Giáo Trình Kỹ Thuật Phân Tích Vật Lý

TR¦êNG §¹I HäC B¸CH KHOA Hµ NéI
PGS.TS. Ph¹m Ngäc Nguyªn
GI¸O TR×NH
Kü thuËt ph©n tÝch vËt lý
Nhµ xuÊt b¶n khoa häc vµ kü thuËt

Hµ néi
M ô c l ô c
Môc Lôc
Lêi nãi ®Çu 5
Ch−¬ng 1 Më ®Çu 13
1.1 Giíi thiÖu 13
1.2 Lo¹i vËt liÖu 13
1.3 CÊu tróc vµ liªn kÕt nguyªn tö 16
1.3.1 CÊu tróc nguyªn tö 16
1.3.2 Nguyªn tö sè vµ nguyªn tö l−îng 16
1.3.3 CÊu tróc ®iÖn tö cña nguyªn tö 18
1.3.4 Çc lo¹i liªn kÕt nguyªn tö vµ ph©n tö 28
1.4 CÊu tróc vµ h×nh häc tinh thÓ 32
1.4.1 M¹ng kh«ng gian vµ « c¬ b¶n 32
1.4.2 HÖ tinh thÓ vµ m¹ng Bravais 33
1.4.3 CÊu tróc tinh thÓ ®iÓn h×nh 34
1.4.4 Ph−¬ng vµ mÆt trong m¹ng lËp ph−¬ng 43
1.4.5 Ph−¬ng vµ mÆt trong m¹ng s¸u ph−¬ng xÕp chÆt 48
1.4.6 So s¸nh cÊu tróc tinh thÓ lËp ph−¬ng t©m mÆt, s¸u 50
ph−¬ng xÕp chÆt vµ lËp ph−¬ng t©m khèi
1.4.7 TÝnh to¸n mËt ®é khèi l−îng, mÆt vµ ®−êng 53
1.4.8 Lç hæng 57
1.4.9 TÝnh ®a h×nh hay tÝnh thï h×nh 57
1.4.10 Sai lÖch m¹ng tinh thÓ 58
1.4.11 §¬n tinh thÓ vµ ®a tinh thÓ 66
Ch−¬ng 2 NhiÔu x¹ tia x 71

2.1 Tia x 71
2.2 T¹o tia x 72
2.3 NhiÔu x¹ tia x 79
7
m ô c l ô c
2.3.1 HiÖn t−îng nhiÔu x¹ 79

2.3.2 §Þnh luËt Bragg 80
2.3.3 M¹ng ®¶o 83
2.4 C−êng ®é tia x nhiÔu x¹ 86
2.4.1 T¸n x¹ bëi mét ®iÖn tö 86
2.4.2 T¸n x¹ bëi mét nguyªn tö 87
2.4.3 T¸n x¹ bëi « m¹ng c¬ b¶n 88
2.5 NhiÔu x¹ tõ vËt liÖu v« ®Þnh h×nh 94
2.6 NhiÔu x¹ ®¬n tinh thÓ 96
2.7 Ph−¬ng ph¸p bét 101
2.7.1 X¸c ®Þnh cÊu tróc tinh thÓ lËp ph−¬ng 105
2.8 §o chiÒu dµy líp b»ng nhiÔu x¹ tia x 114
Ch−¬ng 3 NhiÔu x¹ ®iÖn tö 118

3.1 ThuyÕt ®éng häc nhiÔu x¹ ®iÖn tö 118
3.1.1 T¸n x¹ ®iÖn tö trªn nguyªn tö 118
3.1.2 Biªn ®é t¸n x¹ trªn « m¹ng c¬ b¶n 124
3.1.3 T¸n x¹ ®iÖn tö trªn tinh thÓ hoµn chØnh 125
3.1.4 Biªn ®é sãng nhiÔu x¹ bëi tinh thÓ sai háng 133
3.2 H×nh häc ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö 136
3.2.1 Dùng m¹ng ®¶o vµ ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö 136
3.2.2 ¶nh h−ëng ®é cong cña cÇu ph¶n x¹. Vïng Laue 142
3.2.3 HiÖu øng nhiÔu x¹ kÐp 143
3.3 Çc sè liÖu thu ®−îc tõ cÊu tróc tÕ vi cña ¶nh nhiÔu x¹ 145
3.3.1 H×nh häc ¶nh nhiÔu x¹ trªn cÊu tróc song tinh 145
3.3.2 T¸ch nhiÔu x¹ do nhiÔu x¹ kÐp 148
Ch−¬ng 4 HiÓn vi ®iÖn tö quÐt 153

4.1 T−¬ng t¸c gi÷a ®iÖn tö tíi vµ vËt chÊt 153
4.2 ThiÕt bÞ 155
4.3 Lý thuyÕt 157
4.3.1 §é s©u tr−êng 157
4.3.2 Nguån ®iÖn tö 158
4.3.3 §é ph©n gi¶i 160
4.4 ChuÈn bÞ mÉu 161
4.5 Çc kiÓu ¶nh 161
4.5.1 T−¬ng ph¶n ¶nh ®iÖn tö thø cÊp 163
8
M ô c l ô c
4.5.2 T−¬ng ph¶n ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc 164

4.5.3 T−¬ng ph¶n ¶nh ®iÖn tö hÊp thô 170
4.5.4 Huúnh quang catot 170
4.5.5 T−¬ng ph¶n tõ 170
4.5.6 T−¬ng ph¶n thÕ 171
4.5.7 T−¬ng ph¶n ¶nh suÊt ®iÖn ®éng 172
Ch−¬ng 5 HiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua 174

5.1 ThuyÕt ®éng häc vÒ t−¬ng ph¶n trªn ¶nh 177
5.1.1 Kh¸i niÖm 177
5.1.2 ¶nh tr−êng tèi 177
5.1.3 ¶nh tr−êng s¸ng 182
5.1.4 T−¬ng ph¶n tõ tinh thÓ kh«ng hoµn chØnh 182
5.2 HiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua quÐt-STEM 199
5.2.1 Çc ¶nh nhËn ®−îc b»ng STEM vµ ®Æc ®iÓm cña 201
chóng
5.2.2 HiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua ph©n tÝch 205
Ch−¬ng 6 HiÓn vi ®Çu dß quÐt 207

6.1 HiÓn vi tunnel 207
6.1.1 Lý thuyÕt 207
6.1.2 ThiÕt bÞ 209
6.1.3 øng dông cña STM 213
6.2 HiÓn vi lùc nguyªn tö 218
6.2.1 CÊu t¹o vµ nguyªn lý ho¹t ®éng 220
6.2.2 Lùc t−¬ng t¸c 221
6.2.3 Lß xo l¸ vµ mòi dß 223
6.2.4 §o ®é lÖch cña lß xo l¸ 224
6.2.5 Çc chÕ ®é ho¹t ®éng 226
6.2.6 Çc kiÓu hiÓn vi lùc quÐt kh¸c 233
6.2.7 øng dông cña SFM 235
6.3 Çc kü thuËt liªn quan 241
6.3.1 HiÓn vi quang häc tr−êng gÇn 242
6.3.2 HiÓn vi ®iÖn tö n¨ng l−îng xung kÝch 242
6.3.3 ThiÕt bÞ profin nhiÖt quÐt 243
6.3.4 KÝnh hiÓn vi dÉn ion quÐt 243
9
m ô c l ô c
Ch−¬ng 7 Phæ ®iÖn tö quang tia x 245

7.1 Nguyªn lý 245
7.2 ThiÕt bÞ 246
7.2.1 Nguån tia x 247
7.2.2 §etect¬ 250
7.2.3 §é ph©n gi¶i kh«ng gian 251
7.3 Ph©n tÝch ho¸ häc 254
7.4 CÊu tróc t¨ng thªm trong phæ XPS 257
7.5 Profin chiÒu s©u 257
7.6 Ph©n tÝch ®Þnh l−îng 259
7.7 øng dông 259
7.7.1 Polyme 260
7.7.2 GØ 260
Ch−¬ng 8 Vi ph©n tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö 262

8.1 Giíi thiÖu 262
8.2 ThiÕt bÞ vi ph©n tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö 263
8.3 Ph¸t x¹ tia x 265
8.4 §é ph©n gi¶i kh«ng gian tia x 268
8.5 Thu tia x 269
8.5.1 Phæ kÕ t¸n s¾c sãng 269
8.5.2 Phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng 273
8.5.3 So s¸nh gi÷a phæ kÕ tinh thÓ vµ phæ kÕ n¨ng l−îng 279
8.6 ChuÈn bÞ mÉu 283
8.7 Ph©n tÝch ®Þnh l−îng 283
8.7.1 HiÖu chØnh nguyªn tö sè 285
8.7.2 HiÖu chØnh hÊp thô 286
8.7.3 HiÖu chØnh huúnh quang 287
8.7.4 HiÖu chØnh ZAF 287
Ch−¬ng 9 Phæ ®iÖn tö Auger 289

9.1 Ký hiÖu phæ 290
9.2 ThiÕt bÞ 293
9.3 §é ph©n gi¶i n¨ng l−îng 296
9.4 HiÖu øng ho¸ häc 297
9.5 AES ®Þnh l−îng 301
9.6 X¸c ®Þnh nång ®é nguyªn tö 302
10
M ô c l ô c
Phô lôc 1
Çc ký hiÖu ®−îc sö dông trong gi¸o tr×nh 305
Phô lôc 2
P 2.1 §¬n vÞ cña çc ®¹i l−îng vËt lý chän läc 308
P 2.2 Béi sè vµ −íc sè cña ®¬n vÞ 309
P 2.3 Mét sè hÖ sè chuyÓn ®æi th«ng dông 309
P 2.4 B−íc sãng cña çc nguån bøc x¹ chän läc 310
P 2.5 Ch÷ çi Hyl¹p th−êng dïng 310
Phô lôc 3
Mét sè h»ng sè vËt lý 311
Phô lôc 4
Mét sè tõ viÕt t¾t 313
Tµi liÖu tham kh¶o 315
11
c h − ¬ n g 1
Ch−¬ng 1
Më ®Çu
1.1 Giíi thiÖu
VËt liÖu lµ vËt chÊt cÊu thµnh vËt phÈm. Tõ thuë s¬ khai, vËt liÖu vµ n¨ng
l−îng ®· ®−îc con ng−êi sö dông ®Ó n©ng cao tiªu chuÈn cña cuéc sèng. VËt
liÖu ë mäi n¬i quanh ta v× çc s¶n phÈm ®Òu ®−îc t¹o nªn tõ vËt liÖu. VËt
liÖu lµ thuËt ng÷ chung ®−îc sö dông ®Ó chØ vËt chÊt ë tr¹ng th¸i r¾n sinh ra
trong tù nhiªn hoÆc ®−îc chÕ t¹o ®Ó cã çc tÝnh chÊt vµ ®Æc tr−ng vËt lý ®Æc
biÖt. Mét sè vËt liÖu th«ng dông ®−îc kÓ ®Õn lµ gç, bª t«ng, g¹ch, thÐp,
plastic, thuû tinh, cao su, nh«m, ®ång vµ giÊy. Thªm vµo ®ã, c«ng cuéc
nghiªn cøu vµ ph¸t triÓn diÔn ra kh«ng ngõng nªn çc lo¹i vËt liÖu míi lÇn
l−ît ra ®êi ®Ó ®¸p øng cho khoa häc kü thuËt vµ nhu cÇu cña x· héi.
Kü s− lµ ng−êi thiÕt kÕ s¶n phÈm vµ d©y chuyÒn c«ng nghÖ cÇn cho s¶n xuÊt.
S¶n phÈm ®ßi hái vËt liÖu vµ v× thÕ çc kü s− cÇn ph¶i hiÓu biÕt cÊu tróc vµ
çc tÝnh chÊt cña vËt liÖu ®Ó cã thÓ lùa chän chóng mét çch thÝch hîp nhÊt
cho øng dông vµ triÓn khai çc ph−¬ng ph¸p c«ng nghÖ tèt nhÊt.
Ch−¬ng nµy sÏ ph©n biÖt çc lo¹i vËt liÖu trªn c¬ së mét sè tÝnh chÊt vËt lý
quan träng cña chóng, ®ång thêi xem xÐt sù kh¸c nhau vÒ cÊu tróc bªn trong
cña vËt liÖu mµ chñ yÕu lµ vËt liÖu tinh thÓ. Do khu«n khæ cña gi¸o tr×nh vµ
v× cã nhiÒu th«ng tin vÒ vËt liÖu kü thuËt nªn vËt liÖu ®−îc ®−a ra ë ®©y ®·
®−îc giíi h¹n vµ chän läc. Çc ch−¬ng cßn l¹i sÏ tr×nh bµy kü thuËt vµ
ph−¬ng ph¸p ph©n tÝch vËt liÖu.
1.2 Lo¹i vËt liÖu
Cã nhiÒu çch ph©n lo¹i vËt liÖu, song ®Ó thuËn tiÖn hÇu hÕt vËt liÖu kü thuËt
®−îc chia thµnh ba nhãm chÝnh: vËt liÖu kim lo¹i, vËt liÖu polyme (plastic)
13
m ë ® Ç u
vµ vËt liÖu gèm. Ngoµi ra, vËt liÖu ®iÖn tö vµ vËt liÖu compozit lµ nh÷ng vËt
liÖu ®−îc quan t©m ®Æc biÖt v× tÇm quan träng kü thuËt to lín cña chóng.
VËt liÖu kim lo¹i
VËt liÖu kim lo¹i bao gåm çc nguyªn tè kim lo¹i, hîp kim cña çc kim lo¹i
hoÆc víi çc nguyªn tè phi kim lo¹i nh− cacbon, nit¬ vµ «xy. ThÝ dô vÒ
nguyªn tè kim lo¹i lµ s¾t, ®ång, nh«m, niken vµ titan. Kim lo¹i cã cÊu tróc
tinh thÓ trong ®ã çc nguyªn tö ®−îc s¾p xÕp mét çch trËt tù. Nãi chung,
kim lo¹i cã tÝnh dÉn ®iÖn vµ dÉn nhiÖt tèt. NhiÒu kim lo¹i kh¸ bÒn vµ dÔ kÐo
sîi ë nhiÖt ®é phßng vµ nhiÒu lo¹i kh¸c rÊt bÒn ngay c¶ ë nhiÖt ®é cao.
Kim lo¹i vµ hîp kim (hçn hîp cña hai hoÆc nhiÒu kim lo¹i hoÆc kim lo¹i vµ
phi kim) th−êng ®−îc ph©n thµnh hai líp: 1) Kim lo¹i vµ hîp kim fero chøa
mét l−îng lín s¾t nh− thÐp vµ gang; 2) Kim lo¹i vµ hîp kim kh«ng s¾t hay
kim lo¹i vµ hîp kim mµu kh«ng chøa s¾t hoÆc chØ mét l−îng nhá s¾t. ThÝ dô
vÒ çc kim lo¹i mµu lµ nh«m, ®ång, thiÕc, titan vµ niken.
ThÝ dô, ®éng c¬ ph¶n lùc cña m¸y bay ®−îc chÕ t¹o chñ yÕu b»ng hîp kim.
Hîp kim ®−îc sö dông cho çc chi tiÕt bªn trong ®éng c¬ cã kh¶ n¨ng chÞu
®−îc nhiÖt ®é vµ ¸p suÊt cao trong khi ho¹t ®éng. Çc vËt liÖu hçn hîp gèm
vµ hçn hîp kim lo¹i cho çc lo¹i ®éng c¬ tuabin khÝ ngµy cµng ®¹t ®−îc sù
hoµn thiÖn cao h¬n.
VËt liÖu polyme
HÇu hÕt vËt liÖu polyme ®−îc t¹o thµnh bëi çc chuçi hoÆc m¹ng ph©n tö
h÷u c¬ dµi (chøa cacbon). VÒ mÆt cÊu tróc, ®a phÇn vËt liÖu polyme lµ phi
kim, chØ mét sè lµ hçn hîp kim lo¹i vµ phi kim. §é bÒn vµ tÝnh kÐo sîi cña
vËt liÖu polyme thay ®æi rÊt lín. Do b¶n chÊt cÊu tróc bªn trong cña chóng,
hÇu hÕt vËt liÖu polyme cã tÝnh dÉn ®iÖn rÊt kÐm. Mét sè vËt liÖu nµy ®−îc
dïng lµm vËt çch ®iÖn tèt. Nãi chung, vËt liÖu polyme cã mËt ®é thÊp, nhiÖt
®é nãng ch¶y vµ ph©n huû t−¬ng ®èi thÊp.
VËt liÖu gèm
VËt liÖu gèm lµ vËt liÖu v« c¬ bao gåm çc nguyªn tè kim lo¹i vµ phi kim
lo¹i liªn kÕt ho¸ häc víi nhau. VËt liÖu gèm cã thÓ lµ tinh thÓ, kh«ng tinh thÓ
hoÆc hçn hîp cña c¶ hai. HÇu hÕt vËt liÖu gèm cã ®é bÒn nhiÖt vµ ®é cøng
cao nh−ng cã ®é dßn c¬ häc. GÇn ®©y, çc vËt liÖu gèm míi ®· ph¸t triÓn
m¹nh cho øng dông trong ®éng c¬. Nh÷ng −u ®iÓm cña vËt liÖu gèm trong
14
c h − ¬ n g 1
øng dông nµy lµ träng l−îng nhÑ, ®é cøng vµ ®é bÒn cao, chèng mµi mßn,
chÞu nhiÖt tèt, tÝnh ma s¸t gi¶m vµ çch ®iÖn.
NhiÒu vËt liÖu gèm cã tÝnh çch ®iÖn, chÞu nhiÖt vµ mµi mßn tèt ®· ®−îc sö
dông rÊt hiÖu qu¶ cho çc líp lãt lß luyÖn kim lo¹i láng nhiÖt ®é cao nh− lß
luyÖn thÐp. Gèm cßn ®−îc dïng lµm líp phñ cho vá tµu con thoi. Chóng
®−îc sö dông ®Ó chèng nhiÖt cho cÊu tróc nh«m bªn trong cña vá tµu vò trô
khi chuyÓn ®éng trong tÇng khÝ quyÓn tr¸i ®Êt.
VËt liÖu compozit
VËt liÖu compzit lµ hçn hîp cña hai hoÆc nhiÒu vËt liÖu. HÇu hÕt vËt liÖu
compozit gåm cã mét vËt liÖu nÒn ®Ó lÊp ®Çy hoÆc t¨ng c−êng vµ mét chÊt
kÕt dÝnh thÝch hîp ®Ó thu ®−îc çc ®Æc tr−ng vµ tÝnh chÊt ®Æc biÖt mong
muèn. Th«ng th−êng, çc thµnh phÇn kh«ng hoµ lÉn vµo nhau vµ cã thÓ x¸c
®Þnh ®−îc vÒ mÆt vËt lý bëi mÆt ph©n çch gi÷a çc thµnh phÇn. Compozit cã
nhiÒu lo¹i vµ cã nhiÒu çch tæng hîp chóng. Hai lo¹i tiªu biÓu nhÊt lµ sîi vµ
h¹t. Hai lo¹i ®iÓn h×nh vÒ vËt liÖu compozit hiÖn ®¹i trong øng dông kü thuËt
lµ vËt liÖu t¨ng c−êng sîi thuû tinh trong m¹ng polyeste hoÆc epoxy vµ sîi
cacbon trong m¹ng epoxy. Çc lo¹i vËt liÖu compozit nµy ®−îc sö dông cho
çc phÇn çnh vµ ®éng c¬ m¸y bay. Mét thÝ dô kh¸c cña øng dông compozit
lµ polyphenylen sunfua thuû tinh t¨ng c−êng (PPS) ®Ó lµm thiÕt bÞ vµ s¶n
phÈm chÞu dÇu vµ chèng gØ.
VËt liÖu ®iÖn tö
VËt liÖu ®iÖn tö kh«ng ph¶i lµ lo¹i träng yÕu cña vËt liÖu vÒ khèi l−îng ®−îc
sö dông nh−ng lµ lo¹i vËt liÖu v« cïng quan träng cho c«ng nghÖ kü thuËt
tiªn tiÕn. VËt liÖu ®iÖn tö bao gåm çc vËt liÖu dïng ®Ó chÕ t¹o çc linh kiÖn
®iÖn tö, trong ®ã quan träng nhÊt lµ çc lo¹i b¸n dÉn, thÝ dô, silic vµ çc hîp
chÊt A3B5. Çc vËt liÖu nµy th−êng ®−îc sö dông d−íi d¹ng çc ®¬n tinh thÓ
hoµn h¶o, tinh khiÕt hoÆc ®−îc pha t¹p víi liÒu l−îng chÝnh x¸c. §a sè çc
m¹ch ®iÖn phøc t¹p cã thÓ ®−îc hoµn thµnh trªn mét chip silic cì 0,635 cm2.
Silic vµ çc vËt liÖu b¸n dÉn kh¸c ®−îc sö dông ®Ó chÕ t¹o m¹ch vi ®iÖn tö
cho çc s¶n phÈm míi nh− vÖ tinh truyÒn th«ng, siªu m¸y tÝnh, m¸y tÝnh
x¸ch tay, m¸y thu h×nh sè vµ çc lo¹i thiÕt bÞ c«ng nghiÖp kh¸c. Çc robot
m¸y tÝnh ho¸ trong s¶n xuÊt hiÖn ®¹i kh«ng ngõng ®−îc c¶i tiÕn ®Ó n©ng cao
hiÖu qu¶ s¶n xuÊt. VËt liÖu ®iÖn tö thùc sù ®ãng mét vai trß sèng cßn trong
çc "nhµ m¸y cña t−¬ng lai" ë ®ã hÇu nh− toµn bé c«ng viÖc s¶n xuÊt cã thÓ
®−îc tiÕn hµnh nhê çc robot ®−îc ®iÒu khiÓn b»ng m¸y tÝnh.
15
m ë ® Ç u
1.3 CÊu tróc vµ liªn kÕt nguyªn tö
1.3.1 CÊu tróc nguyªn tö

Nguyªn tö bao gåm ba lo¹i h¹t c¬ b¶n: proton, n¬tron vµ ®iÖn tö. M« h×nh
nguyªn tö ®¬n gi¶n hiÖn nay lµ mét h¹t nh©n rÊt nhá ®−êng kÝnh 10-14m ®−îc
bao quanh bëi çc ®iÖn tö mµ x¸c suÊt t×m thÊy chóng cã d¹ng ®¸m m©y
®iÖn tö ph©n t¸n víi mËt ®é thay ®æi cã ®−êng kÝnh cì 10-10m (®−êng kÝnh
nguyªn tö). H¹t nh©n chøa proton vµ n¬tron xem nh− chiÕm toµn bé khèi
l−îng cña nguyªn tö. Proton cã khèi l−îng 1,673×10-24g vµ ®iÖn tÝch ®¬n vÞ
+ 1,602 ×10-19 coulomb (C). N¬tron h¬i nÆng h¬n proton vµ cã khèi l−îng
1,675×10-24g nh−ng kh«ng mang ®iÖn tÝch. §iÖn tö cã khèi l−îng t−¬ng ®èi
nhá, 9,109×10-28g, vµ ®iÖn tÝch ®¬n vÞ -1,602×10-19C (b»ng ®iÖn tÝch nh−ng
ng−îc dÊu víi proton).
Nh− vËy ®¸m m©y ®iÖn tö chiÕm hÇu nh− toµn bé thÓ tÝch nguyªn tö nh−ng
chØ chiÕm mét phÇn rÊt nhá khèi l−îng nguyªn tö. Çc ®iÖn tö, ®Æc biÖt
nh÷ng ®iÖn tö líp ngoµi, x¸c ®Þnh hÇu hÕt çc tÝnh chÊt ®iÖn, ho¸, c¬ vµ nhiÖt
cña nguyªn tö, vµ v× thÕ kiÕn thøc c¬ b¶n vÒ cÊu tróc nguyªn tö lµ rÊt quan
träng trong nghiªn cøu vËt liÖu kü thuËt.
1.3.2 Nguyªn tö sè vµ nguyªn tö l−îng

Nguyªn tö sè
Nguyªn tö sè cña nguyªn tö lµ sè proton trong h¹t nh©n nguyªn tö. Trong
nguyªn tö trung hoµ, nguyªn tö sè còng b»ng sè ®iÖn tö cña nguyªn tö.
Nguyªn tö sè ®Æc tr−ng cho nguyªn tö, vµ bëi vËy cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc
nguyªn tè nhê nguyªn tö sè. Nguyªn tö sè cña çc nguyªn tè, b¾t ®Çu tõ
hy®ro cã nguyªn tö sè sè b»ng 1 ®Õn hahni (Ha) cã nguyªn tö sè b»ng 105,
®−îc ®Æt phÝa trªn cña ký hiÖu nguyªn tö cña nguyªn tè trong b¶ng tuÇn
hoµn, h×nh 1.1.
Nguyªn tö l−îng
Nguyªn tö l−îng cña mét nguyªn tè lµ khèi l−îng tÝnh b»ng gam cña 6,023
× 1023 nguyªn tö (sè Avogadro NA) cña nguyªn tè ®ã. Nguyªn tö l−îng cña
çc nguyªn tè tõ 1 ®Õn 105 ®−îc ®Æt ë d−íi ký hiÖu nguyªn tö cña nguyªn tè
trong b¶ng tuÇn hoµn, h×nh 1.1. Nguyªn tö cacbon víi 6 proton vµ 6 n¬tron
lµ nguyªn tö cacbon 12 (12C) vµ ®−îc lÊy lµm chuÈn cho çc nguyªn tö
l−îng. Mét ®¬n vÞ nguyªn tö l−îng (u) ®−îc x¸c ®Þnh chÝnh x¸c b»ng 1/12
16
c h − ¬ n g 1
17
m ë ® Ç u
H×nh 1.2. §iÖn tö hy®ro bÞ kÝch thÝch lªn quü ®¹o cao h¬n (a) vµ mét ®iÖn tö
ë quü ®¹o n¨ng l−îng cao h¬n nh¶y vÒ quü ®¹o thÊp h¬n vµ ph¸t ra mét
photon n¨ng l−îng hν (b).
nguyªn tö l−îng cacbon, nguyªn tö l−îng cacbon = 12 u. Khèi l−îng mét

mol cña cacbon 12 lµ 12g trªn thang ®o nµy. Mét mol-gam hay mol (viÕt t¾t)
cña mét nguyªn tè ®−îc x¸c ®Þnh b»ng khèi l−îng tÝnh b»ng gam cña khèi
l−îng mol cña nguyªn tè ®ã. ThÝ dô, 1 mol-gam cña nh«m (Al) cã khèi
l−îng lµ 26,98g vµ chøa 6,023 × 1023 nguyªn tö.
1.3.3 CÊu tróc ®iÖn tö cña nguyªn tö

1.3.3.1 Nguyªn tö hy®ro
Nguyªn tö hy®ro lµ nguyªn tö ®¬n gi¶n nhÊt, nã chØ cã mét ®iÖn tö quay
quanh h¹t nh©n chøa mét proton. NÕu ta coi ®iÖn tö chuyÓn ®éng theo nh÷ng
quü ®¹o xung quanh h¹t nh©n th× chØ cã mét sè quü ®¹o x¸c ®Þnh (hay çc
møc n¨ng l−îng) nµo ®ã lµ ®−îc phÐp. Nguyªn nh©n cña giíi h¹n vÒ gi¸ trÞ
n¨ng l−îng lµ do ®iÖn tö tu©n theo çc ®Þnh luËt c¬ l−îng tö trong ®ã chØ cho
phÐp çc gi¸ trÞ n¨ng l−îng x¸c ®Þnh nµo ®ã mµ kh«ng ph¶i bÊt kú gi¸ trÞ
nµo. V× thÕ, nÕu ®iÖn tö trong nguyªn tö hy®ro ®−îc kÝch thÝch tíi quü ®¹o
(møc n¨ng l−îng) cao h¬n th× n¨ng l−îng ®−îc hÊp thô lµ mét l−îng gi¸n
®o¹n, h×nh 1.2(a). T−¬ng tù, nÕu ®iÖn tö trë vÒ quü ®¹o (møc n¨ng l−îng)
thÊp h¬n th× n¨ng l−îng ph¸t x¹ còng lµ mét l−îng gi¸n ®o¹n, h×nh 1.2(b).
Trong qu¸ tr×nh chuyÓn vÒ møc n¨ng l−îng thÊp h¬n, ®iÖn tö hy®ro sÏ ph¸t
ra mét n¨ng l−îng gi¸n ®o¹n (l−îng tö) d−íi d¹ng ph¸t x¹ ®iÖn tõ gäi lµ
photon. BiÕn thiªn n¨ng l−îng ΔE do sù di chuyÓn cña ®iÖn tö tõ møc nµy
®Õn møc kh¸c liªn hÖ víi tÇn sè ν cña photon b»ng ph−¬ng tr×nh Planck:
18
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.3 S¬ ®å møc n¨ng l−îng cho phæ v¹ch cña hy®ro.
ΔE = hν (1.1)
trong ®ã h = h»ng sè Planck = 6,626 × 10-34 J.s. V× tÇn sè cña photon liªn hÖ
víi b−íc sãng λ cña nã qua vËn tèc ¸nh s¸ng c, c= 2,998 × 108m/s, theo biÓu
thøc c = λν nªn n¨ng l−îng cña photon ΔE cã thÓ ®−îc biÓu diÔn nh− sau
ΔE = hc/λ (1.2)
Sù kiÓm chøng b»ng thùc nghiÖm vÒ n¨ng l−îng cña ®iÖn tö ®−îc kÝch thÝch
tíi møc n¨ng l−îng cao h¬n hoÆc mÊt n¨ng l−îng vµ chuyÓn vÒ møc thÊp
h¬n cã thÓ nhËn ®−îc chñ yÕu b»ng çc phÐp ph©n tÝch b−íc sãng vµ c−êng
®é cña v¹ch phæ. B»ng çch sö dông çc sè liÖu phæ hy®ro, n¨m 1913 Niels
Bohr ®· ®−a ra m« h×nh cho nguyªn tö hy®ro ë tr¹ng th¸i c¬ b¶n gåm cã mét
®iÖn tö quay quanh proton theo mét quü ®¹o trßn cã b¸n kÝnh x¸c ®Þnh lµ
0,05 nm. Nhê ph−¬ng tr×nh Bohr cã thÓ x¸c ®Þnh kh¸ chÝnh x¸c çc møc
n¨ng l−îng cho phÐp cña ®iÖn tö hy®ro:
2π 2 me 4 13,6
E = − 2 2 = − 2 eV (n =1, 2, 3, 4, 5, ...) (1.3)
n h n
19
m ë ® Ç u
H×nh 1.4 S¬ ®å ®¸m m©y ®iÖn tö bao quanh h¹t nh©n cña nguyªn tö hy®ro ë
tr¹ng th¸i c¬ b¶n vµ chØ ra çc khu vùc cã kh¶ n¨ng nhÊt t×m thÊy ®iÖn tö.
trong ®ã: e - ®iÖn tÝch ®iÖn tö.

m - khèi l−îng ®iÖn tö.
n - sè nguyªn vµ ®−îc gäi lµ sè l−îng tö chÝnh.
Trong thuyÕt nguyªn tö hiÖn ®¹i, n trong ph−¬ng tr×nh Bohr ®−îc ký hiÖu
cho sè l−îng tö chÝnh vµ biÓu thÞ çc møc n¨ng l−îng chÝnh cho çc ®iÖn tö
trong nguyªn tö. Tõ ph−¬ng tr×nh Bohr (1.3) møc n¨ng l−îng cña ®iÖn tö
hy®ro ë tr¹ng th¸i c¬ b¶n lµ -13,6 eV vµ øng víi v¹ch cã n = 1 trªn s¬ ®å
møc n¨ng l−îng hy®ro, h×nh 1.3. Khi ®iÖn tö hy®ro bÞ kÝch thÝch lªn çc møc
n¨ng l−îng cao h¬n, n¨ng l−îng cña nã t¨ng lªn nh−ng gi¸ trÞ sè l¹i nhá h¬n.
ThÝ dô, khi ®iÖn tö hy®ro ®−îc kÝch thÝch tíi møc l−îng tö chÝnh thø hai
n¨ng l−îng cña nã lµ - 3,4 eV vµ nÕu ®iÖn tö hy®ro ®−îc kÝch thÝch tíi tr¹ng
th¸i tù do víi n = ∞ th× ®iÖn tö cã møc n¨ng l−îng b»ng 0. N¨ng l−îng cÇn
thiÕt ®Ó gi¶i phãng ®iÖn tö ra khái nguyªn tö hy®ro lµ 13,6 eV, ®ã chÝnh lµ
n¨ng l−îng ion ho¸ cña hy®ro.
ChuyÓn ®éng cña ®iÖn tö trong nguyªn tö lµ phøc t¹p h¬n so víi nh÷ng g× ®·
®−îc tr×nh bµy b»ng m« h×nh nguyªn tö Bohr ®¬n gi¶n. §iÖn tö cã thÓ cã
quü ®¹o kh«ng trßn (ellip) xung quanh h¹t nh©n vµ tu©n theo nguyªn lý bÊt
®Þnh Heisenberg: vÞ trÝ vµ ®éng l−îng (khèi l−îng × vËn tèc) cña vi h¹t
kh«ng thÓ x¸c ®Þnh chÝnh x¸c ®ång thêi. V× vÞ trÝ vµ ®éng l−îng cña ®iÖn tö
kh«ng thÓ ®ång thêi x¸c ®Þnh chÝnh x¸c nªn ta kh«ng thÓ x¸c ®Þnh chÝnh x¸c
quü ®¹o ®iÖn tö quanh h¹t nh©n mµ chØ cã thÓ nãi ®Õn ph©n bè mËt ®é ®¸m
m©y ®iÖn tö vµ kh¸i niÖm nµy ®«i khi ®−îc sö dông ®Ó biÓu thÞ vÞ trÝ cña ®iÖn
20
c h − ¬ n g 1
tö trong chuyÓn ®éng quü ®¹o quanh h¹t nh©n, h×nh 1.4. MËt ®é ®iÖn tö cao
nhÊt lµ ë b¸n kÝnh cì 0,05 nm t−¬ng øng víi b¸n kÝnh Bohr cña nguyªn tö
hy®ro.
1.3.3.2 Çc sè l−îng tö cña ®iÖn tö

Theo c¬ häc sãng, mçi tr¹ng th¸i cña ®iÖn tö trong nguyªn tö ®−îc ®Æc tr−ng
b»ng bèn sè l−îng tö: sè l−îng tö chÝnh n, sè l−îng tö quü ®¹o l, sè l−îng tö
tõ ml vµ sè l−îng tö spin ®iÖn tö ms. KÝch th−íc, h×nh d¹ng vµ ®Þnh h−íng
kh«ng gian cña mËt ®é x¸c suÊt cña ®iÖn tö ®−îc x¸c ®Þnh bëi çc sè l−îng
tö nµy. H¬n thÕ, çc møc n¨ng l−îng Bohr cßn t¸ch thµnh çc ph©n líp ®iÖn
tö vµ çc sè l−îng tö sÏ quyÕt ®Þnh sè tr¹ng th¸i trong mçi ph©n líp.
Sè l−îng tö chÝnh n
Sè l−îng tö chÝnh lµ sè n trong ph−¬ng tr×nh Bohr (1.3). Sè l−îng tö chÝnh n
biÓu thÞ cho líp, nã chØ lÊy gi¸ trÞ nguyªn d−¬ng b¾t ®Çu lµ 1. §«i khi çc
líp nµy ®−îc ký hiÖu b»ng çc ch÷ K, L, M, N, O... t−¬ng øng víi n = 1, 2,
3, 4, 5 ... nh− chØ ra trong B¶ng 1.1. Gi¸ trÞ cña n cµng lín th× líp cµng xa h¹t
nh©n, vµ do ®ã ®iÖn tö cµng ë xa h¹t nh©n (theo thêi gian trung b×nh). Sè
l−îng tö chÝnh n x¸c ®Þnh n¨ng l−îng cña tr¹ng th¸i. Nãi chung sè l−îng tö
chÝnh cµng lín th× n¨ng l−îng cña ®iÖn tö cµng cao.
Sè l−îng tö quü ®¹o l
Sè l−îng tö quü ®¹o hay sè l−îng tö phô l ®Ó chØ ph©n líp vµ ®Æc tr−ng cho
çc møc n¨ng l−îng phô n»m trong møc n¨ng l−îng chÝnh. Ký hiÖu b»ng
ch÷ cña sè l−îng tö quü ®¹o l lµ s, p, d, f t−¬ng øng víi çc ký hiÖu sè cña l
lµ 0, 1, 2, 3. Nh− vËy, ng−êi ta cã thÓ ®äc quü ®¹o s hoÆc p hay ph©n líp s
hoÆc p. Çc gi¸ trÞ cho phÐp cña l lµ 0, 1, 2, 3... n-1. Sè l−îng tö quü ®¹o l
x¸c ®Þnh ®é lín cña vect¬ momen ®éng l−îng quü ®¹o cña tr¹ng th¸i.
Sè l−îng tö tõ ml
Sè l−îng tö tõ ml ®Æc tr−ng cho ®Þnh h−íng kh«ng gian cña quü ®¹o ®¬n
nguyªn tö vµ quyÕt ®Þnh sè møc n¨ng l−îng hay tr¹ng th¸i n¨ng l−îng cho
mçi ph©n líp. Sè l−îng tö ml cã çc gi¸ trÞ cho phÐp tõ -l ®Õn +l, bao gåm c¶
sè 0. Khi l = 0, chØ cã mét gi¸ trÞ cho phÐp cho ml, ®ã lµ ml = 0. Khi l = 1, ml
cã ba gi¸ trÞ -1, 0 vµ +1. Tæng qu¸t, cã 2l +1 gi¸ trÞ cho phÐp cho ml. Nh−
vËy ®èi víi ph©n líp s chØ cã mét tr¹ng th¸i n¨ng l−îng, trong khi cã ba,
n¨m vµ b¶y tr¹ng th¸i cho ph©n líp p, d vµ f t−¬ng øng, b¶ng 2.1. Khi kh«ng
cã tõ tr−êng ngoµi, çc tr¹ng th¸i trong mçi ph©n líp lµ nh− nhau. Tuy
21
m ë ® Ç u
B¶ng 1.1 Sè tr¹ng th¸i ®iÖn tö cã thÓ cã trong mét sè líp vµ ph©n líp ®iÖn tö.
Sè l−îng ®iÖn tö
Sè l−îng tö Sè tr¹ng
chÝnh n Líp Ph©n líp th¸i Trªn ph©n líp Trªn líp
1 K s 1 2 2
2 L s 1 2 8
p 3 6
3 M s 1 2 18
p 3 6
d 5 10
4 N s 1 2 32
p 3 6
d 5 10
f 7 14
nhiªn, khi cã mÆt cña tõ tr−êng çc tr¹ng th¸i ph©n líp bÞ t¸ch ra, mçi tr¹ng
th¸i nhËn mét n¨ng l−îng h¬i kh¸c nhau. Sè l−îng tö tõ ml x¸c ®Þnh ®é lín
cña h×nh chiÕu cña momen ®éng l−îng quü ®¹o lªn mét trôc x¸c ®Þnh.
Sè l−îng tö spin ®iÖn tö ms
Sè l−îng tö spin ®iÖn tö ®Æc tr−ng cho hai h−íng spin cho phÐp cña ®iÖn tö
quay theo h−íng trôc cña chÝnh nã. Çc h−íng quay theo chiÒu vµ ng−îc
chiÒu kim ®ång hå t−¬ng øng víi gi¸ trÞ cho phÐp +1/2 vµ - 1/2. Sè l−îng tö
spin cã ¶nh h−ëng rÊt Ýt ®Õn n¨ng l−îng cña ®iÖn tö. CÇn nhÊn m¹nh r»ng hai
®iÖn tö cã thÓ chiÕm cïng mét quü ®¹o vµ khi Êy chóng ph¶i cã spin ng−îc
chiÒu nhau.
B¶ng 1.2 tæng kÕt çc gi¸ trÞ ®−îc phÐp cho bèn sè l−îng tö cña çc ®iÖn tö.
Theo nguyªn lý lo¹i trõ Pauli trong thuyÕt nguyªn tö, kh«ng cã hai ®iÖn tö
cã thÓ cã cïng tËp bèn sè l−îng tö.
Sè l−îng tö m«men ®éng l−îng j
Mét sè l−îng tö n÷a ®−îc giíi thiÖu ë ®©y lµ sè l−îng tö momen ®éng l−îng
j cña ®iÖn tö. Sè l−îng tö j biÓu thÞ momen ®éng l−îng toµn phÇn cña ®iÖn
tö:
22
c h − ¬ n g 1
B¶ng 1.2 Çc gi¸ trÞ cho phÐp cho çc sè l−îng tö cña ®iÖn tö.
n Sè l−îng tö chÝnh n = 1, 2, 3, ... Mäi sè nguyªn d−¬ng

l Sè l−îng tö quü ®¹o l = 0, 1, 2, 3, ... n-1 n gi¸ trÞ cña l
ml Sè l−îng tö tõ Kho¶ng gi¸ trÞ tõ 2l +1
-l ®Õn +l, kÓ c¶ 0
ms Sè l−îng tö spin +1/2, -1/2 2
j = l + ms
trong ®ã ms lµ sè l−îng tö spin víi hai gi¸ trÞ cho phÐp ±1/2. Çc gi¸ trÞ cña j
chØ cã thÓ lµ çc sè d−¬ng, nh− thÕ víi líp L ta nhËn ®−îc çc gi¸ trÞ j nh−
sau
Ký hiÖu ph©n líp n l ms j
LI 2 0 +1/2 1/2
LII 2 1 -1/2 1/2
LIII 2 1 +1/2 3/2
1.3.3.3 CÊu tróc ®iÖn tö cña nguyªn tö cã nhiÒu ®iÖn tö

Sè l−îng ®iÖn tö lín nhÊt cho mçi líp cña nguyªn tö
Nguyªn tö gåm çc líp cã mËt ®é ®iÖn tö cao ®−îc x¸c ®Þnh bëi çc ®Þnh
luËt cña c¬ häc l−îng tö. Cã b¶y líp nµy khi nguyªn tö sè lµ 87 cho nguyªn
tè franxi (Fr). Mçi líp chØ cã thÓ chøa mét sè l−îng ®iÖn tö tèi ®a ®−îc
khèng chÕ lÇn n÷a bëi çc ®Þnh luËt c¬ l−îng tö. Sè l−îng ®iÖn tö lín nhÊt cã
thÓ cã trªn mçi líp trong nguyªn tö ®−îc x¸c ®Þnh bëi çc tËp kh¸c nhau cña
bèn sè l−îng tö. V× thÕ, chØ cã thÓ cã 2 ®iÖn tö cho líp thø nhÊt, 8 cho thø
hai, 18 cho thø ba, 32 cho thø t−, ... nh− ®−îc chØ râ trong b¶ng 1.1.
KÝch th−íc nguyªn tö
Mçi nguyªn tö cã thÓ gÇn ®óng ®−îc xem nh− mét qu¶ cÇu víi b¸n kÝnh x¸c
®Þnh. B¸n kÝnh cña qu¶ cÇu nguyªn tö kh«ng ph¶i lµ h»ng sè mµ phô thuéc
23
m ë ® Ç u
24
c h − ¬ n g 1
vµo sù d·n në nµo ®ã trong m«i tr−êng cña nã. H×nh 1.5 chØ ra kÝch th−íc
nguyªn tö t−¬ng ®èi cña nhiÒu nguyªn tè vµ b¸n kÝnh nguyªn tö cña chóng.
NhiÒu gi¸ trÞ b¸n kÝnh nguyªn tö cßn ch−a nhÊt trÝ hoµn toµn trong çc tµi
liÖu tham kh¶o.
Tõ h×nh 1.5 thÊy râ mét sù d·n në nhÊt ®Þnh vÒ kÝch th−íc nguyªn tö. Nãi
chung, khi mçi líp kÕ tiÕp cã sè l−îng tö chÝnh t¨ng th× kÝch th−íc nguyªn
tö t¨ng. Tuy nhiªn, cã mét sè Ýt tr−êng hîp ngo¹i lÖ khi ®ã kÝch th−íc
nguyªn tö th−êng nhá h¬n. Çc nguyªn tè kiÒm cña nhãm 1A trong b¶ng
tuÇn hoµn, h×nh 1.1, lµ mét thÝ dô tiªu biÓu vÒ çc nguyªn tö mµ kÝch th−íc
cña chóng t¨ng theo mçi líp ®iÖn tö thªm vµo. ThÝ dô, liti (n = 2) cã b¸n
kÝnh nguyªn tö lµ 0,157 nm, xesi (n = 6) cã b¸n kÝnh lµ 0,270 nm. §i lÇn
l−ît qua b¶ng tuÇn hoµn tõ nhãm nguyªn tè kiÒm 1A ®Õn nhãm khÝ hiÕm
8A, nãi chung kÝch th−íc nguyªn tö gi¶m trõ mét vµi tr−êng hîp ngo¹i lÖ.
KÝch th−íc nguyªn tö ®ãng vai trß rÊt quan träng khi nghiªn cøu khuÕch t¸n
nguyªn tö trong hîp kim.
CÊu h×nh ®iÖn tö cña nguyªn tè
CÊu h×nh ®iÖn tö cña nguyªn tö m« t¶ çch s¾p xÕp cña ®iÖn tö trªn çc quü
®¹o trong mét nguyªn tö. CÊu h×nh ®iÖn tö ®−îc viÕt theo çch liÖt kª sè
l−îng tö chÝnh ®Çu tiªn, tiÕp theo lµ mét ch÷ quü ®¹o s, p, d hoÆc f. Sè mò ë
phÝa trªn ch÷ lµ sè l−îng ®iÖn tö chøa trªn quü ®¹o ®ã. Çc ®iÖn tö lÊp ®Çy
çc quü ®¹o theo trËt tù sau ®©y:
1s2 2s2 2p6 3s23p6 4s2 3d10 4p6 5s2 4d10 5p6 6s2 4f14 5d10 6p6 7s2 5f14 6d10
D−íi ®©y, cho gi¸o tr×nh nµy, trËt tù viÕt çc quü ®¹o cho cÊu h×nh ®iÖn tö
®−îc tiÕn hµnh theo thø tù t¨ng dÇn sè l−îng tö chÝnh:
1s2 2s2 2p6 3s2 3p6 3d10 4s2 4p6 4d10 4f14 5s2 5p6 5d105f14 6s2 6p6 6d10 7s2
B¶ng 1.3 liÖt kª cÊu h×nh ®iÖn tö cña mét sè nguyªn tè ®· ®−îc x¸c ®Þnh
b»ng thùc nghiÖm. L−u ý r»ng cã mét sù kh«ng phï hîp quy luËt nµo ®ã
trong hÖ ®−îc liÖt kª ë trªn. ThÝ dô, ®ång (Z = 29) cã cÊu h×nh ®iÖn tö ngoµi
cïng lµ 3d104s1. Ng−êi ta chê ®îi cÊu h×nh ngoµi theo hÖ thèng liÖt kª ë trªn
lµ 3d94s2. Nguyªn nh©n cña sù thiÕu quy luËt nµy vÉn ch−a biÕt chÝnh x¸c.
B»ng chøng thùc nghiÖm còng chØ ra r»ng çc ®iÖn tö víi cïng mét sè l−îng
tö quü ®¹o cã thÓ cã nhiÒu spin song song. V× vËy, nÕu cã n¨m ®iÖn tö trªn
çc quü ®¹o d th× mçi quü ®¹o d sÏ cã mét ®iÖn tö vµ h−íng spin cña chóng
sÏ song song nhau nh− ®−îc m« t¶ trong h×nh 1.6.
25
m ë ® Ç u
B¶ng 1.3 CÊu h×nh ®iÖn tö cña mét sè nguyªn tè.
Nguyªn tè Ký hiÖu Nguyªn tö sè CÊu h×nh ®iÖn tö
Hy®ro H 1 1s'
Heli He 2 1s2
Liti Li 3 1s2 2s1
Beri Be 4 1s2 2s2
Bo B 5 1s2 2s22p1
Cacbon C 6 Ls2 2s22p2
Nit¬ N 7 ls2 2s22p3
«xy O 8 ls2 2s22p4
Flo F 9 ls2 2s22p5
Neon Ne 10 ls2 2s22p6
Natri Na 11 ls2 2s22p63sl
Magiª Mg 12 ls2 2s22p63s2
Nh«m Al 13 ls2 2s22p63s23pl
Silic Si 14 ls2 2s22p63s23p2
Photpho P 15 ls2 2s2'2p63s23p3
L−u huúnh S 16 ls2 2s22p63s23p4
Clo Cl 17 ls2 2s22p63s23p5
Acgon Ar 18 ls2 2s22p63s23p6
Kali K 19 1s2 2s22p63s23p6s1
Canxi Ca 20 1s2 2s22p63s23p6s2
Scan®i Sc 21 1s2 2s22p63s23p63d1 4s2
Titan Ti 22 1s2 2s22p63s23p63d2 4s2
Vana®i V 23 1s2 2s22p63s23p63d3 4s2
Crom Cr 24 1s2 2s22p63s23p63d5 4s1
26
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.6 H−íng spin cña çc ®iÖn tö kh«ng thµnh cÆp trªn quü ®¹o d.
1.3.3.4 CÊu tróc ®iÖn tö vµ ph¶n øng ho¸ häc

KhÝ hiÕm
TÝnh chÊt ho¸ häc cña nguyªn tö cña nguyªn tè phô thuéc chñ yÕu vµo ho¹t
tÝnh cña çc ®iÖn tö ngoµi cïng. æn ®Þnh nhÊt vµ ho¹t tÝnh kÐm nhÊt trong sè
çc nguyªn tè lµ khÝ hiÕm. Lo¹i trõ heli (He) cã cÊu tróc ®iÖn tö 1s2, líp
ngoµi cïng cña tÊt c¶ çc khÝ hiÕm kh¸c (Ne, Ar, Kr, Xe vµ Rn) ®Òu cã cÊu
tróc ®iÖn tö s2p6. CÊu tróc s2p6 cho líp vá ngoµi cïng cã tÝnh bÒn v÷ng ho¸
häc cao ®−îc thÓ hiÖn bëi ho¹t tÝnh kÐm cña khÝ hiÕm khi ph¶n øng ho¸ häc
víi çc nguyªn tö kh¸c.
Nguyªn tè d−¬ng ®iÖn vµ ©m ®iÖn
Nguyªn tè d−¬ng ®iÖn lµ kim lo¹i trong tù nhiªn vµ cho ®iÖn tö trong ph¶n
øng ho¸ häc ®Ó t¹o thµnh ion d−¬ng hay cation. Sè ®iÖn tö mµ nguyªn tö
d−¬ng ®iÖn cña nguyªn tè cho ®i ®−îc biÓu thÞ b»ng sè oxy ho¸ d−¬ng. ThÝ
dô, sè ion ho¸ cña natri (Na) lµ + 1 vµ cña magiª (Mg) lµ +2. L−u ý r»ng mét
sè nguyªn tè cã h¬n mét sè ion ho¸. ThÝ dô, coban (Co) cã hai sè ion ho¸ lµ
+3 vµ +2. HÇu hÕt nguyªn tè d−¬ng ®iÖn lµ thuéc nhãm 1A vµ 2A cña b¶ng
tuÇn hoµn.
Nguyªn tè ©m ®iÖn lµ phi kim lo¹i trong tù nhiªn vµ nhËn ®iÖn tö trong ph¶n
øng ho¸ häc ®Ó t¹o thµnh ion ©m hay anion. Sè ®iÖn tö nhËn bëi nguyªn tö
©m ®iÖn cña nguyªn tè ®−îc biÓu thÞ b»ng sè oxy ho¸ ©m. ThÝ dô, sè ion ho¸
cña oxy (O) lµ -1 vµ -2 vµ cña flo (F) lµ -1. §a phÇn nguyªn tè ©m ®iÖn lµ
thuéc nhãm 6A vµ 7A cña b¶ng tuÇn hoµn.
Mét sè nguyªn tè thuéc nhãm 4A tíi 7A cña b¶ng tuÇn hoµn cã thÓ xö sù
theo çch ©m ®iÖn hoÆc d−¬ng ®iÖn. Çch xö sù n−íc ®«i nµy ®−îc thÓ hiÖn
ë çc nguyªn tè nh− cacbon (C), silic (Si), gecmani (Ge), asen (As),
antimoni (Sb) vµ photpho (P). Nh− vËy, trong mét sè ph¶n øng chóng cã sè
oxy ho¸ d−¬ng, khi Êy chóng thÓ hiÖn çch xö sù d−¬ng ®iÖn, vµ trong ph¶n
øng kh¸c chóng cã sè oxy ho¸ ©m khi ®ã chóng biÓu thÞ çch xö sù ©m ®iÖn.
27
m ë ® Ç u
TÝnh ©m ®iÖn
TÝnh ©m ®iÖn ®−îc x¸c ®Þnh lµ møc ®é hót ®iÖn tö vÒ phÝa m×nh cña nguyªn
tö. Xu h−íng xö sù d−¬ng ®iÖn hay ©m ®iÖn cña nguyªn tö cã thÓ ®Þnh l−îng
®−îc b»ng sè ©m ®iÖn cña nguyªn tè. TÝnh ©m ®iÖn ®−îc ®o trong thang ®o
tõ 0 ®Õn 4,1 vµ mçi nguyªn tè ®−îc ph©n ®Þnh mét gi¸ trÞ trªn thang ®o nµy.
HÇu hÕt çc nguyªn tè d−¬ng ®iÖn lµ kim lo¹i kiÒm, chóng cã sè ©m ®iÖn tõ
0,9 cho xesi (Cs), rubi (Rb) vµ kali (K) ®Õn 1,0 cho natri (Na) vµ liti (Li).
Nguyªn tè ©m ®iÖn tr−íc hÕt lµ flo (F), oxy (O) vµ nit¬ (N), chóng cã sè ©m
®iÖn lµ 4,1; 3,5; vµ 3,1 t−¬ng øng. Kh¸i niÖm tÝnh ©m ®iÖn gióp ta hiÓu biÕt
râ vÒ çch xö sù liªn kÕt cña çc nguyªn tè.
Cã thÓ tæng kÕt mét sè quan hÖ tÝnh chÊt ho¸ häc-cÊu tróc ®iÖn tö cho kim
lo¹i vµ phi kim nh− sau:
Kim lo¹i Phi kim
1. Cã Ýt ®iÖn tö ë líp ngoµi, th−êng lµ ba 1. Cã bèn hoÆc nhiÒu ®iÖn tö ë

hoÆc Ýt h¬n líp ngoµi
2. T¹o thµnh cation do mÊt ®iÖn tö 2. T¹o thµnh anion do thu nhËn
®iÖn tö
3. Cã tÝnh ©m ®iÖn thÊp 3. Cã tÝnh ©m ®iÖn cao
1.3.4 Çc lo¹i liªn kÕt nguyªn tö vµ ph©n tö

Liªn kÕt gi÷a çc nguyªn tö x¶y ra v× cã sù gi¶m thÕ n¨ng tæng céng cña
nguyªn tö ë tr¹ng th¸i liªn kÕt. §ã lµ do tr¹ng th¸i liªn kÕt nguyªn tö cã
n¨ng l−îng æn ®Þnh h¬n so víi tr¹ng th¸i ch−a liªn kÕt. Nãi chung, liªn kÕt
ho¸ häc gi÷a çc nguyªn tö cã thÓ ®−îc ph©n thµnh hai nhãm: liªn kÕt s¬ cÊp
hay liªn kÕt m¹nh vµ liªn kÕt thø cÊp hay liªn kÕt yÕu. Nhãm thø nhÊt cã thÓ
®−îc chia thµnh: 1) liªn kÕt ion, 2) liªn kÕt ho¸ trÞ vµ 3) liªn kÕt kim lo¹i.
Nhãm thø hai cã thÓ ®−îc chia thµnh: 1) l−ìng cùc th¨ng gi¸ng vµ 2) l−ìng
cùc vÜnh cöu.
Liªn kÕt ion
Liªn kÕt ion ®−îc t¹o thµnh b»ng sù dÞch chuyÓn mét hoÆc nhiÒu ®iÖn tö tõ
nguyªn tö d−¬ng ®iÖn (kim lo¹i) sang nguyªn tö ©m ®iÖn (phi kim). Çc ion
liªn kÕt víi nhau trong tinh thÓ r¾n bëi lùc tÜnh ®iÖn (coulomb) vµ lµ ®¼ng
h−íng. KÝch th−íc cña çc ion (yÕu tè h×nh häc) vµ tÝnh trung hoµ ®iÖn lµ hai
28
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.7 Sù t¹o thµnh cÆp ion clorua natri tõ çc nguyªn tö natri vµ clo.
H×nh 1.8 Ph©n tö mªtan, CH4, gåm bèn liªn kÕt céng ho¸ trÞ tø diÖn (a), mçi
miÒn chia sÎ biÓu diÔn mét liªn kÕt céng ho¸ trÞ cÆp ®iÖn tö (b).
yÕu tè chÝnh x¸c ®Þnh sù s¾p xÕp ion. Mét thÝ dô vÒ vËt r¾n cã møc ®é cao
trong liªn kÕt ion lµ clorua natri (NaCl). Trong qu¸ tr×nh ion ho¸ t¹o thµnh
cÆp ion Na+Cl-, nguyªn tö natri chuyÓn mét ®iÖn tö ngoµi 3s1 cho quü ®¹o
ch−a ®iÒn ®Çy 3p cña nguyªn tö Cl ®Ó h×nh thµnh mét cÆp ion Na+Cl- , h×nh
1.7. Trong qu¸ tr×nh ion ho¸ nguyªn tö natri cã b¸n kÝnh 0,129 nm bÞ gi¶m
kÝch th−íc thµnh cation Na+ víi b¸n kÝnh 0,095 nm cßn nguyªn tö clo cã b¸n
kÝnh 0,099 nm to lªn thµnh anion Cl- víi b¸n kÝnh 0,181 nm.
Nguyªn tö natri bÞ gi¶m kÝch th−íc khi trë thµnh ion v× mÊt ®iÖn tö 3s1 vµ v×
gi¶m tØ sè ®iÖn tö/proton. H¹t nh©n cña ion natri tÝch ®iÖn d−¬ng h¬n sÏ hót
m©y ®iÖn tÝch ®iÖn tö chÆt h¬n vµ do vËy kÝch th−íc cña nguyªn tö gi¶m
trong qu¸ tr×nh ion ho¸. Tr¸i l¹i, nguyªn tö clo në ra do t¨ng tØ sè ®iÖn
tö/proton khi ion ho¸. Nh− vËy, çc nguyªn tö gi¶m kÝch th−íc khi chóng trë
thµnh çc cation vµ t¨ng kÝch th−íc khi chóng trë thµnh çc anion trong qu¸
tr×nh ion ho¸.
29
m ë ® Ç u
H×nh 1.9 S¬ ®å m¹ng hai chiÒu cña çc nguyªn tö liªn kÕt kim lo¹i.
Liªn kÕt céng ho¸ trÞ

Liªn kÕt céng ho¸ trÞ ®−îc thiÕt lËp bëi sù gãp chung ®iÖn tö ®Ó cã cÆp quü
®¹o nöa ®iÒn ®Çy. Quü ®¹o liªn kÕt cµng phñ nhau th× liªn kÕt cµng m¹nh.
Liªn kÕt céng ho¸ trÞ lµ ®Þnh h−íng.
ThÝ dô, cacbon chØ cã 4 ®iÖn tö ë líp ngoµi cïng, nh− vËy nã thiÕu bèn ®iÖn
tö ®Ó ®ñ t¸m. Trong tr−êng hîp nµy cacbon cã thÓ kÕt hîp víi bèn nguyªn tö
hy®ro ®Ó mçi nguyªn tö nµy gãp cho nã mét ®iÖn tö lµm cho líp ®iÖn tö
ngoµi cïng ®ñ t¸m. §ã lµ b¶n chÊt lùc liªn kÕt trong ph©n tö mªtan, CH4,
nh− ®−îc m« t¶ trong h×nh 1.8.
Liªn kÕt kim lo¹i
Liªn kÕt kim lo¹i ®−îc h×nh thµnh bëi çc nguyªn tö kim lo¹i b»ng sù chia
sÎ qua l¹i cña çc ®iÖn tö ho¸ trÞ d−íi d¹ng ®¸m m©y ®iÖn tö tù do, h×nh 1.9.
N¨ng l−îng liªn kÕt lµ tæng hîp cña lùc ®Èy vµ lùc hót tÜnh ®iÖn gi÷a ion
d−¬ng vµ m©y ®iÖn tö tù do bao quanh. Liªn kÕt kim lo¹i th−êng ®−îc t¹o
nªn tõ çc nguyªn tè cã Ýt ®iÖn tö ho¸ trÞ, chóng liªn kÕt yÕu víi h¹t nh©n, dÔ
dµng bøt ra khái nguyªn tö ®Ó tù do vµ t¹o nªn "m©y" hay "biÓn" ®iÖn tö.
Nãi chung, ®iÖn tö ho¸ trÞ cµng Ýt th× çc ®iÖn tö cµng tù do vµ liªn kÕt cµng
30
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.10 S¬ ®å minh ho¹ liªn kÕt Van Der Waals gi÷a hai l−ìng cùc ®iÖn.
H×nh 1.11 Ph©n bè ®iÖn tÝch trong nguyªn tö khÝ hiÕm: (a) tr−êng hîp lý
t−ëng, ph©n bè m©y ®iÖn tÝch ®iÖn tö ®èi xøng, (b) tr−êng hîp thùc, ph©n bè
m©y ®iÖn tÝch ®iÖn tö kh«ng ®èi xøng vµ thay ®æi theo thêi gian, h×nh thµnh
l−ìng cùc ®iÖn th¨ng gi¸ng.
mang tÝnh kim lo¹i. Çc nguyªn tè nhãm 1A cña b¶ng tuÇn hoµn cã tÝnh kim
lo¹i ®iÓn h×nh. Liªn kÕt kim lo¹i chØ xuÊt hiÖn khi kÕt tô nguyªn tö vµ lµ
®¼ng h−íng.
Liªn kÕt yÕu
Liªn kÕt yÕu hay liªn kÕt Van Der Walls ®−îc t¹o thµnh bëi hiÖu øng hót
tÜnh ®iÖn cña çc l−ìng cùc ®iÖn nguyªn tö hoÆc l−ìng cùc ®iÖn ph©n tö.
L−ìng cùc ®−îc t¹o thµnh trong nguyªn tö hoÆc ph©n tö khi tån t¹i çc t©m
®iÖn tÝch tr¸i dÊu, h×nh 1.10. L−ìng cùc th¨ng gi¸ng liªn kÕt çc nguyªn tö
víi nhau do sù ph©n bè kh«ng ®èi xøng cña ®iÖn tÝch ®iÖn tö trong nguyªn tö
vµ thay ®æi theo thêi gian, h×nh 1.11. Lùc liªn kÕt nµy lµ rÊt quan träng ®èi
víi sù ho¸ láng vµ ®«ng ®Æc cña khÝ hiÕm. Liªn kÕt l−ìng cùc vÜnh cöu ®−îc
thiÕt lËp gi÷a çc ph©n tö l−ìng cùc vÜnh cöu vµ ®ãng vai trß träng yÕu trong
liªn kÕt ho¸ trÞ cã cùc nh− n−íc, h×nh 1.12, vµ hy®rocacbon.
Liªn kÕt hçn hîp
Liªn kÕt hçn hîp th−êng xuÊt hiÖn gi÷a çc nguyªn tö vµ trong çc ph©n tö.
ThÝ dô, çc kim lo¹i nh− titan vµ s¾t cã liªn kÕt hçn hîp kim lo¹i-ho¸ trÞ; hîp
chÊt liªn kÕt ho¸ trÞ nh− GaAs vµ ZnSe cã ®Æc tr−ng ion nµo ®ã; mét sè hîp
31
m ë ® Ç u
H×nh 1.12 (a) B¶n chÊt l−ìng cùc vÜnh cöu cña ph©n tö n−íc. (b) Liªn kÕt
hy®ro trong ph©n tö n−íc do lùc hót l−ìng cùc vÜnh cöu.
chÊt nh− NaZn13 cã liªn kÕt hçn hîp ion - kim lo¹i. Nãi chung, liªn kÕt x¶y
ra gi÷a çc nguyªn tö hoÆc ph©n tö v× n¨ng l−îng cña chóng sÏ ®−îc gi¶m
xuèng nhê qu¸ tr×nh liªn kÕt nµy.
1.4 CÊu tróc vµ h×nh häc tinh thÓ
1.4.1 M¹ng kh«ng gian vµ « c¬ b¶n

CÊu tróc vËt lý cña vËt liÖu r¾n phô thuéc chñ yÕu vµo sù s¾p xÕp çc nguyªn
tö, ion hoÆc ph©n tö cÊu thµnh vËt r¾n vµ lùc liªn kÕt gi÷a chøng. NÕu çc
nguyªn tö hoÆc ion cña vËt r¾n ®−îc s¾p xÕp trong mét mÉu h×nh lÆp l¹i
trong kh«ng gian ba chiÒu th× chóng t¹o thµnh vËt r¾n cã cÊu tróc tinh thÓ vµ
®−îc gäi lµ vËt r¾n tinh thÓ hay vËt liÖu tinh thÓ. ThÝ dô vÒ vËt liÖu tinh thÓ lµ
kim lo¹i, hîp kim vµ mét sè vËt liÖu gèm.
Sù s¾p xÕp nguyªn tö trong vËt r¾n tinh thÓ cã thÓ ®−îc m« t¶ b»ng mét
m¹ng l−íi ba chiÒu mµ nót m¹ng lµ çc nguyªn tö (hoÆc ph©n tö, ion). M¹ng
l−íi nh− vËy ®−îc gäi lµ m¹ng kh«ng gian vµ cã thÓ ®−îc m« t¶ nh− lµ mét
ma trËn ®iÓm ba chiÒu v« h¹n, h×nh 1.13(a). Mçi ®iÓm hay nót m¹ng trong
m¹ng kh«ng gian ®Òu cã sù bao quanh gièng nhau. Trong tinh thÓ lý t−ëng,
tËp hîp çc nót m¹ng quanh bÊt kú mét nót ®· cho nµo còng gièng nh− tËp
hîp çc nót m¹ng quanh mét nót bÊt kú kh¸c trong m¹ng tinh thÓ. Nh− vËy
mçi m¹ng kh«ng gian cã thÓ ®−îc m« t¶ bëi çc vÞ trÝ nguyªn tö x¸c ®Þnh
trong mét « ®¬n vÞ (hay « c¬ b¶n) lÆp l¹i trong kh«ng gian nh− chØ ra trong
h×nh 1.13(a). KÝch th−íc vµ h×nh d¹ng cña « ®¬n vÞ cã thÓ ®−îc biÓu diÔn
32
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.13 (a) M¹ng kh«ng gian cña vËt r¾n tinh thÓ lý t−ëng. (b) « ®¬n vÞ vµ
h»ng sè m¹ng.
b»ng ba vect¬ c¬ së a, b vµ c xuÊt ph¸t tõ mét gãc cña « ®¬n vÞ, h×nh 1.13
(b). ChiÒu dµi a, b vµ c cña ba vect¬ nµy vµ gãc gi÷a chóng α, β vµ γ ®−îc
gäi lµ h»ng sè m¹ng.
1.4.2 HÖ tinh thÓ vµ m¹ng Bravais

B»ng çch Ên ®Þnh çc gi¸ trÞ ®Æc biÖt cho ®é dµi a, b, c vµ gãc α, β, γ cã thÓ
x©y dùng ®−îc çc kiÓu « ®¬n vÞ kh¸c nhau. Khi quan t©m ®Õn tÝnh ®èi xøng
cña tinh thÓ, çc nhµ tinh thÓ häc ®· chØ ra r»ng chØ cÇn b¶y kiÓu « ®¬n vÞ
kh¸c nhau lµ cã thÓ x©y dùng ®−îc tÊt c¶ çc m¹ng ®iÓm cã thÓ. Trªn c¬ së
®ã ng−êi ta ph©n çc tinh thÓ thµnh b¶y hÖ nh− ®−îc liÖt kª trong b¶ng 1.4.
NhiÒu trong sè b¶y hÖ tinh thÓ cã kiÓu « ®¬n vÞ kh¸c nhau. NÕu chØ kh¶o s¸t
vÞ trÝ nót m¹ng tinh thÓ mµ kh«ng quan t©m ®Õn tÝnh ®èi xøng cña çc phÇn
tö t¹i nót m¹ng, A. J.Bravais ®· chøng minh ®−îc r»ng 14 « ®¬n vÞ chuÈn cã
thÓ m« t¶ ®−îc çc m¹ng tinh thÓ kh¸c nhau thuéc b¶y hÖ nãi trªn. §ã lµ 14
kiÓu m¹ng tinh thÓ Bravais nh− ®−îc minh ho¹ trong h×nh 1.14. TÊt c¶ çc
m¹ng tinh thÓ cña chÊt r¾n ®Òu biÓu diÔn b»ng mét trong m−êi bèn kiÓu
m¹ng Bravais. Cã bèn kiÓu « ®¬n vÞ: (1) ®¬n gi¶n (nguyªn thuû), (2) t©m
khèi, (3) t©m mÆt vµ (4) t©m ®¸y.
Trong hÖ lËp ph−¬ng (cubic) cã ba kiÓu « ®¬n vÞ: lËp ph−¬ng ®¬n gi¶n, lËp
ph−¬ng t©m khèi vµ lËp ph−¬ng t©m mÆt. Trong hÖ trùc thoi (orthorhombic)
cã c¶ bèn kiÓu. Trong hÖ bèn ph−¬ng (tetragonal) chØ cã hai kiÓu: ®¬n gi¶n
vµ t©m khèi. ¤ ®¬n vÞ cña bèn ph−¬ng t©m mÆt kh«ng ®−îc ®−a ra ë ®©y
nh−ng cã thÓ ®−îc x©y dùng tõ bèn « ®¬n vÞ bèn ph−¬ng t©m khèi. HÖ mét
33
m ë ® Ç u
B¶ng 1.4 Ph©n líp m¹ng kh«ng gian theo hÖ tinh thÓ.
HÖ tinh thÓ §Æc tr−ng h×nh häc Çc kiÓu m¹ng Bravais
LËp ph−¬ng a = b = c, α = β = γ = 90O LËp ph−¬ng ®¬n gi¶n

LËp ph−¬ng t©m khèi
LËp ph−¬ng t©m mÆt
Bèn ph−¬ng a = b ≠ c, α = β = γ = 90 O
Bèn ph−¬ng ®¬n gi¶n
Bèn ph−¬ng t©m khèi
Trùc thoi a ≠ b ≠ c, α = β = γ = 90O Trùc thoi ®¬n gi¶n
Trùc thoi t©m khèi
Trùc thoi t©m mÆt
Trùc thoi t©m ®¸y
Ba ph−¬ng a = b = c, α = β = γ ≠ 90O Ba ph−¬ng ®¬n gi¶n
S¸u ph−¬ng a = b ≠ c, α = β = 90O,γ = 120O S¸u ph−¬ng ®¬n gi¶n
Mét a ≠ b ≠ c, α = γ ≠ β Mét nghiªng ®¬n gi¶n
nghiªng
Mét nghiªng t©m ®¸y
Ba nghiªng a ≠ b ≠ c, α ≠ β ≠ γ ≠ 90O Ba nghiªng ®¬n gi¶n
nghiªng (monoclinic) cã « ®¬n vÞ ®¬n gi¶n vµ t©m ®¸y. Çc hÖ ba ph−¬ng

hay thoi (rhombohedral), s¸u ph−¬ng (hexagonal) vµ ba nghiªng (triclinic)
chØ cã mét kiÓu « ®¬n vÞ ®¬n gi¶n.
1.4.3 CÊu tróc tinh thÓ ®iÓn h×nh

HÇu hÕt çc kim lo¹i c¬ b¶n (kho¶ng 90%) kÕt tinh trªn sù ho¸ r¾n thµnh ba
cÊu tróc tinh thÓ xÕp chÆt: lËp ph−¬ng t©m khèi (LPTK), h×nh 1.15(a), lËp
ph−¬ng t©m mÆt (LPTM), h×nh 1.15(b), vµ s¸u ph−¬ng xÕp chÆt (SPXC),
h×nh 1.15(c). CÊu tróc SPXC lµ mét biÕn thÓ chÆt h¬n cña cÊu tróc s¸u
ph−¬ng ®¬n gi¶n nh− ®−îc chØ ra trong h×nh 1.14. CÊu tróc lËp ph−¬ng ®¬n
gi¶n lµ kh«ng phæ biÕn, kh«ng cã kim lo¹i quan träng nµo cã cÊu tróc nµy.
Poloni anpha (α-Po) lµ nguyªn tè duy nhÊt kÕt tinh thµnh cÊu tróc lËp
34
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.14 M−êi bèn « ®¬n vÞ m¹ng Bravais ®−îc nhãm theo hÖ tinh
thÓ. Çc chÊm ®en biÓu thÞ çc nót m¹ng, khi ®−îc ®Æt trªn mÆt hoÆc ë
çc gãc chóng còng thuéc çc « ®¬n vÞ kh¸c kÒ bªn.
35
m ë ® Ç u
H×nh 1.15 ¤ ®¬n vÞ cña cÊu tróc tinh thÓ ®iÓn h×nh: (a) lËp ph−¬ng t©m khèi,
(b) lËp ph−¬ng t©m mÆt, (c) s¸u ph−¬ng xÕp chÆt.
ph−¬ng ®¬n gi¶n. §a phÇn kim lo¹i kÕt tinh thµnh ba cÊu tróc xÕp chÆt nh−
thÕ v× n¨ng l−îng ®−îc gi¶i phãng khi nguyªn tö xÕp sÝt nhau h¬n vµ liªn kÕt
nhau chÆt h¬n. Nh− vËy, cÊu tróc xÕp chÆt lµ cÊu tróc cã n¨ng l−îng thÊp
h¬n vµ æn ®Þnh h¬n.
KÝch th−íc v« cïng nhá cña « ®¬n vÞ kim lo¹i tinh thÓ nh− ®−îc giíi thiÖu
trong h×nh 1.15 cÇn ®−îc l−u ý ®Æc biÖt. ThÝ dô, c¹nh lËp ph−¬ng cña « ®¬n
vÞ cña Fe lËp ph−¬ng t©m khèi ë nhiÖt ®é phßng lµ 0,287×10-9 m hay
0,287 nm. Do ®ã, nÕu « ®¬n vÞ cña Fe nguyªn chÊt ®−îc s¾p xÕp kÕ tiÕp
nhau trong 1 mm th× sÏ cã tíi:
1 mm × (1 « ®¬n vÞ / 0,287 nm ×10-6 mm / nm) = 3,48×106« ®¬n vÞ !
B©y giê ta h·y kh¶o s¸t chi tiÕt sù s¾p xÕp nguyªn tö trong « ®¬n vÞ cña ba
cÊu tróc tinh thÓ ®iÓn h×nh nãi trªn. Mét çch gÇn ®óng, ta coi çc nguyªn tö
trong ba cÊu tróc nµy lµ qu¶ cÇu cøng. Kho¶ng çch gi÷a çc nguyªn tö
(kho¶ng çch nguyªn tö) trong cÊu tróc tinh thÓ ®−îc x¸c ®Þnh b»ng thùc
nghiÖm ph©n tÝch nhiÔu x¹ tia x. ThÝ dô, kho¶ng çch nguyªn tö gi÷a hai
nguyªn tö nh«m (Al) trong mÉu nh«m nguyªn chÊt ë 20 oC lµ 0,286 nm. B¸n
kÝnh nguyªn tö Al trong kim lo¹i nh«m ®−îc xem b»ng nöa kho¶ng çch
gi÷a çc nguyªn tö hay = 0,143 nm. B¸n kÝnh nguyªn tö cña mét sè kim lo¹i
®−îc cho trong b¶ng 1.5-1.7.
1.4.3.1 HÖ sè xÕp vµ sè s¾p xÕp
Hai ®Æc tr−ng quan träng cña cÊu tróc tinh thÓ lµ sè s¾p xÕp vµ hÖ sè xÕp
(mËt ®é thÓ tÝch) nguyªn tö. §èi víi kim lo¹i, mçi nguyªn tö ®Òu cã mét sè
l−îng nguyªn tö tiÕp xóc hoÆc çch ®Òu gÇn nhÊt, ®ã chÝnh lµ sè s¾p xÕp
(hay sè täa ®é hoÆc sè phèi trÝ). Sè s¾p xÕp cµng lín chøng tá m¹ng tinh thÓ
cµng dµy ®Æc.
36
c h − ¬ n g 1
NÕu nguyªn tö trong « ®¬n vÞ ®−îc coi lµ qu¶ cÇu cøng th× hÖ sè xÕp (HSX)
lµ phÇn thÓ tÝch chiÕm chç bëi çc qu¶ cÇu trong « ®¬n vÞ, hay
sè nguyªn tö trong « ®¬n vÞ × thÓ tÝch mét nguyªn tö
HSX = (1.4)
thÓ tÝch « ®¬n vÞ
CÊu tróc cã gi¸ trÞ HSX lín nhÊt ®−îc gäi lµ cÊu tróc xÕp chÆt. Nh− ta sÏ
thÊy, cÊu tróc lËp ph−¬ng t©m mÆt cã HSX = 0,74. §©y lµ gi¸ trÞ lín nhÊt cã
thÓ cho s¾p xÕp çc qu¶ cÇu cïng kÝch th−íc. CÊu tróc tinh thÓ cã
HSX = 0,74 ®−îc gäi lµ cÊu tróc xÕp chÆt. Trong sè ba cÊu tróc lËp ph−¬ng
chØ cã cÊu tróc LPTM lµ xÕp chÆt.
1.4.3.2 CÊu tróc tinh thÓ lËp ph−¬ng t©m khèi
Tr−íc hÕt, cho r»ng « ®¬n vÞ cña cÊu tróc tinh thÓ LPTK cã vÞ trÝ nguyªn tö
nh− ®−îc chØ ra trong h×nh 1.16(a). Trong « ®¬n vÞ nµy çc qu¶ cÇu n»m ë
çc t©m vÞ trÝ cña çc nguyªn tö vµ chØ râ vÞ trÝ t−¬ng ®èi cña chóng. NÕu ta
coi çc nguyªn tö trong « nµy nh− nh÷ng qu¶ cÇu cøng th× sÏ cã « ®¬n vÞ nh−
trong h×nh 1.16(b). Tõ « ®¬n vÞ ®ã cã thÓ thÊy r»ng nguyªn tö ë t©m ®−îc
bao bëi t¸m nguyªn tö l©n cËn gÇn nhÊt vµ ®−îc gäi cã sè s¾p xÕp lµ 8.
NÕu t¸ch biÖt mét « ®¬n vÞ qu¶ cÇu cøng ta sÏ nhËn ®−îc m« h×nh nh− h×nh
1.16 (c). Cã hai nguyªn tö thuéc « ®¬n vÞ LPTK. Mét phÇn t¸m qu¶ cÇu ë
t¸m gãc cña « t¹o thµnh mét qu¶ cÇu nguyªn tö t−¬ng ®−¬ng vµ mét qu¶ cÇu
trän vÑn n»m ë t©m « ®¬n vÞ. Nh− vËy, tæng sè nguyªn tö n lµ: 1 (ë t©m) + 8
×1/8 (ë çc gãc) = 2 nguyªn tö/« ®¬n vÞ. Ngoµi ra ta cßn thÊy çc vÞ trÝ
nguyªn tö ë gãc vµ ë t©m lµ t−¬ng ®−¬ng. Çc nguyªn tö trong « ®¬n vÞ
LPTK tiÕp xóc nhau däc theo ®−êng chÐo khèi lËp ph−¬ng nh− trong H×nh
1.17, vµ mèi quan hÖ gi÷a chiÒu dµi c¹nh lËp ph−¬ng a vµ b¸n kÝnh nguyªn
tö R lµ
4R
a= (1.5)
3
Sö dông ph−¬ng tr×nh (1.4), HSX cña « ®¬n vÞ LPTK, h×nh 1.15(a), tÝnh ®−îc
lµ 0,68. §iÒu ®ã cã nghÜa 68% cña thÓ tÝch « ®¬n vÞ LPTK ®−îc chiÕm chç
bëi çc nguyªn tö vµ cßn l¹i 32% lµ kh«ng gian trèng. CÊu tróc tinh thÓ
LPTK kh«ng ph¶i lµ cÊu tróc xÕp chÆt v× çc nguyªn tö cã thÓ xÕp sÝt nhau
h¬n. NhiÒu kim lo¹i nh− s¾t (α-Fe), crom (Cr), vonfram (w), molip®en (Mo)
vµ vala®i (V) cã cÊu tróc tinh thÓ LPTK ë nhiÖt ®é phßng. B¶ng 1.5 liÖt kª
h»ng sè m¹ng vµ b¸n kÝnh nguyªn tö cña mét sè kim lo¹i LPTK.
37
m ë ® Ç u
H×nh 1.16 ¤ ®¬n vÞ LPTK : (a) « ®¬n vÞ vÞ trÝ nguyªn tö, (b) « ®¬n vÞ
qu¶ cÇu cøng vµ (c) « ®¬n vÞ t¸ch riªng.
H×nh 1.17 ¤ m¹ng LPTK chØ ra mèi quan hÖ gi÷a h»ng sè m¹ng a vµ
b¸n kÝnh nguyªn tö R.
1.4.3.3 CÊu tróc tinh thÓ lËp ph−¬ng t©m mÆt

H×nh 1.18 (a) lµ « ®¬n vÞ nót m¹ng LPTM. Trong « ®¬n vÞ nµy cã mét nót ë
mçi gãc cña h×nh lËp ph−¬ng vµ mét ë t©m cña mçi mÆt lËp ph−¬ng. M«
h×nh qu¶ cÇu cøng nh− trªn h×nh 1.18 (b) cho thÊy nguyªn tö trong cÊu tróc
tinh thÓ LPTM lµ xÕp chÆt nhÊt cã thÓ ®−îc.
§èi víi cÊu tróc tinh thÓ LPTM trong h×nh 1.18 (c), mçi nguyªn tö ë gãc lµ
thuéc t¸m « ®¬n vÞ: t−¬ng ®−¬ng víi mét nguyªn tö (8×1/8=1), vµ s¸u nöa
38
c h − ¬ n g 1
B¶ng 1.5 Mét sè kim lo¹i cã cÊu tróc tinh thÓ LPTK ë nhiÖt ®é phßng (20OC), h»ng
sè m¹ng vµ b¸n kÝnh nguyªn tö cña chóng.
Kim lo¹i H»ng sè m¹ng a, nm B¸n kÝnh nguyªn tö R, nm
Crom 0, 289 0, 125

S¾t 0, 287 0, 124
Molip®en 0, 315 0, 136
Kali 0, 533 0, 231
Natri 0, 429 0, 186
Tantali 0, 330 0, 143
Vonfram 0, 316 0, 137
Vana®i 0,304 0, 132
nguyªn tö trªn mÆt lËp ph−¬ng ®ãng gãp ba nguyªn tö (6×1/2). Bëi vËy, tæng
sè n lµ 4 nguyªn tö/« ®¬n vÞ. Çc nguyªn tö trong « ®¬n vÞ LPTM tiÕp xóc
nhau trªn h−íng ®−êng chÐo mÆt lËp ph−¬ng, h×nh 1.19, vµ quan hÖ gi÷a
chiÒu dµi c¹nh a cña khèi lËp ph−¬ng vµ b¸n kÝnh nguyªn tö R lµ
4R
a= (1.6)
2
¸p dông ph−¬ng tr×nh (1.4) ta thu ®−îc
4
4( πR 3 )
HSX = 3 = 0,74
(2 2 R ) 3
Nh− vËy gi¸ trÞ HSX=0,74 cña cÊu tróc LPTM xÕp chÆt lín h¬n HSX=0,68
cña cÊu tróc LPTK kh«ng xÕp chÆt. Sè s¾p xÕp cña LPTM lµ 12.
NhiÒu kim lo¹i nh− nh«m (Al), ®ång (Cu), niken (Ni) ë nhiÖt ®é phßng vµ
s¾t (γ-Fe) ë nhiÖt ®é cao (912 ®Õn 1394 oC) kÕt tinh thµnh cÊu tróc tinh thÓ
39
m ë ® Ç u
LPTM. B¶ng 1.6 giíi thiÖu h»ng sè m¹ng vµ b¸n kÝnh nguyªn tö cña mét sè
H×nh 1.18 ¤ ®¬n vÞ LPTM: (a) « ®¬n vÞ vÞ trÝ nguyªn tö, (b) « ®¬n vÞ
qu¶ cÇu cøng vµ (c) « ®¬n vÞ t¸ch riªng.
H×nh 1.19 T−¬ng quan gi÷a h»ng sè m¹ng a vµ b¸n kÝnh nguyªn tö R
trong « ®¬n vÞ LPTM.
kim lo¹i LPTM chän läc.

1.4.3.4 CÊu tróc tinh thÓ s¸u ph−¬ng xÕp chÆt
CÊu tróc tinh thÓ kim lo¹i ®iÓn h×nh thø ba lµ cÊu tróc SPXC nh− trong h×nh
1.20. Kim lo¹i kh«ng kÕt tinh thµnh cÊu tróc tinh thÓ s¸u ph−¬ng ®¬n gi¶n v×
khi Êy gi¸ trÞ HSX qu¸ thÊp. Çc nguyªn tö cã thÓ ®¹t ®−îc n¨ng l−îng thÊp
h¬n vµ ®iÒu kiÖn æn ®Þnh h¬n b»ng çch t¹o thµnh cÊu tróc SPXC. ¤ c¬ b¶n
SPXC lµ khèi l¨ng trô lôc gi¸c gåm s¸u l¨ng trô tam gi¸c ®Òu, çc nguyªn tö
40
c h − ¬ n g 1
n»m t¹i 12 ®Ønh, t©m cña hai mÆt ®¸y vµ t©m cña ba khèi l¨ng trô tam gi¸c
çch nhau, h×nh 1.20. Gi¸ trÞ HSX cña cÊu tróc SPXC lµ 0,74 gièng nh− gi¸
B¶ng 1.6 H»ng sè m¹ng vµ b¸n kÝnh nguyªn tö cña mét sè kim lo¹i cã cÊu tróc tinh
thÓ LPTM ë nhiÖt ®é phßng (20 oC).
Kim lo¹i H»ng sè m¹ng a, nm B¸n kÝnh nguyªn tö R, nm
Nh«m 0, 405 0, 143

§ång 0, 361 0, 128
Vµng 0, 408 0, 144
Ch× 0, 495 0, 175
Niken 0, 352 0, 125
Platin 0, 393 0, 139
B¹c 0, 409 0, 144
trÞ nµy cña cÊu tróc tinh thÓ LPTM. T−¬ng tù nh− cÊu tróc tinh thÓ LPTM
cÊu tróc SPXC cã sè s¾p xÕp lµ 12. Sù kh¸c nhau vÒ s¾p xÕp trong cÊu tróc
tinh thÓ LPTM vµ SPXC sÏ ®−îc bµn ®Õn trong môc 1.4.6.
¤ ®¬n vÞ SPXC t¸ch riªng ®−îc chØ ra trong h×nh 1.20 (c) vµ sè nguyªn tö
t−¬ng ®−¬ng lµ 6 nguyªn tö/« ®¬n vÞ. Ba nguyªn tö t¹o thµnh mét tam gi¸c ë
líp trung gian vµ thuéc trän trong « ®¬n vÞ, h×nh 1.20. Cã s¸u mÆt c¾t 1/6
nguyªn tö cho mçi mÆt ®¸y trªn vµ d−íi - t−¬ng ®−¬ng víi hai nguyªn tö
(2×6×1/6 = 2). Cuèi cïng, cã mét nöa nguyªn tö ë t©m cña c¶ hai mÆt ®¸y
trªn vµ d−íi - t−¬ng ®−¬ng víi mét nguyªn tö. Bëi vËy, tæng sè nguyªn tö n
trong mét « ®¬n vÞ cña cÊu tróc tinh thÓ SPXC lµ 3 + 2 + 1 = 6.
Tû sè chiÒu cao c cña l¨ng trô tinh thÓ SPXC trªn c¹nh ®¸y a ®−îc gäi lµ tû
sè c/a, h×nh 1.20 (a). TØ sè c/a cña cÊu tróc tinh thÓ SPXC lý t−ëng gåm çc
qu¶ cÇu gièng nhau xÕp sÝt nhau cã gi¸ trÞ lµ 1,633. B¶ng 1.7 liÖt kª mét sè
kim lo¹i SPXC quan träng vµ tû sè c/a cña chóng. Trong sè kim lo¹i ®−îc
®−a ra, ca®imi (Cd) vµ kÏm (Zn) cã tû sè c/a cao h¬n gi¸ trÞ lý t−ëng vµ ®iÒu
®ã cho thÊy r»ng çc nguyªn tö trong cÊu tróc nµy h¬i d·n ra däc theo trôc c
cña « ®¬n vÞ SPXC. Çc kim lo¹i magiª (Mg), coban (Co), ziriconi (Zr), titan
41
m ë ® Ç u
(Ti) vµ berili (Be) cã tû sè c/a nhá h¬n tû sè lý t−ëng. Do ®ã, trong çc kim
lo¹i nµy çc nguyªn tö h¬i bÞ nÐn theo h−íng däc trôc c. Nh− vËy, ®èi víi
kim lo¹i ®−îc liÖt kª trong b¶ng 1.7 cã sai lÖch nµo ®ã so víi m« h×nh qu¶
cÇu cøng.
42
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.20 ¤ ®¬n vÞ SPXC: (a) « ®¬n vÞ vÞ trÝ nguyªn tö, (b) « ®¬n vÞ
qu¶ cÇu cøng, vµ (c) « ®¬n vÞ t¸ch riªng.
B¶ng 1.7 Kim lo¹i chän läc cã cÊu tróc tinh thÓ SPXC ë nhiÖt ®é phßng (20 oC),
h»ng sè m¹ng, b¸n kÝnh nguyªn tö vµ tØ sè c/a cña chóng.
H»ng sè m¹ng, nm
B¸n kÝnh % lÖch

nguyªn tö TØ sè khái gi¸ trÞ
Kim lo¹i a c R, nm c/a lý t−ëng
Ca®imi 0,2973 0,5618 0,149 1,890 +15,7

KÏm 0,2665 0,4947 0,133 1,856 +13,6
SPXC lý 1,633 0
t−ëng
Magiª 0,3209 0,5209 0,160 1,623 -0,61
Coban 0,2507 0,4069 0,125 1,623 -0,61
Ziriconi 0,3231 0,5148 0,160 1,593 -2,45
Titan 0,2950 0,4683 0,147 1,587 -2,82
Berili 0,2286 0,3584 0,113 1,568 -3,98
43
m ë ® Ç u
1.4.4 Ph−¬ng vµ mÆt trong m¹ng lËp ph−¬ng

1.4.4.1 VÞ trÝ nguyªn tö trong « c¬ b¶n lËp ph−¬ng
§Ó x¸c ®Þnh vÞ trÝ nguyªn tö trong « c¬ b¶n lËp ph−¬ng ta sö dông hÖ to¹ ®é
vu«ng gãc x, y vµ z. Trong tinh thÓ häc chiÒu d−¬ng cña trôc x th−êng cã
h−íng tõ mÆt trang giÊy ®i ra, trôc d−¬ng y cã h−íng vÒ phÝa bªn ph¶i vµ
trôc d−¬ng z cã h−íng ®i lªn, h×nh 1.21.
VÞ trÝ nguyªn tö trong « c¬ b¶n ®−îc x¸c ®Þnh b»ng çch sö dông kho¶ng
çch ®¬n vÞ däc theo trôc x, y vµ z nh− tr×nh bµy ë h×nh 1.21. ThÝ dô, to¹ ®é
vÞ trÝ cña t¸m nguyªn tö gãc trong « c¬ b¶n LPTK nh− trong h×nh 1.21(b) lµ
(0,0,0) (1,0,0) (0,1,0) (0,0,1) (1,1,1) (1,1,0) (1,0,1) (0,1,1)
Nguyªn tö t©m trong « c¬ b¶n LPTK cã to¹ ®é vÞ trÝ lµ (1/2,1/2,1/2). §Ó ®¬n
gi¶n ®«i khi chØ dïng hai vÞ trÝ nguyªn tö trong « c¬ b¶n nµy ®Ó biÓu diÔn
cho « c¬ b¶n LPTK ®ã lµ (0,0,0) vµ (1/2,1/2,1/2). Çc vÞ trÝ nguyªn tö cßn l¹i
cña « c¬ b¶n LPTK ®−îc coi nh− ®· biÕt. B»ng çch t−¬ng tù còng cã thÓ
x¸c ®Þnh ®−îc vÞ trÝ nguyªn tö trong « c¬ b¶n LPTM.
1.4.4.2 Ph−¬ng tinh thÓ trong m¹ng lËp ph−¬ng
CÇn ph¶i quy chuÈn çc ph−¬ng ®Æc tr−ng trong m¹ng tinh thÓ. §iÒu nµy ®Æc
biÖt quan träng ®èi víi kim lo¹i vµ hîp kim v× tÝnh chÊt cña chóng thay ®æi
theo ph−¬ng tinh thÓ. §èi víi tinh thÓ lËp ph−¬ng chØ sè ph−¬ng tinh thÓ lµ
çc thµnh phÇn vect¬ cña ph−¬ng cÇn t×m däc theo çc trôc to¹ ®é vµ gi¶m
®Õn sè nguyªn nhá nhÊt.
§Ó ghi chØ sè ph−¬ng trong m¹ng lËp ph−¬ng ta vÏ mét vect¬ chØ ph−¬ng tõ
gèc to¹ ®é, th−êng chän lµ gãc cña « c¬ b¶n lËp ph−¬ng, cho ®Õn khi nã lã
ra khái mÆt h×nh lËp ph−¬ng, h×nh 1.22. Çc to¹ ®é vÞ trÝ t¹i chç vect¬ lã ra
sau khi chuyÓn ®æi thµnh sè nguyªn sÏ lµ chØ sè ph−¬ng. Çc ch÷ u,v,w ®−îc
sö dông ®Ó ký hiÖu chung cho çc chØ sè ph−¬ng theo h−íng x, y vµ z t−¬ng
øng vµ ph−¬ng ®−îc ký hiÖu lµ [uvw]. ChØ sè ph−¬ng ©m ®−îc viÕt mét g¹ch
ngang trªn chØ sè ( 1 ). §ã lµ çch ký hiÖu theo ph−¬ng ph¸p Miller. Còng
cÇn ®Æc biÖt l−u ý r»ng mäi vect¬ chØ ph−¬ng song song ®Òu cã chØ sè
ph−¬ng nh− nhau.
ThÝ dô, to¹ ®é vÞ trÝ cña vect¬ OR trong h×nh 1.22(a) n¬i nã lã ra tõ bÒ mÆt lµ
(1,0,0) vµ v× thÕ chØ sè ph−¬ng cña vect¬ OR lµ [100]. To¹ ®é vÞ trÝ cña vect¬
OS, h×nh 1.22(a), lµ (1,1,0) vµ do ®ã chØ sè ph−¬ng cña OS lµ [110]. To¹ ®é
44
c h − ¬ n g 1
H×nh1.21 (a) Trôc to¹ ®é vu«ng gãc x, y vµ z ®Ó x¸c ®Þnh vÞ trÝ nguyªn tö
trong « c¬ b¶n. (b) VÞ trÝ nguyªn tö trong « c¬ b¶n LPTK.
vÞ trÝ cña vect¬ OT, h×nh 1.22(b), lµ (1,1,1) vµ v× vËy chØ sè ph−¬ng cña OT
lµ [1 1 1].
To¹ ®é vÞ trÝ cña vect¬ OM, h×nh 1.22(c), lµ (1,1/2, 0). V× çc vect¬ chØ
ph−¬ng ph¶i cã chØ sè nguyªn nªn to¹ ®é vÞ trÝ nµy ph¶i ®−îc nh©n víi 2 ®Ó
nhËn ®−îc sè nguyªn. Do ®ã çc chØ sè ph−¬ng cña vect¬ OM lµ 2(1,1/2,0)
= [210]. To¹ ®é vÞ trÝ cña vect¬ ON, h×nh 1.22(d), lµ (-1, -1, 0). Nh− vËy çc
chØ sè ph−¬ng cña vect¬ ON lµ [ 1 1 0]. L−u ý r»ng ®Ó vÏ h−íng ON bªn
trong khèi lËp ph−¬ng th× gèc to¹ ®é cña vect¬ chØ ph−¬ng ph¶i ®−îc chuyÓn
vÒ gãc phÝa tr−íc bªn ph¶i thÊp h¬n cña « c¬ b¶n, h×nh 1.22(d).
Çc ph−¬ng ®−îc coi lµ t−¬ng ®−¬ng tinh thÓ häc nÕu kho¶ng çch nguyªn
tö däc theo mçi ph−¬ng lµ gièng nhau. Çc ph−¬ng t−¬ng ®−¬ng t¹o thµnh
mét d¹ng ph−¬ng hay mét hä ph−¬ng vµ ®−îc ký hiÖu lµ <uvw>. Çc
ph−¬ng trong mét hä cã chØ sè tuyÖt ®èi gièng nhau, chØ ®æi chç cho nhau.
ThÝ dô, çc ph−¬ng c¹nh h×nh lËp ph−¬ng sau ®©y lµ çc ph−¬ng t−¬ng
®−¬ng tinh thÓ häc:
[1 0 0], [0 1 0], [0 0 1], [0 0 1 ], [0 1 0], [ 1 0 0] ≡ <1 0 0>
Ký hiÖu <100> ®−îc sö dông ®Ó chØ cho çc ph−¬ng c¹nh h×nh lËp ph−¬ng.
Çc ph−¬ng kh¸c cña hä ph−¬ng lµ çc ®−êng chÐo khèi lËp ph−¬ng <111>
vµ ®−êng chÐo mÆt lËp ph−¬ng <110>.
45
m ë ® Ç u
H×nh 1.22 Mét sè ph−¬ng trong hÖ lËp ph−¬ng.
1.4.4.3 ChØ sè Miller cña mÆt tinh thÓ trong m¹ng lËp ph−¬ng
§«i khi cÇn ph¶i xem xÐt çc mÆt ph¼ng m¹ng nguyªn tö riªng biÖt trong
cÊu tróc tinh thÓ, hoÆc còng rÊt thó vÞ khi biÕt ®−îc ®Þnh h−íng tinh thÓ cña
mét mÆt ph¼ng hoÆc mét hä mÆt trong m¹ng tinh thÓ. §Ó x¸c ®Þnh çc mÆt
ph¼ng tinh thÓ trong cÊu tróc lËp ph−¬ng ng−êi ta sö dông chØ sè Miller. ChØ
sè Miller cña mÆt ph¼ng tinh thÓ ®−îc x¸c ®Þnh lµ nghÞch ®¶o giao ®iÓm
ph©n sè cña mÆt tinh thÓ c¾t trªn trôc tinh thÓ x, y vµ z cña ba c¹nh kh«ng
song song cña « c¬ b¶n lËp ph−¬ng. C¹nh lËp ph−¬ng cña « c¬ b¶n ®−îc lÊy
lµm ®¬n vÞ ®o chiÒu dµi vµ vÞ trÝ c¾t cña mÆt tinh thÓ ®−îc ®o theo thµnh
phÇn cña chiÒu dµi ®¬n vÞ nµy.
Tr×nh tù ®Ó x¸c ®Þnh çc chØ sè Miller cho mÆt ph¼ng tinh thÓ lËp ph−¬ng
nh− sau:
1. Chän mét mÆt ph¼ng kh«ng ®i qua gèc to¹ ®é (0,0,0).
2. X¸c ®Þnh çc to¹ ®é giao ®iÓm cña mÆt ph¼ng víi çc trôc x, y vµ z cña «
®¬n vÞ lËp ph−¬ng. To¹ ®é giao ®iÓm ®ã cã thÓ lµ ph©n sè.
3. LÊy nghÞch ®¶o çc to¹ ®é giao ®iÓm nµy.
4. TriÖt tiªu çc ph©n sè vµ x¸c ®Þnh tËp sè nguyªn nhá nhÊt. Çc sè nµy
chÝnh lµ chØ sè Miller cña mÆt ph¼ng tinh thÓ. Çc ch÷ h,k,l ®−îc sö dông
®Ó ký hiÖu chung cho çc chØ sè Miller cña mÆt ph¼ng tinh thÓ lËp ph−¬ng
theo trôc x, y vµ z t−¬ng øng vµ mÆt tinh thÓ lËp ph−¬ng ®−îc ký hiÖu lµ
(hkl). ChØ sè ©m ®−îc viÕt mét dÊu g¹ch ngang trªn chØ sè ( 1 ).
H×nh 1.23 giíi thiÖu ba mÆt ph¼ng tinh thÓ quan träng nhÊt cña cÊu tróc tinh
thÓ lËp ph−¬ng vµ h×nh 1.24 m« t¶ mÆt tinh thÓ lËp ph−¬ng cã to¹ ®é giao
46
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.23 ChØ sè Miller cña mét sè mÆt tinh thÓ lËp ph−¬ng quan
träng: (a) (1 0 0), (b) (1 1 0) vµ (c) (1 1 1 ), çc mÆt cã mµu x¸m.
H×nh 1.24 MÆt tinh thÓ lËp ph−¬ng cã giao ®iÓm ph©n sè (a) vµ mÆt
qua gèc täa ®é (b), çc mÆt cã mµu x¸m.
®iÓm ph©n sè vµ ®i qua gèc täa ®é. Theo tr×nh tù trªn cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc
chØ sè Miller cho çc mÆt tinh thÓ nµy nh− sau:
Cho mÆt trong h×nh 1.23(a):
x y z
To¹ ®é ®iÓm c¾t 1 ∞ ∞
LÊy nghÞch ®¶o 1 0 0
TriÖt tiªu ph©n sè 1 0 0
Do ®ã mÆt nµy cã chØ sè Miller lµ (100).
47
m ë ® Ç u
Cho mÆt ë h×nh 1.24 (a):

x y z
To¹ ®é ®iÓm c¾t 1/3 2/3 1
LÊy nghÞch ®¶o 3 3/2 1
TriÖt tiªu ph©n sè 6 3 2
Nh− thÕ chØ sè Miller cña mÆt nµy lµ (632).
Thùc hiÖn t−¬ng tù ta nhËn ®−îc chØ sè Miller (110) vµ (111) cho mÆt trong
h×nh 1.23(b) vµ (c) t−¬ng øng. L−u ý r»ng nÕu mÆt ph¼ng tinh thÓ quan t©m
®i qua gèc täa ®é lµm cho mét hoÆc nhiÒu h¬n täa ®é giao ®iÓm b»ng kh«ng
th× mÆt ph¼ng ph¶i ®−îc dÞch tíi vÞ trÝ t−¬ng ®−¬ng trong « c¬ b¶n vµ nã ph¶i
song song víi mÆt ban ®Çu. §iÒu nµy cã thÓ thùc hiÖn ®−îc v× mäi mÆt song
song t−¬ng ®−¬ng ®Òu ®−îc ký hiÖu víi çc chØ sè Miller gièng nhau. ThÝ
dô, theo çch nµy chØ sè Miller cña mÆt trong h×nh 1.24(b) sÏ lµ (010).
NÕu tËp mÆt tinh thÓ t−¬ng ®−¬ng liªn quan víi nhau bëi tÝnh ®èi xøng cña
hÖ tinh thÓ th× chóng ®−îc gäi lµ hä mÆt hay d¹ng mÆt. ChØ sè Miller cña
mét mÆt thuéc hä ®−îc ®Æt trong dÊu mãc {h k l} ®Ó ký hiÖu cho çc chØ sè
cña hä mÆt ®èi xøng. ThÝ dô, chØ sè Miller cña çc mÆt lËp ph−¬ng (100),
(010) vµ (001) lµ ký hiÖu cña hä mÆt {100}.
Mét quan hÖ quan träng trong hÖ lËp ph−¬ng vµ chØ trong hÖ lËp ph−¬ng lµ
çc chØ sè ph−¬ng cña ph−¬ng vu«ng gãc víi mét mÆt tinh thÓ th× gièng nh−
çc chØ sè Miller cña chÝnh mÆt ph¼ng ®ã. ThÝ dô, ph−¬ng [100] lµ vu«ng
gãc víi mÆt tinh thÓ (100).
Trong cÊu tróc tinh thÓ lËp ph−¬ng kho¶ng çch gi÷a çc mÆt ph¼ng gi÷a hai
mÆt song song gÇn nhÊt cã cïng chØ sè Miller ®−îc ký hiÖu lµ dhkl, trong ®ã
h, k vµ l lµ chØ sè Miller cña çc mÆt. Kho¶ng çch nµy biÓu thÞ kho¶ng çch
tõ gèc täa ®é ®−îc chän chøa mét mÆt vµ mÆt song song kia cã cïng chØ sè
vµ ë gÇn nã nhÊt. ThÝ dô, kho¶ng çch gi÷a çc mÆt (110)1 vµ (110)2 lµ d110
vµ chÝnh lµ ®é dµi AB, h×nh 1.25. T−¬ng tù, kho¶ng çch gi÷a mÆt (110)2 vµ
mÆt (110)3 lµ d110 vµ b»ng ®é dµi BC, h×nh 1.25. Tõ h×nh häc ®¬n gi¶n cã thÓ
thÊy r»ng kho¶ng çch dhkl gi÷a çc mÆt l©n cËn song song cho hÖ lËp
ph−¬ng lµ
1 h2 + k 2 + l 2
2
= (1.7)
d hkl a2
48
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.25 ¤ c¬ b¶n lËp ph−¬ng nh×n tõ trªn cho thÊy kho¶ng çch gi÷a çc
mÆt ph¼ng (110), d110.
trong ®ã (hkl) lµ chØ sè Miller cña mÆt lËp ph−¬ng quan t©m vµ a lµ h»ng sè
m¹ng. Ph−¬ng tr×nh nµy chØ ¸p dông cho hÖ lËp ph−¬ng song ph−¬ng tr×nh
t−¬ng tù còng cã thÓ thiÕt lËp ®−îc cho çc hÖ tinh thÓ kh¸c.
L−u ý r»ng çc mÆt (hkl) vµ (nh nk nl), n lµ sè nguyªn, lµ song song nhau,
nh−ng kho¶ng çch mÆt ph¼ng cña çc mÆt (nh nk nl) b»ng 1/n kho¶ng çch
cña mÆt (hkl). Nh− trong h×nh 1.26, çc mÆt (100) vµ (200) lµ song song,
nh−ng kho¶ng çch cña çc mÆt (200) b»ng 1/2 kho¶ng çch cña çc mÆt
(100). ThÝ dô, trong oxit magiª (MgO) kho¶ng çch cña çc mÆt (200) lµ
0,2106 nm; kho¶ng çch cña mÆt (400) lµ 0,1053 nm.
1.4.5 Ph−¬ng vµ mÆt trong m¹ng s¸u ph−¬ng xÕp chÆt

