P. 1
无尘室空调系统之测试与验收

无尘室空调系统之测试与验收

|Views: 107|Likes:
Published by paohauyu

More info:

Published by: paohauyu on May 07, 2012
Copyright:Attribution Non-commercial

Availability:

Read on Scribd mobile: iPhone, iPad and Android.
download as PDF, TXT or read online from Scribd
See more
See less

05/07/2012

pdf

text

original

無塵室空調系統之測試與驗收

無塵室空調系統之測試與驗收





無塵室
無塵室
半導體製程工業、精密切削、
半導體製程工業、精密切削、
生化科技、醫療及食品工業等
生化科技、醫療及食品工業等
不可或缺之重要空調設施
不可或缺之重要空調設施

法規
法規
ISO 14464
ISO 14464
-
-
1
1
NEBB
NEBB
US Fed
US Fed
209E
209E

檢測
檢測
項目多,相當之複雜度
項目多,相當之複雜度
輔以精密之量測儀器
輔以精密之量測儀器

完成無塵室認證之相關法規及標準比較
完成無塵室認證之相關法規及標準比較

成為廠商與業主間之結案依據
成為廠商與業主間之結案依據





高精密度化
高精密度化
-精密承軸
-精密承軸

細小型化
細小型化


VLSI
VLSI

高度醫療效果
高度醫療效果


ICU
ICU


OR
OR

高度食品安全衛生-
高度食品安全衛生-
FGMP
FGMP

提高品質、可靠性、良率..等
提高品質、可靠性、良率..等

產業要求
產業要求

半導體工業
半導體工業
(Semi
(Semi
-
-
conductor Industry)
conductor Industry)


晶圓、
晶圓、
IC
IC


封裝測試..
封裝測試..

科技產業
科技產業
(Scientific Technology Industry)
(Scientific Technology Industry)


精密機械、儀器、光學機械..
精密機械、儀器、光學機械..

醫藥與食品
醫藥與食品
(Medication and Food)
(Medication and Food)


CGMP(Current Good Manufacturing
CGMP(Current Good Manufacturing
Practice)
Practice)

生物科技
生物科技
(Biological Technology)
(Biological Technology)


基因、疫苗、生化實驗..
基因、疫苗、生化實驗..

醫院
醫院
(Hospital)
(Hospital)


開刀房、加護病房..
開刀房、加護病房..

應用領域
應用領域

空氣中的微塵粒子
空氣中的微塵粒子
(particulate)
(particulate)

溫、濕度
溫、濕度
(temperature & humidity)
(temperature & humidity)

室內壓差
室內壓差
(room pressurization)
(room pressurization)

氣流速度
氣流速度
(air velocity)
(air velocity)

氣流平行度
氣流平行度
(air flow parallelism)
(air flow parallelism)

噪音
噪音
(noise level)
(noise level)

振動
振動
(vibration)
(vibration)

照度
照度
(lighting level)
(lighting level)

靜電
靜電
(electrostatic test)
(electrostatic test)

其他
其他
(
(
有害氣體排除、節能、安全
有害氣體排除、節能、安全


)
)

達到要求
達到要求
相關法規探討
相關法規探討

1961,
1961,
美國空軍
美國空軍
Technical Manual 00
Technical Manual 00
-
-
25
25
-
-
203.
203.

1963
1963
-
-
1992,
1992,
美國聯邦標準
美國聯邦標準
Federal Standard 209, A~E
Federal Standard 209, A~E

1996 NEBB
1996 NEBB
美國環境標準局
美國環境標準局

1999,
1999,
國際標準化組織
國際標準化組織
(ISO)
(ISO)
ISO 14644
ISO 14644
-
-
1
1

The History
The History
• •
Cleanroom
Cleanroom
and Work Station Requirements,
and Work Station Requirements,
Controlled Environments
Controlled Environments
FS 209 A (1966)
FS 209 A (1966)
209 B (1973)
209 B (1973)
209 C (1987)
209 C (1987)


