DE 19507401 C2 © sunvesrepurx @ Patentschrift © wor ean DEUTSCHLAND = DE 19507401 C2 6 @ Aktenzeichen: 195 07 401.7-34 @ Anmeldetag: 3. 3.1995 DEUTSCHES — @ Offenlegungetag: 5.10. 1995, PATENT. UND © "e"Potentereiong, 28, 9, 2002 MARKENAMT Innethalb von 3 Monaten nach Veréffentlichung der Erteilung kann Einspruch erhoben werden @ Innere Prioritat: G 94038228 08.03. 1994 @® Patentinhaber: Thyssen Laser-Technik GmbH, 62074 Aachen, DE; Berkenhoff & Drebes GmbH, 35614 ABlar, DE @® Vortrotor: Eichler, P, Dipl-ng., Pat-Anw., 42289 Wuppertal @ Erfinder: klein, Rolf, Dr-Ing., 62074 Aachen, DE; Reimann, Roland, 38689 Dillenburg, OF @ Fiir dio Bourteilung der Patentfahigkeit in Botracht gezogene Druckschriften: US 4673795 US 4493967 EP 050748301 @ Uberwachungsvorrichtung fur Laserstrahlung @ | Uborwachungsvortchtung fir Lasorstahlung zur Werksttckbearbeitung, mit einer Strhifuhrungseincich- tung (10), Inabesondere mit einem Lichtwellenieter (11, mit einer die Laserstrahiung (12) der Strahlfuhrungsoin Yichtung (10) auf das Workstdek (13) fokussiorendan Boar boitungeoptk (14), mit einer Losorlicht aus einem optsch wansperenten Bovtel (15) auskoppeinden Meeinvich- {Ung (1), mit einer Mesignale der MeBelnichtung (18) auinehmendan Auswortesinhot (17), mit einem der La Serausgangslistung proportional witkendan Roferene wertgebor {16}, cer cle Auswertecinheit (17) beaut- Schlag, und mit einer an die Auswerteeinhet (17) nge- Schlossenen, die Lasereistung in Abhangigkelt von rate fenawertbezoganon MefSwartan besinflussenden Stover sinhoit 19}, dadurch gakennzoichnet, dai ein optisch tanaperentes Bautell (15) der Bearbefungsoptie (14) 2ur Erfassung der Stroustrahlung an aie MeGeinrentung (18) angaschlossen ist, de einen Detoktor (20) ha, dor dirokt anciner AutSonfischo (21) ds optschen Bautels (15) der Bearbeitunesoprik (14) anliegt, oder aie einen Detektor (20) mit einer Stoustrahlung des optischen Bautells (15) 2uleitondon Glasfaser (22) hat, de mit einem Endo (22) dirokt an einor AulSonfiacho (21) dieses Bautols (15) an- Hog und def aie Steuereinhelt (19) die Laserstrahlung (12) bel einem vorbestimmien Uberschreiten oder Unter schroiton des jowoligan Roferonaworts fur dle Laserel ‘Sung abzuschatten vermag. BUNDESDRUCKERE! 01.02 202 130/949 10 DE 19507401 C2DE 19507401 C2 1 Beschreibung, [0001] Die Exindung bezicht sich auf cine Uberwa- chungsvortichtung fir Lasersirahlung ar Werkstickbear- beitung mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs i 10002} Hine derartige Uberwachungsvortichtung ist aus der EP0 507 483 AT bekannt, Das optisch transpareote Bautelist ein Lichtwellenlete, mit dem die von einem Lae sererzeugte Lasersrahlung zar Bearbeitungsoptik weiterge- leitet wid, Die Laserichtauskoppelnde MeSeinrichtung bat zwei Detektoren, die Lasericht am Anfang und nal dem Ende des Lichiwelleneiters auskoppeln, Der laserichste Detektor winl dazu herangezogen, die Fehlaustichiung 2wie sehen dem Lasersrahl und dent Kem des Lichtwellenlciters ‘au bestimmen und kann der Austichtung dienen, MB einer MeBsignal eines der Bearbeitungsoptik naben Detektors kann der Ubertragungsveriust des Lichtwellenlciters durch Vergleich dieses Meftsiznals mit dem Me8signal des lser- nahen Detekiors festgestellt werden, Der Referenzwertgeber blendet einen geringen Teil der Laserstahlung aus, so dab die Auswerteinheit das Mefsignal des lasemaben Detek- tors auf die Laserausgangslestung bevichen kann, Mit der boekannten Steuereinheit, die wie die Auswerteinieit Be- standtil eines Rechners ist, kann die Laserleistung beein- fuBt werden. Des weiteren ist die hekannte Uberwachungs- vortichtung so ausgebildet, da ein Signal zur Fokuslagen- Uberwachung abgegriffen werden kann, Mit Tilfe der Steue crcinrichtung sol dementsprechend eine Fokusnachfnrung tefolgen, Bei der bekannten