材料實驗—微影蝕刻 結報

為什麼要叫黃光製程？
是因為採用黃光照明實驗環境。因為黃光的波長長，能量小，對光阻的反應
相對較差，不破壞鍵結，比起其他短波色光，較不易破壞光阻上的鍵結。不
用紅光的原因是因爲紅光對人刺激較大。

Wafer 在經過 BOE 處理前後有什麼電性差異，是什麼影響這一個結果？

SiO2 在 BOE 處理前電阻很强，故不導電。但是在處理過後會變成 Si 結晶體，
幾乎沒有電阻而導電。BOE 是一種緩衝溶液的混合物，例如 NH4F 和
HF。BOE 可以蝕刻 SiO4 的表面使得其變成 Si 導電表面。

(圖一、圖二:經 BOE 處理之試片前後電阻量測對比)

旋塗光阻的製程中光阻的厚度與什麼有關，會影響後面的什麼步驟?
光阻的厚度除了與光阻液本身的黏著性有關之外，也與自旋轉速有關，轉速
愈快，光阻厚度愈薄。光阻厚度不足，可能在之後的顯影中幾乎被溶解，導
致蝕刻不完整、圖像不清楚，而蝕刻失敗。若光阻太厚，在曝光時會導致它
無法完全被侵蝕，以致於之後無法顯影。

曝光時間對蝕刻的影響是什麼?
曝光的作用是改變光阻對顯影劑的溶解度，而顯影是將光阻劑中對顯影劑溶
解度較高的光阻移除。曝光時間長短會影響顯影的結果。曝光時間太短，曝
光會不足，會使顯影劑無法完全侵蝕掉欲蝕刻區域的二氧化矽。

為什麼對準記號很重要,如果對不準會發生什麼事? (改)
若沒對準會影響在蝕刻後的圖像堆疊，進而造成短路、斷路等，或材料在堆
疊之後無法產生理想的效果。
討論試片經過個步驟(溶液浸泡過後),其對水表面張力的差異與原因?
本次浸泡過的溶液中，丙酮、異丙醇、去離子水(DI)具極性，親水性佳，表
面雨水的接觸角小於 90 度，水不易內聚成水珠。TMAH 為兩性溶液，於水中
有氫鍵，所以對水的表面張力亦較小。而雖然 BOE 為極性，易溶於水，但因
其腐蝕時在晶圓表面形成矽氫鍵，使得晶圓表面變得具高度疏水性。

心得:
首先覺得課堂初的實驗安全講習很重要，這樣即使在熟悉實驗步驟後或在漫
長的實驗過程中的任何階段，同學皆能以謹慎的態度去善用有危險性的藥品。
再來是感謝助教願意撥冗來與我們補做實驗與講解 OM 等儀器或在實驗空檔
補充相關知識。本節數次實驗過程中，因為重複性較高，所以能在第三周體
驗一次自己做完實驗的所有步驟，雖然需要費神以保持比較久的專注力，但
不假他人之手無疑能讓我提高對蝕刻操作的掌握度，我認為這是很有意義的。