1.4.5.1 ChØ sè mÆt tinh thÓ trong « c¬ b¶n SPXC
MÆt tinh thÓ trong « c¬ b¶n SPXC th−êng ®−îc x¸c ®Þnh b»ng bèn chØ sè
thay v× ba nh− trong « c¬ b¶n lËp ph−¬ng. Çc chØ sè mÆt tinh thÓ SPXC, gäi
lµ chØ sè Miller-Bravais, ®−îc ký hiÖu b»ng bèn ch÷ h, k, i vµ l vµ ®−îc ®Æt
trong ngoÆc ®¬n: (hkil). Bèn chØ sè s¸u ph−¬ng xÕp chÆt nµy ®−îc thiÕt lËp
dùa vµo hÖ to¹ ®é bèn trôc trong « c¬ b¶n SPXC nh− chØ ra trong h×nh 1.27.
49
m ë ® Ç u
H×nh 1.26 Sù kh¸c nhau gi÷a çc mÆt (100) (a) vµ (200) (b).
Cã ba trôc c¬ së a1, a2 vµ a3 hîp víi nhau tõng ®«i mét gãc 120o. Trôc thø t−
hay trôc c lµ trôc ®øng ®Æt t¹i t©m cña « c¬ b¶n. §¬n vÞ a cña phÐp ®o däc
theo çc trôc a1, a2 vµ a3 lµ h»ng sè m¹ng däc theo çc trôc nµy nh− trong
h×nh 1.27. §¬n vÞ ®o theo trôc c lµ chiÒu cao cña « c¬ b¶n. NghÞch ®¶o cña
to¹ ®é ®iÓm giao cña mÆt tinh thÓ víi çc trôc a1, a2 vµ a3 sÏ ®−îc çc chØ sè
h, k vµ i, vµ nghÞch ®¶o cña to¹ ®é ®iÓm giao víi trôc c sÏ ®−îc chØ sè l.
MÆt ®¸y
Çc mÆt ®¸y cña « c¬ b¶n SPXC lµ nh÷ng mÆt rÊt quan träng trong « c¬ b¶n
nµy vµ cho thÊy ë h×nh 1.28(a). V× mÆt ®¸y trªn cña « c¬ b¶n SPXC trong
h×nh 1.28(a) lµ song song víi trôc a1, a2 vµ a3 nªn giao ®iÓm cña çc mÆt nµy
víi çc trôc sÏ kh«ng x¸c ®Þnh. Do vËy a1= a2 = a3 = ∞. Tuy nhiªn, to¹ ®é
giao ®iÓm trªn trôc c b»ng mét v× mÆt ®¸y trªn c¾t trôc c t¹i kho¶ng çch
b»ng mét. LÊy nghÞch ®¶o cña çc giao ®iÓm nµy sÏ nhËn ®−îc çc chØ sè
Miller - Bravais cña mÆt ®¸y SPXC. Nh− vËy h = 0, k = 0, i = 0 vµ l = 1. Do
®ã mÆt ®¸y SPXC lµ mÆt (0001).
MÆt bªn
B»ng ph−¬ng ph¸p t−¬ng tù nh− trªn, giao ®iÓm cña mÆt bªn hay mÆt l¨ng
kÝnh phÝa tr−íc ABCD trong h×nh 1.28 (b) lµ a1 = +1, a2 = ∞, a3 = -1, c = ∞.
LÊy nghÞch ®¶o cña çc giao ®iÓm nµy sÏ ®−îc h = 1, k = 0, i = -1 vµ l = 0,
hay mÆt (10 1 0). T−¬ng tù, mÆt bªn ABEF ë h×nh 1.28 (b) cã chØ sè (1 1 00)
vµ mÆt DCGH cã chØ sè (01 1 0). TÊt c¶ çc mÆt bªn SPXC cã thÓ x¸c ®Þnh
®−îc t¹o thµnh hä mÆt {10 1 0}.
50
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.27 Bèn trôc to¹ ®é a1, a2 , a3 vµ c cña « c¬ b¶n cÊu tróc s¸u ph−¬ng
xÕp chÆt.
§«i khi çc mÆt SPXC ®−îc x¸c ®Þnh chØ b»ng ba chØ sè (hkl) v× h+k = -i. Tuy
nhiªn, chØ sè (hkil) ®−îc dïng th«ng dông h¬n v× chóng thÓ hiÖn tÝnh ®èi
xøng s¸u ph−¬ng cña « c¬ b¶n SPXC.
1.4.5.2 ChØ sè ph−¬ng trong m¹ng SPXC
Çc ph−¬ng trong m¹ng SPXC th−êng ®−îc ký hiÖu b»ng bèn chØ sè u, v, t
vµ w ®Æt trong ngoÆc vu«ng [u v t w]. Çc chØ sè u, v vµ t ®−îc x¸c ®Þnh theo
çc h−íng a1, a2 vµ a3 t−¬ng øng, h×nh 1.27, cßn chØ sè w ®−îc x¸c ®Þnh theo
h−íng c, vµ u+v = - t. Mét sè ph−¬ng quan träng trong m¹ng SPXC lµ
[2 1 1 0], [ 1 2 1 0], [ 1 1 20] nh− trong h×nh 1.29.
1.4.6 So s¸nh cÊu tróc tinh thÓ LPTM, SPXC vµ LPTK

1.4.6.1 CÊu tróc tinh thÓ lËp ph−¬ng t©m mÆt vµ s¸u ph−¬ng xÕp chÆt
Nh− trªn ®· tr×nh bµy c¶ hai cÊu tróc LPTM vµ SPXC ®Òu lµ cÊu tróc xÕp
chÆt. NghÜa lµ çc nguyªn tö cña chóng ®−îc coi gÇn ®óng lµ "qu¶ cÇu" xÕp
sÝt nhau sao cho hÖ sè xÕp nguyªn tö ®¹t ®−îc 0,74. Çc mÆt (111) cña cÊu
tróc tinh thÓ LPTM nh− trong h×nh 1.30 (a) cã sù s¾p xÕp gièng nh− çc mÆt
(0001) cña cÊu tróc tinh thÓ SPXC trong h×nh 1.30 (b). Tuy nhiªn cÊu tróc
tinh thÓ LPTM vµ SPXC ba chiÒu lµ kh¸c nhau vÒ s¾p xÕp çc mÆt ph¼ng
nguyªn tö cña chóng mµ ®iÒu ®ã cã thÓ m« t¶ tèt nhÊt b»ng m« h×nh s¾p xÕp
çc qu¶ cÇu cøng.
51
m ë ® Ç u
H×nh 1.28 ChØ sè Miller - Bravais cña mÆt tinh thÓ s¸u ph−¬ng xÕp
chÆt: (a) çc mÆt ®¸y, (b) çc mÆt bªn.
H×nh 1.29 Mét sè ph−¬ng quan träng trong « c¬ b¶n s¸u ph−¬ng xÕp chÆt.
Tr−íc hÕt gi¶ thiÕt t©m cña çc nguyªn tö trong mét mÆt ph¼ng nguyªn tö
xÕp chÆt ®−îc ký hiÖu lµ A nh− trong h×nh 1.31(a). L−u ý r»ng cã hai tËp chç
lâm t−¬ng ®−¬ng ®−îc t¹o bëi çc nguyªn tö kÕ cËn mµ çc nguyªn tö cña
mÆt tiÕp theo cã thÓ ®Æt vµo. Chç lâm phÝa trªn trang giÊy ®−îc kÝ hiÖu lµ
lâm B vµ phÝa d−íi trang giÊy lµ lâm C, h×nh 1.31(a).
MÆt ph¼ng xÕp chÆt thø hai cã thÓ ®−îc t¹o thµnh b»ng çch ®Æt çc t©m
nguyªn tö cña nã vµo vÞ trÝ B hoÆc C, hai vÞ trÝ nµy lµ t−¬ng ®−¬ng. Gi¶ sö
r»ng çc vÞ trÝ B ®−îc chän th× tr×nh tù s¾p xÕp sÏ lµ AB nh− ®−îc minh ho¹
trong h×nh 1.31(b). Sù kh¸c nhau thùc chÊt gi÷a LPTM vµ SPXC lµ ë vÞ trÝ
52
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.30 So s¸nh cÊu tróc tinh thÓ LPTM cã mÆt (111) xÕp chÆt (a)
víi cÊu tróc tinh thÓ SPXC cã mÆt (0001) xÕp chÆt (b).
xÕp ®Æt nguyªn tö cña líp xÕp chÆt thø ba. NÕu t©m nguyªn tö cña líp thø ba
nµy ®−îc ®Æt th¼ng hµng phÝa trªn çc vÞ trÝ nguyªn tö A ban ®Çu th× sÏ nhËn
®−îc cÊu tróc tinh thÓ SPXC vµ tr×nh tù s¾p xÕp lÆp l¹i lµ ABABAB... nh−
trong h×nh 1.31 (b). Çc mÆt xÕp chÆt nµy cho SPXC lµ çc mÆt kiÓu (0001).
§èi víi cÊu tróc tinh thÓ LPTM, çc t©m nguyªn tö cña mÆt thø ba n»m
th¼ng hµng trªn çc vÞ trÝ C cña mÆt thø nhÊt, vµ tr×nh tù s¾p xÕp lÆp l¹i lµ
ABCABCABC... nh− trong h×nh 1.31 (c). Çc mÆt xÕp chÆt nµy trong LPTM
lµ çc mÆt kiÓu (111).
1.4.6.2 CÊu tróc tinh thÓ lËp ph−¬ng t©m khèi
CÊu tróc tinh thÓ LPTK kh«ng ph¶i lµ cÊu tróc xÕp chÆt vµ v× thÕ kh«ng cã
mÆt xÕp chÆt gièng nh− çc mÆt {111} trong cÊu tróc LPTM vµ çc mÆt
{0001} trong cÊu tróc SPXC. Çc mÆt s¾p xÕp víi mËt ®é cao nhÊt trong cÊu
tróc LPTK lµ hä mÆt {110} vµ mét trong sè ®ã lµ mÆt (110) nh− chØ ra trong
h×nh 1.32 (b). Tuy nhiªn, çc nguyªn tö trong cÊu tróc LPTK còng cã çc
ph−¬ng xÕp khÝt däc theo çc ®−êng chÐo khèi lËp ph−¬ng, ®ã lµ çc ph−¬ng
<111>.
53
m ë ® Ç u
H×nh 1.31 Sù h×nh thµnh cÊu tróc tinh thÓ SPXC vµ LPTM b»ng çch s¾p xÕp
çc mÆt ph¼ng nguyªn tö. (a) Mét phÇn cña mÆt ph¼ng nguyªn tö xÕp chÆt
víi çc vÞ trÝ A, B vµ C. (b) Tr×nh tù xÕp AB cña mÆt nguyªn tö xÕp chÆt cho
cÊu tróc SPXC. (c) Tr×nh tù xÕp chÆt ABC t¹o nªn cÊu tróc tinh thÓ LPTM.
1.4.7 TÝnh to¸n mËt ®é khèi l−îng, mÆt vµ ®−êng

NÕu quan niÖm nguyªn tö (ion) nh− nh÷ng qu¶ cÇu th× dï cã xÕp chÆt ®Õn
®©u còng kh«ng thÓ ®Æc kÝn hoµn toµn. Bëi vËy ng−êi ta ®−a ra kh¸i niÖm vÒ
mËt ®é nguyªn tö v× nhiÒu tÝnh chÊt vËt lý nh− khuÕch t¸n vµ c¬ tÝnh liªn
quan mËt thiÕt ®Õn mËt ®é nguyªn tö. Ngoµi hÖ sè xÕp nh− ®· nãi ®Õn ë trªn,
møc ®é dµy ®Æc trong s¾p xÕp nguyªn tö cßn ®−îc ®¸nh gi¸ th«ng qua çc
®¹i l−îng mËt ®é khèi l−îng (hay mËt ®é), mËt ®é nguyªn tö mÆt vµ ®−êng.
1.4.7.1 MËt ®é
B»ng çch sö dông m« h×nh nguyªn tö qu¶ cÇu cøng cho « ®¬n vÞ trong cÊu
tróc tinh thÓ cña kim lo¹i vµ gi¸ trÞ b¸n kÝnh nguyªn tö cña kim lo¹i nhËn
®−îc nhê ph©n tÝch nhiÔu x¹ tia x cã thÓ tÝnh ®−îc mËt ®é ρ cña kim lo¹i
theo biÓu thøc:
sè nguyªn tö thuéc « ®¬n vÞ × khèi l−îng mét nguyªn tö
ρ= (1.8)
thÓ tÝch « ®¬n vÞ
54
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.32 CÊu tróc tinh thÓ LPTK chØ râ: (a) mÆt (100) vµ (b) mÆt c¾t
cña mÆt (110).
ThÝ dô: §ång cã b¸n kÝnh nguyªn tö lµ 0,128 nm (1,28 Å), cÊu tróc LPTM
vµ khèi l−îng nguyªn tö lµ 63,5 g/mol. H·y tÝnh gi¸ trÞ mËt ®é cña ®ång.
Gi¶i:
§èi víi « ®¬n vÞ LPTM, h»ng sè m¹ng a = 4R/21/2, v× vËy thÓ tÝch « ®¬n vÞ
LPTM lµ 16R3 21/2, trong ®ã b¸n kÝnh nguyªn tö ®ång R = 0,128 nm. Trong «
®¬n vÞ LPTM cã 4 nguyªn tö/« ®¬n vÞ. Mçi nguyªn tö ®ång cã khèi l−îng lµ
(63,5g/mol)/(6,023×1023nguyªn tö/mol). Thay çc th«ng sè nµy vµo ph−¬ng
tr×nh (1.8) ta ®−îc mËt ®é thÓ tÝch cña ®ång lµ
(4 nguyªn tö/« ®¬n vÞ) × (63,5 g/mol)
ρ= =8,89g/cm3
[16×21/2(1,28×10-8 cm)3/« ®¬n vÞ] (6,023×1023nguyªn tö/mol)
Trong thÝ dô trªn mËt ®é cña ®ång tÝnh ®−îc lµ 8,89 g/cm3. Gi¸ trÞ lý thuyÕt
nµy rÊt s¸t víi mËt ®é thùc nghiÖm 8,94 g/cm3 cña ®ång trong tµi liÖu tra
cøu. MËt ®é h¬i thÊp h¬n gi¸ trÞ thùc nghiÖm cã thÓ lµ do sù v¾ng mÆt cña
nguyªn tö ë mét sè vÞ trÝ nguyªn tö (çc vacancy), khuyÕt tËt ®−êng vµ biªn
giíi h¹t. Çc khuyÕt tËt tinh thÓ nµy sÏ ®−îc th¶o luËn trong phÇn sau.
Nguyªn nh©n kh¸c cã thÓ lµ do nguyªn tö kh«ng ph¶i lµ qu¶ cÇu hoµn h¶o.
55
m ë ® Ç u
H×nh 1.33 (a) ¤ c¬ b¶n vÞ trÝ nguyªn tö LPTK, mÆt (110). (b) DiÖn tÝch cña
çc nguyªn tö trong « c¬ b¶n LPTK c¾t bëi mÆt (110).
1.4.7.2 MËt ®é nguyªn tö mÆt

§¹i l−îng mËt ®é nguyªn tö mÆt ρs ®−îc tÝnh theo c«ng thøc sau
sè nguyªn tö trªn mÆt tinh thÓ
ρs = (1.9)
diÖn tÝch mÆt tinh thÓ
ThÝ dô, tÝnh mËt ®é mÆt cña mÆt (110) trong « c¬ b¶n LPTK nh− trong h×nh
1.33. §èi víi diÖn tÝch mét nguyªn tö ®−îc ®Õm trong tÝnh to¸n nµy th× t©m
cña nã ph¶i giao víi diÖn tÝch mÆt ®ang quan t©m. Trong h×nh 1.33 mÆt
(110) giao víi t©m cña n¨m nguyªn tö, nh−ng sè l−îng nguyªn tö t−¬ng
®−¬ng chØ lµ hai v× chØ cã mét phÇn t− cña mçi nguyªn tö ë bèn gãc lµ thuéc
diÖn tÝch trong « c¬ b¶n. Nh− vËy mËt ®é nguyªn tö mÆt trªn mÆt (110) cña
vËt liÖu cã cÊu tróc LPTK ë h×nh 3.22 lµ
2 2
ρs = =
2a × a 2a 2
M¹ng α-Fe cã h»ng sè m¹ng a = 0,287nm, mËt ®é nguyªn tö mÆt (110) tÝnh
®−îc lµ 17,2 nguyªn tö/nm2 (17,2×1012 nguyªn tö/mm2). Çc mÆt cã chØ sè
56
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.34 S¬ ®å ®Ó tÝnh mËt ®é nguyªn tö ®−êng theo ph−¬ng [110] trong «
c¬ b¶n LPTM.
thÊp nhÊt (gäi lµ mÆt chØ sè thÊp) sÏ cã kho¶ng çch gi÷a çc mÆt ph¼ng d
lín nhÊt vµ mËt ®é nót m¹ng (nguyªn tö) cao nhÊt vµ nh− ta sÏ thÊy, chóng
cho ph¶n x¹ víi c−êng ®é m¹nh nhÊt trªn ¶nh nhiÔu x¹ tia x.
1.4.7.3 MËt ®é nguyªn tö ®−êng
§«i khi cÇn ph¶i x¸c ®Þnh mËt ®é nguyªn tö ®−êng trªn çc ph−¬ng kh¸c
nhau trong cÊu tróc tinh thÓ. MËt ®é nguyªn tö ®−êng ρl ®−îc tÝnh theo c«ng
thøc:
sè nguyªn tö trªn ®−êng
ρl = (1.10)
chiÒu dµi ®−êng
H×nh 1.34 lµ s¬ ®å thÝ dô ®Ó tÝnh to¸n mËt ®é nguyªn tö ®−êng theo ph−¬ng
[110] trong « c¬ b¶n LPTM. ChiÒu dµi cña ®−êng lùa chän ®Ó tÝnh lµ chiÒu
dµi ®−êng chÐo mÆt cña « c¬ b¶n LPTM vµ b»ng 21/2a. Sè nguyªn tö cã
®−êng kÝnh giao víi chiÒu dµi cña ®−êng lµ 1/2 +1+1/2 = 2 nguyªn tö. Nh−
vËy tõ ph−¬ng tr×nh (1.10) tÝnh ®−îc mËt ®é nguyªn tö ®−êng theo ph−¬ng
[110] lµ
2
ρl =
2a
§ång cã h»ng sè m¹ng a = 0,361 nm, mËt ®é nguyªn tö ®−êng [110] tÝnh
®−îc lµ 3,92 x106 nguyªn tö/mm.
57
m ë ® Ç u
H×nh 1.35 Çc lo¹i lç hæng trong m¹ng LPTM (a) vµ LPTK (b).
1.4.8 Lç hæng
Lç hæng lµ kh«ng gian trèng bÞ giíi h¹n bëi h×nh khèi nhiÒu mÆt mµ mçi
®Ønh khèi lµ t©m nguyªn tö hoÆc ion t¹i nót m¹ng, h×nh 1.35(a) vµ (b). KÝch
th−íc lç hæng ®−îc ®¸nh gi¸ b»ng b¸n kÝnh cña qu¶ cÇu lín nhÊt cã thÓ ®Æt
lät vµo kh«ng gian trèng ®ã. H×nh d¹ng, kÝch th−íc lç hæng phô thuéc vµo
kiÓu cÊu tróc m¹ng. KÝch th−íc cña lç hæng ®ãng vai trß quyÕt ®Þnh trong sù
cho phÐp çc nguyªn tö kh¸c lo¹i hoµ trén vµo, ®Æc biÖt lµ ¸ kim vµo kim
lo¹i. Lç hæng th−êng gÆp cã d¹ng khèi bèn mÆt vµ t¸m mÆt. h×nh 1.35 m« t¶
hai lo¹i lç hæng nµy trong m¹ng LPTM vµ LPTK. ThÝ dô, m¹ng LPTM cã 4
lç hæng 8 mÆt víi kÝch th−íc lín nhÊt n»m ë t©m khèi vµ gi÷a çc c¹nh vµ 8
lç hæng 4 mÆt víi kÝch th−íc nhá h¬n n»m ë 1/4 ®−êng chÐo khèi tÝnh tõ
®Ønh, h×nh 1.35(a). B¶ng 1.8 liÖt kª d¹ng vµ sè l−îng lç hæng trong mét sè
m¹ng tinh thÓ ®iÓn h×nh.
1.4.9 TÝnh ®a h×nh hay tÝnh thï h×nh

NhiÒu nguyªn tè vµ hîp chÊt tån t¹i ë nhiÒu h¬n mét d¹ng tinh thÓ trong
®iÒu kiÖn nhiÖt ®é vµ ¸p suÊt kh¸c nhau. HiÖn t−îng nµy ®−îc gäi víi thuËt
ng÷ lµ tÝnh ®a h×nh hay tÝnh thï h×nh. NhiÒu kim lo¹i quan träng nh− s¾t,
58
c h − ¬ n g 1
B¶ng 1.8 D¹ng vµ sè l−îng lç hæng trong mét sè m¹ng tinh thÓ.
CÊu tróc m¹ng Sè l−îng lç hæng Sè l−îng lç hæng

tinh thÓ D¹ng lç hæng trong « c¬ b¶n trªn mét nguyªn tö
S¸u ph−¬ng Khèi 4 mÆt 12 2

xÕp chÆt
Khèi 8 mÆt 6 1
LËp ph−¬ng Khèi 4 mÆt 8 2
t©m mÆt
Khèi 8 mÆt 4 1
LËp ph−¬ng Khèi 4 mÆt 12 6
t©m khèi
Khèi 8 mÆt 6 3
LËp ph−¬ng Khèi lËp 1 1
®¬n gi¶n ph−¬ng
titan vµ coban ph¶i qua chuyÓn biÕn thï h×nh khi nhiÖt ®é t¨ng cao d−íi ¸p
suÊt khÝ quyÓn. B¶ng 1.9 liÖt kª mét sè kim lo¹i chän läc cho thÊy sù chuyÓn
biÕn thï h×nh vµ sù thay ®æi cÊu tróc khi cã sù biÕn ®æi thu h×nh.
S¾t tån t¹i ë c¶ hai cÊu tróc tinh thÓ LPTK vµ LPTM trong suèt thang nhiÖt
®é tõ nhiÖt ®é phßng ®Õn ®iÓm nãng ch¶y cña nã t¹i 1539 OC. S¾t anpha (α)
tån t¹i tõ – 273 OC ®Õn 912 OC vµ cã cÊu tróc tinh thÓ LPTK. S¾t gama (γ)
tån t¹i tõ 912 OC ®Õn 1394 OC vµ cã cÊu tróc tinh thÓ LPTM. S¾t delta (δ) tån
t¹i tõ 1394 OC ®Õn 1539 OC, lµ ®iÓm nãng ch¶y cña s¾t. CÊu tróc tinh thÓ cña
s¾t δ lµ LPTK nh−ng h»ng sè m¹ng cña nã lín h¬n cña s¾t α.
1.4.10 Sai lÖch m¹ng tinh thÓ

Trong thùc tÕ tinh thÓ kh«ng bao giê hoµn chØnh mµ chøa çc d¹ng kh«ng
hoµn chØnh vµ khuyÕt tËt kh¸c nhau. Çc lo¹i sai háng nµy ¶nh h−ëng ®Õn
çc tÝnh chÊt c¬ häc vµ vËt lý cña tinh thÓ vµ v× vËy ¶nh h−ëng nhiÒu ®Õn
tÝnh chÊt kü thuËt quan träng cña vËt liÖu nh− tÝnh biÕn d¹ng nguéi cña hîp
kim, tÝnh dÉn ®iÖn cña chÊt b¸n dÉn, tèc ®é di chuyÓn cña nguyªn tö trong
hîp kim vµ sù ¨n mßn kim lo¹i.
59
m ë ® Ç u
B¶ng 1.9 D¹ng tinh thÓ thï h×nh cña mét sè kim lo¹i.
CÊu tróc tinh thÓ
Kim lo¹i ë nhiÖt ®é phßng ë nhiÖt ®é kh¸c
Ca LPTM LPTK (>447 oC)

Co SPXC LPTM (>427 oC)
Hf SPXC LPTK (>1742 oC)
Fe LPTK LPTM (912-1394 oC)
LPTK (>1394 oC)
Li LPTK SPXC (<-193 oC)
Na LPTK SPXC (<-233 oC)
Ti SPXC LPTK (>880 oC)
Y SPXC LPTK (>1481 oC)
Zr SPXC LPTK (>872 oC)
Sai lÖch m¹ng tinh thÓ ®−îc ph©n lo¹i theo h×nh häc vµ h×nh d¹ng cña chóng.
Ba lo¹i sai háng chÝnh lµ: 1) khuyÕt tËt ®iÓm-kh«ng chiÒu, 2) khuyÕt tËt
®−êng-mét chiÒu (lÖch) vµ 3) khuyÕt tËt hai chiÒu bao gåm mÆt ngoµi vµ
biªn h¹t bªn trong. KhuyÕt tËt khèi hay khuyÕt tËt lín ba chiÒu còng cã thÓ
®−îc coi lµ lo¹i thø ba nµy, thÝ dô, lç xèp, vÕt nøt vµ h¹t lÉn.
1.4.10.1 KhuyÕt tËt ®iÓm
KhuyÕt tËt ®iÓm ®¬n gi¶n nhÊt lµ nót trèng (vacancy), ®ã lµ vÞ trÝ khuyÕt
nguyªn tö, h×nh 1.36 (a). Vacancy cã thÓ ®−îc t¹o ra trong qu¸ tr×nh ®ãng
r¾n do sù nhiÔu lo¹n ®Þa ph−¬ng trong khi ph¸t triÓn tinh thÓ hoÆc cã thÓ
®−îc sinh ra bëi sù s¾p xÕp l¹i nguyªn tö trong tinh thÓ do tÝnh linh ®éng
nguyªn tö. Trong kim lo¹i nång ®é c©n b»ng cña vacancy hiÕm khi v−ît qu¸
kho¶ng 1 trªn 10.000 nguyªn tö. Vacancy lµ khuyÕt tËt c©n b»ng trong kim
lo¹i vµ n¨ng l−îng h×nh thµnh cña nã cì 1 eV. Sè vacancy c©n b»ng Nv trong
vËt liÖu phô thuéc vµo nhiÖt ®é theo hµm mò:
60
c h − ¬ n g 1
(c)
H×nh 1.36 (a) KhuyÕt tËt ®iÓm vacancy. (b) KhuyÕt tËt ngoµi nót (nguyªn tö
xen kÏ). (c) Vacancy ®«i cation-anion (khuyÕt tËt Schottky) vµ vacancy
cation (khuyÕt tËt Frenkel) trong m¹ng hai chiÒu tinh thÓ ion.
⎛ Q⎞
N v = N exp⎜ − ⎟ (1.11)
⎝ kT ⎠
trong ®ã N - sè nót m¹ng, Q - n¨ng l−îng t¹o thµnh vacancy, k - h»ng sè
Boltzmann vµ T - nhiÖt ®é tuyÖt ®èi (K). Bëi vËy sè vacancy t¨ng rÊt nhanh
theo nhiÖt ®é. Vacancy cã ¶nh h−ëng rÊt lín ®Õn c¬ chÕ vµ tèc ®é khuÕch t¸n
trong kim lo¹i vµ hîp kim ë tr¹ng th¸i r¾n.
Vacancy trong kim lo¹i còng cã thÓ ®−îc t¹o thµnh bëi sù biÕn d¹ng ®µn håi,
nguéi nhanh tõ nhiÖt ®é cao xuèng nhiÖt ®é thÊp ®Ó bÉy çc vacancy vµ bëi
b¾n ph¸ b»ng çc h¹t n¨ng l−îng cao nh− n¬tron. Vacancy kh«ng c©n b»ng
cã xu h−íng t¹o thµnh ®¸m hai vacancy (divacancy) hoÆc ba vacancy
(trivacancy). Vacancy cã thÓ di chuyÓn b»ng çch trao ®æi vÞ trÝ víi çc l©n
61
m ë ® Ç u
H×nh 1.37 Nguyªn tö t¹p chÊt d¹ng xen kÏ vµ thay thÕ.
cËn. §©y lµ qu¸ tr×nh quan träng ®èi víi sù khuÕch t¸n nguyªn tö trong chÊt
r¾n, ®Æc biÖt ë nhiÖt ®é cao khi Êy ®é linh ®éng nguyªn tö lín h¬n nhiÒu.
§«i khi nguyªn tö trong tinh thÓ chiÕm mét vÞ trÝ ngoµi nót gi÷a çc nguyªn
tö ë çc vÞ trÝ th«ng th−êng xung quanh, h×nh 1.36 (b). Lo¹i khuyÕt tËt ®iÓm
nµy ®−îc gäi lµ khuyÕt tËt ngoµi nót hay nguyªn tö xen kÏ. Çc khuyÕt tËt ®ã
th−êng kh«ng tù sinh ra trong tù nhiªn v× chóng sÏ t¹o nªn sai lÖch cÊu tróc
nh−ng chóng cã thÓ ®−îc t¹o thµnh bëi sù chiÕu x¹.
Trong tinh thÓ ion khuyÕt tËt ®iÓm lµ phøc t¹p h¬n do ph¶i duy tr× tÝnh trung
hoµ ®iÖn. Khi hai ion tr¸i dÊu mÊt ®i tõ tinh thÓ ion th× vacancy ®«i cation-
anion ®−îc t¹o thµnh vµ gäi lµ khuyÕt tËt Schottky, h×nh 1.36 (c). NÕu cation
d−¬ng di chuyÓn tíi vÞ trÝ ngoµi nót trong tinh thÓ ion th× vacancy cation
®−îc h×nh thµnh t¹i vÞ trÝ ion th«ng th−êng. CÆp vacancy ngoµi nót nµy ®−îc
gäi lµ khuyÕt tËt Frenkel, h×nh 1.36 (c). Sù cã mÆt cña çc khuyÕt tËt nµy
lµm t¨ng tÝnh dÉn ®iÖn cña tinh thÓ ion.
Trong thùc tÕ kh«ng cã vËt liÖu hoÆc kim lo¹i s¹ch tuyÖt ®èi, ®é s¹ch cao
nhÊt còng kh«ng thÓ v−ît qu¸ 99,9999%. Phô thuéc kÝch th−íc, çc nguyªn
tö t¹p chÊt cã thÓ xen kÏ hoÆc thay thÕ çc nguyªn tö nÒn ë nót m¹ng t¹o nªn
khuyÕt tËt ®iÓm d¹ng ngoµi nót hay xen kÏ hoÆc thay thÕ trong tinh thÓ liªn
kÕt ho¸ trÞ hoÆc ion, h×nh 1.37 (a) vµ (b). ThÝ dô, mét sè l−îng rÊt nhá
nguyªn tö pha t¹p thay thÕ trong silic nguyªn chÊt cã thÓ ¶nh h−ëng rÊt lín
62
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.38 (a) H×nh phèi c¶nh chØ râ vÞ trÝ nguyªn tö xung quanh lÖch biªn.
(b) H−íng cña vect¬ Burgers hay vect¬ tr−ît trong lÖch biªn.
H×nh 1.39 Tr−êng øng suÊt xung quanh lÖch biªn (a) vµ lÖch xo¾n (b).
®Õn tÝnh dÉn ®iÖn cña silic trong linh kiÖn ®iÖn tö. Ion pha t¹p còng lµ khuyÕt
tËt ®iÓm trong tinh thÓ ion.
1.4.10.2 KhuyÕt tËt ®−êng - LÖch
Sai háng ®−êng hay cßn ®−îc gäi lµ lÖch (dislocation) trong vËt r¾n tinh thÓ
lµ khuyÕt tËt t¹o nªn sai lÖch m¹ng xung quanh mét ®−êng gäi lµ ®−êng lÖch
hay trôc lÖch. LÖch ®−îc t¹o thµnh trong qu¸ tr×nh ho¸ r¾n cña vËt r¾n tinh
thÓ. Chóng còng ®−îc sinh ra bëi biÕn d¹ng th−êng xuyªn hoÆc biÕn d¹ng
®µn håi cña vËt r¾n tinh thÓ, bëi sù tËp trung vacancy vµ bëi sù kh«ng phï
hîp nguyªn tö trong dung dÞch r¾n. Hai lo¹i chÝnh cña lÖch lµ lÖch xo¾n vµ
lÖch biªn. Tæ hîp cña hai lo¹i nµy cho ta lÖch hçn hîp gåm c¶ hai thµnh
phÇn biªn vµ xo¾n.
63
m ë ® Ç u
H×nh 1.40 Sù h×nh thµnh lÖch xo¾n. (a) Tinh thÓ hoµn chØnh bÞ ph©n chia bëi
mÆt c¾t vµ chÞu øng suÊt tr−ît lªn vµ xuèng song song víi mÆt c¾t ®Ó t¹o
thµnh lÖch xo¾n ë h×nh (b). (b) LÖch xo¾n ®−îc m« t¶ cïng víi vect¬ tr−ît
hay vect¬ Burgers b song song víi ®−êng lÖch.
a) LÖch biªn
LÖch biªn t¹o thµnh trong tinh thÓ do chÌn thªm vµo m¹ng tinh thÓ lý t−ëng
mét nöa mÆt nguyªn tö phÝa trªn ký hiÖu ⊥ nh− chØ ra trong h×nh 1.38 (a).
Ký hiÖu ⊥ (ch÷ T ng−îc) biÓu thÞ lÖch biªn d−¬ng vµ ký hiÖu T biÓu thÞ lÖch
biªn ©m khi nöa mÆt nguyªn tö n»m ë phÝa d−íi ®−êng lÖch - biªn giíi phÝa
trong cña nöa mÆt.
Kho¶ng dÞch chuyÓn cña nguyªn tö quanh lÖch ®−îc gäi lµ vect¬ tr−ît hay
vect¬ Burgers b vu«ng gãc víi ®−êng lÖch biªn, h×nh 1.38 (b). LÖch lµ
khuyÕt tËt kh«ng c©n b»ng vµ dù tr÷ n¨ng l−îng trong miÒn biÕn d¹ng cña
m¹ng tinh thÓ xung quanh lÖch. LÖch biªn cã khu vùc biÕn d¹ng nÐn trong
phÇn chøa nöa mÆt ph¼ng chÌn thªm vµ miÒn biÕn d¹ng kÐo ë phÝa d−íi nöa
mÆt ph¼ng nguyªn tö nµy, h×nh 1.39 (a).
b) LÖch xo¾n
LÖch xo¾n cã thÓ ®−îc h×nh thµnh trong tinh thÓ hoµn chØnh b»ng çch t¸c
dông øng suÊt tr−ît lªn vµ xuèng vµo çc miÒn cña tinh thÓ hoµn chØnh ®−îc
t¸ch ra bëi mét mÆt ph¼ng c¾t sao cho çc nguyªn tö mÆt ngoµi xª dÞch mét
®o¹n ®óng b»ng h»ng sè m¹ng theo ®−êng lÖch nh− ®−îc minh häa trong
64
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.41 (a) LÖch hçn hîp bao gåm hai thµnh phÇn lÖch biªn vµ lÖch xo¾n
n»m bªn trong tinh thÓ. (b) ¶nh hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua cña mµng hîp kim
titan, ®−êng tèi lµ çc lÖch.
h×nh 1.40 (a). øng suÊt tr−ît nµy t¹o nªn miÒn m¹ng tinh thÓ bÞ xo¾n d−íi
d¹ng r¨ng c−a xo¾n èc cña çc nguyªn tö quanh ®−êng lÖch xo¾n. MiÒn tinh
thÓ xo¾n khã x¸c ®Þnh ®−îc chuÈn x¸c vµ cã ®−êng kÝnh cì vµi nguyªn tö.
MiÒn biÕn d¹ng tr−ît ®−îc t¹o thµnh quanh lÖch xo¾n lµ n¬i tr÷ n¨ng l−îng,
h×nh 1.39 (b). Vect¬ tr−ît hay vect¬ Burgers cña lÖch xo¾n cã ph−¬ng song
song víi ®−êng lÖch nh− chØ ra trong h×nh 1.40 (b).
HÇu hÕt çc lÖch trong tinh thÓ lµ thuéc lo¹i hçn hîp bao gåm hai thµnh
phÇn biªn vµ xo¾n. Trªn ®−êng lÖch AB trong h×nh 1.41 (a), ë bªn tr¸i lÖch
cã d¹ng thuÇn xo¾n n¬i nã ®i vµo tinh thÓ vµ ë bªn ph¶i cã d¹ng thuÇn biªn
n¬i nã ra khái tinh thÓ. Bªn trong tinh thÓ lÖch cã d¹ng hçn hîp cña lÖch
biªn vµ xo¾n. Cã thÓ quan s¸t ®−îc lÖch trªn ¶nh hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua
nh− thÝ dô chØ ra trong h×nh 1.41 (b) cho mµng máng hîp kim titan.
1.4.10.3 Biªn h¹t (khuyÕt tËt mÆt)
Biªn h¹t lµ sai lÖch mÆt trong vËt liÖu ®a tinh thÓ gåm nhiÒu h¹t víi ®Þnh
h−íng tinh thÓ kh¸c nhau. Trong kim lo¹i, çc biªn h¹t ®−îc t¹o thµnh trong
qu¸ tr×nh hãa r¾n khi kim lo¹i h×nh thµnh tõ çc mÇm tinh thÓ kh¸c nhau
ph¸t triÓn ®ång thêi vµ tiÕp xóc nhau, h×nh 1.42. H×nh d¹ng cña biªn h¹t
®−îc x¸c ®Þnh bëi giíi h¹n b¾t buéc do sù ph¸t triÓn cña çc h¹t l©n cËn. MÆt
65
m ë ® Ç u
(b)
H×nh 1.42 (a) S¬ ®å m« t¶ quan hÖ vi cÊu tróc hai chiÒu cña h¹t tinh thÓ vµ
m¹ng ba chiÒu cña vËt liÖu tinh thÓ. (b) ¶nh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt SEM cho
thÊy râ çc h¹t gèm thùc.
biªn h¹t víi cÊu tróc h¹t gÇn nh− ®¼ng trôc ®−îc thÓ hiÖn trong s¬ ®å ë
h×nh 1.42 (a) vµ h¹t thùc thu ®−îc nhê kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt SEM,
h×nh 1.42 (b).
B¶n th©n biªn h¹t lµ mét miÒn hÑp gi÷a hai h¹t víi chiÒu réng cì hai ®Õn
n¨m ®−êng kÝnh nguyªn tö vµ lµ miÒn hçn ®én nguyªn tö gi÷a çc h¹t kÕ
cËn. Sù xÕp chÆt nguyªn tö ë biªn h¹t còng kÐm h¬n so víi bªn trong h¹t do
sù hçn ®én nµy. Biªn h¹t còng cã mét sè nguyªn tö ë çc vÞ trÝ biÕn d¹ng vµ
v× thÕ n¨ng l−îng miÒn biªn h¹t còng t¨ng lªn.
Biªn h¹t trong kim lo¹i hoÆc vËt liÖu gèm cã thÓ ph©n biÖt ®−îc trong çc
mÉu vËt liÖu ®· ®−îc chuÈn bÞ nh− çc ®−êng ®en trong h×nh 1.43 (c). Çc
mÉu gèm hoÆc kim lo¹i tr−íc hÕt ®−îc mµi nh½n vµ sau ®ã tÈm thùc sao cho
biªn h¹t bÞ t¸c dông ho¸ häc víi tèc ®é nhanh h¬n so víi h¹t ®Ó t¹o nªn vÕt
lâm hÑp däc theo biªn h¹t. Khi ®−îc kh¶o s¸t b»ng hiÓn vi quang häc, tia
s¸ng tíi sÏ kh«ng bÞ ph¶n x¹ m¹nh ë biªn h¹t, do ®ã biªn h¹t sÏ lµ çc ®−êng
®en trong thÞ tr−êng cña kÝnh hiÓn vi.
N¨ng l−îng cña biªn h¹t lín h¬n vµ cÊu tróc cña chóng më h¬n ®· lµm cho
biªn h¹t trë thµnh miÒn thuËn lîi h¬n cho sù t¹o thµnh mÇm vµ ph¸t triÓn cña
chÊt l¾ng ®äng. Sù xÕp chÆt nguyªn tö kÐm h¬n ë biªn h¹t còng cho phÐp
khuÕch t¸n nguyªn tö nhanh h¬n trong miÒn biªn h¹t. ë nhiÖt ®é th−êng
66
c h − ¬ n g 1
H×nh 1. 43 M« h×nh ®¬n tinh thÓ (a), ®a tinh thÓ (b) vµ tæ chøc tÕ vi hîp kim
®a tinh thÓ, ®−êng tèi lµ biªn giíi h¹t (c).
biªn h¹t còng h¹n chÕ ch¶y dÎo b»ng çch c¶n trë chuyÓn ®éng lÖnh trong
miÒn biªn h¹t.
1.4.11 §¬n tinh thÓ vµ ®a tinh thÓ

1.4.11.1 §¬n tinh thÓ
§¬n tinh thÓ lµ vËt tinh thÓ cã m¹ng ®ång nhÊt vµ ®Þnh h−íng kh«ng ®æi
trong toµn bé thÓ tÝch, h×nh 1.43 (a). Trong thiªn nhiªn mét sè kho¸ng vËt cã
thÓ tån t¹i d−íi d¹ng ®¬n tinh thÓ, thÝ dô, mét sè ®¬n tinh thÓ florit, CaF2.
Chóng cã bÒ mÆt ngoµi nh½n, h×nh d¸ng x¸c ®Þnh, ®ã lµ nh÷ng mÆt ph¼ng
nguyªn tö giíi h¹n (th−êng lµ çc mÆt xÕp chÆt nhÊt). §¬n tinh thÓ kim lo¹i
kh«ng tån t¹i trong tù nhiªn, ®Ó cã ®¬n tinh thÓ kim lo¹i ph¶i dïng c«ng
nghÖ "nu«i" ®¬n tinh thÓ.
TÝnh chÊt ®Æc thï cña ®¬n tinh thÓ lµ dÞ h−íng v× theo çc ph−¬ng kh¸c nhau
®é xÕp chÆt nguyªn tö kh¸c nhau nh− ®· tr×nh bµy ë trªn. Trong s¶n xuÊt c¬
khÝ hÇu nh− kh«ng sö dông ®¬n tinh thÓ, nã ®−îc dïng chñ yÕu trong c«ng
nghiÖp b¸n dÉn vµ vËt liÖu kü thuËt ®iÖn.
1.4.11.2 §a tinh thÓ
Trong thùc tÕ hÇu nh− chØ gÆp çc vËt liÖu ®a tinh thÓ. §a tinh thÓ gåm rÊt
nhiÒu tinh thÓ nhá (kÝch th−íc cì μm) ®−îc gäi lµ h¹t tinh thÓ hay ®¬n gi¶n
67
m ë ® Ç u
B¶ng 1.10 CÊp h¹t ASTM.
Sè h¹t trong 1 Sè h¹t trong 1 DiÖn tÝch thËt cña mét

CÊp h¹t in2, ×100 mm2, ×1 h¹t, mm2
1 1,0 15,5 0,0645

2 2,0 31,0 0,0323
3 4,0 62,0 0,0161
4 8,0 124 0,00807
5 16,0 248 0,00403
6 32,0 496 0,00202
7 64,0 992 0,001008
8 128 1980 0,000504
9 256 3970 0,000252
10 512 7940 0,000126
lµ h¹t, cã cïng cÊu tróc m¹ng nh−ng víi ®Þnh h−íng kh¸c nhau mang tÝnh
ngÉu nhiªn vµ liªn kÕt víi nhau b»ng biªn giíi h¹t, H×nh 1.43(b) vµ (c). Biªn
giíi h¹t cã cÊu tróc kh«ng trËt tù, liªn kÕt çc h¹t víi nhau vµ ®−îc coi lµ
mét d¹ng cña sai lÖch mÆt. §a tinh thÓ cã tÝnh ®¼ng h−íng.
a) KÝch th−íc h¹t
KÝch th−íc h¹t cña kim lo¹i ®a tinh thÓ lµ th«ng sè rÊt quan träng v× sè l−îng
mÆt biªn h¹t cã ¶nh h−ëng râ rÖt ®Õn nhiÒu tÝnh chÊt cña kim lo¹i, ®Æc biÖt lµ
®é bÒn. ë nhiÖt ®é thÊp h¬n (nhá h¬n mét nöa nhiÖt ®é ch¶y cña kim lo¹i)
biªn h¹t t¨ng bÒn cho kim lo¹i b»ng çch h¹n chÕ chuyÓn ®éng lÖch nhê øng
suÊt. Khi nhiÖt ®é t¨ng cao sù tr−ît biªn h¹t cã thÓ x¶y ra vµ çc biªn h¹t cã
thÓ trë thµnh çc miÒn yÕu trong kim lo¹i ®a tinh thÓ.
Mét trong çc çch ®o kÝch th−íc h¹t lµ ph−¬ng ph¸p ASTM (the American
Society for Testing and Materials) trong ®ã cÊp h¹t n ®−îc x¸c ®Þnh bëi
c«ng thøc sau
68
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.44 Mét sè cÊp h¹t ASTM cña thÐp tÊm çc bon thÊp: (a) No.7, (b)
No. 8, (c) No. 9, ®é phãng ®¹i ×100.
N = 2n-1 (1.12)
ë ®©y N lµ sè h¹t trªn 1 ins¬ vu«ng cña bÒ mÆt vËt liÖu ®−îc mµi bãng vµ
tÈm thùc ë ®é phãng ®¹i ×100 vµ n lµ sè nguyªn ®−îc gäi lµ cÊp h¹t ASTM.
Trong tiªu chuÈn nµy çc h¹t cã ®é lín kh¸c nhau ®−îc ph©n thµnh 16 cÊp
chÝnh ®¸nh sè tõ 00, 0, 1, 2,...14 theo trËt tù h¹t nhá dÇn, trong ®ã t¸m cÊp
th−êng dïng lµ tõ 1 ®Õn 8. Nh− vËy mét cÊp ®é h¹t t−¬ng øng víi sè l−îng
h¹t trªn mét ®¬n vÞ diÖn tÝch. §é h¹t cÊp cµng cao h¹t tinh thÓ cµng nhá. Mét
sè cÊp h¹t cïng víi sè h¹t danh ®Þnh trªn mét ins¬ vu«ng ë ®é phãng ®¹i
×100 vµ trªn mét milimet vu«ng víi ®é phãng ®¹i ×1 ®−îc liÖt kª trong b¶ng
1.10. h×nh 1.44 giíi thiÖu thÝ dô vÒ mét sè cÊp h¹t ASTM cña thÐp tÊm
cacbon thÊp ë ®é phãng ®¹i ×100.
Ng−êi ta th−êng x¸c ®Þnh cÊp h¹t b»ng çch so s¸nh ë cïng ®é phãng ®¹i
(th−êng lµ ×100) gi÷a tæ chøc tÕ vi cÇn nghiªn cøu víi thang ¶nh cÊp h¹t
chuÈn ASTM ë çc cÊp th«ng dông tõ 1 ®Õn 8 víi kÝch th−íc h¹t kh¸c nhau.
ThÝ dô 1: X¸c ®Þnh cÊp h¹t cña ¶nh hiÓn vi cho mét kim lo¹i cã ®é phãng ®¹i
×100. TÝnh cÊp h¹t ASTM cho kim lo¹i biÕt sè h¹t/in2 lµ 64 h¹t.
69
m ë ® Ç u
Gi¶i:
N = 2n-1
trong ®ã N lµ sè h¹t/in2 ë ×100, n = cÊp h¹t ASTM.
Nh− vËy, 64 h¹t/in2 = 2n-1
log64 = (n-1) (log2)
1,806 = (n-1)(0,301)
n=7
ThÝ dô 2: NÕu cã 60 h¹t/in2 trªn ¶nh hiÓn vi cña kim lo¹i ë ×200 th× cÊp h¹t
cña kim lo¹i b»ng bao nhiªu?
Gi¶i:
NÕu cã 60 h¹t/in2 ë ×200 th× t¹i ×100 ta sÏ cã
N = (200/100)2 (60h¹t/in2) = 240 = 2n-1
log240 = (n-1) (log2)
2,380 = (n-1)(0,301)
n = 8,91
L−u ý r»ng tØ sè ®é phãng ®¹i ph¶i ®−îc b×nh ph−¬ng v× ta tÝnh ®é h¹t trªn
ins¬ vu«ng.
b) Siªu h¹t
Siªu h¹t (block) lµ çc vïng tinh thÓ rÊt nhá (kÝch th−íc trung b×nh kho¶ng
0,1-10 μm), cÊu tróc tinh thÓ kh¸ hoµn chØnh, ®Þnh h−íng lÖch nhau mét gãc
rÊt nhá (cì 1-2o) vµ ng¨n çch nhau b»ng biªn giíi siªu h¹t, h×nh 1.45, trong
khi ®a tinh thÓ gåm çc h¹t kÝch th−íc hµng chôc hay hµng tr¨m μm, ®Þnh
h−íng lÖch nhau mét gãc tíi hµng chôc ®é. Biªn giíi siªu h¹t thùc chÊt lµ
nh÷ng t−êng lÖch t¹o nªn bëi çc lÖch cïng dÊu víi møc ®é thÊp h¬n vµ cã
chiÒu dµy nhá h¬n so víi biªn giíi h¹t ®a tinh thÓ. Hai siªu h¹t l©n cËn ®Þnh
h−íng lÖch nhau mét gãc θ:
θ ≈ b/D (1.13)
trong ®ã D lµ kho¶ng çch trung b×nh gi÷a çc lÖch biªn cïng dÊu trªn t−êng
lÖch, h×nh 1.45.
70
c h − ¬ n g 1
H×nh 1.45 CÊu tróc siªu h¹t.
c) Texture
Texture (tæ chøc ®Þnh h−íng) lµ cÊu tróc cña ®a tinh thÓ, trong ®ã çc h¹t
®Þnh h−íng −u tiªn theo mét ph−¬ng nµo ®ã trong kh«ng gian. H−íng −u
tiªn ®ã ®−îc gäi lµ trôc ®Þnh h−íng hay trôc texture. Texture ®−îc t¹o nªn
do sù s¾p xÕp l¹i çc h¹t tinh thÓ theo mét h−íng x¸c ®Þnh trong çc qu¸
tr×nh kh¸c nhau nh− kÕt tinh tõ thÓ láng (texture kÕt tinh), biÕn d¹ng dÎo
(texture biÕn d¹ng) hay kÕt tinh l¹i (texture kÕt tinh l¹i). ThÝ dô, sau khi kÐo
d©y vµ Ðp ch¶y çc kim lo¹i cÊu tróc lËp ph−¬ng t©m khèi nh− Fe, Mo cã
trôc texture [110] vµ çc kim lo¹i cÊu tróc lËp ph−¬ng t©m mÆt nh− Cu, Al
cã trôc texture [111] vµ [110]. Khi ®a tinh thÓ cã texture vËt sÏ mÊt tÝnh
®¼ng h−íng vµ thÓ hiÖn tÝnh dÞ h−íng. Texture ¶nh h−ëng m¹nh ®Õn tÝnh
chÊt c¬, lý, ho¸ cña vËt liÖu. Texture ®−îc øng dông cho thÐp kü thuËt vµ ®·
®em l¹i hiÖu qu¶ kinh tÕ cao. ThÝ dô, thÐp lâi biÕn thÕ ®−îc chÕ t¹o víi
texture [110] th× ®é tõ thÈm cña nã cã thÓ t¨ng lªn tíi 10 lÇn. Tuy nhiªn,
trong mét sè tr−êng hîp texture l¹i lµ tæ chøc kh«ng mong muèn.
71
c h − ¬ n g 2
Ch−¬ng 2
nhiÔu x¹ tia x
2.1 Tia x
KiÕn thøc hiÖn t¹i cña chóng ta vÒ cÊu tróc nhËn ®−îc chñ yÕu nhê kü thuËt
nhiÔu x¹ tia x (tia r¬ngen) trong ®ã b−íc sãng tia x ®−îc sö dông cì kho¶ng
çch gi÷a çc mÆt ph¼ng tinh thÓ.
Tia x lµ bøc x¹ ®iÖn tõ n¨ng l−îng cao. Chóng cã n¨ng l−îng trong kho¶ng
tõ 200 eV ®Õn 1MeV, n»m gi÷a tia gama (γ) vµ bøc x¹ tia cùc tÝm (UV)
trong phæ ®iÖn tõ. CÇn hiÓu râ r»ng kh«ng cã biªn giíi râ rÖt gi÷a çc miÒn
kh¸c nhau cña phæ ®iÖn tõ vµ biªn giíi Ên ®Þnh gi÷a çc vïng lµ tuú ý. Tia γ
vµ tia x thùc chÊt lµ t−¬ng tù, tia γ cã n¨ng l−îng lín h¬n vµ b−íc sãng ng¾n
h¬n mét chót so víi tia x. Tia γ vµ tia x kh¸c nhau chÝnh ë chç chóng ®−îc
t¹o ra nh− thÕ nµo trong nguyªn tö. Nh− ta thÊy, tia x ®−îc t¹o ra bëi sù
t−¬ng t¸c gi÷a tia ®iÖn tö vµ çc ®iÖn tö trong líp vá nguyªn tö. Trong khi ®ã
tia γ ®−îc sinh ra bëi sù thay ®æi bªn trong h¹t nh©n nguyªn tö.
Mçi l−îng tö sãng ®iÖn tõ, hay photon, cã mét n¨ng l−îng E tØ lÖ víi tÇn sè
ν cña nã:
E = hν (2.1)
trong ®ã h lµ h»ng sè Planck, h = 4,136×10-15eV.s hay 6,626×10-34 J.s. V× tÇn
sè liªn hÖ víi b−íc sãng λ th«ng qua vËn tèc ¸nh s¸ng c nªn b−íc sãng cña
tia x cã thÓ ®−îc viÕt nh− sau
hc
λ= (2.2)
E
71
n h i Ô u x ¹ t i a x
H×nh 2.1 S¬ ®å giíi thiÖu çc thµnh phÇn chÝnh cña èng ph¸t tia x hiÖn ®¹i.
Berili (Be) ®−îc dïng lµm cöa sæ v× nã hÇu nh− trong suèt ®èi víi tia x.
ë ®©y c = 2,998×10-8 m/s. Nh− vËy, víi n¨ng l−îng nh− ®· cho ë trªn, ta thÊy
b−íc sãng tia x thay ®æi tõ 10 nm tíi 1 pm (102-10-2 Å), trong khi b−íc sãng
¸nh s¸ng thÊy ®−îc cì 600 nm (6000 Å). L−u ý r»ng b−íc sãng ng¾n h¬n
cho n¨ng l−îng cao h¬n. Kho¶ng b−íc sãng thuËn tiÖn cho nghiªn cøu nhiÔu
x¹ tia x lµ 0,05-0,25 nm. Nhí r»ng kho¶ng çch gi÷a çc nguyªn tö trong
tinh thÓ lµ ~ 0,2 nm (2 Å).
2.2 T¹o tia x
Tia x ph¸t sinh khi çc ®iÖn tö hoÆc çc h¹t mang ®iÖn kh¸c bÞ h·m bëi mét
vËt ch¾n vµ xuÊt hiÖn trong qu¸ tr×nh t−¬ng t¸c gi÷a bøc x¹ γ víi vËt chÊt.
Th«ng th−êng ®Ó t¹o tia x ng−êi ta sö dông ®iÖn tö v× ®Ó gia tèc ®iÖn tö ®ßi
hái c−êng ®é ®iÖn tr−êng nhá h¬n so víi tr−êng hîp dïng çc lo¹i h¹t mang
®iÖn kh¸c. §Ó cã tia x víi b−íc sãng cùc ng¾n c«ng suÊt lín cã thÓ sö dông
bªtatron. Trong mét sè tr−êng hîp nghiªn cøu cÊu tróc b»ng tia r¬ngen
ng−êi ta cßn sö dông çc nguån ®ång vÞ phãng x¹.
72
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.2 S¬ ®å phæ tia x cña molip®en víi thÕ t¨ng tèc kh¸c nhau.
Tia x ®−îc t¹o ra trong èng ph¸t r¬ngen gåm hai cùc ®iÖn trong buång ch©n
kh«ng nh− ®−îc chØ ra trong h×nh 2.1. Çc ®iÖn tö ®−îc sinh ra do nung
nãng catot nhiÖt vonfram. Catot cã ®iÖn ¸p ©m cao vµ çc ®iÖn tö ®−îc t¨ng
tèc vÒ phÝa anot th−êng nèi ®Êt. Çc ®iÖn tö víi vËn tèc lín tíi ®Ëp vµo anot
®−îc lµm nguéi b»ng n−íc. Sù tæn hao n¨ng l−îng cña ®iÖn tö do va ch¹m
víi anot kim lo¹i ®−îc chuyÓn thµnh tia x. Th«ng th−êng chØ kho¶ng mét
phÇn tr¨m n¨ng l−îng (<1%) cña tia ®iÖn tö ®−îc chuyÓn thµnh tia x, phÇn
lín bÞ tiªu t¸n d−íi d¹ng nhiÖt t¹i anot kim lo¹i ®−îc lµm l¹nh.
Phæ tia x cña molip®en ®−îc giíi thiÖu trong h×nh 2.2. Nh− ta thÊy, phæ bao
gåm mét d¶i b−íc sãng. Víi mçi thÕ t¨ng tèc - thÕ ®Æt gi÷a catot vµ anot, ta
thu ®−îc mét phæ tia x liªn tôc gåm nhiÒu b−íc sãng kh¸c nhau. Phæ liªn tôc
lµ do çc ®iÖn tö mÊt n¨ng l−îng trong mét lo¹t va ch¹m víi çc nguyªn tö
anot. V× mçi ®iÖn tö mÊt n¨ng l−îng cña nã theo mét çch kh¸c nhau nªn
phæ n¨ng l−îng liªn tôc hay çc b−íc sãng tia x ®−îc t¹o thµnh. Th−êng
chóng ta kh«ng sö dông phÇn phæ tia x liªn tôc trõ khi yªu cÇu çc b−íc
73
H×nh 2.3 Minh ho¹ qu¸ tr×nh ion ho¸ líp trong vµ ph¸t x¹ tia x ®Æc
tr−ng: (a) mét ®iÖn tö tíi lµm bËt mét ®iÖn tö quü ®¹o ra khái nguyªn tö,
(b) t¹o mét lç trèng líp K, (c) x¶y ra håi phôc ®iÖn tö vµ dÉn ®Õn ph¸t x¹
photon tia x.
sãng kh¸c nhau trong thùc nghiÖm, thÝ dô, trong ph−¬ng ph¸p Laue ®Ó
nghiªn cøu ®¬n tinh thÓ.
NÕu mét ®iÖn tö mÊt toµn bé n¨ng l−îng trong mét va ch¹m víi mét nguyªn
tö bia th× t¹o ra mét photon tia x cã n¨ng l−îng lín nhÊt hay b−íc sãng ng¾n
nhÊt. B−íc sãng nµy ®−îc gäi lµ giíi h¹n sãng ng¾n (λSWL) nh− trong h×nh
2.2 cho bia molip®en va ch¹m víi çc ®iÖn tö 25keV. (Chó ý: khi nãi vÒ
n¨ng l−îng ®iÖn tö ta sö dông eV hoÆc keV, nh−ng khi nãi vÒ thÕ t¨ng tèc ta
dïng V hoÆc kV).
NÕu ®iÖn tö tíi cã n¨ng l−îng ®ñ lín lµm bËt ra ®iÖn tö líp trong th× nguyªn
tö sÏ ë tr¹ng th¸i kÝch thÝch víi mét chç trèng trong líp ®iÖn tö. Qu¸ tr×nh
nµy ®−îc minh ho¹ trong h×nh 2.3. Khi chç trèng ®ã ®−îc lÊp ®Çy bëi mét
®iÖn tö tõ líp ngoµi th× photon tia x víi n¨ng l−îng b»ng hiÖu çc møc n¨ng
l−îng ®iÖn tö ®−îc t¹o thµnh. N¨ng l−îng cña photon tia x lµ ®Æc tr−ng cho
kim lo¹i lµm bia. Çc pic nÐt, ®−îc gäi lµ çc v¹ch ®Æc tr−ng, chång lªn phæ
liªn tôc nh− trong h×nh 2.2. §ã chÝnh lµ çc v¹ch ®Æc tr−ng ®−îc sö dông rÊt
h÷u hiÖu cho nhiÔu x¹ mµ chóng ta quan t©m ®Õn trong ch−¬ng nµy.
NÕu toµn bé n¨ng l−îng ®iÖn tö ®Òu chuyÓn thµnh n¨ng l−îng cña photon tia
x th× n¨ng l−îng photon tia x liªn hÖ víi thÕ kÝch thÝch V theo biÓu thøc sau:
74
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.4 Sù di chuyÓn ®iÖn tö trong nguyªn tö t¹o thµnh tia x ®Æc tr−ng
Kα, Kβ vµ Lα.
hc
E= = eV (2.3)
λ
trong ®ã e lµ ®iÖn tÝch ®iÖn tö, e = 1,602×10-19C. Nh− vËy, b−íc sãng tia x lµ
hc
λ= (2.4)
eV
Thay çc gi¸ trÞ h»ng sè h, c vµ e vµ víi thÕ t¨ng tèc V cã ®¬n vÞ kV ta sÏ
nhËn ®−îc giíi h¹n sãng ng¾n λSWL:
1,243
λ SWL = (nm) (2.5)
V
V¹ch ®Æc tr−ng sÏ cã b−íc sãng dµi h¬n so víi λSWL. ThÕ t¨ng tèc cÇn ®Ó t¹o
ra tia x cã b−íc sãng t−¬ng ®−¬ng víi kho¶ng çch gi÷a çc nguyªn tö lµ cì
10 kV. ThÕ t¨ng tèc cao h¬n th−êng ®−îc sö dông ®Ó t¹o phæ v¹ch c−êng ®é
lín h¬n ®Æc tr−ng cho kim lo¹i bia. Sö dông thÕ t¨ng tèc cao h¬n sÏ lµm thay
®æi gi¸ trÞ giíi h¹n b−íc sãng λSWL nh−ng kh«ng lµm thay ®æi gi¸ trÞ b−íc
sãng ®Æc tr−ng. C−êng ®é v¹ch ®Æc tr−ng phô thuéc vµo thÕ ¸p dông vµ c¶
dßng i cña èng ph¸t (sè ®iÖn tö/gi©y ®Ëp vµo bia). Víi thÕ ®Æt V, c−êng ®é
v¹ch K ë h×nh 2.2 gÇn ®óng b»ng:
75
B¶ng 2.1 N¨ng l−îng cña çc møc K, LII vµ LIII cña molip®en.
Møc N¨ng l−îng, keV
K -20,00
LII -2,63
LIII -2,52
I = Bi(V – VK)n (2.6)

trong ®ã B lµ h»ng sè tØ lÖ, VK lµ thÕ cÇn ®Ó lµm bËt mét ®iÖn tö khái líp K
vµ n lµ h»ng sè cã gi¸ trÞ trong kho¶ng 1-2 víi mét gi¸ trÞ V nhÊt ®Þnh.
Nh− ta thÊy trong h×nh 2.2, cã nhiÒu h¬n mét v¹ch ®Æc tr−ng. Çc v¹ch ®Æc
tr−ng kh¸c nhau t−¬ng øng víi çc dÞch chuyÓn ®iÖn tö gi÷a çc møc n¨ng
l−îng kh¸c nhau. Çc v¹ch ®Æc tr−ng nµy ®−îc ký hiÖu lµ K, L, M, …Ký
hiÖu nµy liªn quan ®Õn m« h×nh nguyªn tö Bohr trong ®ã çc nguyªn tö
chuyÓn ®éng theo quü ®¹o quanh h¹t nh©n trong líp riªng biÖt. V× lý do lÞch
sö, líp ®iÖn tö trong cïng ®−îc gäi lµ líp K tiÕp theo lµ L, M vµ cø thÕ tiÕp
tôc.
NÕu mét lç trèng ë líp K ®−îc lÊp ®Çy b»ng mét ®iÖn tö tõ líp L th× ta ®−îc
tia x Kα, song nÕu ®iÒn ®Çy b»ng mét ®iÖn tö tõ líp M th× ta ®−îc tia x Kβ.
NÕu lç trèng ë líp L ®−îc lÊp ®Çy b»ng mét ®iÖn tö líp M th× ta ®−îc tia x
Lα. H×nh 2.4 chØ ra s¬ ®å nguån gèc cña ba v¹ch ®Æc tr−ng kh¸c nhau nµy.
T×nh tr¹ng trªn trë nªn phøc t¹p h¬n bëi sù cã mÆt cña ph©n líp. ThÝ dô, ta
cÇn ph©n biÖt tia x Kα víi Kα1 vµ Kα2. Nguyªn nh©n cña sù kh¸c nhau nµy
lµ líp L gåm cã 3 ph©n líp LI, LII vµ LIII; sù dÞch chuyÓn tõ LIII vÒ K sÏ cho
ph¸t x¹ tia x Kα1 vµ tõ LII vÒ K sÏ cho ph¸t x¹ Kα2. Mäi líp trõ líp K ®Òu cã
çc ph©n líp nh− ®· ®−îc tr×nh bµy trong ch−¬ng 1.
ThÝ dô sau ®©y minh ho¹ cho sù dÞch chuyÓn kh¸c nhau nãi trªn ®èi víi
molip®en. N¨ng l−îng cña çc møc K, LII vµ LIII ®−îc cho trong b¶ng 2.1.
B−íc sãng tia x ph¸t x¹ liªn quan ®Õn hiÖu n¨ng l−îng gi÷a hai møc bÊt kú
nµo bëi ph−¬ng tr×nh (2.2). Sù kh¸c nhau vÒ n¨ng l−îng gi÷a møc LIII vµ K lµ
17,48 keV. Sö dông n¨ng l−îng nµy cho ph−¬ng tr×nh (2.2) vµ thay çc h»ng
76
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.5 Phæ tia x cña molip®en víi thÕ 35 kV. Thang më réng chØ râ
v¹ch Kα1 vµ Kα2 t¸ch biÖt.
sè ta nhËn ®−îc b−íc sãng λ = 0,0709 nm. §©y lµ b−íc sãng cña tia x Kα1
cña Mo. Sù kh¸c nhau gi÷a møc LII vµ K lµ 17,37 keV. Sö dông ph−¬ng tr×nh
(2.2) ta thu ®−îc λ = 0,0714 nm. §ã lµ b−íc sãng tia x Kα2 cña Mo.
H×nh 2.5 giíi thiÖu phæ tia x cña Mo ë 35 kV. H×nh bªn ph¶i lµ v¹ch kÐp Kα
ph©n gi¶i kh¸ tèt trªn thang n¨ng l−îng (b−íc sãng) ®−îc d·n réng. Tuy
nhiªn, kh«ng ph¶i lu«n cã thÓ ph©n gi¶i (t¸ch) ®−îc hai v¹ch Kα1 vµ Kα2
trªn phæ tia x v× b−íc sãng cña chóng rÊt sÝt nhau. NÕu hai v¹ch Kα1 vµ Kα2
kh«ng thÓ t¸ch ®−îc th× v¹ch ®Æc tr−ng ®−îc gäi ®¬n gi¶n lµ v¹ch Kα vµ
b−íc sãng ®−îc tÝnh b»ng gi¸ trÞ trung b×nh träng l−îng cña v¹ch Kα1 vµ
77
B¶ng 2.2 Mét sè b−íc sãng ®−îc dïng th«ng dông (nm).
Kα
(trung b×nh Kα2 Kα1 Kβ
Nguyªn tè träng l−îng) (m¹nh) (rÊt m¹nh) (yÕu)
Cr 0,229100 0,229361 0,228970 0,208487

Fe 0,193736 0,193998 0,193604 0,175661
Co 0,179026 0,179285 0,178897 0,162079
Cu 0,154184 0,154439 0,154056 0,139222
Mo 0,071073 0,071359 0,070930 0,063229
Kα2. §Ó x¸c ®Þnh trung b×nh träng l−îng cÇn ph¶i biÕt kh«ng chØ b−íc sãng
cña çc v¹ch t¸ch mµ cßn c¶ c−êng ®é t−¬ng ®èi cña chóng. ë ®©y, v¹ch
Kα1 cã c−êng ®é hai lÇn lín h¬n v¹ch Kα2, do ®ã nã cã träng l−îng gÊp ®«i.
Nh− thÕ b−íc sãng v¹ch Kα kh«ng t¸ch cña Mo lµ
(1/3)(2 × 0,0709 + 0,0714) = 0,0711 nm
L−u ý r»ng kh«ng ph¶i mäi dÞch chuyÓn ®iÖn tö ®Òu cã kh¶ n¨ng nh− nhau.
ThÝ dô, sù di chuyÓn Kα (nghÜa lµ mét ®iÖn tö líp L lÊp ®Çy mét lç trèng ë
líp K) lµ 10 lÇn cã kh¶ n¨ng h¬n so víi di chuyÓn Kβ (tøc mét ®iÖn tö tõ líp
M ®iÒn ®Çy mét lç trèng ë líp K).
Bøc x¹ quan träng trong nhiÔu x¹ lµ bøc x¹ liªn quan ®Õn sù lÊp ®Çy líp
trong cïng K tõ çc líp kÕ cËn ®Ó cho v¹ch Kα1, Kα2 vµ Kβ. B¶ng 2.2 liÖt kª
b−íc sãng ®Æc tr−ng cña ®ång, molip®en vµ mét sè nguån tia x th«ng dông
kh¸c.
Trong hÇu hÕt nghiªn cøu b»ng nhiÔu x¹ tia x ta th−êng sö dông tia ®¬n s¾c
(tia x b−íc sãng ®¬n). Ph−¬ng ph¸p ®¬n gi¶n nhÊt ®Ó nhËn ®−îc tia ®¬n s¾c
lµ läc çc tia x kh«ng mong muèn b»ng çch sö dông çc l¸ kim lo¹i thÝch
lîp mµ ng−ìng hÊp thô çc v¹ch tia x cña nã n»m gi÷a thµnh phÇn Kα vµ Kβ
cña phæ. Ng−ìng hÊp thô hay b−íc sãng hÊp thô tíi h¹n thÓ hiÖn sù thay ®æi
®ét biÕn vÒ ®Æc tr−ng hÊp thô tia x b−íc sãng riªng bëi vËt liÖu. ThÝ dô, l¸
niken sÏ lµm mÊt bøc x¹ Kβ cña ®ång, vµ zirconi sÏ triÖt tiªu bøc x¹ Kβ Mo.
Tuy nhiªn, trong hÇu hÕt çc phæ kÕ tia x hiÖn ®¹i tia ®¬n s¾c nhËn ®−îc nhê
78
c h − ¬ n g 2
bé ®¬n s¾c tinh thÓ. Bé ®¬n s¾c tinh thÓ gåm cã mét tinh thÓ, th−êng lµ
graphite, víi kho¶ng çch gi÷a çc mÆt ph¼ng ®· biÕt ®Þnh h−íng sao cho
chØ nhiÔu x¹ tia Kα mµ kh«ng ph¶i Kβ. Tia nµy sÏ t¹o thµnh çc b−íc sãng
Kα1 vµ Kα2.
Trong nghiªn cøu b»ng nhiÔu x¹ tia x ng−êi ta th−êng lùa chän tia ®Æc tr−ng
Kα nhËn ®−îc b»ng çc bia kim lo¹i kh¸c nhau cho thÝch hîp nh− trong
b¶ng 2.2, nh−ng KαCu lµ bøc x¹ ®−îc sö dông réng r·i nhÊt. Çc v¹ch Kα
®−îc sö dông v× chóng cã n¨ng l−îng lín h¬n so víi Lα vµ do ®ã kh«ng bÞ
hÊp thô m¹nh bëi vËt liÖu nghiªn cøu. Sù më réng b−íc sãng cña mçi v¹ch
lµ v« cïng hÑp vµ mçi b−íc sãng ghi ®−îc cã ®é chÝnh x¸c rÊt cao.
2.3 NhiÔu x¹ tia x
2.3.1 HiÖn t−îng nhiÔu x¹

NhiÔu x¹ lµ ®Æc tÝnh chung cña çc sãng vµ cã thÓ ®−îc ®Þnh nghÜa lµ sù thay
®æi çch xö sù cña çc tia s¸ng hoÆc çc sãng kh¸c do sù t−¬ng t¸c cña nã
víi vËt chÊt. Chóng ta ®· tõng lµm quen víi thuËt ng÷ “nhiÔu x¹” trong çc
gi¸o tr×nh vËt lý c¬ b¶n. Bëi vËy, ë ®©y chØ tãm t¾t mét sè ®Æc ®iÓm c¬ b¶n
cña nhiÔu x¹, ®Æc biÖt lµ khi chóng ¸p dông cho tia x ®Ó x¸c ®Þnh cÊu tróc
tinh thÓ.
Tr−íc hÕt ta coi r»ng nguyªn tö lµ ®éc lËp. NÕu tia x chiÕu vµo nguyªn tö th×
çc ®iÖn tö sÏ dao ®éng quanh vÞ trÝ trung b×nh cña chóng. L−u ý r»ng khi
®iÖn tö bÞ h·m (mÊt n¨ng l−îng) nã sÏ ph¸t x¹ tia x. Qu¸ tr×nh hÊp thô vµ t¸i
ph¸t bøc x¹ ®iÖn tõ nµy ®−îc gäi lµ t¸n x¹. Sö dông kh¸i niÖm photon, ta cã
thÓ nãi r»ng photon tia x bÞ hÊp thô bëi nguyªn tö vµ photon kh¸c cã cïng
n¨ng l−îng ®−îc ph¸t x¹. Khi kh«ng cã sù thay ®æi vÒ n¨ng l−îng gi÷a
photon tíi vµ photon ph¸t x¹ ta cã thÓ nãi r»ng sù bøc x¹ lµ t¸n x¹ ®µn håi.
Nh− thÕ, t¸n x¹ kh«ng ®µn håi lµ chØ sù mÊt n¨ng l−îng photon.
NÕu nguyªn tö ®−îc lùa chän kh«ng ph¶i lµ hy®ro th× ph¶i coi lµ t¸n x¹ tõ
nhiÒu h¬n mét ®iÖn tö, v× khi Êy nguyªn tö chøa mét sè ®iÖn tö n»m ë çc vÞ
trÝ quanh h¹t nh©n. MÆc dï theo c¬ häc l−îng tö ta biÕt r»ng kh«ng cã mét
biÓu diÔn chÝnh x¸c nµo vÒ cÊu tróc nguyªn tö, song m« h×nh hiÖn cã còng
gióp ta trong viÖc lý gi¶i. Khi hai sãng räi vµo nguyªn tö chóng bÞ t¸n x¹ bëi
®iÖn tö theo h−íng tíi. Hai sãng t¸n x¹ theo h−íng tíi ®−îc gäi lµ cïng pha
(hay theo thuËt ng÷ kh¸c lµ kÕt hîp) t¹i mÆt sãng v× çc sãng nµy cã cïng
qu·ng ®−êng ®i ®−îc tr−íc vµ sau t¸n x¹, nãi çch kh¸c hiÖu qu·ng ®−êng
79
(hiÖu pha) b»ng kh«ng. NÕu hai sãng lµ cïng pha th× cùc ®¹i sãng cña chóng
lµ th¼ng hµng. NÕu céng hai sãng nµy, tøc lÊy tæng biªn ®é cña chóng, th× ta
nhËn ®−îc mét sãng cã cïng b−íc sãng nh−ng biªn ®é gÊp ®«i. Çc sãng t¸n
x¹ theo h−íng kh¸c sÏ kh«ng cïng pha t¹i mÆt sãng khi hiÖu qu·ng ®−êng ®i
®−îc tr−íc vµ sau t¸n x¹ kh«ng ph¶i lµ sè nguyªn lÇn b−íc sãng. NÕu ta
céng hai sãng nµy ë mÆt sãng th× thÊy r»ng biªn ®é sãng t¸n x¹ nhá h¬n so
víi biªn ®é sãng t¸n x¹ bëi çc ®iÖn tö theo h−íng tíi.
Cho r»ng çc nguyªn tö lµ xÕp sÝt nhau vµ mçi nguyªn tö ®ãng gãp nhiÒu tia
x t¸n x¹. Çc sãng t¸n x¹ tõ mçi nguyªn tö giao thoa víi nhau. NÕu çc sãng
lµ cïng pha th× xuÊt hiÖn giao thoa t¨ng c−êng. NÕu lÖch pha 180o th× x¶y ra
sù giao thoa t¾t (destructive). Tia nhiÔu x¹ cã lÏ ®−îc ®Þnh nghÜa lµ tia tæng
hîp cña mét sè lín sãng t¸n x¹ chång chÊt. §èi víi tia nhiÔu x¹ cã thÓ ®o
®−îc th× kh«ng cã sù giao thoa t¾t (cÊm) hoµn toµn.
§Ó m« t¶ hiÖn t−îng nhiÔu x¹ ng−êi ta ®−a ra ba thuËt ng÷ sau:
- T¸n x¹ (scattering).
- Giao thoa (interference).
- NhiÔu x¹ (diffraction).
Cã sù kh¸c nhau gi÷a ba thuËt ng÷ nµy. T¸n x¹ lµ qu¸ tr×nh ë ®ã sù bøc x¹ bÞ
hÊp thô vµ t¸i bøc x¹ ph¸t sinh theo çc h−íng kh¸c nhau. Giao thoa lµ sù
chång chÊt cña hai hoÆc nhiÒu sãng t¸n x¹ t¹o thµnh sãng tæng hîp lµ tæng
cña sù ®ãng gãp cña çc sãng phñ nhau. NhiÔu x¹ lµ sù giao thoa t¨ng c−êng
cña nhiÒu h¬n mét sãng t¸n x¹. Kh«ng cã sù kh¸c nhau vËt lý thùc sù gi÷a
giao thoa t¨ng c−êng vµ nhiÔu x¹.
Tr−íc khi tr×nh bµy øng dông cña kü thuËt nhiÔu x¹ tia x cho ph©n tÝch cÊu
tróc tinh thÓ ta h·y kh¶o s¸t çc ®iÒu kiÖn cÇn thiÕt ®Ó ph¸t sinh tia nhiÔu x¹
hay tia x ph¶n x¹ c−êng ®é lín.
2.3.2 §Þnh luËt Bragg

Khi chiÕu tia x vµo vËt r¾n tinh thÓ ta thÊy xuÊt hiÖn çc tia nhiÔu x¹ víi
c−êng ®é vµ h−íng kh¸c nhau do b−íc sãng tia x cã ®é dµi vµo cì kho¶ng
çch gi÷a çc mÆt ph¼ng nguyªn tö trong vËt r¾n tinh thÓ. Çc h−íng nµy bÞ
khèng chÕ bëi b−íc sãng cña bøc x¹ tíi vµ bëi b¶n chÊt cña mÉu tinh thÓ.
§Þnh luËt Bragg, ®−îc W.L.Bragg thiÕt lËp n¨m 1913, thÓ hiÖn mèi quan hÖ
gi÷a b−íc sãng tia x vµ kho¶ng çch gi÷a çc mÆt ph¼ng nguyªn tö.
80
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.6 NhiÔu x¹ tia x bëi çc mÆt ph¼ng nguyªn tö (A-A’ vµ B-B’).
§Ó dÉn tíi ®Þnh luËt Bragg cÇn gi¶ thiÕt r»ng mçi mÆt ph¼ng nguyªn tö ph¶n
x¹ sãng tíi ®éc lËp nh− ph¶n x¹ g−¬ng. Çc tia x kh«ng thùc sù bÞ ph¶n x¹-
chóng bÞ t¸n x¹- song rÊt thuËn tiÖn nÕu xem chóng lµ ph¶n x¹, vµ ng−êi ta
th−êng gäi çc mÆt ph¼ng lµ “mÆt ph¶n x¹” vµ tia nhiÔu x¹ lµ “tia ph¶n x¹”.
Gi¶ sö cã hai mÆt ph¼ng nguyªn tö song song A-A’ vµ B-B’ cã cïng chØ sè
Miller h, k vµ l vµ çch nhau bëi kho¶ng çch gi÷a çc mÆt ph¼ng nguyªn tö
dhkl. §Ó ®¬n gi¶n, cho mÆt ph¼ng tinh thÓ cña çc t©m t¸n x¹ nguyªn tö ®−îc
thay thÕ b»ng mÆt tinh thÓ ®ãng vai trß nh− mÆt ph¶n x¹ g−¬ng ®èi víi tia x
tíi. Gi¶ thiÕt hai tia x 1 vµ 2 ®¬n s¾c, song song vµ cïng pha víi b−íc sãng λ
chiÕu vµo hai mÆt ph¼ng nµy d−íi mét gãc θ. Hai tia bÞ t¸n x¹ bëi nguyªn tö
P vµ Q vµ cho hai tia ph¶n x¹ 1’ vµ 2’ còng d−íi mét gãc θ so víi çc mÆt
ph¼ng nµy, h×nh 2.6. Sù giao thoa cña tia x t¸n x¹ 1’ vµ 2’ x¶y ra nÕu hiÖu
qu·ng ®−êng 1-P-1’ vµ 2-Q-2’, tøc SQ+QT, b»ng sè nguyªn lÇn b−íc sãng.
Nh− vËy ®iÒu kiÖn nhiÔu x¹ lµ
nλ = SQ+QT (2.7)
hay
81
nλ = 2dhkl sinθ (2.8)

trong ®ã n = 1, 2, 3... ®−îc gäi lµ bËc ph¶n x¹.
Ph−¬ng tr×nh (2.8) chÝnh lµ ®Þnh luËt Bragg biÓu thÞ mèi quan hÖ ®¬n gi¶n
gi÷a gãc cña çc tia nhiÔu x¹ víi b−íc sãng tia x tíi vµ kho¶ng çch gi÷a çc
mÆt ph¼ng nguyªn tö dhkl. NÕu ®Þnh luËt Bragg kh«ng ®−îc tho¶ m·n th× sù
giao thoa thùc chÊt sÏ kh«ng cã v× c−êng ®é tia nhiÔu x¹ thu ®−îc lµ rÊt nhá.
Trong hÇu hÕt çc tr−êng hîp, bËc ph¶n x¹ thø nhÊt ®−îc sö dông, n = 1, do
®ã ®Þnh luËt Bragg ®−îc viÕt nh− sau
λ = 2dhkl sinθ (2.9)
Khi n > 1, çc ph¶n x¹ ®−îc gäi lµ ph¶n x¹ bËc cao. Ta cã thÓ viÕt ph−¬ng
tr×nh (2.8) nh− sau
λ = 2(dhkl /n)sinθ (2.10)
ë ®©y, theo h×nh 2.6, d lµ kho¶ng çch gi÷a çc mÆt ph¼ng (hkl) vµ th«ng sè
d/n lµ kho¶ng çch gi÷a çc mÆt (nh nk nl). V× thÕ cã thÓ xem ph¶n x¹ bËc
cao h¬n lµ ph¶n x¹ bËc nhÊt tõ çc mÆt ®Æt t¹i kho¶ng çch b»ng 1/n kho¶ng
çch d. B»ng çch ®Æt d’ = d/n vµ thay vµo ph−¬ng tr×nh (2.10) ta cã thÓ viÕt
®Þnh luËt Bragg theo çch th«ng th−êng lµ λ = 2d’sinθ hoÆc ®¬n gi¶n lµ
λ = 2dsinθ.
ThÝ dô, ph¶n x¹ 440 cã thÓ xem lµ ph¶n x¹ bËc bèn tõ mÆt (110) cã kho¶ng
çch d hoÆc ph¶n x¹ bËc hai tõ mÆt (220) víi kho¶ng çch d’ = d/2, hay
thËm chÝ lµ ph¶n x¹ bËc nhÊt tõ mÆt (440) víi kho¶ng çch d’ = 1/4. Quy
−íc nµy bao hµm ®Þnh nghÜa vÒ çc chØ sè Miller trong môc 1.4, v× mÆt víi
chØ sè Miller (nh nk nl) lµ song song víi mÆt cã chØ sè Miller (hkl) nh−ng cã
kho¶ng çch b»ng 1/n kho¶ng çch gi÷a çc mÆt (hkl). (L−u ý r»ng ph¶n x¹
bËc cao lµ rÊt quan träng ®èi víi nhiÔu x¹ ®iÖn tö trong kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö
truyÒn qua vµ sÏ ®−îc tr×nh bµy trong ch−¬ng 3 cña gi¸o tr×nh nµy).
§Þnh luËt Bragg lµ ®iÒu kiÖn cÇn song ch−a ®ñ cho nhiÔu x¹ bëi tinh thÓ
thùc. Ph−¬ng tr×nh (2.8) chØ râ nhiÔu x¹ ch¾c ch¾n x¶y ra ®èi víi çc « ®¬n
vÞ cã çc nguyªn tö chØ ë çc gãc « m¹ng. Tuy nhiªn, çc nguyªn tö n»m t¹i
vÞ trÝ kh¸c (thÝ dô, ë bªn trong nh− ®èi víi LPTK vµ trªn mÆt nh− LPTM)
ho¹t ®éng nh− çc t©m t¸n x¹ phô, chóng t¹o nªn t¸n x¹ lÖch pha t¹i çc gãc
Bragg nµo ®ã. KÕt qu¶ lµ mÊt ®i mét sè tia nhiÔu x¹ mµ theo ph−¬ng tr×nh
(2.8) ph¶i cã mÆt. ThÝ dô, víi cÊu tróc LPTK, (h+k+l) ph¶i lµ mét sè ch½n th×
nhiÔu x¹ míi xuÊt hiÖn, trong khi víi LPTM h, k vµ l ph¶i ch½n c¶ hoÆc lÎ c¶.
82
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.7 Quan hÖ gi÷a trôc m¹ng thuËn a, b, c vµ m¹ng ®¶o a*, b*, c*.
2.3.3 M¹ng ®¶o

Tr−íc khi bµn luËn xa h¬n vÒ nhiÔu x¹ tia x còng cÇn ®Ò cËp ®Õn m¹ng ®¶o
®−îc x©y dùng nh»m môc ®Ých diÔn gi¶i hiÖn t−îng nhiÔu x¹ tõ m¹ng tinh
thÓ. Trong kh«ng gian thùc çc mÆt tinh thÓ ®−îc x¸c ®Þnh bëi gi¸ trÞ ®iÓm
c¾t trªn çc trôc täa ®é, th−êng ®−îc x¸c ®Þnh b»ng sè nguyªn lÇn kÝch th−íc
« m¹ng, h×nh 1.13. ThÝ dô, mÆt ph¼ng c¾t trôc x, y vµ z t¹i 3a, 2b vµ 4c,
trong ®ã a, b vµ c t−¬ng øng lµ kÝch th−íc « ®¬n vÞ trªn h−íng x, y vµ z, sÏ
cã tªn lµ mÆt ph¼ng (324). Çc mÆt ph¼ng víi gi¸ trÞ ®iÓm c¾t h, k, l cã hä
mÆt ph¼ng nh, nk, nl song song víi mÆt (hkl), n lµ sè nguyªn, vµ còng ®ãng
gãp cho tia nhiÔu x¹. Çc mÆt ph¼ng nµy çch nhau mét kho¶ng dhkl/n nh−
®· ®−îc tr×nh bµy ë trªn.
MÆt ph¼ng trong kh«ng gian thùc cã thÓ ®−îc biÓu diÔn b»ng mét nót m¹ng
trong kh«ng gian ®¶o. ¤ c¬ b¶n m¹ng ®¶o ®−îc x¸c ®Þnh bëi çc vect¬
a*, b*, c* tho¶ m·n hÖ thøc sau:
a*a = b*b = c*c = 1, (2.11)
a*b = b*c = c*a = 0. (2.12)
ë ®©y a, b, c lµ çc vect¬ ®¬n vÞ trong tinh thÓ. §iÒu ®ã cã nghÜa vect¬ a*
vu«ng gãc víi b vµ c, tøc vu«ng gãc víi mÆt ph¼ng chøa b vµ c, h×nh 2.7.
T−¬ng tù nh− thÕ cho b* vµ c*. Bëi vËy nÕu vect¬ a kh«ng vu«ng gãc víi b vµ
c th× a* kh«ng song song víi a. Nh−ng ®èi víi trôc trùc giao ta cã:
a*//a, b*//b, c*//c vµ |a*|=1/ |a|, |b*|=1/|b|, |c*|=1/|b|
NhËn xÐt r»ng nh÷ng hÖ thøc x¸c ®Þnh m¹ng ®¶o trªn ®©y ®èi xøng so víi a*
vµ a. Tøc lµ nÕu m¹ng R lµ ®¶o so víi m¹ng L th× L lµ m¹ng ®¶o so víi
m¹ng R. DÔ dµng thÊy r»ng
83
H×nh 2.8 X©y dùng m¹ng ®¶o.
b×c * c×a * a×b

a* = ,b = ,c = (2.13)
Vc Vc Vc
trong ®ã Vc lµ thÓ tÝch cña « c¬ b¶n m¹ng tinh thÓ, thªm vµo ®ã:
Vc = a(b×c) = b(c×a) = c(a×b) (2.14)
Râ rµng çc biÓu thøc ®èi víi a*, b* vµ c* tho¶ m·n (2.11) vµ (2.12).
M¹ng ®¶o cã tÝnh chÊt quan träng sau ®©y:
1) Mçi nót m¹ng ®¶o t−¬ng øng víi mét mÆt (hkl) cña tinh thÓ.
2) Vect¬ m¹ng ®¶o ghkl = ha*+kb*+lc* vu«ng gãc víi mÆt ph¼ng m¹ng (hkl)
cu¶ m¹ng tinh thÓ vµ
1
g hkl = (2.15)
d hkl
trong ®ã dhkl lµ kho¶ng çch gi÷a çc mÆt ph¼ng (hkl) nµy trong m¹ng tinh thÓ.
H×nh 2.8 lµ mét phÇn m¹ng ®¶o cña m¹ng lËp ph−¬ng t©m mÆt ®−îc x©y
dùng theo çch ®· tr×nh bµy ë trªn. Çc nót m¹ng ®¶o t−¬ng øng víi çc mÆt
ph¼ng víi chØ sè Miller h k l vµ c¶ çc mÆt ph¼ng víi chØ sè nh nk nl trong
®ã n = 1, 2, 3, 4 ... lµ nh÷ng mÆt cïng tham gia vµo sù nhiÔu x¹. Nh− vËy,
m¹ng ®¶o x¸c ®Þnh mét kho¶ng vÞ trÝ m¹ng cã kh¶ n¨ng dÉn ®Õn sù nhiÔu x¹.
Sù nhiÔu x¹ tia x cã thÓ dù ®o¸n nhê m¹ng ®¶o b»ng çch x©y dùng nh−
®−îc minh häa trong h×nh 2.9. Cho r»ng tia tíi ®i qua gèc täa ®é cña kh«ng
gian thùc vµ c¶ kh«ng gian ®¶o t¹i 0. Sau ®ã vÏ mÆt cÇu b¸n kÝnh 1/λ, trong
®ã λ lµ b−íc sãng photon tia x, víi t©m cña nã n»m trªn h−íng tia tíi vµ ë vÞ
84
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.9 Sö dông m¹ng ®¶o ®Ó dù ®o¸n nhiÔu x¹.
trÝ sao cho mÆt cÇu ®i qua gèc täa ®é. MÆt cÇu ®ã ®−îc gäi lµ mÆt cÇu ph¶n
x¹ hay mÆt cÇu Ewald. NhiÔu x¹ tia x sÏ x¶y ra hay ®Þnh luËt Bragg ®−îc
tho¶ m·n nÕu mÆt cÇu Ewald c¾t nót m¹ng ®¶o. Khi Êy h−íng cña tia nhiÔu
x¹ ®−îc x¸c ®Þnh bëi vect¬ k1 xuÊt ph¸t tõ t©m C cña mÆt cÇu Ewald tíi P
tho¶ m·n ph−¬ng tr×nh:
g = k1 - k 0 (2.16)
Trong ®ã g lµ vect¬ m¹ng ®¶o t−¬ng øng víi mÆt ph¶n x¹, k0 lµ vect¬ sãng
tíi vµ k1 lµ vect¬ sãng nhiÔu x¹. Nh− vËy, tÊt c¶ çc nót ®¶o n»m trªn mÆt
cÇu Ewald ®Òu cho h−íng nhiÔu x¹ cã thÓ cã: k1, k'1, k''1,... Sù nhiÔu x¹ còng
cã thÓ ®−îc tho¶ m·n b»ng çch quay tinh thÓ vµ ®iÒu ®ã ®ång nghÜa víi
quay m¹ng ®¶o hoÆc thay ®¬n tinh thÓ b»ng bét tinh thÓ ®Ó nhËn ®−îc v« sè
®Þnh h−íng kh¸c nhau cña mÆt ph¶n x¹. Râ rµng kh«ng tån t¹i nót m¹ng ®¶o
n»m ngoµi mÆt cÇu b¸n kÝnh 2/λ cã thÓ c¾t cÇu Ewald vµ do ®ã kh«ng thÓ
x¶y ra nhiÔu x¹ tia x, bëi thÕ mÆt cÇu b¸n kÝnh 2/λ lµ mÆt cÇu giíi h¹n.
Nh− vËy, mçi cÊu tróc tinh thÓ cã hai m¹ng liªn hîp víi nã, m¹ng tinh thÓ vµ
m¹ng ®¶o. ¶nh nhiÔu x¹ cña tinh thÓ, nh− ta sÏ thÊy, lµ mét bøc tranh m¹ng
®¶o cña tinh thÓ. ¶nh hiÓn vi víi ®é ph©n gi¶i cã gi¸ trÞ ®ñ nhá lµ mét bøc
tranh cÊu tróc tinh thÓ trong kh«ng gian thùc. Hai m¹ng nµy liªn hÖ víi nhau
85
bëi çc hÖ thøc (2.11) vµ (2.12). Do vËy khi ta quay tinh thÓ trong gi¸ ®ì ta
quay c¶ m¹ng thùc vµ m¹ng ®¶o. Çc vect¬ trong m¹ng thùc cã thø nguyªn
[chiÒu dµi], çc vect¬ trong m¹ng ®¶o cã thø nguyªn [1/chiÒu dµi].
2.4 C−êng ®é tia x nhiÔu x¹
NhiÔu x¹ tia x ®· chøng tá kh¶ n¨ng øng dông rÊt hiÖu qu¶ trong ph©n tÝch vi
cÊu tróc cu¶ vËt liÖu bëi lÏ nã cã thÓ tÝnh to¸n ®−îc vÞ trÝ còng nh− c−êng ®é
t−¬ng ®èi cña tia nhiÔu x¹ víi ®é chÝnh x¸c cao. Do ®ã cã thÓ so s¸nh çc
gi¸ trÞ tÝnh to¸n víi çc gi¸ trÞ ®o ®−îc ®Ó x¸c ®Þnh çc th«ng sè m¹ng vµ v×
thÕ x¸c ®Þnh ®−îc çc lo¹i mÆt tinh thÓ. Bëi vËy mét th− viÖn ®å sé ¶nh
nhiÔu x¹ vÒ vÞ trÝ vµ c−êng ®é vÕt nhiÔu x¹ ®Ó ph©n tÝch cÊu tróc ®· ®−îc
thiÕt lËp tõ nh÷ng n¨m 60 cña thÕ kû XX vµ nã cho phÐp x¸c ®Þnh ®−îc hÇu
hÕt çc hîp chÊt c¨n cø vµo vÞ trÝ vµ c−êng ®é vÕt nhiÔu x¹ quan s¸t ®−îc.
øng dông cña thµnh qu¶ nµy ngµy cµng ph¸t triÓn ®Çy ®ñ h¬n.
VÊn ®Ò tÝnh to¸n c−êng ®é pic nhiÔu x¹ riªng biÖt ®¬n gi¶n lµ céng sãng
h×nh sin víi pha vµ biªn ®é kh¸c nhau. Sau ®©y ta sÏ kh¶o s¸t c−êng ®é cña
tia nhiÔu x¹ bëi nguyªn tö t¹i çc vÞ trÝ kh¸c nhau trong m¹ng tinh thÓ.
H−íng cña tia nhiÔu x¹ kh«ng bÞ ¶nh h−ëng bëi lo¹i nguyªn tö ë tõng vÞ trÝ
riªng biÖt, vµ hai « m¹ng ®¬n vÞ cã cïng kÝch th−íc nh−ng víi sù s¾p xÕp
nguyªn tö kh¸c nhau sÏ nhiÔu x¹ tia x trªn cïng mét h−íng. Tuy nhiªn
c−êng ®é cña çc tia nhiÔu x¹ nµy cã thÓ thay ®æi vµ thùc ra c−êng ®é cña
mét sè tia nµo ®ã cã thÓ b»ng kh«ng. Qu¸ tr×nh x¸c ®Þnh c−êng ®é tia nhiÔu
x¹ ®−îc tiÕn hµnh theo ba b−íc: 1) nhiÔu x¹ tia x bëi mét ®iÖn tö tù do, 2)
nhiÔu x¹ tia x bëi mét nguyªn tö b»ng çch sö dông kÕt qu¶ cña t¸n x¹ bëi
mét ®iÖn tö vµ 3) nhiÔu x¹ tia x bëi « m¹ng c¬ b¶n nhê sö dông kÕt qu¶ t¸n
x¹ bëi mét nguyªn tö.
2.4.1 T¸n x¹ bëi mét ®iÖn tö
V× photon tia x lµ sãng ®iÖn tõ nªn nã bÞ t¸n x¹ m¹nh bëi ®iÖn tö.
J.J. Thomson ®· chøng minh ®−îc r»ng c−êng ®é t¸n x¹ tia x bëi mét ®iÖn tö
t¹i kho¶ng çch r kÓ tõ ®iÖn tö cã ®iÖn tÝch e vµ khèi l−îng M ®−îc cho bëi
biÓu thøc
e4
I = I0 sin 2 2θ (2.17)
r 2 M 2c 4
trong ®ã I0 - c−êng ®é tia x tíi, c - tèc ®é ¸nh s¸ng vµ 2θ - h−íng t¸n x¹.
86
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.10 T¸n x¹ tia x bëi mét nguyªn tö.
2.4.2 T¸n x¹ bëi mét nguyªn tö

Nguyªn tö gåm cã h¹t nh©n tÝch ®iÖn d−¬ng vµ çc ®iÖn tö tÝch ®iÖn ©m bao
quanh. Tia x tíi bÞ t¸n x¹ bëi ®iÖn tö vµ c¶ h¹t nh©n. Tuy nhiªn, ph−¬ng tr×nh
(2.17) cho thÊy r»ng v× khèi l−îng cña h¹t nh©n rÊt lín, gÊp hµng ngµn lÇn
khèi l−îng ®iÖn tö, nªn cã thÓ bá qua t¸n x¹ tia tíi bëi h¹t nh©n. Do ®ã t¸n
x¹ toµn phÇn trªn mét nguyªn tö chñ yÕu lµ do t¸n x¹ bëi tÊt c¶ ®iÖn tö riªng
biÖt, h×nh 2.10.
Theo h−íng th¼ng sù t¸n x¹ sÏ b»ng tæng t¸n x¹ bëi tõng ®iÖn tö riªng biÖt.
Tuy nhiªn, ®iÒu ®ã kh«ng ¸p dông ®−îc cho çc h−íng kh¸c v× çc ®iÖn tö ë
çc vÞ trÝ kh¸c nhau quanh h¹t nh©n sÏ sinh ra sãng t¸n x¹ víi pha kh¸c nhau
vµ sÏ giao thoa víi nhau. §¹i l−îng thõa sè t¸n x¹ nguyªn tö f ®−îc sö dông
®Ó m« t¶ hiÖu suÊt t¸n x¹ trªn mét h−íng riªng biÖt vµ ®−îc x¸c ®Þnh bëi tØ
sè sau:
biªn ®é sãng t¸n x¹ bëi mét nguyªn tö
f= (2.18)
biªn ®é sãng t¸n x¹ bëi mét ®iÖn tö
Gi¸ trÞ f b»ng sè ®iÖn tö trong nguyªn tö khi θ = 0, hay f = Z lµ nguyªn tö sè,
song gi¸ trÞ nµy gi¶m khi θ t¨ng vµ λ gi¶m. §å thÞ f lµ mét hµm cña
(sin θ)/λ, ®èi víi ®ång (Cu) cho thÊy f b¾t ®Çu gi¶m tõ 29 (nguyªn tö sè cña
Cu) khi gi¸ trÞ (sin θ)/λ t¨ng, h×nh 2.11.
87
H×nh 2.11 Sù biÕn thiªn cña thõa sè t¸n x¹ nguyªn tö cña ®ång (Cu),
nh«m (Al) vµ oxy (O) theo (sin θ)/λ.
2.4.3 NhiÔu x¹ bëi « m¹ng c¬ b¶n

B©y giê ta h·y xem xÐt ¶nh h−ëng cña vÞ trÝ nguyªn tö trong « c¬ b¶n ®Õn
biªn ®é sãng t¸n x¹. V× « c¬ b¶n lµ phÇn tö nhá nhÊt lÆp l¹i tuÇn hoµn t¹o
thµnh tinh thÓ nªn ®©y lµ b−íc cuèi cïng trong tr×nh tù x¸c ®Þnh c−êng ®é
cña tia nhiÔu x¹. Ph−¬ng ph¸p tÝnh to¸n còng t−¬ng tù nh− ®èi víi t¸n x¹ bëi
çc ®iÖn tö t¹i vÞ trÝ kh¸c nhau trong nguyªn tö song ph¶i l−u ý ®Õn sù kh¸c
pha do nguyªn tö ë çc vÞ trÝ kh¸c nhau trong « c¬ b¶n. Gi¶ thiÕt cã hai
nguyªn tö A vµ B víi A ë gèc täa ®é vµ B t¹i nót cã to¹ ®é u,v,w, h×nh 2.12,
th× sù lÖch pha gi÷a sãng t¸n x¹ bëi nguyªn tö B vµ sãng t¸n x¹ bëi nguyªn
tö A ®èi víi ph¶n x¹ hkl lµ
φ = 2π (hu + kv + lw) (2.19)
NÕu çc nguyªn tö lµ cïng lo¹i th× biªn ®é sãng t¸n x¹ bëi mçi nguyªn tö sÏ
nh− nhau, nh−ng víi « ®¬n vÞ chøa nhiÒu h¬n mét lo¹i nguyªn tö th× çc
sãng víi biªn ®é vµ pha kh¸c nhau ph¶i ®−îc tæ hîp ®Ó cho c−êng ®é tæng
céng. Biªn ®é sãng t¸n x¹ cã thÓ ®−îc biÓu diÔn nh− mét hµm mò phøc Aeiφ.
88
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.12 NhiÔu x¹ tia x bëi çc nguyªn tö.

