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90-137
90-137

ポ
Wリイミ
$ドK74
フィルム KAPTONのヘリウムガス透過度
^KAPTONAM^AtfXlM

1
1 990 年 8月
9 9 0*F8fl

牧 田 知»I-?«/j,H
feffl 子 ・ 小 西 啓»之
£・• *長<崎
* 正 雅
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Nakagun，Ibaraki-ken
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JAERI-M 0-137
90-137

ポリイミドフィルム KAPTONのヘリウムガス透過度

日本原子力研究所大型放射光施設計画推進室
牧田知子・小西啓之・長崎正雅+

c
(l
1 9990 ^ 77^月 30
9 0年 3 o日受理)
ass)

大型放射光施設に放射性試料用ピームラインを設置するには，測定器側で真空破断事故が起き
*SttM*^f&ieftftM!feltt4fli tr- A 5 A v*Mtt h Kit,fliJSSfifl-c1j*S«*rif&#ia#
てもストレージリング側が汚染しないような安全対策が必要である。との目的のために，現在ポ
リイミドフィルム Kaptonでリングと測定器側を仕切り，かつ，乙の仕切り窓を
' M i K7-f^AKapton T y v^ifiiJ^UffliJ^ttttt), fro, t<OfcttS>)&£ 2
2 枚にしてその
ftic LT-e©
聞にヘリウムガスを注入し，その外側でガスのリーク量をモニターする乙とにより，常時または
事故発生時1
1:
窓11:破損等の異常があるか否かを調べる方法が提案されている。 ζ の方法の有効性

を検討するために，膜厚が
Z&fttZtzlibIC, 25.1
R3E*i25, 2
.5. および
12.5, 7.9
*<kO"*7.9 μmの Kaptonについてヘリウムガス透過度を
,umK>Kapton Icol'-T'N g £ A # x j g i I E £ £
flUitlfco *0>l££, 2 « # » < i 77~
測定した。その結果，透過係数は -B8 xx1
0-.
10-.,s
mol•' m
mol m"叶1 ・-Pa-'
Pa- .
8-
'
'• s' 1 であった。乙れはヘリ
T-*,-ofc„ C t l l i ^ ' J
ウムガスの透過が多過ぎ.窓 i
己破損がある場合のリーク量との差異が少ない. したがって，
Kaptonを窓材とするときには他の破領検査方法を考案することが必要であると結論された。
Kapton & & # 4 ^ 3 4 # fc ttfl&0>iHH*fc2t:£ft£*SI-r 5 C i * ^ g t ? * 5 4 Safe $ tifc.

axBummftm: T 3
日本願子力研究所:〒 19-11 茨城県都珂郡東海村白方字白線
319-11 2-4
«*»iB5MWK*tta:#£a«2-4
+東海研究所餓料・材料工学郎

(1
1
(1)
JAERI-M90-137
JAERI-M 90-137

HeliumGas
Helium Permeabi1ityof
Gas Permeability ofKAPTON
KAPTONPolyimide Fi1
Polyimide Film
m

Tomoko MAK工TA，Hiroyuki
Tomoko MAKITA, HiroyukiKONISHI
KONISHI and
andTakanori
TakanoriNAGASAKI*
NAGASAKI+

Office of
Office of Synchrotron Radiation Facility
Synchrotron Radiation Facility Project
Project
JapanAtomic
Japan Atomic Energy
EnergyResearch
Research Institute
lnstitute
Tokai-mura，Naka-gun,
Tokai-mura, Naka-gun，lbaraki-ken
Ibarakl-ken

(Receivee July
(Received 30，1990)
hly 30, 1990)

ln a
In a beam
beam line
line for
for radioactive
radioactive samples
samples of
of a
a large-scale
large-scale synchro­
synchro-
tron radiation
tron facility，it
radiation facility, it is
is necessary
necessary to
to protect
protect the
the storage
storage ring
ring
from contamination
from contamination in
in a
a case
case of
of accident
accident in
in a
a measurement
measurement chamber.
chamber.
For the
For the purpose
purpose it
it has
has been
been proposed
proposed to
to separate
separate the
the beam
beam line
line from
from
the storage
the storage ring
ring using
using two
two sheets
sheets of
of polyimide
polyimide film (Kapton)，b
film (Kapton), etween
between
which helium
which helium gas
gas is
is introduced;
introduced; the
the damage
damage in
in the
the sheets
sheets could
could be
be
detected by
detected by continuous helium gas
~ontinuous helium gas leak monitoring・ To
leakmonitoring. To examine
examine
whether this
whether thismethod
method is
is effective
effective or not，helium
ornot, helium permeation
permeation rate
rat~ was
was
measured for
measured forKapton
Kapton sheets
sheets of 25，12.5
of 25, 12.5 and
and 7.9
7.9 ym thickness at
~m thickness at room
room
temperatures. The obtained permeabilityw (7~8)X10 岨 16 m
as (7~8)xl0~ ol・
m-l'
16 1
temperatures. The obtained permeability was mol-m" •
P a-
~l
l
・
« s・~1
Pa s-.，w hich i
l
,
which ss
is oh
so igh t
high hat t
that he s
the mall d
small efects i
defects nt
in he s
the heets
sheets
cannot be detected. Accordingly another detectionmethod s
cannot be detected. Accordingly another detection method hould b
should e
be
considered油
considered enK
when apton i
Kapton su
is sed a
used st
as he s
the eparator.
separator.