Uberwachungsvorrichtung ente fallt cine Uberwachung im Bereich der Bearbeitungsoptik ier auftretende Strahlungsveriuste werden nicht eral. Solehe Verlusteknnen dadurch entstehen, da die Front- linse oder cin Schutzglas durch bei der Bearbeitung entste- hhenden Materialdampf und Materialspritzee versehmutzen, Fine solche Versehmutzaing kann im Laute des Betiebs ar rnehmen, Je verschmutzter das Schutrglas ist, um so mehr Laserstalung wird am Schutzglas.absorbiert und in ‘Warne umgeset. Im Extremfall kann das Schurzglas 2er- stn werden, Auf jeden Fall wird durch die zanehmende inlungsabsorption Taserleistung fir den Bearbeitungs- prore8 entrogen und dadurch das Bearbeitungsergebnis ‘achhallig gest 10003] Aus dee US 4,673,795 ist cine {berwachungsvor- richtung fir Laserstralung bekannt, bei der eine Fotodiode Uiberwacht, ob in eine Beurbeitungsopsik mit einem Lieht- wellenleiter zugeleitete Laserstrahlang vorhanden ist oder nicht, Falls die Fotodiode nicht unmittelbar nsch dem Ane schalten des Lasers Lasorsirahlung detektiert,schalet eine Stovereinichtang den Laser ab [0004] Aus der US 4,493,967 sind mechanische Strahl- weichen bekannt, die zum Bearbeiten von Werksticken be- stimmte Laserstrahlung in einen Strahlabsoréer umlenken kénnen, Diese Strahlweichen werden unabhiingig von dem ‘Zustand der Bearbetungsoptikbetrieben. {0005} Demgegentiber liegt der Erfindung die Aufgabe ‘augrunde, eine Uberwachungsvorrichtung mit den eingangs genannten Meckmalen so mu verbessern, da die gesamie Stcalfibrungseinrchtung vom Austitt der Laserstralung aus dem Laser bis einschlieBlich der Bearbeitingsoptk aut Uuncewilnschte Strahlungsverluste berwacht werden Kann, 10006] Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Kennzeichens des Anspruchs 1 gels 10007] Wenn die MeBcinrichtung einen Detekior hat, cer direkt an einer Aubenfliche des optischen Bautils der Beat- beitungsoptik anliegt, ist fir eine optimale Ausnutzang der geringen zur Verfigung stchenden Streustrahlung des tiber- wachten optischen Bauteils gesorgt. Bei einer deratigen wo » 3s wo 6 2 ‘Ausbildung der Uberwachangsvorrichtung besteht prinzi- Piell auch die Anwendungsmoglichkeit, Siralitnrungsein- richtungen ausschlie8lich mit transparenten Linsen auszari- sten, diez. B, aus ZnSe bestchen, Deranige Stralfhrangs- cinricntungen werden z. B. fir COLaser verwendet, dren Strahlung fir Liehtwelleneiter nit gecignet ist (0008) "Wenn die Anwendung eines Detektors direkt an ei ner AuBenfliche des optschen Bauteils nicht mglich oder nicht gewiinscht is, zB. aus Platgrinden oder wepen aut- iretender Warmebelastung, kann die Uberwachungsvorich- tung auch so ausgebildet wenden, daB die MeSeinrichtung einen Detektor mit einer Streustrahlung des optischen Bau- teilsauleitenden Glastaser hal ce mit einer Hinde direkt on incr AuBeofliche dieses Bauteils anliegt [0009] Fir die Fxfindung ist von Bedeutung, da eine ‘Uberwachung eines Bauteils der Beusbeitungsoptik durch Erfassung der Streusirahlung dieses Bauicils erfolgt. Vor ‘augsweise wind dasjenige optischne Baul tiberwacht, wel- ches dem Werkstick am nichsten ist, also beispielsweise ein Schatzelss, das die Fokussieroptik vor Versehmoamgen schlizen soll, Der Wert der Sirustrahlung des Bautels ist bei ungedinderter Lasereistung grandsitzich konstant, Bei ciner positven oder negativen Abweichung der gemessenen Streustrahlung besteht daher eine Stérung der Strahlungs- ibertragung. von der Laserguelle zum Werkstiek und die Steuereinheit der Uberwachungsvorrichtung ist daher s0 ausgebildet daf sic bei Uherschreitea oder bei Unterschre- ten des Med werts um ein vorbestimites Ma eine Abschal- tung des Lasers zu bewirkea vermag bew. zamindest eine Signalgabe, Die auszuwertenden Medwerte werden dabei mit Referenzwerten verglichen, die von der jeweils ange- wendeten