État d’avancement hebdomadaire

BENABDESSELAM Abderraouf

École de Technologie Supérieure

Département de Génie Mécanique

Sept 2023

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 Travail effectué

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 Résumé de l’article: Indirect Measurement Methods for Quality and
Process Control in Nanomanufacturing–. Par: Zhaoyan Fan et al.,
2022.

Résumé du mémoire : Optimisation des contraintes mécaniques au

démarrage des turbines hydroélectriques à l’aide de mesures
indirectes. Par: Diagne I.A, 2016.

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 Résumé de l’article

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 Paramètres d’intérêt pour les produits de nanofabrication

Dimensions critiques: La longueur, la largeur, l’épaisseur, la rugosité

et l’angle des caractéristiques géométriques, etc.

Propriétés mécaniques: Module de Young, la dureté, etc.

Propriétés thermiques: Capacité calorifique, conductivité thermique,

etc.

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 Méthodes Directes de Mesure des Nanostructures

Techniques de mesure: par des techniques d’imagerie telles que :

Microscopie à force atomique
Microscopie électronique à balayage
Microscopie à force photo-induite

Contraintes des méthodes directes:

Interaction physique directe entre les sondes ou les faisceaux
d’électrons/lumière et la nanostructure mesurée.
Nécessité d’une haute résolution spatiale.
Périodes de mesure longues en raison de la grande quantité de
nanostructures produites.
Principalement utilisées pour l’échantillonnage hors ligne => Non
adaptées à la surveillance en temps réel des processus.

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 Mesure Indirecte des Nanostructures

Mesure indirecte : Quantification des paramètres en cours de

processus tels que température, pression, concentration de solution de
gravure, etc.

Déduction des paramètres d’intérêt (dimensions, propriétés

mécaniques et thermiques) en se basant sur des techniques d’analyse
de données et de la physique sous-jacente.

Mesure en temps réel permettant des ajustements en rétroaction sans

interruption du processus.

Principale difficulté : Établissement de la relation entre les paramètres

mesurables et les propriétés des nanostructures produites (fonction de
transfert).

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 Méthodes Indirectes de Mesure des Nanostrucutres

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 Méthodes basées sur les données

Utilisation de modélisation statistique et d’apprentissage automatique

(Machine Learning) pour établir des relations entre les paramètres
d’entrée (paramètres d’usinage - qui sont dispo) et de sortie
(propriétés des nanostructures - qu’on veut déterminer).

La relation (la fonction de transfert) est établie par les données

historiques, par des algorithmes de ML.

Les modèles basés sur les données sont adaptés aux systèmes
complexes, offrant des temps de réponse plus rapides que les
méthodes basées sur la physique, mais nécessitent une immense
quantité de données historiques pour l’entrainement.

Applications de la méthode en nanofabrication: la détermination des

paramètres géométriques (dimensions).

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 Méthodes basées sur le modèle physique

Modélisation par Dynamique Moléculaire - MD.

Méthode des différences finies dans le domaine temporel – FDTD.

Méthode Monte Carlo

Méthode des éléments finis - FEA.

Le choix de méthode dépend des caractéristiques du processus

de nanofabrication et des objectifs de simulation.

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 Dynamique Moléculaire (MD)

Simule le mouvement des molécules à l’échelle nanométrique.

Utilise les lois de la physique newtonienne et un champ de force.
Limitée en termes de temps de simulation et de puissance de calcul.

Méthode des Différences Finies dans le Domaine Temporel

(FDTD)

Modélise les champs électromagnétiques et leur propagation.

Utile pour étudier les propriétés optiques des nanostructures.
Charge de calcul élevée en raison de la discrétisation de l’espace et du
temps.

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 Méthode Monte Carlo (MC)

Simulation probabiliste des déplacements de particules.

Analyse la conduction thermique, l’adsorption de gaz, et la taille des
nanostructures.
Fournit des distributions de probabilité à un état donné.

Méthode des Éléments Finis (FEA)

Divise une structure continue en éléments structuraux (Maillage).

Moins complexe que d’autres méthodes, réduit la charge
computationnelle.
Utilisée pour modéliser l’adhérence interfaciale, la rigidité... Adaptée
pour trouver les propriétés mécaniques et géométriques.

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