(12) NACH DEM VERTRAG UBER DIE INTERNATIONALE ZUSAMMENARBEIT AUF DEM GEBIET DES PATENTWESENS (PCT) VEROFFENTLICHTE INTERNATIONALE ANMELDUNG emmemationles BIO aie {NE (43) Internationales Verdfentlichungsdatum or (10) Internationale Verdfentichungsnummer 26. Februar 2009 (26.02.2009) WO 2009/024589 Al (21) Internationales Aktenzeichet PCT/EP2008/060903 (CH). MEGNET, Kat (CH-8630 Ruti (CH). STAHELL, Curdin [CH/CH[: Leis halde 35 H, CH-8620 Wevaikon (CH. (74) Anwalt: LIEBETANZ, Michael Isler & Pedrazzini AG, (22) Internationales Anmeldedatum: 20, August 2008 (20.08.2008) oe eemen mea Denrsch T° Postach 1772, CH-8027 Zirch (CHD, a arena eee Pesh (§1) Bestimmungsstaaten (someit nicht anders angegeben, fr (G0) Angaben zur Priorti , , Jede verfghare nationale Schutzrechsari: AE, AG, AL, 074052440 21. August 2007 21.08.2007) EP ‘AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, (71) Anmetder (ft alle Bestinmungsstaaten mit Ausnatmevon BZ, CA, CH CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, US): BELIMO HOLDING AG [CH/CH]; Brunnenbech- DZ, BC, BE, EG, BS, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN strasse 1, CH-8340 Hinwil (CHD, HR, HU, 1D, TL, IN. IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP. KR, KZ, [Forsetcung auf der nitchsten Seite) (64) Tite: FLOW SENSOR AND PRODUCTION METHOD THER! (64) Bezeichnung: DURCHFLUSSSENSOR UND HERSTELLUNGS (87) Abstract: In a flow sonsoe (1) comprising Fig. 7a a flow channel (14) embedded in a base body (1), (2 a flow sensor element (13) adjacent (0 the flow channel (14) and a cover plat (12) covering the flow channel (14) and arranged on the base body (1 the flow channel (14) is formed by an elastic 217 sealing lip which delinits said) channel (14) running on and around an upper side ofthe base | body (1°) ying opposite the cover plate (12) and | is pressed apn the cover plate (12) sch that on t \ f Hy a seals fomed. The doin othe fw camel y Fal T (14) by means of the sealing Hp (5) allows the J " te Ga flow channel (14) to be sealed of from possible 0 fare between the base body (1) andthe cover plate (12) and in relation to the cover plate (12 such that a flow channel with a level channel bed (14) is formed by the sealing lip (15) and the cover plate (12) which channel bed has smooth peripheral areas and a uniform cross-section, And which if possible avoids the depositing and collection of dirt particles and thus prevents undesirable turbulence in the flow channel (14) and guarantees laminar curent through the flow Lar channel (14). (57) Zusammenfassung: Bei einem Durch- Ausssensor (1) mit einem in einen Grundkrper \ (2) eingelassnen Darchflsskanal (1), sinem | an den” Durchassknal_ (14) sangrenzenden hn? Durchflssensorciement (13), nd einer a dem Grundkirper (1') angeordneten, den Durchfluskanal (14) abdeckenden Deckplate (12, ist der Durchllusskanal (14) durch eine lastische Dichtungsippe gebildet, welche den Durehflusskanal Wo 2009/024589 A1 IIIIIIIi [Forseteung auf der nitchsten Seite)WO 2009/024589 AX AIIM IINNE INL NN 40 A A A ZM, ZW), eurasisches (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU 1, TM), curoptisches (AT, BE, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, ST, SV. SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, MC, MT,NL, NO, PL, PT, RO, SI VC, VN, ZA, 2M, ZW, BI,CE.CG,C1LCM,GA,GN, TD, T6). SN GW, ML, MR, (84) Bestimmungsstaaten (soweit nicht anders angegeben, fir ARIPO (BW, Verdfentlicht: UG, — mitinternationatem Recherchenbericht ede verfighare regionale Schutzrechtsar (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SL (14) auf ciner der Deckplate (12) gegenieriogenden Ohersite des Grandhsipers (1) umlaufend begrenz und dichtend an die Deck- Platte (12) angepress it. Durch die Ausbildung des DurehtTusskanals (14) mitels dr Dichtungslippe (5) wird der DurehtTusskanal (14) von maglichon Spalten zwischen dem Granekmpor 1") und dor Deckplatte (12) und gogenther der Deckplatte (12) abgedichtet, so dass durch die Dichtungslippe (15) und die Deekplatte (12) ein DurehfTusskanal (4) mit einem ebenen Kanalbet (141) gebildet wird, der glatte Begrenzungsflichen und einen konstanten Querschnittaufweist, und der eine Ablagerung und Ansammlung von Schmutzparikela moglichst vermeide und somit unerwiinsehte Turbulenzen im Durehflusskanal (14) verndert und eine laminare ‘SeSmung durch den Durchflusskanal (14) gewahelestt.10 20 28 WO 20097024589 PCT/EP2008,/060903 DURCHFLUSSSENSOR UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFUR Technisches Gebiet Die vorliegende Erfindung betrifft einen Durchflusssensor und ein Verfahren zur Herstellung des Durchflusssensors, insbesondere ein Durchflusssensor zur Messung des Flusses von Fluiden, insbesondere zur Messung des Flusses von Luft und anderen Gasen. Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere einen Durchflusssensor und ein Verfahren zur Herstellung des Durchflusssensors, der einen Grundkérper mit einem Durchflusskanal, ein an den Durchflusskanal angrenzendes Durchflusssensorelement, und eine auf dem Grundkérper angeordnete, den Durchflusskanal abdeckende Deckplatte umfasst, Stand der Technik In EP 1 182 432 wird ein aus zwei Gehdusetellen bestehender Flusssensor fur die Flussmessung von Fluiden beschrieben, welcher einen zwischen den Gehduseteilen angeordneten —-Halbleiterchip.