Laserleistung abhingen, Denn die Streusrahlung des tberwachten optischen Bavelements ist von der ange- ‘wendeten Lasercistng direkt abhiing! {0010} Wenn das Me8signal in Bezag aut den Refer wert kleiner ist, kommt am dberwachten optischen Bauicil nicht genligend Laserstrahlung an. Es beset also eine Sto- rung in der Stralfihrangseinrichtung. Uberschreitet der Meiwert den zugehdrigen Referenzwert, so ist die Strah- lungsabsorption im Bereich des Schutzzlases wegen erfolg- ter Verschmutzang 2u gro8 und das Abschaltea exfolgt bei sonst intaker Strahfhrungseinrichtung aus diesem ande- ren Grund. [O01] Bei ciner Strung der Ubertragung der Tasersrah- lung durch die Strahliihrangseinrichiang wird cin Febler hivlig sehr plétaich auireten, 2, B. durch die plovliche Zerstorang ciner Linse infolge thermischer Uberlastung ‘cer durch einen Bruch des Lichiwellenleters. Eine Vergro= Berung der Streustrahlung infolge einer Verschmutzang e- nes Schutzglases vollreht sich hingegen langsam, Um nun besser 2u differenzieren ob die eine oder die andere Fehler- ursache bei der Obertrizung der Lasersirahlung durch die Strahlfuhrungseinrictung voriegt, kann die Uberwa- chungsvorrichtung so ausgebildet wenden, af das Abschal- ten des Lasers von der Stevereinheit mit einem Diener slied in Abhingigkeit von der Anderungsgeschwindigkeit dies MeBwerts durchflnrar ist. Mit Hilfe des Differenzier- slieds kann die Uberwachungsvorrichtung sehr schnell rea- sieren. [0012] Fin Veber in der Sirahlfthrungseinrichtung kann sich gravierend auswitken, Brieht beispelsweise ein Licht- wellenleite, so trit Strang mit hoken Leistungsdiehien tus. Im Bereich der unkoninolier freigeseizien Sirahlung konnen Personen- und Materialschiden auftreten, Um der~ artige Schiden mit Sicherheit zu vermeiden, kann die Uber- ‘wachangsvorrichiung so ausgebiklet werden, daB fir das “Abschalten der Laserstrahlung cin den Laserstrahlunterbre- sender mechanischer Stralschalter vorhanden ist. Ein solDE 19507401 C2 3 cher Sirahlschaltr ist hireichend schnell und unterbricht den Strahlengang unabhvingig von der Steuereinrichtung des Lasers, so da sich dort eventuell vorhandene Fehler nicht auswsirken kénnen. [0013] Um inshesondere die werkstickseitige Verschmut- ‘ang der Bearbeitunesopiik kontrolieren mu kénnen, wit die Uberwachungsvorrichtung so ausgestalet, da der De- tektor oder das Glasfaserende an einer ebenen Fiche eines Schutzglases cee Bearbeitungsoptik anliegt. Das Schutzglas kann zr Abgabe von Sireustrahlung olne weitees mit einer ebenen Fliche versehen werden, die der problenilosen An- lage des Detektors oder des Glasfaserendes dient. Die ge- finge Sweustrahlung wird dadurch optimal. ausgenuts ‘Wenn es darauf ankommt, auch andere Bauteile der Bear beitungsoptik zu tberwachen, kann die Uberwachungsvor- richtung so ausgebildet werden, daB der Detekior oer das Glasfaserende an ciner Linse der Bearbeitungsopik anliegt, Beispielsweise kann cine Innenlinse der Bearbeitungsoptk diberwacht werden, Strahlfihrungsstérungen infolge ther rmisch iberlsteter Linsen sind damit auf Daver zuverkissig zu emiteln. [0014] _Esist vortethatt, die Oberwachungsvorichtung so auszubilden, da ance Auswerteeinbeit ein Signalgeber zur in Abhiingigkeit yon einem Uberschreten exer einem Un- terschreiten des jeweiligen referenzbezogenen Meters nterschiedlich exfolgenden Signalgube angeschlossen is. Infolge der unterschicdlichen Signalgabe kénnen die dieser augeundeliegenden Febleraustinde in dee Strahifuhrungs- cinrichtung schnell erat werden. [0015] Tine weitere Méplichkeit zur Differenzicrung von Fehleraastinden in der Strahlfihrungseinichtung.ergibt sich, wenn die Uherwachungsvorrichiung so ausgebildet wird, daB an die Auswertecinheit zwei Detektoren ange- schlossen sind, die die Streusrahlung eines Lichtwellenei- ters