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chau und Kop, auch ausrupemis, ut Genatngung des Heruegrbes Merkbiatt DEUTSCHER. Dveize11 VERBANO FOR ‘SCHWEISSTECHNIK EX. Priifverfahren fiir Drahtbondverbindungen (August 1996) Das Ziel des vorkegenden Merkblattes als Fortseteung bzw. Erganzung zu einer Relhe von Beitragen in einschlagigen Fachzoit Schriften Ist es, die gebrauchiichsten mechanischen und visuellen Prifvertahren fr Drahtbondverbindungen zu charaktersieren tnd eine einheitiche Anwendung vorzuschlagen. Dabel werden neben einer reinen Beschreibung der Prifverfahren vor allem Fichtwerte und Beispiele far die Pratergebnisse bw. -charakteistka dargestelt, ce der gerade in den letzten Jahren fortgeschrtte- ‘hen Qultat beim Drahtbonden Rechnung tragen. Damiterhalt dor Anwonder das "RUstzeug", die Ergebrisse seiner Pritungen 2u bewerten, mit anderen gegebenentfalls 2u vergleichen und entsprechende SchluBfolgerungen abzuleten. Nicht 2uletzt kann somit ‘auch der Zuliclerer von Bondhalbzeugen seine Produkte im Rabmen von Bemusterungen oder Vergleichsuntersuchungen 2uor: fen, Abechleflend werden weitere, teiivelse auch weniger bekannta Profverfatren, de in der Ragel nur zur Ermitiung spezieller Eigenschaften der Verbindungen eingesetzt werden, genannt. Inhalt Vorbemerkungen Mochanische Festigkeltsprifung von Drahtbondverbindun- gen Zugprotung an Drahtbrdcken 3.1 Zerstorende Zugprifung 32 Nichtzerstérende Zugprofung 4 Zugerofung an Einzetbonds 5 Scherprotung 6 Visuelle Prtung von Drahtbondverbindungen 6.1 Verlormung des Orahtes am Bond 2 Position der Bonds auf Bondpads 6.3 Lage und Form der Drahtbrocken 7. Kontaktwiderstand 8 Sonstige Verfahren 9 Seheitium 1. Vorbemerkungen ‘Typlsche Drahtbondvertahven sind das Ulraschall(US-)Wedge- \Wedgebonden mit Silegiertem Aluminiumdraht bzw. das Ther- ‘mosonie-(TS.)Ball Wedge: sowie TS-Wedge-Wedgebonden mit Golodraht, Ore mittels dieser Verlahren hergestelten Drahtbond- verbindungen méssen folgenden wesentichen Qualitatsmerkma- Jen gondgen: “ (© geringer Konstanter elektrischer Ubergangswiderstand mit tein ohmschem Charaktr, © ‘hohe Kontaktauvertassigkelt unter Einsatzbedingungen durch ausreichende mechanische Festighet der Verbindun: ‘gen und zweckmaige Wahi der Verbindungspariner bei fnlsprechancem Schutz vor Umgebungseinfidssen, ur Bewertung und optimalen Ausbldung dieser Eigenschatten ist dle Anwendung geeigneter Pratvertahren fir die Drahtbond \versindungen erfordorich. Eine Profung ist beispelsweise not wensig ‘© zur Optimiorung der Bondparameter mit dem Ziel einer hechstmaglichen Vertahvensausbeute und Produkivtat bei ‘austeichender Kontaktqualitt und -zuverlassighait, Dlese Vertenschang wud in einer Grup eavene Facet in ehvenaniher Gemeinscatsrbl easton erpricy Oe Anwar fests prior we we ona at seen specie Fal ane (© zur standigen Kontrole der goforderten Herstallungsquall tat im Produktionsproze8, © 0r Zuverléssigkettsuntersuchungen, um die lekischen, thermischen und mechanischen Eigenschaften der Verbio- ddungen nach verschiedenen Beanspruchungszeitraumen zu fermitteln und daraus SchluBfolgerungen zur Einsatzzuver- Lassighet abzuleten, am aut qualzierbarer bzw. quantifizierbarer Grundiage Garantio- baw. Produkthaftungsansprichen wirksam begeg- ren zu Konan, © {ar dio Erarbeiung wissenschatticher