209 D (1988)
209 D (1988)
209 E (1992)
209 E (1992)

FS 209
FS 209

FS 209 D
FS 209 D
Class
Class
Particles /ft
Particles /ft
3 3


0.1
0.1
μ
μ
m
m


0.2
0.2
μ
μ
m
m


0.3
0.3
μ
μ
m
m


0.5
0.5
μ
μ
m
m


5.0
5.0
μ
μ
m
m
1
1
35
35
7.5
7.5
3
3
1
1
NA
NA
10
10
350
350
75
75
30
30
10
10
NA
NA
100
100
NA
NA
750
750
300
300
100
100
NA
NA
1,000
1,000
NA
NA
NA
NA
NA
NA
1,000
1,000
7
7
10,000
10,000
NA
NA
NA
NA
NA
NA
10,000
10,000
70
70
100,000
100,000
NA
NA
NA
NA
NA
NA
100,000
100,000
700
700

FS 209 E
FS 209 E

增加公制單位
增加公制單位



0.5
0.5
μ
μ
m/m
m/m
3
3
,
,


超過
超過
1000
1000


取對數
取對數
,M3
,M3

FS 209 E
FS 209 E
潔淨度等級
微 塵 粒 子
0.1µm 0.2µm 0.3µm 0.5µm 5µm
單位 單位 單位 單位 單位
SI U.S. (m
3
) (ft
3
) (m
3
) (ft
3
) (m
3
) (ft
3
) (m
3
) (ft
3
) (m
3
) (ft
3
)
M 1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - -
M 1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - -
M 2 3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - -
M 2.5 10 12,400 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0 - -
M 3 35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 - -
M 3.5 100 - - 26,500 750 10,600 300 3,530 100 - -
M 4 - - 75,700 2140 30,900 875 10,000 283 - -
M 4.5 1,000 - - - - - - 35,300 1,000 247 7.00
M 5 - - - - - - 100,000 2,830 618 17.5
M 5.5 10,000 - - - - - - 353,000 10,000 2,470 70.0
M 6 - - - - - - 1,000,000 28,300 6,180 175
M 6.5 100,000 - - - - - - 3,530,000 100,000 24,700 700
M 7 - - - - - - 10,000,000 283,000 61,800 1,750

ISO 14644
ISO 14644
-
-
1
1

國際標準化組織
國際標準化組織
(ISO)
(ISO)


International Organization for Standardization,
International Organization for Standardization,
ISO
ISO



1999
1999
,
,
ISO 14644
ISO 14644
-
-
1
1
Classification of Air Cleanliness
Classification of Air Cleanliness

ISO
ISO
等級
等級
分類
分類
其中:
其中:
:是空氣中微塵粒子數最大的容許值,取四捨五入
:是空氣中微塵粒子數最大的容許值,取四捨五入
後的整數值。
後的整數值。
N
N
:是
:是
ISO
ISO
分類等級的編號,此編號不可大於
分類等級的編號,此編號不可大於
9
9


D
D


是所考慮的微塵粒子粒徑,單位為微米
是所考慮的微塵粒子粒徑,單位為微米


μ
μ
m
m
)。
)。
0.1
0.1


是一常數,單位為微米(
是一常數,單位為微米(
μ
μ
m
m
)。
)。
08 . 2
1 . 0
10






× =
D
C
N
n
n
C

ISO Class
ISO Class
潔淨度等級
微 塵 粒 子
0.1 μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm 1 μm 5 μm
ISO Class 1 10 2
ISO Class 2 100 24 10 4
ISO Class 3 1 000 237 102 35 8
ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83
ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29
ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293
ISO Class 7 352 000 83 200 2 930
ISO Class 8 3 520 000 832 000 29 300
ISO Class 9 35 200 000 8 320 000 293 000
方 程 式 (1): Cn = 10
N
X (0.1/D)
2.08
其 中 Cn 是 微 粒 濃 度 , N 是 潔 淨 度 , D 是 粒 徑

IEST
IEST

美國之環境科學與技術協會
美國之環境科學與技術協會


Institute of Environmental Sciences and Technology
Institute of Environmental Sciences and Technology



建議準則
建議準則


Recommended Practices,
Recommended Practices,
RPs
RPs


940 East Northwest Highway
940 East Northwest Highway
Mount Prospect
Mount Prospect
Illinois, 60056, USA.
Illinois, 60056, USA.
Tel :+1 708 255 1561
Tel :+1 708 255 1561
Fax :+1 708 255 1699
Fax :+1 708 255 1699
Web
Web
site:
site:
www.iest.org
www.iest.org

目前較廣為接受關於無塵室認證的測試規範
目前較廣為接受關於無塵室認證的測試規範
其測試之程序更為詳細且嚴謹
其測試之程序更為詳細且嚴謹
對於儀器之使用也有詳細之規定
對於儀器之使用也有詳細之規定
逐漸成為無塵室測試規範的標準
逐漸成為無塵室測試規範的標準

