PAK 11/2001 Waldemar Andrzej MINKINA POLITECHNIKA CZESTOCHOWSKA wn METROLOGIA _ POMIARY TERMOWIZYJNE WYDZIAt ELEKTRYCZNY, INSTYTUT ELEKTRONIK! | SYSTEMOW STEROWANIA PODSTAWY POMIAROW TERMOWIZYJNYCH Czesi . Waldemar Andrze] MINKINA, Dr hab. i Profesor nadzwyezajny Politechniki Czpsto chowskie; kieruje Zakladem Technik Mikro- procesorowiyeh, Automatyki i Pomiaréw Gieplnyeh; obecnie takze dyrektor Instytutu Elektroniki i Systemaw Sterowania na ‘Wydziale Plektrycrnym Politechniki Czesto- chowskiej, Stopien naukowy doktora nauk technicenych uzyskal w 1983, a doktora habilitowanego — w 1995, Jest autorem { wspolautorem okolo 70 publikacji oraz 6 patentéw. Specjalizje sig w problematyee Sotyczaee} szeroko rozumnianej termometi termogratlikomputerome) oraz pomiaréw cieploych. Odbyt wielokrotnie stwe zagraniczne w Instytutach Miernitwa Universytetow: Karlsruhe, Berlina Zachodniego, Drezna, Federalnym Uregdzie Miar (PTB w Bernie), Sankt Potersburga i Lwowa, W zakresie termografii komputerowe} scisle wspolpracuje z Instytutem | Miernictwa Universytets Rostockiego, Jest czlonkiem Sekeji Kevtalcenia Komitetu Metcologii i Aparatury Naukowe} PAN, Polskiego Towarzystwa Technik Sensorowe] oraz Stowarzyszenia Elektryk6w Polskich, gdzie jest reeczo- znawea w trzech grupach, Streszezenie W artykule opisano przydatne w praktyce, podstawowe zagadnie- nia problematyki pomiaréw termowizyjnych. Wskazano na pro- blemy zwiqzane z metrologiczna interpretacja uzyskanych wyni- kéw. Przeanalizowano wlaseiwosci kamer krétkofalowych (SWB Short Wave Band) i dlugofalowych (LWB — Long Wave Band). Opisano take budowe najezesciej obecnie stosowanego do cel6w badawezych studniowego, fotonowego detektora kwantowego QWIP (Quantum Well Infrared Photon detector) 0 najwyzsze} temperaturowej 2dolnosci rozdzieleze}. Artykut stanowi Kontynu- acie prac opublikowanych w numetze 1/2000 PAK, Slowa kluczowe: pomiary w podezerwieni, termografia, pomiary temperatury, bledy pomiarsw, Abstract, In the paper there are described practically useful, basic problems of thermovision measurements. Issues connected with metrologi- cal interpretation of obtained results are pointed out. Features of both types of cameras: short (SWB ~ Short Wave Band) and long (LWB ~ Long Wave Band) are analysed. The structure of the QWIP (Quantum Well Infrared Photon) detector, of the temperature resolution, which is now most commonly used for re- search purposes is also described. The paper is continuation of works published in the 1/2000 issue of Pomiary Automatyka Kontrola, Keywords: infrared measurements, thermography, temperature me- surements, uncertainties. Uwagi wstepne Niniejszy artykut jest kontynuacja tematyki podjetej w pracach [1. 2], w ktorych opisano podstawy teoretyczne pomiaréw termo- wizyjnych, 1ys historycany rozwoju, standardowe detektory pro- mieniowania podczerwonego, bledy pomiaréw termowizyjnych, Ill - Problemy metrologiczne, interpretacja wynikow W niniejszej publikaeji opisano problemy metrologiczne zwiazane 2. interpretacia wynikéw pomiaréw termowizyjnych. Zagadnienia te sq mato mane w polskie} metrologicene} literaturze fachowe} za8 na Swiecie opisywane w sposdb marginalny, najczesciej nie przez mettolog6w. Diatego celem niniejsze} publikacii jest przybli- Zenie tego zagadnicnia, W zwigzku z.faktem, Ze techniki termowizyjne obecnie na Swie cic sa bardzo dynamicznie rozwijajqca sig dziedzing wiedzy, aist- niejace, polskie i zagraniczne podrgezniki nic opisuja najnows7ych rozwiqaath w