Betriebsanleitung
Operating Instructions
Instructions de service
TCF 103
TOV 103 nn mnnvn sors
TCV 103
(PM 800 196 BNIC (9505)
PFEIFFER VACUUM
Flut-Steuergerat
Vent Control Unit
Appareil de commande de
remise aI air
Ventil-Steuergerat
Valve Control Unit
Appareil de commande de vanne
38Betriebsanweisung
fur
Plut-Steuergerat TCF 103
und Ventil-stevergerat
rev 103,
Allgemeiner Hinweis
Die vorliegende Betriebs-
anweisung ist in zwei Ab-
Schnitte unterteiit. Fir das
TOF 103 gilt Abschnitt 1. und
fir das TCV 103 Abschnitt 2.
Funktion des TCP 103
~ Automatisches Fluten der
Pfeifter-Turbo
Funktion des "Cv 10:
~ Automatieches Fluten der
PPELFFER-TURBO
~ Steverung eines Hochvakuum-
ventils und eines Rezipien-
ten-Flutventils.
Lesen Sie bitte vor dem
Betreiben des Gertes die Be-
triebsanveisung und halten
Sie sie in allen Punkten ein.
Die Betriebsanweisung ist
nach DIN 8418 eretelit.
Alle Gerate entsprechen
dem Gesetz dber technische
Arbeitamittel vom 24, Juni
1968 § 3.
Wir michten Sie darauf
avfmerksan machen, da® zur
Wartung oder Reparatur
@ingelieferte Gerite frei
sein missen von Schadstoffen
(2.B. auch radioaktiver
und/oder physiologischer
Art), Die Strahlenschutzvor~
schriften sind zu beachten.
Diese Betriebsanweisung hat
nur in Verbindung mit den
Betriebsanweisungen fir die
Jeweils verwendete Turbopumpe
nd den Pumpstand Giltigkeit.
Uberzeugen Sie sich sof!
nach den Auspacken, dad der
Unfang der Sendung mit dem
Lieferschein dbereinstinnt.
Technische Anderungen
behalten wir uns vor
Operating-instructions
for
‘TCF 103 Vent Control Unit
and TCV 103 Valve Control
Unie
General remarks
‘These operating instruc~
tions are divided into two
sections. Section 1 covers
the TCF 103, and Section 2
the TCV 103!
Function of the TCF 103
= Automatic venting of the
Pfeiffer-Turbo
Function of the Tcv 103:
= Automatic venting of the
Pfeiffer-Turbo.
= Control of a high-vacuum
valve and vacuum chamber
vent valve.
Please read these operat~
ing instructions befor you
operate the pump and adhere
to them in all respects. The
operating instructions were
Prepared in accordance with
Din. e4ie.
‘AL pimps comply with the
law concerning technical im~
plements dated June 24, 1968,
Section 3.
We wish to point out that
punps returned to us for
maintenance or repair must be
free from harméal. substances
(e.g. also of a radioactive
and/or physiological nature) .
Radiation protection codes
must be observed.
‘This operating instructions
is only valid in combination
with the operating
Instructions of the
respective turbo pump and the
pumping unit in use
Check immediately after
unpacking whether the scope
of delivery corresponds to
the delivery note.
Technical modifications
reserved.
Instructions de service
pour
Appareil de conmande de re~
mise a l'air TcP 103 et
Appareil de conmande de
vanne TCV 103
Note générale
Ltinstruction de service
présente est séparée en deux
sections. Section 1 est va~
lable pour le TCF 103 et
section 2 pour le Tv 103.
Fonetion du TCP 103
~ Entrée d'air automatique de
la Turbo Pfeiffer
Fonction du TCV 103:
~ Entrée d'air automatique de
la Turbo Pfeiffer
~ Commande d'une vanne a vide
élevé et d'une vanne
dtentrée d'air pour le
récipient.
Avant d'opérer_1*appareil
lisez s.v.p. l'instruction de
service et observer 1'exéeu-
tion de laquelle en tous les
points, L'instruction de
Service est produite selon
DIN 8418.
Tous hos machines corres-
pondent au loi des engins
Opératrices techniques du 24,
juni 1968, § 3.
Attention s.v.p-: Appa-
reils retournés 4 notre usine
pour travaux d'entretien ou
reparation doivent étre
exemptes de toute matiére
nuisible p.ex. de 1a sorte
radioactive ou physiologique.
Les instructions pour la
protection contre 1a radia~
tion sont a observer.
Cette instruction de
service n'est valable qu'en
combinaison avec les instruc-
tions de service des pompes
turbo ou des groupes de
Pompage utilisées.
Veuillez verifier imné-
diatment aprés le déballage
gue Ta Iivraison correspond
aux indications du bulletin
de livraison.
Modifications techniques
reserves.1, Plut-Steuergert TCF 103
Inhalt
1.7 Anwendung
112 Aufbau
113 Technische Daten
1.4 Installation Allgemein
Fernbedienung
Elektrischer Anschlus
+1 Betriebsspannung
[2 Steuerspannung
13 Anschlu® Fernbedienung
Betried
1 Einstellen der verzb-
gerunge- und Flutzeit
1.7.2 "auto" ausgeschaltet
LED aus
1.7.3 Schalterstel1ung
"auto", LED leuchtet
1.8 Punktionsablauf "Auto
geschaltet
4.8.1 Pumpstand ausgeschaltet
oder stérung
1.8.2 Stronausfall
119 "Test
3110 Zubende
3111 Ersatztetle
1212 Sehaleplane
1, TCP 105 Vent Control unit
naex
1.1 Application
1:2 Design
113 Technical Data
1.4 General remarks on
installation
1.5 Remote control
116 Electrical connection
116.1 Operating voltace
31612 Control voltage
31613 Connecting the remote
control,
7 operation
7.1 Setting the delay and
venting tine
1.7.2 "Aa
LED off
1.7.3 Switch in “Auto”
position, LED on
1.8 Function "Auto" switched
switch off,
4.8.1 Pumping unit off,
or trouble
1.8.2 Mains failure
119 "Test
1210 Accessories
1111 Spare parts
12 Wiring diagrams
Appareil de commande de
renise d ltair TCP 103
Index
4.1 veslisation
112 Construction
113 Caractéristiques
Techniques
1-4 Installation, généra~
Lites
Commande 4 distance
Branchement électrique
+1 Tension de service
12 Teneion de commande
[3 Branchement commande @
distance
Fonctionnenent
1.7.1 Réglage des temps de
retard et de remise
a lair
1.7.2 "auto" coupé,
LED éteint
1.7.3 Position de conmutateur
"auto", LED allunée
-8 Fonction "Auto" enclenché
1.8.1 Groupe de pompage
arréte ou dérancenent
1.8.2 Coupure de courant
119"Test.
1210 Accessoires
3111 Pisces de rechange
1112 Schémas @lectrique1 Anwendung
Das Stouergertt TCF 103
dient in Verbindung mit den
Flutventil ‘TVP 012 zum
automatischen Fluten der
Turbopunpe nach einem Stron—
ausfall, einer stérung oder
nach dem Ausschalten.
Zum Schutze des Prozofab-
laufes wird das Fluten bei
laufendem Pumpstand verhin~
dert und das Offnen des TVF
012 nach Stromausfall awi-
gchen 1 und 30 Minuten ver-
zégert. So kann 2.8. bei vor-
Gbergehenden Stromaisfall ein
unerwinschtes Pluten vernie-
den werden.
‘Neben den Ublichen Griinden
zum Fluten von Vakuumanlagen
aus verfahrenatechnischen
Griinden ergeben sich bei der
Verwendung von Turbopumpen
gustiteliche wichtige Griinde
flr das autonatische Fluten.
Auf der Vorvakuunselte dor
‘Turbopumpe befinden sich im
Betrieb Dldimpfe, die von der
Lagerschmierung des Turbo-
Rotors baw. von der dlge-
dichteten Vorpumpe stannen.
Boim Setrieb der Turbopum~
pe Kénnen diese Oldiimpse
Infolge der hohen Kompression
Flr schwore Molekile nicht
auf die Hochvakuunseite
gelangen.
Pig a
Plut-Stevergerst TF 103,
Went Control Unit BCP 103
Apparesi de commande de re~
sige d beste ner 103
1.1 Application
The TCF 103 control unit
is used together with the TV
012 vent valve for automatic
venting of the turbo pump in
the event of a mains failure,
trouble or after switching
off.
