МИКРО - НАНО ФЛУИДИКА

Београд, 2012. године

За човека је прављење великих објеката и
малих предмета одувек био изазов:
• Египатске пирамиде • Ковани новац 2cm;
2600 г.п.н.е., 147m; • Џепни и ручни сатови
XIII век;
• Empire State Building
• Микроскоп XVII век;
1931. g., 449m;
• Транзистор 1947.г.
• Данас највиша зграда Некада величине неколико
око 800m; центиметара, а данас
неколико нанометара.
• МЕМС 1µm-1mm
• НЕМС 1nm-1µm
Richard Feynman, 1959.год. “There's Plenty of Room
at the Bottom“, наговештен развој нове области науке:

• “Колико пута сте, док поправљате нешто

веома мало као што је ручни сат ваше жене,
помислили: “Када бих само могао да обучим
мрава да уради ово!" Пада ми на памет и
могућност да мрав увежба неког још мањег од
себе да уради овај посао. Питам се, које су
могућности малих покретних машина? Оне
могу али не морају бити корисне, али сигурно
је забавно правити их."
МЕМС-и су сачињени од механичких
елемената, сензора и (или) актуатора и
електронике који се налазе на заједничкој
полупроводљивој подлози (нпр. од
силицијума). Производе се технологијом
интегрисаних кола.
• Сићушни сензори, као и они макроскопских
димензија, су уређаји који преводе
неелектричне улазне величине у електрични
излазни сигнал, за разлику од
• микроактуатора (или актуатора
макроскопских димензија) који извршавају
обрнут процес.
 Примена МЕМС уређаја
• Аутомобили садрже микро-уређаје који их чине
безбеднијим, енергетски ефикаснијим,
конформнијим, једоставнијим за употребу и
дијагностиковање кварова:
• АБС систем има микросензоре који омогућавају управљање у току
кочења;
• Систем вешања има микросензоре притиска и микровентиле да би
на неравном путу ублажио вибрације штетне за путнике и возило;
• Навигациони систем такође користи МЕМС-е
• Микроакцелерометри, као сензори за детекцију промене убрзања,
при судару активирају ваздушне јастуке у возилу. Данас постоји
тенденција повећања броја и смањења величине сензора који се
уграђују у аутомобиле;
• Медицина-дијагностика и хирургија
• На врховима катетера налазе се сићушни сензори
притиска;
• МЕМС-и се уграђују у слушне апарате;
• У медицинским лабораторијама користе се
микросепаратори за раздвајање биолошких ћелија и
уређаји за разне врсте анализа;
• Врхови скенера (електронски микроскопи) могу да се
користе за проучавања појединачних атома;
• Аутоматизацију у биолошким и хемијским испитивањима
омогућавају све распрострањеније такозване лабораторије
на чипу;
• Биомедицина користи микропумпе и мрежу микроканала
за испитивање распростирања лекова у организму;
• Сочиво са МЕМС-ом
Глауком је прогресивна болест која ако се не открије на време и
адекватно не контролише, неминовно доводи до слепила. То је данас
друга на листи болести (иза катаракте) које доводе до слепила. Сматра се
да од ње данас болује 68 000 000 људи на свету. Настаје као последица
високог или нестабилног очног притиска који се у току дана може
мењати. Производ је контактно сочиво у оку, које садржи
•антену (три златна прстена),
•сензор (сребрни прстен на спољашњој ивици ока) и
•микропроцесор (плочица облика квадрата странице 2 милиметра и
дебљине 50 микрона).
Метода се састоји у неинвазивном, континуалном (24 сата) мерењу очног
притиска, како би се помоћу оваквог сочива које не ремети видно поље
пацијента дијагностиковао и третирао глауком. Сензор овог МЕМС-а је
кружног облика и служи за мерење деформације. Он мери промене
кривине рожњаче и помоћу антене шаље информације на обраду.
Примењује се на оку, па је неопходно водити рачуна о допустивом делу
спектра електромагнетних таласа које емитује овакав МЕМС, као и о
његовом загревању.
• кућни уређаји (машине за прање, усисивачи...);
• Микроразмењивачи топлоте за хлађење електронских
кола;
• Микропумпе се уграђују у ink-jet штампаче;
• Протекла деценија обележена је радом на концепту
„паметне прашине“која представља хипотетичку
бежичну мрежу МЕМС-а: сензора, робота и уређаја који
скупљају потребне информације из околине, а ситни су
попут честица прашине. Они могу детектовати, на
пример: светлост, температуру, постојање магнетног
поља, вибрације, присиство разних хемијских и
биолошких супстанци итд.;
• Индустрија рачунара (растојање између hard disk-a и
читача или писача је реда nm);
• Микромлазници у микросателитима.
Микромотор и биљни крпељ
Електростатички микромотор
Микромлазник са грлом ширине 19µm и дебљине 308 µm
• Пречник ротора је 130μm, а ширина процепа између
ротора и осовине 5μm. Висина турбине је 150μm.
Максималан број обртаја је 150 000 обртаја у минути, а
животни век до 100 милиона обртаја.
Да ли постоји разлика између уређаја
уобичајених димензија и уређаја величине
µm?
• чаша (5cm), вода се разлива по столу и слива са
њега;
• чаша(0.5mm), површински напони ће просуту
воду формирати у капљицу и прилепити је за
сто;
• чаша (5µm), вода из чаше ће испарити пре него
што дође до стола.
Површинске силе су у системима мањих
димензија знатно доминантније у односу на
запреминске:
R A L2
=
L 1m  3 1
RV L