tej dziedzinie [3, 4], na poczatku zostanie skrétowo oméwiony najnowszy detektor promicniowania podezerwonego ‘typu QWIP. Bedzie to uzupetnienie materiatu o detektorach przed- stawionego weresnie}. Sq takée nickiedy problemy 7 ustaleniem rawidlowe), polskie terminologii metrologicmne| w tej dziedzinie, gayi powstajace nowe rozwigzania nie maja odzwierciedlenia Ww nazewnictwie istniejgeej normy [5]. Dlatego w niniejszej pracy, w przypadku braku polskiego terminu, przyjeto okreslenie wyni- kajqce berposrednio 7. tlumaczenia angielskicgo. 1. Wspotezesne kamery termo' naukowych yyjne do badan Obecnie dla celéw naukowo-badawerych naje7escie} stosuie sig ka- mery 7 matrycowymi detektorami kwantowymi QH7P (Quantum Well Infrared Photon detector ~ Kwantowe, Studniowe, Fotonowe dotektory Podczerwieni). Detektory QWIP opracowata Firma AT&T na pocratku lat 90tych. Strukturg stanowia cienkie warstwy AlGaAs oraz GaAs ~ rys. 1. Dla zapewnienia optymalnych para- ‘metréw pracy wymagaja schtodzenia do temperatury -203°C (70K) za pomoca chtodnicy Stirlinga wraz. naczyniem Dewara, czyli wymagaja nieco wiekszego schlodzenia niz typowe detek- tory chtodzone: -196°C (77K). Obecnie sq to najezulsze detektory 0 temperaturowej zdolnoset rozdzielezej: 20-40mK,, dlatego stosowi- ne sa glownie do badah naukowyeh, Najwieksza cautoss widmowa maja w pasmie dtugofalowym (LW) 894m o bardzo waskie} s7e- rokosei Iym. Ich cecha charakterystycang jest stosunkowo wysoka Jednorodnosé poszczeg6lnych elementow (pikseli) matrycy Rejestracja obrazu odbywa sig dynamika 14 bitowa, t). gwaran- tuja modliwo8é uzyskania rozdzielezosci praetwornikéw analogo- wo-cyfrowych (A/C) réwng 2"=16384, Wytramt 2 Awaseymiarow w ontaktowe Gas Cienkie, doine podloie Gaas Fromicniowanie IR Rys. 1, Struktura pojedynczego piksela matryey QWIP 0 rozmiarach 30x30,m (6.PAK 11/200) Detektory QWIP naleza obecnie do najbardziej zaawansowa- nych na swiecie, W zakresie dalszych badai nad detektorami kwantowymi planuje sig stworzenie wigkszych matryc, mp, 640x480 pikseli —obecny standard to 320x240 pikseli, oraz opracowanic de- tektoréw dwubarwowyeh, tj. sealonyeh detektordw krétkofalo- swych (SW) i dlugofalowych (LW) [6]. Wydaje sig, Ze w przyszlosci stosowanie detektoréw QWIP oraz nicchlodzonych, mikrobolo- metryeznych matryc detektorowych [7] stanowié bedzie glowny kkierunck w budowie kamer termowizyjnych, 2. Interpretacja wynikow pomiaru temperatury metodami termowizyjnymi 2.1. Wplyw ,grubosci” warstwy atmosfery, tj. odlegtogcl oblektu od kamery Atmosfera charakteryzuje sig ograniczona transmisja, ktéra zale- iy od dlugosi fali k promieniowania podezerwonego — rys. 5 w [I] oraz od grubosei warstwy, ezyli inacze| méwigc od odleglosci obiektu od kamery. O wplywie odleglosei na wartosé wskazangj temperatury obiektu, mozna sig przekonaé analizujge nastepujace reaultaty pomiardw [8] Na rys. 2 przedstawiono rurociag cieplowniezy 0 réwnomier- nnej femperaturze na obserwowanym odeinku, Réwnomiernosé temperatury zostata uprzednio potwierdzona metodami stykowy- mi, Na rys. 2a moima zauwazyé, ze temperatura na koficu rurocia- gu jest nizsza. Zaleay to od odleglosei i jest zwiazane z ogranic70- na transmisia atmosfery. Po wprowadzeniu prawidlowej wartosci odlegtosci dla koricowego odcinka rurociagu ~ rys. 2b, kamera po- kazuje juz jednakowa temperature na calej dlugosei, Wartosé tem- peratury w danym punkeie oznaczono symbolem SP (Spot Point) a) b) ys. 2. Wplyw grubosei warstwy atmosfery na wskazania kamery termo- wizyine. 