— mit ‘Sensoranordnung umfasst. Der Halbleiterchip liegt an einem als Nut in einem der Gehauseteile ausgebildeten Messkanal. Zwischen den Gehauseteilen ist zudem ein Dichtungsring angeordnet. Eine Leiterbahnfolie wird vom Halbleiterchip zwischen dem Dichtungsring und dem anderen der Gehduseteile Nach aussen gefiihrt. Durch den Dichtungsring wird zwar der Messkanal im Bereich des Spalts zwischen den Gehduseteilen nach aussen abgedichtet, es erfolgt jedoch keine Abdichtung des Messkanals gegeniiber dem Spalt zwischen den Gehauseteilen. Von der Firma Gruner AG, Biirglestrasse 15-17, in 78564 Wehingen, Deutschland wird ein weiterer Flusssensor beschrieben, der aus zwei Teilen und einem Halbleiter-Sensorelement besteht. Zwischen den beiden Teilen wird10 1s 25 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 ebenfalls ein Messkanal gebildet, in den das Sensorelement eingefiigt ist. Die beiden Teile werden direkt miteinander verklebt, so dass der Messkanal grésstenteils vom Spalt zwischen den beiden Teilen abgedichtet ist. Es ist jedoch kaum mdglich eine perfekte Abdichtung des Messkanals vom Spalt zwischen den Teilen zu erreichen und gleichzeitig ein Eindringen von Klebstoff in den Messkanal villig zu verhindern. Durch Verbindungen vom Messkanal zum Spalt zwischen den Gehauseteilen und durch Leimablagerungen im Messkanal kénnen Ansammlungen von Verschmutzungen entstehen, die eine turbulente Durchstrémung des Messkanals verursachen und damit die Qualitat der Flussmessung beeintréichtigen kénnen. Aus der US 2006/210445 A1 ist ein Mikrofluidkanale aufweisender Sensor bekamnt, bei dem seitliche Dichtungslippen aus elastischem Material hergestellt sind. Durch Anordnen verschiedener Mikrofluidkandile nebeneinander lasst sich ein hohes Aspektverhaitnis erreichen. Darstellung der Erfindung Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung einen Durchflusssensor und ein Verfahren zur Herstellung des Durchflusssensors vorzuschlagen, welche mindestens nicht gewisse Nachteile des Stands der Technik aufweisen. Es ist insbesondere eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung einen Durchflusssensor und ein Verfahren zur Herstellung des Durchflusssensors vorzuschlagen, welche erméglichen, den Durchfluss mittels eines Durchflusssensorelements in einem Durchflusskanal zu messen, der eine geringere Anfalligkeit fiir die Ablagerung von Schmutzpartikeln im Durchflusskanal aufweist. Gemass der vorliegenden Erfindung werden diese Ziele insbesondere durch die Elemente der unabhangigen Anspriiche erreicht. Weitere vorteilhafte10 Is 20 25 WO 20097024589 PCT/EP2008,/060903 Ausfihrungsformen gehen ausserdem aus den abhngigen Anspriichen und der Beschreibung hervor. Der Durchflusssensor umfasst einen Grundkérper mit einem Durchflusskanal, ein an den_—Durchflusskanal_—_angrenzendes Durchflusssensorelement und eine auf dem Grundkérper angeordnete, den Durchflusskanal abdeckende Deckplatte. Die oben genannten Ziele werden durch die vorliegende Erfindung insbesondere dadurch erreicht, dass der Durchflusskanal durch eine Dichtungslippe gebildet wird, welche den Durchflusskanal auf einer der Deckplatte gegeniiberliegenden Oberseite des Grundkérpers umlaufend begrenzt und dichtend an die Deckplatte angepresst ist. Im Unterschied zum Stand der Technik wird somit nicht ein Spalt zwischen dem Grundképer und der Deckplatte von der Aussenwelt abgedichtet, sondern durch die Ausbildung des Durchflusskanals mittels der Dichtungslippe wird der Durchflusskanal selber von méglichen Spalten zwischen dem Grundképer und der Deckplatte und damit auch von der Aussenwelt abgedichtet. Die Dichtungslippe bildet vorzugsweise auf der Oberseite des Grundkérpers einen Durchflusskanal mit mehrfach maandrierendem Verlauf, wodurch auf kleiner Flache eine gréssere Lange des Durchflusskanals erreicht werden kann, was fir eine laminare Strémung férderlich ist. Die Dichtungslippe dichtet den Durchflusskanal zudem gegenilber der Deckplatte ab, so dass durch die Dichtungslippe und die Deckplatte ein Durchflusskanal mit einem ebenen Kanalbett auf der Oberseite des Grundkérpers gebildet wird, der glatte Begrenzungsfidchen und einen konstanten Querschnitt aufweist, und der eine Ablagerung und Ansammlung von Schmutzpartikein méglichst vermeidet und gegebenenfalls ein Eindringen von Klebstoffen beim Befestigen der Deckplatte auf dem Grundkérper in den Durchflusskanal verhindert. Dadurch kénnen unenwinschte Turbulenzen im Durchflusskanal verhindert und eine laminare Strémung durch den Durchflusskanal bewirkt werden.10 20 25 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 Dabei ist der Grundkérper aus einem ersten und einem zweiten Bereich gebildet, die jeweils aus einem unterschiedlichen Material bestehen und miteinander verbunden sind, wobei der Durchflusskanal im ersten Bereich ausgebildet ist, der im Vergleich zum zweiten Bereich aus einem wesentlich elastischeren Material besteht. Die beiden Bereiche werden vorzugsweise im Zweikomponenten-Spritzgussverfahren hergestellt und stehen vorzugsweise im Materialverbund. Durch die Ausbildung des Durchflusskanals im elastischen Materialbereich, wird die Dichtungslippe elastisch und einstiickig mit dem Kanalbett gebildet. Der zweite Bereich ist dabei so ausgestaltet, dass cine gegeniiber einem Kanalbett des Durchflusskanals definierte Oberfléchenebene besteht, die zwischen der Ebene des Kanalbetts und den iiber sie hinaus ragenden Dichtungslippen liegt, so dass an allen Stellen der Dichtflache Deckplatte®Dichtungslippe eine vorbestimmte Dichtkraft besteht, die in einfacher wohidefinierter Weise erreichbar ist. In einer Ausfihrungsvariante umfasst der Grundkérper im zweiten, nicht- elastischen Bereich gebildete Anschilisse fiir ein Durchflussmedium, vorzugsweise Luft oder andere Gase. Die Anschllisse sind jeweils Uber eine Bohrung mit einem der Enden des Durchflusskanals verbunden. In einer weiteren bevorzugten Ausfiihrungsvariante ist das Durchflusssensorelement uber dem Durchflusskanal in die Deckplatte eingelassen und bildet mit der Deckplatte eine im Wesentlichen plane Decke des Durchflusskanals. Dadurch, dass das Durchflusssensorelement biindig in die Deckplatte eingelassen ist und mit der Deckplatte eine plane Decke des Durchflusskanals bildet, werden wiederum Turbulenzen und damit die Ablagerung und Ansammiung von Schmutzpartikein am Ubergang zwischen Deckplatte und Durchflusssensorelement vermieden, In einer weiteren Ausftihrungsvariante ist die Dichtungslippe bei entfernter Deckplatte am von der Oberseite des Grundkérpers abgewandten Ende10 1s 28 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 verjiingt. Das heisst die Dichtungslippe ist an dem Ende