For protection of the
process cycle, venting is
prevented during operation of
‘the pumping unit, and opening
of the TVF 012 after a mains
failure is delayed for 2
period of 1 to 30 minutes.
This permits undesired
venting to be avoided, e.g.
during a temporary mains
failure.
Beeides the usual reasons
for venting vacuun systems
for process reasons, there
are important reasons for
automatic venting if turbo
pumps are employed.
During operation, off
vapors are present on the
roughing vacuum side which
cone from the bearing lubri-
cation system of the turbo
rotors or the oil-sealed
backing pump.
When the turbo pump is
running, these oil. vapors
cannot reach the high-vacuun
side, due to the high com
pression for heavy molecules.
1.1 Utinisation
apparel de commande TCF
103, en combinaigon avec 1a
vante de renise a itair EVP
012, cert 8 ia renise A l'air
automatique de La pompe turbo
apres une manque de courant,
he panne of aprés wn déclen-
chenent.
Pour protéger te déroule~
mont. Gu processus, on peut
Fetarder l'ouvertire de 13
vanne tvr 012 de 1 a 90
minutes aprés Is coupure de
Sourant. On peut ainet aviter
par ex. une Femise 4 1'air
Tnopportune en cas de coupure
de courant de courte durée.
En dehora des raisons,
techniques habituelles néces~
Sitant ia renise a I'air ces
installations sows vide il
existe des raisons inportan=
tes pour gue la renise 4
aur soit automatique quand
on utilise aes ponper. turbo.
Du cété vide primaire des
ponpes tubo se trovent des
Sspeors a'maite que pro=
Viennent au graissage des
paliers du rotor et de is
bonpe primaire étanchée a
heiie.
@uand 1a pompe turbo est
fen marche, ces vapeure
Stnuile ne peuyent. pas
Stteingre Le cote vide élevé
en raison de ia compression
Slovée pour tes molécules
iourdes®Nach Abschalten der Turbo-
pumpe oder nach Stromausfall
Lauft der ‘Turbo-Rotor langsan
aus und die Kompression
(Sperrwirkung gegen 61dimpfe)
nimmt ab. Der Druck auf vor~
und Hochvakuumseits gleicht
sich aus. Dabei strémen
Kohlenwasserstoffe (Oldinp£e)
auf die Hochvakuumseite.
Um dies 2u verhindern, muS
die Turbopunpe in entgegen-
gesetzter Richtung mit trok~
Kener Luft oder trockenem Gas
geflutet werden. Dadurch wire
eine Verschmutzing der Hoch~
vakuunseite vermieden.
Alle Pfeiffer-Turbo's sind
gum Pluten zwischen den
Statorscheiben serienniSig
mit einem Anschiu® DN'10 KE*
zum Anflanschen des Flutven-
{ils VP 012 ausgeristet. Das
Fluten sollte spitestens nach
der halben Auslaufzeit der
Pumpe erfolgen.
Wenn aus verfahrenstechni
schen Grinden nicht auf At=
nosphirendruck geflutet wer-
den mud, empfichIt es sich,
auf ca./100 mbar zu fluten.
soder G Ve!
1,2 Aufbau
Fig. 2, Fig. 3
Das Geriit ist als Teilein~
schub (2/12, Gr. 3) des 19"
Balzers-Racksystoms ausge-
Fuhr.
Auf der Frontplatte des
Ter 103 befinden sich der
Tastschalter “Auto” (1), die
LED (2) zur Anzeige der
Schalterstellung, die beiden
Potentioneter T1 und 72 (3
und 4) flr die Zeiteinstel~
lung und die 2weifarbige Lap
(5) zur Anzeige der Ventil-
stellung.
Die Eingangssteckerleiste
X6, die Ausgangsbuchsenleiste
x7, die Fernbedienungs~
buchsenleiste x9 (x9 nur als
ZubehOr) die Netzsiche-
rung (6) und der Spannungs-
wahischalter (7) befinden sich
Buf der Rickplatte des TCF 103.
Tastechalter "Aut
Anteige Sehaleerstel lung
Buteeie 7
Versigerungszait 7
Aneeige ventiisteliung
Of: Gegchloszen
GRbw: offen
‘
After the turbo pump has
been stopped, or after a
mains failuré, the turbo
rotor slows down, the con-
pression (effecting sealing
against oll vapors) being
reduced. The pressure on the
roughing and high-vacuun
sides is balanced, and
hydrocarbons. (oil vapore)
reach the highvacuum side.
To prevent this, the turbo
pump must be vented by means
of dry air or dry gas in
opposite direction, thereby
avoiding contamination of the
high-vacuum side.
‘All Pfeiffer Turbos are
equipped with a standard DN
10 KF*connection for flanging
on the TUF 012 vent valve to
permit venting between the
Stator disks. Venting should
be performed after half the
slowing time is over at the
latest.
Tf venting to atmospheric
pressure is not possible for
process reasons, we recommend
that you vent to approx. 100
mbar.
sor Vg!
1,2 Design
Figs 2, Fig. 3
‘The unit is designed as a
rack module section (2/12,
2 3) of the Balzers 19%
rack system.
‘The "Auto" pushbutton (1),
LED (2) for display of the
switch position, the two
potentiometers 1 and 72 (3
and 4) for time setting, and
the two-color EBD (5) for
display of the valve position
are arranged in the TCP 103
front panel.
‘The input plugboard x6,
the output socket board x4,
the remote control socket
board X9 (x9 as an accessory
only), and the mains fuse (6)
and the voltage-selecting
switch (7) are installed in
the rear panel of the Tcr
103.
auto” pushbutton
Delay’ tine Tt
Malve porstion ateplay
Extn pen
X6 Input plughoara
nprés aéclenchement de 1a
pompe turbo ou en cas de
Eoupure de courant, le rotor
de 1a turbo cesse lentenent
de tourner et 1a compression
(effet de blocage des vapeurs
a*huile) diminue. 11 se pro-
@uit un équilibre de pression
des composants gaz et vapeurs
entre les cotés vide primaire
et vide élevé. Les hydro~
carbures (vapeurs,d‘huile)
pénétrent alors au céte vide
Blevé.
Pour éviter ce phénonéne,
il faut qu'un flux dtair ou
de gaz sec pénétre en sens
inverse dans Ia pompe turbo.
Ceci évite la contamination
du c6té vide éleve.
Toutes les Turbo Pfeiffer
sont équipées dune fagon.
standard d'un raccord DN 10
KPgpour branchement @"une
vanne de remise a I'air TUF
012, permettant 1a remise 2
Liair de 1a pompe entre les
Aisques du stator, La renise
Qi l'air doit s'effectuer au
plus tard au bout de la
moitié du temps de rotation
par inertie de la pompe.
Lorsque pour des raisons
techniques, 1a pompe ne doit
pas tre rémise a 1a pression
atmosphérigue, il est recom-
mandé-d'installer une pres~
sion de 100 mbar.
rou"
2 Construction
Fig. 2, Fig.
Liappareil se présente
sous la forme d'un Rack
modulaire (2/12 Gr. 3) du
systéne de Rack Baizers.
Sur la plague frontale du
TCF 103 se trouvent le bouton
poussoir "Auto" (1), la diode
Turineuse (2) pour itindica~
tion de la position du com
mutateur, les deux potentio—
matres Ti et 72 (3 et 4) pour
le réglage des temps et 1a
diode Tumineuse (5) en deux
couleurs pour 1'indication de
la position de la vane.
La réglette a fiches
atentrée x6, 1a réglette &
douilles de'sortie x7, 1a
réglette a dovilles dé 1a
commande a distance x9 (x9
conme accesoire seulement) et
je fusible de secteur (6) et
le conmutateur sélecteur de
tension (7) se trouvent sur la
plague arriare du TCF 103.
2 Bouton poussoir "Auto"
2 Tadieation position du
3 temps de renise a Iair 2
{temps de retard 1
Ia vonne:27 ausgangenacnseniaiste 1X7 output socket board 7 Comutateur sélecteur pour
4X9 Fernbedienungsbuchsen- 39 Remote control socket {e"teneion
elses beara
hor ats tobehér (ez an accessory only) XG Régiette & riches atentrbe
Ho negiette 3 douilies ae
X9 Réglette 2 douiliee pour
Gontande § discance (come
accessoire seulement!
