A.

GIỚI THIỆU LUẬN ÁN

1. Tính cấp thiết của đề tài
Để phát triển, hội nhập khoa học công nghệ với thế giới,
trong điều kiện hiện tại, Việt Nam cần tìm cho mình những
ngành nghiên cứu mũi nhọn. Trong mỗi ngành nghiên cứu cụ
thể như Khoa học Vật liệu, cũng lại cần xác định các hướng
nghiên cứu triển vọng, phù hợp với trình độ và điều kiện
nghiên cứu trong nước, chiến lược này đóng vai trò then chốt
nhằm giúp chúng ta có thể đạt hiệu quả tối đa trong nghiên
cứu, phát triển khoa học công nghệ.
Vật liệu Meta (Metamaterials) là một hướng nghiên cứu
mới chỉ phát triển mạnh từ đầu thế kỷ 21. Tuy nhiên, với các
kết quả kỳ thú và tiềm năng sớm được công bố như vật liệu
chiết suất âm, tàng hình sóng điện từ, siêu thấu kính, hấp thụ
tuyệt đối... vật liệu Meta đã và đang tiếp tục được tập trung
nghiên cứu sâu rộng.
Thêm vào đó, điều kiện nghiên cứu cần thiết của vật liệu
Meta tùy thuộc vào vùng tần số hoạt động, chính vì vậy ở
những nước có điều kiện nghiên cứu chưa phát triển vẫn có thể
triển khai nghiên cứu loại vật liệu này, trong những vùng tần số
hoạt động phù hợp.
Nhánh nghiên cứu Vật hiệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng điện
từ thu hút được nhiều sự quan tâm, đặc biệt là cho mục đích
quân sự. Với khả năng hấp thụ gần như toàn bộ sóng điện từ tới
ở một, vài tần số, vùng tần số định trước, vật liệu Meta hấp thụ
tuyệt đối sóng điện từ có triển vọng ứng dụng trong chế tạo cảm
biến, biến đổi năng lượng, và đặc biệt trong quân sự là các ứng

1
dụng ngụy trang, Radar... Cho đến nay, nghiên cứu vật liệu
Meta là hướng nghiên cứu hoàn toàn mới nhưng rất triển vọng
và phù hợp với điều kiện nghiên cứu của Việt Nam.
2. Mục tiêu nghiên cứu, ý nghĩa khoa học và thực tiễn
* Mục tiêu nghiên cứu của luận án là:
i) Đưa ra đượcphương pháp nghiên cứu và công nghệ chế
tạo vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng vi ba.
ii) Nghiên cứu tối ưu hóa cấu trúc vật liệu Meta hấp thụ
tuyệt đối sóng viba.
iii) Nghiên cứu nâng cao hiệu suất hấp thụ của vật liệu Meta
ở vùng sóng viba bằng cách mở rộng dải tần hấp thụ.
* Ý nghĩa khoa học và thực tiễn của đề tài:
Ý nghĩa khoa học của đề tài là đưa ra những cơ sở vật lý và
cơ chế hoạt động của vật liệu Meta. Trình bày các phương
pháp nghiên cứu và quy trình công nghệ chế tạo mẫu vật liệu
Meta hoạt động ở vùng tần số GHz.
Ý nghĩa thực tiễn của đề tài là đã minh chứng được tiềm
năng ứng dụng to lớn của vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối trong
nghiên cứu, ngụy trang sóng điện từ. Ngoài ra, các kết quả
nghiên cứu này còn là cơ sở để thu hút thêm sự tham gia của
các nhà khoa học cho việc nghiên cứu, ứng dụng vật liệu Meta
phát triển cảm biến, chuyển đổi năng lượng, radar... phục vụ
quốc phòng và dân sinh.
3. Những đóng góp mới của luận án
(i) Đưa ra được quy trình chế tạo vật liệu Meta hoạt động ở
vùng tần số GHz trên cơ sở công nghệ quang khắc. Quy trình

2
này có độ ổn định và cho ra các mẫu có chất lượng tốt.
(ii) Đã chế tạo được các mẫu vật liệu Meta có cấu trúc khác
nhau. Lần đầu tiên, vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng viba
được chế tạo thành công ở Việt Nam. Kết quả đo đạc cho thấy
đạt được hấp thụ gần như hoàn toàn tại tần số xác định.
(iii) Đã đưa ra được các cấu trúc nhằm nâng cao hiệu suất
hoạt động của vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng viba. Buồng
hấp thụ có cấu trúc 3D lần đầu tiên được thiết kế, chế tạo tại
Việt Nam trên cơ sở các mẫu vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối
sóng viba đã nghiên cứu.
4. Bố cục của luận án
Luận án gồm 104 trang được chia thành các phần như sau:
Mở đầu 3 trang; Chương 1. Tổng quan 23 trang; Chương 2.
Phương pháp nghiên cứu và công nghệ chế tạo gồm 22 trang;
Chương 3.Nghiên cứu chế tạo và tối ưu hóa cấu trúc MPA gồm
27 trang và 4.MPA hấp thụ dải rộng gồm 12 trang. Kết luận và
kiến nghị 1 trang. Ngoài ra, luận án có 01 bảng; 69 hình vẽ và
đồ thị; 90 tài liệu tham khảo và phần phụ lục.
B. NỘI DUNG CHÍNH CỦA LUẬN ÁN
MỞ ĐẦU
Cấu trúc vật liệu Meta được xem là một loại vật chất nhân
tạo, tính chất của nó phụ thuộc cấu trúc nhiều hơn thành phần
cấu tạo. Cấu trúc vật liệu Meta có rất nhiều ứng dụng kỳ diệu
đã được các nhà khoa học nghiên cứu bằng lý thuyết và chứng
minh bằng thực nghiệm như siêu thấu kính, áo khoác tàng
hình, bộ lọc tần số antennas, cảm biến sinh học... Vật liệu hấp
thụ tuyệt đối là một trong nhiều loại vật liệu nhân tạo được

