Flächenwiderstands-Messanlage

(Selbstbau)

Aufgabe
Automatisierte Messung von Flächenwiderständen dünner Schichten auf
einem Wafer
Technische Daten
Allgemein:
• Messbereich: bis 8“ (~ 200 mm)
• Anzahl Messpunkte frei wählbar Präzisions-Linearitätstisch (von
SFK 10

• Automatische Regelung der

µm

OWIS)
3x

Kontaktierkraft • x-, y-Messtisch PKTM 100

• Messgerät: Keithley 2000 • z-Hub Lineartisch LTM 80
• Steuerkarte PS30
Messkopf: • Auflösung in x-, y-Richtung:
• Vierspitzen-Messkopf von Jandel 5 µm
• Gefederte Messnadeln
• Überlast geschützt
Funktionsweise
Messanlage Schematische Darstellung der
Vierspitzen-Messung

Quelle: Ruger, H. Mader; „Halbleitertechnologie“

Steuerung und Auswertung durch

Berechnung des Flächenwiderstandes LabView-Programm
Flächenwider-
stand in Ω

0,004
y-Achse

Flat

0,0035

Quelle: H. Fischer et al.: „Werkstoffe in der Elektrotechnik“ 0,003

x-Achse

Ansprechpartner: A. Landes - 66 In Kooperation mit: