Diterjemahkan dari bahasa Afrikans ke bahasa Indonesia - www.onlinedoctranslator.

com

Jurnal Mikromekanika dan Teknik Mikro

KERTAS

Peningkatan respons frekuensi sensor kantilever elektro-termal dalam

pesawat untuk pengukuran waktu nyata
Mengutip artikel ini: Andi Setionodkk2019J. Mikromekanik. Mikro.29124006

Lihatartikel online untuk pembaruan dan penyempurnaan.

Konten ini diunduh dari alamat IP 134.169.113.161 pada 16/11/2019 pukul 16:11
 Jurnal Mikromekanika dan Teknik Mikro

J. Mikromekanik. Mikro.29(2019) 124006 (12 hal) https://doi.org/10.1088/1361-6439/ab4e29

Peningkatan respons frekuensi sensor

kantilever elektro-termal dalam pesawat
untuk pengukuran waktu nyata
Andi Setiono1,2,3,Wilson Ombati Nyang'au1,2,4,Michael Fahrbach1,2,
Jiushua Xu1,2,Maik Bertke1,2,Hutomo Suryo Wasisto1,2
dan Erwin Peiner1,2

1Institut
Teknologi Semikonduktor (IHT), Universitas Tekniksebuaht Braunschweig, Hans-Sommer-Straße
66, 38106 Braunschweig, Jerman
2Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Universitas Tekniksebuaht Braunschweig, Langer Kamp 6a,
38106 Braunschweig, Jerman
3Pusat Penelitian Fisika, Lembaga Ilmu Pengetahuan Indonesia (LIPI), Kawasan Puspiptek Serpong, 15314
Tangerang Selatan, Indonesia
4Departemen Metrologi, Biro Standar Kenya (KEBS), Popo Rd, 00200 Nairobi, Kenya

Surel:a.setiono@tu-braunschweig.de

Diterima 30 Juni 2019, direvisi 25 September 2019

Diterima untuk diterbitkan 16 Oktober 2019 Diterbitkan
5 November 2019

Abstrak
Sensor berbasis resonansi biasanya menunjukkan bentuk amplitudo simetris, yang disertai
dengan transisi monoton sebagai respons fasenya. Pada keadaan resonansinya, ada 90°
perbedaan fase antara gaya eksitasi dan respon sistem. Namun demikian, karena
beberapa faktor parasit, sensor berbasis resonansi mungkin menunjukkan respons
frekuensi yang tidak ideal seperti yang terlihat pada sensor kantilever piezoresistif elektro-
termal (EtPCSs) dalam pesawat. Karena kopling parasit termal langsung dari bagian
eksitasi ke bagian penginderaan, output sensor menunjukkan bentuk amplitudo asimetris
dan respons fase pembalikan. Dalam beberapa EtPCS yang memiliki paparan termal yang
relatif lebih rendah pada bagian penginderaannya, bentuk amplitudo simetris dapat
ditunjukkan tetapi masih disertai dengan respons fase monoton bermagnitudo rendah.
Dalam karya ini, metode pengurangan referensi diperkenalkan untuk meningkatkan
respons frekuensi EtPCS pada kondisi lingkungan yang berubah (misalnya kelembaban,
suhu, paparan asap). Hasil dari,

Kata kunci: Sensor kantilever piezoresistif elektro-termal dalam pesawat (EtPCS), metode
pengurangan referensi, respons frekuensi, pengukuran waktu nyata

(Beberapa gambar mungkin muncul dalam warna hanya di jurnal online)

1. Perkenalan memantau pergeseran frekuensi resonansi [1-8]. Dalam sebagian

Microcantilever adalah struktur yang paling disederhanakan dan
banyak digunakan di bidang sensor berbasis sistem mikro-
elektro-mekanis (MEMS). Sensor kantilever dapat bekerja dalam
mode statis dan dinamis. Dalam mode dinamis, sensor kantilever
mengekstrak frekuensi resonansinya, yang ditunjukkan oleh
puncak respons amplitudo / magnitudo pada output sensor.
Target penginderaan yang diukur (misalnya partikel nano di
udara, gas beracun, dan kelembaban) dapat dideteksi dengan:
besar aplikasi, sensor kantilever dihubungkan dengan sirkuit
elektronik. Pilihan mekanisme eksitasi dimana energi listrik secara
timbal balik diubah menjadi getaran mekanis memainkan peran
penting dalam kinerja keseluruhan. Mekanisme eksitasi yang paling
umum digunakan adalah elektrostatik [9], piezoelektrik [10], dan
aktuasi termal [11]. Selain itu, beberapa proses konversi energi
lainnya dapat digunakan untuk menggerakkan getaran dalam sensor
kantilever, seperti gaya Lorentz elektromagnetik [12,13]. Di sisi lain,
sebagai penginderaan

1361-6439 / 19/124006 + 12 $ 33,00 1 © 2019 IOP Publishing Ltd Dicetak di Inggris

J. Mikromekanik. Mikro.29(2019)124006 Setionodkk

komponen, kapasitif [14], piezoelektrik [13], piezoresistif [15], dan

transduser optik [16] adalah metode yang paling umum digunakan dalam
aplikasi sensor kantilever. Dalam pekerjaan ini, kami mengembangkan
sensor kantilever berbasis MEMS dengan eksitasi termal tertanam dan
komponen penginderaan piezoresistif. Transduser termal dan piezoresistif
sangat menarik karena kemudahan implementasinya, fabrikasi yang
kompatibel dengan semikonduktor oksida logam komplementer (CMOS)
dan memfasilitasi kesederhanaan dalam pemrosesan sinyal. Jika
dibandingkan dengan pendekatan penggerak piezoelektrik, yang biasa
digunakan dalam perangkat gelombang akustik, lebih sedikit kesulitan
yang dapat diharapkan dalam kompatibilitas integrasi dengan sirkuit
untuk pemrosesan sinyal [17]. Dalam studi lain, eksitasi termal juga
digunakan dalam aplikasi penginderaan kantilever bio / kimia portabel
karena keunggulan tegangan operasi yang rendah dan kemudahan
integrasi on-chip [18].
Namun demikian, sensor kantilever MEMS memerlukan sistem
elektronik pembacaan yang efektif terutama untuk tujuan
pengukuran waktu nyata. Dengan mengukur secara real-time,
data dengan cepat disediakan untuk mengevaluasi parameter
pengukuran dengan segera. Berkaitan dengan sensor resonansi,
sistem berbasis phaselocked loop (PLL) banyak digunakan untuk
memungkinkan pelacakan frekuensi resonansi terus menerus
secara real-time / online [19-21]. Namun, beberapa kendala
masih ditemui saat melakukan pengukuran waktu nyata
menggunakan sensor kantilever piezoresistif elektrotermal dalam
pesawat (EtPCS). Makalah ini menggambarkan bagaimana
menyelesaikan beberapa tantangan yang disorot di EtPCS,
terutama yang terkait dengan respons fase pembalikan dan
respons fase monoton berkekuatan rendah. Misalnya, respons
fase pembalikan merupakan faktor penghambat dalam mencapai Gambar 1.(sebuah). Tata letak dan pemodelan elemen hingga

kondisi penguncian yang tepat untuk sistem PLL. Di sisi lain, fase
berkekuatan rendah dapat memiliki efek yang tidak stabil pada
respons frekuensi selama paparan analit, yang selanjutnya dapat
berpotensi lebih lanjut mengurangi rentang pengukuran
pelacakan resonansi. Oleh karena itu, respons frekuensi yang
ditingkatkan dari EtPCS diperlukan untuk melakukan pelacakan
frekuensi resonansi dalam rentang frekuensi yang luas,
2. Self-actuating dan self-sensing sensor
kantilever MEMS
Sebuah sensor kantilever self-actuating / -sensing memiliki kemampuan
menarik dan mendeteksi defleksi dengan sendirinya. Untuk sensor
kantilever kami (EtPCS), mekanisme penggerak sendiri dan pengindraan
diri diwujudkan dengan dopingp-jenis resistor silikon, yang
dimanifestasikan sebagai resistor pemanas (HR) dan jembatan Wheatstone
bentuk-U (WB), masing-masing. Pada prinsipnya, menempatkan bagian
penginderaan jauh dari bagian penggerak pemanas akan mengurangi efek
parasit termal langsung. Namun, untuk mendapatkan amplitudo defleksi
maksimum kantilever dan sensitivitas maksimum pengukur regangan, HR
dan WB harus ditempatkan sedekat mungkin dengan posisi ujung penjepit
kantilever. Sebagai tradeoff antara crosstalk dan sensitivitas, kami
menggunakan desain seperti yang ditunjukkan pada gambar1(sebuah).
Pembuatan EtPCS direalisasikan menggunakan micromachining massal
silikon seperti yang dijelaskan secara singkat sebagai berikut:
(FEM) hasil simulasi EtPCS dengan HR 1 kΩ dalam resistensi (p-
silikon; doping ringan; kapasitas panas spesifikCp= 700 J
(kg×K)1; koefisien ekspansi termalα =2.6×106K1). (b). Foto SEM
tampak atas dari permukaan atas EtPCS yang menunjukkan HR
dan WB berbentuk U. Pembesaran terperinci (inset)
menunjukkan defleksi dalam bidang balok kantilever karena
eksitasi termal oleh HR, yang dapat diselidiki secara optik di
dalam ruang SEM.
sebuah. Sebuahsebuah-jenis wafer silikon curah (kan1 0 0kan, 1–10 cm,
275±15µm dengan ketebalan), potong-potong 30×30mm2, digunakan
sebagai sampel dasar.
b. Proses oksidasi yang terdiri dari oksidasi kering dan
basah pada suhu 1100°C dilakukan untuk menumbuhkan
lapisan masker silikon dioksida.
c. Resistor pemanas dan jembatan fullWheatstone
dipolakan melalui fotolitografi, etsa oksida dalam
bufferedhydrofluoric acid (HF), dan doping boron dari
emulsi silika pada suhu 1100°C untuk difusi. Selanjutnya,
difusi boron tambahan di bawah suhu 1200°C dilakukan
untuk mendapatkan kontak resistansi rendah terhadap
metalisasi.
d. Lapisan ganda Cr setebal 30 nm dan Au setebal 300 nm
diendapkan dengan deposisi berkas elektron.
e. Pada langkah terakhir, enam mikrokantilever dengan
dimensi 1000×170×15µM3diperoleh setelah etsa depan
dan belakang dengan cara etsa kering kriogenik induktif-
coupled plasma (ICP) menggunakan campuran SF6dan

2
J. Mikromekanik. Mikro.29(2019)124006
HAI2. Untuk detail lebih lanjut tentang proses fabrikasi kami merujuk
ke [5].
Dalam sensor berbasis resonansi seperti kantilever, pilihan
eksitasi dan komponen penginderaan memainkan peran penting
dalam kinerja sensor. Di EtPCS, HR menghasilkan aktuasi
mekanis, sedangkan WB mengubah regangan yang dihasilkan
menjadi sinyal listrik. Aktuasi mekanis diperoleh dengan
menerapkan tegangan ACVackarena (t) ditumpangkan pada
tegangan DCVdcke HR, yang terletak di ujung penjepit kantilever.
Kerugian daya yang dihasilkan (disipasi)Pmengarah ke efek
pemanasan Joule yang akibatnya menghasilkan gradien suhu
lateral di sekitar HR [5,22] dan dengan demikian mendorong
balok kantilever menjadi defleksi lateral seperti yang
digambarkan pada sisipan gambar1(b) Daya termal
diklasifikasikan oleh tiga komponen, yaitu satu komponen statisP
statusdan dua komponen dinamisPdyn1danPdyn2, yang berisi
frekuensi ω dan 2ω, masing-masing. komponen statisPstatus
bekerja pada balok kantilever dan mengembangkan tegangan
tekan karena elevasi suhu statis, yang secara signifikan dapat
mempengaruhi frekuensi resonansi. Dua komponen dinamisPdyn1
dan Pdyn2menghasilkan perubahan suhu dinamis (gelombang
termal) di sekitar HR, yang selanjutnya menghasilkan regangan
periodik pada balok kantilever. Daya termal yang hilang diberikan
oleh [18,22]:
P=Pstatus+Pdyn1+Pdyn2,
V2 V2AC 2V V2
P=DC+ + DCVACkarena (t) + ACkarena
RSDM 2RSDM RSDM 2RSDM
Pemodelan elemen yang disatukan secara luas digunakan
untuk menggambarkan elevasi suhu sebagai fungsi dari
resistansi termal yang efektifRthdan kapasitansi termalCthdari
mikrostruktur. Fungsi transfer untuk aktuator elektrotermal
diberikan oleh [22,23]:
Rth
Hth(ω) = =
Tmaksimal
P 1 +tahunthCth
dengan suhu maksimumTmaksimaldan konstanta waktu
termal:
τth=RthCth.
Tahanan termalRthdihitung dengan mempertimbangkan
konduksi termal dari pemanas ke substrat silikon dan
langsung ke lingkungan (udara) dengan konveksi termal [24,
25], sedangkan radiasi dapat diabaikan [26]. Temperatur
sekitar dapat mempengaruhi aktuator elektrotermal melalui
koefisien perpindahan panas yang selanjutnya dapat
mempengaruhi kinerja aktuasi daya (lihat persamaan (3)).
Sebuah kantilever, sebagai resonator massa pegas satu
derajat kebebasan (SDOF), dijelaskan oleh persamaan gerak
menurut keseimbangan gaya (model balok Euler – Bernoulli) [
22]:
mu(t) +cu̇(t) +ku(t) =F(t)
di manaM,c, dankmewakili, massa efektif, koefisien
redaman efektif, dan kekakuan efektif sistem, masing-
masing, danAnda(t) adalah respon perpindahan dari
Setionodkk
resonator SDOF. Dalam kasus gaya aktuasi harmonik yang
diterapkanFkarena (t+θ) pada frekuensiω dan faseθ(ω),
persamaan gerak diberikan oleh:
mu(t) +cu̇(t) +ku(t) =Fωkarena (t+θ (ω)). (6)
Regangan periodik yang dihasilkan oleh pembuangan panas yang
dihasilkan dari HR akhirnya akan menghasilkan dua gaya mekanik
harmonik yang sesuaiFω(t) danF2ω(t) untuk menggerakkan balok
kantilever [27]:
Fω (t) =Fω karena (t+θT1(ω)) (7)
F2ω (t) =F2ω karena (2t+θT2(2ω)) (8)
di manaRSDMadalah resistensi HR danθT1danθT2adalah pergeseran
fase termal yang sesuai dengan penundaan fase karena proses
pemanasan yang disebabkan olehPdyn1danPdyn2komponen
dinamis dari daya termal, masing-masing.
Gaya eksitasi totalF(t) yang bekerja pada balok kantilever
adalahF(t) =Fω(t) +F2ω(t). KapanVdc= 0,PstatusdanPdyn1
akan menjadi nol, jadi hanya adaPdyn2yang berkontribusi pada gaya
eksitasi yang dihasilkan. Oleh karena itu, gaya eksitasiF(t)
menggerakkan berkas resonansi menjadi getaran pada frekuensi 2ω:
F(t) =F2ω (t) =F2ωkarena (2t+θT2(2ω)). (9)
Selanjutnya, nilai resistansir(t) pada perubahan WB
(1) sebagai frekuensi 2ω dapat dinyatakan sebagai:
r(t) =RSDMε (2ω)karena (2t+θT2(2ω) +θs(2ω)) di mana ε
(10)
(2t). (2ω) adalah laju variasi resistansi deteksi yang
(2) berkontribusi pada amplitudo getaran pada frekuensi 2ω dan
θsadalah pergeseran fasa vibrasi.
Selanjutnya, jikaVdc⩾ Vac, besarnya disipasi termal di
ω akan lebih dari empat kali disipasi daya termal pada
2ω. Kekuatan pendorong di 2ω relatif kecil, sehingga
bisa diabaikan di sini. Oleh karena itu, gaya eksitasiF(t)
akan:
(3) F(t) =Fω (t) =Fω karena (t+θT1(ω)) (11)
dan nilai resistansi dari perubahan WBr(t) bergantung padaω
dapat dinyatakan sebagai:
(4) (t) =RSDMε (ω)karena (t+θT1(ω) +θs(ω)). (12)
Pada saat ini, komponen utama sinyal keluaran memiliki frekuensi
yang sama dengan sinyal eksitasi. Sisipan pada gambar1(b)
menunjukkan getaran dalam bidang dari balok kantilever yang
dioperasikan dalam mikroskop elektron pemindaian (SEM). Kantilever
ini digerakkan olehVac= 2 V ditumpangkan keVdc= + 4 V. Defleksi balok
kantilever yang diukur adalah (477±25) nm. Nilai ini diperoleh
berdasarkan gambar SEM yang diambil (sisipan gambar1(b)) yang
dianalisis menggunakan ImageJ [28] perangkat lunak untuk
meminimalkan atau menghilangkan kemungkinan kesalahan dalam
pengukuran defleksi yang dilakukan dengan metode point-to-point
langsung, yang tersedia dalam sistem mikroskop.
Respons terhadap aktuasi mekanis ini lebih dirasakan
(5) oleh empat piezoresistor yang dikonfigurasi dalam WB berbentuk U, di mana:
desain ini telah disesuaikan dengan distribusi regangan pada
permukaan atas kantilever selama pembengkokan lateral [3].
Angka2 menunjukkan sinyal eksitasiVac= 2 V ditumpangkan ke a
3
J. Mikromekanik. Mikro.29(2019)124006
Gambar 2.Sinyal eksitasi dan respons dari EtPCS menunjukkan
perbedaan fase yang disebabkan oleh pergeseran fase termalθTdan
pergeseran fasa getaranθs.
offset DC dariVdc= + 5 V, menghasilkan respons sinusoidal
pada WB dengan amplitudo ~ 1,9 V, yang diperkuat pada
penguatan 61 menggunakan penguat instrumentasi
(AD8429). Menurut persamaan (12), perbedaan fasa antara
sinyal eksitasi dan sinyal getaran termasuk pergeseran fasa
termalθT(ω) dan pergeseran fasa getaranθs(ω). JikaθT(ω)≠ 0,
perbedaan fase tidak 90°,ketika berkas resonansi dalam
keadaan resonansi.
Pergeseran fase termal ini bisa menjadi faktor parasit yang
menghasilkan ketergantungan frekuensi amplitudo dan respons
fase yang tidak ideal. Oleh karena itu, optimalisasi respons
frekuensi harus dilakukan dengan mempertimbangkan efek
penginderaan eksitasi parasit.
Penyiapan eksperimental untuk
karakterisasi respons frekuensi
Amplitudo dan tanggapan fase diukur dalam domain frekuensi.
Respons frekuensi sensor kantilever dapat diperoleh dengan
menggunakan instrumen penguat pengunci, yang mengekstrak
sinyal pada gelombang pembawa yang diketahui dengan
mengoperasikan perkalian inputnya dengan sinyal referensi
(pembawa) dan kemudian menerapkan filter low-pass ke hasil.
Angka3menunjukkan bagaimana penguat pengunci bekerja dan
amplitudo yang dihasilkanRdan respon faseθ. Sinyal input (yaitu
sinyal output kantilever yang diperkuat) dibagi dan dikalikan
secara terpisah dengan sinyal referensi (dari sumber sinyal) dan
90° -salinan fase-bergeser. Output dari mixer melewati filter low-
pass, menghasilkan dua outputXdankamu, yang masing-masing
sesuai dengan komponen fase dan kuadratur. Filter low-pass
mengambil bagian dari sinyal yang berkorelasi dengan referensi,
pada dasarnya dengan merata-ratakan output dari mixer.
Selanjutnya, amplitudoRdan faseθ dapat dengan mudah
diturunkan dariXdankamudengan mengubah koordinat Cartesian
menjadi koordinat kutub menggunakan hubungan:
4
Setionodkk
Gambar 3.Skema penguat lock-in: sinyal input dikalikan dengan
sinyal referensi dan 90° -versi pergeseran fasa dari sumber
sinyal. Output mixer difilter low-pass untuk menolak
kebisingan dan 2ω komponen, dan akhirnya diubah menjadi
koordinat kutub, yaitu amplitudoRdan faseθ.
√
R=X2+kamu2 (13)
=atan2 (kamu,X) (14)
di mana atan2 adalah perpanjangan dari arctangent fungsi sudut terbalik
dan digunakan untuk memberikan rentang keluaran untuk sudut fasa
yang mencakup keempat kuadran, yaitu (dari -π keπ).
Kami menggunakan penguat pengunci MFLI dari Zurich
Instruments AG, Zurich, Swiss untuk mengkarakterisasi
respons frekuensi EtPCS. Sinyal sinusoidal dengan
amplitudoVac= 2 V danVdc= + 5 V dibangkitkan untuk
menggerakkan balok kantilever melalui HR. Regangan
lentur yang diinduksi selanjutnya dirasakan oleh WB dan
diubah menjadi sinyal listrik. Selanjutnya, sinyal keluaran
WB diperkuat oleh penguat instrumentasi AD8429 (Analog
Devices Inc., Boston, USA) padaG=61. Selain itu, substrat
silikon (sebuah-type) terhubung ke suplai WB (VWB), yang
dimaksudkan untuk menghindari kebocoran arus di
sepanjang piezoresistor WB.
4. Respon frekuensi sensor kantilever piezoresistif
elektro-termal dan metode optimasi
Metode sapuan frekuensi digunakan untuk menunjukkan
respons frekuensi. Sinyal sinusoidal yang dihasilkan oleh MFLI
dalam bandwidth frekuensi tertentu diumpankan ke bagian
aktuasi (HR) dan selanjutnya amplitudoRdan respon faseθ
diukur. Karena efek parasit yang terjadi selama aktuasi sinar,
respons frekuensi yang tidak ideal muncul. Efek crosstalk
parasit antara penggerak dan komponen penginderaan
sering terjadi dalam sistem mikroresonator terintegrasi,
misalnya piezoelektrik, kapasitif [29], dan penggerak /
penginderaan termal-piezoresistif. Angka4menggambarkan
perbandingan antara aktuasi piezoelektrik elektro-termal dan
eksternal terintegrasi. Sebuah respon frekuensi non-ideal
dihasilkan (gambar4(a)) ketika kantilever digerakkan oleh:
J. Mikromekanik. Mikro.29(2019)124006 Setionodkk

