VẬN HÀNH MÁY MẠ CHÂN KHÔNG TINA

1. Một số khái niệm cơ bản

1.1. Chân không là gì?
 Theo lý thuyết: là không gian không chứa vật chất. Như vậy chân không
có thể tích khác không và khối lượng (và do đó năng lượng) bằng không.
Do không có vật chất bên trong, chân không là nơi không có áp suất.
 Trên thực tế: không có nơi nào trong vũ trụ quan sát được tồn tại chân
không hoàn hảo như lý thuyết. Các thí nghiệm và các ứng dụng thực tế
có thể tạo ra các không gian chứa ít vật chất và có áp suất thấp. Những
không gian này cũng hay được gọi là "chân không" trong kỹ thuật, như
khi nói về máy bơm chân không, tùy theo quy ước về giới hạn áp suất
thấp. Như vậy, chân không được hiểu là khoảng không-thời gian cụ thể
có mật độ vật chất thấp và/hoặc rất thấp. Lưu ý, khái niệm thấp và rất
thấp ở đây được hiểu một cách tương đối...
 Các mức trạng thái chân không:
 Chân không thấp (p>100Pa)
 Chân không trung bình (100Pa>p>0.1Pa)
 Chân không cao (0.1Pa>p>10−5Pa)
 Chân không siêu cao (p<10−5Pa)

0 𝑃𝑎 10−5 𝑃𝑎 10−1 𝑃𝑎 100 𝑃𝑎 105 𝑃𝑎

Chân không Chân không

Chân không cao Chân không thấp Áp suất khí quyển
siêu cao trung bình

Hình 1: Các mức trạng thái chân không

1.2. Mạ bôc bay chân không
Là một nhóm các công nghệ sử dụng quá trình lắng đọng từng lớp nguyên
tử hoặc phân tử vật liệu lên trên bề mặt đế. Quá trình này được thực hiện trong
môi trường chân không (môi trường áp suất thấp). Các lớp lắng đọng có thể có
độ dày từ một một nguyên tử đến khoảng milimet, tạo thành các lớp có cấu trúc
tự do. Có thể sử dụng với nhiều loại vật liệu khác nhau, và trong nhiều lớp vật
liệu khác nahu trong một lượt mạ ví dụ như để tạo thành các lớp phủ quang học
hoặc các lớp phủ dụng cụ cắt…
Một số công nghệ mạ bốc bay
- Bốc bay bằng nhiệt điện trở
 - Bốc bay bằng phún xạ
- Bốc bay bằng hồ quang
- Bốc bay bằng lắng đọng hóa học…

2. Cấu tạo chung của một hệ chân không

Hình 2: Hệ thống chân không cơ bản

Một hệ thống chân không bao gồm các thành phần cơ bản sau:
- Buồng chân không: Là thiết bị giúp cách ly không gian tạo chân
không với môi trường bên ngoài. Bên trong buồng chân không được
bố trí các thiết bị để thực hiện các chức năng công nghệ như bộ gá
đặt mẫu, bia, thiết bị bốc bay, thiết bị đo đạc.
- Các van chân không: là thiết bị được bố trí trên đường hút chân
không đề cách ly các thiết bị trong hệ chân không với nhau. Động
 lực được đóng mở van có thể là lực điện từ, khí nén hoặc sử dụng
động cơ.
- Các bơm chân không: Bơm chân không là thiết bị để tạo môi trường
chân không bên trong buồng chân không. Có nhiều loại bơm chân
không như bơm cơ học, bơm khuếch tán, bơm root, bơm turbo. Tùy
vào cấu tạo và nguyên lý hoạt động mà mỗi bơm có vùng hoạt động
tối ưu khác nhau, có loại bơm hoạt động tốt ở ngưỡng chân không
thấp và có loại hoạt động tốt ở ngưỡng chân không cao. Chính vì thế
trong một hệ chân không thường có sự phối hợp của nhiều loại bơm
khác nhau để tạo ra áp suất cần thiết trong buồng.

0 𝑃𝑎 10−5 𝑃𝑎 10−1 𝑃𝑎 100 𝑃𝑎 105 𝑃𝑎

Chân không Chân không Chân không thấp

Chân không cao Áp suất khí quyển
siêu cao trung bình
Bơm khuếch tán, turbo Bơm root Bơm cơ học

