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Adachi I
Adachi I
足 立 巌*
(昭 和33年9月6日 受 理)
Iwao ADACHI
In Ronchi test, when the Ronchi screen of low frequency is used, Ronchi fringes are explained
simply by geometrical optics and the amount of aberration is easily found. Non-symmetrical
aberration in particular, the solution of which by Hartmann test is troublesome, can be treated
correctly.
In preparing a 50cm ƒÓ.F/3 Schmidt camera, Ronchi test was used not only for testing the
correcting plate during figuring but also for examining the homogeneity of the glass and the
As the astigmatism on optical axis of an axially symmetrical optical system can be considered
Allowing for a small spherical aberration, from geometrically obtained permissible astigmatic
effect of the correcting plate, permissible maximum of the variation of refractive index for the
面 鏡 の 中 心 に 関 し 対 称 に 置 か れ た 窓 よ り 出 た 光 が,光 軸
1.緒 言
と交 る 点 を 求 め る.こ れ は ナ イ フ エ ッジ を 移 動 し 両 側 一
1859年Leon Foucaultが 初 め た 所 謂Foucault Test1)
対 の 窓 が 同 時 に 暗 く な る 点 を 測 る の で あ る が,影 の濃 さ
は 点光 源 焦 点 近 傍 に ナ ィ フ エ ッ ジ を 置 き,そ れ に 依 り光 が 徐 々 に 変 つ て い る た め,そ の 測 定 精 度 は 焦 点 距 離1.5m
束 の 一 部 を 切 り測 定 面 上 に 影 を 作 つ て,し らべ る方 法 で F/4で ±0.1mm程 度 で あ る.R. Platzeck6)等 は写
あ る.こ のTest法 の 波 動 光 学 的 説 明 はLord Rayleigh2)
真 測 定 を 併 用 し,各 部 分 の曲 率 中 心 を精 密 に求 め 測 定 精
に初 ま る が,其 後 の 研 究3)の 後E. H. Linfoot4)は 非常
度 を あ げ る 事 に 成 功 し て い る が,測 定 は や つ か い に な る.
に 詳 し い 報 告 を 行 つ て い る. 一 般 にFoucault Testは 収 差 の少 い と き に有効 で ,
要 す るに ナ ィ フ エ ッ ジ の 直 後 よ り射 出 瞳 を み る と最 初
収 差 が 大 き く な る と か え っ てHartmann Testの 方が よ
満 月 状 に輝 い て い る が,ナ イ フエ ッジ の進 行 につ れ て影
い.
が 拡 が り遂 に は 全 面 暗 黒 に な る.ナ イ フ エ ッジが 焦 点 の
特 に 非 対 称 収 差 が あ る と き はHartmann Testで すら
内 側 に 位 置 して い る と,影 は ナ イ フエ ッジ と同 じ側 に 出
定 量 的 な 測 定 は 困 難 で あ る.然 し乍 らFoucaultの 影 は
.来 るが,焦 点 外 で は 反 対 に な る.無 収 差 の と きナ イフ エ
非 対 称 に な る か ら ナ イ フ エ ッ ジ の 位 置 を 変 え る か,廻 転
ッジ が 焦 点 に あ っ て 光 束 を 切 る と,瞬 時 に 暗 黒 に な る.
す る か し て 解 析 に 必 要 なparameterを 増 せ ば,こ の欠
この た め 収 差 の 少 い 光 学 系 の 焦 点 を 厳 密 に 求 め る の は
点 を 解 決 す る 手 掛 りが 増 え る.
よ く使 わ れ る.影 の 拡 り方 よ り,収 差 の全 般 的 な状 態 が
ナ イ フ エ ッ ジ の 代 りにperiodic lineを 用 い るRonchi
非 常 に よ くわ か る と 同 時 に,脈 理 等 の部 分 的 な 微細 欠 陥 Test7)は,こ の 意 味 か ら,有 効 な 検 査 法 で あ る.
が よ く見 え る.例 え ば シ ュ リ ー レ ン法 は この 際 の 対 流 に Ronchi縞 は 幾 何 光 学 .的取 扱 い で,説 明 出 来 る か ら,
依 る波 面 の 乱 れ を 観 察 し て い る の で あ る.従 つ てHart
収 差 の 定 量 的 測 定 が,非 常 に 精 度 よ く 出 来 る.例 えば収
mann Testと 共 に 反 射 鏡,望 遠 鏡 対 物 レ ン ズ,等 の検
差 の 少 い 場 合Foucault Testで はfocusに ナ イ フエ ヅ
査 に 広 く 用 い ら れ て い る. ジ を 進 め る と,影 の 濃 度 差 が 少 い か ら殆 ん ど 同 時 に 暗 く.
