全新 彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列

ø26 mm
（CL-L015）

不受材質、外觀限制，高精度量測
超小型彩色共焦雷射位移計

CL - 3000 系列
 不受設置方法、場所、用途限制的
超小型彩色共焦雷射位移計
可對所有目標物進行高精度量測，感測頭設置、程式設定也很簡單。

CL-3000 為不受設置方法、場所、用途限制的超小型彩色共焦雷射位移計，

因應「提高品質」「防止不良品流出」「提升良率」等製造課題，

能提高品質檢查的可靠性。

玻璃

晶圓 印刷電路板

2
封裝材料、接著劑 薄膜、薄片

機械加工零件

適用於各種場景的
雷射位移計新標準
彩色共焦雷射位移計
CL-3000 系列

3
 不受發熱或電氣干擾
符合規格的高精度位移計
全新設計的彩色共焦式位移計，

將光源等零件全部搭載於光學模組。

感測頭內的零件只有鏡片，

因此完全不會有發熱或電氣干擾這類

無法刊載於規格書上的誤差因素。

可用於現場的高可靠度高精度位移計。

狀態指示燈
搭載從遠處也能高度辨識的操作指示燈。
排除發熱因子的同時，實現量測狀態可視化。

內部零件只有鏡片
感測頭內部結構為只有鏡片的設計。
沒有電子零件因此不會產生熱及干擾。

4
以新形式的「共焦點原理」解決過去的問題

超小型、輕量
除了可安裝於以往無法施作的狹小空間之外，
感測頭可輕易並列安裝或搭載於機械手臂。

適合曲面或凹陷、高低差
由於從正上方量測，因此曲面、
凹陷或高低差等各種外觀的目標物都可高精度量測。

任何材質皆能高精度量測
不只是透明、鏡面、金屬粗糙面、陶瓷、接著劑等液體類，
連光線會多重反射或暈開的對象物也都能正確量測

以往需大費周章的「對夾式厚度量測」也
可簡單安裝 & 高精度量測

薄片狀目標物的厚度量測，
只需標準的 PC 軟體即可實現。
藉由專用治具及光軸校正功能，
可快速設置且讓高精度量測變為可能。

5
 超小型、輕量

直徑僅 8 mm
實現狹小空間的非接觸量測

塗佈滾輪偏擺量測

可承受生產現場嚴苛環境的纜線保護構造

為保護不耐拉伸負載、衝擊、彎曲、側壓的光纜，使用金屬製的撓性管。
纜線長度最多可延長到 30 m 為止。

6
超小型、僅有鏡片的感測頭內部結構

與傳統相比實現超小型化，大小僅 1/50
由於感測頭內部為僅搭載鏡片的設計，因此體積與以往相比僅
有 1/50，實現超小型化。對應生產裝置日益小型化的需求， 傳統的 ø8 小型感測頭
雷射位移計
狹小空間也能輕易設置，消除空間的限制。

與傳統型的
體積比

1/50

並列安裝最小節距可達 9 mm
傳統的雷射位移計由於感測頭尺寸限制，量測時須使用
傳統 CL 系列
XY 載物台等移動目標物，導致設備成本增加。CL 系列的超
小型感測頭，可並列安裝於狹小空間，可刪減設備成本。

安裝節距最小達 9 mm

重量輕，可輕鬆搭載於機械手臂
實現傳統雷射位移計約 1/2 的重量。由於重量較輕，也可減
輕停止時的殘留振動，因此容易安裝於機械手臂前端。

7
 適合曲面或凹陷、高低差

彩色共焦方式

感測頭 控制器、光學模組

光源模組
到感測頭 採用超高亮度彩色光源。於所有波長
頻帶產生高強度穩定光源並照射。
受光時
通過針孔的光線由於光線的
反射位置不同，因此波長不
同。僅有最符合焦點波長的
光線可通過針孔。

投射時
投射出波長不同以致
於焦距不同的光線

近距離 紅

中距離 綠
到分光器

長距離 藍
Quad CMOS 分光器
比起傳統方式，實現 26 倍的動態量程。 將接受的光線依照波長照射到
使用 4 顆高解析度 CMOS 接收光線， Quad CMOS。
所有材質都能高精度量測。