an dessen Fin- und Auskoppelsete messen, und da bei tnjerschiedlichem Megergebnis der beiden Detektoren eine Abschaltung undjoder eine Signalgabe erfolgt die unabhin- sig von dem Moergebnis der an die Auswertecinheit ange- Scilossenen MeBeinrichtung ist. Die beiden usialichen Detektoren kénnen Ubertragungsstérungen des Lichtwel- lenleiters sehr zuverssig erfassen. Solche Ubertragungs- stérungen exgeben sich 2. B. infolge Ubermafiger Biegung des Lichiwellenleiters, dieu einem ungewollt grofen Stcahlungsverlus fhe, oder durch einen Bruch des Licht- wellenleiters, Des weiteren ermiglicht diese Ausgestaltung der Uberwachungsvorrichtung eine Erfassung einer Zersié- rng im Bereich der Bearbeitungsoptik. Wid beispielsweise das Schutzglasinfolge thermischer Uberlastung zers6r, 0 Jindert sich der von der Mo8einrichtung fir die Bearbei- tungsopik erate MeBwert schlagartg, Hine solche schlag- anige Anderung des MeSwerts konnte aber auch auf einen Bruch des Lichtwellenleiters zurickzufihren sein. Das Meorgebnis der beiden dem Lichtwelleneiter zugeondne- ten Deiekioren 14 jedoch erkennen, da letzterer in Ord- rung ist und demgemaé ein schwerer Fehler der Bearbei- tungsoptik vorliegt. [0016] sist voncthatt, die Uberwachungsvorichtung so ausaigestalten, daB die Bearbeitungsoptk eine Signaliber- tragungsleitung von dem Detektor der MeSeinrichiung zur Auswerteinheit hat oder in leiztere integer ist, Es ergibt Sich ein entsprechender Schutz der Sigoalubertragungslei- tung innerhalb des Gehiuses der Bearbeitungsoptik [0017] "Des weiterea kann es von Vortil sein, daf die Be- arbeitungsoptik modular aufgebaut ist, und dal die Module elekirisch tberwachte Beriheungskontakte aufweisen, Es ergibt sich ein Aufbau der Bearbeitungsoptik, deren ein- zelne Module ausgetauscht wercen kénnen, beispiclsweise ‘aur Verinderung der Wirkung der Bearbeitungsoptik oder wo 3s wo 4 deren Reparatur Die Uherwachang der Module mitels eek irischer Beruhrungskontakte gestatet die Emuitlung der korrokten Modulmontage, wobei praktisch weplos wirkende ‘Kontakte der Kameratechnik zum Finsatz konimen kénnen {0018} Die Efincang wind anhand von in der Zichoung dargestellen Ausfihrungsbeispielen erlauten. Es zg [0019] Fig, 1 cine schematische Darstellung zr Exite- rung prinzpiller Vorpinge im Berich eines Schutzlases, [0020] Fig, 2 eine de Fig. 1 entsprechende Darstellung, jedoch mit einer abyveichenden Anordnung eines Detekior, und [0021] Fig, 3 cine Prnvipdurtellung einer kompleten rsuachungavorichiung. [0022] "Aus Fig 3 is der prondsitlche Aumbau einer An- lage zur Bearbeitang eines Werksticks 13 mit Lasestrah- lung 12 erschlich. in Laser 29 ereugt einen Lasertrabl 12, der mit cinerSirafaheungseinichiung 10 einer Bear- beitungsoptik 14 zageleitet wird, welche die Lasersrahlung 12'fokussien Die Sirahfuhrungseinrichtung 10 besteht bei COzLaseen diblicherweise aus Spiegel undloder Linsenan- condaungen, wobei die tansparenten Linsen 2. B. aus ZnSe Sind. Speviell bei Fesksrperlasern, zB. bei Na:Yag-Lar sem, kann die SablfUhrungscinvichtung 10 einen Lichiwel- lealiter M1 aufweisen. Hin solcher Lichtwelleneiter letet dig Lasersralung 12° baw. das Lasesicht durch totale Re- Hlektion in seinem Ioneren mit nar sehe geringen Veelusten auch auf gekrinmmaten Bahneo, was sich fr die eiatuche ‘Ausbildung der Bearbeitungseinrichtung und die Relativbe- wwegung des die Bearheitngsoptik aufweisenden Bearbei lungskopfs sehr vorelhalt aus {00231 "Von dem Laser 29 ausgehend wird der Laserstrahl 12 von einer Linsenoptik 30 oder einem anderen sich im Strilengang befindenden optischentranspaenten Bavele- sent au di Binkoppelscite 25 des Lichiwellenkitrs 11 fo- kasiet, so da sie mplichst in dssen Mite eingekoppelt wird. Im Bereich der Auskoppelsete 26 des Liehiwellenle ters HL wind die Strablung divergent freigesetzx