verjiingt, das beim Befestigen der Deckplatte am Grundkérper elastisch an die Deckplatte angepresst wird. Durch die Verjingung der Dichtungslippe kann die durch das Anpressen der Deckplatte bewirkte elastische Verformung der Dichtungslippe so kompensiert werden, dass bei befestigter Deckplatte ein im Wesentlichen rechteckiger Querschnitt des Durchflusskanals gebildet wird, der keine signifikante Verformung an den durch die Dichtungslippe gebildeten Seitenwanden des Durchflusskanals aufweist. In einer weiteren Ausfiihrungsvariante ist der Durchflusskanal auf einem Kanalbett auf der Oberseite des Grundkérpers so ausgebildet ist, dass der Durchflusskanal im Querschnitt jeweils seitlich durch die vom Kanalbett hoch stehenden Dichtungslippen von einem den Durchflusskanal_umlaufenden Aussenkanal abgegrenzt wird. Mit anderen Worten die Dichtungslippe ist so auf einem Kanalbett angeordnet, dass das Kanalbett im Querschnitt betrachtet durch die Dichtungslippe in drei Bereiche abgegrenzt wird: den mittig auf dem Kanalbett angeordneten Durchflusskanal und zwei Aussenkandile, die jeweils durch die Dichtungslippe vom Durchflusskanal abgegrenzt werden. Die Aussenkanale erméglichen beispielsweise die Aufnahme von gegebenenfalls far die Befestigung der Deckplatte auf dem Grundkérper verwendeten Uberschiissigen Klebstoffen ohne Beeintrachtigung des Durchflusskanals oder von ibberschiissigem Dichtungslippenmaterial. Es sei angemerkt, dass sich Elastomere im Volumen nicht verkleinern lassen, sondern nur an einen anderen Ort verschoben werden kénnen, Die vorliegende Erfindung bezieht sich zudem auf ein Verfahren zur Herstellung des Durchflusssensors, in welchem Verfahren ein Grundkérper mit einem Durchflusskanal bereitgestelit wird, ein Durchflusssensorelement angrenzend an den Durchflusskanal angeordnet wird, der Durchflusskanal durch Befestigen einer Deckplatte auf dem Grundkérper abgedeckt wird, und der Grundkérper mittels Spritzguss so hergestellt wird, dass auf einer derWO 20097024589 PCT/EP2008/060903 Deckplatte gegeniiberliegenden Oberseite des Grundkérpers eine Dichtungslippe gebildet wird, welche den Durchflusskanal auf der Oberseite des Grundkérpers umlaufend begrenzt und beim Befestigen der Deckplatte auf dem Grundkérper dichtend an die Deckplatte anpresst. Der Durchflusssensor 5 mit den oben angefiihrten Vorteilen der geringen Verschmutzungsanfélligkeit und der laminaren Strémung durch den Durchflusskanal kann somit effizient und kostengiinstig hergestellt werden, durch einfache Befestigung der Deckplatte mit biindig eingelassenem —_Durchflusssensorelement am spritzgusstechnisch hergestellten Grundkérper. Der Grundkérper wird dabei 10 vorzugsweise im Zweikomponenten-Spritzgussverfahren mit einem ersten und einem zweiten Bereich gebildet, die jeweils aus einem unterschiedlichen Material bestehen und miteinander verbunden sind, wobei der Durchflusskanal im ersten Bereich ausgebildet wird, der im Vergleich zum zweiten Bereich aus einem wesentlich elastischeren Material besteht, 15 Kurze Beschreibung der Zeichnungen Nachfolgend wird eine Ausfiihrung der vorliegenden Erfindung anhand eines Beispieles beschrieben. Das Beispiel der Ausfiihrung wird durch die folgenden beigelegten Figuren illustriert: Figur 1 zeigt ein Querschnittdiagramm, welches schematisch einen 20 Querschnitt durch einen Durchflusssensor darstellt, welcher einen Grundkérper mit Anschitissen und Durchflusskanal sowie eine Deckplatte mit Durchflusssensorelement umfasst. Figur 2 zeigt ein Aufsichtsdiagramm, das schematisch eine Aufsicht des Grundkérpers ohne befestigte Deckplatte darstellt, welcher Anschliisse und einen damit verbundenen, durch Dichtungslippen gebildeten Durchflusskanal umfasst.10 2s WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 Figur 3a, 3b, 3c und 3d zeigen verschiedene Ausfihrungsvarianten des Durchflusssensors mit unterschiedlich angeordneten Anschliissen. Figur 4a zeigt ein Querschnittdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt. durch einen Bereich des Durchflusskanals quer zur Durchflussrichtung darstellt, wenn die Deckplatte noch nicht auf dem Grundkérper befestigt ist. Figur 4b zeigt ein Querschnittdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt durch den Bereich des Durchflusskanals quer zur Durchflussrichtung darstellt, wenn die Deckplatte auf dem Grundkérper angebracht ist, Figur 4c zeigt ein Querschnittdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt durch einen Bereich des Durchflusskanals gemass einer weiteren Ausfihrungsvariante quer zur Durchflussrichtung darstellt, wenn die Deckplatte noch nicht auf dem Grundkérper befestigt ist. Figur 4d zeigt ein Querschnittdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt durch den Bereich des Durchflusskanals gemass der weiteren Ausfiihrungsvariante quer zur Durchflussrichtung darstellt, wenn die Deckplatte auf dem Grundkérper angebracht ist. Figur 5 zeigt ein Aufsichtsdiagramm, das schematisch eine weitere Aufsicht des Grundkérpers ohne befestigte Deckplatte darstelit, welcher Anschliisse und einen damit verbundenen, durch Dichtungslippen gebildeten Durchflusskanal umfasst. Figur 6 zeigt ein Querschnittdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt. durch einen Bereich des Durchflusskanals entlang der Durchflussrichtung darstellt, in welchem Bereich das Durchfiusssensorelement angeordnet ist.WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 Figur 7a zeigt ein Querschnittdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt durch einen Bereich des Durchflusskanals gems einer weiteren Ausfiihrungsvariante quer zur Durchflussrichtung darstellt, wenn die Deckplatte noch nicht auf dem Grundkérper befestigt ist. Figur 7b zeigt ein Querschnittdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt durch den Bereich des Durchflusskanals geméss einer weiteren Ausfiihrungsvariante quer zur Durchflussrichtung darstellt, wenn die Deckplatte auf dem Grundkérper angebracht ist. Figur 8 zeigt ein Querschnittdiagramm, welches