Erkenntnisse aber den Bindungsmechanismus bzw. die Eigenschalten det Verbindungen. \Vor diesem Hintergrund verfolgt das vortiegende Merkbltt als Fonsetzung bew. Exganzung zu [1.4] die grundsaiziche Ziet stellung, de gebrauchichsten mechanischen und visuellan Prat Yerfahren for ausgeldhvte Drahtbondverbindungen weiter zu Charakterisieren und eine einhetiche Anwendung vorzuschla: gen. 2. Mechanische Festigkeltsprittung von Drahtbondverbin- dungen Die am hdufigsten eingesetzten Verfahren zur Profung von Drantbondverbindungen sind die mechanischen Prfvertahren, a sie kostenginstig, einfach und schnell anwendbar sind. So bendtigen mechanische Prifvertahren im Vernalinis zu anderen \Vertahren einen verhatrismasig geringen Autwand; entspre- chende, einlach 2u bedenende Prifgerate (Pulltester) mit unter- Schiedichem Komfor sind arhatich. Die Tests solbst sind fbenfals einfach durchaufolen und lefern bei entsprechender Stichprobenanzah) (mindestens 30 bis 50 Drahtbricken unter dleichen Bedingungen hergestelt und getastet) im allgemeinen ausreichende Aussagen. Deratige Profvertahren werden in der Praxis auch deshalb vorwiegend angewendet, da bekannt is a Bonds mit einer verhaltnismasig geringen mectanischen Festgkeit bei der Weltarverarbeitung baw. unter Einsatzbedin- jgungen meist unauverlassig sind. Zu den wichtgsten mechani chen Profverfahten zahien die im folgenden naher erauterten Methoden {1.8} 3. Zugpritung an Drahtbracken 3.1 Zerstérende Zugpritung Der zerstérende Pultest ist ein weit verbreltet angowendetes, mechanisches Profvertahren. Mit einem Haken wird die Draht- nd wed one wichtige Ehenntnsquete zr deb se tm voregende Fassing noch gat [st Ena ony Jos DauscnenVertardes ar Scrwatacrk 1 ud dafengen, ean der Ausarbting betel woe ‘Be2vg, Deutscher Verag fr SchweiGlechnk DVSAelag Gmbh, Postiach 1019685, 40010 iseeldor,Tlton (0211) 1591-0, Teta (0211) 1591-200 Seite 2 2u OVS 2611 bricke unter Wirkung einer kontinuitich ansteigenden Zug- kraft bis zum Abe belastet. Voraussetzung ist die Anwendung ‘eproduzierbarer, konstantor Bedingungen (zum Beispie! ver- gleichbare Orahtorickengeometre bzw. Proffedingungen), um den Bezug zu anderen Untersuchungen ader zu Vorgaben von Standards zu gewahvciston. Grundsatzch Ist dabel aut den Einfl des Orahicurchmessers, des Abstandes der beiden Bonds jeder Orahtbricke voneinander, des Anstlegswinkels und des Hakenansatzes zu achten. Der Haken solte L-termig sein und im Wirkbereicn das 2- bis Sfache des Drahidurchmessors bei glater Oberfiche aufweisen. Fur die Zuggeschwindigkeit des Pultesters werden 0.2 bis 0,6 mms empfohien. Beim Pultest an Drahtbricken unterscheidet man die typischen Einsatzfle: '© boide Bonds jeder Orahtbricke aut verschiedenen Ebenen, Bid 1, '© beide Bonds jeder Drahtbricke aut gleicher Ebene. Bi 1. Bop re Arerchng de bein ond joe rans aut weecnotoren Seren Subsvaatra: 2 bone’ Bonds Op FAD Pe een Grenticnung a Axetwi hrc Tare ae sr ¢ Siphon) ‘Bonds aut verschiedenen Ebenen ‘Beim Einsatz des Prifvertahrens muB der Abstand der Bonds jader Drahtbrocke einer Seria exakt elngehatien werden, da er in Zusammentang mit der Drahtbrickenndhe mafgebich den ‘Abceiwinkel a bestimmt Dieser wirkt direkt auf die zu messen- e AbreiDkratF, (sie Bild 1) wie folt Pi, =F, cosa (sina, +0.) P, = F,cosaysin(a, +). Daraus