TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI

VIỆN CƠ KHÍ
BỘ MÔN CƠ SỞ THIẾT KẾ MÁY VÀ ROBOT

BÁO CÁO BÀI TẬP LỚN MÔN HỌC

ĐỀ TÀI: THIẾT KẾ VI CẢM BIẾN ÁP SUẤT

DỰA TRÊN NGUYÊN LÝ ÁP ĐIỆN TRỞ

Giáo viên hướng dẫn: PGS.TS Phạm Hồng Phúc

Nhóm sinh viên thực hiện: Nhóm 4
 NỘI DUNG ĐỀ TÀI

Tổng quan

Nguyên lý và thiết kế

Tính toán và mô phỏng

Quy trình chế tạo

Tổng kết
 TỔNG QUAN VỀ MEMS

MEMS

CẢM BIẾN BỘ VI KÍCH HOẠT

Cảm biến Cảm biến Cảm biến Cảm biến Bộ vi kích Bộ vi kích Bộ vi kích
cơ quang nhiệt lưu chất hoạt nhiệt hoạt tĩnh điện hoạt áp điện

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 CẢM BIẾN ÁP SUẤT
Định nghĩa: Cảm biến áp suất là một thiết bị tiếp nhận tín hiệu
đầu vào là áp suất và chuyển đổi thành tín hiệu điện để đo lường.
Phân loại:
 Cảm biến áp điện trở ( Piezoresistive Sensing)
 Cảm biến áp điện (Piezoelectric sensing)
 Cảm biến kiểu điện dung (Capacitive Sensing)

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 HIỆU ỨNG ÁP ĐIỆN TRỞ

LỰC

ĐIỆN ÁP

LỰC

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 BÀI BÁO THAM KHẢO

Micromachined pressure sensors:

review and recent developments
W P Eatony and J H Smith
Published by the IOPscience

Bài báo cung cấp cái nhìn tổng quan về sự phát triển của các loại
vi cảm biến áp suất.

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 BÀI BÁO THAM KHẢO

Design optimization of high pressure

and high temperature piezoresistive
pressure sensor for high sensitivity
Zhe Niu, Yulong Zhao, and Bian Tian
Published by the AIP Publishing

Ưu điểm: Nhược điểm:

 Có dải đo rộng, lên đến 700 Mpa  Chip tích hợp phức tạp để chế tạo
 Chịu được nhiệt cao (3500C)

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 BÀI BÁO THAM KHẢO

Design optimization of a piezoresistive

pressure sensor considering the
output signal t noise ratio
Byunghoon Bae, Bruce R
Flachsbart Kyihwan Park and Mark A
Shannon
Published by the IOP Publishing

Ưu điểm: Nhược điểm:

 Độ chính xác cao do đã tối ưu  Cơ cấu một áp điện trở chưa thật sự
chiều dài áp điện trở tối ưu

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 NGUYÊN LÝ VÀ THIẾT KẾ

Mạch cầu Wheatstone:

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 NGUYÊN LÝ
Tenxo áp điện trở đối  11  12  12

 
 12  
với Silic đơn tinh thể:
11 12 
 12   
 mn   12 11



 44 


 44


  44 
Công thức liên hệ giữa độ biến R
thiên điện trở và ứng suất:   l l   t t
R

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 THIẾT KẾ

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 TÍNH TOÁN VÀ MÔ PHỎNG

Công thức tính ứng suất và

chuyển vị trên màng tròn:

 PR 2
  max  0, 75 t 2
 4
 y  0,171 PR
 max Et 3

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 TÍNH TOÁN VÀ MÔ PHỎNG
 Khi ở 5 atm ứng suất lớn nhất trên màng tròn nằm ở cạnh:
PR 2 5.101325.(0,35.10 3 ) 2
 max  0, 75 2  0, 75  51, 72 MPa
t  30.10 
6 2

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 ỨNG SUẤT THEO ÁP SUẤT
Áp suất Ứng suất lí thuyết Ứng suất theo mô
  (MPa) phỏng (MPa)
1atm 10,34 10.8
2atm 20,69 21.59
3atm 31,03 32.39
4atm 41,37 43.19
5atm 51,72 53.98
6atm 62,06 64.78
7atm 72,41 75.57
8atm 82,75 86.37
9atm 93,09 97.16
10atm 103,44 108
11atm 113,78 118.8
12atm 124,12 129.6
13atm 134,47 140.4
14atm 144,81 151.1
15atm 155,15 161.9
16atm 165,5 172.7
17atm 175,84 183.6
18atm 186,18 194.3
19atm 196,53 205.1
20atm 206,87 215.9