schematisch einen 10 Querschnitt durch den Bereich einer Deckplatte mit eingelassenem Durchflusssensorelement mit die‘ Deckplatte —_durchstossender Signalherausfiihrung zeigt. Figur 9 zeigt eine Unteransicht, welche schematisch eine Deckplatte von unten im Bereich eines Durchflusskanals mit im Querschnitt dargestellten 15 Dichtippen und mit eingelassenem Durchflusssensorelement mit seitlich zu einem weiteren Bereich der Deckplatte fuhrenden Signalherausfihrungen zeigt Figur 10 zeigt eine Unteransicht, welche schematisch eine Deckplatte von unten im Bereich eines Durchflusskanals mit im Querschnitt dargestellten Dichtippen und mit eingelassenem Durchfiusssensorelement mit aktiver 20 Sensorflache und mit seitlich zu einem weiteren Bereich der Deckplatte fahrenden Signalherausfiihrungen zeigt. Figur 11 zeigt ein Querschnittdiagramm, welches schematisch einen Querschnitt durch den Bereich der Deckplatte mit eingelassenem Durchflusssensorelement mit die Deckplatte—_durchstossender 25. Signalherausfiihrung nach Figur 10 zeigt.10 1s 25 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 Wege zur Ausfiihrung der Erfindung In den Figuren 1, 3a, 3b, 3c und 3d bezeichnet das Bezugszeichen 1 einen Durchflusssensor zum Messen des Flusses von Fluiden, vorzugsweise von Luft oder anderen Gasen. Wie in der Figur 1 schematisch dargestellt ist, umfasst der Durchflusssensor 1 eine Deckplatte 12 und einen Grundkérper 1’, der in verschiedenen Ausfihrungsvarianten auch in den Figuren 2, 5, 7a und 7b dargestellt ist. Die Deckplatte 12 ist auf dem Grundkérper 1’ angebracht und mit dem Grundkérper 1° befestigt, beispielsweise mittels Nieten 103, Schrauben, Klebstoff oder durch Verschweissen. Die Deckplatte 12 ist beispielsweise eine plan ausgefiihrte elektronische Leiterplatte (Elektronik- Printplatte) aus Epoxid. Der Grundkérper 1’ umfasst einen nicht-elastischen Bereich 10 und einen damit verbundenen elastischen Bereich 11. Der elastische Bereich 11 ist auf dem nicht-elastischen Bereich 10 liegend angeordnet. Der nicht-elastische, oder zumindest im Vergleich zum elastischen Bereich 11 wesentlich weniger elastische und hartere Bereich 10 besteht beispielsweise aus einem Kunststoff wie Nylonpolyamid. Der elastische (weichere) Bereich 11 besteht beispielsweise aus einem thermoplastischen Material, 2.B. ein Material auf der Basis von Polyéithylen. Der Grundkérper 1’ wird vorzugsweise im Zweikomponenten-Spritzgussverfahren hergestellt. Im Zweikomponenten- Spritzgussverfahren werden die elastischen und nicht-elastischen Bereiche 10, 11 beispielsweise iiber eine Materialverbindung oder zumindest formschltissig miteinander verbunden. In einer weniger bevorzugten Ausfiihrungsvariante werden der elastische Bereich 11 und der nicht-elastische Bereich 10 als separate Teile hergestelt, z.B. als Grundplatte und Kanalplatte, die miteinander verbunden werden, beispielsweise durch Kleben. Wie in den Figuren 1, 2 und 5 dargestellt ist, umfasst der nicht-elastische Bereich 10 (die Grundplatte) zwei Anschitisse 100 fiir das Zuftihren und10 25 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 10 Wegfiihren des Durchflussmediums. Die Anschliisse 100 sind vorzugsweise fiir das Anbringen von Schlauchen ausgefihrt, welche beispielsweise einen Innendurchmesser von 6mm aufweisen. Die Anschliisse 100 sind konisch ausgestaltet und beispielsweise mit radialen Rippen versehen. Die Anschliisse 100 weisen eine Innenbohrung 102 mit einem Durchmesser von ca. 0.5mm auf. In den Figuren 3a, 3b, 3c und 3d sind Beispiele mit verschiedenen Anordnungen der Anschitisse 100 dargestellt. In der bevorzugten Ausfiihrung gemass Figur 3a ist der Durchflusssensor 1 quaderférmig ausgestaltet und die Anschliisse 100 sind auf einer gemeinsamen Seite (z.B. Stimseite) des Quaders nebeneinander angeordnet. In der Ausfihrung geméss Figur 3b ist der Durchflusssensor 1 quaderférmig ausgestaltet und die Anschitisse 100 sind auf verschiedenen Seiten des Quaders angeordnet, beispielsweise auf gegenilberliegenden Seiten entlang einer gemeinsamen Achse. In der Ausfiihrung gemass Figur 3c ist der Durchflusssensor 1 zylinderférmig ausgestaltet und die Anschliisse 100 sind gegeniiberliegend entlang einer gemeinsamen Achse angeordnet. In der Ausfihrung gemass Figur 3d ist der Durchflusssensor 1 U-férmig ausgestaltet und die Anschliisse 100 sind jeweils an einem der beiden Enden der U-Form (Hufeisen) angeordnet. Wie in den Figuren 1, 2, 5, 7a und 7b dargestellt ist, umfasst der elastische Bereich 11 (die Kanalplatte) einen Durchflusskanal 14. Der Durchflusskanal 14 weist ein eben verlaufendes Kanalbett 141 mit glatter Oberfliche auf und wird durch die parallel zum Kanalbett 141 angeordnete Deckplatte 12 abgedeckt. Wie in den Figuren 2 und 5 ersichtlich ist, weist der Durchflusskanal 14 einen zwischen seinen beiden Enden mehrfach maandrierenden Verlauf auf. An seinen beiden Enden ist der Durchflusskanal jeweils durch eine Bohrung 101 mit der Innenbohrung 102 eines der Anschliisse 100 verbunden. Die Bohrungen 101 verlaufen vom Kanalbett 141 durch den elastischen Bereich 11 und den nicht-elastischen Bereich 10 zu den10 15 20 28 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 " Innenbohrungen 102 der Anschliisse 100 und sind beispielsweise senkrecht zum Kanalbett 141 und zu den Innenbohrungen 102 angeordnet. Wie in den Figuren 2, 4a, 4b, 4c, 4d, 5, 7a und 7b dargestellt ist, umfasst der elastische Bereich 11 eine Dichtungslippe 15, welche auf dem Kanalbett 141 stehend angeordnet ist und sich vom Kanalbett 141 zur Deckplatte 12 erstreckt. Der Durchflusskanal 14 wird durch die Dichtungslippe 15 gebildet, welche das Kanalbett 141 des Durchflusskanals 14 umlduft und den Durchflusskanal 14 auf dem Kanalbett 141 entlang der Durchflussrichtung seitlich begrenzt. Wie in den Figuren 4a und 4c im Querschnitt quer zur Durchflussrichtung des Durchflusskanals 14 dargestellt ist, weist die Dichtungslippe 15 am vom Kanalbett 141 abgewandten Ende eine Verjiingung auf, wenn die Deckplatte 12 noch