Fig. 2 Fig. 3
Frontplatte TCP_109 Rickplatte TF 103
Front panel of the TCP 103, Rear panel ef the TCP 103
Plague’ #rontale CP 103 Plague arrsare Ter 109
1.3 Technische Daten 1.3 Technical Data 1.3 Caractéristiques
Techniques.
‘Tesletnachub Rack module section Rack sodulaire or. 3 = 2/12 - 19"
Anschlusapannung connecting voltage ‘Tension de raccordenent. 110, 220-240 v
Frequenz Frequency Fréguence 50 ~ 60 He
Leistungsautnahae Power input. Puissance absorbée ea. 15H
Ausgangespanning output voltage ‘Tension de sortie 40 v ImeuLs
Ausgangsstrom output power courant de sortie 2A ImpuLs
verabgerungezeiten Delay tines Tonps de retare
‘sininal minimal ‘inimel 1 ain
aximal maximal axial 30 min
Flutzeteen Venting tines ‘Tempe de romise A L'air
minimal nininal minimal a min
mavinal maximal maxinal, 30 min
Ungebungstomperatur Ambient temperature ‘Tonpérature anbiante 0 - 50%.
Gowtene woighe Poide tT ks1.4 Installation Allgemein
Das Gerdt kann ale Ein=
schub- oder Tischgerat
betrieben werden. Bein
Einschub ist auf ausreichende
Luftzirkulation zu achten.
Zum Tischgerde kénnen aul
besondere Bestellung Abdeck~
haube und Fife geliefert
werden.
Wird das Gerit nicht in einem
Uberrahmen TCU bew. mit TCS
130, 304 oder 312 betrieben,
missen zwei Gegenstecker fur
XB-und X7 (Ein= und Ausgang)
gesondert bestellt werden (im
Zubehor
1,5 Fernbedienung
Fig. 5, Fig. 6
tur Ausrlstung dee TCP 103
fr Fernbedienung ist der
Adapter Bost. Nr. PM 201 045
erforderlich: Der Gagenstek-
ker flr X9 ist in dieser Be-
stellnumner enthalten.
Montage des Adapters
= Gerdt TCF 103 aus Rack-
schrank ausbauen,
~ Rechtes oder Linkes Seiten-
blech und Bodenblech ab-
Rehnen.
~ Brilckenstecker an steckver-
bindung X 10 abzichen.
= Rbdeckung von X9 an der
Rckplatte entfernen.
= Adapter PM 201 045 von der
Ruckplatte her durch die
Aussparung fdr x9 ein=
setzen.
~ Bucheenleiste x9 mit
Schrauben 8 an der Rlck~
platte anschrauben.
= Flachbandkabel 9 wie
Fig. 5 zeigt verlegen und
Stecker des Adapters in
X10 einstecken.
= Boden- und Seitenblech an-
schrauben.
= Gerke TCF’103 in Rack~
schrank einbauen.
1.4 General remarks on
ingtallation
‘The unit may be employed
as a rack module or a bench
unit. If installed in a rack,
satisfactory air circulation
must be insured. for the
bench unit, a cover and legs
can be ordéred separately.
If the unit is not operated
in a TCU rack frame or
together with a TCS 130, 304
or 312, two mating plugs must
be ordered separately for X8
and X7 (input and output}
(listed under "Accessories
1
Fig
Remote _con|
3, Fig. 6
An adapter, Order Code PM
201 045 is necessary to fit
‘the TCP 103. for remote
control. The mating plug for
X9 is included in this Code
Fitting the adapter
= Remove the TCF 103 unit
from the rack.
+ Take off the right or left~
hand side panel and botton.
= Pull off the bridging plug
from the plug-and-socket
connection xi0.
= Remove the X9 cover at the
rear panel.
~ Insert the adapter
PM 201 045 from the rear
panel through the cutout
for x9.
= Screw the socket boara x9
to the rear panel using
screws 8.
= Tay the flat cable 9 as
shown in Fig. 5 and plug
the adapter plug into x19.
= Screw on the bottom and
side panels.
= Install the TCP 103 unit
in the rack.
1.4 metalation, généra~
Lites
Liappareil peut étre utilisé
comme tiroir encastré ou en
modele de table, Comme tiroir
encastré, il faut veiller &
ce qu’il'y ait une
circulation d'air suffisante
tout autour. Pour l'appareil
de table un capot de
protection et de pieds
peuvent etre fournis sur
demande.
Si l'appareil n'est pas
destiné & étre placé dans un
chassis-tiroir TCU avec ICS
180, 304 ou 312, il faut
commander séparément deux
contre-fiches pour X6 et X7
(entrée et sortie! (voir
accessoires).
1,5 Commande & distance
Fig.3, Fig.6
Cone équipement pour 1e
Ter 103 i1 y a un adapteur
nO. de commande PM 201 045.
La contrefiche pour x9 fait
partie de ce no. de commande.
Montage de 1'adapteur
= Déronter le TCF 103 dy Rack
= Enlever la partie latérale
@roite ou gauche et 1a téle
ae fond
- Retirer 1a fiche de pont de
x10
= Bnlever le couvercle de x9
sur la plague arriére
~ Mettre en place l'adapteur
PM 201 045 4 travers la fe~
nétre dans la plaque arri-
are pour x9,
+ Visser la régiette a douil-
les a la plaque arriére
avec les vie 8.
= Poser le cable a bande
plate 9 conme montré en
fig. 5 et enficher la fiche
de itadapteur en x10.
- Viscer les téles de fond ot
latérale.
= Monter liappareil TCF 103
dans le Rack.vig 5
X9 Buchsentesste Farnbe-
auenung
x10 Steckvarbingun:
8 Schraube
5 Fiachbenakabor
7 Spannungawan schsiter
1,6 Blekeriecher Anschlus
Fig. 6, Fig.
Das TCF 103 ist mit einem
Fingeng flr die Betricbsspan—
nung und einem Eingang fur
die Steuerspannung ausgert-
stet, Die Betriebespannung
mud dort angeschlossen wer-
den, wo stiindig Netzspannung
anliegt. Wird dieser Eingang
spannungslos, erkennt das Ge~
rit "Stromaugfall" (siehe
1.8.2). Die Stoverspannung
mua Gort angeschlossen
werden, wo Informationen ther
den Zustand des Punpseandes
(EIN/AUS-geschaltet, StOrung)
vorliegen. Als AnschluBvor~
schlag dienen aie don Turbo-
Pumpen beigagabenen Schalt-
plane.
1.6.1 Betriebsspannung
Das TCF 103 kann mit
hechselstrom 110 oder 220-240
V, 50 - 60 Hz betricben
werden. Nach Schaitplan Pi
021 890 -5 ist der
Netganschiul an
Fingangssteckerleiste x6 fir
118 Wund fur 220 bis 240 .V
an bl und a5 zu legen. Der
Anschlu fur Erde erfoigt an
a6. Die Netzspannung wird am
Spannungswablschalter (7)
eingestellt (siehe Fig. 14).
‘control
Fine’ onbie
1.6 Electrical connection
Fig. 6, Fis. T
‘The TCF 103 is equipped
with an operating voltage in-
put and a control voltage in-
put. Connection of the
operating voltage must be
made to the input to which
tains voltage is applied
continously. If this input
becomes dead, the unit de-
tects a “power failure” (see
1.8.2),
‘The control voltage must be
connected to the input where
Information on the pumping
unit condition (ON/OFF,
fault) is available. The
wirng diagrams supplied with
the turbo pumps give recom
mendations for connection.
1.6.4 Operating voltage
The TCF 103 can be operat-
ed with 110/220-240 V A.C.y
50 ~ 60 Hz.
According to Wiring Diagram
PN 021 890 ~S, the mains must
be connected to the input.
plugboara X6, bi and ad for
118 ¥, 220 to 240'V, Earth
connection is made at a6. ‘The
mains voltage is adjusted at
the voltage selector switch
(see fig. 14)
Fig. 6
XS Réglette 2 douilies pour
Commands 4 4sseance
x10 Connexion entichable
2 Use
9 Cable & bande plate
1.6 Branchenent électrique
Le TCP 103 est pourve
atune entrée pour 1a tension
de service et d'une entrée
pour la tension de commande.