C−êng ®é cña sãng nµy ®¬n gi¶n lµ b×nh ph−¬ng cña biªn ®é tøc ⏐Aeiφ⏐2, mµ
biªn ®é lµ gi¸ trÞ thõa sè t¸n x¹ nguyªn tö f cña nguyªn tö quan t©m. Nh−
vËy, sö dông biÓu thøc cho pha ta cã:
Aeiφ = fe 2πi ( hu + kv + lw) (2.20)
Sãng tæng hîp tõ « c¬ b¶n ®¬n gi¶n lµ tæng çc sãng t¸n x¹ bëi toµn bé
nguyªn tö thuéc « vµ cã liªn quan ®Õn Thõa sè cÊu tróc F. Sãng tæng hîp
nµy lµ tæng çc sãng tõ « c¬ b¶n cã biªn ®é A1, A2, A3,...vµ gãc pha φ1, φ2,
φ3,... t−¬ng øng. NÕu biªn ®é cña mçi sãng ®−îc biÓu diÔn b»ng ®é dµi cña
mét vect¬ vµ pha lµ h−íng cña vect¬ th× tia nhiÔu x¹ chÝnh lµ tæng vect¬ cña
çc sãng, h×nh 2.13. Nh− vËy sãng t¸n x¹ tõ nguyªn tö thø j ®−îc ph©n tÝch
thµnh hai thµnh phÇn ngang vµ ®øng víi chiÒu dµi t−¬ng øng lµ fjcosφj vµ
fjsinφj. Tr×nh tù nµy t¹o nªn mét ®a gi¸c nhiÒu c¹nh víi c¹nh huyÒn lµ F
trong ®ã ⏐F⏐2 lµ c−êng ®é. Nh− thÕ biªn ®é cña sãng t¸n x¹ bëi « c¬ b¶n lµ
⏐F⏐:
1/ 2
⎧⎪⎡ ⎤ ⎫⎪
2 2
⎤ ⎡
F = ⎨⎢∑ f j cos 2π (hu j + kv j + lw j )⎥ + ⎢∑ f j sin 2π (hu j + kv j + lw j )⎥ ⎬
⎪⎩⎣ j ⎦ ⎣ j ⎦ ⎪⎭
(2.21)
hoÆc
[
Fhkl = ∑ f j exp 2πi (hu j + kv j + lw j ) ]
n
(2.22)
j =1
ë ®©y, n lµ sè nguyªn tö thuéc « c¬ b¶n vµ c−êng ®é cña tia nhiÔu x¹ lµ

⏐Fhkl⏐2.
89
H×nh 2.13 Céng vect¬ cña sãng nhiÔu x¹ tia x bëi çc nguyªn tö.
Ph−¬ng tr×nh (2.22) tr−íc hÕt cho biÕt çc ph¶n x¹ hkl nµo sÏ cho vÕt trªn
¶nh nhiÔu x¹ ®èi víi çc nguyªn tö ë vÞ trÝ u,v,w trong cÊu tróc tinh thÓ ®·
cho. §©y chÝnh lµ quy t¾c läc lùa. C−êng ®é tia nhiÔu x¹ bëi toµn bé nguyªn
tö thuéc « c¬ b¶n ®−îc dù ®o¸n bëi ®Þnh luËt Bragg tØ lÖ víi ⏐Fhkl⏐2. C−êng
®é cña çc ph¶n x¹ lµ nh÷ng g× ta cã thÓ nhËn thÊy ®−îc trong ¶nh nhiÔu x¹.
Çc ph¶n x¹ víi F = 0 sÏ cã c−êng ®é b»ng kh«ng vµ sÏ kh«ng xuÊt hiÖn
trªn ¶nh nhiÔu x¹, çc ph¶n x¹ nµy ®−îc gäi lµ ph¶n x¹ cÊm nh− ®· nãi ®Õn
ë trªn. Ph−¬ng tr×nh (2.22) lµ ph−¬ng tr×nh tæng qu¸t, nã ®−îc ¸p dông cho
mäi m¹ng tinh thÓ cho dï cã 1 hoÆc 100 nguyªn tö/« ®¬n vÞ vµ cho dï lµ cÊu
tróc lËp ph−¬ng, s¸u ph−¬ng hoÆc ba nghiªng. Thõa sè cÊu tróc cã thÓ x¸c
®Þnh ®−îc cho « c¬ b¶n khi biÕt vÞ trÝ vµ thõa sè t¸n x¹ nguyªn tö cña mçi
nguyªn tö. Mét sè thÝ dô ®−îc ®−a ra d−íi ®©y ®Ó minh ho¹ cho çch ¸p
dông ph−¬ng tr×nh (2.22) ®Ó tÝnh thõa sè cÊu tróc F.
Thõa sè cÊu tróc m¹ng lËp ph−¬ng ®¬n gi¶n
Trong « ®¬n vÞ lËp ph−¬ng ®¬n gi¶n (LP§G) chØ cã mét nguyªn tö ë vÞ trÝ
0,0,0. Thay to¹ ®é 0,0,0 cho u,v,w t−¬ng øng trong ph−¬ng tr×nh (2.22). Nh−
vËy thõa sè cÊu tróc cho cÊu tróc LP§G lµ
F = fe 2πi ( 0 ) = f (2.23)
§èi víi cÊu tróc LP§G, F kh«ng phô thuéc vµo h, k vµ l, ®iÒu ®ã cã nghÜa
mäi ph¶n x¹ ®Òu cho phÐp. Nh− vËy, trong ¶nh nhiÔu x¹ tia x tõ vËt liÖu cÊu
tróc LP§G ta sÏ thÊy çc ph¶n x¹ t−¬ng øng víi çc tia nhiÔu x¹ bëi mäi
mÆt ph¼ng m¹ng:
(100), (110), (111), (200), (210), (211), (220), (300), (221), (310),...
90
c h − ¬ n g 2
Thõa sè cÊu tróc m¹ng lËp ph−¬ng t©m khèi

Trong « m¹ng lËp ph−¬ng t©m khèi (LPTK) cã hai nguyªn tö øng víi to¹ ®é
0,0,0 vµ 1/2,1/2,1/2. Thay çc gi¸ trÞ nµy cho u, v vµ w trong ph−¬ng tr×nh
(2.22) ta ®−îc:
h k l
2πi ( + + )
F = fe 2πi ( 0) + fe 2 2 2
(2.24)
hay
[
F = f 1 + e πi ( h + k + l ) ] (2.25)
NÕu tæng h+k+l lµ sè ch½n th× sè h¹ng hµm mò b»ng 1 vµ F = 2f. NÕu tæng
h+k+l lÎ th× sè h¹ng thø hai b»ng -1 vµ F = 0. Nh− vËy, ®èi víi m¹ng LPTK
F ≠ 0 chØ khi tæng h+k+l lµ ch½n vµ sÏ thÊy çc ph¶n x¹ øng víi çc mÆt sau:
(110), (200), (211), (220), (310), (222), (321), (400), (411), (330), ...
Thõa sè cÊu tróc m¹ng lËp ph−¬ng t©m mÆt
Trong cÊu tróc m¹ng lËp ph−¬ng t©m mÆt (LPTM) cã bèn nguyªn tö t¹i çc
vÞ trÝ 0,0,0; 1/2,1/2,0; 1/2,0,1/2 vµ 0,1/2,1/2. Thay çc gi¸ trÞ nµy cho u, v vµ
w trong ph−¬ng tr×nh (2.22) ta ®−îc
h k h l k l
2πi ( + ) 2πi ( + ) 2πi ( + )
F = fe 2πi ( 0 ) + fe 2 2
+ fe 2 2
+ fe 2 2
(2.26)
hay
[
F = f 1 + e πi ( h + k ) + e π i ( h + l ) + e π i ( k + l ) ] (2.27)
NÕu h, k vµ l cïng ch½n hoÆc cïng lÎ, tøc kh«ng “hçn hîp”, th× çc tæng
h + k, h + l vµ k + l lµ sè nguyªn ch½n, vµ mçi sè h¹ng hµm mò trong
ph−¬ng tr×nh (2.27) cã gi¸ trÞ b»ng1. Nh− vËy, ®èi víi cÊu tróc LPTM ta cã
F = 4 f víi chØ sè h, k, l ch½n c¶ hoÆc lÎ c¶.
NÕu h, k vµ l lµ hçn hîp th× tæng cña ba hµm mò b»ng -1. ThÝ dô, h = 0, k =1
vµ l = 2, tøc mÆt cã chØ sè (012), th× F = f(1-1+1-1) = 0 vµ kh«ng cã nhiÔu
x¹. Bëi vËy, ®èi víi vËt liÖu cã cÊu tróc LPTM F ≠ 0 khi chØ sè h, k, l cïng
ch½n hoÆc cïng lÎ hay chØ thÊy çc mÆt sau ®©y tham gia ph¶n x¹:
(111), (200), (220), (311), (222), (400), (331), (420), (422), (333), ...
91
H×nh 2.14 Sù s¾p xÕp ion trong NaCl. S¸u ion Cl- cã thÓ xÕp quanh mét
ion Na+.
Trong ba thÝ dô trªn, « c¬ b¶n ®−îc chän lµ « c¬ b¶n lËp ph−¬ng vµ thõa sè
nguyªn tö f lµ nh− nhau. Thõa sè cÊu tróc kh«ng phô thuéc vµo h×nh d¹ng vµ
kÝch th−íc « c¬ b¶n. BÊt kú « m¹ng ®¬n gi¶n nµo còng cho ph¶n x¹ øng víi
nhiÔu x¹ tõ mäi mÆt ph¼ng m¹ng; bÊt kú « c¬ b¶n LPTK nµo còng cho ph¶n
x¹ khi tæng h+k+l lµ mét sè ch½n; bÊt kú « c¬ b¶n LPTM nµo còng cho ph¶n
x¹ khi h, k vµ l kh«ng ph¶i lµ hçn hîp. Tuy nhiªn, kh«ng ph¶i mäi ph¶n x¹
kh«ng hçn hîp ®Òu thÊy ®−îc trong mäi « m¹ng LPTM. Mét sè ph¶n x¹ nµy
cã thÓ kh«ng xuÊt hiÖn tuú thuéc vµo sè nguyªn tö thuéc « c¬ b¶n.
H·y xÐt « ®¬n vÞ chøa mét cë së (basis) gåm hai nguyªn tö trªn mét nót
m¹ng. CÊu tróc NaCl, h×nh 2.14, ®−îc x©y dùng trªn c¬ së m¹ng Bravais
LPTM víi nót m¹ng gåm hai nguyªn tö, hoÆc chÝnh x¸c h¬n lµ çc ion (mét
Na vµ mét Cl). §Ó tÝnh thõa sè cÊu tróc cho NaCl ta sö dông kÕt qu¶ cho cÊu
tróc LPTM víi ®ãng gãp cña basis. CÊu tróc NaCl cã 8 nguyªn tö/« ®¬n vÞ,
4Na vµ 4Cl. Thõa sè t¸n x¹ cña nguyªn tö vµ cña ion lµ h¬i kh¸c nhau ë gãc
nhá nh−ng hÇu nh− gièng nhau ë gãc lín.
Th«ng th−êng, ®èi víi NaCl basis gåm mét Na ë vÞ trÝ 0,0,0 vµ mét Cl t¹i vÞ
trÝ 1/2,0,0. Ta còng cã thÓ t¹o basis víi ion Na t¹i 0,0,0 vµ ion Cl ë 1/2,
1/2,1/2, h×nh 2.14. Sö dông ph−¬ng tr×nh (2.22) vµ viÕt thõa sè cÊu tróc cho
NaCl nh− sau
[ ][
F = f Na + f Cl e πi ( h + k +l ) . 1 + fe πi ( h + k ) + fe πi ( h +l ) + fe πi ( k +l ) ] (2.28)
Thõa sè thø nhÊt trong ph−¬ng tr×nh (2.28) m« t¶ c¬ së cña « ®¬n vÞ víi ion
Na t¹i 0,0,0 vµ ion Cl ë 1/2,1/2,1/2. Thõa sè thø hai gièng nh− thõa sè trong
ngoÆc vu«ng cña ph−¬ng tr×nh (2.27) lµ thõa sè cÊu tróc m¹ng LPTM. Kh¸c
92
c h − ¬ n g 2
B¶ng 2.3 Quy t¾c läc lùa cho mét sè cÊu tróc tinh thÓ kh¸c nhau.
Lo¹i tinh M¹ng Ph¶n x¹ xuÊt hiÖn ®èi Ph¶n x¹ kh«ng xuÊt hiÖn
thÓ Bravais víi ®èi víi
§¬n gi¶n §¬n gi¶n h, k, l bÊt kú Kh«ng

T©m khèi T©m khèi h + k + l ch½n h + k + l lÎ
T©m mÆt T©m mÆt h, k vµ l cïng ch½n hoÆc h, k vµ l hçn hîp
cïng lÎ (kh«ng hçn hîp)
NaCl LPTM h, k vµ l cïng ch½n hoÆc h, k vµ l hçn hîp
cïng lÎ
LËp LPTM Nh− LPTM, h, k vµ l hçn hîp vµ nÕu tÊt
ph−¬ng nh−ng nÕu tÊt c¶ lµ ch½n c¶ ch½n vµ h + k + l ≠ 4N
kim vµ h + k +l≠ 4N th×
c−¬ng kh«ng cã
T©m ®¸y T©m ®¸y h vµ k ch½n hoÆc c¶ hai h vµ k hçn hîp
cïng lÎ
S¸u S¸u h+2k = 3N víi l ch½n h + 2k = 3N víi l lÎ
ph−¬ng ph−¬ng
xÕp chÆt h+2k = 3N±1 víi l lÎ
h+2k = 3N±1 víi l ch½n
víi tÝnh to¸n F cho vËt liÖu cÊu tróc LPTM, ®èi víi NaCl cÇn ph¶i l−u t©m
®Õn çc thõa sè t¸n x¹ nguyªn tö cho çc lo¹i nguyªn tö kh¸c nhau. Quy t¾c
läc lùa cho cÊu tróc NaCl lµ
F = 4(fNa + fCl) nÕu h, k, l lµ ch½n
F = 4(fNa - fCl) nÕu h, k, l lµ lÎ
F = 0 nÕu h, k, l lµ hçn hîp
§iÒu kiÖn thø ba gièng nh− cho cÊu tróc LPTM - ®iÒu nµy chøng tá NaCl cã
m¹ng Bravais LPTM. Hai ®iÒu kiÖn ®Çu lµ míi vµ phô thuéc vµo fNa ± fCl.
CÊu tróc NaCl chøa nhiÒu h¬n 4 nguyªn tö/« ®¬n vÞ kh«ng dÉn ®Õn giíi h¹n
93
H×nh 2.15 Gi¶n ®å nhiÔu x¹ tõ SiO2 tinh thÓ (a) vµ SiO2 v« ®Þnh h×nh (b).
t¾t cña bÊt kú ph¶n x¹ nµo ®−îc thÊy cho cÊu tróc LPTM, nh−ng nã dÉn tíi
sù thay ®æi vÒ c−êng ®é cña ph¶n x¹. ThÝ dô, ph¶n x¹ 111 ®èi víi NaCl sÏ
yÕu h¬n ph¶n x¹ 200 do sù h×nh thµnh kh¸c nhau, h¬n lµ do tæng, cña thõa
sè t¸n x¹ nguyªn tö cña çc nguyªn tö. Çc tÝnh to¸n vÒ c−êng ®é nµy gióp
ta x¸c ®Þnh ®−îc vÞ trÝ nguyªn tö trong tinh thÓ.
Çc quy luËt dËp t¾t kh¸c còng cã thÓ x¸c ®Þnh ®uîc cho m¹ng tinh thÓ
kh«ng thuéc kiÓu cÊu tróc ®−îc tr×nh bµy ë trªn. §èi víi « m¹ng phøc t¹p
viÖc tÝnh to¸n thõa sè cÊu tróc F còng phøc t¹p h¬n. B¶ng 2.3 tãm l−îc çc
kÕt qu¶ tÝnh to¸n cho thõa sè cÊu tróc. L−u ý r»ng c−êng ®é cña tia nhiÔu x¹
phô thuéc kh«ng chØ vµo F2 mµ cßn vµo çc thõa sè kh¸c. C−êng ®é tÝch
ph©n I cña tia nhiÔu x¹ lµ
⎛ 1 + cos 2 2θ ⎞ −2 M
I = F 2 p⎜⎜ 2 ⎟⎟e (2.29)
⎝ sin θ cosθ ⎠
trong ®ã p lµ thõa sè lÆp, thµnh phÇn trong ngoÆc lµ thõa sè Lorentz - ph©n
cùc vµ e-2M lµ thõa sè nhiÖt.
2.5 NhiÔu x¹ tõ vËt liÖu v« ®Þnh h×nh
NhiÔu x¹ tia x còng ®−îc sö dông ®Ó cung cÊp th«ng tin vÒ cÊu tróc cña vËt
liÖu v« ®Þnh h×nh hoÆc vËt liÖu kh«ng tinh thÓ nh− thuû tinh. Trªn thùc tÕ,
94
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.16 S¬ ®å m« t¶: (a) d¹ng tinh thÓ vµ (b) d¹ng v« ®Þnh h×nh cña
cïng mét hîp chÊt.
nhiÔu x¹ tia x ®· ®−îc thùc hiÖn tõ sím vµ ®i ®Õn mét sè lý thuyÕt vÒ cÊu
tróc thuû tinh. ¶nh nhiÔu x¹ tia x tõ SiO2 v« ®Þnh h×nh (thuû tinh silic) vµ tõ
SiO2 tinh thÓ (cristobalite) ®−îc giíi thiÖu trong h×nh 2.15. VËt liÖu tinh thÓ
cho mét lo¹t pic nÐt, hay ph¶n x¹, do tia nhiÔu x¹ ph¸t sinh tõ çc mÆt ph¼ng
m¹ng kh¸c nhau. Thuû tinh cho mét pic më réng mµ vÞ trÝ ®Ønh pic trïng víi
vÞ trÝ pic m¹nh quan s¸t thÊy trong ¶nh nhiÔu x¹ cña vËt liÖu tinh thÓ cña
cïng mét hîp chÊt. Sù kh¶o s¸t nµy dÉn tíi kÕt luËn lµ trong vËt liÖu v« ®Þnh
h×nh kh«ng cã trËt tù xa nh− trong tinh thÓ. VËt liÖu v« ®Þnh h×nh chØ cã trËt
tù gÇn. CÇn l−u ý r»ng ta còng cã thÓ t×m thÊy trong thùc nghiÖm sù më réng
pic tia x x¶y ra khi tinh thÓ hoÆc kÝch th−íc h¹t cña vËt liÖu lµ rÊt nhá
(< 0,1 μm). Sù më réng pic t¨ng theo sù gi¶m vÒ kÝch th−íc tinh thÓ. H×nh
2.16 minh ho¹ sù kh¸c nhau gi÷a d¹ng tinh thÓ trËt tù (a) vµ cÊu tróc cã thÓ
cã cña d¹ng thuû tinh (b) cña cïng mét hîp chÊt.
Polyme ®−îc tæng hîp tõ çc chuçi ph©n tö th−êng s¾p xÕp theo çch ngÉu
nhiªn. Trong mét sè polyme, ®Æc biÖt lµ çc polyme víi cÊu t¹o sîi ®¬n,
chuçi cã thÓ ®−îc s¾p xÕp thµnh çc miÒn cã trËt tù nh− trong h×nh 2.17. Çc
miÒn trËt tù nµy ®−îc gäi lµ çc tinh thÓ nhá hay vi tinh thÓ. NhiÒu polyme
bao gåm çc phÇn h¹t vi tinh thÓ - chóng cã çc h¹t vi tinh thÓ ph©n t¸n
trong nÒn v« ®Þnh h×nh. ThÝ dô, polyethylen (PE) gåm çc chuçi ph©n tö -
(CH2 - CH2 )n - vµ polyterafluoroethylen (PTFE) cã chuçi ph©n tö -
(CF2 - CF2 )n - vµ c¶ hai ®Òu cã phÇn tr¨m khèi l−îng lín vi tinh thÓ. KÝch
th−íc vi tinh thÓ bé phËn cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc b»ng nhiÔu x¹ tia x nhê çch
®o sù më réng cña pic nhiÔu x¹.
95
H×nh 2.17 Vi tinh thÓ trong polyme.
2.6 NhiÔu x¹ ®¬n tinh thÓ
Hai ph−¬ng ph¸p chÝnh ®Ó thùc hiÖn nhiÔu x¹ ®¬n tinh thÓ lµ ph−¬ng ph¸p
Laue vµ ph−¬ng ph¸p xoay ®¬n tinh thÓ. §Ó tho¶ m·n ®iÒu kiÖn nhiÔu x¹
Bragg 2dsinθ = nλ, trong ph−¬ng ph¸p xoay ®¬n tinh thÓ chïm tia x ®¬n s¾c
(λ = const) ®−îc chiÕu lªn ®¬n tinh thÓ quay (θ thay ®æi) quanh mét ph−¬ng
tinh thÓ nµo ®ã. Trong ph−¬ng ph¸p Laue chïm bøc x¹ víi phæ liªn tôc
(λ thay ®æi) ®−îc räi lªn ®¬n tinh thÓ ®øng yªn (θ = const). Ngoµi ra, çc
ph−¬ng ph¸p kh¸c còng ®−îc sö dông ®Ó nghiªn cøu ®¬n tinh thÓ nh−
ph−¬ng ph¸p ®−êng Kossel. D−íi ®©y sÏ tr×nh bµy nguyªn lý t¹o ¶nh nhiÔu
x¹ vµ mét sè øng dông cña ph−¬ng ph¸p Laue.
H×nh 2.18 m« t¶ s¬ ®å bè trÝ thùc nghiÖm cña ph−¬ng ph¸p Laue truyÒn qua
vµ ¶nh nhiÔu x¹ truyÒn qua. Chïm tia x liªn tôc ®−îc chiÕu lªn mÉu ®¬n tinh
thÓ vµ tia nhiÔu x¹ ®−îc ghi nhËn bëi çc vÕt nhiÔu x¹ trªn phim. Bøc x¹ tia
x liªn tôc sÏ cho d¶i b−íc sãng cÇn thiÕt vµ ch¾c ch¾n tho¶ m·n ®Þnh luËt
Bragg cho mäi mÆt ph¼ng. Víi sù s¾p xÕp thùc nghiÖm nh− trong h×nh 2.18
phim cã thÓ ®−îc ®Æt sao cho ghi ®−îc ¶nh nhiÔu x¹ truyÒn qua d¹ng elip
hoÆc ¶nh nhiÔu x¹ ng−îc d¹ng hypebon nh− trong h×nh 2.19.
Trªn ¶nh Laue ta thÊy çc vÕt nhiÔu x¹ ph©n bè theo çc ®−êng cong d¹ng
elip, parabon vµ hypebon ®i qua t©m ¶nh. Çc ®−êng cong nµy ®−îc gäi lµ
çc ®−êng vïng bëi mçi ®−êng cong ®ã chøa çc vÕt nhiÔu x¹ cña çc mÆt
thuéc mét vïng mÆt ph¼ng trong tinh thÓ. Cã thÓ lý gi¶i hiÖn t−îng nµy nhê
kh¸i niÖm m¹ng ®¶o. Nh− ta ®· biÕt, mét vïng mÆt ph¼ng gåm çc mÆt tinh
thÓ c¾t nhau theo mét giao tuyÕn chung gäi lµ trôc vïng vµ vect¬ m¹ng ®¶o
ghkl vu«ng gãc víi mÆt (hkl) t−¬ng øng trong m¹ng tinh thÓ. Nh− thÕ vect¬
96
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.18 (a) X¸c ®Þnh çc vÕt Laue trªn elip trong ph−¬ng ph¸p chôp
truyÒn qua vµ (b) ¶nh nhiÔu x¹ tia x cña ®¬n tinh thÓ niobi (Nb) ®Þnh
h−íng {110}.
H×nh 2.19 (a) X¸c ®Þnh çc vÕt Laue trªn hypebon trong ph−¬ng ph¸p
chôp ng−îc vµ (b) mét thÝ dô vÒ ¶nh nhiÔu x¹ tia x Laue ng−îc.
ghkl ph¶i vu«ng gãc víi trôc vïng [uvw]. Bëi vËy çc vect¬ ghkl hay çc ph¸p
tuyÕn cña çc mÆt ph¼ng thuéc vïng sÏ cïng n»m trªn mét mÆt ph¼ng vu«ng
gãc víi trôc [uvw] cña vïng. B»ng ph−¬ng ph¸p vÏ cÇu Ewald dÔ dµng thÊy
r»ng mÆt ph¼ng ph¸p tuyÕn ®ã cña mét vïng sÏ c¾t cÇu Ewald theo mét
®−êng trßn giao tuyÕn vµ chØ nh÷ng nót ®¶o n»m trªn giao tuyÕn nµy míi
cho tia nhiÔu x¹. Nh− vËy, çc tia nhiÔu x¹ sÏ t¹o nªn mét h×nh nãn tia cã
trôc lµ trôc vïng vµ gãc më 2ϕ, trong ®ã ϕ lµ gãc t¹o bëi tia x tíi vµ trôc
vïng, h×nh 2.18 vµ 2.19. Giao tuyÕn cña nãn tia nhiÔu x¹ víi phim chÝnh lµ
d¹ng h×nh häc cña çc ®−êng vïng trªn ¶nh Laue. Khi ϕ < 45o ®−êng vïng
cã d¹ng elip, ®ã lµ ¶nh Laue truyÒn qua cña mÉu máng, h×nh 2.18. NÕu
ϕ = 45o ®−êng vïng lµ parabon. Khi ϕ > 45o ®−êng vïng cã d¹ng hypebon
97
H×nh 2.20 H×nh chiÕu stereo dùng theo ¶nh Laue. Trßn ®en (•) lµ vÕt nhiÔu
x¹, trßn tr¾ng (o) lµ h×nh chiÕu stereo dùng ®−îc tõ vÕt nhiÔu x¹ t−¬ng øng.
Çc vÕt nhiÔu x¹ 1, 2, 3, ..., 12 vµ t©m ¶nh t¹o thµnh ®−êng vïng d¹ng elip,
vµ çc h×nh chiÕu 1, 2, 3, ..., 12 t¹o thµnh cung kinh tuyÕn h×nh chiÕu t−¬ng
øng cã hai ®Çu lµ A vµ B.
vµ khi ϕ = 90o, mÆt nãn trë thµnh mÆt ph¼ng, ®−êng vïng lµ mét ®−êng
th¼ng, ®ã lµ çc ¶nh Laue ng−îc trong tr−êng hîp mÉu dµy, h×nh 2.19. Bëi
vËy, ¶nh Laue ®−îc t¹o nªn bëi tËp çc ®−êng vïng trªn ®ã ph©n bè çc vÕt
nhiÔu x¹ cña çc vïng mÆt ph¼ng t−¬ng øng trong tinh thÓ.
Ph−¬ng ph¸p Laue cho phÐp x¸c ®Þnh ®Þnh h−íng vµ tÝnh ®èi xøng cña tinh
thÓ. §Ó x¸c ®Þnh ®Þnh h−íng tinh thÓ, tr−íc hÕt nhê l−íi Vulf, th−íc ®Æc biÖt
hoÆc tÝnh to¸n ta dùng h×nh chiÕu gnomon-stereo hoÆc stereo theo ¶nh Laue
nhËn ®−îc tõ thùc nghiÖm nh− m« t¶ trong h×nh 2.20. Sau ®ã so s¸nh h×nh
chiÕu ®· dùng ®−îc nµy víi mét trong nh÷ng h×nh chiÕu chuÈn trong tµi liÖu
tra cøu trªn ®ã ®· ghi s½n ®Þnh h−íng tinh thÓ, hay ph−¬ng chiÕu tia x, vµ chØ
sè mÆt tinh thÓ t−¬ng øng, h×nh 2.21. §Ó so s¸nh ta ph¶i ®Æt t©m h×nh chiÕu
thùc nghiÖm ®· ®−îc can trªn giÊy can trïng víi t©m cña h×nh chiÕu chuÈn.
98
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.21 H×nh chiÕu stereo chuÈn cña m¹ng tinh thÓ lËp ph−¬ng t©m
mÆt theo ph−¬ng [001]. ChÊm trßn ®en cã ®−êng kÝnh lín nhÊt t−¬ng øng
víi ph¶n x¹ tõ mÆt ph¼ng nguyªn tö cã c−êng ®é m¹nh nhÊt.
TiÕp theo, xoay h×nh chiÕu sao cho çc ®iÓm trªn hai h×nh chiÕu trïng nhau.
NÕu thÊy cã sù trïng hîp tèt th× ph−¬ng tinh thÓ ®· ®−îc x¸c ®Þnh, ®ång thêi
ghi chØ sè hkl cña çc mÆt t−¬ng øng cho mçi ®iÓm cña h×nh chiÕu thùc
nghiÖm. Còng cã thÓ x¸c ®Þnh nhanh ®Þnh h−íng tinh thÓ b»ng çch quan s¸t
tÝnh ®èi xøng cña ¶nh Laue. ThÝ dô, ®èi víi hÖ lËp ph−¬ng nÕu ¶nh Laue cã
®èi xøng bËc 4 th× ph−¬ng [001] ®−îc ®Þnh h−íng song song víi tia x tíi, vµ
nÕu cã trôc ®èi xøng bËc 3 th× ®ã lµ ph−¬ng [111].
Khi chiÕu tia x song song víi trôc hoÆc mÆt ®èi xøng cña tinh thÓ th× çc vÕt
nhiÔu x¹ trªn ¶nh Laue còng thÓ hiÖn tÝnh ®èi xøng t−¬ng øng. Cã tÊt c¶ 10
kiÓu ®èi xøng trªn çc ¶nh Laue nh− chØ ra trong h×nh 2.22. ¶nh Laue kh«ng
®èi xøng 1 cã thÓ thu ®−îc tõ tinh thÓ bÊt kú. NÕu chïm tia tíi song song víi
çc trôc ®èi xøng th× ¶nh Laue cã ®èi xøng bËc 2, 3, 4, 6, h×nh 2.22. NÕu
99
H×nh 2.22 M−êi kiÓu ®èi xøng cña ¶nh Laue.
mÆt ®èi xøng m song song víi tia x tíi th× ¶nh Laue ®èi xøng qua mét ®−êng
th¼ng trªn ¶nh. NÕu däc theo chïm tia tíi cã c¶ trôc vµ mÆt ®èi xøng (2m,
3m, 4m, 6m) th× ¶nh Laue cã tÝnh ®èi xøng nh− trong h×nh 2.22. ThÝ dô, tinh
thÓ mét nghiªng ®−îc chôp theo trôc b sÏ cho ¶nh Laue kiÓu 2. §èi víi hÖ
lËp ph−¬ng, chôp däc trôc bËc 3 cã kh¶ n¨ng cho kiÓu 3 hoÆc 3m. KiÓu 4m
®Æc tr−ng cho çc tinh thÓ lËp ph−¬ng thuéc líp ®èi xøng cao nhÊt m3m.
Nh− vËy, b»ng çch ph©n tÝch tÝnh ®èi xøng cña ¶nh Laue ta cã thÓ x¸c ®Þnh
®−îc tÝnh ®èi xøng cña tinh thÓ.
Nh− trªn ®· tr×nh bµy, ¶nh Laue cung cÊp th«ng tin vÒ ®èi xøng vµ ®Þnh
h−íng tinh thÓ. Song nÕu kÝch th−íc h¹t ®a tinh thÓ lín h¬n ®−êng kÝnh tia
tíi ®· ®−îc chuÈn trùc (< 0,5 mm) th× víi hÖ thèng thùc nghiÖm th«ng
th−êng çc h¹t riªng biÖt cã thÓ n»m ë vÞ trÝ ph¶n x¹. Nh−ng dï sao çc vÕt
nhiÔu x¹ vÉn chøa ®ùng çc th«ng tin liªn quan ®Õn kÝch th−íc h¹t vµ sù
hoµn chØnh tinh thÓ.
Ph−¬ng ph¸p ghi ¶nh nhiÔu x¹ b»ng phim kh«ng phæ biÕn vµ mét kü thuËt
hiÖn ®¹i ®Ó ghi c−êng ®é víi ®é nh¹y cao vµ chÝnh x¸c h¬n ®· ®−îc sö dông
réng r·i ®Ó nghiªn cøu ®¬n tinh thÓ, ®ã lµ nhiÔu x¹ kÕ tia x. Kü thuËt ph©n
tÝch ®¬n tinh thÓ trªn nhiÔu x¹ kÕ lµ v« cïng phøc t¹p. Tuy nhiªn, víi sù trî
gióp cña m¸y tÝnh nhiÔu x¹ kÕ tia x ®· cho phÐp x¸c ®Þnh tÝnh ®èi xøng, ®Þnh
h−íng tinh thÓ, h»ng sè m¹ng chÝnh x¸c vµ çc ®Æc tr−ng kh¸c cña ®¬n tinh
thÓ, kÓ c¶ khi kh«ng biÕt tr−íc cÊu tróc vµ çc th«ng sè cña « c¬ b¶n.
100
c h − ¬ n g 2
2.7 Ph−¬ng ph¸p bét
Kü thuËt nhiÔu x¹ tia x ®−îc sö dông phæ biÕn nhÊt cho ®a tinh thÓ lµ
ph−¬ng ph¸p bét hay ph−¬ng ph¸p Debye. Trong kü thuËt nµy, mÉu ®−îc t¹o
thµnh bét víi môc ®Ých nhiÒu tinh thÓ cã ®Þnh h−íng ngÉu nhiªn ®Ó ch¾c
ch¾n r»ng mét sè lín h¹t cã ®Þnh h−íng tho¶ m·n ®iÒu kiÖn nhiÔu x¹ Bragg.
Trong ph©n tÝch tinh thÓ b»ng tia x hiÖn ®¹i ng−êi ta dïng nhiÔu x¹ kÕ
r¬ngen, h×nh 2.23. Mçi thiÕt bÞ cña h·ng s¶n xuÊt cã çc ®Æc ®iÓm riªng biÖt.
H×nh häc thùc nghiÖm ®−îc sö dông cho ph−¬ng ph¸p bét ®−îc minh ho¹
trong h×nh 2.24. Ba bé phËn c¬ b¶n cña nhiÔu x¹ kÕ tia x lµ
- Nguån tia x
- MÉu
- §etect¬ tia x
vµ chóng n»m trªn chu vi cña vßng trßn tiªu tô. Gãc gi÷a mÆt ph¼ng mÉu vµ
tia x tíi lµ θ, gãc Bragg. Gãc gi÷a ph−¬ng chiÕu tia x vµ tia nhiÔu x¹ lµ 2θ.
V× lý do ®ã nªn gi¶n ®å nhiÔu x¹ ®−îc t¹o nªn theo h×nh häc nµy th−êng
®−îc gäi lµ gi¶n ®å quÐt θ-2θ. Trong h×nh häc θ-2θ nguån tia x ®−îc gi÷ cè
®Þnh cßn ®etect¬ chuyÓn ®éng suèt thang ®o gãc. B¸n kÝnh cña vßng trßn
tiªu tô kh«ng ph¶i lµ h»ng sè mµ t¨ng khi gãc 2θ gi¶m nh− ta thÊy trong
h×nh 2.24. Thang 2θ lµ tõ 0o ®Õn cì 170o. Trong thùc nghiÖm kh«ng nhÊt
thiÕt quÐt hÕt thang ®o. Thang quÐt 2θ tiªu biÓu lµ tõ 30o tíi 140o. ViÖc lùa
chän thang quÐt phô thuéc vµo cÊu tróc tinh thÓ cña vËt liÖu. H×nh häc θ-2θ
lµ th«ng dông, nh−ng còng cã kiÓu h×nh häc kh¸c nh− h×nh häc θ-θ.
Vßng trßn nhiÔu x¹ kÕ trong h×nh 2.24 lµ kh¸c vßng trßn tiªu tô. T©m cña
vßng trßn nhiÔu x¹ kÕ ®−îc ®Æt trªn mÉu, nguån tia x vµ ®etect¬ ®Òu n»m
trªn chu vi vßng trßn nµy. B¸n kÝnh cña vßng trßn nhiÔu x¹ kÕ lµ cè ®Þnh.
Vßng trßn nhiÔu x¹ kÕ còng chÝnh lµ vßng trßn gi¸c kÕ. Gi¸c kÕ lµ thµnh
phÇn träng yÕu cña nhiÔu x¹ kÕ tia x vµ nã chøa gi¸ mÉu quan s¸t ®−îc qua
cöa sæ trong suèt. Nguån tia x vµ ®etect¬ ®−îc l¾p ®Æt trªn gi¸c kÕ. Trong
hÇu hÕt nhiÔu x¹ kÕ cho mÉu bét gi¸c kÕ ®−îc l¾p ®øng, nh−ng trong çc
nhiÔu x¹ kÕ kh¸c, thÝ dô, nhiÔu x¹ kÕ dïng ®Ó nghiªn cøu mµng máng, gi¸c
kÕ cã thÓ ®−îc l¾p n»m ngang.
MÉu ®−îc t¹o d−íi d¹ng líp máng vµi miligam bét tinh thÓ tr¶i trªn ®Õ
ph¼ng. Tia x ®¬n s¾c ®−îc chiÕu tíi mÉu vµ c−êng ®é tia nhiÔu x¹ ®−îc thu
101
H×nh 2.23 NhiÔu x¹ kÕ tia x D 8 ADVANCE (tÊm ch¾n tia x ®· ®−îc bá

ra) do h·ng Bruker (§øc) s¶n xuÊt.
b»ng ®etect¬. Bé chuÈn trùc ®−îc ®Æt trªn ®−êng tia ®Ó t¹o tia m¶nh vµ tiªu
tô. Bé läc s¾c, th−êng lµ bé läc tinh thÓ, ®−îc sö dông víi môc ®Ých cho tia x
gÇn nh− ®¬n s¾c. MÉu ®−îc quay víi tèc ®é θ trong khi ®etect¬ quay quanh
víi tèc ®é 2θ. C−êng ®é tia nhiÔu x¹ theo 2θ ®−îc ghi tù ®éng trªn giÊy vÏ
®å thÞ hoÆc d−íi d¹ng d÷ liÖu sè ®Ó xö lý b»ng m¸y tÝnh vµ cho ngay kÕt qu¶
vÒ gi¸ trÞ 2θ vµ d ë ®Çu ra. H×nh 2.25 giíi thiÖu gi¶n ®å nhiÔu x¹ cña mÉu
bét vonfram. Pic c−êng ®é lín thu ®−îc khi ®iÒu kiÖn nhiÔu x¹ ®−îc tho¶
m·n bëi mét tËp mÆt tinh thÓ nµo ®ã. Çc pic nµy ®· ®−îc ghi chØ sè mÆt nh−
trong h×nh 2.25.
Mét trong çc øng dông chñ yÕu cña nhiÔu x¹ kÕ tia x lµ x¸c ®Þnh cÊu tróc
tinh thÓ. H×nh häc vµ kÝch th−íc « ®¬n vÞ cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc tõ vÞ trÝ gãc
cña çc pic nhiÔu x¹, trong khi sù s¾p xÕp cña çc nguyªn tö trong « ®¬n vÞ
102
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.24 H×nh häc nhiÔu x¹ kÕ tia x.
l¹i liªn quan víi c−êng ®é t−¬ng ®èi cña çc pic nµy. Nh− vËy, tõ ®Þnh luËt
Bragg cã thÓ thÊy r»ng c¨n cø theo vÞ trÝ pic suy ra cÊu tróc vµ th«ng sè
m¹ng cho tõng pha chøa trong mÉu bét vµ c−êng ®é tia nhiÔu x¹ cho phÐp
x¸c ®Þnh sù ph©n bè vµ vÞ trÝ nguyªn tö trong tinh thÓ. L−u ý r»ng x¸c ®Þnh
th«ng sè m¹ng chÝnh x¸c lµ vÊn ®Ò rÊt quan träng trong nhiÒu lÜnh vùc
nghiªn cøu vi cÊu tróc nh− nghiªn cøu biªn giíi gi¶n ®å pha c©n b»ng, hÖ sè
gi·n në nhiÖt, x¸c ®Þnh mËt ®é, sù thay ®æi tÝnh chÊt theo thµnh phÇn, qu¸
tr×nh kÕt tña vµ sù chuyÓn pha trong vËt r¾n, v.v...
Theo ¶nh r¬ngen bét cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc mÉu gåm çc hîp chÊt ho¸ häc
nµo (çc pha). H¬n n÷a cïng mét hîp chÊt cã thÓ cã çc biÕn thÓ kh¸c nhau
vµ còng ®−îc ph©n biÖt theo ¶nh r¬ngen. Ph©n tÝch pha lµ x¸c ®Þnh çc pha
cã trong mÉu, nhËn biÕt chóng (ph©n tÝch pha ®Þnh tÝnh) vµ x¸c ®Þnh hµm
l−îng t−¬ng ®èi cña çc pha (ph©n tÝch pha ®Þnh l−îng).
Ta biÕt r»ng mçi pha gåm mét lo¹i « m¹ng nhÊt ®Þnh vµ cho mét hÖ v¹ch
nhiÔu x¹ t−¬ng øng trªn gi¶n ®å nhiÔu x¹. NÕu mÉu gåm nhiÒu pha (hçn
hîp) nghÜa lµ gåm nhiÒu lo¹i « m¹ng th× trªn gi¶n ®å nhiÔu x¹ sÏ tån t¹i
®ång thêi nhiÒu hÖ v¹ch ®éc lËp nhau. Ph©n tÝch çc v¹ch nhiÔu x¹ ta cã thÓ
x¸c ®Þnh ®−îc çc pha cã mÆt trong mÉu. §ã lµ c¬ së cña ph−¬ng ph¸p ph©n
tÝch pha ®Þnh tÝnh.
103
H×nh 2.25 Gi¶n ®å nhiÔu x¹ tia x cña vonfram thu ®−îc b»ng nhiÔu x¹ kÕ
víi bøc x¹ ®ång.
Ph−¬ng ph¸p ph©n tÝch pha ®Þnh l−îng b»ng tia r¬ngen dùa trªn c¬ së cña sù
phô thuéc c−êng ®é tia nhiÔu x¹ vµo nång ®é. NÕu biÕt mèi quan hÖ ®ã vµ
®o ®−îc c−êng ®é th× cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc nång ®é pha. Quan hÖ gi÷a c−êng
®é tia x nhiÔu x¹ Ii vµ nång ®é cña mét pha i t−¬ng øng nµo ®ã trong hçn
hîp ®−îc x¸c ®Þnh b»ng ph−¬ng tr×nh sau
pi
I i = K1 (2.30)
ρi μm
trong ®ã K1 - h»ng sè, pi - tØ lÖ träng l−îng pha i, ρi - mËt ®é pha i vµ μm- hÖ

sè suy gi¶m khèi l−îng cña hçn hîp.
Çc pha ch−a biÕt trong vËt liÖu cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc b»ng çch so s¸nh sè
liÖu nhËn ®−îc tõ gi¶n ®å nhiÔu x¹ tia x thùc nghiÖm víi sè liÖu chuÈn trong
s¸ch tra cøu hoÆc trong file m¸y tÝnh, thÝ dô, File nhiÔu x¹ bét JCPDS. HiÖn
nay, nhê çc sè liÖu chuÈn chi tiÕt (kho¶ng çch gi÷a çc mÆt ph¼ng d,
c−êng ®é t−¬ng ®èi, chØ sè Miller cña mÆt ph¼ng, th«ng tin quang häc, mËt
®é, sè nguyªn tö hoÆc ph©n tö trong « c¬ b¶n, v.v…) cña vËt chÊt ®−îc l−u
tr÷ trong çc file trªn CD-ROM cã thÓ xö lý trùc tiÕp vµ cho ngay kÕt qu¶
mµ kh«ng cÇn bÊt kú mét t¸c ®éng nµo cña ng−êi vËn hµnh. H×nh 2.26 giíi
thiÖu gi¶n ®å nhiÔu x¹ tia x ghi ®−îc theo thang ®o gãc 2θ tõ 25o ®Õn 50o víi
bøc x¹ CuKα cho hçn hîp bét mÞn hai pha nh«m vµ silic. B»ng ph−¬ng ph¸p
so s¸nh trùc tiÕp ®· tÝnh ®−îc tØ lÖ träng l−îng cña silic lµ 0,45 vµ do ®ã cña
nh«m lµ 0,55. §©y lµ mét trong çc øng dông tiªu biÓu cña ph−¬ng ph¸p bét
®Ó ph©n tÝch pha ®Þnh l−îng.
104
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.26 Gi¶n ®å nhiÔu x¹ cña hçn hîp bét Al-Si.
§«i khi kü thuËt bét kh¸c còng ®−îc sö dông, trong ®ã c−êng ®é vµ vÞ trÝ tia
nhiÔu x¹ ®−îc ghi nhËn trªn phim. Tuy nhiªn ph−¬ng ph¸p khëi nguån nµy
qu¸ chËm vµ kh«ng thuËn tiÖn trong nhiÒu tr−êng hîp.
2.7.1 X¸c ®Þnh cÊu tróc tinh thÓ lËp ph−¬ng

KiÕn thøc vÒ cÊu tróc tinh thÓ lµ yªu cÇu tr−íc tiªn ®Ó hiÓu ®−îc çc hiÖn
t−îng nh− biÕn d¹ng ®µn håi, h×nh thµnh hîp kim vµ chuyÓn pha. Kü thuËt
nhiÔu x¹ tia x cã kh¶ n¨ng x¸c ®Þnh ®−îc cÊu tróc vËt r¾n tinh thÓ. ViÖc lý
gi¶i çc sè liÖu nhiÔu x¹ cho hÇu hÕt chÊt liÖu tinh thÓ lµ rÊt phøc t¹p vµ v−ît
qu¸ khu«n khæ cña gi¸o tr×nh nµy. Bëi vËy, d−íi ®©y chØ kh¶o s¸t tr−êng hîp
®¬n gi¶n, ®ã lµ ph©n tÝch cÊu tróc tinh thÓ lËp ph−¬ng nhê kü thuËt nhiÔu x¹
tia x.
Nhí l¹i r»ng kÝch th−íc vµ h×nh d¹ng cña « ®¬n vÞ quyÕt ®Þnh vÞ trÝ gãc cña
pic nhiÔu x¹ vµ sù s¾p xÕp çc nguyªn tö trong « ®¬n vÞ quyÕt ®Þnh c−êng ®é
t−¬ng ®èi cña pic. Nh− vËy, cã thÓ tÝnh kÝch th−íc, h×nh d¹ng « ®¬n vÞ tõ vÞ
105
trÝ gãc cña çc pic vµ x¸c ®Þnh vÞ trÝ nguyªn tö trong « ®¬n vÞ tõ c−êng ®é
çc pic nhiÔu x¹ mµ kh«ng th«ng qua bÊt kú ph−¬ng ph¸p trùc tiÕp nµo.
ViÖc x¸c ®Þnh toµn bé vÒ cÊu tróc tinh thÓ ch−a biÕt gåm cã ba b−íc sau:
1. TÝnh kÝch th−íc vµ h×nh d¹ng « ®¬n vÞ tõ vÞ trÝ cña çc pic nhiÔu x¹.
2. TÝnh sè nguyªn tö thuéc « ®¬n vÞ tõ kÝch th−íc vµ h×nh d¹ng cña « ®¬n vÞ,
thµnh phÇn ho¸ häc cña mÉu vµ mËt ®é ®o ®−îc cña nã.
3. Suy ra çc vÞ trÝ nguyªn tö thuéc « ®¬n vÞ tõ c−êng ®é cña çc pic nhiÔu
x¹.
2.7.1.1 X¸c ®Þnh chØ sè cho gi¶n ®å nhiÔu x¹
“ X¸c ®Þnh chØ sè ” lµ ghi chØ sè Miller chÝnh x¸c cho mçi pic trong gi¶n ®å
nhiÔu x¹. Çc pic ®ã còng ®−îc gäi lµ çc ph¶n x¹ vµ ta cã thÓ sö dông thay
®æi c¶ hai thuËt ng÷ nµy cho nhau. §Æc biÖt l−u ý r»ng x¸c ®Þnh chÝnh x¸c
chØ sè ®−îc tiÕn hµnh chØ khi tÊt c¶ çc pic trong gi¶n ®å nhiÔu x¹ ®Òu ®−îc
tÝnh ®Õn vµ kh«ng mét pic nµo cña cÊu tróc nghiªn cøu bÞ mÊt ®i trªn gi¶n ®å
nhiÔu x¹.
D−íi ®©y tr×nh bµy mét thÝ dô tiªu biÓu vÒ çch x¸c ®Þnh chØ sè ¶nh nhiÔu x¹
nhËn ®−îc tõ vËt liÖu cã cÊu tróc lËp ph−¬ng (LP). Tr×nh tù nµy lµ gièng
nhau cho kim lo¹i, b¸n dÉn hoÆc gèm.
Kho¶ng çch gi÷a çc mÆt ph¼ng d, kho¶ng çch gi÷a çc mÆt l©n cËn trong
tËp (hkl) víi th«ng sè m¹ng a cña vËt liÖu cã cÊu tróc LP, cã thÓ ®−îc x¸c
®Þnh tõ ph−¬ng tr×nh:
1 h2 + k 2 + l 2
= (2.31)
d2 a2
KÕt hîp ph−¬ng tr×nh Bragg víi ph−¬ng tr×nh (2.31) ta cã:
1 h 2 + k 2 + l 2 4 sin 2 θ
= = (2.32)
d2 a2 λ2
Tõ ®ã ta nhËn ®−îc:
λ2
sin θ =
2
2
(h 2 + k 2 + l 2 ) (2.33)
4a
106
c h − ¬ n g 2
NhËn xÐt r»ng λ2/4a2 lµ mét h»ng sè cho bÊt kú ¶nh nhiÔu x¹ nµo vµ sin2θ tØ
lÖ víi (h2+ k2+ l2) - khi θ t¨ng mÆt ph¼ng víi chØ sè Miller lín h¬n sÏ tham
gia nhiÔu x¹. ViÕt ph−¬ng tr×nh (2.33) cho hai mÆt ph¼ng vµ chia cho nhau ta
®−îc
sin 2 θ1 h12 + k12 + l12
= (2.34)
sin 2 θ 2 h22 + k22 + l22
Trong hÖ lËp ph−¬ng, ph¶n x¹ bËc nhÊt trong ¶nh nhiÔu x¹ lµ do ph¶n x¹ tõ
çc mÆt víi chØ sè Miller kiÓu (100) cho m¹ng LP§G, (110) cho LPTK, vµ
(111) cho LPTM (çc mÆt víi mËt ®é mÆt cao nhÊt trong mçi tr−êng hîp) vµ
t−¬ng øng víi h2 + k2 + l2 = 1, 2 hoÆc 3. V× tØ sè cña çc gi¸ trÞ sin2θ cã cïng
tØ lÖ víi tØ sè çc gi¸ trÞ h2 + k2 + l2 cho çc mÆt kh¸c nhau vµ v× h, k, l lu«n
lµ sè nguyªn nªn çc gi¸ trÞ h2 + k2 + l2 cã thÓ thu ®−îc b»ng çch chia çc
gi¸ trÞ sin2θ cña çc ph¶n x¹ kh¸c nhau cho mét gi¸ trÞ nhá nhÊt (tøc sin2θ
cña çc ph¶n x¹ bËc nhÊt) vµ nh©n çc tØ sè thu ®−îc nµy víi sè nguyªn thÝch
hîp. Do ®ã, çc gi¸ trÞ sin2θ tÝnh ®−îc cho tÊt c¶ çc pic trong ¶nh nhiÔu x¹
®−îc chia cho gi¸ trÞ nhá nhÊt - ph¶n x¹ nhá nhÊt. Çc tØ sè nµy khi nh©n víi
2 hoÆc 3 sÏ nhËn ®−îc çc sè nguyªn (nÕu chóng ch−a lµ sè nguyªn). Çc sè
nguyªn nhËn ®−îc tiÕp sau nµy chÝnh lµ çc gi¸ trÞ h2 + k2 + l2. Nh− vËy, çc
gi¸ trÞ hkl cã thÓ dÔ dµng suy ra tõ çc d¹ng tæng b×nh ph−¬ng nh− ®−îc liÖt
kª trong b¶ng 2.4.
Ta còng cã thÓ x¸c ®Þnh chØ sè ¶nh nhiÔu x¹ b»ng çch sö dông gi¸ trÞ tØ sè
1/d2 thay cho gi¸ trÞ sin2θ, song v× θ lµ ®¹i l−îng cã thÓ ®o ®−îc trùc tiÕp nªn
ta ®· chän çch sö dông çc gi¸ trÞ sin2θ.
2.7.1.2 NhËn biÕt m¹ng Bravais
M¹ng Bravais cã thÓ nhËn biÕt ®−îc b»ng çch ghi chó mét çch hÖ thèng
çc ph¶n x¹ cã mÆt vµ c¶ v¾ng mÆt trong ¶nh nhiÔu x¹. B¶ng 2.5 tæng kÕt
çc quy t¾c läc lùa cho m¹ng LP. C¨n cø theo quy t¾c läc lùa, gi¸ trÞ
h2 + k2 + l2 cho m¹ng LP kh¸c nhau tu©n theo tr×nh tù sau:
- §¬n gi¶n: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 16, ...
- T©m khèi: 2, 4, 6, 8, 10, 12, 14, 16, ...
- T©m mÆt : 3, 4, 8, 11, 12, 16, 19, 20, 24, 27, 32, ...
M¹ng Bravais vµ cÊu tróc tinh thÓ nh− thÕ cã thÓ dÔ dµng nhËn biÕt ®−îc tõ
tr×nh tù çc gi¸ trÞ h2 + k2 + l2 trong ¶nh nhiÔu x¹.
107
B¶ng 2.4 D¹ng tæng b×nh ph−¬ng cña mét sè chØ sè Miller cho hÖ lËp ph−¬ng.
h2 + k2 + l2 hkl M¹ng
1 100 LP§G
2 110 LP§G, LPTK
3 111 LP§G, LPTM
4 200 LP§G, LPTK, LPTM
5 210 LP§G
6 211 LP§G, LPTK
7 LP§G
9 300, 221 LP§G
10 310 LP§G, LPTK
11 311 LP§G, LPTM
13 320 LP§G,
14 321 LP§G, LPTK
15 LP§G
17 410, 322 LP§G
18 411, 330 LP§G, LPTK
19 331 LP§G, LPTM
21 421 LP§G
22 332 LP§G, LPTK
23 LP§G
108
c h − ¬ n g 2
B¶ng 2.5 Quy t¾c läc lùa cho sù cã hoÆc kh«ng cã ph¶n x¹.
M¹ng Bravais Cã ph¶n x¹ cho Kh«ng cã ph¶n x¹ cho
§¬n gi¶n TÊt c¶ Kh«ng

T©m khèi (h + k + l) ch½n (h + k + l) lÎ
T©m mÆt h, k vµ l cïng ch½n hoÆc h, k vµ l hçn hîp
cïng lÎ (kh«ng hçn hîp)
Còng cÇn nãi thªm r»ng ¶nh nhiÔu x¹ tõ vËt liÖu lËp ph−¬ng lu«n cã thÓ
ph©n biÖt ®−îc ngay víi ¶nh nhiÔu x¹ tõ vËt liÖu kh«ng ph¶i lËp ph−¬ng (®èi
xøng kÐm). H×nh 2.27 lµ ¶nh nhiÔu x¹ tÝnh to¸n ®−îc (víi a = 0,4 nm vµ bøc
x¹ CuKα1) cña bèn cÊu tróc lËp ph−¬ng (LP§G, LPTK, LPTM vµ lËp
ph−¬ng kim c−¬ng). Tõ h×nh 2.27 cã thÓ thÊy r»ng trong cÊu tróc LP§G vµ
LPTK, kho¶ng çch gi÷a çc pic gÇn b»ng nhau. Trong ¶nh nhiÔu x¹ tõ cÊu
tróc LPTM, çc pÝc xuÊt hiÖn theo quy luËt kÐp - ®¬n - kÐp. Trong cÊu tróc
lËp ph−¬ng kim c−¬ng, çc pic ph©n bè theo trËt tù xa - gÇn. Nguyªn nh©n
cña sù kh¸c nhau trong ¶nh nhiÔu x¹ nµy lµ do hiÖn t−îng dËp t¾t ph¶n x¹
bëi thõa sè cÊu tróc.
2.7.1.3 TÝnh th«ng sè m¹ng
Th«ng sè m¹ng a cã thÓ tÝnh ®−îc tõ c«ng thøc (2.33):
λ2
sin 2 θ = 2
(h 2 + k 2 + l 2 )
4a
Tõ ®ã nhËn ®−îc
λ
a= h2 + k 2 + l 2 (2.35)
2 sin θ
ThÝ dô
X¸c ®Þnh chØ sè ¶nh nhiÔu x¹ cña vËt liÖu cÊu tróc LP. Gi¶n ®å nhiÔu x¹ tia x
cña nh«m ghi nhËn ®−îc víi bøc x¹ CuKα ®−îc giíi thiÖu trong h×nh 2.28.
ChÝn pic cã mÆt trong ¶nh nhiÔu x¹ vµ çc gi¸ trÞ 2θ cho çc pic nµy ®−îc
cho trong b¶ng 2.6. (MÆc dï çc thµnh phÇn α1 vµ α2 lµ t¸ch ®−îc cho çc
ph¶n x¹ víi 2θ > ~ 80o, song ë ®©y chØ liÖt kª çc gi¸ trÞ 2θ t−¬ng øng víi
109
H×nh 2.27 So s¸nh çc ¶nh nhiÔu x¹ tia x tõ çc vËt liÖu cã cÊu tróc tinh
thÓ lËp ph−¬ng kh¸c nhau.
H×nh 2.28 Gi¶n ®å nhiÔu x¹ tia x cña nh«m.
110
c h − ¬ n g 2
B¶ng 2.6 Chi tiÕt x¸c ®Þnh chØ sè ¶nh nhiÔu x¹ tia x cña nh«m.
VËt liÖu: Nh«m Bøc x¹: CuKα λKα1 = 0,154056 nm
sin 2 θ sin 2 θ
Pic ×3
sè 2θ (o) sin2θ sin 2 θ min sin 2 θ min h2 + k2 + l2 hkl a (nm)
1 38,52 0,1088 1,000 3,000 3 111 0,40448

2 44,76 0,1450 1,333 3,999 4 200 0,40457
3 65,14 0,2898 2,664 7,992 8 220 0,40471
4 78,26 0,3983 3,661 10,983 11 311 0,40480
5 82,47 0,4345 3,994 11,982 12 222 0,40480
6 99,11 0,5792 5,324 15,912 16 400 0,40485
7 112,03 0,6876 6,320 18,960 19 331 0,40491
8 116,60 0,7238 6,653 19,958 20 420 0,40491
9 137,47 0,8684 7,982 23,945 24 422 0,40494
Ghi chó: Çc pic α1 vµ α2 ®Òu ph©n gi¶i ®−îc cho çc ph¶n x¹ nµy. Nh−ng v× kh«ng yªu
cÇu ®é chÝnh x¸c rÊt cao nªn ta chØ lÊy çc gi¸ trÞ 2θ cña thµnh phÇn α1.
thµnh phÇn α1). Çc gi¸ trÞ sin2θ còng ®−îc tÝnh to¸n, vµ tr×nh tù x¸c ®Þnh chØ
sè ¶nh nhiÔu x¹ vµ th«ng sè m¹ng nh«m ®−îc tr×nh bµy trong b¶ng 2.6.
Ta thÊy chØ çc ph¶n x¹ víi çc gi¸ trÞ hkl ch½n c¶ hoÆc lÎ c¶ lµ hiÖn diÖn, do
®ã cã thÓ kÕt luËn r»ng m¹ng Bravais lµ LPTM. Th«ng sè m¹ng tÝnh ®−îc lµ
0,4049 nm. Nh− thÕ, nh«m cã cÊu tróc LPTM víi th«ng sè m¹ng
a = 0,4049 nm.
Tõ b¶ng 2.6 cã thÓ thÊy r»ng th«ng sè m¹ng t¨ng theo sù t¨ng cña gi¸ trÞ 2θ.
Do sai sè hÖ thèng ë sin2θ gi¶m khi θ t¨ng nªn cÇn ph¶i chän gi¸ trÞ a tÝnh
®−îc cho pic gãc lín nhÊt trong ¶nh nhiÔu x¹ ®Ó cã ®é chÝnh x¸c tèt nhÊt.
2.7.1.4 Ph−¬ng ph¸p ph©n tÝch
Ph−¬ng ph¸p ph©n tÝch còng cã thÓ ®−îc sö dông ®Ó x¸c ®Þnh chØ sè ¶nh
nhiÔu x¹ tõ vËt liÖu cã cÊu tróc LP. H·y xem l¹i ph−¬ng tr×nh (2.33):
111
λ2
sin 2 θ = (h 2 + k 2 + l 2 )
4a 2
V× λ2/4a2 lµ h»ng sè cho bÊt kú ¶nh nhiÔu x¹ nµo nªn ta ®Æt lµ A vµ cã thÓ
viÕt
sin2θ = A(h2 + k2 + l2) (2.36)
Trong hÖ LP, gi¸ trÞ h2 + k2 + l2 cã thÓ cã lµ 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8… (mÆc dï cã
thÓ kh«ng ph¶i tÊt c¶ ®Òu cã mÆt trong mçi kiÓu m¹ng LP). V× thÕ çc gi¸ trÞ
sin2θ quan s¸t ®−îc cho toµn bé pic trong ¶nh nhiÔu x¹ ®−îc chia cho çc sè
nguyªn 2, 3, 4, 5, 6… ®Ó nhËn ®−îc th−¬ng sè thËp ph©n - chÝnh lµ gi¸ trÞ A
t−¬ng øng víi h2 + k2 + l2 = 1.
Ta cã thÓ tÝnh ®−îc th«ng sè m¹ng tõ gi¸ trÞ A nhê quan hÖ sau
λ2 λ
A= 2
hoÆc a = (2.37)
4a 2 A
Chia çc gi¸ trÞ sin2θ cña çc ph¶n x¹ kh¸c nhau cho A ®Ó ®−îc çc gi¸ trÞ
h2 + k2 + l2, tõ ®ã çc gi¸ trÞ hkl cña mçi ph¶n x¹ cã thÓ nhËn ®−îc b»ng
çch sö dông çc sè liÖu cho trong b¶ng 2.4.
ThÝ dô
¶nh nhiÔu x¹ tia x cña nh«m ®· ®−îc x¸c ®Þnh chØ sè ë trªn giê ®©y ®−îc
x¸c ®Þnh chØ sè theo ph−¬ng ph¸p ph©n tÝch vµ çc kÕt qu¶ ®−îc tr×nh bµy
trong b¶ng 2.7.
Gi¸ trÞ sin2θ thËp ph©n nhá nhÊt trong b¶ng 2.7 lµ 0,0363 (in ®Ëm). L−u ý
r»ng 0,1086 còng xuÊt hiÖn nh− lµ mét gi¸ trÞ sin2θ thËp ph©n trong mét sè
cét, nh−ng ®©y lµ gi¸ trÞ gÇn b»ng 3×0,0363. Do ®ã, ta ph¶i t×m gi¸ trÞ nhá
nhÊt cña sin2θ trong sè çc gi¸ trÞ. Tuy nhiªn, nhËn thÊy r»ng gi¸ trÞ 0,0363
kh«ng ph¶i vµ kh«ng nhÊt thiÕt xuÊt hiÖn ë çc cét trong b¶ng.
B©y giê cã thÓ cho r»ng 0,0363 lµ gi¸ trÞ A trong ph−¬ng tr×nh (2.36) víi
h2 + k2 + l2=1. V× ph−¬ng tr×nh (2.36) gîi ý lµ chia çc gi¸ trÞ sin2θ cho A ®Ó
®−îc çc gi¸ trÞ h2 + k2 + l2, tõ ®ã thu ®−îc hkl (xem b¶ng 2.4), nªn tÝnh to¸n
cã thÓ ®−îc lËp thµnh b¶ng nh− chØ ra trong b¶ng 2.8.
112
c h − ¬ n g 2
B¶ng 2.7 TÝnh th−¬ng sè thËp ph©n.
VËt liÖu: Nh«m Bøc x¹: CuKα λKα1= 0,154056 nm
Pic sin 2 θ sin 2 θ sin 2 θ sin 2 θ sin 2 θ sin 2 θ

sè 2θ (o) sin2θ 2 3 4 5 6 8
1 38,52 0,1088 0,0544 0,0363 0,0272 0,0218 0,0181 0,0136

2 44,76 0,1450 0,0725 0,0483 0,0363 0,0290 0,0242 0,0181
3 65,14 0,2898 0,1449 0,0966 0,0725 0,050 0,0483 0,0362
4 78,26 0,3983 0,1992 0,1328 0,0996 0,0797 0,0664 0,0498
5 82,47 0,4345 0,2173 0,1448 0,1086 0,0869 0,0724 0,0543
6 99,11 0,5792 0,2896 0,1931 0,1448 0,1158 0,0965 0,0724
7 112,03 0,6876 0,3438 0,2292 0,1719 0,1375 0,1146 0,0860
8 116,60 0,7283 0,3619 0,2413 0,1810 0,1448 0,1206 0,0905
9 137,47 0,8684 0,4342 0,2895 0,2171 0,1737 0,1447 0,1086
B¶ng 2.8 X¸c ®Þnh chØ sè ¶nh nhiÔu x¹ cña nh«m b»ng ph−¬ng ph¸p ph©n tÝch.
VËt liÖu: Nh«m Bøc x¹: CuKα A = 0,0363
Pic sè sin2θ (sin2θ)/A h2+k2+l2 hkl
1 0,1088 2,997 3 111

2 0,1450 3,995 4 200
3 0,2898 7,983 8 220
4 0,3983 10,972 11 311
5 0,4345 11,970 12 222
6 0,5792 15,956 16 400
7 0,6876 18,942 19 331
8 0,7238 19,939 20 420
9 0,8684 23,923 24 422
113
H×nh 2.29 S¬ ®å ph−¬ng ph¸p øng dông nhiÔu x¹ tia x ®Ó x¸c ®Þnh chiÒu
dµy wS vµ wR cña líp S vµ R. Çc pic ®−îc lùa chän sao cho gãc Bragg
cho nhiÔu x¹ tõ hai líp lµ t−¬ng tù.
Tõ b¶ng 2.8 thÊy r»ng chØ sè Miller cña çc ph¶n x¹ lµ cïng ch½n hoÆc cïng
lÎ, v× thÕ m¹ng Bravais lµ m¹ng LPTM. Th«ng sè m¹ng ®−îc tÝnh tõ ph−¬ng
tr×nh (2.36). V× A = 0,0363 vµ a = λ/2A1/2 nªn ®èi víi Al ta cã:
0,154056
a= = 0,4049 nm
2 0,0363
Nh− ta mong ®îi, çc kÕt qu¶ nhËn ®−îc b»ng ph−¬ng ph¸p ph©n tÝch lµ
gièng nh− çc kÕt qu¶ ®· nhËn ®−îc b»ng ph−¬ng ph¸p tr−íc.
2.8 §o chiÒu dµy líp b»ng nhiÔu x¹ tia x
NhiÔu x¹ tia x ®−îc sö dông ®Ó x¸c ®Þnh chiÒu dµy t−¬ng ®èi cña líp phñ
trªn mÉu khèi. §iÒu nµy rÊt thuËn lîi khi chiÒu dµy ®ã thay ®æi theo thêi
gian vµ nã thËt sù cÇn thiÕt ®Ó kiÓm tra líp chiÒu dµy mµ kh«ng ph¶i ph¸ huû
mÉu. NÕu cã hai líp spinen chiÒu dµy wS,, mÆt thoi chiÒu dµy wR vµ ®Õ lµ
thÐp kh«ng gØ A, h×nh 2.29, th× c−êng ®é t−¬ng ®èi cña çc pic tõ hai líp nµy
®−îc cho bëi c«ng thøc:
114
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.30 Çc pic nhiÔu x¹ tia x tõ çc líp oxit spinen vµ mÆt thoi trong
thÐp kh«ng gØ austenit lµ mét hµm cña thêi gian tiÕp xóc CO2/2%CO ë
1123K.
IS A ⎧ 2 μ I [1 − exp(−2 μ S I S / sin θ S )]⎫

= S exp⎨ S S ⎬ (2.38)
I R AR ⎩ sin θ R [1 − exp(−2μ R I R / sin θ R )] ⎭
trong ®ã
2
Fs sin θ S ⎡ 1 + cos 2 2θ S ⎤
AS = pS ⎢ ⎥ (2.39)
VS2 2μ S ⎣ sin θ S cosθ S ⎦
vµ còng cã biÓu thøc t−¬ng tù cho sè h¹ng mÆt thoi AR. ë ®©y, FS vµ FR - çc
thõa sè cÊu tróc, VS vµ VR - çc thÓ tÝch « ®¬n vÞ, pS vµ pR - çc thõa sè lÆp, μs
vµ μR - çc hÖ sè hÊp thô tuyÕn tÝnh, θS vµ θR - çc gãc Bragg cho çc pha
spinen vµ mÆt thoi t−¬ng øng.
Trªn thùc tÕ th−êng cã thÓ chän hai pic sao cho θS ≈ θR vµ khi ®ã ph−¬ng
tr×nh (2.38) trë nªn ®¬n gi¶n:
115
H×nh 2.31 ChiÒu dµy líp oxit ®−îc t¹o thµnh trªn thÐp kh«ng gØ austenit
lµ mét hµm cña thêi gian tiÕp xóc víi CO2/2%CO ë 1123K x¸c ®Þnh ®−îc
b»ng nhiÔu x¹ tia x.
IS A ⎡ exp(2 μ S I S / sin θ ) − 1 ⎤
= S ⎢ ⎥ (2.40)
I R AR ⎣1 − exp(−2 μ R I R / sin θ ) ⎦
Ph−¬ng ph¸p nµy ®−îc sö dông ®Ó nghiªn cøu sù ph¸t triÓn trong líp oxit
trªn thÐp kh«ng gØ austenit. ë nhiÖt ®é vµ ¸p suÊt cao thÐp kh«ng gØ bÞ oxy
ho¸ trong khÝ CO2 tr−íc tiªn b»ng mét líp oxit spinen, nh−ng dÇn dÇn lµ mét
líp oxit mÆt thoi b¶o vÖ giµu cr«m t¹o thµnh gi÷a líp spinen vµ thÐp ®Õ.
116
c h − ¬ n g 2
H×nh 2.30 chØ ra ba v¹ch nhiÔu x¹ tõ bÒ mÆt bÞ oxy ho¸, hai v¹ch tõ pha oxit
mÆt thoi vµ mét tõ pha oxit spinen. C−êng ®é cña çc pic nµy thay ®æi theo
thêi gian tiÕp xóc víi khÝ ë 1123 K: sau 100 giê tiÕp xóc pic spinen lµ lín
nhÊt nh−ng sau 200 giê çc pic lµ t−¬ng tù nhau vÒ c−êng ®é vµ sau 500 giê
çc pic mÆt thoi chiÕm −u thÕ. Nh− vËy chiÒu dµy t−¬ng ®èi cña hai líp cã
thÓ x¸c ®Þnh ®−îc, h×nh 2.31. ChiÒu dµy líp oxit tæng hîp ®−îc t¹o thµnh tõ
líp oxit spinen ph¸t triÓn víi tèc ®é parabon vµ líp oxit mÆt thoi n»m ë d−íi
ph¸t triÓn tuyÕn tÝnh theo thêi gian trong suèt giai ®o¹n thÝ nghiÖm. Ph−¬ng
ph¸p nµy cã thÓ ¸p dông cho hÖ líp bÊt kú trong ®ã hai líp cho çc pic nhiÔu
x¹ t¸ch biÖt cã chiÒu dµy tæng céng n»m trong kho¶ng chiÒu s©u ®©m xuyªn
cña tia x.
117
ch−¬ng 3
Ch−¬ng 3
nhiÔu x¹ ®iÖn tö
3.1 ThuyÕt ®éng häc nhiÔu x¹ ®iÖn tö
ChØ cã thÓ gi¶i thÝch mét çch chi tiÕt ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö vµ hiÓn vi ®iÖn tö
khi hiÓu ®−îc mét çch ®Çy ®ñ nh÷ng yÕu tè vËt lý x¸c ®Þnh c−êng ®é chïm
tia nhiÔu x¹ Bragg. Trong ch−¬ng nµy ta sÏ tiÕn hµnh kh¶o s¸t biªn ®é t¸n x¹
trªn nguyªn tö, trªn « m¹ng c¬ b¶n vµ trªn tinh thÓ ë ®iÒu kiÖn biªn ®é sãng
t¸n x¹ chØ lµ mét phÇn nhá cña biªn ®é sãng tíi (gÇn ®óng ®éng häc). Ta
còng xem xÐt h×nh häc ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö vµ çc th«ng tin nhËn ®−îc tõ
nh÷ng ¶nh nµy.
3.1.1 T¸n x¹ ®iÖn tö trªn nguyªn tö

§iÖn tö lµ nh÷ng h¹t tÝch ®iÖn, chóng ®ång thêi mang tÝnh chÊt sãng. B−íc
sãng ®iÖn tö λ ®−îc tÝnh theo c«ng thøc sau
h
λ= 1/ 2
(3.1)
⎡ ⎛ eE ⎞⎤
⎢2m0 eE ⎜⎜1 + 2
⎟⎟⎥
⎣⎢ ⎝ 2m0 c ⎠⎦⎥
ë ®©y h - h»ng sè Planck, mo - khèi l−îng tÜnh, e - ®iÖn tÝch ®iÖn tö, E - thÕ
t¨ng tèc ®iÖn tö, c - tèc ®é ¸nh s¸ng. Sau khi thay çc gi¸ trÞ h»ng sè ta ®−îc:
12,26
λ= Å (3.2)
(
E 1 / 2 1 + 0,9788.10 −6 E )
1/ 2
trong ®ã E ®o b»ng von. BiÓu thøc trong dÊu ngoÆc lµ sù hiÖu chØnh t−¬ng
®èi; râ rµng nã chØ cã nghÜa khi thÕ t¨ng tèc E ≥ 105 V. Khi E = 100kV b−íc
sãng λ b»ng 0,037 Å; bá qua sù hiÖu chØnh t−¬ng ®èi trong tr−êng hîp nµy
sÏ dÉn ®Õn sai sè chõng 5%.
118
H×nh 3.1 Sãng ph¼ng.
Hµm sãng ψ cña ®iÖn tö ë vËn tèc phi t−¬ng ®èi tho¶ m·n ph−¬ng tr×nh
Schrodinger kh«ng phô thuéc thêi gian (tr¹ng th¸i dõng):
h2
∇ 2ψ + (E + V )ψ = 0 (3.3)
8π 2 m0 e
trong ®ã eE lµ ®éng n¨ng ®iÖn tö, -eV lµ thÕ n¨ng. Gi¸ trÞ ψψ*dτ lµ x¸c suÊt
t×m thÊy ®iÖn tö trong ph©n tè thÓ tÝch dτ.
NÕu thÕ V lµ h»ng sè th× ph−¬ng tr×nh cã nghiÖm vµ chÝnh lµ sãng ph¼ng
⎛ 2πix ⎞
ψ = A exp⎜ ⎟
⎝ λ ⎠
lan truyÒn theo ph−¬ng x. H¬n n÷a cã thÓ viÕt d−íi d¹ng
ψ = A exp(2πikr ) (3.4)
trong ®ã r - b¸n kÝnh to¹ ®é cña mÆt sãng, k - vect¬ sãng, |k| = 1/λ, h×nh 3.1.
MÆt sãng chÝnh lµ bÒ mÆt pha (2πk.r) kh«ng ®æi. Hµm sãng ψ lµ phÇn lan
truyÒn cña hµm sãng; ®Ó nhËn ®−îc biÓu thøc ®Çy ®ñ cho hµm sãng, ta cÇn
ph¶i nh©n ψ víi exp(-2πiνt), ë ®©y ν = eE/h. Nh−ng nÕu E lµ h»ng sè th× mËt
®é x¸c suÊt |ψ|2 kh«ng phô thuéc thêi gian (tr¹ng th¸i dõng), vµ ®Ó cho tiÖn
ta bá sè nh©n exp(-2πiνt). Trong nhiÔu x¹ ®iÖn tö ta chØ quan t©m ®Õn sù
chång chÊt cña sãng lan truyÒn ®−îc nh÷ng kho¶ng çch kh¸c nhau vµ bëi
vËy kh¸c nhau vÒ pha. BiÓu thøc (3.4) chøng tá r»ng hiÖu pha b»ng 2π/λ
nh©n hiÖu qu·ng ®−êng.
119
ch−¬ng 3
H×nh 3.2 (a) Dùng vïng frenen vöa chu kú. (b) Gi¶n ®å biªn ®é pha,
nã cho phÐp x¸c ®Þnh nhiÔu t¹i ®iÓm P tr−íc mÆt sãng ph¼ng.
Sau khi thay biÓu thøc (3.4 ) vµo ph−¬ng tr×nh (3.3) ta thu ®−îc
1/ 2 1/ 2
⎡ 2m e ⎤ ⎛ 2m e ⎞
k = = ⎢ 20 (E + V )⎥
1
= ⎜ 20 E d ⎟ (3.5)
λ ⎣ h ⎦ ⎝ h ⎠
§©y lµ hÖ thøc phi t−¬ng ®èi vÒ quan hÖ gi÷a λ vµ ®éng n¨ng ®iÖn tö Ed.
V× λ phô thuéc V do vËy sãng ®iÖn tö bÞ khóc x¹ khi nã truyÒn tõ m«i
tr−êng thÕ nµy sang m«i tr−êng thÕ kia. ChØ sè khóc x¹ n trong khu vùc cã
V = V0 = const ®−îc x¸c ®Þnh b»ng biÓu thøc
λ ⎛ Vo ⎞
1/ 2
n= = ⎜1 + ⎟ ( 3.6)
λ0 ⎝ E⎠
§©y lµ biÓu thøc cho phÐp t×m ®−îc gi¸ trÞ chØ sè khóc x¹ trong tinh thÓ; do
thÕ tinh thÓ V0 cì chõng vµi von nªn gi¸ trÞ n nhËn ®−îc còng kh«ng lín h¬n
1 lµ bao. Khi V0 = 20 V vµ E = 100 kV chØ sè n ≈ 1+10-4.
Sãng khóc x¹ nh− thÕ cã thÓ xem nh− lµ kÕt qu¶ cña sù chång chÊt cña sãng
ph¼ng tíi vµ sãng ph¼ng t¸n x¹, lÖch pha nhau mét gãc 900. Sãng t¸n x¹ nµy
sinh ra nh− sau:
Gi¶ sö mÆt ph¼ng sãng tíi víi vect¬ sãng k lan truyÒn theo h−íng x. Cho
r»ng mçi phÇn tö thÓ tÝch dτ mµ sãng c¾t qua ®Òu lµ nguån ph¸t sinh sãng
cÇu nhá. TÊt c¶ sãng nhá nµy hîp thµnh ®Çu sãng cña mÆt ph¼ng t¸n x¹. §Ó
120
H×nh 3.3 X¸c ®Þnh vect¬ r vµ ri.
t×m nhiÔu t¹i ®iÓm P tr−íc mÆt sãng, ta chia mÆt ph¼ng thµnh çc vïng
frenen nöa chu kú. Biªn giíi cña çc vïng nµy n»m çch P mét kho¶ng
x + λ/2, x + λ, x+ 3λ/2, ..., h×nh 3.2.
§ãng gãp cña mçi sãng nhá cã thÓ tæng hîp l¹i nhê gi¶n ®å biªn ®é - pha,
trong ®ã mçi thµnh phÇn ®ãng gãp ®−îc biÓu diÔn b»ng mét vect¬, chiÒu dµi
cña nã tû lÖ víi biªn ®é, cßn gãc t¹o víi h−íng cña vect¬ sãng tíi b»ng hiÖu
pha. Gi¶n ®å biªn ®é-pha cho tr−êng hîp nµy ®−îc tr×nh bµy trong h×nh
3.2(b); nã cã d¹ng h×nh xo¾n èc. Biªn ®é sãng tæng hîp dÞch pha 900 so víi
biªn ®é sãng tíi vµ b»ng nöa gi¸ trÞ thµnh phÇn ®ãng gãp cña vïng nöa chu
kú ®Çu tiªn.
Bëi vËy, biªn ®é t¸n x¹ dψs cña tÊm chiÒu dµy dx lµ
i exp(2πikx )
dψ s = πR 2 dxf ψo (3.7)
π x
trong ®ã
exp(2πikx )
f =
x
lµ biªn ®é t¸n x¹ trªn kho¶ng çch x cña mét ®¬n vÞ thÓ tÝch, cßn ψo lµ hµm
sãng cña sãng tíi. Tõ h×nh häc suy ra r»ng b¸n kÝnh cña vïng nöa chu kú
®Çu tiªn R = λx . NghÜa lµ,
dψ s = iλfdxψ o exp(2πikx ) (3.8)
Bëi thÕ nhiÔu toµn phÇn t¹i ®iÓm P lµ
dψ s = ψ o exp(2πikx ) + iλfxψ o exp(2πikx ) (3.9)
trong ®ã sè h¹ng ®Çu tiªn chÝnh lµ sãng tíi, cßn sè h¹ng thø hai lµ sãng t¸n
x¹ toµn phÇn ë kho¶ng çch x. Cho r»ng thµnh phÇn thø hai nhá vµ V« E ta
121
ch−¬ng 3
H×nh 3.4 Sãng tíi vµ sãng t¸n x¹.
H×nh 3.5 X¸c ®Þnh vect¬ K'.
thu ®−îc biªn ®é sãng t¸n x¹ trªn nguyªn tö t¹i ®iÓm P (çch gèc mét
kho¶ng r, h×nh 3.3) lµ
2πm0 e exp(πik r − ri )
ψs = ∫ V (ri ) exp(2πik .ri )dτ i (3.10)
h 2
Atom
r − ri
trong ®ã V(ri) lµ thÕ t¹i ®iÓm ri mµ ë ®ã chóng ta thõa nhËn ψo lµ sãng ph¼ng
cã biªn ®é b»ng mét t¹i mäi ®iÓm víi nh©n sè pha exp(2πikri). Gi¶ thiÕt nµy
víi ngô ý lµ ψs nhá, ψo thay ®æi Ýt, nghÜa lµ V(ri) <<E. VËy nÕu | r | vµ
| r - ri|>> |ri | th× cã thÓ thay gi¸ trÞ | r - ri| b»ng | r | (hoÆc ®Ó cho tiÖn lµ r), cßn
sè mò thay b»ng r - (k’. ri/k), trong ®ã k’ lµ vect¬ sãng t¸n x¹, h×nh 3.4, vµ
|k’| = |k| ë rÊt gÇn ngoµi nguyªn tö. NghÜa lµ,
2πm0 e exp(2πikr )
ψs = ∫ V (ri ) exp[2πi (k − k ').ri ]dτ i (3.11)
h2 r Atom
BiÓu thøc nµy chÝnh lµ sãng cÇu, biªn ®é cña nã tû lÖ víi tÝch ph©n. Nh©n tè
2πi(k-k’). ri t−¬ng øng lµ hiÖu pha cña sãng t¸n x¹ t¹i ®iÓm i vµ t¹i gèc. §Æt
K’ = k’-k, h×nh 3.5, ë ®©y | K’ | = 2 sin θ/λ , tÝch ph©n sè cã d¹ng:
T= ∫ V (r ) exp(− 2πiK '.r )dτ
Atom
i i i (3.12)
122
H×nh 3.6 Sù phô thuéc cña biªn ®é t¸n x¹ nguyªn tö vµo sin θ/λ ®èi víi
Al (Z = 13), Cu (Z = 29), Ag (Z = 47) vµ Au (Z = 79).
§©y chÝnh lµ ¶nh furiª cña thÕ. Bëi vËy, t¹i ®iÓm l©n cËn, khi E >> V (ri) vµ r
lín h¬n nhiÒu so víi kÝch th−íc nguyªn tö, sãng t¸n x¹ cã d¹ng sãng cÇu mµ
biªn ®é cña nã tû lÖ víi ¶nh furiª cña thÕ tinh thÓ.
ThÕ tinh thÓ vµ mËt ®é ®iÖn tÝch ρi(r) cã mèi quan hÖ nh− sau
ρ (r j )dτ j
V (ri ) = ∫ , (3.13)
ri − r j
trong ®ã i vµ j lµ hai ®iÓm trong nguyªn tö. Do ®ã tÝch ph©n T ®−îc viÕt d−íi
d¹ng
T = ∫ ρ j exp(− 2πiK '.r j )dτ j ∫

[ ]
exp − 2πiK '.(ri − r j ) dτ j
. (3.14)
ri − r j
TÝch ph©n ®Çu b»ng e(Z – f x), trong ®ã e lµ ®iÖn tÝch ®iÖn tö, Z lµ nguyªn tö
sè, f x lµ thõa sè t¸n x¹ nguyªn tö cña tia r¬ngen; tÝch ph©n thø hai b»ng
(π K’2)-1. §Æt
123
ch−¬ng 3
exp(2πikr )
ψ s (r ) = f (θ )
r
f (θ ) lµ biªn ®é t¸n x¹ nguyªn tö,
⎛ λ ⎞
2
m e2
f (θ ) = 0 2 ⎜ ⎟ (Z − f x ) (3.15)
2h ⎝ sin θ ⎠
ë ®©y m0e2/2h2 = 2,38.106 cm-1. Thõa sè thø nhÊt trong ngoÆc lµ do t¸n x¹
ruz¬for trªn h¹t nh©n nguyªn tö, thõa sè thø hai do t¸n x¹ trªn ®¸m m©y ®iÖn
tö. V× biªn ®é t¸n x¹ tû lÖ víi (sinθ)-2 nªn nã gi¶m nhanh theo sù t¨ng lªn
cña gãc θ. Çc thÝ dô vÒ f(θ) ®−îc giíi thiÖu trong h×nh 3.6.
NhËn xÐt r»ng biªn ®é t¸n x¹ nguyªn tö ®èi víi ®iÖn tö lín h¬n nhiÒu so víi
tia r¬ngen, ~ 104 lÇn. Do vËy, t¸n x¹ ®iÖn tö trªn nguyªn tö m¹nh h¬n rÊt
nhiÒu so víi tia r¬ngen.
3.1.2 Biªn ®é t¸n x¹ trªn « m¹ng c¬ b¶n
Ta h·y kh¶o s¸t « m¹ng c¬ b¶n víi nh÷ng nguyªn tö n»m ë çc ®iÓm ri. Trªn
kho¶ng çch | r |, lín h¬n nhiÒu so víi | ri |, biªn ®é t¸n x¹ trªn « m¹ng c¬
b¶n ®−îc x¸c ®Þnh b»ng c«ng thøc
exp(2πikr )
A0 =
r
∑i f i (θ ) exp(− 2πiK ' ri ) (3.16)
ë ®©y fi (θ) lµ biªn ®é t¸n x¹ nguyªn tö cña nguyªn tö thø i. Còng cã thÓ viÕt
nã d−íi d¹ng
exp(2πikr )
A0 = F (θ ) (3.17)
r
trong ®ã F (θ) lµ thõa sè cÊu tróc cña « c¬ b¶n.
Cßn cã thÓ viÕt biªn dé t¸n x¹ trªn « m¹ng c¬ b¶n d−íi d¹ng c«ng thøc kh¸c
2πm0 e exp(2πikr )
A0 = ∫ V (ri ) exp(− 2πiK ' ri )dτ i (3.18)
h2 r Unitcell
124
Tøc lµ biªn ®é tû lÖ víi ¶nh furiª cña thÕ. Khi Êy

2πm0 e
F (θ ) = ∫ V (ri ) exp(− 2πiK ' ri )dτ i
h 2 Unitcell
(3.19)
3.1.3 T¸n x¹ ®iÖn tö trªn tinh thÓ hoµn chØnh

