maintien sous vide
3.8.1 Chargement d'une fibre de carbone
La fibre de carbone peut être chargée en tant que fibre unique ou double. Il est
possible d'obtenir des couches minces de 1 à au moins 20 nm d'épaisseur (il y a
une variance des fibres).
Pour réduire les déchets de fibres de carbone, lors du

chargement d'une double fibre, coupez un morceau de
fibre d'une longueur égale au double de la largeur de
l'encadrement noir de la porte du système de
revêtement. Pliez la fibre en deux et chargez-la.

1
Vérifiez que l'instrument est aéré (voir 3.3).
1. Ouvrez le capot de la source

2. Débranchez les connecteurs
3. Dévissez les 2 vis de la tête 2
d'évaporation afin d'enlever la bride
3
Préparez les pièces suivantes sur une surface propre.
1. Tête contenant le carbone

2. Clé Torx TX 10
3. Brosse
4. Fibre de carbone
2
1
Desserrez les 5 vis des serre-câbles avec la clé Torx.

Enlevez tout résidu de fibre de carbone avec la brosse fournie.
Passez le fibre de carbone autour du premier serre-câble et tirez les deux

extrémités délicatement vers la gauche.
En même temps, serrez la vis comme le montre l'image.
Enroulez la fibre autour des autres serre-câbles.

Veillez à ce que la fibre glisse dans la rainure du serre-câble (1). Respectez le
parcours indiqué :

Tirez délicatement la fibre et serrez le dernier serre-câble.
Serrez les 3 vis restantes et coupez la fibre aux deux extrémités.
Si les vis ne sont pas toutes serrées, il peut arriver que l'instrument ne
reconnaisse pas la section de fibre. La plaque en céramique sous les
broches n'est pas serrée, pour empêcher la formation de ponts entre les
dépôts de carbone.
Nettoyez la surface scellée avec un tissu non pelucheux.

Sur youtube, une vidéo concernant l'ACE200 montre le chargement de la
fibre http://www.youtube.com/watch?v=yKd1IyKIDT8
Après avoir chargé la fibre de carbone, remettez la tête en place, serrez

légèrement les vis, branchez les câbles et fermez le capot.
3.8.2 Configuration d'un processus Fibre de carbone
La tête étant installée suite à la préparation décrite à la section 3.8.1, l'opérateur

peut lancer le processus d'évaporation.
Mettez en position Marche l'interrupteur principal situé à l'arrière de l'unité. Le
système affiche l'écran de démarrage.
Appuyez sur .

Appuyez sur le bouton Pump pour démarrer le pompage.
Pendant que le système pompe jusqu'à 3x10-2 mb, l'opérateur peut définir tous les
paramètres du processus :
1. Fibre cible
2. Processus par impulsion ou flash
3. Démarrage ou fin du processus
4. Hauteur de la platine à partir de la position "0" définie (seulement pour
QSG, voir 2.5.2)
5. QSG si disponible (voir 3.7)
1 5

3.8.3 Sélection du type de fibre
Pour des résultats optimaux et un fonctionnement impeccable, utilisez

uniquement la fibre de carbone Leica, n° de commande 16LZ02308VN
(3,5 m) ou 16LZ02307VN (25 m).
Appuyez sur pour ouvrir le menu déroulant et sélectionnez une

fibre (dbl signifie que la fibre est montée en double).
L'instrument choisit automatiquement le paramétrage correct.
Quand un échantillon est particulièrement sensible à la chaleur, l'option

"CT low power" est disponible. Avec cette option, il y a une diminution de la
température d'évaporation et une augmentation de la durée des impulsions.
3.8.4 Mode Impulsion
Lors de l'utilisation du mode Pulse, l'arrêt du processus peut être défini en

fonction de l'épaisseur souhaitée du revêtement (le quartz doit être disponible) ou
du nombre d'impulsions défini. Pour le réglage QSG, veuillez consulter la section
3.7.
Sélectionnez .
Lorsque l'arrêt du processus s'effectue avec le contrôleur d'épaisseur à quartz,
réglez l'épaisseur souhaitée avec les boutons +/-.
Pour connaître les détails des réglages relatifs à l'utilisation du quartz, voir la
section 3.7.

Lorsque l'arrêt du processus s'effectue en fonction du nombre d'impulsions, réglez
le nombre souhaité avec les boutons +/-.
3.8.5 Mode Flash
Lors de l'utilisation du mode Flash, le processus s'arrête après que le nombre

sélectionné de sections de fibre de carbone se soit évaporé. Si la mesure QSG
est disponible, l'épaisseur résultante peut s'afficher. Pour le réglage QSG, veuillez
consulter la section 3.7.
Sélectionnez .
Lors de l'utilisation du mode Flash, le processus est défini par le nombre de
flashes (1-4).
Le courant passe à travers la section de fibre pour la brûler complètement.

Pour réduire à un minimum les résidus de fibre de carbone tombant sur
l'échantillon, nous recommandons d'utiliser le mode "Pulse" plutôt que le
mode "Flash".
3.8.6 Exécution d'un processus avec fibre de carbone
Après avoir effectué le paramétrage selon la description contenue dans les

sections 3.8.2 à 3.8.5, exécutez le processus en appuyant sur le bouton
… se transforme en bouton .

"Checking", détection des fibres :
Le système contrôle d'abord si le nombre de fibres disponibles est
suffisant.
Si les fibres disponibles sont en nombre insuffisant, un avertissement

s'affiche.
Si aucune fibre n'est disponible, un avertissement s'affiche.

Pompage jusqu'à 5x10-1 mb :
Mesure des fibres :

Pompage jusqu'au vide de base de 3x10-2 mb :
Dégazage des fibres :
Après le dégazage, le système attend pour stabiliser le vide.