Gambar 4.(a) Sensor kantilever yang digerakkan oleh elektro-termal

menghasilkan amplitudo asimetris (hitam) dan respons fase terbalik (biru)
dan (b) kantilever yang sama yang digerakkan oleh aktuator geser
piezoelektrik eksternal (HR dinonaktifkan) menghasilkan amplitudo
simetris (hitam) dan respon fase monoton (biru).

elemen pemanas (HR). Sebaliknya, eksitasi oleh aktuator piezo

eksternal menghasilkan amplitudo simetris dan respons fase
monoton dengan magnitudo tinggi (gambar4(b)).
Respons frekuensi yang tidak ideal pada EtPCS diamati dalam
dua bentuk. Yang pertama adalah bentuk amplitudo asimetris
(gambar5(a), garis hitam penuh) disertai dengan respons fase
terbalik (gambar5(b), garis biru penuh), sedangkan yang kedua
adalah bentuk amplitudo simetris (gambar6(a), garis hitam
penuh) disertai dengan transisi fase nonmonotonik berkekuatan
rendah pada resonansi (gambar6(b), garis biru penuh). Kedua
jenis respons frekuensi non-ideal harus ditingkatkan, jika kita
bermaksud untuk mengunci dan melacak frekuensi resonansi
EtPCS secara real-time menggunakan sistem berbasis PLL.
Idealnya, amplitudo harus memiliki bentuk simetris yang disertai
dengan respons fase monoton berkekuatan tinggi. Untuk
memenuhi persyaratan ini, kami baru-baru ini memperkenalkan
metode pengurangan referensi untuk mengoptimalkan respons
frekuensi [30,31]. Metode pengoptimalan ini dianggap jauh lebih
sederhana, daripada merancang bagian penginderaan jauh dari
Gambar 5.Diukur (a) bentuk amplitudo asimetris disertai dengan (b)
respons fase terbalik yang ditumpangkan oleh parameter referensi
konstan. (c) Amplitudo dan respons fase yang dihitung dari EtPCS
menggunakan metode pengurangan referensi.
aktuator termal untuk pengurangan efek parasit termal langsung seperti
di [17,32]. Dengan mempertahankan desain kantilever konvensional di
mana WB penuh dikonfigurasikan dengan semua resistor yang terletak di
kantilever, kami memfasilitasi kantilever dalam mode pesawat dengan
respons amplitudo yang lebih tinggi dan sensitivitas regangan WB yang
lebih tinggi.
Dalam metode pengurangan referensi, kami mempertimbangkan
parameter referensi amplitudoRrdan faseθr, yang disesuaikan atau
diprogram di dekat garis dasar sensor. Angka5(a), (b),6(a) dan (b)
menggambarkan parameter referensi (konstanta

5
J. Mikromekanik. Mikro.29(2019)124006 Setionodkk

Gambar 7.Optimalisasi sinyal keluaran EtPCS menggunakan pengurangan sinyal

referensi yang diimplementasikan dalam (a) solusi perangkat keras dan (b) perangkat
lunak.