3
nghiên cứu chế tạo trên cơ sở cấu trúc vật liệu Meta, các
nghiên cứu hấp thụ sóng điện từ thuộc dải vi ba có thuận lợi là
điều kiện thực nghiệm đơn giản. Từ khi Landy đưa ra cấu trúc
hấp thụ sóng vi ba đầu tiên năm 2008, nhiều cấu trúc hấp thụ
khác đã được các nhóm nghiên cứu trên thế giới công bố. Tất
cả các cấu trúc hấp thụ đều có hiệu suất hấp thụ cao và được
giải thích về cơ chế hấp thụ.
Tuy nhiên, các cấu trúc hấp thụ đã công bố thường rất phức
tạp, có nhiều tham số hình học, vì thế rất khó tùy biến để đạt
được một đặc tính hấp thụ mong muốn.
Trong luận án này, chúng tôi lần đầu tiên nghiên cứu chế
tạo thành công vật liệu Meta ở Việt Nam. Kết quả mới của luận
án là đưa ra các cấu trúc đơn giản, dễ chế tạo, đo đạc, ít tham
số hình học, vì vậy, dễ tùy biến mà vẫn đảm bảo có được tính
hấp thụ hoàn hảo sóng điện từ thuộc dải sóng vi ba.
CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN
1.1. Giới thiệu chung về vật liệu Meta
Vật liệu Meta là một loại vật chất nhân tạo, mà tính chất của
nó phụ thuộc cấu trúc nhiều hơn là thành phần cấu tạo. Tên
tiếng Anh metamaterial thường được sử dụng cho một vật liệu
có tính chất khác thường. Thuật ngữ đã được đặt ra vào năm
1999 do Rodger M. Walser của Trường Đại học Texas tại
Austin. Ông đã xác định vật liệu Meta như vật liệu kết hợp
nhân tạo, 1, 2 hoặc ba chiều, cấu trúc tuần hoàn được thiết kế
để tạo ra những đặc tính vật lý không có sẵn trong tự nhiên.
Vật liệu Meta được chế tạo bằng cách sắp xếp những cấu
trúc vi mô, được gọi là các "nguyên tử", để có thể tạo ra các

4
tính chất vật lý vĩ mô (chủ yếu là tính chất điện từ) theo ý
muốn. Những tính chất này có thể đã tồn tại nhưng khó khai
thác và điều khiển, và thậm chí không tồn tại trong những vật
liệu tự nhiên mà con người từng biết. Sự sắp xếp các cấu trúc
vi mô có thể theo 1 trật tự hoặc hỗn loạn. Các cấu trúc "nguyên
tử" này có thể là đối xứng hoặc bất đối xứng, đẳng hướng hoặc
bất đẳng hướng, được làm từ kim loại hoặc điện môi, có thể là
chất phi từ hoặc sắt từ, và có kích thước nhỏ hơn so với bước
sóng hoạt động.
Chúng ta đều biết tính chất điện từ của mỗi một loại vật liệu
được đặc trưng bởi hai đại lượng vật lý: độ từ thẩm và hằng số
điện môi. Sự lan truyền của sóng điện từ trong vật liệu liên
quan chặt chẽ tới hai đại lượng này. Nguyên lý cơ bản của vật
liệu Meta là tạo ra các mạch cộng hưởng điện từ, từ những cấu
trúc "nguyên tử", có khả năng điều khiển riêng biệt hai đại
lượng này, điều mà không thể làm được với các vật liệu tự
nhiên. Sự truyền sóng điện từ trong vật liệu Meta, do đó cũng
có thể dự đoán, thiết kế trước và điều chỉnh theo ý muốn. Hiện
nay nghiên cứu về vật liệu đã mở rộng ra nhiều dải tần của
sóng điện từ và sóng âm.
1.2. Ứng dụng của Vật liệu Meta
Việc ra đời của vật liệu Meta hứa hẹn sẽ mang lại hàng loạt
ứng dụng mới và quan trọng trong cuộc sống. Sự linh hoạt của
vật liệu này làm nó trở nên quan trọng trong lĩnh vực thông tin,
cảm biến, các thiết bị quang học. Sự thú vị thực sự của vật liệu
Meta nằm ở khả năng điều khiển sóng điện từ hay tính chất
quang của vật liệu phục vụ cho hàng loạt các ứng dụng thực tế.
Một trong những ứng dụng nổi bật nhất của vật liệu này là siêu

5
thấu kính được đề xuất bởi Pendry được trình bày trong Hình
1. Sau đó, năm 2005 siêu thấu kính quang học đã được Zhang
và các cộng sự chế tạo thành công.