Revêtement en cours
Le système affiche le nombre d'impulsions (1) réalisées et l'épaisseur actuelle (2).
1
2
Le revêtement est terminé, le rapport synthétique indique le nombre

d'impulsions/de flashes et (si la mesure avec cristal de quartz est disponible),
l'épaisseur du dépôt en nm.
En cas de démarrage d'un nouveau revêtement sans aération, l'épaisseur

totale est celle des couches accumulées. L'afficheur indique donc
l'épaisseur totale.
Le nombre de fibres encore disponibles est indiqué.
3.9 Revêtement par pulvérisation
Le revêtement par pulvérisation utilise de l'argon ionisé pour créer un plasma. Les
ions d'argon sont accélérés par une haute tension et dirigés vers la source au
moyen d'un aimant. Ils entrent alors en collision avec la cible et déplacent les
atomes de surface. En raison de la collision, les atomes de surface sont dirigés
vers la zone située sous la cible et ils revêtent l'échantillon. Deux réglages sont
possibles pour le processus de revêtement : directionnel ou diffus (revêtement
plus uniforme sur une grande surface, ce qui est préférable pour les échantillons
fissurés), en fonction de la pression utilisée pour le processus. Cela influence

aussi le débit du revêtement ("diffuse" signifie que le débit est plus lent) et la taille
du grain ("directional" signifie que les grains sont plus fins). Si la mesure
optionnelle d'épaisseur avec le quartz (QSG) est présente, l'épaisseur de la
couche peut être calculée pendant le processus (3.7).
Cibles
Les cibles suivantes sont utilisables avec le Leica EM ACE200.
x Or
x Or-palladium
x Argent
x Platine
x Platine-palladium
x Cuivre
x Nickel
Approvisionnement en gaz argon

Le gaz de travail (argon) doit être fourni à une pression de ~500 mb (+/- 100 mb).
Le gaz peut être fourni par une conduite fixe ou une bouteille de gaz. Le gaz doit
être pur à au moins 99,99 % (voir aussi la section 2.2).
Après le réglage des paramètres du revêtement et une pression sur START, le
système effectue automatiquement les étapes suivantes.
x Pompage jusqu'à ce que le vide de purge (5x10-2 mb) soit atteint

x Quand le vide de purge est atteint, le système exécute un certain nombre de
cycles de purge
x Pompage jusqu'à ce que le vide de base soit atteint (5x10-2/ 3x10-2 pour
"diffuse/directional")
x Stabilisation du plasma
x Prépulvérisation, si la cible le nécessite (pour enlever les traces d'oxydation
et permettre un débit de pulvérisation stable)
x Démarrage du processus de pulvérisation par ouverture de l'obturateur et
démarrage de la rotation (si elle est présente et activée)
x Arrêt de la pulvérisation en fonction du temps ou de l'épaisseur
x Fermeture de l'obturateur
x Affichage des résultats du processus (épaisseur et/ou temps)
Un manque de propreté des cibles peut causer une instabilité du plasma et

par conséquent, provoquer l'annulation du processus. L'utilisation
exclusive de cibles Leica permet de garantir une pulvérisation sans
problème.
Quand l'instrument est configuré avec à la fois la pulvérisation et

l'évaporation de la fibre de carbone, enlevez tout résidu de carbone présent
sur le dessus de l'enceinte de revêtement, à l'emplacement de la tête, afin
de prévenir la survenue d'un court-circuit.

3.9.1 Chargement de la cible de pulvérisation
Vérifiez que l'instrument est aéré (voir 3.3) et ouvrez le capot de la source.
Débranchez les connecteurs.
Dévissez les 2 vis de la tête de pulvérisation pour enlever la bride.

Enlevez la bague à baïonnette en la tournant et insérez la cible de pulvérisation.
Fixez la cible en serrant délicatement la bague à baïonnette.
Serrer la bague uniquement avec la main.

La cible étant bien fixée, remettez en place la tête de pulvérisation, serrez
délicatement les vis de serrage, branchez le câble et fermez le capot.
Sur youtube, une vidéo concernant l'EM ACE200 montre le chargement de la

cible http://www.youtube.com/watch?v=yKd1IyKIDT8
3.9.2 Configuration d'un processus de pulvérisation
La tête étant installée suite à la préparation décrite à la section 3.9.1, l'opérateur

peut lancer le processus de pulvérisation.
Mettez en position Marche l'interrupteur principal situé à l'arrière de l'unité.
L'écran Start apparaît.
Appuyez sur .

Appuyez sur le bouton Pump pour démarrer le pompage.
Si la porte de l'enceinte n'est pas fermée, un message d'erreur s'affiche.
Pendant que le système pompe jusqu'à 3x10-2 mb, l'opérateur peut définir tous les
paramètres du processus :
1. Matériau cible
2. Processus : directionnel ou diffus
3. Arrêt du processus
4. Hauteur de la platine à partir de la position "0" définie (seulement pour
QSG, voir 2.6.2)
5. QSG si disponible (voir 3.7)
6. Rotation si disponible (voir 3.11)

1 5
3.9.3 Sélection du matériau
Appuyez sur (le matériau choisi en dernier est présélectionné) pour

ouvrir le menu déroulant et sélectionnez le matériau cible.
L'instrument choisit automatiquement le paramétrage correct.

3.9.4 Mode directionnel
Le mode directionnel est prévu pour des échantillons relativement plats. Le vide
pour la pulvérisation directionnelle est de 4x10-2 mb. Sélectionnez "directional".
3.9.5 Mode diffus
Le mode diffus est prévu pour les échantillons plutôt topographiques. Le vide pour
la pulvérisation diffuse est de 8x10-2 mb. Sélectionnez "diffuse".

3.9.6 Courant de pulvérisation et cycles de purge
Les différentes cibles nécessitent des courants de pulvérisation différents. Une

valeur recommandée est préréglée lors du choix de la cible (voir 3.9.3). La
chambre à vide peut être purgée avec de l'argon.
Appuyez sur pour ouvrir le panneau afin d'ajuster le nombre de cycles

de purge à l'argon et de régler le courant de pulvérisation.
Le système enregistre les réglages effectués en dernier.
Pour ajuster les paramètres, utilisez les boutons +/-.
3.9.7 Pulvérisation en fonction du temps ou de la mesure d'épaisseur
Le processus de pulvérisation se termine, selon que l'épaisseur souhaitée est

atteinte ou le temps défini est écoulé.
La mesure avec quartz est activée.
Ajustement de la hauteur pour le facteur d'outillage du quartz correct.