Keywords: P
Keywords: olyimide F
Polyimide ilm. K
Film, apton. P
Kapton, ermeability，H
Permeability, eliumG
Helium as
Gas

+
+ Department o
Department fF
of uels a
Fuels ndM
and aterials R
Materials esearch. T
Research, okai R
Tokai esearch
Research
Establ1shment
Establishment

(
12
2))
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JAERI-M 0
--137
90-137

白 砂 1 {

1.は U め に

2.実 験 方 法
2.mm^m i

3 .実
«3» ^ 験
9C 結 3* 一
TO果 一一一一一一一一
------------- -一一一一一一一一
-一一_一一一一一--£2

4.議
4.» 論一一一一一一一一一一一
tt一一一一一一一一一一一一一一 33

5.ま
5. * と
4 め
» 一
一一一
一一-一
一一一
一--
---
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一一-
---
---
一-一
一-44
*
謝 m
辞 一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一—-
一4 4

S
# 考
%文x 献
m 一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一 44

Contents
Contents

1.I
1. ntroduc
ti on-
Introduction -
一一一
一一 - 1

2. E
2. xperi圃entalp
Experiiental rocedures一
procedures 一一一一--
一一ー
---
-一一
一一ー
一一一
一 11

3.E
3. xper
i園 町 talr
Experimental esults
results 一一一一一一-一一ー
-ー-一一-一一一一一一一 2
2

4
4 ..Di
s cussion一
Discussion 一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一 3
3

5. S
5. u
..arf
Suuarv 一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一 4
4

Ac
kn ，，
ol ede . ents一
Acknotledieients 一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一 4
4

Re
fe rences一
References 一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一一 4
4

13
)
13)
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JAERI-M 0-137
90-137