Hình 1. Nguyên lý hoạt động của siêu thấu kính dựa trên
vật liệu Meta.

Một ứng dụng khác là lớp vỏ “tàng hình”. Khi chúng ta nhìn
mặt đường mùa hè vào ngày nắng gắt, từ một khoảng cách
thích hợp ta thấy trước mắt xuất hiện một “vũng nước” lung
linh ảo ảnh của bầu trời và cây cối bên đường. Hiện tượng này
được gây ra do sự thay đổi dần dần của chiết suất từ trị số lớn
trong vùng không khí mát hơn phía trên đến trị số nhỏ hơn
trong vùng không khí nóng tiếp giáp với mặt đường. Sự thay
đổi chiết suất sẽ làm uốn cong đường đi của ánh sáng. Các nhà
khoa học cũng đã nghiên cứu và chế tạo vật liệu Meta có sự
thay đổi chiết suất làm uốn cong đường đi của sóng điện từ
xung quanh một vật thể. Vì không có sự phản xạ sóng từ vật
nên đối với người quan sát vật này là “tàng hình”. Như vậy, vật
liệu Meta không những có thể có chiết suất âm mà còn là một
tập hợp của những mảnh khảm (mosaic) quang học mang từng

6
trị số chiết suất khác nhau làm uốn cong đường đi của sóng
điện từ.
Vật liệu tàng hình dựa trên vật liệu Meta do nhóm Smith và
Pendry phát hiện và kiểm chứng. Với ứng dụng này, chúng ta
có quyền nghĩ về một loại vật liệu mới, mà nếu chúng ta được
"bao phủ" bởi nó, thì không ai có thể nhìn thấy chúng ta cho dù
chúng ta đang đứng ngay trước mặt họ. Điều này tạo nên đột
phá lớn, đặc biệt là trong quân sự. Các thí nghiệm của nhóm
Smith (Đại học Duke) đã đạt tới bước sóng tiến gần đến vùng
nhìn thấy, các thí nghiệm với sóng ánh sáng trong vùng nhìn
thấy đang được tập trung nghiên cứu.
Ngoài những ứng dụng kì diệu rõ ràng kể trên, vật liệu Meta
còn tỏ ra rất tiềm năng trong các lĩnh vực khác như bộ lọc tần
số, cộng hưởng, cảm biến sinh học, đặc biệt là tính siêu hấp thụ
của loại vật liệu này.
1.3. Vật liệu Meta hấp thụ sóng điện từ
Vật liệu Meta hấp thụ hoàn hảo sóng điện từ (metamaterial
perfect absorber - MPA) là vật liệu có khả năng hấp thụ hoàn
toàn năng lượng của sóng điện từ chiếu tới tại tần số hoạt động.
Do MPA được tạo bởi các cấu trúc cộng hưởng điện từ nên
nguyên lí hoạt động của MPA là hấp thụ cộng hưởng. Tại tần
số cộng hưởng, các đại lượng truyền qua, phản xạ, tán xạ đều
bị triệt tiêu.
MPA thường được cấu tạo gồm 3 lớp: hai lớp kim loại
thường được tạo bởi các kim loại dẫn điện tốt như vàng, bạc,
đồng và xen kẽ là lớp điện môi. Tại tần số xác định, MPA hấp
thụ sóng điện từ tốt hơn nhiều so với các vật liệu được nghiên
cứu trước đây (màn Salisbury, lớp Dällenbach ...). Ngoài ra,

7
một trong những tính chất hết sức thú vị của MPAs là có khả
năng điều chỉnh được vùng tần số hoạt động mong muốn thông
qua thay đổi kích thước và lợi thế độ dày nhỏ như đã được
chứng minh là 0 /40, 0 /69.
Năm 2008, MPA đầu tiên đã được đề xuất bởi Landy. Loại
vật liệu này gồm ba lớp, hai lớp kim loại và một lớp điện môi
được mô tả trên Hình 2. Vật liệu có độ hấp thụ là A  99% tại
tần số 11.65 GHz.

Hình 2. MPA đầu tiên được tìm ra bởi Landy năm 2008.
a) Cấu trúc ô cơ sở và phân cực; b) Kết quả mô phỏng.