Pour les détails du quartz, voir la section 3.7.
Arrêt en fonction du temps. Le quartz mesure l'épaisseur obtenue.
Aucun quartz n'est disponible, arrêt du processus en fonction du temps.

3.9.8 Exécution du processus de pulvérisation
Après avoir effectué le paramétrage selon la description contenue dans les

sections 3.9.2 à 3.9.5, exécutez le processus en appuyant sur le
bouton .
… se transforme en bouton .

Si la porte n'est pas fermée, un message d'erreur s'affiche.
Si la tête de pulvérisation n'est pas connectée ou si la tête pourvue de la

fibre de carbone est connectée, un message d'erreur s'affiche.
Si le couvercle de la tête de pulvérisation n'est pas fermé, un message

d'erreur s'affiche.

Préparation du niveau de vide à purger avec l'argon (5x10-2 mb).
Purge de l'enceinte avec l'argon (le nombre de cycles est affiché).

Descente en vide jusqu'au vide de base (2x10-2 mb).
Stabilisation du débit d'argon pour atteindre le vide correspondant au processus

(dans cet exemple 4x10-2 mb pour le mode directionnel).
Démarrage de la prépulvérisation pour nettoyer la cible et stabiliser les

paramètres.

Ouverture de l'obturateur et démarrage du revêtement par pulvérisation.
Épaisseur actuelle du revêtement.
En cas de problème pour stabiliser le vide du processus,

vérifiez que la soupape de l'argon est ouverte sur la
bouteille.
Le revêtement est terminé, le rapport synthétique indique le temps du revêtement

et (si la mesure avec cristal de quartz est disponible), l'épaisseur de couche
obtenue.
En cas de démarrage d'un nouveau revêtement sans aération, l'épaisseur

totale est celle des couches accumulées. L'afficheur indique donc
l'épaisseur totale.
Aération en cours.

3.10 Décharge luminescente
La décharge luminescente est un processus optionnel qui sert surtout à rendre

hydrophiles les grilles utilisées pour la microscopie électronique en transmission
(TEM). L'air est utilisé pour créer le plasma. Ce processus peut également servir
à nettoyer la surface de l'échantillon avant le revêtement.
Après le réglage des paramètres de la décharge luminescente, le système
effectue automatiquement les étapes suivantes.
x Pompage jusqu'à ce que le vide de base (juste en dessous de 3x10-1mb) soit

atteint
x Purge d'air pour ajuster le vide à 3x10-1mb
x Stabilisation du vide et démarrage de la décharge luminescente avec
l'obturateur fermé (le plasma pourpre est visible)
x Arrêt du processus de décharge luminescente en fonction du temps défini
x Affichage des résultats du processus (courant et temps)
Mettez en position Marche l'interrupteur principal situé à l'arrière de l'unité.

L'écran Start apparaît.
Appuyez sur .
Pour utiliser l'option Décharge luminescente option, vérifiez que l'électrode

de décharge luminescente est montée sur le système.

Réglez
1. le temps et
2. le courant souhaités
en appuyant sur les boutons +/-. Les valeurs préréglées s'affichent.
3.11 Platine à entraînement planétaire
La platine optionnelle à entraînement planétaire est utile pour le revêtement

d'échantillons très topographiques ou fissurés. Après avoir installé la platine à
entraînement planétaire en suivant la description de la section 2.5.1, l'on peut
utiliser la fonction Rotation.
Le bouton Rotation est situé en bas de l'écran principal
(choisir d'abord ou sur l'écran principal).

Tapotez le bouton pour ouvrir le panneau. Exercez une pression sur
pour l'activer. Appuyez sur "Test" pour contrôler la rotation,

appuyez à nouveau pour l'arrêter.
Réglez la vitesse en appuyant sur +/-.
Appuyez sur le symbole pour fermer la fenêtre.

La platine tourne automatiquement lors de l'exécution du processus de revêtement.
La dernière vitesse de rotation est enregistrée, même après l'arrêt du

système.
Liste de réglages standard :
Matériau Courant mA Type Distance

AU 30 Diffuse 50mm
AU/Pd 35 Diffuse 50mm
Pt 30 Directional 50mm
Ag 50 Directional 50mm
Cu 60 Directional 50mm
Ni 90 Directional 50mm

3.12 Commutation d'un processus à l'autre
Sur un système de revêtement équipé de plusieurs options telles que le

revêtement par pulvérisation, l'évaporation de la fibre de carbone ou la décharge
luminescente, il est facile de commuter les processus. Cela s'effectue en
changeant la source et en choisissant le processus souhaité sur l'écran principal.
Le système détecte automatiquement les options disponibles. Lors du choix d'un
processus, l'instrument détecte si la tête connectée est la bonne. L'écran ci-
dessous montre un système équipé du processus utilisant la fibre de carbone, de
la pulvérisation et de la décharge luminescente.
Pour commuter de la pulvérisation à la fibre de carbone (ou vice versa), insérez la
tête appropriée, connectez-la et sélectionnez le processus respectif.
Pour la décharge luminescente, la tête connectée n'a pas d'importance. Il suffit de
choisir le processus de décharge luminescente.
Message d'erreur après une pression sur le bouton "Start", si la tête pourvue de la
fibre de carbone est installée au lieu de la tête de pulvérisation.
Message d'erreur après une pression sur le bouton "Start", si la tête de

pulvérisation est installée au lieu de la tête pourvue de la fibre de carbone.