こ の 方 法 を縦 収 差 の 測 定 に 応 用 し た の はDraper,
な つ て レ ま う様 に 見 え る が, Ronchi Testで はperiodic
Common, Ritchey5)等 の 大 反 射 鏡 製 作 者 で あ る.拗 物
lineを 適 当 数 視 野 の 中 に 置 き,縞 の 直 線度 や 端 の 濃 淡 を
* 工業技術院 大阪 工 業 技 術 試 験 所
観 測 す る か ら,数 段 精 度 が 勝 る.
48 応 用 物 理 第28巻 第1号 (1959)
非 対 称 収 差 が あ る と き は 縞 の 座 標 を よ み,簡 単 な代 数 と し て,
到 底望 む べ く もない 程 簡 単 な処 理 で高 精 度 の 測 定 が可 能 と お け ば
説 明 さ れ る.
2.幾 何 光 学 的 説 明
2.1座 標 軸 の 廻 転
z=y'sinθ+z'cosθ. (7)
y2+z2=y'2+z2で あ る か ら,廻 転 対 称 収 差 は こ の た
め に 影 響 を 受 け な い.
Astigmatismの 項 は
A1(y2-z2)+2A2yz
Astigmatismと 称 す る 事 に す る.
(2) Comaを 含 む 項 も同 様 に
(y2+z2)(c1y+c2z)
=(y2+z2)(c sin φ ・y+c cos φ.2)
(3) こ の 場 合 は 廻 転 角 そ の ま ま で 利 い て く る.
(4)
(11)
を 満 す,こ れ は0の 後 方 に 眼 を 置 い て射 出瞳 を見 た 場合
Fig. 2
Defocusの 量 が 増 え る に つ れ て 視 界 の 縞 数 は 増 加 す る.
2.3球 面 収 差 のみ の とき
γ=4S1(y2+z2)・z・R (13)
が加 わ る と
(14)
称 す)はz=0とep/x+4S1(y2+z2).R=0の 円 に な
る.Fig. 3 b
(16)
(19)
従 つ て 座 標 軸 を θ 丈 廻 転 し てcos(φ+20)=0方 向 にset
従つて
した と き
(20)
(17)
は 廻 転 す る.(Fig. 5)
(18)
2.5 Comatic aberrationの 場合
Fig. 5
で あ る か ら双 曲 線 か 楕 円 の 縞 に な る.
して
(24)
Fig. 8, a The Ronchi screen is at the
で あ る か らc2=0方 向 では paraxial focus.
(25)
双 曲 線 はy軸 方 向 にshiftす る.
c1=0方 向では
(26)
3.球 面 収差 と他 の収 差 とが 共 にあ る場 合
試作 中 の光 学 系 を検 査 す る とき,最 も よ く取 扱 うの は
球 面収 差 が どの 程 度 あ るか,他 の如 何 な る収 差 が 害 を な Fig. 8, b The Ronchi screen is at the
してい る かで あ る.シ ュ ミ ッ トプ レー トを 研 磨 中 吾 々 の zonal focus of y=210mm.
Ronchi Testに よ る取 差 の 定 量 測 定 〔
第1報)(足 立) 51
用 い た 検 査 は 主 鏡 の 直 前 に 修 正 中 の も の を 置 き,主 鏡の
曲 率 中心 附 近 に 置 い た 点光 源 の像 をナ イフ エ ヅジ 或 は
Ronchi screenに よ っ て 切 り収 差 を 観 測 す る 方 法 で あ つ
た.こ の 場 合 の 収 差 は 拗 物 面 鏡 の 収 差 と 同 じ も の で あ る.
(27)
(5)式 と比 較 して
(28)
従 つ て(4)式 は
(29)
A Fig. 9, a
5 2.64×10-8
14.7mm, y=210mmのzonal focusに あ る と き はFig.
8b,の 如 く な る.
(30)
であ るか ら(4)に 代入 して
Fig. 9, b
+(2A cosφ.y-2A sinφ.z)R. (31) A=5.36.10-9 eR=14.7mm
3.2.1座 標 を 廻 転 しcos(φ+2θ)=0方 向では
た だ け でdefocus errorが 変 つ た の と 同 じ様 に 見 え る.