2.2. Wplyw zadanej kamerze wartosci temperatury atmosfery (otoczenia) na jej wskazania. Pred przystapieniem do pomiaréw, opriez odleglosci, nalezy do kamery wprowadzié jeszcze wartosé: emisyjnosci obiektu, wilgot- nosci atmosfery oraz temperatury atmosfery i otoczenia. Proble- ‘matyka emisyjnosci i wplywu tego parametru na bezstykowe (pi- rometryczne) pomiary temperatury zostata przedstawiona w pra- cach (1, 2]. Szerze] mozna o tym przeczytaé take np. w pracach [8, 9, 10} problemach zwigzanych z interpretacja wynikéw w przypad- ku wprowadzenia nicprawidlowej wartosci temperatury atmosfery i otoczenia, mozna sig praekonaé analizujae rezultaty pomiarow przedstawionych na rys. 3. Na rys, 3a zadano prawidtowa wartosé temperatury atmosfery T,,, i otoczenia T., T, PC, Kamera wskazata temperature obiektu (Sciany) T,,=+2,2°C, Na rysunku 35 zadano nieprawidtowa wartosé T 20°C. Kamera wskazala Tu=-8,2°C. W obydwu przypadkach zadano prawidtowa, taka sa- ma, wartos¢ emisyjnosei Sciany €=0.92. Roznica wskazanej tempe- ratury obiektu wynika z faktu, Ze kamera termowizyjna mierzy 2a- wsze catkowite natgzenie promieniowania docierajace do detekto- 1a, Im jest ono stabsze, tym kamera wskaze nidszq temperature, Na ys. 3c, przy prawidiowym zadaniu temperatury atmosfery i oto- czenia, gdzie: T.,=T.=0'C widaé, 2e do detektora dociera wigksze promieniowanie obiektu, a mniejsze otoczenia i atmosfery, nid, w przypadku przedstawionym na rys, 3d, Dlatego kamera wskaza- ta wyzs7q temperaturg obiektu: T,,=+2,2°C. Na rys. 34, gdzie przy= jeto: T,,=T.=20°C widaé, Ze do detektora dociera mniejsze pro- mieniowanie obiektu, a wigksze otoczenia i atmosfery niz w przy= padku przedstawionym na rys 3c, dlatego kamera wskazala nizs7q temperature obiektu: T.=-8,2°C. a) ») Rys. 3. Wplyw w zadane) kamerze wartosei temperatury atmosfery i o10 ‘zen ia ej wskazania, 2.3. Ktéra kamera jest lepsza, krétkotalowa czy dlugofalowa? Jest to bardzo e7gsto zadawane pytanie, na ktSre, jak sie wydaje, bardzo trudno udzielié jednoznacme) odpowiedzi. O wadach i za- Ietach kamer krétkofalowych (SW) i dlugofalowych (LW) mozna migdzy innymi przekonaé sie wykonujac nastepujace, bardzo pro- ste doswiadczenie, przedstawione na rys. 4 (8) Na puszke metalowa naklejono 6 tasm niemetalowyeh 0 rene} emisyjnosci i catosé pod-grzano, Nastgpnie zmierzono ich tempe- raturg za pomoca kamer SW (3,6-Sjim) oraz LW (8-12uum). Do ka~ mer wezytano te sama wartoS¢ emisyjnosci e, Obydwie kamery po- wwinny wskazaé tg sama temperature. Tak jednak nie bylo, Kamera LW wskazala wyzsza temperature niz SW, co ozmacza, Ze w zakre- sie fal LW (8-12ym), tamy niemetalowe maja wigksze © nid w 2a- kesie fal SW (3,6-5uum). Taimy niemetalowe charakteryzowaly sigPAK 11/2001 yjnoseig selektywna w zakresie fal SW — widae réznice ich temperatury. W zakresie fal LW kamera wskazata jednorodng temperature, Potwierdzaja to przebiegi izoterm podane w lowym dolnym rogu; na termogramach puszek metalowych s4 one zazna- zone liniami pionowym Oawrotna sytuacja wystapita dla puszki metalowe}. Kamera SW wykazala nieco wy2sza temperature niz LW, co Swiadezy, 2¢ retale w zakresi fal keGtkich maja wy2s2q emisyjnosé nid. w 22 keresie fal dlugich (LW). Rys. 4, Pomiary z zastosowaniem kamery kritkofalowe} i dlugofalowe [8 3. Rozdzielczos¢ geometryczna kamery termowizyjnej Innym rodzajem metrologicmnego problemu wystepujacego przy pomiarach termowizyinych, jest problem pomiaru temperatury matych obiektow z zadanej odleglosci. Dotyczy on