4. Maintenance et service après-vente
Ces activités ont pour but de :
x maintenir les conditions de fonctionnement optimales du Leica EM ACE200 ;

x réduire le temps d'indisponibilité ;
x fournir un calendrier de maintenance standard ;
x traiter les dysfonctionnements.
Les dysfonctionnements survenant lors du fonctionnement du système de

revêtement Leica EM ACE200 sont rapportés dans une fenêtre d'information. Le
texte du message d'erreur fournit des informations sur la cause du
dysfonctionnement et l'action requise.
Exemple :
Pour toute question concernant les dysfonctionnements, veuillez-vous référer à la

liste d'erreurs du chapitre 5.
Attention !
Il y a un risque de blessures ou d'endommagement du système, si
l'entretien courant et le nettoyage du système ne sont pas faits
correctement.

4.1 Instructions générales pour la maintenance et le nettoyage
Des éléments externes (poussière, graisse, etc.) peuvent empêcher la production

du vide requis.
Lorsque l'on travaille sur la chambre à vide ou sur des pièces situées à l'intérieur
de la chambre à vide du système de revêtement Leica EM ACE200, il est
essentiel de suivre les principes d'hygiène en vigueur pour la technique du vide. Il
faut porter des gants lors du démontage et du montage de composants dans la
zone du vide, et aussi lors de tous les ajustements.
Toutes les tâches doivent être effectuées dans un environnement propre, exempt
d'huile et de graisse, et non poussiéreux.
4.1.1 Pompe à vide
L'huile de la pompe à vide doit normalement être remplacée tous les ans. Veuillez
consulter le mode d'emploi du fabricant de la pompe.
4.1.2 Capot de la source
Si le capot de la source se ferme trop rapidement, il est possible de resserrer les

gonds avec une
clé hexagonale de 3 mm. Veillez à ne pas trop serrer.

4.2 Nettoyage du Leica EM ACE200
Il convient de nettoyer ou de remplacer le blindage interne et l'obturateur, ainsi

que l'électrode de décharge luminescente quand :
x un écaillage ou un revêtement épais est visible ;

x une contamination est perceptible sur les images obtenues par microscopie
électronique ;
x le temps de pompage nécessaire à l'obtention du vide de base augmente de
façon significative.
Il est recommandé de faire effectuer une fois par an un nettoyage complet et un

contrôle des paramètres par un technicien de service compétent de Leica, afin de
garantir un fonctionnement sans faille.
Recommandation
Habituellement, seule la porte en verre a besoin d'être nettoyée, en fonction de
l'épaisseur des couches et de vos besoins de visibilité. Le blindage de l'enceinte,
en particulier lorsque vous utilisez toujours le même matériau, n'a pas besoin
d'être nettoyé très souvent.
Produits de nettoyage
Utilisez un produit de nettoyage par frottement, comme une éponge grattante de
type Scotch-brite ou une pâte nettoyante pour métal. Pour terminer le nettoyage,
lavez ensuite les éléments à l'eau savonneuse et laissez-les sécher. Vous pouvez
également utiliser de l'isopropanol ou de l'éthanol pour la finition.
Attention !
Ne pas utiliser des tissus fins et de l'éthanol pour enlever les résidus de
platine – il y a un risque d'embrasement du tissu.
Bague anodique
La bague anodique est installée dans l'ouverture de la tête de pulvérisation. Pour
l'enlever, exercez sur la bague une pression vers le bas, après avoir enlevé le
blindage interne (voir 4.2.1).
Le matériau pulvérisé peut à l'occasion entraîner la formation d'une écaillure de

forme allongée. Cela peut causer un court-circuit et le système signale ce risque
au moyen d'un avertissement lors du démarrage d'un processus de pulvérisation.
Nettoyez la bague anodique en l'essuyant avec un tissu et de l'éthanol ou de
l'isopropanol.

Lors de l'évaporation du carbone, il est normal de trouver des dépôts de carbone
sur cette pièce. Essuyez simplement avec de l'éthanol ou de l'isopropanol, avant
de passer à la tête de pulvérisation ou de faire un nettoyage de routine.
Porte
x Enlevez la porte en la soulevant de ses gonds (voir 4.2.1)
x Posez la porte sur une surface plane et douce (p. ex. une serviette en
papier), la surface intérieure étant au-dessus
x Pour enlever les dépôts de carbone lors du nettoyage sommaire, utilisez une
solution d'isopropanol à 70 % et un tissu non pelucheux. Utilisez ensuite une
pâte à polir les métaux (polissage fin). Terminez le nettoyage avec de l'eau
savonneuse ou de l'isopropanol
x Pour enlever les dépôts pulvérisés, commencez par la pâte à polir (polissage
fin) et terminez avec de l'eau savonneuse ou de l'isopropanol
Blindage interne, obturateur et électrode de décharge luminescente

Pour avoir des informations sur le retrait des éléments de l'enceinte, voir la
section 4.2.1.
x Le blindage interne peut être nettoyé avec un produit grattant de type

Scotch-Brite ou une pâte nettoyante pour métal. Terminez le nettoyage avec
de l'eau savonneuse et un rinçage à l'eau claire, ou de l'isopropanol.
x Lors du nettoyage de l'obturateur, il est recommandé de lubrifier la charnière
à visser avec une goutte de Fomblin pour vide élevé (lubrifiant pour vide
élevé) avant le montage.

x L'électrode de décharge luminescente est disponible en tant que pièce
détachée. Une électrode de réserve est fournie avec le système.
Carter
x Toutes les surfaces peuvent être nettoyées avec un tissu non pelucheux
humecté d'agents de nettoyage aqueux, ou d'éthanol à 50 % (éthanol-eau
1:1).
Ne PAS utiliser d'ACÉTONE !
x Le tableau de commande à cristaux liquides doit être nettoyé avec un produit

de nettoyage d'écran en vente dans le commerce (quand le système est
hors circuit).
x Un déversement accidentel de solvants (p. ex. acétone, isopropanol ou
éthanol) doit être enlevé immédiatement avec un tissu non pelucheux
humecté d'agents de nettoyage aqueux.
Tête pourvue de la fibre de carbone