nicht auf dem Grundkérper 1” angebracht ist. Wenn die Deckplatte 12 aut dem Grundkérper 1’ angebracht ist, wird die Dichtungslippe 15 zusammengepresst, wie in den Figuren 4b, 4d schematisch illustriert wird, und die Dichtungstippe 15 dichtet den Durchflusskanal 14 gegen die Deckplatte 12 ab. Die Deckplatte 12, das Kanalbett 141 und die Dichtungslippe 15 weisen jeweils glatt Oberfléchen auf und bilden Grenzfldichen, welche den Durchflusskanal 14 bilden und einen konstanten, vorzugsweise rechteckigen Querschnitt definieren. Der Querschnitt des Durchflusskanals 14 weist beispielsweise eine Tiefe von 0.3mm und eine Breite von 0.8mm auf. Die Lange des Durchflusskanals 14 betragt beispielsweise 100mm. Somit weist der Durchflusskanal 14 eine im Verhdittnis zu seinem Querschnitt grosse Lange auf, beispielsweise bewegt sich das Verhaltnis von Lange zu Breite respektive Lange zu Tiefe des Durchflusskanals 14 im Bereich von ca, 100:1 bis 400:1. Die Reynolds-Zah! des Durchflusskanals 14 betragt ca. 50, was eine turbulenz- und wirbelfreie laminare Strémung bewirkt. In den Ausfiihrungsvarianten gemass Figuren 4a, 4b, 4c, 4d und 5 wird der durch die Dichtungslippe 15 gebildete Durchflusskanal 14 von einem10 15 20 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 2 12 Aussenkanal 18 umlaufen, der durch die Rander 17 des elastischen Bereichs 14 und durch die Dichtungslippen 15 begrenzt wird. In den Ausfiihrungsvarianten gemass Figuren 1, 5, 7a und 7b wird der durch die Dichtungslippe 15 gebildete Durchflusskanal 14 von einem Aussenkanal 18 umlaufen, iiber den gesamten Sensorgrundkrper 1' gesehen durch die Rander 117 des nicht-elastischen Bereichs 10 und durch die Dichtungslippen 15 begrenzt wird. Diese Rander 117 des nicht-elastischen Bereichs 10 kénnen auch Abstandshalter 117 oder Referenzebenenstege 117 genannt werden. In der Figur 1 sind diese Abstandshalter 117 die hier an zwei gegeniiberliegenden Enden des nicht-elastischen Kérpers 10 in den Bereich des elastischen Bereichs 11 also des Grundkérpers 1’ ragenden Stege. Sie bilden die mit ihrer umlaufenden Gehauseoberfldche eine Referenzebene 217. In der Figur 2 sind diese Abstandshalter als umlaufenden Gehauserandstege 117 eingezeichnet. Die Abstandshalter 117 miissen nicht umlaufend angeordnet sein. Es ist ausreichend, wenn diese so ausgestaltet sind, dass eine gegeniiber dem Kanalbett 141 definierte Oberflachenebene 217 erzeugt wird, die tiefer als die iber sie hinaus ragenden Dichtungslippen 15 liegen. In der Figur 5 ist beispielhaft in der Nahe eines Anschlusses 101 an zwei gegeniiberliegenden Stellen der in den anderen Figuren mit dem Bezugszeichen 17 versehene elastische Steg des elastischen Bereichs 11 und der in den anderen Figuren mit dem Bezugszeichen 117 versehene nicht- elastische Steg des nicht elastischen Gehduseteils 10 eingezeichnet. Insbesondere in den Figuren 7a und 7b ist erkennbar, dass mit den nicht-elastischen Abstandshaltem 117 eine Referenzebene 217 definiert wird, die — gegeniiber dem Kanalbett 141 - tiefer als die Uber sie hinaus ragenden Dichtungslippen 15 liegen. Somit ist klar ersichtlich, dass bei einem Herabsenken der Deckplatte 12, sehr einfach in definierter Weise die Dichtungslippen 15 komprimiert werden, so dass eine definiert Dichtoberflache10 Is 28 30 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 13, geschaffen wird, die den Kanal 14 umseitig begrenzt. Hierfiir ist es Dichtungslippen 15 vorteilhaft, dass die Hohiréume 18 verbleiben, damit die Dichtungslippen 15 den notwendigen Platz fur das Einnehmen ihrer Endlage haben. Durch die Verwendung von zwei nicht-elastischen Plattenmaterialien 10 und 12, die sich in dem Bereich der Oberfiiche 217 definiert treffen, kann in einfacher Weise ein sehr langer Kanalweg 14, also ein hohes Aspektverhaitnis, durch eine maandrierende Form erreicht werden. Die in dem Wort Maander zum Ausdruck kommende Kurvenform des Kanals verbessert den laminaren Fluss. Es ware aber auch méglich mehrere Kandile 14 direkt nebeneinander anzuordnen und die Umlenkung an einer Seite jeweils aber eine mehr oder weniger U-férmige 180° Umlenkung auszugestalten. Wie in den Figuren 1 und 6 schematisch illustriert ist, umfasst der Durchflusssensor 1 ein Durchflusssensorelement 13, das in die Deckplatte 12 eingelassen ist und an den Durchflusskanal 14 angrenzt. Das Durchflusssensorelement 13 ist biindig in die Deckplatte 12 eingelassen, so dass die Deckplatte 12 und das Durchflusssensorelement 13 eine im Wesentlichen plane Oberflache zur Abdeckung des Durchflusskanals 14 bilden, um die Bildung von Wirbeln und Turbulenzen zu vermeiden. Vorzugsweise ist das Durchflusssensorelement 13 mit der Deckplatte 12 verklebt, es sind jedoch auch andere Befestigungsmittel_méglich, beispielsweise Schrauben oder Schnappverschllisse. Die Figur 6 zeigt einen Querschnitt durch ein Teilstiick des Durchflusskanals 14 entlang der Durchflussrichtung, welcher ein Beispiel einer biindigen Anordnung des Durchflusssensorelements 13 in der Deckplatte 12 illustriert. Das Durchflusssensorelement 13 weist einen ausgediinnten Bereich auf, welcher einen Hohlraum 16 zwischen dem Durchflusssensorelement 13 und der Deckplatte 12 bildet. Das Durchflusssensorelement 13 ist ein in Diinn- oder Dickschichttechnik hergestelltes Element, das mehrere Sensorelemente aufweist, beispielsweise mindestens ein oder zwei Temperatursensoren 131, 133, oder ein Differenztemperatursensor und ein Heizelement 133. Es ist auch Sglich einen5 10 20 25 30 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 14 der Temperatursensoren 131, 133 als Heizelement zu verwenden. An dieser Stelle soll angefiigt_ werden, dass die Mediumstemperatur sowoh! im Durchflusskanal 14 als auch auf der elektronischen Leiterplatte der Deckplatte 12 erfasst werden kann, da durch den sehr geringen Durchfluss im Durchflusskanal 14 das Medium die Gehausetemperatur des Durchfiusssensors 1 annimmt, das heisst in einer Ausfihrungsvariante ist der ‘Temperatursensor zur Bestimmung der Mediumtemperatur