NEBB
NEBB


National Environmental
National Environmental
Balancing Bureau
Balancing Bureau

世界各國無塵室等級法規標準
世界各國無塵室等級法規標準
ISO
14644-1
1999
USA
209E
1992
Japan
B 9920
1989
France
X44101
1981
Germany
VID 2083
1990
UK
BS 5295
1989
Australia
AS 1386
1989
Class 1
Class 2
Class 3
Class 4
Class 5
Class 6
Class 7
Class 8
Class 9
1
10
100
1,000
10,000
100,000
1
2
3
4
5
6
7
8
4000
---
400000
4000000
0
1
2
3
4
5
6
7
C
D
E,F
G,H
J
K
L
0.035
0.35
3.5
35
350
3500

Occupancy state (
Occupancy state (
操作狀態
操作狀態
)
)

As built
As built

At rest
At rest

Operational
Operational
測試方法之標準程序
測試方法之標準程序
測試項目 測試項目 單一流向型 單一流向型 非單一流向型 非單一流向型 混合型 混合型
風量與均勻度 風量與均勻度 1,2,3 1,2,3 1,2,3 1,2,3 1,2,3 1,2,3
風速與均勻度 風速與均勻度 1,2,3 1,2,3 OPT OPT OPT OPT
濾網洩漏 濾網洩漏 1,2 1,2 1,2 1,2 1,2 1,2
潔淨度 潔淨度 1,2,3 1,2,3 1,2,3 1,2,3 1,2,3 1,2,3
壓差 壓差 1,2 1,2 1,2,3 1,2,3 1,2,3 1,2,3
平行度 平行度 1,2 1,2 N/A N/A OPT (1,2 only) OPT (1,2 only)
空間洩漏 空間洩漏 1,2 1,2 1,2 1,2 1,2 1,2
恢復率 恢復率 N/A N/A 1,2 1,2 1,2 1,2
照度 照度 1,OPT(2,3) 1,OPT(2,3) 1,OPT(2,3) 1,OPT(2,3) 1,OPT (2,3) 1,OPT (2,3)
噪音 噪音 1,2,3 1,2,3 1,2,3 1,2,3 1,2,3 1,2,3
振動 振動 OPT OPT OPT OPT OPT OPT

無塵室空調系統量測及檢驗項目
無塵室空調系統量測及檢驗項目
註: 註:1.as 1.as- -built 2.at built 2.at- -rest 3.operational rest 3.operational

濾網流速與流量均勻性測試
濾網流速與流量均勻性測試

測量目的
測量目的
1.
1.
確認濾網送出的氣流
確認濾網送出的氣流
(
(
流量
流量
)
)
滿足設計規範
滿足設計規範
2.
2.
確認氣流
確認氣流
(
(
流量
流量
)
)
的均勻度
的均勻度
3.
3.
某些場合室內換氣量還必須用風速乘以出口
某些場合室內換氣量還必須用風速乘以出口
面積來換算
面積來換算
4.
4.
層流
層流
--
--
風速均勻度非常重要
風速均勻度非常重要
5.
5.
非單一流向型無塵室,換氣量遠比風速重要
非單一流向型無塵室,換氣量遠比風速重要

範圍
範圍


0.25 m/s
0.25 m/s


0.6 m/s
0.6 m/s


之間
之間

精確度
精確度
±
±
5
5

均勻性測試建議使用儀器
均勻性測試建議使用儀器
廠牌:ALNOR
型號:Model 8585
測量範圍:
(1)風速 0-50m/s(0-9999ft/min)
準確度 ±3﹪
解析度0.01m/s(1ft/min)
(2)溫度 -10-60℃(14-140℉)
準確度 ±0.3℃(±0.5℉)
解析度0.1℃(0.1℉)
風罩式風量計
風罩式風量計


Electronic
Electronic
Balometer
Balometer


廠牌:ALNOR
型號:APM 150 Meter
測量範圍:
風量 85~400m
3
/h
溫度 0℃~50℃

程序
程序

標準
標準
1.
1.
平均氣流速度
平均氣流速度
(
(
風量
風量
)
)
必須在
必須在
±
±
5
5


2.
2.
標準差百分比以不超過
標準差百分比以不超過
±
±
15
15


( ) ( ) ( )
1
...
2 2
2
2
1

− + + − + −
=
N
V V V V V V
SD
AM N AM AM
V

均勻性測試程序與標準
均勻性測試程序與標準
( ) N V V V V
N AM
/ .....
2 1
+ + + =
% 100 * /
AM V
V SD RSD =
1ft
sensor
1ft
HEPA filter
75~150mm