Nettoyez avec une brosse la plaque en céramique (1) située sur la tête pourvue
de la fibre de carbone, lors de chaque remplacement des fibres de carbone. Il
ne doit y avoir sur cette surface aucune couche de carbone continue. Cela
causerait des court-circuits. C'est pourquoi cette plaque doit être montée sans
serrer. Chaque mouvement crée des microfissures dans la couche. La plaque
en céramique peut être remplacée, démontée et nettoyée lors d'opérations
effectuées séparément. Il suffit d'enlever les deux vis (2) qui maintiennent la
plaque.
1
2

4.2.1 Retrait de l'obturateur et du blindage interne
Le retrait de l'obturateur et du blindage ne peut se faire qu'après le retrait de la

platine (voir 2.5.).
Enlevez la tringle de la platine en desserrant manuellement la vis.
Si la fiche QSG est présente, débranchez la fiche et enlevez le dispositif QSG

(voir 2.5).
Enlevez le ressort de retenue de l'obturateur.
Si l'instrument est configuré pour la décharge luminescente, débranchez le

connecteur enfichable situé en haut à gauche de l'enceinte avant d'enlever
l'obturateur.

Dévissez manuellement la vis de l'obturateur et enlevez l'obturateur.
Attention !
Les bords de la feuille métallique du blindage interne et de l'obturateur sont
dangereux. Il y a un risque de blessures (coupures, par exemple).

Veillez à aligner le bras de déplacement de l'obturateur sur l'ouverture du
blindage de l'enceinte.
Enlevez le blindage interne en le tenant sur le côté par les petites poignées et
tirez-le vers l'extérieur.
Pour installer le blindage et l'obturateur, procédez dans l'ordre inverse.

4.2.2 Retrait de la porte
Pour enlever la porte, soulevez-la et enlevez-la.
Posez-la à plat sur une surface douce pour la nettoyer.
Pour remplacer le panneau en verre de la porte, dévissez les deux vis latérales.
Remettez le panneau de verre en place et serrez à nouveau les vis.

5. Résolution des problèmes
5.1 Messages d'erreur – auto-assistance de l'utilisateur
Texte d'erreur SOURCE x COURT-CIRCUIT
Cause possible Court-circuit dans la tête causé par un dépôt excessif
Solution Pour la tête de pulvérisation :
Sortez la tête du système et enlevez la cible
Nettoyez la bague qui maintient la cible en place
Enlevez les dépôts présents à la surface de la tête,

nettoyez-la
Nettoyez la zone de l'enceinte qui est autour de la tête de

pulvérisation
Pour la tête pourvue de la fibre de carbone :
Sortez la tête du système et enlevez la fibre de carbone
Enlevez la plaque en céramique (elle est pourvue de 5 trous

pour le système de maintien en place du carbone) en
desserrant les 2 vis
Nettoyez la tête en enlevant tous les dépôts présents
Veillez à nettoyer les rainures autour des 5 broches à haute

tension (faire attention aux joints toriques sous-jacents)
Remettez en place la plaque en céramique et fixez-la avec

les 2 vis (ne pas serrer, laisser un espace)
Nettoyez la zone de l'enceinte qui est autour de la tête

pourvue de la fibre de carbone
Erreur NO ARGON PRE-PRESSURE.
Cause possible Absence de pré-pression d'argon
Solution Vérifier le raccordement de l'argon et la pression de sortie

de l'argon qui arrive au système de revêtement

5.2 Dysfonctionnement
Erreur System does not start when switched on
Cause Le cordon d'alimentation n'est pas connecté au secteur
Solution Brancher le cordon d'alimentation sur le secteur
Erreur Pump does not start when pressing "Pump" or "Start"
Cause 1 Le fusible à l'arrière du système de revêtement est sorti
Solution Appuyez sur le processus "Stop" et faites rentrer le fusible
Cause 2 La pompe n'est pas alimentée en courant
Solution Vérifier les connexions
Cause 3 L'interrupteur situé sur la pompe n'est pas en position "On"
Solution Mettez la pompe sous tension
Erreur Touchscreen does not appear
Cause Pas d'alimentation électrique
Solution Vérifier les connexions
Erreur Sputter plasma does not start

La bague qui tient la cible est tombée, causant un court-
Cause
circuit
Enlevez la tête et remettez en place la cible et la bague de
Solution
maintien
Le matériau déposé écaille l'obturateur, ce qui cause un
Cause
court-circuit
Solution Enlevez l'obturateur et nettoyez-le
Erreur Quartz is not detected

Le contact entre les ressorts et le cristal de quartz est
Cause
insuffisant
Pliez les ressorts légèrement vers le haut, éteignez le
Solution
système et rallumez-le
Erreur Shutter doesn’t move
Lors de l'installation de l'obturateur, le bras actionneur est
Cause
resté bloqué en arrière
Mettez le système hors tension. Desserrez manuellement la
vis de l'obturateur et déplacez l'obturateur entièrement vers
Solution la droite. Déplacez le bras actionneur de l'obturateur vers la
gauche jusqu'à la position 11 h. Resserrez manuellement la
vis de l'obturateur

5.3 Liste complète des messages d'erreur – description pour le service
après-vente Leica
5.3.1 Fibre de carbone
Avertissement ou numéro de l'erreur