ausserhalb des Durchflusskanals 14 auf der Deckplatte 12 angeordnet. Die Sensorelemente 131, 132, 133 des Durchflusssensorelements 13 sind ber Leiterbahnen mit einer auf der Deckplatte 12 angebrachten elektronischen Schaltung verbunden Zur Auswertung der von den Sensorelementen 131, 132, 133 gelieferten Sensorsignalen umfasst die elektronische Schaltung vorzugsweise einen programmierbaren Prozessor, insbesondere einen PSoC (Programmable System on Chip) mit integriertem programmierbarem Analogteil (Verstarker, A/D-Wandler, etc). Gemessen wird entweder der Warmeibertrag vom Heizelement 132 zu einem der Temperatursensoren 133 oder die Abkiihlung des Heizelements 132 durch das vorbeistrémende Medium, um darauf basierend die Strémungsgeschwindigkeit und dadurch den Fluss im Durchflusskanal 14 zu bestimmen. Die Signalherausfiihrung kann beispielsweise in der in der Figur 8 dargestellten Art und Weise realisiert werden. Die Deckplatte 12 verfigt Uber einen Hohlraum 130, in dem das Durchflusssensorelement 13 mit einem oder mehreren Sensoren wie zu Figur 6 erlautert eingelassen ist. Es ist eine die Deckplatte 12 durchstossende Signalherausfiihrung 132 in einem entsprechenden Kanal 131 dargestellt. Da vorzugsweise das. Durchfiusssensorelement 13 in dem Hohlraum 130 mit Hilfe von dichtendem Verfuillmaterial eingeschlossen ist, ist der Durchflusskanal 14, der schematisch angedeutet seitlich durch die Dichtungslippen 15 und (nicht dargestellt) durch das Kanalbett 141 begrenzt ist, sehr gut abgedichtet, um auch beispielsweise kleine Druckunterschiede gut messen zu kénnen.10 1s 25 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 15 Die Figur 9 zeigt eine Unteransicht einer anderen Realisierung der Signalherausfihrung, welches insbesondere bei einer einseitigen Printplatte 12 vorteilhaft ist. In einem Hohlraum in dem Print 12 ist das Durchflusssensorelement 13 eingelassen. In der Printplatte sind mindestens einer, vorteilhafterweise aber zwei getrennte Signalherausfiihrungsnuten 231 vorgesehen, in denen Signalleiter als Kabel oder als Folie in einen Bereich 230 der Printplatte 12 zur weiteren Verarbeitung in dort vorgesehenen elektronischen Bauteilen gefiihrt werden. Dabei sind die Hohiréume 130 und 231 mit einem Dichtungsmaterial gefilllt, so dass die Herausfihrung unterhalb der Dichtungslippe 15 die Funktion der Sensoren nicht beeintrachtigen Es ist damit klar, dass mit einem nicht-elastischen Grundkorper 10 mit Abstandshaltem 117 und eingesetzleom oder eingespritztem elastischem Bereich 11 eine Vielzahl von Fluidkanalen 14 fir einen Durchflusssensor geschaffen werden kann, da diese Fluidkanale jeweils von drei Seiten (Bezugszeichen 15, 141 und 15) begrenzt sind und die Dichtung in sehr einfacher Weise durch eine aufzusetzende nicht-elastische Deckplatte 12 gewahrleistet_ werden kann. Besonders vorteilhaft ist der Einsatz einer Printplatte als Deckplatte 12, da diese die nicht-elastische Eigenschaft hat und zudem direkt mit elektronischen Bausteinen zur Auswertung versehen werden kann, so dass sich ein sehr Kompaktes Bauteil ergibt. Die Verwendung einer glatten Printplatte 12 gestattet als Gegenstiick zu den elastischen Dichtlippen 15 eine beliebig definierte kurvende und als Maander ausgelegte Form des Fluidkanals, so dass ein hohes Aspektverhdittnis auf Kleinstem Raum geschaffen werden kann, ohne einen laminaren Fluss zu gefahrden. Prinzipiell ist es auch —_méglich, durch _—_entsprechende Oberflachengestaltung von Deckplatte 12 und Stegen 117 sicherzustellen, dass eine definierte réumliche Lage von Deckplatte 12 und Grundkérper 1/1" erreicht wird, so dass das Sensorelement 13 und elektrische Anschliisse an vorbestimmten Orten zu liegen kommen.15 20 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 16 Obwohl in den Figuren 7a und 7b jeweils zwei Dichtungslippen 15 dargestellt sind, so zeigt die Figur 6, dass bei der entsprechenden Auslegung des elastischen Bereichs 11 mit Fluidanschitissen durch den Boden hindurch eigentlich nur eine einzige torusférmige Dichtungslippe 15 vorliegt, die die vollstandige seitliche Begrenzung des Fluidkanals 14 bildet. Die Figur 10 zeigt ein weiteres Ausfiihrungsbeispiel_ der Signalherausfiihrung. Unteransicht einer anderen Realisierung der Signalherausfihrung, welches insbesondere bai einer einseitigen Printplatte 12 vorteilhaft. ist. In einem Hohlraum in dem Print 12 ist das Durchflusssensorelement 13 eingelassen. Die aktive Sensorfléche hat das Bezugszeichen 134 erhalten, um Ahnlich wie bei den der Figur 6 auf einzelne Sensoren hinzuweisen. Das Durchflusssensorelement 13 weist also seine eigene Printplatte auf, auf der mindestens zwei, hier vier getrennte Signalleitungen 331 vorgesehen sind, die in Kontaktflichen 332 des Sensorelementes 13 enden. Diese Kontaktflachen 332 des Sensorelementes 18 liegen Kontaktflachen 333 der Deckelplatte 12 gegeniiber, von der dann nicht dargestellte Signalleitungen in konventioneller Weise fortgefiihrt werden Die Verbindungen zwischen den Kontaktflachen 332 und 333 werden durch Bonddrahte 334 geschaffen, die in der Seitenansicht der Figur 11 mit einer Vergussmasse 335 geschiitzt sind. Bei dem Ausfiihrungsbeispiel der Figuren 10 und 11 ist das Sensorelement 13 also grésser als die Kanalbreite des Kanals 14, jedoch ist die sensorisch aktive Flache 134 nur ein Teil davon. In einem weiteren Teil des Sensorelements 13 werden die Signalleitungen unter einer der Dichtlippen 15 hindurchgefiihrt. Es ware auch méglich, die altive Flache 134 mittiger anzuornden und einen weiteren, schaltungstechnisch inaktiven Teil des Sensorelements 13 unter der anderen Dichtlippe hindurchzufiihren. Der grésseren Symmetric stehen die zusdtzlichen Dichtkandle der Fillmasse 130 gegeniiber.WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 "7 7 Der Ubergang zur Deckelplatte oder Leiterplatte 12 geschieht hier mittels Bondtechnik. Die Bonddrahte 334 werden abschliessend noch durch eine Vergussmasse 335 geschiitzt.10 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 