目的
目的
說明在無塵室中或工作面積的橫切面氣流
說明在無塵室中或工作面積的橫切面氣流
均勻度
均勻度

測量儀器
測量儀器
與均勻性測試相同
與均勻性測試相同

工作區域的氣流速度一致性測試
工作區域的氣流速度一致性測試

程序
程序

標準
標準
1.
1.
一般平均氣流速度須在
一般平均氣流速度須在
±
±
5
5


2.
2.
平均標準差百分比以不超過
平均標準差百分比以不超過
15
15


為標準
為標準

工作區域流速測試程序與標準
工作區域流速測試程序與標準
150cm
或工作高度
sensor
4ft
4ft
工作面積

目的
目的
測試濾網邊框與濾網是否有洩漏
測試濾網邊框與濾網是否有洩漏

使用儀器
使用儀器
1.
1.
微粒子計數器(
微粒子計數器(
Particle Counter
Particle Counter


2.
2.
濾網掃描接頭(
濾網掃描接頭(
Isokinetic Sampling
Isokinetic Sampling
Probe
Probe


3.
3.
微粒子煙霧產生器(
微粒子煙霧產生器(
Aerosol
Aerosol
Generator
Generator

濾網安裝洩漏測試
濾網安裝洩漏測試

濾網安裝洩漏測試
濾網安裝洩漏測試
規格:
規格:
Specifications
Specifications
廠牌:
廠牌:
MetOne
MetOne
型號
型號
3313 PORTABLE
3313 PORTABLE
COUNT
COUNT
電壓
電壓
100~250V
100~250V
50/60Hz
50/60Hz
電流
電流
0~2A
0~2A
量測範圍
量測範圍
0.3,0.5,1,3,5,10
0.3,0.5,1,3,5,10
μ
μ
m
m


6 Channels
6 Channels
取樣流量
取樣流量
1CFM
1CFM

濾網安裝洩漏測試
濾網安裝洩漏測試
P
P S S C
r
N
D F L C
S
×
× × ×
=
60

標準
標準
1.
1.
濾網損壞處不得超過
濾網損壞處不得超過
HEPA
HEPA
表面積之
表面積之
3
3


2.
2.
修補之限制為直徑為
修補之限制為直徑為
1.5
1.5
英吋(
英吋(
38mm
38mm


3.
3.


HEPA
HEPA
無法修復時,須加以更換
無法修復時,須加以更換

濾網安裝洩漏測試
濾網安裝洩漏測試
破洞
≦HEPA表面積之3﹪
≦直徑38mm
HEPA

測試目的
測試目的
測得知無塵室等級數
測得知無塵室等級數

使用儀器
使用儀器
微粒子計數器
微粒子計數器


Particle Counter
Particle Counter

無塵室清淨度等級之測試
無塵室清淨度等級之測試

程序
程序
1.
1.
完成部分測試
完成部分測試
(
(
均勻性、壓差、污染源、
均勻性、壓差、污染源、
濾網洩漏
濾網洩漏
)
)
2.
2.
建立測試取樣點
建立測試取樣點
(ISO)
(ISO)
取樣點=
取樣點=
A
A
0.5 0.5
3.
3.
取樣高度:
取樣高度:


FL
FL


1.5m
1.5m
4.
4.
決定為粒子之大小
決定為粒子之大小
5.
5.
設定取樣時間:
設定取樣時間:
1
1
分鐘
分鐘

無塵室清淨度等級之測試
無塵室清淨度等級之測試

無塵室清淨度等級之測試
無塵室清淨度等級之測試

1.
1.
單點平均值
單點平均值


Individual Averages
Individual Averages


A
A
=(
=(
C1
C1


C2
C2




.
.


CN
CN


/ N
/ N

2.
2.
整體平均值
整體平均值


All Means of Averages
All Means of Averages


M
M
=(
=(
A1
A1


A2
A2




.
.


