Université Cadi Ayyad

Faculté des Sciences et Techniques Guéliz Année Universitaire 2019-2020

Master1 Matériaux Avancés

Module technologie des couches minces (1h)

1) Citer trois motivations technologiques et/ou économiques des couches minces.

2) Quelle est la gamme d’épaisseur d’une couche mince.

3) Parmi les techniques d’analyse physicochimiques, donner 3 adaptées pour la mesure de

l’épaisseur des couches minces.

4) Quelles sont les sept étapes de la croissance des couches minces par le procédé CVD.

5) Quelle est la différence entre la technique CVD thermique et la PECVD en termes d’énergie
d’activation des réactions chimiques. Expliquer.

6) La pulvérisation cathodique fait parti des techniques de dépôt PVD. Quels sont les paramètres
qui contrôlent le rendement de la pulvérisation.

7) Citer les différents types de la pulvérisation cathodique.