masing-masing. Seperti yang ditunjukkan pada gambar5(c)

dan6(c), penerapan parameter referensi secara dramatis
meningkatkan respons frekuensi, menghasilkan bentuk garis
amplitudo simetris dan respons fase monoton. Khususnya
untuk respons fase yang dioptimalkan, transisi fase ~ 196.2°
dan ~ 184,5°besaran yang diperoleh.
Pengurangan parameter referensi dapat diimplementasikan
menggunakan dua metode. Seperti yang diilustrasikan pada gambar7, jika
kita bermaksud untuk mengurangi sinyal referensi di perangkat keras, kita
dapat menggunakan output sinyal RCL, yang kemudian dikurangi secara
diferensial dari output sensor oleh penguat instrumentasi (gambar 7
(sebuah)). Sementara, dalam kasus pendekatan perangkat lunak
Gambar 6.Diukur (a) bentuk garis spektral amplitudo simetris disertai
(ditunjukkan pada gambar7(b)), parameter referensi dapat diprogram
dengan (b) respons fase non-monoton berkekuatan kecil yang
menggunakan persamaan diferensial (persamaan (15) - (18)).
ditumpangkan oleh parameter referensi konstan. (c) Amplitudo dan
respons fase yang dihitung dari EtPCS menggunakan metode x1=Rskarenaθs;kamu1=Rskalimatθs; (15)
pengurangan referensi.

nilai amplitudo (garis putus-putus merah) dan fase (garis putus- x2=Rrkarenaθr;kamu2=Rrkalimatθr (16)
putus ungu)) dikonfigurasi relatif dekat dengan garis dasar
sensor untuk amplitudoRdan faseθ, masing-masing. Seperti yang
∆x=x1-x2;∆kamu=kamu1-kamu2 (17)
ditunjukkan pada gambar5(a) dan (b), kami mengoptimalkan √
Rmemilih= x+2kamu2;θmemilih= atan2 (∆kamu,∆x) (18)
bentuk amplitudo asimetris dan respons fase terbalik
menggunakan nilai referensi amplitudo dan fase 177 mV dan 65°, di manaRs,Rr, danRmemilihadalah amplitudo sensor, referensi, dan
masing-masing. Dalam kasus bentuk amplitudo simetris dan respons yang dioptimalkan, masing-masing, sementaraθs,θr,θmemilih
respons fase non-monotonik berkekuatan rendah, parameter adalah fase sensor, referensi, dan respons yang dioptimalkan,
referensi disesuaikan ke 1,267 V dan 7°untuk amplitudo dan fase, masing-masing.

6
J. Mikromekanik. Mikro.29(2019)124006
Angka 8.Frekuensi resonansi tergantung waktu (fR) pelacakan EtPCS
yang difungsikan dengan ZnO nanorods (NRs) dan kitosan rakitan
monolayer di bawah tingkat rH yang berubah.
5. Implementasi parameter referensi konstan
untuk pelacakan frekuensi resonansi
Sensor kantilever resonansi mengalami pergeseran frekuensi
resonansifRdiinduksi oleh massa tambahan dari target analit tertentu
yang turun dan menempel di permukaannya. Hasil percobaan
ditunjukkan pada gambar8mendemonstrasikan pelacakan frekuensi
resonansi dari EtPCS yang difungsikan dengan ZnO nanorod arrays
(NRs) dan kitosan di bawah perubahan kelembaban relatif (rH). ZnO
NR dan kitosan pada kantilever berinteraksi langsung dengan
lingkungan dengan menyerap dan mendesorbsi molekul air dan
selanjutnya menghasilkan respon setiap kali terjadi perubahan
kondisi lingkungan [33]. Tingkat rH dicapai dengan menggunakan
senyawa kimia yang berbeda ditempatkan dalam botol, di mana
selanjutnya menghadap ke sensor kantilever. Dalam percobaan ini,
kami memilih pendekatan perangkat keras untuk mendapatkan sinyal
keluaran yang dioptimalkan menggunakan sinyal referensi dari
rangkaian RCL. Pada awalnya, sensor diletakkan di lingkungan
dengan tingkat rH yang cukup rendah, yaitu ~ 17,5%. Sensor EtPCS
mengungkapkan perubahan frekuensi yang besar, yaitufR-268,8 Hz
setelah rH diubah menjadi ~ 47% dan ΔfR+102,9 Hz danfR-92,2 Hz
diamati ketika rH masing-masing diatur ke ~ 37,5% dan ~ 46,6%.
Namun, menuju tingkat rH yang lebih tinggi sekitar 50%, EtPCS
menunjukkan waktu pengendapan yang lebih lambat (~ 137 detik)
dibandingkan dengan respons pada rH yang lebih rendah (37 - 57
detik). Hal ini diduga disebabkan oleh konfigurasi yang tidak ideal
antara sensor dan sinyal referensi yang terjadi pada 50% rH. Adanya
pergeseran frekuensi yang tidak stabil pada 50% rH relatif terhadap
sinyal referensi, menyebabkan kondisi bentuk sinyal yang
dioptimalkan tidak dapat dipertahankan lagi. Diskusi terperinci
tentang efek respons frekuensi tidak stabil dilakukan di bagian6.
Kami juga memeriksa kinerja EtPCS di bawah paparan asap rokok
di mana respons yang dioptimalkan dihasilkan melalui pendekatan
perangkat lunak, yaitu terutama oleh parameter referensi yang dapat
diprogram. Dalam percobaan ini, kami menggunakan EtPCS, yang
ditutupi oleh partikel polistiren magnetik (~ 2µberukuran m) pada
balok kantilever silikon (gambar9).
7
Setionodkk
Gambar 9.Foto mikroskop optik tampilan atas dari permukaan atas EtPCS
menunjukkan partikel polistiren magnetik pada balok kantilever yang
membuat permukaan penginderaan lebih kasar.
Partikel magnetik diharapkan secara efektif meningkatkan
kekasaran permukaan balok kantilever dan selanjutnya
meningkatkan pemanenan uap air [34]. Selanjutnya, seperti yang
ditunjukkan dalam [35-37], kandungan air dan beberapa
komponen volatil yang terkandung dalam asap rokok.
Pengaturan percobaan dilakukan mirip dengan yang ada di
gambar14, tetapi kami juga memasukkan sensor suhu /
kelembaban relatif dan penghitung partikel laser DC1100 Pro dari
Dylos Corporation [38] ke dalam chamber sebagai referensi.
DC1100 Pro dapat mendeteksi partikel kecil hingga 0,5µm dan
partikel besar dalam kisaran ukuran 2,5µm dan di atas. Hasil
eksperimen digambarkan pada gambar10menunjukkan bahwa
perubahan rH dan suhu tampaknya memiliki kontribusi besar
terhadap pergeseran frekuensi resonansi EtPCS.
Pembakaran tembakau yang dilepaskan akan meningkatkan
suhu dan selanjutnya menghasilkan uap air dan komponen volatil
dalam asap rokok, yang selanjutnya dapat memodifikasi rH di
dalam ruangan. Molekul air dan kandungan volatil lainnya
seharusnya terperangkap sementara pada balok kantilever,
sehingga mengungkapkan respons kelembaban. Sedangkan
koefisien temperatur modulus Young dan koefisien muai panas
sebagai parameter intrinsik silikon memberikan kontribusi paling
besar terhadap respon temperatur. Kedua faktor ini
menghasilkan trade-off tertentu yang mempengaruhi resonansi
kantilever. Di sisi lain, bagaimanapun, konsentrasi jumlah partikel
jelaga yang ditunjukkan pada gambar11hampir tidak
menunjukkan korelasi dengan respons EtPCS saat rokok menyala.
Partikel kecil terdeteksi pada nilai hampir nol, dan partikel besar
cenderung berkurang setelah rokok dinyalakan (pada waktu ~ 5
menit) (lihat gambar inset11). Konsentrasi partikel yang besar
(kecil dan besar) yang muncul pada ~ 5 menit dan ~ 20 menit
disebabkan oleh abu, yang dilepaskan ke udara selama
penempatan dan pemindahan rokok ke dan dari ruangan,
masing-masing.
Percobaan serupa kemudian dilakukan untuk melakukan
pelacakan resonansi dari EtPCS telanjang, yaitu balok kantilever
silikon tidak ditutupi oleh lapisan tambahan atau partikel
tertentu. Hasil yang ditunjukkan pada gambar12tunjukkan itu
J. Mikromekanik. Mikro.29(2019)124006 Setionodkk