AL
AL


/ L
/ L

3.
3.
標準偏差
標準偏差


Standard Deviation
Standard Deviation


SD
SD




(A1
(A1
-
-
M)2
M)2


(A2
(A2
-
-
M)2
M)2




.
.


(AL
(AL
-
-
M)2/ L
M)2/ L
-
-
1
1


0.5
0.5

4.
4.
標準誤差
標準誤差


Standard Error
Standard Error


SE
SE


SD/ (L) 0.5
SD/ (L) 0.5

目的
目的
證實
證實
HVAC
HVAC
系統的能力保持在規定的壓力差內
系統的能力保持在規定的壓力差內

氣密性與壓力測試
氣密性與壓力測試
型號
型號


HM28
HM28
使用範圍
使用範圍


0~25mbar
0~25mbar
壓差
壓差
精度
精度


0.1
0.1

壓差測試
壓差測試
程序
等級高無塵室先行測量
在做壓力測試之前必須完成氣流測試程序
(如:氣流均勻性、平行度、清淨度等)
標準
CGMP 10Pa合格
半導體無塵室壓差為10~25Pa
負壓隔離病房為8~12Pa

程序
程序
等級高無塵室先行測量
等級高無塵室先行測量
在做壓力測試之前必須完成氣流測試程序
在做壓力測試之前必須完成氣流測試程序
(
(


:
:
氣流均勻性、平行度
氣流均勻性、平行度、 、
清淨度等
清淨度等
)
)

標準
標準
CGMP 10Pa
CGMP 10Pa
合格
合格
半導體無塵室壓差為
半導體無塵室壓差為
10~25Pa
10~25Pa
負壓隔離病房為
負壓隔離病房為
8~12Pa
8~12Pa

目的
目的
觀察在工作區域裡面氣流的運動模式
觀察在工作區域裡面氣流的運動模式

方法
方法
1. Smoke (
1. Smoke (
煙霧
煙霧
)
)
2. Vapor (
2. Vapor (
水霧
水霧
)
)
3. Helium Bubble (
3. Helium Bubble (
氦氣
氦氣
)
)
4. Streamer (
4. Streamer (
細線或彩帶
細線或彩帶
)
)
5. 3
5. 3
-
-
D ultrasonic anemometer (
D ultrasonic anemometer (
超音波風
超音波風
速計
速計
)
)

氣流平行度量測
氣流平行度量測
超音波風速計
超音波風速計


Ultrasonic Anemometer
Ultrasonic Anemometer


廠牌 廠牌: :ANEMOSONIC ANEMOSONIC
TM TM
型號 型號: :Ultrasonic Anemometer UA6 Ultrasonic Anemometer UA6
測量範圍 測量範圍: :
( (1 1) )風速 風速 0.0 0.0- -50m/sec 50m/sec( (0.0 0.0- -9,999ft/min 9,999ft/min) )
誤差 誤差 ± ±1 1﹪ ﹪解析度 解析度0.01m/sec 0.01m/sec( (1ft/min 1ft/min) )
( (2 2) )紊流強度 紊流強度0 0- -99 99﹪ ﹪
( (3 3) )體積流率 體積流率0.0 0.0- -5,000m 5,000m
3 3
/sec /sec
( (0.0 0.0- -9.999 9.999× ×10 10
6 6
ft ft
3 3
/min /min) )
( (4 4) )溫度 溫度0 0- -70 70℃ ℃( (32 32- -158 158℉ ℉) )
誤差 誤差± ±1 1℃ ℃( (± ±2 2℉ ℉) )解析度 解析度0.1 0.1℃ ℃( (1 1℉ ℉) )
( (5 5) )面積輸入 面積輸入0.008 0.008- -99.99m 99.99m
2 2
( (0.0862 0.0862- -1,076ft 1,076ft
2 2
) )
( (6 6) )相對溼度 相對溼度0 0- -99% 99%
NCIT Dr. Wang Lab.