Texte affiché à l'écran
avec description
W4000
"W4001"
Warning
Aucune fibre n'est disponible, annulez
Threads available
uniquement après la mesure de la résistance.
CANCEL
W4002
"W4002" ... il ne reste aucune fibre pour le
Warning
processus, même si le système en a besoin.
Threads exhausted
La seule solution est d'arrêter le processus.
CANCEL
W4003
Warning "W4003" ... le nombre de fibres disponibles
x Threads available pour réaliser le processus de vaporisation
flashes not possible jusqu'au bout est trop faible.
CANCEL
E4009
Process "E4009" ... le processus a été annulé, la
Process terminated température de la tête est excessive
Head over temperature (supérieure à 65 °C).
OK
E4011
Process "E4011" ... l'alimentation en courant pour le
Process terminated. processus utilisant la fibre de carbone n'est
Mains supply voltage fault pas assurée. La porte ou le capot sont peut-
Check door and cover être ouverts.
OK
E4012
Process
"E4012" ... le relais de puissance Fibre de
Process terminated
carbone n'est pas activé. La porte ou le capot
Mains supply voltage fault
sont peut-être ouverts.
Check door and cover
OK
E4015
Process
"E4015" ... la tête Fibre de carbone n'est pas
Carbon thread head is not
connectée, le système a détecté l'erreur grâce
connected
au capteur de température.
Connect cable
OK

5.3.2 Pulvérisation

avec description
E2001
Process
Sputtering terminated "E2001" ....la carte haute tension n'est pas
Mains supply voltage alimentée en courant. Vérifiez la porte et le
fault. capot (capteur).
Check door and cover
OK
E2002
"E2002" .... le processus est terminé. La
Process
tension d'alimentation est hors des limites.
Sputtering terminated
La tension d'alimentation est hors des
Mains supply voltage out
limites : < 85 V.
of range! < 85V
OK
E2003
Process "E2003" .... le processus est terminé. La
Sputtering breakup tension d'alimentation est hors des limites.
Mains supply voltage out La tension d'alimentation est hors des
of range 150<>210V limites : 150...210 V.
OK
E2004
Sputtering terminated tension d'alimentation est hors des limites.
Mains supply voltage out La tension d'alimentation est hors des
of range! 250V limites : > 250 V.
OK
E2005
"E2005" .... le processus est terminé.
Process
La pulvérisation est terminée. Problème
relatif à la tête, le courant de pulvérisation
Current not reached
n'a pas été atteint. La cause pourrait être
Check target and sputter
une pression incorrecte, ou une cible
source
incorrecte ou absente.
OK
E2007
Process "E2007" .... la pulvérisation est terminée.
Sputtering terminated La fluctuation de la tension secteur est trop
Line voltage fluctuations importante.
OK
E2009
Process
"E2009" .... la pulvérisation est terminée.
Court-circuit dans la tête de pulvérisation,
Sputter source short
la bague ou la cible n'est pas bien installée
circuit
ou il y a un dépôt de matériau sur
l'obturateur.
source
OK

E2010
Process
Ignition fault
L'amorçage du plasma n'a pas eu lieu. La
Check argon flow
cause possible est le débit d'argon ou
l'absence de cible.
source
OK
E2011 "E2011" .... la pulvérisation n'est pas

Process terminée. Impossible de contrôler le
Sputtering terminated courant pour le stabiliser, le plasma est
Sputter current could not instable. Contrôlez le débit d'argon et
be stabilised OK nettoyez la cible
E2012
High voltage fault carte de haute tension est défectueuse.
High voltage board defect Impossible de contrôler la sortie, il faut
Please contact service peut-être remplacer la carte.
OK
E2015
Process
"E2015" .... la tête de pulvérisation n'est
Sputter head is not
pas connectée. Détection via le capteur de
connected
température dans la tête.
Connect cable
OK
E2016 "E2016" .... la pulvérisation est terminée.

Process La tête a une température excessive,
Sputtering interrupted - supérieure à 65 °C. La cause est une
head over temperature! longue pulvérisation avec un courant à
Layer thickness: xxnm haute tension. Une température trop
OK élevée peut endommager la tête.
E2017
Process
Sputtering terminated. –
Dépassement de temps – la fonction QSG
Timeout
ne mesure aucun dépôt de couche. Une
No thickness increase
cause possible est un défaut d'ouverture
Check quartz
de l'obturateur
Check shutter mechanics
OK

5.3.3 Contrôleur basse tension (V CA) de la carte mère

avec description
E1001
Shutter motor
Motor is not connected.
Please contact service
OK
on the Service Screen "E1001".... le moteur de l'obturateur n'est

pas connecté à la carte.
E1001
Shutter Motor
Motor is not connected
Please check cable X20
at board 661531106
OK
E1003
Shutter motor
End switch not found
Check for obstacles
check shutter mechanics
"E1003".... Lors de l'initialisation du moteur
OK
de l'obturateur, l'interrupteur de fin de
course n'a pas été trouvé. Le mouvement
on the Service Screen
du moteur est peut-être bloqué, ou le
capteur est défectueux. Vérifiez l'écran
E1003
Service.
Shutter motor
End switch not found
Please check cable X9 at
board 661531106
OK
E1004
Shutter motor
"E1004".... le mouvement du moteur de
Motion not possible
l'obturateur est impossible, le moteur est
Check for obstacles
peut-être bloqué.
check shutter mechanics
OK

6. Entretien courant et réparations
Le Leica EM ACE200 est couvert par une GARANTIE en conformité avec les
conditions de vente. Si pendant la période de garantie, des erreurs fonctionnelles
se produisent ou si des composants du système subissent un dommage couvert
par la garantie, le fabricant réparera ou remplacera les composants défectueux
après examen.
La garantie du fabricant couvre le système dans sa configuration d'origine.
Seules des pièces de rechange d'origine peuvent être utilisées. Le fabricant

décline toute responsabilité pour un dommage causé par l'utilisation d'autres
pièces de rechange.
Le fabricant décline toute responsabilité pour un dommage causé par un usage

impropre du système ou son utilisation dans d'autres buts que l'usage prévu, ou
pour un dommage causé par une opération sur le système qui n'est pas décrite
dans ce manuel.