1
1 •- 占
{ *ま じ
U 狙*う E
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日本原子力研究所と理化学研究所の共同チームで研究開発を進めている大型放射光施設 (
SP
ri
nc-
8)1
-4)には，広い研究範囲をカバーするための汎用性のあるビームラインだけでなく，特
B*mttwmttmitW9tm<DMtf--±?m&nn*Mi6r***mi&ti?mvt 1
殊な実験を行なう個々の利用者のために最適化されたビームラインも建設される.特 <
:非密封
(SP
の放射性物質が利用可能なビームラインの設置を求める声は，アクチノイド化合物等の f電子
系の物性に視点を合わせた電子分先実験やトレーサーを用いる生物照射実験など京研の放射
光利用系を含めて全国的に極めて多い.しかし現在，世界のいずれの放射光施設においても非
密封放射性試料用ピームラインの例は見られない.これは万一真空破断事故等 I
とより試料が拡
散した場合，汚染傾績を歳小限に押えることと，特 l
こストレージリング自体の汚決を防ぐため
*«ffl**dJ6r^HWK«U6"c^v>. L4»ta4, ttjji©\.^n©tt»*Mttte*v*'t'b#
に高度の安全対策が必要だからである.
*IHft*HaS»ffltf-A9<f
高エネルギー(数 k eV以上)の v ©X«線を利用するビームラインでは，ベリリウムやアルミニウム
ttfi&ftttv. c n t t £ - X ^ K * t t « f c £ 0 t t f t * s t t
flfx**¥- C«tkeVJ£l_h) ®X*8£*i]ffl*3 £'-A 54 y-?&, * V 'J * A^y;i> $ - ^
等の金属をリング側と測定器側の真空を仕切る窓材として用いることが可能で，この点リング A
«©AB*'J v ^ « i W 3 E » « © K v
汚換の危険性は極めて少ない.一方 f f iu
*v
f l :-
«軟l *X
a線鎖域では吸収の少ない有効な窓材が見つか
* t i t " C f f l ^ * i i i # g « | ' C , £©ja>J v ^
ff*©*MfcttttlI»T*l>*v*. -;&VUVHKX*«ifrettfl«©{m*tf»tt8*r*«fiofr
っておらず，現在どの施設のピームラインもリングと測定掃は真空的にもつながっている.し
{
-o-cfc-fef, SS£•©«!»©tr-A5^ vt';v^tffl!lffias«j|^WKt^tt* -of v^«. t
かし先の安全上の理由から放射性試料を用いるためには多少の放射光強度の減少があっても，
*何らかの窓材を用いる必要があると思われる.
bft©5«j*±©a**» 6 » » t t K » t f f l v^ 5 fc* ic li$d>©tttt%&tt©tt4># * -o r t ,
Wこのように実験の目的に合わせて般も適切な窓を設計するとともに.常時または事故発生時
6*©«*t*fflv«^»*»**i:H*>n*.
K*©*lc«||»©JI*4«*«*S4»*«^8*ac%WM-l/«i:i*n«tt6ttv^ a « , v
にその窓に破損等の異常があるか否かを調べる方法も検討しなければならない.現在， uv
VUV
歓 X線傾滋周として鰻案されているのは，真空系を
~«X»««ffl&LTiMSSnTV*©tt, 2枚のポリイミドフィルム"カプト:.t
K«3R*2*©*U-f « K7 ^ r * ^ h v(Ka (Ka
p ton)"で仕切り，その仕切板の間
ptonr-etfcWt). * © t t t t « ©1<
:へリウムガスを入れて真空系へのリークをモユターする方
M ,
fc^ J*A#xfcAttrj*£^©V-*****-'*-S£
B>
&•?**. cfttt, m m 3 U E # * f t ^ i : £ < « * » < * * * © * * - * © « « * * > « < *
法である.これは，機械的強度目が大きいこと(窓を薄くできるのでビームの吸収を少なくで
きる) ，また耐熱性 5)や耐放射線性 5.剖が商いことなど， Kap tonが窓材として優れた特性を持
oT^Sfrfe-C**. L*»L, Wia©WJJitttb^*6*«Wlllllt?**fc»K«, K
ヲているからである.しかし，前述の破損検出方法が有効であるためには， a
ptonのへリウム
Hapten©-*'J 9A
透過速度が，安全上問題となるようなリーク置に比べて十分小さくなければならない.この点
fcHL-ctt,
に闘しては， Ka
pto
nのへリウムガス透過度の測定値も少なく，十分に検討されているとは言い
Kapton©^';*A#xaaK©iJHffi<at>4>tt<, +#fctftw-3ftm*&ttmv>
*tfcv>.
がたい.
そこで本研究では 8慣の膜厚のボリイミドフィルム
*C'C*«f3ft'e(*3a©*rW©>K'M Kap
tonのヘリウムガス遭遇率を測定する
$ K7 ^AKspton©^'; *A#xaiM«**!l£*-*
C & f c i W i L , C f t * * « f c b f c * © ± f i © * - i M j : , ^ © f t » t t # | | * , #t*ftei£*4ffl ^
ζ とを目的とし，これを窓材とした時の上胞の号ニタリングの有効性を調べ，放射性試料用ピ

- A ? 4 J/JUSfflBJIfitt * £ 4 t. © -C * *
ームライン建授の可能性を錬るものである。 „

2
2 .
. 望書感sit ヌ~記長
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Fl
c.I
Fit. fc, .
1 に. 1
aHfc8B©*M*iiM-. i r x 7 * * * * - t t P I B # + 4 7x»
院議慣の織成を示す.サンプルホルダーは両蝋がナイフエ vジi >で*中+央*にfi
cJi :
W笹I
9.96 .0
.7 7
701 ) の貫通孔があるフランジである.ポリイミドフィルム紙料(東レ・
2
(NrBBB
闘〈断商事
9.95M 0.777OI
2
) ©JT»?U<** 7 5 ^ ^ ^ * * . « - ( 5 K7 -f ;VAK!|Sf (jfcw .

-
- 11--
 JAERI-M 9
JAERI-M 0-137
90-137

f *$vM);" );"Kapton"H
デ且ポン(株 タイプ)を，予め，エポキシ樹脂系接着剤でサンプルホル
K a p t o n " HiM 7") * , T-», xrt + i ^ W J R M H i r c t f i / : / * * *
ダ-
t'
::張り付け.約
' 15時間空気中に放置した.ガス導入側およびガス透過側の容器を充分排
気し，ガス導入側容器にへリウムガスを充填した.ガス透過側容著書の圧力の時間変化を隔膜式
E M - <><* hoy) t a s t , ^'j#Ajtr^©imajiaKo*#»,
圧力計〈パラトロン)で測定し，ヘリウムガスの試料遭遇速度 *sc <o ^oaia
Qを求め，次式(1)より透過
係数 Kpを求めた.