18 Patentanspriiche Durchflusssensor (1), umfassend: einen Grundkérper (1’) mit einem Durchflusskanal (14), ein an den Durchflusskanal (14) angrenzendes Durchflusssensorelement (13, 134), und eine auf dem Grundkérper (1") angeordnete, den Durchflusskanal (14) abdeckende Deckplatte (12), wobei der Durchflusskanal (14) durch eine Dichtungslippe (15) gebildet wird, welche den Durchflusskanal (14) auf einer der Deckplatte (12) gegeniiberliegenden Oberseite des Grundkérpers (1') umlaufend begrenzt und dichtend an die Deckplatte (12) angepresst ist. dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkérper (1') aus einem ersten und einem zweiten Bereich (10, 11) gebildet ist, die jeweils aus einem unterschiedlichen Material bestehen und miteinander verbunden sind, wobei der Durchflusskanal (14) im ersten Bereich (11) ausgebildet ist, der im Vergleich zum zweiten Bereich (10) aus einem wesentlich elastischeren Material besteht, und dass der zweite Bereich (10) so ausgestaltet ist, dass eine gegeniiber einem Kanalbett (141) des Durchflusskanals (14) _definierte Oberfiichenebene (217) besteht, die zwischen der Ebene des Kanalbetts (141) und den Uber sie hinaus ragenden Dichtungslippen (15) liegt10 1s 25 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 19 Durchflusssensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkérper (1) im zweiten Bereich (10) gebildete Anschltisse (100) fiir ein Durchflussmedium umfasst, welche Anschliisse (100) jeweils dber eine Bohrung (101, 102) mit einem der Enden des Durchflusskanals (14) verbunden sind Durchflusssensor (1) nach einem der Anspriiche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Durchflusssensorelement (13) dber dem Durchflusskanal (14) in eine Ausnehmung (130) in der Deckplatte (12) eingelassen ist und mit der Deckplatte (12) eine im Wesentlichen plane Decke des Durchflusskanals (14) bildet, wobei ein isolierendes Verfillmaterial die verbleibende Ausnehmung (130) mit der Deckplatte plan ausfillt Durchflusssensor (1) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass in der Deckplatte (12) mindestens eine im wesentlichen quer zur Fluidkanalrichtung Nut (231) vorgesehen ist, die bei geschlossenem Durchflusssensor (1) unter der Dichtippe (15) hindurch aus dem Durchflusskanal hinausfiihrt, insbesondere zur Aufnahme eines Signalleiters, Durchflusssensor (1) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die ‘Ausnehmung (130) in der Deckplatte (12) ausgestaltet ist, so dass sie bei geschlossenem Durchflusssensor (1) unter mindestens einer der Dichtlippen (15) hindurch seitiich aus dem Durchflusskanal hinausfiihrt ist, dass in dieser Ausnehmung ein Sensorelement (13) mit mindestens einer aktiven Sensorfldiche (134) aufgenommen ist, dass das Sensorelement (13) Uber Signalleiter (331) vertiigt, die zwischen der mindestens einen aktiven Sensorflache (134) und dem Raum neben den Dichtlippen (15) Zur herausfiihrung des Signals verlaufen,0 15 20 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 20 20 Durchflusssensor (1) nach einem der Anspriiche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtungslippe (15) bei entfernter Deckplatte (12) am von der Oberseite des Grundkérpers (1’) abgewandten Ende verjiingt ist. Durchflusssensor (1) nach einem der Anspriiche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchflusskanal (14) auf einem Kanalbett (141) auf der Oberseite des Grundkérpers (1') so ausgebildet ist, dass der Durchflusskanal (14) im Querschnitt jeweils seitlich durch die vom Kanalbett (141) hoch stehenden Dichtungslippen (15) von einem den Durchflusskanal (14) umlaufenden Aussenkanal (18) abgegrenzt wird. Durchflusssensor (1) nach einem der Anspriiche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchflusskanal (14) auf der Oberseite des Grundkérpers (1") mit mehrfach méandrierendem Verlauf, glatten Begrenzungsfidchen und konstantem Querschnitt ausgebildet ist und eine laminare Strémung durch den Durchflusskanal (14) bewirkt. Verfahren zur Herstellung eines Durchflusssensors (1), umfassend: Bereitstellen eines Grundkérpers (1") mit einem Durchflusskanal (14), Anordnen eines Durchflusssensorelements (13) angrenzend an den Durchflusskanal (14), und Abdecken des Durchflusskanals (14) durch Befestigen einer Deckplatte (12) auf dem Grundkérper (1’), dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkérper (1’) mittels Spritzguss so hergestellt wird, dass auf einer der Deckplatte (12) gegeniiberliegenden Oberseite des10 15 20 WO 20097024589 PCT/EP2008/060903 10, a a Grundkérpers (1') eine Dichtungslippe (15) gebildet wird, welche den Durchflusskanal (14) auf der Oberseite des Grundkérpers (1') umlaufend begrenzt und beim Befestigen der Deckplatte (12) auf dem Grundkérper (1) dichtend an die Deckplatte (12) anpresst, wobei der Grundkérper (1') im Zweikomponenten-Spritzgussverfahren mit einem ersten und einem zweiten Bereich (10, 11) gebildet wird, die jeweils aus einem unterschiedlichen Material bestehen und miteinander verbunden sind, wobei der Durchflusskanal (14) im ersten Bereich (11) ausgebildet wird, der im Vergleich zum zweiten Bereich (10) aus einem wesentlich elastischeren Material besteht und dass der zweite Bereich (10) so ausgestaltet ist, dass eine gegeniiber einem Kanalbett (141) des Durchflusskanals (14) definierte Oberflachenebene (217) besteht, die zwischen der Ebene des Kanalbetts (141) und den iber sie hinaus ragenden Dichtungslippen (15) liegt. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Durchflusssensorelement (13) so in die Deckplatte (12) eingelassen wird, dass es beim Befestigen der Deckplatte (12) ber den Durchflusskanal (14) zu liegen kommt und mit der Deckplatte (12) eine im Wesentlichen plane Decke des Durchflusskanals (14) bildetWO 2009/024589 PCTIEP2008/060903, 19 101 101 Fig. 2WO 20097024589 PCT/EP2008,/060903 100 100 Fig. 3a 100 00 7 Fig. 3b Fig. 3c nial 100 ” 100 Fig. 3dWO 20097024589 PCT/EP2008,/060903 39 17 15 15 A aa 141 48 Fig. 4a Fig. 4bWO 20097024589 PCT/EP2008,/060903 49 12 15 7 141 5 17 Fig. 4c 14 12 4 " A 444 4 17 Fig. 4dWO 20097024589 PCT/EP2008,/060903 59 101 18 18 4© 101 417, 15 44 15 Fig. 5PCT/EP2008,/060903 a ee Fig. 6WO 20097024589 PCT/EP2008,/060903 Fig. 7a 9 a (° T aK ( 0) yo ’ 15 | I 1" ta (8 li 10 Fig. 7b 4 (2 eee | wot Fy] \ I ab 141 18 (a7 10WO 20097024589 PCT/EP2008,/060903 89 12 132 } 131 439 | | 15 T15WO 20097024589 PCT/EP2008,/060903 o» fn F134 13 331 J 334 t 130 H —f al ==) 14—| 332INTERNATIONAL SEARCH REPORT Sceaeeeens PCT/EP2008/060903 7 COASSIRORTION OF SUBIECT MATTER INV. BO1L3/00 GO1F1/00 601N35/00 According io nemational Palen Ciussieaon PO) orto bth national cassiicaton and PC 'B. FIELDS SEARCHED ‘ium documentation searched (dasaeatonsyiom okowed by assicaion RSS) BOIL GO1F GOIN ‘Doar ear Ghe ove han mi Gacinenaton he OA Wa sh GOGAT aro GWG Wh HOR Gaaraod isconic data bare conauted dam he Wieratoal sarc (as Gla base and, Whoke PAGAL SOBTEh ans US) EPO-Internal, BIOSIS, WPI Data (DOCUMENTS CONSIDERED TO BE RELEVANT ‘Category ] Caton of document, wah mdeaten, where appropiate, ofthe relovat passages etevant to aan N, x WO 2004/024326 A (FRESENIUS MEDICAL CARE 1-10 DE GMBH [DE]; HAECKER JUERGEN [DE]; FREY STEPHA) 25 March 2004 (2004-03-25) figures 1,3 x WO 02/12734 A (BIOMICRO SYSTEMS INC [US]) 1-10 14 February 2002 (2002-02-14) page 18, Tine 7 ~ line 13; figure 10 A US 2004/197843 Al (CHOU STEPHEN Y [US] ET AL) 7 October 2004 (2004-10-07) Figures 1,2 paragraph [0041] paragraph [0062] paragraph [0076] X] Fwtersocumans are std inthe coninaton of Box DX] see patent amy annex i erecmeeencnamemaes “7 late documant published ater he nena ing cate “rnty cal and nt eat wh he ppleaton Out ata erste nae rheoy eaomeg he cure of parler elovancs he caine inversion ocument defining he general tte ote ant teh snot onaored be o parol vance are document bt published on orator the international ting date ‘ann be enared novel canst be consicred fo, “L een wk ay yo oem priya ‘role an inventive step wen the document ton sone clad to saben he publican dite of a *¥ docurant of paral relevance: he aimed invention ‘iaton or eer peoat rasan as sponte) ‘cannot bs Censaorod ova ah ivrive top when tho 0° document reterng an oa declesue 120, exhibtion or ‘Socoment coatnad win ove ar move athe sich ous ‘oer means trent such combunaion blog Sbviou lo 8 person sled P dpcuent pubes pic ote rational ng date but inthe at ‘ier then he prot data mea ecient member o he same patent tary ‘Date oe aia cornplton 0h aration sarch ‘aloof aang oth lematona aban Topon 27 Novenber 2008 04/12/2008 Tae an alg res fhe SAT Tuthoraoa ooo European Patent One, P8.S81@Paontaan 2 IN poe Fae Fa 21-70) 0-916 Verbandt, Yves Fam POTIENEIO pasando oH)INTERNATIONAL SEARCH REPORT Interfatonaleppiaton No PCT/EP2008/060903 ‘iCantnaaiony” DOCUMENTS CONSIDERED TO BE RELEVANT Category ‘Caton of acumen, wih ncaion, where appropriate ofthe ovat passages A Us 2006/210445 Al (OSTERFELD SEBASTIAN J [Us] ET AL) 21 September 2006 (2006-09-21) paragraph [0034]; figure 2 Us 2002/194909 Al (HASSELBRINK ERNEST F [Us] ET AL HASSELBRINK JR ERNEST F [US] ET AL) 26 December 2002 (2002-12-26) BECKER HOLGER ET Al microfluidic devices” TALANTA, vol. 56, no. 2, 11 February 2002 (2002-02-11), pages 267-287, XP002473389 TSSN: 0039-9140 "Polymer ian RST eran ate aa AE)INTERNATIONAL SEARCH REPORT Intemational appicaton Ne Infermaton on petent family members PCT/EP2008/060903, Patont document Publeation Patent tay Publication citedin search report ate ‘member(s) ate wo 2004024326 A 25-03-2004 AU 2003282002 Al 30-04-2004 cN 1678396 A 05-10-2005 DE 10239597 AL 18-03-2004 EP 1534431 AL 01-06-2005 OP 2006503204: T 26-01-2006 KR 20050046737 A 18-05-2005 Us 2005245889 AL 03-11-2005 wo 0212734 A 14-02-2002 AU 8641701 A 18-02-2002 cA 2417217 AL 14-02-2002 EP 1313955 Al 28-05-2003 JP 2004506146 T 26-02-2004 US 2002033193 AL 21-03-2002 Us 2004197843 Al 07-10-2004 NONE US 2006210445. Al 21-09-2006 NONE Us 2002194909 Al -26-12-2002__US 6782746 81 31-08-2004 us 2005004250 AL 06-01-2005 Fans STANTONINTERNATIONALER RECHERCHENBERICHT Internationa Akenzelchen PCT/EP2008/060903 ~ KASS RON GES WL DROS TE ERSTAN Inve *BOIL3/00. COTA /do coins /00 Nach det intemationaln Patenivasitation (PC) ode nach dor nanan Kastan und er PC ' RECHERCHERTE GERIETE "Rechercher vin dbeipato (asakaionsoyer nd KnsaaTonSayIDO) BOIL GOIF GOIN Tocheron or nici zum MInGeEONIR Gohrende Verionlichungpn, Sowel dbs ltd eheravean Gabe Tale ‘Wavand dr nemaiaralen ecercetanslsoe SoBe Danan Nar Gt Denn GA VaWaNT® SDS) EPO-Internal, BIOSIS, WPI Data (G_ ALS WESENTLICH ANGESENENE UNTERLAGEN ‘ategone” | Bezokhnung dor Voratonicqang. swe eforerch unr Argabe der Brack kommendan Tele Bet Ansprach Ne i Wo 2004/024326 A (FRESENIUS MEDICAL CARE 1-10 DE GMBH [DE]; HAECKER JUERGEN [DE]; FREY STEPHA) 25. Warz 2004 (2004-03-25) Abbildungen 1,3 x WO 02/12734 A (BIOMICRO SYSTEMS INC [US]) 1-10 14. Februar 2002 (2002-02-14) Seite 18, Zeile 7 - Zetle 13; Abbildung 10 A Us 2004/197843 Al (CHOU STEPHEN Y [US] ET AL) 7. Oktober 2004 (2004-10-07) Abbildungen 1,2 Absatz [0041] Absatz [0062] Absatz [0076] X] werere veretintctungen snd er Footing von Felt zu atnehmen]X_] Sieh Antang Patetaiie + ian eae PIO a “A" Varitenticung edna Sande eco i, econ rata erento ory tn Se eee eee smc enn Sen ee An no on “E* Atores Dokument. das jedoch ers am oder nach dem intemationalen ‘Theor angeqoven it Anmoiiedshum vertiienticha worden Wt “X* Veroftentichung von besonderes Bedeutung: die beansprucht E:tincung | “1 Voting ati aren fen vtenan wee ea tr ‘Ste ase ac de veer a rnonochor aight brubord beach! werden {neren mRechorchonbercht genanan Veretertichng ble! 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September 2006 (2006-09-21) Absatz [0034]; Abbildung 2 Us 2002/194909 Al (HASSELBRINK ERNEST F [US] ET AL HASSELBRINK JR ERNEST F [US] ET AL) 26. Dezember 2002 (2002-12-26) BECKER HOLGER ET AL: "Polymer microfluidic devices" TALANTA, Bd. 56,'Nr. 2, 11. 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