und durch cine weitere Linsenopik 31 kollimier. Mit einer Fokussie- linse 32 wird die Lasersrablung 12° aut das Werks fo- aussi. Um die Fokussielinse 322u schlizen, ist zwischen ‘rund dem Werkstick 13 ein optisch tansparentes Baul 15 in Gestalt eines Schutzglases angeordnet. Das Schutzglas schiivt die Fokussierlinse 32 vor Verschmutaungen bel der Bearheitung des Werksticks 13, dic durch Materaldampt und Matenalspriterentstchen knnen, [0028] "Aus Grinden der Anlagensicherheit muB gewate- Iestt wenien, a8 die Uberragung der Laserstabiong in ddr Siralfuhrangseinrichtung 10" nicht ungewoltge- schwcht oder unterbrochen wird. Dean ur Gewaheleisung ciner gleichbleipenden Bearbeitungsqualitit mu die Laser= Ieistung konstant gehalten werden. Fir eine Schwéchung ler eine Unterbrechung der Sirahifihrang gibt es viele Grinde. Fehlerquelien sind beispclsweise cine Febljustc- rang dee Linsenoptk 30 relativ zur Binkoppescite 25 des Lichwellonleters 11, eine unkorrekte Verbindung_ des ichiwelleneitrs 11 itn Bereich dor Steckverbindungen 38 auf dor Einkoppelseite 25 und auf der Auskoppelsite 26, cine Zestérung des Lichiwelleneiters Han den bide ten 25, 26 over ein Bauch des Lichiwellenleiters 2. B. ine folge tinermibiger mechanischer Beanspeuchung beim Be- vwogen der Bearbeitungsoptik Ld reatv 2am Werkstick 13, Speriell bei einem Bruch des Lichiwellelcters 11 best die Gefab, dal Lasertralng hober Leistung ungehinder aus der Bruchstlle in die Umgebung freigesett wird und 2.8, die Bodienung der Anlage getahndct Im Bereich der Bearbeitungsopik 14 kénnen Storungen durch Oberlastung der optischen Bautile aufeten, 7.B. cine Warmctberi- stung der Linsen durch yom Werkstick 13 reflktierte LarDE 19507401 C2 5 serstrahlung, die zu einer Zerstérung einer Linsefuhrt. Das Bautll 15 kann durch Materalspritzer und Materisidampt so verschmutzt werden, da Laserstrahlung dbermaig ab- Sorbent wird und fr die Bearbetung nicht mehr zur Verte ung steht. Im Exremfall kann das Bautil 18 durch Ober- hitaang infolge der Sirshlungsabsorption zersir_ werden Die Bearboitungsopsik ist dann nicht mehr einsathig und der Bearbeitungsproze ist enpfindlich geste. 10025] im die vorhesciriebene grundsitziche StahIfuh- rungseinrichtung 10 aut insgesamt ordaungsgemse Funk tion zu Gberwachen und gafs. 2u beeinfussea, also vorn ‘Austnit des Laserstrals 12 aus dem Lasee 29 bis zum Ver= lassen des in Siahlungsichtung leven optischiransparen- ten Bautlls 18, wird aut Fig. 1 Bezug genommen, Die at das Bautil 15, nilich ein Schurglas der Bearbeitungsop- tik 14 auretTende Lasersrahlung wird dieses Basel 1 ge- ‘iB Pfeil 34 durchgoeren, Ein mur geringer Anil des Lichts wird an den Grenzflichen LufvGilas base. Gas/Luft reflekiert und kann durch geeignete Besehichtungen der Gronzfiichen des Bautils 13 minimient werden. Ein weite- rer geringer Anti wil durch den Werksof des Bauteils 18 absorbiew und in Warme ungewandel, auch weno der ‘Werksoffhinschtich der Wellenlinge des Lies optimien {st An mikroskopischen Inbomogenititen, die auch bei op- ‘inert WerksofTen vorkommen, entsteht durch eine Ver Lnderung des Brechungsindexes des Werkstols infolge der Rayleigh-Sweuung eine Ablenkung eines Lichtantils aus der Vorzugstichtung des eingestablien Lichi, Diese Sreu- Strahlang ist von den optischen Eigenschalien des Werke Soils abhingig und proportional zur cinfallenden Licht ‘menge, Die Proportinalitit wird durch einen Proportional- Latstakor beschricben, der durch optische Vermessung 2 ermiteln ist, Infolgedesson kann die Streusrahlung als Mai fic di cinfallende Liehimenge herangezogen werden, Unt sekehrt bedeutet die Vergroflerung oder die Verringerung des MeBiwertes der Streusrabiung bet ungeindenter Laser leistung eine Steung im Bereich der Straifltrungseinrich- tung. Der gesteute Swablungsantel 38 wird