Q=
・
KP A-6P
(1)
d
ここで，
Q
Q ; 透過速度
ajfiiis
Kp 透過係数
A mmm
A -, 断面積
AP; mum
6P; 圧力差
d 厚さ
d ; Wis

• C * * . fflftOMZ d
である.試料の厚さ は. 2
d&, 5μ 圃(品
25wi(p a
番1 00H)，1
a#100H), 2
.5μ 圃(品a番
12.5wi(p 50H)，および
n #50H), *>-<kt>' 7
.9μ 圃(n品
7.9#i( a
番30H)
a #30H)

©8
の « $ - ? * * . SiSftfco^-trtrxJiAffll&aSfflEfl*, l
3 僧類である.各紙料についてガス導入側容様の圧力を， X1Q55Pa,
lX10 Pa.5 XI04Pa，2
5X10"Pa, XI044Pa,
2X10 Pa，
#J:tf l
および X104Pa
lX10 Pa とした.ガス導入側，およびガス透過側の容総の容積はそれぞれ
4
1
85c
£ L f c . #2*»Affl», fc-<kt>'#xi2iSffl)ffl§!S§o^*ii*n«'ni85ci IS およ
*«k 3

CJf 1
び 2
. 8la であり，この比が大きいためへリウムガス透過によるガス導入側容穏の圧力の降下
c
12.8oi 3
r*t), ZtO&MX%v1z&^ )V&lf*m&lz±Z1fx&A1l&&%<D&t>®#l:
>

は無視できる.測定はすべて室温で行った.

3
3 .
. ;S:尾忠従来吉 S畏
5^Jl<fe#I*fm

F
il .2
Fir.
' 21 tflM $ K?4 *A38*4 K
0:.ポリイミドフィルム試料
K, a
pt on1
Kapton 00H(
100H 膜厚 2
5μ 圃)についてへリウムガスの透
0RJf25#i) JCO^T^'J •> A # x ® a
iiR:<t*aiifl(»«fffljE>J©^W»ft%*^. #*#Afl»&SS©E#<* l
過による透過側容器の圧力の時間変化を示す.ガス導入倒容掃の圧力は OOk
Pa.5
lOOkPa, 2.0kPa
.20.
52.0kPa, 2
0.
OkPa，および
OkPa, lO .OkPaであり，圏中に示した.透過側容器の圧力は，時間の経過に対して直線的
*?<fctfl0.0kPa-C*!3, B + f c * t f c . a&«gft<DEfttt, HIHKDttafcttb'CSaft
に増加した.
fcittotfc. Fig.i
F r
.3 および F
3 fc<ktf ir.4
Fig. K e t t l e * ft e f t K
4 に問機にそれぞれ a
pt on5
Kapton 0H(
50H 膜厚 1
(ffltJf 2
.5μ ・)および
12.5#i) K
fcitf Kaa
pton3
Pton 0H(
30H 膜厚7 .9μ 同の結果を示す.ガス場入側容穏の圧力は図中に示した.透過側容穏の
(«flt7.9//«) © I S * * * * . # a * A M 8 » © E A t t H * f c « L f c . Mmm®$S<D
圧力は時間の経過に対してほぼ直線的に滑加した.ただし，膜厚が荷車くなるほどまたガス導入
側容器の圧力が大きくなるほど，時聞が経過すると圧力の増加は直線からずれて遅くなってい
る.
F
i，.2
Fig. 2,，F
I .
，3
Fig. i.
tf^tf F
3,，および ，4
Fig. 4 の各グラフの般大傾斜から求めた，ガス導入側容穏と透過
©***7©**«iW»*&*»fc, # X « A M * f t £ a a
倒容器の圧力捧 jζ 対するKap
tonの単位商積あたりのへリウムガスの遭遇速度を
a»»©E^#.teWf*Kapton©*ttffl«*/:0©^ ,
J'>A#^©aaiiaP«r Fi
r.5
Fig. 5I
と示す.
fcw*.
また， F
*fc, I 6.
，
Fig. 5I
と示した各点および平均としてグラフの傾きから，式(1)より求めたヘリウムガ
K t
* t f c * j S * J J : O s | Z ^ i U ' r y 7 ? © j « * ^ 6 > «<1 )J;0*»fc-N 'J *•*>#
x©aaowft«Ttbie
スの遭遇係微を ra
ble1i に示す.
tc^-r.