Hình 3: Khoảng hoạt động của các bơm chân không

- Đồng hồ đo chân không: dùng để đo đạc giá trị chân không trong
buồng chân không, giá trị đo đạc từ đồng hồ đo chân không được sử
dụng để làm điều kiện hoạt động cho các thiết bị khác trong hệ chân
không.
- Hệ điều khiển thiết bị chân không: dùng để điều khiển bật tắt các
thiết bị trong hệ chân không đồng thời đảm bảo cho các thiết bị hoạt
động đúng với quy trình và ràng buộc an toàn của hệ thống.
3. Máy mạ chân không TINA
3.1. Phương pháp bốc bay nhiệt
Phương pháp mạ bốc bay nhiệt là phương pháp bốc bay trong chân không
dùng dây điện trở làm nguồn cung cấp nhiệt để hóa hơi vật liệu. Phương pháp này
thường được sử dụng với các loại vật liệu có nhiệt độ hóa hơi thấp như Al, MgF2
, SiO2 …, đây là phương pháp đơn giản, dễ thực hiện và hiệu quả cao. Để thực
hiện quá trình bốc bay cần có nguồn bốc bay cung cấp dòng điện gia nhiệt cho
thuyền điện trở chứa vật liệu và thuyền điện trở chứa vật liệu đồng thời cung cấp
nhiệt để hóa hơi vật liệu và duy trì quá trình bốc bay vật liệu. Trong phương pháp
này nhiệt độ bốc bay vật liệu phụ thuộc rất mạnh vào áp suất, áp suất càng thấp
(chân không càng cao) thì nhiệt độ bốc bay càng thấp.
3.2. Tổng quan thiết bị

Tủ điều khiển Hệ thiết bị chân không

Hộp nguồn tổng

Hình 4: Sơ đồ tổng quan máy TiNa

Thiết bị Tina bao gồm 2 khối chính là tủ điều khiển và hệ thiết bị chân không.
- Tủ điều khiển bao gồm hệ thống điện, điện tử và các bảng điều khiển
để có thể điều khiển đóng mở các thiết bị trong hệ thống chân không
đồng thởi đảm bảo an toàn cho quá trình vận hành của thiết bị.
- Hệ thống chân không chứa các thiết bị chân không như hệ thống các
van, các bơm chân không, buồng chân không và một số thiết bị công
nghệ như nguồn bốc bay và hệ thống làm mát
- Toàn bộ thiết bị được cấp nguồn qua hộp nguồn tổng.

Hình 5: Hộp nguồn tổng

3.3. Hệ thiết bị chân không

Van 4

Buồng chân không Van 2

Bơm root Bơm cơ học
Van NV1

Van 3 Van 1

Bơm khuếch tán

Hình 6: Sơ đồ hệ chân không của máy Tina

Hệ thiết bị chân không của Tina bao gồm các thành phần: buồng chân
không, các bơm chân không, các van chân không.
Buồng chân không: Có vai trò cách li không gian bên trong và bên ngoài
buồng chân không. Quá trình hút chân không và quá trình mạ chỉ được tiến
hành khi buồng chân không đã được đóng. Buồng được mở để gá sản phẩm, lắp
đặt bổ sung vật liệu mạ khi quá trình mạ lên sản phẩm kết thúc và không khí
được xả đầy vào trong buồng.
Các bơm chân không
- Bơm cơ học giữ vai trò tạo chân không sơ cấp trong hệ thống chân
không. Bơm được bật sau khi khởi động máy khi các điều kiện an toàn về
nước làm mát và trạng thái của các van chân không, buồng chân không…
đã được đáp ứng.Trạng thái hoạt động của bơm cơ học là một trong các
điều kiện để đóng hay mở các van trong hệ thống chân không để tiến
hành quá trình hút chân không.
- Bơm Root: Có ngưỡng hoạt động từ cuối khoảng chân không thấp đến
chân không trung bình, đây là vùng mà cả bơm cơ học và bơm khuếch tán
đều không phát huy được hiệu quả của mình nên trong các hệ chân không
thường bổ sung them bơm root để đẩy nhanh tốc độ hút chân không ở
vùng này. Bơm root được bật khi bơm cơ học đang hoạt động và chân
không đạt đến giá trị cuối vùng chân không thấp khoảng 100Pa.
- Bơm khuếch tan giữ vai trò tạo chân không cao trong hệ thống chân
không. Trong quá trình khởi động, dầu trong bơm khuếch tán được đun
nóng đồng thời chân không trong bơm khuếch tán được bơm cơ học đưa
về giá trị chân không thấp. Trong quá trình hút chân không, khi bơm cơ
học đã tạo được chân không sơ cấp trong buồng, hệ thống van sẽ được
chuyển qua đường bơm khuếch tán để tiến hành quá trình hút chân không
cao. Trên bơm khuếch tán có đường nước làm mát bếp đốt, đường nước
làm lạnh tháp ngưng tụ và đường nước làm lạnh cho bẫy dầu, nếu một
trong các đường nước này bị mất bơm phải được cho ngừng hoạt động.