使用超高亮度彩色光源對大範圍進行高精度量測
將藍光雷射照射在同時發出紅色和綠色光的螢光體，可產生彩色光。
與一般的白色 LED 光源相比，波長頻帶範圍更廣，且能實現穩定的高亮度發光。量測範圍內不論任何位置都可確保充足的光量，
因此可高精度量測。

■ 一般的白色 LED 光源 ■ 彩色光源

任何位置
範圍邊緣
都能得到充足的
受光量少
受光量

可高亮度發光的波長帶寬較窄 可高亮度發光的波長帶寬較寬

8
彩色共焦方式獨有的高精度

量測範圍寬廣，全域高精度
由於採用超高亮度彩色光源，比起使用一般白光 LED 光源的共 比傳統型
量測範圍寬廣，
焦點位移計，實現量測範圍寬廣，且全域高精度量測。
且全域高精度量測
即使目標物高度不同導致量測位置變化，也能穩定高精度量測。

透明、鏡面物體的曲面、傾斜也可高精度量測
除了直線同軸的彩色共焦方式之外，照射光開口使用大孔徑設計也是一個重點。只要能接受部分反射光，透過檢測反射光的波長
位置就能高精度量測。

■ 傳統的雷射位移計（代表範例） ■ CL 系列（代表範例）

位移量（mm） 位移量（mm）
1.5
0.75
即使光澤面 1.5
0.75
0 也有優異的 0
-0.75 角度特性 -0.75
-1.5 -1.5
-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8

位置（mm） 位置（mm）

反射光無法充分反
只要能接收一點反光即可量測
射回接收器

凹陷、段差也無死角 透明、鏡面物體也能正確量測
由於為直線同軸的彩色共焦方式，量測時不受感測頭的安裝 由於為直線同軸的彩色共焦量測方式，即使透明、鏡面物體
方向或移動方向影響。 的量測高度改變，也能毫無偏移的量測相同量測點位置。

■ 傳統的雷射位移計 ■ CL 系列 ■ 傳統的雷射位移計 ■ CL 系列

因高度不同量
測位置偏差 量測位置無偏差

9
 任何材質皆能高精度量測

不受材質限制，
只需 1 個感測頭即能
高精度量測

金屬 黑色橡膠 鏡面物體 玻璃 凝膠

量測示意圖

CL 系列

傳統的雷射位移計

金屬 黑色橡膠 鏡面物體 玻璃 凝膠

：傳統的雷射位移計 ：CL 系列

各種材質都可實現高精度線性度
■ 傳統的雷射位移計（代表範例） ■ CL-3000 系列 CL-L015/CL-L015G 時（代表範例）
：透明、鏡面物體
5 5
4 4 ：白色陶瓷
3 3
線性度誤差

線性度誤差

：金屬粗糙面
2 2
1 1 ：黑色橡膠
0 0
-1 -1
：乳白樹脂
（µm） -2 （µm） -2
-3 -3
-4 -4
-5 -5
-0.8 -0.6 -0.4 -0.2 0 0.2 0.4 0.6 0.8 -0.8 -0.6 -0.4 -0.2 0 0.2 0.4 0.6 0.8
目標物的高度（mm） 目標物的高度（mm）

10
混合材質也能穩定高精度量測

粗糙面也能高精度量測
將光線分別集中於量測點範圍內的四個點，再使用 4 個 Quad 處理系統
C-MOS 分別接收反射光。由各自接收的光線頻譜將量測值的
穩定的量測值
可靠度數據化，依據獨特的演算處理，排除細微凹凸的影響，
獨特的演算處理
計算穩定且正確的量測值。

可靠性 ▶ 高 低 高 低

CMOS CMOS CMOS CMOS

分光器

對多重反射光的高抗性
當高度量測的目標物為 IC 針腳這類光澤性物體時，可藉由
代表範例 ：無 Quad 處理 ：有 Quad 處理
Quad 處理，排除引腳邊緣導致的多重反射光影響，進行高精 0.2

度量測。
0.1
量測值

（mm）

-0.1

-0.2
-2.5 -2 -1.5 -1 -0.5 0 0.5 1 1.5 2 2.5

位置（mm）

適合薄膜狀透明體量測 對光暈的高抗性
可分離 15 µm 以上透明薄膜或玻璃上鍍膜表面及背面的反 印刷電路板或半透明的液體等會產生光暈的目標物，一樣也
射光，並正確量測。 可高精度量測。