Ea tension de service doit
Btre raccordée a une entrée
guise trouve en permanence
sous tension de secteur. Si
cette entrée est sans ten-
sion, l'appareil détectera
une Scoupure de courant”
(voir section 1.8.2). La
tension le conmande doit @tre
branchée’@ une entrée od
arrivent les informations
concernant 1'état du groupe
de pompage (position MARCHE/
ARRET, derangement)» Les
branchenents peuvent se faire
selon les schénas des connex-
fons joints aux turbopumpes..
1 Tension de service
Le TCF 103 peut @tre utilisé
avec du courant alternatif.
110/220-240 V, 50 - 60 itz.
Diapres le schéma électriaue
Py 021 890 -S le branchement,
secteur sur la réglette a
Fiches d'entrée X6 se fait.
pour 115 V, 220 ~ 240 V, en
Bi et a5. Le branchement sur
In terre se fait en al. La
tension du secteur est regiée
au commutateur sélecteur de
tension (7)
(voir Fig. 141.1.6.2 Steverspannun
Die Information "Pumpstand in
Ordnung”/" Pumpstand gestort”
wird an Bingangesteckerleiste
X6 an Pin a2/b2 als 110 V
oder 220 V AC-Signal ang
Tegt. In der Elektronik kann
jedoch nur ein 110 V-Signal
Verarbeltet werden, héhere
Spannungen sehidigen das Ge-
rate
Beim Eineate mit TCS 302 us
das Gerdt auf die
entaprechende Netzspannung
eingestellt werden.
Achtung!
Beim Einsatz des TCF 103 im
Uberrannen TCU mit dem
Punpstandsteuergerat TCS 100,
120 oder 301 erfolgt die
Versorgung von X6 b2/aZ,
ynabhangig von der Netz~
spannung mit 110 V-
Das TOP 103 wird mit
werkseitiger Eintellung von
Schalter $3 fur 220/240 V
ausgeliefert.
Zum Unschalten von S3 ist das
Gerit TCF 103 aus dem Rack~
Schrank auszubauen und das
Linke Seitenblech abzunehnen.
Mit Schalter $3 wird die
eingespeiste Netzspannung 110
baw. 220/240 V auf die 110 V
gur Einspeisung in die Elek-
tronik ungeschaltet.
1.6.2 Control voltage
The message “Pumping unit
o.k."/"Pumping unit trouble"
ig fed to the input plugboard
X6, pin a2/b2, in the form of
a 110 V or 220 VA.c. signal.
The electronics cannot
process but a 110 V-signal;
higher tensions may damage
the system.
be adjusted
to the corresponding mains
voltage,
Attention!
When the TCF 103 is employed
together with the Tcs 100,
120 or $01 pumping unit
control in the TCU rack
frame, X6 b2/a2 are supplied
with 110 V independent of the
mains voltage.
the TCF 103 ie delivered
with a factory setting of
220/ 240 V at switch $3.
‘To change the setting of
53, the TCF 103 must be
removed from the rack and the
lefthand side panel taken
oft.
Switch over the fed supply
voltage of 110 V resp.
220/240 V by switch $3 to the
needed 110 V feed for the
electronics.
1.6.2 Tension de commande
L'information "groupe de
pompage en ordre"/"groupe de
pompage dérangé" est branchée
sur la réglette a fiches
drentrée en a2/b2 comme
Signal 110 ou 220 V courant
alternatif.
U'électronique ne peut
traiter qu'un signal de 110
V; des tensions plus hautes
puissent endommager
T"appareil.
En utilisant un TS 302
Tappareil doit étre
la tension du secteur.
uses a
Attention!
Si l'appareil TCF 103 est
utilise dans un chassis
tiroir TCU en méme temps que
L'appareil de commande de
groupe de pompage TCS 100,
120 04 301 1"alimentation|
de X6 b2/a2 se fait a 110 V
independanment de la tension
Le TCF 103 est fourni ajusté
dans l’usine avec 1a position
du commutateur 53 pour
220/240 V.
Pour conmutateur $3 il faut
sortir l'appareil TCP 103 du
chassis-tireir et enlever la
tole latérale gauche.
Par l'interrupteur s3
renverser la tension réseau:
de 110 V reap. 220/240 Va 1
tension 110 V nécessaire &
alinenter 1'électroniaue
tye 01
x7 PMz01080,
qvrore
par zo108s
», |
IS |
- =
web3 angchiu8 Flutventil
bas Flutventil TVF 012
wird an Ausgangsbuchsenleiste
X7/ bd, b5 und Erde a6 ange-
Schlossen. Die Kabellinge
kann belicbig ausgefthrt wer-
Gen, jedoch darf der schlei-
fenwiderstand des Kabels 2
Ohm nicht tbersteigen.
Ansch1u8. der Kabel nach
Schaltschena Fig. 7. Bei
vertauschten Kabeln sind auch
Gie Funktionen vertauscht.
Die LED-Anzeige (ROT/GRUN)
auf der Frontplatte zeigt
nicht die tatsachliche
Ventilstellung an. Ist die
Funktion vertauscht, 2.B. LED
GRUN, Ventil 2U, miscen die
Kabelanschlisse getauscht
werden.
Wird das Gerét in einem
Oberrahmen TCU zusammen mit
dem Punpstandsteuergerat TCS
{00 oder 130 betrieben,
erfolgt der Anschlus Uber die
Steckverbindung beim Ein~
Schieben. Der Anschlus des
Flutventils TVF 012 erfolgt
im Uberrahmen TCU oder im
Tes 130 an Stecker X7, b4 und
DS, Erde an a6+
1.6.4 Anschlu8 Fernbedienung
Der elektrische Anschlus
ger Fernbedienung an x9 ist
nach Schaltpian PM 021890-S
auezufthren.
Betried
bas Gerit ist mit Tast-
schalter (Funktion unter
1.7.2, 1.7.3) "Auto" ausge~
riletet.
Zur Erkennung der Schal-
terstellung ist auf der
Frontplatte neben dem
Schriftzug "Auto" eine LED
angeordnet, In Schalterstel-
Lung "Avto™ ist die LED grin.
Die Stellung des Flutventiles
wird mit einer zweiten LED
Sngezeigt: LED grin = TVF 012
offen, LED rot = TVF 012 ge-
Schlossen. LED grau = Netz~
ausfall: Nach Ablauf von TI
Sfinet das Flutventil TVP 012
und schliest nach Ablauf von
12.
1.6.3 Connecting the venting
valve
‘The "VP 012 vent valve is
connected to the output
Socket board X7, b4, DS
earth a6. The cable'may
any desired length, the loop
Teaistance of the Cable shall
however not exceed 2 ohms.
Connection of cables as shown
in wiring diagram Fig. 7.
When the cables are inter~
changed, the functions are
also interchanged. The LED
display (RED/GREEN) on the
front panel does not schow
the actual valve position.
When the function is inter-
changed, e.g. LBD GREEN,
Valve CLOSED, the cable con—
nections must be changed.
When the unit is employed
towether with the TCS 100 or
4130 pumping unit control in
the TCU rack frame,
connection is made via the
plug- and socket-connection
during plug-in, The TVF 012
vent valve is connected in
the TCU rack frame or in the
TCS 130 at plug X7, b4 and bs
earth at a6.
and
have
1.6.4 Connecting the remote
control
Electrical connection of
the remote control at x9 must
be made as shown in Wiring
Diagram PM 921890-S.
1.7 operation
The unit is equipped with
an "Auto" pushbutton (func~
tion as described in 1.7.2,
1.7.3)
An Leb is fitted in the
front panel, adjacent to the
"Auto" sign, for display of
the switch position. The LED
is green when the switch is
in the "Auto" position. The
position of the vent valve is
Sisplayed by a second LED
LED green = TVF 012 open; LED
red = TYP 012 closed. LED
Grey = mains failure: after
expiry of TI, the TVF 012
vent valve opens and closes
after expiry of 12.
1.6.3 Raccordenent de vanne
de remise
La vanne de remise & lair
VE 012 est raccordée & 1a
Féglette 4 douilles de sortie
x7 en ba, b5 et & 1a terre en
a6. 11 nty a pas de prescrip
fons quant ala longueur du
cable, cependant la zésis-
tance de boucle du cable ne
doit pas @tre supérieure @
2-ohm. Le raccordement des
cables se fera selon le
schéma des connexions, fig.
7, Si les cables sont échan-
gés, les fonctions seront
Sgaiement @changées. L'indi
cation LED (ROUGE/VERT) qui
se trouve sur la plaque
frontale n'indique pas 1a
position réelle de la vanne.
Bi la fonction est échangée,
par exemple LED VERT, vanne
Eermée, les raccordenents des
cables doivent @tre échangés.
Si l'appareil est utilisé
dans un chassis-tiroir TCU en
mene temps que l'appareil de
Commande de groupe de pompage
Yes 100 ou 150, le
branchement se’ fait par
T'intermédiaire des raccords
a fiches lors du montage. Le
branchement de la vanne de
remise a l’air TVF 012 dans
le chassis-tiroir TCU ou dans
le TCS 130 se fait sur la
fiche x7 en b4 et b5, la
terre en a6
1.6.4 Branchement commande &
distance
Le branchenent électrique
de 1a conmande & distance sur
X9 se fait selon diagramme
Glectrique PM 0218908.
1.7, Fonctionnement
Ltappareil est équipé
atune touche "Auto" (fonction
voir 1.7.2 et 1.7.3)
‘Pour Tepérer 1a position
gu commutateur, une LED est
placée sur la plaque frontale
§ cote de 1' inscription
“puto”. Si le commbtateur est
en position "Auto", 1a LED
est verte. La position de la
vanne de renise & l'air est
Undiquée par une deuxiéme
LED: LED verte = TUF 012
ouverte, LED rouge = TVF 012
fernée. LED grise = panne de
sectevr: aprée écoulement de
Tl, 1a vanne de remise &
Lair TVP 012 stouvre et se
referme aprés écoulement de
12.1.7.1 Binstellen der verz5-
gerunge~ und Flutzese
Durch verschieden grofe
Pfeiffer-Turbos und Rezipien-
ten ist eine Finstellung der
Verztgerungs- und Plutzeit
auf den jeweiligen Einsatz-
fall erforderlich (Siehe auch
unter 1.1).
Verzgerungszeit
Einatellen der Verzdge-
rungszeit mit Zeitschalter
‘TI, Das Fluten sollte nach
dem Abschalten optimal bei
50 der Drehzahi - dies ent-
spricht ca. 1/3 der Auslauf~
szeit - jedoch spitestens nach
Ger halben Auslaufzeit
erfolgen.
bei Pfeiffer Auslautzeit
Tazbo in Minuten
bis 30% 0
Feast
*TPD 010 (Drag) 2.5
TPH 035, 6
TPH 060 TPL 60 15
TH TO TRU TOT
TPE 180H TPU 180H 3
‘TPH 190 3
TPH 240 TRU 2400 8
TPH 330 TRU 3308
TPH 450H TPU 450H 12
‘TPH 510 TRU 510 10
‘TPH 520 TPU 520 15,
TPH 1500 TRU 1500 30,
TPH 2200 TPU 2200 30
TPH 5000 30
* Genessen bei Vorvakuumdruck
2-4 mbar
Vom Werk ist die kirzeste
teit eingestellt. Hierbei ist
der Zeitechalter auf 1 Minute
eingestellt. Die Verstellung
der Verzdgerungszeit auf
grdfere Zeiten geschient
durch Drehen des Schalters im
Unrzeigersinn bis auf die
Lingste Zeit 30 min,
Flutzeit
Eingtellen der Flutzeit
mit Zeitschalter T2. Wenn aus
verfahrenstechnischen Grilnden
nicht auf Atmosphirendruck
geflutet werden mus, en-
pfienit es sich, auf ca. 100
mbar zu fluten. Die Zeitein~
stellung fir diesen Flutdruck
mus je nach Volumen empirisch
ermivtelt werden.
Von Werk ist das Gerdt auf
dic kurzeste Zeit (1 Minute)
eingestellt.
1.7.1 Setting the delay and
venting time
Due to the different sizes
of Pfeiffer Turbos and vacuum
chambers, the delay and vent~
ing times must be set to the
respective application (also
refer to 1.1).
Delay time
‘The delay time is set at
timer Tl. Optimally, venting
should take place after
switching off a 50 @ of the
speed - this is approx. 1/3
of the slowing time -, how=
ever no later than after half
the slowing time is over.
Pfeiffer Turbo Slowing time
in minutes
down to 30% n
(approx.
¥TpD 010 (Drag) 245
TPH 035 6
TPK 060 TPL 960 «15,
TPH 170 TPU 170
TPH 180H TPU 180K 3
‘TPH 190 3
TPH 240° TPU 240 8
TpH 330 TPU 3300 8
wTPH 50H TPU 450K 12
‘TPH 510 TPU 51010
TPH 520 TPU 52015
‘TPH 1500 TPU 1500 30
‘TPH 2200 TPU 2200 30,
‘TPH 5000 30
Measured at a roughing vacuum
pressure of 2-4 mbar
‘The minimum time has been
set in the factory to 1
minute at the timer. Setting
longer delay tines is effect-
ed by turning the switen
Clockwise up to a maximum of
50min.
Venting time
‘The venting time is set at
timer T2. If venting to at~
mospheric pressure is not
possible for process reasons,
we recommend that you vent to
approx. 100 mbar. The time
setting for this venting
pressure mist be determined
enpirically as a function of
the volume.
‘The unit has been set to
the minimum time (1 minute)
in the factory.
1.7.1 Réglage des temps de
retard et de remise
a lair
Du fait des différents mo-
aéles de Turbo Pfeiffer et
done des difféventes aimen~
sions de récipients, il faut
procéder @ un réglage des
temps de retard et de remise
2 l'air pour chaque cas par~
ticulier (voir également au
parag. 1.1).
Tempe de retard
Réglage du temps de retard
avec tenporisé TI. Le moment
optimal pour la remise &
Tair se situe a 50 8 de la
vitesse de rotation apr:
coupure de la pompe ~ ce qui
correspond d env. 1/3 du
temps de rotation par inertie
et doit se produire au plus
tard i la moitié du temps de
rotation par inertie.
sur les Turbo Temps de
Preitter ralentissement
(ca.50 nm
(env)
=TPD 010 (Drag! 248
‘TPH 035 6
TPH 060 TPL 60. 15
TeH 170 TU 170
TPH 180 TPL «180
‘TPH 190 3
np 240 TRU ado
TPH 330 TRU 380
srpH 10H TRU 480.12,
‘TeH 310 TPU BLO. 10
TPH 520 PU 52015
TPH 1500 TPU 1500 30
TPH 2200 TPU 2200. 30
TPH 5000 30
* Mesuré a une pression vide
primaire de 2a 4 mbar
A Liugine est réglé le
tomps le plus court. Le
comnutateur tenporisé est
réglé sur le minimum c.d d.
une minute, Pour augnenter le
temps de retard, on tourne le
conmutateur dang le sens des
aiguilles d'une montre
jusqu'au temps le plus long
de 30 min.
‘Temps de remise a lair
Réglage du temps de remise
a 1'air avec 72, Si pour des
raisons techniques, 1a pompe
ne doit pas @tre ramise 4 1a
pression atmosphérique, i1
fst reconmandé "installer
une pression de 100 mbar env,
Le temps pour obtenir cette
pression doit @tre aéfini
empiriquenent en fonction du
volune.
A liusine, 1'appareil est
réglé sur le temps le plus
court (1 minute).1.7.2 "Auto" ausgeschaltet
LED aus!
Beim Ausschalten und bei
Stérungen am Pumpstand flutet
das Gerat ohne Verzégerung:
zeit Ti nach ca. 10 Sekunden.
Das Flutventil bleibt so
lange gedffnet, bis der
Tastschalter “Auto” gedriickt
wird. Danach schliest das
Wentil erst nach Ablauf von
12.
1.7.3 Schalterstellung
"Auto", LED leuchtet
Beim Ausschalten, und bei
StSrungen am Punpstand
(Kihlwassermangel, Drehzahl-
abfall usw.) flutet das Gerat
nach Ablauf der eingesteliten
Veraégerungszeit, Nach Ablauf
der Plutzeit wird das Flut-
ventil geschlossen.
1.8 Funktionsablauf "Auto"
geschaltet
~ Siimtliche Steuerfunktionen
und Zeitabldufe werden im
TCF 103 mit einem Micro-
progessor durehgefahre.
= Die Leistung wird ber Re-
lais-Ausgang geschaltet.
= Das 2ugehrige Flutventit
ist als pulsgesteuertes
Ventil ausgeblldet.
= Es sind awei Funktionsarten
za unterscheiden:
4) Pumpstand auageschaltet
(1.8.1) oder stérang
b) Stiomausfall (1.8.2)
1.8.1 Punpstand ausgeschaltet
oder st8rung
Eingang der Information an
Stecker X6/a2 - b2. Nach dem
Aueschalten baw. Eintreten
dor Stérung wird die Verz5qe-
rungszeit gestartet. Ist die
Verzigerungszelt abgelaufen,
wird mittels Impuls das Flut-
ventil gedfinet und die Flut~
zeit gestartet. Nach Ablauf
dor Flutzeit wird das Flut~
ventil geschlossen. Der Flut~
ayklus ist abgeschiossen. Zum
Einleiten eines neuen Flut~
zyklus milssen folgende Be~
dingungen erfUllt sein:
1.7.2 "Auto" switch off,
LED off
When the pumping unit is
Switched off, or during a
trouble at the unit, venting
is performed after approx. 10
sec: without delay time Ti
The vent valve remains open
until the "Auto" pushbutton 1s
depressed. The valve then
closes after T2 has expired.
1.7.3 Switch in "auto"
position, L&D on
When the pumping unit is
switched off, or during a
mains failure or trouble at
the unit (insufficient cool-
ing water supply, speed drop,
ete.), the unit is vented
after expiry of the preset
delay time. After the venting
time is over, the vent valve
is closed.
Function "Auto" switched
= All control functions and
timed operations in the TCF
103 are carried out by a
microprocessor.
- The power is switched via
a relay output.
= The connected vent valve
is a pulse-controlled
valve.
= Distinction must be made
between the following two
types of function:
a) Pumping unit off
(1.8.1), or trouble
b) Maing failure (1.8.2)
1.8.1 Pumping unit off,
or trouble
Input of information at
plug X6/a2 - b2. The delay
time is started as scon as
the unit is switched off or
the trouble occurs. On expiry
of the delay time, the vent
valve is opened by a pulse
and the venting time started.
On expiry of the venting
time, the vent valve is
closéd. ‘The venting cycle is
now completed. The following
Conditions must be satisfied
in order to initiate a new
venting cycle:
1.7.2 "Auto" coupé,
LED éteine:
Lors d’une coupure et dans le
cas de dérangenents dans le
sroupe de ponpage, l'appareil
renet a lair apres env. 10
sec. sane attendre
Lécoulement du temps de
retard TI. La vanne de remise
A L'air restera ouverte
dusau'a ce que Le bouton-
Poussoir "auto" soit
actionné. Ensuite, 1a vanne
ne se fermera qu’ apr
Iecoulement du temps 12
1.7.3 Position de conmutateur
"auto", LED allunée
Bn cas d'arrét, de coupure
de courant et de dérangements
sur le groupe de pompage
(manque d'eau de refroidisse-
ment, chute de la vitesse de
rotation, etc.), le cycle de
remise 4'l'air préréglé par
les comutateurs tenporisée
se déroule. Aprés le déroule~
ment du temps de remise &
Tair la vanne dtentrée d'air
est fermée.
1.8 Fonction "Auto" enctenché
- Toutes les fonctions de
commande et les séquences~
temps sont executés dans le
‘ev 103 avec un micropro-
~ Ea puisgance est conmandée
par l'intermédiaire d'une
sortie de relais.
~ Ea vanne de remise a l'air
gui_en aépend est congue
conne une vanne a commande
par impulsions.
- Ilya lieu de distinguer
deux types de fonction;
a) Groupe de pompage dé-
clenché (1-8.1) ou panne
b) coupure de” courant
(1.8.2)
1.8.1 Groupe de pompage
arrété ou dérangement
Entrée de l'information &
la fiche x 6/a2 ~ b2. aprés
arrét ou dérangement, le
temps de retard est énclen-
ché. Loreque le temps de re~
tard est écoulé, la vanne de
remise 4 l'air $touvre par
impulsion et le temps de
romise 2 l'air est enclenché,
Une fois le temps de romise d
Lair est écoulé, 1a vanne de
romise 4 l'air s¢ ferme, Le
cycle de remise 4 l'air est
torminé. Pour réintreduire un
nouveau cycle, il faut que
les conditions suivantes
soient remplics:
10= Dag Ventil mud mindestens
2)Sekunden geschlossen
sein. (Aufladen des Konden—
sators) .
= Nindestens eine Millisekun~
de lang mus Spannung bei
"pumpstand in Ordrung” an
Eingangssteckerleiste x6/a2
= B2 anliegen.
1.8.2 Stromausfall
Rei Ausfall der Netzspan-
nung versorgt die eingebaute
Battorie die Elektronik. Die
LED sind ohne Versorgung. Der
Stromausfall startet die
Veraigerungszeit, rst die
Verzsgerungszeit Tl abgelau-
fen, wird mittels Impuls das
Fiutventil gesffnet. Nach Ab-
lauf von T2 wird da Flutven-
til geschiossen und die Bat-
terie ausgeschaltet.
Die Batterie ist fur
mindestens 10 vollstindige
Flutaykien mit maximaler
Verzégerungszeit ausgelegt.
Nach einer Tiefentladung dor
Batterie ist eine entsprech~
ende Ladezeit vorzusenen.
Funktionsschena TCP 103
= The valve must have been
closed for at least 2 se~
conds. (Charging the capa~
eitor!
= Power must be supplied to
input plug board X/6 a2 =
b2 for at least one milli-
Second in the case of
"Pumping unit in order".
1.8.2 Mains failure
In the event of a power
failure, the electronics is
fed by the built-in battery.
‘The LEDs are not supplied
with power. The delay time
Starts running with the power
failure. On expiry of the
delay time 11, the vent valve
is opened by 4 pulse. On
expiry of 12, the vent valve
fe closed, and the battery is
switched off.
‘The battery has been
designed for 4 minimum of 10
complete venting cycles with
maximun delay time. if the
battery has been overdis~
charged, an adequate charging
time must be allowed for.
= la vanne doit @tre fermée
au moins 2 secondes (re-
charge du condensateur) .
~ Hi faut qu'il y ait au
moing pendant 1 millise~
conde 1a tansion "Groupe de
pompage 0.K." a la régiette
Sitiches dtentrée x6/a2 -
be.
1.8.2 Coupure de courant
En cas d'une panne de
secteur, c'est 1a batterie
incorporée @ l'appareil qui
alimente le systéme électro-
nigue. Les LSD ne sont pas
Alimentées. La coupure de
courant fait démarrer
Vecoulement du. temps de re~
tard. Apres ce laps de temps
(Tl), 12 vanne de remise a
Lair est ouverte par impul-
sion, Aprés 1'écoulement de
12, ia vanne de renise 3
Liir est fermée et La bat~
kerie est mise hors circuit.
Cette batterie est dimension-
née pour une durée correspon~
dante a un minimum de 10
eycles complétes de renise
8 1rair avec un temps de
retard maximum. Apres une
Gécharge profonde de la bat~
terie, un temps de recharge
adaquat doit atre prov.