Gambar 10.Pelacakan frekuensi resonansi bergantung waktu dari EtPCS dengan partikel magnetik yang menunjukkan pergeseran frekuensi resonansi di bawah
asap rokok yang menyebabkan perubahan kelembaban dan suhu relatif di dalam ruangan.

Gambar 11.Konsentrasi jumlah partikel selama paparan asap rokok pada EtPCS dengan partikel magnetik diukur dengan Dylos DC1100 Pro.
Sisipan menunjukkan pembesaran detail konsentrasi partikel sebelum penghapusan rokok.

perubahan rH dan suhu, yang mirip dengan gambar10, hanya memiliki
efek kecil pada pergeseran frekuensi resonansi (yaitu ~ 11 Hz secara total)
dibandingkan dengan EtPCS yang ditutupi oleh partikel magnetik (yaitu ~
800 Hz secara total). Selanjutnya, keberadaan partikel asap (gambar13)
tidak menunjukkan pengaruh yang signifikan terhadap pergeseran
resonansi seperti pada percobaan pendahuluan. Oleh karena itu, karena
tidak ada tegangan pengambilan sampel yang diterapkan ke EtPCS
(berlawanan dengan [5]) partikel jelaga tidak akan menempel atau
disimpan pada kantilever yang menyebabkan pergeseran frekuensi
resonansi yang tidak signifikan yang disebabkan oleh partikel. Perilaku
serupa dari penurunan bergantian dan peningkatan frekuensi juga
ditemukan menggunakan resonator MEMS piezoelektrik di bawah asap
rokok dan terkait dengan pengendapan dan penguapan komponen semi
volatil dalam asap rokok, misalnya nikotin dan air, daripada partikel jelaga
[20].
Pada prinsipnya, penerapan metode pengurangan referensi, baik
menggunakan perangkat keras atau perangkat lunak, dapat bekerja
untuk melacak frekuensi resonansi EtPCS di bawah analit.
paparan. Namun demikian, tampilan konfigurasi yang tidak
ideal antara sensor dan referensi tidak dapat dikecualikan,
sehingga pelacakan frekuensi resonansi pada rentang
perubahan frekuensi yang lebih luas masih sulit.
Respons frekuensi sensor kantilever elektro-
termal di bawah paparan analit
Untuk mengkarakterisasi EtPCS di bawah paparan analit, diperlukan
eksperimen lebih lanjut untuk menganalisis perilaku resonansinya
selama penambahan massa. Dalam konteks ini, kami memfungsikan
EtPCS dengan ~ 2µpartikel polimetil metakrilat (PMMA) berukuran m
(dari Sigma-Aldrich Inc., St. Louis, USA) untuk meningkatkan
kemampuannya mengumpulkan analit target dalam asap rokok.
Karakteristik PMMA, yang memiliki atom karbon pada rantai tulang
punggungnya dan memiliki hidrofobisitas rendah, diinginkan untuk
mendorong pengumpulan molekul berbasis karbon dan hidrogen
yang terkandung dalam asap. Skema dari

8
J. Mikromekanik. Mikro.29(2019)124006 Setionodkk

Gambar 12.Pelacakan frekuensi resonansi tergantung waktu dari EtPCS telanjang yang menunjukkan pergeseran frekuensi resonansi yang tidak signifikan di bawah asap rokok
yang mendorong perubahan kelembaban dan suhu relatif di dalam ruangan.

Gambar 13.Konsentrasi jumlah partikel selama paparan asap rokok pada EtPCS telanjang diukur dengan Dylos DC1100 Pro. Inset
menunjukkan pembesaran rinci dari konsentrasi partikel sebelum penghapusan rokok.

pengaturan eksperimental yang digambarkan pada gambar14

menunjukkan bahwa suatu chamber digunakan untuk
membatasi distribusi asap rokok. Sensor kantilever, yang terletak
di dalam ruangan, terkena asap yang dihasilkan. Selanjutnya,
instrumen MFLI digunakan untuk memperoleh respon frekuensi.
Metode sapuan frekuensi digunakan untuk menunjukkan
respons frekuensi sebelum dan selama paparan asap. Angka
15(a) menggambarkan respons frekuensi pada empat kondisi
berbeda yang menunjukkan pergeseran frekuensifR1≈
23,44 Hz,fR2≈ 13.02, danfR3≈ 10,41Hz. Namun, karena rasio redaman
yang rendah dari balok kantilever, respons frekuensi yang tidak stabil
terjadi selama paparan asap. Dalam respons frekuensi yang tidak
stabil, puncak amplitudo resonansi dan fase resonansi tidak hanya
menunjukkan pergeseran frekuensi, tetapi juga perubahan yang
menyertainya dalam amplitudo dan pergeseran fase. Dengan Gambar 14.Skema pengaturan pengukuran untuk mengkarakterisasi
demikian, respons ini menyebabkan inkonsistensi fase resonansiθR, respons frekuensi EtPCS yang difungsikan menggunakan lapisan
yang menunjukkan penurunan dariθR1keθR4(memasukkan mikropartikel PMMA di bawah paparan asap.

