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Print ISSN 1226-9360 Online ISSN 2287-7525
Ion Migration Failure Mechanism for Organic PCB under Biased HAST
초 록: 전자 제품의 경박 단소화 및 고집적화가 이루어 지면서 반도체 칩뿐만 아니라 유기 기판도 고집적화가 요구되
고 있다. 본 연구는 인쇄회로기판의 미세 피치 회로에 대한 고온고습 전압인가 시험을 실시하여 불량 메커니즘을 연구하
였다. 130oC/85%RH/3.3V와 135oC/90%RH/3.3V 시험조건에서 고온고습 전압시험(Biased HAST)의 가속 계수는 2.079
로 계산되었다. 불량 메커니즘 분석을 위하여 집속이온빔(FIB) 분석이 이용되었다. (+)전극에서는 콜로이드 형태의 CuxO
와 Cu(OH)2가 형성되었으며, (−)전극에서는 수지형태의 Cu가 관찰되었다. 이를 통해 Cu2+ 이온과 전자(e−)가 결합한 수
지상 Cu에 의해 절연파괴가 일어난다는 것을 확인하였다.
Abstract: By the trends of electronic package to be smaller, thinner and more integrative, organic printed circuit board
is required to be finer Cu trace pitch. This paper reports on a study of failure mechanism for PCB with fine Cu trace
pitch using biased HAST. In weibull analysis of the biased HAST lifetime, it is found that the acceleration factor (AF)
of between 135oC/90%RH/3.3V and 130oC/85%RH/3.3V is 2.079. A focused ion beam (FIB) was used to polish the cross
sections to reveal details of the microstructure of the failure mode. It is found that CuxO/Cu(OH)2 colloids and Cu dendrites
were formed at anode (+) and at cathode (−), respectively. Thus, this gives the evidence that Cu dendrites formed at cathode
by Cu2+ ion migration lead to a short failure between a pair of Cu nets.
Keywords: Biased HAST, Organic PCB, Copper, Ion migration
†
Corresponding author
E-mail: shhuh12@gmail.com
© 2015, The Korean Microelectronics and Packaging Society
This is an Open-Access article distributed under the terms of the Creative Commons Attribution Non-Commercial License(http://creativecommons.org/
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properly cited.
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44 허석환·신안섭·함석진
온고습 전압인가 시험(Biased Highly Accelerated Stress 불량 분석을 위하여 가공 및 미세 조직 관찰은 아르곤
Test)을 통하여 발생 가능한 불량 메커니즘을 관찰, 해석하 (Ar) 이온 단면가공장치(TIC 3x, Germany)와 집속이온빔
였고, 온도, 습도에 의한 가속 계수(Acceleration factor)를 가공관찰장치(FIB, Quanta200, Netherlands)로 단면가공
산출하였다. 후, 주사전자 현미경(FE-SEM, Nova200, FEI, Netherlands)
와 에너지분산 X선분광기(Supra 40VP, Germany)를 이용
2. 실험 방법 하여 분석하였다.
Table 1. Target space between two nets, biased HAST condition and sample size for each DOE condition
Sample condition Test condition
Sample size
Space between two nets Temperature (°C) Relative humidity (%) Applied voltage (V)
13 µm 130 85 3.3 1 pair of nets/unit × 15 unit
13 µm 135 90 3.3
Fig. 2. In-situ resistance plots of each specimen during 130oC/85%RH/3.3 V applied HAST test.
RH ( test2 ) –1 V ( test1 )
AF (Peak's law) = ⎛⎝ --------------------------⎞⎠ × ----------------------
RH ( test1 ) V ( test2 )
⎛ Ea 1 - -------------------
-------⎞ ⎛ ------------------- 1 -⎞
⎝ k ⎠ × ⎝ T ( test2 ) – T ( test1 ) ⎠
× exp (2)
Fig. 6. Plane view optical image (a), FIB image (b), and magnified FIB images (1, 2, 3) of specimen with 13 µm spacing after 135oC/
90%RH/3.3V biased HAST testing for 211 hrs: White line between two nets (+ and −) in (a) was etched by FIB, and 1. 2. 3
FIB images are magnified in (b).
Fig. 7. Vertical view FIB images (a) are magnified in near cathode in Figure 5 (1): (1, 2) are magnified in (a), and EDX analysis (b) is
analyzed in (3).
(−)전극 주위에서도 1 μm 이하의 점 형태 Cu 도 검출되었 을 진행하였다. 구형의 SiO2 필러 주위에 Cu가 존재(2 부분)
다. 이는 (+)전극의 방사형 Cu 이온(노란 화살표)이 (−)전 을 확인할 수 있다. 1 부분의 SEM 사진에서 3 부분을 추가
극까지 이동한 것으로 사료된다. Fig. 8은 (+)전극의 확대 관찰하기 위하여 Fig. 9에 10만배 SEM 사진을 나타내었다.
SEM 사진으로, (+)전극 주위로 방사형으로 Cu가 존재하 SiO2 필러 주위에 Cu가 꽃이 핀 것처럼 펴 있으며, 이는 콜
였으며, Fig. 8(a)의 1 부분을 확대하여 형상 및 EDX 분석 로이드 형태의 CuxO나 Cu(OH)2로 생각되며, Franz 등은
Fig. 8. Vertical view FIB images (a) are magnified in near anode in Figure 5 (3): FIB image (1) is magnified in (a), and EDX analysis
(b) is analyzed in (2).
4. 결 론
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