Hình 7: Cụm bơm chân không thấp

Hình 8: Bơm Khuếch tán

Hệ thống van chân không của Tina có 5 van với các chức năng sau:
- Van 1: Là van cách li bơm cơ học và bơm khuếch tán. Van 1 mở trong
quá trình hút chân không cao khi bơm khuếch tán được bật, van 2 đóng.
Đóng khi van 2 mở.
- Van 2: Là van cách li bơm cơ học với buồng chân không. Van 2 được mở
trong quá trình hút chân không thấp khi bơm cơ học được bật, van 3
đóng, van xả khí 5 đóng. Đóng khi van 3 mở hoặc van xả khí 4 mở.
- Van 3: Là van cổ bơm khuếch tán dùng để cách ly bơm khuếch tán với
buồng chân không. Van 3 chỉ mở khi bơm khuếch tán đã được bật cùng
các điều kiện sau: chân không trong buồng đạt chân không thấp, van 1
mở, van 2 đóng, van 4 đóng.
- Van 4: Là van xả khí vào buồng chân không để mở buồng khi quá trình
mạ kết thúc. Van 4 chỉ mở khi van2 và van 3 đóng.
- Van NV1: Chống hút ngược cho bơm cơ học, khi bơm cơ học ngừng hoạt
động, chân không trong các đường ống và trong hệ chân không có xu
hướng hút ngược trở lại bơm cơ học, khi đó van 4 cách li bơm cơ với hệ
chân không và xả khí vào bơm cơ học.
3.4. Tủ điều khiển thiết bị
Bảng điều khiển: Gồm 2 phần chính là cụm các nút nhấn và các đèn hiển thị trạng
thái

Hình 9: Bảng điều khiển thiết bị

 - Nút nhấn: NV1-VE1 là nút nhấn bật và tắt Bơm cơ học và van xả
chống ngược
- Nút nhấn VM1: là nút nhấn đóng và mở Van 1
- Nút nhấn VM2: là nút nhấn đóng và mở Van 2
- Nút nhấn VM3: là nút nhấn đóng và mở Van 3
- Nút nhấn ND1: là nút nhấn bật tắt Bơm khuếch tán
- Nút nhấn NZ1: là nút nhấn bật tắt bơm Roots
- Nút nhấn VE2: là nút nhán đóng mở van xả khí V4
- Các đèn Led hiển thị trạng thái của các van, các bơm chân không,
chu trình hút chân không và các giá trị diều khiển của hệ thống.

Nguồn bốc bay: Hệ bốc bay sử dụng nguồn dòng 800 A cấp nguồn cho thuyền
điện trở vonfram. Nguồn cấp cho bộ nguồn dòng được đóng mở qua công tác ở
bảng điều khiển. Dòng điện cấp cho thuyền điện được điều chỉnh thông qua biến
trở trên tay cẩm điều khiển.

Hình 10: Nguồn dòng cấp cho nguồn bốc bay

Hình 11: Công tắc bật tắt nguồn dòng
Hình 12: Tay cầm điều khiển tăng
giảm dòng điện bốc bay

Bộ quay đế: Bộ quay đế sử được điểu khiển tốc độ thông qua bộ điều khiển trên
tủ điều khiển. khi bắt đầu quá trình mạ nhấn công tắc trên bộ điều khiển để bật
nguồn cho động cơ và vặn núm chỉnh để tăng tốc, khi kết thúc quá trình mạ vặn
núm chỉnh giảm tốc độ và nhân công tắc để tắt bộ quay đế.

Hình 13: Bộ điều khiển mô tơ gá quay

4. Vận hành máy TINA
4.1. Khởi động thiết bị
Là quá trình được thực hiện khi bắt đầu một ca làm việc, đây là quá trình chuẩn
bị các điều kiện ban đầu cho thiết bị bao gồm các bước sau.
Bước 1: Bật nước làm mát ở hộp cấp nguồn bên ngoài hành lang