demgemal zur ‘herwachung der Stralfubrungseinviehtung 10 herange7o- gen. Vorringont sich dieser Siousirahlungsanteil bei kon- StanterLasreistung, so liegt ein Fehler vor, der Laserstral- Ing und damit Energie schluckt Ursache ist heispelsweise cine Fejusierang der Swablungssinkopplung. Wied dabine gegen cin gesteigener Swousiahlungsuntll gemessea, so krann das 2B, an einer zanchmenden Verschmutzung des Bautlls 1 ander dem Werkstick 13 sugewendeten Grenz- fiche des Bautils 1 legen. [0026] "Un die Stcusraung des Bauels 18 zu messen, ist ein Dotektor 20 ciner MoSeinrichtng 16 vorhanden, der bei aultetender Sireusirahlung cin proportionaes Signal ber eine Signaliberragungsleitung 36 an die Mebeinrich- tung 17 abgibt. Der Detekioe 20 ligt iret an einer AuSen- AHiche des optischen Bautels 18 an, beispiclsweise an einer Schlitfiche eines Schutzglases,dessen Dieke einige Mil meter betrgt. Da der Detekto 20 in dor Bearbetungsopik 14 angeordoet wird, kann de SignlUberragungseitung 36 abweichend vom Dargstellin innerhalb dor Bearbeitungs- optik 14 angeordnet sin [0027] Cems Fig 3 it die Bearbeitungsoptik 14 mode chaut, Hs ist cin Anseblubmosul 27 vorhanden, dee irene Linsenopik 31 aufweist, An diesen Mo- dul 27 at cin weiterer Modil 27 angeschlossen, der die Fo- ussierlinge 32 und das dberwachte optisehe Bautell 18 aul- ‘weit. Beide Module 27,27 sind so ausgeilet, dal hr on Dungsgemier Zasammenbau elektrsch derwacht werden kann. Hirzu dient heispelsweise cin cleknsch Uberwach- ter Berihrangskontakt 28 zwischen beiden Molen {0028} Io Fig,2istdargestlt, dal der Detektor20 nit wo 3s wo 6 6 ner Glasfaser 22 oder einem Glasfaserbiindel einen Strew- sahlungsanteil 35 des Bauteils 15 mit. Der Finsatz dieser Glasfaser 22 gibt bei der Gestaltung der Bearbeitungsoptk 14 bauliche Freibeiten, da der riumliche Aufwand zur An- cordnung einer Glasfaser 22 gering ist, verplichen mit dem umiichen Aufwand flir den Detektor 20, Auch der opti- sche Anschlul st einfacher. Das ist fur die bauliche Ausge- saltung im Bereich des Schutzglases bzw. Bautels 15 des- wegen von Bedeutung, weil letzeres berets an den in der Nahe des Werkstucks 13 befindlichen Dusenbereich an- igrenzt. Das Ende 22° der Glasfaser kann eine polierte End- Tliche haber und mit dem Bauteil 15 direkten Kontakt aut weisen. Die Glasfaser 22 Ubertrigt Streustrablung peaktisch verlustiei bis zam Detekior 20, der ein entsprechendes clektrisches Signal erzeugt, welches mit der Signalibertra- ‘pungsleitung 36 zur Auswertecinheit 17 gelangt, Der Detek- tor 20 kann sich innerhalb der Auswentceinbeit 17 befinden In diesem Fall fallt die Signaluberiragung 36 weg. 0029} In der Auswertceinheit 17 wird das Signal des De- tektors 20 mit einem Relerenzsignal verglichen, welches von einem Referenzwertgeber 18 erzeugt wird, Dieser Refe- renawertgeber 18 miBt einen Streustrahlungsantel der Lin- senoptik 30, welche den Laserstrahl 12 vor der Einkoppel- scite 25 des Lichtwellenleiters 11 fokussier, oder den Streu- sirahlungsuntel eines anderen sich im Steahlengang betin- dlenden opisch transparenten Bauelementes. Der Referen2- Wwertgeber 18 hat einen Detektor 20, der Streustrahlung der Linsenoptik 30 von einer Glasfaser 37 zugeleitet erhilt und cin Referenzsignal ereugt, welehes der Auswertecinheit 17 ither eine Referensleiung 38 zugeleitet wind. Auch bier kann sich ersatzweise der Detektor 20 innerhalb der Aus wwerteeinheit 17 befinden, 0030) Dic Auswentceinheit 17 vergleicht das MeBsignal der Me8einrichtung 16 mit dem Reterenzsignal des Reie- renawertgebers 18, Beide Signale missen gleich groB sein baw. dirfen einen nur durch die reguléren Verluste der ‘Strahlfuhrungseinrichtung 10 bestimmten Unterschied aut= ‘weisen. Die Messung beider Signale erfolgt jeweils zeit- sleich. Bei einer positiven oder negativen Abweichung