Cursus Vacuümtechniek

Week 6: Totale drukmeting II

Kenniscentrum Mechatronica
Eindhoven

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 1

 Het waarom van drukmeting
Q In een te evacueren ruimte is de mogelijkheid tot
drukmeting een essentiële noodzaak.
X Ten eerste om tijdens het leegpompen te kunnen
bepalen of het gebruikte pompsysteem naar
behoren werkt.
X Ten tweede of de gewenste druk wordt bereikt en
het systeem vrij is van lekken en ongewenste
desorpties.
desorpties
Q Daarnaast is bij experimenten in geëvacueerde ruimtes
een vacuümbeveiliging,
mbeveiliging die de druk in het systeem
controleert en bij een eventuele calamiteit de meet- en
vacuümapparatuur uitschakelt, in veel gevallen
onontbeerlijk.

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 2

 Opdracht
Q Teken in je opstelling (zie week 1) een aantal
drukmeters, heb je die niet bij de hand, gebruik dan
(ook) de figuur op de volgende dia, of de daarop
volgende dia.
Q Beschrijf van welk type ze zijn met de eigenschappen
en drukbereik.
Q Geef aan waarom ze gemonteerd zijn op de plaats
waar te vinden zijn.
Q Zijn er nog meer plaatsen te vinden waar een
drukmeter gemonteerd zou moeten/kunnen worden ?

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 3

Vacuümsysteem Elektronenmicroscoop

XL40 TMP vacuum configuration

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 4

IJkopstelling

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 5

 IJkopstelling
Q Vacuum scheme of the used calibration system CS
1001:
X P1: turbo molecular pump;
X P2, P4: rotary pump;
X P3: sputter ion pump;
X PG1: Bayard-Alpert gauge IE 414;
X PG2: spinning rotor gauge;
X PG3, PG4: Baratron gauges;
X PG5: diaphragm gauge PIEZOVAC;
X PG6: Pirani gauge THERMOVAC;
X TG: test gauge;
X V1-V8: valves, (V6: variable leak valve);
X AT: adsorption trap.

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 6

 Drukmeters

directe drukmeters

indirecte drukmeters

absolute drukmeters

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 7

 Directe drukmeters
(verplaatsing van een wand)

vaste wand vloeibare wand

membraan Bourdon radiometer compressiemanometer

vloeistof manometer
diafragma met rekstrookje

capaciteitsmanometer

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 8 Í

 Knudsen manometer
In de Knudsenmanometer,
meter ook wel radiometervacuümmeter
genoemd, wordt gebruik gemaakt van de temperatuurafhanke-
lijkheid van de door een gas op de wand uitgeoefende druk.
druk
De platen 1 en 2 met oppervlak A worden op
p,T
temperatuur T1 resp. T2 gehouden.
1 d T1 De temperatuur van het omgevingsgas is T.
2
T2 De afstand d tussen de platen is klein t.o.v. hun
p,T afmetingen (d2 << A) èn t.o.v. de vrije
weglengte in het gas (d << λ)
Tussen de platen hebben we te doen met twee soorten
moleculen: moleculen die gebotst hebben met plaat 1 en op
weg zijn naar plaat 2, èn moleculen die gebotst hebben met
plaat 2 en op weg zijn naar plaat 1. Bij botsing treedt
temperatuuraccommodatie op.
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 9 Í
 Knudsen manometer (vervolg)
p,T Botst een “koud” molecuul met een warme wand
dan zal het molecuul energie van de wand opne-
opne
1
2
d T1 men,
men de snelheid na botsing is dan groter dan
T2
er voor. Botst omgekeerd een “warm” molecuul
p,T met een koude wand dan vindt warmte-afgifte
plaats aan de wand en de thermische snelheid
neemt af.
Dus op plaat 1 wordt van onderen druk uitgeoefend door
moleculen met thermische snelheden corresponderend met T2 en
van boven door moleculen corresponderend met snelheden T.

Is T2 ≠ T dan zal de impulsoverdracht resulteren in een netto-

kracht op plaat 1.1 Idem voor plaat 2. De nettokracht op deze
platen hangt niet alleen af van ΔT maar ook van het aantal en
de massa van de gasmoleculen.
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 10
 Knudsen manometer (slot)
Q Schematische weergave van
een Knudsen manometer
Q A en A - vaste verwarmde
platen
Q B - draaibaar raam
Q C - dunne ophangdraad
Q S - spiegel.