Sau khi phát hiện ra khả năng hấp thụ tuyệt đối của vật liệu
Meta. Vật liệu này càng được quan tâm một cách đặc biệt hơn.
Bằng chứng là các nhà nghiên cứu đã tìm kiếm các cấu trúc vật
liệu Meta hoạt động ở các vùng khác nhau của phổ sóng điện
từ như: vùng vi sóng, THz, hồng ngoại, thậm chí vùng ánh
sáng nhìn thấy.
Các hướng nghiên cứu hiện nay về vật liệu metamaterial
hấp thụ tuyệt đối sóng điện từ

8
 Để thuận tiện cho việc nghiên cứu, người ta chia ra các vùng
sóng điện từ như sau: vi sóng (1 GHz–30 GHz: 30 cm–10 mm),
vùng sóng milimet (30 GHz–300 GHz: 10 mm–1 mm), vùng
THz (300 GHz–10 THz: 1mm–30 m), vùng hồng ngoại giữa
(10 THz–100 THz: 30 m–3m), vùng hồng ngoại gần (100
THz–400 THz: 3 m–0.75 m) và vùng khả kiến (400 THz–
800 THz: 750nm–375 nm).
Trong cộng đồng nghiên cứu về vật liệu Meta nói chung,
hiện các nhà nghiên cứu đang gặp phải một số khó khăn như:
tạo ra cấu trúc ba chiều và tổn hao lớn có sẵn trong các loại vật
liệu. Tuy nhiên, đối với MPA thì đây lại là lợi thế, độ tổn hao
lớn có thể tạo ra vật liệu hấp thụ cao. Hiện nay, các nhà khoa
học đang tập trung vào một số hướng nghiên cứu như sau:
- Tìm kiếm MPA có cấu trúc đơn giản.
- MPA không phụ thuộc phân cực sóng điện từ.
- MPA có hấp thụ dải rộng.
- MPA tuỳ biến: vật liệu Meta nói chung và MPAs nói riêng,
tính chất phụ thuộc rất mạnh vào các thông số cấu trúc. Ngoài ra,
các tính chất của chúng còn phụ thuộc vào hằng số điện môi và
các đặc tính vật lý của lớp điện môi. Như vậy, trong trường hợp
tác động ngoại vi như nhiệt, điện, quang ... có thể làm cho đặc
tính vật lý của lớp điện môi thay đổi, sẽ dẫn đến các tính chất của
vật liệu Meta thay đổi theo.
- Nghiên cứu chế tạo vật liệu MPA hoạt động ở vùng tần số
cao như: THz, hồng ngoại, vùng ánh sáng khả kiến...

9
 CHƯƠNG 2: PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU
VÀ CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO
2.1. Mô hình mạch điện tương đương
Vật liệu Meta được tạo thành bằng cách tổ hợp có trật tự
những cấu trúc cơ bản nhỏ hơn nhiều lần bước sóng hoạt
động. Những cấu trúc này chính là những mạch cộng hưởng
điện từ sub-wavelength, có tác dụng tương tác với sóng tới,
và thay đổi tính chất của sóng truyền qua tại tần số cộng
hưởng. Chính vì vậy, đặc tính điện từ của vật liệu Meta có
thể được mô hình hóa thông qua mô hình mạch LC tương
đương của các cấu trúc cơ bản này. Tần số cộng hưởng và
các tính chất dị thường của vật liệu Meta cũng có thể được
tiên đoán chính xác dựa trên mô hình mạch tương đương LC.
Giá trị của L và C có thể được tính toán chính xác thông qua
các thông số hình học và tính chất của vòng dây SRR, từ đó tần
số cộng hưởng có thể được tiên đoán trước.
2.2. Mô phỏng vật lý
Các đặc tính điện từ như phổ truyền qua, phổ phản xạ, tổn
hao điện từ, phân bố năng lượng điện từ, và phân bố dòng điện
cảm ứng của các cấu trúc vật liệu Meta được mô phỏng bằng
các phần mềm máy tính. Các phần mềm chuyên dùng để mô
phỏng vật liệu Meta điện từ chủ yếu hiện nay được chia làm
hai loại, phần mềm thương mại và các phần mềm tự xây dựng.
Các phần mềm thương mại như CST Microwave Studio, HFSS
và Comsol có ưu điểm chính xác, nhiều tính năng, giao diện dễ
sử dụng tuy nhiên giá thành rất đắt, khả năng tùy biến kém, và
tốn nhiều bộ nhớ. Trong một số trường hợp nhất định, các

10
phương pháp mô phỏng tự xây dựng dựa trên các phần mềm
mã nguồn mở như phương pháp ma trận truyền (Transfer
Matrix Method - TMM) và phương pháp đạo hàm hữu hạn
trong miền thời gian (Finite Difference Time Domain - FDTD)
cho tốc độ tính toánh nhanh, khả năng tùy biến tốt, cho phép
can thiệp sâu vào cấu trúc và tính chất vật liệu, cũng như thêm
vào các tương tác ngoại vi... Kết quả mô phỏng các tính chất
điện từ của vật liệu Meta đã được kiểm chứng bằng thực
nghiệm và nhiều phương pháp khác, cho độ tin cậy cao.
2.3. Kiểm chứng bằng thực nghiệm
Một trong những phương pháp nghiên cứu quan trọng để
kiểm chứng tính chất của vật liệu Meta điện từ là chế tạo mẫu
và thực hiện phép đo xác định các đặc tính điện từ. Các phép
đo này chủ yếu là phép đo phổ truyền qua và phổ phản xạ ở các
vùng tần số khác nhau. Ở vùng sóng microwave, vật liệu Meta
được chúng tôi chế tạo bằng phương pháp quang khắc truyền
thống với ưu điểm là đơn giản, độ chính xác cao và giá thành
rẻ. Vật liệu ban đầu là bảng mạch in thương phẩm có hằng số
điện môi  = 4 và độ dày lớp điện môi là t = 0.4 mm, đã được
phủ đồng (Cu) hai mặt có độ dày khoảng 0.036 mm. Bảng
mạch in sẽ được phủ lớp cảm quang và phơi sáng sau khi được
che bởi mặt nạ được in từ trước. Mặt nạ được thiết kế dựa trên
kết quả mô phỏng và mô hình hóa bằng mạch LC tương đương.
Hình 3 trình bày cấu trúc ô cơ sở cùng các tham số cấu trúc của
vật liệu Meta có tính chất khác nhau: a) vật liệu Meta có độ từ
thẩm âm, b) vật liệu Meta có chiết suất âm, c) vật liệu Meta
hấp thụ tuyệt đối. Hình 4 là ảnh chụp mặt trước của mẫu vật
liệu Meta: (a) cấu trúc CWP có độ từ thẩm âm và (b) cấu trúc