(32)
上 式 を整 理 して
Fig. 9, c
(33)
A=2.6410-8 eR=14.7mm
52 応 用 物 理 第28巻 第1号 (1959)
称 でcentral lineは2本 に 分 れ る.
3.3 Parabolic spherical aberrationとComa (36)
Normal Comaが 球 面収 差 と共 に あ る と きは
Central lineはy=0, z=0を 通 る.そ れ 以 外 の ときは
整 理 して
(34)
3.3.1座 標 軸 を 廻 転 しsin(φ+θ)=0方 向では
(37)
(35)
に な る か らComa収 差 が 増 え る と,楕 円 の 中 心 はz軸
易 に 出 来 る.
4.測 定 例
測 定 装 置 はPhoto. 1に 示 す も の を 用 い た.こ れで
Ronchi縞 の 写 真 を 撮 り被 測 定 光 学 系 の 射 出 瞳 に 換 算 し
た 縞 の 座 標 を 読 取 る の で あ る.
Photo. 2は こ の 装 置 に 依 る, 50cmφ シ ュ ミ ッ トプ
C Fig. 10, a
0 0.000 eR=14.7mm
1 0.237×10-8
2 0.402×10-8
の 重 要 な 原 因 を な し て い る.
こ れ は 屈 折 率 の 異 な る 硝 子 が 入 り 込 む た めbi-prism
と な る.事に 依 る も の で あ ろ う.
硝 子 製 造 技 術 か ら,完 全 に 均 質 に す る 事 は 難 か し い が,
ど の 程 度 ま で 許 容 さ れ る も の で あ ろ う か.幾 何光学的 に
簡 単 に 見 積 つ て.み よ う.
4.2波 面収差
ω(x, y, z)=d0(y2+z2)+S1(y2+z2)+S2(y2+z2)3
但 しd0はDefocusの 係数
但, fは 波 面reference sphereの 曲 率 半 径 で あ る.
射 出 瞳 を極 座 標 に変 え て
y=ρsinθ, z=ρcosθ とお け ば
Photo. 2
ー ト用 硝 子 円 盤 のRonchi縞 で ,硝 子 材 質 の検 査 のた め
に 撮 つ た も の で あ る.
4.1こ れ は 明 ら か に 球 面 収 差 とAstigmatismと が あ
る 場 合 の 図 形 で あ る.(31)式 を 用 い て 係 数 を 求 め る.
z軸 と交 る 点 の 読 み は 射 出 瞳 座 標 に 換 算 し てTable 1 -4Aρ sin(φ-2θ)(2doρ +4S1ρ3+6S2ρ5) . (38)
の 如 く な る.
像 斑 のradius vectorをrと し て,そ の最大 最 小 の 比
Table 1 を 許 容 度 と結 び つ け る.
(39)
と お け ば(2d0ρ+4S1ρ3+6S2ρ5)2》(2Ap)2の と き は(38),
(39)よ り
8Aρ=[2d0ρ+4S1ρ3+6S3ρ5]k,
を 許 容 度 と す れ ばk=0.22.
Outer zoneで はAstigmatismを 無 視 し て も1%以 下
の 誤 差 で あ る か ら,先 ずDefocus量 と球 面 収 差 の係 数
吾 々の 試 作 した シ ュ ミ ッ トカ メ ラの場 合,非 球 面 子 午
を求 める と
的 断 面 曲 線 を よ く知 られ た 式
eR=-7.72mm, S1=6.14×10-12.
inner zoneの 測 定 値 を 用 いAstigmatismの 掛 つ た項
を求 め る と
を 用 い る.こ こ でHはfull apertureで250mm. R
2A cosφ ・R=-2.533・10-3.
は 主 鏡 曲 率 半 径 で3000mm, kに1.75を 用 い る と き,
y軸 と交 るRonchi縞 が な い か ら,両 軸 の 間 の 測 定値 を
色 収 差 の 最 大ず れ の所 の追 跡 結 果 よ り
用いて
d0=2.853×10-6,
2A sinφ ・R=-1.586.10-3.
S1=-2.879×10-11,
従 つ てtanφ=+0.625,φ=32°,
S2=+0.006×10-7,
A=0.498×10-6.
Table 2 非 対 称 収 差 の 定 量 的 測 定 が 出 来 るか ら,硝 子材 屈 折 率
均 一 度 の定 量酌 測 定 が 可 能 に な つ た.硝 子 材 は 脈 理,内
部 歪 の な い事 の外 最 も重 要 な事 は 屈 折 率 が 均 一 で あ る事
で あ る.こ の具 体 的 な測 定 法 を 提 示 した.