高科技廠房空調系統控制

High Tech Fab HVAC System Control

魏 志 昌
Chih-Chang Wei

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 大綱

 冰水系統概述
 無塵室理論概述
 無塵室空調控制
 一般區域空調控制

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 中央空調系統流程圖

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 冰水系統架構

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 5℃ 冰水系統控制

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 9℃ 冰水系統控制

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 冷卻水塔控制

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 溫水系統
溫水氣動閥狀態　

冰機熱回收出水溫度

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 溫水系統熱回收控制

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 製程冷卻水系統

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 何謂無塵室

無塵室是一個能夠控制微塵粒子的房間，並且其是採
用將引進及產生的污染微塵粒子數降至最低的原則來
建造及使用，而且包含其它相關參數（溫度、溼度、
壓力、照度、噪音、地板導電度等）皆必須加以控制
在必要之範圍。

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 無塵室應用

工業潔淨室（ ICR ）
所注重的是 Particle 的控制

生化潔淨室（ BCR ）
所注重的是微生物的抑制

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 無塵室應用

產業 產品
電子業 電腦、電子元件、液晶螢幕

半導體業 電腦記憶體與控制等的 IC 生產製造

精密機械業 迴轉儀、精密軸承、 CD 播放器

光學工業 透鏡、照相軟片、雷射設備

生物科技業 抗生素產品、遺傳學工程

製藥業 無菌製藥、無菌處理

醫學設備 人工心臟瓣膜、心導管系統

食品飲料工業 釀造業、無菌包裝食品及飲料

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 無塵室等級定義

 藉著量測每立方英呎之空氣中所含有小於或等於
0.5μm 粒徑的微塵粒子數。

 例所謂 class 100 的潔淨室是指每立方英呎之空氣中

所含有 0.5μm 粒徑的微塵粒子數應小於 100 個。

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 FS209D
Particle/ft³
等級 ≧ 0.1um ≧ 0.2um ≧ 0.3um ≧ 0.5um ≧ 5um
1 35 7.5 3 1 NA
10 350 75 30 10 NA
100 NA 750 300 100 NA
1000 NA NA NA 1000 7
10,000 NA NA NA 10,000 70
100,000 NA NA NA 100,000 700

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 FS 209 D 需求條件

size 粒子數目 壓差 溫度℃

照度
Class 風速
μｍ Particles/ft3 mmAq 範圍 推薦值 誤差值 lux

1 1 19.4
~ 22.2 ±2.8 層流式
10 10 25 0.35~0.55
m/s
100 0.5 100 溼度 1,080~
>1.25
μｍ 1,620
1K 1K
45
亂流式
10K 10K ~ ±10 ≧20 次 /hr
30
100K 100K

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 Clean room 相關法規比較
Fed.std.209E 微塵粒子上限
ISO/
TC209 英制 SI 0.5μ ｍ /ft3 0.5μ ｍ /m3
0.1μ ｍ /m3

M7 10,000,000
ISO 8 100,000 M6.5 100,000 3,530,000
M6 1,000,000
ISO 7 10,000 M5.5 10,000 353,000
M5 100,000
ISO 6 1,000 M4.5 1,000,000 1,000 35,300
M4 10,000
ISO 5 100 M3.5 100,000 100 3,530
M3 1,000
ISO 4 10 M2.5 10,000 10 353
M2 100
ISO 3 1 M1.5 1000 1 35
M1 10
ISO 2 100 0 3
ISO 1 10 0 0
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 無塵室風側流程圖

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 外氣空調箱控制

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 各段閥體控制

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 外氣空調箱概述

MAU: Make up Air Unit( 正壓空調箱 & 新鮮空氣空調箱 )

OAC: Outside Air Conditioner ( 外氣空調箱 )

說明 : 無塵室必須保持室內達到潔淨度之要求，為防止外界較髒空氣滲
入無塵室，影響無塵室之潔淨度，基本上保持室內正壓是必要的條
件，如何保持正壓呢 ? 則是利用外氣輸入無塵室，但輸入無塵室
的空氣對室內溫濕度與潔淨度又不能有影響，因此外氣空調箱對無
塵室的重要性便不可言喻。

目的：外氣量之設計方面，其補充量有下列考量：
1. 維持無塵室內之正壓，外氣量應比排氣量高約 10% 左右。
2. 去除外氣之不純物質與塵埃， 維持無塵室內之健康環境。
3. 保持外氣進入無塵室為一定之溫溼度條件 , 並避免對無塵室內
負
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荷變動太大。 21
 外氣空調箱功用
 壓力控制 :
根據 COMMON CHAMBER 或室內之靜壓，調整變頻器輸
出頻率做 PID 控制。
 溫溼度控制 :
根據外氣條件 , 出風溫溼度或室內溫溼度利用冰水盤管，加
熱器，熱水盤管，加濕器 .... 等設備達到預設值輸出。
 外氣微塵粒之預處理 :
空氣經由空調箱多道濾網或室內濾網控制逹到潔淨度之需
求
 氣態分子之控制 :
空氣經由 Air washer 洗滌，化學濾網或特殊處理將有害的
氣態分子分離處理後輸送至室內。
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 除濕模式〈夏季〉
Pre-heat Air Washer (3) Reheating(5)
Coil (1)

OA
Pre-cooling Dehumidify Coil(4) 2 1
Coil(2)

2.Pre-cooling Coil
4.Dehumidify Coil
5.Reheating Coil
6.DCC 〈 Dry Cool Coil 〉
4
ROOM CONDITION

5 6

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 加濕模式〈冬季〉
Pre-heat Reheating
Air Washer(3)
Coil(1) Coil(5)

Pre-cooling Dehumidify Coil(4)

Coil (2)

1.Preheating Coil
3.Air Washer
4.Dehumidify Coil
5.Reheating Coil
6.DCC 〈 Dry Cool Coil 〉

4
6 ROOM CONDITION
5
OA
1 3

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 TCWP SYSTEM

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 TCWP CONTROL

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 TT/HT SENEOR

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 Dry coil 閥體控制

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 AHU 一般控制

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 AHU 恆溫恆濕控制

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 AHU 區域及日夜間節能控制

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 VAV 箱體作動原理說明
VAV 終端風箱因氣流通過，使得風壓開關測得風
壓。測得風壓訊號傳至驅動器，由驅動器可程式
換算流過 VAV 終端風箱風量。此時驅動器可程式
得到流過 VAV 終端風箱風量，與驅動器設定風量
比較，使流過 VAV 終端風箱風量維持在設定下。
溫控器感測室內溫度，通知驅動器開關風門，保
持室溫維持恆定。
SH = C  Q  ΔT
改變 ΔT ：定風量系統
改變 Q ：變風量系統

同時改變 ΔT 及 Q ，容易產生控制之追逐現象 (HUNTING) ，控制邏輯上不

採用，但可分階段以不同時間及控制差異來改變，如 VAV FAN POWER
BOX 先改變 Q 維持恒溫，至低負荷時固定 Q 以維持最小室內循環量。
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 VAV( 變風量風箱 )

驅動器 風壓感測器

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 謝謝聆聽
敬請指教

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