-
- 22--
 JAERI-M 9
JAERI-M 0-137
90-137

4.
4 . 諜麓
?M 涜 翁
3rfu

Fi
s.3
Fig. ^.fctK Fi
3 および S
.4
Fig. 4に見られる透過側容穏の圧力の時間変化の直線からのずれについて考
KBansaiifflisas^E^o^fiaias^oKJaA^ffl-fnKo^-c^
える.へリウムガスはガス導入側容器から透過側容穏ヘ両者の圧力が平衡に遣するまで移動す
5 © ? * * ^ 6 , * 9 f ^ © ^ * ^ ^ - C i i M I1
るのであるから，本研究の実験方法では原 型的には時間の経過につれ透過側容器の圧力噌加事
lMte«il#RJl©giaiconaMmS§Offi^^Ja*
は減少することになるが，本実訟の測定時間内では両容器の圧力室長の減少は 1%に過ぎず無視
できる量である.湿気を含んだ空気を透過させると 9時間後の透過率は 1時間後の 1%にまで
減少している <:**>, Kap
7)ことや.
*'>UTV>* 7 > t
on試料をとりつけてから両容骨量の排気が不十分である場合には圧
iwtoBtt»*i«Joa-r*»6S*»©tl«*t^+» e**iiAK«E ,

^©Nfra^t©ii:*8A^©fn*sA^ <tnc i*»&, aafl8tt®Eft<DitiiiiXft<Dia**>

力の時間変化の直線からのずれが大きくなることから，透過側容器の圧力の時間変化の直線か
^©^©fitHI*, K
らのずれの原因は. a
ptonフィルムがそのイミド基に基づく親水性のため吸湿した
Kapton7-f ; i ^ # * © > f 5 K S ( i S ^ < S * t t © f c i * 9 S S t f c5・ 6)
5 , 8 ,
oことで
in?
i
**ig*>n«. c©fc», ^ J»A*'^©ajia^isaaas)«i©^5 7©iiAffl^^**
あると恩われる.このため，ヘリウムガスの透過速度は透過初期のグラフの巌大傾斜から求め