接收光波形

針孔
反射光能合焦的
受光量

透明體厚度
位置僅限於目標物
15 µm 〜 *
表面的反光

正面
-50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 30 40 50
背面 高度（µm）

*CL-PT010 時

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 以往需大費周章的「對夾式厚度量測」也
可簡單安裝 & 高精度量測

透過專用治具及光軸校正功能，安裝簡單
將目標物夾在中間量測厚度時，為實現高精度量測，重點在於須對齊光軸。
CL 系列可使用專用治具及 PC 軟體的光軸校正功能，誰都能輕易且正確進行光軸校正。

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安裝誤差極小 光軸校正功能
將目標物夾在中間量測厚度時，若兩個感測頭的光軸不一致，只要目標物有些許不穩固或傾斜，就會產生很大的誤差。
由於 CL 可達成以往無法實現的光軸一致，因此可進行高精度對夾式厚度量測。

■ 三角測量形式 ■ CL 系列
厚度 1000 µm 厚度 1000 µm
光軸偏差量 500 µm 光軸偏差量 0 µm

θ 角度 厚度量測結果（µm） 誤差（µm） θ 角度 厚度量測結果（µm） 誤差（µm）

無光軸
光軸偏 1.5 987.2 -12.8 1.5 1000.3 0.3
偏差量
差量 1.0 991.1 -8.6 1.0 1000.2 0.2
0.5 995.7 -4.3 0.5 1000.0 0.0
θ θ
0.3 997.4 -2.6 0.3 1000.0 0.0
0.0 1000.0 0.0 0.0 1000.0 0.0
-0.3 1002.6 2.6 -0.3 1000.0 0.0
-0.5 1004.4 4.4 -0.5 1000.0 0.0
-1.0 1008.9 8.9 -1.0 1000.2 0.2
-1.5 1013.4 13.4 -1.5 1000.3 0.3

所有量側頭同步進行量測，因此量測時無錯位
使用一個控制器控制所有感測頭，因此可同步量測。無須繁
瑣的 PLC 編程，提高薄片目標物的厚度量測精度。

零發熱量的感測頭結構設計實現了高精度量測
傳統式雷射位移計的一大課題為，會因本身發熱導致治具歪斜、光軸偏差而容易發生量測誤差。CL 系列的感測頭內部為只有鏡片
的結構設計。由於沒有電子零件因此不會發熱，安裝感測頭的治具也不會產生歪斜。實現理想的高精度量測。