11
vật liệu Meta kết hợp có chiết suất âm.

Hình 3. Cấu trúc ô cơ sở của một số vật liệu Meta: (a) vật
liệu Meta có độ từ thẩm âm CWP, b) vật liệu Meta có chiết
suất âm, (c) vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối.

Hình 4. Vật liệu Meta CWP có độ từ thẩm âm (a) và vật

liệu Meta kết hợp có chiết suất âm (b).

Để đo các tính chất của vật liệu như phổ truyền qua, phổ
phản xạ hay hấp thụ chúng tôi sử dụng hệ phân tích mạng véc
tơ gồm hai ăng ten chuẩn, một ăng ten có vai trò phát, ăng ten
còn lại có vai trò thu tín hiệu. Hệ thiết bị đo được đặt trong
buồng hấp thụ sóng điện từ để giảm tác động nhiễu từ bên

12
ngoài. Vùng tần số hoạt động của vật liệu đã được tính toán
dựa trên thiết kế mô phỏng và mô hình mạch điện LC trước đó.

Hình 5. Hệ thiết bị phân tích mạng véc tơ.

Hình 5 mô tả hệ và bố trí phép đo phổ truyền qua của một
mẫu vật liệu Meta. Hai ăng ten thu phát được đặt lần lượt ở bên
trái và phải. Tín hiệu nền được chuẩn hóa cùng với giá đỡ mẫu
trước mỗi phép đo để loại bỏ ảnh hưởng của giá đỡ và nhiễu
nền lên kết quả đo. Mẫu đo được đặt trên giá để mẫu, giữa hai
ăng ten để khảo sát trong dải tần số cần quan sát. Kết quả thu
được từ các phép đo là các phổ truyền qua, phản xạ và pha
tương ứng.
2.4. Phương pháp lý thuyết môi trường hiệu dụng
Lý thuyết môi trường hiệu dụng là nguyên lý đầu tiên và cơ
bản xuyên suốt quá trình nghiên cứu vật liệu Meta điện từ. Bản
chất của vật liệu Meta là tổ hợp những “nguyên tử” có tính chất
điện từ nhân tạo để tạo ra các tính chất hiệu dụng của vật liệu.
Vì thế các “nguyên tử” này thường là các mạch cộng hưởng
điện từ và phải đủ nhỏ để được xem là liên tục tại tần số mà
tính chất hiệu dụng của nó hoạt động. Việc thay đổi tính chất

13
vật lý của các mạch điện từ này sẽ dẫn đến những biến đổi vĩ
mô của vật liệu Meta, điều này giúp cho việc kiểm tra và so
sánh tính chất của vật liệu Meta với vật liệu thường có thể
được thực hiện một cách dễ dàng.
2.5. Phương pháp truy hồi tham số điện từ
Trong khi phương pháp lý thuyết trường hiệu dụng được sử
dụng để nghiên cứu một cách định tính, xây dựng một phương
pháp nghiên cứu định lượng các tính chất điện từ của vật liệu
Meta là rất cần thiết. Tuy nhiên, việc đo trực tiếp các đặc tính
điện từ như độ từ thẩm µ, độ điện thẩm , chiết suất n, và trở
kháng Z theo tần số của vật liệu Meta lại rất khó thực hiện một
cách chính xác. Chính vì vậy kỹ thuật tính toán các giá trị này
dựa trên biên độ và pha của sóng truyền qua và phản xạ trở nên
rất hữu ích trong nghiên cứu định lượng các tính chất của vật liệu
Meta. Một trong những phương pháp được sử dụng rộng rãi để
tính các tham số điện từ từ phổ truyền qua và phản xạ là phương
pháp chuẩn đề xuất bởi Chen và các cộng sự, cho phép xác định
được chính xác phần thực của chiết suất n từ công thức
exp(inkod) = X ± i(1 – X2)1/2 (1)
trong đó, X = 1/2S21(1 – S112 + S212), ko là số sóng, d là độ
dày của lớp vật liệu Meta, và n là chiết suất. Khi các giá trị độ
từ thẩm, độ điện thẩm, chiết suất và trở kháng hiệu dụng của
vật liệu Meta được thể hiện, chúng ta có thể xác định rõ dấu, và
độ lớn cũng như bản chất của vùng truyền sóng là chiêt suất
âm hay không. Có thể nói đây là một trong những phương
pháp nghiên cứu ưu việt và là công cụ mạnh để nghiên cứu vật
liệu Meta. Trong các kết quả nghiên cứu sắp trình bày dưới đây
của chúng tôi, phương pháp tính các tham số điện từ này được

