Cursus Vacuümtechniek

Week 5: Totale drukmeting I

Kenniscentrum Mechatronica
Eindhoven

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 1

 Het waarom van drukmeting
Q In een te evacueren ruimte is de mogelijkheid tot
drukmeting een essentiële noodzaak.
X Ten eerste om tijdens het leegpompen te kunnen
bepalen of het gebruikte pompsysteem naar
behoren werkt.
X Ten tweede of de gewenste druk wordt bereikt en
het systeem vrij is van lekken en ongewenste
desorpties.
desorpties
Q Daarnaast is bij experimenten in geëvacueerde ruimtes
een vacuümbeveiliging,
mbeveiliging die de druk in het systeem
controleert en bij een eventuele calamiteit de meet- en
vacuümapparatuur uitschakelt, in veel gevallen
onontbeerlijk.

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 2

 Drukmeters

directe drukmeters

indirecte drukmeters

absolute drukmeters

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 3

 Directe drukmeters
(verplaatsing van een wand)

vaste wand vloeibare wand

membraan Bourdon radiometer compressiemanometer

vloeistof manometer
diafragma met rekstrookje

capaciteitsmanometer

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 4 Í

 Indirecte drukmeters
(meting van gaseigenschap)

impulsoverdracht opwekken van lading energie-overdracht

(viscositeit) (ionisatie) (warmtegeleiding)

quartz rotatie thermokoppel Pirani thermistor

hete kathode koude kathode

Penning (geïnverteerd) magnetron

triode Bayard-Alpert Shultz-Phelps

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 5 Í

 Absolute drukmeters
Q Onder een absolute drukmeter wordt verstaan een
drukmeter waarvan de meterconstante (= factor
tussen druk en aanwijzing) bekend is of eenvoudig
kan worden berekend;
berekend drukmeting is dan mogelijk
zonder voorafgaand ijken.
ijken
Q Instrumenten met deze eigenschap zijn per definitie te
karakteriseren als primaire standaard.
standaard
Q Tot deze categorie behoren in strikte zin slechts een
drietal drukmeetsystemen, namelijk:
X de U-buis manometer,
manometer
X de McLeod manometer,
manometer
X de Knudsen manometer.
manometer

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 6 Í

Overzicht te behandelen drukmeters

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 7

 U-buis
Q Twee types:
Q Gesloten U-buis: is
absolute drukmeter als
ruimte in gesloten deel
vacuüm is (p = 0); de
absolute druk is dan
gelijk aan h [cm of mm
vloeistofdruk]; is de
vloeistof kwik dan
wordt de druk
opgegeven in mm Hg =
Torr
Q Open U-buis: meet
drukverschil

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 8

 Mechanische vacuümmeters
Bourdon buisveer manometer: platte gebogen
buis met elliptische doorsnede, gemaakt van
metaal en zo dun dat hij veren kan.

Condensator-membraanvacuümmeter
1 atm - 103 Pa

1 atm - 102 Pa

1 atm - 10-3 Pa in verschillende

uitvoeringen, elk over drukgebied
Membraanvacuümmeter van factor 105 (dus bv. 102 - 10-3 Pa
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 9
Werking capaciteitsmanometer

Met dank aan MKS

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 10
*Piëzo-elektrische membraanmanometer*

Via constante van Poisson μ

Q Halfgeleidende materialen zoals bijv. Si vertonen onder

mechanische belasting een meetbare verandering van de
soortelijke weerstand.
weerstand Dit effect staat bekend onder de
naam "piëzo-resistief effect".
ect
Q In de vacuümtechniek wordt het effect gebruikt door de
gemeten weerstandsverandering in een dun membraan
van het betreffende materiaal als gevolg van drukbelasting
om te zetten in een drukschaal.
drukschaal
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 11
Si membraancongfiguratie met weerstandspaden

differentiële drukmeting

drukmeting met referentievacuüm

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 12
Wrijvingsmanometer

aansluitflens
stabilisatiespoel

bolletje

vacuümaansluiting
magneetspoel voor
roterend magnetisch veld
permanente magneet

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 13 Í

 Afremmende kogel t.g.v. wrijving gas
Als vrije weglengte gas >> diameter kogeltje dan:

Q ν(t) = omloopfrequentie na een tijd t, ν 0 = omloopfrequentie op t = 0,

Q R = straal kogeltje,
Q ρ = dichtheid kogeltje,
Q v = gemiddelde snelheid van de gasmoleculen.
Q Uit meting van de verhouding v(t)/v0 kan derhalve de gasdruk p
worden afgeleid.
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 14
*Afleiding rotatiesnelheid ÷ gasdruk*

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 15

*Wrijvingsmanometer T - onafhankelijk*

Q De relatieve frequentie-afname als gevolg van de

optredende wrijving hangt, afgezien van dichtheid en
straal van het kogeltje, uitsluitend af van de
massastroomdichtheid ¼nmv van het gas.
Q Deze grootheid moet, als er geen stroming is, overal
en in alle richtingen gelijk zijn. Dit betekent dat een
wrijvingsmanometer ongeacht lokale temperatuur-
verschillen overal in een vacuümsysteem dezelfde druk
aanwijst. De aanwijzing wordt dus niet beïnvloed
door thermomoleculaire drukverschillen
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 16
 Wrijvingsmanometer
Q De wrijvingsmanometer is een gassoortafhankelijke
drukmeter, want de druk p wordt bepaald door de
gemiddelde snelheid van het gas en deze is afhankelijk
van de moleculaire massa.
Q De drukbepaling is vrij nauwkeurig.
nauwkeurig De dichtheid en de
straal van het kogeltje kunnen namelijk met grote
nauwkeurigheid worden bepaald. De gemiddelde
snelheid hangt uitsluitend af van de massa van het
beschouwde gas en de temperatuur en valt dus ook
nauwkeurig te berekenen. Tijdmeting vindt plaats met
een kwarts gestabiliseerde oscillator met een
frequentie van ca. 10 MHz.

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 17

Warmtegeleidingsmanometer

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 18

 Warmtegeleidingmanometers
• Energiebalans:
T2 Q1 vermogen in = vermogen uit
2
r2 U
P = RI 2 =
•
R
Q2 •
Eindverliezen: Q 1 = A1 (T2 − T1 )

Stralingsverliezen: Q 2 = A2 (ε 2T24 − ε 1T14 )

•
T1

• Thermische geleiding door gas:

Q3 •
(T − T1 )p
Q 3 = A3 2
B+p
•
Q1 A1, A2, A3, B constanten, met
• • •
Balans: P = Q1 + Q2 + Q3 B ÷1/r2, verder p ÷ 1/λ
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 19 Í
Warmteverlies in warmtegeleidingsmanometer

Q I - warmteverlies a.g.v. straling en geleiding via de draadtoevoeren (Ws +Wgt),

Q II - warmteverlies a.g.v. geleiding via het gas (Wg),
Q III - warmteverlies a.g.v. convectie in het viskeuze gebied (Wc),
Q IV - verloop van de totale warmte-afgifte als functie van de druk (Wtot).

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 20

 *Warmteverlies door straling en geleiding*

Straling:

met:

F2 = Fd << F1

Geleiding:

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 21

 Warmteverlies door convectie
Q Warmteverlies door convectie Wc treedt alleen op in
het viskeuze gebied. Warmteverlies via gasconvectie
is, afgezien van draadtemperatuur en druk, sterk
afhankelijk van de dimensies en positionering van de
meetcel en derhalve niet eenvoudig analytisch
kwantificeerbaar. Heel algemeen geldt dat deze
verliesterm alleen bij voldoende grote diameter D een
rol speelt en kan worden gebruikt voor drukmeting.
Voor kleine D blijft Wc verwaarloosbaar klein.
klein

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 22

Calibratiecurves Piranimanometer

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 23

Drukbereiken vacuümmeters

105 A U-buis
B Bourdon
A B C C membraanmanometer
D Mc Leod
p [Pa]

102 E capaciteitsmanometer
H (diverse uitvoeringen,
D G
E I meetbereik maximaal 5
decades)
10-1 J F wrijvingsmanometer
G klassieke Pirani
F H verfijnde Pirani
K
I thermokoppel
10-4 J Penning
L K Schulz-Phelps IM
L Bayard&Alpert IM

10-7

Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 5 - 24