GCL-Poly Energy Holdings, Ltd.

保利協鑫控股有限公司

Silicon Directional Solidification Simulation

Liguo Chen
GCL Technology Research Center

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Bringing Green Power to Life
 Furnace Structure

Top Insulation
Side Insulation

Fused Quartz Crucible Heaters

Silicon
Crucible Support

Heat Exchange Block

Bottom Insulation

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Bringing Green Power to Life
Geometry Modification & Broken Ingots

Adding Solid Blocks

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Bringing Green Power to Life
 JJL660 长晶过程

深紫色代表温度
低于 1385 K ，
浅紫色代表温度
高于 1685 K.
硅液内黑线代表
温度差为 1K ，
分布范围 1685
K 到 1695 K 。

4
Bringing Green Power to Life
 JJL700 长晶过程

深紫色代表温度
低于 1385 K ，
浅紫色代表温度
高于 1685 K.
硅液内黑线代表
温度差为 1K ，
分布范围 1685
K 到 1695 K 。

5
Bringing Green Power to Life
 长晶阶段温度场比较
JJL 660 硅晶底部温度分布

1692

1685

JJL 700
 两种情况的设置为，大致相同的固液
界面高度，大致相同的长晶速度。
 JJL660 硅液及硅晶内的纵向温度梯度
深紫色代表温度
1689
比 JJL700 要大。由此推断， JJL660 在
低于 1725 K ， 1685
长晶过程中形成的残余应力也要大。
浅紫色代表温度  JJL660 需要的加热器功率稍大。
高于 1775 K.  JJL660 固液界面形状及硅晶内的温度
梯度为凹形。
 JJL700 固液界面形状及硅晶内的的温
度梯度为中部微凸。

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Bringing Green Power to Life
 退火阶段温度场比较
硅晶底部和顶部温度分布

JJL 660

JJL 700  两种情况设为，相同的温度控制。

 JJL700 硅晶内整体温度要高，但
JJL660 硅晶内的纵向温度梯度要明显大
深紫色代表温度 于 JJL700 。
低于 1725 K ，  由上推断， JJL700 在冷却过程中造成
浅紫色代表温度 的热应力要小于 JJL660.
高于 1775 K.  JJL700 的加热器功率稍大。
 JJL660 硅晶内的等温线分布为凹形，
所以横向温度梯度为：中心热，边部
冷。
 JJL700 硅晶内的等温线分布为凸形，
7 所以横向温度梯度为：中心冷，边部
热。 Bringing Green Power to Life
 结论

 裂锭基本可以分为两大类，一类以整块或很深的裂缝为标志，另外一类为底部中心的浅裂。

 第一类裂锭基本都是由粘锅引起的。因为石英坩埚的热膨胀系数，小于固体硅，在最后冷却的时候，固体硅的收缩
程度要大于石英坩埚。粘锅会阻碍固体硅的收缩，造成裂锭。

 第二类裂锭是由固体硅内部的热应力造成，有可能是在长晶过程中造成的残余应力所致，也有可能是退火后冷却过
程中新生成的应力所致。也有可能是两者的合并效应。

 如果第二类裂锭主要是由长晶过程中的残余应力造成，退火的时间延长可进一步释放应力，降低裂锭的程度。实验
证明退火时间延长或缩短并不能改变 JJL660 裂锭的情况，所以 JJL660 的裂锭很可能是由退火后冷却过程中新生
成的应力所致。

 从退火时的温度场分布比较可得知， JJL660 内的纵向温度梯度大，冷却后产生的热应力也会大。而且 JJL660 的

横向温度梯度为中心热，边部冷。在冷却过程中，会造成中心收缩程度大于边部，产生横向拉应力，造成裂
锭。 JJL700 隔热笼向底部加长，可以降低纵向温度梯度；增加的隔热块，可以调节横向温度梯度，正好弥补了
JJL660 的不足之处。

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Bringing Green Power to Life
 Geometry Modification & Energy Gain

Power Curve

120

100

80

Power (kw)
60

40

20 Geometry
Modification
s
0
0 500 1000 1500 2000
Time (minute)
Added Solid Blocks

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Bringing Green Power to Life
 2D Simulation

Grids

84

82

80

78
Power (kw)

76 Power Curve
74

72

70 Original Configuration

68 Geometry Modifications

66
0 10000 20000 Time (s)
30000 40000 50000 10 60000

Bringing Green Power to Life

 Melting Periods
GT450 节能改造

 熔化阶段温度分布基本相当， TC2 温度变化相

似。
 节能改造对熔化阶段没有太大影响。
 节能改造后熔化阶段工艺可以保持不变。

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Bringing Green Power to Life
 Growth Periods
GT450 节能改造

Pivoting
Surfaces

冷热区分离使 DS 块底部温度降低，导致辐射散热降低，是节能的主要原因。
 节能改造后，加热器功率明显降低  TC2 的温度会明显偏低，要和原 GT 炉区别对待
 节能改造后，界面形状更凸  理想 TC1 比原工艺曲线值要低些
 节能改造后，硅液内温度梯度稍高。  可根据长晶速率或 TC2 的变化适当 调节 TC1
 节能改造后，固体硅及 DS 块的温度梯度变
大。 12 工艺调节
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