‫‪1‬‬

‫حسين عباسزاده مبارکي‬

‫‪ 1‬دانشجوي کارشناسي مهندسي مکانيک‪ ،‬دانشگاه صنعتي اروميه‪ ،‬اروميه ‪hossein.mobaraki1995@gmail.com‬‬

‫تاريخ دريافت‪1394/12/12 :‬‬

‫تاريخ پذيرش‪1395/01/17 :‬‬

‫فناوري سيستمهاي ميكروالكترومكانيك‪ ،‬فناوري دستگاههاي بسيار کوچك است و آن را در‬

‫مقياس نانو به سيستمهاي نانوالكترومكانيكي و فناوري نانو درميآورد‪ .‬اگرچه اين فناوري در‬
‫حال حاضر به روش آزمون و خطا طراحي ميشود‪ ،‬اما حاصل تلفيق اجزاي مكانيكي‪ ،‬حسگرها‪،‬‬
‫محركها و قطعات الكترونيكي روي يك الية سيليكون بهکمك فناوري ساخت تراشههاي‬
‫ميكروني است‪ .‬توليد سيستمهاي ميكروالكترومكانيكي بهکمك يكي از بنياديترين فناوريها‬
‫انجام ميشود‪ .‬ميكروماشينكاري سيليكوني پيشرفتهترين فناوري ميكروماشينكاري است‪.‬‬
‫امروزه در کشورهاي پيشرفتة جهان‪ ،‬توسعة تلفيقي سيستمهاي مكانيكي و الكترونيكي در‬
‫ابعاد بسيار کوچك مورد نظر است؛ زيرا اين حوزة مهم علمي موجب افزايش سرعت و کاهش‬
‫حجم در بخشهاي مختلف صنعت خواهد شد‪ .‬فناوري سيستمهاي ميكروالكترومكانيكي در‬
‫صنايع گوناگون و اثرگذار جهان از جمله صنعت خودروسازي‪ ،‬موشكي‪ ،‬توليد انواع تراشه و‬
‫صنايع نظامي کاربرد بسيار زيادي دارد‪ .‬عالوه بر تجاريسازي برخي دستگاههاي‬
‫ميكروالكترومكانيكي‪ ،‬که داراي يكپارچگي کمتري هستند مانند ميكروشتابسنجها‪ ،‬مفاهيم و‬
‫امكانپذيري بيشتر سيستمهاي ميكروالكترومكانيكي پيچيده براي کاربردهايي در زمينههاي‬
‫متنوع همچون سيستمهاي بيسيم و اپتيك ارائه شده است‪ .‬در اين مقاله به برخي از ابعاد‬
‫گوناگون اين بخش از صنعت اشاره شده است‪.‬‬

‫سيستم ميكروالكترومكانيكي‪ ،‬حسگر‪ ،‬محرك‪ ،‬ميكروماشينكاري‬

‫مهندسي مکانيک‪ ،‬س‪ ،25 .‬ش‪ ،106 .‬فروردين و ارديبهشت ‪1395‬‬ ‫‪42‬‬
‫‪43‬‬ ‫مجلة علمي ترويجي انجمن مهندسان مکانيک ايران‬
 ‫‪s‬‬
‫‪s‬‬
‫‪3‬‬
‫‪s‬‬

‫‪wt 3‬‬
‫‪k‬‬ ‫‪E‬‬
‫‪4l3‬‬

‫‪s‬‬
‫‪s3‬‬

‫مهندسي مکانيک‪ ،‬س‪ ،25 .‬ش‪ ،106 .‬فروردين و ارديبهشت ‪1395‬‬ ‫‪44‬‬
 ‫‪.‬‬

‫‪45‬‬ ‫مجلة علمي ترويجي انجمن مهندسان مکانيک ايران‬

 ‫‪ SV 2‬‬
‫‪F‬‬
‫‪2d 2‬‬
‫‪‬‬ ‫‪F‬‬
‫‪d‬‬ ‫‪V‬‬

‫مهندسي مکانيک‪ ،‬س‪ ،25 .‬ش‪ ،106 .‬فروردين و ارديبهشت ‪1395‬‬ ‫‪46‬‬
 .

4.732 h  E 
2
1
f  2 
  1  0.2366  
2 l  12   h

Ɩ ƒ
ρ E h
ε

1  0.2366 (1 / h) 2 
kg f   
2  1  0.2366 (1 / h) 2  
f
 kg f 
f

47 ‫مجلة علمي ترويجي انجمن مهندسان مکانيک ايران‬

[1] Roark R. J., W. C. Young, Roark’s Formulas for Stress and Strain, 6th edition, New York: McGraw-Hill,
1989.
[2] NEXUS, The Network of Excellence in Multifunctional Microsystems, Task Force, Market Analysis for
Microsystems: 1996-2002, 1998, http://www.nexus-emsto.com (accessed April 25, 2016).
[3] System Planning Corporation (SPC), Micro-Electro-mechanical Systems (MEMS): An SPC Study, 1994.
[4] Battelle Institute, Micromechanics, Battelle Institute, Frankfurt am Main, 1992.
[5] Roger Grace Associates, http://www.rgrace.com (accessed April 25, 2016).
[6] Tang, W. C., MEMS applications in space exploration Micro-machined Devices and Components III, Austin,
Texas, 1997, Proceedings. SPIE Volume. 3224, 1997, pp. 202-11.
[7] Edmonds L. D‫و‬, G. M. Swift, C. I. Lee, “Radiation response of a MEMS accelerometer: an electrostatic
force.” IEEE Transactions. Nuclear Science 45, 1998, pp. 2779–88.
[8] Fujita, H., “Micro-actuators and micro-machines.” Proceedings IEEE, 86, (8), 1998, pp. 1721-1732.
[9] Madou, M., Fundamentals of Micro-fabrication, CRC press, 1997.
[10] Oogarah, T. B., Low Temperature Radio frequency MEMS Inductors Using Porous Anodic Alumina,
Waterloo, Ontario, Canada, 2008.
[11] Ahn, C. H., M. G. Allen. “A fully integrated surface micro-machined micro-actuator with a multilevel
meander magnetic core.” Journal of Micro-electro-mechanical Systems 2(1), 1998, pp. 15–22.
[12] Fatikow, S., U. Rembold, Micro-system technology and micro-robots, Springer Publishing New York, 1997.
[13] Rai-choudhury, P., Handbook of icrolithography, micro-machining and micro-fabrication, SPIE Optical
Engineering Press, 1997.
[14] Ikeda, K., etal. “Silicon pressure sensor integrates resonant strain gauge on diaphragm.” Sensors and
Actuators, 1990, pp. 146–150.

1. NEXUS
2. Jet Propulsion Laboratory (JPL)

1395 ‫ فروردين و ارديبهشت‬،106 .‫ ش‬،25 .‫ س‬،‫مهندسي مکانيک‬ 48