Professional Documents
Culture Documents
Tùy vào từng loại cảm biến là cách thức hoạt động cũng khác
nhau có đến hàng chục loại cảm biến, có loại hoạt động dựa
trên sự biến dạng vật liệu để làm sự thay đổi điện trở, loại thì
thay đổi điện dung, loại thì sử dụng vật liệu áp điện, … dạng
phổ biến là dạng áp điện trở và kiểu điện dung
Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở
Nguyên lý làm việc của cảm biến loại này dựa trên sự biến
dạng của cấu trúc màng ( khi có áp suất tác động đến) được
chuyển thành tín hiệu điện nhờ cấy trên đó các phần tử áp
điện trở.
Khi lớp màng bị biến dạng uốn cong, các áp điện trở sẽ thay
đổi giá trị. Độ nhạy và tầm đo của cảm biến phụ thuộc rất
nhiều vào màng và kích thước, cấu trúc, vị trí các áp điện trở
trên màng.
Cấu tạo
cảm biến kiểu áp trở
Màng sử dụng trong cảm biến là màng rất nhạy với tác
động của áp suất. Bốn điện trở được đặt tại 4 trung diểm của
các cạnh màng, 2 cặp điện trở song song với màng và 2 cặp
điện trở vuông góc với màng ( để khi màng bị biến đổi thì 2
cặp điện trở này có chiều biến dạng trái ngược nhau ). Bốn
điện trở trên được ghép lại tạo thành cầu Wheatsone.
Cảm biến
áp suất kiểu áp trở
Khi không có áp suất tác động các điện trở ở trạng thái cân
bằng, điện áp ngõ ra bằng 0. Khi có áp suất tác động màng
mỏng bị biến dạng , các giá trị điện trở thay đổi, cụ thể giá trị
các áp điện trở song song với cạnh màng giảm thì giá trị các
áp điện trở vuông góc với cạnh màng tăng và ngược lại khi
đó sẽ tạo điện áp ngõ ra khác 0. Sự thay đổi giá trị điện trở
phụ thuộc và độ biến dạng của màng, vì vậy bằng cách kiểm
tra điện áp ngõ ra đó ta có thể tính toán được áp suất cần đo.
Cảm biến áp suất kiểu tụ
Loại này có nguyên lý hoạt động đơn giản hơn dự vào giá trị
của điện dung để xác định áp suất. Điện dung của tụ được
thay đổi bằng cách thay đổi khoảng cách của cực tụ.
Nguyên
lý áp kế điện dung
Khi có áp suất tác động vào lớp màng làm lớp màng bị biến
dạng đẩy bản cực lại gần với nhau hoặc kéo bản cực ra xa
làm giá trị của tụ thay đổi, dựa vào sự thay đổi điện dung này
qua hệ thống xử lý người ta có thể xác định được áp suất cần
đo.