■ 傳統的雷射位移計（示意圖） ■ 通電 10 分鐘後的感測頭（示意圖）

感測頭發熱前 感測頭發熱後 傳統的雷射位移計 CL 系列

＋ 8℃ ＋ 0℃

13
 正確量測精細外觀
形狀測定型感測頭 CL-PT010

光點直徑

ø3.5 µm

光澤面也具
形狀測定型感測頭的 角度特性

小光點可量測 ±45°
帶角度的
小零件 目標物

可正確追蹤帶大角度目標物的外觀。

編碼器模組

編碼器模組 編碼器

產品陣容
可與目標移動同步進行量測。由於為直接連接控制器的模組機型，
可簡單同步。

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應用案例

CAMERA 模組行程量測 共面性量測

CAMERA 模組或 VCM 等的行程或 可高精度量測精密連接器的

微動量測可進行高精度檢查。 共面性。

■ 超高精度 ■ 超高精度
線性度 ±0.2 µm 〜 線性度 ±0.2 µm 〜

■ 不發熱 ■ 不發熱
消除量測誤差的要素 消除量測誤差的要素

■ 適合金屬粗糙面 ■ 無多重反射
Quad 處理系統 提高檢查的可靠性

玻璃基板的平整度、厚度量測 HDD 馬達的偏擺、感測頭高度量測

可高精度同時量測玻璃的厚度及翹 ø8 小型感測頭可同時對應各種量
曲度。也適合針對傾斜進行高精度 測。可使用相同感測頭量測鏡面物
檢查。 體及金屬粗糙面。

■ 超高精度 ■ ø8 mm 小型感測頭
線性度 ±0.2 µm 〜 不受設置場所限制

■ 不發熱 ■ 超高精度
消除量測誤差的要素 線性度 ±0.2 µm 〜

■ 無量測錯位 ■ 不發熱
無因為高度變動導致的誤差要素 消除量測誤差的要素

平板偏擺量測 鋼板厚度量測

可高精度量測表面粗糙目標物的
高精度量測鋼板的厚度。
偏擺。

■ 超高精度 ■ 超高精度
線性度 ±0.2 µm 〜 線性度 ±0.2 µm 〜

■ 適合金屬粗糙面 ■ 不發熱
Quad 處理系統 消除量測誤差的要素

■ 不發熱 ■ 對夾式厚度量測
消除量測誤差的要素 光軸校正功能，安裝簡單

令人放心的防塵、防水性能，
符合 IP67
具備高防水性能，在加工現場等飛沫容易潑濺的場所也能安心使用。

* 鏡片面若沾附水或油，會因為光線折射導致量測不穩定。
* CL-PT010 符合 IP64。

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 簡單設定／資料蒐集
專用 PC 軟體 CL-NavigatorN

設定簡單
只需依據目的，由選單進行選擇。
藉由下拉或選擇圖示等簡單的操作，任誰都可輕易設定。

程式切換
可切換 8 個程式。各程式間可簡
單複製設定或初始化。

OUT 切換
可設定 8 個 OUT。不須繁瑣的設
定，只需量測模式、平均次數、
公差、換算等最小限度的設定，
就能量測。

量測模式 多重演算功能
透過直覺的操作實現想進行的量測。不須特別具備程 可瞬間演算多個感測頭間的量測值。傳統在 PLC 或電腦上進行的複雜
式撰寫技能，只須點選圖示就能設定。 演算，可在控制器內簡單處理。

翹曲量測 量測平整度
演算基準點與量測點的差異。 演算量測點中最大值與最小值的差異。
位移

位移（透明體）

厚度（透明體）
量測值 1= B-（A+C）／ 2 … 量測值 1= MAX（A, B, C…）- MIN（A, B, C…）…

相對段差量測 量測平均高度
厚度（２感測頭）
演算各量測點數值的差異。 於指定的量測點，演算面的平均高度。

厚度（２感測頭）

運算

量測值 1= A-B、量測值 2= B-C、量測值 3= A-C… 量測值 1= Ave（A, B, C…）…

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趨勢圖
將量測值完整的變動狀況以即時易懂的方式顯示。有助於現場初期確認量測的狀況。
不只顯示波形，可放大、縮小等依據量測範圍選擇最佳的顯示效果。

資料儲存
控制器內部最大可儲存 160 萬點的量測點資料，也可透過 USB 通訊取得 PC 上的資料。
取樣速度、儲存點數或外部觸發儲存等的功能都可以任意設定。

■ 使用 CL-NavigatorN 解析 ■ 使用 Excel 解析
可顯示波形。除了放大、縮小或重疊功能，還可透過游標讀取數值等具 使用 CL-NavigatorN 蒐集的資料可儲存為 CSV 格式，
備各種功能。 並使用 Excel 讀取資料。

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 構成機器一覽

感測頭部
ø8 小型 超高精度型 高精度型 中距離型 形狀量測型
[mm] CL-L007/CL-P007 CL-L015/CL-P015 CL-L030/CL-P030 CL-L070/CL-P070 CL-PT010
100

80

量測範圍
量測範圍
60 70±10
量測範圍 mm 10±0.3
mm
30±3.7
40
mm
量測範圍
15±1.3
量測範圍 mm 60 mm
7±1.5
20 mm
26.3 mm
70 mm 9.7 mm
5.5 mm 13.7 mm
0 30 mm 10 mm
7 mm 15 mm
80 mm 10.3 mm
8.5 mm 16.3 mm 33.7 mm

Quad 型 小光點型 Quad 小光點型 Quad 小光點型 Quad 小光點型 小光點型

線性度（標準） ±2.1 µm ±0.96 µm ±0.49 µm ±0.94 µm ±2.2 µm ±0.22 µm
線性度（高精度） ±0.91 µm ±0.55 µm ±0.41 µm ±0.72 µm ±2.0 µm ±0.2 µm

Quad 型 小光點型
藉由 Quad 處理系統排除目標物表面微 藉由最小 ø3.5 µm 的極小光點確實檢
小凹凸的影響。可穩定量測。 測微小的目標物。最適合形狀量測。