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 11

Toepassing bij Knudsenmanometer
Oefening 1.18*
Q Een dunne vlakke plaat met een oppervlak van 10-2 m2 is
horizontaal opgehangen aan een veer (veerconstante 2 N/m)
zodanig dat deze vlak boven en evenwijdig aan een vaste plaat
hangt. Beide platen zijn eerst op 300 K. De ruimte waarin de
opstelling is geplaatst wordt geëvacueerd naar 10-2 Pa. Vervolgens
wordt de vaste plaat verwarmd tot 400 K. Neem voor het gemak
aan, dat hierdoor de dichtheid tussen de platen niet wijzigt.
X Bereken de lengteverandering die de veer ondergaat.
X Wat wordt de lengteverandering als de druk een factor 2 wordt
verhoogd?

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 12

 Oefening 1.18*
T1
Aanname: λ >> afstand tussen platen n1 ∗ v 1 = n 2 ∗ v 2 ⇒ n 2 = n1
T2
Neem voor het gemak aan, dat de dichtheid
tussen de platen niet wijzigt:

Druk die van onderen op plaat 1 wordt uitgeoefend:

2n
p1 = n1kT1 = ⋅ kT1
T1
1+
T2 p1 = 1,243.10-2 Pa

p 10 −2 −3
n= = = 2,4 ⋅ 10 18
m
kT 1,38 ⋅ 10 −23 x 300

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 13

Opgave 1.18*
p1 = 1,243.10-2 Pa

nettokracht naar boven:

Fnetto = Δp.A = 0,243.10-2x10-2 = 0,243.10-4 N

veerconstante

Dus veer wordt:

0,243.10-4/2 = 0,12.10-4 m = 12 μm korter

druk 2x zo groot: dichtheid 2x

p1 wordt 2x zo groot

veer wordt 24 μm korter

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 14
 Indirecte drukmeters
(meting van gaseigenschap)

impulsoverdracht opwekken van lading energie-overdracht

(viscositeit) (ionisatie) (warmtegeleiding)

quartz rotatie thermokoppel Pirani thermistor

hete kathode koude kathode

Penning (geïnverteerd) magnetron

triode Bayard-Alpert Shultz-Phelps

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 15 Í

 Absolute drukmeters
Q Onder een absolute drukmeter wordt verstaan een
drukmeter waarvan de meterconstante (= factor
tussen druk en aanwijzing) bekend is of eenvoudig
kan worden berekend;
berekend drukmeting is dan mogelijk
zonder voorafgaand ijken.
ijken
Q Instrumenten met deze eigenschap zijn per definitie te
karakteriseren als primaire standaard.
standaard
Í
Q Tot deze categorie behoren in strikte zin slechts een
drietal drukmeetsystemen, namelijk:
X de U-buis manometer,
manometer
X de McLeod manometer,
manometer
X de Knudsen manometer.
manometer

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 16 Í

Overzicht te behandelen drukmeters

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 17

Ionisatiemanometers
Energieniveaus

Eerste ionisatiepotentiaal

Aangeslagen toestand 2

Aangeslagen toestand 1

Grondtoestand

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 18

Principe-schets van ionisatiemanometer

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 19 Í

 Meetprincipe ionisatiemanometer
Bij voldoende lage druk is de ionenstroom i+ op de collector C
evenredig met de gasdichtheid n en de elektronenstroom i-

waaruit met de ideale gaswet p = nkT volgt :

De 'constante' C staat bekend onder de naam buisfactor

De drukschaal van een ionisatiemanometer is dus alleen geldig bij de
! temperatuur T waarbij de ijking heeft plaatsgevonden! Bij iedere andere
temperatuur T ' wordt de heersende druk p' gevonden door de afgelezen
drukwaarde p te corrigeren volgens :

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 20

*Buisfactor C*

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 21

 Begrenzingen ionisatiemanometer (1)
Hogedruk kant: De buisfactor zal drukonafhankelijk blijven
zolang de bijdrage aan secundaire elektronen klein blijft t.o.v.
het aantal primaire elektronen, oftewel:

Een goed geconstrueerde meetcel

bezit voor stikstof een buisfactor in
de orde van 0,1 Pa-1. Dit betekent
dat in het geval van stikstof de
druk p << 10 Pa moet zijn om
geen last te hebben van de
secundaire elektronen. De figuur
hiernaast toont als voorbeeld de
experimenteel bepaalde C-curve
van een ionisatiemanometer voor
argon uitgezet tegen de druk.

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 22

 Begrenzingen ionisatiemanometer (2)
Lagedruk kant: het meetbereik wordt begrensd door een
tweetal neveneffecten die beide worden veroorzaakt door
de inslag van de elektronen op het rooster en de daarbij
optredende energie-overdracht aan de vaste stof.

