Cursus Vacuümtechniek

Kenniscentrum Mechatronica
Eindhoven

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 1

 Overzicht Vacuümgebied
tijd voor een monolaag (s)
108 106 104 102 100 10-2 10-4 10-6 10-8
106
atmosferische druk
druk 10 4
10-6
gemiddelde
(Pa) vrije
102
10 weglengte
-4

voorvacuum (m)
100 10-2

10-2 100
hoog vacuum
10-4 102

10-6 104
ultra-hoog vacuum
10-8
106

10-10
108

10-12 1010

107 109 1011 1013 1015 1017 1019 1021 1023 1025
gasdichtheid (per m3)

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 2

Vacuümsysteem (algemeen)

reactie met
wand
virtueel lek
proces gas

bulk desorptie permeatie

oppervlakte terugstroming
desorptie van pompvloeistof

terug-diffusie
reëel lek

vloeistof- re-emissie van

kruip eerder verpompte
gassen

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 3

 Invloed van een wand

Vacuüm Atmosfeer
Verdamping

Desorptie

Diffusie
Adsorptie

Permeatie

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 4

 Lennard-Jones potentiaal

Q Een gasdeeltje dat een vaste stof oppervlak nadert,

komt onder invloed van de Lennard-Jones potentiaal
van de oppervlakte-atomen en kan fysisch worden
gebonden (geadsorbeerd) in het `Lennard-Jones
potentiaalputje'.
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 5
Fysische adsorptie

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 6

 Thermische Adsorptie - Desorptie
V(r) Van der Waalskrachten met
energie van ≅ 0,01 eV
of polarisatiekrachten met
energie van ≅ 0,01 eV

r
fysisorptie
LET OP:
0,01 eV per molecuul =
chemisorptie 1,6x10-21 J per molecuul =
Echem 6,0.1023x1,6.10-21 J.mol-1 ≅
ads 1 kJ.mol-1

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 7

 Adsorptiesnelheid

Het aantal gas- of dampdeeltjes dat een

oppervlak A per tijdseenheid treft, volgt uit de
uitdrukking voor de invalsdichtheid (1.48):

Het aantal deeltjes dat aan het oppervlak wordt

geadsorbeerd:

of:

! Controleer dit

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 8

Thermische Adsorptie - Desorptie (vervolg)

verblijftijd τ wordt gegeven door: τ = τ 0 e Q / RT

met: τ 0 ≈ 10 −13 s; R = 8,31 J .mol −1.K −1

Q τ bij T = 293 K τ bij T = 393 K

[kJ.mol-1] [s] [s]
----------------------------------------------------------------------------
60 5x10-3 1x10-5
80 20 4x10-3
100 7x104 (100 uur) 2
200 3x108 (10 jaar) 3,5x106 (900 uur)

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 9

Thermische Adsorptie - Desorptie (vervolg)

Gas Oppervlak Q [kJ/mol] soort

------------------------------------------------------------------------
N2 roestvast staal 13 fysisorptie
N2 ijzer 166 chemisorptie
O2 ijzer 570 chemisorptie
Ar wolfraam 8 fysisorptie
H2 koolstof (schoon) 8 fysisorptie

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 10

Verblijftijden

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 11

 Thermische Adsorptie - Desorptie (vervolg)
Aantal deeltjes dat per tijdseenheid
botst met oppervlak A:
A
dN b N cA 1
= = n c .A
dt 4V 4
Aantal deeltjes dat blijft kleven wordt
door de kleefkans s bepaald
(sticking probability):
probability
dN a dN b
Gecombineerd met: = s
8kT dt dt
c=
πm dN a 24 p . A . s
= 2 ,63 . 10
N p dt M .T g
=n=
V kT
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 12
Thermische Adsorptie - Desorptie (vervolg)

p dNA/dt
(Pa) (moleculen/m2.s)
------------------------------------------
10-2 2,7x1020
10-3 2,7x1019
10-5 2,7x1017
10-7 2,7x1015

dV
= 109,17 [ m 3 .s −1.m −2 ] = 10,9 [dm 3 .s −1.cm −2 ] = Smax
dt

Vuistregel: elke cm2 oppervlak heeft een

maximale pompsnelheid van 10 liter/s
t
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 13
 Adsorptie-desorptie evenwicht
Q De netto verandering per tijdseenheid van het aantal op
een oppervlak geadsorbeerde deeltjes (dNs/dt) is
steeds gelijk aan het aantal dat per tijdseenheid
adsorbeert (dNa/dt), verminderd met het aantal deeltjes
dat in diezelfde tijdseenheid desorbeert (dNd/dt):

Evenwicht:

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 14

 Adsorptie-desorptie evenwicht
Q We concluderen dat voor een bepaalde gas-vaste stof
combinatie het aantal aan een oppervlak A
geadsorbeerde deeltjes Ns in evenwichtstoestand een
functie is van:
X de heersende druk p
X en van de temperaturen
) Ts van het oppervlak

) en Tg van het gas.

Q Bij verandering van Ts en/of Tg stelt zich dus een

nieuw evenwicht in, waarbij:
X De adsorptiekans sa zal veranderen
X en eventueel ook de adsorptie-energie Ea

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 15

 Adsorptie-isothermen

met

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 16

Adsorptie-isothermen (vervolg)
qad
[Pa.m3.kg-1]
106
105

104
stikstof - 195 oC
103
102

101

100
10-1
stikstof 20 oC
10-2
10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102 103 104 105
p (Pa)

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 17

 Adsorptie-isothermen (slot)
qad
[Pa.m3.kg-1]

106

105

104
stikstof - 195 oC
103

102 neon - 195 oC

101

100 helium - 195 oC

10-1
stikstof 20 oC
10-2
10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102 103 104 105

p (Pa)

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 18

Rekenvoorbeeld: Oefening 2.3

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 19

 Desorptiesnelheid
Q Beschouw een verzameling van n0 geadsorbeerde
deeltjes op het tijdstip t=0 en noem het aantal deeltjes
dat daarvan op het tijdstip t nog niet is gedesorbeerd
Ns. Voor het aantal moleculen dat vervolgens tussen t
en t + dt desorbeert, kunnen we dan schrijven:

Integreren levert op:

Na enig rekenwerk:

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 20

Desorptiesnelheid

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 21

 Pompsnelheid in relatie tot ontgassing
dV maat voor hoeveelheid gas per
Pompsnelheid: S =
dt tijdseenheid, uitgedrukt in Pa.m3.s-1
pV
pV = NkT ⇒ N = p × S = Q = kT
dN
kT dt
dN p dV
⇒ = Ontgassing bekend pompsnelheid
dt kT dt

Pompsnelheid beperkt door geleidingsvermogen

ontgassing reduceren
dN s 24 p . A . s N s − Q / RT
= 2 ,63 . 10 − e S

dt M .T g τ0
Oplossing: verontreiniging verwijderen en uitstoken
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 22
 Voorbeeld ontgassing
Systeem met binnenoppervlak 1 m2
ontgassing 10-6 Pa.m3.s-1

Om een einddruk van 10-8 Pa te behalen is een

pompsnelheid nodig van: 100 m3.s-1

Het gat waar door moet worden gepompt moet dan al op

zijn minst een oppervlak hebben van: 1 m2

Ontgassing vuil systeem: 10-2 Pa.m3.s-1.m-2

Ontgassing na ontvetten: 10-4 Pa.m3.s-1.m-2

Ontgassing na uitstoken: < 10-8 Pa.m3.s-1.m-2

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 23

Niet-uitgestookt vacuümsysteem

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2 - 24