14
sử dụng bổ trợ và tỏ ra rất hữu ích trong việc tìm hiểu bản chất
của vật liệu Meta.
2.6.Công nghệ chế tạo
Vật liệu ban đầu gồm có một lớp điện môi có hằng số điện
môi  = 4 và độ dày lớp điện môi là t = 0.4 mm, đã được phủ
đồng (Cu) hai mặt có độ dày khoảng 0.036 mm. Qui trình chế
tạo vật liệu được trình bày trên hình 6.

Hình6. Quy trình chế tạo vật liệu Meta.

15
 CHƯƠNG 3: NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO
VÀ TỐI ƯU HÓA CẤU TRÚC MPA
HOẠT ĐỘNG Ở VÙNG TẦN SỐ GHZ
3.1. MPA cấu trúc chữ I
Cấu trúc hấp thụ MPA được đề xuất bởi Landy (Hình 2)
tương đối phức tạp và đòi hỏi độ chính xác cao trong chế tạo.
Tìm kiếm một cấu trúc MPA đơn giản nhưng có hiệu suất hấp
thụ không đổi là một bài toán được nhiều nhóm nghiên cứu quan
tâm. Dựa trên bản chất vật lý của cấu trúc Landy, chúng tôi đã
tiến hành nghiên cứu chế tạo và tối ưu hóa cấu trúc hấp MPA,
hướng tới một cấu trúc có tính ưu việt trong chế tạo và đo đạc.
Mẫu hấp thụ MPA hình chữ I là sự rút gọn của cấu trúc Landy
dựa trên cơ sở mạch cộng hưởng LC (Hình 7). Đây là một trong
những kết quả nghiên cứu, chế tạo vật liệu MPA đầu tiên ở Việt
Nam. Kết quả thực nghiệm phù hợp với kết quả mô phỏng, tồn
tại mộtđỉnh hấp thụ ~100% ở tần số 14,2 GHz (Hình 8).

Hình 7. MPA cấu trúc hình Hình 8. Kết quả mô phỏng và

chữ I: a) Ô cơ sở và các tham thực nghiệm phổ hấp thụ của
số cấu trúc; b) mẫu chế tạo. MPA cấu trúc chữ I.

16
 3.2. MPA cấu trúc thanh kim loại hữu hạn
Chúng tôi tiếp tục đơn giản hóa cấu trúc MPA một lần nữa
bằng cách giới thiệu cấu trúc thanh kim loại hữu hạn (Hình 9).

Hình 9. MPA cấu trúc thanh kim loại hữu hạn. (a) Các tham số
cẩu trúc ax = 5 mm,ay = 11 mm, l = 5.5 mm, w = 1 mm, td =
0.4 mm, tm = 0.036 mm và (b) mẫu chế tạo.
Cấu trúc thanh kim loại hữu hạn là sự tối giản của mạch
cộng hưởng LC từ cấu trúc ban đầu của Landy. Tần số cộng
hưởng và các tính chất điện từ khác của MPA thanh kim loại
hữu hạn chỉ phụ thuộc vào độ dài và độ rộng của dây kim loại.

Hình 10. Kết quả mô phỏng và Hình 11. Kết quả mô phỏng
thực nghiệm phổ hấp thụ của sự phụ thuộc của độ hấp thụ
cấu trúc thanh kim loại hữu hạn. vào góc phân cực  .

17
 Kết quả thể hiện trên Hình 10 cho thấy kết quả thực nghiệm
phù hợp với kết quả mô phỏng, tồn tại mộtđỉnh hấp thụ ~100%
ở tần số 15 GHz. Tuy nhiên do tính bất đối xứng của cấu trúc,

độ hấp thụ giảm khi tăng góc phân cực tạo bởi và trục dọc
dây thank kim loại (Hình 11).
3.3. MPA cấu trúc dấu cộng
Để nâng cao hiệu suất hấp thụ khi thay đổi góc phân cực φ,
chúng tôi đã thiết kế và chế tạo cấu trúc MPA dấu cộng (Hình 12).

Hình 12. MPA cấu trúc dấu cộng. (a) Ô cơ sở, phân cực
sóng điện từ; và (b) mẫu chế tạo.
Kết quả thực nghiệm và mô phỏng đã chứng minh cấu trúc dấu
cộng có hiệu suất hấp thụ tốt khi thay đổi giá trị góc phân cực.
3.4. MPA cấu trúc đĩa tròn
Từ kết quả đạt được với cấu trúc dấu cộng, cấu trúcđĩa tròn
(Hình 13) được nghiên cứu nhằm tăng tối đa hiệu suất hấp thụ
bằng đối xứng phân cực.