des ‘MeBsignals der MeBeinrichtung 16 besteht eine Stung, Im Falle einer Stirung beaufschlagt die Auswerteeinheit 17 cine Steuereinheit 19 undioder einen Signalgeber 23. [0031] Im Signalgeber 23 wird ein Signal erzeugt, das in “Abhingigheit von einer positiven eder einer negativen Ab- weichung des Mesignals der Meleinrichtang 16 unter- Schiedlich is. Es erfolgt also eine in Abhiingigkeit von ei- nem Uberschreiten exer einem Untersehreiten des jeweili- igen referenzhezogenen MeBwerts unterschiedliche Signal gabe, Bei cinem Uberschreiten des referenzhezogenen Mel ‘werts ist eine Stérung der Strablungstiberragung aus dem Boreich des Bauteils 15 bis zum Werkstck 13 als Ursache anzusehen. Das it jedentalls cer Fall, wenn das MeBsignal im Laufe der Beticbsdauer langsam zunimmt, Bs kann dann cin optisches oder ein akustisches Warnsignal genigen, bis slic Zunahme so gro ist, da der Laser abgeschaltet werden ‘mu, In diesem Fall wird die Steuereinbeit 19 aktiv und stouer einen mechanischen Strahischalter 39 an, der die Lax sersirablung abschaliet, indem er den Strahlengang unter- bricht, woru beispielsweise eine mechanische Blende ge- sehlossen wird [0032] Wena das Metsignal der Meteinrichtung 16 klei= ner is, als das vom Referenzwertgeber 18 gelieferte Signal, liegt eine Strung im Bereich der Strahlhrungseinrichiung 10 zwischen dem Bautel 15 und dem Bauteil 30 vor. Auch in einem soichen Fall kann die Augwerteeinheit 17 den Si- ignalgehor 23 undloder die Stevercinheit 19 beaufschlagen Bin Abschalten des Laserstrahls bzw, der Laserstrahlung mit slom Strahlschalter 39 kommt insbesondere dann in Be-DE 19507401 C2 a trach, wenn die Anderung des MeSwers schnell erflgt, In diesem Fal kano ir Beschleanigung des Abschaltvoganes cin nicht dargestltes Dilferenziengiedeingesett werden, das aut schnelle Anderangen des MeBsignals der Mefein- ‘ichtung 16 regiert und das Abshalten ber die Steverein- bet 19 entsprecend eschleunit.Zugleich kann das Dife- reoziergled baw. dessen Anspecchen dazu herangezogen ‘werden, den Signalgeber 23 undoder die Stevreinheit 19 in besonderer Weise u beaufschlagen. Denn eine schnelle An- derang des Metsignals der MeScinrchtung 16 deutet aut tine Gefabreakonsellation hin, Beispelsweise hinnte der Lichtwellenleiter Il gebrochen sin, [0033] Da der Lichwellelcter 1 cine besondere Gefah- renguelle darstlit falls er brich, ist es 2weckmibig, dha spevell 2 terwachen, Fur diese Uberwachung sind vei besondere Detekioren vorhanden, die sich an der Einkoppel seite 25 und an der Auskoppelssite 26 befinden, Sie messen die dort vorhandene Strustahlung des Lichtwellenliters 11 und geben dementsprechende Signale an die Auswerte- cinit 17 ab, die die Sigale vergleicht. Bei normaler Fank- tion des Lichiwelleneiters 11 sind diese Signale gleich baw. weichen nur in gringem Mafe enisprechend den geringen LLitungsverlusten voneinander ab, Im Falle eines Beuchs coder einer iberma8igen Biegung baw. Knickung des Lich- welleleters I erkenot die Auswertecinheit 17 dis an der Ditferenz der beiden MeBsignale der Detekionen 24 Sie ver= nlf dann zumindest cine Signalgabe, wenn der Metwer- Unterschied einen vorbestinunten Grenzwert nicht Uber Schriel, beispcisweise infolge einer Febljusienung im Tinkoppelberich, Wird der Grenzwert jedoch tberchri- ten, etfolgt eine Abschaltung der Laserstrahlung iber den ‘mechanischen Stahlschaller 39. Diese Abschaltung efolst tanabhiingig von dom MeBergebnis der Meteinrchtung 16, ist also demgegeniber vorrangig. Sofern das Medergebnis der Mefeinrichiung 16 eine plovliche Verringerung.der Streostalung des Bauels 18 sgnalisert, das Mebergebnis der Detektoren 24 jedoch keinen StGrbefund erkennen LAB, kann dara auf die Zerstonung des Bautels 15 geschlossen werden und der Laser 29 bs. sein Sirah 12 wied ebenfalls rmechsnisch abgeschalc. Patentanspriiche 1, Uberwachungsvorichung fur Lasesrablung. 