Netzepannung | rafornation|y | 9
Moze-2a0v | tiovacr | § | 2] veneia | senerkung
Beas, epo.paov |# | 2
2-02
a | ew EIN x au | dare niene oeenon
Normaibetries[ 2 | BIN IN x au | daef nicht 6ffnen -
3 [em AUS x aur | eésnet nachwio sec.) bleibt ant
a] am ‘us x] AUr/2d | nach eingestellter zeit an e1 auf,
| Bach Ablasf von ¢2 20
= [as nis = BOE/EU_| Bei Seronausfall erkenat daa Garde auf
Stronaustall os a at aurrac7] "AUTO"! Wach Stromausfalt nicht beomn
6 8 us (au) pare nacht} venell auf, nach t2 Vents
2 — al
Tetrspannang [9 | Aue oo Lz Ey
feniers-be ba] aos = ix Gu7 7] schalter Batterie aus, flutet nicht
pachiriglich: [11 | bleibe Als | gene wus | Wa | keine Roaktion, as battarie bei 9 > 10
Tatornation | | ausgeschaltet wurde “
iFonctional Diagram, TF 105
Mains voltage | information|y | ¢
Morezonzaov | Tidva.ce |g | 2) vaive Remarks
bras aze'ee |B | 2
| ow on x cuoseo shall not open
Standard 2 [ow ow =| cxose0) shall not open
operation 5 [_ow ore [x PEN opens afterei0 sece., remains open
[ow OFF x] oPEN7ci05ED [opens after prosct tine tT closes
iter expiry of t2
[or Es ‘GPEN/CIEED [he unit switches to "AUTO" Guring a
Power failure 16) opp OFF x] opmw/erosen | Rover feilure: no, intervention possibile
Valve opens after expiry of t1, closes
Biter expiry of €2
Yo mains vor-_[> | OFF oF x Sse
switches battery off, does not vent
tager eng. fuse [5
fap s2 jo] OFF om x] ctose
subsequentyis |1i|remains OFF | goes FF [x |x| CLOSED To reaction, a battery was switched
Information OFF ofr aed + io
Schéma fonctionnel, TF 103
Tension secteur tngormation) « | 2
Horeo-20v |ri0vc.a. | $13 | vanne notes
br as Jaz ~ b2 a2
i| ow on x ferné ne doit pas owvete
optracion 2f ow ‘ow x _ferné Ine doit pas ouvrir
porate 3 [ow OFF x ouvert louvre aprésai0 » reste owert
sf on OFF x | ouvert/feené louvre aprés temps prévéglé t1 Ferme
fsprés expiration ae t2
Rangue de [or oF x oivert/Ferné] i apparetl se wet § "AUTO" pendant Te
courant or cuvert/ferne]eansive de courant, intervention n'est
|] ore x /fermé | ign possible. ba vanne ouvre apres
expiration a2 1 et ferme apres
expiration de 2 "
Nangue de cou [S| OFF ow x Ferm coupe Ta batterie, ne Fenet pas @ Tair
fant, par ex. fy
pane peek: [ao] opr ox Ya | tern
‘plus tara in- [ti] Feate OFF ina ore [x |x | ferme a3 de réaction, 1a batterie fant
Forsation OFF ease 49° 90 .
1.9 Test 1.8 Test 1.9 test,
Das Gertt TCF 103 ist mit
Selbsttest ausgeriistet.
Dazu muS das Gert gemaB Ta-
belle eingespeist bzw. be-
dient werden, Die Steckbricke
mu flr die unterschiedlichen
Tests gemi8 Tabelle unge-
steckt werden.
‘The TCF 103 control unit
is equipped with a sel
nosis function, For th:
unit must be fed or operated
as shown in the table. The
plug-in bridge must be re-
plugged for the various test:
as shown in the table.
Ltappareil TCE 103 est
équipé d'un systéne de test
automatique.
Pour cegi l'appareil doit
@tre alimenté resp. manoevré
selon le tableau. ie pont en-
fichable doit étre place pour
les tests differents selon le
tableau.
12Ue Feteacod| Thon tho desired progran
[e eoPte ‘chonca by means 9 a pludrin
Fer 103
ffs ae SIS/El
Sow fastecy lappoon. Oro wecl +
Iatically atter appeor. a0
Tndication of the actual position
Uh Byetiating: trea) ofthe LAD Vt
the'seiech @'119 48 Feapoceively o
fe'rS"eines, then 4 see pause ond
itor byes -
for\the wenting tine £2°by blinking
(ea) or" the LED Vi secording te
4 feo! pause and’ eo: on "
‘ntver finishing the teats the plug-in bridge wust
to the exterior right Rand plug-in place, (View
f6 the Sonponene’ side, miers-processor abovs)
eee Se
lao senparunent:
4fant Vextcution dun programme test Ut
Goat gaia attention qup le. TOROS cose
Ages tension (nd revomie), Enouite te prom
(Teasme tose desire ost chain § l'aide’ du
Rignantation en tension
i Sy) Zale] al
eee Glignote avec 1a rene
1 Went Mitteaane plas vite toes
Traceumatateur ese déctenché apres
Eedication ae. ia posigion 2) commu
iighotate”teotgeh deb vt Solon
bcbgpectivercne 0 E15. f0ia, ea
Tedication de 1a posieion ay commu
Ex'aetuellenone onistante par sia
hat elignotane (rouge) Gu Leb #1
Selon Laponition au commacaceue 0
‘Apres evoir sernind las tare Ie pont ont ichable
Git etre place dino la position orale de
Vice cleat" ddire dans 1a fiche entesnenent 4
Groies, Wu de cbse’ comporants, microproceseed
Blancs, iionly's pag de-possibifinie sce es
0 tubehér, 1.10 Accessories
Gegenstecker flr Eingang
Bestell-Nr, PM 001 164 -T
Mating plug for input
Order Code PM 001 164 -T
Gegenstecker fr nusgang
Bestell-Nr. PM 001 165 -T
Mating plug for output
Order Code PM 001 165 —T
Adapter flr Fernbedienung
Bestell-Nr. PM Z01 045
Adapter for remote control
Order Code Pm 201 045
10 Accessoires
Contre-fiche a'entrée
no. de ede. PM 001 164 ~T
Contre-fiche de sortie
no. de ede. PM 001 165 ~T
Agapteur pour conmande a
distance
no.de code PM 201 045,
61.11 Breateteile
P=
oe
1.11 spare parts
1.11 Pigces de rechange
vo3 9
Sucre | tonomne Byron meen
Se ace re olen [BC
Bateorie Eee me aryrix | fro 920 07 | 1
i [rato eee oe averss | fos se | 2
Elektronikprint Circuit impriné Electronique ° -
_|1 | prontpiattenprint Eiinprimé plaque frontal pe o11 93¢ax | 4
1 | sicherang lp soso wee fe
Recrertaustein 7 /P 0920 520 &
CE | pi] etetnccin Se | oS 3
Dera 7
‘Vorset caring Parts —
a smiges 8! usure normale 2
TER a mse mere RT OITA
Se Scapnwubmoe
Ertan nee
Spacparetat TCE
oa
Do pce recharge np
numer cen
161,12 Schaltpliine
1.12 Wiring diagrams
7
o
ubtioa ¥% 4
1,12 Sohémas électriques
PM 011 974 ASS-068 LZ0 Wd9
oS use ome
Joeod
¥ Feat
3 Fea) 3
a jaar
3 +]
4 | £1)?
4 Bid Bad
"2
2 pe
ne
cmautin a
weTe
Kuhlwassernéchter 1 Tew 001/002 cooling water
yew 001/o0e Tonitor
Drehsehiebervakuumpuape «2 Rotary vane vacuum pump
Lorthublung oder 5 Airvcooling, oF THK 350
Kublageregae T2K_ 360 Gooning unit
Helzung Tarbopumpe 4 Turbo pump heater
Flutgerat Ter 103 oder § Ter 108 vent control unit
Ventilsteuergerat TCV 109
Flutventil.TVF 012
Kabel TCP-Turbopuape 6
Stromausfallfluter TSF 010
Standby extern
10
Pumpstand
Heizung 12
Reset
si
Pumpstand BIN 82
Heizung EIN 83
Standby
aL
He
43
or TCV 103 valve control
unit
TVF 012 vent valve
Cable turbo pump
electronic drive
Emergency vent valve TSF
010
External Stand by
Pumping unit
Heating
Reset
Pumping unit ON
Heating ON
Stand by
10
12
sl
82
83
mt
ne
#3
PR 021 049-5.