Leica EM ACE200
Feuille de données techniques
Version 06/13
2
Leica EM ACE200
Système de revêtement sous vide peu poussé
DIMENSIONS ET POIDS WIDTH DEPTH HEIGHT NET WEIGHT
Unité de base ~260 mm ~510 mm ~450 mm ~34 kg
Chambre à vide 140 mm 145 mm 150 mm
Instrument emballé - une boîte 480 mm 750 mm 570 mm ~45 kg
DONNÉES GÉNÉRALES
Distance de travail min. 30 mm, max. 100 mm
80 mm, plat, à 18 trous pour les tiges SEM standard (12,7

mm/1/2 ") / en option, 80 mm, plat avec cavité pour lamelle
Plateau porte-échantillon (diamètre)
porte-objet (76 x 26 mm) / en option, 80 mm, planétaire pour 4 x
4 tiges SEM de 12,7 mm /1/2 ", préincliné à 30°
Zone ciblée de la feuille (diamètre) 54 mm, max. 1 mm d'épaisseur
Durée du revêtement 1 à 999 s
Thickness 1 à 100 nm
une décimale (précision de 0,1 nm), fréquence

Résolution QSG
du quartz de 6 MHz à l'état neuf
Interface utilisateur Tableau de commande tactile intégré

TECHNICAL DATA SHEET – LEICA EM ACE200 3
BRANCHEMENT ÉLECTRIQUE BRANCHEMENT DU VIDE
Tension d'alimentation 100/115/230 V Tuyau de branchement ISO KF 25
Connecteur de la pompe Prise mâle CEI de type E, connecteur de câble Conditions requises pour la pompe capacité de 5 m 3/heure ou plus, vide final
(pour recâblage), droit min. de 5x10 -3 mb
Fréquence 50 / 60 Hz, fluctuation -10%/+15% de la

tension nominale
VACUOMÈTRE
Consommation électrique 1000 W
Fusibles Système de revêtement : automatique 10 A, Thermiquw Pirani
relais de pompe : automatique 10 A
Port USB utilisable pour les clés mémoire de ≤ 32 Go
CARACTÉRISTIQUES DE
FONCTIONNEMENT
BRANCHEMENT DU GAZ Vide final ≤ 7x10 -3 mb*
Gaz de procédé (pour le revêtement Argon, pression réduite, 0,5 bar, pureté de Consommatino électrique max. 200 W
par pulvérisation) 99,99 %
Courant pour la pulvérisation max. 150 mA
Branchement pour l'argon Connecteur à emboîter de 6 mm (G 1/8") de Puissance de la fibre de carbone max. 780 W
diamètre pour le tuyau en polyamide
Tension du circuit ouvert env. 1000 v DC
Consommation de gaz 18 cm 3/min
Durée du pompage à 2 x10-2mb env. 2 min.*
CONDITIONS ENVIRONNEMENTALES
* Instrument pourvu d'un branchement KF 25, d'un tuyau métallique et d'une pompe
rotative à ailettes de 5 m3/h, avec prépompage de 12 heures. Plage de température +15°C to +30°C
Plage de température de stockage +5°C - 40°C
Humidité max. 80%
EC Declaration
EC Declaration of Conformity
EG Konformitäts-Erklärung
Déclaration CE de Conformité
We/Wir/Nous
Leica Mikrosysteme GmbH
Hernalser Hauprstrasse 219
A-1170 Wien, Austria
declare in exclusive resposibility that the product
erklären in alleiniger Verantwortung, dass das Produkt
déclarons sous notre responsabilité que le produit
Model EM ACE200
Modell EM ACE200
modèle EM ACE200
Type/Typenbezeichnung/type EM ACE200
to wich this declaration relatesis in conformity with the following standards:

auf das sich diese Erklärung bezieht, mit den folgenden Normen übereinstimmt:
auquel se réfère cette déclaration est conforme aux normes:
EN 61010-1
EN 61326-1
following the provisions of directive

gemäß den Bestimmungen der Richtlinie
conformément aux dispositions de directive
2004/108/EC (Electromagnetische Verträglichkeit)

(Elektromagnetische Verträglichkeit)
2006/95/EC (Low Voltage Equipment)
(Niederspannungsrichtlinie)
_________________________________________________________________________________________
Wien, 30th July 2012 Dr. Reinhard Lihl
Entwicklungsleiter
R&D Manager
Chef du service développment
Leica Mikrosysteme GmbH Tel. +43 1 48899

Hernalser Hauptstrasse 219 Fax +43 1 48899-350
A-1170 Wien, Austria www.leica-microsystems.com
www.leica-microsystems.com
La force d’innovation de Leica Microsystems est fondée depuis toujours sur une fructueuse collaboration « avec l’utilisateur, pour l’utilisateur ».
Sur cette base, nous avons développé nos cinq valeurs d’entreprise : Pioneering, High-end Quality, Team Spirit, Dedication to Science et Continuous
Improvement. Vivre pleinement ces valeurs signifie pour nous : Living up to Life.
Leica Microsystems opère à l’échelle globale en quatre divisions qui Leica Microsystems – société internationale s'appuyant sur un solide
occupent une position de tout premier plan dans leur segment respectif. réseau international de services à la clientèle :
Présent dans le monde entier Tél. Fax