位置 厚度 高度 偏擺 光點尺寸 外觀 段差 翹曲度 微小 光點尺寸

CL-L007 CL-L015 CL-L030 CL-L070 CL-P007 CL-P015 CL-P030 CL-P070 CL-PT010

光點直徑 ø750 µm ø300 µm ø500 µm ø600 µm 光點直徑 ø50 µm ø25 µm ø38 µm ø50 µm ø3.5 µm

構成機器一覽

■ 感測頭部

ø8 小型 超高精度型 高精度型 中距離型 形狀量測型

CL-L(P)007 CL-L(P)015 CL-L(P)030 CL-L(P)070 CL-PT010

■ 控制器部分

控制器 擴充模組 中繼模組 編碼器模組

CL-3000 CL-H100 CL-H200 CL-E100

■ 模組部 ■ 纜線部

光學模組 感測頭延長線 擴充纜線 顯示面板纜線 PC 連接用 RS-232C

CL-L(P)007N USB 纜線 纜線
CL-L(P)015N CL-C5（5 m） CL-AC1（1 m） OP-88281（3 m） OP-51580 OP-96368
CL-L(P)030N CL-C10（10 m） CL-AC2（2 m） OP-88282（10 m） Ethernet Dsub 9 針
CL-L(P)070N CL-C30（30 m） 纜線 連接器
CL-PT010N OP-66843 OP-26401

■ 顯示部 ■ 選購品
固定治具 厚度量測用調整治具
顯示面板
CL-D500 CL-L(P)015/030/070 用：OP-88283 CL-L(P)015/030/070 用：
CL-L(P)007 用：OP-88353/OP-88354/OP-88355 OP-88284/OP-88285/
CL-PT010 用：OP-88289 OP-88286

18
系統組成

連接感測頭：2 台時

PC
Ethernet、USB

光學模組 光學模組
CL-L(P)xxxN CL-L(P)xxxN
編碼器模組 控制器
PLC CL-E100 CL-3000

I/O、
感測頭
EtherNet/IPTM、
PROFINET、
PLC 連接、
Ethernet、
編碼器 RS-232C

感測器、其他
顯示面板
CL-D500
感測頭延長線（5、10、30 m）
（最大 30 m 為止）
顯示面板纜線（3 m、10 m）

連接感測頭：6 台時

光學模組 光學模組
中繼模組 CL-L(P)xxxN CL-L(P)xxxN 感測頭延長線（5、10、30 m）
擴充纜線 CL-H200 （最大 30 m 為止）
CL-AC1/
CL-AC2

PC 感測頭

Ethernet、USB

PLC
光學模組 光學模組
中繼模組 CL-L(P)xxxN CL-L(P)xxxN
CL-H200
I/O、EtherNet/IPTM、
PROFINET、PLC 連接、
Ethernet、RS-232C
感測頭