2ur Werksickhearbeitung, mitciner Stalfhranssein- Fichiung (10), insbesondere mit ener Lichtwellelei ter (HN), mit einer die Lasesirahlung (12) der Sirah fuhrangseinrichtang (10) aut das Werkstick (13) fo- kussierenden Bearbsitungsoptik (14), mit einer Laser lich aus einem optisch ransparenten Bavtel (1S) aus koppelnden Mebsinricitung (16), mit einer Mebs- gnale der Mefeinrihtung (16) aufnehmenden Aus- ‘werevinbeit (17), mit einem dee Laserausgangsei- ‘tung proportional wirkenden Referenzwerigebor (18) der die Auswertecinheit 17) beaufschlgt, und mite ner an die Auswerteeinhet (17) angeschlossenen, die Laseeleistung in Abhingigkeit von referenzwerthez>- ‘genon MeSwerten beeinflussenden Stevereiabeit (19), ddadurch gekennzeiehnet, dal vin optsch tansparen- tes Bautell (15) der Bearbeiwngsopsk (14) zur Exas- sung der Sreustalung an die Mebearichtung (16) an- _eschlossen ist, die einen Detektor (20) ha, der direkt fn eince Auteniliche (21) des opisehee Bautels (15) der Bearbetungsoptik (14) aniegt, oder die cinen De- tektor (20) mit einer Sieustralung des optischen Bate teils (18) zuletenden Glasser (22) hat de mit einem Ende (22) direkt an einer Aubenfliche 21) dieses Bau ‘els (15) anlegt, und da die Steuereiaeit (19) die La- wo wo 8 sersiahlung (12) bei einem vorbestimmten Uber scheiten oder Unterschreiten des joweiligen Referonz- wets fide Laserlestang abauschalten vermag. 2. Norrchtung nach Ansprich 1, dadurch_gckenn- ‘eich, da das Abschalien der Lasersrahlang (12) ‘on der Steuerinbeit 19) mit einem Diferenerlied in Abhingigkeit von der Anderungsgeschwingigheit des Metwors daehfilebar ist. 3. Vorrichlung nach Anspruch 1 oder 2, daduech ge- iennceichnet, du fur das Abschalten der Lasestrah- Jung (U2) ein den Lasersrahl (12) unterbrechender smechanischer Strahlschaltee (39) vorhanden ist. 4. Vorrihiung nach Ansprich 1, datureh gekenn- chet, da der Detektor (20) oxer das Glasfaserende (22) an cinerebenen Fiche eines Schurglases der Be- arbetungsopiik (14) anliegt. 5. Norrchtung nach Anspruch 1, dadurch_gckenn- zichnel, dal der Detektor (2) over das Glasfaserende (22) an cinorLinse der Bearboitungsoptik anliet. 6 Vorrichtung nach einem oder mehroren der Anspet- che 1 bis 5, dadueh gekennzeichnet, daf an die Aus- ‘werevinheit (17) ein Signalgeber (28) zur in Abhan- Biakeit von einem Oherschreiten oder einem Unter Scheiten des jeveiligen referenzbezogenen Meters Unlershiedlich erfolgenden Signalgabe angeschlossen is. 7. Vorrichiung nach einem oder mebroren der Anspei che Ibis 6, dadurch gekennzeichnet, daf an die Aus- wwerteinheit (17) wei Detcktoren (24) angeschlossen Siu, die die Stcustrablung eines Tichivellenleiters (‘an dessen Fin- und Auskoppelsite (25, 26) mes- sen, und dali bei unterschiedlchem MeSergebnis der beiden Detektoren (24) eine Absehaltung undoder eine Signalgabe erfolat, die unabhingig von dem Meter ehnis der an die Auswertesinhet (17) angeseblosse- ben MoBeinrchtung (16) 8. Vorrichtung nach einem oder mebreren der Anspe- che Ibis 7, dadurch gekennzeichnet, dat die Bearbei lungsoptik (14) eine Signaluberragungsteitung (36) von dem Detektor 20) der MeBeinrchtung (16) zur ‘Auswerteviabet (17) hat oder in letter integie ist. 9. Vorriehtung nach einem eder mebreren der Anspei che Ibis 8, dadurch gekennveichnet, dat die Bearbei- tungsoptik (14) modular aufgeban ist und dace Mo- dule (27,27) elekrinch tiberwache Berchrungskon- takte (28) auveisen. Fiierzu 2 Seite(n) Zeichoungen- Leerseite -ZEICHNUNGEN SEITE 1DE 195074012 823K 2642 28, Marz 2002 Nummer: Int. C1 ‘ZEICHNUNGEN SEITE 2 Verétfentlichungstag: TOTF 02 10}48}8Q 22 Jase|se|D 12 (ajuesBun|yens ( Jaynanseb Bunjye.yjsiase7 TF or | | 02 son910q { jajuesBun|yens ne Jayneyseb sé | | am - Bunjyejsisse7 oT 202 130994