*©***fc(i*re&*. K
るのが織も信頼できる. Ka
p
atpo
n
t oフィルムが吸湿する水の供給源としては，容緑壁やへリウムガ
n 7 - f * A * « B a * * * © f t l f t S i U r H : , gSSfi*""-'J 7 A #
ス中の不純物が考えられる.これらの場合，水分子が徐々にフィルムの分子聞に充損されガス
の透過を紡げていると思われる.どれが支Ii!的であるかを知るためには，容認のベーキングや
i
a»©»«i*fi o'r«'^fflaas*aiist«i:iAs^s-?, <$&<»&&thzmn-c^z.
読料の加織を行ってガスの遭遇度を測定することが必要で，今後の課題として残されている.
CtlfOK. K
これまでに a
pt onのへリウムガス透過係数については，膜厚が
Kapton 25μ圃
© ^ U 7 A * r * a > § « » t e o ^ - C t t , |»W**25tf の K
apton(
a©Kapton 100
H)5
)が
(100H) ，
B>
#,
7.69X1Oー同・iol'i-
7.69X10- ,e
O!
..-I' P
,
a
'Pa--1'S-'
8-1 (
・ 23l:)であるという備しか報告されていなかったので，この値
,
(23*C) r * * £ V^fiSLfrSg^StttVttfr-sfc©-?, £©te
は本実駿の結果{室温 . 7.8 0 XlO-1d
圃O!..-I
« * H » © < S H ( £ S , T-MXlO-'^ol-r'-Pa-'.P
a-i ーっとよく一致しているが，へリウムガス
"') i J : < - S L " C ^ 5 * J , " o ' J 7 A # x
の遜温度の膜厚依存性については知見がなかった.本研究で 3種の膜厚の K aptonフィルムにつ
©aaa©i!Wflc??ttteo^rttftim*s«:^->fc. $J3f&-C3ffi©JKJS©Kapton7 -r/l^fco
\,>r^'j^A#^©aaff©KD[fici¥tt*si^, F
いてへリウムガスの遭遇度の旗康依存性を調べ. ig.5
Fig. 5 に示したようにフィルム透過速度は試
Kistfc<fc$fc7.f*Aa»affi«8
» © B * f t R J t « L r v > « C i , Lfc*s^.r T
料の厚さに反比例していること，したがって ab
! e!
Table 11
<
=示したように各試料の遭遇係数は膜唱
K ^ t f c J : •5ic#ISW©aifi^»««'?
によらず一定であることがわかった.
teJ:&'f-5£'C**<:&*«fcj&»ofc. Ka
pt on と同じ成分の板状の
Kapton Ves
pelS
ileli;$#©«tK©Vespel P
-!叫について，厚
SP-l 0>
teov>t, J¥
S l1
さ »闘の試料のヘリウムガス透過係数の報告があり，その値は1. 07X1
0
-1d, ・
© i m © ^ y * A # a a » f c » © * @ # * 0 , *©ffiJi 1.07X10- 6
01圃
・-1'
iol-r ,
P
a-1 8
-Pa-' -1
s"'
(常温}で本実厳とオーダーが一致している.
本実.で得られた K
aptonフィルムのヘリウムガス透温度をもとに
*3m-e»6*lfcK8pton7^;l'A©^'J K
aPton;を窓材として破損検
7 A # x a i i & * f c iKKaptoniSSfcTi LT«8«i
* * f f - 5 ^ i S S t e ^ ^ T ^ W - r * . fciiii, K
査を行う方法について検討する.たとえば. a
pt on1
Kapton 00
Hの仕切板の間にへリウムガスを
lOOHfflttflfiffllfflfc^ 'J 7 ^ # * & l
la
at
tl
i
(760T
orr，l
(760Torr, .OXl O
'
1.0X10 S
Pa)入れた場合，窓の断面積を
Pa) B
170
.2として
A t t f c « & , $8©*fK*£l7ca t t T ,.8X1
e
O-5
8Xl0- T
orr
.j.s-'の透過が 6
Torr-!-s-'©aii#
**;:±fctt*. <:©«*», #za>mix*11i&tiiblxmwtZb, ¥S 7
あることになる.この減量は，ガスの減れを粘性流として慨算すると，半笹 7*u ©ft©SK*
μ 圃の穴の流量
に相当する.したがって，仕切板にこれより小さな穴があいていても，へリウム流量の増加か
& * n * « t b - * - * C i ( ± H J i t r * 5 . *fc, i © S 5 * i i , X h w - i " J ••*" (
らそれを検出することは困嫌である.また，この流置は，ストレージリング 1X10・8 6
(lX10- P
a)や
Pa) *
ピームライン(1X1
O-7P
a)を超高真空 I
i::保つために許容される量をはるかに越えている.も
7
f-A?-ry (ixio- Pa) cflKiisicfiioAAerpffsnsa^tts^icttA'cv^s.
唱とも，ヘリウムガスの圧力をlPa程度 1
<
:下げれば組高真空への影鱒は無視できるが，安全上 t.
聞.となるような大きなリークが検出できないという本質は変わらない〈穴の滅置は圧力の 2
Haias^^tt^^^v-^A^m-ei^^iv^^ftttKfee.*^
(^©^*«E^©
現に比例するので，圧力を下げると検出可能な最小の穴はむしろ大きくなると思われる) .以2
*fcJt«**®"?,
上から .2放の K
ap E^*TJf*i*aj5Jt64-«/jN©^{*&L'5^§<*4tg*)tl5)
t
on仕切板の聞にへリウムガスを入れ，真空側でへリウム流量をモニターす . J«t
,
±frb, 2 t t © « w t o n f t t t * © « f c ^ J 7 A # x * A f t , KffiflH!^» 7 ^ S K * * * - * - *
るζ とにより仕切板の破損の有無を知るという方法は，そのままでは用いることができないと
*£&»c<k!mW*©**©ff(**ft*£V^2i&(*,
鎗鎗される.今後の銀燭としては，たとえば K
apt
o *©**Tf«ffl^*J:i*Jt»*ttV^
nの表面にアルミニウムを燕着し遭遇置を減
tらす等の方法について検討することや.
s a s n * . *«©•*& uris. fc££aKaptM®aHKr;M£*A*jK*Laaa*M
K
apto n以外の適当な窓材をさがすこと，また，ガスの
- 33--
-
 ]AERI-M 9
JAERI-M 0-137
90-137

種類を変えることなどがあげられる.
&&*&*.* £ h%Zfr&tfbtlZ .

6
5 .
. ま
^ ' と<£:
み is£>
。

ポリイミドフィルム Kaptonの膜厚 25，1

# I M $ K7-f^AKapton(0)RW25, 2
.5，および
12.5, 7.
9μ 聞の試料についてヘリウムガス透過
*S «t £^7.9/* a©IA^te o V-C^- 'J £ AtfxjgJI
度を調べ， K
apt
onを大型放射光施設の放射性試料用ビームラインの窓材としたときにヘリウム
ガスの透過量をモニターすることにより窓の破損検査ができるかどうか検討した.実験の結果
ヘリウムガスの透過係数は朕厚によらず一定であることがわかり，その値は 7-8XlO-16皿01'
.
-t.
Pa-・ 1
S-Iであった.この値から，窓に破損がない場合でも窓からのヘリウムガスのリーク