9
J. Mikromekanik. Mikro.29(2019)124006
Gambar 15.(a) Respons frekuensi terukur dari EtPCS yang disertai dengan peningkatan amplitudo resonansi dan penurunan fase
resonansi dariθR1keθR4. (b) Respons frekuensi terhitung dari EtPCS yang menunjukkan respons fase spektral tetap dengan fase
resonansi konstan 22,5°.
dalam gambar15(sebuah)). Namun, fase resonansi konstan
diperlukan jika kita bermaksud melacak pergeseran frekuensi
resonansi secara akurat secara real-time menggunakan sistem
berbasis PLL. Dalam pengaturan PLL, frekuensi dikendalikan
berdasarkan kesalahan fase yang mengacu pada fase resonansi pada
titik setel. Karena itu,θRharus tetap berdiri konstan selama
pengukuran presisi paparan analit. Penerapan metode reference
subtraction diharapkan dapat mengatasi ketidakstabilan respon
frekuensi EtPCS selama pemaparan analit. Seperti yang ditunjukkan
pada gambar15(b), amplitudo yang dihitung dan tanggapan fasa
menghasilkan pergeseran frekuensi murni dan tidak ada perubahan
dalam amplitudo atau besaran fasa. Oleh karena itu, fase resonansiθR
disimpan pada ~ 22,5°dalam rentang frekuensi resonansi yang dipilih.
Namun demikian, masih ada tantangan yang tersisa dalam pelacakan
resonansi waktu nyata, seperti bagaimana memprediksi parameter
referensi secara bersamaan selama perubahan resonansi. Menganalisis
pola pada keadaan resonansi dari perubahan amplitudo sensorRsRdan fase
sensorθsRdan kemudian menghubungkannya dengan parameter referensi
yang ditargetkan mungkin menjadi solusi yang tersedia untuk resonansi
waktu nyata yang dapat diprogram
10
Setionodkk
pelacakan. Pada prinsipnya,RsRdanθsRdapat dihitung selama
pelacakan frekuensi pada sistem pengukuran yang dapat
diprogram. Nilai terukur ini selanjutnya menjadi informasi
dasar untuk menentukan parameter referensi (amplitudo dan
fasa):
∆Rr=cR×∆RsR (19)
∆θr=cθ×∆θsR (20)
dimanaRrdanθradalah kenaikan / penurunan amplitudo
referensi dan fase relatif terhadap nilai sebelumnya.
ParameternyacRdancθadalah rasio koefisien antara
perubahan parameter referensi yang ditargetkan ke .
yang dicirikanRsRatauθsR.
ItucRnilai 0,966 dan 1,388 digunakan untuk memperkirakan
parameter referensi untuk respons frekuensi pada gambar10
(sebuah). Hasil perhitungan menunjukkan bahwa kesalahan ~
12% dan ~ 14% telah muncul untuk amplitudo referensi dan fase
referensi, masing-masing. Jadi, persamaan (19) dan (20) masih
perlu beberapa perbaikan untuk mendapatkan yang lebih akurat
J. Mikromekanik. Mikro.29(2019)124006
parameter referensi. Selanjutnya, parameter referensi yang dapat
diprogram dalam skema algoritma yang dikembangkan akan
digabungkan dengan PLL digital sebagai inti dari sistem
pengukuran frekuensi resonansi.
7. Kesimpulan
Kopling parasit termal langsung seharusnya berkontribusi pada
munculnya respons fase non-ideal, yang terjadi pada sensor
kantilever piezoresistif elektro-termal dalam pesawat. Dalam domain
frekuensi, respons non-ideal ini disajikan dalam bentuk respons fase
balik atau respons fase non-monoton dengan magnitudo rendah.
Respon fase monotonik berkekuatan tinggi dan konsistensinya
merupakan aspek penting untuk mengaktifkan sistem berbasis fase-
locked loop (PLL) untuk pengukuran frekuensi resonansi secara real-
time. Metode pengurangan referensi dapat mengungkapkan respons
yang dioptimalkan yang menunjukkan bentuk amplitudo simetris dan
respons fase monoton lebar, di mana 90°, -90°atau 0°dapat mewakili
fase resonansi yang tidak ambigu di tengah bentuk monoton yang
ideal. Namun, persyaratan ini berguna untuk sistem analog-PLL yang
memiliki keterbatasan dalam pendeteksian fase. Untuk sistem PLL
digital, bentuk monoton dalam respons fase lebih penting. Selama
tidak ada ambiguitas dalam fase resonansi, PLL digital masih dapat
mengunci frekuensi resonansi. Selain itu, metode ini juga mampu
melakukan perubahan frekuensi yang besar dan memberikan
respons fase resonansi yang konsisten bahkan jika sensor awalnya
menunjukkan fase resonansi yang tidak stabil selama pemaparan
analit. Fase resonansi yang konsisten seperti itu diperlukan untuk
memastikan keakuratan penguncian resonansi. Selain itu, akurasi
penguncian juga tergantung pada nilai trade-off dari bandwidth filter
yang digunakan. Kita bisa mencapai nilai kebisingan ~ 200 mHz ketika
bandwidth filter diatur menjadi 30 dB. Parameter referensi
tampaknya menjadi bagian yang tidak terpisahkan dalam perjalanan
untuk mewujudkan sistem pengukuran yang berguna untuk sensor
kantilever piezoresistif elektro-termal dalam pesawat.
ucapan terima kasih
A Setiono mengucapkan terima kasih kepada Kementerian Riset,
Teknologi, dan Pendidikan Tinggi Republik Indonesia
(RISTEKDIKTI) atas beasiswa PhD RISET-Pro dengan No. 343 /
RISET-Pro / FGS / VIII/2016 yang direvisi dengan No. 37 / RISET-
Pro / FGS / III/2019 (Pinjaman Bank Dunia No. 8245-ID) dan
Center for Nano and Quantum Technologies (IG-Nano) Indonesia-
Jerman atas dukungannya. Proyek ini telah menerima dana dari