18
 Hình 13. MPA cấu trúc đĩa tròn.(a) Ôcơ sở, phân cực
sóng điện từ và (b) mẫu chế tạo.

Hình 14. Kết quả mô phỏng Hình 15. Kết quả mô phỏng
và thực nghiệm phổ hấp thụ sự phụ thuộc của độ hấp thụ
của cấu trúc đĩa tròn. vào góc phân cực φ MPA cấu
trúc đĩa tròn.
Kết quả mô phỏng và đo thực nghiệm độ hấp thụ của cấu
trúc đĩa tròn cho kết quả rất tốt. Độ hấp thụ đạt gần như tuyệt
đối trong khi không bị ảnh hưởng bởi phân cực sóng. Hình 14
và 15 cho thấy cấu trúcđĩa tròn là cấu trúc có kết quả tốt nhất,
tồn tạiđỉnh hấp thụgần như tuyệtđối ở tần số 13,8 GHz đối với
tất cả các góc phân cực φ được khảo sát.

19
 CHƯƠNG 4: MPA HẤP THỤ DẢI RỘNG
4.1. MPA siêu ô cơ sở
Dựa trên nguyên lí cộng hưởng, các cấu trúc đã khảo sát ở
trên chỉ thu được đỉnh hấp thụ ở 1 tần số nhất định, do mẫu được
tạo từ các ô cơ sở có cấu trúc một phần tử dẫn ở mặt trước có
kích thước giống hệt nhau. Hấp thụ dải rộng được tiến hành với ý
tưởng tạo mẫu hấp thụ từ các ô cơ sở có nhiều phần tử kim loại ở
mặt trước có kích thước khác nhau. Sai khác về kích thước đủ
nhỏ để các đỉnh hấp thụ cộng hưởng thu được nằm sát, phủ lên
nhau; mang lại hiệu ứng giống như một phổ hấp thụ dải rộng.

Hình 16. MPA có 4 đĩa tròn: (a) ô cơ sở và (b) mẫu chế tạo

Hình 17. Kết quả mô phỏng và Hình18. Sự phụ thuộc phổ

đo thực nghiệm phổ hấp thụ hấp thụ của cấu trúc gồm 9
của cấu trúc có 4 đĩa tròn. đĩa tròn vào góc phân cực.

20
 Hình 16 trình bày ô cơ sở và mẫu chế tạo cấu trúc MPA dải
rộng dựa trên tổ hợp của bốn cấu trúc đĩa tròn có đường kính
khác nhau. Kết quả mô phỏng rất khớp với giá trị đo thực
nghiệm (Hình 17), thu được một phổ hấp thụ dải rộng, với 4
đỉnh hấp thụ cộng hưởng gây ra do 4 đĩa tròn với kích thước
tương ứng. Đỉnh hấp thụ dải rộng này không phụ thuộc vào
phân cực sóng như đối với cấu trúc một đĩa tròn.
Hình 18 trình bày một phổ hấp thụ dải rộng có hiệu suất hấp
thụ tốt và đều, là kết quả của cấu trúc có ô cơ sở là 9 đĩa tròn
có bán kính khác nhau. Ngoài ra, kết quả này một lần nữa
khẳng định ưu điểm của cấu trúc đĩa tròn là tính đẳng hướng
cao: không suy giảm độ hấp thụ khi thay đổi góc phân cực φ.
4.2. Thiết kế chế tạo, khảo sát buồng hấp thụ 3D hoạt động
ở vùng tần số GHz
Với các kết quả khả quan thu được với các mẫu vật liệu
Meta hấp thụ tuyệt đối sóng vi ba, buồnghấp thụ 3D được thiết
kế, chế tạo thử nghiệm (Hình 19).

(b)
(a)

Hình 19. Buồng hấp thụ 3D được chế tạo từ mẫu MPA cấu trúc
dấu cộng (a) và (b) thí nghiệm khảo sát tính chất điện từ buồng
hấp thụ 3D ở dải tần 12-18 GHz.
Kết quả khảo sát phổ truyền qua và phản xạ của buồng hấp

21
thụ 3D cho thấy sóng điện từ tần số 14.8 GHz bị hấp thụ tuyệt
đối (Hình 20 và 21).

(a)
(b)

Hình 20. Kết quả khảo sát phổ phản xạ và truyền qua buồng
hấp thụ 3D: a)Kết quả mô phỏng và b) Kết quả thực nghiệm.
Các kết quả này cho thấy có thể chế tạo các vật thể 3D có
khả năng hấp thụ sóng điện từ theo ý muốn ở băng tần GHz.
Dù còn một số hạn chế như: thiếu độ linh hoạt của vật liệu để
tạo các bề mặt tùy ý; độ đồng nhất về hiệu suất hấp thụ theo bề
mặt của vật thể chưa cao, nhưng đây là một kết quả thú vị, gợi
mở hướng nghiên cứu ứng dụng vật liệu meta hấp thụ tuyệt đối
như ngụy trang, tác chiến điện từ trường,... đặc biệt là ứng
dụng trong quân sự.
KẾT LUẬN CHUNG VÀ KIẾN NGHỊ
Đề tài “Nghiên cứu chế tạo và tính chất hấp thụ tuyệt
đối sóng vi ba của vật liệu Meta (Metamaterials)” đã
được thực hiện tại Bộ môn Nghiên cứu phát triển và ứng
dụng cảm biến nano (Nanosensors lab), Viện đào tạo quốc
tế về khoa học vật liệu (ITIMS) - Đại học Bách Khoa Hà
Nội và Viện khoa học vật liệu (IMS) - Viện Hàn lâm
Khoa học và Công nghệ Việt Nam. Những kết quả nghiên
cứu của luận án đã được công bố trên 06 tạp chí quốc tế
(04 tạp chí ISI), 05 tạp chí trong nước, và 02 hội thảo