量が多く，破損がある場合のリークとの差を検出するのが困難であると言える.したがって，
2 枚の K apt o n窓の問に常時ヘリウムガスを充填し，その外側でリーク量をモニターすることに
1
2«!©KaptonSS©ifflte»ll#^ ; * A # x £ ? 5 i j | t , £©fl-ffl|-C->l - ? l * * = ^ - t 5 C i K
より慾の破損の有無を知るという方法は利用できないと結論された.今後の課題として，
:
Ka
pt
« t 5 « © « f t » © f l ' * f t * » S i ^ 5 ^ S » f i J f f l - e § t t V £ | g » S n f c . ^ ^ © a S i t - C , Kapt
onの表面処理によりガスの透過量を減らす方法の検討，別の窓材視し，ガスの種類とそのリー
on©SHH»SK £•»#*©»»•*«&+#£©««*, S(©Kttat, ^ © f f i i i * © ) - 1

クモニタ一方法の検討等があげられる.

語射 舌亭

本研究を遂行するにあたり協力いただきました，物理部岩瀬彰宏副主任研究員，大型放射光
施設計画推進室佐々木茂美副主任研究員，本橋治E
Z
-課長代理，鈴木寛光氏に感謝いたします.
また，真空に関する織論をしていただきました大型放射光施設計画機進室飯塚元昭氏に感謝い
たします.

蓄量同管コ之砕試

1
1)
) T.ratanabe，H
T.fatanabe, . Ohno，H
H.Ohno, .
Jwa
sa k
i.T
H.Iwasaki, .Sas a
ki.a
T.Sasaki, ndR
and J
KEN-JAERJJ
RIKEN-JAERI ointU
Joint sersG
Users ro
up:
Group:
Proceedingso
Proceedings ft
of he2
the ndI
2nd nterna t
ionalS
International ymp
osiu圃 o
Symposiui nA
on DVANCEDN
ADVANCED UC L
EARENERGY
NUCLEAR E N
ERG
Y
RESEARCH，2
RESEARCH, 67(
267 1990)
.
(1990).

2 ± # £ £ : ttftfft, 2
2 ))上坪宏道:放射光， 2,，N
o.4.6
No.4, 9(1989).
69 19
( 8
9).

3
3))原雅弘，機構英明:放射光，
m WL, mm: tmit. 3
s.，45(
45 I991
1)
.
(1990).

4
4))下
Ttt
村理a，
, 犠 谷E弘，繍木繍夫，菅滋.iE.渡部力放射光，
tt$S%. « * « * , * aaEJE,ffiWfl: » * » . 3
.
3, 1
55(
155 [9
90).
(1990).

7ィM技術資料 CA-IOD.
, ,
5)JCfdi3&tt
5)*レ様式会祉 事 *.
H$r
リイミ
ト7<lU&ffiiH*4
・ CA-10D.
-4一
 JAERI-M 9
JAERI-M 0-137
90-137

6
6))ftiNJKB.
加藤輝男，高村三郎:低温工学.
MH=m :mx%, 13
.2
is, 43 (1978).
243 (1978
).

7
7))牧田知子:未発表データ.
1
1990
.
tfcfflftB :^^-/'-*, 1990.

8
8))渡漣洋八郎:高分子.
«aM*A«:»#P, 33
.7
33, 65 (1984).
765 (1984
).

AtARft, flg'iR tt:XS. 2

9) 横倉賢治，椛沢稔:真空.
9) 4
.3
24, 99 (1981).
399 (1981
).

-
- 55--
 JAERI-M 9
JAERI-M 0ー 137
90-137

Table1
Table 1 Heliu圃 g
Helium asp
gas ermeability o
permeability fp
of olyi皿idef
polyinide ilmK
film apton
Kapton

Kapton
Kapton Pressure d
Pressure ifference
difference Permeabi1ity
Permeability

molmOI
(thickness)
(thickness) [kPaJ
CkPa] [10-1"一一ーム一一]
Cio-
m'Pa'sec -
m-Pa'Sec

100H
100H 100
100 8.0
8.0
52.0
52.0 7.2
7.2
(25
(25μ/zi)
皿
〉 20.0
20.0 7.2
7.2
10.0
10.0 6
.9
-ーー曲目ーーーー----_...骨司ー・ー----ーーー・四回ーーーーーーーー・・ーー--・ーーー-ーー圃帽冒.-圃.

average (
average (1l
.s.m.)
.s.m.) 7.80
7.80

50H
50H 100
100 8.1
8.1
50.6
50.6 7.0
7.0
(12.5
(12.5μA H皿
)) 20.0
20.0 6.3
6.3
9.3
9.3 6.7
6.7
-ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー，ー--..-日ーーーー・・ーー圃ー-------司冒ーーー-_.