LIFE SCIENCE DIVISION
Allemagne ∙ Wetzlar +49 64 41 29 40 00 64 41 29 41 55
La division Sciences de la Vie répond aux besoins d’imagerie des scienti- Angleterre ∙ Milton Keynes +44 800 298 2344 1908 246312
fiques par une très grande capacité d’innovation et un savoir-faire Australie ∙ North Ryde +61 2 8870 3500 2 9878 1055
technique reconnu dans le domaine de la visualisation, la mesure et Austriche ∙ Vienne +43 1 486 80 50 0 1 486 80 50 30
l’analyse des microstructures. De par sa connaissance approfondie des Belgique ∙ Groot Bijgaarden +32 2 790 98 50 2 790 98 68
Canada ∙ Concord/Ontario +1 800 248 0123 847 405 0164
applications biologiques, la division fait bénéficier ses clients d’une
Corée ∙ Séoul +82 2 514 65 43 2 514 65 48
avance scientifique décisive. Danemark ∙ Ballerup +45 4454 0101 4454 0111
Espagne ∙ Barcelona +34 93 494 95 30 93 494 95 32
INDUSTRY DIVISION Etats-Unis ∙ Buffalo Grove/lllinois +1 800 248 0123 847 405 0164
En proposant des systèmes d’imagerie innovants et de qualité pour France ∙ Nanterre Cedex +33 811 000 664 1 56 05 23 23
Italie ∙ Milan +39 02 574 861 02 574 03392
l’observation, la mesure et l’analyse des microstructures, la division
Japon ∙ Tokyo +81 3 5421 2800 3 5421 2896
Industrie de Leica Microsystems accompagne ses clients dans leur
Pays-Bas ∙ Rijswijk +31 70 4132 100 70 4132 109
recherche de qualité et de résultats optimaux. Ses solutions sont Portugal ∙ Lisbonne +351 21 388 9112 21 385 4668
utilisées aussi bien pour des tâches de routine ou de recherche, qu’en Rép. populaire de Chine ∙ Hong-Kong +852 2564 6699 2564 4163
science des matériaux, en contrôle-qualité, en criminalistique et pour ∙ Shanghai +86 21 6387 6606 21 6387 6698
l’éducation. Singapour +65 6779 7823 6773 0628
Suède ∙ Kista +46 8 625 45 45 8 625 45 10
Suisse ∙ Heerbrugg +41 71 726 34 34 71 726 34 44
BIOSYSTEMS DIVISION
La division Biosystèmes de Leica Microsystems offre aux laboratoires
et instituts de recherche spécialisés en histopathologie une gamme
complète de produits performants. Il y a ainsi pour chaque tâche
spécifique en histologie le produit adéquat – pour le patient comme
pour le pathologiste. Des solutions de gestion électronique de proces-
sus d’une productivité élevée sont disponibles pour tout l’environne-
ment du laboratoire. En offrant des systèmes d’histologie complets
reposant sur une automatisation innovante et pourvus des réactifs
Novocastra™, la division Biosystèmes favorise un excellent suivi des
patients grâce à des capacités de traitement rapides, des diagnostics
fiables et une collaboration étroite avec ses clients.
MEDICAL DIVISION
La division médicale accompagne les microchirurgiens dans leur suivi
.PEFEhFNQMPJ-FJDB&."$&OVNÏSPEFDPNNBOEFWFSTJPOt
des patients. Elle est un partenaire innovant qui met à la disposition
Copyright © by Leica Mikrosysteme GmbH, Vienne, Autriche, 2013. Sous réserve de modi-
des chirurgiens des microscopes chirurgicaux de grande qualité répon- fications. LEICA and the Leica Logo are registered trademarks of Leica Microsystems IR
dant à leurs besoins actuels et futurs. GmbH.

Emace200 Om FR 08 13

Uploaded by

Document Information

Original Title

Copyright

Available Formats

Share this document

Share or Embed Document

Sharing Options

Did you find this document useful?

Is this content inappropriate?

Copyright:

Available Formats

Emace200 Om FR 08 13

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

Leica EM ACE200

Leica Mikrosysteme GmbH

Leica EM ACE200 7

Veuillez lire attentivement ce mode d'emploi

Veuillez lire attentivement ce mode d'emploi avant d'utiliser l'appareil. Ce manuel de

Le maniement du système de revêtement Leica EM ACE200 est

De plus, toutes les réglementations légales ou autrement obligatoires généralement

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 1

Les instructions concernant des risques éventuels sont identifiées

Ce symbole avertit l'utilisateur des dangers pouvant entraîner des

Risque lié au levage. Le levage de l'appareil par

Ce symbole fournit des informations supplémentaires sur une

Portez des gants propres, non poudrés.

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 2

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 3

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 4

Les échantillons sont revêtus de métal par utilisation de la méthode de

Le Leica EM ACE200 peut être configuré comme un système de revêtement par

Le blindage interne amovible, l'obturateur, la source et la porte sont conçus pour

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 5

Les sources sont protégées contre la surchauffe. Lorsque la température atteint

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 6

Mesures de sécurité pendant l'installation

x Les branchements sur le réseau électrique et l'arrivée de gaz doivent être

Une installation incorrecte du système de revêtement Leica EM ACE200 peut

Si des mesures de lutte contre l'incendie sont requises, il faut utiliser un

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 7

1. Capot de la source 10

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 8

Le système de revêtement Leica EM ACE200 est livré monté, à l'exception des

2.2 Conditions d'installation

L'instrument doit être placé sur la paillasse de façon à permettre à tout

Des éléments externes (poussière, graisse, etc.) peuvent empêcher la production

Les branchements suivants doivent être préparés :

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 9

Le système de revêtement Leica EM ACE200 doit être transporté avec un chariot

Enlevez les bandes et ouvrez la boîte.

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 10

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 11

Nous recommandons fortement d'utiliser sur la bouteille d'argon un

2.4 Installation de la pompe

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 12

Un tuyau commandé avec l'instrument inclut

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 13

Fixez le tuyau à la pompe et au système de revêtement en utilisant le joint et le

Veuillez contrôler que le réglage de tension de la pompe correspond à la tension

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 14

Enlevez l'obturateur de l'emballage.

x Obturateur sans électrode de décharge luminescente

S'il y a un dispositif de décharge luminescente, guidez le câble dans les

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 15

Faites glisser le ressort de l'obturateur (emballé séparément) (1) sur la broche

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 16

Cette platine optionnelle s'utilise avec une lamelle porte-objet standard de

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 17

Placez la platine sur la tringle (tige, lamelle porte-objet ou planétaire).

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 18

La chambre à vide est équipée d'une platine

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 19

La platine planétaire est un équipement optionnel. En cas de commande de la

Placez la platine à entraînement planétaire sur la tringle verticale et fixez-la en

Leica EM ACE200 Mode d'emploi 08/13 Page 20

Platine à entraînement planétaire installée :

Leica EM ACE200 7