感測器、其他

光學模組 光學模組
編碼器
CL-L(P)xxxN CL-L(P)xxxN
編碼器模組 控制器 擴充模組
CL-E100 CL-3000 CL-H100

感測頭
顯示面板
CL-D500

擴充纜線
顯示面板纜線（3 m、10 m） CL-AC1/CL-AC2

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 規格

■ 感測頭、光學模組
Quad 型
感測頭 CL-L007 CL-L015 CL-L030 CL-L070
型號 *1
光學模組 CL-L007N CL-L015N CL-L030N CL-L070N
參考距離 7 mm 15 mm 30 mm 70 mm
量測範圍 ±1.5 mm ±1.3 mm ±3.7 mm ±10 mm
標準量測範圍
線性度 *2*3 ±2.1 µm（±1.95 µm） ±0.49 µm（±0.36 µm） ±0.94 µm（±0.81 µm） ±2.2 µm（±2.0 µm）
高精度 量測範圍 ±0.5 mm ±0.5 mm ±1.0 mm ±3.0 mm
量測範圍 線性度 *2*3 ±0.91 µm（±0.78 µm） ±0.41 µm（±0.28 µm） ±0.72 µm（±0.59 µm） ±2.0 µm（±1.9 µm）
解析度 *3*4 0.25 µm（0.015 µm） 0.25 µm（0.003 µm） 0.25 µm（0.015 µm） 0.25 µm（0.025 µm）
光點直徑 ø750 µm ø300 µm ø500 µm ø600 µm
雷射分類 光學模組 Class 1
取樣周期 100/200/500/1000 µs（4 段階可變）
外殼防護等級 感測頭 IP67（IEC60529）
環境光照 物體面照度 30000 lux（白熾燈）
工作環境溫度 0 至 50℃
環境抗耐性 工作環境濕度 20 至 85% RH（無凝結）
感測頭 10 至 57 Hz 雙倍振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時
耐振動性
光學模組 10 至 57 Hz 雙倍振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時
耐衝擊性 15G 6 ms
感測頭 0.005% of F.S. /℃
溫度特性
光學模組 0.015% of F.S. /℃
感測頭 SUS 前方：SUS 後方：鋁
材質
光學模組 聚碳酸酯
感測頭 約 140 g 約 180 g 約 200 g 約 280 g
重量
光學模組 約 1600 g
*1 感測頭與光學模組會搭配調整。無相容性。 *2 使用本公司基準目標物（鏡面物體）以位移模式量測的數值。
*3 ( ) 內數值乃被列為出口管制對象之型號的值。型號末端為（G）。 *4 使用本公司基準目標物（鏡面物體）以平均次數 16384 次量測的數值。

小光點型
感測頭 CL-P007 CL-P015 CL-P030 CL-P070 CL-PT010
型號 *1
光學模組 CL-P007N CL-P015N CL-P030N CL-P070N CL-PT010N
參考距離 7 mm 15 mm 30 mm 70 mm 10 mm
量測範圍 ±1.5 mm ±1.3 mm ±3.7 mm ±10 mm ±0.3 mm
標準量測範圍
線性度 *2*3 ±0.96 µm（±0.83 µm） ±0.49 µm（±0.36 µm） ±0.94 µm（±0.81 µm） ±2.2 µm（±2.0 µm） ±0.22 µm（±0.11 µm）
高精度 量測範圍 ±0.5 mm ±0.5 mm ±1.0 mm ±3.0 mm ±0.15 mm
量測範圍 線性度 *2*3 ±0.55 µm（±0.43 µm） ±0.41 µm（±0.28 µm） ±0.72 µm（±0.59 µm） ±2.0 µm（±1.9 µm） ±0.2 µm（±0.09 µm）
解析度 *3*4 0.25 µm（0.015 µm） 0.25 µm（0.003 µm） 0.25 µm（0.015 µm） 0.25 µm（0.025 µm） 0.25 µm（0.001 µm）
光點直徑 ø50 µm ø25 µm ø38 µm ø50 µm ø3.5 µm
雷射分類 光學模組 Class 1
取樣周期 100/200/500/1000 µs（4 段階可變）
外殼防護等級 感測頭 IP67（IEC60529） IP64（IEC60529）
環境光照 物體面照度 30000 lux（白熾燈）
工作環境溫度 0 至 50℃
工作環境濕度 20 至 85% RH（無凝結）
環境抗耐性
10 至 57 Hz 雙倍振幅 0.45 mm
感測頭 10 至 57 Hz 雙倍振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時
耐振動性 X、Y、Z 方向各 2 小時
光學模組 10 至 57 Hz 雙倍振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時
耐衝擊性 15G 6 ms
感測頭 0.005% of F.S. /℃ 0.1% of F.S. /℃
溫度特性
光學模組 0.015% of F.S. /℃ 0.015% of F.S. /℃
感測頭 SUS 前方：SUS 後方：鋁
材質
光學模組 聚碳酸酯
感測頭 約 140 g 約 180 g 約 200 g 約 280 g 約 1100 g
重量
光學模組 約 1600 g
*1 感測頭與光學模組會搭配調整。無相容性。 *2 使用本公司基準目標物（鏡面物體）以位移模式量測的數值。
*3 ( ) 內數值乃被列為出口管制對象之型號的值。型號末端為（G）。
*4 使用本公司基準目標物（鏡面物體）以平均次數 16384 次量測的數值。（但 CL-PT010/CL-PT010G 為以平均次數 4096 次回量測的數值。）

