Popescu Sergiu-Valentin EPA1

MEMS

Aparitia tehnologiilor de microfabricatie in ultimele decenii a dus lanasterea unui domeniu incitant si revolutionar numit tehnologia microsistemelor in Europa, sau sisteme micro-electro-mecanice (MEMS) in Statele Unite si in alteparti ale lumii. Microsistemele sunt literalmente sisteme foarte mici sau sistemerealizate din componente foarte mici. Pentru MEMS, micro stabileste o scaradimensionala, electro sugereaza fie electricitate fie electronica(sau ambele), simecanic sugereaza parti mobile de un anumit tip. Cu toate acestea,termenul MEMS a crescut in zilele noastre incat cuprinde domenii variate: termic,fluid, optic, biologie, chimie, magnetism si multe altele..Dispozitivele MEMS sunt in mod uzual produse utilizand tehnologii de procesare bazate pe litografie, in general descrise camicrothenologii in masa sau microtehnologii de suprafata, imprumutate dinbine stabilitul proces tehnologic al circuitului integrat (IC). Cartile publicate deMadou si Kovacs asigura surse excelente de informare in tehnologii demicrofabricatie moderne. In microtehnologiile in masa, dispozitivele mecanice sunt realizate direct din materialul de substrat(ex: siliciumonocristalin), pe cand in microtehnologiile de suprafata, sunt realizate dinstraturi de materiale depuse pe suprafata superioara a substratului. Multi oameni in domeniul MEMS impartasesc aceasi credinta ca dinamicile structurale sunt foarte importante in proiectarea dispozitivelor MEMS si care furnizeaza atat oportunitati cat si provocari pentru cercetatorii din domeniu. Un simplu dispozitiv MEMS poate cuprinde atat componente mecanice cat si electrice pe un singur cip variand in marime de la microni la milimetri. Asemeneacapacitati a MEMS de a miniaturiza drastic marimea dispozitivelor viitoare poate rezulta in produse cu un design simplu, pret scazut pe unitate si o performantamai buna, in comparatie cu alte metode conventionale de proiectare si fabricatie. Deja, MEMS a stabilit recorduri in succesele comerciale care furnizeaza cazuri impresionante pentru dezvoltarea viitoare. Aplicatii comerciale de succes includ accelerometrele airbagurilor, capete de imprimare termice, si senzori depresiune. In plus, sunt un numar destul de mare de alte produse care au atinsetapa finala de dezvoltare si sunt gata sa stabileasca o baza de clienti. Aditional,un numar de zone noi de cercetare au iesit in evidenta recent care profita deavantajele diverselor functii noi permise de MEMS, exemplu intrerupatoare microoptice, sisteme biomedicale, pentru a numi cateva. Impreuna cu oportunitatile, MEMS pun cateva mari provocari pentru modelare, manipulare si testare a caracteristicilor dinamice amicrodispozitivelor. Farrar et al. a rezumat ca exista cinci provocari majore. Una din cele cinci provocari este dezvoltarea uneltelor si

metodelor pentru investigatii eficace a dinamicii structurale a MEMS. In primul rand,tehnologia MEMS se sprijina pe fundatii multidisciplinare. De exemplu, devierea unei diafragme mobile a unui capacitor cauzata de un camp electrostatic va avea larandul ei un efect asupra campului electrostatic, astfel necesitand o solutiecuplata electro-dinamic mai curand decat solutia uzuala de tratare a elasticului si a partilor electrice separat. In plus, dimensiunuile fizice ale dispozitivelor MEMS sunt masurate in microni, si deci frecventele mecanice de rezonanta sunt tipic in raza de la kHz la MHz, dar si GHz. In consecinta, stimularea conventionala prinvibratii si tehnicile de masurare nu pot fi folosite pentru a caracteriza microstructurile. In plus, macroproprietatile materialelor se pot schimba in timp ce dimensiunea elementelor mecanice este micsorata, ducand la dificultati inmodelarea caracteristicilor dinamice. Pe de alta parte, fortele electrostatice si de amortizare ca urmare a vascozitatii fluidului/aerului, care poate de altfel fi neglijata cand ne ocupam cu macrostructuri conventionale, devine foarte importanta in cazul dimensiunii micro. Caracteristicile dinamice ale unei microstructuri in acest caz depinde mai mult de efectele de suprafata si interfata decat de efectele in volum si masa. Datorita acestor extra complexitati, eforturispeciale, astfel, ar trebui redirectionate spre dinamica structurala amicrosistemelor, sau microdinamicii, ale caror studii de succes includ stiinta, tehnologie, si designul mecanismelor micromecanice mobile.