Mainski fakultet Univerziteta u Niu Katedra za precizno mainstvo i automatiku Predmet: Mikromehanika

MERNA TEHNIKA U OBLASTI MIKROSISTEMA

LABORATORIJSKA VEBA MERENJA KARAKTERISTIKA DINAMIKE MIKROPUMPE

Cilj laboratorijske vebe

Cilj laboratorijske vebe je upoznavanje sa: - strukturom i principom rada dinamike mikropumpe i - uredjajima i metodama za odredjivanje frekvencne karakteristike protoka mikropumpe.

Uvodne napomene Klipna mikropumpa

Princip funkcionisanja klasine klipne pumpe, "makroskopske" hidraulike i pneumatike, naao je iroku primenu i u mikrofluidici. Osnovni delovi klipne pumpe su (sl.1): 1. pogonski element (klip, membrana ili neki drugi element koji realizuje oscilatorno kretanje, izazivajui time periodinu promenu pritiska i zapremine unutar pumpe), koji poveanjem pritiska potiskuje teni medijum i pri tome vri mehaniki rad, i 2. dva pasivna ventila, koja se sa porastom i padom pritiska naizmenino otvaraju odn. zatvaraju ime se postie usmeravanje toka tenog medijuma.

sl.1. Princip funkcionisanja klipne pumpe Tehnologijama mikromehanike se relativno jednostavno moe izraditi pogonski element mikropumpe u obliku elastine membrane. Mehanike oscilacije membrane mogu se pobuditi elektrostatiki, piezoelektrino, elektromagnetno ili elektrotermiki; najiru primenu za sada ima piezobimorfni pogon. Izrada pasivnih ventila, medjutim, nije tako jednostavna, pre svega zbog njihove, po pravilu, sloene trodimenzionalne strukture. Oni se dodue mogu formirati izradom vie ravanskih struktura (planarnim procesima povrinske mikromehanike) i njihovim spajanjem u kvazi-trodimenzionalnu strukturu (kao kod postupka rapid prototyping), ali je ovaj postupak u suprotnosti sa preporukom da, zbog visokih zahteva tanosti, treba redukovati na minimum ili ako je mogue potpuno eliminisati komplikovane i skupe operacije spajanja i montae. Nedostatak su i relativno nepovoljne dinamike karakteristike "klasinih" pasivnih ventila, koje doputaju samo niske radne frekvence tako da najee nije mogue koristiti najpovoljniju, rezonantnu frekvencu. Konano, treba raunati i sa problemima mehanike nestabilnosti i habanja pokretnog mehanikog elementa koji otvara odn. zatvara ventil.

Dinamika mikropumpa
Povoljnije reenje predstavljaju tzv. dinamiki pasivni mikroventili (sl.2), u obliku strujnih kanala specijalne geometrije koja odredjuje razliite otpore strujanju u jednom i drugom smeru (nije potreban nikakav pokretni mehaniki element osim samog medijuma koji mikropumpa potiskuje). Ovakvi mikroventili omoguavaju usmeravanje fluida koje bi se moglo opisati kao "dva koraka napred/jedan korak nazad".

sl.2. Dinamiki pasivni mikroventil na Si-ploi Kao najjednostavnije reenje dinamikog pasivnog mikroventila moe se koristiti kanal oblika zarubljene piramide (sl.2), izradjen anizotropnim nagrizanjem Si-ploe (100)-orijentacije. Bone zidove nagrizenog kanala obrazuju etiri granine (111)-ravni nagrizanja, nagnute pod uglom od 54,74o u odnosu na povrinu ploe (100)-orijentacije, a celu strukturu karakterie visoka tanost i ponovljivost izrade. Oblik strukture se definie samo jednom jedinom litografskom operacijom, formiranjem na gornjoj strani ploe kvadratnog otvora u masci, duine stranice D. Duina stranice ueg otvora (d) moe iznositi od 80 m do 250 m. Ako na jednoj, obostrano poliranoj Si-ploi izradimo dva takva, ali suprotno usmerena, dinamika pasivna mikroventila, oni se mogu koristiti kao usisni i ispusni kanal mikropumpe. Jedna takva dinamika mikropumpa prikazana je ematski na sl.3. Pogonski element je izveden u obliku elastine membrane od stakla, koja sa piezoploicom obrazuje bimorfnu strukturu (analogno bimetalnim trakama). Pored vanredno jednostavne strukture, a time i niskih trokova izrade, kao i dobre postojanosti na habanje, dinamiku mikropumpu karakteriu i relativno visoke radne frekvence (frekvenca oscilovanja membrane) to treba posebno zahvaliti dobrim dinamikim karakteristikama kanala ventila.

