Persentasi

SEM

Kelompok 2
Konten
01 SEM
Persentasi tentang SEM yang akan di lakukan oleh teman-
teman kami.

02 SEM-EDS
Persentasi tentang SEM yang akan di lakukan oleh teman-
teman kami
SEM
Scanning Electron Microscope
 Pendahuluan

Mikroskop elektron adalah sebuah mikroskop yang dapat melakukan

pembesaran objek sampai 2 juta kali.
Mikroskop ini menggunakan elektrostatik dan elektromagnetik untuk
mengontrol pencahayaan dan tampilan gambar serta memiliki kemampuan
pembesaran objek serta resolusi yang jauh lebih bagus daripada mikroskop
cahaya. Mikroskop elektron menggunakan jauh lebih banyak energi dan
radiasi elektromagnetik yang lebih pendek dibandingkan mikroskop cahaya
SEM (Scanning Electron Microscope)
Sebuah mikroskop elektron yang didesain
untuk menyelidiki permukaan dari objek solid secara
langsung. SEM memiliki perbesaran 10 – 3000000x,
depth of field 4 – 0.4 mm dan resolusi sebesar 1 –
10 nm.
Kombinasi dari perbesaran yang tinggi, depth
of field yang besar, resolusi yang baik, kemampuan
untuk mengetahui komposisi dan informasi
kristalografi membuat SEM banyak digunakan untuk
keperluan penelitian dan industri.
Bagian-bagian SEM
SEM memiliki beberapa bagian dalam .

Penembak Elektron
(Elektron Gun)

Lensa Magnetik

Detektor

Sample Holder

Monitor CRT
(Cathode Ray Tube)
 Penembakan Elektron (Elektron Gun)
Ada 2 jenis electron gun

1. Termal

Pada emisi jenis ini, energi luar yang masuk ke

bahan ialah dalam bentuk energi panas. Oleh
elektron energi panas ini diubah menjadi energi
kinetik.

2. Field emission
Pada emisi jenis ini yang menjadi penyebab
lepasnya elektron dari bahan ialah adanya gaya
tarik medan listrik luar yang diberikan pada bahan
Lensa…..
Magnetik
Lensa magnetik yang digunakan yaitu dua
buah condenser lens. Condenser lens
kedua (atau biasa disebut dengan lensa
objektif) memfokuskan electron dengan
diameter yang sangat kecil, yaitu sekitar
10-20 nm.
 Detektor

SEM memiliki beberapa

detektor yang berfungsi Backscatter detector Secondary detector
untuk menangkap
hamburan elektron dan yang berfungsi untuk yang berfungsi untuk
memberikan informasi menangkap informasi menangkap informasi
yang berbeda-beda. mengenai nomor atom mengenai topografi
dan topografi.
Sample Holder & Monitor CRT (Cathode Ray Tube)

Sample Holder
Untuk meletakkan sampel yang akan dianalisis dengan SEM

Monitor CRT (Cathode Ray Tube)

Di layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar dapat dilihat.
 Prinsip Kerja

Your Text Here

You can simply
impress your
audience and add
Electro gun detektor a unique zing and
appeal to your
Presentations.
Easy to change
Condenser lens colors, photos
and Text
 Gambar

Perbedaan Hasil Sinyal Elektron Sekunder dan

Sinyal Elektron Sekunder dan Sinyal Elektron Backscattered
Sinyal Elektron Backscattered
 Gambar

Mekanisme Kontras dari Elektron Sekunder Mekasime Kontras dari Backscattered Elektron
 SEM-EDS
EDS (Energy Dispersive Spectroscopy) yaitu untuk menggali jenis
atom dipermukaan yang menggandung
multi atom.

Sebagian besar alat SEM dilengkapi dengan kemampuan ini, namun

tidak semua SEM punya fitur ini.
EDS dihasilkan dari Sinar X karakteristik, yaitu dengan
menembakkan sinar X pada posisi yang ingin kita
ketahui komposisinya. Maka setelah ditembakkan pada posisi yang
diinginkan maka akan muncul
puncak – puncak tertentu yang mewakili suatu unsur yang
terkandung.

Dengan EDS kita juga bisa membuat elemental mapping (pemetaan

elemen) dengan memberikan warna
berbeda – beda dari masing – masing elemen di permukaan bahan.
EDS bisa digunakan untuk menganalisa
secara kunatitatif dari persentase masing – masing elemen. Contoh
dari aplikasi EDS digambarkan pada
diagram dibawah ini.
 Manfaat SEM
Topografi Morfologi
yaitu ciri-ciri permukaan dan yaitu bentuk dan ukuran dari partikel
teksturnya (kekerasan, sifat penyusun objek (kekuatan, cacat
memantulkan cahaya, dan pada Integrated Circuit (IC) dan chip,
sebagainya) dan sebagainya).

Add Text Add Text

Simple PowerPoint Simple PowerPoint
Presentation Presentation

Komposisi Informasi Kristalografi

yaitu data kuantitatif unsur dan yaitu informasi mengenai bagaimana
senyawa yang terkandung di dalam susunan dari butir-butir di dalam objek
objek (titik lebur, kereaktifan, yang diamati (konduktifitas, sifat
kekerasan, dan sebagainya). elektrik, kekuatan, dan sebagainya)
 Keunggulan SEM
Modern PowerPoint
Presentation
Daya pisah Get a modern PowerPoint Presentation that is

Menampilkan
data
tinggi
50% beautifully designed. You can simply impress your
audience and add a unique zing and appeal to your
Presentations.

permukaan
spesimen Kemudahan Your Text Here Your Text Here
penyiapan Easy to change colors, Easy to change colors,
sampel photos and Text. photos and Text.

Your Text Here Your Text Here

Easy to change colors, Easy to change colors,
photos and Text. photos and Text.
Kelemahan SEM
Memerlukan kondisi vakum

Hanya menganalisa permukaan

Resolusi lebih rendah dari TEM

Sampel harus bahan yang konduktif

jika tidak konduktor maka perlu dilapis logam seperti emas
 Terimakasih
Atas
Prhatiannya Kelompok 2