3.1.3.1 H×nh häc ¶nh nhiÔu x¹
§Ó tÝnh biªn ®é t¸n x¹ trªn tËp hîp çc « m¹ng c¬ b¶n chóng ta còng tiÕn
hµnh nh− çc tiÕt trªn. Sau khi bá nh©n sè
exp ( 2 π i k r )
r
chóng ta thu ®−îc biªn ®é t¸n x¹
φ g = ∑ Fn exp(− 2πiK '.rn ) (3.20)
n
trong ®ã Fn lµ thõa sè cÊu tróc cña « c¬ b¶n n, vµ

rn = n1a + n2b + n3c (3.21)
ë ®©y a,b,c lµ vect¬ ®¬n vÞ trong tinh thÓ, cßn n1, n2, n3 lµ sè nguyªn. Vect¬
K’ biÓu thÞ nh− lµ mét vect¬ trong kh«ng gian ®¶o. Dïng hÖ to¹ ®é m¹ng
®¶o, ta viÕt
K’ = ξ a* + η b* + ζ c* (3.22)
Do ®ã
φ g = ∑ Fn exp[− 2πi (n1ξ + n2η + n3ζ )] (3.23)
n
NhiÔu x¹ m¹nh cã thÓ thu ®−îc khi ( n1 ξ + n2 η + n3 ζ ) lµ sè nguyªn ®èi

víi mäi n1, n2, n3, tøc lµ khi ξ = h, η = k, ζ = l, trong ®ã h,k,l lµ sè nguyªn.
Ba ®iÒu kiÖn nµy gièng nh− ®iÒu kiÖn Laue cã thÓ ®−îc viÕt d−íi d¹ng
K’. a = h, K’. b = k, K’. c = l (3.24)
t−¬ng øng víi ph¶n x¹ bragg tõ mÆt ph¼ng (hkl). Do ®ã, ph¶n x¹ m¹nh sÏ
x¶y ra khi K’ trïng víi vect¬ m¹ng ®¶o
K’ = g = h a* + kb* + lc* (3.25)
125
ch−¬ng 3
H×nh 3.7 Dùng h×nh cÇu ph¶n x¹.
V×
1 sin θ
g = vµ K' = 2
d hkl λ
nªn chóng ta thu ®−îc ph¶n x¹ cùc ®¹i cña ®Þnh luËt Bragg
λ = 2 dhkl sin θ. (3.26)
Bëi vËy, víi E = 100 kV th× gi¸ trÞ λ ≈ 0,037 Å, gãc bragg rÊt nhá, cì
10-2 rad tøc gÇn 10.
a) Dùng h×nh cÇu ph¶n x¹
Bëi v× ph¶n x¹ cùc ®¹i K’ trïng víi vect¬ m¹ng ®¶o, nªn ta cã thÓ x©y dùng
h×nh häc ®¬n gi¶n ®Ó x¸c ®Þnh ®iÒu kiÖn ph¶n x¹. §iÒu kiÖn nµy lµ
1) K’ = k’ - k
2) K’ = g
Gi¶ sö r»ng chóng ta ®· dùng ®−îc m¹ng ®¶o, h×nh 3.7. Tõ t©m O dùng
vect¬ - k vµ tõ ®ã vÏ vßng trßn t©m C - h×nh cÇu b¸n kÝnh 1/λ, tøc h×nh cÇu
ph¶n x¹. Mçi ®iÓm trªn h×nh cÇu nµy lµ ®iÓm mót cña vect¬ k’ cña sãng
ph¶n x¹ cã thÓ cã. Vect¬ OP = k’ - k = K’. Do ®ã ®iÒu kiÖn 1 vµ 2 ®−îc tho¶
m·n, vµ ph¶n x¹ cùc ®¹i sÏ x¶y ra khi P trïng víi nót m¹ng ®¶o. Bëi vËy,
nÕu h×nh cÇu c¾t nót m¹ng ®¶o th× ph¶n x¹ cùc ®¹i sÏ xuÊt hiÖn. Khi thÕ t¨ng
126
tèc b»ng 100 kV, b¸n kÝnh h×nh cÇu ~ 27 Å-1 lµ ®ñ lín so víi th«ng sè m¹ng,
do ®ã mÆt cÇu cã thÓ gÇn nh− lµ mÆt ph¼ng, v× thÕ nÕu mÆt ph¼ng m¹ng ®¶o
ch¹m mÆt cÇu ph¶n x¹ th× xuÊt hiÖn l−íi nót ®¶o. Trªn thùc tÕ ®èi víi mäi
tinh thÓ, trõ mµng máng cña chÝnh nã, do ®é cong h×nh cÇu nªn chØ cã mét
sè kh«ng lín ph¶n x¹. Nh−ng mÉu th−êng bÞ uèn cong hoÆc bÞ vªnh, do ®ã
xuÊt hiÖn nhiÒu vÕt nhiÔu x¹.
¶nh nhiÔu x¹ cã thÓ dïng ®Ó x¸c ®Þnh sù ®Þnh h−íng tinh thÓ. NÕu ghi ®−îc
chØ sè çc vÕt vµ x¸c ®Þnh ®−îc mÆt ph¼ng m¹ng ®¶o th× cã thÓ t×m ®−îc sù
®Þnh h−íng tinh thÓ so víi chïm ®iÖn tö. L−u ý r»ng ®iÒu Êy kh«ng cã nghÜa
lµ thiÕt lËp sù ®Þnh h−íng mÆt ph¼ng ngang cña mµng so víi chïm ®iÖn tö.
Ph−¬ng ph¸p ghi chØ sè ¶nh nhiÔu x¹ vµ x¸c ®Þnh tÝnh ®Þnh h−íng ®−îc tr×nh
bµy trong phÇn sau cña ch−¬ng nµy.
b) ¶nh h−ëng cña thõa sè cÊu tróc
Kh«ng ph¶i tÊt c¶ çc nót m¹ng ®¶o ®Òu liªn quan ®Õn sù ph¶n x¹ bragg.
Mét sè nót nµo ®ã (phô thuéc vµo ®èi xøng tinh thÓ) cã thõa sè cÊu tróc
b»ng kh«ng vµ do ®ã ph¶n x¹ bragg kh«ng x¶y ra. Trong hÖ to¹ ®é m¹ng
®¶o, thõa sè cÊu tróc cña « c¬ b¶n cã thÓ viÕt d−íi d¹ng
Fhkl = ∑ f i (θ ) exp[− 2πi (hu i + kvi + lwi )] (3.27)
i
trong ®ã ui, vi , wi lµ to¹ ®é ph©n sè cña nguyªn tö thø i. §èi víi « c¬ b¶n ®èi
xøng t©m çc sè h¹ng sin cã thÓ lo¹i bá vµ khi Êy
Fhkl = ∑ f i (θ ) cos 2π (hu i + kvi + lwi ) (3.28)
i
ThÝ dô, trong « c¬ b¶n cña m¹ng lËp ph−¬ng t©m mÆt, h×nh 3.8, cã bèn nót
m¹ng ph©n bè t¹i 000, 1/2 1/2 0, 0 1/2 1/2, 1/2 0 1/2. Khi ®ã
Fhkl = ƒ [ 1+ cos π ( h + k ) + cos π ( k + l ) + cos π ( h + l )]
§Ó nhËn ®−îc sù ph¶n x¹, tøc Fhkl ≠ 0, th× hkl ph¶i ch½n c¶ hoÆc lÎ c¶, khi Êy
Fhkl = 4ƒ, trong ®ã ƒ lµ biªn ®é t¸n x¹ cña nguyªn tö liªn kÕt víi mçi nót
m¹ng. Sù ph¶n x¹ cã thÓ cã trong m¹ng ®¶o ®−îc tr×nh bµy trong H×nh 3.8.
Çc nót liªn quan ®Õn ph¶n x¹ bragg t¹o thµnh m¹ng lËp ph−¬ng t©m khèi.
B»ng çch tÝnh t−¬ng tù cho m¹ng lËp ph−¬ng t©m khèi ta nhËn ®−îc kÕt qu¶
lµ chØ cã ph¶n x¹ víi mÆt cã tæng (h+k+l) lµ sè ch½n vµ m¹ng ®¶o cña m¹ng
lËp ph−¬ng t©m khèi lµ m¹ng lËp ph−¬ng t©m mÆt.
127
ch−¬ng 3
H×nh 3.8 (a) ¤ c¬ b¶n cña m¹ng lËp ph−¬ng t©m mÆt víi çc nót: 000,
1/2 1/2 0, 0 1/2 1/2, 1/2 0 1/2. (b) M¹ng ®¶o t−¬ng øng (lËp ph−¬ng t©m
khèi).
Do biªn ®é cña ph¶n x¹ bragg phô thuéc vµo Fhkl (xem biÓu thøc (3.20)), Fhkl
l¹i phô thuéc vµo sù ph©n bè nguyªn tö trong « c¬ b¶n, nªn biªn ®é cña ph¶n
x¹ bragg phô thuéc vµo cÊu tróc tinh thÓ. VÞ trÝ cña ph¶n x¹ bragg (tøc lµ gãc
bragg) ®−îc x¸c ®Þnh chØ bëi m¹ng h×nh häc mµ kh«ng ph¶i do sù ph©n bè
nguyªn tö ë mçi nót.
3.1.3.2 Biªn ®é cña chïm tia nhiÔu x¹ trªn tinh thÓ cã d¹ng h×nh hép
Ta ®· thÊy r»ng cùc ®¹i nhiÔu x¹ xuÊt hiÖn khi K’ = g, nh−ng ph¶n x¹ l¹i
ph¸t sinh trong mét khu vùc gãc nhá nµo ®ã. §iÒu nµy ®−îc gi¶i thÝch râ
h¬n c¶ theo quan ®iÓm ph©n bè t¸n x¹ trong kh«ng gian ®¶o. Gi¶ sö r»ng
K’ = g + s, trong ®ã s lµ ®é lÖch khái nót m¹ng ®¶o. Bëi vËy, sau khi bá
phÇn sè nh©n exp(2πikr)/r, ta ®−îc
φ g = ∑ Fg exp[− 2πi( g + s ).rn ] (3.29)
n
trong ®ã Fg lµ thõa sè cÊu tróc ®èi víi ph¶n x¹ g. §èi víi tinh thÓ hoµn
chØnh, do g. rn lµ sè nguyªn nªn
φ g = ∑ Fg exp(− 2πis.rn ) (3.30)
n
Tæng nµy cã thÓ tÝnh cho tinh thÓ d¹ng h×nh hép, tuy nhiªn kÕt qu¶ gÇn ®óng
sau ®©y cã thÓ ¸p dông cho tinh thÓ cã h×nh d¹ng tuú ý. Do s kh«ng lín, gãc
pha tõ « m¹ng nµy ®Õn « m¹ng kia thay ®æi Ýt, nªn φg cã thÓ, mét çch gÇn
®óng, chuyÓn thµnh tÝch ph©n:
128
Fg
φg =
Vc ∫ exp(− 2πis.r )dτ
Crystal
(3.31)
trong ®ã Vc lµ thÓ tÝch « m¹ng c¬ b¶n. BiÓu thøc nµy lµ ¶nh furiª cña tinh
thÓ. §èi víi h×nh hép vu«ng c¹nh A, B, C däc theo h−íng t−¬ng øng x, y ,z:
A B C
Fg
φg =
Vc ∫ ∫ ∫ exp[− 2πi(ux + vy + wz ]dxdydz
0 0 0
(3.32)
tøc lµ
Fg sin πAu sin πBv sin πCw
φg = (3.33)
V c πu πv πw
trong ®ã u, v, w lµ thµnh phÇn cña s däc theo x, y, z. Gi¸ trÞ |φg| ®Æc tr−ng cho
sù ph©n bè biªn ®é trong kh«ng gian ®¶o. Ph©n bè c−êng ®é I ®−îc x¸c ®Þnh
bëi tÝch φgφg*, h×nh 3.9, chØ râ däc theo h−íng u, ®èi víi v vµ w I ®Òu b»ng 0.
ChiÒu réng cña cùc ®¹i chÝnh ~ 1/A t¹i ®iÓm 1/2. NhËn xÐt r»ng sù ph©n bè
c−êng ®é lµ ®ång ®Òu quanh mçi nót m¹ng ®¶o, bëi lÏ nã kh«ng phô thuéc
vµo h, k, l. §èi víi tinh thÓ hoµn chØnh sù ph©n bè c−êng ®é trong kh«ng
gian ®¶o cã b¸n chiÒu réng cùc ®¹i gi÷a 1/w, trong ®ã w lµ ®−êng kÝnh tinh
thÓ, h×nh 3.9. §èi víi tinh thÓ h×nh cÇu ph©n bè c−êng ®é cã ®èi xøng cÇu;
nÕu tinh thÓ d¹ng tÊm th× ph©n bè c−êng ®é cã d¹ng thanh m¶nh vu«ng gãc
víi mÆt b¶n, cßn ®èi víi tinh thÓ d¹ng kim th× ph©n bè c−êng ®é cã d¹ng ®Üa
trong kh«ng gian ®¶o. Th«ng th−êng nót m¹ng ®¶o lu«n bÞ kÐo dµi theo
h−íng song song víi kÝch th−íc ng¾n nhÊt cña tinh thÓ. Mét sè thÝ dô ®èi víi
çc tinh thÓ cã d¹ng kh¸c nhau ®−îc chØ ra trªn s¬ ®å h×nh 3.9. Trong hiÓn vi
truyÒn qua, tinh thÓ th−êng cã d¹ng b¶n máng ®Æt vu«ng gãc víi chïm tia
®iÖn tö, v× vËy nót bÞ kÐo dµi d−íi d¹ng thanh vu«ng gãc víi b¶n tinh thÓ,
h×nh 3.10.
Ph©n bè gãc cña c−êng ®é chïm nhiÔu x¹ cã thÓ nhËn ®−îc sau khi dùng
h×nh cÇu ph¶n x¹, h×nh 3.11. Ph©n bè gãc cña chïm nhiÔu x¹ dφ1 ®èi víi
h−íng tinh thÓ ®· cho lµ λ/w, trong ®ã w lµ chiÒu réng tinh thÓ theo h−íng
vu«ng gãc víi chïm ®iÖn tö. Víi tinh thÓ réng 100 Å (vÝ dô, chÊt chiÕt nhá)
dφ1 ≈ 4.10-4 rad; nã nhá h¬n nhiÒu so víi gãc bragg (~ 10-2 rad). Bëi vËy ®é
më réng cña pic c−êng ®é trong kh«ng gian ®¶o sÏ x¸c ®Þnh khu vùc ®Þnh
h−íng tinh thÓ ë ®ã cã sù ph¶n x¹. Trong tr−êng hîp trªn, ®iÒu quan träng lµ
sù kÐo dµi trong kh«ng gian ®¶o theo h−íng song song víi chïm ®iÖn tö.
129
ch−¬ng 3
H×nh 3.9 Ph©n bè c−êng ®é däc theo u (v = 0 vµ w = 0). B¸n cùc ®¹i
Δu ≈ 1/A, trong ®ã A lµ chiÒu dµi tinh thÓ theo h−íng x.
130
H×nh 3.10 Ph©n bè c−êng ®é d−íi d¹ng thanh ®èi víi b¶n vu«ng gãc víi
chïm ®iÖn tö. Sù ph¶n x¹ x¶y ra trong khu vùc nµo ®ã cña h−íng tinh thÓ.
§−êng g¹ch t¹o thµnh vect¬ g vµ nót d¹ng thanh trong tr−êng hîp khi
tinh thÓ xoay (mét gãc 1/2 dφ2 ) sao cho h×nh cÇu ph¶n x¹ c¾t ®óng ®Çu
mót thanh.
H×nh 3.10 chØ ra tr−êng hîp nµy khi nót d¹ng thanh song song víi h−íng
chïm ®iÖn tö. Khi thay ®æi h−íng tinh thÓ th× chïm nhiÔu x¹ hÇu nh− vÉn
gi÷ nguyªn vÞ trÝ cña nã, nh−ng khu vùc ®Þnh h−íng trong ®ã c−êng ®é còng
®¸ng kÓ sÏ lµ
1 d
dφ 2 ≈ ≈
gt t
ë ®©y t lµ chiÒu dµy tinh thÓ theo h−íng cña chïm tia, cßn d lµ kho¶ng çch
gi÷a çc mÆt ph¼ng. Víi t ≈ 100 Å th× dφ2 ≈ 10-2 rad, tøc lµ t−¬ng ®−¬ng víi
gi¸ trÞ gãc bragg.
§¹i l−îng dφ1 nhá, chõng 10-4 - 10-3 rad, tøc lµ vÕt nhiÔu x¹ sÏ rÊt râ nÐt. Gi¸
trÞ dφ2 lín, cã nghÜa lµ x¸c suÊt g©y ra sù ph¶n x¹ t¨ng vµ lín h¬n so víi gi¸
trÞ nµy ®èi víi tia r¬ngen trong ®ã dφ2 chØ vµo kho¶ng10-4 rad. §ã lµ mét
131
ch−¬ng 3
H×nh 3.11 Khu vùc ph¶n x¹ dφ1 sinh ra do sù ph©n bè c−êng ®é ®èi xøng
cÇu.
trong nh÷ng nguyªn nh©n ph¸t sinh mét sè lín ph¶n x¹ trªn ¶nh nhiÔu x¹
®iÖn tö, mµ ®Ó nhËn ®−îc nã trong tr−êng hîp tia r¬ngen cÇn ph¶i cã sù ®Þnh
h−íng tinh thÓ tèt. Mét nguyªn nh©n kh¸c lµ çc ®iÖn tö th−êng g©y nªn sù
cong nµo ®ã cña mµng (mÉu) lµm t¨ng x¸c suÊt tho¶ m·n ®iÒu kiÖn ph¶n x¹
trªn çc phÇn kh¸c nhau.
Gi¸ trÞ dφ2 gi¶m theo sù t¨ng chiÒu dµy t cña b¶n tinh thÓ. Song cã thÓ cã
chiÒu dµy (cì vµi tr¨m angstrom) mµ trong giíi h¹n nµy chïm tia hoµn toµn
nhiÔu x¹, tøc lµ çc phÇn tö t¸n x¹ trong m¹ng tinh thÓ lu«n lµ giíi h¹n. Bëi
vËy, ngay c¶ khi tinh thÓ dµy h¬n sù ph¶n x¹ chØ x¶y ra d−íi mét gãc
dφ2 ≈ d/ξg, trong ®ã ξg ®−îc gäi lµ ®é dµi t¾t vµ tÝnh ®−îc theo c«ng thøc sau
πVc cosθ
ξg = (3.34)
λFg
ë ®©y Vc lµ thÓ tÝch « c¬ b¶n. KÝch th−íc giíi h¹n nµy rÊt quan träng trong lý
thuyÕt ®éng lùc häc vÒ sù t−¬ng ph¶n vµ cã thÓ thu ®−îc mét gi¸ trÞ chÝnh
x¸c h¬n. §Ó lµm ®−îc ®iÒu ®ã cÇn ph¶i sö dông ®¹i l−îng Fg vµ λ víi sù hiÖu
chØnh t−¬ng ®èi. V× thõa sè cÊu tróc Fg tû lÖ víi khèi l−îng ®iÖn tö m vµ
λ = h/mv nªn ta cã thÓ viÕt:
132
πm0Vc v cosθ
ξg = (3.35)
hFg
trong ®ã Fg ®−îc tÝnh víi m = m0. Gi¸ trÞ ξg th−êng vµo kho¶ng vµi tr¨m
angstrom.
3.1.4 Biªn ®é sãng nhiÔu x¹ bëi tinh thÓ sai háng

3.1.4.1 Kh¶o s¸t chung
NÕu vÞ trÝ « m¹ng thø n trong tinh thÓ sai háng biÓu thÞ qua r’n th× cã thÓ viÕt:
r’n = rn + Rn,
trong ®ã Rn lµ vect¬ dÞch cña « m¹ng c¬ b¶n khái vÞ trÝ ®óng rn. Khi Êy
φ g = ∑ Fg exp[− 2πi( g + s )(. rn + Rn )] (3.36)
n
V× grn lµ sè nguyªn nªn biÓt thøc (3.36) cã thÓ viÕt d−íi d¹ng
Fg
φg =
Vc ∫ exp(− 2πig.R )exp(− 2πis.r )dτ
n n (3.37)
ë ®©y ta ®· bá qua tÝch s.Rn. Do sù sai háng trong « m¹ng nªn cã thªm sè
nh©n pha exp(-2πig.Rn). Ta h·y xÐt mét vµi vÝ dô, ®Æc biÖt lµ hiÖn t−îng biÕn
®iÖu h×nh sin th«ng sè m¹ng.
3.1.4.2 BiÕn ®iÖu h×nh sin cña th«ng sè m¹ng
Gi¶ sö r»ng kho¶ng çch nguyªn tö trong tinh thÓ trªn h−íng z thay ®æi theo
biÓu thøc
2πz
R = a cos (3.38)
Λ
trong ®ã a lµ nhá. Khi Êy
Fg ⎛ 2πz ⎞
φg = ∫ exp⎜⎝ − 2πig.a cos ⎟ exp(− 2πis.r )dτ (3.39)
Vc Λ ⎠
vµ nÕu a nhá th×
133
ch−¬ng 3
H×nh 3.12 Sù ph©n bè c−êng ®é ë cùc ®¹i bragg vµ cùc ®¹i phô, Λ lµ
b−íc sãng sai háng.
Fg Fg 2πz
φg =
Vc ∫ exp(− 2πis.r )dτ − Vc
2πig .a ∫ cos
Λ
exp(− 2πis.r )dτ (3.40)
Sè h¹ng ®Çu tiªn chÝnh lµ ¶nh furiª cña tinh thÓ hoµn chØnh, sè h¹ng thø hai
cã thÓ viÕt d−íi d¹ng
⎧ ⎧ ⎡ ⎛ 1 ⎞⎤ ⎫ ⎫
⎪exp⎨− 2πi ⎢ s x x + s y y⎜ s z − ⎟⎥ ⎬ + ⎪
Fg ⎪ ⎩ ⎣ ⎝ Λ ⎠⎦ ⎭ ⎪
− πig .a ∫ ⎨ ⎬dτ (3.41)
Vc ⎪ ⎧ ⎡ ⎛ 1 ⎞ ⎤ ⎫⎪
⎪+ exp⎨− 2πi ⎢ s x x + s y y⎜⎝ s z + Λ ⎟⎠⎥ ⎬⎪
⎩ ⎩ ⎣ ⎦ ⎭⎭
TÝch ph©n nµy lín vÒ gi¸ trÞ chØ trong tr−êng hîp sx = sy = 0 vµ sz = ± 1/Λ
(sx, sy, sz lµ thµnh phÇn cña s theo h−íng x, y, z). Bëi vËy trong phÇn bæ xung
vµo cùc ®¹i bragg cã cùc ®¹i phô, h×nh 3.12. ChiÒu réng cña cùc ®¹i bragg
chÝnh Δsz = 1/t. V× thÕ, nÕu Λ ≥ t th× cùc ®¹i phô hoµ víi cùc ®¹i bragg vµ
dÉn ®Õn më réng sù ph¶n x¹. Sù më réng nµy t¨ng lªn víi sù t¨ng cña vect¬
g n»m tr−íc dÊu tÝch ph©n. NÕu Λ ≤ t th× c−êng ®é t¸ch r¬i ®óng vµo "®u«i"
cña ph¶n x¹ bragg vµ cho sù ®ãng gãp vµo ph«ng, cßn cùc ®¹i bragg kh«ng
thay ®æi theo chiÒu réng, nh−ng gi¶m theo chiÒu cao (®iÒu ®ã cã thÓ thÊy khi
kh¶o s¸t thµnh phÇn bËc cao trong biÓu thøc ®· tr×nh bµy ë trªn).
134
H×nh 3.13 §Æc ®iÓm cña ¶nh nhiÔu x¹ tõ tinh thÓ cã khuyÕt tËt xÕp. Hai
vÕt cã thÓ xuÊt hiÖn do cÇu ph¶n x¹ c¾t hai thanh, mét thanh vu«ng gãc
víi bÒ mÆt tinh thÓ vµ thanh kia vu«ng gãc víi mÆt ph¼ng khuyÕt tËt.
3.1.4.3 ThÝ dô
a) Dao ®éng nhiÖt. Trong tr−êng hîp nµy ®a phÇn lµ dao ®éng m¹ng, thµnh
phÇn biÕn ®æi furiª cã gi¸ trÞ 1/Λ lín hay Λ nhá - cì kÝch th−íc nguyªn tö.
NghÜa lµ dao ®éng nhiÖt t¹o thµnh ph«ng khuÕch t¸n vµ dÉn ®Õn sù gi¶m
c−êng ®é bragg song kh«ng më réng cùc ®¹i.
b) KhuyÕt tËt ®iÓm. Còng x¶y ra hiÖn t−îng t−¬ng tù nh− trong tr−êng hîp
dao ®éng nhiÖt, v× phÇn lín thµnh phÇn furiª cã gi¸ trÞ Λ nhá.
c) Uèn cong. Trong tr−êng hîp nµy Λ kh«ng lín h¬n t lµ bao vµ bëi vËy sÏ
dÉn ®Õn sù më réng cùc ®¹i.
d) LÖch m¹ng. §©y lµ tr−êng hîp v« cïng phøc t¹p. Sù thay ®æi ®¸ng kÓ cña
biÕn d¹ng gÇn nh©n lÖch m¹ng dÉn ®Õn thÓ hiÖn “®u«i” trong ¶nh nhiÔu x¹;
sù thay ®æi t¸c dông xa cña tr−êng thÕ g©y nªn sù më réng vÕt. Sù ph©n bè
ngÉu nhiªn cña lÖch biªn trong tinh thÓ t¹o nªn ®é cong trung b×nh vµo cì
b/h, trong ®ã b – vect¬ Burgers vµ h – kho¶ng çch gi÷a çc lÖch. Song ®èi
víi lÖch c« lËp trong mµng máng th× ®é në réng trung b×nh, g©y nªn bëi çc
phÇn cã kÝch th−íc lín h¬n chiÒu dµi lÖch, sÏ nhá h¬n nhiÒu.
e) Sai háng xÕp. Gi¶ thiÕt r»ng cÊu tróc t¹o thµnh tõng líp, líp nµy trªn líp
kia. Sù ph©n bè biªn ®é tõ líp nµy sÏ cã d¹ng thanh c¾t qua nót m¹ng ®¶o.
NÕu çc líp nµy xÕp lªn líp kia ®óng thø tù th× nhËn ®−îc tinh thÓ chiÒu dµy
lín h¬n vµ thanh ®¶o bÞ rót ng¾n l¹i. Song nÕu líp s¾p xÕp kh«ng ®óng, tøc
cã khuyÕt tËt xÕp, th× nót cã d¹ng thanh; chiÒu dµi thanh ®¶o sÏ t¨ng theo sè
135
ch−¬ng 3
khuyÕt tËt. Nót d¹ng thanh nh− thÕ cã thÓ sÏ dÉn ®Õn sù kÐo dµi vÕt trªn ¶nh
nhiÔu x¹. Ta h·y kh¶o s¸t thÝ dô tinh thÓ cã khuyÕt tËt trong mÆt ph¼ng
kh«ng song song víi mÆt ph¼ng mµng, h×nh 3.13. C−êng ®é ph©n bè d−íi
d¹ng thanh, mét thanh vu«ng gãc víi mÆt ph¼ng mµng mÉu, thanh kia vu«ng
gãc víi mÆt ph¼ng khuyÕt tËt. Do ®ã cã thÓ xuÊt hiÖn hai vÕt nh− m« t¶ trong
h×nh 3.13.
3.2 H×nh häc ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö
3.2.1 Dùng m¹ng ®¶o vµ ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö

Ph−¬ng ph¸p thuËn lîi nhÊt ®Ó gi¶i thÝch ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö lµ dùa vµo sù
x©y dùng m¹ng ®¶o nh− ®· tr×nh bµy trong ch−¬ng 2. ë ®©y ta kh¶o s¸t sù
øng dông cña ph−¬ng ph¸p nµy.
KÝch th−íc vµ h×nh d¹ng m¹ng ®¶o ®−îc x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc tÝnh a*, b*
vµ c*, nh÷ng biÓu thøc nµy biÓu diÔn ba vect¬ a*, b*, c* qua vect¬ ®¬n vÞ
cña « m¹ng c¬ b¶n a, b, c. HÖ thøc nµy x¸c ®Þnh sù ®Þnh h−íng cña m¹ng
®¶o so víi m¹ng tinh thÓ thuËn. Bëi vËy b−íc ®Çu tiªn lµ thiÕt lËp h×nh häc
vµ h−íng cña m¹ng ®¶o, song tr−íc khi sö dông m¹ng ®¶o ®Ó vÏ ¶nh nhiÔu
x¹ ®iÖn tö ta cÇn ph¶i l−u ý ®Õn ®iÒu kiÖn mµ ë ®ã do thõa sè cÊu tróc ®· dÉn
®Õn sù cho phÐp hoÆc bÞ cÊm cña nót m¹ng ®¶o. Mét ®iÓm cÇn l−u ý n÷a lµ
do b¸n kÝnh cÇu ph¶n x¹ rÊt lín so víi kho¶ng çch gi÷a çc nót kÕ cËn nhau
cña m¹ng ®¶o nªn mét çch gÇn ®óng xem mÆt h×nh cÇu lµ ph¼ng. Trong
®iÒu kiÖn ®ã, ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö chÝnh lµ mÆt c¾t ph¼ng cña m¹ng ®¶o.
3.2.1.1 KÝch th−íc ¶nh nhiÔu x¹
ViÖc dùng cÇu ph¶n x¹ cho ta biÕt h−íng chïm nhiÔu x¹. NÕu buång nhiÔu
x¹ kh«ng cã thÊu kÝnh tõ ë sau mÉu th× vÞ trÝ vÕt nhiÔu x¹ trªn kÝnh ¶nh hay
mµn quan s¸t (®èi víi mÆt ph¼ng cã kho¶ng çch d) ®−îc x¸c ®Þnh b»ng biÓu
thøc
λL
R=
d
trong ®ã R lµ kho¶ng çch tõ vÕt chÝnh t©m tíi vÕt nhiÔu x¹, λ lµ b−íc sãng
®iÖn tö vµ L lµ kho¶ng çch tõ mÉu ®Õn kÝnh ¶nh hay mµn quan s¸t. BiÓu
thøc gÇn ®óng nµy dùa trªn sù gi¶ thiÕt r»ng gãc ph¶n x¹ nhá vµ suy trùc tiÕp
tõ x©y dùng cÇu ph¶n x¹.
136
Cã thÓ t×m ®−îc biÓu thøc chÝnh x¸c h¬n ®èi víi R, song ®èi víi hiÓn vi ®iÖn
tö ®ã lµ ®iÒu kh«ng cÇn thiÕt v× ngay hiÖn t−îng mÐo do tõ tr−êng dß vµ
quang sai cña thÊu kÝnh tõ còng ®· lµm biÕn d¹ng ¶nh.
Trong biÓu thøc cña R, ®¹i l−îng L lµ ®é dµi x¸c ®Þnh vµ phô thuéc vµo ®é
phãng ®¹i cña thÊu kÝnh tõ. Ng−êi ta th−êng dïng ®¹i l−îng λL nh− lµ mét
h»ng sè nhiÔu x¹ cña kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö, gi¸ trÞ λL cÇn ph¶i x¸c ®Þnh ®èi
víi mçi çch chän chuÈn cña thÊu kÝnh tõ ®−îc sö dông vµ ®èi víi mçi møc
®iÖn thÕ t¨ng tèc. Mét sè nhµ nghiªn cøu ®· dïng ®¹i l−îng 2λL lµm h»ng sè
nhiÔu x¹ v× x¸c ®Þnh ®−êng kÝnh vµnh nhiÔu x¹ D sÏ thuËn tiÖn h¬n so víi
phÐp ®o b¸n kÝnh, vµ
2λL
D= .
d
3.2.1.2 Dùng ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö cña ®a tinh thÓ
§èi víi tæ hîp ®Þnh h−íng cña ®a tinh thÓ th× m¹ng ®¶o ®−îc t¹o nªn bëi
hµng lo¹t h×nh cÇu quanh gèc (nót kh«ng) cña m¹ng ®¶o. B¸n kÝnh cÇu biÓu
thÞ b»ng 1/dhkl vµ mçi h×nh cÇu chøa mét sè nót t−¬ng øng cña m¹ng ®¶o.
Bëi vËy, ®èi víi tinh thÓ lËp ph−¬ng, trong h×nh cÇu {200} cã 6 nót. Sè nót
chøa trong mçi h×nh cÇu ®−îc gäi lµ thõa sè lÆp vµ cÇn ph¶i l−u ý khi kh¶o
s¸t c−êng ®é t−¬ng ®èi cña vµnh nhiÔu x¹. Çc hiÖn t−îng phô cã thÓ xuÊt
hiÖn nÕu sù ®Þnh h−íng tinh thÓ cã ph−¬ng −u tiªn hay texture.
Nãi chung, ¶nh h−ëng cña thõa sè cÊu tróc dÉn ®Õn sù ph©n bè t−¬ng ®èi
cña vµnh nhiÔu x¹ vµ dÔ dµng nhËn ra. §Æc biÖt lµ ®èi víi tinh thÓ lËp
ph−¬ng ta cã
a
d hkl =
(h 2
+ k + l2)
2 1/ 2
trong ®ã a lµ c¹nh h×nh lËp ph−¬ng vµ h, k, l lµ çc chØ sè Miller. §iÒu ®ã cã

nghÜa lµ
λL
Rhkl =
a
(h 2
+ k2 + l2)
1/ 2
V× λL/a lµ h»ng sè ®èi víi ¶nh nhiÔu x¹ ®· cho nªn gi¸ trÞ Rhkl thay ®æi tû lÖ
víi (h2 + k2 + l2)1/2. ThÝ dô, ®èi víi cÊu tróc lËp ph−¬ng t©m mÆt, ph¶n x¹ cã
137
ch−¬ng 3
H×nh 3.14 NhiÔu x¹ ®iÖn tö. (a) §−êng ®i cña tia ®iÖn tö trong kÝnh
hiÓn vi ®iÖn tö ë chÕ ®é nhiÔu x¹. (b) ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö cña mµng
máng nh«m (Al) ®a tinh thÓ cã cÊu tróc lËp ph−¬ng t©m mÆt.
çc chØ sè hoÆc ®Òu ch½n hoÆt ®Òu lÎ. Khi Êy sù xen kÏ vµnh nhiÔu x¹ theo
thø tù t¨ng lªn cña b¸n kÝnh nh− sau (xem h×nh 3.14(b))
(111), (200), (220), (311), (222), (400), (331), (420), (422), ...
B¸n kÝnh tû lÖ víi çc sè
31/2, 41/2, 81/2, 111/2, 121/2, 161/2, 191/2, 201/2, 241/2, ...
Sù phô thuéc ®¬n gi¶n t−¬ng tù còng tho¶ m·n ®èi víi c¶ cÊu tróc lËp
ph−¬ng kh¸c nhê sù gi¶i thÝch qua ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö.
3.2.1.3 Dùng vµ ghi chØ sè ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö cña ®¬n tinh thÓ
§èi víi mÉu ®¬n tinh thÓ, mét trong nh÷ng ph−¬ng ph¸p ®¬n gi¶n ®Ó dùng
¶nh nhiÔu x¹ mét çch râ rµng lµ dùa vµo viÖc sö dông m¹ng ®¶o t−¬ng øng.
Khi ®ã, viÖc ghi chØ sè ®−îc tiÕn hµnh mét çch hÕt søc ®¬n gi¶n, bëi v× chØ
sè vÕt nhiÔu x¹ còng gièng nh− chØ sè nót m¹ng ®¶o t−íng øng. §èi víi mÆt
c¾t m¹ng ®¶o víi çc chØ sè bËc cao th× ph−¬ng ph¸p thiÕt lËp sÏ phøc t¹p
h¬n vµ cÇn ph¶i dïng mÉu gåm nhiÒu nót. Bëi vËy øng dông ph−¬ng ph¸p vÏ
biÓu ®å vect¬ nãi chung tèt h¬n c¶.
138
H×nh 3.15 Dùng mÆt c¾t m¹ng ®¶o.
Khi ®· biÕt cÊu tróc tinh thÓ mÉu ta sÏ ph¶i gi¶i quyÕt hai vÊn ®Ò sau ®©y:
a) Dùng vµ ghi chØ sè ¶nh nhiÔu x¹ cña tinh thÓ víi ®Þnh h−íng ®· cho tr−íc
so víi chïm ®iÖn tö.
b) Cã ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö, cÇn ph¶i ghi chØ sè cña çc vÕt nhiÔu x¹ vµ x¸c
®Þnh ®Þnh h−íng tinh thÓ.
Trong tr−êng hîp bÊt kú, ®Ó lµm ®−îc ®iÒu ®ã ng−êi ta sö dông biÓu thøc
h×nh häc biÓu thÞ ®iÒu kiÖn nót h k l thuéc mÆt ph¼ng m¹ng ®¶o (u v w) chøa
nót kh«ng:
hu + kv + lw = 0 (3.42)
HÖ thøc nµy dïng cho çc lo¹i m¹ng.
a) Dùng mÆt ph¼ng (uvw) cña m¹ng ®¶o
§èi víi mäi nót hkl n»m trong mÆt ph¼ng (uvw) cña m¹ng ®¶o ®Òu dïng
biÓu thøc (3.42). Do vËy b−íc ®Çu tiªn chän hai nót h1k1l1 vµ h2k2l2 víi chØ sè
nhá tháa m·n biÓu thøc nµy. Tõ ®ã dÉn ®Õn kÕt qu¶ lµ nót h1-h2, k1-k2, l1 - l2
còng n»m trong mÆt ph¼ng (uvw). Vect¬ m¹ng ®¶o t−¬ng øng víi 3 nót trªn
cã thÓ t¹o thµnh h×nh tam gi¸c nh− tr×nh bµy trong h×nh 3.15.
§é dµi 1/d cña vect¬ m¹ng ®¶o nhËn ®−îc tõ gi¸ trÞ t−¬ng øng cña kho¶ng
çch d gi÷a çc mÆt ph¼ng. §èi víi tinh thÓ lËp ph−¬ng, kÕt qu¶ ®¬n gi¶n
h¬n v× gi¸ trÞ nµy cña vect¬ m¹ng ®¶o tû lÖ víi (h2 + k2 + l2)1/2. Bëi vËy, trong
h×nh b×nh hµnh ORPQ ®iÓm P, Q vµ R phï hîp víi nót t−¬ng øng h1k1l1,
h2k2l2 vµ h1 - h2, k1 - k2, l1 - l2 vµ sù lÆp l¹i cña « m¹ng ORPQ theo mäi
ph−¬ng cho ta s¬ ®å cña mÆt ph¼ng (uvw). Khi Êy, tr−íc hÕt thiÕt lËp tÊt c¶
çc nót kÓ c¶ nh÷ng nót bÞ cÊm do thõa sè cÊu tróc, sau ®ã kiÓm tra xem çc
nót cho phÐp ®· vÏ ®ñ hay ch−a. Tuú thuéc vµo çch chän ban ®Çu h1k1l1 vµ
h2k2l2, nhiÒu nót cho phÐp trªn s¬ ®å cã thÓ kh«ng ®−îc chØ ra, nh−ng khi
139
ch−¬ng 3
H×nh 3.16 Dùng mÆt c¾t (321) cña m¹ng ®¶o ®èi víi cÊu tróc lËp ph−¬ng
t©m mÆt.
kiÓm tra l¹i dÔ dµng ph¸t hiÖn thÊy. ThÝ dô, trong tr−êng hîp nµo ®ã nót 1/2
(h1 - h2, k1 - k2, l1 - l2) cã thÓ lµ cho phÐp. Víi viÖc tÝnh ®Õn mäi yÕu tè trªn ta
cã thÓ hoµn thµnh viÖc ghi chØ sè cña mÆt ph¼ng m¹ng ®¶o (uvw) mét çch
®Çy ®ñ.
§èi víi tinh thÓ lËp ph−¬ng, hai nót ®−a ra ®Çu tiªn víi chØ sè nhá nªn chän
sao cho ph−¬ng [h1k1l1] vu«ng gãc víi [h2k2l2]. §iÒu ®ã lµm ®¬n gi¶n h¬n
viÖc dùng s¬ ®å ph©n bè vÕt nhiÔu x¹. Tèt h¬n hÕt lµ xem thÝ dô minh ho¹
sau ®©y.
ThÝ dô: vÏ mÆt m¹ng ®¶o (321) cña m¹ng lËp ph−¬ng t©m mÆt.
B»ng çch kiÓm tra çc nót cho phÐp ta thÊy ngay r»ng trong mÆt ph¼ng
(321) cã nót víi chØ sè nhá 1 1 1 . Ph¶n x¹ h2k2l2 theo h−íng vu«ng gãc ®−îc
x¸c ®Þnh tõ ®iÒu kiÖn vu«ng gãc cña vect¬ h1h2 + k1k2 + l1l2 = 0, khi tÝnh nh−
vËy ta l−u ý lµ h2k2l2 còng n»m trong mÆt ph¼ng (321). §iÒu ®ã cã nghÜa lµ
1h2 - 1k2 - 1l2 = 0
3h2 + 2k2 + 1l2 = 0
Tõ ®ã ta thu ®−îc h2k2l2 = c (145) . Nót 1 45 kh«ng cho phÐp trong m¹ng lËp
ph−¬ng t©m mÆt, vËy gi¸ trÞ c nhá nhÊt cho phÐp ph¶i b»ng 2. Bëi thÕ trªn s¬
®å h×nh 3.16 dùng ®−îc h×nh ch÷ nhËt kÐo dµi.
Râ rµng r»ng nót 3 9 9 thu ®−îc kh«ng ph¶i lµ ph¶n x¹ bËc nhÊt nªn cÇn bæ
sung thªm nót 1 3 3 vµ 2 6 6 nh− trªn s¬ ®å. LÆp l¹i « m¹ng c¬ së nµy ta
®−îc mÆt ph¼ng (321), vµ mÆc dï « m¹ng c¬ së cña ¶nh lµ h×nh b×nh hµnh
®−îc x¸c ®Þnh bëi çc nót 000, 1 3 3 , 2 42 vµ 1 1 1 , song viÖc x©y dùng ®−îc
gi¶m nhÑ ®¸ng kÓ nÕu nh− lÊy h×nh ch÷ nhËt dµi lµm c¬ së.
140
H×nh 3.17 §¸nh dÊu chØ sè ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö.
b) §¸nh dÊu chØ sè cho ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö

Ta h·y kh¶o s¸t tr−êng hîp khi ®· biÕt chÊt nghiªn cøu vµ cã ¶nh nhiÔu x¹
®iÖn tö cña nã nh−ng ch−a biÕt ®Þnh h−íng cña mÉu. Tr−íc hÕt ta cÇn mét
b¶ng sè liÖu kho¶ng çch d gi÷a çc mÆt ph¼ng t−¬ng øng cña ¶nh nhiÔu x¹
®iÖn tö hiÖu chuÈn (tõ chÊt chuÈn) trong tµi liÖu tra cøu. H×nh 3.17 tr×nh bµy
¶nh nhiÔu x¹ nhËn ®−îc tõ thùc nghiÖm. Chän ba nót P1, P2, P3 vµ cïng víi 0
t¹o thµnh mét h×nh b×nh hµnh. §o gi¸ trÞ d t−¬ng øng víi çc ph¶n x¹ nµy,
sau ®ã x¸c ®Þnh chØ sè hkl cña mçi nót. B»ng ph−¬ng ph¸p thö chóng ta chän
mét lo¹t chØ sè sao cho:
[ h1 k1 l1 ] = [ h2 k2 l2 ] + [ h3 k3 l3 ].
TÊt c¶ çc nót cßn l¹i cña ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö cã thÓ ghi chØ sè tiÕp theo
b»ng phÐp x¸c ®Þnh vect¬ ®¬n gi¶n. Ph−¬ng ph¸p kh¸c còng th−êng ®−îc sö
dông lµ ®o gãc gi÷a 0P3 vµ 0P2 råi tÝnh to¸n, sau ®ã so s¸nh víi sè liÖu trong
b¶ng chuÈn.
V× çc nót bÊt kú ®−îc x¸c ®Þnh b»ng çch trªn ®©y ®Òu n»m trong mÆt
ph¼ng (uvw) cña m¹ng ®¶o nªn
h1u + k1v + l1w = 0 vµ h2u + k2v + l2w = 0
tõ ®ã suy ra
⎛ k1l1 l1 h1 h1 k1 ⎞
(uvw) = ⎜⎜ , , ⎟ = (k1l 2 − l1 k 2 , l1 h2 − h1l 2 , h1 k 2 − k1 h2 )
⎟
⎝ k 2 l 2 l 2 h2 h2 k 2 ⎠
BiÓu thøc trªn trùc tiÕp cho h−íng [uvw] song song víi chïm ®iÖn tö.
Ph−¬ng ph¸p nµy ®−îc dïng cho tinh thÓ cã ®èi xøng bÊt kú.
141
ch−¬ng 3
H×nh 3.18 ¶nh h−ëng ®é cong cña h×nh cÇu ph¶n x¹ (chïm tia kh«ng
lÖch). (a) Sù c¾t nhau cña cÇu vµ mÆt ph¼ng m¹ng ®¶o. (b) S¬ ®å ¶nh
nhiÔu x¹ t−¬ng øng - vïng Laue ®èi xøng.
H×nh 3.19 ¶nh h−ëng ®é cong cña cÇu ph¶n x¹ (chïm tia lÖch). (a) Sù c¾t
nhau cña cÇu vµ mÆt ph¼ng m¹ng ®¶o. (b) S¬ ®å ¶nh nhiÔu x¹ t−¬ng øng-
vïng Laue kh«ng ®èi xøng.
3.2.2 ¶nh h−ëng ®é cong cña cÇu ph¶n x¹.Vïng Laue

Cho ®Õn giê ¶nh nhiÔu x¹ míi ®−îc quan s¸t ë ®iÒu kiÖn khi chïm ®iÖn tö
thËt song song víi h−íng [uvw] cña tinh thÓ vµ víi gi¶ thiÕt r»ng ®é cong
cña cÇu ph¶n x¹ ®ñ nhá, xem nh− lµ mÆt ph¼ng ®Ó cho phÐp tÊt c¶ çc nót
thuéc mÆt ph¼ng (uvw) cña m¹ng ®¶o tham gia vµo sù t¹o ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö.
Ta h·y xÐt sù h¹n chÕ sau ®©y. Khi thÕ t¨ng tèc 100 kV th× b¸n kÝnh cÇu
ph¶n x¹ lµ 27 Å-1, nã ®ñ nhá ®Ó lµm lÖch h×nh cÇu khái mÆt ph¼ng (uvw) cña
m¹ng ®¶o nh− ®· chØ ra trong h×nh 3.18 (a). Trªn s¬ ®å, kho¶ng çch gi÷a
142
çc mÆt ph¼ng m¹ng ®¶o (uvw) ph©n bè liªn tiÕp lµ 1 Å-1. Do vËy, vÕt trªn
¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö n»m trong vïng t©m, h×nh 3.18 (b), ë miÒn trung gian
gi÷a chóng hoµn toµn kh«ng cã vÕt hoÆc lµ rÊt yÕu. Vïng t©m ®−îc gäi lµ
vïng Laue. Trªn thùc tÕ vïng Laue t©m víi bËc kh«ng th−êng chiÕm phÇn
lín ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö, cßn ë ngoµi mÐp ¶nh cã kh¶ n¨ng hiÖn lªn c¶ vïng
bËc mét. Vïng cã bËc lín h¬n thu ®−îc trong tr−êng hîp khi kho¶ng çch
gi÷a çc mÆt m¹ng ®¶o (uvw) lµ nhá. Ngoµi ra, hiÖn t−îng nµy thÓ hiÖn râ
rÖt khi chïm ®iÖn tö kh«ng thËt vu«ng gãc víi mÆt ph¼ng (uvw) cña m¹ng
®¶o, h×nh 3.19 (a). Trong tr−êng hîp ®ã vïng Laue kh«ng ®èi xøng so víi
t©m cña ¶nh nhiÔu x¹, h×nh 3.19 (b) vµ sù ph©n bè liªn tiÕp cña vïng thÓ hiÖn
−u tiªn vÒ mét phÝa cña ¶nh.
Vïng Laue bËc kh«ng ph¸t sinh tõ mÆt ph¼ng (uvw) cña m¹ng ®¶o khi mÆt
nµy ®i qua nót kh«ng, ®ã chÝnh lµ ¶nh mµ chóng ta vÉn kh¶o s¸t cho ®Õn b©y
giê. VÕt cã quan hÖ víi vïng Laue kh¸c ph¸t sinh tõ mÆt ph¼ng m¹ng ®¶o
(uvw) dÞch khái nót kh«ng, do ®ã çc vÕt nµy kh«ng n»m trong l−íi nót
t−¬ng øng víi vïng Laue bËc kh«ng.
3.2.3 HiÖu øng nhiÔu x¹ kÐp

MÆc dï çc nót cho phÐp vµ kh«ng cho phÐp cña m¹ng ®¶o ®−îc x¸c ®Þnh
trªn c¬ së cña lý thuyÕt ®éng häc nhiÔu x¹ bëi thõa sè cÊu tróc, nh−ng mét
vµi ph¶n x¹ kh«ng cho phÐp (cÊm) còng cã thÓ hiÖn lªn trong ¶nh nhiÔu x¹
®iÖn tö. Sù bÊt th−êng nµy ph¸t sinh do hiÖn t−îng t¸n x¹ ®iÖn tö trªn thùc tÕ
cßn phøc t¹p h¬n nhiÒu so víi gi¶ thiÕt trong lý thuyÕt ®éng häc. Tuy nhiªn
®Ó gi¶i thÝch hiÖn t−îng ph¶n x¹ cÊm kh«ng cÇn thiÕt sö dông ®Õn lý thuyÕt
®éng lùc häc, bëi lÏ ®¬n gi¶n lµ hiÖn t−îng nhiÔu x¹ kÐp ®· ®−îc dù ®o¸n
ch¾c ch¾n. TÝnh to¸n ®· kh¼ng ®Þnh r»ng chïm nhiÔu x¹ h×nh thµnh trong
mÉu cã t¸c dông nh− lµ mét nguån míi tiÕp tôc bÞ nhiÔu x¹ trong tinh thÓ.
§©y còng chÝnh lµ b−íc ®Çu dÉn ®Õn çc vÊn ®Ò nguån gèc ®éng lùc häc.
¶nh nhiÔu x¹ bÊt th−êng ph¸t sinh do nhiÔu x¹ kÐp thu ®−îc b»ng çch tÞnh
tiÕn mµ kh«ng quay ¶nh nhiÔu x¹ ®Çu tiªn sao cho t©m cña nã lÇn l−ît trïng
víi chÝnh ph¶n x¹ m¹nh cña ¶nh ®Çu tiªn. NhiÒu vµ cã thÓ tÊt c¶ vÕt ph¶n x¹
kÐp trïng víi çc vÕt ®Çu tiªn, song mäi vÕt míi t¹o thµnh b»ng çch nh−
vËy ®Òu lµ h×nh häc cña çc vÕt nhiÔu x¹ kÐp cã thÓ cã. Râ rµng chØ sè vÕt
nhiÔu x¹ kÐp ®−îc x¸c ®Þnh b»ng tæng chØ sè hai thµnh phÇn vÕt nhiÔu x¹
®Çu tiªn. Nh− thÕ tÊt c¶ çc vÕt t¹o bëi çc chØ sè h1 + h2, k1 + k2, l1 + l2 ®Òu
143
ch−¬ng 3
H×nh 3.20 MÆt c¾t m¹ng ®¶o ®èi víi cÊu tróc lôc gi¸c xÕp chÆt. (a) MÆt
c¾t m¹ng ®¶o (100). (b) MÆt c¾t (110). ChÊm tr¾ng øng víi ph¶n x¹ cÊm
kh«ng xuÊt hiÖn khi nhiÔu x¹ kÐp; dÊu chÐo øng víi ph¶n x¹ cÊm xuÊt
hiÖn khi nhiÔu x¹ kÐp.
lµ nh÷ng vÕt nhiÔu x¹ kÐp cã thÓ cã nÕu nh− h1k1l1 vµ h2k2l2 lµ hai vÕt cho
phÐp cña nhiÔu x¹ ®Çu tiªn.
Nh÷ng nót øng víi vÕt nhiÔu x¹ kÐp cã thÓ dùng trong m¹ng ®¶o. Song khi
Êy çc vÕt nhiÔu x¹ kÐp xuÊt hiÖn trªn ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö kh«ng chØ khi
cÇu ph¶n x¹ ®i qua nót t−¬ng øng mµ h×nh cÇu cÇn ph¶i qua c¶ nót ®Çu tiªn
t−¬ng øng cña m¹ng ®¶o.
HiÖu øng nhiÔu x¹ kÐp dÉn ®Õn sù ph¸t sinh sù ph¶n x¹ cÊm bæ sung, nh−ng
cã thÓ ph¸t sinh ph¶n x¹ cÊm chØ lµ do viÖc chän « c¬ b¶n kh«ng nguyªn
thñy. Nh− thÕ, do thõa sè cÊu tróc tÊt c¶ çc ph¶n x¹ víi çc chØ sè hçn hîp
(lÎ vµ ch½n) lµ cÊm ®èi víi hÖ lËp ph−¬ng t©m mÆt vµ sù cÊm nµy lµ do viÖc
chän « m¹ng lËp ph−¬ng kh«ng nguyªn thñy gåm bèn nguyªn tö. NÕu ®¸nh
dÊu chØ sè trªn c¬ së « c¬ b¶n nguyªn thñy mÆt thoi chØ gåm mét nguyªn tö
144
th× ph¶n x¹ bÊt kú cho phÐp øng víi chØ sè nguyªn, bëi v× thõa sè cÊu tróc
chØ cã mét thµnh phÇn vµ kh«ng cã nhiÔu x¹ cÊm. Còng cã nghÜa lµ nÕu
h1k1l1 vµ h2k2l2 lµ hai ph¶n x¹ cho phÐp trong cÊu tróc lËp ph−¬ng t©m mÆt
(tøc çc chØ sè cïng ch½n hoÆc cïng lÎ) th× ph¶n x¹ h1 + h2, k1 + k2, l1 + l2
nhÊt thiÕt lµ chØ sè hoÆc ch½n c¶ hoÆc lÎ c¶ vµ bëi vËy sÏ trïng víi ph¶n x¹
®Çu tiªn cho phÐp. Trong tr−êng hîp nµy, nhiÔu x¹ kÐp kh«ng dÉn ®Õn sù
hiÖn lªn cña vÕt bÊt th−êng. VÕt míi do nhiÔu x¹ kÐp cã thÓ chØ xuÊt hiÖn
khi « m¹ng c¬ b¶n ®¬n gi¶n nhÊt cã sè nguyªn tö lín h¬n mét vµ cïng lo¹i,
v× thÕ thõa sè cÊu tróc b»ng kh«ng vÉn cho ph¶n x¹ cÊm.
ThÝ dô, vÕt bÊt th−êng xuÊt hiÖn khi nhiÔu x¹ kÐp ®−îc m« t¶ trªn h×nh 3.20
cho cÊu tróc lôc gi¸c xÕp chÆt. ë mÆt (100), khi nhiÔu x¹ kÐp cã thªm vÕt
001, 003, ... , h×nh 3.20 (a), nh−ng chóng l¹i kh«ng xuÊt hiÖn ë mÆt (110),
h×nh 3.20 (b), bëi v× kh«ng cã ph¶n x¹ ®Çu tiªn t−¬ng øng.
3.3 Çc sè liÖu thu ®−îc tõ cÊu tróc tÕ vi cña ¶nh nhiÔu x¹
H×nh häc ¶nh nhiÔu x¹ ®· kh¶o s¸t trªn ®©y thùc ra lµ xÐt cho tr−êng hîp
nhiÔu x¹ trªn tinh thÓ v« h¹n, khi Êy ¶nh nhiÔu x¹ gåm çc vÕt râ nÐt. Trong
thùc tÕ ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö th−êng ®−îc kh¶o s¸t ë møc ®é cÊu tróc tÕ vi
cña çc vÕt nhiÔu x¹, vÝ dô, sù në ra hay kÐo dµi vÕt, sù t¸ch vÕt thµnh nhãm
vÕt phô hay ¶nh kÐo dµi liªn tôc. D−íi ®©y ta sÏ kh¶o s¸t çc tr−êng hîp
kh¸c nhau mµ ë ®ã ph¸t sinh hiÖu øng cÊu tróc tÕ vi nh− vËy vµ nghiªn cøu
h×nh häc cÊu tróc tÕ vi. ChÝnh tõ ®ã cã thÓ thu ®−îc l−îng th«ng tin tinh thÓ
häc chi tiÕt.
Nãi chung, hiÖu øng cÊu tróc tÕ vi cã liªn quan hoÆc lµ víi h×nh d¹ng h¹t
tinh thÓ mÉu (thªm vµo ®ã çc h¹t cµng nhá th× hiÖu øng h×nh d¹ng cµng râ),
hoÆc lµ víi sù kh«ng hoµn chØnh vµ biÕn d¹ng m¹ng. HiÖu øng phô n÷a cã
kh¶ n¨ng ph¸t sinh lµ khi cã mÆt hai pha. Ta h·y kh¶o s¸t nguån gèc kh¸c
nhau cña sù ph¸t sinh cÊu tróc tÕ vi nµy.
3.3.1 H×nh häc nhiÔu x¹ trªn cÊu tróc song tinh

3.3.1.1 Tr−êng hîp th«ng th−êng: trôc song tinh vu«ng gãc víi chïm tia
H·y kh¶o s¸t tr−êng hîp ®¬n gi¶n khi mÆt song tinh song song víi chïm tia.
Khi Êy trôc song tinh sÏ song song víi mÆt ph¼ng m¹ng ®¶o t−¬ng øng víi
¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö vµ ¶nh nhiÔu x¹ tõ tinh thÓ song tinh thu ®−îc ngay
b»ng phÐp quay ®¬n gi¶n. Quay 1800 quanh trôc song tinh hoÆc ph¶n x¹
145
ch−¬ng 3
H×nh 3.21 (a) S¬ ®å thu nhËn vÕt song tinh (trßn tr¾ng) khi song tinh so
víi trôc n»m trong mÆt ph¼ng ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö. (b) Sù ph¶n chiÕu cña
nót m¹ng ®¶o qua trôc song tinh. VÝ dô trªn tr×nh bµy cho mÆt m¹ng ®¶o
[ ]
(110) cña m¹ng lËp ph−¬ng t©m mÆt vµ trôc song tinh 1 1 1 .
g−¬ng cña tËp vÕt nhiÔu x¹ qua trôc song tinh. Çch vÏ nµy nh− trªn
h×nh 3.21 lµ ®èi víi mÆt m¹ng ®¶o (110) vµ trôc song tinh [1 1 1] trong m¹ng
lËp ph−¬ng t©m mÆt.
Nh− vËy ¶nh nhiÔu x¹ tõ tinh thÓ cã song tinh gåm hai lo¹i vÕt: vÕt hkl tõ
m¹ng gèc (hkl) vµ vÕt h’k’l’ tõ song tinh. ChØ sè vÕt song tinh cã thÓ biÓu thÞ
qua chØ sè m¹ng ®¶o m¹ng gèc b»ng çch sau ®©y. Trong h×nh 3.21 nót hkl
lµ mét nót nµo ®ã cña m¹ng ®¶o, cßn [pqr] lµ vect¬ m¹ng ®¶o vu«ng gãc víi
mÆt song tinh (pqr). Do song tinh víi mÆt ph¼ng (pqr) nót hkl sau khi quay
1800 quanh [pqr] nã sÏ ë vÞ trÝ h'k'l'. Ta cÇn ph¶i x¸c ®Þnh chØ sè h'k'l' qua
chØ sè m¹ng ®¶o m¹ng (hkl). V× vect¬ m¹ng ®¶o [hkl] vµ [h'k'l'] b»ng nhau
vÒ ®é lín nªn ta cã thÓ viÕt:
[hkl] + [h'k'l'] = n [pqr] (3.43)
trong ®ã n lµ sè nh©n nµo ®ã phô thuéc vµo hkl. Bëi vËy
h + h' = np
k + k' = nq
l + l' = nr
Tr−êng hîp tinh thÓ víi trôc trùc giao (tøc tr−êng hîp tæng qu¸t cña tinh thÓ
hÖ thoi trùc giao), nÕu a, b vµ c lµ th«ng sè m¹ng ta t×m ®−îc biÓu thøc sau
146
⎛ ph 2qk 2rl ⎞ ⎛ q2 r2 ⎞
p⎜ 2 + 2 + 2 ⎟ − h⎜⎜ 2 + 2 ⎟⎟
⎝a b c ⎠ ⎝b c ⎠
h' = 2 2 2
(3.44a)
⎛ p⎞ ⎛q⎞ ⎛r⎞
⎜ ⎟ +⎜ ⎟ +⎜ ⎟
⎝a⎠ ⎝b⎠ ⎝c⎠
⎛ 2 ph qk 2rl ⎞ ⎛ p
2
r2 ⎞
q⎜ 2 + 2 + 2 ⎟ − k ⎜⎜ 2 + 2 ⎟⎟
⎝ a b c ⎠ ⎝a c ⎠
k'= 2 2 2
(3.44b)
⎛ p⎞ ⎛q⎞ ⎛r⎞
⎜ ⎟ +⎜ ⎟ +⎜ ⎟
⎝ a ⎠ ⎝b⎠ ⎝c⎠
⎛ 2 ph 2qk rl ⎞ ⎛ p
2
q2 ⎞
r ⎜ 2 + 2 + 2 ⎟ − l ⎜⎜ 2 + 2 ⎟⎟
⎝ a b c ⎠ ⎝a b ⎠
l' = 2 2 2
(3.44c)
⎛ p⎞ ⎛q⎞ ⎛r⎞
+
⎜ ⎟ ⎜ ⎟ ⎜ ⎟ +
⎝ a ⎠ ⎝b⎠ ⎝c⎠
§èi víi hÖ lËp ph−¬ng, khi Êy a = b = c, ta cã biÓu thøc ®¬n gi¶n h¬n:
p( ph + 2qk + 2rl ) − h(q 2 + r 2 )

h' = (3.45a)
p2 + q2 + r 2
q (2 ph + qk + 2rl ) − k ( p 2 + r 2 )
k'= (3.45b)
p2 + q2 + r 2
r (2 ph + 2qk + rl ) − l ( p 2 + q 2 )
l' = (3.45c)
p2 + q2 + r 2
Cã thÓ dïng çc biÓu thøc nµy ®Ó ghi chØ sè vÕt nhiÔu x¹ song tinh trong hÖ
ma trËn nhiÔu x¹ nh− thÝ dô ë h×nh 3.21. Nh− thÕ, vÕt 1 1 3 do sù song tinh
qua (1 1 1) trë thµnh vÕt
1
3
( )
771 , kÕt qu¶ ®ã nhËn ®−îc sau khi thay
hkl = 1 1 3 vµ (pqr) = (1 1 1) vµo çc biÓu thøc (3.45) ®Ó x¸c ®Þnh h'k'l'. Còng
cã thÓ dÔ dµng thu ®−îc kÕt qu¶ nµy tõ phÐp dùng h×nh häc, xem h×nh 3.21.
Bëi vËy, çc biÓu thøc (3.44) vµ (3.45) cã mét ý nghÜa thùc tÕ quan träng
trong tr−êng hîp khi trôc song tinh kh«ng song song víi chïm ®iÖn tö.
147
ch−¬ng 3
3.3.1.2 Tr−êng hîp tæng qu¸t: trôc song tinh ®Þnh h−íng bÊt kú
Gi¶i cho tr−êng hîp tæng qu¸t lµ phøc t¹p h¬n v× r»ng ®Þnh h−íng song tinh
th−êng kh«ng cã trôc vïng biÓu hiÖn râ song song víi chïm ®iÖn tö. Trong
tr−êng hîp tæng qu¸t ta cã çc biÓu thøc sau ®©y ®Ó x¸c ®Þnh chØ sè míi:
p1 (a 2 p1 h + 2b 2 q1 k + 2c 2 r1l ) − h(b 2 q12 + c 2 r12 )

h' = (3.46a)
a 2 p12 + b 2 q12 + c 2 r12
k'=
( ) (
q1 2a 2 p1 h + b 2 q1 k + 2c 2 r1l − k a 2 p12 + c 2 r12 ) (3.46b)
a 2 p12 + b 2 q12 + c 2 r12
r1 (2a 2 p1 h + 2b 2 q1 k + c 2 r1l ) − h(a 2 p12 + b 2 q12 )

l' = (3.46c)
a 2 p12 + b 2 q12 + c 2 r12
ë ®©y [p1q1r1] lµ trôc song tinh. Tõ biÓu thøc nµy cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc ngay
chØ sè mÆt m¹ng ®¶o cña song tinh song song víi mÆt m¹ng ®¶o m¹ng (hkl).
3.3.2 T¸ch nhiÔu x¹ do nhiÔu x¹ kÐp

Ta ®· kh¶o s¸t sù thÓ hiÖn vÕt thõa hay cÊm khi nhiÔu x¹ trªn tinh thÓ hoµn
chØnh cã liªn quan ®Õn sù cã mÆt nhiÔu x¹ kÐp. HiÖu øng râ rÖt nhÊt xuÊt
hiÖn nÕu mÉu chøa nhiÒu h¬n mét thµnh phÇn tinh thÓ, ®ã cã thÓ lµ khu vùc
®Þnh h−íng kh¸c nhau cña mét lo¹i vËt liÖu hoÆc ®ång thêi cã mÆt hai hoÆc
nhiÒu pha. NÕu chïm nhiÔu x¹ ph¸t sinh ë thµnh phÇn thø nhÊt chóng l¹i ®i
vµo thµnh phÇn thø hai th× cã thÓ t¹o nªn nhiÔu x¹ kÐp; v× thÕ tr−íc khi hoµn
thµnh viÖc thuyÕt minh ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö cÇn ph¶i kh¶o s¸t sù t¸ch nhiÔu
x¹ ®−îc t¹o thµnh nh− thÕ nµo. Trong tr−êng hîp ng−îc l¹i dÔ dµng cã kÕt
luËn sai vÒ sù ph¸t sinh t¸ch vÕt. HÖ hai thµnh phÇn ®¬n gi¶n chÝnh lµ hÖ thu
®−îc khi cã sù song tinh.
3.3.2.1 Song tinh trong ®¬n tinh thÓ
H·y kh¶o s¸t b¶n song tinh xuyªn suèt mÉu, h×nh 3.22. VÒ h×nh häc cã thÓ
lµ çc ®iÖn tö nhiÔu x¹ trong m¹ng gèc ®i vµo b¶n song tinh qua biªn giíi
AB, cßn çc ®iÖn tö nhiÔu x¹ ë b¶n song tinh l¹i ®i vµo m¹ng qua biªn giíi
CD. Bëi vËy nhiÔu x¹ kÐp ph¸t sinh t¹i vïng l©n cËn cña biªn giíi song tinh.
148
H×nh 3.22 NhiÔu x¹ kÐp trong b¶n song tinh.
§Ó kh¶o s¸t hiÖu øng nhiÔu x¹ kÐp mét çch ®¬n gi¶n ta coi r»ng chïm
nhiÔu x¹ ®Çu tiªn tõ m¹ng gèc lµ nguån míi hay chïm s¬ cÊp cho ¶nh nhiÔu
x¹ tõ tinh thÓ song tinh. Bëi vËy nÕu vÕt 200 trªn h×nh 3.23 (a) ®−îc xem
nh− chïm s¬ cÊp th× xuÊt hiÖn t¸ch vÕt nh− trªn h×nh 3.23 (b). NÕu víi quan
niÖm nµy ®Ó kh¶o s¸t ma trËn nhiÔu x¹ th× ta thu ®−îc ¶nh nhiÔu x¹ nh− trªn
h×nh 3.23 (c). Ta hay quan s¸t thÊy çc vÕt nhiÔu x¹ kÐp trong ¶nh nhiÔu x¹.
ThÝ dô râ rÖt vÒ hiÖu øng nµy th−êng nhËn ®−îc tõ mµng ®¬n tinh lËp
ph−¬ng t©m mÆt ®−îc chÕ t¹o b»ng ph−¬ng ph¸p ng−ng tô trªn gi¸ muèi,
trong ®ã th−êng h×nh thµnh nhiÒu vi tinh thÓ song tinh.
Sù gi¶i thÝch ®óng ®¾n nguån gèc vÕt nhiÔu x¹ kÐp nh− trªn h×nh 3.23 cã thÓ
®−îc kh¼ng ®Þnh l¹i nhê ph−¬ng ph¸p tr−êng tèi. ¶nh tr−êng tèi t¹o bëi mét
trong hai chïm nhiÔu x¹ ®· chøng tá r»ng chïm nµy chØ thu ®−îc tõ vïng
l©n cËn cña biªn giíi song tinh, h×nh 3.24.
3.3.2.2 HiÖn t−îng song tinh trong ®a tinh thÓ
NÕu nh− sù song tinh cã mÆt trong vËt liÖu ®a tinh thÓ th× tr−íc hÕt chïm
nhiÔu x¹ tõ tinh thÓ song tinh còng ph¶i n»m trªn vµnh cã thõa sè cÊu tróc
cho phÐp th«ng th−êng, bëi v× m¹ng song tinh cã kho¶ng çch gi÷a çc mÆt
ph¼ng nh− tinh thÓ th«ng th−êng. Song nhiÔu x¹ kÐp trªn biªn giíi song tinh
cã thÓ dÉn ®Õn sù thÓ hiÖn vµnh bÊt th−êng mµ cã thÓ suy ra tõ h×nh häc ®·
nãi trong phÇn tr−íc. ThÝ dô, ta kh¶o s¸t ¶nh nhiÔu x¹ trong h×nh 3.23 (c) vµ
quay nã quanh nót kh«ng. Râ rµng vÕt nhiÔu x¹ kÐp ë gÇn s¸t nót kh«ng sÏ
t¹o thµnh vµnh rÊt nhá so víi vµnh 111 lµ vµnh cho phÐp nhá nhÊt. Ngoµi ra
vÕt nhiÔu x¹ kÐp s¾p xÕp ngay tiÕp sau 200 vµ 020 t¹o thµnh vµnh bÊt th−êng
gi÷a çc vµnh 200 vµ 220. Bëi vËy cÇn ph¶i ph¸t hiÖn hµng lo¹t çc vµnh
t¸ch quan s¸t thÊy khi nhiÔu x¹ tõ mµng máng ®a tinh thÓ nµy. KÕt qu¶ lµ tÊt
c¶ çc nót nhiÔu x¹ kÐp vÏ trong h×nh 3.23 ®Òu g©y nªn vµnh nhiÔu x¹ bÊt
th−êng.
149
ch−¬ng 3
H×nh 3.23 (a) ¶nh nhiÔu x¹ cña tinh thÓ song tinh theo mÆt {111}trong
tinh thÓ lËp ph−¬ng t©m mÆt, h−íng chïm tíi lµ [001], trßn ®en - vÕt gèc,
trßn tr¾ng - vÕt song tinh. (b) T¸ch nhiÔu x¹ (vÕt nhá) do nhiÔu x¹ kÐp nÕu
chïm 200, h×nh 3.23 (a), coi lµ nguån thø cÊp. (c) VÕt t¸ch do nhiÔu x¹
kÐp víi tinh thÓ song tinh theo mÆt {111} trong tinh thÓ lËp ph−¬ng t©m
mÆt, h−íng chïm tíi lµ [001], trßn ®en to - vÕt gèc, trßn tr¾ng - vÕt song
tinh lÇn 1, trßn ®en nhá - vÕt song tinh lÇn 2.
H×nh 3.24 ¶nh hiÓn vi ®iÖn tö cña song tinh theo mÆt {111} trong mµng
máng vµng ®¬n tinh thÓ ®Þnh h−íng (001). ¶nh tr−êng tèi t¹o thµnh bëi
chïm tia sinh ra do nhiÔu x¹ kÐp t¹i biªn giíi song tinh.
3.3.2.3 Sù cã mÆt ®ång thêi hai pha

NÕu ®ång thêi cã mÆt hai pha tinh thÓ vµ chïm nhiÔu x¹ cã kh¶ n¨ng ®i tõ
pha nµy sang pha kia th× hiÖu øng nhiÔu x¹ kÐp sÏ thÓ hiÖn rÊt râ. HiÖu øng
nµy ®Æc biÖt dÞ th−êng khi hai pha cã quan hÖ ®Þnh h−íng ®èi xøng so víi
nhau.
150
H×nh 3.25 ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö cña mµng Mg2Si trong m¹ng nh«m ®Þnh
h−íng (001).
H×nh 3.26 Gi¶i thÝch h×nh 3.25. (a) ¶nh nhiÔu x¹ ®Çu tiªn. (b) ¶nh nhiÔu
x¹ thø hai khi cho r»ng vÕt P lµ nguån thø cÊp. (c) ¶nh nhiÔu x¹ tæng
hîp; 1 - Çc ph¶n x¹ tõ nh«m; 2 - Ph¶n x¹ Mg2Si; 3 - VÕt do nhiÔu x¹
kÐp.
151
ch−¬ng 3
H×nh 3.25 lµ ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö cña hîp chÊt Al-Mg-Si khi hãa giµ t¹o
thµnh çc tÊm Mg2Si kh¸ lín. ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö nhËn ®−îc tõ phÇn gåm
tÊm song song víi mÆt ph¼ng mµng; h·y ph©n tÝch ¶nh nhiÔu x¹ cho trong
h×nh 3.25. H×nh 3.26 (a) lµ ¶nh nhiÔu x¹ tõ m¹ng nh«m vµ ¶nh nhiÔu x¹ ®Çu
tiªn tõ Mg2Si. NÕu coi chïm P t¸c dông nh− lµ chïm s¬ cÊp vµ nhiÔu x¹ trªn
Mg2Si th× ph¸t sinh vÕt trßn tr¾ng nh− trong h×nh 3.26 (b). NÕu mäi vÕt tõ
nh«m trong h×nh 3.26 (a) còng ®−îc xem nh− lµ t©m cã thÓ cã cña ¶nh nhiÔu
x¹ th× ta sÏ thu ®−îc ¶nh tæng hîp nh− trong h×nh 3.26 (c). S¬ ®å nµy gi¶i
thÝch hÇu hÕt çc vÕt thÊy trong h×nh 3.25, nh÷ng vÕt cßn l¹i xuÊt hiÖn do
nhiÔu x¹ kÐp g©y nªn bëi çc vÕt m¹ng nh«m lµ ë ngoµi phÇn ®· chØ ra trong
h×nh 3.26 (a).
HiÖu øng nhiÔu x¹ kÐp dÉn ®Õn sù t¹o thµnh nhãm ®«ng vÕt nh− thÕ lµ rÊt
phæ biÕn vµ th−êng gÆp kh«ng chØ khi cã mÆt pha thø hai trong mµng máng
mµ cßn ë tr−êng hîp khi mµng máng cã líp bÒ mÆt (tøc líp oxit ®Þnh h−íng
trªn bÒ mÆt kim lo¹i) hoÆc lµ khi hai mµng xÕp lªn nhau mét çch ®Æc biÖt.
T−¬ng tù, nhãm nhiÒu vÕt còng xuÊt hiÖn c¶ khi sù xÕp chång cña hai tinh
thÓ ®ång nhÊt nh−ng xoay ®i mét chót so víi nhau.
3.3.2.4 Sù thÓ hiÖn vÖ tinh thø cÊp
NÕu ¶nh nhiÔu x¹ ®Çu tiªn gåm çc vÕt vÖ tinh hay kÐo dµi xuÊt hiÖn chØ ë
gÇn vÕt nhiÔu x¹ c¬ b¶n nµo ®ã, th× do nhiÔu x¹ kÐp cã thÓ ph¸t sinh vÕt vÖ
tinh hay kÐo dµi gÇn vÕt c¬ b¶n cßn l¹i. HiÖu øng nµy th−êng lµ do t−¬ng t¸c
®éng lùc häc gi÷a çc chïm bªn trong tinh thÓ, nh−ng h×nh häc ¶nh thu ®−îc
cã thÓ gi¶i thÝch ®−îc b»ng sù kh¶o s¸t ®¬n gi¶n lµ coi tÊt c¶ chïm thø cÊp
m¹nh lµ nguån s¬ cÊp nh− ®· tr×nh bµy ë çc thÝ dô trªn.
152
c h − ¬ n g 4
Ch−¬ng 4
hiÓn vi ®iÖn tö quÐt
4.1 T−¬ng t¸c gi÷a ®iÖn tö tíi vµ vËt chÊt
Khi çc ®iÖn tö tíi ®Ëp vµo mÉu, chóng bÞ t¸n x¹ ®µn håi hoÆc kh«ng ®µn håi
bëi çc nguyªn tö trong mÉu lµm ph¸t x¹ çc lo¹i ®iÖn tö vµ sãng ®iÖn tõ.
Çc ®iÖn tö ph¸t x¹ gåm: ®iÖn tö truyÒn qua, t¸n x¹ ng−îc, thø cÊp, hÊp thô
vµ Auger. Çc sãng ®iÖn tõ lµ tia x vµ huúnh quang catot. S¬ ®å minh ho¹
cho hiÖn t−îng nµy ®−îc cho trong h×nh 4.1.
§iÖn tö truyÒn qua nhËn ®−îc trong tr−êng hîp mÉu ®ñ máng. Chóng chÝnh
lµ çc ®iÖn tö tíi bÞ t¸n x¹ ®µn håi hoÆc kh«ng ®µn håi trong khi xuyªn vµo
mÉu vµ gi¶m sè l−îng khi tÝch chiÒu dµy khèi l−îng cña mÉu t¨ng. C−êng ®é
I cña çc ®iÖn tö truyÒn qua theo chiÒu dµy ®−îc cho bëi biÓu thøc:
I = I 0 exp(− μx ) = I 0 exp− (μ / ρ )ρx (4.1)
trong ®ã I0 - c−êng ®é cña ®iÖn tö tíi, μ - hÖ sè hÊp thô cña mÉu vµ ρ - mËt
®é mÉu. HÖ sè hÊp thô phô thuéc vµo thÕ t¨ng tèc ®iÖn tö, nã gi¶m khi thÕ
t¨ng tèc t¨ng. C−êng ®é cña ®iÖn tö truyÒn qua mÉu tinh thÓ phô thuéc vµo
®Þnh h−íng tinh thÓ. C−êng ®é sÏ thay ®æi m¹nh khi ®iÒu kiÖn nhiÔu x¹ bÞ
thay ®æi nh− ®· ®−îc tr×nh bµy chi tiÕt trong ch−¬ng 3.
Th«ng tin vÒ çc nguyªn tè thµnh phÇn hoÆc tr¹ng th¸i ho¸ häc cã thÓ nhËn
®−îc tõ ®é gi¶m n¨ng l−îng cña ®iÖn tö truyÒn qua khi çc ®iÖn tö tíi kÝch
thÝch çc nguyªn tö trong mÉu bëi t¸n x¹ kh«ng ®µn håi.
§iÖn tö t¸n x¹ ng−îc lµ ®iÖn tö t¸n x¹ ®µn håi hoÆc kh«ng ®µn håi ph©n bè
suèt d¶i réng vÒ n¨ng l−îng. HiÖu suÊt ph¸t x¹ cña ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc tØ lÖ
víi Z2/3-Z3/4, trong ®ã Z lµ nguyªn tö sè, vµ phô thuéc vµo h−íng ph¸t x¹.
Trong mÉu tinh thÓ, khi ®iÒu kiÖn nhiÔu x¹ thay ®æi, hiÖu suÊt ph¸t x¹ thay
®æi m¹nh gièng nh− ®èi víi ®iÖn tö truyÒn qua.
153
H i Ó n v i ® i Ö n t ö q u Ð t
H×nh 4.1 Çc tÝn hiÖu ®iÖn tö vµ sãng ®iÖn tõ ph¸t x¹ tõ mÉu do t¸n x¹
®µn håi hoÆc kh«ng ®µn håi.
§iÖn tö thø cÊp lµ çc ®iÖn tö cña nguyªn tö trong mÉu ph¸t x¹ tõ bÒ mÆt
mÉu do kÝch thÝch bëi ®iÖn tö tíi. Chóng cã n¨ng l−îng thÊp. Tuy nhiªn
chóng kh«ng thÓ ph©n biÖt ®−îc mét çch râ rµng víi ®iÖn thö t¸n x¹ ng−îc.
Çc ®iÖn tö víi n¨ng l−îng 0 ÷ 50 eV th−êng ®−îc gäi lµ çc ®iÖn tö thø cÊp.
§iÖn tö thø cÊp ®−îc kÝch thÝch bëi ®iÖn tö tíi hoÆc ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc ë
®é s©u lín tÝnh tõ bÒ mÆt sÏ bÞ hÊp thô bëi mÉu v× n¨ng l−îng cña chóng
thÊp. Bëi vËy ®iÖn tö thø cÊp ph¸t ra ®¸ng kÓ chØ ë ®é s©u cì 100 Å kÓ tõ bÒ
mÆt. HiÖu suÊt ph¸t x¹ ®iÖn tö thø cÊp phô thuéc vµo gãc gi÷a h−íng tia tíi
vµ bÒ mÆt vµ c«ng tho¸t cña mÉu. Do n¨ng l−îng cña ®iÖn tö thø cÊp thÊp
nªn çch xö sù cña chóng bÞ ¶nh h−ëng m¹nh bëi ®iÖn tr−êng vµ tõ tr−êng.
§iÖn tö Auger lµ ®iÖn tö líp ngoµi cña nguyªn tö trong mÉu ph¸t x¹ do qu¸
tr×nh ion ho¸ nguyªn tö. Qu¸ tr×nh Auger nµy sÏ ®−îc tr×nh bµy râ h¬n trong
ch−¬ng 9.
Tia x ph¸t ra tõ mÉu bao gåm: tia x liªn tôc víi b−íc sãng ng¾n nhÊt ®−îc
x¸c ®Þnh bëi n¨ng l−îng ®iÖn tö tíi vµ ph©n bè trong mét d¶i b−íc sãng kh¸
réng vµ tia x ®Æc tr−ng cho pic phæ riªng vµ nÐt nh− ®· ®−îc tr×nh bµy chi
tiÕt trong ch−¬ng 2.
Çc tÝn hiÖu ®iÖn tö chñ yÕu ®−îc sö dông ®Ó t¹o ¶nh vÒ h×nh th¸i häc cña
mÉu. MÆc dï tÝn hiÖu ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc thay ®æi tuú thuéc vµo nguyªn tö
sè vµ cho th«ng tin ho¸ häc vÒ thµnh phÇn vµ liªn kÕt nµo ®ã, song tÝn hiÖu
154
c h − ¬ n g 4
B¶ng 4.1 LÜnh vùc øng dông cña tÝn hiÖu.
øng dông TÝn hiÖu

H×nh th¸i häc TÊt c¶ çc d¹ng tÝn hiÖu trõ tia x vµ ®iÖn tö Auger.
Ph©n tÝch nguyªn tè Tia x, huúnh quang catot, ®iÖn tö Auger vµ ®iÖn tö
t¸n x¹ ng−îc.
Tinh thÓ häc §iÖn tö t¸n x¹ ng−îc, ®iÖn tö truyÒn qua, ®iÖn tö thø
cÊp vµ tia x.
Liªn kÕt ho¸ häc §iÖn tö Auger vµ tia x.
TÝnh chÊt ®iÖn tõ §iÖn tö thø cÊp vµ suÊt ®iÖn ®éng.
tia x ®· cho ta ph−¬ng ph¸p rÊt h÷u hiÖu ®Ó ph©n tÝch ®Þnh tÝnh vµ ®Þnh l−îng
mét çch chi tiÕt. HiÖn t−îng huúnh quang chØ x¶y ra ®èi víi mét sè chÊt cã
tÝnh ph¸t quang khi chiÕu chïm tia ®iÖn tö vµo. LÜnh vùc øng dông cña mét
sè tÝn hiÖu nãi trªn ®−îc tæng kÕt trong b¶ng 4.1.
4.2 ThiÕt bÞ
S¬ ®å quang häc ®iÖn tö (Q§T) cña kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt (Scanning
Electron Microscope-SEM) víi hai thÊu kÝnh tõ ®−îc chØ ra trªn h×nh 4.2.
Sóng ®iÖn tö th−êng ho¹t ®éng trong kho¶ng ®iÖn ¸p tõ 0 ®Õn 30 kV, ®«i khi
tíi 60 kV tïy thuéc thiÕt bÞ. KÝnh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt lµ hÖ thèng gåm cã
çc thÊu kÝnh lµm tiªu tô chïm tia ®iÖn tö thµnh mét ®iÓm trªn bÒ mÆt mÉu
trong cét ch©n kh«ng (< 10-3 Pa). KÝch th−íc mòi dß ®iÖn tö nµy cã thÓ ®¹t
tíi ~ 6 nm víi nguån ph¸t x¹ nhiÖt th«ng th−êng vµ ~ 3 nm víi nguån ph¸t
x¹ tr−êng khi yªu cÇu c−êng ®é lín. MÉu ®−îc quÐt bëi tia ®iÖn tö vµ çc
®iÖn tö ph¸t x¹ tõ bÒ mÆt mÉu ®−îc thu nhËn vµ khuÕch ®¹i ®Ó t¹o thµnh tÝn
hiÖu video. V× thiÕu kh«ng gian ®Ó thùc hiÖn quÐt tia ®iÖn tö sau thÊu kÝnh
cuèi cïng nªn tia nµy ®−îc lµm lÖch theo mét gãc nhÊt ®Þnh tr−íc khi ®i vµo
thÊu kÝnh cuèi cïng vµ ®Ó ®¶m b¶o ch¾c ch¾n tia ®iÖn tö ®i qua ®óng t©m
cña thÊu kÝnh. H×nh 4.2(c) lµ s¬ ®å ®−êng ®i cña tia ®iÖn tö trong SEM cã hÖ
thèng lÖch kÐp. §Ó nhËn ®−îc tia ®iÖn tö cã ®−êng kÝnh nhá nhÊt t¹i mÉu th×
thÊu kÝnh tô cuèi cïng ph¶i cã quang sai thÊp, tuy nhiªn ®é ph©n gi¶i cña
¶nh còng kh«ng thÓ nhá h¬n ®−êng kÝnh cña chïm tia ®iÖn tö quÐt. Tia ®iÖn
tö m¶nh hay ®é ph©n gi¶i cao cã thÓ ®¹t ®−îc nÕu khÈu ®é thÊu kÝnh ®−îc
155
H×nh 4.2 (a) S¬ ®å kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt. (b) §−êng ®i cña tia ®iÖn tö
trong SEM; sù s¾p ®Æt chuÈn ®Ó t¹o ¶nh. (c) S¬ ®å hÖ thèng ®iÒu khiÓn cho
SEM.
®iÒu chØnh tíi kÝch th−íc tèi −u, ®−êng kÝnh ~ 150 μm. §é ph©n gi¶i cao
cïng víi ®é s©u tiªu tô lín ®· lµm cho SEM rÊt thÝch hîp ®Ó nghiªn cøu ®Þa
h×nh bÒ mÆt.
Gi¸ ®Æt mÉu cã thÓ dÞch chuyÓn ®−îc theo çc trôc x, y vµ z, nghiªng hoÆc
quay quanh mét hoÆc nhiÒu trôc. Tuy nhiªn, thay ®æi tr¹ng th¸i gi¸ mÉu ph¶i
®−îc thùc hiÖn víi môc ®Ých ®· ®Þnh. MÉu th−êng ®−îc c« lËp vµ nèi ®Êt,
156
c h − ¬ n g 4
H×nh 4.3 Tia ®iÖn tö héi tô t¹i mÆt ph¼ng ¶nh víi gãc nöa khÈu ®é α, ë
®©y d lµ ®é ph©n gi¶i yªu cÇu vµ D lµ ®é s©u tr−êng cho SEM.
dßng mÉu cã thÓ ®−îc khuÕch ®¹i thµnh tÝn hiÖu ®Ó sö dông. Trong nh÷ng
n¨m gÇn ®©y nhiÒu tiÕn bé khoa häc ®· ®¹t ®−îc cho SEM còng nh− çc hÖ
Q§T kh¸c vÒ tù ®éng ho¸ b»ng m¸y tÝnh cho hÖ thèng ®iÒu khiÓn thiÕt bÞ vµ
xö lý ¶nh. Çc th«ng sè cét kÝnh nh− thÕ t¨ng tèc, chØnh hµng tia vµ çc chøc
n¨ng kh¸c ®Òu ®−îc gi¸m s¸t, ®iÒu chØnh vµ hiÓn thÞ trªn thùc ®¬n ®Æt s½n
trong m¸y tÝnh. H¬n thÕ, çc ®iÒu kiÖn vËn hµnh nµy cã thÓ ®−îc l−u tr÷ vµ
gäi ra tõ bé nhí. Thªm vµo ®ã, ®iÒu khiÓn ®iÖn tö sè ®· t¹o ®iÒu kiÖn thuËn
lîi vµ dÔ dµng cho viÖc ®iÒu chØnh tiªu tô tù ®éng, hiÖu chØnh lo¹n thÞ, t−¬ng
ph¶n, ®é s¸ng vµ çc th«ng sè kh¸c cã ¶nh h−ëng ®Õn chÊt l−îng ¶nh. Çc
¶nh ®iÖn tö thø cÊp vµ t¸n x¹ ng−îc cã thÓ ®−îc sè ho¸ vµ l−u tr÷, th−êng ë
tèc ®é quÐt chËm h¬n, ®Ó n©ng cao chÊt l−îng ¶nh. øng dông chñ yÕu cña
¶nh l−u tr÷ nµy lµ ®Ó c¶i thiÖn tØ sè tÝn hiÖu-nhiÔu cña çc ¶nh chÊt l−îng
kÐm.
4.3 Lý thuyÕt
D−íi ®©y sÏ tr×nh bµy ng¾n gän vÒ nh÷ng yÕu tè ¶nh h−ëng ®Õn çc th«ng sè
c¬ b¶n ®−îc thùc hiÖn cho SEM: ®é s©u tr−êng, ®é ph©n gi¶i, çc kiÓu ¶nh
vµ nh÷ng vÊn ®Ò liªn quan kh¸c.
4.3.1 §é s©u tr−êng

§é s©u tr−êng hay ®é s©u tiªu tô lµ kho¶ng çch däc trôc kÝnh hiÓn vi mµ
mÉu n»m trong kho¶ng ®ã ta vÉn nhËn ®−îc ¶nh râ nÐt. §èi víi chïm tia cã
157
B¶ng 4.2 §é s©u tr−êng vµ ®é ph©n gi¶i cña SEM (khÈu ®é cuèi cïng: 5.10-3 rad)
®−îc so s¸nh víi kÕt qu¶ cña kÝnh hiÓn vi quang häc (HVQH).
§é s©u tr−êng
§é phãng ®¹i §é ph©n gi¶i SEM HVQH
20 5 μm 1 mm 5 μm
100 1 μm 200 μm 2 μm
200 500 nm 100 μm 0,7 μm
1000 100 nm 20 μm -
5000 20 nm 4 μm -
10000 10 nm 2 μm -
gãc nöa khÈu ®é α x¸c ®Þnh, h×nh 4.3, ®é nhoµ ¶nh ®−îc ®o b»ng ®−êng kÝnh
d cña ®Üa nhoµ, tøc vïng kh«ng ph©n gi¶i ®−îc. §¹i l−îng nµy liªn quan víi
®é dÞch chuyÓn D däc trôc kÝnh theo biÓu thøc:
(D/2) tgα = d/2 (4.2)
§é dÞch chuyÓn D tiÕn tíi d/α khi α nhá vµ b»ng ®é s©u tr−êng khi ®−êng
kÝnh d kh«ng v−ît qu¸ ®é ph©n gi¶i. §é s©u tr−êng øng víi ®é ph©n gi¶i
kh¸c nhau ®−îc liÖt kª trong b¶ng 4.2 cho SEM víi gãc nöa khÈu ®é cuèi
cïng lµ 5.10-3 rad.
4.3.2 Nguån ®iÖn tö

Trong SEM còng nh− çc thiÕt bÞ quang häc ®iÖn tö kh¸c, chïm ®iÖn tö tíi
®−îc tiªu tô trªn mÉu, nh−ng ngay trong tr−êng hîp nµy nã còng cã thÓ
kh«ng tiªu tô. §é ph©n gi¶i ®−îc x¸c ®Þnh bëi ®−êng kÝnh cña tia ®iÖn tö tíi
trªn mÉu vµ kiÓu vËn hµnh. TÝnh ®ång bé cña nguån ®iÖn tö kh«ng quan
träng b»ng ®é th¨ng gi¸ng n¨ng l−îng cña chïm tia ®iÖn tö. §é th¨ng gi¸ng
nµy ph¶i gi÷ ë møc thÊp nhÊt cã thÓ ®−îc ®Ó h¹n chÕ s¾c sai. Nh− vËy tÝnh
æn ®Þnh cao cña tia ®iÖn tö vµ nguån ph¸t x¹ m¹nh sÏ quyÕt ®Þnh chÊt l−îng
¶nh. §é räi β cña nguån ®iÖn tö ®−îc ®o b»ng mËt ®é dßng ph¸t x¹ trªn mét
®¬n vÞ gãc khèi. §é räi biÓu kiÕn βs cña tia ®iÖn tö tíi lµ
158
c h − ¬ n g 4
B¶ng 4.3 §é räi cña çc nguån ®iÖn tö kh¸c nhau.
§é räi KÝch N¨ng §é æn Thêi gian Ch©n

so víi th−íc l−îng, ®Þnh, sèng, kh«ng,
Nguån vonfram nguån (eV) (%) (giê) (Pa)
Vonfram 1 50 μm 3 <1 50 <10-3

ch÷ V
Sîi ®èt 2 –10 10 μm 3 ~3 20 <10-4
vonfram
®iÓm
LaB6 30 1 μm 1,5 <1 300 10-6
Ph¸t x¹ 500 5 nm 0,2 3 – 5 Phô thuéc 10-10
tr−êng ch©n
l¹nh kh«ng
Ph¸t x¹ 500 5 nm 3 >5 100 10-7
tr−êng
nãng
βs =(4IB)/ (π2d02α1)2 (4.3)

trong ®ã d0 lµ ®−êng kÝnh chïm tia ®iÖn tö Gauss, 2α1 lµ gãc ph©n kú cña
chïm tia tíi vµ IB lµ dßng tia tíi. Nh−ng βs b»ng βi sao cho:
B
IB = (π2/4)(βi d2α1)2
B (4.4)
Khi ®−êng kÝnh tia tíi d0 lín th× ¶nh h−ëng cña quang sai lµ nhá vµ dßng tia
tíi IB thay ®æi theo d02 víi gi¸ trÞ α x¸c ®Þnh; khi d02 cho tr−íc dßng tíi cã
B
thÓ t¨ng lªn ®−îc b»ng çch t¨ng α1 hoÆc βi. §é räi lý thuyÕt cña nguån ph¸t
x¹ nhiÖt vonfram ®−îc cho bëi ph−¬ng tr×nh Langmiur:
βi = Jc e V0 /πkT (4.5)
ë ®©y Jc - mËt ®é dßng catot, e - ®iÖn tÝch ®iÖn tö, V0 - thÕ t¨ng tèc ®iÖn tö, k
- h»ng sè Boltzmann vµ T - nhiÖt ®é catot, Jc ®−îc cho bëi biÓu thøc
Richardson:
159
H×nh 4.4 Quan hÖ gi÷a thÕ t¨ng tèc vµ ®−êng kÝnh chïm tia ®iÖn tö (®é
ph©n gi¶i) ®èi víi catot LaB6 (Cs = 3 mm, Cc = 4,2 mm, ip= 1 pA).
B
Jc = CT2exp(-Φ/kT) (4.6)
trong ®ã C lµ h»ng sè vµ Φ lµ c«ng tho¸t cña catot. HÇu hÕt çc çch ®Ó c¶i
thiÖn ®é räi cña nguån lµ gi¶m c«ng tho¸t Φ. Catot LaB6 cã gi¸ trÞ
Φ = 2,7 eV, trong khi catot vonfram th«ng th−êng cã Φ = 4,5 eV. B¶ng 4.3
so s¸nh çc ®é räi t−¬ng ®èi ®¹t ®−îc cho çc kiÓu nguån kh¸c nhau cña
catot vonfram vµ LaB6. Nguån LaB6 cho ®é räi lín h¬n so víi nguån ph¸t x¹
nhiÖt th«ng th−êng vµ æn ®Þnh trong thêi gian dµi. Catot ph¸t x¹ tr−êng cho
®é räi t¨ng Ýt nhÊt 1000 lÇn so víi vonfram song yªu cÇu hÖ ch©n kh«ng siªu
cao, B¶ng 4.3. MÆc dï nguån ph¸t x¹ tr−êng cho ®é räi lín nhÊt nh−ng nã
còng kh«ng thÝch hîp cho mäi øng dông.
4.3.3 §é ph©n gi¶i

§é ph©n gi¶i lµ mét th«ng sè tíi h¹n khèng chÕ sù thùc hiÖn cña kÝnh hiÓn vi
®iÖn tö quÐt. Thùc vËy, ®é ph©n gi¶i lµ kÕt qu¶ cña sù c©n ®èi gi÷a hiÖu øng
quang sai cña thÊu kÝnh cuèi cïng vµ hiÖu øng nhiÔu x¹. §èi víi hÇu hÕt çc
thiÕt bÞ hiÖn nay, ®é ph©n gi¶i ®¹t ®−îc cì 3,5 - 5 nm. Tuy nhiªn, ch×a kho¸
®Ó nhËn ®−îc ®é ph©n gi¶i siªu cao trong SEM lµ t¹o ®−îc ®−êng kÝnh chïm
tia nhá nhÊt vµ nguån ®iÖn tö cã ®é räi lín nhÊt kÕt hîp víi kh¶ n¨ng thu
®iÖn tö thø cÊp ph¸t x¹ víi hiÖu qu¶ cao nhÊt. §−êng kÝnh d cña tia ®iÖn tö
tíi ®−îc cho bëi biÓu thøc:
[ 2
]
d 2 = 4i p / 0,62πβ i2 + (1,22λ ) α −2 + (C s / 2 ) α 6 + (C c ΔVi / Vi ) α 2 (4.7)
2 2
160
c h − ¬ n g 4
trong ®ã ip - dßng tia, βi - ®é räi, λ - b−íc sãng cña ®iÖn tö, Cs vµ Cc t−¬ng
øng lµ hÖ sè cÇu sai vµ s¾c sai cña kÝnh vËt, ΔVi/Vi lµ ®é th¨ng gi¸ng t−¬ng
®èi cña thÕ t¨ng tèc vµ α lµ gãc nöa khÈu ®é. B»ng çch gi¶m gi¸ trÞ Cs vµ Cc
vµ sö dông catot LaB6 sÏ cã thÓ nhËn ®−îc ®é ph©n gi¶i tíi 1nm ë thÕ t¨ng
tèc ®iÖn tö 40keV, h×nh 4.4.
4.4 ChuÈn bÞ mÉu
Trong sè çc kü thuËt ®Ó nghiªn cøu vi cÊu tróc cña vËt liÖu th× SEM lµ kü
thuËt ®ßi hái Ýt nhÊt c«ng viÖc chuÈn bÞ mÉu. Tuy nhiªn, nÕu chÊt l−îng mÉu
kh«ng phï hîp cho çc kiÓu t¹o ¶nh ®· lùa chän hoÆc cho chi tiÕt ¶nh yªu
cÇu th× còng kh«ng thÓ nhËn ®−îc çc th«ng tin mong muèn. BÒ mÆt mÉu
khèi kim lo¹i, polyme, gèm, thuû tinh vµ compozit cã thÓ chuÈn bÞ ®−îc mét
çch dÔ dµng b»ng çch c¾t, tÈm thùc hoÆc bÎ g·y. §Ó gi¶m hiÖn t−îng tÝch
®iÖn ®èi víi mÉu kh«ng dÉn ®iÖn ph¸t sinh khi chïm tia tíi chiÕu vµo, bÒ
mÆt mÉu cÇn ®−îc phñ mét líp máng kim lo¹i nh− vµng, platin dµy cì vµi
chôc ®Õn 100 Å. Tuy nhiªn, líp phñ nµy cã thÓ nh×n thÊy ë ®é phãng ®¹i cao
vµ ®iÒu nµy h¹n chÕ kh¶ n¨ng ph©n gi¶i çc chi tiÕt siªu nhá. Mét h¹n chÕ
kh¸c cã thÓ ph¸t sinh tõ chÝnh b¶n th©n mÉu, thÝ dô, kim lo¹i vµ hîp kim víi
bÒ mÆt chøa vÕt nøt, g·y cã thÓ bÞ h− háng do oxy ho¸. MÆc dï çc kü thuËt
xö lý ho¸ vµ b¾n ph¸ ion ®−îc sö dông ®Ó bãc ®i çc s¶n phÈm bÒ mÆt song
qu¸ tr×nh oxy hãa vÉn cßn ¶nh h−ëng tíi phÇn nÒn kim lo¹i vµ v× vËy lµm
háng chi tiÕt h×nh th¸i häc cÇn kh¶o s¸t.
KÝnh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt m«i tr−êng (Environment Scanning Electron
Microscpe-ESEM) ®· kh¾c phôc ®−îc khã kh¨n trong xö lý mÉu trªn ®©y
®èi víi SEM. Víi ESEM ta cã thÓ quan s¸t vµ ph©n tÝch çc mÉu mµ kh«ng
cÇn xö lý nh−: mÉu kh«ng dÉn ®iÖn, mÉu chøa n−íc hoÆc dÇu, mÉu nh¶ khÝ
m¹nh vµ mÉu cho kÝnh hiÓn vi quang häc.
4.5 Çc kiÓu t¹o ¶nh
Çc tÝn hiÖu kh¸c nhau ph¸t sinh khi chïm tia ®iÖn tö t−¬ng t¸c víi mÉu
khèi ®· ®−îc sö dông ®Ó t¹o ¶nh SEM. Ba ph−¬ng ph¸p chÝnh ®−îc sö dông
®Ó thu çc tÝn hiÖu ®iÖn tö ph¸t x¹ ®−îc chØ ra trong h×nh 4.5. B¶ng 4.4 liÖt
kª çc kiÓu ¶nh víi ®é ph©n gi¶i t−¬ng øng cïng çc th«ng tin nhËn ®−îc tõ
çc lo¹i ¶nh nµy.
161
H×nh 4.5 Çc ph−¬ng ph¸p thu ®iÖn tö trong kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt:
(a) ®iÖn tö thø cÊp;( b) ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc, ®etect¬ r¾n; (c) ®iÖn tö
t¸n x¹ ng−îc, bé ®Õm nhÊp nh¸y; (d) dßng ®iÖn tö hÊp thô.
B¶ng 4.4 Ba kiÓu ¶nh SEM th«ng dông nhÊt víi ®é ph©n gi¶i t−¬ng øng.
§é ph©n gi¶i §é ph©n gi¶i cao

KiÓu ¶nh Th«ng tin (nm) (nm)
§iÖn tö t¸n x¹ §Þa h×nh, 10 3

ng−îc tinh thÓ häc,
thµnh phÇn
§iÖn tö thø cÊp §Þa h×nh 10 3
§iÖn thÕ 100 50
§iÖn tr−êng vµ tõ 500 100
tr−êng
Dßng ®iÖn mÉu Thµnh phÇn 50 20
hÊp thô
162
c h − ¬ n g 4
H×nh 4.6 Ph¸t x¹ ®iÖn tö thø cÊp t¹i bÒ mÆt mÊp m« kh«ng quy luËt.
4.5.1 T−¬ng ph¶n ¶nh ®iÖn tö thø cÊp

H×nh 4.5(a) m« t¶ hÖ nh©n quang tiªu biÓu ®−îc dïng ®Ó thu ®iÖn tö thø cÊp.
èng ®Õm nhÊp nh¸y cã mét l−íi víi hiÖu thÕ d−¬ng hoÆc ©m (th−êng lµ tõ
-200 ®Õn +400 V) ®Ó hót hoÆc ®Èy ®iÖn tö. HiÖu suÊt ph¸t x¹ ®iÖn tö thø cÊp
i* lµ mét hµm cña gãc α gi÷a tia ®iÖn tíi vµ bÒ mÆt mÉu:
i* (α) ~ exp[C (1 - cos α)] (4.8)
trong ®ã C lµ mét h»ng sè. §Ó ®¹t hiÖu suÊt tèi −u vµ do ®ã t¨ng c−êng tÝn
hiÖu t¹o ¶nh, h×nh 4.6, cÇn ph¶i lùa chän h−íng trung b×nh cho bÒ mÆt mÉu.
Nh− chØ ra trªn h×nh 4.6, sù thay ®æi hiÖu suÊt ph¸t x¹ ®iÖn tö ®Þa ph−¬ng
theo h−íng ®· t¹o nªn c¬ së cho viÖc t¹o ¶nh ®Þa h×nh. TiÕc r»ng ®èi víi mÉu
cã ®é mÊp m« bÒ mÆt râ rÖt vµ ®Þa h×nh che khuÊt th× t−¬ng ph¶n bÞ thay ®æi
do ®ãng gãp cña sù hÊp thô bÒ mÆt mÉu, song bÊt kú sù t−¬ng ph¶n ®−îc c¶i
thiÖn nµo trong tr−êng hîp nµy th−êng kÐo theo sù suy gi¶m chÊt l−îng cña
chi tiÕt ¶nh.
HiÖu suÊt ph¸t x¹ ®iÖn tö thay ®æi do thÕ t¨ng tèc v× vËy cã thÓ ®iÒu chØnh
thÕ t¨ng tèc ®Ó t¹o ¶nh chøa ®ùng çc th«ng tin nh− ý muèn. HiÖn nay hÇu
hÕt çc thiÕt bÞ hiÖn ®¹i ®Òu cã bé ®iÒu chØnh çc møc ®iÖn ¸p trong toµn
thang ®o ®Ó t¹o ¶nh ë çc thÕ t¨ng tèc kh¸c nhau. Trªn thùc tÕ thÕ t¨ng tèc
®−îc chia nhá h¬n 5 keV ®Ó cã thÓ kh¶o s¸t çc mÉu nh¹y c¶m víi chïm tia
hoÆc dÔ tÝch ®iÖn. MÆc dï líp phñ dÉn ®iÖn cho mÉu kh«ng dÉn ®iÖn lµm
gi¶m ®é ph©n gi¶i, song nã vÉn th−êng ®−îc ¸p dông rÊt hiÖu qu¶. Tuy
nhiªn, nÕu ®iÖn ¸p t¨ng tèc kh«ng ®−îc lùa chän cÈn thËn th× sù ph¸ huû bëi
chïm tia ®iÖn tö sÏ dÉn ®Õn thay ®æi h×nh th¸i häc bÒ mÆt mÉu.
H×nh 4.7 lµ ¶nh ®iÖn tö thø cÊp bÒ mÆt bÎ cña mÉu apatit Lµo Cai. H×nh
4.8(a) vµ (b) t−¬ng øng lµ ¶nh ®iÖn tö thø cÊp niªm m¹c hçng trµng trÎ em
ViÖt Nam b×nh th−êng vµ suy dinh d−ìng ®é 3 thÓ Kwashiorkor-Marsmus
khi mÉu ®· ®−îc xö lý vµ phñ mét líp vµng máng.
163
H×nh 4.7 ¶nh ®iÖn tö thø cÊp cña apatit Lµo Cai ch−a phong ho¸, mÉu
®−îc phñ cacbon, ×8500.
4.5.2 T−¬ng ph¶n ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc

Th−êng ®etect¬ r¾n ®−îc dïng ®Ó thu ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc. H×nh 4.5 (b) lµ
®etect¬ hai cùc ®Æt nghiªng so víi mÉu. −u ®iÓm cña ®etect¬ ®a cùc lµ cho
phÐp thu çc tÝn hiÖu ®−îc tæng hîp mét çch chän läc v× hiÖu suÊt ph¸t x¹
®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc lµ mét hµm cña c¶ nguyªn tö sè (thµnh phÇn) vµ ®Þa
h×nh bÒ mÆt. Mét hÖ thèng kh¸c cho ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc ph©n gi¶i cao
h¬n ®ã lµ bé ®Õm nhÊp nh¸y kÕt hîp víi èng nh©n quang, h×nh 4.5 (c).
H×nh 4.9 cho thÊy sù biÕn thiªn cña hiÖu suÊt ph¸t x¹ ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc
theo nguyªn tö sè cña mÉu. Khi tÝn hiÖu ra qua hÖ thèng ph©n liÖt nguyªn tö
sè trung b×nh cña vËt liÖu sÏ ®−îc x¸c ®Þnh b»ng çch sö dông ®−êng cong
hiÖu chuÈn nh− trªn h×nh 4.9. Sù ph©n liÖt sÏ tèt h¬n ®èi víi nguyªn tè cã
nguyªn tö sè thÊp h¬n n¬i ®å thÞ cã ®é dèc lín h¬n.
§é t−¬ng ph¶n nhËn ®−îc tõ tÝn hiÖu ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc phô thuéc vµo
®Þnh h−íng cña bÒ mÆt mÉu so víi tia ®iÖn tö tíi vµ t¹o nªn kh¶ n¨ng cho
¶nh ®Þa h×nh bÒ mÆt ®Þnh l−îng. HiÖu suÊt ph¸t x¹ ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc phô
thuéc vµo n¨ng l−îng vµ c−êng ®é tia ®iÖn tö tíi, mËt ®é, nguyªn tö sè trung
164
c h − ¬ n g 4
H×nh 4.8 Niªm m¹c hçng trµng trÎ em ViÖt Nam b×nh th−êng (a) vµ suy
dinh d−ìng ®é 3 thÓ Kwashiorkor-Marsmus (b), mÉu ®−îc phñ vµng, ×170.
165
H×nh 4.9 §−êng cong phô thuéc cña hiÖu suÊt ph¸t x¹ ®iÖn tö t¸n x¹
ng−îc vµo nguyªn tö sè.
H×nh 4.10 Ph¸t x¹ ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc: (a) ®å thÞ cùc c−êng ®é ®iÖn tö
t¸n x¹ ng−îc khi tia tíi vu«ng gãc cho thÊy sù phô thuéc hµm cosin; (b)
gièng nh− (a) nh−ng cho tr−êng hîp gãc tíi θ vµ chØ ra h−íng cùc ®¹i.
b×nh vµ ®Þnh h−íng bÒ mÆt mÉu. Khi tia ®iÖn tö tíi th¼ng gãc víi bÒ mÆt
mÉu hiÖu suÊt ph¸t x¹ ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc i0 lµ:
i 0 = Cie cosψ (4.9)
trong ®ã ψ lµ gãc t¹o bëi tia ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc vµ tia tíi, h×nh 4.10, C lµ
h»ng sè phô thuéc vµo vËt liÖu mÉu vµ n¨ng l−îng tia tíi vµ ie lµ dßng tia tíi.
§èi víi mÉu nghiªng mét gãc θ so víi tia tíi, h×nh 4.10 (b), tÝn hiÖu ®iÖn tö
t¸n x¹ ng−îc lµ lín nhÊt trªn h−íng gãc -θ. Thªm vµo ®ã, hiÖu suÊt ph¸t x¹ ie
t¨ng theo θ gÇn ®óng b»ng
i 0 = CZ 1 / 2 ie / 9(1 + cosθ ) (4.10)
ë ®©y Z lµ nguyªn tö sè. Sù ®ãng gãp theo gãc xung quanh gi¸ trÞ lín nhÊt
thay ®æi nhanh h¬n so víi tr−êng hîp tia tíi vu«ng gãc víi bÒ mÆt.
166
c h − ¬ n g 4
H×nh 4.11 S¬ ®å biÓu thÞ sù t−¬ng ph¶n ®Þa h×nh vµ thµnh phÇn víi hÖ thu
hai ®etect¬: (a) mÉu víi bÒ mÆt ph¼ng vµ kh¸c nhau vÒ thµnh phÇn; (b)
mÉu víi bÒ mÆt ghå ghÒ vµ ®ång nhÊt vÒ thµnh phÇn; (c) mÉu cã bÒ mÆt
mÊp m« vµ kh«ng ®ång nhÊt thµnh phÇn.
¶nh thµnh phÇn vµ ¶nh ®Þa h×nh

T−¬ng ph¶n nhiÔu x¹, t−¬ng ph¶n ®−îc sinh ra bëi sù kh¸c nhau vÒ ®Þnh
h−íng tinh thÓ, vµ t−¬ng ph¶n tõ cã thÓ t¹o nªn b»ng çch sö dông ®etect¬
víi gãc khèi lín. Tuy nhiªn, th−êng khã ph©n biÖt th«ng tin vÒ ®Þa h×nh vµ
thµnh phÇn. SEM sö dông ph−¬ng ph¸p sau ®Ó ph©n biÖt. Nh− chØ ra trong
h×nh 4.11, cÆp ®etect¬ r¾n ®−îc ®Æt ë phÝa trªn mÉu, ®èi xøng nhau qua trôc
quang häc, vµ çc tÝn hiÖu thu ®−îc céng hoÆc trõ b»ng ph−¬ng ph¸p ®iÖn.
Trong tr−êng hîp mÉu ph¼ng víi thµnh phÇn kh«ng ®ång nhÊt, h×nh 4.11 (a),
cïng mét l−îng ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc ®−îc thu víi hai ®etect¬ A vµ B. Mét
l−îng nhá ®iÖn tö thu ®−îc cho mÉu víi bÒ mÆt kh«ng ph¼ng vµ thµnh phÇn
®ång nhÊt, h×nh 4.11 (b). Nh− thÕ, tÝn hiÖu thµnh phÇn nhËn ®−îc b»ng çch
céng tÝn hiÖu A+B tõ hai ®etect¬, vµ tÝn hiÖu ®Þa h×nh bÒ mÆt sÏ nhËn ®−îc
b»ng çch trõ tÝn hiÖu A-B. Ngay c¶ khi mÉu víi bÒ mÆt mÊp m« vµ thµnh
phÇn kh«ng ®ång nhÊt th× ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc còng cã thÓ ph©n thµnh
çc ¶nh thµnh phÇn vµ ®Þa h×nh 4.11 (c).
¶nh thµnh phÇn thu ®−îc nhê kü thuËt nµy cã thÓ ph©n biÖt ®−îc ®é t−¬ng
ph¶n do sù kh¸c nhau nguyªn tè Z = 1 hoÆc t−¬ng tù thÕ. ¶nh thµnh phÇn lµ
167
H×nh 4.12 ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc vµ ¶nh ®iÖn tö thø cÊp cña cïng mét diÖn
tÝch bÒ mÆt: (a) ¶nh thµnh phÇn, (b) ¶nh ®Þa h×nh vµ (c) ¶nh ®iÖn tö thø cÊp.
168
c h − ¬ n g 4
H×nh 4.13 ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc ®Þnh l−îng trong SEM: (a) ¶nh bÒ
mÆt chi tiÕt m¸y, (b) ¶nh ®Þa h×nh ®−îc t¸i t¹o cña bÒ mÆt ë h×nh (a).
rÊt Ých lîi nh− mét sù trî gióp cho ph©n tÝch tia x, cßn ¶nh ®Þa h×nh cho phÐp
quan s¸t çc mÉu cã bÒ mÆt t−¬ng ®èi ph¼ng.
Nh− vËy, çc ®iÖn tö thø cÊp thÝch hîp cho sù quan s¸t vÒ cÊu tróc bÒ mÆt vµ
®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc mang th«ng tin vÒ thµnh phÇn còng nh− h×nh th¸i häc
bÒ mÆt cña mÉu, h×nh 4.12. ¶nh ®Þa h×nh ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc th«ng th−êng
®−îc gíi thiÖu trong h×nh 4.13 (a) vµ ¶nh ®Þnh l−îng ®−îc t¸i t¹o trong h×nh
4.13 (b).
169
4.5.3 T−¬ng ph¶n ¶nh ®iÖn tö hÊp thô

ë ®iÒu kiÖn mÉu bÞ c« lËp, khi Êy çc ®iÖn tö hÊp thô cã thÓ ghi nhËn ®−îc
vµ biÕn ®æi thµnh tÝn hiÖu ¶nh nh− chØ ra trong h×nh 4.5 (d). V× dßng ®iÖn tö
nµy lµ hiÖu sè cña dßng tia ®iÖn tö tíi vµ tæng dßng ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc vµ
®iÖn tö thø cÊp nªn ¶nh ®iÖn tö hÊp thô thÓ thiÖn t−¬ng ph¶n tr¸i ng−îc so
víi ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc. §é t−¬ng ph¶n cña ¶nh ®iÖn tö hÊp thô bÞ giíi
h¹n bëi tØ sè tÝn hiÖu-nhiÔu vµ th−êng ®é ph©n gi¶i kh«ng tèt h¬n ~ 20 nm.
Mét sè kiÓu t¹o ¶nh kh¸c cã thÓ ®¹t ®−îc trong SEM víi nh÷ng øng dông
®Æc biÖt nh− huúnh quang catot, t−¬ng ph¶n thÕ, t−¬ng ph¶n do ®iÖn tr−êng
vµ tõ tr−êng vµ t−¬ng ph¶n dßng c¶m øng.
4.5.4 Huúnh quang catot

Huúnh quang catot lµ sù ph¸t x¹ ¸nh s¸ng khi mÉu bÞ kÝch thÝch bëi tia ®iÖn
tö tíi. Trong SEM çc photon (¸nh s¸ng) ®i th¼ng tíi èng thu ¸nh s¸ng råi
vµo èng nh©n quang vµ biÕn ®æi thµnh tÝn hiÖu ®iÖn sau ®ã ®−îc khuÕch ®¹i.
Phæ huúnh quang catot lµ mét c«ng cô thuËn lîi vµ hiÖu qu¶ ®Ó m« t¶ çc
®Æc tr−ng vËt liÖu b¸n dÉn vµ kho¸ng vËt.
4.5.5 T−¬ng ph¶n tõ

Çc ®omen trong mÉu s¾t tõ còng cã thÓ quan s¸t ®−îc trong SEM do sù
biÕn thiªn nhá cña tõ tr−êng bÒ mÆt ë gÇn bÒ mÆt n¬i thu çc ®iÖn tö thø cÊp,
vµ do lùc Lorentz cña tõ tr−êng. Hai c¬ chÕ t−¬ng ph¶n nµy ®−îc sö dông ®Ó
t¹o ¶nh ®omen tõ. Do tõ tr−êng ®omen tõ nªn quü ®¹o ®iÖn tö ph¸t x¹ bÞ
thay ®æi h−íng tíi colect¬ vµ t¹o nªn t−¬ng ph¶n ®omen. Tõ ®ã cã thÓ thiÕt
lËp nªn phÐp ®o h−íng tõ ho¸. T−¬ng ph¶n nµy xuÊt hiÖn khi mÉu ®−îc
nghiªng khái h−íng vu«ng gãc víi tia tíi. H×nh 4.14 (a) lµ mét thÝ dô vÒ ¶nh
®omen tõ trong coban ®a tinh thÓ. Th−êng thÕ t¨ng tèc thÊp < 5 kV ®−îc sö
dông v× t−¬ng ph¶n tõ rÊt nh¹y víi h×nh häc cña colect¬ ®iÖn tö thø cÊp vµ
thiªn ¸p ®Æt vµo l−íi colect¬, t−¬ng ph¶n kh«ng xuÊt hiÖn nÕu thiªn ¸p l−íi
kh«ng ®ñ lín. §é ph©n gi¶i ®¹t ®−îc kho¶ng 100 nm.
Khi chïm tia ®iÖn tö xuyªn vµo vËt liÖu tõ, ®−êng ®i cña ®iÖn tö bÞ uèn cong
do lùc Lorentz; nh− thÕ t−¬ng ph¶n ®omen tõ t¨ng lªn do sù chªnh lÖch vÒ sè
®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc nh− trong h×nh 4.14 (b). Sö dông tia ®iÖn tö n¨ng l−îng
cao cho thuËn lîi nh− t¨ng ®é t−¬ng ph¶n tõ vµ t−¬ng ph¶n kªnh hay nhiÔu
x¹ vµ t−¬ng ph¶n ®Þa h×nh, mÆc dï ®é ph©n gi¶i kÐm ®i (1μm ë 50 kV, 10μm
170
c h − ¬ n g 4
H×nh 4.14 (a) ¶nh ®iÖn tö thø cÊp çc ®omen tõ trong coban. (b) Sù h×nh
thµnh t−¬ng ph¶n tõ do sù uèn cong cña ®−êng ®i ®iÖn tö bëi lùc Lorentz.
(c) ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc cña cÊu tróc ®omen trong l¸ s¾t-silic ®Þnh
h−íng cao, thu ®−îc ë 200 kV.
t¹i cì 200 kV). Nh− vËy, b»ng çch sö dông SEM cao thÕ vµ thu ¶nh ®iÖn tö
t¸n x¹ ng−îc cã thÓ quan s¸t çc ®omen tõ trong mÉu víi bÒ mÆt ®−îc phñ
hoÆc ®¸nh bãng c¬ häc. §©y lµ mét øng dông rÊt thiÕt thùc ®Ó kh¶o s¸t vËt
liÖu tõ, h×nh 4.14 (c).
4.5.6 T−¬ng ph¶n thÕ

§èi víi mÉu nh− tranzito cã thÕ ph©n bè trªn bÒ mÆt th× nh÷ng vÞ trÝ cã ®iÖn
thÕ d−¬ng sÏ ng¨n c¶n ph¸t x¹ ®iÖn tö thø cÊp vµ do ®ã sÏ tèi. Ng−îc l¹i,
171
H×nh 4.15 ¶nh ®iÖn tö thø cÊp t−¬ng ph¶n thÕ trong m¹ch vi ®iÖn tö,
×8500.
nh÷ng vÞ trÝ cã ®iÖn thÕ ©m sÏ lµm t¨ng c−êng ph¸t x¹ ®iÖn tö thø cÊp vµ v×
vËy sÏ s¸ng. KÕt qu¶ cña sù t−¬ng ph¶n ®iÖn thÕ nµy trong ¶nh ®iÖn tö thø
cÊp lµ do sù ph©n bè ®iÖn thÕ trªn bÒ mÆt mÉu. H×nh 4.15 lµ ¶nh ®iÖn tö thø
cÊp t−¬ng ph¶n thÕ ghi ®−îc khi ®iÖn thÕ ®−îc ®Æt vµo çc cùc cña vi m¹ch.
Nh− ®· biÕt, sù ph©n bè thÕ trªn bÒ mÆt mÉu kh«ng chØ khèng chÕ hiÖu suÊt
ph¸t x¹ ®iÖn tö thø cÊp mµ cßn khèng chÕ hiÖu qu¶ b¾t ®iÖn tö thø cÊp cña
®etect¬. VËy lµ sù thay ®æi ph©n bè thÕ trªn bÒ mÆt mÉu sÏ t¹o ra sù thay ®æi
ph©n bè ®iÖn tr−êng gi÷a mÉu vµ ®etect¬ vµ ®iÒu ®ã ¶nh h−ëng ®Õn quü ®¹o
cña ®iÖn tö thø cÊp, v× vËy thay ®æi hiÖu qu¶ b¾t çc ®iÖn tö cña ®etect¬ vµ
®ãng gãp vµo t−¬ng ph¶n thÕ.
4.5.7 T−¬ng ph¶n ¶nh suÊt ®iÖn ®éng

Dßng dÉn sÏ ph¸t sinh trong mÉu khi quÐt chïm ®iÖn tö lªn bÒ mÆt linh kiÖn
b¸n dÉn. Trong tr−êng hîp ®ã, thÕ hiÖu hay suÊt ®iÖn ®éng ®−îc sinh ra t¹i
çc khu vùc kh«ng ®ång nhÊt trong mÉu vµ g©y nªn sù thay ®æi nhá ë vÞ trÝ
biªn d¶i so víi møc Fermi. C¬ chÕ ph¸t sinh thÕ hiÖu nµy gièng nh− c¬ chÕ
ho¹t ®éng cña tiÕp xóc p-n trong tÕ bµo quang ®iÖn, h×nh 4.16. Sù uèn cong
172
c h − ¬ n g 4
H×nh 4.16 ThÕ hiÖu mÉu xuÊt hiÖn do gra®ien nång ®é t¹p chÊt trong
linh kiÖn b¸n dÉn.
d¶i vµ sù khuÕch t¸n cÆp ®iÖn tö-lç trèng ®· ®−îc chØ ra trong h×nh 4.16 vµ
thÕ lín nhÊt ®−îc t¹o nªn lµ thÕ khuÕch t¸n VD t¹i chç gi¸n ®o¹n. KiÓu t−¬ng
ph¶n nµy cã ®é ph©n gi¶i ®−îc x¸c ®Þnh bëi ®é dµi khuÕch t¸n h¹t t¶i vµ sù
kh«ng ®ång nhÊt trong mÉu sÏ ph¶n ¸nh sù thay ®æi vÒ ®é linh ®éng, thêi
gian sèng vµ nång ®é t¹p chÊt. ThÕ hiÖu ®Çu ra xuèng tíi 10-6 V cã thÓ ®o
®−îc tõ linh kiÖn b¸n dÉn hoÆc ghi nhËn d−íi d¹ng ¶nh suÊt ®iÖn ®éng. §©y
còng lµ çch duy nhÊt ®Ó quan s¸t trùc tiÕp tr¹ng th¸i cña líp nghÌo. Ngoµi
ra, mèi quan hÖ gi÷a khuyÕt tËt tinh thÓ trong líp nghÌo vµ suÊt ®iÖn ®éng cã
thÓ nhËn ®−îc b»ng çch so s¸nh ¶nh ®iÖn tö thø cÊp vµ ¶nh suÊt ®iÖn ®éng.
B»ng çch sö dông t−¬ng ph¶n do dßng c¶m øng bëi chïm ®iÖn tö (Electron
Beam Induced Current-EBIC) trong SEM còng cã thÓ ph¸t hiÖn ®−îc nh÷ng
sai háng ®iÓm vµ çc lo¹i khuyÕt tËt kh¸c trong çc chÊt b¸n dÉn, gèm vµ
x¸c ®Þnh ®−îc çc tÝnh chÊt ®iÖn cña chóng.
Còng cã thÓ thu vµ ®Þnh l−îng ph¸t x¹ tia x ®Æc tr−ng b»ng çch ghÐp nèi
çc phæ kÕ t¸n s¾c sãng vµ t¸n s¾c n¨ng l−îng víi SEM. Do vËy çc thµnh
phÇn ho¸ häc trong cÊu tróc vi m« cña vËt liÖu cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc. Tuy
nhiªn, vÊn ®Ò nµy sÏ ®−îc th¶o luËn trong ch−¬ng 7. Thªm vµo ®ã, m¸y tÝnh
ngµy cµng ®−îc øng dông réng r·i vµ hiÖu qu¶ ®Ó ®iÒu khiÓn thiÕt bÞ, vµ ®iÒu
nµy ®· mang l¹i nhiÒu thuËn lîi cho ng−êi vËn hµnh trong sö dông còng nh−
xö lý ¶nh SEM.
173
c h − ¬ n g 5
Ch−¬ng 5
HiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua
Çc ®Æc ®iÓm chÝnh cña kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua (Transmission
Electron Microscope-TEM) th«ng th−êng ®−îc chØ ra trong h×nh 5.1. Cét
kÝnh ®−îc hót ch©n kh«ng, ~10-3 Pa hoÆc cao h¬n, chøa nguån ®iÖn tö,
th−êng lµ sîi ®èt vonfram hoÆc tinh thÓ LaB6, vµ tæ hîp thÊu kÝnh tô, kÝnh
vËt vµ kÝnh phãng. ThiÕt kÕ cña çc thiÕt bÞ th«ng th−êng hiÖn nay ®Æc biÖt
chó ý ®Õn sù chÕ t¹o hÖ ch©n kh«ng cao, s¹ch b»ng çch sö dông b¬m ion ®Ó
h¹n chÕ tèi thiÓu sù nhiÔm bÈn mÉu. ThiÕt bÞ trong h×nh 5.1 (a) cã hÖ chiÕu
n¨m thÊu kÝnh tõ vµ cã xu h−íng nhiÒu h¬n ®Ó t¨ng kh¶ n¨ng ho¹t ®éng cña
thiÕt bÞ, thÝ dô, h¹n chÕ xoay ¶nh vµ t¨ng ®é phãng ®¹i. Sau khi tho¸t khái
nguån, çc ®iÖn tö ®−îc tiªu tô b»ng hai thÊu kÝnh tô tr−íc khi tíi mÉu. KÝnh
tô thø nhÊt t¹o ¶nh nguån tia ch−a phãng ®¹i cã ®−êng kÝnh cì 1μm vµ ®−îc
phãng ®¹i b»ng kÝnh tô thø hai víi ®é phãng ®¹i gÊp hai lÇn. §iÓm chiÕu
trªn mÉu cã ®−êng kÝnh nhá 2 μm ®ñ ®Ó cho ¶nh phñ kÝn mµn quan s¸t víi
®é phãng ®¹i cao nhÊt.
MËt ®é dßng tia ®iÖn tö tíi mÉu phô thuéc vµo ®Æc tr−ng cña sîi ®èt vµ gãc
ph©n kú 2α. §−êng kÝnh lç khÈu ®é kÝnh tô vµ gãc ph©n kú tiªu biÓu t−¬ng
øng lµ ~ 400 μm vµ ~ 10-3 rad ®èi víi thiÕt bÞ 100 keV. ThÊu kÝnh tô thø hai
cho phÐp t¹o chïm tia m¶nh tiªu tô vµ tinh chØnh diÖn tÝch chiÕu ®Ó gi¶m
thiÓu sù nhiÔm bÈn diÖn tÝch xung quanh. Gi¸ trÞ α nhá h¬n sÏ lµm gi¶m
kÝch th−íc tia ®iÖn tö vµ do ®ã t¨ng ®é t−¬ng ph¶n vµ kh¶ n¨ng ph©n gi¶i
cña ¶nh hiÓn vi vµ nhiÔu x¹. Sau khi xuyªn qua mÉu máng çc ®iÖn tö ®i vµo
vËt kÝnh víi thiÕt kÕ vµ quang sai sao cho ¶nh h−ëng Ýt nhÊt ®Õn sù thùc hiÖn
cña kÝnh hiÓn vi. Çc tia nhiÔu x¹ bragg kÕt hîp sau khi qua mÉu t¹o thµnh
¶nh trung gian víi ®é phãng ®¹i thÊp I1, h×nh 5.1(a). ThÊu kÝnh trung gian
t¹o ¶nh trung gian thø hai I2 vµ ®−îc phãng ®¹i trªn mµn quan s¸t bëi kÝnh
phãng cuèi cïng. Mµn quan s¸t lµ mÆt ph¼ng kim lo¹i ®−îc phñ líp photpho
kÏm, nã sÏ ph¸t quang khi ®iÖn tö ®Ëp vµo. ¶nh ®−îc tiªu tô trªn mµn quan
174
h i Ó n v i ® i Ö n t ö t r u y Ò n q u a
H×nh 5.1 (a) S¬ ®å mÆt c¾t cña cét kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua th«ng
th−êng.
s¸t b»ng çch thay ®æi tiªu cù cña kÝnh vËt vµ ®é phãng ®¹i ®−îc ®iÒu chØnh
nhê sù thay ®æi dßng cña hai kÝnh phãng. Mét sè thiÕt bÞ cã thªm kÝnh
phãng ®Ó më réng thang phãng ®¹i. ¶nh ®−îc ghi nhËn b»ng m¸y ¶nh hoÆc
hÖ ghi sè ®Æt d−íi buång quan s¸t.
Çc mÉu d¹ng ®Üa víi ®−êng kÝnh cì 3 mm ®−îc ®−a vµo buång kÝnh hiÓn vi
nhê van khÝ vµ gi¸ mÉu cã thÓ dÞch chuyÓn theo çc ph−¬ng x, y vµ z. Ngoµi
175
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.1 (b) S¬ ®å ®−êng ®i cña tia trong kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö t−¬ng øng
víi s¬ ®å h×nh 5.1 (a). HÖ hai kÝnh tô ®−îc giíi thiÖu chi tiÕt. Gãc ph©n kú
2α cña tia vµ kÝch th−íc ®iÓm chiÕu ®−îc ®iÒu chØnh bëi c−êng ®é dßng
kÝnh tô C2. Gi¸ trÞ lín nhÊt cña 2α lµ D/L thu ®−îc khi nguån tia ®−îc t¹o
¶nh trªn mÉu. ¦u ®iÓm cña kÝnh tô kÐp lµ t¹o ®−îc kÝch th−íc ®iÓm chiÕu
nhá.
ra, ®Ó t¨ng hiÖu qu¶ sö dông gi¸ mÉu ®−îc thiÕt kÕ quay vµ nghiªng mµ ¶nh
vÉn kh«ng bÞ dÞch, nhoµ hoÆc thay ®æi ®é phãng ®¹i. Nhê thÕ, cã thÓ thùc
hiÖn ®−îc çc chÕ ®é t¹o ¶nh chÝnh x¸c.
Mét sù ph¸t triÓn râ rÖt ®· ®−îc tiÕn hµnh lµ sö dông bé vi xö lÝ vµ m¸y tÝnh
®Ó ®iÒu khiÓn, chØ thÞ vµ xö lÝ çc th«ng tin nhËn ®−îc b»ng kÝnh hiÓn vi ®iÖn
176
tö. Çc kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö hiÖn ®¹i cho phÐp çc ®iÒu kiÖn vËn hµnh ®Òu
®−îc hiÓn thÞ nh− kiÓu ho¹t ®éng, thÕ t¨ng tèc, kÝch th−íc chïm tia, ®é
phãng ®¹i, v.v... H¬n thÕ n÷a, nhµ s¶n xuÊt th−êng cung cÊp çc tµi liÖu rÊt
h÷u Ých gióp cho ng−êi vËn hµnh tù chÈn ®o¸n tr¹ng th¸i thiÕt bÞ khi vËn
hµnh, b¶o d−ìng vµ söa ch÷a.
5.1 ThuyÕt ®éng häc vÒ t−¬ng ph¶n trªn ¶nh
5.1.1 Kh¸i niÖm

Trong ch−¬ng 3 ta ®· kh¶o s¸t ¶nh nhiÔu x¹ tõ tinh thÓ, tøc lµ biªn ®é sãng
nhiÔu x¹ ë kho¶ng çch rÊt xa kÓ tõ tinh thÓ mµ thùc tÕ lµ ë v« cïng. §Ó tÝnh
to¸n sù t−¬ng ph¶n ¶nh cÇn ph¶i thiÕt lËp sù ph©n bè c−êng ®é ë d−íi bÒ mÆt
tinh thÓ mµ nã sÏ t¹o nªn ¶nh nhê thÊu kÝnh.
T−¬ng ph¶n nhiÔu x¹ ph¸t sinh khi sö dông trong hÖ mét ®iapham khÈu ®é
nµo ®ã mµ nã cho phÐp qua hoÆc lµ chïm nhiÔu x¹ hoÆc lµ chïm th¼ng,
h×nh 5.2. Trong tr−êng hîp cho qua chïm th¼ng ta cã ¶nh tr−êng s¸ng vµ
tr−êng hîp cßn l¹i cho ¶nh tr−êng tèi.
Bëi vËy cÇn ph¶i tÝnh sù ph©n bè c−êng ®é hoÆc lµ cña chïm xuyªn th¼ng
hoÆc lµ cña chïm nhiÔu x¹ ë bÒ mÆt d−íi cña tinh thÓ.
5.1.2 ¶nh tr−êng tèi

§Ó tÝnh biªn ®é sãng nhiÔu x¹ ë d−íi bÒ mÆt tinh thÓ ta ph©n chia nã thµnh
nhiÒu líp song song víi bÒ mÆt. NÕu chïm nhiÔu x¹ ®i theo h−íng nh− trªn
h×nh 5.3 th× ta tÝnh biªn ®é t¹i ®iÓm P nhê çch dùng ®èi víi mçi líp mÆt
ph¼ng vïng frenen xung quanh ®iÓm c¾t cña tia víi mÆt ph¼ng nµy. Sù ®ãng
gãp lín nhÊt vµo biªn ®é sãng tõ mçi mÆt ph¼ng sinh ra ë mét sè vïng ®Çu
tiªn (gi¶ sö lµ m−êi) tøc lµ tõ khu vùc b¸n kÝnh ~3R, ë ®©y R lµ b¸n kÝnh
vïng ®Çu tiªn. V× R = (λx)1/2, khu vùc nµy trªn mÆt ph¼ng gÇn A sÏ v« cïng
nhá mÆc dï tinh thÓ cã chiÒu dµy ~ 1000 Å, gi¸ trÞ R ≈ 6 Å. Ph−¬ng ph¸p
kh¶o s¸t kh¸c lµ nhê biÓu ®å biªn ®é-pha ®−îc x©y dùng trªn c¬ së gi¶ thiÕt
r»ng mçi phÇn tö diÖn tÝch ®Òu t¸n x¹ gièng nhau. Song, v× mÆt ph¼ng bao
gåm çc nguyªn tö rêi r¹c, khu vùc ®−îc kh¶o s¸t gåm mét l−îng nguyªn tö
®ñ lín sao cho sù th¨ng gi¸ng lµ ®Òu. Hai lý do nµy ®−a ®Õn gi¶ thiÕt r»ng
b¸n kÝnh trung b×nh cña khu vùc m¹ng ®ãng gãp hiÖu dông vµo biªn ®é sãng
t−¬ng øng víi mét sè nguyªn tö ®Ó cho tæng sù ®ãng gãp chØ lµ tõ cét tinh
177
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.2 T−¬ng ph¶n nhiÔu x¹ (tr−êng s¸ng). Chïm ®iÖn tö tíi nhiÔu x¹
trªn mÉu vµ chïm nhiÔu x¹ kh«ng qua lç khÈu ®é vËt kÝnh. T−¬ng ph¶n lµ
do sù thay ®æi c−êng ®é ®Þa ph−¬ng I cña chïm nhiÔu x¹.
thÓ ®−êng kÝnh cì 20 Å h−íng däc theo chïm nhiÔu x¹. Bëi vËy biªn ®é
sãng t¹i ®iÓm P cã thÓ thu ®−îc b»ng çch céng çc thµnh phÇn tõ mäi ®iÓm
däc theo cét nót song song víi sãng nhiÔu x¹ nµy. §ã lµ phÐp gÇn ®óng cét.
Gi¶ thiÕt mÆt ph¼ng ph¶n x¹ vu«ng gãc víi bÒ mÆt th× ®ãng gãp vµo biªn ®é
t¹i ®iÓm P cña ®Üa A n»m çch bÒ mÆt mét kho¶ng rn, h×nh 5.4, lµ
inλFg
exp(− 2πiK '.rn ) exp(2πik '.r )
cosθ
trong ®ã rn lµ vect¬ OA, r lµ vect¬ OP, k' lµ vect¬ sãng nhiÔu x¹ trong tinh
thÓ. Thµnh phÇn cuèi lµ nh©n tè lan truyÒn kh«ng ®æi. Bëi vËy:
exp(− 2πiK '.rn ) = exp[− 2πi ( g + s ).rn ] = exp(− 2πis.rn ) = exp(− 2πis z z )
trong ®ã z lÊy däc cét vµ v× th«ng sè lÖch s hÇu nh− song song víi z,
h×nh 5.4, nªn sè nh©n nµy cã thÓ viÕt d−íi d¹ng exp(-2πisz). Cã nghÜa, nÕu a
lµ kho¶ng çch gi÷a çc mÆt ph¼ng song song víi bÒ mÆt th×
inλFg iλFg
exp(− 2πisz ) exp(− 2πisz )dz
dz
dφ g = = (5.1 a)
cosθ a Vc cosθ
178
H×nh 5.3 PhÐp gÇn ®óng cét. Sù ®ãng gãp lín nhÊt vµo biªn ®é sãng
nhiÔu x¹ tõ mçi mÆt ph¼ng ph¸t sinh ë mét sè Ýt vïng Frenen ®Çu tiªn;
mét sè vïng nµy ®−îc chØ râ trong h×nh vÏ.
¸p dông c«ng thøc chiÒu dµy t¾t (3.34):

πVc cosθ
ξg =
λFg
biÓu thøc (5.1 a) cã thÓ viÕt d−íi d¹ng:
iπ
dφ g = exp(− 2πisz )dz (5.1 b)
ξg
Bëi vËy biªn ®é tæng céng t¹i P lµ
iπ
t
dφ g =
ξg ∫ exp(− 2πisz )dz
0
(5.2)
hay
iπ sin πts
φg = exp(− πist ) (5.3)
ξ g πs
179
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.4 KÝch th−íc h×nh häc cña H×nh 5.5 Th«ng sè lÖch s.
cét däc theo chïm nhiÔu x¹.
trong ®ã t lµ chiÒu dµy tinh thÓ. C−êng ®é do ®ã thay ®æi theo quy luËt
sin2(πts)/(πs)2, tøc lµ dao ®éng theo chiÒu s©u cña mµng, h×nh 5.6. §iÒu ®ã
dÉn ®Õn sù ph¸t sinh d¶i v©n chiÒu dµy trong h×nh nªm tinh thÓ. ThÝ dô vÒ
v©n chiÒu dµy ®−îc chØ ra trªn h×nh 5.7. Chu kú dao ®éng Δz theo chiÒu s©u
b»ng 1/s, tøc lµ ®é lÖch khái vÞ trÝ ph¶n x¹ cµng lín th× kho¶ng çch gi÷a çc
d¶i cµng nhá. KÕt qu¶ nµy còng cã thÓ thu ®−îc sau khi dùng biÓu ®å biªn
®é-pha. BiÓu ®å biªn ®é-pha h×nh thµnh do sù ®ãng gãp tõ çc ph©n tè kh¸c
nhau cña cét chÝnh lµ ®−êng trßn, h×nh 5.8, b¸n kÝnh (2πs)-1 t−¬ng ®−¬ng víi
biÓu thøc (5.2). Biªn ®é tæng céng t¹o thµnh vect¬ OP, khi thay ®æi chiÒu
dµy mÉu ®iÓm P sÏ chuyÓn dÞch theo vßng trßn, ®iÒu ®ã t−¬ng øng víi sù
dao ®éng biªn ®é theo chiÒu dµy tho¶ m·n biÓu thøc (5.3). B¸n kÝnh vßng
trßn bÞ gi¶m ®i cïng víi sù t¨ng cña s. Víi sù thay ®æi ®Þnh h−íng tinh thÓ, ë
®é dµy ®· cho th× b¸n kÝnh vßng trßn còng thay ®æi vµ v× vËy sù dao ®éng
c−êng ®é ph¶i lµ hµm cña gãc nghiªng. §iÒu ®ã g©y nªn sù thÓ hiÖn v©n mÐo
phô trong tr−êng hîp mµng vªnh. VÒ c¬ b¶n v©n mÐo xuÊt hiÖn khi s = 0.
Nh− ®· tr×nh bµy trong ch−¬ng 3 vÒ ®é dµi t¾t, khi s = 0 mµ t rÊt lín lµ kh«ng
thÓ tån t¹i vµ ®Ó gi¶i thÝch cÆn kÏ hiÖn t−îng nhiÔu x¹ cÇn ph¶i sö dông ®Õn
thuyÕt ®éng lùc häc.
180
H×nh 5.6 Sù dao ®éng cña sãng nhiÔu x¹ vµ sãng truyÒn qua trong tinh
thÓ do sù ph¸t sinh d¶i chiÒu dµy t¹i mÐp h×nh nªm tinh thÓ. Trong sù gÇn
®óng nµy c−êng ®é sãng truyÒn qua t¹i çc ®iÓm ®¸nh dÊu trßn tr¾ng lµ
nh− nhau vµ gièng trªn bÒ mÆt trªn.
H×nh 5.7 V©n chiÒu dµy trong nh«m (Al) quanh hè s©u trßn.
181
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.8 BiÓu ®å biªn ®é-pha ®èi víi cét trong tinh thÓ hoµn chØnh. Biªn
®é tæng céng lµ ®o¹n th¼ng OP.
5.1.3 ¶nh tr−êng s¸ng

Trong kh¶o s¸t gÇn ®óng, c−êng ®é sãng truyÒn th¼ng IT ®−îc tÝnh b»ng hiÖu
cña dßng s¬ cÊp vµ c−êng ®é sãng nhiÔu x¹
IT = 1 - IN (5.4)
trong ®ã IN lµ c−êng ®é sãng nhiÔu x¹. §iÒu ®ã cã nghÜa lµ ¶nh tr−êng s¸ng
vµ tr−êng tèi phô thuéc lÉn nhau hay ®é t−¬ng ph¶n bï nhau.
5.1.4 T−¬ng ph¶n tõ tinh thÓ kh«ng hoµn chØnh

5.1.4.1 Tæng qu¸t
H·y kh¶o s¸t ¶nh tr−êng tèi cña tinh thÓ kh«ng hoµn chØnh tõ kÕt qu¶ ®èi víi
tinh thÓ hoµn chØnh ®· nhËn ®−îc trong môc 5.1.2 cña ch−¬ng nµy. Mçi mÆt
ph¼ng song song víi bÒ mÆt, h×nh 5.3, cho ®ãng gãp vµo biªn ®é sãng nhiÔu x¹
iπa
exp(− 2πiK '.rn ') (5.5)
ξg
ë ®©y r'n = rn + Rn, Rn lµ ®é dÞch chuyÓn cña « m¹ng c¬ b¶n khái vÞ trÝ ®óng
rn. Gi¶ sö K' = g + s, bá qua thµnh phÇn sRn vµ grn lµ sè nguyªn, ta cã nh©n
sè pha (xem 5.1.2):
exp(-2πig.R) exp(-2πisz) (5.6)
trong ®ã R lµ ®é dÞch cña « m¹ng nguyªn tè theo chiÒu s©u z trong tinh thÓ.
Sö dông phÐp gÇn ®óng cét víi d¹ng R kh«ng thay ®æi qu¸ nhanh theo h−íng
182
vu«ng gãc víi cét. Sau khi thay tæng b»ng tÝch ph©n ta nhËn ®−îc biªn ®é
sãng t¸n x¹ t¹i bÒ mÆt d−íi tinh thÓ nh− sau
iπ
t
φg =
ξg ∫ exp(− 2πig.R )exp(− 2πisz )dz
0
(5.7)
Nh− vËy, sù cã mÆt kh«ng hoµn chØnh ®· dÉn ®Õn nh©n sè pha phô exp(-iα),
ë ®©y α = 2πgR. KÕt qu¶ ®ã còng thu ®−îc trong môc 3.1.4 cña ch−¬ng 3 khi
kh¶o s¸t biªn ®é sãng nhiÔu x¹ bëi tinh thÓ sai háng. §èi víi vµi môc ®Ých,
®Ó thuËn lîi ta tr×nh bµy nh©n sè pha d−íi d¹ng c«ng thøc kh¸c. Trong
ph−¬ng tr×nh (5.7), g lµ vect¬ m¹ng ®¶o trong tinh thÓ hoµn chØnh cßn s lµ
th«ng sè lÖch cña m¹ng ®¶o. Song sù sai háng cã thÓ kh¶o s¸t nh− lµ sù thay
®æi ®Þa ph−¬ng cña ®Þnh h−íng vµ th«ng sè m¹ng ®¶o. NÕu ta ký hiÖu g' lµ
vect¬ ®Þa ph−¬ng cña m¹ng ®¶o sai háng, th× nã ®−îc x¸c ®Þnh theo hÖ thøc:
g'. r'n = g. rn (5.8)
Sau khi thay g' = g + Δg vµ r'n = rn + Rn ta ®−îc (víi ®é chÝnh x¸c ®Õn gi¸ trÞ
v« cïng bÐ bËc mét):
g.Rn + Δg. rn = 0 (5.9)
Bëi vËy, α cã thÓ viÕt d−íi d¹ng:
α = 2πg.R = -2πΔg.r (5.10)
§¹i l−îng R vµ Δg nãi chung phô thuéc vµo z vµ mét lµ t×m sù phô thuéc
nµy, hai lµ lÊy tÝch ph©n ph−¬ng tr×nh (5.7). Song ®iÒu ®¸ng chó ý ®ã lµ nÕu
®é dÞch R vu«ng gãc víi g th× t−¬ng ph¶n sÏ kh«ng cã. §ã còng lµ c¬ së ®Ó
x¸c ®Þnh vect¬ Burgers. Ng−îc l¹i, ®é t−¬ng ph¶n lµ cùc ®¹i nÕu R song song
víi g. §Ó kh¶o s¸t hiÖu øng nµy nªn sö dông ®¹i l−îng Δg. HÖ thøc (5.8)
tho¶ m·n ®èi víi mäi ®iÓm gÇn rn, v× thÕ hai ®iÓm çch nhau mét kho¶ng dxi
cña thµnh phÇn Δg däc xi, tøc lµ Δgxi, ®−îc biÓu thÞ d−íi d¹ng sau
∂R g
Δg xi = − (5.11)
∂xi
trong ®ã Rg lµ thµnh phÇn R däc theo g. Tèt nhÊt lµ lÊy trôc däc theo g vµ
vu«ng gãc víi g t−¬ng øng trong mÆt ph¼ng tíi (trong ®ã chøa vect¬ sãng s¬
cÊp vµ g) vµ vu«ng gãc víi nã. Thµnh phÇn Δg, vu«ng gãc víi g nh−ng n»m
trong mÆt ph¼ng tíi, ph¸t sinh do sù quay ®Þa ph−¬ng m¹ng.
183
c h − ¬ n g 5
Trong phÐp gÇn ®óng, thµnh phÇn nµy song song víi z vµ ®−îc x¸c ®Þnh
b»ng biÓu thøc:
∂R g
Δg z = −
∂z
Gãc quay ®Þa ph−¬ng, h×nh 4.9, cã thÓ viÕt:
∂R g
δφ = −
∂z
Bëi vËy, th«ng sè lÖch ®Þa ph−¬ng hiÖu dông bÞ thay ®æi vµ b»ng
∂R g
s − Δg z = s + g (5.12)
∂z
§iÒu ®ã ®−îc chØ râ trong h×nh 5.9. Thµnh phÇn Δg däc g g©y nªn mét sù
thay ®æi kh«ng lín th«ng sè lÖch gÇn ®óng b»ng
∂R g
θBg
∂x g
trong ®ã xg lµ to¹ ®é däc theo g. Thµnh phÇn nµy dÉn ®Õn sù thay ®æi th«ng
sè m¹ng tøc lµ dÉn ®Õn hiÖu øng në. Râ rµng v× gãc θB rÊt nhá, hiÖu øng nµy
B
¶nh h−ëng ®Õn th«ng sè lÖch yÕu h¬n so víi sù uèn cong.
Do ®ã, th«ng sè lÖch hiÖu dông b»ng
∂R g ∂R g
s' = s + g +θB g (5.13)
∂z ∂x g
Nh− ta ®· thÊy, ¶nh h−ëng cña biÕn d¹ng m¹ng do sù kh«ng hoµn chØnh, øng
víi ph−¬ng tr×nh (5.13), dÉn ®Õn lÖch ®Þa ph−¬ng khái vÞ trÝ ph¶n x¹ bragg.
Song kh«ng thÓ thay th«ng sè lÖch ®Þa ph−¬ng s' vµo ph−¬ng tr×nh (5.2).
ViÖc tÝnh to¸n dùa trªn thay thÕ ®é dÞch m¹ng R vµo ph−¬ng tr×nh (5.7).
Song trong ph−¬ng tr×nh cña lý thuyÕt ®éng lùc häc th«ng sè lÖch ®Þa
ph−¬ng cã thÓ ®−a vµo trùc tiÕp.
§Ó gi¶i thÝch v©n moire (trong ®ã Δg th−êng song song víi bÒ mÆt ph©n chia
hai phÇn cña tinh thÓ) ph−¬ng tr×nh ®éng häc cã thÓ sö dông d−íi d¹ng:
184
H×nh 5.9 Sù thay ®æi th«ng sè lÖch s do phÐp quay ®Þa ph−¬ng δφ vµ thay
®æi th«ng sè m¹ng. Vect¬ m¹ng ®¶o OG quay ®i mét gãc δφ vµ kÐo dµi
thªm mét l−îng (Δg)g thµnh vect¬ OG'.
iπ
t
φg =
ξg ∫ exp(− iα )exp(− 2πisz )dz
0
(5.14)
trong ®ã
α = -2πΔg.rs = -2π(Δggxg + Δgtxt) (5.15)
lµ hµm tuyÕn tÝnh cña vÞ trÝ vect¬ rs trªn bÒ mÆt ph©n chia (víi thµnh phÇn xg
vµ xt däc theo g vµ vu«ng gãc víi g trªn bÒ mÆt nµy).
D−íi ®©y sÏ kh¶o s¸t mét sè thÝ dô cô thÓ.

5.1.4.2 Sai háng xÕp
§©y lµ d¹ng ®¬n gi¶n nhÊt cña sù kh«ng hoµn chØnh. PhÇn tinh thÓ phÝa trªn
vµ d−íi khuyÕt tËt gièng nhau vÒ th«ng sè vµ ®Þnh h−íng, song dÞch t−¬ng
®èi so víi nhau mét vect¬ kh«ng ®æi R, h×nh 5.10. Bëi vËy nh©n sè pha α
185
c h − ¬ n g 5
x¸c ®Þnh ®é t−¬ng ph¶n, thay ®æi rÊt râ tõ kh«ng (phÝa trªn khuyÕt tËt) ®Õn
gi¸ trÞ α = 2πgR (d−íi khuyÕt tËt). Tõ c«ng thøc nµy suy ra r»ng nÕu R b»ng
vect¬ lan truyÒn cña m¹ng (®Ó c¶ hai nöa tinh thÓ ®−îc quan niÖm nh− tinh
thÓ duy nhÊt), th× khuyÕt tËt kh«ng thÊy ®èi víi mäi ph¶n x¹ g, nh− thÕ α
thay ®æi ®¬n ®iÖu tõ kh«ng ®Õn gi¸ trÞ 2nπ, trong ®ã n lµ sè nguyªn.
NÕu R kh«ng coi lµ vect¬ lan truyÒn cña m¹ng th× cã thÓ gi¸ trÞ thµnh phÇn g
lµm cho tÝch g.R lµ sè nguyªn, do ®ã còng kh«ng thÊy ®−îc khuyÕt tËt trong
tr−êng hîp nµy. Thùc chÊt, nÕu gi¸ trÞ g.R rÊt gÇn sè nguyªn, khuyÕt tËt còng
kh«ng thÓ quan s¸t ®−îc. R.G.Booker vµ A. Howie ®· chøng minh ®−îc r»ng
trªn thùc tÕ ®iÒu ®ã sÏ x¶y ra khi g.R kh¸c sè nguyªn mét l−îng nhá h¬n
0,02.
V× gi¸ trÞ α chØ x¸c ®Þnh trong kho¶ng - π < α << π nªn ®Ó tÝnh t−¬ng ph¶n
nhiÔu x¹ chóng ta cã thÓ céng thªm vect¬ lan truyÒn m¹ng bÊt kú vµo R.
Song ®iÒu ®ã chØ ®óng trong tr−êng hîp khi kh¶o s¸t sù t−¬ng ph¶n tõ lÖch
m¹ng thµnh phÇn ë mÐp khuyÕt tËt. Trong thùc tÕ ta th−êng quan s¸t thÊy
nh÷ng khuyÕt tËt trong hÖ lËp ph−¬ng t©m mÆt. Chóng n»m trong mÆt ph¼ng
(111) vµ t¹o nªn hiÖn t−îng nµo ®ã, vÝ dô nh− sù xª dÞch song song víi mÆt
ph¼ng khuyÕt tËt hoÆc kÐo dµi hay co l¹i cña m¹ng theo ph−¬ng vu«ng gãc.
MÆc dï lÖch m¹ng thµnh phÇn trong çc tr−êng hîp kh¸c nhau kh«ng ph¶i lµ
gièng nhau song thùc tÕ cã thÓ chØ cã hai gi¸ trÞ R kh¸c nhau (víi ngô ý nh−
1
®· nãi trªn): ± [111]. Lo¹i thø nhÊt cã kh¶ n¨ng øng víi sù mÊt líp
3
nguyªn tö vµ dÉn ®Õn lµm sÝt l¹i gÇn cña líp tinh thÓ theo c¶ hai phÝa khuyÕt
tËt, lo¹i cßn l¹i lµ sù ph¸t sinh líp nguyªn tö phô lµm t¸ch rêi çc phÇn tinh
thÓ. Franc gäi hai lo¹i khuyÕt tËt nµy lµ khuyÕt tËt lo¹i trõ vµ khuyÕt tËt x©m
1
nhËp. KhuyÕt tËt thu ®−îc do sù dÞch chuyÓn víi vect¬ dÞch ± [ 1 1 2] chØ
6
1
kh¸c ± [111] mét vect¬ lan truyÒn m¹ng nªn cã thÓ ph©n lo¹i nã nh− lµ
3
khuyÕt tËt lo¹i trõ vµ x©m nhËp. Sù ph©n biÖt hai lo¹i khuyÕt tËt nµy lµ dùa
trªn c¬ së lý thuyÕt ®éng lùc häc. Song v× trong thuyÕt ®éng häc sù t−¬ng
ph¶n ®−îc kiÓm so¸t b»ng gãc α nªn nhiÒu hiÖu øng kh¸c cã thÓ ph©n tÝch
hiÖu qu¶ nhê lý thuyÕt ®éng häc.
1
§èi víi ph¶n x¹ g = h, k, l vµ khuyÕt tËt cã R = ± [111] ta t×m ®−îc
3
186
H×nh 5.10 KhuyÕt tËt xÕp c¾t mµng vµ g©y nªn sù dÞch chuyÓn cña mét
phÇn cét so víi phÇn kia.
2π
α =± (h + k + l ) = 2mπ (5.16)
3 3
ë ®©y m - sè nguyªn. Víi α = 2mπ, m lµ sè nguyªn khuyÕt tËt nh− ®· nãi
trªn lµ kh«ng thÓ thÊy ®−îc. Bëi vËy khuyÕt tËt ®−îc kh¶o s¸t sÏ kh«ng thÊy
ë ph¶n x¹ (220) vµ (3 1 1) . KhuyÕt tËt lu«n thÊy ë ph¶n x¹ bÊt kú kiÓu (200).
Sù ph©n bè c−êng ®é dÔ dµng t×m ra tõ ph−¬ng tr×nh (5.7). NÕu khuyÕt tËt
®−îc t×m ë chiÒu s©u t1 th× biªn ®é t¸n x¹ cña cét lµ
iπ ⎡ 1 ⎤
t t
φ g = ⎢ ∫ exp(− 2πisz )dz + ∫ exp(− iα ) exp(− 2πisz )dz ⎥ (5.17)
ξ g ⎢⎣ 0 t1 ⎥⎦
hay
exp(− πist1 )[sin πt1 s + exp(− iα ) exp(− πist )sin π (t − t1 )s ] (5.18)

i
φg =
ξgs
hoÆc lµ
⎛ iα ⎞
exp⎜ − ⎟ exp(− πist ) ×
i
φg =
ξgs ⎝ 2 ⎠
(5.19)
⎧ ⎛ α⎞ α ⎡ ⎛t ⎞⎤ ⎫
× ⎨sin ⎜ πts + ⎟ − sin exp ⎢2πis⎜ − t1 ⎟⎥ ⎬
⎩ ⎝ 2⎠ 2 ⎣ ⎝2 ⎠⎦ ⎭
Sù ph©n bè c−êng ®é ®−îc x¸c ®Þnh b»ng c«ng thøc
1 ⎡ 2⎛ α⎞ 2 α α ⎛ α⎞ ⎤
I= ⎢sin ⎜ πts + 2 ⎟ + sin 2 − 2 sin 2 sin ⎜ πts + 2 ⎟ cos 2πsz ⎥ (5.20)
(ξ g s )2 ⎣ ⎝ ⎠ ⎝ ⎠ ⎦
187
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.11 ¶nh hiÓn vi ®iÖn tö khuyÕt tËt xÕp trong thÐp.
trong ®ã z = (t/2) – t1 lµ kho¶ng çch tõ t©m mµng ®Õn khuyÕt tËt. Sù ph©n bè
nµy cã d¹ng d¶i cosin víi chu kú theo chiÒu s©u s-1, s¾p xÕp song song víi
®−êng c¾t khuyÕt tËt víi bÒ mÆt mµng. Trong sù gÇn ®óng nµy çc d¶i tõ
khuyÕt tËt gièng nh− d¶i chiÒu dµy trªn ph«ng ®ång nhÊt vµ phô thuéc vµo s,
t vµ α. ThÝ dô vÒ d¶i trªn ¶nh khuyÕt tËt xÕp ®−îc cho trong h×nh 5.11. Víi
sù t¨ng lªn cña s d¶i s¾p xÕp sÝt nhau cßn c−êng ®é th× gi¶m tû lÖ víi s2, ®iÒu
®ã cã thÓ suy ra tõ c«ng thøc c−êng ®é I. CÇn thÊy r»ng theo c«ng thøc nµy
d¶i trong ¶nh tr−êng s¸ng sÏ ®èi xøng qua t©m mµng (z = 0); còng nh− vËy
®èi víi ¶nh tr−êng tèi.
Sù t−¬ng ph¶n khuyÕt tËt còng cã thÓ gi¶i thÝch ®−îc b»ng biÓu ®å biªn ®é-
pha, h×nh 5.12. §èi víi tinh thÓ hoµn chØnh biÓu ®å biªn ®é-pha lµ ®−êng
trßn b¸n kÝnh lµ (2πs)-1; b−íc sãng dao ®éng trong tinh thÓ lµ s-1, ®iÒu ®ã øng
víi chu vi vßng trßn. Gi¶ sö r»ng ®Ønh cña cét lµ ®iÓm P, ®¸y lµ P' vµ O lµ
®iÓm gi÷a cét. T¹i ®iÓm Q mµ ë ®ã cét gÆp khuyÕt tËt, cã sù thay ®æi râ rÖt
vÒ pha lµ -1200. §¸y cét ë tinh thÓ lµ P'' chuyÓn sang vßng trßn thø hai.
Vect¬ PP" lµ biªn ®é trong tinh thÓ sai háng, nãi chung kh¸c víi biªn ®é PP'
trong tinh thÓ hoµn chØnh. Khi thay ®æi vÞ trÝ cét th× vÞ trÝ Q thay ®æi vµ v×
vËy P" còng thÕ, nghÜa lµ gi¸ trÞ PP" còng thay ®æi. §èi víi mét ®iÓm bÊt kú
trªn khuyÕt tËt, kh¸c nhau vÒ chiÒu s©u lµ s-1, Q chiÕm ®óng vÞ trÝ trªn vßng
188
H×nh 5.12 (a) Cét PP" chøa sai háng xÕp t¹i ®iÓm Q, (b) biÓu ®å biªn ®é-
pha cña nã. Gãc α = -1200. Biªn ®é tæng céng lµ vect¬ PP", biªn ®é cña
cét t−¬ng øng trong tinh thÓ hoµn chØnh lµ vect¬ PP'.
trßn ®Çu tiªn, vµ v× sù kh¸c nhau t−¬ng øng trong ®é dµi cét ë d−íi tinh thÓ
còng lµ s-1 nªn ®iÓm P" sÏ n»m ë vÞ trÝ trªn vßng trßn thø hai. §é t−¬ng ph¶n
ë hai ®iÓm nµy sÏ nh− nhau vµ ph¸t sinh lo¹t d¶i song song víi ®−êng c¾t
cña khuyÕt tËt víi bÒ mÆt. KhuyÕt tËt xÕp song song víi mÆt ph¼ng mµng sÏ
kh«ng cho d¶i, chóng sÏ cã vÎ hoÆc lµ tèi h¬n hoÆc lµ s¸ng h¬n ph«ng trßn,
phï hîp víi gi¸ trÞ t1, t, s vµ α trong c«ng thøc (5.20).
TÊt nhiªn, ngay c¶ víi cÊu tróc kh¸c khuyÕt tËt cã biªn giíi miÒn ng−îc pha,
thÝ dô, α = nπ vµ n - kh«ng nguyªn, còng ®−îc kh¶o s¸t d−íi d¹ng d¶i khuyÕt
tËt xÕp.
Sù t¸ch líp rÊt máng cã thÓ t¹o nªn sù dÞch chuyÓn hiÖu qu¶ cña phÇn tinh
thÓ nµy so víi phÇn tinh thÓ kia kh«ng b»ng vect¬ lan truyÒn m¹ng. Trong
tr−êng hîp nµy cã thÓ quan s¸t thÊy d¶i dÞch chuyÓn t−¬ng tù nh− d¶i
khuyÕt tËt xÕp. Sù t−¬ng ph¶n ®−îc quyÕt ®Þnh bëi vect¬ R mµ nã cã thÓ
vu«ng gãc víi tÊm, song ®−¬ng nhiªn d¶i dÞch chuyÓn sÏ lu«n song song víi
®−êng giao nhau cña mÆt ph¼ng tÊm víi bÒ mÆt mµng. Còng cÇn nhÊn m¹nh
r»ng tÊm ®−îc kh¶o s¸t víi gi¶ thiÕt rÊt lín. B¶n chÊt cña d¶i khuyÕt tËt xÕp
®−îc th¶o luËn thuËn tiÖn h¬n trªn c¬ së thuyÕt ®éng lùc häc, ë ®ã sÏ chØ râ
sù kh¸c nhau ®Æc biÖt nh− thÕ nµo gi÷a profin c−êng ®é cña d¶i khuyÕt tËt
xÕp vµ d¶i chiÒu dµy.
189
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.13 T−¬ng tù quang häc, m« t¶ ¶nh h−ëng cña lÖch cÊu tróc trong
m¹ng mét chiÒu lªn sù h×nh thµnh v©n moire: (a) v©n moire song song,
(b) v©n moire xoay.
5.1.4.3 V©n moire

V©n moire xuÊt hiÖn khi xÕp chång hai tinh thÓ cã th«ng sè hay ®Þnh h−íng
kh¸c nhau, h×nh 5.13.
Hai çch tö víi chu kú d1 ≠ d2 xÕp chång lªn nhau th× ta cã
d1d 2
D= (5.21)
d 2 − d1
lµ kho¶ng çch cã hai v¹ch trïng nhau.
Nh− vËy cã thÓ dïng ¶nh moire ®Ó kh¶o s¸t mÆt ph¼ng tinh thÓ, lÖch m¹ng,
v× r»ng khi xÕp chång lªn nhau ta cã thÓ quan s¸t thÊy v¹ch mµ ®Ó riªng
(d nhá) th× kh«ng thÊy.
Trong tr−êng hîp nµy t−¬ng ph¶n g©y nªn do gãc pha α - c«ng thøc (5.15):
α = -2πΔg.rs = -2π(Δggxg+Δgtxt)
®· tÝnh ®−îc theo ph−¬ng ph¸p nh− ®èi víi sai háng xÕp. Sö dông ph−¬ng
tr×nh (5.18) ta t×m ®−îc:
[ ]
⎧sin πt1 s + exp 2πi (Δg g x g + Δg t xt ) ×⎫
exp(− iπst1 )⎨
i
φg = ⎬ (5.22)
ξgs ⎩× exp(− iπst )sin π (t − t1 )s ⎭
190
H×nh 5.14 LÖch thÓ hiÖn trªn v©n moire song song h×nh thµnh do xÕp
chång hai líp Pd vµ Au.
Sù kh¸c nhau gi÷a çc biÓu thøc nµy lµ ë chç α lµ hµm cña xg vµ xt mµ trªn
thùc tÕ nã vu«ng gãc víi chïm ®iÖn tö. NÕu biªn giíi gi÷a hai tinh thÓ song
song víi mÆt ph¼ng mµng th× t1 lµ h»ng sè vµ v©n xuÊt hiÖn d−íi d¹ng d¶i
®−îc x¸c ®Þnh b»ng exp(-iα). NÕu hai tinh thÓ chØ kh¸c nhau vÒ th«ng sè th×
ta thu ®−îc mét lo¹t d¶i vu«ng gãc víi xg vµ v× thÕ còng vu«ng gãc víi g,
h¬n thÕ n÷a kho¶ng çch gi÷a çc d¶i ®−îc x¸c ®Þnh b»ng c«ng thøc:
1 1
Λ= = (5.23)
Δg g 1 / d1 − 1 / d 2
§èi víi hai tinh thÓ kh¸c nhau vÒ ®Þnh h−íng so víi chïm ®iÖn tö mét gãc η
th× ta cã
1 1 d
Λ= = = (5.24)
Δg t gη η
Trong tr−êng hîp nµy d¶i vu«ng gãc víi xt vµ bëi vËy song song víi g. ThÝ
dô vÒ øng dông v©n moire ®Ó ph¸t hiÖn sai háng ®−îc cho trong h×nh 5.14.
C−êng ®é cña v©n moire cã thÓ x¸c ®Þnh b»ng biÓu thøc
⎡sin 2 πt1 s + sin 2 π (t − t1 )s + ⎤
1 ⎢ ⎥
I= ⎛ st ⎞⎥ (5.25)
(ξ g s ) ⎢+ 2 sin πt1 s sin π (t − t1 )s cos 2π ⎜ Δg g x g + Δg t xt + 2 ⎟⎥
2 ⎢
⎣ ⎝ ⎠⎦
191
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.15 Tinh thÓ chøa lÖch m¹ng xo¾n AB ë ®é s©u y song song víi bÒ
mÆt mµng. Do cã lÖch m¹ng xo¾n cét CD trong tinh thÓ hoµn chØnh bÞ
biÕn d¹ng vµ trë thµnh d¹ng EF. Çc th«ng sè x, y, z vµ φ ®−îc chØ râ
trªn s¬ ®å.
Râ rµng nã phô thuéc vµo t, t1 vµ s. ThÝ dô, víi gi¸ trÞ t1s lµ nguyªn th× kh«ng
quan s¸t thÊy v©n. NÕu chiÒu dµy t hay ®¹i l−îng s thay ®æi víi sù thay ®æi xg
hay xt th× kho¶ng çch gi÷a çc v©n vµ ®é râ cña nã còng thay ®æi vµ chóng
cã thÓ ph¸t hiÖn ®−îc. NÕu biªn giíi kh«ng song song víi bÒ mÆt mµng, tøc
t1 kh«ng ph¶i h»ng sè th× v©n sÏ trë nªn phøc t¹p h¬n vµ do ®ã t1 lµ hµm cña
xg vµ xt. HiÖu øng nµy cã thÓ gÆp trªn h¹t lÉn tÝch tô hay phÇn h¹t lÉn mµ ë
®ã mÆt ph©n chia cã thÓ kh«ng song song víi mÆt ph¼ng mµng vµ tinh thÓ cã
thÓ kh¸c nhau vÒ th«ng sè m¹ng.
5.1.4.4 LÖch m¹ng
Trong tr−êng hîp nµy dÞch chuyÓn R, dÞch chuyÓn g©y nªn hiÖu øng t−¬ng
ph¶n quan träng nhÊt, lµ hµm kh«ng liªn tôc cña z. Sau ®©y ta xÐt lÖch m¹ng
xo¾n ®Ó lµm thÝ dô.
Tr−íc hÕt ta h·y kh¶o s¸t lÖch m¹ng xo¾n song song víi bÒ mÆt mµng tinh
thÓ, h×nh 5.15. §èi víi lÖch m¹ng nµy th×
φ b z−y
R=b = artg (5.26)
2π 2π x
192
H×nh 5.16 BiÓu ®å biªn ®é pha cña cét tinh thÓ gÇn lÖch m¹ng xo¾n (xem
h×nh 5.15). Biªn ®é cña chïm nhiÔu x¹ bëi cét EF trªn h×nh t¹o bëi ®−êng
c¾t PP', nèi P víi P', t−¬ng øng víi bÒ mÆt trªn vµ d−íi cu¶ tinh thÓ.
Kho¶ng çch P vµ P' b»ng chiÒu dµy tinh thÓ. Biªn ®é cña chïm nhiÔu x¹
theo mét phÝa tõ lÖch m¹ng (biÓu ®å (a)) lín h¬n so víi theo phÝa kia
(biÓu ®å (b)).
trong ®ã b lµ vect¬ Burgers; x, y, z nh− ®· chØ ra trong h×nh 5.15. V× vËy

z−y z−y
α = 2πgR = g.bartg = nartg (5.27)
x x
§èi víi lÖch m¹ng nguyªn n lµ sè nguyªn d−¬ng (+), ©m (-) hoÆc b»ng 0, nπ
lµ hiÖu pha cña sãng t¸n x¹ trùc tiÕp ë trªn vµ d−íi lÖch m¹ng. Trªn thùc tÕ
gi¸ trÞ quan träng nhÊt cña n lµ 0, 1, 2 vµ 3. Khi n = 0 lÖch m¹ng kh«ng quan
s¸t thÊy, ®iÒu kiÖn g.b = 0 nghÜa lµ b n»m trong mÆt ph¼ng ph¶n x¹ tøc mäi
sù dÞch chuyÓn song song víi mÆt ph¶n x¹. Nguyªn t¾c chung nhÊt nµy - sù
dÞch chuyÓn song song víi mÆt ph¼ng ph¶n x¹ kh«ng t¹o nªn t−¬ng ph¶n
(xem môc 5.1.4.1) cã thÓ ®−îc sö dông ®Ó x¸c ®Þnh vect¬ Burgers. ThÝ dô vÒ
øng dông nguyªn t¾c nµy ®èi víi lÖch m¹ng xo¾n ®−îc chØ ra trong
h×nh 5.14. Dùa vµo ph−¬ng tr×nh c¬ b¶n (5.7)
iπ
t
φg =
ξg ∫ exp(− 2πigR )exp(− 2πisz )dz
0
biªn ®é ë bÒ mÆt d−íi mµng biÓu thÞ d−íi d¹ng:
193
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.17 LÖch trong nh«m. T−¬ng ph¶n quan s¸t ®−îc tõ mét phÝa cña
lÖch m¹ng khi lÖch ®i qua ®−êng biªn t¾t.
iπ ⎡ z − y⎤
t
φg = ∫ exp⎢⎣− inarctg exp(− 2πisz )dz (5.28)
ξg 0
x ⎥⎦
§Ó thuËn tiÖn ta h·y kh¶o s¸t biÓu ®å biªn ®é-pha, ®ã chÝnh lµ c−êng ®é
trong ph−¬ng tr×nh (5.28). H×nh 5.16 (a) vµ (b) lµ biÓu ®å ®èi víi n = 1 vµ
2πsx = ± 1. Suy ra nhËn xÐt sau:
Víi ®Þnh h−íng tinh thÓ ®· cho, tøc gi¸ trÞ s ®· cho, th× gãc pha phô α theo
mét phÝa cña lÖch m¹ng bÞ trõ ®i 2πsz, h×nh 5.16 (a), vµ theo phÝa bªn kia lµ
céng thªm, h×nh 5.16 (b). §iÒu ®ã cã nghÜa lµ theo phÝa nµy cña lÖch m¹ng
tinh thÓ nh− lµ quay gÇn tíi vÞ trÝ ph¶n x¹, cßn phÝa kia t¸ch xa khái vÞ trÝ
ph¶n x¹. Bëi vËy t−¬ng ph¶n m¹nh chØ ë mét phÝa cña lÖch m¹ng, cßn phÝa
kh¸c ®−êng xo¾n èc cña biÓu ®å biªn ®é-pha më ra, h×nh 5.16 (a). ChÝnh kÕt
qu¶ nµy thu ®−îc b»ng çch sö dông ph−¬ng tr×nh (5.13):
∂R g ∂R g
s' = s + g +θB g
∂z ∂x g
Tõ ®ã thÊy r»ng lÖch xo¾n chøa ®é lÖch s b»ng
−1
n ∂φ n ⎛ (z − y ) ⎞
2
= ⎜1 + ⎟
2π ∂z 2πx ⎜⎝ x2 ⎟
⎠
194
H×nh 5.18 Sai háng do cã h¹t lÉn dÉn ®Õn sù uèn cong mÆt ph¼ng m¹ng ë
gÇn h¹t lÉn.
vµ nã ®æi dÊu theo sù ®æi dÊu cña x, tøc lµ khi chuyÓn tõ phÝa nµy cña lÖch
m¹ng sang phÝa kia. ¶nh lÖch m¹ng còng sÏ thay ®æi tõ phÝa nµy sang phÝa
kia khi ®i qua v©n t¾t, bëi v× s khi ®ã sÏ ®æi dÊu ng−îc l¹i.
H×nh 5.17 lµ mét thÝ dô vÒ lÖch trong nh«m nhËn ®−îc b»ng kÝnh hiÓn vi
®iÖn tö truyÒn qua.
5.1.4.5 H¹t lÉn
BiÕn d¹ng xung quanh tÝch tô cho ta hiÖu øng t−¬ng ph¶n ®Æc tr−ng ®−îc
nghiªn cøu trong lý thuyÕt ®éng häc vµ ®éng lùc häc. Lý thuyÕt ®éng lùc
häc dïng ®Ó gi¶i thÝch chi tiÕt çc hiÖu øng t−¬ng ph¶n, song nh÷ng kÕt qu¶
tèt còng cã thÓ thu nhËn ®−îc trªn c¬ së phÐp gÇn ®óng ®éng häc.
Ta h·y kh¶o s¸t h¹t lÉn h×nh cÇu trong m¹ng ®¼ng h−íng. Sù dÞch chuyÓn
h−íng t©m ®−îc biÓu thÞ:
εr02
R= , khi : r >> r0
r2 (5.29)
R = εr , khi : r << r0
trong ®ã ro lµ b¸n kÝnh h¹t lÉn, ε lµ th«ng sè biÓu thÞ c−êng ®é tr−êng biÕn
d¹ng. H×nh 5.18 lµ h×nh ¶nh sai háng cña mÆt ph¼ng m¹ng gÇn h¹t lÉn, sù
uèn cong mÆt ph¼ng m¹ng dÉn ®Õn t−¬ng ph¶n. Nh×n trùc tiÕp còng thÊy lµ
sÏ tån t¹i mét ®−êng kh«ng t−¬ng ph¶n xuyªn qua h¹t lÉn vu«ng gãc víi g,
195
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.19 H¹t lÉn γ-Al2O3 trong oxit Cu + 0,05% Al.
bëi v× mäi dÞch chuyÓn lµ ®¼ng h−íng. Minh häa cho hiÖu øng nµy ®−îc thÓ
hiÖn trong h×nh 5.19.
§Æc tr−ng dÞch chuyÓn cña h¹t lÉn kh¸c víi dÞch chuyÓn trªn lÖch m¹ng
xo¾n ë chç lµ ∂Rg/∂z cã dÊu ng−îc víi çc ®iÓm cña cét ë trªn vµ d−íi h¹t
lÉn, H×nh 5.18. Bëi vËy hiÖu øng t−¬ng ph¶n tõ h¹t lÉn ph¶i phô thuéc yÕu vµ
thùc tÕ th× t−¬ng ph¶n m¹nh quan s¸t ®−îc chØ trong tr−êng hîp khi tinh thÓ
n»m hÇu nh− ®óng ë vÞ trÝ ph¶n x¹ vµ ph¶i sö dông lý thuyÕt ë ®éng lùc häc
®Ó tÝnh to¸n.
Tuy nhiªn kÕt qu¶ cã thÓ nhËn ®−îc nÕu kh¶o s¸t ë ®iÒu kiÖn lµ h¹t nhá khi
sö dïng biÓu ®å biªn ®é-pha. §èi víi h¹t nhá hiÖu øng t−¬ng ph¶n cùc ®¹i
cã thÓ cã víi cét AB xuyªn qua gÇn bÒ mÆt h¹t, h×nh 5.18. Gãc pha α ®−îc
x¸c ®Þnh b»ng biÓu thøc
2πεgr04
α = 2πgR = (5.30)
(r
0
2
+ z2 )
3/ 2
ë ®©y r0 lµ b¸n kÝnh h¹t, cßn z thay ®æi tõ ®iÓm ë ®ã cét ch¹m víi h¹t. BiÓu
®å biªn ®é-pha ®èi víi phÇn trªn cét cña tinh thÓ hoµn chØnh chÝnh lµ vßng
trßn b¸n kÝnh (2πs)-1 (xem môc 5.1.2). NÕu r0 nhá so víi ®é dµi vßng trßn th×
cã thÓ coi α cã gi¸ trÞ cùc ®¹i 2πεgr0 víi kho¶ng çch z ≈ r0. ë ®iÒu kiÖn
196
H×nh 5.20 BiÓu ®å biªn ®é-pha cña cét AB, h×nh 5.18, gÇn h¹t lÉn. T©m
vßng trßn ®Çu vµ cuèi (c1 vµ c2) dÞch mét kho¶ng αr0 ≈ 2πεgr r02 .
nµy, vßng trßn t−¬ng øng víi phÇn d−íi cét sÏ dÞch ®i 2πεg r02 , h×nh 5.20.
§é thay ®æi t−¬ng ®èi cña biªn ®é ®¬n gi¶n lµ tû sè kho¶ng çch gi÷a hai
t©m cña vßng trßn vµ ®−êng kÝnh, tøc:
Δψ s 2πεgr02
~ = 2π 2 εgr02 s (5.31)
ψs (πs ) −1
hoÆc sù thay ®æi t−¬ng ®èi c−êng ®é ΔI/I ~ 4π2εg r02 s.

Nh− thÕ, râ rµng lµ ®Ó t¨ng ®é t−¬ng ph¶n s cÇn ph¶i lín, song c−êng ®é tù
nã thay ®æi tû lÖ víi (ξgs)-2, tøc gi¶m nhanh víi sù t¨ng s. Bëi vËy, sù quan
s¸t râ cã thÓ ®−îc x¸c ®Þnh bëi ®¹i l−îng ΔI, tøc th«ng sè 4π2εg r02 /(ξg2s), mµ
nã cã gi¸ trÞ lín nhÊt víi s nhá nhÊt. §iÒu ®ã cã nghÜa lµ sù thÊy râ nhÊt ph¶i
lµ trong ph¹m vi ®éng lùc häc, ë ®ã ®−êng kÝnh vßng trßn ®¹t gi¸ trÞ cùc ®¹i
lµ ξg/π (®¸ng lÏ lµ (πs)-1). Do vËy th«ng sè x¸c ®Þnh tÝnh râ rµng sÏ lµ
4π2εg r02 /ξg. TÝnh to¸n trong ph¹m vi lý thuyÕt ®éng lùc häc ®· kh¼ng ®Þnh
r»ng ®iÒu kiÖn râ cùc ®¹i cña h¹t nhá lµ
εgr02
≥ 10 − 2 . (5.32)
ξg
Do ®ã nÕu ξg t¨ng nhanh so víi g, th−êng nh− thÕ, th× tèt nhÊt lµ dïng ph¶n
x¹ bËc thÊp. KÕt luËn nµy lµ ®óng ®¾n nÕu viÖc kh¶o s¸t tiÕn hµnh trong lÜnh
197
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.21 BiÓu ®å biªn ®é-pha cho cét víi sù dÞch chuyÓn d¹ng h×nh sin
(b−íc sãng Λ). (a) 1/Λ << s, ®−êng xo¾n èc xo¾n l¹i víi nhau mµ kh«ng
cã sù dÞch chuyÓn. (b) 1/Λ >> s, gi¸ trÞ α d−¬ng vµ ©m ë møc ®é ®¸ng kÓ,
dÞch chuyÓn kh«ng lín. (c) 1/Λ ≈ s, dÞch chuyÓn cùc ®¹i (kh¶o s¸t chØ
trong mét chu kú dÞch chuyÓn h×nh sin).
vùc ®éng lùc häc. Song, ë ®iÒu kiÖn nµo ®ã còng cã thÓ lµm tèt h¬n ®é râ
b»ng çch t¨ng s vµ tiÕn hµnh quan s¸t trong tr−êng tèi ë thÕ t¨ng tèc thÊp.
5.1.4.6 Tiªu chuÈn ®¸nh gi¸ chung cho t−¬ng ph¶n cùc ®¹i
Ta h·y kh¶o s¸t tinh thÓ víi ®é dÞch chuyÓn d¹ng h×nh sin
R = a sin (2πz/Λ)
®èi víi çc nguyªn tö däc cét. Gãc pha ®−îc x¸c ®Þnh b»ng biÓu thøc
α = 2πg. a sin (2πz/Λ)
¶nh h−ëng cña sù dÞch chuyÓn ®Õn ®é t−¬ng ph¶n cã thÓ ®¸nh gi¸ khi kh¶o
s¸t biÓu ®å biªn ®é-pha. §èi víi tinh thÓ hoµn chØnh ®ã lµ h×nh trßn b¸n kÝnh
(2πs)-1. Cã ba tr−êng hîp sau:
a) NÕu 1/Λ << s th× sè vßng quay liªn tiÕp theo biÓu ®å biªn ®é pha cho sù
dÞch chuyÓn t©m hiÖu dông cña biÓu ®å lµ rÊt nhá, v× víi mçi vßng quay hiÖu
øng tõ gãc pha phô gi¶m, h×nh 5.21(a).
198
b) NÕu 1/Λ >> s th× vßng trßn bÞ thay ®æi bëi sù biÕn thiªn nhá cña b−íc
sãng, nh−ng sù dÞch chuyÓn tæng céng vÉn nhá, h×nh 5.20 vµ h×nh 5.21(b).
c) NÕu 1/Λ ≈ s th× gi¸ trÞ α lµ (+) còng nh− (-) sÏ dÉn ®Õn sù dÞch chuyÓn
t−¬ng hç gi÷a vßng trßn "®Çu tiªn" vµ vßng trßn "cuèi", h×nh 5.21(c).
Tõ ®ã cã thÓ dÉn ®Õn kÕt luËn r»ng ®é t−¬ng ph¶n cùc ®¹i sÏ nhËn ®−îc khi
1/Λ ≈ s. §èi víi hµm dÞch chuyÓn R kh«ng tuÇn hoµn th× R ph¶i ®Æc biÖt lín
khi 1/Λ ≈ s. VÝ dô, ®èi víi lÖch m¹ng sù dÞch chuyÓn däc theo cét trªn
kho¶ng çch x kÓ tõ t©m cña nã sÏ lín nhÊt ë khu vùc z ≈ 2x, nh− vËy t−¬ng
ph¶n lín nhÊt khi Λ ≈ 4x ≈ 1/s. Bëi vËy, cã thÓ suy ra r»ng ¶nh lÖch m¹ng
n»m ë kho¶ng çch x khi 4xs ≈ 1. L−u ý r»ng ®©y lµ ph−¬ng ph¸p rÊt ®¬n
gi¶n song chóng ®· ph¸c ho¹ mét nguyªn t¾c chung ®Ó x¸c ®Þnh t−¬ng ph¶n
cùc ®¹i.
§èi víi khu vùc biÕn d¹ng rÊt nhá nh− h¹t lÉn th× gi¸ trÞ hiÖu dông Λ cã thÓ
nhá, gi¸ trÞ th«ng th−êng s t¨ng m¹nh vµ c−êng ®é yÕu dÇn, bëi v× nã thay
®æi tû lÖ víi s-2. Trong tr−êng hîp nµy nªn sö dông c−êng ®é cùc ®¹i trong
ph¹m vi ®éng lùc häc mµ ë ®ã b¸n kÝnh vßng trßn lµ ξg/2π. Trong ph¹m vi
®éng lùc häc t−¬ng ph¶n lµ cùc ®¹i khi gi¸ trÞ hiÖu dông Λ cì b»ng ®é dµi t¾t
ξg. Víi Λ < ξg tèt h¬n c¶ lµ sö dông ph¶n x¹ bËc thÊp ®Ó gi¶m ξg, v× c−êng
®é thay ®æi theo g/ξg.
5.2 HiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua quÐt
Nh− ®· ®Ò cËp ®Õn trong ch−¬ng 4, th«ng tin quan träng trªn mÉu cã thÓ
nhËn ®−îc b»ng çch thu, víi ph−¬ng ph¸p thÝch hîp, çc lo¹i tÝn hiÖu ®iÖn
tö hoÆc sãng ®iÖn tõ kh¸c nhau ph¸t x¹ do t−¬ng t¸c gi÷a ®iÖn tö tíi vµ vËt
chÊt. Çc th«ng tin nhËn ®−îc nµy ®−îc cho trong b¶ng 4.1. KÝnh hiÓn vi
®iÖn tö truyÒn qua-TEM, kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt-SEM, thiÕt bÞ vi ph©n tÝch
b»ng mòi dß ®iÖn tö-EPMA (ch−¬ng 8), v.v... lµ nh÷ng thiÕt bÞ sö dông çc
th«ng tin ®· nãi ë trªn.
Mét tiÕn bé quan träng vÒ thiÕt bÞ quang ®iÖn tö lµ sù ph¸t triÓn h¬n 30 n¨m
qua cña kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua quÐt (Scanning Transmission
Electron Microscope-STEM). STEM lµ thÕ hÖ míi cña kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö
®−îc ph¸t triÓn b»ng çch thªm çc chøc n¨ng cña SEM cho TEM ph©n gi¶i
cao. Bëi vËy cã thÓ xem lo¹i hiÓn vi ®iÖn tö nµy cã hai phÇn: thø nhÊt lµ t¹o
199
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.22 HiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua quÐt: s¬ ®å thiÕt bÞ, chi tiÕt vÒ sóng
®iÖn tö ph¸t x¹ tr−êng vµ tæ hîp thÊu kÝnh tô thø nhÊt vµ thø hai.
¶nh vµ thø hai lµ çc ph−¬ng ph¸p ph©n tÝch ho¸ häc víi ®é ph©n gi¶i kh«ng
gian cao nhê phæ kÕ tia x t¸n s¾c n¨ng l−îng (sÏ ®−îc tr×nh bµy chi tiÕt trong
ch−¬ng 8).
H×nh 5.22 lµ s¬ ®å thiÕt bÞ STEM víi nguån ®iÖn tö ph¸t x¹ tr−êng ®Ó t¹o tia
cã ®é räi cao víi ®−êng kÝnh ~ 3 nm vµ dßng ~ 10-11 A. Buång mÉu ®−îc hót
ch©n kh«ng b»ng b¬m ion ®¹t tíi 10-6 Pa hoÆc cao h¬n. Dßng ®iÖn tö tíi
®etect¬ vµnh kh¨n sÏ ®iÒu biÕn c−êng ®é vµ tÝn hiÖu nµy cho ¶nh trªn hÖ chØ
thÞ ®−îc quÐt ®ång bé. H¬n thÕ n÷a cã thÓ nhËn ®−îc tÝn hiÖu tõ çc ®iÖn tö
cã n¨ng l−îng suy gi¶m còng nh− çc ®iÖn tö kh«ng mÊt n¨ng l−îng qua lç
vµnh kh¨n. §Ó t¹o ¶nh nguyªn tö riªng biÖt, ®etect¬ vµnh kh¨n cã thÓ ®−îc
®Æt ë chÕ ®é thu çc ®iÖn tö t¸n x¹ ®µn håi do va ch¹m víi h¹t nh©n ®Ó ph¸t
hiÖn vÞ trÝ nguyªn tö. H¬n thÕ, v× x¸c suÊt t¸n x¹ ®µn håi tØ lÖ víi nguyªn tö
sè, Z3/2, nªn tÝn hiÖu t¨ng ®èi víi nguyªn tö nÆng h¬n, do vËy cã thÓ nh×n
thÊy chóng trªn vËt chÊt cã nguyªn tö sè thÊp.
øng dông réng r·i nhÊt cña STEM lµ më réng chøc n¨ng cña TEM th«ng
th−êng bëi tÝnh linh ho¹t trong ho¹t ®éng cña nã. Tuy nhiªn, ®©y lµ thiÕt bÞ
qu¸ phøc t¹p vµ cÇn cã sù tho¶ hiÖp gi÷a çc yªu cÇu thiÕt kÕ ®Ó t¹o ¶nh
ph©n gi¶i tèt nhÊt, thùc hiÖn nhiÔu x¹ ®iÖn tö vµ ph©n tÝch nguyªn tè.
200
H×nh 5.23 ¶nh tr−êng s¸ng (a) vµ tr−êng tèi (b) cña tinh thÓ polyethylene
ë chÕ ®é STEM cho thÊy sù ph¸ huû bøc x¹ kh«ng ®¸ng kÓ víi v©n moire
râ rµng. ThÕ t¨ng tèc: 100 kV.
5.2.1 Çc ¶nh nhËn ®−îc b»ng STEM vµ ®Æc ®iÓm cña chóng
Nh− ®· tr×nh bµy ë trªn, nhiÒu th«ng tin nhËn ®−îc tõ çc lo¹i ¶nh kh¸c nhau
thu ®−îc b»ng STEM. D−íi ®©y sÏ giíi thiÖu nguyªn lý t¹o ¶nh kh¸c nhau
trªn STEM vµ çc ®Æc tr−ng cña chóng.
5.2.1.1 ¶nh hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua
Nh− ta ®· biÕt, ¶nh hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua (¶nh TEM) lµ ¶nh hiÓn vi ®iÖn
tö truyÒn qua th«ng th−êng nhËn ®−îc bëi mét hÖ thèng thÊu kÝnh t¹o ¶nh tõ
kÝnh vËt tíi kÝnh phãng. ¶nh nµy cã ®é ph©n gi¶i cao, cì 2 - 4 Å. T¹o ¶nh
tr−êng tèi ®é ph©n gi¶i cao ®−îc thùc hiÖn b»ng çch nghiªng chïm ®iÖn tö
tíi nhê hÖ thèng lÖch.
5.2.1.2 ¶nh hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua quÐt
¶nh SEM ®−îc t¹o thµnh tõ tÝn hiÖu ®iÖn tö truyÒn qua, ¶nh hiÓn vi ®iÖn tö
truyÒn qua quÐt (¶nh STEM) nµy cã çc ®Æc ®iÓm ®−îc so s¸nh víi ¶nh TEM
nh− sau:
Cã thÓ quan s¸t ®−îc mÉu dµy
Khi quan s¸t mÉu dµy, ®é ph©n gi¶i cña ¶nh TEM lµ kÐm do hiÖn t−îng s¾c
sai. §é s¾c sai ®−îc cho bëi:
ΔE
δ = C cα (5.33)
E0
201
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.24 So s¸nh ¶nh TEM vµ STEM cña khuyÕt tËt m¹ng trong cacbua
liªn kÕt. H×nh 5.24 (b) lµ ¶nh STEM cña diÖn tÝch ®−îc ®ãng khung trong
¶nh TEM ë h×nh 5.24 (a). ë chÕ ®é TEM, sù kh¸c nhau vÒ chiÒu dµy
mµng sÏ t¹o nªn t−¬ng ph¶n rÊt m¹nh lµm cho çc chi tiÕt cña mét sè
vïng kh«ng thÊy ®−îc. ë chÕ ®é STEM, qu¸ tr×nh t¹o ¶nh vµ kh¶ n¨ng
xuyªn th©u lµm t¨ng c−êng sù ®iÒu tiÕt nh− t−¬ng ph¶n m¹nh nªn cã thÓ
quan s¸t ®−îc ®ång thêi c¶ chç dµy vµ máng. ThÕ t¨ng tèc: 200 kV.
trong ®ã δ lµ b¸n kÝnh vßng trßn nhoµ do s¾c sai, Cc lµ hÖ sè s¾c sai, α lµ gãc
khÈu ®é cña kÝnh vËt, ΔE lµ ®é suy gi¶m n¨ng l−îng trong mÉu vµ E0 lµ n¨ng
l−îng ®iÖn tö tíi. Gi¸ trÞ nµy tØ lÖ víi ΔE/E0 khi Cc vµ α kh«ng ®æi. NghÜa lµ
s¾c sai δ gi¶m khi ®é suy gi¶m n¨ng l−îng ΔE trong mÉu gi¶m hoÆc n¨ng
l−îng ®iÖn tö tíi E0 t¨ng. §©y lµ lý do t¹i sao thÕ t¨ng tèc E0 ph¶i cao khi
quan s¸t mÉu dµy trong TEM. Nh− thÕ, kh«ng ph¶i quan t©m s¾c sai ë
tr−êng hîp STEM v× kh«ng cã hÖ thÊu kÝnh t¹o ¶nh sau mÉu. Bëi vËy STEM
cho phÐp quan s¸t mÉu dµy h¬n so víi TEM. Tuy nhiªn, ®é ph©n gi¶i lµ kÐm
®èi víi mÉu dµy do tia ®iÖn tö khuÕch t¸n trong mÉu vµ sè ®iÖn tö gi¶m khi
chiÒu dµy mÉu t¨ng.
Gi¶m h− háng mÉu do b¾n ph¸ bëi tia ®iÖn tö
Sè ®iÖn tö yªu cÇu ®Ó t¹o ¶nh víi ®é ph©n gi¶i nµo ®ã vµ tØ sè tÝn hiÖu-nhiÔu
lµ nh− nhau ®èi víi ¶nh TEM hoÆc STEM. Song, víi STEM, gãc khÈu ®é
cña ®etect¬ (t−¬ng øng víi gãc khÈu ®é cña kÝnh vËt trong TEM) cã thÓ lín
h¬n v× ¶nh STEM kh«ng bÞ ¶nh h−ëng bëi quang sai cña thÊu kÝnh t¹o ¶nh.
Vµ ®iÒu nµy cho phÐp liÒu l−îng chiÕu gi¶m. H¬n thÕ n÷a, l−îng chiÕu cßn
202
H×nh 5.25 ¶nh nhiÔu x¹ ®iÖn tö diÖn tÝch chän läc cña pyrophyllite
thu ®−îc b»ng STEM.
H×nh 5.26 ¶nh TEM (a), ¶nh ®iÖn tö thø cÊp (b) vµ phæ tia x cña xóc
t¸c Pt (c). Çc h¹t Pt ph©n t¸n trªn chÊt t¶i cacbon ho¹t tÝnh quan s¸t
®−îc lµ çc h¹t ®en trong ¶nh TEM vµ çc h¹t tr¾ng trong ¶nh ®iÖn tö
thø cÊp. Nhê ph−¬ng ph¸p ph©n tÝch trong STEM ®−êng kÝnh h¹t ®o
®−îc lµ ~ 400 Å, mét pic Pt m¹nh vµ râ quan s¸t thÊy trong phæ.
cã thÓ gi¶m b»ng çch sö dông tèc ®é quÐt nhanh hoÆc dßng chïm tia nhá
khi vËn hµnh nh− khi lùa chän tr−êng quan s¸t hay nghiªng mÉu.
ThÝ dô, ¶nh tr−êng s¸ng vµ tr−êng tèi STEM cña tinh thÓ polyethylene ®·
cho thÊy v©n moire râ rµng víi sai háng chiÕu x¹ kh«ng ®¸ng kÓ, h×nh 5.23.
Trong lÜnh vùc y sinh häc, ¶nh tr−êng tèi ë chÕ ®é STEM nhËn ®−îc quan
203
c h − ¬ n g 5
H×nh 5.27 TÝnh t−¬ng ho¸n gi÷a STEM vµ TEM.
t©m ®Æc biÖt cña çc nhµ hiÓn vi v× nã cho phÐp thu ®−îc ¶nh ®é t−¬ng ph¶n
cao víi l−îng chiÕu nhá. MÆc dï kü thuËt tr−êng tèi lîi thÕ vÒ ®é t−¬ng ph¶n
song TEM yªu cÇu l−îng chiÕu lín, do ®ã mÉu dÔ bÞ h− háng v× t−¬ng t¸c
cña ®iÖn tö víi mÉu lµm ion ho¸ m¹nh vµ ph¸ huû liªn kÕt ho¸ häc. Nguyªn
nh©n lµ v× kh«ng ®−îc phÐp sö dông gãc khÈu ®é kÝnh vËt lín do hiÖn t−îng
quang sai trong hÖ thÊu kÝnh t¹o ¶nh TEM.
T−¬ng ph¶n ¶nh cã thÓ ®−îc t¨ng c−êng vµ qu¸ tr×nh xö lý ¶nh ®−îc
thùc hiÖn b»ng ph−¬ng ph¸p ®iÖn
Víi TEM ®é t−¬ng ph¶n hÊp thô t¸n x¹ - mét trong çc ®é t−¬ng ph¶n t¹o
¶nh - ®−îc quyÕt ®Þnh bëi tÝch khèi l−îng vµ chiÒu dµy mÉu, thÕ t¨ng tèc vµ
gãc khÈu ®é cña kÝnh vËt. Vµ nã cã thÓ kh«ng thay ®æi ®−îc theo ý muèn.
Tuy nhiªn, víi STEM c−êng ®é ®iÖn tö truyÒn qua ph¸t x¹ tõ mÉu ®−îc quÐt
bëi tia ®iÖn tö ®−îc chØ thÞ nh− mét tÝn hiÖu theo thêi gian. Nh− vËy, tÝn hiÖu
hay ®é t−¬ng ph¶n cã thÓ ®−îc thay ®æi theo ph−¬ng ph¸p ®iÖn nhê thay ®æi
çc ®Æc tr−ng cña bé khuÕch ®¹i. Do vËy, çc mÉu t−¬ng ph¶n thÊp nh− mÉu
sinh häc cã thÓ quan s¸t ®−îc víi ®é t−¬ng ph¶n ®ñ cao vµ mÉu ®é t−¬ng
ph¶n qu¸ cao cã thÓ quan s¸t víi ®é t−¬ng ph¶n võa ®ñ, h×nh 5.24. T−¬ng tù
nh− vËy, ®é t−¬ng ph¶n ¶nh còng cã thÓ ®−îc ®iÒu chØnh b»ng çch ®iÒu
chØnh ®Æc tr−ng bé khuÕch ®¹i.
204
H×nh 5.28 S¬ ®å kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua quÐt ®−îc ghÐp nèi víi
phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng ®Ó ph©n tÝch ho¸ häc ph©n gi¶i cao. BE - ®iÖn
tö t¸n x¹ ng−îc, SE - ®iÖn tö thø cÊp, ASID - bé quÐt ph©n gi¶i cao.
FEG - sóng ph¸t x¹ tr−êng.
Cã thÓ nãi r»ng tÊt c¶ kiÓu ¶nh nhËn ®−îc b»ng TEM ®Òu quan s¸t ®−îc
b»ng STEM nh− thÝ dô trong çc h×nh 5.25 vµ 5.26. Khi so s¸nh hÖ quang
cña TEM vµ STEM cã thÓ thÊy hÖ quang cña STEM lµ hÖ quang cña TEM
®¶o ng−îc do tÝnh t−¬ng ho¸n gi÷a TEM vµ STEM, h×nh 5.27. Bëi vËy chóng
®Òu cho ¶nh ph©n gi¶i cao. Kh¶ n¨ng ph©n gi¶i cña c¶ TEM vµ STEM ®−îc
x¸c ®Þnh bëi hÖ sè cÇu sai cña kÝnh vËt.
5.2.2 HiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua ph©n tÝch