Flo
Flo
-
-
Viz
Viz
method
method
氣流方向
天花板
偏移量mm
地板
Flo-viz
2135
mm
2440
mm
915mm
鉛錘線
a
b
A
A=a/b
Tangent
-1
Angle A°
0.070
0.105
0.141
0.176
0.213
0.249
0.287
0.325
4
6
8
10
12
14
16
18

Flo
Flo
-
-
Viz
Viz
method
method
標準
標準
:
:
偏移角度
偏移角度
<14
<14
°
°

目的
目的
空調系統停機再啟動時,多久清淨等級可
空調系統停機再啟動時,多久清淨等級可
以回覆到標準水平的時間
以回覆到標準水平的時間

糧測儀器
糧測儀器
1.
1.
微粒子計數器
微粒子計數器
2.
2.
煙霧粒子產生器
煙霧粒子產生器

回覆測試
回覆測試

回覆測試
回覆測試
粒子計數器
粒子產生器
filter
排氣

回覆測試
回覆測試

標準
標準
任意選擇是否進行回覆測試
任意選擇是否進行回覆測試
回覆時間與換氣量、氣流型態有關
回覆時間與換氣量、氣流型態有關
由業主與操作者議定
由業主與操作者議定

目的
目的
證實規定的亮度和亮度的均勻性滿足規定
證實規定的亮度和亮度的均勻性滿足規定
的需要
的需要

方法
方法

照度和均勻性測試
照度和均勻性測試
76cm
60cm
照度計
60cm
人類視覺困難範 人類視覺困難範
圍 圍
(FC) (FC)
設計值 設計值
(FC) (FC)
可接受範 可接受範
圍 圍
(FC) (FC)
路邊服務區、公眾區域 路邊服務區、公眾區域 - - 15 15 12~18 12~18
在辦公室空間之銷售區 在辦公室空間之銷售區
域,非工作位置 域,非工作位置
- - 30 30 24~36 24~36
標準辦公室裡之工作 標準辦公室裡之工作
區、閱讀區、寫作區等 區、閱讀區、寫作區等
等 等
1~39 1~39 50 50 40~60 40~60
辦公室工作裡使用電腦 辦公室工作裡使用電腦
區、視覺上有困難或危 區、視覺上有困難或危
急 急( (眼類疾病 眼類疾病) )之人 之人
40~59 40~59 75 75 60~90 60~90
辦公室工作裡使用電腦 辦公室工作裡使用電腦
區、視覺上有困難並且 區、視覺上有困難並且
危急 危急( (眼類疾病 眼類疾病) )之人 之人
60 60以上 以上 100 100 80~120 80~120
註;
註;
1FC
1FC


foot
foot
-
-
candle
candle
)=
)=
10.76
10.76
lux
lux

照度和均勻性測試之標準
照度和均勻性測試之標準

目的
目的
確認在無塵室中或鄰近範圍之
確認在無塵室中或鄰近範圍之
HVAC
HVAC
系統
系統
以及使用
以及使用


用電系統之機器
用電系統之機器
可能產生之噪音,是否合乎規
可能產生之噪音,是否合乎規
範之標準值或達到設計值之要求
範之標準值或達到設計值之要求

建議使用儀器
建議使用儀器
1.
1.
分析之頻率範圍
分析之頻率範圍


31.5 Hz
31.5 Hz


16 kHz
16 kHz
2.
2.
器使用範圍限制在
器使用範圍限制在
14
14


to 122
to 122


(
(
-
-
10
10


to 50
to 50


)
)
之間
之間
3.
3.
相對溼度介於
相對溼度介於
0 to 90RH
0 to 90RH
之間
之間
4.
4.
精確
精確


±
±
5
5

噪音測試
噪音測試
微電腦噪音計
微電腦噪音計


Sound Level Meter
Sound Level Meter


型號
型號


HD 9020
HD 9020
精確度
精確度


Class 1
Class 1
測量範圍
測量範圍


14dB
14dB


135dB
135dB
頻率加權特性
頻率加權特性


16Hz
16Hz


16kHz
16kHz
符合
符合
IEC651
IEC651


IEC804
IEC804


IOS1996
IOS1996

程序
程序
測量每一個柵格並記錄聲音之水準
測量每一個柵格並記錄聲音之水準
(63 to
(63 to
8000 Hz)
8000 Hz)

噪音標準值
噪音標準值
NC60
NC60
-
-
70
70

噪音測試
噪音測試
1.5m 1.5m
20m 20m
20m 20m

目的
目的
使用振動計來測驗
使用振動計來測驗
設備
設備


cleanroom
cleanroom
架構
架構
等,
等,
來防止因為過大的振動影響製程,因
來防止因為過大的振動影響製程,因
而減少良率
而減少良率



建議使用儀器
建議使用儀器
1.
1.
溫度範圍必須介於
溫度範圍必須介於
14
14


to 122
to 122


2.
2.
相對溼度介於
相對溼度介於
0 to 95RH
0 to 95RH
之間
之間
3.
3.
振動位移
振動位移


peak to peak
peak to peak




0.030in.
0.030in.