folgt, da8 oleiche Bondfestigkeiten bei unterschiedichen \Winkeln vorschiedene AbreiBwerte ergeben kénnon; nur bei a, 30° entspricht der gemessene Wert der realen in Oraht ‘ichiung wickenden AbreiOkratt. Bei Nichtorreichen deser Vorga- ‘be mu® zur Ermitiung dor roalon AbreiBkratt in Drahtrichtung dor Korrekturfaktor K = 0,54(sina)-" als Muliptkator entspre- chend Tabelle 1 (Werte teimeise gerundel) eindezogen wer- don, Boide AbreiBwinkel soliten beim Test Uber die Verschie- ‘bung des Hakenansatzes gleichgrofeingestelt werden. Folgende Testbedingungen werden empfohien: ‘Abstand der Bonds nach geometischer Zuordnung der Bondpads, Bild 2 (mégichst etwa 2.5 mm, Ausnahmen sind méaich), ‘Winkel zwischen Drabt und Substat variabel (Ih beach- ten), sinnvoll 30°, Hakenansalz dot, wo, = a, eingestelt wird, “Zugkraftin Drahtichtung = gamessener Wer Korrekturtak- tor K (entsprechend Tabelle 1) n N oder cN. Tabelle 1. Zuordnung von Winkel a und Kor: rekturtaktor K. Winkela— Faktor K 18° 19 30" 10 45° o7 60" 06 75° os 0" os Far die Auswerung der Zugprottung sind charakterstische ‘AbriBmerkmale von groBer Bedeutung. Dabel kann die Raihen- folge oder Zuordnung wi in Bikd 2 vorgeschlagen, aber auch anders, entsprechend firmenspeztscher Bedingungen, ero (gen. Auteeichnungen (zum Belspiel als Balkendagramm, Bild 3) sind obi Bild 2. Charaktaristsche AbriBmerkmale (Fehleroodes) beim Pultest: 1, 7 Bond mit Padmetalisierung tolwelse oder voll standig vom Grundmaterial gelst (Padabhebungen); 2, 6 Bond von der Padmetalisiorung geldst (Bondabhebungon); 3, § Drahtis-am Bond (batif beim Balbond den Kugelhals); 4 Drab Tot igkeltaverceflang der Brocherifte Bild 3, Balkendlagramm zur Auswertung der Zugorafung. Bonds aut gleicher Ebene 'Boim Test von Bonds aut gleichem Hohensiveau (zum Beispie! Bemusterung von Substratmateria) vereinfacht sich die Anwen dung des Pultests ethebich. Beachtung sole hier jedoch auch ‘er AbreiGwinkel (a = 30°) finden. Folgende Bedingungen sind gonst {© Abstand der Bonds nach geometischer Zuordnung der Bondpade (maglchst etwa 2.5 mm, Ausrahmen sind mog- leh). Winkel « zwischen Draht und Substat variabel, sinnvoll 20", Hakenanatz in de Mite der Orahtbricke, Zugkrattin Drahtrichtung = gemessener Wert x Korrektrtak- tor (entsprecnend Tabelle 1) n N oder cN, Abrimerkmale: verleiche "Bonds auf verschiedenen Ebe- nen’ Beurteiting der Ergebnisse Zur Freigabe der Bondbedingungen solten aufgrund von Erfab rungen de in Tabelle2 dargestelien Kennwerte statstisch abge- sichert emit werden, Der MitteWwert der AbreiSkraft solte 50% der ZerreiBkratt des unverformten Drahtes sicht unter schreiton (Angaben des Herstellrs. bei unterschiedichen Drahtlypen beachten). Beim Ball-Nedgebonden von Au-Drah- ten git dabel dem Drahtzustand am Kugelansatz besondere Beachtung. Diese vom Kugelanschmelzvorgang_herrdhrende Drahtbeeinflussung solta, 2um Beispiel durch eine “negative” Abflammung beim Kugelanschmelzen, mégichst gering sein Die Anforcerungen an dia Standardabweichung reicnen von 10 bis 25% bezogen auf den Mitlewert, wobei die in Tabelle 2 an- gegebenen Daten dem Standard entsprechen. Der Grenzwert {Ur minimale AbreiGkrafte und dart Festigkaton ist im Bareich der Werte von Tabelle 3 angesiedel, wobei Orahtmaterial und

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