5

Z8 Z9 Z9 Z8

Z7 Z7

Z6

Z5 Z5

Z3 Z4 Z3

0.20 1.55 0.20 0.20 1.55 0.20

Z1 2 1.7 1.7 0.40 0.35 SON 12 #4 c/0.14 L=1.95 SON 12 #4 c/0.14 L=1.95
0.20 1.95 0.20 0.20 1.95 0.20
Z2 2 2.1 2.1 0.40 0.35
Z2 Z2 0.15
SON 15 #4 c/0.14 L=2.35
1.55 0.15 0.15
SON 15 #4 c/0.14 L=2.35
2.05 0.15
Z3 2 1.7 2.2 0.35 0.30
2a Z1 Z1
SON 13 #4 c/0.17 L=1.85
4.85 0.15 0.15
SON 12 #4 c/0.14 L=2.35
2.05 0.15
Z4 1 5.0 2.2 0.35 0.30 0.15
SON 13 #4 c/0.17 L=5.15 SON 25 #4 c/0.20 L=2.35
0.20 1.85 0.20 0.20 1.65 0.20
Z5 2 2.0 1.8 0.40 0.35 SON 10 #4 c/0.18 L=2.25 SON 11 #4 c/0.18 L=2.05
0.15 2.05 0.15 0.15 4.85 0.15
Z6 1 2.2 5.0 0.35 0.30 SON 25 #4 c/0.20 L=2.35 SON 13 #4 c/0.17 L=5.15

1 Z7 2 2.0 1.8 0.35 0.30 0.15 1.85

SON 10 #4 c/0.18 L=2.15
0.15 0.15 1.65
SON 11 #4 c/0.18 L=1.95
0.15

0.15 1.25 0.15 0.15 1.25 0.15

Z8 2 1.4 1.4 0.35 0.30 SON 12 #4 c/0.10 L=1.55 SON 12 #4 c/0.10 L=1.55
0.15 1.85 0.15 0.15 1.35 0.15
Z9 2 2.0 1.5 0.35 0.30 SON 10 #4 c/0.15 L=2.15 SON 10 #4 c/0.20 L=1.65

A B C D E

E 1 3