0.75mm
0.75mm


所產生之震動頻率介於
所產生之震動頻率介於
10
10


55 Hz
55 Hz

振動測試
振動測試
數字式振動計
數字式振動計


Vibration Meter
Vibration Meter


型號
型號


TYPE 3144
TYPE 3144


A
A


測定範圍
測定範圍


加速度
加速度


ACC
ACC




0.0
0.0


199.9m/s
199.9m/s
2 2
PEAK
PEAK
速度
速度


VEL
VEL




0.0
0.0


199.9mm/s PEAK
199.9mm/s PEAK
位移
位移


DISP
DISP




0.0
0.0


1.99 mm PEAK
1.99 mm PEAK
-
-
PEAK
PEAK
頻率範圍
頻率範圍


3
3


5000Hz
5000Hz

勤益技術學院機械系無塵室平面圖
勤益技術學院機械系無塵室平面圖
參觀走道
回風道
主機房
鋼瓶室
中控室
辦公室
更衣室
黃光區酸洗室
工作

(33m)
(
8
m
)
Class 1000 無塵室
(6m)
(
2
.
4
m
)
AS
AL
製程區

無塵室之設計值
無塵室之設計值
區域
潔淨度
(級)
溫度
(℃DB )
溼度
(%RH)
噪音
(dB)
室壓
(mmAq)
實驗室區 100 22±2 55±5 ≦70 ≧1.5
製程區 1000 22±2 55±5 ≦75 ≧1.25

現場濾網風量均勻性測試
現場濾網風量均勻性測試
參觀走道
回風道
主機房
更衣室
黃光區 酸洗室
AS
AL
(20m)
(
6
m
)
製程區
A1 A2 A3 A4 A5 A6 A7 A8 A9 A10 A11
B1 B2 B3 B4 B5 B6 B7 B8 B9 B10 B11
C1 C2 C3 C4 C5 C6
E1 E2 E3 E4 E5 E6
工作

無塵室風量量測之測點
無塵室風量量測之測點
黃光區
F1 F2
酸洗室
G1 G2
工作棚
H2 H2
H2

無塵室風量量測之數據
無塵室風量量測之數據
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
A 440 435 471 449 459 455 477 436 474 471 450
B 468 454 490 440 550 416 378 427 439 438 455
C 423 437 416 421 431 481
E 410 415 424 432 392 472
F 414 418
G 491 488
H 441 451 412
(單位:m
3
/hr)

無塵室製程區風量量測之計算結果
無塵室製程區風量量測之計算結果
( ) ( ) ( )
1
...
2 2
2
2
1

− + + − + −
=
N
Q Q Q Q Q Q
SD
AM N AM AM
Q
Q
SD
AM Q
Q SD RSD / =
×100﹪
( ) N Q Q Q Q
N AM
/ .....
2 1
+ + + =
計算式子 計算結果
Q
AM
=444
(m
3
/hr)
=31
RSD=7%

黃光區、酸洗區、工作棚
黃光區、酸洗區、工作棚
之計算結果
之計算結果
Q
SD
黃光區 酸洗區 工作棚
Q
AM
(m
3
/hr)
416 490 435
2.828 2.236 20.26
RSD 0.68 0.456 4.657
總風量
(m
3
/hr)
832 979 1304


12.6
12.6


13
13

現場
現場
無塵室
無塵室
清淨度
清淨度
測試
測試
參觀走道
回風道
主機房
更衣室
AS
AL
1
2
4
3
5
6
8
(20m)
(
6
m
)
7
9
10
11 12 13
黃光區 酸洗室
製程區
Clean
Booth
m m 8 20 ×