sl.3. Dinamika mikropumpa

sl.4. Pojednostavljeno ekvivalentno kolo dinamike mikropumpe Na sl.4. prikazano je pojednostavljeno (elektrino) ekvivalentno kolo dinamike mikropumpe. Unesene oznake predstavljaju: pM - pogonski pritisak, CM - gipkost membrane, + i - - koeficijente otpora strujanju kroz kanal ventila u jednom i drugom smeru, Q - zapreminski protok (u m3/s), a f - frekvenciju membrane. Kao posledica konanih vrednosti veliina CM, + i - javlja se efekat visokopropusnog filtera koji utie da pumpa dostie svoj kapacitet (izraen protokom) tek iznad neke donje granine vrednosti frekvencije fmin. Ekvivalentno kolo na sl.4. je kvazistatikog karaktera poto nisu uzete u obzir sile inercije. Teni medijum struji kroz kanale ventila relativno velikim brzinama, tako da se pri brzim promenama smera (visoke frekvence) pojaavaju inercioni efekti i opada protok. Ovakav efekat niskopropusnog filtera javlja se kod svih pokretnih mehanikih sistema i karakterie ga gornja granina frekvencija fmax. U elektrinom ekvivalentnom kolu na sl.4. bi se inercioni efekti mogli modelirati induktivnostima, redno vezanim sa koeficijentima + odn. - .

Eksperiment Zadatak
Odrediti eksperimentalno frekvencnu karakteristiku protoka dinamike mikropumpe pri praznom hodu Q0 (protivpritisak p=0) i predstaviti je grafiki. Odrediti donju i gornju graninu vrednost frekvencije pri kojima mikropumpa jo uvek pomera medijum fmin i fmax.

Konfiguracija mernog mesta i postupak merenja

Sl.5. Konfiguracija mernog mesta Na sl.5. prikazana je skica konfiguracije mernog mesta. Na usisni i ispusni ventil mikropumpe prikljueno je po jedno plastino crevo, unutranjeg prenika 2 mm. Oba creva lee u istoj, horizontalnoj ravni (na istoj visini). Kao medijum treba koristiti vodu obojenu mastilom. Relativno pomeranje stubova tenosti u usisnoj i ispusnoj grani mikropumpe (2l) treba izmeriti lenjirom, a odgovarajui vremenski interval (t) topericom. Uz pomo ovih vrednosti treba sraunati protok pri praznom hodu Q0=V/t [l/min]. Pogonski (piezo)element pumpe treba pobuditi pravougaonim naponom. Za izvodjenje vebe potrebni su i sledei uredjaji: generator funkcije, broja uestanosti, pojaiva napona i oscilograf. 1. Podesiti na generatoru funkcije simetrini pravougaoni napon od f=10 Hz. 2. Podesiti na pojaivau napona izlaznu amplitudu na 50V (odgovara 100V vrh prema vrhu) i kontrolisati je na oscilografu. 3. Pozvati asistenta da prokontrolie konfiguraciju i podeavanja. 4. Podesiti oba stuba tenosti na "istu visinu", uz pomo prica za injekcije. 5. Ukljuiti mikropumpu pomou prekidaa i istovremeno startovati topericu. 6. Izmeriti pomeranje 2l nakon izvesnog vremenskog intervala (1 ili 2 min). 7. Ponoviti merenje pri sledeim frekvencijama: 50Hz, 100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz, 10kHz. 8. Izraunati brzinu pumpanja pri praznom hodu u [l/min] i naneti vrednosti u dijagramu sa logaritamskom raspodelom frekvencija na apscisi. 9. Sprovesti, ako je potrebno, i dodatna merenja, pri drugim frekvencijama. 10. Odrediti pribline vrednosti graninih frekvencija fmin i fmax.

Provera razumevanja vebe i analiza rezultata merenja

1. Objasnite princip funkcionisanja klipne pumpe. 2. Skicirajte jedan "normalni" pasivni ventil koji bi po vaem miljenju idealno zatvarao u jednom smeru, a bio pogodan za izradu mikrotehnologijama. Navedite tehnoloke i funkcionalne razlike u odnosu na dinamiki pasivni ventil na Si-osnovi (sl.2). 3. Diskutujte eksperimentalno dobijenu frekvencnu zavisnost brzine pumpanja pri praznom hodu. 4. Kako bi uticale promene dimenzije kanala d (sl.2), kao i dimenzija membrane, na donju graninu frekvenciju fmin?