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 23

 Cursus Vacuümtechniek
Week 6: Totale drukmeting II

Kenniscentrum Mechatronica
Eindhoven

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 24

Principe ionisatiemanometer

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 25

 Ionisatiemanometer (Bayard-Alpert)

collector rooster of anode

gloeidraad of kathode tweede gloeidraad

geleidend omhulsel

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 26 Í

Plaats gloeidraad (= filament)

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 27

Elektronenbanen in IM (B&A)

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 28

Elektronen- en ionenbanen in aangepaste BAI

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 29

Voorbeeld Bayard-Alpert

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 30

Configuratie Schulz-Phelps manometer
Q Ionisatiemanometer voor hogere
drukken (10-4 < p < 10 Pa)
Q Afgelegde weg elektronen is klein

C A

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 31

Problemen in de ionisatiemanometer
Q Teneinde de invloed van thermo-chemische processen en de
daaraan verbonden chemische pompwerking zo klein mogelijk te
houden, dient steeds met een zo laag mogelijke gloeidraadtem-
peratuur en emissiestroom i- te worden gewerkt en gebruik bij (te)
hoge drukken te worden vermeden.
Q Chemische effecten kunnen worden verminderd door de relatief
goedkope wolfraamkathode te vervangen door een resistenter en
toch als gloeidraad goed geschikt materiaal, zoals gethorieerd
iridium,
iridium rhenium of platina.
platina Ook het impregneren/coaten van
wolfraam met een materiaal met lage werkfunctie is een goede
oplossing.
Q Bij nauwe verbindingen tussen meetbuis en vacuümruimte is de
invloed van ionenpompwerking,
ionenpompwerking chemische effecten en
oliekraakprocessen het grootst. Daarom dient bij voorkeur met
een wijde verbinding te worden gewerkt of liever nog een
inbouwtype meetbuis te worden gebruikt (Blearseffect).
Blearseffect

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 32

Pompwerking ionisatiemanometer

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 33

Processen aan en invloed van hete gloeidraad

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 34

Voordelen IM met hete gloeidraad
Q Lineariteit over een groot drukgebied (ca. 9 decades)
Q Snelle aanwijzing (relatief 'simpele' stroomversterking)
Q Kleine afmetingen;
afmetingen conguratie geschikt voor inbouw
Q Goed te ontgassen

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 35

Voordelen IM met hete gloeidraad
Q Meetbuis is niet robuust te noemen; kwetsbare
gloeidraad
Q Gevoeligheid gassoortafhankelijk
Q Ionenpompwerking;
Ionenpompwerking ionen worden ingevangen in de
collector en 'verpompt'
Q Chemische effecten aan de hete gloeidraad en
chemische pompwerking
Q Gevoelige versterkers nodig;
nodig meting van kleine
ionenstromen (10-11 - 10-14 A); elektronenstroom-
stabilisatie en gloeidraadbeveiliging noodzakelijk
Q Doorhangen gloeidraad veroorzaakt veranderende
gevoeligheid

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 36

Principe zelfstandige ontlading

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 37

Animatie IM met koude kathode

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 38 Í

Paschen-kromme

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 39

Profielschets Penningcel

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 40 Í

Animatie Penning-manometer

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 41

Voor- en nadelen IM met koude kathode
Voordelen
Q Robuust, geen gloeidraad, bedrijfszeker
Q Eenvoudige constructie, voeding en meting
Q Meetcel blijft op kamertemperatuur; doorgaans geen ontgassing
nodig
Nadelen
Q Ontladingsstroom niet lineair met de druk
Q Gevoeligheid gassoortafhankelijk
Q Meetcel met magneet relatief zwaar en omvangrijk
Q Conguratie met magneet niet geschikt voor inbouw; extra
weerstand i.v.m. gesloten elektrodeconguratie
Q Magnetisch strooiveld
Q Vooral bij lage druk moeilijk te starten
Q Zeer slecht reproduceerbaar als gevolg van
getterionenpompwerking en verontreiniging; herinneringseffecten

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 42

Geïnverteerd magnetron

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 43

Opengewerkt geïnverteerd magnetron

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 44

 Correctiefactoren gassen

gas correctiefactor
Stikstof 1
Helium 6,9
Neon 4,4
Argon 0,8
Waterstof 2,4
Koolmonoxide CO 0,9
Kwik 0,3

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 45

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 46
 Overzicht
Drukbereiken vacuümmeters drukmeters
105 A U-buis
B Bourdon
A B C C membraanmanometer
D Mc Leod
p [Pa]

102 E capaciteitsmanometer
H (diverse uitvoeringen,
D G
E I meetbereik maximaal 5
decades)
10-1 J F wrijvingsmanometer
G klassieke Pirani
F H verfijnde Pirani
K
I thermokoppel
10-4 J Penning
L K Schulz-Phelps IM
L Bayard&Alpert IM

10-7

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 6 - 47