R A L2 10−6
= = 10-3 m
L 1mm = = 10 3

R V L3 10−9

R A L2 10−12
= µ m 10-6 m
L 1= = = 10 6

R V L3 10−18

R A L2 10−18
= = 10-9 m
L 1nm = = 10 9

R V L3 10−27
Логаритамска скала димензија у природи
Површински ефекти постају значајни:

• Клизање на зиду;
• Термичко пузање на зиду;
• Температурски скок на зиду;
• Електрокинетички ефекти.
Ефекат разређености долази до изражаја при:

• Малим притисцима (опструјавање

летилица на великим висинама или
струјање гаса у вакум уређајима);
• Струјање гаса у микроканалима при
стандардним условима.
 λ
-Кнудсенов број Kn =
h
η π RT
-дужина слободног пута молекула: λ=
p 2

R – гасна константа; Rваз=287 J/kgK

η – динамичка вискозност
p – притисак
T – температура

πκ Ma
Kn =
2 Re
У зависности од Kn броја разликују се
четири режима струјања:
• Kn < 0,01 – континуум;
• 0,01 < Kn < 0,1 – струјање са клизањем;
• 0,1 < Kn < 10 – прелазна област;
• Kn >10 – кинетичка теорија гасова.
 Гранични услови
Maxwell 1879.год.
2 − σ v ∂u 3 η ∂T
u g − uw =
± λ +
σv ∂n w 4 ρT ∂s w
Smoluchowski 1898. год.
2 − σ T  2κ  λ ∂T
Tg − Tw =
±  
σ T  κ + 1  Pr ∂n w

Pr=cpη/k
Pr=2/3 за једноатомске гасове
 Коефицијент акомодације
• количине кретања • Температурски
K in − K ref ein − eref
σv = σT =
K in − K w ein − ew
• Кin кол. крет. молекула пре • еin унутрашња енергија
судара са зидом у правцу молекула пре судара са
зида; зидом;
• Кref кол. крет. молекула • еref унутрашња енергија
после судара са зидом у молекула после судара са
правцу зида; зидом;
• Кw кол. крет. зида; • еw унутрашња енергија
молекула гаса на температури
зида;
Спекуларна рефлексија σv=0: Дифузна рефлексија σv=1 :
Кin= Кref Кref=0, Кw=0
 Shih, 1996.;
Osim raspodele pritiska meri i zavisnost masenog protoka
od razlike pritisaka na ulazu i izlazu kanala pe=105Pa;

8E-12
 kg 
[ g ]

M   eksperimentalni podaci, helium, Kn=0.16

 s  7E-12
analitičko rešenje za Kn=0
6E-12

5E-12

4E-12

3E-12

2E-12

1E-12

0
0 50000 100000 150000 200000 250000
p i [Pa]
Granični uslovi višeg reda:

∂u ∂ 2
u
± A1λ
u − uw = − A2λ 2
∂y w ∂y 2 w

Аутор година А1 А2
Максвел 1879 1 0
Шамберг 1947 1 5π 12
Дајслер 1964 1 98
Хсиа-Домото 1983 1 0.5
Карниадакис- 2002 1 -0.5
Бескок
Локерби 2004 1 0.15-0.19
 ПОДСЕЋАЊЕ НА ОСНОВНЕ ЈЕДНАЧИНЕ

•ЈЕДНАЧИНА КОНТИНУИТЕТА

Промена масе m материјалног система, тј. Промена масе m у

материјалној запремини Vm током времена једнака је нули.
•ЈЕДНАЧИНА КОЛИЧИНЕ КРЕТАЊА

•II Њутнов закон: Промена количине кретања уочене масе флуида једнака је
збиру импулса свих сила које на ту масу делују тј. Промена количине кретања у
времену једнака је резултујућој сили која ту промену изазива

ρ ,dV 
n 
 
Am ( t ) = A dA dRn = pn dA
F

Vm ( t ) = V
m