contréieur d'eau de
refroidissement TCH
001/002
Ponpe a vide rotative
palettes
Refroidissement par air ou
Systeme de refroidissement
12K 350
Chauffage pompe turbo
‘Appareil de commande de
remise A l’air TCF 103 ou
Appareil de
‘Commande de vanne TCV 103
Vanne dventrée d'air VF
o12
Cable pompe turbo
entrainement électronique
Systeme de remise & l’air
en cas de coupure de
courant TSF 010
Stand By externe
Groupe de
Chauffage
Reset
Groupe de pompage ON
Chauffage ON
Stand By2. Ventil-Steuergerét TCV _10:
Tale
2.1 Anwendung
212 Aufbau
213 Technische Daten
2.4 Installation Allgemein
2.4.1 ventile
215 Fernbedienung
216 Elektrischer Anschlus
216.1 Anschlus des Hochvaku-
unventils und der bei-
den Flutventile
2.7 Betried
2.7.1 Einstellung der verzi-
gerungs- und Flutzeit
der Turbopunpe
2.7.2 Binstellen der tber-
brickungszeit 73
2.7.3 Einschalten
2.7.4 Ausschaleen
218 Funktionsablauf
219 Test.
2110 aubehor
2.11 Brsatztei le
2112 Schaltpline
2, TeV 103 valve Control unit
Index
2.1 Application
212 Design
213 Technical vata
2.4 General remarks on
installation
4.1 Valves
1s "Remote control
6 Electrical connection
16.1 Connection of the high
vacuum valve and the
two vent valv)
-7 Operation
I7.1"Setting the delay and
yenting time of the
turbo pump
2.7.2 Setting the bridoing
tine T3
3 Switching on
Switching off
Function
Test
2110 Accessories
2.11 Spare parts
2.12 Wiring diagrars
2.7.
207
2ie
219
2. Appareil de commande de
vanne Tev 103.
dex
2.1 Utslisation
212 Consteuction
213 Caracteristiques
techniques
2.4 Installation, eénéra-
lites
2.4.1 Vannes.
215 Commande & distance
216 Branchement électrique
216.1 Branchement de 1a vanne
HV et des deux vannes
de renise 4 l'air
2.7 Fonctionnement
217.1 Réglage des temps de
retard et de remise
a lair de la pompe
turbo.
2.7.2 Réglage du temps de
pontage 73
3 Mise en marche
4 Declenchement
Fonctionnement
Test
20Fig. 9
Ventit-steuergerae Tov 109
Valve Control Unit ey 103
Rpparedi de commando ee
vane Bev 108
A Fonktionstei2 Fiutvenett
PieiftersTarbo
B Panktionsteit iv-schionor
nd Plotwentst'Rezipiene
2.1 Anwendun
art
Das Ventil-steuergerst TCV
109 steuert unter Funktion A
ein Flutventil an der Turbo-
pumpe (1CF-Funktion Beschrei~
bung in Abschnice 1) und
unter Funktion B ein HV- oder
ein UAV-Absperrorgan zwischen
‘Tarbopumpe und Rezipient,
sowie ein Flutventil am
Rezipient
Das TCV 103 kann als Binzel-
gerit oder in Verbindung mit
den Pumpstandsteuergerdten
TCS 100, 120,130, 302, 304
oder 312 und’ den’ Antrieb:
elektroniken TCP 310 und TCP
5000 eingesetzt werden. Bein
Eingate mit diesen Gerdten
wird das TCV 103 voll in die
Glektrische Steuerung ait
einbezogen-
Wichtiger Hinweis
Die Funktion des Tcv 103
det nur dann gegeben, wenn
die Pumpstandverdrahtung nach
den Schaltplinen der betref-
fenden Punpstande ausgeflhrt
iste
A control section for the
Deeiffer Turbo vent valve
n Control. section for high
Yacuua gate valve and
Vacuum chanber vent valve
2.1 Application
Pee
With function A, the TCV
103 valve control unit
controls a vent valve at the
turbo pump (the TCP function
is deseribed in Sec. I), and
with function & it controls a
HV or UHV shutoff valve
between the turbo pump and
the vacuum chamber, 28 well
aca vent valve atthe vacuum
chamber.
‘The TCV 103 can be employed
as a single unit or in
Connection with the TCS 100,
120, 130, 302, 304 or 312
pumping Gnit controls and the
TeP 310 and TCP 5000
electronic drive units.
Together with these units,
the Tov 103 is fully
integrated into the
electrical control systen.
Important note
‘The TeV 109 function is
only provided if the pumping
unit has been wired as shown
in the wiring diagrans of the
respective pumping units.
A Partie fonetionelte vanne
Grentege vai pompe eebe
n Parcie. fonctionelie vanne
C5t2 vide elove ot vanne
Srenerée avair recipient
Utilisation
Fig 7
Ltappareil de commande de
vanne "CY 103 commande par
Fonction A une vanne de re-
mise & l'air sur la pompe
turbo (fonction TCP, des
cription en section ’1) et par
fonction B une vanne dtarrét
HV ou UHV entre pompe turbo
et récipient et une vanne de
remise a l'air sur le réci~
Pient.
Le TCV 103 peut étre utilisé
‘comme appareil individuel ou en
connexion avec les appareils de
commande de groupe de pompage TC
100, 120, 130, 302, 30% ou 312
ct les systemes a’entrainenent
Glectroniques TcP 310 et TCP
5000. Lors qu'il est utilisé avec
ces appareils le TCV 103 est
completement intégre dans 1a
commande électrique.
Remarque importante
Le fonctionnenent du TCV
103 nlest réalisé que lorsque
le cablage du groupe de
pompage est exécut® selon les
Schemas électriques pour ces
groupes.
22 Aufbau
Fig: Tun Fig. 11
Das Gerdt TCV 103 ist als
eilrackeinschub (2/22, Gr.
3) des Balzere-Rackaystens
ausgefthrt, Auf der Front~
platte sind in einem Schema
Sie erforderlichen Schalter
und Gie Leuchtdioden angeord~
het. Zur Binstellung der
Verzégerungs- und Piutzeiten
sind die drei Zeitschalter
Tl, 12, 73 in das Schema
eingebsut
Die Fingangssteckerleiste
X6, die Ausgangsbuchsenleiste
X7' sowie die Fernbedienungs~
buchsenleiste x9. (Zubehdr)
der Spannungswahischalter (7)
und die Netzsicherung (6) fGr
dig Elektronik befinden sich
auf der Rickplatte des
Gerates.
TOV 103
\WALvE CONTROL
Y D) g—0
2
es
"
Pig. 10
Prontplatte TCV 103,
Front" panel of the TCV 103,
Plague’ grontaie ev 08
(Siche/see/voir Fig.17)
X§ Pingongssteckerleiste
XY Avngangabuchsenletste
X3 Pernbedienungebuchsen~
Yeiste. (ur ale fubendey
5 Peinsteherung
7 Spannungevahischalter
2.2 Design
Fig, 10 ana Fig. 11
‘The Tev 103 unit is
designed ag a rack module
section (2/12, Size 3) of the
Balzers rack system. The
necessary switches and LEDS
aro provided in a schematic
fon the front panel. The three
timers T1, T2, 73 for setting
the delay and’ venting tines
are integrated into the
schematic.
The input plugboard x6,
the output socket board x7,
the remote control socket
board X8 (as an accessory
only), the voltage selector
(7) and the mains fuse (5)
for the electronics are
located in the rear panel of
the unit.
Fig. 1
Ruckplatte Tev 103
Rear panel of the Tov 103
Plague aresdre Fev 103
XG. Input prugpoard
XT Output’ socket. board
Xd Remote control socket
board’ (ae an accessory
esis
5 Micvofuse
4 Voltage selector switch
2.2 Construction
Pig, I0-ct fig. 12
Ltappareil Tcv 103 se pré-
gente sous la forme d'un Rack
modulaire (2/12 Gr. 3) du
systéme de Rack Baizers. Sur
La plaque frontale sont dis~
poses dans un schéma les
interrupteurs nécessaires et
les diodes Lumineuses. Poor
le régiage des temps de re~
tard et de remise 3 l'air
trois temporisée T1, 72 et 73
sont incorporés dans le
schema
La Féglette 4 fiches
Atentrée X6, 1a réglette &
Souilles de sortie x7 et la
réglette a dowilles pour la
Gonmande 4 distance x9
(accessoires), le commutateur
sélectour pour 1a tension (7)
et le fusible de secteur (6)
Se trouvent sur la plague
arriére de l'appareil
X6 Réglotte 3 fiches entrée
15 Regiette 3 outlier sortie
39 Regietes & douilies com
mande A distance (come
Sccessoizes seuienent)
6 Fusibie pour falble in
fenaice
7 Eonmutateur selecteur pour
Se tension r
22