tzw. geome- tryeenej zdolnosei rozdzieleze} kamery lub krotko rozdriclezosei seometryeznej, Problem ten wyjasnia rys. 5. Na rys. Sab przedsta- wiono dwa przypadki naéwietlen detektora matrycy przez maly obiekt, Na rys. Sb obiekt przypadkowo jest ustawiony tak, 2e na Swietla catkowicie przynajmniej jeden detektor, zas na rys. Sa ten sam obiekt nie jest w stanie catkowicie naswietlié Zadnego. Zrys. Sd mozma zauwazys, de temperatura uchwytu odeiagowego rmierzona z bliska jest wyésza niz temperatura mierzona 7 daleka ~ rys. 5c. Wynika to z faktu, ae z bliskiej odlegtosci optyka kamery gwarantuje pelne naéwietlenia przynajmnie} jednego detektora matrycy kamery. Po wprowadzeniu do kamery prawidfowej warto- ci emisyjnosci obiektu, odlegtosci, temperatury otoczenia i wil gotnosei atmosfery, temperatura wskazywana odpowiada rzeczy- wistej, Na rys Sed oznaczono odpowiednio: + IRmax ~ maksymalna temperatura wystepujaca na calej po- wwierzchni zdjecia, okresia ja maksymaina temperatura wybra- na ze wskazah wszystkich detektorsw matrycy, + ARmax - maksymalna temperatura wystepuiaea na zazna- ezonym obszarze, okresla ja maksymalna temperatura wybra- na ze wskazan detektoréw naswietlanych w obszarze. Moina zauwazyé takie, Ze na rys. Sed IRmax jest rowne Armax, co potwierdza dodatkowo prawidlowosé wyznaczenia lokalizacii maksymalnych temperatur, a) b) Rys.§. Okreilanie minimalnego rozmiarw malego obicktu na praykladzic uchwyts odciggowego do potaczet! mosthonysh stupa odporoweg0 lini ‘wysokiego napigesa: usytuowunie obiektu wepledem matryey detektorow rile gwaranujace peinego nasvetleniaZadnego detektora a) oraz gv rantajace pelne naswictlenie przynajmnig) jednego detektora b),) wat to temperatury uchaytn mierzana z dalek okolo 40 metros, &) wat 1o& cemperatury uehwytu mierzona zblska — okolo 7 metnSw W celu uniknigcia opisanych wyzej probleméw, przyimuje sig, 72 minimatna wielkosé obicktu, naswietlajgea detektor z danej odle- losei i przy zastosowaniu optyki o okreslonym kacie widzenia, powinna gwarantowaé pelne naéwietlenie przynajmniej 3-4 detek- torow matryey. Aby to wyiasnié, nalezy opisaé dwa parametry cha- rakteryzujace rozdzielezosé geometryezna kamery: pole widzenia kamery (FOV ~ Field Of View) oraz chwilowe (minimalne) pole wwidzenia (IFOY ~ Instantaneous Field OF View), 3.1. Pole widzenia kamery Pole widzenia (FOV) okresla obszar jaki z danej odlegtosci I moz- na obserwowaé za pomoca dane) optyki zainstalowane] w kame- re, Jest ono okreslane w metrach i dotyery kierunku obserwacji poziome} (H — horyzontaine)) oraz pionowej (V ~ wertykalne)) W tabeli | podano przyktadowe wartosci pola widzenia dla opty- ki 24x18, w zalezosci od odlegtosei. Lm _[050[ 10 | 20150] 10 | 30 | 100 Bem_| 0.20 [0.41 | 081 | 20 | 41 | 12 [ai v.m_| 0.15 [031 [062 11s [31 [93 T3r Tab. 1. Wartoiei pola widzenia (FOV) dia optyki 24°18 Dla podanej wyiej optyki, pole widzenia mozna obliczyé ze w70- row: H=Hsin 24°, V=Isin 8" 3.2. Chwilowe (wymagane, minim: 1e) pole widzenia Chwilowe pole widzenia (IFOV) okresla jaki obszar stanowi pole widzenia pojedynczego detektora (piksela) matrycy. Przykladowo dla optyki 24°x18°, z odlegtosci 1m podane w tabeli 1 pole widze- nia HxV wynosi 0,41x0,31m, Przyjmujge, Ze kamera posiada ma- tryce sktadajaca sie z 320x240 detektor6w, chwilowe pole widzenia Hy axV.. Wyniesie:PAK 11/2001 Ozacza to, Ze za pomoca optyki kamery 24x18" wyposazone} Ww matryce 320x240 detektordw, z odlegiosi Im mozna wykryé przegrzew na powierzchni 1,3mmx1,3mm. Obszar