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210629 - 클린룸 운영조건 개선안
210629 - 클린룸 운영조건 개선안
(1)
64.0 cmm
(2)
Fume hood ICP-MS
25.0 cmm
블로우 팬 상세
(3) 17.0 cmm (1) 외기 공급용 (Non-filtered)
(2) 내기순환 (Filtered) 및 외기공급 (Non-filtered)
(3) ICP-MS 배기용
<개선(안)>
Filter
(1)
64.0 cmm
Felt
Filter
36.0 cmm
Filter : 18.0 cmm
천장 점검구 개방
블로우 팬 상세