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 TÍNH TOÁN VÀ MÔ PHỎNG
 Khi ở 5 atm chuyển vị lớn nhất trên màng nằm ở tâm:
PR 4 5.101325.(0,35.103 )4
ymax  0,171 3  0,171  0, 285(  m)
169.10  30.10 
3
Et 9 6

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 CHUYỂN VỊ THEO ÁP SUẤT
Áp suất Chuyển vị lí thuyết Chuyển vị theo mô
phỏng
1atm 0,057 0.054
2atm 0,114 0.108
3atm 0,171 0.162
4atm 0,228 0.217
5atm 0,285 0.271
6atm 0,342 0.325
7atm 0,399 0.379
8atm 0,456 0.433
9atm 0,513 0.487
10atm 0,569 0.542
11atm 0,627 0.596
12atm 0,684 0.650
13atm 0,741 0.704
14atm 0,798 0.758
15atm 0,855 0.812
16atm 0,912 0.866
17atm 0,969 0.921
18atm 1,026 0.975
19atm 1,083 1.029 Chuyển vị được tính bằng µm
20atm 1,139 1.083

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 ĐIỆN ÁP THEO ÁP SUẤT
Vs
Công thức tính điện áp đầu ra:
 44 R 2
Vout = Vs . .P. 2 .(1 - v)
2 h
Vout

Với áp suất là 5 atm:

 44 R 2 138,1.10- 11 (0,35.10- 3 ) 2
Vout = Vs . .P. 2 .(1 - v) = 5. .5.101325. -6 2
.(1 - 0, 28) = 0.1714(V )
2 h 2 (30.10 )

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 ĐIỆN ÁP THEO ÁP SUẤT
Áp suất Vout
(atm) (V)
1 atm 0.0343
2 atm 0.0686
3 atm 0.1028
4 atm 0.1371
5 atm 0.1714
6 atm 0.2057
7 atm 0.2400
8 atm 0.2743
9 atm 0.3085
10 atm 0.3428
11 atm 0.3771
12 atm 0.4114
13 atm 0.4457
14 atm 0.4800
15 atm 0.5142
16 atm 0.5485
17 atm 0.5828
18 atm 0.6171
19 atm 0.6514
20 atm 0.6857

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 MÔ PHỎNG ỨNG SUẤT VÀ CHUYỂN VỊ

Mô phỏng ứng suất: Mô phỏng chuyển vị:

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 QUY TRÌNH CHẾ TẠO

Mở các điểm
Chuẩn bị tấm SOI tiếp xúc

Oxi hóa tạo SiO2 Phủ lớp Al

Phủ chất cảm quang Quang khắc

tạo dây dẫn

Tạo mặt nạ Ăn mòn DeepRIE

và quang khắc tạo màng

Phủ và khuyếch tán Rửa sạch

Boron và đóng gói

Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết
 TỔNG KẾT
 Những kết quả thu được trong quá trình làm bài báo cáo:
- Có cái nhìn tổng quan về công nghệ MEMS, đặc biệt là cảm biến.
- Nắm vững hơn về các hiệu ứng được áp dụng trong công nghệ MEMS.
- Xác định, phân tích, mô phỏng và đánh giá một số bài toán căn bản trong
tính toán thiết kế cảm biến áp suất.
 Ưu nhược điểm của bài báo cáo:
- Một ưu điểm: Kết cấu của cảm biến đơn giản, các bài toán không quá phức
tạp, là điều kiện tốt để bắt đầu cho một bài báo cáo ở mức độ bài tập lớn
cũng như phù hợp với những kiến thức ban đầu của sinh viên.
- Nhược điểm: Kết cấu chưa thật sự tối ưu, hình dạng và kích thước của
nhiều bộ phận chưa thật sự hiệu quả.
 Những hướng có thể phát triển từ bài báo cáo:
- Từ những nhược điểm được nêu trên, ta có thể có những hướng để tối ưu
hơn cho cảm biến bao gồm việc khảo sát hình dạng, kích thước, vật liệu của
áp điện trở cũng như các cơ cấu thuộc cảm biến.
- Việc kết hợp nhiều cảm biến sẽ có nhiều nhiều điểm ưu việt cho cảm biến,
đồng thời là bài toán thiết kế bộ phận tích hợp với cảm biến.
Tổng quan Nguyên lý & thiết kế Tính toán & mô phỏng Quy trình chế tạo Tổng kết