STEM ®· t¹o c¬ së cho tiÕn bé ®¸ng kÓ trong øng dông cña kü thuËt quang
häc ®iÖn tö bëi lÏ STEM héi ®ñ çc ®iÒu kiÖn vi ph©n tÝch ho¸ häc ph©n gi¶i
kh«ng gian cao cho çc ®Æc tr−ng cÊu tróc cña vËt liÖu. B»ng çch ghÐp nèi
mét phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng víi STEM, h×nh 5.28, çc thµnh phÇn ®Þa
ph−¬ng trong mÉu cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc tíi ®é ph©n gi¶i cña ¶nh truyÒn qua.
205
c h − ¬ n g 5
§iÒu ®ã cã thÓ thùc hiÖn ®−îc do STEM cã kh¶ n¨ng t¹o ®−îc chïm ®iÖn tö
®−êng kÝnh < 10 nm víi c−êng ®é lín. §−¬ng nhiªn STEM ph©n tÝch kiÓu
nµy lµ rÊt phøc t¹p song còng cã thÓ thùc hiÖn ®−îc nhê çc tiÕn bé trong
c«ng nghÖ. STEM tiªu biÓu víi nguån ph¸t x¹ tr−êng ë ®iÖn ¸p th«ng th−êng
100 kV lµ thiÕt bÞ ®¹t ®−îc ph©n tÝch ho¸ häc ph©n gi¶i kh«ng gian tèt nhÊt.
T−¬ng tù thiÕt bÞ vi ph©n tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö, STEM ph©n tÝch còng cã
hÖ thèng m¸y tÝnh ®Ó ®iÒu khiÓn kÝnh hiÓn vi vµ hÖ ph©n tÝch råi cho ngay sè
liÖu kÕt qu¶ theo yªu cÇu.
Nãi chung, øng dông cña ph©n tÝch ho¸ häc ®é ph©n gi¶i kh«ng gian cao lµ
trùc tiÕp cho th«ng tin tõ mét ®iÓm cùc nhá trong vi cÊu tróc cña vËt liÖu.
§iÓm nµy th−êng nhá h¬n ®−êng kÝnh tia ®iÖn tö ®−îc sö dông cho phÐp ®o.
ThÝ dô, øng dông ®Ó x¸c ®Þnh thµnh phÇn pha thø hai hoÆc thiÕt lËp ph©n bè
chÊt kÕt tña ®Þa ph−¬ng trong biªn h¹t hoÆc biªn giíi gi÷a çc pha. Tuy
nhiªn, ë mçi tr−êng hîp trªn v× chÊt kÕt tña pha thø hai rÊt nhá, thay ®æi
thµnh phÇn kh«ng ®¸ng kÓ hoÆc biªn giíi chØ cì kho¶ng çch ®¬n líp hoÆc
vµi nguyªn tö nªn ®é ph©n gi¶i kh«ng gian kh«ng ®ñ ®Ó cã thÓ ®o trùc tiÕp
nång ®é tuyÖt ®èi. Do ®ã çc m« h×nh sö dông quy tr×nh ph©n tÝch furier ®·
®−îc ph¸t triÓn vµ kÕt hîp víi m¸y tÝnh nhá ®· cho phÐp x¸c ®Þnh ®−îc çc
thµnh phÇn thùc sù tõ çc gi¸ trÞ ®o ®−îc.
206
c h − ¬ n g 6
Ch−¬ng 6
HiÓn vi ®Çu dß quÐt
Young vµ céng sù (1972) lµ nhãm nghiªn cøu ®Çu tiªn sö dông thiÕt bÞ
kh«ng tiÕp xóc topografiner ®Ó ®o ®Þa h×nh vi m« cña bÒ mÆt kim lo¹i. Tuy
nhiªn, v× sù chèng rung cho hÖ kÐm nªn hä chØ nhËn ®−îc çc ¶nh víi ®é
ph©n gi¶i thÊp mµ kh«ng t¹o ®−îc ¶nh ë chÕ ®é tunnel.
B»ng sù nghiªn cøu t−¬ng tù Young vµ céng sù song víi hÖ thèng chèng
rung tinh vi h¬n Binnig vµ Rohrer (1982) ®· chÕ t¹o ®−îc kÝnh hiÓn vi tunnel
(Scanning Tunneling Microscope-STM) vµ nhËn ®−îc çc bøc ¶nh ®Çu tiªn
víi ®é ph©n gi¶i nguyªn tö vÒ cÊu tróc bÒ mÆt cña Si(111), Au(110), ... KÓ tõ
®ã, STM ®· cã nhiÒu øng dông trong khoa häc vµ c«ng nghÖ. STM cã kh¶
n¨ng x¸c ®Þnh ®Þa h×nh, tÝnh dÉn ®iÖn, cÊu tróc ®iÖn tö vµ cÊu tróc nguyªn tö
bÒ mÆt. STM ®· trë thµnh c«ng cô ®¾c lùc cho phæ häc, ®o l−êng häc vµ
quang kh¾c nano. TiÕc r»ng nh÷ng mÉu kh«ng dÉn ®iÖn th× kh«ng thÓ cho
¶nh bëi hiÓn vi tunnel. Tuy nhiªn rÊt nhiÒu kÝnh hiÓn vi quÐt kh¸c ®· ®−îc
t¹o ra tõ c«ng nghÖ STM. Çc lo¹i kÝnh hiÓn vi trªn ®©y cã mét tªn gäi
chung lµ kÝnh hiÓn vi ®Çu dß quÐt (Scanning Probe Microscope-SPM). Trong
sè çc thiÕt bÞ nµy, kÝnh hiÓn vi lùc quÐt (Scanning Force Microscope -SFM)
lµ mét trong nh÷ng thiÕt bÞ quan träng. Kh¸i qu¸t vÒ c«ng nghÖ STM, SFM
vµ mét sè øng dông cña chóng sÏ ®−îc tr×nh bµy trong ch−¬ng nµy.
6.1 HiÓn vi tunnel
6.1.1 Lý thuyÕt
KÝnh hiÓn vi tunnel dùa trªn nguyªn lý cña hiÖn t−îng xuyªn hÇm (tunnel)
l−îng tö cña çc ®iÖn tö gi÷a hai cùc ®iÖn cã ®iÖn tr−êng ®Æt vµo. Mét trong
hai cùc ®iÖn lµ mÉu ®øng yªn cßn cùc kia lµ mòi dß (tip) ®−îc quÐt trªn mÉu
207
h i Ó n v i ® Ç u d ß q u Ð t
H×nh 6.1 (a) S¬ ®å STM. §−êng quÐt (nÐt ®øt) cña tip phÝa trªn mÉu cã thÓ
t¹o nªn ®−êng viÒn bÒ mÆt ë møc ®é nguyªn tö. (b) ¶nh STM ba chiÒu cho
thÊy râ tõng nguyªn tö cacbon trªn bÒ mÆt graphit háa ph©n ®Þnh h−íng cao.
(hoÆc ng−îc l¹i). Tip ®−îc g¾n trªn gèm ¸p ®iÖn vµ cã thÓ dÞch chuyÓn theo
ba ph−¬ng x, y vµ z khi cã ®iÖn tr−êng ®Æt lªn gèm, h×nh 6.1. Mòi dß ®−îc
®Æt s¸t bÒ mÆt mÉu dÉn ®iÖn tíi møc xuÊt hiÖn dßng ®iÖn tö tunnel gi÷a mòi
dß vµ mÉu. Dßng tunnel nµy phô thuéc chñ yÕu vµo kho¶ng çch tip-mÉu vµ
cÊu tróc ®iÖn tö cña mÉu ë d−íi ®Çu dß. Nh− vËy ®èi víi mÉu dÉn ®iÖn cã
cÊu tróc ®iÖn tö vµ mËt ®é tr¹ng th¸i ®ång ®Òu, khi cho ®Çu dß quÐt trªn mét
diÖn tÝch nhá bÒ mÆt theo hai ph−¬ng x, y vµ thu dßng tunnel I ë tõng vÞ trÝ
th× tËp hîp çc gi¸ trÞ x, y vµ I sÏ t¹o nªn ¶nh ®Þa h×nh bÒ mÆt - n¬i nh« cao
øng víi dßng tunnel lín, ®iÓm ¶nh cã c−êng ®é s¸ng m¹nh, ng−îc l¹i chç
lâm xuèng th× dßng tunnel nhá, ®iÓm ¶nh cã c−êng ®é s¸ng yÕu. Trong
tr−êng hîp mÉu rÊt ph¼ng, cã thÓ xem nh− kho¶ng çch tip-mÉu kh«ng ®æi
trong khi quÐt, th× c−êng ®é dßng tunnel sÏ liªn quan ®Õn sù thay ®æi cÊu
tróc ®iÖn tö, mËt ®é tr¹ng th¸i cña mÉu. Nãi çch kh¸c dßng tunnel lµ mét
hµm cña vÞ trÝ ph¶n ¸nh cÊu tróc ®iÖn tö vµ cÊu tróc nguyªn tö bÒ mÆt. STM
cã ®é ph©n gi¶i ngang lµ 0,1nm, ®é ph©n gi¶i ®øng lµ 0,01 nm vµ v× vËy, cã
thÓ thÊy râ tõng nguyªn tö riªng biÖt, h×nh 6.1 (b).
Dßng tunnel phô thuéc vµo sù phñ cña hµm sãng tip vµ mÉu. Khi mòi dß ®Æt
rÊt s¸t (0,5-1 nm) bÒ mÆt mÉu hµm sãng ®iÖn tö cña tip vµ mÉu phñ nhau dÉn
®Õn kh¶ n¨ng çc ®iÖn tö cã thÓ tõ bÒ mÆt v−ît qua rµo thÕ tíi tip hoÆc ng−îc
l¹i tuú thuéc vµo thÕ ®Æt gi÷a tip vµ bÒ mÆt. Nh− thÕ, hiÖn t−îng xuyªn hÇm
208
c h − ¬ n g 6
®iÖn tö ®· x¶y ra dùa trªn c¬ së nµy. Dßng tunnel phô thuéc vµo kho¶ng
çch tip-mÉu d, chiÒu cao rµo thÕ tunnel φ gi÷a tip vµ bÒ mÆt vµ thÕ Vi gi÷a
bÒ mÆt vµ tip ®−îc x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc
(
I = (Vi / d ) exp − Cdφ 1 / 2 ) (6.1)
trong ®ã C = 10,25 (eV)-1/2 nm-1. Gi¸ trÞ Vi th−êng vµo cì vµi milivon ®Õn vµi
von, c«ng tho¸t φ cì vµi eV vµ d = 0,5 nm, khi Êy cã thÓ thu ®−îc dßng
kho¶ng vµi nanoampe. §Ó cã ®é ph©n gi¶i theo chiÒu ®øng 0,01 nm th× dßng
tunnel ph¶i gi÷ kh«ng ®æi ë møc 20%.
6.1.2 ThiÕt bÞ
6.1.2.1 HÖ c¬ khÝ
Tiªu chuÈn thiÕt kÕ cho STM lµ ®é ®iÒu chØnh vÞ trÝ tip-mÉu ph¶i tèt h¬n ®é
ph©n gi¶i yªu cÇu. §Ó cã ¶nh víi ®é ph©n gi¶i nguyªn tö th× vÞ trÝ tip ph¶i
ph©n gi¶i ®−îc ë møc 0,1 Å theo chiÒu ®øng vµ 1 Å theo chiÒu ngang. Thang
®o ®éng yªu cÇu ®Ó t¹o ¶nh ph©n gi¶i nguyªn tö lµ vµi ngµn angstrom theo
th−íng x, y vµ z. Mét hÖ c¬ häc víi ®é chÝnh x¸c cao còng ®−îc thiÕt kÕ cho
viÖc ®Þnh vÞ th« vµ tinh cña mòi dß trªn mÉu.
Yªu cÇu quÐt ®−îc tho¶ m·n b»ng viÖc sö dông gèm ¸p ®iÖn. Gèm ¸p ®iÖn
cã kh¶ n¨ng ®iÒu chØnh vÞ trÝ xuèng tíi 0,01 Å hoÆc tèt h¬n ë thang ®o ®éng
vµi μm. Tip ®−îc g¾n vµo gèm ¸p ®iÖn h×nh èng ®¬n gi¶n. Cùc ra cña èng
®−îc chia thµnh bèn phÇn t−¬ng ®−¬ng song song víi çc trôc èng, h×nh 6.2.
ViÖc quÐt ®−îc thùc hiÖn b»ng çch ®Æt ®iÖn ¸p Vx vµ -Vx vµo hai cùc vÞ trÝ
theo ph−¬ng x, Vy vµ -Vy vµo hai cùc vÞ trÝ cßn l¹i. §iÖn ¸p ®Æt lªn cùc trong
®−îc sö dông ®Ó dÞch chuyÓn theo h−íng z. Khi ®iÖn ¸p ®Æt vµo gèm t¨ng
lªn th× hÖ sè khuÕch ®¹i còng t¨ng theo.
§Ó thu ®−îc ¶nh víi chÊt l−îng cao ng−êi ta sö dông mét c¶m biÕn vÞ trÝ
quang häc hai trôc ®¬n gi¶n ®Ó ®o vÞ trÝ x vµ y cña bé quÐt ¸p ®iÖn trô. C¶m
biÕn ®−îc sö dông ®Ó xö lý ¶nh vµ hiÖu chØnh quÐt thêi gian thùc th«ng qua
bé ®iÒu khiÓn ph¶n håi. Trong hiÖu chØnh quÐt thêi gian thùc, c¶m biÕn cã
nhiÖm vô ®Þnh vÞ chÝnh x¸c bé quÐt ¸p ®iÖn cho tõng ®iÓm sè liÖu. B»ng
çch sö dông hÖ thèng hiÖu chØnh quÐt quang häc nµy cã thÓ lµm gi¶m ®é
mÐo quÐt bËc hai vµ tuyÕn tÝnh xuèng nhá h¬n 2% kÝch th−íc ¶nh.
Mét yÕu tè kh¸c cã ¶nh h−ëng ®Õn kh¶ n¨ng cña STM lµ tÇn sè céng h−ëng
cña gèm ¸p ®iÖn. TÇn sè céng h−ëng x¸c ®Þnh tèc ®é quÐt cña kÝnh hiÓn vi
209
H×nh 6.2 S¬ ®å m« t¶ gèm trô ®−îc sö dông ®Ó quÐt theo h−íng x, y vµ z.
vµ ®é bÒn v÷ng chèng rung cña nã. ë ®©y cÇn mét sù tho¶ hiÖp gi÷a kho¶ng
chuyÓn ®éng vµ tÇn sè céng h−ëng, bëi lÏ sù thay ®æi tÇn sè céng h−ëng sÏ
dÉn ®Õn thay ®æi ®é dÞch chuyÓn cña gèm. Ngoµi ra, mét sù gia t¨ng bÊt kú
nµo vÒ khèi l−îng cña trô gèm ®Òu sÏ lµm gi¶m tÇn sè céng h−ëng.
6.1.2.2 Çch tiÕp cËn tip víi bÒ mÆt mÉu
Mét hÖ c¬ häc tiÕp cËn th« ®−îc sö dông ®Ó n©ng tip kho¶ng vµi milimet
trong thang ®o cña gèm ¸p ®iÖn. ViÖc thùc hiÖn tiÕp cËn tip víi bÒ mÆt mÉu
cã thÓ tiÕn hµnh trong ch©n kh«ng vµ kh«ng khÝ. Mét trong çc çch tiÕp cËn
®−îc ¸p dông kh¸ phæ biÕn lµ c¬ chÕ tiÕp cËn qu¸n tÝnh. Trong thiÕt kÕ nµy
ng−êi ta sö dông hai trô ¸p ®iÖn ®ång t©m. Trô trong ®−îc sö dông ®Ó quÐt
tip trªn mÉu. Trô ngoµi ®−îc sö dông ®Ó chuyÓn ®æi qu¸n tÝnh cña mÉu sang
thang ®o tunnel. MÉu ®−îc ®Æt trªn thanh ray g¾n vµo trô gèm ¸p ®iÖn ngoµi.
Ngoµi ra çc bé phËn c¬ khÝ nh− m« t¬ b−íc vµ trôc vÝt ®−îc sö dông cho
tiÕp cËn th«.
6.1.2.3 Chèng rung
Biªn ®é dao ®éng cña tip vµ mÉu ph¶i nhá h¬n ®é ph©n gi¶i yªu cÇu cña thiÕt
bÞ. §iÒu nµy cã thÓ ®¹t ®−îc bëi kÕt cÊu v÷ng ch¾c cña STM vµ hÖ thèng
chèng rung tõ bªn ngoµi g©y nªn chuyÓn ®éng t−¬ng ®èi gi÷a tip vµ mÉu.
Nguån dao ®éng ¶nh h−ëng ®Õn STM lµ rung ®éng cña toµ nhµ, çc dao
®éng sinh ra do sù ®i l¹i cña con ng−êi vµ dao ®éng ©m thanh. Rung ®éng
cña toµ nhµ cã tÇn sè kho¶ng 10-100 Hz víi biªn ®é cì vµi tr¨m angstrom
210
c h − ¬ n g 6
øng víi thµnh phÇn tÇn sè cao vµ vµi ngµn angstrom øng víi thµnh phÇn tÇn
sè thÊp. Dao ®éng nµy ®−îc sinh ra bëi çc thiÕt bÞ ho¹t ®éng cã phæ dao
®éng tõ 15-20 Hz víi biªn ®é trong kho¶ng tõ 1000 Å ®Õn 5000 Å.
Çc nguån kÝch thÝch kh¸c lµ çc dao ®éng kh«ng quy luËt ®−îc sinh ra bëi
sù di chuyÓn cña con ng−êi t¹o nªn tÇn sè tõ 1 ®Õn 3 Hz. Biªn ®é cña çc
dao ®éng nµy t−¬ng tù nh− biªn ®é lín nhÊt cña dao ®éng toµ nhµ. ThiÕt bÞ
STM còng nh¹y c¶m víi dao ®éng ©m thanh. Cã thÓ h¹n chÕ çc dao ®éng
©m thanh nµy b»ng çch ®Æt thiÕt bÞ trong buång çch ©m.
§Ó t¹o ¶nh nguyªn tö, biªn ®é cña çc dao ®éng kh«ng mong muèn trªn ®©y
ph¶i nhá h¬n 0,1 Å. Mét sè ph−¬ng ph¸p h÷u hiÖu cho hÖ chèng rung thô
®éng ®−îc sö dông cho STM. Khi STM ho¹t ®éng trong kh«ng khÝ, kh«ng
yªu cÇu ®é ph©n gi¶i cao th× STM ®−îc ®Æt trªn mét khèi lín treo b»ng d©y
®µn håi - mét hÖ chèng rung ®¬n gi¶n vµ rÎ tiÒn. TÇn sè céng h−ëng cña hÖ
nµy cã gi¸ trÞ cì 1 Hz. §èi víi STM ho¹t ®éng trong ch©n kh«ng, hÖ thèng
chèng rung ph¶i tho¶ m·n yªu cÇu ch©n kh«ng siªu cao, khi Êy cÇn sö dông
hÖ thèng chèng rung ®Æc biÖt.
6.1.2.4 HÖ ®iÖn tö
§Ó gi÷ tip trong kho¶ng çch tunnel cña bÒ mÆt ng−êi ta sö dông bé ph¶n
håi. S¬ ®å ®iÖn tö cho STM ®−îc tr×nh bµy trong h×nh 6.3. Dßng tunnel gi÷a
tip vµ mÉu ®−îc chuyÓn ®æi thµnh ®iÖn ¸p nhê m¹ch thu dßng. §iÖn ¸p nµy
®−îc so s¸nh víi gi¸ trÞ chuÈn ®Ó t¹o nªn tÝn hiÖu vi sai. Mét bé tÝch ph©n
lµm nhiÖm vô chuyÓn ®æi tÝn hiÖu vi sai nµy thµnh ®iÖn ¸p ra ®Ó ®iÒu chØnh
vÞ trÝ gèm ¸p ®iÖn theo h−íng z. Khi Êy dßng tunnel ®−îc lÊy lµm chuÈn vµ
m¹ch ph¶n håi ®−îc lÆp l¹i. §iÖn ¸p göi tíi gèm ¸p ®iÖn z ®ång thêi ®−îc
l−u gi÷ nh− mét hµm cña vÞ trÝ x vµ y ®Ó t¹o ¶nh ®Þa h×nh bÒ mÆt.
§iÒu khiÓn ph¶n håi, quÐt x vµ y, thu sè liÖu vµ xö lý ¶nh ®−îc thùc hiÖn
b»ng m¸y tÝnh nhê bé xö lý tÝn hiÖu sè. §iÒu ®ã ®· lµm gi¶m râ rÖt ®é phøc
t¹p cña m¹ch ®iÖn. HÖ thèng thu vµ ph©n tÝch sè liÖu cã thÓ thÊy ®−îc trong
s¬ ®å ®iÖn tö ë h×nh 6.3.
6.1.2.5 §Çu dß STM
Mòi dß (tip) lµ thµnh phÇn then chèt cña STM. Mòi dß quyÕt ®Þnh ®é ph©n
gi¶i vµ tÝnh lÆp l¹i cña kÕt qu¶. §é ph©n gi¶i ¶nh thu ®−îc phô thuéc vµo b¸n
kÝnh cong vµ h×nh d¹ng cña tip. §èi víi bÒ mÆt mÉu ph¼ng ë møc ®é nguyªn
tö th× chØ çc nguyªn tö ë ®Ønh tip lµ quan träng. Víi phÐp ®o ®Þa h×nh, ¶nh
nhËn ®−îc lµ nhê ®é s¾c nhän cña tip vµ ®Þa h×nh bÒ mÆt.
211
H×nh 6.3 S¬ ®å ®iÖn tö STM. Bé vi xö lý vµ xö lý tÝn hiÖu sè ®iÒu khiÓn quÐt,

ph¶n håi, thu sè liÖu vµ xö lý ¶nh.
¶nh cã thÓ kh«ng bÞ ¶nh h−ëng bëi d¹ng h×nh häc cña tip vµ vÉn ph¶n ¸nh
®−îc ®Þa h×nh bÒ mÆt víi ®é chÝnh x¸c cao. Nh−ng khã cã thÓ lµm ®−îc ®iÒu
®ã v× d¹ng h×nh häc cña tip kh«ng lÆp l¹i sau qu¸ tr×nh lµm viÖc vµ hÇu nh−
kh«ng thÓ ®o ®−îc ë thang ®o qu¸ nhá. Bëi vËy ph¶i sö dông tip víi tØ sè mÆt
cao vµ b¸n kÝnh nhá ®Ó gi¶m thiÓu çc ¶nh h−ëng nh©n chËp tÝn hiÖu do h×nh
häc cña tip.
Tip STM th−êng ®−îc chÕ t¹o b»ng d©y vonfram hoÆc platin-iri®i. Vonfram
lµ vËt liÖu bÒn ch¾c vÒ c¬ häc song dÇn dÇn bÞ oxy ho¸. Pt/Ir kÐm bÒn ch¾c
song nã tr¬ trong kh«ng khÝ vµ trong dung m«i. Çc ph−¬ng ph¸p th«ng
dông ®Ó chÕ t¹o tip lµ c¾t c¬ häc, mµi bãng vµ tÈm thùc ®iÖn ho¸. B¸n kÝnh
cña tip th−êng cã thÓ ®¹t ®−îc gi¸ trÞ < 1000 Å.
6.1.2.6 Çc chÕ ®é ho¹t ®éng
STM cã thÓ ho¹t ®éng theo hai chÕ ®é kh¸c nhau: dßng kh«ng ®æi vµ ®é cao
kh«ng ®æi. ë chÕ ®é dßng kh«ng ®æi, dßng tip-mÉu ®−îc gi÷ kh«ng ®æi
th«ng qua hÖ thèng ®iÒu khiÓn ph¶n håi. Trong çch ho¹t ®éng nµy, tip dÞch
chuyÓn theo h−íng x, y vµ z tu©n theo ®Þa h×nh bÒ mÆt vµ ®é thay ®æi theo
chiÒu cao Δz ®−îc sö dông ®Ó t¹o ¶nh ®Þa h×nh. ChÕ ®é dßng kh«ng ®æi ®−îc
sö dông nhiÒu cho kÝch th−íc quÐt lín h¬n 100 Å ®Ó ®o ®Þa h×nh bÒ mÆt.
212
c h − ¬ n g 6
H×nh 6.4 ¶nh tõng nguyªn tö silic (Si) lµ mét thÝ dô thuyÕt phôc hoµn toµn vÒ
®é ph©n gi¶i nguyªn tö t¹o ®−îc trong STM.
ë chÕ ®é chiÒu cao kh«ng ®æi, m¹ch ph¶n håi më vµ vÞ trÝ z cña tip gi÷
kh«ng ®æi. Dßng tip-mÉu nhËn ®−îc nhê hÖ thèng thu trong khi tip quÐt trªn
bÒ mÆt. Trong tr−êng hîp nµy ®é biÕn thiªn dßng ΔI sÏ ph¶n ¸nh ®Þa h×nh bÒ
mÆt mÉu. V× tip chØ çch bÒ mÆt chõng vµi angstrom do vËy chÕ ®é nµy ®−îc
sö dông cho m¹ch quÐt nhá h¬n 100 Å trªn bÒ mÆt ph¼ng. Trong thùc tÕ, sù
dÞch chuyÓn z cña tip cã thÓ ®−îc phÐp thay ®æi chËm b»ng çch sö dông hÖ
thèng ph¶n håi víi hÖ sè khuÕch ®¹i m¹ch rÊt thÊp vµ ®iÒu nµy cho phÐp
hiÖu chØnh sù tr«i nhiÖt vµ nghiªng mÉu.
6.1.3 øng dông cña STM

6.1.3.1 §Þnh h−íng nguyªn tö
Trong c«ng bè ban ®Çu vÒ ¶nh ®é ph©n gi¶i nguyªn tö cña Si(111), h×nh 6.4,
STM ®−îc øng dông nh− mét ®Çu dß trong khoa häc bÒ mÆt ®Ó nghiªn cøu
tÝnh chÊt bÒ mÆt cña hµng lo¹t vËt liÖu nh− cÊu tróc nguyªn tö cña
GaAs(110), dùng l¹i cÊu tróc bÒ mÆt Ge-Si(111), Si(100), platin, germani vµ
biªn giíi pha.
STM còng ®−îc sö dông ®Ó nghiªn cøu sù hÊp phô nh− sù s¾p xÕp çc
nguyªn tö l−u huúnh trªn bÒ mÆt Mo(001) ë ¸p suÊt khÝ quyÓn, sù hÊp phô
Ga trªn Si(100), B trªn Si(111). ¶nh çc nguyªn tö cacbon trªn graphit háa
ph©n ®Þnh h−íng cao (HOPG) cã thÓ thu ®−îc dÔ dµng trong kh«ng khÝ, chÊt
láng vµ trong ch©n kh«ng b»ng STM, h×nh 6.1 (b).
213
Hinh 6.5 ¶nh STM dßng kh«ng ®æi cña GaAs(110) víi ®iÖn ¸p mÉu: (a)
+1,9 V vµ (b) -1,9 V. §é cao bÒ mÆt ®−îc cho bëi thang ®é x¸m trong
kho¶ng tõ 0 (®en) ®Õn a) 0,83 Å vµ b) 0,65 Å (tr¾ng). (c) S¬ ®å çc nguyªn tö
bÒ mÆt cho thÊy vÞ trÝ cña nguyªn tö Ga (vÕt trßn tr¾ng o) vµ As (vÕt trßn
®en •). Trong c¶ 3 h×nh, h×nh ch÷ nhËt lµ « m¹ng ®¬n vÞ.
6.1.3.2 Phæ häc

Kh¶ n¨ng ph©n gi¶i cao cña STM cã thÓ ®−îc øng dông cho quang phæ häc
tunnel vµ phÐp ®o ®iÖn tö bÒ mÆt. Çc phÐp ®o nµy liªn quan ®Õn sù nghiªn
cøu vÒ mËt ®é ®iÖn tö ®Þa ph−¬ng cña çc tr¹ng th¸i vËt liÖu. STM cho ta c¬
héi ®Ó hoµn thµnh ®ång thêi çc phÐp ®o hiÓn vi vµ phæ häc trªn cïng mét
diÖn tÝch ®Þa ph−¬ng. Sù kÕt hîp nµy ®· ®−îc tiÕn hµnh rÊt thµnh c«ng trªn
kim lo¹i, vËt liÖu b¸n dÉn vµ siªu dÉn. Tr¹ng th¸i ®iÖn tö bÒ mÆt ®· ®−îc
nghiªn cøu trªn Au(111) vµ Pb(111), trªn vËt liÖu b¸n dÉn nh− GaAs vµ Si.
TÝnh chÊt siªu dÉn cña mµng máng hîp kim Nb-Sn ®· ®−îc nghiªn cøu b»ng
quang phæ tunnel vµ hiÓn vi tunnel.
¶nh bÒ mÆt GaAs(110) ®· thu ®−îc nhê STM. H×nh 6.5 (a) vµ (b) lµ ¶nh
STM dßng kh«ng ®æi cña bÒ mÆt víi ®iÖn ¸p +1,9 vµ -1,9 V, t−¬ng øng.
H×nh 6.5 (c) cho thÊy ®Þnh h−íng cña çc nguyªn tö trªn bÒ mÆt GaAs(110)
víi nguyªn tö As ®−îc ký hiÖu b»ng vÕt trßn tr¾ng vµ Ga lµ vÕt trßn ®en. Sù
so s¸nh ¶nh kÕt hîp cña çc tr¹ng th¸i chiÕm chç vµ kh«ng chiÕm chç víi
214
c h − ¬ n g 6
®−êng cong mËt ®é tr¹ng th¸i lý thuyÕt cho thÊy r»ng mËt ®é tr¹ng th¸i ®−îc
chiÕm chç tËp trung xung quanh çc nguyªn tö As bÒ mÆt vµ mËt ®é tr¹ng
th¸i kh«ng chiÕm chç lµ quanh çc nguyªn tö Ga.
6.1.3.3 §iÖn ho¸
HiÓn vi tunnel kh«ng chØ thùc hiÖn ®−îc trong kh«ng khÝ, ch©n kh«ng, chÊt
láng mµ cßn më réng øng dông cho ®iÖn ho¸ vµ nghiªn cøu ¨n mßn. øng
dông ®Çu tiªn cña STM cho ®iÖn ho¸ lµ t¹o ¶nh ph©n gi¶i nguyªn tö cña
HOPG trong n−íc vµ ®Þa h×nh bÒ mÆt vµng trong dung dÞch cloruanatri.
Còng cã thÓ thùc hiÖn hiÓn vi tunnel trong sù cã mÆt cña dßng ®iÖn ho¸,
quan s¸t ®−îc sù biÕn ®æi cña çc chç ®¾p cao lªn trªn cùc ®iÖn Au do hÊp
thô Cl -, chôp ¶nh çc bÒ mÆt cùc ®iÖn nhê STM 4 cùc, quan s¸t sù l¾ng ®äng
ngay trong m«i tr−êng tù nhiªn (in situ) vµ sù t¸ch cña mµng ®iÖn ho¸. Çc
bËc ®¬n cña Au(111) còng ®−îc t¹o ¶nh STM trong qu¸ tr×nh l¾ng ®äng vµ
sù t¸ch cña ®¬n líp Pb trong chÊt ®iÖn ph©n axit.
Khi øng dông STM trong dung dÞch, dßng tunnel lµ dßng kh«ng c¶m øng vµ
kh«ng ®ãng gãp vµo sù biÕn ®æi ho¸ häc trong dung dÞch hoÆc t¹i bÒ mÆt
gi¸. Çc dßng c¶m øng sinh ra do qu¸ tr×nh oxy ho¸ khö t¹i tip vµ mÉu còng
cã thÓ ®−îc sö dông ®Ó ®iÒu khiÓn ho¹t ®éng cña cùc ®iÖn trªn gi¸. Sù thùc
hiÖn nµy cña STM ®−îc gäi lµ kÝnh hiÓn vi ®iÖn ho¸ quÐt (Scanning
Electrochemical Microscope-SECM). Trong SECM, dßng ®iÖn ®−îc ®iÒu
khiÓn b»ng çc ph¶n øng t¹i tip vµ mÉu. §é ph©n gi¶i cña SECM phô thuéc
vµo kho¶ng çch tip-mÉu, kÝch th−íc vµ h×nh d¸ng tip, trë kh¸ng dung dÞch
vµ tèc ®é vËn chuyÓn khèi l−îng/®iÖn tÝch. Tip ®−îc sö dông trong SECM lµ
d©y kim lo¹i ®−îc bao kÝn b»ng líp thuû tinh víi b¸n kÝnh nhá h¬n
micromet. øng dông cña SECM bao gåm çc phÐp ®o ®Þa h×nh bÒ mÆt vµ chÕ
t¹o vi m«.
Trong øng dông cña STM cho ®iÖn ho¸ mòi dß tunnel ph¶i ®−îc çch ®iÖn,
chØ cã ®Ønh tip lµ trong dung dÞch. ChÊt çch ®iÖn ph¶i tr¬ trong dung dÞch
®iÖn ho¸. Cã nhiÒu ph−¬ng ph¸p kh¸c nhau ®−îc sö dông ®Ó çch ®iÖn cho
mòi dß tunnel vµ gi¶m thiÓu çc dßng c¶m øng. ThÝ dô, mòi dß tunnel ®−îc
çch ®iÖn b»ng çch l¾ng ®äng mét líp mµng SiO dµy 100 nm trong ch©n
kh«ng.
BÒ mÆt ph©n çch cùc ®iÖn/chÊt ®iÖn ph©n ®ãng vai trß träng yÕu trong hÖ
®iÖn ho¸. øng dông cña STM vµ SECM trong nghiªn cøu in situ çc bÒ mÆt
cùc ®iÖn cho ta çch nh×n nhËn s©u s¾c h¬n vÒ ®Æc tÝnh ®iÖn vµ h×nh häc cña
vËt liÖu. Nh÷ng thµnh tùu míi trong s¶n xuÊt mòi dß tunnel çch ®iÖn vµ çc
215
H×nh 6.6 ¶nh STM ch÷ “IBM” ®−îc t¹o trªn bÒ mÆt niken. Çc nguyªn tö
xenon (vÞ trÝ tr¾ng) ®−îc di chuyÓn trªn mÆt niken (110) nhê sö dông STM.
®iÖn cùc siªu nhá sÏ më ra çc h−íng ph¸t triÓn ®Çy triÓn väng trong øng
dông cña STM, SECM cho lÜnh vùc ®iÖn ho¸.
6.1.3.4 ChÕ t¹o cÊu tróc cã kÝch th−íc nano
Mét øng dông ®¸ng kÓ cña STM lµ thùc hiÖn gia c«ng ®Þa ph−¬ng bÒ mÆt.
øng dông næi bËt bao gåm kh¾c nano, l¾ng ®äng kim lo¹i, tÈm thùc vËt liÖu
b¸n dÉn, chÕ t¹o vi m« vµ l−u tr÷ sè liÖu.
Xö lý vi m« çc bÒ mÆt cã thÓ ®−îc thùc hiÖn theo ph−¬ng ph¸p c¬ khÝ,
nhiÖt, ®iÖn hoÆc ho¸ häc. Qu¸ tr×nh kh¾c nano cã thÓ hoµn thµnh b»ng çch
tÈy bÒ mÆt nhê tip trong STM. ThÝ dô, cã thÓ nhËn ®−îc vÕt lâm s©u cì 40 Å
sau khi nhÊn tip vonfram vµo bÒ mÆt Ag(001). T−¬ng tù, cã thÓ dïng STM
nh− mét c«ng cô vi c¬ ®Ó r¹ch trùc tiÕp çc ®−êng trªn mµng máng nh−
mµng CaF2 vµ AlF3 dµy 200 Å. Ng−êi ta còng cã thÓ t¹o ®−îc nh÷ng gß réng
tõ 200 ®Õn 250 Å vµ cao 20 Å b»ng çch t¨ng dßng tunnel lªn 1 microampe.
MÆc dï kh¾c tiÕp xóc cã thÓ cho ®é ph©n gi¶i cao song kÕt qu¶ sÏ kh«ng lÆp
l¹i v× tip bÞ thay ®æi trong qu¸ tr×nh tiÕp xóc. Kh¾c kh«ng tiÕp xóc còng cã
thÓ thùc hiÖn ®−îc b»ng STM ®Ó gi¶m sù thay ®æi ho¸ häc trªn bÒ mÆt vËt
liÖu.
Còng cã thÓ viÕt ch÷, thÝ dô "IBM", b»ng çch sö dông çc nguyªn tö xenon
trªn bÒ mÆt ®¬n tinh thÓ Ni. Çc nguyªn tö xenon trªn bÒ mÆt niken ®−îc di
chuyÓn b»ng tip STM vµ s¾p xÕp thµnh ch÷ IBM nh− chØ ra trong h×nh 6.6.
STM cßn ®−îc sö dông nh− mét c«ng cô ®Ó xö lý çc linh kiÖn ®iÖn tö.
216
c h − ¬ n g 6
Nh− vËy STM cã thÓ ®−îc øng dông cho kh¾c nano, l¾ng ®äng kim lo¹i,
tÈm thùc vµ lµ mét ph−¬ng ph¸p h÷u hiÖu ®Ó chÕ t¹o çc cÊu tróc nano nh−
chÊm l−îng tö vµ d©y l−îng tö. Tuy nhiªn, qu¸ tr×nh nµy còng cßn l©u míi
cã thÓ ®−îc øng dông trong chÕ t¹o çc m¹ch tÝch ph©n. Víi sù ph¸t triÓn
trong t−¬ng lai STM cã thÓ ®−îc sö dông trong çc qu¸ tr×nh xö lý linh kiÖn,
®Æc biÖt khi kh«ng yªu cÇu vÒ sè l−îng vµ tèc ®é.
6.1.3.5 Nghiªn cøu vËt liÖu sinh häc
Kh¶ n¨ng øng dông STM ®é ph©n gi¶i cao ®Ó nghiªn cøu vËt liÖu sinh häc lµ
rÊt hÊp dÉn. NhiÒu nghiªn cøu trªn ph©n tö ADN ®· ®−îc hoµn thµnh víi
nh÷ng thµnh c«ng ®¸ng khÝch lÖ. ¶nh STM ph©n tö ADN trong dung dÞch
n−íc ®· nhËn ®−îc víi ®é ph©n gi¶i ph©n tö sau khi phñ lªn mÉu mét líp
mµng kim lo¹i dÉn ®iÖn. Tuy nhiªn còng cã thÓ thu ®−îc ¶nh STM trong
kh«ng khÝ cho mÉu ADN kh«ng phñ. Mét trong nh÷ng kÕt qu¶ høa hÑn nhÊt
trªn ADN lµ ¶nh víi ®é ph©n gi¶i nguyªn tö kh«ng gian cña ADN xo¾n kÐp
sö dông STM trong m«i tr−êng ch©n kh«ng siªu cao.
MÆc dï tiÕn bé ®¸ng kÓ ®· dµnh ®−îc trong viÖc t¹o ¶nh ph©n tö sinh häc
nhê STM, song c¬ së lý thuyÕt cho c¬ chÕ t−¬ng ph¶n vµ dÉn ®iÖn vÉn ch−a
®−îc hiÓu biÕt t−êng tËn. Th«ng th−êng chÊt bÞ hÊp phô ph©n tö lµ kh«ng
dÉn ®iÖn nh−ng trong hÇu hÕt çc tr−êng hîp ®é t−¬ng ph¶n vÉn ®ñ ®Ó thu
®−îc çc phÐp ®o l−êng STM. Ng−êi ta cho r»ng sù biÕn d¹ng chÊt bÞ hÊp
phô ®ãng vai trß trong c¬ chÕ t−¬ng ph¶n hoÆc do çc ®iÖn tö xuyªn hÇm tõ
tip tíi ph©n tö hÊp phô kÐm.
Râ rµng STM cã thÓ lµ c«ng cô rÊt h÷u hiÖu trong lÜnh vùc sinh ho¸. Song sù
ph¸t triÓn xa h¬n n÷a trong øng dông cña STM cho vËt liÖu sinh häc sÏ ®ßi
hái mét sù hiÓu biÕt s©u s¾c h¬n vÒ c¬ chÕ t−¬ng ph¶n vµ dÉn ®iÖn. C¶i tiÕn
kü thuËt chuÈn bÞ mÉu vµ sù lùa chän çc chÊt gi¸ ®ì thÝch hîp ®Ó tr¸nh sai
háng mÉu còng lµ vÊn ®Ò ®¸ng quan t©m.
6.1.3.6 PhÐp ®o ®Þa h×nh
STM còng ®−îc sö dông nh− mét c«ng cô ®o l−êng. STM ®−îc øng dông
cho viÖc x©y dùng b¶n ®å ®Þa h×nh cña bÒ mÆt çch tö vµ bÒ mÆt mµi bãng.
CÊu tróc bÒ mÆt kim c−¬ng mµi bãng ®· quan s¸t ®−îc b»ng STM mµ kh«ng
thÓ ghi nhËn ®−îc b»ng kü thuËt kh¸c. H×nh 6.7 lµ ¶nh ®Üa cøng cho thÊy çc
bit d÷ liÖu vµ cÊu tróc h¹t cña mµng máng vµng. §é ph©n gi¶i cao ch−a tõng
thÊy cña STM cã thÓ ®−îc sö dông ®Ó vÏ b¶n ®å vµ chØ râ ®é mÊp m« vµ cÊu
tróc h¹t cña mµng máng. Sù ph¸t triÓn trong t−¬ng lai cña ®Çu dß tØ sè mÆt
217
H×nh 6.7 ¶nh STM cña ®Üa cøng phñ vµng. KÝch th−íc quÐt lµ 2000×2000
nm, 1500×1500 nm, 800×800 nm vµ 300×300 nm. Cã thÓ nh×n thÊy h¹t vµng
trªn bÒ mÆt.
cao vµ bé quÐt m· ho¸ sÏ lµm cho STM cã thÓ øng dông ®−îc cho çc phÐp
®o kÝch th−íc tíi h¹n trong m¹ch tÝch ph©n.
6.2 HiÓn vi lùc nguyªn tö
Trong kÝnh hiÓn vi tunnel, çc ¶nh víi ®é ph©n gi¶i nguyªn tö cho ta phÐp ®o
mËt ®é tr¹ng th¸i ®Þa ph−¬ng cña çc ®iÖn tö mµ n¨ng l−îng cña chóng ë
møc Fermi. Tuy nhiªn, mòi dß STM th«ng qua çc nguyªn tö ë ®Ønh tip ®·
t¹o ra mét lùc lín t¸c dông lªn bÒ mÆt mÉu víi biªn ®é cì biªn ®é cña lùc
t−¬ng t¸c gi÷a çc nguyªn tö. ChÝnh hiÖu øng nµy ®· ®Æt nÒn mãng cho
Binnig, Quate vµ Gerber (1986) s¸ng chÕ ra kÝnh hiÓn vi lùc nguyªn tö
(Atomic Force Microscope-AFM), h×nh 6.8, mét sù ph¸t triÓn quan träng
nhÊt sau STM. ë tr−êng hîp nµy, thay v× sö dông tip STM cã h−íng lu«n
vu«ng gãc víi bÒ mÆt mÉu, hä ®· ®Æt tip trªn h−íng hÇu nh− song song sao
cho ®Ønh tip lu«n ë phÝa trªn bÒ mÆt. Mòi dß g¾n trªn lß xo l¸ (cantilever) ®·
t¹o nªn mét lùc t¸c dông lªn mÉu theo çch t−¬ng tù nh− tip STM, song giê
218
c h − ¬ n g 6
H×nh 6.8 KÝnh hiÓn vi lùc nguyªn tö AFM ®a n¨ng.
®©y ®é lÖch rÊt nhá cña cantilever bëi sù nh¹y c¶m lùc cña nã ®ãng vai trß
v« cïng quan träng v× cã liªn quan ®Õn ®Þa h×nh bÒ mÆt mÉu. C¶ hai lo¹i
kÝnh hiÓn vi ®Çu dß quÐt trªn ®©y ®Òu t¹o ®−îc ¶nh bÒ mÆt víi ®é ph©n gi¶i
nguyªn tö. Tuy nhiªn STM chØ sö dông ®−îc cho mÉu dÉn ®iÖn trong khi
AFM sö dông ®−îc cho vËt liÖu dÉn ®iÖn vµ c¶ vËt liÖu kh«ng dÉn ®iÖn, mét
sù trî gióp ®¸ng kÓ cho STM. STM cho ¶nh liªn quan ®Õn n¨ng l−îng ®iÖn
tö bÒ mÆt gÇn møc Fermi cßn ¶nh AFM liªn quan ®Õn n¨ng l−îng ®iÖn tö
trªn møc Fermi. Trong c¶ hai lo¹i STM vµ AFM t−¬ng t¸c quan t©m lµ t−¬ng
t¸c gi÷a mét nguyªn tö ë ®Ønh mòi dß víi mét nguyªn tö trªn bÒ mÆt mÉu.
Th«ng th−êng, kÝnh hiÓn vi lùc nguyªn tö ®−îc sö dông ®Ó nghiªn cøu mét
sè t−¬ng t¸c kh¸c nhau gi÷a bÒ mÆt vµ mòi dß nh− lùc gi÷a çc nguyªn tö,
lùc ma s¸t, lùc tõ, lùc tÜnh ®iÖn vµ lùc dÝnh b¸m còng nh− lùc Van Der Walls
d¶i réng. V× nhiÒu øng dông kh¸c nhau nh− vËy cña kÝnh hiÓn vi lùc nªn
ng−êi ta gäi nã lµ kÝnh hiÓn vi lùc quÐt (Scanning Force Microscope-SFM)
®Ó kh¸i qu¸t ho¸ cho kÝnh hiÓn vi lùc nguyªn tö AFM lµ thuËt ng÷ cña
nh÷ng ng−êi ph¸t minh ra lo¹i hiÓn vi ®Çu dß quÐt nµy.
219
H×nh 6.9 S¬ ®å kÝnh hiÓn vi lùc nguyªn tö AFM.
6.2.1 CÊu t¹o vµ nguyªn lý ho¹t ®éng

Nguyªn lý ho¹t ®éng cña kÝnh hiÓn vi lùc t−¬ng tù nh− çc lo¹i m¸y ®o
profin kim kh¸c nh−ng çc lùc vµ ®é lÖch trong SFM nhá h¬n nhiÒu
(10-7- 10-11 N) so víi ®¹i l−îng nµy trong m¸y ®o proifin kim th«ng th−êng
(10-3- 10-6 N). CÊu t¹o vµ nguyªn lý ho¹t ®éng cña SFM lo¹i ®¬n gi¶n ®−îc
thÓ hiÖn nh− trong h×nh 6.9. §Çu dß ®−îc g¾n trªn mét lß xo l¸ cã h×nh tam
gi¸c rçng, h×nh ch÷ nhËt hoÆc h×nh trô ®−îc lµm b»ng vËt liÖu Si3N4 hoÆc
SiO2. PhÝa trªn lß xo l¸ cã phñ mét líp vµng máng ®Ó ph¶n x¹ ¸nh s¸ng.
Chïm s¸ng laze chiÕu qua thÊu kÝnh tËp trung t¹i mét ®iÓm cùc nhá trªn g¸y
lß xo l¸, tia ph¶n x¹ ®i ®o¹n ®−êng dµi ®Õn ®etect¬ ®· loe réng ra thµnh h×nh
trßn b¸n kÝnh cì 5 mm. Khi lß xo l¸ ch−a bÞ uèn cong, vÕt s¸ng h×nh trßn
nµy chiÕu ®Òu vµo ®etect¬ quang ®iÖn hai nöa. Khi ®Çu dß l¹i gÇn nguyªn tö
ë bÒ mÆt, lùc t−¬ng t¸c gi÷a hai nguyªn tö lµm lß xo l¸ bÞ uèn cong, vÕt s¸ng
trßn dÞch chuyÓn, hai nöa tÊm quang ®iÖn kh«ng ®−îc chiÕu ®Òu nh− nhau,
dßng quang ®iÖn sinh ra chªnh lÖch nhau t¹o thµnh tÝn hiÖu vi sai. Bé khuÕch
®¹i vi sai sÏ cho dßng ®iÖn lín hay nhá tuú thuéc vµo lß xo l¸ bÞ uèn cong
nhiÒu hay Ýt, tøc lµ lùc t−¬ng t¸c gi÷a hai nguyªn tö lµ m¹nh hay yÕu. MÉu
nghiªn cøu ®−îc g¾n liÒn víi bé quÐt vµ ®−îc ®iÒu khiÓn ®Ó ®Çu dß quÐt trªn
mÉu theo hai chiÒu x,y. Dïng dßng quang ®iÖn ë bé khuÕch ®¹i vi sai ®Ó t¹o
¶nh bÒ mÆt øng víi çc ®iÓm s¸ng tèi. Trong SFM th−êng dïng dßng quang
®iÖn ph¶n håi ®Ó ®iÒu khiÓn mÉu dÞch chuyÓn lªn xuèng theo trôc z sao cho
dßng quang ®iÖn kh«ng ®æi. B»ng çch nh− vËy, ®Çu dß ®· l−în theo ®óng
220
c h − ¬ n g 6
H×nh 6.10 Lùc t−¬ng t¸c gi÷a hai vi h¹t.
®é mÊp m« bÒ mÆt trong qu¸ tr×nh quÐt. Sö dông çc sè liÖu x, y vµ z ta sÏ

thu ®−îc ¶nh ba chiÒu bÒ mÆt ë møc ®é tinh vi nhÊt vµ thÊy râ tõng nguyªn
tö trªn bÒ mÆt mÉu.
Cã ba chÕ ®é vËn hµnh. Trong chÕ ®é lùc kh«ng ®æi, ®é lÖch cña cantilever
®−îc gi÷ kh«ng ®æi b»ng çch ®iÒu chØnh vÞ trÝ theo chiÒu ®øng cña mòi dß
(hoÆc cña mÉu) nhê hÖ thèng ph¶n håi t−¬ng tù nh− trong STM. ë chÕ ®é
thø hai, mÉu ®−îc gi÷ ë ®é cao kh«ng ®æi vµ ghi nhËn ®é lÖch cña cantilever.
§é lÖch cña cantilever ®−îc sö dông ®Ó t¸i t¹o ¶nh ®Þa h×nh bÒ mÆt. ChÕ ®é
thø ba hÇu hÕt ®−îc sö dông ®Ó ®o çc lùc trong mét thang ®o réng. ë kiÓu
®o nµy cantilever ®−îc dao ®éng gÇn tÇn sè céng h−ëng riªng cña nã vµ biªn
®é cña dao ®éng ®−îc ®iÒu chØnh sao cho mòi dß ®−îc n©ng ë gÇn bÒ mÆt
mÉu.
HÇu hÕt çc yªu cÇu vÒ thiÕt bÞ vµ thiÕt kÕ c¬ khÝ cho hä SFM lµ t−¬ng tù
nh− ®èi víi STM. ChØ cã mét sè yªu cÇu thªm lµ sö dông hÖ thèng c¬ vµ
®iÖn tö kÕt hîp víi kü thuËt ®Ó ®o ®é lÖch cña cantilever nh− sÏ ®−îc tr×nh
bµy trong çc môc sau.
6.2.2 Lùc t−¬ng t¸c

Lùc, ®¹i l−îng b»ng gra®ien cña thÕ t−¬ng t¸c, dÔ dµng ®o ®−îc b»ng çc
thiÕt bÞ vËt lý. Khi hai nguyªn tö hoÆc ph©n tö ®−îc ®Æt s¸t nhau n¨ng l−îng
t−¬ng t¸c cã thÓ ®−îc biÓu diÔn b»ng thÕ Lennard-Jones. Lùc gi÷a çc h¹t lµ
mét hµm cña kho¶ng çch gi÷a chóng nh− ®−îc minh ho¹ trong h×nh 6.10.
Cã hai miÒn, miÒn tr¸i cña cùc tiÓu thÕ, ë ®ã çc h¹t ®Èy nhau vµ miÒn bªn
ph¶i, ë ®ã çc h¹t hót nhau.
221
H×nh häc cña kÝnh hiÓn vi lùc kh«ng t−¬ng øng víi çc nguyªn tö ®−îc ®Æt
s¸t nhau mµ gièng nh− mét qu¶ cÇu nhá ®Æt trªn mét mÆt ph¼ng. Cã thÓ x¸c
®Þnh ®−îc ®−êng cong lùc phô thuéc kho¶ng çch cho m« h×nh nµy. H×nh
6.10 cho thÊy lùc ®Èy øng víi kho¶ng çch nhá vµ lùc hót øng víi kho¶ng
çch lín. PhÇn lín çc kÝnh hiÓn vi lùc ho¹t ®éng ë chÕ ®é tiÕp xóc hay chÕ
®é lùc ®Èy. MÆc dÇu lùc lµ rÊt nhá (10-7-10-11 N), song sù ph¸ huû bÒ mÆt vÉn
cã thÓ x¶y ra ®èi víi mét sè mÉu. §Ó tr¸nh t¸c h¹i nµy cã thÓ sö dông chÕ ®é
lùc hót v× sÏ kh«ng cã sù tiÕp xóc tip vµ mÉu.
Lùc hót hay lùc Van Der Waals ph¸t sinh do hiÖn t−îng ph©n cùc cña ®¸m
m©y ®iÖn tö xung quanh h¹t nh©n nguyªn tö. Lùc Van Der Waals ®èi víi
qu¶ cÇu trªn mÆt ph¼ng thay ®æi tØ lÖ nghÞch víi b×nh ph−¬ng kho¶ng çch
tip-mÉu. Kh«ng cã thÝ dô ®−îc biÕt nµo mµ ë ®ã lùc Van Der Waals ®· ®o
®−îc b»ng kÝnh hiÓn vi lùc bëi lÏ lùc nµy gi¶m khi khèi l−îng vËt lý gi¶m.
Trong kÝnh hiÓn vi lùc víi tip kÝch th−íc nanomet, lùc hót do ph©n cùc c¶m
øng lµ nhá vµ lùc m¹nh h¬n tõ ngoµi sÏ ®iÒu khiÓn chuyÓn ®éng cña tip.
KÝnh hiÓn vi lùc th−êng ho¹t ®éng trong kh«ng khÝ Èm n¬i cã thÓ sinh ra
hiÖn t−îng tÜnh ®iÖn. H¬n thÕ n÷a, ®é Èm cña kh«ng khÝ sÏ dÉn ®Õn sù t¹o
thµnh líp chÊt láng trªn bÒ mÆt vµ hiÖn t−îng mao dÉn khi tip tiÕp cËn líp
mµng chÊt láng. Lùc mao dÉn vµ tÜnh ®iÖn lµ chñ yÕu trong lùc ph©n cùc
Van Der Waals. Trong chÕ ®é lùc hót tip ®−îc quÐt trªn bÒ mÆt ë kho¶ng
çch 50-200 Å. Kho¶ng çch nµy ®−îc ®iÒu khiÓn b»ng sù ®iÒu chØnh tÇn sè
céng h−ëng cña cantilever. §©y lµ ®Æc ®iÓm quan träng cña ph−¬ng ph¸p
cÇn ®−îc lý gi¶i nh− d−íi ®©y.
H»ng sè ®µn håi k cña cantilever liªn hÖ víi kho¶ng çch dÞch chuyÓn Δz
cña ®iÓm mót cantilever vµ lùc F t¸c dông lªn ®iÓm mót nµy bëi quan hÖ:
F = kΔz (6.2)
TÇn sè céng h−ëng ω cña cantilever víi khèi l−îng m cña nã ®−îc cho bëi
biÓu thøc:
ω = k/m (6.3)
Tr¹ng th¸i nµy gi÷ nguyªn nÕu lùc t¸c dông lªn cantilever kh«ng thay ®æi
theo vÞ trÝ z cña cantilever. Nãi chung, kh«ng tån t¹i tr−êng hîp nµy. Lùc sÏ
thay ®æi theo kho¶ng çch gi÷a tip vµ mÉu. Nh− vËy, ta cã thÓ biÓu diÔn nã
nh− sau
F = F0 + (∂F / ∂z )Δz = kΔz (6.4)
222
c h − ¬ n g 6
F0 = (k − ∂F / ∂z )Δz (6.5)
Tõ ®ã thÊy r»ng h»ng sè ®µn håi hiÖu dông thay ®æi khi cã gradien tr−êng
lùc. Khi Êy tÇn sè céng h−ëng trë thµnh:
ω= (k − ∂F / ∂z ) / m (6.6)
Sù thay ®æi nµy cho ta ph−¬ng ph¸p ®iÒu chØnh kho¶ng çch gi÷a tip vµ mÉu.
V× ®−îc g¾n trªn bé dao ®éng ¸p ®iÖn nªn cantilever cã thÓ ®−îc dÞch
chuyÓn theo ph−¬ng z b»ng çch gi÷ cho tÇn sè céng h−ëng kh«ng ®æi. §iÒu
®ã cã nghÜa tip dÞch chuyÓn trong mét kho¶ng mµ ë ®ã gradien lùc lµ kh«ng
®æi. Tõ ®ã suy ra r»ng kho¶ng çch gi÷a tip vµ mÉu kh«ng ®æi v× gra®ien lµ
hµm ®¬n trÞ cña kho¶ng çch z.
6.2.3 Lß xo l¸ vµ mòi dß
Lß xo l¸ (cantilever) lµ phÇn tö c¶m biÕn vi lùc vµ ®ãng vai trß träng yÕu
trong hiÓn vi lùc. Lß xo l¸ ph¶i cã tÝnh lÆp l¹i trong çc phÐp ®o vµ ph¶i ®ñ
mÒm ®Ó nh¹y c¶m víi lùc nhá. Thùc nghiÖm cho thÊy, lùc cÇn thiÕt cho çc
phÐp ®o vµo cì 10-8-10-11 N. Gi¶ sö ®é nh¹y cña phÐp ®o cho ®é lÖch cña
cantilever lµ 1 Å th× cantilever ph¶i cã h»ng sè ®µn håi tõ 0,1 ®Õn 100 N/m.
Cantilever ph¶i cã tÇn sè céng h−ëng cao ®Ó t¹o ¶nh nhanh. H¬n thÕ n÷a
cantilever ph¶i cã tÇn sè céng h−ëng cì 100 lÇn lín h¬n tèc ®é quÐt nhanh
nhÊt: 10 - 100 kHz.
Cantilever cã thÓ ®−îc chÕ t¹o b»ng vËt liÖu silic Si, silic v« ®Þnh h×nh, oxit
silic SiO2 hoÆc nitrit silic Si3N4 víi kÝch th−íc vµ h×nh d¹ng kh¸c nhau. ThÝ
dô, kÝch th−íc lo¹i h×nh ch÷ nhËt cì 100-500 μm dµi, 20-40 μm réng vµ
4-6 μm dµy víi tip lµ ®¬n tinh thÓ silic. Tip, cantilever vµ gi¸ ®ì ®−îc chÕ
t¹o b»ng ®¬n tinh thÓ silic sÏ gi¶m thiÓu ®−îc ¶nh h−ëng cña sù thay ®æi
kh«ng quy luËt cña nhiÖt ®é. Lo¹i cantilever tèt cã thÓ ®o ®−îc ®é lÖch nhá
h¬n 2 Å. Lo¹i cantilever ch÷ nhËt th−êng ®−îc dïng ®Ó ®o mÉu cøng vµ h×nh
tam gi¸c ®−îc sö dông cho mÉu mÒm.
Cantilever vµ mòi dß trong SFM cã thÓ ®−îc chÕ t¹o b»ng ph−¬ng ph¸p tÈm
thùc dÞ h−íng silic. §©y lµ mét nghÖ thuËt trong lÜnh vùc chÕ t¹o vi c¬. Khi
silic ®−îc tÈm thùc trong dung dÞch KOH th× mÆt (111) bÞ tÈm thùc chËm
h¬n so víi çc mÆt kh¸c. §Æc ®iÓm nµy ®· lµm cho nã dÔ dµng tÈm thùc
®−îc h×nh th¸p víi çc mÆt (100) cña silic. Çc hè tÈm thùc cã d¹ng h×nh
th¸p ng−îc. Mét mµng nitric silic ®−îc l¾ng ®äng trªn bÒ mÆt nµy sÏ lÊp ®Çy
223
(b)
H×nh 6.11 (a) Lß xo l¸ (cantilever) ch÷ nhËt vµ tam gi¸c. (b) ¶nh SEM mòi
dß (tip), cao:3μm.
®óng theo ®Þa h×nh bÒ mÆt ®· ®−îc tÈm thùc ®Ó t¹o thµnh h×nh th¸p ng−îc.
Sau khi l¾ng ®äng nitric silic, silic ë phÝa d−íi ®−îc bãc ®i hoµn toµn chØ ®Ó
l¹i mµng nitric silic l¾ng ®äng. Kü thuËt nµy ®· t¹o ®−îc cantilever Si3N4 cã
tÝp h×nh th¸p nh« ra, h×nh 6.11.
Ng−îc l¹i còng cã thÓ sö dông kü thuËt tÈm thùc dÞ h−íng ®Ó t¹o mét tÝp
silic nh« ra khái bÒ mÆt. CÊu h×nh nµy rÊt hÊp dÉn v× tip cã thÓ nhän h¬n khi
tÈm thùc s©u h¬n. Dùa theo nguyªn lý nµy cã thÓ lµm nhän ®Ønh cña th¸p
silic ®Ó chÕ t¹o tip cho kÝnh hiÓn vi lùc.
Mét kü thuËt tinh vi h¬n ®· t¹o ®−îc çc tip nh− chiÕc kim mäc trªn ®Ønh
cña tip h×nh th¸p. Lo¹i tÝp míi nµy ®−îc t¹o thµnh b»ng çch b¾n ph¸ bÒ mÆt
bëi chïm tia ®iÖn tö nh− trong kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt SEM.
6.2.4 §o ®é lÖch cña lß xo l¸

KÝnh hiÓn vi lùc kh«ng ®o lùc, nã ®o ®é lÖch cña lß xo l¸ cùc nhá. Quan hÖ
tuyÕn tÝnh thÓ hiÖn trong ph−¬ng tr×nh (6.2) gi÷a lùc vµ ®é dµi dÞch chuyÓn
cho phÐp ta sö dông sè liÖu ®é dÞch chuyÓn ®Ó ®o lùc.
Cã b¶y ph−¬ng ph¸p c¬ b¶n ®Ó x¸c ®Þnh ®é lÖch cña cantilever. Hai ph−¬ng
ph¸p ®iÖn tö lµ ph−¬ng ph¸p tunnel vµ ®iÖn dung, n¨m ph−¬ng ph¸p quang
häc bao gåm homodyne, heterodyn, ph¶n håi laze-®i«t, ph©n cùc vµ ph−¬ng
ph¸p ®o ®é lÖch quang häc hay ph−¬ng ph¸p ®ßn bÈy quang häc, h×nh 6.12.
Ngoµi ®Çu dß víi cantilever th«ng th−êng, ph−¬ng ph¸p tunnel sö dông mét
®Çu dß thø hai lµ ®Çu dß tunnel ®Ó ®iÒu khiÓn ®é lÖch cña cantilever. Khi lùc
t¸c ®éng lªn ®Çu dß thay ®æi th× cantilever bÞ uèn cong lµm cho kho¶ng çch
gi÷a cantilever vµ ®Çu dß tunnel thay ®æi, do ®ã dßng tunnel còng bÞ thay ®æi
vµ tÝn hiÖu vi sai nµy ®−îc sö dông ®Ó ®iÒu khiÓn cantilever. Ph−¬ng ph¸p
224
c h − ¬ n g 6
H×nh 6.12 S¬ ®å hÖ ®o ®é lÖch lß xo l¸ cña SFM. Ph−¬ng ph¸p dßng tunnel

(a), ®iÖn dung (b), homodyne (c), heterodyne (d), ph¶n håi laze-®i«t (e),
ph©n cùc (f) vµ ®é lÖch quang häc (g). L - bé ph¸t laze, T - ®Çu dß tunnel, Ci
- çc tô ®iÖn, SG - bé ph¸t tÝn hiÖu, Mi - çc g−¬ng, PDi - çc ®etect¬ c¶m
quang, BS - bé t¸ch tia, AO - bé ®iÒu biÕn ©m quang, Q - ®Üa mét phÇn t−
b−íc sãng, O - thÊu kÝnh tô, W vµ C - l¨ng kÝnh Wollaston vµ Calcite, SB - bé
bï Soleil Babinet, t - tip, l - cantilever, S - mÉu.
225
nµy cã nh−îc ®iÓm lµ ®Çu dß tunnel chØ ho¹t ®éng ®−îc ë trªn bÒ mÆt lß xo
l¸ cã kh¶ n¨ng dÉn ®iÖn. HÖ thèng ®iÒu khiÓn ®iÖn dung ho¹t ®éng dùa trªn
sù thay ®æi ®iÖn dung gi÷a lß xo l¸ vµ mét b¶n cùc cè ®Þnh khi lß xo l¸ bÞ
lÖch khái vÞ trÝ ban ®Çu. T−¬ng tù nh− ph−¬ng ph¸p tunnel, ph−¬ng ph¸p
®iÖn dung còng cÇn mét lß xo l¸ dÉn ®iÖn bëi v× nã ho¹t ®éng nh− mét b¶n
tô ®iÖn. Kü thuËt homodyne sö dông hai photodetector trong qu¸ tr×nh ®iÒu
khiÓn ®é lÖch cña lß xo l¸ trong chÕ ®é vi sai, mét ®Ó ®o tÝn hiÖu laze ®Çu
vµo vµ mét ®o tÝn hiÖu laze sau khi bÞ ph¶n x¹ trªn bÒ mÆt lß xo l¸. Ph−¬ng
ph¸p nµy cã −u ®iÓm lµ khö ®−îc tÝn hiÖu nhiÔu cña chïm laze. HÖ thèng
heterodyne cã ®iÓm kh¸c biÖt lµ chØ sö dông mét photodetector ®Ó thu c¶ tÝn
hiÖu vµo vµ ra, vµ sö dông thªm hai bé bï Soleil Babinet. Ph−¬ng ph¸p nµy
khö ®−îc hiÖn t−îng tr«i tÝn hiÖu nh−ng l¹i kh«ng ho¹t ®éng ®−îc trong chÕ
®é mét chiÒu. HÖ thèng ph¶n håi laze-®i«t cã −u ®iÓm lµ ®¬n gi¶n vµ gän
nhÑ nhÊt so víi tÊt c¶ çc hÖ thèng ®iÒu khiÓn quang häc kh¸c nh−ng l¹i
kh«ng thÓ ho¹t ®éng trong chÕ ®é vi sai. Ph−¬ng ph¸p ®iÒu khiÓn b»ng çch
®o ®é ph©n cùc ¸nh s¸ng ho¹t ®éng ë chÕ ®é vi sai b»ng viÖc sö dông l¨ng
kÝnh Wollaton vµ l¨ng kÝnh Calcite ®Ó ph©n cùc ¸nh s¸ng tr−íc vµ sau khi
ph¶n x¹ trªn lß xo l¸. Hai photodetector PD1vµ PD2 ®−îc sö dông ®Ó thu çc
chïm ¸nh s¸ng ph©n cùc nµy nh− lµ m«t tÝn hiÖu vi sai ®iÒu khiÓn ho¹t ®éng
cña lß xo l¸. Ph−¬ng ph¸p ®ßn bÈy quang häc lµ mét dông cô quang häc mµ
®é lÖch cña lß xo l¸ ®−îc ph¸t hiÖn tõ xa bëi mét chïm laze. HÖ thèng nµy
®−îc sö dông rÊt phæ biÕn trong chÕ ®é tiÕp xóc cña SFM vµ lµ hÖ duy nhÊt
cã kh¶ n¨ng th−¬ng m¹i hiÖn nay.
6.2.5 Çc chÕ ®é ho¹t ®éng

Trong AFM cã hai chÕ ®é quÐt truyÒn thèng lµ chÕ ®é tiÕp xóc (contact
mode) vµ chÕ ®é kh«ng tiÕp xóc (non-contact mode) ®· ®−îc sö dông vµ
nghiªn cøu thµnh c«ng cho nhiÒu lo¹i vËt liÖu kh¸c nhau. Tuy nhiªn mçi chÕ
®é ®Òu cã nh÷ng h¹n chÕ rÊt khã kh¾c phôc (sÏ ®−îc tr×nh bµy chi tiÕt ë môc
sau). V× vËy, ng−êi ta ®· ®−a ra mét gi¶i ph¸p lµ cho ®Çu dß dao ®éng vµ tiÕp
xóc gi¸n ®o¹n (tapping) víi mÉu. ChÕ ®é tiÕp xóc gi¸n ®o¹n (tapping mode)
nµy cã kh¶ n¨ng t¹o ¶nh víi ®é ph©n gi¶i cao vµ øng dông rÊt ®a d¹ng cho
nhiÒu lo¹i mÉu, ®Æc biÖt cho mÉu mÒm nh− polyme vµ çc tÕ bµo sèng,
ADN... mµ ®èi víi çc chÕ ®é tr−íc kh«ng cã kh¶ n¨ng thùc hiÖn. ChÕ ®é
tapping ®−îc coi lµ mét bæ sung quan träng cho hai chÕ ®é truyÒn thèng cña
AFM trong nghiªn cøu vËt liÖu, ®Æc biÖt lµ trong lÜnh vùc nghiªn cøu y sinh
häc.
226
c h − ¬ n g 6
6.2.5.1 ChÕ ®é tiÕp xóc

Trong chÕ ®é tiÕp xóc ®Çu dß ®−îc tiÕp xóc vµ kÐo lª ®¬n gi¶n trªn bÒ mÆt
mÉu vµ cho ¶nh ®Þa h×nh bÒ mÆt. Lùc t¸c dông lªn tip lµ lùc ®Èy cã gi¸ trÞ
trung b×nh cì 10-9N. Lùc nµy ®−îc thiÕt lËp b»ng çch nhÊn m¹nh cantilever
lªn bÒ mÆt mÉu nhê phÇn tö ®Þnh vÞ ¸p ®iÖn. Tuy kü thuËt nµy ®· thµnh c«ng
víi nhiÒu lo¹i mÉu kh¸c nhau, song nã cã mét sè nh−îc ®iÓm kh¸ lín. Qu¸
tr×nh chuyÓn ®éng quÐt trªn bÒ mÆt mÉu cña ®Çu dß ®· t¹o ra çc lùc ma s¸t
vµ lùc b¸m dÝnh gi÷a ®Çu dß vµ bÒ mÆt. §iÒu nµy cã thÓ g©y nªn sù ph¸ huû
c¶ bÒ mÆt mÉu vµ ®Çu dß, ®ång thêi còng lµm sai lÖch d÷ liÖu h×nh ¶nh.
Trong ®iÒu kiÖn m«i tr−êng tù nhiªn hÇu hÕt çc bÒ mÆt ®−îc phñ mét líp
rÊt máng çc chÊt khÝ hÊp phô (bao gåm h¬i n−íc vµ çc khÝ kh¸c trong m«i
tr−êng) cã bÒ dµy cì vµi nanomet. Khi ®Çu dß quÐt trªn bÒ mÆt mÉu ch¹m
vµo líp máng ®ã th× sù mao dÉn sÏ t¹o ra mét mÆt khum vµ søc c¨ng bÒ mÆt
kÐo lß xo l¸ vµo líp n−íc nµy. §ång thêi çc ®iÖn tÝch bÞ bÉy trªn ®Çu dß vµ
bÒ mÆt mÉu t¹o ra çc lùc tÜnh ®iÖn ®ãng gãp thªm vµo lùc b¸m dÝnh. ChÝnh
çc lùc h−íng xuèng phÝa d−íi nµy lµm t¨ng lùc nhiÔu tæng céng trªn bÒ mÆt
mÉu vµ kÕt hîp víi çc lùc c¾t vµ lùc ngang g©y bëi qu¸ tr×nh chuyÓn ®éng
quÐt lµm nhiÔu tÝn hiÖu ®o, ph¸ huû bÒ mÆt mÉu vµ còng cã thÓ g©y nªn sù
thay ®æi çc ®Æc tÝnh bÒ mÆt.
Cã thÓ kh¾c phôc ®−îc nh÷ng khã kh¨n liªn quan ®Õn çc lùc b¸m dÝnh vµ
tÜnh ®iÖn nµy b»ng çch nhóng mÉu trong chÊt láng. Tuy nhiªn kh«ng ph¶i
bÊt cø mÉu nµo còng cã thÓ nhóng ®−îc trong chÊt láng mµ kh«ng lµm thay
®æi ®Æc tÝnh ban ®Çu cña nã, thÝ dô nh− çc mÉu b¸n dÉn. Ngoµi ra, v× çc
mÉu −ít th−êng mÒm h¬n çc mÉu kh« nªn khi ®Çu dß thùc hiÖn viÖc quÐt sÏ
lµm biÕn d¹ng, sai háng bÒ mÆt vµ t¹o ra çc vÕt lµm gi¶m chÊt l−îng ¶nh vµ
còng cã thÓ g©y ph¸ huû mÉu.
Mét sè thiÕt bÞ ho¹t ®éng trong ch©n kh«ng siªu cao nh−ng hÇu hÕt ho¹t
®éng trong kh«ng khÝ hoÆc trong chÊt láng. Kh«ng khÝ lµ m«i tr−êng thuËn
tiÖn vµ th«ng tin nhËn ®−îc tõ ¶nh trong kh«ng khÝ lµ rÊt quan träng trong
nghiªn cøu vËt liÖu.
6.2.5.2 ChÕ ®é kh«ng tiÕp xóc
Cã thÓ kh¾c phôc ®−îc nh÷ng khã kh¨n trong chÕ ®é tiÕp xóc khi ®iÒu khiÓn
AFM ë chÕ ®é kh«ng tiÕp xóc. ë chÕ ®é nµy ®Çu dß lu«n ®−îc gi÷ ë mét
kho¶ng çch rÊt nhá (5-15 nm) ngay s¸t trªn bÒ mÆt mÉu. Sù thay ®æi lùc hót
Van Der Waals gi÷a ®Çu dß vµ mÉu khi quÐt trªn bÒ mÆt sÏ ®−îc ph¸t hiÖn
227
vµ sö dông ®Ó t¹o ¶nh ba chiÒu bÒ mÆt mÉu. Song tiÕc r»ng çc lùc Van Der
Waals qu¸ yÕu so víi çc lùc ®−îc sö dông trong chÕ ®é tiÕp xóc. H¬n n÷a,
çc lùc hót còng chØ xuÊt hiÖn ë mét d¶i kho¶ng çch rÊt nhá trªn bÒ mÆt mµ
trªn ®ã líp khÝ hÊp phô chiÕm phÇn lín d¶i sö dông nµy. V× vËy, thËm chÝ
khi kho¶ng çch ®Çu dß vµ mÉu ®−îc duy tr× ®óng yªu cÇu, chÕ ®é kh«ng
tiÕp xóc còng chØ cho ®é ph©n gi¶i rÊt thÊp so víi ë chÕ ®é tiÕp xóc hay chÕ
®é tapping. Trªn thùc tÕ, ®Çu dß ngay lËp tøc bÞ kÐo xuèng bÒ mÆt mÉu do
søc c¨ng bÒ mÆt cña líp khÝ hÊp phô, kÕt qu¶ lµ tÝn hiÖu h×nh ¶nh bÞ sai lÖch
vµ bÒ mÆt mÉu còng bÞ ph¸ huû gièng nh− trong kü thuËt tiÕp xóc. Ngoµi ra
chÕ ®é kh«ng tiÕp xóc th−êng kh«ng thÓ thùc hiÖn ®−îc viÖc quÐt trong chÊt
láng v× lùc Van Der Waals ë ®©y thËm chÝ cßn nhá h¬n n÷a vµ ®©y lµ h¹n
chÕ chñ yÕu trong nghiªn cøu çc mÉu sinh häc cña chÕ ®é kh«ng tiÕp xóc.
6.2.5.3 ChÕ ®é tapping
ChÕ ®é tapping tr¸nh ®−îc kÐo lª ®Çu dß trªn bÒ mÆt lµm ph¸ huû mÉu trong
qu¸ tr×nh quÐt do çc lùc lu«n cã ph−¬ng th¼ng ®øng. Kh¸c chÕ ®é tiÕp xóc
vµ kh«ng tiÕp xóc, trong qu¸ tr×nh tapping ®Çu dß gâ vµo bÒ mÆt víi n¨ng
l−îng ®ñ lín ®Ó cã thÓ bá qua lùc b¸m dÝnh gi÷a mÉu vµ ®Çu dß. Mét lîi Ých
kh¸c cña kü thuËt tapping lµ miÒn ho¹t ®éng tuyÕn tÝnh rÊt réng cña nã. §iÒu
nµy khiÕn cho hÖ thèng ph¶n håi theo ph−¬ng th¼ng ®øng cã ®é æn ®Þnh rÊt
cao. ChÕ ®é tapping tr¸nh ®−îc tÝnh kh«ng æn ®Þnh lùc do sù tr«i nhiÖt ë chÕ
®é tiÕp xóc, do vËy chÊt l−îng ¶nh vµ phÐp ®o ®−îc n©ng cao vµ tiÕt kiÖm
®−îc thêi gian. Lùc t¹o ¶nh æn ®Þnh ®o ®−îc trong ho¹t ®éng ë chÕ ®é
tapping nhá h¬n 200 pN.
T¹o ¶nh tapping
T¹o ¶nh ë chÕ ®é tapping ®−îc tiÕn hµnh b»ng çch cho tip tiÕp xóc víi bÒ
mÆt ®Ó t¹o ¶nh víi ®é ph©n gi¶i cao vµ sau ®ã tip ®−îc n©ng lªn ®Ó tr¸nh cµo
trªn bÒ mÆt mÉu. Qu¸ tr×nh tapping ®−îc thùc hiÖn b»ng çch cho lß xo l¸
dao ®éng ë hoÆc gÇn tÇn sè céng h−ëng riªng cña nã nhê bé ®iÒu khiÓn ¸p
®iÖn, h×nh 6.13. ChuyÓn ®éng ¸p ®iÖn lµm cho lß xo l¸ dao ®éng tù do víi
biªn ®é ®ñ lín (10-100 nm) khi tip ch−a tiÕp xóc víi bÒ mÆt. Sau ®ã, tip dao
®éng ®−îc di chuyÓn tíi bÒ mÆt cho ®Õn khi nã b¾t ®Çu h¬i ch¹m hay "mæ"
lªn bÒ mÆt. Trong khi quÐt, tip dao ®éng theo ph−¬ng th¼ng ®øng lÇn l−ît
tiÕp xóc vµ nhÊc lªn khái bÒ mÆt víi tÇn sè tõ 50.000 ®Õn 500.000
chu kú/gi©y (Hz). Khi lß xo l¸ b¾t ®Çu tiÕp xóc bÒ mÆt th× biªn ®é dao ®éng
cña nã bÞ gi¶m ®i v× mÊt n¨ng l−îng do tip tiÕp xóc víi bÒ mÆt mÉu,
h×nh 6.14.
228
c h − ¬ n g 6
H×nh 6.13 S¬ ®å khèi cho ho¹t ®éng ë chÕ ®é Tapping.
H×nh 6.14 Biªn ®é dao ®éng cña cantilever trong kh«ng khÝ vµ trong khi quÐt
ë chÕ ®é Tapping.
Trong qu¸ tr×nh ho¹t ®éng tapping, biªn ®é dao ®éng cña lß xo l¸ ®−îc duy
tr× kh«ng ®æi nhê m¹ch ph¶n håi. ViÖc lùa chän tÇn sè dao ®éng tèi −u ®−îc
trî gióp b»ng phÇn mÒm vµ lùc t¸c dông lªn mÉu ®−îc tù ®éng thiÕt lËp vµ
gi÷ ë møc thÊp nhÊt cã thÓ ®−îc. Khi tip quÐt qua vÞ trÝ låi lªn trªn bÒ mÆt, lß
xo l¸ cã vïng dao ®éng tù do nhá h¬n vµ do ®ã biªn ®é dao ®éng gi¶m.
Ng−îc l¹i, khi tip quÐt qua chç lâm xuèng th× lß xo l¸ cã vïng dao ®éng tù
do lín h¬n vµ biªn ®é t¨ng lªn (®¹t gi¸ trÞ lín nhÊt-biªn ®é dao ®éng tù do
229
H×nh 6.15 S¬ ®å khèi cho chÕ ®é t¹o ¶nh pha.
trong kh«ng khÝ). Biªn ®é dao ®éng cña tip ®−îc ®o b»ng ®etect¬ vµ ®−îc sö
dông lµm tÝn hiÖu ph¶n håi ®Ó ®iÒu chØnh kho¶ng çch tip-mÉu sao cho biªn
®é (hay lùc t¸c dông) ®−îc duy tr× kh«ng ®æi, ®ång thêi nã ®−îc dïng ®Ó t¹o
¶nh ®Þa h×nh tapping hay ¶nh tapping (®«i khi cßn ®−îc gäi lµ ¶nh biªn ®é)
cña bÒ mÆt mÉu.
T¹o ¶nh pha
T¹o ¶nh pha lµ sù më réng rÊt hiÖu qu¶ cña AFM chÕ ®é tapping. T¹o ¶nh
pha lµ b−íc tiÕn xa h¬n t¹o ¶nh ®Þa h×nh bÒ mÆt ®¬n gi¶n nh− ®· tr×nh bµy ë
trªn. Trong t¹o ¶nh pha, sù thay ®æi vÒ tÝnh chÊt cña vËt liÖu ®· dÉn ®Õn sù
dÞch pha gi÷a dao ®éng cña lùc ®iÒu khiÓn kÝch thÝch tõ ngoµi vµ dao ®éng
cña tip. §é lÖch pha nµy ®−îc ghi nhËn b»ng hÖ ®iÖn tö vµ sö dông lµm tÝn
hiÖu ®iÒu khiÓn, ®ång thêi dïng ®Ó t¹o ¶nh pha. §é dÞch pha rÊt nh¹y ®èi víi
sù thay ®æi vÒ tÝnh chÊt vËt liÖu nh− ®é dÝnh b¸m vµ tÝnh ®µn nhít. S¬ ®å
nguyªn lý t¹o ¶nh pha ®−îc chØ ra trong h×nh 6.15.
230
c h − ¬ n g 6
H×nh 6.16 ¶nh TappingMode (tr¸i) vµ pha (ph¶i) cña sîi bét giÊy.
QuÐt 3 μm.
H×nh 6.17 ¶nh TappingMode (tr¸i) vµ pha (ph¶i) cña polyme compozit hoµ
®Òu trong nÒn. §é ph©n gi¶i cao cña t−¬ng ph¶n pha lµm râ cÊu tróc hai
thµnh phÇn trong miÒn compozit.
Ngay sau khi AFM ho¹t ®éng ë chÕ ®é tapping, ¶nh pha cã thÓ nhËn ®−îc
®¬n gi¶n b»ng çch hiÓn thÞ mét ¶nh thø hai víi çch chän kiÓu sè liÖu
Phase trong phÇn mÒm AFM. C¶ hai lo¹i ¶nh ®Þa h×nh tapping vµ ¶nh pha
®−îc quan s¸t ®ång thêi c¹nh nhau trªn mµn h×nh. §é ph©n gi¶i cña ¶nh pha
cã thÓ s¸nh ngang víi ®é ph©n gi¶i cña ¶nh biªn ®é tapping. V× t¹o ¶nh pha
lµm s¸ng biªn giíi vµ kh«ng bÞ ¶nh h−ëng bëi sù kh¸c nhau vÒ chiÒu cao chi
tiÕt ë thang ®o réng nªn nã cho phÐp quan s¸t râ rµng h¬n çc cÊu tróc tÕ vi
nh− çc biªn h¹t cã thÓ bÞ mê ®i bëi ®Þa h×nh mÊp m«.
¶nh pha cung cÊp nh÷ng th«ng tin ë thang ®o nanomet vÒ cÊu tróc bÒ mÆt
th−êng kh«ng nhËn ®−îc b»ng kü thuËt SPM kh¸c. øng dông cña chÕ ®é t¹o
231
H×nh 6.18 ¶nh TappingMode (tr¸i) vµ pha (ph¶i) cña chÊt ®Öm trªn m¹ch
tÝch ph©n. PhÇn diÖn tÝch chÊt ®Öm chøa h¹t polyimide cho t−¬ng ph¶n s¸ng
víi ®é lÖch pha h¬n 120 ®é. QuÐt 1,5 μm.
¶nh pha bao gåm x¸c ®Þnh ®é nhiÔm bÈn, x¸c lËp b¶n ®å thµnh phÇn trong
vËt liÖu compozit, ph©n biÖt çc miÒn cã ®é cøng hoÆc ®é dÝnh b¸m vµ ®é
®µn nhít kh¸c nhau. Trong nhiÒu tr−êng hîp t¹o ¶nh pha bæ sung cho hiÓn vi
lùc ngang (Lateral Force Microscopy-LFM) vµ çc kü thuËt biÕn ®iÖu lùc,
cung cÊp thªm th«ng tin víi ®é ph©n gi¶i cao h¬n. T¹o ¶nh pha võa nhanh l¹i
dÔ sö dông vµ ®Æc biÖt Ých lîi cho çc mÉu mÒm, dÝnh b¸m, dÔ bÞ ph¸ huû
hoÆc liªn kÕt kh«ng chÆt. Tuy nhiªn ¶nh pha kh«ng thÓ hiÖn râ ®é mÊp m«
bÒ mÆt. Bëi vËy, cã thÓ nãi r»ng ¶nh pha cho th«ng tin vÒ thµnh phÇn vËt
liÖu, cßn ¶nh biªn ®é cung cÊp th«ng tin vÒ ®Þa h×nh bÒ mÆt.
Khèi lâi gç chØ ra trong h×nh 6.16 bao gåm çc sîi micro cellulose ®−îc
s¸ng lªn bëi çch t¹o ¶nh pha. H¬n thÕ n÷a, çc thµnh phÇn chÊt gç kh«ng
thÊy ®−îc trong ¶nh ®Þa h×nh l¹i thÓ hiÖn râ bëi diÖn tÝch t−¬ng ph¶n s¸ng
trªn thµnh phÇn cellulose. T−¬ng tù, cÊu tróc hai pha cña hçn hîp polyme
trong h×nh 6.17 ®−îc thÓ hiÖn râ bëi ®é ph©n gi¶i cao cña ¶nh pha ngay c¶
khi sù thay ®æi ®Þa h×nh kh¸ lín (∼1 μm) ë r·nh trong ¶nh biªn ®é. ë
h×nh 6.18 cã thÓ thÊy râ chÊt ®Öm trªn m¹ch tÝch ph©n ®−îc bao phñ bëi çc
h¹t polymide cßn d− sau qu¸ tr×nh tÈm thùc ch−a ®−îc lo¹i bá hÕt.
ChÕ ®é tapping trong chÊt láng
ChÕ ®é tapping trong chÊt láng còng cã nh÷ng −u ®iÓm t−¬ng tù nh− ë chÕ
®é tapping trong kh«ng khÝ. Tuy nhiªn ë tr−êng hîp nµy, m«i tr−êng chÊt
láng cã xu thÕ lµm suy gi¶m tÇn sè céng h−ëng th«ng th−êng cña cantilever.
ThËt vËy, toµn hÖ tÕ bµo-chÊt láng cã thÓ bÞ dao ®éng råi ®iÒu khiÓn
cantilever dao ®éng. Khi mét tÇn sè tøc thêi ®−îc lùa chän (th−êng trong
232
c h − ¬ n g 6
(a) (b)
H×nh 6.19 So s¸nh ¶nh tiÕp xóc (a) vµ ¶nh TappingMode trong chÊt láng (b)
cña çc h¹t latex polyme hÊp thô trªn mica trong n−íc. L−u ý r»ng çc vÖt vµ
bãng mê th−êng san b»ng ¶nh tiÕp xóc víi lùc nhá trong chÊt láng kh«ng
xuÊt hiÖn trong ¶nh TappingMode trong chÊt láng. §−êng kÝnh h¹t trung
b×nh lµ 120 nm. QuÐt 3 μm.
kho¶ng 5.000 ®Õn 40.000 chu kú/gi©y) th× biªn ®é cantilever sÏ gi¶m khi tip
b¾t ®Çu gâ lªn mÉu t−¬ng tù nh− chÕ ®é tapping trong kh«ng khÝ.
Ngay khi dao ®éng cña cantilever ®−îc thiÕt lËp, hÖ thèng ph¶n håi sÏ ®iÒu
chØnh vÞ trÝ cña tip ®Ó duy tr× biªn ®é dao ®éng kh«ng ®æi. Kh¸c víi tr−êng
hîp trong kh«ng khÝ, dao ®éng cña lß xo l¸ trong chÊt láng khö ®−îc çc lùc
ma s¸t vµ lùc c¾t t¸c dông lªn mÉu. H¬n thÕ n÷a, qu¸ tr×nh lÆp tiÕp xóc bÒ
mÆt vµ kÐo tip lªn víi tèc ®é cao cho phÐp gi÷ lùc nhÊn kh«ng ®æi ë mét gi¸
trÞ nhá nhÊt.
H×nh 6.19 giíi thiÖu çc ¶nh mÉu polyme nhËn ®−îc trong chÊt láng cho
thÊy sù c¶i thiÖn râ rÖt vÒ chÊt l−îng ¶nh ë chÕ ®é tapping so víi chÕ ®é tiÕp
xóc th«ng th−êng.
6.2.6 Çc kiÓu hiÓn vi lùc quÐt kh¸c

AFM ®−îc t¹o ra tõ c«ng nghÖ STM. TiÕp theo, c«ng nghÖ AFM l¹i sinh ra
nhiÒu d¹ng kh¸c cña hiÓn vi lùc t¹o thµnh hä SFM nh− ®· giíi thiÖu ë trªn.
KÝnh hiÓn vi lùc ma s¸t (Friction Force Microscope-FFM) dïng ®Ó ®o lùc
ngang t¸c dông lªn mòi dß quÐt ®· ®−îc sö dông rÊt hiÖu qu¶ ®Ó nghiªn cøu
233
H×nh 6.20 ¶nh MFM hai r·nh bit ghi ë hai tÇn sè kh¸c nhau trªn mét diÖn
tÝch ®· ®−îc xo¸ cña ®Üa hîp kim Co.
hÖ sè ma s¸t cña çc bÒ mÆt kh¸c nhau. KÝnh hiÓn vi ®iÖn dung (Capacitance
Microscope-CM) ®−îc sö dông ®Ó ®o sù biÕn ®æi ®iÖn dung gi÷a tip vµ mÉu.
Nã ®· ®−îc sö dông ®Ó t¹o profin møc pha t¹p trong silic. KÝnh hiÓn vi mÆt
ph©n giíi (Interfacial Micorcope-IM) sö dông cantilever hai ch©n ®Ó ®o
®−êng cong lùc theo kho¶ng çch t¹i çc ®iÓm kh¸c nhau trong ¶nh.
Trong sè çc thµnh viªn cña hä kÝnh hiÓn vi lùc quÐt SFM nµy kÝnh hiÓn vi
lùc tõ (Magnetic Force Microscope-MFM) cã ý nghÜa ®Æc biÖt v× nã ®· cho
çc tÝn hiÖu tõ sù céng h−ëng tõ. MFM ho¹t ®éng trong kh«ng khÝ ®· t¹o
®−îc ¶nh tõ mµ kh«ng cÇn mét sù chuÈn bÞ mÉu ®Æc biÖt nµo. MFM ®−îc sö
dông ®Ó ghi ¶nh gra®ien tõ tr−êng víi ®é ph©n gi¶i ngang tèt h¬n 0,2 μm.
Kho¶ng çch tip-mÉu 100 - 200 Å ®−îc duy tr× trong suèt qu¸ tr×nh quÐt. Tip
trong MFM ®−îc tõ ho¸ däc theo trôc tip g¾n trªn cantilever mÒm m¹i.
L−ìng cùc tõ cña tip t−¬ng t¸c víi tõ tr−êng ph©n t¸n cña mÉu. Tõ tr−êng
ph©n t¸n nµy g©y ra mét lùc t¸c dông lªn tip tõ ho¸ vµ ®©y lµ th«ng tin ®−îc
thÓ hiÖn trªn ¶nh. Trªn thùc tÕ gra®ien cña tr−êng ph©n t¸n lµm thay ®æi tÇn
sè céng h−ëng cña cantilever nh− ®· ®−îc tr×nh bµy ë trªn vµ chÝnh sù thay
®æi tÇn sè céng h−ëng ®· ®−îc sö dông cho tÝn hiÖu th«ng tin. ¶nh trong
h×nh 6.20 lµ kÕt qu¶ tiªu biÓu nhËn ®−îc b»ng thiÕt bÞ nµy, bãng s¸ng chØ râ
çc biªn giíi ®omen tõ.
KÝnh hiÓn vi lùc céng h−ëng tõ (Magnetic Resonance Force Microscope)
®−îc sinh ra tõ c«ng nghÖ MFM. Trong thiÕt bÞ nµy mét h¹t nhá vËt liÖu
234
c h − ¬ n g 6
thuËn tõ ®−îc g¾n trªn cantilever. HÖ nµy ®−îc ®Æt trong tõ tr−êng lµm ph©n
cùc çc ®iÖn tö spin. §iÖn tr−êng tõ cuén tÇn sè céng h−ëng ®−îc sö dông
®Ó ®iÒu khiÓn céng h−ëng spin ®iÖn tö. Tõ tr−êng Ên ®Þnh tÇn sè céng h−ëng
vµ khi tr−êng nµy bÞ ®iÒu biÕn th× lùc t¸c dông lªn cantilever sÏ bÞ ®iÒu biÕn
theo çch t−¬ng tù. NÕu tÇn sè ®iÒu biÕn cña tõ tr−êng ®−îc ®iÒu chØnh ®Ó
kÝch thÝch céng h−ëng c¬ häc cña cantilever th× biªn ®é chuyÓn ®éng cña
cantilever sÏ ®¹t ®é lín tíi møc cã thÓ thu nhËn ®−îc. KÕt qu¶ nghiªn cøu
cho thÊy nÒn nhiÔu cña cantilever dao ®éng lµ 10-15 N trong ®iÒu kiÖn ch©n
kh«ng vµ nhiÖt ®é phßng. Ng−êi ta dù ®o¸n r»ng ®é nh¹y cã thÓ ®−îc n©ng
cao ®¸ng kÓ nÕu cantilever ®−îc thiÕt kÕ l¹i vµ ®−îc lµm l¹nh tíi nhiÖt ®é
heli láng. KÝnh hiÓn vi lùc céng h−ëng tõ cã mét sè ®Æc ®iÓm ®¸ng chó ý.
Céng h−ëng spin ®iÖn tö t¹i 1000 MHz cã thÓ ghi ®−îc b»ng thiÕt bÞ c¬ häc
céng h−ëng cì 10 kHz. VÞ trÝ ®Æc biÖt nµy cña spin trong mÆt ph¼ng ngang
cã thÓ t¹o ¶nh ®−îc khi xuÊt hiÖn gra®ien tõ tr−êng. Mét kÝnh hiÓn vi dùa
trªn hiÖn t−îng céng h−ëng tõ víi ®é nh¹y ®ñ ®Ó t¹o ¶nh cña spin ®¬n cã thÓ
sÏ ®−îc s¸ng chÕ trong t−¬ng lai.
6.2.7 øng dông cña SFM

6.2.7.1 T−¬ng t¸c Van Der Waals
Khi hai vËt tiÕp cËn nhau chóng sÏ t−¬ng t¸c víi nhau th«ng qua lùc Van
Der Waals (khi kh«ng cã lùc tÜnh ®iÖn hoÆc lùc tõ). Lùc Van Der Waals lµ
lo¹i lùc cã thang ®o réng vµ ph¸t sinh do sù ph©n cùc, c¶m øng vµ hiÖu øng
ph©n t¸n. Lùc ph©n cùc sinh ra do sù t−¬ng t¸c cña çc m«men ®a cùc vÜnh
cöu cña ph©n tö. Lùc c¶m øng t¹o thµnh do t−¬ng t¸c cña m«men ®a cùc cña
vËt nµy víi m«men c¶m øng cña vËt kia. Lùc ph©n t¸n lµ kÕt qu¶ cña sù
t−¬ng t¸c l−ìng cùc c¶m øng do sù th¨ng gi¸ng ®iÖn tö xung quanh h¹t
nh©n.
Nh×n chung, sù ®ãng gãp lín vµo lùc Van Der Waals lµ tõ hiÖn t−îng ph©n
t¸n. ThÕ t−¬ng t¸c gi÷a hai nguyªn tö lµ
U(r) = - C1/r6 (6.7)
trong ®ã C1 lµ h»ng sè ph©n t¸n London vµ r lµ kho¶ng çch gi÷a hai nguyªn
tö. §èi víi m« h×nh qu¶ cÇu vµ mÆt ph¼ng, thÕ t−¬ng t¸c lµ
U(r) = - AR/6r (6.8)
trong ®ã A lµ h»ng sè Hamaker vµ R lµ b¸n kÝnh qu¶ cÇu. Lùc nµy cã thÓ lµ
lùc hót hoÆc lùc ®Èy.
235
H×nh 6.21 ¶nh AFM cho thÊy tõng nguyªn tö cacbon trong graphit,
vËt liÖu cÊu tróc líp. Çc nguyªn tö chØ çch nhau 1,5 Å.
C¶ hai lùc hót vµ dÝnh b¸m gi÷a mòi dß vµ bÒ mÆt mÉu ®· ®−îc nghiªn cøu
tõ 1990. B»ng çch sö dông kÝnh hiÓn vi lùc ng−êi ta ®· x¸c ®Þnh ®−îc t−¬ng
t¸c mòi dß-bÒ mÆt nh− mét hµm cña n¨ng l−îng bÒ mÆt mÉu. SFM ®· ®−îc
sö dông ®Ó quan s¸t sù kh¸c nhau cña lùc bÒ mÆt gi÷a çc mÉu ®−îc phñ
b»ng mét líp mµng máng. ThÝ dô, SFM ®ñ nh¹y ®Ó ph©n biÖt gi÷a çc líp bÒ
mÆt chøa nhãm - CH3 víi çc líp bÒ mÆt chøa nhãm - CF3.
C¬ chÕ ë møc ®é nguyªn tö ®èi víi t−¬ng t¸c mòi dß-bÒ mÆt còng ®· ®−îc
kh¶o s¸t tõ 1990. Ng−êi ta sö dông ph−¬ng ph¸p m« h×nh ho¸ ®éng lùc häc
ph©n tö ®Ó nghiªn cøu c¬ chÕ dÝnh b¸m, biÕn d¹ng tiÕp xóc, vÕt lâm nano,
t¸ch vµ g·y ®èi víi mòi dß niken vµ bÒ mÆt vµng. C¶ tÝnh to¸n lý thuyÕt lÉn
phÐp do thùc nghiÖm ®· chøng tá cã hiÖn t−îng trÔ trong ®−êng cong lùc-
kho¶ng çch. Sù ph¸t triÓn t−¬ng lai cña SFM trong ch©n kh«ng siªu cao sÏ
cho phÐp nghiªn cøu cã ®iÒu khiÓn vÒ t−¬ng t¸c mòi dß-bÒ mÆt vµ x¸c minh
mét çch ®Çy ®ñ h¬n cho nh÷ng kÕt qu¶ lý thuyÕt.
6.2.7.2 Lùc ®Èy ion-T¹o ¶nh nguyªn tö vµ ®Þa h×nh bÒ mÆt
Khi hai nguyªn tö tiÕp cËn nhau sÏ cã mét lùc ®Èy ion m¹nh gi÷a chóng. Lùc
®Èy ion nµy ph¸t sinh do sù phñ nhau cña ®¸m m©y ®iÖn tö xung quanh hai
nguyªn tö. ThÕ ®−îc cho bëi biÓu thøc (thÕ Lennard-Jones, 1932):
236
c h − ¬ n g 6
H×nh 6.22 H×nh th¸i häc bÒ mÆt cña çc líp Si1-xGex ®−îc xö lý nhiÖt ph¸t
triÓn ®Þnh h−íng trªn silic. QuÐt 5 μm.
U(r) = C2 /r12 (6.9)

¶nh ®Þa h×nh SFM th−êng thu ®−îc ë chÕ ®é lùc ®Èy. Sù phô thuéc rÊt m¹nh
cña lùc vµo kho¶ng çch gi÷a çc nguyªn tö ®· cho phÐp t¹o ¶nh víi ®é ph©n
gi¶i nguyªn tö nhê SFM.
Çc ¶nh ph©n gi¶i nguyªn tö ®¹t ®−îc b»ng çch sö dông lùc ®Èy ë thang ®o
vi m«. Albrecht vµ Quate (1987) lÇn ®Çu tiªn nhËn ®−îc ¶nh ph©n gi¶i
nguyªn tö cña mÉu kh«ng dÉn ®iÖn nitrit bo háa ph©n ®Þnh h−íng cao.
Srinivas Manne vµ Scot Groud ®· sö dông SFM víi lo¹i tip th«ng th−êng
nh−ng ®· thu ®−îc ¶nh ph©n gi¶i nguyªn tö cña graphit, h×nh 6.21, v.v…
SFM cã thÓ ®−îc sö dông ®Ó t¹o ¶nh h×nh th¸i bÒ mÆt ë kÝch th−íc nguyªn tö
víi diÖn tÝch 100×100 μm. Kh¶ n¨ng t¸i t¹o ®Þa h×nh bÒ mÆt cho phÐp nhËn
®−îc ¶nh çc chi tiÕt cùc nhá, h×nh 6.21 vµ 6.22. Khi c«ng nghÖ m¹ch tÝch
ph©n tiÕn tíi kÝch th−íc siªu nhá th× SFM sÏ trë thµnh c«ng cô ®¾c lùc cho
c«ng viÖc nghiªn cøu vµ ph¸t triÓn. ThiÕt bÞ SFM kÕt hîp víi kÝnh hiÓn vi
quang häc ®−îc dïng ®Ó ®iÒu khiÓn qu¸ tr×nh s¶n xuÊt. TiÕn bé t−¬ng lai
trong c«ng nghÖ ®Çu dß vµ bé quÐt m· ho¸ sÏ cho phÐp SFM ®−îc sö dông
nh− mét c«ng cô ®o l−êng cho çc phÐp ®o ë kÝch th−íc tíi h¹n.
6.2.7.3 Ma s¸t
Hai bÒ mÆt bÊt kú nµo tiÕp xóc nhau vµ dÞch chuyÓn t−¬ng ®èi so víi nhau
®Òu sinh ra lùc ma s¸t. ViÖc nghiªn cøu lùc ma s¸t vµ kiÓm tra sù mµi mßn
bÒ mÆt lµ rÊt quan träng trong hµng lo¹t c«ng nghÖ tõ çc chi tiÕt ®éng c¬ «
237
t« cho ®Õn lÜnh vùc b¨ng ®Üa tõ. HÇu hÕt çc lý thuyÕt ma s¸t vµ mµi mßn
®Òu dùa trªn sù nghiªn cøu vÜ m« vµ ®· ®−îc hoµn chØnh vµ ph©n tÝch chi
tiÕt. ViÖc thu nhá vµ chÕ t¹o vi c¬ çc bé phËn c¬ khÝ ®· lµm cho çc mÆt
t−¬ng t¸c trë nªn ngµy cµng nhá bÐ. §iÒu ®ã ®ßi hái mét sù hiÓu biÕt s©u s¾c
h¬n vÒ hiÖn t−îng ma s¸t ë thang ®o vi m«.
N¨m 1987 ng−êi ta ®· ®o ®−îc lùc ma s¸t b»ng mòi dß vonfram tr−ît trªn ®Õ
graphit víi t¶i <10-4 N. Hä ®· quan s¸t thÊy lùc ma s¸t biÓu hiÖn d−íi d¹ng
®−êng gÊp nÕp chu kú 2,5 Å víi t¶i mòi dß 2,4×10-5 N. H×nh d¹ng ®ã t−¬ng
tù nh− chu kú cÊu tróc tæ ong cña bÒ mÆt graphit. Lùc ma s¸t ®· thÓ hiÖn sù
biÕn thiªn víi tÝnh chu kú cña líp s¸u c¹nh cña çc ®¬n vÞ SiO4 t¹o nªn mÆt
ph¼ng t¸ch cña mica.
KÝnh hiÓn vi lùc cã thÓ ®−îc sö dông trong c«ng nghÖ ®Ó nghiªn cøu vµ c¶i
thiÖn çc ®Æc tÝnh mµi mßn cña vËt liÖu. Ng−êi ta ®· sö dông kÝnh hiÓn vi lùc
nguyªn tö ®Ó nghiªn cøu sù mµi mßn vµ ph©n bè lùc ma s¸t trªn çc líp
mµng máng kh¸c nhau, thÝ dô, ®· ph¸t hiÖn ra r»ng xö lý plasma CF4 ®·
n©ng cao râ rÖt hiÖu qu¶ b«i tr¬n cña mµng cacbon v« ®Þnh h×nh chøa silic.
Nh÷ng thùc nghiÖm trªn ®©y ®· cho thÊy râ sù phô thuéc cña lùc ma s¸t vµo
b¶n chÊt nguyªn tö cña bÒ mÆt vµ cã thÓ dÉn ®Õn mét sù hiÓu biÕt vÒ ®éng
lùc häc cña ma s¸t ë thang ®o nguyªn tö.
6.2.7.4 T¹o ¶nh tÜnh ®iÖn
SFM cã kh¶ n¨ng ghi nhËn lùc tÜnh ®iÖn, còng cã thÓ sö dông kÝnh hiÓn vi
lùc ®Ó t¹o ®iÖn tÝch vµ chôp ¶nh ®iÖn tÝch ®Þa ph−¬ng trªn bÒ mÆt. ThÝ dô, sù
tÝch ®iÖn ®−îc t¹o trªn bÒ mÆt trong 2 ms víi xung 100 V trong khi tip n»m
çch bÒ mÆt 1000 Å. Khi bÒ mÆt ®−îc quÐt, ®Çu dß sÏ nh¹y c¶m lùc do sù
ph©n bè ®iÖn tÝch ®Þa ph−¬ng thªm vµo lùc Van Der Waals. §iÖn tÝch ®Þa
ph−¬ng bÞ ph©n t¸n do ®Æc tÝnh ®Þa h×nh bëi sù thay ®æi ®iÖn ¸p gi÷a tip mµ
mÉu. §iÒu nµy còng lµm cho tÝnh ph©n cùc ®iÖn tÝch ®−îc ph©n biÖt.
T−¬ng tù, ng−êi ta ®· sö dông SFM ®Ó l−u tr÷ ®iÖn tÝch ®Þa ph−¬ng trong
mµng nitride-oxide-silicon. §iÖn tÝch l−u tr÷ cã kÝch th−íc hiÖu dông víi
chiÒu réng lµ 750 Å vµ æn ®Þnh trong kho¶ng 7 ngµy. Còng b»ng çch nh−
vËy ng−êi ta cã thÓ l−u ®−îc 256 kilobit th«ng tin trªn diÖn tÝch 120 μm ×
120 μm víi tØ lÖ sai sè nhá h¬n 0,03%.
Còng cã thÓ sö dông SFM ®Ó ®o lùc ®iÖn dung gi÷a cantilever vµ mÉu. Nhê
®iÖn dung c¶m øng vïng nghÌo (depletion-induced capacitance) cã thÓ thu
®−îc profin pha t¹p ngang trªn silic. §é ph©n gi¶i ngang bÞ giíi h¹n bëi
238
c h − ¬ n g 6
®−êng kÝnh tip vµ vµo cì 10 - 100 nm. Kü thuËt nµy còng cã thÓ ®−îc sö
dông ®Ó ®o nång ®é pha t¹p tõ 1015 tíi 1020 cm-3. Ngoµi viÖc ®o profin pha
t¹p, SFM cßn ®−îc dïng ®Ó thu nhËn ®ång thêi b¶n ®å ®Þa h×nh bÒ mÆt. §iÒu
nµy thËt thuËn tiÖn cho viÖc nghiªn cøu çc linh kiÖn nh− tranzito hiÖu øng
tr−êng vµ tiÕp xóc p-n trong ®i«t.
6.2.7.5 ThiÕt bÞ tõ
ViÖc l−u tr÷ çc sè liÖu tõ ®ang h−íng tíi mËt ®é cao vµ thêi gian ®äc/ghi
nhanh h¬n. V× lý do nµy ®Çu ®äc/ghi ph¶i chuyÓn ®éng víi tèc ®é rÊt cao
trong kho¶ng vµi ngµn angstrom bÒ mÆt. §iÒu nµy ®ßi hái çc ®iÒu kiÖn
nghiªm ngÆt trªn mµng máng vµ ®Õ ®−îc dïng cho s¶n xuÊt çc thiÕt bÞ tõ.
SFM vµ STM ®· ®−îc sö dông ®Ó ®iÒu khiÓn vµ kiÓm tra sù hoµn thiÖn bÒ
mÆt ë mçi qu¸ tr×nh víi ®é ph©n gi¶i cao. ThÝ dô, dïng SFM ®Ó nghiªn cøu
®é mÊp m« cña tÊm vµ ®Üa tõ cøng ®−îc chuÈn bÞ b»ng çc çch kh¸c nhau.
KÕt qu¶ ®· cho thÊy tÝnh thèng kª ®Þa h×nh bÒ mÆt nhËn ®−îc tõ sè liÖu SFM
®· thÓ hiÖn sù kh¸c biÖt râ rÖt so víi çc sè liÖu cña m¸y ®o profin quang
häc kh«ng tiÕp xóc.
SFM còng cã thÓ ®−îc sö dông ®Ó ®o sù ph©n bè mµng chÊt láng trªn bÒ
mÆt. Mµng máng b«i tr¬n ®−îc sö dông trªn ®Üa tõ cøng ®Ó n©ng cao chÊt
l−îng mµi mßn. Sù nhËn biÕt vÒ ph©n bè cña çc líp mµng nµy cã thÓ ®i tíi
sù hiÓu biÕt râ rµng vÒ tÝnh chÊt mµi mßn cña chóng. ChiÒu dµy líp mµng
chÊt láng trªn bÒ mÆt cã thÓ ®o ®−îc b»ng ®−êng cong lùc phô thuéc kho¶ng
çch tip-mÉu trong SFM. §iÒu nµy ®−îc thùc hiÖn b»ng çch dÞch mÉu vÒ
phÝa tip trong khi ®iÒu khiÓn chuyÓn ®éng cña cantilever. Khi tip tiÕn tíi gÇn
bÒ mÆt, chÊt láng sÏ b¸m lªn xung quanh tip vµ h×nh thµnh mÆt khum g©y
nªn lùc hót ®èi víi cantilever. Khi mÉu tiÕp tôc tiÕn s¸t tip, lùc t¸c dông lªn
catilever vÉn kh«ng ®æi cho ®Õn khi tip vµ mÉu tiÕp xóc nhau. T¹i ®iÓm nµy
lùc trë thµnh lùc ®Èy. Sù kh¸c nhau vÒ vÞ trÝ gi÷a ®iÓm t¹i ®ã lùc trë thµnh
lùc hót vµ vÞ trÝ ®iÓm t¹i ®ã lùc trë thµnh lùc ®Èy lµ t−¬ng ®−¬ng víi chiÒu
dµy líp chÊt láng. Nh− vËy cã thÓ vÏ ®−îc b¶n ®å ph©n bè mµng máng chÊt
láng trªn ®Õ b»ng çch, tr−íc hÕt, ®o bÒ mÆt chÊt láng nhê SFM ë chÕ ®é lùc
hót. Sau ®ã ghi ¶nh ®Õ b»ng SFM ë chÕ ®é lùc ®Èy. Sù kh¸c nhau ë hai ¶nh
nµy ®−îc biÓu diÔn nh− lµ sù ph©n bè mµng chÊt láng trªn bÒ mÆt.
SFM còng cßn ®−îc sö dông ®Ó thiÕt lËp b¶n ®å ®omen tõ cña çc ph−¬ng
tiÖn tõ víi ®é ph©n gi¶i cao. Trong tr−êng hîp nµy SFM ®−îc sö dông lµ
kÝnh hiÓn vi lùc tõ MFM. Cantilever dïng cho MFM cã thÓ ®−îc chÕ t¹o trùc
tiÕp b»ng d©y hoÆc l¸ s¾t tõ hoÆc ®−îc phñ b»ng mµng s¾t tõ. C¶ hai lo¹i
239
H×nh 6.23 BÒ mÆt mµng máng polypropylene (PP). 1000 × 1000 × 40,3 nm.
t−¬ng t¸c tõ ®Èy vµ hót ®Òu cã thÓ ®−îc t¹o ¶nh. MFM dÔ dµng ®−îc sö dông
®Ó nghiªn cøu dông cô tõ mµ kh«ng cÇn chuÈn bÞ mÉu.
Cã thÓ hy väng r»ng SFM nãi chung vµ MFM nãi riªng sÏ ®ãng vai trß träng
yÕu trong ph¸t triÓn t−¬ng lai cña dông cô l−u tr÷ tõ.
6.2.7.6 VËt liÖu sinh häc vµ ph©n tö h÷u c¬
Gièng nh− STM, mét trong nh÷ng øng dông s«i ®éng cña SFM lµ t¹o ¶nh vËt
liÖu sinh häc. Cã thÓ sö dông SFM ®Ó t¹o ¶nh mÉu sinh häc trong dung dÞch
®Öm vµ ë nhiÖt ®é phßng víi ®é ph©n gi¶i cao.
¶nh mµng protein vµ sîi actin ®· nhËn ®−îc b»ng hiÓn vi lùc nguyªn tö.
Protein ®−îc cè ®Þnh trªn mµng lipit trªn mica vµ ng©m trong dung dÞch
®Öm. ¶nh thu ®−îc phô thuéc vµo lùc sö dông. Khi lùc t¸c dông nhá h¬n
5 nN, cã thÓ quan s¸t ®−îc çc cÊu tróc dµi phÝa trªn. Víi lùc lín h¬n 10 nN
chØ cã mµng n»m d−íi ®−îc nh×n thÊy. Lùc nµy ®ñ m¹nh ®Ó ®Èy çc protein
sang mét bªn.
240
c h − ¬ n g 6
H×nh 6.24 (a) ¶nh SFM ba chiÒu ph©n gi¶i cao cho thÊy râ hai ph©n tö ADN
phñ nhau. DiÖn tÝch quÐt 155 nm × 155 nm. (b) Phøc chÊt protein ADN G4
trªn mica. ADN G4 tù ghÐp thµnh çc cÊu tróc duy nhÊt ®−îc gäi lµ çc sîi
G. ¶nh quÐt nµy cho thÊy çc sîi G chøa çc h¹t protein liªn kÕt víi vÞ trÝ
riªng biÖt trªn ADN G4. QuÐt 1,3 μm.
Còng cã thÓ sö dông SFM ®Ó t¹o ¶nh phøc chÊt ADN-protein, ADN mãc ®¬n
vµ kÐp, çc tÕ bµo sinh häc lín, tÕ bµo m¸u, vi trïng E.coli víi ®é ph©n gi¶i
cao. §Æc biÖt lµ çc tÕ bµo sèng trong m«i tr−êng tù nhiªn còng ®· nhËn
®−îc ¶nh b»ng SFM trong m«i tr−êng n−íc. Ng−êi ta còng quan s¸t ®−îc sù
thay ®æi cña mµng tÕ bµo do sù t¨ng nång ®é muèi dung dÞch vµ do ®−a
thªm kh¸ng thÓ vµo dung dÞch. ¶nh SFM cña çc mÉu polypropylene vµ sinh
häc ®−îc cho trong çc h×nh 6.23 vµ 6.24.
Çc kÕt qu¶ trªn ®©y ®· chøng tá r»ng SFM dÔ dµng ®−îc ¸p dông ®Ó nghiªn
cøu çc mÉu sinh häc vµ ph©n tö h÷u c¬. SFM cã −u thÕ h¬n trong nghiªn
cøu qu¸ tr×nh ®éng häc cña tÕ bµo sèng víi ®é ph©n gi¶i nm. Sù ph¸t triÓn
t−¬ng lai trong kü thuËt cè ®Þnh mÉu vµ chÕ t¹o tip ®¬n nguyªn tö sÏ tiÕn tíi
sù ¸p dông hiÖu qu¶ trong nghiªn cøu chuçi ADN.
6.3 Çc kü thuËt liªn quan
Thµnh c«ng cña STM ®· dÉn ®Õn sù ph¸t triÓn nhiÒu thiÕt bÞ dùa trªn c«ng
nghÖ t−¬ng tù. Mét trong nh÷ng thiÕt bÞ quan träng nhÊt lµ SFM nh− ®· ®−îc
bµn luËn ®Õn ë trªn. D−íi ®©y sÏ tr×nh bµy mét sè kü thuËt liªn quan kh¸c.
241
6.3.1 HiÓn vi quang häc tr−êng gÇn

Mét tia s¸ng chiÕu lªn mÉu sÏ nhiÔu x¹ trong m«i tr−êng lan truyÒn ®ång
nhÊt (tr−êng xa) vµ tr−êng vi ph©n (tr−êng gÇn) s¸t mÉu. Ta ®· biÕt r»ng ®é
ph©n gi¶i cña ¶nh t¹o nªn bëi quang häc tr−êng xa bÞ giíi h¹n bëi b−íc sãng
¸nh s¸ng sö dông. §Ó n©ng cao ®é ph©n gi¶i, çc phÐp ®o cÇn ®−îc tiÕn hµnh
trong tr−êng gÇn. §ã lµ c¬ së cho kÝnh hiÓn vi quang häc tr−êng gÇn
(Scanning Near Field Optical Microscope-SNOM) vµ kÝnh hiÓn vi tunnel
photon quÐt (Scanning Photon Tunneling Microscope-SPTM).
Trong SNOM mét èng nhá víi ®Çu nhän vµ lç khÈu ®é nhá ®−îc sö dông
nh− mét nguån s¸ng (chÕ ®é chiÕu s¸ng). Sù t¸n x¹ truyÒn qua lç khÈu ®é
tr−íc hÕt ®−îc chuÈn trùc nhê kÝch th−íc lç vµ kh«ng phô thuéc vµo b−íc
sãng ¸nh s¸ng. Khi èng nhá ®−îc ®−a tiÕp cËn (tr−êng gÇn) víi bÒ mÆt, tia
s¸ng tõ lç khÈu ®é ®i xuyªn qua mÉu b¸n trong suèt vµ ®−îc thu nhËn trong
khi mÉu ®−îc quÐt. Khi thu (chÕ ®é thu) lç khÈu ®é ®−îc sö dông ®Ó thu tia
s¸ng truyÒn qua mÉu. §é ph©n gi¶i cao sÏ ®¹t ®−îc trong chÕ ®é nµy v× tia
s¸ng ®−îc thu nhËn trong tr−êng gÇn. SNOM còng cã thÓ ho¹t ®éng ®−îc ë
chÕ ®é ph¶n x¹ khi ®ã lç khÈu ®é ®−îc sö dông ®Ó chiÕu vµ ®ång thêi thu
¸nh s¸ng. HiÖn nay ®é ph©n gi¶i cña SNOM lµ vµi tr¨m angstrom vµ bÞ gíi
h¹n bëi khã kh¨n trong chÕ t¹o lç khÈu ®é nhá h¬n b−íc sãng cã tÝnh lÆp l¹i.
Sù øng dông cña SNOM bao gåm t¹o ¶nh vËt liÖu sinh häc, vÏ b¶n ®å cña bÒ
mÆt vµ mµng máng.
Trong SPTM, mòi dß quang häc s¾c nhän ®−îc ®−a tiÕp cËn bÒ mÆt trong
tr−êng gÇn. Çc photon ®−îc truyÒn qua çp quang tíi èng nh©n photon ®Ó
t¹o dßng ®iÖn. Khi ®ã, dßng ®iÖn ®−îc sö dông cho m¹ch ph¶n håi, t−¬ng tù
nh− STM, ®Ó gi÷ tip gÇn bÒ mÆt khi nã ®−îc quÐt theo h−íng x vµ y. Tr−êng
gÇn ®−îc t¹o nªn b»ng çch g¾n mÉu vµo mét l¨ng kÝnh vµ h−íng ¸nh s¸ng
tíi mÆt sau cña mÉu sao cho nã ph¶n x¹ bªn trong. V× sù suy gi¶m hµm mò
cña tr−êng gÇn theo kho¶ng çch nªn ®é ph©n gi¶i h−íng vu«ng gãc v¬Ý mÉu
vµo kho¶ng 1 nm. §é ph©n gi¶i ngang kh«ng bÞ h¹n chÕ bëi b−íc sãng vµ
phô thuéc vµo kÝch th−íc mòi nhän. §é ph©n gi¶i ngang cã thÓ ®¹t ®−îc
20 nm. øng dông nhiÒu cña SPTM lµ t¹o ¶nh mÉu sinh häc vµ ®o l−êng.
6.3.2 HiÓn vi ®iÖn tö n¨ng l−îng xung kÝch

MÆt ph©n giíi cña mµng máng lµ ®èi t−îng quan t©m cña çc nhµ khoa häc
mµng máng vµ vËt lý linh kiÖn. MÆt ph©n giíi lµ ®èi t−îng kh«ng dÔ g× tiÕp
cËn vµ v× vËy chØ cã thÓ ®¸nh gi¸ nã b»ng çch gi¸n tiÕp hoÆc ph¸ huû. Mét
242
c h − ¬ n g 6
sù më réng cña STM gäi lµ hiÓn vi ®iÖn tö n¨ng l−îng xung kÝch (Ballistic
Energy Electron Microscopy-BEEM) ®· ®−îc ph¸t triÓn cho çc môc ®Ých
nghiªn cøu vËt liÖu. Kü thuËt nµy cho phÐp ®¸nh gi¸ kh«ng ph¸ huû vÒ rµo
Schottky t¹i mÆt ph©n giíi cña mµng máng (chiÒu dµy < 100 Å). Ph−¬ng
ph¸p bao gåm ba cùc ®iÖn: tip, mµng máng vµ ®Õ. Tip ®−îc ®−a s¸t mµng
máng ®Ó t¹o dßng tunnel trong mét STM th«ng th−êng. Khi qu·ng ®−êng tù
do trung b×nh cña çc ®iÖn tö tunnel n¨ng l−îng thÊp lín h¬n 100 Å th× mét
sè ®iÖn tö nµy di chuyÓn tíi mÆt ph©n çch. NÕu n¨ng l−îng cña çc ®iÖn tö
nµy nhá h¬n chiÒu cao rµo thÕ t¹i mÆt ph©n giíi th× chóng bÞ ph¶n x¹. V×
n¨ng l−îng ®iÖn tö ®−îc t¨ng lªn bëi sù t¨ng cña ®iÖn ¸p tip nªn mét sè sÏ
v−ît qua rµo bÒ mÆt vµ sÏ ®−îc thu l¹i t¹i ®iÖn cùc ®Õ. Dßng nµy ®−îc sö
dông ®Ó vÏ b¶n ®å tÝnh chÊt ®iÖn mÆt ph©n giíi ngoµi ®Æc tÝnh ®Þa h×nh bÒ
mÆt.
ThÝ dô, ng−êi ta ®· sö dông BEEM ®Ó nghiªn cøu mÆt ph©n çch NiSi2/Si
(111). Hai ®Þnh h−íng cña NiSi2 cã thÓ ph¸t triÓn trªn Si(111): lo¹i A vµ B.
ë lo¹i A, NiSi2 cã cïng ®Þnh h−íng nh− ®Õ. Trong lo¹i B, NiSi2 xoay 180 ®é
so víi h−íng (111). Ngoµi ra chiÒu cao rµo Schottky cña çc mÆt ph©n çch
nµy còng ®· ®o ®−îc vµ phï hîp tèt víi çc nghiªn cøu tr−íc ®©y.
6.3.3 ThiÕt bÞ profin nhiÖt quÐt

ThiÕt bÞ profin nhiÖt quÐt (Scanning Thermal Profiler-STP) sö dông mét c¶m
biÕn ®−îc nung nãng cã miÒn tiÕp xóc t−¬ng t¸c nhiÖt kÝch th−íc cì 100 nm.
Khi tip nung nãng tiÕp cËn bÒ mÆt mÉu th× nhiÖt ®é cña tip gi¶m xuèng do
t−¬ng t¸c nhiÖt gi÷a tip vµ mÉu. V× thÕ, nhiÖt ®é tip lµ mét hµm cña ®é réng
khe tip-mÉu. Trong qu¸ tr×nh ®o profin bÒ mÆt nhiÖt ®é cña tip bÞ thay ®æi
theo h×nh sin. NhiÖt ®é biÕn thiªn cña tip ®−îc sö dông cho m¹ch ®iÒu khiÓn
t−¬ng tù nh− trong STM. Khi Êy ®Çu dß ®−îc quÐt trªn bÒ mÆt ®Ó nhËn ®−îc
profin ba chiÒu. Kü thuËt nµy cã ®é ph©n gi¶i ngang 100 nm vµ ®é ph©n gi¶i
®øng 3 nm kh«ng phô thuéc vµo bÒ mÆt ®−îc dß. ThiÕt bÞ profin cã thÓ ®−îc
sö dông cho ®é réng khe > 10 nm vµ do ®ã nã rÊt h÷u Ých ®Ó t¹o profin
kh«ng tiÕp xóc ®èi víi vËt liÖu kh«ng dÉn ®iÖn.
6.3.4 KÝnh hiÓn vi dÉn ion quÐt

KÝnh hiÓn vi dÉn ion quÐt (Scanning Ion-Conductance Microscope-SICM)
dùa trªn dßng çc ion qua èng mao dÉn. èng mao dÉn ®−îc ®Æt trong dung
dÞch ®iÖn ph©n vµ ®−îc quÐt s¸t mÉu. Khi èng mao dÉn tiÕp cËn h¬n bÒ mÆt
243
th× dßng ion t¨ng lªn. Dßng ®iÖn qua èng mao dÉn ®−îc sö dông ®Ó ®iÒu
khiÓn vÞ trÝ cña nã gÇn bÒ mÆt gièng nh− STM. SICM ®−îc sö dông ®Ó ®o ®Þa
h×nh vµ c¶ dßng ion ®Þa ph−¬ng gÇn bÒ mÆt.
KÕt luËn
Trªn ®©y ®· tr×nh bµy kh¸i qu¸t vÒ kÝnh hiÓn vi ®Çu dß quÐt, çc øng dông ®a
d¹ng cña nã vµ mét sè kü thuËt míi ®−îc t¹o ra tõ lo¹i hiÓn vi nµy. HiÓn vi
®Çu dß quÐt vÉn cßn trong giai ®o¹n ph¸t triÓn. Çc øng dông vµ ph¸t triÓn
®−îc nªu ra ë ®©y còng chØ lµ b−íc ®Çu cña kû nguyªn míi trong lÜnh vùc
hiÓn vi vµ phæ häc.
Mét øng dông quan träng cña SPM lµ ®o l−êng. Sù ph¸t triÓn çc chi tiÕt
d−íi micron trong m¹ch tÝch ph©n ®ang ®Èy tíi giíi h¹n cña phÐp ®o quang
häc. Hy väng r»ng nh÷ng ph¸t triÓn xa h¬n vÒ mòi dß, dÔ dµng sö dông vµ tù
®éng ho¸ cña SPM sÏ cho phÐp øng dông cña nã cµng m¹nh mÏ trong s¶n
xuÊt vµ kiÓm tra c«ng nghÖ.
Cã lÏ øng dông s«i ®éng nhÊt cña SPM lµ t¹o ¶nh ph©n tö sinh häc phøc t¹p.
KÝnh hiÓn vi lùc nguyªn tö-AFM cã lîi thÕ vÒ kÝch th−íc, gi¸ c¶, vµ chuÈn bÞ
mÉu h¬n nhiÒu so víi lo¹i kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö quÐt-SEM vµ truyÒn qua-
TEM. øng dông m¹nh mÏ cña lo¹i kÝnh hiÓn vi lùc quÐt nµy lµ trong lÜnh vùc
nghiªn cøu y sinh häc tÕ bµo. Çc tiÕn bé míi trong nghiªn cøu di truyÒn
häc ch¾c ch¾n sÏ ®¹t ®−îc kÕt qu¶ mü m·n nhê kh¶ n¨ng t¹o ¶nh vµ nhËn
d¹ng cña SPM cho çc hÖ sinh häc phøc t¹p.
244
c h − ¬ n g 7
Ch−¬ng 7
Phæ ®iÖn tö quang tia X
7.1 Nguyªn lý
Kü thuËt phæ ®iÖn tö quang (X-ray Photoelectron Spectroscopy-XPS) sö

dông çc photon ®Ó ion ho¸ çc nguyªn tö bÒ mÆt, ®ång thêi thu nhËn vµ ®o
n¨ng l−îng cña ®iÖn tö quang bËt ra. Trong kü thuËt nµy, bÒ mÆt mÉu ®−îc
b¾n ph¸ bëi tia x n¨ng l−îng thÊp tõ nguån nh«m hoÆc magiª trong ®ã sö
dông pic Kα. §«i khi çc photon n¨ng l−îng thÊp h¬n hoÆc cao h¬n ®−îc sö
dông nh− photon ®−îc ph¸t ra tõ bia silic vµ çc nguån tia cùc tÝm trong phæ
®iÖn tö quang cùc tÝm (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy-UPS).
H×nh 7.1 minh ho¹ qu¸ tr×nh ph¸t x¹ ®iÖn tö quang trong XPS vµ UPS khi bÒ
mÆt mÉu ®−îc b¾n ph¸ bëi çc photon n¨ng l−îng Ex = hν vµ ®iÖn tö bËt ra
hoÆc tõ líp ®iÖn tö ho¸ trÞ hoÆc tõ líp ®iÖn tö trong cïng. N¨ng l−îng E cña
®iÖn tö quang nµy ®−îc cho bëi biÓu thøc:
E = hν - Eb- Φ (7.1)
trong ®ã ν lµ tÇn sè cña photon, Eb lµ n¨ng l−îng liªn kÕt ®iÖn tö vµ Φ lµ
c«ng tho¸t cña mÉu. Mçi nguyªn tè sÏ cã mét tËp pic ®Æc tr−ng trong phæ
®iÖn tö quang t¹i çc ®éng n¨ng ®−îc x¸c ®Þnh bëi n¨ng l−îng photon vµ
çc n¨ng l−îng liªn kÕt t−¬ng øng. B»ng çch ®o ®éng n¨ng ®iÖn tö quang
vµ biÕt n¨ng l−îng photon tíi th× n¨ng l−îng liªn kÕt ®iÖn tö cã thÓ x¸c ®Þnh
®−îc. N¨ng l−îng liªn kÕt chÝnh lµ ®¹i l−îng ®Æc tr−ng cho nguyªn tö mµ tõ
®ã cã thÓ nhËn ®−îc mét sè th«ng tin quan träng vÒ mÉu nghiªn cøu nh−:
1) çc nguyªn tè cã mÆt trong mÉu, 2) hµm l−îng phÇn tr¨m cña mçi nguyªn
tè vµ 3) tr¹ng th¸i ho¸ häc cña çc nguyªn tè cã mÆt.
øng dông chÝnh cña kü thuËt phæ ®iÖn tö quang tia x lµ ®Ó nghiªn cøu çc
ph¶n øng ho¸ häc cã thÓ ph¸t sinh ë vµi líp nguyªn tö ngoµi cïng cña bÒ
mÆt vËt liÖu.
245
p h æ ® i Ö n t ö q u a n g t i a x
H×nh 7.1 Qu¸ tr×nh ph¸t x¹ ®iÖn tö quang.
7.2 ThiÕt bÞ
ThiÕt bÞ XPS cã hai bé phËn chÝnh: 1) nguån tia x, tèt nhÊt lµ ®¬n s¾c,
2) bé ph©n tÝch n¨ng l−îng ®iÖn tö, th−êng lµ bé ph©n tÝch b¸n cÇu.
Phæ ®iÖn tö quang tia x yªu cÇu ch©n kh«ng siªu cao < 10-6 Pa ®Ó tr¸nh lµm
bÈn bÒ mÆt mÉu vµ tr¸nh sù va ch¹m gi÷a ®iÖn tö quang vµ nguyªn tö khÝ
trªn ®−êng tõ bÒ mÆt mÉu tíi ®etect¬. Do ®ã thiÕt bÞ th−êng gåm mét buång
chuÈn bÞ ®Ó tiÕn hµnh çc thÝ nghiÖm ®Æc biÖt vµ lµm s¹ch ban ®Çu vµ mét
buång ph©n tÝch trong ®ã cã nguån photon, mét bé ph©n tÝch ®iÖn tö vµ
®etect¬ cïng víi mét hÖ lµm s¹ch vµ xö lý bÒ mÆt mÉu nh− trong h×nh 7.2.
MÉu ®−îc ®−a vµo buång chÝnh th«ng qua ®−êng vµo vµ buång chuÈn bÞ.
Sau ®ã, mÉu tiÕp tôc ®−îc ®−a vµo buång ph©n tÝch. ë ®©y nã ®−îc b¾n ph¸
bëi mét nguån photon vµ nhê mét hÖ thèng çc thÊu kÝnh ®iÖn tõ çc ®iÖn tö
quang bËt ra ®−îc tiªu tô t¹i khe vµo cña bé ph©n tÝch tÜnh ®iÖn. Çc ®iÖn tö
cã thÓ ®−îc lµm chËm ®Õn mét n¨ng l−îng x¸c ®Þnh tr−íc khi ®i vµo bé ph©n
tÝch trong khi thÕ ®Æt trªn çc b¸n cÇu ph©n tÝch gi÷ kh«ng ®æi hoÆc tíi mét
tØ sè x¸c ®Þnh vµ thÕ ph©n tÝch thay ®æi. Çc ®iÖn tö nµy ®−îc thu b»ng èng
nh©n ®iÖn tö vµ th−êng lµ èng nh©n ®iÖn tö nhiÒu kªnh (channeltron), ®ã lµ
èng víi bÒ mÆt trong ®−îc phñ mét líp vËt liÖu cã thÓ s¶n sinh mét l−îng
lín ®iÖn tö khi chØ cã mét ®iÖn tö ®Ëp vµo. V× nhiÒu ®iÖn tö ®−îc t¨ng tèc vµ
®Ëp vµo thµnh èng nªn sè l−îng ®iÖn tö ®−îc sinh ra sÏ cµng nhiÒu vµ b»ng
çch nh− vËy t−¬ng t¸c cña mét ®iÖn tö ban ®Çu ®· cho mét tÝn hiÖu kÕt qu¶
246
c h − ¬ n g 7
H×nh 7.2 S¬ ®å phæ kÕ ®iÖn tö quang tia x.
v« cïng lín. Phæ kÕ cã thÓ cã mét sè channeltron t¹i cöa ra ®Ó t¨ng c−êng
tèc ®é thu nhËn cña bé ph©n tÝch. Tèt nhÊt nªn cã h¬n mét nguån ph¸t
photon trong mét thiÕt bÞ XPS, bëi v× Ýt nhÊt cÇn hai n¨ng l−îng photon ®Ó
ph©n biÖt gi÷a pic phæ Auger vµ pic phæ ®iÖn tö quang tia x (xem ë phÇn
sau). SÏ rÊt thuËn lîi khi cã mét nguån chuÈn m¹nh víi ®é chÝnh x¸c cao
cho nhu cÇu ph©n tÝch.
7.2.1 Nguån tia x

S¬ ®å thiÕt kÕ nguån tia x hai anot ®−îc chØ ra trªn h×nh 7.3. Anot lµm l¹nh
b»ng n−íc ®−îc chÕ t¹o b»ng ®ång cã hai mÆt chung ®Ønh mµ mçi mÆt ®−îc
phñ mét vËt liÖu ph¸t tia x kh¸c nhau. Hai catot ®−îc ®Æt vÒ hai phÝa ë vÞ trÝ
thÊp h¬n çc mÆt anot nµy vµ cã thÓ lùa chän mét trong hai ®Ó t¹o tia x tõ bÒ
mÆt anot t−¬ng øng. §iÖn tö tõ catot ®−îc t¨ng tèc ®Õn 15 keV ®Ó cho c«ng
suÊt cùc ®¹i 1 kW vµ b¾n ph¸ bÒ mÆt anot ®Ó t¹o phæ tia x ®Æc tr−ng tõ vËt
liÖu phñ anot, h×nh 7.3.
Phæ tia x tõ çc nguån nµy gåm cã phæ ®Æc tr−ng trªn nÒn phæ liªn tôc kÐo
dµi tíi n¨ng l−îng 15 keV cïng víi çc pic ®Æc tr−ng phô. Çc pic phô còng
cã thÓ kÝch thÝch ®iÖn tö quang vµ t¹o pic trªn phæ XPS. HÇu hÕt çc thiÕt bÞ
XPS th−¬ng m¹i ®−îc chÕ t¹o sao cho cã thÓ l¾p ®−îc anot kÐp phñ líp
247
H×nh 7.3 S¬ ®å nguån tia x hai anot.
nh«m vµ magiª víi chiÒu dµy cì 10 μm cho çc pic Kα tõ çc nguyªn tè nµy
víi n¨ng l−îng t−¬ng øng lµ 1486,6 eV vµ 1253,6 eV cho mçi lo¹i. Tuy
nhiªn, còng cã thÓ sö dông mét d¶i réng çc nguyªn tè ®Ó t¹o photon tia x.
B¶ng 7.1 liÖt kª çc nguyªn tè cïng víi n¨ng l−îng ph¸t x¹ ®Æc tr−ng vµ ®é
réng t¹i vÞ trÝ 1/2 chiÒu cao pic.
Ph¸t x¹ nÒn liªn tôc sÏ t¹o ra çc ®iÖn tö quang vµ lµm t¨ng nÒn phæ XPS,
trong khi ®ã çc pic tia x ®Æc tr−ng phô cã thÓ t¹o ra çc pic XPS kh«ng
mong muèn trªn phæ XPS. Çc pic phô nµy cã thÓ ®−îc lo¹i bá vµ nÒn gi¶m
xuèng b»ng çch sö dông m¸y ®¬n s¾c nh− tinh thÓ th¹ch anh vµ ®iÒu chØnh
sao cho chØ cßn l¹i pic tia x ®Æc tr−ng tho¶ m·n ®iÒu kiÖn nhiÔu x¹ cùc ®¹i
(Bragg). Th«ng th−êng çc nguån tia x cã bé läc s¾c b»ng nh«m ®−îc sö
dông cho çc thiÕt bÞ XPS th−¬ng phÈm hiÖn nay, h×nh 7.4. Anot, tinh thÓ
ph©n tÝch vµ mÉu ®−îc s¾p ®Æt sao cho chóng cïng n»m trªn mét vßng trßn
Rowland (vßng trßn tô tiªu) ®Ó çc tia x lu«n tho¶ m·n ®iÒu kiÖn nhiÔu x¹
Bragg vµ tiªu tô ®óng trªn mÉu. §Ó t¹o ra çc chïm tia x víi ®é ph©n t¸n
n¨ng l−îng hÑp cÇn ph¶i tiªu tô chïm tia ®iÖn tö b¾n ph¸ trªn mét diÖn tÝch
nhá. §èi víi h×nh cÇu Rowland 0,5 m th× ®é t¸n s¾c lµ 1,6 mm/eV vµ ®Ó
nhËn ®−îc tia víi ®é réng v¹ch 0,5 eV th× tia ®iÖn tö ph¶i ®−îc tiªu tô tíi
®−êng kÝnh nhá h¬n 0,8 mm. NÕu sö dông cÇu Rowland lín h¬n th× ®é réng
v¹ch sÏ gi¶m xuèng khi ®−êng kÝnh tia ®iÖn tö gi÷ cè ®Þnh.
§Ó t¨ng dßng ph¸t x¹ tia x cÇn t¨ng c−êng ®é tia ®iÖn tö tíi anot vµ c«ng
suÊt cùc ®¹i cã thÓ ®¹t ®−îc kho¶ng 1 kW. §Ó n©ng c«ng suÊt nµy ng−êi ta
sö dông anot quay, khi ®ã anot lµ mét ®Üa quay b»ng ®ång ®−îc phñ líp
248
c h − ¬ n g 7
B¶ng 7.1 N¨ng l−îng vµ ®é réng cña mét sè v¹ch tia x ®Æc tr−ng mÒm.
V¹ch N¨ng l−îng (eV) §é réng (eV)
YM 132,3 0,47
ZrM 151,4 0,77
NbM 171,4 1,21
MoM 192,3 1,53
TiLα 195,3 3,00
CrLα 572,8 3,00
NiLα 851,5 2,50
CuLα 929,7 3,80
MgKα 1253,6 0,70
α 1486,6 0,85
SiKα 1739,5 1,00
YLα 1922,6 1,50
ZrLα 2042,2 1,70
TiLα 4510,0 2,00
CrKα 5417,0 2,10
CuKα 8048,0 2,60
nh«m. Khã kh¨n lín ë ®©y lµ cung cÊp n−íc lµm l¹nh cho anot quay trong
ch©n kh«ng.
Mét trong çc nguån tia x c«ng suÊt lín lµ xincrotron (synchrotron). Khi h¹t
mang ®iÖn ®−îc gia tèc nã sÏ bøc x¹ vµ nguyªn lý nµy ®−îc sö dông trong
xincrotron, ë ®ã çc ®iÖn tö ®−îc gia tèc tíi n¨ng l−îng cao vµ bÞ c−ìng bøc
quay theo ®−êng trßn. Bøc x¹ ph¸t ra ®−îc thu nhËn t¹i çc ®iÓm ®Æc biÖt
xung quanh chu vi vßng trßn. Cùc ®¹i c−êng ®é cña bøc x¹ ®iÖn tõ ph¸t ra tØ
lÖ víi b¸n kÝnh vßng trßn vµ víi lËp ph−¬ng n¨ng l−îng ®iÖn tö. ë n¨ng
l−îng gÇn víi vËn tèc t−¬ng ®èi th× bøc x¹ bÞ bãp l¹i thµnh nãn hÑp tiÕp
tuyÕn víi quü ®¹o ®iÖn tö. §Ó lùa chän n¨ng l−îng theo ý muèn nãn bøc x¹
249
H×nh 7.4 S¬ ®å thiÕt kÕ nguån tia x ®¬n s¾c trong phæ kÕ ®iÖn tö quang.
nµy ®−îc cho qua m¸y ®¬n s¾c. Theo lý thuyÕt, kho¶ng thay ®æi liªn tiÕp cña
n¨ng l−îng tia x tõ vµi chôc eV ®Õn vµi keV lµ cã thÓ ®¹t ®−îc. Song ®iÒu ®ã
l¹i ch−a trë thµnh hiÖn thùc v× rÊt nhiÒu khã kh¨n trong thiÕt kÕ vµ chÕ t¹o do
bÞ rµng buéc bëi mét hÖ ch©n kh«ng siªu cao trong thiÕt bÞ XPS. Tuy nhiªn,
m¸y ®¬n s¾c cã thÓ ®iÒu chØnh liªn tôc ®−îc tíi kho¶ng 500 eV. Lo¹i nguån
tia x nµy cã −u ®iÓm lµ c−êng ®é dßng tia x lµ hai bËc lín h¬n so víi nguån
tia x nh«m Kα th«ng th−êng. TiÕc r»ng çc synchrotron lo¹i nµy l¹i cã cÊu
tróc lín víi b¸n kÝnh cong tíi hµng chôc mÐt vµ gi¸ qu¸ ®¾t.
7.2.2 §etect¬
Çc ®iÖn tö quang bËt ra tõ bÒ mÆt mÉu ®−îc tiªu tô t¹i khe vµo cña bé ph©n
tÝch b¸n cÇu ®ång t©m, h×nh 7.5. Mét thÕ ©m ®Æt vµo trô ngoµi vµ thÕ d−¬ng
trªn trô trong sao cho ë ®iÒu kiÖn lý t−ëng ®−êng t©m gi÷a hai trô lµ ®−êng
cã thÕ b»ng kh«ng. Çc ®iÖn tö ®i vµo bé ph©n tÝch d−íi mét kho¶ng gãc + α
®−îc khèng chÕ bëi ®é réng cña khe vµo, kho¶ng çch tõ khe tíi mÉu vµ sù
s¾p ®Æt tiªu tô cho çc ®iÖn tö quang ph¸t ra.
§é ph©n gi¶i n¨ng l−îng ΔE cña bé ph©n tÝch nµy ®−îc cho bëi :
d α2
ΔE = ( + )E (7.2)
2 R0 4
250
c h − ¬ n g 7
H×nh 7.5 Sù lan truyÒn cña çc ®iÖn tö qua bé ph©n tÝch b¸n cÇu ®ång
t©m.
trong ®ã E lµ n¨ng l−îng tia x tíi, R0 lµ b¸n kÝnh b¸n cÇu vµ d lµ chiÒu réng
khe. §Ó t¨ng ®é nh¹y th× α ph¶i lín nhÊt cã thÓ ®−îc nh−ng ®iÒu ®ã l¹i lµm
kÐm ®é ph©n gi¶i n¨ng l−îng ΔE. Mét sù tho¶ hiÖp cã thÓ ®¹t ®−îc lµ
α2 ≈ d/2R0 vµ khi Êy ph−¬ng tr×nh (7.2) trë thµnh:
d
ΔE = 0,63 E (7.3)
R0
Trong tr−êng hîp ®ã ®é ph©n gi¶i n¨ng l−îng t¨ng tuyÕn tÝnh theo sù gi¶m
®é réng khe d. Çc bé ph©n tÝch b¸n cÇu kiÓu nµy ho¹t ®éng theo hai çch,
çch thø nhÊt lµ tØ sè kh«ng ®æi (Constant Retard Ratio-CRR) vµ çch thø
hai lµ n¨ng l−îng ph©n tÝch kh«ng ®æi (Constant Analyser Energy-CAE) nh−
®· tr×nh bµy ë trªn. ë çch CRR çc ®iÖn tö ®i vµo bé ph©n tÝch theo mét tØ
sè kh«ng ®æi vµ do ®ã ®é ph©n gi¶i n¨ng l−îng sÏ phô thuéc vµo n¨ng l−îng
®iÖn tö. Song trong çch CAE çc ®iÖn tö ®−îc lµm chËm sao cho chóng ®i
vµo bé ph©n tÝch víi n¨ng l−îng nh− nhau vµ v× vËy ®é ph©n gi¶i lµ kh«ng
®æi trong toµn phæ.
7.2.3 §é ph©n gi¶i kh«ng gian

Çc thiÕt bÞ XPS hiÖn ®¹i còng cã thÓ t¹o ¶nh b¶n ®å ph©n bè nguyªn tè
hoÆc tr¹ng th¸i ho¸ häc cña chóng trªn bÒ mÆt. Nh−ng nh−îc ®iÓm lín cña
XPS lµ ®é ph©n gi¶i kh«ng gian kh«ng cao. HiÖn nay ®· cã sù c¶i thiÖn ®¸ng
kÓ vÒ ®é ph©n gi¶i kh«ng gian mÆc dï çc thiÕt bÞ nµy vÉn cã h¹n chÕ nhÊt
®Þnh cÇn kh¾c phôc tr−íc khi chóng cã thÓ ®−îc ¸p dông phæ biÕn ®Ó ph©n
251
H×nh 7.6 §−êng quÐt phæ ®iÖn tö quang tia x sö dông nguån tia x tiªu
®iÓm nhá.
tÝch vi cÊu tróc cña vËt liÖu. Hai ph−¬ng ph¸p sau ®©y ®· ®−îc ¸p dông ®Ó
thu ®−îc th«ng tin kh«ng gian tèt h¬n.
Ph−¬ng ph¸p thø nhÊt dïng mét tia x m¶nh quÐt trªn mÉu b»ng çch dÞch
chuyÓn mÉu, hoÆc sö dông phæ kÕ ®iÖn tö quang theo çch t−¬ng tù nh− kÝnh
hiÓn vi quang häc. Trong mçi thiÕt bÞ nµy tia x tíi ®−îc chuÈn trùc trªn mÉu
víi ®−êng kÝnh trong kho¶ng tõ 20 μm ®Õn 200 μm. MÆc dï chuÈn trùc tia x
®· lµm gi¶m ®¸ng kÓ dßng photon, song çc hÖ thu ngµy cµng ®−îc c¶i tiÕn
râ rÖt do ®ã cã thÓ nhËn ®−îc phæ ®iÖn tö víi chÊt l−îng cao. H×nh 7.6 chØ ra
®−êng quÐt kh¸ tèt thu ®−îc tõ mÉu thÐp kh«ng gØ b»ng çch sö dông nguån
tia x tiªu ®iÓm nhá.
Ph−¬ng ph¸p thø hai sö dông bé ph©n tÝch n¨ng l−îng tÜnh ®iÖn nh− thÊu
kÝnh ®Ó tiªu tô ®iÖn tö bËt ra tõ mét ®iÓm trªn bÒ mÆt mÉu tíi mét ®iÓm
t−¬ng ®−¬ng trªn mÆt ph¼ng tiªu tô ë lèi ra. B»ng çch lùa chän çc ®iÖn tö
quang nhê bé ph©n tÝch n¨ng l−îng ta cã thÓ nhËn ®−îc ¶nh cña mÉu, ®ång
thêi thiÕt lËp ®−îc mét b¶n ®å vÒ tr¹ng th¸i ho¸ häc vµ nguyªn tè bÒ mÆt.
HiÖn nay çc thiÕt bÞ nµy cã thÓ ®¹t ®−îc ®é ph©n gi¶i kh«ng gian vµo cì
10 μm ®Õn vµi μm, h×nh 7.7.
H×nh 7.8 lµ hai ¶nh nhËn ®−îc tõ mÉu polyme ph¸t quang. Trong mçi ¶nh,
pic cacbon 1s ®−îc sö dông ®Ó t¹o ¶nh, song ë h×nh 7.8 (a) pic liªn kÕt dÞch
ho¸ häc C-F2 ®−îc t¹o ¶nh cßn trong h×nh 7.8 (b) pic liªn kÕt C-C ®−îc dïng
®Ó t¹o ¶nh. Hai ¶nh nµy bï nhau vµ cho thÊy t¹p chÊt lµ than ch× tù nhiªn.
252
c h − ¬ n g 7
H×nh 7.7 S¬ ®å phæ kÕ ®iÖn tö quang tia x ESCASCOPE do h·ng VG

Scientific (USA) s¶n xuÊt.
H×nh 7.8 ¶nh ghi nhËn ®−îc nhê ESCASCOPE tõ mÉu polyme ph¸t
quang chøa t¹p: (a) ¶nh C1s- C-F2, (b) ¶nh C1s-C-C.
253
B¶ng 7.2 Tia x vµ ký hiÖu v¹ch phæ.
Sè l−îng tö
n l j HËu tè tia x Líp tia x Møc phæ
1 0 1/2 1 K 1s1/2
2 0 1/2 1 L1 2s1/2
2 1 1/2 2 L2 2p1/2
2 1 3/2 3 L3 2p3/2
3 0 1/2 1 M1 3s1/2
3 1 1/2 2 M2 3p1/2
3 1 3/2 3 M3 3p3/2
3 2 3/2 4 M4 3d3/2
3 2 5/2 5 M5 3d5/2
7.3 Ph©n tÝch ho¸ häc
V× çc ®iÖn tö ®−îc ghi nhËn ë kho¶ng n¨ng l−îng tõ 0 - 1000 eV víi qu·ng
®−êng tù do trung b×nh cì 1 nm nªn çc ®iÖn tö tho¸t ra tõ bÒ mÆt cã nguån
gèc tõ vµi líp nguyªn tö ngoµi cïng cña bÒ mÆt mÉu. Phæ XPS theo sè ®Õm
phô thuéc n¨ng l−îng liªn kÕt ghi nhËn ®−îc tõ bÒ mÆt thÐp sö dông bøc x¹
AlKα vµ MgKα ®−îc chØ ra trªn h×nh 7.9. PhÇn mÒm m¸y tÝnh trong hÖ
thèng thu nhËn sè liÖu cung cÊp hoÆc ®éng n¨ng hoÆc møc n¨ng l−îng liªn
kÕt, trong ®ã th«ng sè n¨ng l−îng liªn kÕt cho th«ng tin vÒ ®Æc tr−ng nguyªn
tè mét çch dÔ dµng h¬n. Quy −íc trong XPS lµ sö dông ký hiÖu ho¸ häc chØ
møc n¨ng l−îng liªn kÕt ®Ó ký hiÖu çc pic phæ. Çc sè l−îng tö, líp tia x vµ
møc phæ ®−îc cho trong b¶ng 7.2 víi n = 1 ®Õn 3. Nh− thÕ, s¾t, nguyªn tè
chñ yÕu trong thÐp, sÏ t¹o nªn çc pic ®iÖn tö quang 2p trong khi t¹p chÊt bÒ
mÆt nh− oxy vµ cacbon ®−îc x¸c ®Þnh b»ng çc pic 1s. Ngoµi ra cßn cã mÆt
çc pic do sù ph¸t sinh ®iÖn tö Auger trong qu¸ tr×nh ion ho¸. V× çc pic nµy
chång lªn nÒn liªn tôc nªn sù cã mÆt cña pic lín sÏ lµm cho nÒn n©ng cao
v−ît qua c¶ bÒ réng pic. Mét sè ®iÖn tö bÞ tiªu hao n¨ng l−îng trªn ®−êng
xuyªn qua líp vËt liÖu, ®Æc biÖt lµ çc ®iÖn tö bøt ra ë ®é s©u cì vµi ®é dµi
qu·ng ®−êng tù do trung b×nh d−íi bÒ mÆt. KÕt qu¶ lµ c−êng ®é nÒn t¨ng lªn
ë phÝa ®éng n¨ng thÊp cña pic g©y nªn hiÖn t−îng n©ng cao nÒn phæ.
254
c h − ¬ n g 7
H×nh 7.9 Phæ ®iÖn tö quang tia x ghi ®−îc tõ thÐp b»ng çch sö dông bøc
x¹: (a) AlKα vµ (b) MgKα. L−u ý r»ng çc pic ®iÖn tö quang dÞch 233 eV
(sù kh¸c nhau vÒ n¨ng l−îng gi÷a çc pic ®Æc tr−ng Al vµ Mg) trong khi
®ã pic Auger vÉn gi÷ ë ®éng n¨ng kh«ng ®æi.
ViÖc lý gi¶i phæ ®ßi hái ph¶i x¸c ®Þnh çc pic Auger tr−íc khi x¸c ®Þnh çc
pic ®iÖn tö quang. Khã kh¨n nµy sÏ gi¶m ®i nhiÒu nÕu phæ kÕ ®−îc l¾p
nguån tia x kÐp. N¨ng l−îng cña pic phô thuéc vµo n¨ng l−îng photon vµ c¶
n¨ng l−îng liªn kÕt cña ®iÖn tö trong nguyªn tö vµ v× thÕ ®éng n¨ng cña ®iÖn
tö quang sÏ thay ®æi theo n¨ng l−îng photon. Tuy nhiªn, ®éng n¨ng cña ®iÖn
tö Auger ®−îc x¸c ®Þnh bëi n¨ng l−îng liªn kÕt cña çc møc ®iÖn tö trong
qu¸ tr×nh Auger vµ chóng vÉn kh«ng thay ®æi khi n¨ng l−îng photon thay
®æi. Nh− vËy b»ng çch ghi hai phæ (Auger vµ ®iÖn tö quang) vµ sö dông
n¨ng l−îng nguån photon kh¸c nhau gi÷a hai çch nµy th× çc pic Auger sÏ
nhËn biÕt ®−îc v× chóng vÉn gi÷ nguyªn t¹i vÞ trÝ ®éng n¨ng x¸c ®Þnh trong
khi çc pic ®iÖn tö quang l¹i dÞch chuyÓn. H×nh 7.9 giíi thiÖu hai phæ ghi
®−îc tõ thÐp sö dông nguån AlKα vµ MgKα, çc pic Auger vÉn gi÷ ë ®éng
n¨ng 700, 650 vµ 600 eV ë c¶ hai phæ trong khi çc pic ®iÖn tö quang dÞch
®i mét l−îng 233 eV.
§iÓm m¹nh cña XPS lµ kh¶ n¨ng nhËn biÕt sù thay ®æi tr¹ng th¸i ho¸ häc
x¶y ra trªn bÒ mÆt khi hai hoÆc nhiÒu nguyªn tö kÕt hîp víi nhau. Khi hai
nguyªn tö kÕt hîp ®Ó t¹o nªn mét hîp chÊt th× sù trao ®æi ®iÖn tö sÏ x¶y ra
255
H×nh 7.10 Phæ ®iÖn tö quang tia x quÐt hÑp tõ pic Fe2p trong qu¸ tr×nh
tiÕp xóc oxy ë 600 K (a) vµ sù më réng pic lín trong phæ cã ký hiÖu F (b).
gi÷a hai nguyªn tö, nguyªn tö nµy trë nªn ©m h¬n vµ nguyªn tö kia d−¬ng
h¬n. §iÒu nµy lµm thay ®æi n¨ng l−îng liªn kÕt ®iÖn tö cña çc ®iÖn tö víi
mét l−îng nhá, th−êng kho¶ng vµi eV hoÆc nhá h¬n, vµ dÉn ®Õn sù dÞch vÞ
trÝ pic trong phæ. V× thÕ sù dÞch pÝc ®−îc gäi lµ dÞch ho¸ häc (chemical
shift). Bëi vËy tõ sù dÞch pic trªn phæ XPS cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc tr¹ng th¸i
ho¸ häc cña çc nguyªn tö. H×nh 7.10 chØ ra phæ quÐt hÑp nhËn ®−îc tõ mÉu
s¾t trong qu¸ tr×nh oxy ho¸, ë ®©y pic Fe 2p3/2 tõ kim lo¹i nguyªn chÊt xuÊt
hiÖn t¹i 706,9 eV, song khi hÊp thô oxy ë nhiÖt ®é 600 K mét pic më réng
xuÊt hiÖn trong khu vùc 710,0 eV. Khi thêi gian tiÕp xóc oxy ®−îc t¨ng lªn
pic më réng sÏ hÑp l¹i vµ dÞch tíi 711,0 eV. Pic më réng thùc ra lµ kÕt qu¶
chång chËp tõ hai pic ®iÖn tö quang 709,3 eV vµ 711,0 eV nh− minh ho¹
trªn h×nh 7.10 (b). S¾t cã thÓ t¹o thµnh çc oxit s¾t tõ (Fe3O4) vµ oxit s¾t
(Fe2O3) trong m«i tr−êng oxy. Trong qu¸ tr×nh oxy ho¸ nµy Fe3O4 t¹o thµnh
tr−íc tiªn trong ®ã çc nguyªn tö s¾t tån t¹i ë c¶ hai tr¹ng th¸i 2+ vµ 3+ vµ
kÕt qu¶ lµ hai pic ®−îc ghi nhËn do sù thay ®æi n¨ng l−îng liªn kÕt ë mçi
tr¹ng th¸i. Tuy nhiªn Fe2O3 chØ chøa çc nguyªn tö s¾t ë tr¹ng th¸i 3+ vµ do
®ã mét pic quan s¸t ®−îc ë n¨ng l−îng liªn kÕt cao h¬n.
256
c h − ¬ n g 7
H×nh 7.11 Phæ më réng trong miÒn ph¸t x¹ 3d cña Pd. HiÖn t−îng quang
ph¸t x¹ 3d t¹o nªn hai pic t¸ch 3d5/2 (EB = 334,9 eV) vµ 3d3/2 (EB = 340,2
B B
eV) víi tØ sè c−êng ®é 3:2.
7.4 CÊu tróc t¨ng thªm trong phæ XPS
Khi nguyªn tö bÞ ion ho¸ mét sù thay ®æi sÏ xuÊt hiÖn trong vïng ch¾n h¹t
nh©n vµ dÉn ®Õn sù s¾p xÕp l¹i tr¹ng th¸i nguyªn tö hay håi phôc nguyªn tö.
N¨ng l−îng liªn quan ®Õn sù håi phôc ®ã cã thÓ kÝch thÝch ®iÖn tö ho¸ trÞ
nh¶y tíi møc trèng cao h¬n vµ hiÖn t−îng nµy ®−îc gäi lµ qu¸ tr×nh
“shake up”. HiÖn t−îng shake up ®· lµm cho ®iÖn tö quang tho¸t ra bÞ mÊt
n¨ng l−îng vµ xuÊt hiÖn pic ë ®éng n¨ng thÊp h¬n. Sù xuÊt hiÖn çc pic
shake up ®−îc x¸c ®Þnh bëi tr¹ng th¸i ho¸ häc cña nguyªn tö vµ gièng nh−
çc kim lo¹i ë tr¹ng th¸i bÞ oxy ho¸ h¬n lµ tr¹ng th¸i trung hoµ. Ngoµi sù
thay ®æi vÞ trÝ cña pic, pic ®iÖn tö quang cã thÓ cã cÊu tróc tinh tÕ do sù t¸ch
v¹ch béi. §iÒu ®ã x¶y ra khi líp ®iÖn tö ho¸ trÞ hoÆc líp lâi chøa çc ®iÖn tö
lÎ cÆp. Khi Êy m«men ®éng l−îng vµ m«men spin cã thÓ liªn kÕt ®Ó cho mét
tr¹ng th¸i n¨ng l−îng kh¸c vµ dÉn ®Õn cÊu tróc t¨ng thªm do sù t¸ch
spin-quü ®¹o ë tr¹ng th¸i cuèi cïng. Sù t¸ch spin-quü ®¹o tÊt nhiªn kh«ng
thÊy ë çc møc s (l = 0), song cã thÓ thÊy ®èi víi çc møc p, d vµ f, ®Æc biÖt
lµ møc 3d, h×nh 7.11. Nãi chung çc pic t¸ch siªu tinh tÕ nµy sit nhau ®Õn ®é
rÊt khã cã thÓ ph©n gi¶i ®−îc b»ng çc phæ kÕ th«ng th−êng cho dï m¸y ®¬n
s¾c ®· trî gióp c¶i thiÖn tèt h¬n ®é ph©n gi¶i.
7.5 Profin chiÒu s©u
Cã thÓ nhËn ®−îc th«ng tin nguyªn tè theo chiÒu s©u vµo bÒ mÆt mÉu nhê
thiÕt bÞ XPS theo çch b¾n ph¸ bÒ mÆt mÉu b»ng chïm ion argon ®Ó bãc dÇn
257
H×nh 7.12 Profin chiÒu s©u phæ ®iÖn tö quang tia x cña oxit t¹o thµnh
trªn thÐp 20% Cr-25% Ni-Nb sau mét giê oxy ho¸ ë nhiÖt ®é 1123 K
trong m«i tr−êng CO2.
tõng líp nguyªn tö vµ ghi nhËn phæ XPS t−¬ng øng. C¨n cø tèc ®é bãc líp
nguyªn tö cã thÓ thu ®−îc sù ph©n bè nguyªn tè theo chiÒu s©u trong mÉu.
Tõ kü thuËt nµy cã thÓ suy ra r»ng diÖn tÝch cÇn t¹o profin chiÒu s©u ph¶i cì
vµi milimet vu«ng vµ nã lín h¬n nhiÒu so víi diÖn tÝch cÇn thiÕt ®Ó t¹o phæ
Auger vµ dÉn ®Õn tèc ®é profin bÞ chËm l¹i. Thªm vµo ®ã, sù b¾n ph¸ ion cã
thÓ lµm thay ®æi tr¹ng th¸i ho¸ häc cña bÒ mÆt, song lîi thÕ cña XPS lµ nã
l¹i cã kh¶ n¨ng cung cÊp ®Æc ®iÓm vÒ tr¹ng th¸i ho¸ häc cã thÓ bÞ mÊt. H×nh
7.12 giíi thiÖu profin nguyªn tè theo chiÒu s©u thu nhËn tõ oxit ®−îc t¹o
thµnh trªn mÉu thÐp kh«ng gØ 20% Cr - 25% Ni-Nb sau mét giê oxy ho¸ ë
nhiÖt ®é 1123 K. Cã hai líp oxit, líp ngoµi lµ spinen kiÓu MnCr2O4 giÇu
crom vµ mangan, nh−ng líp oxit crom Cr2O3 bªn trong chØ giµu crom.
Møc ®é nh¹y bÒ mÆt cña kü thuËt XPS cã thÓ thay ®æi ®−îc b»ng çch thu
®iÖn tö quang ph¸t ra ë çc gãc ph¸t x¹ kh¸c nhau so víi bÒ mÆt, tøc ®é s©u
kh¸c nhau. Ph−¬ng ph¸p nghiªn cøu phô thuéc gãc nµy cã thÓ ®−îc sö dông
®Ó hoµn thµnh ph©n tÝch sù kh¸c nhau cña thµnh phÇn bÒ mÆt (vÒ ®Æc tÝnh
tr¹ng th¸i ho¸ häc) theo chiÒu s©u mµ mÉu kh«ng bÞ ph¸ huû.
258
c h − ¬ n g 7
7.6 Ph©n tÝch ®Þnh l−îng
YÕu tè quan träng nhÊt khi x¸c ®Þnh pic nguyªn tè riªng biÖt trong phæ XPS
lµ tiÕt diÖn ion ho¸ cho líp vá ®iÖn tö riªng, chiÒu s©u tho¸t ®iÖn tö, gãc ph¸t
x¹ vµ ¶nh h−ëng cña m¹ng. Tr−êng hîp ®¬n gi¶n nhÊt ®Ó ph©n tÝch thµnh
phÇn lµ hçn hîp ®ång nhÊt trong ®ã nång ®é nguyªn tè A (XA) vµ B (XB) ®−îc
B
cho bëi
s
XA X IA / IA
= FAB (7.4)
XB I B / I Bs
ë ®©y IA vµ IAs t−¬ng øng lµ tÝn hiÖu tõ nguyªn tè A trong mÉu vµ mÉu chuÈn,
IB vµ IBs t−¬ng øng lµ tÝn hiÖu tõ nguyªn tè B trong mÉu vµ mÉu chuÈn, FABX
B
lµ thõa sè m¹ng. Gi¸ trÞ IAs vµ IBs cã thÓ nhËn ®−îc tõ çc phÐp ®o sö dông
mÉu chuÈn lµm b»ng nguyªn tè nguyªn chÊt ®−îc cho kÌm theo thiÕt bÞ hoÆc
tõ çc sè liÖu ®· ®−îc c«ng bè. §Ó ®¹t ®−îc phÐp ph©n tÝch ®Þnh l−îng b»ng
çch sö dông ph−¬ng tr×nh (7.4) cÇn ph¶i x¸c ®Þnh diÖn tÝnh pic riªng, ®ã lµ
®iÒu phøc t¹p bëi mét thùc tÕ lµ nã ®−îc t¨ng thªm do nÒn ®−îc n©ng cao.
V× vËy cÇn ph¶i lo¹i bá nÒn tr−íc khi tÝnh diÖn tÝch pic. NhiÒu phÇn mÒm dÔ
dµng vÏ ®−îc ®−êng th¼ng gi÷a hai s−ên cña pic, song ®iÒu ®ã cã thÓ dÉn tíi
sai sè, ®Æc biÖt lµ t¹i çc vÞ trÝ mµ ë ®ã cã vµi pic chång nhau. Mét ph−¬ng
ph¸p chÝnh x¸c h¬n cã thÓ nhËn ®−îc b»ng çch ¸p dông ph−¬ng ph¸p hiÖu
chØnh kh«ng tuyÕn tÝnh, ®ã lµ çch cho r»ng møc nÒn t¹i mét ®iÓm tØ lÖ víi
c−êng ®é pic tæng céng trªn møc nÒn nµy. ViÖc x¸c ®Þnh thµnh phÇn trë nªn
phøc t¹p h¬n ®èi víi tr−êng hîp cã mét líp phñ máng nguyªn tè A trªn
nguyªn tè B, song ng−êi ta cho r»ng tÝn hiÖu tõ líp nÒn ®· bÞ suy gi¶m ®i bëi
nguyªn tè A trong qu¸ tr×nh xö lý khi ph©n tÝch ®Þnh l−îng.
7.7 øng dông
Nãi chung kü thuËt XPS Ýt ph¸ huû mÉu h¬n nhiÒu so víi ph−¬ng ph¸p phæ
®iÖn tö Auger (Auger Electron Spectroscopy-AES) hoÆc SIMS (Secondary
Ion Mass Spectroscopy) v× nã b¾n ph¸ bÒ mÆt b»ng photon. Bëi vËy, kü thuËt
nµy lµ thuËn lîi cho viÖc nghiªn cøu vËt liÖu dÔ bÞ mÊt phÈm chÊt nh−
polyme. Tuy nhiªn ®é ph©n gi¶i kh«ng gian kÐm còng h¹n chÕ sù ph©n tÝch,
kÓ c¶ cho çc mÉu lín ph¼ng ®ång ®Òu.
259
H×nh 7.13 §å thÞ n¨ng l−îng liªn kÕt cacbon 1s theo n¨ng l−îng nhiÖt
®éng tÝnh to¸n EB.
B
7.7.1 Polyme
Briggs (1983) ®· giíi thiÖu sù ¸p dông cña kü thuËt nµy ®Ó nghiªn cøu bÒ
mÆt polyme. XPS ®· ®−îc sö dông ®Ó kh¶o s¸t nhiÒu hÖ polyme vµ mét khèi
l−îng ®¸ng kÓ sè liÖu ®· nhËn ®−îc cã liªn quan ®Õn vÞ trÝ cña pic cacbon 1s
trong çc m«i tr−êng kh¸c nhau. §èi víi nguyªn tö cacbon sù kh¸c nhau vÒ
n¨ng l−îng liªn kÕt h¹t nh©n liªn quan mËt thiÕt víi sù kh¸c nhau vÒ n¨ng
l−îng nhiÖt ho¸. Jolly (1972) ®· x©y dùng ®−îc ®å thÞ n¨ng l−îng liªn kÕt
t−¬ng ®èi C1s theo gi¸ trÞ tÝnh to¸n cho mét lo¹t hçn hîp khÝ nh− chØ ra
trong h×nh 7.13. Còng cã thÓ sö dông n¨ng l−îng liªn kÕt C1s ®o ®−îc nµy
®Ó x¸c ®Þnh liªn kÕt cña cacbon víi çc nguyªn tö kh¸c. Ph−¬ng ph¸p t−¬ng
tù ®· ®−îc dïng ®Ó nghiªn cøu liªn kÕt cña çc nguyªn tè kh¸c trong polyme
nh− flo vµ l−u huúnh.
7.7.2 GØ
XPS ®−îc sö dông ®Ó nghiªn cøu t¸c dông cña m«i tr−êng ®èi víi bÒ mÆt
kim lo¹i vµ hîp kim dùa trªn sù hiÓu biÕt vÒ liªn kÕt cña çc nguyªn tö víi
bÒ mÆt. Khi kh¶o s¸t bÒ mÆt s¹ch cña niken tiÕp xóc víi oxy phæ XPS cho
260
c h − ¬ n g 7
H×nh 7.14 Pic oxy 1s trªn nÒn niken lµ mét hµm cña thêi gian tiÕp xóc
oxy. (1) Sù hÊp thô oxy kh«ng ph©n ly. (2) Oxy b¾t ®Çu ph©n ly vµ taä
çc liªn kÕt ho¸ häc víi çc nguyªn tö Ni. Giai ®o¹n nµy ®−îc hoµn
thµnh khi cã mét líp nguyªn tö oxy liªn kÕt ho¸ häc víi Ni. TiÕp tôc hÊp
thô oxy kh«ng ph©n ly. (3) Sù khuÕch t¸n cña nguyªn tö oxy vµ niken ®Ó
t¹o thµnh NiO. ë nhiÖt ®é phßng qu¸ tr×nh nµy chËm nh−ng ë 500 K mét
phÇn nhá NiO t¹o thµnh sau 30 phót trong khi vµi líp ®¬n h×nh thµnh t¹i
550 K .
thÊy pic oxy 1s ghi ®−îc tõ bÒ mÆt niken lµ mét hµm cña thêi gian tiÕp xóc,
h×nh 7.14. Khi thêi gian tiÕp xóc oxy rÊt ng¾n th× vÞ trÝ pic oxy 1s lµ s¸t gi¸
trÞ 531,6 eV vµ ®ã lµ pic oxy kh«ng ph©n ly. Khi tiÕp tôc cho tiÕp xóc, mét
pic míi do oxy ph©n ly tiÕp xóc víi niken xuÊt hiÖn t¹i n¨ng l−îng liªn kÕt
thÊp h¬n: 529,9 eV. DÇn dÇn çc nguyªn tö niken thay ®æi vÞ trÝ theo oxy
ph©n ly, mét qu¸ tr×nh diÔn ra chËm ë nhiÖt ®é phßng v× tèc ®é thay ®æi bÞ
khèng chÕ bëi tÇn sè nh¶y. Tuy nhiªn, ë nhiÖt ®é cao, qu¸ tr×nh nµy ®−îc
t¨ng tèc vµ pic O1s dÞch vÒ n¨ng l−îng liªn kÕt h¬i cao h¬n biÓu thÞ cho
NiO. B»ng çch x¸c ®Þnh nhiÖt ®é t¹i ®ã x¶y ra hiÖn t−îng trªn th× cã thÓ
®¸nh gi¸ ®−îc n¨ng l−îng kÝch ho¹t cho hiÖn t−îng tù khuÕch t¸n trong
niken.
261
c h − ¬ n g 8
Ch−¬ng 8
Vi ph©n tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö
8.1 Giíi thiÖu
ThiÕt bÞ vi ph©n tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö (Electron Probe Microanalyser -

EPMA) do Castaing triÓn khai vµ ph¸t triÓn tõ n¨m 1951 ®· cho kh¶ n¨ng
ghi vµ ®Þnh l−îng tia x ®Æc tr−ng ph¸t x¹ khi çc ®iÖn tö t−¬ng t¸c víi mÉu
khèi. Çc thiÕt bÞ nµy th−êng ®−îc thiÕt kÕ kÕt hîp víi kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö
quÐt (SEM) cã çc phæ kÕ ®Ó ghi nhËn vµ ph©n biÖt tia x ph¸t x¹. Vi ph©n
tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö çc ®Æc tÝnh vi cÊu tróc trong mÉu khèi lµ mét kü
thuËt chÈn ®o¸n ®Ó x¸c ®Þnh thµnh phÇn ho¸ häc víi ®é ph©n gi¶i kh«ng gian
trong kho¶ng 0,1 - 1 μm t−¬ng øng víi thÓ tÝch ph©n tÝch 10-21 m3 ®Õn
10-18 m3. §Æc ®iÓm c¬ b¶n cña çc thiÕt bÞ nµy lµ:
1) Mét hÖ quang ®iÖn tö t¹o mét chïm tia ®iÖn tö cã ®−êng kÝnh tõ 0,1 μm
®Õn 1 μm.
2) Mét gi¸ mÉu dÞch chuyÓn.
3) T¹o ¶nh quang häc vµ quang ®iÖn tö.
4) §etect¬ tia x.
5) Çc m¸y tÝnh ®Ó ®iÒu khiÓn vµ xö lý sè liÖu.
Thµnh c«ng cña EPMA ®· dÉn ®Õn chÕ t¹o çc kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö truyÒn
qua quÐt vi ph©n tÝch ®é ph©n gi¶i cao, trong ®ã chïm tia ®iÖn tö víi thÕ t¨ng
tèc tõ 100 - 400 kV ®−îc tiªu tô tíi ®−êng kÝnh ~ 2 nm trªn bÒ mÆt mÉu.
Kü thuËt vi ph©n tÝch dùa vµo sù thu nhËn vµ ph©n biÖt tia x ph¸t x¹ tõ mÉu
®−îc b¾n ph¸ bëi çc ®iÖn tö n¨ng l−îng cao. Bøc x¹ x ph¸t ra cã thÓ ®−îc
chia thµnh hai phÇn: tia x ®Æc tr−ng liªn quan ®Õn çc nguyªn tè thµnh phÇn
vµ bøc x¹ x liªn tôc ®−îc sinh ra bëi çc ®iÖn tö gi¶m tèc trong mÉu. Tia x
262
v i p h © n t Ý c h b » n g m ò i d ß ® i Ö n t ö
®Æc tr−ng ph¸t ra tõ mét nguyªn tè riªng biÖt cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc tõ b−íc
sãng λ hoÆc n¨ng l−îng ®Æc tr−ng E v×:
E = hc/λ (8.1)
trong ®ã h lµ h»ng sè Planck vµ c lµ vËn tèc ¸nh s¸ng. BiÓu thøc nµy lµ c¬ së
cña kü thuËt sö dông tia x ®Æc tr−ng ®Ó vi ph©n tÝch.
8.2 ThiÕt bÞ vi ph©n tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö
ThiÕt bÞ vi ph©n tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö lµ thiÕt bÞ tiªn tiÕn trong sè çc hÖ
thèng kÕt hîp quang ®iÖn tö vµ thu tia x ®−îc sö dông phæ biÕn hiÖn nay.
ThiÕt kÕ cña EPMA ph¶i ®iÒu tiÕt ®−îc hiÖu qu¶ thÊp cña sù ph¸t sinh tia x
®Ó thu nhËn mét tØ lÖ tia x ph¸t x¹ cao. Nguyªn lý ho¹t ®éng c¬ b¶n cña
EPMA t−¬ng tù nh− SEM vµ ®−îc minh ho¹ trong h×nh 8.1. Mét cét quang
®iÖn tö gåm sóng ®iÖn tö, çc thÊu kÝnh tõ, buång mÉu vµ çc ®etect¬ kh¸c
nhau ®−îc duy tr× trong ch©n kh«ng < 10-3 Pa. Catot ®−îc nung nãng trùc
tiÕp cung cÊp nguån ®iÖn tö cho sóng ®iÖn tö. Catot ®−îc gi÷ ë ®iÖn thÕ ©m,
th−êng tõ 5 ®Õn 30 kV so víi anot nèi ®Êt. Mét cùc l−íi ®Æt gi÷a catot vµ
anot cã thÕ thÊp h¬n mét chót so víi thÕ catot. Nh− vËy ®iÖn tö b¾n ra tõ
catot tíi anot ®−îc tiªu tô bëi tr−êng cùc l−íi thµnh mét ®iÓm cã ®−êng kÝnh
kho¶ng 100 μm. Chïm tia ®iÖn tö nµy sau khi ®i qua çc thÊu kÝnh ®−îc tiªu
tô tíi kÝch th−íc cì vµi ngµn angstrom trªn mÉu. Khi EPMA ë chøc n¨ng
SEM hay ë chÕ ®é t¹o ¶nh quÐt th× kÝch th−íc mòi dß cã thÓ ®¹t ®−îc 100 Å
hoÆc nhá h¬n. Khi chïm ®iÖn tö quÐt lªn bÒ mÆt mÉu çc tÝn hiÖu ®iÖn tö vµ
tia x sÏ ph¸t ra nh− trong h×nh 4.1. C−êng ®é tia x øng víi mçi n¨ng l−îng
®−îc ghi nhËn b»ng m¸y ®Õm hoÆc chØ thÞ trªn mµn h×nh.
Cã thÓ ®Æt chÝnh x¸c vÞ trÝ mòi dß ®iÖn tö vµo vÞ trÝ cÇn ph©n tÝch b»ng çch
sö dông mét kÝnh hiÓn vi quang häc chÊt l−îng cao cho phÐp quan s¸t mÉu
trong qu¸ tr×nh räi tia ®iÖn tö. HiÖn nay çc hÖ ph©n tÝch hiÖn ®¹i ®· sö dông
çc kiÓu ¶nh SEM ®Ó quan s¸t chi tiÕt vÞ trÝ ph©n tÝch. ¶nh ®iÖn tö thø cÊp
th−êng ®−îc sö dông trong tr−êng hîp nµy v× nã cã ®é ph©n gi¶i cao h¬n.
HÖ thèng thÊu kÝnh tô cho phÐp ®iÒu chØnh dßng chïm tia ®iÖn tö th−êng
trong kho¶ng 10-12 ®Õn 10-5 A. H¬n thÕ n÷a, çc thiÕt bÞ hiÖn ®¹i cßn ®−îc
thiÕt kÕ cho çc cuén quÐt vµ çc bé phËn cùc n»m ngoµi ch©n kh«ng ®Ó
®¶m b¶o hÖ ch©n kh«ng s¹ch vµ do ®ã h¹n chÕ tèi ®a sù nhiÔm bÈn mÉu
ph©n tÝch. Mét “thÊu kÝnh mini” cho vËt kÝnh ®−îc sö dông ®Ó cã thÓ vi ph©n
tÝch vµ t¹o ¶nh ®−îc thùc hiÖn ë cïng mét kho¶ng çch lµm viÖc vµ dÔ dµng
263
c h − ¬ n g 8
H×nh 8.1 S¬ ®å çc bé phËn chÝnh cña m¸y vi ph©n tÝch b»ng mòi dß
®iÖn tö. CRT - èng tia catot.
s¾p ®Æt çc ®etect¬ trong kh«ng gian lµm viÖc xung quanh mÉu. Çc thiÕt kÕ
kh¸c nhau vÒ thÊu kÝnh mini ®Òu cã ph©n bè tõ tr−êng lín kÕt hîp víi
kho¶ng çch lµm viÖc phæ kÕ-mÉu ng¾n vµ hÖ sè quang sai cÇu nhá nhÊt ®·
cho phÐp t¹o ®−îc chïm tia ®iÖn tö m¶nh vµ mËt ®é dßng lín. Çc mÉu thiÕt
bÞ th−¬ng m¹i kh¸c nhau còng ®−îc s¶n xuÊt víi môc tiªu ®¹t hiÖu suÊt ph¸t
x¹ tia x tèi −u b»ng çch sö dông nguån ®iÖn tö ph¸t x¹ tr−êng hoÆc LaB6
thay thÕ cho catot nhiÖt vonfram.
MÉu cã thÓ chuyÓn ®éng c¬ häc t−¬ng ®èi so víi chïm ®iÖn tö trªn h−íng x,
y (ngang) vµ z (cao) b»ng çch sö dông mét m«t¬ ®iÒu khiÓn gi¸ mÉu. Chïm
®iÖn tö ®−îc tiªu tô trªn mÉu vµ çc cuén quÐt sÏ lµm lÖch chïm tia theo
m¹ch quÐt hoÆc tinh chØnh vÞ trÝ mòi dß ë tr¹ng th¸i tÜnh.
Çc mÉu chuÈn lµm b»ng nguyªn tè nguyªn chÊt còng ®−îc g¾n s½n lªn gi¸
mÉu. HÇu hÕt çc EPMA ®Òu cã hÖ thèng c¬ hoÆc m¸y tÝnh cho phÐp ng−êi
vËn hµnh chän tr−íc vÞ trÝ vi ph©n tÝch trªn mÉu vµ chän çc mÉu chuÈn.
§−¬ng nhiªn, ®iÒu khiÓn b»ng m¸y tÝnh sÏ gi¶m ®¸ng kÓ thao t¸c cña ng−êi
vËn hµnh vµ nhËn ®−îc kÕt qu¶ ph©n tÝch nhanh chãng.
264
H×nh 8.2 S¬ ®å thÓ tÝch ph©n tÝch vµ qu·ng ®−êng hÊp thô tia x ph¸t ra tõ
mÉu d−íi mét gãc tho¸t ψ.
§é lín cña gãc thu (gãc tho¸t) tia x ψ lµ mét th«ng sè rÊt quan träng ®èi víi
viÖc vi ph©n tÝch nguyªn tè cã nguyªn tö sè thÊp, nã ph¶i lín ®Ó gi¶m qu·ng
®−êng hÊp thô trong mÉu, h×nh 8.2. Th«ng th−êng çc thiÕt bÞ cã gãc thu tia
x lín nhÊt sao cho ®¹t ®−îc hiÖu suÊt cao vµ phï hîp víi cöa vµo cña ®etect¬
®iÖn tö vµ ®etect¬ tia x. Tia x ph¸t x¹ ®−îc thu b»ng c¶ phæ kÕ t¸n s¾c sãng
vµ phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng. Tæ hîp tiªu biÓu lµ gåm bèn phæ kÕ t¸n s¾c
sãng vµ mét phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng. Môc ®Ých sö dông tæ hîp hai lo¹i
phæ kÕ lµ ph©n tÝch ®ång thêi nhiÒu nguyªn tè ®Ó gi¶m sai sè trong thµnh
phÇn ho¸ häc t¹i ®iÓm ph©n tÝch. Çc phæ kÕ vµ kÝnh hiÓn vi ho¹t ®éng trong
cïng mét ch©n kh«ng hoÆc ®−îc t¸ch biÖt bëi çc cöa sæ tia x.
Ngoµi viÖc ®Ó ph©n tÝch ®iÓm, tÝn hiÖu tia x cßn ®−îc sö dông ®Ó t¹o ¶nh tia
x ®Æc tr−ng ph¸t x¹ tõ nguyªn tè riªng biÖt vµ hiÓn thÞ trªn èng tia catot
(CRT) hoÆc chuyÓn thµnh tÝn hiÖu sè vµ xö lý b»ng m¸y tÝnh khi hÖ ®−îc ®Æt
ë kiÓu ¶nh ®iÓm (¶nh tia x). V× chïm ®iÖn tö ®−îc quÐt trªn mÉu nªn ¶nh tia
x ®Æc tr−ng cung cÊp th«ng tin vÒ sù ph©n bè nguyªn tè ®· lùa chän. B»ng
çch thay ®æi tia x ®Æc tr−ng thu ®−îc, çc “b¶n ®å” ph©n bè cho tõng
nguyªn tè cã mÆt cã thÓ nhËn ®−îc dÔ dµng vµ so s¸nh víi ¶nh quang häc
hoÆc ¶nh SEM. Çc ¶nh quÐt nµy cã thÓ ®−îc hiÓn thÞ liªn tôc trªn mµn h×nh
quan s¸t, thÝ dô, cã thÓ tíi 16 møc c−êng ®é kh¸c nhau víi mµu s¾c hoÆc ®é
x¸m riªng cho tõng møc.
8.3 Ph¸t x¹ tia x
Nguån gèc ph¸t x¹ tia x ®Æc tr−ng ®−îc minh ho¹ trong h×nh 8.3. NÕu ®iÖn
tö tíi mÉu cã n¨ng l−îng lín h¬n thÕ kÝch thÝch Ec (n¨ng l−îng liªn kÕt ®iÖn
265
c h − ¬ n g 8
H×nh 8.3 Qu¸ tr×nh ph¸t sinh tia x ®Æc tr−ng vµ ®iÖn tö Auger.
tö h¹t nh©n) th× ®iÖn tö lâi cã thÓ bÞ bËt ra khái nguyªn tö vµ t¹o nªn mét lç
trèng quü ®¹o. Khi Êy nguyªn tö ë tr¹ng th¸i kÝch thÝch vµ çc lç trèng quü
®¹o nhanh chãng ®−îc lÊp ®Çy b»ng sù håi phôc ®iÖn tö kÌm theo gi¶i phãng
mét n¨ng l−îng x¸c ®Þnh b»ng hiÖu hai møc n¨ng l−îng quü ®¹o. N¨ng
l−îng nµy cã thÓ gi¶i phãng d−íi d¹ng photon tia x hoÆc cã thÓ cung cÊp cho
®iÖn tö quü ®¹o kh¸c lµm nã bËt ra khái nguyªn tö. §ã chÝnh lµ ®iÖn tö
Auger. Photon tia x ®Æc tr−ng cã b−íc sãng (hay n¨ng l−îng) rÊt x¸c ®Þnh
®Æc tr−ng cho nguyªn tè ph¸t ra nã. Do vËy, b−íc sãng tia x ®Æc tr−ng cho
biÕt th«ng tin vÒ sù cã mÆt cña nguyªn tè ph¸t ra tia x, cßn c−êng ®é cho
biÕt th«ng tin vÒ nång ®é cña nguyªn tè ®ã.
ThÕ t¨ng tèc E0 sö dông cho tia ®iÖn tö lµ ®Ó kÝch thÝch ph¸t x¹ tia x, nã
quyÕt ®Þnh thang b−íc sãng cña tia x. Mçi nguyªn tè ®Òu cã mét thÕ kÝch
thÝch tíi h¹n Ec mµ d−íi gi¸ trÞ nµy tia x ®Æc tr−ng kh«ng ph¸t ra ®−îc, h×nh
8.4. ThÝ dô, gi¸ trÞ Ec tõ 0,532 kV cho ph¸t x¹ OKα; 1,303 kV cho MgKα;
1,84 kV cho Si Kα vµ tíi 7,111 kV cho FeKα. NÕu phæ L cña tia x ®−îc sö
dông th× 0,779 kV lµ thÝch hîp ®Ó kÝch thÝch CoLα vµ 2,523 kV cho MoLα.
Phæ M tÊt nhiªn cã thÕ kÝch thÝch tíi h¹n thÊp h¬n. §é chÝnh x¸c cña phÐp vi
ph©n tÝch cµng cao nÕu gi¶m thÕ t¨ng tèc E0. Tuy nhiªn E0 kh«ng thÓ thÊp
266
H×nh 8.4 ThÕ kÝch thÝch lµ mét hµm cña nguyªn tö sè.
h¬n 1,5 lÇn gi¸ trÞ thÕ tíi h¹n Ec v× c−êng ®é tia x ®Æc tr−ng gi¶m râ rÖt khi tØ
sè E0/Ec < 1,5. Ngoµi ra, nÕu thÕ t¨ng tèc qu¸ thÊp th× thiÕt bÞ cã thÓ kh«ng
æn ®Þnh. Th«ng th−êng chän thÕ t¨ng tèc E0 lín h¬n thÕ kÝch thÝch tíi h¹n Ec
tõ 1,5 - 2 lÇn ®Ó thu ®−îc tia x ®Æc tr−ng thÝch hîp. ThÕ t¨ng tèc E0 ®−îc gi÷
cè ®Þnh trong suèt qu¸ tr×nh vi ph©n tÝch nªn ph¶i chän E0 sao cho thÝch hîp
nhÊt vµ bao trïm tÊt c¶ nguyªn tè quan t©m. LÊy giíi h¹n trªn cho gi¸ trÞ thÕ
t¨ng tèc cÇn chän song còng kh«ng nªn cao h¬n gi¸ trÞ cÇn thiÕt v× ®é ph©n
gi¶i kh«ng gian cña tia x sÏ kÐm ®i.
ThÝ dô, yªu cÇu ph©n tÝch mét mÉu ®· biÕt trong ®ã chøa s¾t vµ silic. ThÕ ion
ho¸ tíi h¹n cña FeKα lµ 7,11 kV vµ cña SiKα lµ 1,84 kV, thÕ dung hoµ ®−îc
chän trong tr−êng hîp nµy lµ 10 kV.
Kho¶ng b−íc sãng tèt nhÊt cho phÐp ®o phæ tia x lµ tõ 0,07 nm tíi 1,0 nm vµ
chóng sÏ quyÕt ®Þnh sù lùa chän hoÆc lµ K hoÆc lµ L hay M ®Ó ghi nhËn
nguyªn tè cÇn x¸c ®Þnh.
Trong phÐp vi ph©n tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö "dßng mòi dß" ®−îc dïng ®Ó
chØ dßng cña tia ®iÖn tö quÐt. Mét sè ®iÖn tö bÞ t¸n x¹ ng−îc gãp phÇn t¹o
nªn ¶nh ®iÖn tö vµ sè kh¸c ch¹y qua mÉu t¹o nªn dßng ®iÖn mÉu. TØ sè cña
®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc thay ®æi theo ®Æc ®iÓm mÉu, v× thÕ kh«ng thÓ dïng
dßng mÉu ®Ó chØ thÞ dßng mòi dß. Dßng mòi dß cã thÓ ®o ®−îc b»ng çch
dïng mÉu ®o dßng ®−îc bao b»ng lång faraday ®Ó lo¹i trõ t¸n x¹ ng−îc vµ
do ®ã cho ta sù ghi nhËn ®óng dßng mòi dß ®iÖn tö .
267
c h − ¬ n g 8
Gi¸ trÞ dßng dß nµy lµ rÊt quan träng v× nã ¶nh h−ëng ®Õn c−êng ®é cña tia x
ph¸t ra vµ do ®ã quyÕt ®Þnh ®é nh¹y cña phÐp vi ph©n tÝch vµ ®é chÝnh x¸c
cña kÕt qu¶. Th«ng th−êng dßng dß dïng cho phÐp ph©n tÝch lín h¬n dßng
chän ®Ó t¹o ¶nh ®iÖn tö. Víi hÖ t¸n s¾c sãng, ®Ó thu nhËn kÕt qu¶ ph©n tÝch
tèt nhÊt cÇn dßng dß 10-7 A. Tr¸i l¹i, víi hÖ t¸n s¾c n¨ng l−îng th× cã thÓ cho
phÐp dßng 10-10 A. §Æc ®iÓm cña hai lo¹i phæ kÕ ph©n tÝch nµy lµ kh¸c nhau
vµ sÏ ®−îc tr×nh bµy ë phÇn sau. Thùc ra phÐp ®o chÝnh x¸c dßng dß kh«ng
ph¶i lµ vÊn ®Ò ®ßi hái tr−íc hÕt, ®iÒu cã tÇm quan träng sèng cßn chÝnh lµ sù
æn ®Þnh dßng dß trong suèt thêi gian ph©n tÝch. HiÖn nay nhiÒu lo¹i thiÕt bÞ
ph©n tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö cã ®é æn ®Þnh dßng dß ®¹t tíi 1×10-3/giê.
8.4 §é ph©n gi¶i kh«ng gian tia x
§é ph©n gi¶i kh«ng gian tia x kh«ng chØ bÞ giíi h¹n bëi kÝch th−íc mòi dß
mµ cßn bëi kÝch th−íc thÓ tÝch t−¬ng t¸c cña chïm ®iÖn tö víi mÉu, h×nh 8.2,
vµ hiÖu suÊt ph¸t x¹ tia x. Trong vi ph©n tÝch tia x, tÝn hiÖu tia x h÷u Ých tû lÖ
thuËn víi dßng mòi dß. V× trong ®iÒu kiÖn tèi −u dßng dß còng tû lÖ víi ®é
lín cña ®−êng kÝnh mòi dß nªn tÝn hiÖu tia x gi¶m theo sù gi¶m kÝch th−íc
mòi dß. TÝn hiÖu tia x kh«ng ®−îc gi¶m tíi gi¸ trÞ qu¸ thÊp v× qu¸ tr×nh ph¸t
x¹ tia x cã b¶n chÊt thèng kª. Sè ®Õm lÆp l¹i ë cïng mét vÞ trÝ trong ®iÒu
kiÖn thùc nghiÖm gièng nhau cã ®é lÖch chuÈn b»ng c¨n cña b×nh ph−¬ng sè
®Õm. Do ®ã, ®Ó ph©n biÖt râ rµng tÝn hiÖu v¹ch phæ ®Æc tr−ng víi nÒn th×
ng−êi vËn hµnh ph¶i ®iÒu chØnh kÝch th−íc mòi dß vµ thêi gian ®Õm sao cho
ch¾c ch¾n nhËn ®−îc sè ®Õm ®ñ ®Ó tho¶ m·n çc yªu cÇu thèng kª. Cã thÓ
sö dông sóng ®iÖn tö th«ng th−êng ®Ó ®¹t ®−îc kÝch th−íc mòi dß ®−êng
kÝnh 0,5 μm víi dßng dß 2×10-8 A vµ v× thÕ sÏ cho kho¶ng 1011 ®iÖn tö b¾n
vµo mÉu trong mét gi©y. TÝnh to¸n thùc tÕ cho thÊy ®Ó thu ®−îc ®é tin cËy
thèng kª cÇn ph¶i ®Õm tia x Ýt nhÊt trong mét tr¨m gi©y t¹i mçi ®iÓm.
Theo quan ®iÓm ®· tr×nh bµy ë trªn ta thÊy hoÆc t¨ng hiÖu qu¶ thu cña
®etect¬ tia x hoÆc t¨ng ®é räi cña nguån ®iÖn tö vµ do ®ã t¨ng ®−îc dßng dß
víi kÝch th−íc mòi dß ®· ®Þnh sÏ nhËn ®−îc ®é ph©n gi¶i kh«ng gian tèt h¬n.
Tuy nhiªn, kÕt qu¶ nghiªn cøu ®· cho thÊy ®é ph©n gi¶i kh«ng gian tia x cã
thÓ ®¹t ®−îc gi¸ trÞ thÊp h¬n 1 μm b»ng çch ®iÒu chØnh ®é xuyªn th©u cña
chïm tia ®iÖn tö vµ sù t¸n x¹ h¬n lµ ®−êng kÝnh chïm tia tíi trªn mÉu. Nh−
vËy kÝch th−íc nguån ph¸t x¹ tia x ®ãng vai trß quan träng trong c¶i thiÖn ®é
ph©n gi¶i kh«ng gian. KÝch th−íc nguån tia x th−êng ®−îc x¸c ®Þnh b»ng
268
kho¶ng khuÕch t¸n cña ®iÖn tö trong mÉu. Reed (1966) ®· tÝnh ®−îc líp
chiÒu dµy ®ång nhÊt víi ®é lín dr cã thÓ ph©n gi¶i ®−îc nÕu:
dr = 7,7×10-2(E01,5 - Ec1,5)/ρ (μm) (8.2)
ë ®©y E0 vµ Ec (kV) t−¬ng øng lµ thÕ t¨ng tèc vµ thÕ tíi h¹n, ρ (gcm-3) lµ mËt
®é. Tiªu chuÈn vÒ sù ph©n gi¶i ®Þnh l−îng nµy cho gi¸ trÞ dr ®èi víi kim lo¹i
lµ cì 1 μm. TÊt nhiªn ®é ph©n gi¶i ®ã kÐm h¬n nhiÒu so víi ®é ph©n gi¶i
nhËn ®−îc tõ ¶nh ®iÖn tö.
8.5 Thu tia x
Mét phÇn quan träng cña bÊt kú kü thuËt vi ph©n tÝch nµo lµ thu tia x ®Æc
tr−ng ph¸t ra tõ mÉu b»ng çch sö dông mét trong ba lo¹i ®etect¬: a) phæ kÕ
t¸n s¾c sãng, b) phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng vµ c) m¸y ®Õm tØ lÖ khÝ. Mçi
®etect¬ ®Òu cã −u nh−îc ®iÓm riªng song nã cã thÓ ®−îc sö dông cho bÊt kú
cét quang ®iÖn tö nµo víi mét sè ®iÒu kiÖn h×nh häc ®−îc tho¶ m·n. Tuy
nhiªn, phæ kÕ lµ nÐt ®Æc tr−ng c¬ b¶n cña EPMA nªn d−íi ®©y sÏ giíi thiÖu
hai lo¹i phæ kÕ nãi trªn.
8.5.1 Phæ kÕ t¸n s¾c sãng

8.5.1.1 Nguyªn lý ho¹t ®éng
Trong m¸y vi ph©n tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö phæ kÕ tinh thÓ t¸n s¾c sãng
(Wavelength-Dispersive Spectrometer-WDS) hay phæ kÕ tinh thÓ ®−îc sö
dông ®Ó ®o phæ tia x. Çc thµnh phÇn c¬ b¶n cña WDS ®−îc chØ ra trong
h×nh 8.5. Tia x ph¸t ra theo mäi ph−¬ng vµ mét tØ lÖ nhá tíi tinh thÓ ph©n
tÝch d−íi mét gãc tíi θ. NÕu ®Þnh luËt Bragg ®−îc tho¶ m·n nghÜa lµ
nλ = 2dsinθ (8.3)
trong ®ã n lµ sè nguyªn, λ lµ b−íc sãng tia x vµ d lµ kho¶ng çch gi÷a çc
mÆt ph¼ng cña tinh thÓ ph©n tÝch, th× photon tia x sÏ bÞ nhiÔu x¹ vÒ phÝa
®etect¬. Khi Êy mçi photon ®−îc thu b»ng èng ®Õm tØ lÖ vµ n¨ng l−îng cña
nã ®−îc biÕn ®æi thµnh xung ®iÖn ¸p.
Çc xung nµy ®−îc khuÕch ®¹i vµ ®Õm b»ng m¸y ®Õm gép hoÆc c−êng ®é
xung trong mét ®¬n vÞ thêi gian ®−îc chØ thÞ trªn m¸y ®Õm tèc ®é. V× b−íc
sãng tia x cã mèi quan hÖ duy nhÊt víi nguyªn tè riªng biÖt (ph−¬ng tr×nh
(8.1)) nªn trong phæ ®Æc tr−ng ®Þnh tÝnh cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc sù phô thuéc
269
c h − ¬ n g 8
H×nh 8.5 Nguyªn lý ho¹t ®éng c¬ b¶n cña hÖ phæ kÕ t¸n s¾c sãng.
SCA - bé ph©n tÝch ®¬n kªnh
c−êng ®é vµo θ vµ chØ thÞ kÕt qu¶ trªn m¸y vÏ ®å thÞ hoÆc ®æi thµnh tÝn hiÖu
sè vµ hiÓn thÞ trªn mµn h×nh.
8.5.1.2 ThiÕt kÕ phæ kÕ
Tõ ®Þnh luËt Bragg thÊy r»ng kho¶ng b−íc sãng ®o ®−îc b»ng bÊt kú tinh thÓ
nµo còng kh«ng thÓ nhá h¬n gi¸ trÞ 2d, trong khi ®ã çc yÕu tè h×nh häc l¹i
x¸c ®Þnh ®−îc mét giíi h¹n thÊp h¬n. §Ó bao trïm kho¶ng b−íc sãng thùc tÕ
tõ 0,2 ®Õn h¬n 100 Å t−¬ng øng víi d·y phæ cña hÇu hÕt çc v¹ch ®Æc tr−ng
cã thÓ sö dông çc tinh thÓ kh¸c nhau víi kho¶ng çch gi÷a çc mÆt ph¼ng
kh¸c nhau, b¶ng 8.1. Çc EPMA th−êng ®−îc l¾p h¬n mét phæ kÕ vµ mét sè
tinh thÓ ph©n tÝch cã thÓ thay ®æi ®−îc ®Ó tiÕn hµnh vi ph©n tÝch ®Þnh l−îng
vµ t¹o ¶nh ®ång thêi cho mét sè nguyªn tè.
V× tÝn hiÖu tia x ph¸t ra ®−îc giíi h¹n theo mét h−íng x¸c ®Þnh nªn mét hÖ
quang tinh thÓ tiªu tô ®−îc thiÕt kÕ theo yªu cÇu: tinh thÓ, nguån tia x vµ
®etect¬ ph¶i n»m trªn cïng mét vßng trßn tiªu tô (Rowland) nh− chØ ra trªn
h×nh 8.6. Ngoµi ra, tinh thÓ ®−îc uèn cong tíi b¸n kÝnh b»ng hai lÇn b¸n
kÝnh vßng trßn tiªu tô R víi môc ®Ých c¶i thiÖn ®¸ng kÓ ®é ph©n gi¶i vµ
c−êng ®é. Thªm vµo ®ã, ®Ó ®¶m b¶o gãc tho¸t tia x cè ®Þnh, kh«ng phô
270
H×nh 8.6 Phæ kÕ tinh thÓ t¸n s¾c sãng. (a) Thu tia x b»ng phæ kÕ, tia x
ph¸t ra cã nhiÒu b−íc sãng λ song chØ cã mét ®−îc nhiÔu x¹ chän läc vÒ
®etect¬. (b) Gãc thu tia x kh«ng ®æi, thay ®æi vÞ trÝ tinh thÓ vµ ®etect¬ ®Ó
duy tr× ®iÒu kiÖn tiªu tô.
thuéc vµo gãc bragg tr¹ng th¸i cña s¬ ®å tiªu tô ®· ®−îc thiÕt kÕ thay ®æi
®−îc ®Ó ®iÒu khiÓn chuyÓn ®éng cña tinh thÓ ph©n tÝch vµ ®etect¬ sao cho
vÉn gi÷ ®−îc h×nh häc tô tiªu. Phæ tia x ®Þnh tÝnh ®−îc chØ ra trªn h×nh 8.7 lµ
mét hµm cña gãc bragg hoÆc b−íc sãng nhËn ®−îc tõ m¸y vÏ ®å thÞ. Tõ ®å
thÞ cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc gi¸ trÞ b−íc sãng øng víi çc cùc ®¹i (pic) vµ tõ ®ã
cã thÓ suy ra çc v¹ch phæ t−¬ng øng víi çc nguyªn tè cã mÆt trong mÉu.
ThÝ dô ®−a ra trong h×nh 8.7 lµ çc phæ tia x cña hîp kim chÞu nhiÖt cao trªn
c¬ së niken thu ®−îc nhê tinh thÓ ph©n tÝch LiF vµ RAP. §ã chÝnh lµ phÐp
ph©n tÝch ®Þnh tÝnh.
Khi ph©n tÝch ®Þnh l−îng, tinh thÓ ph©n tÝch ®−îc ®Æt ë gãc t−¬ng øng víi
v¹ch ph¸t x¹ cña nguyªn tè riªng cÇn ph©n tÝch vµ çc xung tia x ®−îc ®Õm
trong thêi gian ®· ®Þnh cho mÉu quan t©m vµ c¶ mÉu chuÈn ë cïng mét ®iÒu
kiÖn vËn hµnh. Sau ®ã, çc th«ng tin nµy ®−îc sö dông lµm sè liÖu ®Çu vµo
cho quy tr×nh vi ph©n tÝch ®Þnh l−îng trong ®ã c−êng ®é tia x tØ lÖ víi thµnh
phÇn nguyªn tè.
8.5.1.3 Thùc hiÖn vi ph©n tÝch
a) Ph©n tÝch ®Þnh tÝnh
Ph©n tÝch ®Þnh tÝnh lµ x¸c ®Þnh nguyªn tè cã mÆt trong mÉu. Çc nguyªn tè
tõ Be trë lªn ®Òu cã thÓ ghi nhËn ®−îc b»ng phæ kÕ tinh thÓ. Giíi h¹n kh¶
n¨ng thu cùc tiÓu thay ®æi theo tõng nguyªn tè vµ phô thuéc vµo çc ®iÒu
271
c h − ¬ n g 8
B¶ng 8.1 Kho¶ng ph©n tÝch cña tinh thÓ ph©n tÝch.
Kho¶ng 10 20 30 40 50 60 70 80 90
Tinh 2d, Å b−íc sãng,
thÓ Å Ne Ca Zn Zr Sn Nd Yb Hg Th
5
STE 100,4 21,8 ~ 93,0 B--8O 16
S----23V
8
TAP 25,76 5,58 ~ 23,9 O---15P 24
C--------41Nb 57
La------------80Hg
13
PET 8,742 1,90 ~ 8,10 Al-------26Fe 36
Kr-------------------66Dy
70
Yb------------92U
19
LiF 4,027 0,872~3,73 K-------- 38Sr 48
Cd--------------------------93Np
4
CER 133 28,8 ~ 123 Be--7N 15P--21Sc
5
MYR 80,0 17,4 ~ 74,1 B----9F 17Cl---26Fe
6
LDEI 60 13,2 ~ 54,7 C----10Ne 19
K---29Cu
8
RAP 26,12 5,66 ~ 24,2 O-----15P 23
V-----41Nb 57
La-----------80Hg
Kho¶ng ph©n tÝch cña çc tinh thÓ: ------.
kiÖn vËn hµnh vµ thµnh phÇn mÉu. Trong ®iÒu kiÖn tèi −u, giíi h¹n nµy Ýt khi
nhá h¬n 50 xung/phót vµ ph¶i kiÓm tra sau kho¶ng thêi gian nhÊt ®Þnh. Khi
vi ph©n tÝch ®Þnh tÝnh, phæ kÕ quÐt tõng phÇn nhá cña phæ trong kho¶ng thêi
gian tõ vµi phót ®Õn vµi giê tuú thuéc vµo møc ®é nh¹y mong muèn. KÕt qu¶
nhËn ®−îc lµ phæ tia x ®Æc tr−ng cña mÉu nh− chØ ra trong h×nh 8.7.
b) ¶nh tia x
Mét trong nh÷ng ph−¬ng ph¸p hiÓn thÞ th«ng tin tia x lµ ¶nh quÐt tia x. ¶nh
tia x dÔ dµng ®¸nh gi¸ v× nã gièng ¶nh hiÓn vi th«ng th−êng. ¶nh tia x cña
nguyªn tè ®−îc t¹o ra b»ng çch thu tia x ®Æc tr−ng riªng cña mét nguyªn tè
nµo ®ã mµ ta quan t©m vµ chØ thÞ mçi xung thµnh mét ®iÓm s¸ng trªn èng tia
®iÖn tö ®−îc quÐt ®ång bé víi tia ®iÖn tö tíi. Nh− vËy, ¶nh tia x gåm v« sè
®iÓm s¸ng, çc phÇn s¸ng nhÊt cña ¶nh biÓu thÞ diÖn tÝch tËp trung lín nhÊt
nguyªn tè t−¬ng øng trong mÉu. NÕu nång ®é thÊp th× cÇn thêi gian lé s¸ng
dµi khi chôp ¶nh. So s¸nh çc ¶nh nµy víi nhau ®Ó −íc l−îng sù cã mÆt cña
çc nguyªn tè trong nh÷ng phÇn kh¸c nhau cña cÊu tróc mÉu. Çc phÇn cÊu
tróc nguyªn tè ®−îc t¸ch riªng râ rµng trªn ¶nh tia x. Nh− thÕ ¶nh quÐt tia x
cho th«ng tin vÒ sù ph©n bè nguyªn tè trong mÉu. Tuy nhiªn kh«ng thÓ nhËn
®−îc quan hÖ nång ®é cña hai nguyªn tè b»ng çch so s¸nh hai ¶nh tia x cña
272
H×nh 8.7 Phæ ph¸t x¹ tia x cña mÉu hîp kim ®Æc biÖt trªn c¬ së Ni thu
®−îc b»ng phæ kÕ tinh thÓ: (a) dïng tinh thÓ ph©n tÝch LiF, (b) dïng tinh
thÓ RAP.
chóng v× thêi gian lé s¸ng kh¸c nhau do ®· ®−îc ®iÒu chØnh ®Ó t¹o ¶nh.
H×nh 8.8 lµ mét thÝ dô minh ho¹ vÒ ¶nh quÐt tia x trong ®ã gåm c¶ ¶nh ®iÖn
tö thø cÊp vµ mét sè ¶nh tia x t−¬ng øng víi çc nguyªn tè kh¸c nhau.
c) §−êng quÐt
Còng cã thÓ t¹o ®−êng quÐt nång ®é b»ng çch cho mòi dß ®øng yªn vµ mÉu
dÞch chuyÓn theo ph−¬ng ngang x hoÆc y, hoÆc quÐt mòi dß theo mét
ph−¬ng trªn mÉu ®øng yªn. §−êng quÐt lµ mét ®å thÞ ®¬n gi¶n vÒ sù kh¸c
nhau cña nång ®é cña mçi nguyªn tè riªng biÖt t−¬ng øng víi nh÷ng kho¶ng
çch däc theo ®−êng nµy trªn bÒ mÆt mÉu. Th«ng th−êng, mét sè ®−êng quÐt
nång ®é cña çc nguyªn tè kh¸c nhau däc theo ®−êng ®ã ®−îc vÏ chång lªn
¶nh hiÓn vi quÐt ®· chØ râ khu vùc chÝnh x¸c cÇn quÐt. §©y lµ mét çch
thuËn tiÖn ®Ó biÓu thÞ sè liÖu b¸n ®Þnh l−îng vÒ sù kh¸c nhau ®Þnh l−îng cña
thµnh phÇn tèt h¬n so víi ¶nh quÐt tia x.
8.5.2 Phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng

8.5.2.1 CÊu t¹o vµ nguyªn lý ho¹t ®éng
§etect¬ tia x b¸n dÉn ®· ®−îc sö dông cho quang phæ tia γ n¨ng l−îng cao
trong nhiÒu n¨m. Cuèi nh÷ng n¨m 60 cña thÕ kû 20 ®etect¬ tia x tr¹ng th¸i
273
c h − ¬ n g 8
H×nh 8.8 ¶nh tia X cña hîp kim titan phñ líp oxy ho¸: (a) AlKα, (b) ¶nh
®iÖn tö thø cÊp, (c) CrKα, (d) FeKα.
r¾n lÇn ®Çu tiªn ®−îc sö dông cho EPMA. MÆc dï çc lo¹i ®etect¬ nµy cã ®é
ph©n gi¶i kÐm, song hiÖn nay chóng ®· nhanh chãng ®−îc c¶i thiÖn vµ trë
thµnh çc hÖ ®etect¬ ®é ph©n gi¶i cao, nhiÔu ®ñ nhá, ®¸p øng cho kho¶ng
n¨ng l−îng thÊp h¬n 20 keV lµ khu vùc quan t©m cho sù ghi nhËn tia x ph¸t
x¹ trong EPMA hoÆc SEM. ThËt vËy, çc phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng
274
H×nh 8.9 S¬ ®å phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng.
(Energy-Dispersive Spectrometer-EDS) víi ®etect¬ r¾n ®· kh¾c phôc ®−îc

h¹n chÕ cña phæ kÕ t¸n s¾c sãng v× chóng cã thÓ thu vµ hiÓn thÞ ®ång thêi tÊt
c¶ tia x ®Æc tr−ng ph¸t ra tõ mÉu. Do ®ã, tuy r»ng çc EDS hiÖn t¹i cã ®é
ph©n gi¶i n¨ng l−îng cßn kÐm h¬n WDS song chóng vÉn ®−îc sö dông rÊt
réng r·i, ®Æc biÖt lµ trong SEM.
Çc thµnh phÇn c¬ b¶n cña mét hÖ EDS ®−îc chØ ra trong s¬ ®å trªn
h×nh 8.9. §etect¬ lµ mét ®i«t silic trong ®ã miÒn lo¹i p ®−îc lµm rÊt máng ®Ó
tia x tõ mÉu cã thÓ ®i tíi miÒn chuyÓn tiÕp pn ®· ®−îc më réng nhê pha t¹p
liti (Li) tíi chiÒu dµy ®ñ lín (2-3 mm) ®Ó hÊp thô tia x trong kho¶ng n¨ng
l−îng quan t©m. §iÖn ¸p ©m ®−îc ®Æt vµo miÒn p vµ miÒn n ®−îc nèi víi bé
tiÒn khuÕch ®¹i. Toµn bé hÖ ®etect¬ ®−îc ®Æt trong ch©n kh«ng vµ gi÷ ë
nhiÖt ®é nit¬ láng ®Ó gi¶m tèi ®a çc tÝn hiÖu sinh ra do nhiÖt. Khi kh«ng cã
photon tia x th× kh«ng cã dßng ch¹y qua ®etect¬ v× nã ho¹t ®éng nh− mét
®i«t ph©n cùc ng−îc. Khi photon tia x ®i vµo chuyÓn tiÕp pn më réng nã sÏ
cung cÊp n¨ng l−îng cho ®iÖn tö quang lµm bËt ®iÖn tö nµy ra khái nguyªn
tö silic. Qu¸ tr×nh ion ho¸ ®ã ®· t¹o nªn çc cÆp ®iÖn tö-lç trèng. Quan hÖ
gi÷a sè cÆp ®iÖn tö-lç n vµ n¨ng l−îng Ex cña tia x cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc
®−îc b»ng c«ng thøc:
n = Ex/ En (8.4)
trong ®ã En lµ n¨ng l−îng cÇn thiÕt ®Ó t¹o ra mét cÆp ®iÖn tö-lç, cì 3,8 eV
®èi víi ®etect¬ silic.
275
c h − ¬ n g 8
H×nh 8.10 Phæ n¨ng l−îng cña siªu dÉn nhiÖt ®é cao YBa2Cu3O7-x nhËn
®−îc b»ng ®etect¬ r¾n.
Çc cÆp ®iÖn tö-lç ®−îc t¹o ra trong silic ch¹y vÒ çc ®iÖn cùc vµ chuyÓn
thµnh xung ®iÖn ¸p cho ®Çu vµo cña bé tiÒn khÕch ®¹i. Xung nµy ®−îc
khuÕch ®¹i vµ t¹o d¸ng nhê bé khuÕch ®¹i chÝnh nèi víi bé ph©n tÝch nhiÒu
kªnh vµ ë ®ã sè liÖu ®−îc xö lý ®Ó t¹o thµnh ph©n bè biªn ®é xung tû lÖ víi
n¨ng l−îng tia x. Ph©n bè nµy ®−îc l−u trong m¸y tÝnh vµ hiÓn thÞ trªn mµn
h×nh d−íi d¹ng phæ n¨ng l−îng. H×nh 8.10 lµ phæ n¨ng l−îng cña vËt liÖu
siªu dÉn nhiÖt ®é cao nhËn ®−îc b»ng ®etect¬ r¾n. Cã nhiÒu çch hiÓn thÞ
®Æc ®iÓm phæ ®Ó ph©n tÝch mét çch ®¬n gi¶n nh− chØ ra trong h×nh 8.11. ThÝ
dô, ®¸nh dÊu vÞ trÝ v¹ch K, L vµ M cã thÓ dÔ dµng ®−îc thªm vµo cho toµn
phæ ®èi víi mét hoÆc nhiÒu nguyªn tè cïng mét lóc víi viÖc ghi pic tù ®éng.
Ngoµi ra, cã thÓ ghi chó çc pic trùc tiÕp trªn phæ, h×nh 8.11. Çc phÇn mÒm
còng ®−îc cµi ®Æt s½n trong m¸y tÝnh ®Ó ghi vµ xö lý sè liÖu. Mét trong
nh÷ng lý do hÖ EDS ®−îc øng dông réng r·i lµ vËn hµnh t−¬ng ®èi dÔ vµ thu
nhËn sè liÖu nhanh.
8.5.2.2 Thùc hiÖn ph©n tÝch
Vi ph©n tÝch ®Þnh l−îng ®ßi hái tÝch ph©n sè ®Õm trong phÇn nhá cña pic h¬n
lµ sö dông sè ®Õm t¹i cùc ®¹i pic. Lý do lµ v× ®etect¬ cã ®é ph©n gi¶i n¨ng
l−îng kÐm h¬n nhiÒu so víi chiÒu réng v¹ch tia x ®Æc tr−ng, cì vµi eV. Ngay
c¶ ®etect¬ 140 eV còng cã thÓ lµm nhße çc pic tíi vµi tr¨m eV. Trong thùc
tÕ, tÝch ph©n pic ®−îc thùc hiÖn víi sù trî gióp cña phÇn mÒm m¸y tÝnh.
Gièng nh− hÖ WDS hÖ EDS còng cã thÓ t¹o ¶nh tia x vµ ®−êng quÐt ®Ó chØ
276
H×nh 8.11 Phæ n¨ng l−îng cña hîp kim Ni trªn mµn h×nh minh ho¹ sö
dông bé ®¸nh dÊu v¹ch phæ vµ x¸c ®Þnh pic tù ®éng.
ra sù ph©n bè cña mét hoÆc nhiÒu nguyªn tè. H×nh 8.12 lµ phæ n¨ng l−îng
nhËn ®−îc b»ng çch chiÕu chïm ®iÖn tö trong SEM lªn çc h¹t cacbit
tantan hoÆc trªn nÒn niken cña mÉu ®−îc chØ ra trong ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹
ng−îc vµ ®iÖn tö thø cÊp ë h×nh 8.13 (a) vµ (b). NÕu bé ph©n liÖt trong bé
ph©n tÝch nhiÒu kªnh ®−îc ®Æt chØ vµo "miÒn quan t©m" t−¬ng øng víi v¹ch
tantan hoÆc niken th× cã thÓ nhËn ®−îc ¶nh ph©n bè tia x nh− trong h×nh 8.13
(c) vµ (d). T−¬ng tù, nÕu xung ra ®−îc ®−a tíi m¸y ®Õm tèc ®é th× tÝn hiÖu ra
cña m¸y ®Õm tèc ®é cã thÓ ®−îc sö dông ®Ó t¹o profin ®−êng. ¶nh tia x vµ
®−êng quÐt nhËn ®−îc b»ng hÖ EDS cã −u ®iÓm lµ nÕu mét lo¹t "miÒn quan
t©m" ®−îc ®Æt t−¬ng øng víi çc nguyªn tè kh¸c nhau th× sè liÖu cho mçi
nguyªn tè sÏ nhËn ®−îc cïng mét lóc. H¹n chÕ lín trong t¹o ¶nh tia x vµ
®−êng quÐt b»ng EDS lµ sè liÖu bÞ nhiÔu nhiÒu h¬n trõ khi thu trong kho¶ng
thêi gian rÊt dµi, bëi v× ®é ph©n gi¶i n¨ng l−îng cña EDS kÐm h¬n ®¸ng kÓ
so víi WDS nªn tØ sè pic/ph«ng nhá h¬n.
8.5.2.3 §é ph©n gi¶i n¨ng l−îng
§é ph©n gi¶i n¨ng l−îng Ew ®−îc ®o b»ng ®é réng n¨ng l−îng t¹i nöa cùc
®¹i cña c−êng ®é pic, h×nh 8.14. §é ph©n gi¶i n¨ng l−îng phô thuéc vµo sè
cÆp ®iÖn tö-lç trèng vµ nhiÔu ®iÖn tö, vµ ®−îc tÝnh b»ng c¨n cña tæng b×nh
ph−¬ng cña hai nguån nhiÔu:
277
c h − ¬ n g 8
H×nh 8.12 Phæ n¨ng l−îng nhËn ®−îc tõ nÒn niken (a) vµ h¹t cacbit
tantan (b) cña cÊu tróc ®−îc tr×nh bµy trong h×nh 7.13.
Ew = (Eδ2 + EN2)1/2 (8.5)

trong ®ã Eδ = 2,35 δx, δx = (F.n)1/2 lµ ®é lÖch chuÈn, n - sè cÆp ®iÖn tö-lç,
F- hÖ sè vµ EN- ®é réng nöa cùc ®¹i cña nhiÔu ®iÖn tö trong phÇn khuÕch ®¹i.
TÝnh to¸n cho thÊy ngay c¶ khi hÖ sè F ®¹t gi¸ trÞ tèi −u 0,05 vµ ®é më réng
®iÖn tö gi¶m xuèng b»ng ®é më réng thèng kª th× ®é ph©n gi¶i lý thuyÕt cùc
®¹i cho FeKα t¹i 6,4 keV còng vµo kho¶ng 100 eV. MÆc dï hiÖn nay çc
®etect¬ r¾n cã ®é ph©n gi¶i 140 eV hoÆc lín h¬n song gi¸ trÞ hiÖn t¹i nµy
còng ®· rÊt gÇn víi giíi h¹n lý thuyÕt.
278
H×nh 8.13 H¹t cacbit tantan trong nÒn niken: (a) ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹
ng−îc, (b) ¶nh ®iÖn tö thø cÊp, (c) ¶nh ph©n bè tia x TaMα, (d) ¶nh ph©n
bè tia x NiKα.
8.5.3 So s¸nh gi÷a phæ kÕ tinh thÓ vµ phæ kÕ n¨ng l−îng

Çc ®iÓm l−u ý chung
Theo quan ®iÓm cña çc nhµ ph©n tÝch, çc yÕu tè then chèt quyÕt ®Þnh lùa
chän WDS hoÆc EDS lµ
- Kho¶ng nguyªn tè cã thÓ thu ®−îc.
- §é ph©n gi¶i - chÊt l−îng phæ, çc thµnh phÇn nhiÔu Ýt nhÊt, ph«ng thÊp.
- TÝnh chÝnh x¸c vµ ®é chÝnh x¸c cña kÕt qu¶.
- Thêi gian thu sè liÖu.
- DÔ dµng vËn hµnh vµ b¶o d−ìng.
- Gi¸ c¶.
B¶ng 8.2 so s¸nh çc kh¶ n¨ng cña phæ kÕ t¸n s¾c sãng vµ n¨ng l−îng. Tuy
nhiªn, ba yÕu tè quan träng sau ®©y liªn quan ®Õn phæ kÕ còng cÇn ®−îc
th¶o luËn thªm: a) ®é ph©n gi¶i, b) hiÖu qu¶ vµ c) ®é nh¹y.
279
c h − ¬ n g 8
B¶ng 8.2 ¦u nh−îc ®iÓm cña ®etect¬ r¾n vµ phæ kÕ tinh thÓ.
Phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng Phæ kÕ t¸n s¾c sãng

¦u ®iÓm
Kh«ng yªu cÇu tiªu tô tia x. §é ph©n gi¶i cao: sù t¸ch v¹ch tia x
tèt.
§é nh¹y cao: hiÖu suÊt cã thÓ §Þnh l−îng: thêi gian chÕt nhá, sè ®Õm
®¹t tíi 100% ë gãc khèi lín. tia x tØ lÖ víi nång ®é nguyªn tè do ®ã
rÊt tèt cho nguyªn tè ®¸nh dÊu.
Kh«ng cã giao thoa tõ çc pic TØ sè pic/ph«ng tèt: cho ®é nh¹y cao
bËc cao. ®èi víi nguyªn tè ®¸nh dÊu.
ThiÕt kÕ c¬ khÝ ®¬n gi¶n.
Kh¶ n¨ng ghi nhËn tèc ®é ®Õm Nh¹y ®èi víi nguyªn tè cã nguyªn tö
cao cho phÐp kÝch th−íc mòi dß sè thÊp víi sù lùa chän tinh thÓ thÝch
nhá h¬n vµ mÉu Ýt bÞ h− háng hîp.
h¬n.
Nh−îc ®iÓm
§é ph©n gi¶i n¨ng l−îng kÐm. Cã thÓ cã sai sè gi÷a çc phÐp ®o do
Ho¹t ®éng ë nhiÖt ®é thÊp (77K). hÖ c¬.
§«i khi cÇn sù tho¶ hiÖp trong hÖ Mçi lÇn chØ ph©n tÝch ®−îc mét
quang ®iÖn tö. nguyªn tè: cÇn nhiÒu phæ kÕ.
§ßi hái çch ly ®etect¬ r¾n b»ng Cã thÓ cã sù giao thoa tõ çc v¹ch
cöa sæ Be hÊp thô ph¸t x¹ n¨ng nhiÔu x¹ bËc cao.
l−îng thÊp; cho ®é nh¹y kÐm khi Pic vµ ph«ng ph¶i ®−îc ®o mét çch
ph©n tÝch nguyªn tè cã nguyªn t¸ch biÖt.
tö sè thÊp trong ®iÒu kiÖn ch©n
kh«ng cao vµ ®etect¬ kh«ng cöa
sæ.
TÝn hiÖu t¶n m¹n tõ çc miÒn
çch xa, ph«ng cao.
§Þnh l−îng: ®é chÝnh x¸c kÐm
khi nång ®é rÊt thÊp.
280
H×nh 8.14 Sù ph©n bè cña sè ®Õm pic cho MnKα víi ®é ph©n gi¶i
150 eV.
§é ph©n gi¶i
ChiÒu réng n¨ng l−îng cña pic tia x lµ kho¶ng 2 eV ®−îc ®o t¹i nöa cùc ®¹i
cña pic c−êng ®é. CÇn thÊy r»ng phæ kÕ cã thÓ ph©n biÖt ®−îc gi÷a çc pic
tia x ®Æc tr−ng cã n¨ng l−îng hoÆc b−íc sãng t−¬ng tù nhau, song ë khÝa
c¹nh nµy th× phæ kÕ t¸n s¾c sãng lµ tèt h¬n nhiÒu so víi phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng
l−îng. ChiÒu réng pic ®o ®−îc b»ng phæ kÕ n¨ng l−îng th−êng lµ 150 eV
cho MnKα tøc 2,5% n¨ng l−îng pic, trong khi gi¸ trÞ nµy lµ 2,3 eV tøc
0,039% n¨ng l−îng pic ®o ®−îc nhê phæ kÕ t¸n s¾c sãng, h×nh 8.14. Sù kh¸c
nhau vÒ ®é ph©n gi¶i gi÷a çc WDS vµ EDS cã thÓ thÊy râ trong h×nh 8.15 lµ
phæ cña cïng mét mÉu nhËn ®−îc b»ng hai kü thuËt nãi trªn. V× ®é ph©n gi¶i
n¨ng l−îng t−¬ng ®èi thÊp (∼ 150 eV cho MnKα) nªn khi sö dông phæ kÕ
t¸n s¾c n¨ng l−îng ®Ó vi ph©n tÝch cho mét sè mÉu, ®Æc biÖt lµ nÕu chóng
chøa çc nguyªn tè chuyÓn tiÕp, cã thÓ dÉn ®Õn sù nhÇm lÉn. ThÝ dô, khi
ph©n tÝch mÉu thÐp çc nguyªn tè crom vµ mangan trong mÉu cã thÓ kh«ng
ph©n gi¶i ®−îc.
HiÖu suÊt
HiÖu suÊt thu ®−îc x¸c ®Þnh b»ng tØ sè cña tia x ®Õm ®−îc trªn sè tia x thu
®−îc. HiÖu suÊt nµy phô thuéc vµo n¨ng l−îng tia x vµ kho¶ng n¨ng l−îng
tia x ®¸ng chó ý tõ 3 keV ®Õn 150 keV. §èi víi phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng
hiÖu suÊt ®¹t ®−îc hÇu nh− lµ 100%. Tuy nhiªn, ë n¨ng l−îng thÊp h¬n cÇn
®Æt gi¸ trÞ thùc tÕ thÊp h¬n, ∼1 keV, do sù hÊp thô tia x bëi cöa sæ berili (Be),
líp tiÕp xóc vµng vµ “líp chÕt” cña silic lo¹i p. §iÒu nµy ®· thu hÑp giíi h¹n
vi ph©n tÝnh cho çc nguyªn tè cã nguyªn tö sè lín h¬n 11. Phæ tia x cã thÓ
281
c h − ¬ n g 8
H×nh 8.15 So s¸nh phæ cña thuû tinh (NBS K 252) víi ®etect¬ Si (Li) (a)
vµ phæ kÕ tinh thÓ víi tinh thÓ ph©n tÝch LiF (b). ThÕ t¨ng tèc cho c¶ hai
tr−êng hîp lµ 20 kV.
nhËn ®−îc tõ çc nguyªn tè quan träng cã nguyªn tö sè thÊp h¬n 11 nh−
oxy, nit¬ vµ cacbon b»ng çch sö dông phæ kÕ kh«ng cöa sæ, nh−ng víi ®é
chÝnh x¸c kÐm vµ giíi h¹n thu gi¶m. Trong khi ®ã, phæ kÕ t¸n s¾c sãng l¹i
kh«ng cã nh÷ng h¹n chÕ nh− vËy vµ b»ng çch lùa chän ®óng tinh thÓ ph©n
tÝch th× mäi nguyªn tè ®Òu cã thÓ thu vµ ®¸nh gi¸ ®−îc.
§é nh¹y
§é nh¹y cña phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng so víi phæ kÕ t¸n s¾c sãng phô thuéc
vµo ®Æc tr−ng cña mçi hÖ quang tia x, ®iÒu kiÖn ph©n tÝch ®−îc lùa chän vµ
lo¹i mÉu. ThiÕt kÕ cña EDS cho phÐp ®Æt nã rÊt s¸t mÉu vµ do ®ã t¨ng gãc
khèi thu tia x vµ tèc ®é ®Õm tia x. §iÒu nµy cho phÐp tÝn hiÖu ®iÖn tö nhá
282
h¬n còng ®−îc sö dông ®Ó t¹o nªn mét tÝn hiÖu tia x ®Æc tr−ng cã cïng biªn
®é vµ ®iÒu ®ã cho phÐp ph©n tÝch ®−îc çc thÓ tÝch vËt liÖu nhá h¬n, gi¶m h−
háng mÉu vµ t¨ng c−êng ®é ph©n gi¶i kh«ng gian. TiÕc r»ng chØ sö dông tèc
®é ®Õm nhanh h¬n còng kh«ng thÓ t¨ng tÊt yÕu ®é nh¹y ghi khèi bëi lÏ ®é
nh¹y cßn phô thuéc vµo tØ sè sè ®Õm pic trªn sè ®Õm ph«ng.
8.6 ChuÈn bÞ mÉu
§iÒu kiÖn vÒ bÒ mÆt mÉu lµ vÊn ®Ò quan träng tr−íc tiªn trong EPMA v× kü
thuËt nµy rÊt nh¹y ®èi víi ph©n tÝch bÒ mÆt. Sù chuÈn bÞ mÉu th−êng ph¸t
sinh mét sè hiÖn t−îng trªn bÒ mÆt mÉu: a) bao phñ líp hîp chÊt lµm bãng
b) bãc ®i vËt liÖu pha thø hai, c) ®Þa h×nh thay ®æi, d) lµm trßn mÐp h¹t khi
mµi, e) mÊp m« bÒ mÆt, f) bÒ mÆt kh«ng ph¼ng vµ g) vÕt x−íc. Quy tr×nh
chuÈn bÞ mÉu b»ng ph−¬ng ph¸p kim t−¬ng ®−îc sö dông cho c¶ mÉu ph©n
tÝch vµ mÉu chuÈn: mÉu ph¶i ph¼ng, bãng, kh«ng ®−îc lµm trßn mÐp ®Ó ®¶m
b¶o gi÷ ®−îc tr¹ng th¸i h×nh häc. TÈm thùc nhÑ lµ cÇn thiÕt vµ ®iÒu nµy sÏ
tèt h¬n nÕu tiÕn hµnh d−íi kÝnh hiÓn vi quang häc. Tuy nhiªn, tÈm thùc lµm
sinh ra çc líp máng bÒ mÆt dÉn ®Õn kÕt qu¶ kÐm th× kh«ng ®−îc sö dông
ph−¬ng ph¸p nµy. Sù mÊp m« bÒ mÆt do xö lý lo¹i bá chÊt d−, tÝnh xèp hoÆc
tÈm thùc m¹nh cã thÓ lµm thay ®æi hiÖu suÊt ph¸t x¹ tia x ®Æc tr−ng vµ t¹o
sai sè cho ph©n tÝch ho¸ häc ®Þnh l−îng. Nh÷ng ¶nh h−ëng t−¬ng tù sÏ xuÊt
hiÖn nÕu cã sù nhiÔm bÈn bÒ mÆt mÉu trong qu¸ tr×nh vi ph©n tÝch. Sù nhiÔm
bÈn nh− thÕ bëi çc ph©n tö hydrocarbon trong hÖ ch©n kh«ng thùc tÕ kh«ng
¶nh h−ëng khi ph©n tÝch cacbon vµ cã thÓ gi¶m thiÓu b»ng ph−¬ng ph¸p lµm
l¹nh.
MÉu cã tÝnh dÉn ®iÖn, nhiÖt kÐm ph¶i ®−îc phñ mét líp dÉn. Tuy nhiªn viÖc
phñ ®ã cã thÓ t¹o nªn çc sai sè ph©n tÝch. VÊn ®Ò nµy cã thÓ ®−îc gi¶i quyÕt
b»ng çch gi¶m tèi ®a chiÒu dµy líp phñ vµ chän vËt liÖu phñ víi ®Æc tÝnh
ph¸t x¹ tia x kh«ng g©y nhiÔu cho phæ tia x quan t©m. Líp phñ máng ®ång,
vµng hoÆc nh«m víi chiÒu dµy tõ 10 - 20 nm ®−îc chÕ t¹o b»ng ph−¬ng ph¸p
bèc h¬i trong ch©n kh«ng lµ phï hîp cho nhiÒu lo¹i vËt liÖu nghiªn cøu.
8.7 Ph©n tÝch ®Þnh l−îng
Ph©n tÝch ®Þnh l−îng lµ x¸c ®Þnh hµm l−îng phÇn tr¨m cña nguyªn tè cã
trong mÉu. §Ó vi ph©n tÝnh ®Þnh l−îng c−êng ®é tia x ®o ®−îc ph¶i chuyÓn
®æi thµnh phÇn tr¨m träng l−îng cho çc nguyªn tè cã trong mÉu. Hai
283
c h − ¬ n g 8
H×nh 8.16 S¬ ®å x¸c ®Þnh sè ®Õm tia x cho pic ®Æc tr−ng vµ ph«ng.
ph−¬ng ph¸p hiÖu qu¶ sau ®©y cã thÓ ®¹t ®−îc ®iÒu ®ã. Ph−¬ng ph¸p thø
nhÊt dùa trªn c¬ së mÉu chuÈn ®ång nhÊt cã thµnh phÇn ®· biÕt gièng nh− hÖ
hîp kim cÇn ph©n tÝch. Ph−¬ng ph¸p thø hai, ph−¬ng ph¸p lý thuyÕt, dùa
trªn çc mÉu chuÈn nguyªn chÊt vµ hiÖu chØnh tÝnh to¸n. Çc ph−¬ng ph¸p
trªn ®Òu dùa trªn gi¶ thiÕt cho r»ng tØ sè gi÷a c−êng ®é tia x ®Æc tr−ng IA
ph¸t ra tõ nguyªn tè A trong mÉu vµ c−êng ®é tia x ®Æc tr−ng IAs ph¸t ra tõ
nguyªn tè A nguyªn chÊt hoÆc mÉu chuÈn hîp chÊt t−¬ng ®−¬ng víi nång ®é
träng l−îng CA cña nguyªn tè A trong mÉu:
IA / IAs = (ZAF) CA (8.6)
trong ®ã Z, A vµ F t−¬ng øng lµ çc thõa sè hiÖu chØnh nguyªn tö sè, hÊp thô
vµ huúnh quang. Víi mçi nguyªn tè cã mÆt trong mÉu ta còng cã biÓu thøc
t−¬ng tù. Phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l−îng còng ®−îc sö dông phæ biÕn ®Ó vi ph©n
tÝch. Trong ph−¬ng ph¸p nµy toµn bé b−íc sãng ®−îc ®o ®ång thêi vµ vi
ph©n tÝch ®Þnh l−îng dùa vµo phÐp ®o çc tØ sè IA : IB : IC cho toµn bé nguyªn
B
tè cã mÆt. ë ®©y coi r»ng tæng nång ®é ®o ®−îc lu«n lu«n b»ng 100%, vµ ®Ó
lµm ®−îc ®iÒu ®ã cÇn ph¶i hiÖu chuÈn tèt hÖ ®o vµ tiÕn hµnh hiÖu chØnh ZAF.
BÊt kÓ ph−¬ng ph¸p nµo ®−îc sö dông ®Ó tÝnh to¸n thµnh phÇn CA th× ®é
chÝnh x¸c vÉn phô thuéc nhiÒu vµo phÐp hiÖu chØnh c−êng ®é tia x ph¸t x¹.
V× thÕ cÇn ph¶i hiÖu chØnh ph«ng ph¸t x¹ tia x, thêi gian chÕt vµ çc nguån
sai sè kh¸c. H×nh 8.16 lµ pic tia x gåm sè ®Õm pic NP vµ sè ®Õm ph«ng Nb.
Khi sè ®Õm pic kh¸ lín so víi sè ®Õm ph«ng th× sai sè tÝnh to¸n σN = (NP)-1/2.
284
V× sai sè nµy kh«ng phô thuéc vµo thêi gian ®Õm nªn ghi nhËn mét sè ®Õm
cè ®Þnh sÏ tèt h¬n lµ ghi nhËn sè ®Õm trong kho¶ng thêi gian vi ph©n tÝch cè
®Þnh. Trong n b−íc ch¹y thö, ®é lÖch chuÈn σi ®−îc x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc:
σi2 = Σi ( xi - x )2/(n-1) (8.7)
NÕu σi v−ît qu¸ σN th× xuÊt hiÖn sai sè thùc nghiÖm do thÝ dô sù thay ®æi
®iÖn ¸p èng ®Õm. NÕu sè ®Õm ph«ng Nb tØ lÖ thuËn víi tæng sè ®Õm th× sai sè
®Õm chuÈn lµ
σN = (NP + Nb)1/2/ (NP - Nb) (8.8)
§èi víi nång ®é thÊp nh− h¹t lÉn th× NP tiÕn tíi Nb vµ v× vËy cÇn ph¶i chØnh
Nb ®Ó gi¶m sai sè vµ cÇn thùc hiÖn çc quy tr×nh kh¸c nhau ®Ó ®¶m b¶o sù
®ãng gãp vµo Nb ®· ®−îc ®¸nh gi¸ chÝnh x¸c. Theo quy tr×nh tÝnh to¸n lý
thuyÕt vÒ thµnh phÇn nguyªn tè dùa trªn c¬ së mÉu chuÈn nguyªn chÊt th×
ph¶i tiÕn hµnh hiÖu chØnh nguyªn tö sè Z, hÊp thô A vµ huúnh quang F.
8.7.1 HiÖu chØnh nguyªn tö sè

Trong qu¸ tr×nh vi ph©n tÝch thÕ t¨ng tèc vµ dßng dß ®−îc gi÷ cè ®Þnh, nghÜa
lµ thêi gian tÝnh to¸n vµ sè ®iÖn tö ®Ëp vµo mÉu vµ mÉu chuÈn lµ nh− nhau
trong khi ®o. Tuy nhiªn, sè ®iÖn tö lµm ion ho¸ nguyªn tö trong mÉu vµ mÉu
chuÈn vÉn kh¸c nhau. Nguyªn nh©n cña hiÖn t−îng nµy lµ do c¬ chÕ t¸n x¹
ng−îc ®iÖn tö vµ h·m ®iÖn tö trong vËt liÖu phô thuéc vµo nguyªn tö sè trung
b×nh cña vËt liÖu. Bëi vËy sè tia x ®Æc tr−ng ph¸t ra do mét ®iÖn tö tõ mÉu vµ
mÉu chuÈn sÏ kh¸c nhau vµ ®−îc tÝnh ®Õn ë thõa sè hiÖu chØnh nguyªn tö sè.
Sè hiÖn t−îng ion ho¸ líp K ®−îc sinh ra bëi mét ®iÖn tö cho nguyªn tè A
trong hÖ hai thµnh phÇn AB, trªn qu·ng ®−êng ®iÖn tö dx lµ
dnK = {(QKN0 ρ XA) /ZA} dx (8.9)
trong ®ã QK - tiÕt diÖn ion ho¸ cho ph¸t x¹ K tõ nguyªn tè A, N0 - sè
Avoga®ro, ρ - mËt ®é, ZA - träng l−îng nguyªn tö vµ XA - nång ®é khèi l−îng
cña nguyªn tè A. Sù ion ho¸ x¶y ra trong kho¶ng n¨ng l−îng E0 vµ Ec, ë ®©y
E0 lµ n¨ng l−îng ®iÖn tö tíi vµ Ec lµ n¨ng l−îng tíi h¹n thÊp nhÊt. Tæng sè
hiÖn t−îng ion ho¸ bëi mét ®iÖn tö cho thµnh phÇn A ®−îc cho bëi:
E0
n K = ( N 0 X A / Z A ) ∫ ( ρQK /(dE / dx))dE (8.10)

Ec
285
c h − ¬ n g 8
trong ®ã dE/dx lµ tæn hao n¨ng l−îng trªn mét ®¬n vÞ ®é dµi qu·ng ®−êng.
§¹i l−îng S = - ρ-1(dE/dx) ®−îc gäi lµ n¨ng l−îng h·m cña ®iÖn tö, ®ã chÝnh
lµ phÇn n¨ng l−îng cña ®iÖn tö s¬ cÊp bÞ mÊt ®i trong líp chiÒu dµy d(ρx). TØ
sè c−êng ®é ph¸t x¹ K bëi nguyªn tè A trong hîp kim vµ bëi mÉu chuÈn
nguyªn chÊt cho ta thõa sè hiÖu chØnh nguyªn tö sè Z:
E0 E0
Z = ( R AB ∫ (QK /S AB )dE ) /( R A ∫ (QK /S A )dE ) (8.11)

Ec Ec
Tö sè biÓu thÞ sù ph¸t sinh tia x ®Æc tr−ng tõ nguyªn tè A trong mÉu vµ mÉu
sè biÓu thÞ sù ph¸t sinh tia x ®Æc tr−ng tõ mÉu chuÈn. Nh− vËy, cã thÓ tÝnh
to¸n ®−îc thõa sè hiÖu chØnh cho mçi nguyªn tè ph©n tÝch. Thõa sè tiªu hao
do t¸n x¹ ng−îc R cã gi¸ trÞ trong kho¶ng tõ 0,5 ®Õn 1,0 vµ tiÕn tíi ®¬n vÞ
khi nguyªn tö sè gi¶m vµ thÕ t¨ng tèc ®¹t tíi thÕ ion ho¸.
8.7.2 HiÖu chØnh hÊp thô

C−êng ®é tia x trªn thùc tÕ bÞ suy gi¶m trong mÉu trªn ®−êng tíi ®etect¬. Sù
suy gi¶m nµy trong mÉu vµ mÉu chuÈn lµ kh«ng gièng nhau. NÕu hÖ sè hÊp
thô ®o ®−îc cho mÉu vµ mÉu chuÈn lµ nh− nhau th× thõa sè hÊp thô A = 1 vµ
kh«ng cã hiÖu chØnh hÊp thô. Tuy nhiªn hiÕm cã tr−êng hîp nh− vËy vµ hiÖu
chØnh hÊp thô th−êng lµ yÕu tè ZAF lín nhÊt.
Thõa sè hiÖu chØnh hÊp thô ®−îc biÓu diÔn d−íi d¹ng gi¶i tÝch:
−1
⎡⎛ χ ⎞⎛ h χ ⎞⎤
Ax = ⎢⎜1 + ⎟⎜1 + ⎟⎥ (8.12)
⎣⎝ σ ⎠⎝ 1 + h σ ⎠⎦
trong ®ã h = 1,2∑aiZA/(∑aiZ)2, a - nång ®é nguyªn tö, ZA - träng l−îng
nguyªn tö vµ Z - nguyªn tö sè, χ = (μ/ρ)A + B+ ... i cosψ, ë ®©y ψ - gãc tho¸t
bøc x¹, μ - hÖ sè hÊp thô tuyÕn tÝnh, ρ - mËt ®é vµ σ - tiÕt diÖn hÊp thô ®iÖn
tö ®−îc cho bëi biÓu thøc Duncumb vµ Shields (1963) nh− sau:
σ = 2,39×105/(E01,5 - Ec1,5) (8.13)
trong ®ã E0 vµ Ec ®· nãi ®Õn ë trªn. KÕt qu¶ trªn ®©y vµ sù hiÖu chØnh kh¸c
còng ®· ®−îc Poole vµ Thomas (1962) ®−a ra, çc gi¸ trÞ vÒ hÖ sè hÊp thô
còng ®−îc Heinrich (1972) tæng kÕt thµnh b¶ng. §èi víi çc nguyªn tè cã
nguyªn tö sè nhá h¬n 11 vµ ghi nhËn ë b−íc sãng dµi h¬n th× çc sè liÖu nµy
286
nhá h¬n mét chót vµ çc phÐp ®o cung cÊp çc kÕt qu¶ tèt vµ phï hîp cho
bo, cacbon, nit¬ vµ oxy.
8.7.3 HiÖu chØnh huúnh quang

HiÖu chØnh huúnh quang lµ cÇn thiÕt bëi v× tia x ®Æc tr−ng cña nguyªn tè A
thu ®−îc bao gåm tia x ph¸t sinh trùc tiÕp do ®iÖn tö tíi vµ tia x ph¸t sinh do
bøc x¹ tia x (kÓ c¶ tia x ®Æc tr−ng vµ liªn tôc) ph¸t ra tõ nguyªn tè B cã trong
mÉu. Do ®ã c−êng ®é bøc x¹ tia x nhËn ®−îc tõ nguyªn tè A lín h¬n so víi
c−êng ®é bøc x¹ do ion ho¸ chØ b»ng ®iÖn tö s¬ cÊp.
HiÖu chØnh huúnh quang ®−îc tiÕn hµnh cho v¹ch K ®−îc kÝch thÝch bëi
v¹ch K t¹o nªn tØ sè c−êng ®é If/IA cña c−êng ®é huúnh quang If ®èi víi
c−êng ®é ph¸t x¹ s¬ cÊp IA. Çc c−êng ®é nµy ®−îc hiÖu chØnh ®èi víi hÊp
thô ph¸t sinh tõ mÉu:
I f / I A = X B [1 / 2WKB ((rA − 1) / rA )( AA / AB )(λ A / λ B )( μ AB / μ BB )]χ (8.14)
trong ®ã χ = [ln((1+u)/u)+ln((1+y)/y)], XB lµ nång ®é träng l−îng cña

B
nguyªn tè B, WKB lµ hiÖu suÊt huúnh quang v¹ch K cña nguyªn tè B, rA lµ tØ

sè b−íc nh¶y ng−ìng hÊp thô v¹ch K cña nguyªn tè A, λA vµ λB t−¬ng øng lµ B
b−íc sãng ng−ìng hÊp thô cña nguyªn tè A vµ B, μAB lµ hÖ sè hÊp thô khèi
l−îng cña nguyªn tè A ®èi víi ph¸t x¹ tia x v¹ch K tõ nguyªn tè B, hÖ sè
nµy b»ng hÖ sè suy gi¶m tuyÕn tÝnh chia cho mËt ®é, μBB lµ hÖ sè hÊp thô
khèi l−îng cña nguyªn tè B ®èi víi ph¸t x¹ tia x v¹ch K tõ nguyªn tè B, u vµ
y ®−îc cho bëi c«ng thøc:
u = (μAB/μBB) cosψ (8.15)
y = σ/μBB (8.16)
Çc biÕn ®æi kh¸c ®èi víi ph−¬ng tr×nh (8.16) ®· ®−îc Reed ®Ò x−íng
(1974) cho phÐp ¸p dông cho hÖ ®a thµnh phÇn vµ ph¸t x¹ K vµ L song còng
cã d¹ng t−¬ng tù.
8.7.4 HiÖu chØnh ZAF

§èi víi hÖ vi ph©n tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö hiÖn nay hiÖu chØnh ZAF cho
phÐp ®¹t ®−îc ph©n tÝch ®Þnh l−îng mét çch hiÖu qu¶. §iÒu ®ã th−êng ®−îc
tiÕn hµnh ®ång thêi víi thiÕt bÞ b»ng çch sö dông çc m¸y tÝnh nhá ®· cµi
®Æt çc ch−¬ng tr×nh vi ph©n tÝch mÉu. HÖ thèng ®−îc ®iÒu hµnh b»ng m¸y
287
c h − ¬ n g 8
tÝnh ®· lµm gi¶m thêi gian vµ c«ng søc cña ng−êi vËn hµnh b»ng çch tù
®éng kiÓm tra thiÕt bÞ, l−u tr÷ vµ xö lý sè liÖu. MÉu th−êng ®−îc ph©n tÝch
kÕt hîp hai phæ kÕ t¸n s¾c sãng vµ t¸n s¾c n¨ng l−îng. Mét hÖ tù ®éng ®iÒu
chØnh dßng tia ®iÖn tö vµ thÕ t¨ng tèc ®Ó duy tr× çc ®iÒu kiÖn vi ph©n tÝch
chÝnh x¸c cïng víi m¸y tÝnh vµ hÖ thèng ®Õm ®· cho phÐp nhËn ®−îc çc kÕt
qu¶ lÆp l¹i.
Ph−¬ng ph¸p b¸n thùc nghiÖm sö dông çc mÉu cã thµnh phÇn ®· biÕt ®Ó
thiÕt lËp ®−êng cong hiÖu chuÈn cã d¹ng quan hÖ hypebol nh− sau
(1 - KA)/ KA = αA(1 - XA)/XA (8.17)
hoÆc
XA/ KA = CA(1 - CA)XA
Cã thÓ thiÕt lËp ®−îc quan hÖ tuyÕn tÝnh gi÷a XA/KA vµ XA cho hÖ hai nguyªn
sao cho CA lµ mét h»ng sè b»ng hµng lo¹t ph©n tÝch thùc nghiÖm víi çc hîp
kim chuÈn. Mét quy tr×nh hiÖu chØnh cho hÖ nhiÒu thµnh phÇn còng cã thÓ
thùc hiÖn ®−îc nÕu coi r»ng CA lµ träng l−îng trung b×nh cña çc gi¸ trÞ C
t−¬ng øng cho mét trong n nguyªn tè cã mÆt trong mÉu. BiÓu thøc nµy
th−êng cã d¹ng:
CA = ∑ CA Xi /(1 - XA) (8.18)
TiÕc r»ng kü thuËt b¸n thùc nghiÖm nµy th−êng bÞ h¹n chÕ bëi thiÕu hîp kim
chuÈn thÝch hîp.
288
c h − ¬ n g 9
Ch−¬ng 9
Phæ ®iÖn tö auger
Phæ ®iÖn tö Auger (Auger Electron Spectroscopy-AES) ®· ®−îc ®Ò cËp ®Õn

trong ch−¬ng 4 vµ 8. D−íi ®©y sÏ tr×nh bµy chi tiÕt h¬n vÒ qu¸ tr×nh Auger
nµy. H×nh 9.1 lµ s¬ ®å minh ho¹ çc møc n¨ng l−îng ®iÖn tö cña nguyªn tö
vµ çc tr¹ng th¸i liªn quan ®Õn sù ph¸t sinh ®iÖn tö Auger. Mét ®iÖn tö
Auger cã thÓ tho¸t ra khái bÒ mÆt sau qu¸ tr×nh ion ho¸ nguyªn tö bëi sù
dÞch chuyÓn cña ®iÖn tö líp trong. §iÒu nµy diÔn ra do sù s¾p xÕp l¹i cña
nguyªn tö víi mét ®iÖn tö líp ngoµi ®iÒn vµo lç trèng ®−îc t¹o nªn bëi qu¸
tr×nh ion ho¸ ban ®Çu vµ n¨ng l−îng gi¶i phãng ®−îc truyÒn cho ®iÖn tö líp
ngoµi. NÕu n¨ng l−îng cung cÊp lín h¬n n¨ng l−îng liªn kÕt vµ c«ng tho¸t
bÒ mÆt th× ®iÖn tö nµy cã thÓ bÞ bøt ra khái bÒ mÆt vËt liÖu. §iÖn tö tho¸t ra
nµy ®−îc gäi lµ ®iÖn tö Auger theo tªn cña Pierre Auger lµ ng−êi ®Çu tiªn
t×m ra nã n¨m 1925 trong khi nghiªn cøu hiÖn t−îng va ch¹m tia vò trô.
§iÖn tö Auger cã n¨ng l−îng ®−îc cho bëi:
EAuger = EK(Z) – EL1(Z) – EL23(Z) - Φ (9.1)
Trong ®ã EK(Z), EL1(Z) vµ EL2,3(Z) t−¬ng øng lµ n¨ng l−îng liªn kÕt ®iÖn tö
cña çc líp K, L1 vµ L2,3 trong nguyªn tö vµ Φ lµ c«ng tho¸t.
Ph−¬ng tr×nh (9.1) lµ ph−¬ng tr×nh ®¬n gi¶n ho¸ v× nguyªn tö sÏ ë tr¹ng th¸i
ion ho¸ trong khi chuyÓn ®æi n¨ng l−îng gi÷a çc líp ®iÖn tö, do vËy lµm
t¨ng n¨ng l−îng liªn kÕt cña çc líp ngoµi. §iÒu nµy t−¬ng ®−¬ng víi t¨ng
nguyªn tö sè cña nguyªn tö. Mét biÕn ®æi ®−îc thùc hiÖn cho çc møc n¨ng
l−îng liªn kÕt ®Ó nhËn ®−îc gi¸ trÞ chÝnh x¸c h¬n cho n¨ng l−îng Auger ®·
®−îc Chung vµ Jenkins (1970) ®Ò xuÊt cã d¹ng:
E Auger = E A ( Z ) −
1
[E B (Z ) + E B ( Z + 1)] − 1 [EC (Z ) + EC ( Z + 1)] − Φ (9.2)
2 2
289
p h æ ® i Ö n t ö a u g e r
H×nh 9.1 S¬ ®å qu¸ tr×nh Auger KLL.
trong ®ã Ei lµ n¨ng l−îng liªn kÕt cña møc thø i trong nguyªn tö cã nguyªn
tö sè Z vµ Ei(Z+1) lµ n¨ng l−îng liªn kÕt trong nguyªn tè cã nguyªn tö sè
Z+1. Ph−¬ng t×nh nµy dù ®o¸n çc n¨ng l−îng Auger tíi gi¸ trÞ chÝnh x¸c
cho môc ®Ých nghiªn cøu, song kh«ng chÝnh x¸c vÒ mÆt lý thuyÕt. Mét biÓu
thøc chÝnh x¸c h¬n vÒ mÆt vËt lý lµ
E Auger = E A ( Z ) − E B ( Z ) − E C ( Z ) − Fn[BC : x ] + R xins + R xext (9.3)
trong ®ã Fn[BC:x] lµ n¨ng l−îng t−¬ng t¸c gi÷a çc lç trèng trong B vµ C ë
tr¹ng th¸i nguyªn tö cuèi cïng x vµ Rx lµ n¨ng l−îng håi phôc.
9.1 Ký hiÖu phæ
Theo th«ng lÖ ng−êi ta sö dông ký hiÖu tia x cho çc møc n¨ng l−îng ®Ó
nhËn biÕt çc ®iÖn tö Auger. Mçi møc liªn quan víi qu¸ tr×nh Auger ®−îc sö
dông ®Ó m« t¶ ®iÖn tö Auger. Nh− vËy ®iÖn tö Auger KL1L2,3 lµ do sù ion
ho¸ cña líp K, sù s¾p xÕp l¹i cña nguyªn tö bëi ®iÖn tö tõ líp L1 lÊp lç trèng
®−îc t¹o thµnh vµ ®iÖn tö tõ líp L2,3 bÞ bøt ra. Ký hiÖu tia x vµ phæ nh− hËu
tè tia x, líp tia x vµ møc phæ cho çc sè l−îng tö kh¸c nhau ®−îc cho trong
b¶ng 9.1. M«men ®éng l−îng toµn phÇn cña ®iÖn tö sÏ ¶nh h−ëng ®Õn n¨ng
l−îng cña ®iÖn tö Auger qua sù x¸c ®Þnh n¨ng l−îng cña çc líp ®iÖn tö.
290
c h − ¬ n g 9
B¶ng 9.1 Ký hiÖu tia x vµ phæ.
Sè l−îng tö
n l j HËu tè tia x Líp tia x Møc phæ
1 0 1/2 1 K 1s1/2
2 0 1/2 1 L1 2s1/2
2 1 1/2 2 L2 2p1/2
2 1 3/2 3 L3 2p3/2
3 0 1/2 1 M1 3s1/2
3 1 1/2 2 M2 3p1/2
3 1 3/2 3 M3 3p3/2
3 2 3/2 4 M4 3d3/2
3 2 5/2 5 M5 3d5/2
B¶ng 9.2 Ph©n lo¹i theo t−¬ng t¸c L-S.
Electron CÊu h×nh L S ThuËt ng÷
(KL1L1) 2s02p6 0 0 1s
1 5
(KL2L2,3) 2s 2p 1 0 1P
1 1 3p
1 1 3p
(KL2,3L2,3) 2s22p4 0 0 1s
{1 1 3p}*
2 0 1D
2 0 1D
* CÊm.
291
B¶ng 9.3 Ph©n lo¹i theo t−¬ng t¸c trung gian.
ThuËt ng÷ L-S L S J ThuËt ng÷ IC
2s02p6 1s 0 0 0 1
S0
1 5 1
2s 2p 1p 1 0 1 P1
3
3p 1 1 0 P0
3
1 1 1 P1
3
1 1 2 P2
2s22p4 1s 0 0 0 1
S0
3
3p 1 1 0 P0
3
{1 1 1 P1}*
3
1 1 2 P2
1
1D 2 0 2 D2
* CÊm.
Cã hai çch trong ®ã m«men ®éng l−îng toµn phÇn cã thÓ bÞ t¸c ®éng.
Trong çch thø nhÊt m«men spin riªng s cña mçi ®iÖn tö ®−îc céng víi
m«men quü ®¹o riªng l ®Ó ®−îc m«men ®éng l−îng riªng j. Sau ®ã chóng
®−îc céng l¹i ®Ó cho m«men ®éng l−îng toµn phÇn J. §iÒu nµy ®−îc biÕt
®Õn lµ t−¬ng t¸c j-j vµ m« t¶ cho çc nguyªn tö cã nguyªn tö sè lín h¬n 80.
Çch thø hai lµ lÊy tæng m«men spin riªng ®Ó ®−îc m«men spin tæng S, tæng
çc m«men quü ®¹o riªng ®Ó ®−îc m«men quü ®¹o tæng L råi céng chóng
l¹i ®Ó cho m«men ®éng l−îng toµn phÇn J = |L + S|. Çch nµy ®−îc sö dông
cho t−¬ng t¸c L-S vµ m« t¶ cho tr¹ng th¸i nguyªn tö cã nguyªn tö sè nhá
h¬n ~ 20. Çc nguyªn tö cã nguyªn tö sè n»m trong kho¶ng 20 - 80 tèt nhÊt
®−îc m« t¶ b»ng çch lÊy tæng çc m«men, mét çch kÕt hîp hai çch tiÕp
cËn trªn vµ dïng cho t−¬ng t¸c trung gian IC (intermediate coupling). Sù
ph©n lo¹i nµy cho çc thuËt ng÷ t−¬ng t¸c L-S, L, S, J vµ trung gian ®−îc cho
trong b¶ng 9.2 vµ 9.3 vµ sù chuyÓn tõ t−¬ng t¸c L-S sang t−¬ng t¸c j-j ®−îc
chØ ra trong h×nh 9.2. §èi víi t−¬ng t¸c L-S thuËt ng÷ L-S ®−îc thªm vµo sau
ký hiÖu tia x, nh− thÕ ®èi víi çc nguyªn tö cã nguyªn tö sè 3 - 20 ta cã
KL1,L2,3(2S+1L). §èi víi çc nguyªn tö cã nguyªn tö sè lín h¬n 20 th×
t−¬ng t¸c j-j ®−îc thªm J, nh− vËy ta cã KL1,L2,3(2S+1LJ).
292
c h − ¬ n g 9
H×nh 9.2 Tæng spin ®iÖn tö vµ m«men quü ®¹o theo nguyªn tö sè. T−¬ng
t¸c L-S chiÕm −u thÕ ë nguyªn tö sè thÊp (Z < 20) trong khi t−¬ng t¸c j-j
x¶y ra ë nguyªn tö sè lín h¬n 80.
9.2 ThiÕt bÞ
H×nh 9.3 lµ s¬ ®å thiÕt bÞ t¹o phæ Auger. Tia ®iÖn tö s¬ cÊp tíi bÒ mÆt mÉu
víi n¨ng l−îng lín h¬n 3 keV. §iÖn tö thø cÊp ®i qua l−íi thø nhÊt, gièng
l−íi thø t− nã cã chøc n¨ng ch¾n tr−êng thÕ cao cho mÉu. L−íi thø hai
vµ/hoÆc thø ba ®−îc ®Æt thÕ biÕn thiªn lín vµ chËm. ChØ çc ®iÖn tö cã n¨ng
l−îng lín h¬n n¨ng l−îng ®Æt vµo l−íi míi cã thÓ ®i qua nã, qua l−íi thø t−
vµ ®−îc thu nhËn b»ng mµn ph¸t quang. Khi thÕ ®Æt ®−îc quÐt tõ 0 ®Õn n¨ng
l−îng ®iÖn tö tíi EP, h×nh 9.3, çc pic Auger sÏ xuÊt hiÖn nh− lµ çc ®iÓm
uèn trªn ®−êng cong dßng theo n¨ng l−îng vµ chóng kh«ng dÔ g× ghi nhËn
hoÆc ®o ®−îc. §Ó trî gióp ghi pic, phæ ®−îc ®¹o hµm; dI/dE cho N(E) lµ mét
hµm cña n¨ng l−îng vµ ë ®©y çc pic Auger ®−îc hiÖn lªn trªn nÒn phæ biÕn
thiªn chËm. §Ó lo¹i trõ ph«ng phæ ®−îc lÊy ®¹o hµm lÇn hai dN(E)/dE =
d2I/dE2. §¹o hµm nh− vËy cã thÓ ®¹t ®−îc trong çc phæ kÕ b»ng çch ®Æt
thÕ nhá h×nh sin vµo l−íi thø hai vµ/hoÆc l−íi thø ba.TÝn hiÖu thu khi Êy
®−îc xö lý b»ng bé khuyÕch ®¹i khãa tÇn.
293
H×nh 9.3 S¬ ®å bé ph©n tÝch Auger g−¬ng trô.
H×nh 9.4 PhÐp ®¹o hµm dßng thu ®Ó cho pic Auger: tÝn hiÖu ban ®Çu
(a) vµ tÝn hiÖu ®¹o hµm (b).
Tõ l©u kü thuËt nµy ®−îc xem lµ kü thuËt ph©n tÝch quan träng vµ ®iÒu quan
t©m lµ n©ng cao c−êng ®é vµ tèc ®é thu. Bé ph©n tÝch g−¬ng trô (cylindrical
mirror analyser-CMA) cã thÓ ®−îc sö dông ®Ó thu ®iÖn tö Auger. Nguyªn
t¾c c¬ b¶n lµ hîp nhÊt hÖ nµy víi sóng ®iÖn tö, trong ®ã sóng ®iÖn tö ®Æt ë
gi÷a hai trô ®ång trôc sÏ cung cÊp ®iÖn tö b¾n ph¸ th¼ng gãc víi bÒ mÆt,
h×nh 9.3. Çc ®iÖn tö thø cÊp ®i qua khe trô trong ®−îc thu bëi thÕ ©m ®Æt
vµo trô ngoµi vµ ®i qua khe ra tíi bé thu nhËn ®iÖn tö. §èi víi bÊt kú thÕ ®·
294
c h − ¬ n g 9
H×nh 9.5 S¬ ®å bé ph©n tÝch b¸n cÇu.
cho ®Æt vµo trô ngoµi th× chØ çc ®iÖn tö cã n¨ng l−îng riªng sÏ qua khe ra.
Phæ ®−îc thiÕt lËp b»ng çch quÐt thÕ trô ngoµi. Çc bé ph©n tÝch lo¹i nµy cã
chøc n¨ng truyÒn qua cao vµ phæ cã thÓ chØ thÞ ®−îc trªn dao ®éng ký.
Chóng rÊt thuËn lîi cho nghiªn cøu ®éng häc nh− khuÕch t¸n nguyªn tè
®¸nh dÊu vµo bÒ mÆt. Tuy nhiªn, ®é ph©n gi¶i lµ cì mét phÇn tr¨m cña n¨ng
l−îng Auger, ΔE/E th−êng thay ®æi tõ 1,0 ®Õn 0,6% vµ cho ®é ph©n gi¶i h¬i
kÐm ®èi víi ®iÖn tö Auger > 100 eV. Çc bé ph©n tÝch nµy t¹o ®−îc phæ vÒ
sè ®iÖn tö theo n¨ng l−îng E, h×nh 9.4 (a). Phæ nµy cã thÓ ®−îc ®¹o hµm nhê
ph−¬ng ph¸p ®iÖn b»ng çch ®Æt tÝn hiÖu sin vµo trô ngoµi vµ ®iÒu h−ëng tíi
hµm ®iÒu hoµ bËc nhÊt b»ng çch dïng ®etect¬ nh¹y pha hoÆc m¸y tÝnh,
h×nh 9.4 (b).
Trong khi sù ph¸t triÓn nµy ®· ®−îc thùc hiÖn th× çc nhµ ho¸ häc ®· ph¸t
triÓn mét kü thuËt kh¸c ®ã lµ kü thuËt phæ ®iÖn tö quang tia x (XPS) nh− ®·
®−îc tr×nh bµy trong ch−¬ng 7 trong ®ã bÒ mÆt ®−îc b¾n ph¸ b»ng photon tia
x, th−êng tõ nh«m hoÆc magiª, ®Ó x¸c ®Þnh n¨ng l−îng cña ®iÖn tö quang.
Kü thuËt nµy ®ßi hái bé ph©n tÝch n¨ng l−îng chÝnh x¸c trong ®ã sö dông bé
ph©n tÝch b¸n cÇu (hemispherical analyser-HSA), h×nh 9.5. Çc ®iÖn tö ®i
vµo qua khe ë phÝa nµy, thu ®−îc nhê thÕ ©m ®Æt vµo b¸n cÇu ngoµi, vµ qua
295
H×nh 9.6 Phæ Auger tõ h¹t cacbua cho thÊy chi tiÕt cña pic cacbon.
khe ë phÝa kia n¬i chóng ®−îc thu b»ng bé nh©n ®iÖn tö. B»ng çch lµm
chËm ®iÖn tö tr−íc khe vµo phæ cã thÓ nhËn ®−îc víi ®é ph©n gi¶i n¨ng
l−îng cè ®Þnh trong suèt thang. §é ph©n gi¶i n¨ng l−îng tiªu chuÈn lµ
0,1 - 0,2 eV. TiÕc r»ng sù truyÒn qua cña çc ®iÖn tö qua bé ph©n tÝch kiÓu
nµy bÞ suy gi¶m m¹nh h¬n so víi lo¹i CMA, nh−ng sau nµy, víi sù ¸p dông
®etect¬ ®a b¶n vµ hÖ thÊu kÝnh tõ tiªn tiÕn ®Ó tiªu tô nhiÒu ®iÖn tö h¬n t¹i
khe vµo th× tèc ®é thu t¨ng m¹nh tíi møc çc hÖ ph©n tÝch nµy ®· t¹o ®−îc
phæ Auger râ rÖt.
9.3 §é ph©n gi¶i n¨ng l−îng
Phæ Auger th−êng thu ®−îc trong thang 0 - 1000 eV nh− ®−îc chØ ra trong
h×nh 9.6. Thang nµy, cã thÓ kÐo dµi tíi 2000 eV, chøa çc pic tõ tÊt c¶
nguyªn tè trong B¶ng TuÇn hoµn. N¨ng l−îng ®iÖn tö Auger cña çc nguyªn
tè lµ mét hµm cña nguyªn tö sè ®−îc cho trong h×nh 9.7 vµ tõ çc b¶ng hoÆc
çc h×nh lo¹i nµy cã thÓ suy ra r»ng phæ trong h×nh 9.7 chøa çc chuyÓn ®æi
Auger LMM cña crom t¹i 485 eV vµ 528 eV, cña niken t¹i 716 eV, 783 eV
296
c h − ¬ n g 9
H×nh 9.7 N¨ng l−îng pic Auger theo nguyªn tö sè.
vµ 848 eV vµ chuyÓn ®æi KLL tõ cacbon t¹i 272 eV. Sù c¶i thiÖn ®é ph©n
gi¶i n¨ng l−îng trong bé ph©n tÝch tr−êng gi¶m chËm ®Õn CMA tíi HSA
®−îc minh chøng trong h×nh 9.8. Trong thÝ dô nµy phæ ®−îc ghi nhËn tõ bÒ
mÆt kim lo¹i crom ë thang n¨ng l−îng tõ 460 eV ®Õn 600 eV b»ng çch sö
dông bé ph©n tÝch tr−êng gi¶m chËm (a), bé ph©n tÝch g−¬ng trô-CMA (b)
vµ bé ph©n tÝch b¸n cÇu-HSA (c). Bé ph©n tÝch tr−êng gi¶m chËm chØ t¹o
®−îc ba pic tï vµ chóng kh¸ nÐt khi dïng CMA trong khi HSA cho nhiÒu
cÊu tróc tinh tÕ trong phæ.
9.4 HiÖu øng ho¸ häc
HSA cho phÐp phæ Auger ghi nhËn ®−îc sù thay ®æi tr¹ng th¸i ho¸ häc ë
thang ®o lín h¬n nhiÒu so víi CMA. Khi hai nguyªn tè kÕt hîp víi nhau ®Ó
297
H×nh 9.8 §é ph©n gi¶i n¨ng l−îng víi çc d¹ng kh¸c nhau cña bé ph©n
tÝch Auger: tr−êng gi¶m chËm (a), g−¬ng trô (b) vµ b¸n cÇu (c).
H×nh 9.9 S¬ ®å cho thÊy hiÖu øng ho¸ häc ë ®iÖn tö Auger cho çc tr¹ng
th¸i tù nhiªn vµ tr¹ng th¸i ®· chuyÓn ®æi.
t¹o thµnh hîp chÊt n¨ng l−îng liªn kÕt ®iÖn tö cña çc nguyªn tö riªng biÖt
sÏ thay ®æi. Thªm vµo ®ã, çc quü ®¹o míi cã thÓ ®−îc h×nh thµnh lµm chia
sÎ ®iÖn tö tõ mçi nguyªn tö vµ ®iÒu ®ã ®ãng vai trß quan träng trong qu¸
tr×nh Auger sinh pic míi. Cho r»ng n¨ng l−îng liªn kÕt ®iÖn tö cña nguyªn
298
c h − ¬ n g 9
H×nh 9.10 HiÖu øng ho¸ häc liªn ®íi electron ho¸ trÞ. (a) DÞch chuyÓn
MVV trong s¾t, crom vµ mangan ë tr¹ng th¸i kim lo¹i vµ oxy ho¸. (b)
DÞch chuyÓn cacbon KLL trong cacbua.
tö ë tr¹ng th¸i tù nhiªn vµ tr¹ng th¸i tÝch ®iÖn ®−îc m« t¶ ho¸ häc nh− trong
h×nh 9.9. NÕu mçi líp ®iÖn tö K, L vµ M thay ®æi mét l−îng t−¬ng øng ΔEK,
ΔEL vµ ΔEM th× sù dÞch trong n¨ng l−îng ®iÖn tö Auger ®−îc cho bëi:
ΔEshift = ΔEK - ΔEL - ΔEM (9.4)
Sù dÞch vÞ trÝ pic Auger cã thÓ so ®−îc víi sù dÞch trong XPS, nh−ng nã cã
thÓ phô thuéc m¹nh hoÆc yÕu vµo sù thay ®æi riªng trong n¨ng l−îng liªn kÕt
®iÖn tö. H×nh 9.10 (a) ®−a ra mét sè thÝ dô vÒ hiÖu øng ho¸ häc, ë ®ã cã thÓ
quan s¸t thÊy trong phæ Auger liªn quan ®Õn dÞch chuyÓn MVV n¨ng l−îng
299
H×nh 9.11 Phæ Auger thu ®−îc tõ niken ë ®iÒu kiÖn kim lo¹i vµ oxy ho¸
ghi ®−îc b»ng bé ph©n tÝch b¸n cÇu vµ chØ ra hiÖu øng ho¸ häc liªn ®íi
electron lâi trong dÞch chuyÓn LMM, phæ ®−îc cho d−íi d¹ng ®¹o hµm
N’(E) vµ kh«ng ®¹o hµm N(E).
thÊp trong kim lo¹i chuyÓn tiÕp oxy ho¸; thÝ dô phæ Auger cña s¾t kim lo¹i
chøa pic ®¬n t¹i 45 eV. H¬n thÕ, phæ tõ s¾t oxy ho¸ cã hai pic ë hai bªn pic
gèc t¹i 52 eV vµ 38 eV. §iÒu nµy x¶y ra do sù chia sÎ ®iÖn tö gi÷a s¾t vµ oxy
vµ v× vËy mét líp ®iÖn tö ngoµi ®−îc h×nh thµnh vµ nã cã thÓ ®ãng gãp vµo
qu¸ tr×nh Auger. HiÖu øng t−¬ng tù còng ®−îc quan s¸t thÊy khi crom vµ
mangan kÕt hîp víi oxy. Phæ trong h×nh 9.10 (b) giíi thiÖu sù thay ®æi trong
dÞch chuyÓn cacbon KLL trong miÒn n¨ng l−îng 220 tíi 280 eV ®èi víi mét
lo¹t cacbua, trong ®ã cho phÐp ph©n biÖt ®−îc cacbua tõ çc v©n pic cña
chóng. Trong çc thÝ dô nµy phæ ghi nhËn ®−îc ë ®éng n¨ng ®iÖn tö t−¬ng
®èi thÊp. §é dÞch trong çc tr−êng hîp nµy lµ cì 5 eV vµ dÔ dµng ghi nhËn
®−îc b»ng CMA hoÆc HSA; ®é ph©n gi¶i 0,5% nÕu sö dông CMA, ®iÒu nµy
cã nghÜa ®é ph©n gi¶i n¨ng l−îng lµ 0,25 eV trong vïng 50 eV. Tuy nhiªn
®é ph©n gi¶i n¨ng l−îng trong CMA lµ 4 eV t¹i 800 eV vµ hiÖu øng ho¸ häc
trong miÒn nµy lµ rÊt khã ph¸t hiÖn ®−îc b»ng CMA vµ HSA. H×nh 9.11 lµ
mét thÝ dô vÒ sö dông HSA ®Ó ghi nhËn dÞch ho¸ häc trong vïng n¨ng l−îng
cao. Çc phæ nµy, lÊy tõ kÕt qu¶ nghiªn cøu oxy ho¸ niken, cho thÊy pic tõ
niken nguyªn tè vµ tõ niken oxy ho¸ hoÆc tr¹ng th¸i 2+; c¶ hai phæ ®· ®−îc
®¹o hµm vµ kh«ng ®¹o hµm ®Ó minh ho¹. Çc pic ®ã lµ sù dÞch chuyÓn
LMM vµ sù chuyÓn ®æi ho¸ häc nµy lµ phøc t¹p h¬n so víi phæ n¨ng l−îng
thÊp. Do vËy çc phæ v©n nh− thÕ th−êng ®−îc ®èi chiÕu ®Ó x¸c ®Þnh tr¹ng
th¸i ho¸ häc.
300
c h − ¬ n g 9
H×nh 9.12 T¸n x¹ ng−îc cña ®iÖn tö theo tØ sè Ec/Ep.
9.5 AES ®Þnh l−îng
VÒ nguyªn t¾c cã thÓ ph©n tÝch ®Þnh l−îng b»ng çch cho r»ng x¸c suÊt cña
qu¸ tr×nh kh¸c nhau hµm chøa qu¸ tr×nh ph¸t sinh ®iÖn tö Auger. Tuy nhiªn,
kÕt qu¶ ®Þnh l−îng tèt kh«ng ®¹t ®−îc víi çch tiÕp cËn nµy, nh−ng nã ®·
cho mét çch nh×n c¬ b¶n vÒ vÊn ®Ò lý gi¶i phæ Auger. X¸c suÊt mét ®iÖn tö
Auger sÏ sinh ra khi mét ®iÖn tö tíi bÒ mÆt lµ
n = NR(1 - W)Q(μ) cosα (9.5)
2
trong ®ã N - sè nguyªn tö trªn cm , R - thõa sè t¸n x¹ ng−îc, W - x¸c suÊt
sinh photon, Q - tiÕt diÖn ion ho¸ vµ α - gãc tíi cña ®iÖn tö. X¸c suÊt mét
photon sÏ ®−îc sinh ra vµ v× thÕ mét ®iÖn tö kh«ng ®−îc sinh ra lµ
W = (1 + aZ-4)-1 (9.6)
ë ®©y Z lµ nguyªn tö sè vµ a lµ h»ng sè b»ng 1,12 × 106 cho ion ho¸ líp K vµ
6,4 × 107 cho ion ho¸ líp L. §èi víi nguyªn tö cã nguyªn tö sè nhá aZ-4 sÏ
lín v× vËy W lµ nhá vµ sù ph¸t sinh Auger lµ thuËn lîi nh−ng khi nguyªn tö
sè t¨ng th× W tiÕn tíi ®¬n vÞ vµ sù ph¸t sinh photon chiÕm −u thÕ.
Thõa sè t¸n x¹ ng−îc thay ®æi theo c¶ n¨ng l−îng vµ nguyªn tö sè. H×nh
9.12 cho thÊy sù thay ®æi thõa sè t¸n x¹ ng−îc R lµ mét hµm cña n¨ng l−îng
ion ho¸ tíi h¹n Ec chia cho n¨ng l−îng ®iÖn tö s¬ cÊp Ep, ®èi víi nguyªn tè
cã nguyªn tö sè 6, 13, 22, vµ 29 R gi¶m khi tØ sè Ec/Ep vµ nguyªn tö sè t¨ng,
301
H×nh 9.13 TiÕt diÖn ion ho¸ Q theo tØ sè Ep/Ec.
®ã chÝnh lµ lý do t¹i sao nguyªn tè nÆng sÏ s¸ng trong ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹
ng−îc. TiÕt diÖn ion ho¸ Q ®−îc biÓu diÔn bëi ph−¬ng tr×nh d−íi d¹ng:
⎡ 2πe 2 bE p ⎤ ⎡ ln (4 E c / E p ) ⎤
QE c2 = ⎢ ⎥⎢ ⎥
⎢⎣ E c ⎥⎦ ⎢⎣1,65 + 2,35 exp(1 − (E c / E p ))⎥⎦
(9.7)
vµ ®−îc vÏ ®å thÞ theo Ep /Ec nh− trong h×nh 9.13. X¸c suÊt ion ho¸ t¨ng
nhanh tíi cùc ®¹i t¹i Ep /Ec b»ng 3 vµ sau ®ã gi¶m t−¬ng ®èi chËm. Nh− vËy
n¨ng l−îng tia tíi lý t−ëng lµ ba lÇn lín h¬n n¨ng l−îng ion ho¸. Tuy nhiªn
®Ó nhËn ®−îc hiÖu suÊt ®iÖn tö Auger tèt trong suèt thang nguyªn tè th× n¨ng
l−îng tia s¬ cÊp ®−îc duy tr× Ýt nhÊt ba lÇn n¨ng l−îng cña thÕ ion ho¸ cùc
®¹i vµ nh− vËy n¨ng l−îng tia ®iÖn tö tíi tiªu biÓu ®−îc sö dông n»m trong
kho¶ng 3 - 10 keV.
9.6 X¸c ®Þnh nång ®é nguyªn tö
Trong thùc hµnh phæ Auger ®−îc ®Þnh l−îng b»ng çc mÉu chuÈn ®· biÕt ®Ó
thu ®−îc çc thõa sè ®é nh¹y. B»ng çch dïng dßng tia ®iÖn tö ®· biÕt, tÝn
hiÖu Auger ®o ®−îc so s¸nh víi tÝn hiÖu tõ mÉu chuÈn vµ khi Êy ®é nh¹y cña
nguyªn tè so víi mÉu chuÈn lµ thõa sè ®é nh¹y. Tõ ®ã nång ®é Xx cña
nguyªn tè x ®−îc x¸c ®Þnh nhê thõa sè ®é nh¹y riªng nh− sau
302
c h − ¬ n g 9
H×nh 9.14 Thõa sè ®é nh¹y theo nguyªn tö sè víi ®iÖn tö tíi 5 keV.
I x / I x∞
Xx = (9.8)
∑ I a / I a∞
a = A, B
ë ®©y Ix vµ Ix∞ t−¬ng øng lµ c−êng ®é tõ nguyªn tè trong vËt liÖu cÇn ®o vµ
c−êng ®é tõ mÉu nguyªn chÊt (mÉu chuÈn) cña chÝnh vËt liÖu ®ã, Ia vµ Ia∞
t−¬ng øng lµ tæng c−êng ®é cña tÊt c¶ nguyªn tè thu ®−îc vµ c−êng ®é cña
çc nguyªn tè nµy ë tr¹ng th¸i nguyªn chÊt. Thõa sè ®é nh¹y cã thÓ nhËn
®−îc tõ çc sè liÖu ®· c«ng bè vµ ®iÒu nµy ®· gi¶m bít yªu cÇu thu sè liÖu tõ
çc mÉu nguyªn chÊt. H×nh 9.14 cho thÊy thõa sè ®é nh¹y lµ mét hµm cña
nguyªn tö sè cho ®iÖn tö tíi 5 keV. V× ®é nh¹y cña çc pic h÷u dông kh«ng
thay ®æi qóa lín cho toµn bé B¶ng TuÇn hoµn nªn viÖc x¸c ®Þnh ®Þnh l−îng
t−¬ng ®èi chÝnh x¸c cã thÓ thùc hiÖn ®−îc.
Sù c¶i thiÖn tèt h¬n cã thÓ nhËn ®−îc nÕu thõa sè ®é nh¹y ®−îc ®o trong
cïng mét hÖ ®· cho, v× thõa sè cho nguyªn tè ®−îc ghi nhËn trong cïng mét
m«i tr−êng. Ph−¬ng ph¸p ®−îc tr×nh bµy ë trªn cã h¹n chÕ v× nã dùa trªn gi¶
thiÕt mÉu lµ ®ång nhÊt, ®ã lµ ®iÒu kh«ng thùc tÕ. NÕu líp ®¬n máng t¸ch
biÖt, thÝ dô, l−u huúnh ë trªn m¹ng niken, th× thµnh phÇn x¸c ®Þnh ®−îc sÏ
rÊt kh¸c víi thµng phÇn cã cïng mét l−îng l−u huúnh nh−ng ph©n bè kh«ng
®ång nhÊt ë trong n¨m líp nguyªn tö trªn cïng. Seah (1980) ®· ®−a ra mét
ph−¬ng tr×nh ®Ó x¸c ®Þnh l−îng t¸ch A phñ trªn m¹ng B:
303
I B = I B∞ exp ∑ − t A / λ A (E B ) cos θ (9.9)
ë ®©y IB vµ IB∞ t−¬ng øng lµ tÝn hiÖu tõ líp t¸ch vµ tõ mÉu nguyªn chÊt cña
B
nguyªn tè líp, λA - qu·ng ®−êng tù do trung b×nh cña ®iÖn tö trong A,

tA - chiÒu dµy líp vµ θ - gãc cña tia ®iÖn tö so víi ph¸p tuyÕn cña bÒ mÆt.
Tuy nhiªn, nguyªn tè bÞ t¸ch vµ nång ®é kh«ng lín trong m¹ng cã thÓ nhËn
biÕt b»ng çch ®o chiÒu cao cña pic Auger ë ®éng n¨ng thÊp vµ cao. ChiÒu
cao ë ®éng n¨ng thÊp, 50 - 200 eV, cã ®é s©u tho¸t nhá h¬n, 1 - 2 nm. Nh−
thÕ, sù t¸ch h×nh thµnh nh− mét líp mÆt máng ë møc ®é nguyªn tö th× chiÒu
cao pic ®éng n¨ng thÊp sÏ ®−îc t¨ng lªn so víi chiÒu cao pic ®éng n¨ng cao.
B»ng çch so s¸nh phæ tõ bÒ mÆt kh¶o s¸t víi mÉu chuÈn ®ång nhÊt th× cÊu
t¹o cña bÒ mÆt cã thÓ ®−îc x¸c ®Þnh vµ ph−¬ng ph¸p ®Þnh l−îng chÝnh x¸c
cã thÓ chÊp nhËn ®−îc.
304
p h ô l ô c
Phô lôc 1
Çc ký hiÖu ®−îc sö dông trong gi¸o tr×nh
B¸n kÝnh r vµ R §é lÖch chuÈn Eδ

Biªn ®é t¸n x¹ ®iÖn tö §é s©u tr−êng D
trªn tinh thÓ φg
B−íc sãng λ §é räi β
B−íc sãng sai háng Λ §−êng kÝnh D
CÊp h¹t n §é ph©n gi¶i kh«ng gian
tia x dr
ChØ sè Miller h,k,l Gi©y (thêi gian) s
ChiÒu dµy tinh thÓ t Giíi h¹n sãng ng¾n λSWL
Ch÷ quü ®¹o s,p,d,f Gãc θ
C«ng tho¸t Φ Gãc gi÷a tia tíi vµ trôc
vïng ϕ
C−êng ®é I Gãc nöa khÈu ®é α
C−êng ®é tõ mÉu chuÈn IiS Gãc pha φ
C−êng ®é tõ mÉu ®o Ii Gãc quay ®Þa ph−¬ng δφ
Dßng i Hµm sãng ψ
§iÖn tÝch ®iÖn tö e H»ng sè K1
§é ph©n gi¶i n¨ng l−îng ΔE H»ng sè Boltzmann k
§é dÞch « m¹ng R H»ng sè ®µn håi k
§¬n vÞ khèi l−îng H»ng sè ph©n t¸n London C1
nguyªn tö u
§é dµi t¾t ξg H»ng sè Hamaker A
305
P h ô l ô c
H»ng sè Planck h Ph©n tè thÓ tÝch dτ

HÖ sè cÇu sai Cs Ph−¬ng tinh thÓ u,v,w
HÖ sè s¾c sai Cc Qu·ng ®−êng tù do trung λA
b×nh
HÖ sè hÊp thô μ Sai sè tÝnh to¸n σN
HiÖu suÊt ph¸t x¹ ®iÖn tö i* Sè tù nhiªn N
thø cÊp
HiÖu suÊt ph¸t x¹ ®iÖn tö Sè Avogadro NA
t¸n x¹ ng−îc i0
Kho¶ng çch d vµ D Sè nguyªn tö thuéc « c¬
b¶n n
Kho¶ng çch tõ mÉu ®Õn L Sè l−îng tö chÝnh n
mµn quan s¸t
Khèi l−îng M Sè l−îng tö quü ®¹o l
Khèi l−îng ®iÖn tö m Sè l−îng tö tõ ml
Khèi l−îng tÜnh cña ®iÖn Sè l−îng tö m«men ®éng
tö me l−îng j vµ J
KÝch th−íc m¹ng ®¶o a*,b*,c* Sè vacancy c©n b»ng Nv
Lùc t−¬ng t¸c F TÇn sè ν
MËt ®é ρ Thõa sè m¹ng FABX
MËt ®é dßng Jc TÇn sè gãc ω
MÆt ph¼ng m¹ng h, k, l ThÕ Vi
N¨ng l−îng liªn kÕt ®iÖn ThÓ tÝch « c¬ b¶n Vc
tö Eb
N¨ng l−îng t¹o vacancy Q Thêi gian t
NhiÖt ®é T TØ lÖ träng l−îng pha pi
Nguyªn tö sè Z TiÕt diÖn ion ho¸ QK
Nång ®é nguyªn tè Xi To¹ ®é x,y,z
Nång ®é träng l−îng Ci To¸n tö ∇
¤ c¬ b¶n a, b, c Thõa sè cÊu tróc F
306
p h ô l ô c
Thõa sè lÆp p VËn tèc ¸nh s¸ng c

Thõa sè nhiÖt M Vect¬ Burgers b
Thõa sè t¸n x¹ nguyªn tö f Vect¬ sãng ki
Thõa sè t¸n x¹ ng−îc R Vect¬ m¹ng ®¶o g
V¹ch ®Æc tr−ng K, L, M X¸c suÊt sinh photon W
VËn tèc v
307
P h ô l ô c
Phô lôc 2
P 2.1 §¬n vÞ cña çc ®¹i l−îng vËt lý chän läc
§¹i l−îng §¬n vÞ Ký hiÖu
ChiÒu dµi met m

B−íc sãng met m
Khèi l−îng kilogam kg
Thêi gian gi©y s
o
NhiÖt ®é ®é Celsius C
o
®é Fahrenheit F
®é Kelvin K
L−îng chÊt mol mol
TÇn sè hec Hz [s-1]
Lùc newton N [kg.m.s-2]
¸p suÊt pascal Pa [N.m-2]
N¨ng l−îng, c«ng, ®¹i l−îng
nhiÖt jun J [N.m]
C«ng suÊt oat W [J.s-1]
Dßng ®iÖn ampe A
§iÖn tÝch coulomb C [A.s]
HiÖu ®iÖn thÕ, suÊt ®iÖn ®éng von V
§iÖn trë «m Ω [V.A-1]
§é c¶m øng tõ tesla T [V.s.m-2]
308
p h ô l ô c
P 2.2 Béi sè vµ −íc sè cña ®¬n vÞ
Thõa sè TiÒn tè Ký hiÖu Thõa sè TiÒn tè Ký hiÖu

nh©n nh©n
1018 exa E 10-18 atto a
1015 peta P 10-15 femto f
1012 tera T 10-12 pico p
109 giga G 10-9 nano n
106 mega M 10-6 micro μ
103 kilo k 10-3 milli m
102 hecto h 10-2 centi c
101 deca dk 10-1 deci d
ThÝ dô: 1 kilomet = 1 km = 103 met.
P 2.3 Mét sè hÖ sè chuyÓn ®æi th«ng dông
1 ®in (dyne) = 10-5 N

1 atm(standard atmosphere)=760mmHg=1,013×106 ®in/cm2=1,013×105 N/m2
1 Gs (gauss) = 10-4 T
1 °C = (K - 273) = (o F – 32)/1,8
1 J = 107 erg (erg) = 0,239 cal (calorie)
1 eV (electron-volt) = 1,6019 ×10-12 erg = 1,6019 × 10-19 J
1 A/m = 4π ×10-3Oe (oested)
1 mol = 2,24 × 10-2 m3
1 μm = 10-6 m
1 nm = 10-9 m
1 Å (angstrom) = 10-10 m
1 inch = 25,40 mm; 1 foot = 0,30480 m; 1 mile (U.K.) = 1609 m
309
P h ô l ô c
P 2.4 B−íc sãng cña çc nguån bøc x¹ chän läc
Bøc x¹ B−íc sãng (nm)
Ag Kα1 0,055936
Mo Kα1 0,070926
Cu Kα1 0,154051
Ni Kα1 0,165784
Co Kα1 0,178892
Fe Kα1 0,193597
Cr Kα1 0,228962
P 2.5 Ch÷ çi Hyl¹p th−êng dïng
Tªn gäi Ch÷ th−êng Ch÷ hoa Tªn gäi Ch÷ th−êng Ch÷ hoa
Alpha α Α Nu ν Ν
Beta β Β Xi ξ Ξ
Gamma γ Γ Omicron ο Ο
Delta δ Δ Pi π Π
Epsilon ε Ε Rho ρ Ρ
Zeta ζ Ζ Sigma σ Σ
Eta η Η Tau τ Τ
Theta θ Θ Upsilon υ Υ
Iota ι I Phi φ Φ
Kappa κ Κ Chi χ Χ
Lambda λ Λ Psi ψ Ψ
Mu μ Μ Omega ω Ω
310
p h ô l ô c
Phô lôc 3
Mét sè H»ng sè vËt lý
B¸n kÝnh ®iÖn tö re = μ0e2/(4πme) 2,817 × 10-15 m

B−íc sãng Compton cña:
®iÖn tö (h/mec) λc 2,426 × 10-12 m
proton (h/mpc) λcp 1,321 × 10-15 m
neutron (h/mnc) λcn 1,319 × 10-15 m
B−íc sãng cña photon
n¨ng l−îng 1 eV λ 1,243 × 10-6 m
§iÖn tÝch ®iÖn tö e -1,602 × 10-19 C
§é tõ thÈm cña ch©n
kh«ng μ0 4π × 10-7 H. m-1
§¬n vÞ khèi l−îng nguyªn 1,661 × 10-27 kg
tö thèng nhÊt (12C) u = 931,5 MeV/c2
H»ng sè Boltzmann K 1,381 × 10-23J. K-1
H»ng sè Faraday F 9,649 × 104 C. mol-1
H»ng sè Planck h 6,626 × 10-34 J.s
(H»ng sè Planck)/2π h 1,055 × 10-34 J.s =
= 6,582 × 10-16 eV.s
H»ng sè ®iÖn m«i cña ch©n 8,854 × 10-12 F.m-1
kh«ng ε0 (1/4πε0=8,988×109mF-1)
H»ng sè hÊp dÉn G 6,673 × 10-11 N.m2.kg-2
H»ng sè khÝ R 8,314 J K-1. mol-1
311
P h ô l ô c
H»ng sè khÝ ph©n tö R 8,314 J K-1. mol-1

H»ng sè Rydberg R∞ = μ02 1,097 × 107 m-1
mee4c3/8h3
H»ng sè Stefan-Boltzmann
σ = 2π5k4/15h3c2 5,670 × 10-8 W .m-2. K-4
Khèi l−îng nghØ cña ®iÖn me 9,11 × 10-31 kg =
tö = 0,511 MeV/c2
Khèi l−îng nghØ cña mp 1,673 × 10-27 kg =
proton = 938,3 MeV/c2
Magneton Bohr μB = e h /2me 9,274 × 10-24J.T-1
Magneton cña h¹t nh©n μN 5,051 × 10-27J.T-1
Momen tõ cña ®iÖn tö μe 9,284 × 10-24 J. T-1
Momen tõ cña proton μp 1,410 × 10-26 J. T-1
Sè Avogadro NA 6,022 × 1023 mol-1
VËn tèc ¸nh s¸ng trong 2,998 × 108 m. s-1
ch©n kh«ng c
312
p h ô l ô c
Phô lôc 4
Mét sè Tõ viÕt t¾t
HSX HÖ sè xÕp
HV§T HiÓn vi ®iÖn tö
HVQH HiÓn vi quang häc
LP§G LËp ph−¬ng ®¬n gi¶n
LPTK LËp ph−¬ng t©m khèi
LPTM LËp ph−¬ng t©m mÆt
Q§T Quang ®iÖn tö
SPXC S¸u ph−¬ng xÕp chÆt
AES Auger electron spectroscopy
AFM Atomic force microscopy
ASTM The American Society for Testing and Materials
BEEM Ballistic energy electron microscopy
BSE Backscattered electrons
CL Cathodoluminescence
CMA Cylindrical mirror analyser
CM Capacitance microscope
CTEM Conventional TEM (=TEM)
EBIC Electron beam induced conductivity
EDS Energy-dispersive (X-ray) spectrometer
EPMA Electron probe microanalysis
ESCA Electron spectroscopy for chemical analysis
FEG Field emission gun
FFM Friction force microscopy
313
P h ô l ô c
HSA Hemispherical analyser

MFM Magnetic force microscopy
MRFM Magnetic resonance force microscope
SAXS Small angle X-ray scattering
SE Secondary electron
SEM Scanning electron microscopy
SECM Scanning electrochemical microscope
SFM Scanning force microscopy
SNOM Scanning near field optic microscope
SICM Scanning ion-conductance microscope
SPM Scanning probe microscopy
SPTM Scanning photon tunneling microscope
STEM Scanning transmission electron microscopy
STM Scanning tunneling microscopy
STP Scanning thermal profiler
TEM Transmission electron microscopy
WDS Wavelength dispersive Spectrometer
XPS X-ray photoelectron spectroscopy
ZAF Atomic number, absorption and fluorescence
corrections pattern
314
T μ i l i Ö u t h a m k h ¶ o
Tμi liÖu tham kh¶o
[1] Binnig G, Gerber C, Quate C. Phys. Rev. Lett. 56, 1986, 930.
[2] Babcock K L, Prater C B. Phase Imaging: Beyond Topography, Digital
Instruments, California, 1998.
[3] Bline W, Stine J. High Resolution Analysis of Biological Samples by
Scanning Probe Microscopy, Digital Instruments, California, 1995.
[4] Callister W D. Materials Science and Engineering, An Introduction, John
Wiley & Sons, New York, Chichester, Brisbane, Toronto, Singapore, 1991.
[5] Dinardo N J. Nanoscale Characterization of Surfaces and Interfaces,
Phyladelphia, 1994.
[6] Flewitt P E J, Wild R K. Physical Methods for Materials Characterization,
Institute of Physics Publishing, Bristol and Philadelphia, 1994.
[7] Garcia R, Perez R. Dynamic Atomic Force Microscopy Methods, Surface
Science Reports 47, 2002, 197-301.
[8] Goldstein J I, Yakowitz H. Practical Scanning Electron Microscopy, New
York, London, 1975.
[9] Guntherodt H J, Wiesendanger R. Scanning Tunneling Microscopy I,
Springer-Verlag Berlin Heidelberg, Germany, 1992.
[10] Guntherodt H J, Anselmetti D, Meyer E. Forces in Scanning Probe Methods,
Kluwe Academic Publisher, Dordrecht, Boston, London, 1995.
[11] Hansma P K, Elings V B, Marti O, Bracker C E. Scanning Tunneling
Microscopy and Atomic Force Microscopy: Application to Biology and
Technology, Science , Vol. 242, 1988, 209-216.
[12] Hirsch P B, Howie A, Nichoholson R B, Pashley D W, Whelan M J. Electron
Microscopy of Thin Crystals, Mir , Moscow, 1968, (in Russian).
[13] Imelik B. et Vecdrine J C. Les techniques physicques d’Ðtude des
catalyseurs, 1988 Ðditions Technip – Paris.
316
[14] Iveronova V I., Revkevich G P. Theory of X-ray scattering, Publishing of

Moscow University, 1972, (in Russian).
[15] Jahamir J, Haggar B G and Hayes J B. The Scanning Probe Microscope,
Scanning Microscopy, Vol.6, No.3, 1992, 625-660.
[16] Kheidenrai R. Principles of Transmission Electron Microscopy, Moscow,
1966, (in Russian).
[17] Kittel Ch. Introduction to Solid State Physics, John Wiley & Sons, New
York, Chichester, Brisbane, Toronto, Singapore, 1986.
[18] Klug H P, Alexander L E. X-Ray Diffraction Procedures, 2nd.ed, A Wiley-
Interscience Publication, John Wiley & Sons, New York, Chichester,
Brisbane, Toronto, Singapore, 1974.
[19] Lifshin E. Electron Microprobe Analysis, General Electric R&D Center,
New York, 1992.
[20] Mirkin L I. Handbook of X-ray Analysis of Polycrystalline Materials,
Physmat, Moscow, 1961, (in Russian).
[21] Paesler M A, Moyer P J. Near-Field Optics: Theory, Instrumentation and
Applications, A Wiley-Interscience Publication, John Wiley & Sons, New
York, Chichester, Brisbane, Toronto, Singapore, 1996.
[22] Prater C B, Maivald P G, Kjoller K J, Heaton M G. Probing Nano-Scale
Force with the Atomic Force Microscope, Digital Instruments, California,
1995.
[23] Prater C B, Strausser Y E. TappingMode Atomic Force Microscopy:
Application to Semiconductors, Digital Instruments, California, 1994.
[24] Prater C B, Mailvald R G, Kjoller K J, Heaton M G. TappingMode Imaging:
Applications and Technology, Digital Instruments, California, 1995.
[25] Quate C F. The AFM as A Tool for Surface Imaging, Surface Science
299/300, 1994, 980-995.
[26] Reimer L. Transmission Electron Microscopy: Physics of Image Formation
and Microanalysis, Springer, Germany, 1993.
[27] Rugar D, Hansma P K. Atomic Force Microscopy, Physics Today, American
Institute of Physics, 1990.
[28] Ruxacov A A. Roentgenography in Metal Studies, Atom, Moscow, 1977, (in
Russian).
[29] Sarid D. Scanning Force Microscopy with Applications to Electric,
Magnetic, and Atomic Forces, New York Oxford, Oxford University Press,
1994.
317
[30] Sarid D, Eling V. Review of Scanning Force Microscopy, J.Vac. Sci.

Technol. B9, 2, Mar/Apr 1991, 431-437.
[31] Smith W F. Foundation of Materials Science and Engineering, McGraw-
Hill, New York, London, Singapore, Sydney, Tokyo, Toronto, 1993.
[32] Smith W F. Principles of Materials Science and Engineering, McGraw-Hill,
New York, London, Singapore, Sydney, Tokyo, Toronto, 1996.
[33] Strausser Y E, Heaton M G. IC Failure Analysis and Defect Inspection With
Scanning Probe Microscopy, Digital Instruments, California, 1995.
[34] Suryanarayana C, Norton M G. X-Ray Diffraction: A Practical Approach,
Plenum Press, New York, London, 1998.
[35] Wells O C, Boyde A, Lifshin E, Rezanowich A. Scanning Electron
Microscopy, McGrow-Hill, New York, London, Singapore, Sydney, Tokyo,
Toronto, 1974.
[36] Wiesendanger R, Guntherodt H J. Scanning Tunneling Microscopy II:
Father Applicatings and Related Scanning Techniques, Germany, 1992.
318
Tr−êng ®¹i häc b¸ch khoa hμ néi
Gi¸o tr×nh kü thuËt ph©n tÝch vËt lý

T¸c gi¶: PGS.TS. Ph¹m Ngäc Nguyªn
ChÞu tr¸ch nhiÖm xuÊt b¶n: PGS.TS. T« §¨ng H¶i

Biªn tËp vµ söa bµi: Quang Huy
Song Hµ
Tr×nh bµy b×a: H−¬ng Lan
Nhμ xuÊt b¶n khoa häc vμ kü thuËt
70, TrÇn H−ng §¹o, Hµ Néi
In 800 cuèn, khæ 16 cm x 24 cm t¹i XÝ nghiÖp in 19/8

GiÊy phÐp xuÊt b¶n sè: 06-124-30/132/2004
In xong vµ nép l−u chiÓu th¸ng 12 n¨m 2004

Giáo Trình Kỹ Thuật Phân Tích Vật Lý

Uploaded by

Document Information

Original Title

Copyright

Available Formats

Share this document

Share or Embed Document

Sharing Options

Did you find this document useful?

Is this content inappropriate?

Copyright:

Available Formats

Giáo Trình Kỹ Thuật Phân Tích Vật Lý

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

TR¦êNG §¹I HäC B¸CH KHOA Hµ NéI

PGS.TS. Ph¹m Ngäc Nguyªn

Kü thuËt ph©n tÝch vËt lý

Nhµ xuÊt b¶n khoa häc vµ kü thuËt

Lêi nãi ®Çu 5

Ch−¬ng 2 NhiÔu x¹ tia x 71

2.3.1 HiÖn t−îng nhiÔu x¹ 79

Ch−¬ng 3 NhiÔu x¹ ®iÖn tö 118

Ch−¬ng 4 HiÓn vi ®iÖn tö quÐt 153

4.5.2 T−¬ng ph¶n ¶nh ®iÖn tö t¸n x¹ ng−îc 164

Ch−¬ng 5 HiÓn vi ®iÖn tö truyÒn qua 174

Ch−¬ng 6 HiÓn vi ®Çu dß quÐt 207

Ch−¬ng 7 Phæ ®iÖn tö quang tia x 245

Ch−¬ng 8 Vi ph©n tÝch b»ng mòi dß ®iÖn tö 262

Ch−¬ng 9 Phæ ®iÖn tö Auger 289

Tµi liÖu tham kh¶o 315

1.1 Giíi thiÖu

1.2 Lo¹i vËt liÖu

1.3 CÊu tróc vµ liªn kÕt nguyªn tö

1.3.1 CÊu tróc nguyªn tö

1.3.2 Nguyªn tö sè vµ nguyªn tö l−îng

nguyªn tö l−îng cacbon, nguyªn tö l−îng cacbon = 12 u. Khèi l−îng mét

1.3.3 CÊu tróc ®iÖn tö cña nguyªn tö

trong ®ã: e - ®iÖn tÝch ®iÖn tö.

1.3.3.2 C¸c sè l−îng tö cña ®iÖn tö

n Sè l−îng tö chÝnh n = 1, 2, 3, ... Mäi sè nguyªn d−¬ng

1.3.3.3 CÊu tróc ®iÖn tö cña nguyªn tö cã nhiÒu ®iÖn tö

B¶ng 1.3 CÊu h×nh ®iÖn tö cña mét sè nguyªn tè.

Nguyªn tè Ký hiÖu Nguyªn tö sè CÊu h×nh ®iÖn tö

Liti Li 3 1s2 2s1

Beri Be 4 1s2 2s2

Cacbon C 6 Ls2 2s22p2

Nit¬ N 7 ls2 2s22p3

«xy O 8 ls2 2s22p4

Flo F 9 ls2 2s22p5

Neon Ne 10 ls2 2s22p6

Natri Na 11 ls2 2s22p63sl

Magiª Mg 12 ls2 2s22p63s2

Nh«m Al 13 ls2 2s22p63s23pl

Silic Si 14 ls2 2s22p63s23p2

Photpho P 15 ls2 2s2'2p63s23p3

L−u huúnh S 16 ls2 2s22p63s23p4

Clo Cl 17 ls2 2s22p63s23p5

Acgon Ar 18 ls2 2s22p63s23p6

Kali K 19 1s2 2s22p63s23p6s1

Canxi Ca 20 1s2 2s22p63s23p6s2

Scan®i Sc 21 1s2 2s22p63s23p63d1 4s2

Titan Ti 22 1s2 2s22p63s23p63d2 4s2

Vana®i V 23 1s2 2s22p63s23p63d3 4s2

Crom Cr 24 1s2 2s22p63s23p63d5 4s1

1.3.3.4 CÊu tróc ®iÖn tö vµ ph¶n øng ho¸ häc

Kim lo¹i Phi kim

1. Cã Ýt ®iÖn tö ë líp ngoµi, th−êng lµ ba 1. Cã bèn hoÆc nhiÒu ®iÖn tö ë

1.3.4 C¸c lo¹i liªn kÕt nguyªn tö vµ ph©n tö

Liªn kÕt céng ho¸ trÞ

1.4 CÊu tróc vµ h×nh häc tinh thÓ

1.4.1 M¹ng kh«ng gian vµ « c¬ b¶n

1.4.2 HÖ tinh thÓ vµ m¹ng Bravais

LËp ph−¬ng a = b = c, α = β = γ = 90O LËp ph−¬ng ®¬n gi¶n

nghiªng (monoclinic) cã « ®¬n vÞ ®¬n gi¶n vµ t©m ®¸y. C¸c hÖ ba ph−¬ng

1.4.3 CÊu tróc tinh thÓ ®iÓn h×nh

1.4.3.3 CÊu tróc tinh thÓ lËp ph−¬ng t©m mÆt

Kim lo¹i H»ng sè m¹ng a, nm B¸n kÝnh nguyªn tö R, nm