program EMPIR yang dibiayai bersama oleh Negara-negara yang
Berpartisipasi dan dari program penelitian dan inovasi Horizon
2020 Uni Eropa di bawah No. 17IND05 MikroProbe. WO Nyang'au
dan J Xu mengakui beasiswa doktoral dari Kementerian Federal
Jerman untuk Kerjasama Ekonomi dan Pembangunan (BMZ)
dalam Braunschweig International Graduate School of Metrology
(B-IGSM) dan China Scholarship Council (CSC) di bawah Grant CSC
No. 201506300019, masing-masing. M Bertke dan HS Wasisto
berterima kasih atas dukungan dari 'Niederssebuahchsisches
11
Setionodkk
Vorab ', Jerman, melalui 'Quantum- dan Nanometrology
(QUANOMET) 'inisiatif dalam proyek' NP 2-2 'dan' LENA-
OptoSense ', masing-masing. Kami juga berterima kasih
kepada Angelika Schmidt, Juliane Breitfelder, Aileen Michalski,
Karl-Heinz Lachmund, Ratna Indrawijaya dan Chandra Risdian
atas bantuannya selama persiapan alat penelitian serta
banyak diskusi yang bermanfaat.
ID ORCID
Andi Setionohttps://orcid.org/0000-0002-2271-2792
Wilson Ombati Nyang'au https://orcid.org/0000-0002-3927-
2439
Jiusuai Xu https://orcid.org/0000-0002-7279-4378
Maik Bertke https://orcid.org/0000-0003-3902-8521
Hutomo Suryo Wasisto https://orcid.org/0000-0002-4522-
3625
Erwin Peinerhttps://orcid.org/0000-0001-5801-813X
Referensi
[1] Bausells J 2015mikroelektron. Ind.1459-20
[2] Li X dan Lee DW 2012Meas. Sci. teknologi.2322001
[3] Mathew R dan Ravi Sankar A 2018Nano-Mikro
Lett.1035
[4] Wasisto HS, Uhde E dan Peiner E 2016Membangun. Mengepung. 95
13-20
[5] Wasisto HS, Merzsch S, Uhde E, Waag A dan Peiner E 2015
mikroelektron. Ind.14596-103
[6] Wasisto HS, Merzsch S, Waag A, Uhde E, Salthammer T dan
Peiner E 2013Sens. AktuatorB18077-89
[7] Xu J, Bertke M, Li X, Mu H, Yu F, Schmidt A, Bakin A dan
Peiner E 2018 Self-actuating dan self-sensing
ZNO nanorods / chitosan dilapisi mikrokantilever silikon
piezoresistif untuk penginderaan kelembabanSistem
Mekanik Mikro Elektro (MEMS) IEEE 2018(IEEE) hal206-9
[8] Wasisto HS, Merzsch S, Stranz A, Waag A, Uhde E,
Salthammer T dan Peiner E 2013Sens. AktuatorB
189146-56
[9] Krijnen B dan Brouwer DM 2014J. Mikromekanik. Mikro. 24
15006
[10] Goo NS, oleh Phan P dan Park HC 2009Guru Cerdas. Struktur. 18
37003
[11] Sierakowski A, Kopiec D, Majstrzyk W, Kunicki P, Janus P,
Dobrowolski R, Grabiec P, Rangelow IW dan Gotszalk T
2017Meas. Sci. teknologi.2834011
[12] Lee B, Prater CB dan King WP 2012nanoteknologi 23
55709
[13] Ghosh S dan Lee J EY 2019IEEE Trans. USG.
Ferroelektrik. frekuensi Kontrol66965-74
[14] Chiang CH, Chou MC, Hsieh PH dan Lu M SC 2016IEEE
Sens. J.161136-42
[15] Zhang G, Zhao L, Xu L, Jiang Z, Zhao Y, Wang X dan Liu Z 2013
Perangkat Elektron IEEE Lett.34921-3
[16] Holmes C, Jantzen A, Grey AC, Carpenter LG, Gow PC,
Lynch SG, Gates JC dan Smith PGR 2017IEEE Sens. J.17
6960-5
[17] Tao Y, Li X, Xu T, Yu H, Xu P, Xiong B dan Wei C 2011Sens.
AktuatorB157606-14
[18] Yu H, Li X, Gan X, Liu Y, Liu X, Xu P, Li J dan Liu M 2009
J. Mikromekanik. Mikro.1945023
[19] Wasisto HS, Zhang Q, Merzsch S, Waag A dan Peiner E 2014
Mikrosistem. teknologi.20559-69
J. Mikromekanik. Mikro.29(2019)124006
[20] Toledo J, Ruiz-Dsayaez V, Bertke M, Suryo Wasisto H, Peiner E
dan Ssebuahnchez-Rojas JL 2019mesin mikro10E145
[21] Chu CC, Dey S, Liu TY, Chen CC dan Li SS 2018J.
Mikroelektromek. sistem2759-72
[22] Merek O, Dufour I, Heinrich SM dan Josse F 2015MEMS
resonan(Weinheim: Wiley)
[23] Li M, Chen Q, Liu Y, Ding Y dan Xie H 2017mesin mikro 8
215
[24] Boneka JC dan Pruitt BL 2013Desain dan Aplikasi
Piezoresistor(New York: Springer)
[25] Boneka JC dan Pruitt BL 2012J. Mikromekanik. Mikro.22095012
[26] Boneka JC, Corbin EA, King WP dan Pruitt BL 2011aplikasi fisik
Mudah.98223103
[27] Shi H, Fan S, Xing W dan Sun J 2012 Studi desain dan simulasi dari
balok resonansi eksitasi elektrotermal berbasis
pada efek konsentrasi tegangan struktur celahProk. 2012
8th IEEE Int. Sim. pada Teknologi Instrumentasi dan Kontrol
(ISICT) (London, Inggris Raya)(IEEE) hal205-9
[28] Schneider CA, Rasband WS dan Eliceiri KW 2012Basah.
Metode9671-5
12
Setionodkk
[29] Zuo C, Sinha N, van der Spiegel J dan Piazza G 2010J.
Mikroelektromek. sistem19570-80
[30] Setiono A, Fahrbach M, Xu J, Bertke M, Nyang'au WO, Hamdana
G, Wasisto HS dan Peiner E 2019J. Sens. Sens. sistem837-48
[31] Setiono A, Xu J, Fahrbach M, Bertke M, Nyang'au WO,
Wasisto HS dan Peiner E 2019Kemosensor72
[32] Badarlis A, Pfau A dan Kalfas A 2015Sensor1524318-42
[33] Xu J, Bertke M, Wasisto HS dan Peiner E 2019J. Mikromekanik.
Mikro.2953003
[34] Dai X, Sun N, Nielsen SO, Stogin BB, Wang J, Yang S dan
Wong TS 2018Sci. Adv.4eaaq0919
[35] Liu C, Feng S, van Heemst J dan McAdam KG 2010anal
Bioanal. Kimia3961817-30
[36] Cattaneo V, Cetta G, Rota C, Vezzoni F, Rota MT, Gallanti
A, Boratto R dan Poggi P 2000J.Periodontol. 71425-32
[37] Buser H 1968Kontribusi Res. Tembakau4264-7
[38] Manikonda A, ZsayakosebuahN, Hopke PK dan Ferro AR 2016
J. Aerosol Sains.10229-40