製程區微粒子之量測數據
製程區微粒子之量測數據
Loc.01 28.0 22.0 27.0 5.0 2.0 4.0
Loc.02 2.0 3.0 1.0 0.0 1.0 0.0
Loc.03 8.0 6.0 15.0 1.0 2.0 2.0
Loc.04 8.0 4.0 9.0 3.0 1.0 0.0
Loc.05 9.0 6.0 4.0 0.0 4.0 0.0
Loc.06 6.0 3.0 1.0 1.0 0.0 0.0
Loc.07 7.0 5.0 3.0 0.0 2.0 2.0
Loc.08 6.0 3.0 9.0 0.0 1.0 1.0
Loc.09 2.0 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0
Loc.10 5.0 6.0 0.0 0.0 1.0 0.0
Loc.11 0.0 2.0 6.0 0.0 1.0 0.0
Loc.12 3.0 3.0 6.0 0.0 2.0 0.0
Loc.13 17.0 10.0 13.0 5.0 4.0 3.0
Location Location
0.3 0.3μ μm m 0.5 0.5μ μm m 1.0 1.0μ μm m 3.0 3.0μ μm m 5.0 5.0μ μm m 10.0 10.0μ μm m

製程區微粒子之量測數據分析
製程區微粒子之量測數據分析
0
5
10
15
20
25
30
L
o
c
.
0
1
L
o
c
.
0
3
L
o
c
.
0
5
L
o
c
.
0
7
L
o
c
.
0
9
L
o
c
.
1
1
L
o
c
.
1
3
取樣點





0.3μm
0.5μm
1.0μm
3.0μm
5.0μm
10.0μm

現場照度測試
現場照度測試
參觀走道
回風道
主機房
更衣室
AS
AL
250 520 243
310 530 308
537 520 300
250 520 243
310 530 308
537 520 300
189 246 187
220 326 191
190 295 186
511 570 584 706 560 550 563 560 510
628 650 700 711 708 689 684 685 654
560 561 559 550 530
658 657 684 670 560
504 634 696 706 703 618 636 626 658
(單位:lx)

現場噪音測試
現場噪音測試
參觀走道
回風道
主機房
更衣室
AS
AL
1
2 4
3 5 6
7 8
(20m)
(
6
m
)
120 m
2
/40 m
2
=3點
NCIT Dr. Wang Lab.

噪音測試記錄表
噪音測試記錄表
(NC)
(NC)
中心
頻率
(Hz)
測量點(dB) 標準

(dB)
1 2 3 4 5 6 7 8
63 70 69 69 69 72 73 77 72 83
125 72 75 74 76 75 73 71 68 79
250 68 67 68 67 67 68 67 66 75
500 67 66 73 68 73 68 67 65 73
1000 66 69 66 67 66 65 65 66 71
2000 68 66 66 65 64 64 64 68 69
4000 65 65 65 68 65 67 64 63 68
8000 65 65 65 65 65 65 65 64 67

現場振動測試
現場振動測試
回風道
主機房
更衣室
AS
AL
0.4
0.4 0.4
1.1
0.5 0.4 0.3 0.3 0.3
0.7 0.5 0.4 0.4 0.4 0.6 0.4
0.9 0.8
1.0
0.8 1.0 0.8 0.8 0.8
0.4
0.8
(單位: mm/s )

世界各國仍普遍採用
世界各國仍普遍採用
ISO 14464
ISO 14464
-
-
1
1
與美國聯邦標準
與美國聯邦標準
209E
209E


在標準規範上尚屬完備
在標準規範上尚屬完備

NEBB
NEBB
在檢測之項目皆有詳細規範
在檢測之項目皆有詳細規範
且在
且在
A
A
s
s
-
-
built
built
A
A
t
t
-
-
rest
rest
O
O
perational
perational
下皆須能符合無塵室等級之要求進行驗證
下皆須能符合無塵室等級之要求進行驗證
結論
結論

在驗收基準上有相當之複雜度
在驗收基準上有相當之複雜度

須輔以各式精密之量測儀器始可達成
須輔以各式精密之量測儀器始可達成

配合國內蓬勃發展之高科技產業界,作為
配合國內蓬勃發展之高科技產業界,作為
業主與承包商共同可依循之準則,實有其
業主與承包商共同可依循之準則,實有其
迫切的必要性
迫切的必要性
!!
!!
結論
結論
(
(


)
)
Thanks!!


無塵室

半導體製程工業、精密切削、 生化科技、醫療及食品工業等 不可或缺之重要空調設施 法規 ISO 14464-1 NEBB US Fed 209E 檢測 項目多,相當之複雜度 輔以精密之量測儀器 完成無塵室認證之相關法規及標準比較 成為廠商與業主間之結案依據

You're Reading a Free Preview

Download
scribd
/*********** DO NOT ALTER ANYTHING BELOW THIS LINE ! ************/ var s_code=s.t();if(s_code)document.write(s_code)//-->