■ 擴充纜線 ■ 感測頭延長線

型號 CL-AC1 CL-AC2 型號 CL-C5 CL-C10 CL-C30

長度 1m 2m 長度 5m 10 m 30 m
重量 200 g 400 g 重量 450 g 850 g 2500 g

20
■ 控制器

型號 CL-3000*1
光學模組連接台數 控制器單體：2 台 使用擴充模組／中繼模組時：6 台
支援周期性通訊、訊息通訊　RPI：1 至 10000 ms (0.5 ms 單位 )
EtherNet/IPTM
最大連接數 8　遵循符合性測試 CT14　不可與 PROFINET、PLC 連接同時使用
PROFINET 遵循 Conformance ClassA　不可與 EtherNet/IPTM、PLC 連接同時使用
三菱電機 ( 株 ) 製造　支援 MELSEC iQ-R 系列、iQ-F 系列、Q 系列、L 系列、FX 系列
PLC 連接
不可與 EtherNet/IPTM、PROFINET 同時使用

使用與 PC、PLC 的無協議通訊，可輸出量測資料及控制輸入 / 輸出

介面 Ethernet *3
可與 CL-NavigatorN 通訊 100Base-TX
*3
USB 可與 CL-NavigatorN 通訊 遵循 USB 2.0 HighSpeed
使用與 PC、PLC 的無協議通訊，可輸出量測資料及控制輸入 / 輸出
RS-232C
波特率：9600 至 115200 bps 資料長度：8 bit 停止位長度：1 bit 同位位元：無／偶數／奇數
端子（IN） 13 點（可使用軟體切換功能）
端子（OUT） 11 點 *2（可使用軟體切換功能）
電源電壓 24 VDC ±10%
額定
最大消耗電流 光學模組連接 1 台時：0.86 A 光學模組連接 4 台時：3.3 A 光學模組連接 6 台時：4.5 A
工作環境溫度 0 至 50℃
環境抗耐性 工作環境濕度 20 至 85% RH（無凝結）
耐振動性 10 至 57 Hz 雙倍振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時
顯示器／設定支持軟體 CL-NavigatorN*1
重量 約 600 g
*1 被列為出口管制對象的型號為 CL-3050 以及 CL-NavigatorG。 *2 可支援 NPN 輸入機器的正共通連接或 PNP 輸入機器的負共通連接。
*3 備有 DLL、LabVIEW 的範例程式。詳情請洽詢最近的營業處。

■ 擴充模組、中繼模組

型號 CL-H100 CL-H200
光學模組連接台數 CL-H200 可擴充 2 台 光學模組可連接 2 台
工作環境溫度 0 至 50℃
環境抗耐性
工作環境濕度 20 至 85% RH（無凝結）
重量 約 300 g

■ 顯示面板

型號 CL-D500
最小顯示單位 0.001 µm
顯示範圍 ±999.999 µm 至 ±9999.99 mm
顯示週期 約 10 次／秒
工作環境溫度 0 至 50℃
環境抗耐性
工作環境濕度 20 至 85% RH（無凝結）
重量 約 100 g

■ 編碼器模組

型號 CL-E100
編碼器軸數 增量式形式（A/B/Z 相）
編碼器最小輸入時間 100 ns 至 20 µs
最大消耗電流 0.18 A
額外電源 5 VDC±10% 最大可供應電流 200 mA
輸入端子 支援 NPN ／ PNP 開路集電極輸出（5 V ／ 12 V ／ 24 V） 支援線路驅動器輸出
工作環境溫度 0 至 50℃
環境抗耐性
工作環境濕度 20 至 85% RH（無凝結）
重量 約 300 g

■ CL-NavigatorN 動作系統環境

項目 必要的動作環境
® ®
支援 OS Windows 10*1 / Windows 7*2
CPU Celeron Dualcore 1.7GHz 以上
記憶體容量 4GB 以上
可用硬碟空間 1GB 以上
顯示器解析度 XGA（1024 × 768 畫素）以上
*1 支援 Home、Pro、Enterprise 的各 Edition。 *2 支援 Home Premium、Professional、Ultimate 的各 Edition。
®
● Windows 、Excel 為美國 Microsoft Corporation 在美國及其他國家的註冊商標或商標。
● 被列為出口管制對象的型號為 CL-NavigatorG。