ten zwieksza sig i zmniejsza proporcjonalnie do odlegtosci 1. Przyktadowo dla [= 100m wynosi [3mmx1 3mm. Inny sposéb obliczania TFOV polega na wyliczeniu w radia- rach kata o,, rozwarcia optyki dla pojedynezego detektora: stad. Hay [-sn(0,00131)=1 asad Vin Co 50.280 ‘in(0,00131)-1,3 mm Inacze} mawige IFOV jest to obszar na ktéry, poprzez optyke, «patrzy” pojedynezy pikscl matrycy i okreila absolutnie dolna era- hice rozmiaru mierzonego obicktu. W praktyce pomiarowe} przyi- imuje sig, aby minimalna wiclkosé obserwomanego obicktu wynosiia 34 1FOV. Rozdzielezosé geometryczna kamery zalezy od kata rozwarci: zastosowanej optyki oraz od ilosci detektoréw (pikseli) w matrycy. Im optyka charakteryzuje sig mniejszym katem, a matryca posia- da wigee| detektordu, to jest lepsza rozdzilezost geometryezna kamery — mozna obserwowaé mnicjsze obiekty. Sq jednak oczywi- ste ograniczenia zwiqzane z powigkszaniem ilosci pikseli w matry- cy oraz budowaniem soczewek o mniejszym kacie, cyl mnejszym pola widzenia, 4, Podsumowanie Z \ektury publikaeji moima zauwaiyé, Ze interpretacja wynikéw pomiaréw termowizyjnych nie jest tatwa i wymaga pewnego do- Swiadczenia. Nie jest takie tatwa odpowied? na postawione pyta- nie: ktéra kamera jest lepsza — krétkofalowa (SWB), czy dtugofa- lowa (LWB)? Ogdlnie zalezy to od rodzaju mierzonego obiektu i warunkéw pomiaru, Mozna jedynie stwierdzié, e kamera dtugo- falowa jest mnie} wraAliwa na promieniowanie stoneczne, dy wy- korzystywany zakres dlugosci fal 8-Idym eliminuje wplyw tego promicniowania na wskazania. Artykul, ze wzgledu na ograniczenia objetosciowe, nie opisuje wszystkich probleméw metrologicanych wystepujacych przy po- miarach termowizyjnych. Przewidywane sa do opublikowania ko- Jejne ezeSci méwigee na przyklad 0 parametrach metrologicenych amer, pomiarze temperatury metali o wypolerowanej, lustrzane) powierzchni czy interpretacji wynik6w pomiarow temperatury obiekt6w na tle nicbosktonu. Literatura [1] WMINKINA, P. RUTKOWSKI, W.WILD: Podstawy pomiardw mowizyjnych, ezgsé I — istota termowigi i histosia je) rozwoju oraz cxeié II ~ wspolezesne ronwigzania systeméw termowizyjnych, bledy rmetody, Pomiary Automatyka Kontrola 46 (2000) Nel, ste-7-10 (e2.1) oraz str 1-14 (e211), [2] W.MINKINA: Technika pomiardw w podezerwieni w procesach tech nologicznych, Materialy VI Sympozjum Metrologia w Systemach Jakosci— 3°, Cedzyna koto Kiel, 16-18.10,2000, se 187-202, [3] G. RUDOWSKA: Termowizia je) zastosowanie, WKiL, Warszawa, 1978 [4] X. MALDAQUE: Non destructive evaluation of materials by infrared ‘thermography, London, Springer-Verlag, 1993, [5] PN-90VE-01005 Technika Swietina, terminologia” Wydawnictwa Normalizacyjne, Warszawa, 1991 (6) B.SCH=NBACH: A highly sensitive LW-QWIP camera for demanding applications” Materialy 6th Conference on Infrared Sensors & Systems (ARS2), Erfurt, 9-11,05.2000, st.87-91. (71 LL. TISSOT, & ROTHAN, C. VEDEL, M. VILAIN, J. YON: Un {cooled IRFPA developments review, Quantitative InfraRed Thermo: raphy, 4 Conference QIRT98, E62, 7-10.09.1998. [8] IR-BOOK, Materialy scholeniowe Firmy PLIR, Level I (Infrared “Training Center ~ ite, International), 2000. (9) K. CHRZANOWSKI: Non-contact thermometry ~ Measurement er rors, Wydawnictwo SPIE. (Society of Photooptien! Instrumentation Engineers) —oddziat w Polsce, Warszawa 2000, (10) TECHNISCHES MESSEN, 66 (1999) Nr 3 oraz Nr 9, monotematyez ne zeszyty pod redakeja G. GERLACH, w caloéci poswiecone tema tyce pomiarow termowizyjnych, Aro recensowany