Hình 14: Hộp cấp nguồn cho bơm nước

Bước 2: Mở cầu dao tổng trong hộp cấp nguồn tổng của thiết bị
Bước 3: Gạt cầu dao bên trái thân tủ điều khiển sang vị trí mở
Bước 4: Nhấn nút khởi động để mở nguồn cho hệ thống
Bước 5: Nhấn nút NV1-VE1bật bơm cơ học
Bước 6: Nhấn nút VM1 để mở van 1
Bước 7: Nhấn nút ND1 để bật bơm khuếch tán
Bước 8: Chờ cho bơm khuếch tán đạt chân không, quá trình này kéo dài
khoảng 30 phút. Trong lúc chờ có thể mở buong mạ bằng cách nhấn nút
VE2 để xả khí vào buồng và tiến hành gá lắp các thiết bị trong buồng mạ.
4.2. Hút chân không và mạ
Khi kết thúc quá trình khởi động các điều kiện chuẩn bị cho một phiên làm
việc đã sắn sang, việc hút chân không và mạ sẽ được tiến hành, quá trình
này sẽ được lặp đi lặp lại ở mỗi chu trình bao gồm các bước sau:
Bước 1: Nhấn nút VM1 đóng van 1 chờ cho đến khi van đóng hoàn toàn
đèn trạng thái van 1 chuyển về trạng thái đóng
Bước 2: Nhấn nút VM2 mở van 2 và chờ cho đến khi van mở hoàn toàn,
đèn trạng thái van 2 chuyển sang trạng thái mở.
Bước 3: Nhấn nút NZ1 đặt trạng thái chờ cho bơm Roots
 Ba bước này là ba bước thiết lập quá trình hút chân không thấp, sau khoảng
3 đến 5 phút khi chân không đạt ngưỡng bơm root sẽ được khởi động. Sau
khoảng 5 phút nữa chân không sẽ đạt ngưỡng để chuyển sang quá trình tiếp
theo quá trình hút chân không cao.
Các bước thiết lập quá trình hút chân không cao bao gồm các bước sau:
Bước 4: Nhấn nút VM2 để đóng van 2 và chờ cho đến khi van đóng hoàn
toàn, đèn trạng thái chuyển sang trạng thái tắt.
Bước 5: Nhấn nút VM1 để mở van 1 và chờ cho van mở hoàn toàn.
Bước 6: Nhấn nút VM3 để mở van 3 và chờ cho van 3 mở hoàn toàn.
Khi van 3 mở quá trình hút chân không cao bắt đầu, quá trình này kéo dài
khoảng 10 – 15 phút tùy vào số lượng phôi trong buồng. Khi chân không
đạt ngưỡng sẽ tiến hành quá trình tiếp theo là quá trình bốc bay bao gồm
các bước sau:
Bước 7: Bật mô tơ gá quay và điều chỉnh núm vặn cho đến tốc độ phù hợp
Bước 8: Gạt công tắc bật nguồn mạ sang vị trí mở
Bước 9: Điều chỉnh núm vặn trên tay cầm điều khiển của nguồn dòng theo
chu trình để tiến hành quá trình bốc bay.
Bước 10: Gạt công tắc nguồn mạ sang vị trí tắt
Chờ khoảng 1 phút cho nhiệt độ buồng mạ giảm sau đó tiến hành quá trình
tiếp theo kết thúc lượt mạ bao gồm các bước sau:
Bước 11: Nhấn nút VM3 đóng van 3 và chờ cho đến khi van đóng hoàn
toàn
Bước 12: Nhấn nút NZ1 để tắt bơm Roots
Bước 13: Nhấn nút VM1 để đóng van 1 và chờ cho đến khi van đóng hoàn
toàn
Bước 14: Nhấn nút VE2 để xả khí vào buồng
Bước 15: Giảm tốc độ bộ gá quay sau đó tắt bộ gá quay
Bước 16: Chờ cho đến khi của buồng mở nhấn nút VE2 đóng van xả khí
Bước 17: Nhấn nút VM1 để mở van 1
Đến đây kết thúc một lượt mạ, sau khi của buồng mở tiến hành gá lắp phôi
và bổ sung vật liệu sau đó quay lại bước bước 1 của quá trình này để bắt
đầu lượt mạ tiếp theo.

4.3. Tắt máy

Khi kết thúc phiên làm việc sẽ tiến hành quá trình tắt máy, việc tắt máy được
thực hiện sau khi đã kết thúc một lượt mạ. Quá trình tắt máy bao gồm các bước
sau:
Bước 1: Nhấn nút ND1 tắt bơm khuếch tán
Bước 2: Nhấn nút VM1 đóng van 1 chờ cho đến khi van đóng hoàn toàn
đèn trạng thái van 1 chuyển về trạng thái đóng
Bước 3: Nhấn nút VM2 mở van 2 và chờ cho đến khi van mở hoàn toàn,
đèn trạng thái van 2 chuyển sang trạng thái mở sau đó chờ khoảng 3 – 5
phút
Bước 4: Nhấn nút VM2 đóng van 2 chờ cho van đóng hoàn toàn
Bước 5: Nhấn nút VM1 mở van 1 chờ cho van mở hoàn toàn sau đó chờ
khoảng 15 – 20 phút cho bơm khuếch tán giảm về nhiệt độ an toàn
Bước 6: Nhấn nút VM1 đóng van 1 và chờ cho van đóng hoàn toàn
Bước 7: Nhấn nút NV1 tắt bơm cơ học
Bước 8: gạt cầu dao tổng bên thân tủ điều khiển sang trạng thái tắt
Bước 9: Ngắt aptomat tổng trong hộp cấp nguồn tổng
Bước 10: Nhấn nút hẹn giở tắt nước ở hộp cấp nguồn máy bơm nước ở
hành lang