QUANG PHỔ NGUYÊN TỬ

VÀ ỨNG DỤNG

Thầy : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng

PHƯƠNG PHÁP STYLUS

Thực hiện:
Trần Minh Đạo
Phạm Kim Ngọc
 PHƯƠNG PHÁP STYLUS

I. Cấu tạo
II. Nguyên lý hoạt động
III. Ứng dụng pp stylus đo độ dày màng mỏng:
a) Loại màng
b) Stylus tip và force tip
c) Parameters
d) Ưu và nhược điểm
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
CẤU TẠO
 PHƯƠNG PHÁP STYLUS
NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG

LINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL

TRANSFORMER

LVDT TÍN HIỆU AC

MẪU

CHUYỂN ĐỔI A/D

ĐẾ MÁY TÍNH
 PHƯƠNG PHÁP STYLUS

LINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL TRANSFORMER

 PHƯƠNG PHÁP STYLUS
S S
P P A
S S
S S
S S P P
S S
P P
S S S S
P P
S S
S S
P P
S S
 PHƯƠNG PHÁP STYLUS

Sóng Cùng tần số

Lớn hơn 10 mang
lần
x(t)
t Amplitude modulator

V(t)

t lọc Chỉnh lưu

Tín hiệu ra
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
ĐO ĐỘ DÀY MÀNG MỎNG
 PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Scan length
 30µm to 30 mm

 Tuỳ mẫu, tuỳ yêu cầu

 100µm - 500µm thực tế???

 PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Scan speed
 Khoảng cách quét - lực quét
 Duration: 3 - 200sec
 Data Points/Scan = 300 x Scan Duration(sec)
 Data Points/Scan = Scan length(µm) /
Horizontal Resolution (µm)
 Low speed ( + low force + noise) ?
 High speed ??
(5 - 10µm/sec) ideal?
 PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Stylus force
 1mg – 15mg (< 1mg)
 Loại màng, pp chế tạo?
 Low force  ? High force ?
 Stylus tip?
 PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Stylus tip
 Diamond tip

 R= 0.2 25µm (12.5µm)

stylus

 Phù hợp loại màng và lực tip (115mg) +

vận tốc quét
 PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Parameters
 Maximum sample thickness 31.75 mm
 Vertical range 262 micron.
 X-Y stage translation 20 mm x 80 mm
 vertical data resolution 1 A at 65kA range
 Z-height capability 1 mm ??
 Color video camera with manual zoom optics
70-280X
 PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Roughness
 Maxdev (Maximum Deviation)
 MaxRa (Maximum Ra)
 Ra (Average Roughness)
 Rp(Maximum Peak)
 Rq (RMS)
 Rt (Maximum peak to valley)
 Rv (Maximum valley)
 Rz_din (Ten points height average)
 Skew (skewness)
 PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Waviness
 Wa (Arithmetic average of waviness)
 Wmaxdev (maximum Deviation of Waviness)
 Wp (maximum peak of waviness)
 Wq (Root – Mean – Square of Waviness)
 Wt (Maximum peak to valley of waviness)
 Wv (Maximum vallley of waviness)
 PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Height
 ASH (Delta Average step height)
 Avg Ht (Average Height)
 HSC (High spot count)
 Pc (peak count)
 Peak (Maximum peak)
 P_V (Maximum peak to valley)
 TIR (Total Indicated reading)
 Valley (maximum valley)
 PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Geometry
 Area (Area under the curve)
 Perim (Perimeter)
 Radius
 Slop
 Sm (Mean spacing between peaks)
 Tp (Bearing ratio)
 Volume
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
ưu và nhược điểm