21
 尺寸 單位：mm

■ 感測頭部
ø8 小型
CL-L007/P007 -0.01
ø8 -0.07 ø7 ø14.8 82.5 85 ±5 40

3
7.5
13.5
19.2
48.7 1750 ±30

感測頭固定治具 A 12 12 安裝孔 感測頭固定治具 B 10.5 6.5 感測頭固定治具 C 安裝孔

R6.5
OP-88353 ◎ ø0.025 A OP-88354 32
R8
4-C2
OP-88355 9.8
ø4.4
M4×0.7
ø8 +0.1 （0.2）
ø10 12.1 ø8 8.5
23.4 8.5
+0.005
ø10 ø8
+0.200
ø4.2 +0.005
C1.5 6.3 11.1
6 16.3 16.3 11
7.8 45°
±1°
t=5 mm 以上
5 R3.8 15 3.5 13.9 12
6
0.5∼1.0* A M4×0.7
5.5 至 11.3*
*安裝精度：±0.05 材質：SUS303
ø8

超高精度型 感測頭固定治具
CL-L015/P015 ø15 0
-0.05 ø8 ø7 ø14.8 82.5 85 ±5 40
OP-88283
0
ø26 -0.05

6.5 14.9
20
31
54
83.3 1750 ±30

22.5
高精度型 ø15 0
-0.05
ø8 ø7 ø14.8 82.5 85±5 40 15
+0.05
0
2×M4
CL-L030/P030 ø29
0
-0.05
有效螺絲
深度：6
8 14.9
24.2
43.8 2×ø4.5
67 20
ø8 沉孔 30
96.3 1750 ±30
深度：4
12

ø46
ø45 37
ø28.95 25
ø15
0 82.5 85±5 40
中距離型 -0.05
ø8 ø7 ø14.8

CL-L070/P070
0
ø46 -0.05 8 17
22
14.9
10.5
26.6
30.9
36.7
48.5
53.5
84.5
107.7
137 1750 ±30

0
ø61 -0.05 ø58
形狀量測型 ø36
ø14.8 82.5 85±5 40
CL-PT010 ø53.8
ø12 ø7

ø43.3
14.9
2.5 2×ø5.5
6
15
25
感測頭固定治具
51.8
52.8 OP-88289 27.5
102.5
128.6 70
148.7
178.4 1750 ±30 4 7.5
C25
C25

■ 模組部 78
72.5
39

光學模組 ø61.05
+0.05
0
15
CL-L(P)007N/L(P)015N/L(P)030N/L(P)070N/PT010N 78 40

15
142 137.9

■ 控制器部分

DIN 滑軌
安裝部
控制器
143
CL-3000 65
13.1
115.4
36.1

DIN 滑軌
安裝部
62.2

6 124
36.1

62.2

22
■ 控制器部分
擴充模組 中繼模組
CL-H100 26.3
85 115 CL-H200 26.3
90 115

DIN 滑軌 DIN 滑軌
安裝部 安裝部

124 124
36.1 36.1

62.2 62.2

6 6

編碼器模組 顯示面板 面板厚度 裁切面板尺寸

62
CL-E100 26.3 14.2
115.3
CL-D500 46
0.5 至 5 13
顯示屏連接環
最小 62

DIN 滑軌
安裝部 +0.6
91 80 74.5 75 0

124
36.1

最小 100
8.5
62.2 45 +0.6
0
25
6

■ 選購品 ■ 纜線部

28×ø4.5
厚度量測用 70
98 感測頭延長線
調整治具 CL-C5/C10/C30
OP-88284 10×6＝60

CL-L(P)015 用 80
10

5 70 70 5
90
277.5
* A＝5 m、10 m、30 m

30 80±20 A 155±20

（32）
ø8
ø10.5
73
25
13 8
100 100 光源模組側 感測頭側 14
32

28×ø4.5 98
厚度量測用 70 擴充纜線
調整治具
10×6=60
CL-AC1/AC2
OP-88285 80
10
CL-L(P)030 用
5 70 70 5
90
332.5

60

11.5

ø7.2
73 纜線長度（CL-AC1：1 m、CL-AC2：2 m）

13 8 ø12.5

100 100 29.6

41 32
42
98
厚度量測用 28×ø4.5 70

調整治具
10×6=60
OP-88286 80

CL-L(P)070 用 10

5 70 70 5
90
494.5

140
73

13 8

100 100

23
 免 費 諮 詢
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