22
khoa học chuyên ngành.
Qua các kết quả nghiên cứu của luận án được trình bày
ở trên, cho thấy luận án đã đóng góp được những kết quả
nghiên cứu mới, có thể tóm lược trong một số kết luận
như sau:
(i) Đã đưa ra được quy trình nghiên cứu thực nghiệm
và mô phỏng vật liệu Meta hoạt động ở vùng tần số GHz.
Vật liệu Meta được chế tạo trên cơ sở công nghệ quang
khắc, cho ra các mẫu có độ phân giải 0.2 mm, (tương ứng
với 1 % bước sóng tại vùng cộng hưởng) và độ lặp lại cao.
Phổ truyền qua và phản xạ của vật liệu Meta được đo
trong không gian bằng hệ phân tích mạng véc tơ. Kết quả
đo thực nghiệm được so sánh với kết quả mô phỏng bằng
phần mềm tính toán thương mại. Sự so sánh chéo giữa mô
hình vật lý, số liệu mô phỏng và số liệu thực nghiệm cho
kết quả có độ tin cậy cao. Ngoài ra quy trình nghiên cứu
này có thể áp dụng để nghiên cứu nhiều tính chất khác của
vật liệu Meta như vật liệu chiết suất âm, vật liệu phản xạ
tuyệt đối, vật liệu hấp thụ tuyệt đối.
(ii) Đã nghiên cứu tối ưu hóa các cấu trúc vật liệu Meta
hấp thụ tuyệt đối sóng điện từ. Nhiều cấu trúc đã được
thiết kế, chế tạo, đo đạc, và mô phỏng một cách hệ thống
như cấu trúc chữ “I”, cấu trúc thanh kim loại, cấu trúc dấu
“+”, cấu trúc dạng đĩa tròn và cấu trúc dạng vòng tròn.
Trong số đó, cấu trúc dạng đĩa tròn có tính tối ưu cao, hấp
thụ gần như tuyệt đối sóng viba, không phụ thuộc vào góc
phân cực, góc tới, không bị ảnh hưởng bởi nhiều tham số
hình học, và chế tạo đơn giản.
(iii) Đã nghiên cứu thiết kế và chế tạo các cấu trúc vật
liệu Meta có dải tần hấp thụ rộng ở vùng sóng viba. Đặc
tính hấp thụ gần như tuyệt đối trong một dải tần số rộng hơn

23
thiết kế ban đầu 300% được chứng minh bằng cả thực
nghiệm lẫn mô phỏng. Ngoài ra một buồng hấp thụ có cấu
trúc 3D lần đầu tiên được thiết kế, chế tạo tại Việt Nam trên
cơ sở các mẫu vật liệu Meta hấp thụ tuyệt đối sóng viba.
Kết quả trên của luận án tuy chỉ là những nghiên cứu
khởi đầu về vật liệu Meta tại Viện Nam nhưng đã cho
thấy những tín hiệu tích cực và triển vọng. Quy trình
nghiên cứu mô phỏng và thực nghiệm được thiết lập trong
luận án đã được sử dụng trong nhiều nghiên cứu của các
sinh viên, học viên cao học, và nghiên cứu sinh khác. Vật
liệu Meta hấp thụ dải rộng đang được triển khai nghiên
cứu ứng dụng trong lĩnh vực quân sự. Vật liệu MPA biến
hóa có thể điều khiển bằng nhiệt độ và từ trường ngoài
đang được nghiên cứu khai thác. Chắc chắn những nghiên
cứu về vật liệu MPA của tác giả và nhóm nghiên cứu
không dừng lại tại đây. Ngay trong quá trình hoàn thành
luận án, tác giả và nhóm nghiên cứu vẫn tiếp tục có những
nghiên cứu sâu và hệ thống hơn nhằm định hướng ứng
dụng vật liệu hấp thụ Meta trong thực tế.
Hướng nghiên cứu tiếp theo:
- Tiếp tục nghiên cứu để tìm ra các cấu trúc tối ưu trong
chế tạo và đo đạc, có hiệu suất hấp thụ tốt, không phụ
thuộc phân cực sóng điện từ và có vùng hấp thụ rộng.
- Tối ưu và chính xác hóa quy trình nghiên cứu, chế tạo
và đo đạc, khảo sát khả năng triển khai vật liệu Meta hoạt
động ở các vùng tần số cao hơn như THz.
- Bước đầu triển khai các nghiên cứu định hướng ứng
dụng như chế tạo thiết bị mẫu hấp thụ sóng điện từ trong
môi trường.

24