Vakuum i pridruena

instrumentacija
 Uvod
Tlak kvantitativni pokazatelj vakuuma
Klasifikacija
Pred vakuumski sustavi (niski vakuum) je
reda veliine 1Pa
Od 1 Pa do 10-2 Pa - srednji vakuum

Od 10-2 do 10-5 Pa - visoki vakum

Od 10-6 Pa i manje - podruje ultravisokog

vakuuma
 Ope karakteristike
Razliite kvalitete vakuuma
postiemo razliitim ureajima
ustrojenim prema razliitim fizikalnim
principima
Postizanje vrlo visokih vakuuma --
u koracima, primjenom razliitih
fizikalnih principa i ureaja
 Postizanje vakuuma
ureaji
Mehanika rotacijska pumpa
Difuzijska pumpa
Turbomolekularne pumpe
Ionska pumpa
Kriogenske pumpe
Sublimacijske pumpe
Mehanika rotacijska pumpa
Difuzijska pumpa
Turbomolekularne pumpe
 Ionska pumpa
Molekule plina se ioniziraju
elektronima
Ioni se transportiraju elektrinim
poljem
Pomou magnetskog polja moe se
poveati putanja molekula
Ukapljivanje
 Kriogenske pumpe
Pothlaivanjem materijala do niskih
temperatura smanjuje se tlak
zasienih para.
Za nekondenzirane plinove smanjuju
se njihovi parcijalni tlakovi
Efekt pumpanja
 Sublimacijske pumpe
Proces u kojem aktivne povrine povlae
molekule iz prostora vakuuma
Korisno za dobivanje ultravisokog vakuuma
Npr. titanski izvor zagrijan do temperature
sublimacije deponira aktivni film na okolne
povrine koji vee molekule plina.
Uporabom sublimacijskih pumpi tlak se
moe smanjiti i za nekoliko radova veliina
 Mjerenje vakuuma
Bourdonova cijev
Triodna cijev
Bayard-Alpertov vakuummetar
Bourdonova cijev
 Triodna cijev
Vai proporcionalnost
sve do 10-6Pa
Struja mekog x-zraenja
maskira efekt

i konst.Nel . P
Bayard-Alpertov
vakuummetar
Vai linearna
proporcionalnost
sve do 10-10Pa
 Vakuumski materijali
Povrine u vakuumu isplinjavaju
Dinamiki tlak je ovisam o brzinama
isplinjavanja (v) i isisavanja (v )
Pdin = konst. v/ v
v pak ovisi o:
Tlaku para materijala
Oslobaanju plinova adsorbiranih na povrini
Difuziji plina kroz materijal (naroito aktivni
vodik i helij)
 Materijali usklaeni s
kvalitetom vakuuma
srednji vakuum visoki i
ultravisoki
vakuum
osnovni dijelovi Aluminij, nehrajui elik
vuena mjed
prozirne staklo Pyrex
komponente (Corning code 7740)
aluminijsko
staklo
(Corning code 1720)

brtve guma, neopren metal na metal

Brtvljenje
Brtvljenje metalom
 Maseni spektrometar
(upotreba u dijagnostici)
Gibanje nabijene
2
estice u mv
elektromagnetskom qE
polju re
Problem korekcije 2
zbog disipacije snopa mv
uvjetovane qvB
nejednolikom rm
raspodjele po impulsu
(brzini) estica
Parcijalne disperzije

1 d e 2 m

e dv m dv
1 d e 1 m

e dm m dm
 Totalna disperzija

d d e d m

dv dv dv
Zgodnim odabirom elektrinog i
magnetskog polja disperzija (ionskog)
snopa po brzini moe se anulirati
 Leak detection
Sprega spektrometra i vakuumskog
sustava
Detekcija helija u ispumpnom kanalu