16-Apr-14

Specifications <1000 <5

Remarks X Y W-Lb1 Al-Ka P-Ka S-Ka Cl-Ka K-Ka
mm mm cps E10 E10 E10 E10 E10

0 0 3.86 1.13 < 23.34 35.75 <

Pre - Ontrack 3
26 26 1.69 0.6 < < < <
Wafer A
-26 -26 1.71 0.82 < 15.13 8.42 <

0 0 10.4 3.44 < 24.21 < <

Post - Ontrack 3
26 26 8.89 2.77 < 64.8 < <
Wafer A
-26 -26 9.88 2.83 < 61.18 < <

0 0 5.64 2.02 < 23.96 11.42 <

Pre - Ontrack 3
26 26 6.22 1.26 < 34.34 54.29 <
Wafer B
-26 -26 4.86 1.49 < 35.7 12.79 <

0 0 22.41 4 < 32.65 < <

Post - Ontrack 3
26 26 12.13 2.71 < 59.29 < <
Wafer B
-26 -26 6.32 3.42 < 74.47 11.43 <

0 0 7.69 2.14 < 22.43 14.57 <

Pre - Ontrack 3
26 26 5.81 1.85 < 38.97 18.3 <
Wafer C
-26 -26 4.58 2.65 < 54.98 16.33 5.2

0 0 4.91 2.85 < 19.37 < <

Post - Ontrack 3
26 26 12.01 3.06 < 67.9 < <
Wafer C
-26 -26 19.87 2.14 < 44.08 < <
<500 <5 <5 <5 <5 <5 <5
Ca-Ka Ti-Ka Cr-Ka Mn-Ka Fe-Ka Ni-Ka Cu-Ka Zn-Ka
E10 E10 E10 E10 E10 E10 E10 E10

< 19.58 < < 5.67 < < <

7.83 2.5 < < 1.05 < < <
< 17.89 < < 4.19 < < <

< < < < < < < <

< < < < < < < <
< < < < < < < <

< 16.9 < < 3.31 < < <

< 42.41 < < 5.14 < < <
< 4.12 < < 7.39 < < <

< < < < < < < <

< < < < < < < <
< < < < < < < <

< 11.22 < < 1.88 < < <

< 18.46 < < 2.77 < < <
< 13.35 < < 16.6 < < <

< < < < < < < <

< < < < < < < <
< < < < < < < <
 W-Lb1 Al P-Ka S-Ka Cl-Ka K-Ka Ca-Ka Ti-Ka Cr-Ka Mn-Ka
cps E10 E10 E10 E10 E10 E10 E10 E10 E10
4.91 2.85 19.37
12.01 3.06 67.9
19.87 2.14 44.08

Al S Cl *W-Lb
x y cps E10A/cm2 E10A/cm2 cps
0 0 2.85 19.37 ND 4.91
26 26 3.06 67.9 ND 12.01
-26 -26 2.14 44.08 ND 19.87
Average 2.685 43.782 0 12.261
Sigma 0.484 24.267 0 7.485
R(%) 34.401 110.846 0 122.036
C.V.(%) 18.008 55.426 0 61.044
Fe-Ka Ni-Ka Cu-Ka Zn-Ka
E10 E10 E10 E10