average (
average .s
1 .冊.)
(l.s.m.) 7.84
7.84

30H
30H 100
100 7.5
7.5
50.4
50.4 7.5
7.5
(7
.9μ・ )
(7.9#i) 20.0
20.0 5.7
5.7
9.86
9.86 6.0
8.0
-圃帽剛・ーーーー-圃------・・ー』ーーー司ーー・・ー四ーー圃圃ーー圃圃曹ーーーー冒ー圃帽ーー・‘ー，ーー・・ーー

average (
average l.s.m)
(l.s.m) 7.42
7.42

-6-
-6-
 JAERI-M 9
JAERI-M 0-137
90-137

Sample h
Sample older
holder

Lower pressure
Lower
._ chamber
Turbomolecular
pump
H
p
igher
Higher
pr
p
r eessssuurr
竹amber
chamber
ee I <D
Baratron
10 Torr head

Rotary pump
X
<D
B
Ba
arra
at
t rr
oonn
1000 T
1000 orr h
Torr e
acl
head

Heg
He as i
gas nlet
inlet

Fig. 1
Fig. 1 Schematic d
Schematic iagram o
diagram ft
of he e
the xperimental a
experimental pparatus
apparatus
for m
for easuring t
measuring he p
the erm'ability o
permeability
E fK
of apton film.
Kapton film.

一7-
-7-
 JAERI-M9
JAERI-M 0-137
90-137

KAPTON 1
KAPTON 00H
100H
凶
ZDmm凶zag凶 言OJZE 凶gDmm凶Z色

1
200

∞o
1

8
00
︻何色︼医凶

6
00
m
-

4
00
﹃a
dZO

2
00

2 3 4 5 自 7 8 9

TIME [
TIME hrs
.]
[his.]

Fig.2
Fig.2 Pressure i
Pressure n the
in the lower p
lower ressure c
pressure hamber vs.
chamber vs. time
time for
for
various p
various ressure i
pressure nt
in he h
the igher p
higher ressure chamber.
pressure chamber.
The s
The ample i
sample sK
is apton 1
Kapton 00H(25|
100H(25 μAm
mt hick) film.
thick) film.

-8-
 JAERI-M9
JAERI-M 0-137
90-137

凶
E2mm凶gag凶 言OJZ- 凶EDωω 凶ga KAPTON 5
KAPTON 0H
50H

Ul 1200
1200
tt
3
0)
UJ 1000
1000
QC
Q.
DC 800
800
UJ
官色]匡凶

5 7?
O Q.
_j •—• 600
600
Z
SSURE
MBER

400
400
mEdZO
司

UJ < 200
200
DC X
0. O

2 3 4 5 6 7 8 9

TIME [
hrs
.]

Fig.3
Fig.3 Pressure i
Pressure innt he l
the ower p
lower ressure c
pressure hamber v
chamber s. t
vs. ime f
time or
for
various で
various essure i
ressure nt
in he h
the igher p
higher ressure c
pressure hamber.
chamber.
The s
The ample i
sample sK
is apton 5
Kapton 0H(12.5]Xm
50H(12.5 μm tthick)
hick} ffilm.
ilm.

-9-
-9-
 JAERI-M9
JAERI-M 0-137
90-137

KAPTON 3
KAPTON 0H
30H
凶巴コ的的凶巴

1200

1000
ag凶﹀POJZ- 凶ZDωω 凶za
︻ 町 内 出 } 巴 凶 図 書 叫ZU

600

400

200

2 3 4 5 6 7 8 9

TIME 白r
TIME [ s
.]
[nrs.]

Fig.4
Fig.4 Pressure i
Pressure nt
in he l
the ower p
lower ressure c
pressure hamber v
chamber s. t
vs. ime for
time for
various p
various ressure i
pressure nt
in he h
the igher p
higher ressure chamber.
pressure chamber.
The s
The ample i
sample sK
is apton 3
Kapton 0H(7.9f
30H(7.9 μim
mt hiC"k) film.
thick) film.

-10ー
-10-
 ]AERI-M 9
JAERI-M 0-137
90-137

10
宮
、

V) 8
N E、-oE

1
由・
。
0F]
、

4
﹃
d

< 2
a

20 40 80 1
1 0000

I
IP
A p [kPa]
[kPa]

Fig.5
Fig.5 Helium g
Helium as p
gas ermeation r
permeation ate p
rate er u
per nit a
unit rea o
area f Kapton
of Kapton
film v
film s. p
vs. ressure d
pressure ifference b
difference etween t
between he p
the ressure in
pressure in
the h
the igher p
higher ressure c
pressure hamber a
chamber nd t
and hat i
that nt
in he l
the ower one.
lower one.
1唱
E4

-11-